KR20140000226A - 유리 기판의 제조 방법, 유리 기판 제조 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 유리 기판의 제조 방법에서는, 백금족 금속으로 구성된 청징조 본체의 내부에서 용융 유리를 가열하여 탈포를 행한다. 상기 청징조 본체의 내부에는, 상기 청징조 본체의 내부 표면과 용융 유리의 액면 사이에 기상 공간이 형성되고, 상기 청징조 본체에는, 상기 청징조 본체 중 상기 기상 공간에 접하는 부분의 열에 의한 변형을 방지하기 위한 청징조 형상 유지 수단이 설치되어 있다. 상기 청징조 본체의 외측에는 상기 청징조 본체를 덮도록 내화성 보호층이 형성되고, 상기 청징조 형상 유지 수단은, 상기 청징조 본체의 외측과 상기 내화성 보호층을 긴밀히 유지하도록 설치되어 있다.

Description

유리 기판의 제조 방법, 유리 기판 제조 장치{METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING GLASS SUBSTRATE}
본 발명은, 유리 원료를 용융시켜 생성한 용융 유리를 성형함으로써 유리 기판을 제조하는, 유리 기판의 제조 방법에 관한 것이다.
유리 기판은 일반적으로 유리 원료로부터 용융 유리를 생성한 후, 용융 유리를 유리 기판으로 성형하는 공정을 거쳐 제조된다. 상기한 공정 중에, 필요에 따라 용융 유리가 내포하는 미소한 기포를 제거하는 공정(이하, 청징이라고도 함)이 포함된다. 청징은 관상의 청징조의 본체를 가열하면서, 이 청징조 본체(이하, 간단히 본체라고도 함)에 As2O3 등의 청징제를 배합시킨 용융 유리를 통과시켜, 청징제의 산화 환원 반응에 의해 용융 유리 중의 기포가 제거됨으로써 행해진다. 보다 구체적으로는, 조용해된 용융 유리의 온도를 더 올려 청징제를 기능시켜 기포를 부상 탈포시킨 후, 온도를 낮춤으로써, 완전히 탈포하지 못하고 남은 비교적 작은 기포를 용융 유리에 흡수시키도록 하고 있다. 즉, 청징은 기포를 부상 탈포시키는 처리(이하, 탈포 처리 또는 탈포 공정이라고도 함) 및 소기포를 용융 유리에 흡수시키는 처리(이하, 흡수 처리 또는 흡수 공정이라고도 함)를 포함한다. 청징제는 종래 As2O3이 일반적이었지만, 최근 환경 부하의 관점에서 SnO2나 Fe2O3 등이 사용되는 것으로 되고 있다.
고온의 용융 유리로부터 품위가 높은 유리 기판을 양산하기 위해서는, 유리 기판의 결함 요인이 되는 이물질 등이, 유리 기판을 제조하는 어느 장치로부터도 용융 유리로 혼입되지 않도록 고려하는 것이 요망된다. 이를 위해, 유리 기판의 제조 과정에 있어서 용융 유리에 접하는 부재의 내벽은 그 부재에 접하는 용융 유리의 온도, 요구되는 유리 기판의 품질 등에 따라, 적절한 재료에 의해 구성할 필요가 있다. 예를 들어, 상술한 청징조 본체를 구성하는 재료는 통상 백금 또는 백금 합금 등의 백금족 금속이 사용되고 있는 것이 알려져 있다(특허문헌 1). 백금 또는 백금 합금은 고가이지만 융점이 높고, 용융 유리에 대한 내식성도 우수하다.
탈포 공정시에 청징조 본체를 가열하는 온도는 성형해야 할 유리 기판의 조성에 따라 상이하지만, 1000 내지 1650℃ 정도이다.
청징조 본체에 상술한 용융 유리를 통과시킬 때, 청징조 본체의 내부 표면과 용융 유리의 액면 사이에 일정 넓이의 탈포용의 기상 공간을 갖도록 하는 것이 필요하다.
일본 특허 공표 제2006-522001호 공보
상술한 바와 같이, 백금 또는 백금 합금은 다른 물질과 비교하여 융점이 높지만, 청징조 본체의 온도가 예를 들어 1600℃를 초과하면 백금 또는 백금 합금이 연화되기 때문에, 청징조 본체의 강도가 저하된다.
여기서, 청징조 본체 중 기상 공간에 접하는 부분은 용융 유리와 접하고 있지 않기 때문에, 청징조 본체 중 용융 유리와 접하는 부분과 비교하여 온도가 높아진다. 즉, 청징조 본체 중 기상 공간에 접하는 부분은 청징조 본체의 다른 영역과 비교하여 온도가 높고, 강도가 저하되기 쉽기 때문에 변형이 발생하기 쉽다는 문제가 있었다. 상기 변형으로서는, 예를 들어 경시적으로 진행되는 중력 방향으로의 변형(현수)을 들 수 있다. 또한, 상술한 바와 같은 변형은 경시적으로 커진다.
또는, 상술한 청징조 본체 중 기상 공간에 접하는 부분이 본체의 경년 변화에 따라 박화되기 때문에, 기상 공간 방향(중력 방향)으로 현수된다는 과제가 있었다.
청징조 본체의 상술한 부분이 현수되는 것에 대해서는, 이하의 이중 원인을 생각할 수 있다.
1) 청징조 본체의, 기상 공간에 접하는 부분의 백금 또는 백금 합금이 휘발되어, 청징조 본체의 휘발이 진행된 부분의 두께가 얇아진다. 이 때문에 청징조 본체의 상부의 강도가 저하되어, 청징조 본체의 상부가 기상 공간 방향에 대하여 자체의 무게로 현수된다.
2) 상기한 1의 휘발에 의해, 청징조 본체의 휘발이 진행된 부분의 두께가 얇아지고, 예를 들어 본체에 접속하고 있는 가열용의 히터 전극으로부터 공급되는 전류의 밀도가 올라가기 때문에, 그 결과 청징조 본체의 휘발이 진행된 부분의 온도가 높아진다. 이 때문에 청징조 본체의 상부의 강도가 저하되어, 청징조 본체의 상부가 기상 공간 방향에 대하여 자체의 무게로 현수된다.
한편, 청징조 본체를 통과한 용융 유리의 온도는 성형에 적합한 점도에 대응하는 온도까지 저하되도록 조정되기 때문에, 나아가 청징조 본체 이후의 용융 유리를 성형 공정으로 유도하는 이송관에는 기상 공간이 없기 때문에, 이송관에 있어서 상술한 열에 의한 변형, 또는 경년 변화에 의한 박화의 문제는 발생하지 않는다.
상술한 바와 같은 청징조 본체에 있어서의 "변형"이나 "현수"가 발생하면, 예를 들어 내화성의 피복체로 덮이는 구성의 청징조의 경우에는, 청징조의 외측 상부와 피복체 사이에 간극이 생기게 된다. 이 간극에 외부의 산소를 포함하는 공기가 도입되면, 본체 내벽의 기상 공간에 접하는 부분의 외표면에 있어서 백금 또는 백금 합금의 휘발이 촉진될 우려가 있었다.
또한, 마찬가지로 "변형"이나 "현수"가 원인이 되어 청징조 본체에 균열이 발생하거나, 본체의 내부를 흐르는 용융 유리에 본체의 내벽이 접촉하여 이물질이 혼입되는 기회를 증대시키거나 한다는 과제가 있었다.
본 발명은 이상의 점을 감안하여, 열에 의한 청징조 본체의 변형을 방지할 수 있는 유리 기판의 제조 방법 및 유리 기판 제조 장치를 제공하고자 하는 것이다.
또는, 본 발명은 유리 기판의 제조 과정에 있어서 청징조 본체를 가열하여 탈포 처리를 행할 때, 청징조 본체가 그 재료의 휘발에 의해 박화되더라도, 본체의 기상 공간에 접하는 부분이 기상 공간 방향으로 현수되는 일이 없는 유리 기판의 제조 방법 및 유리 기판 제조 장치를 제공하고자 하는 것이다.
상술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 형태는 유리 기판의 제조 방법이다. 상기 제조 방법은 백금족 금속으로 구성된 청징조 본체의 내부에 있어서, 용융 유리를 가열하여 탈포를 행하는 청징 공정을 갖는다. 상기 청징조 본체의 내부에는, 상기 청징조 본체의 내부 표면과 용융 유리의 액면 사이에 기상 공간이 형성된다. 상기 청징조 본체에는, 상기 청징조 본체 중 상기 기상 공간에 접하는 부분의 열에 의한 변형을 방지하기 위한 청징조 형상 유지 수단이 설치되어 있다.
상술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 다른 일 형태는 관상의 청징조인 청징조 본체를 가열하면서, 청징조 본체에 청징제를 배합시킨 용융 유리를 통과시켜 탈포 처리를 행하는 탈포 공정을 포함하는 유리 기판의 제조 방법이며, 이하와 같이 구성되어 있다.
청징조 본체는 백금 또는 백금 합금으로 구성되고, 청징조 본체에 청징제를 배합시킨 용융 유리를 통과시킬 때 청징조 본체의 내부 표면과 용융 유리의 액면 사이에 형성되는, 탈포용의 기상 공간을 갖고, 청징조에, 상술한 청징조 본체 중 기상 공간에 접하는 부분이 박화에 의해 기상 공간 방향으로 현수되는 것을 방지하기 위한, 청징조 형상 유지 수단을 설치한다.
상기 청징조 형상 유지 수단은, 적어도 상기 청징조 본체의 길이 방향 중 온도가 가장 높아지는 위치를 포함하도록 설치되는 것이 바람직하다. 예를 들어, 상기 청징조 형상 유지 수단은 상기 청징조 본체의 길이 방향의 복수의 위치에 설치된다. 이때, 상기 청징조 형상 유지 수단이 설치되는 복수의 위치 중 1개는 상기 청징조 본체의 길이 방향 중 온도가 가장 높아지는 위치이다.
또한, 상기 청징조 본체의 단면 형상이 원 형상일 때, 상기 청징조 형상 유지 수단은, 적어도 상기 기상 공간에 접하는 상기 청징조 본체의 외측 표면의 원호 부분 중, 온도가 가장 높아지는 부분을 포함하도록 설치되는 것이 바람직하다.
또한, 에너지 효율의 관점에서, 상기 청징조 본체는 통전 가열에 의해 가열되는 것이 바람직하다.
상기 청징조 본체는, 적어도 청징조 본체 중 기상 공간에 접하는 부분의 외표면에 용사막(溶射膜)이 형성되어 있는 것이 바람직하다.
이때, 상기 청징조 본체의 외측에는 상기 청징조 본체를 덮도록 내화성 보호층이 형성되고,
상기 청징조 형상 유지 수단은, 상기 청징조 본체의 외측과 상기 내화성 보호층을 긴밀히 유지하도록 형성되어 있는 것이 바람직하다.
이때, 상기 청징조 본체에 있어서의 용융 유리의 온도는 1600℃ 이상인 것이 바람직하다.
또한, 상기 청징조 본체의 외측에는 상기 청징조 본체를 덮도록 내화성 지지체의 층이 형성되고, 상기 청징조 형상 유지 수단은, 상기 청징조 본체의 외측으로 돌출된 부재이며, 상기 부재는, 상기 부재의 선단 부분이 상기 내화성 지지체의 층에 위치하도록 연장되어 있는 것이 바람직하다.
또는, 상기 청징조 형상 유지 수단은, 상기 청징조 본체의 상부에 있는 구조물로서 상기 청징조 본체에 대한 상대 위치가 고정된 구조물과, 상기 구조물을 개재하여 상기 청징조 본체의 상부를 현수하는 현수 부재로서, 한 단부가 상기 청징조 본체 외표면의 상부측에 접속되고, 다른 단부가 상기 구조물에 접속된 현수 부재로 구성되는 것도 마찬가지로 바람직하다.
또한, 상기 청징조 형상 유지 수단은, 상기 청징조 본체의 일부 또는 복수로 분단된 상기 청징조 본체의 간극에 배치한, 상기 청징조 본체의 단면 형상에 대응하는 형상의 1개 또는 복수개의 보강재인 것이 바람직하다.
상기 청징제는 산화주석인 것이 바람직하다.
또한, 상기 용융 유리는 점도가 102. 5포아즈가 되는 온도가 1300℃ 이상인 조성으로 구성될 수도 있다.
또한, 상기 유리 기판은 LTPS(저온 폴리실리콘)용 유리 기판 및／또는 유기LE 디스플레이용 유리 기판일 수도 있다. 이때, 상기 유리 기판의 변형점은 680℃ 이상일 수도 있다. 또한, 청징 공정에서의 용융 유리 온도의 최고 온도가 1640℃ 내지 1740℃인 것이 바람직하다.
또한 본 발명의 다른 형태는, 유리 기판의 제조 공정에 있어서 용융 유리의 탈포 처리를 행하기 위한 관상의 청징조인 청징조 본체를 갖는 유리 기판 제조 장치이며, 이하와 같이 구성되어 있다.
상기 청징조 본체는 백금족 금속으로 구성되고,
상기 청징조 본체의 내부 공간은, 상기 용융 유리의 액면과의 사이에 존재하는 탈포용의 기상 공간을 구비하고,
상기 기상 공간에 대응하는 위치의 상기 청징조 본체가 현수되는 것을 방지하기 위한, 상기 청징조 본체의 형상을 유지하는 청징조 형상 유지 수단을 더 구비하고 있다.
상기 유리 기판의 제조 방법 및 상기 유리 기판 제조 장치에 있어서의 상기 청징조 형상 유지 수단은, 상기 청징조 본체로부터 상기 청징조 본체의 외측으로 돌출된 판 부재인 것이 바람직하다.
또한, 상기 판 부재는 상기 청징조 본체의 길이 방향으로 간격을 두고 설치되는 것이 바람직하다. 이때, 상기 판 부재의 면의 법선 방향은 상기 청징조 본체의 길이 방향인 것이 바람직하다. 상기 판 부재의 두께는 1mm 이상인 것이 바람직하다.
본 발명의 유리 기판의 제조 방법 및 유리 기판 제조 장치에 의하면, 청징조 본체의 열에 의한 변형을 방지할 수 있다.
또는, 본 발명의 다른 유리 기판의 제조 방법 및 유리 기판 제조 장치에 의하면, 청징조 본체 중 기상 공간에 접하는 부분이 경년 변화에 따라 박화되더라도, 기상 공간 방향으로 현수되는 경우가 없다. 따라서, 탈포 공정 중에 용융 유리에 이물질이 혼입되는 것을 피할 수 있어, 보다 순도가 높은 유리 기판을 얻을 수 있다.
도 1은 실시 형태의 유리 기판의 제조 방법을 설명하기 위한, 유리 기판 제조 장치의 개략적인 구성도이다.
도 2는 청징조의 기본적인 구성을 도시하는 개략도이다.
도 3은 청징조 형상 유지 수단으로서 구조물 및 현수 부재를 사용했을 때의 청징조의 개략도이다.
도 4는 현수 부재의 형상 및 배치의 일례를 나타내는 도면이다.
도 5는 청징조 형상 유지 수단으로서 링상의 보강재를 사용했을 때의 청징조의 개략도이다.
이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 유리 기판의 제조 방법 및 유리 기판 제조 장치의 실시 형태에 대하여 설명한다.
도 1은 실시 형태의 유리 기판의 제조 방법을 설명하기 위한 개략도이며, 유리 기판의 제조에 있어서의 기본적인 흐름을 간략적으로 도시한 것이다.
유리 기판 제조 장치(이하, 간단히 장치라고도 함)(100)는, 유리 원료를 가열시켜 용융 유리를 생성하는 용융조(10)와, 용융 유리를 청징하는 청징조(30)와, 용융 유리를 성형하는 성형 장치(도시하지 않음)와, 이들 사이를 접속하는 이송관(20, 40)을 구비하고 있다. 이송관(20)은 용융조(10)와 청징조(30)를 접속하고, 용융조(10)로부터 도출된 용융 유리를 청징조(30)에 공급한다. 이송관(40)은 청징조(30)와 성형 장치(도시하지 않음)를 접속하여, 청징조(30)로부터 도출된 용융 유리를 성형 장치(도시하지 않음)에 공급한다. 또한, 청징조(30)와 성형 장치 사이에는 용융 유리를 교반하여 균질화하기 위한 교반조가 배치되는 경우가 있다.
용융조(10)에 투입되는 유리 원료는 제조해야 할 유리 기판의 조성에 따라 적절히 제조된다. 일례로서, TFT(박막 트랜지스터, Thin Film Transistor)형 LCD(액정 디스플레이, Liquid Crystal Display)용 기판으로서 사용하는 유리 기판을 제조하는 경우를 들면, 유리 기판을 구성하는 유리 조성물을 질량％로 표시하여,
SiO2: 50 내지 70％,
Al2O3: 0 내지 25％,
B2O3: 1 내지 15％,
MgO: 0 내지 10％,
CaO: 0 내지 20％,
SrO: 0 내지 20％,
BaO: 0 내지 10％,
RO: 5 내지 30％(단, R은 Mg, Ca, Sr 및 Ba 중 유리 기판이 함유하는 것 모두)
를 함유하는 무알칼리 유리인 것이 바람직하다.
또한, 본 실시 형태에서는 무알칼리 유리로 했지만, 유리 기판은 알칼리 금속을 미량 포함한 알칼리 미량 함유 유리일 수도 있다. 알칼리 금속을 함유시키는 경우, R'2O의 합계가 0.10％ 이상 0.5％ 이하, 바람직하게는 0.20％ 이상 0.5％ 이하(단, R'은 Li, Na 및 K로부터 선택되는 적어도 1종이며, 유리 기판이 함유하는 것 모두)를 포함하는 것이 바람직하다. 물론, R'2O의 합계가 0.10％ 미만일 수도 있다.
또한, 본 발명의 유리 기판의 제조 방법을 적용하는 경우에는, 유리 조성물이 상기 각 성분 외에, 질량％로 표시하여 SnO2: 0.01 내지 1％(바람직하게는 0.01 내지 0.5％), Fe2O3: 0 내지 0.2％(바람직하게는 0.01 내지 0.08％)를 함유하고, 환경 부하를 고려하여 As2O3, Sb2O3 및 PbO를 실질적으로 함유하지 않도록 유리 원료를 제조할 수도 있다.
용융조(10)에서 생성한 용융 유리는 이송관(20)을 통하여 청징조(30)에 보내진다. 청징조(30)에서는, 용융 유리가 소정 온도(상기 조성의 유리인 경우에는 예를 들어 1500℃ 이상)로 유지되고, 용융 유리에 포함되는 기포의 제거를 행하는 탈포 공정을 포함하는 청징이 행해진다.
또한, 청징조(30)에서 청징된 용융 유리는 이송관(40)을 통하여 성형 장치로 보내진다. 용융 유리는 청징조(30)로부터 성형 장치로 보내질 때의 이송관(40)에 있어서, 성형에 적합한 온도(상기 조성의 유리인 경우이며, 성형 방법으로서 오버플로우 다운드로법(overflow downdraw)을 사용하는 경우는, 예를 들어 1200℃ 정도)로 되도록 냉각된다. 성형 장치에서는 용융 유리가 유리 기판으로 성형된다.
이어서, 탈포 공정을 포함하는 청징에 대하여 도 2 내지 도 5를 사용하여 설명한다. 도 2는 청징조(30)의 기본적인 구성을 도시하는 개략도이며, 내부를 투시하여 도시하고 있다.
청징조(30)는 주로 청징조 본체(이하, 본체라고도 함)(1), 및 본체(1)에 접속된 히터 전극(1a 및 1b)에 의해 구성되어 있다. 본체(1)는 백금 또는 백금로듐 합금 등의 백금 합금의 금속관이며, 일반적으로 원통상의 것이 채용되어 있다. 본체(1)의 관로를 유로로 하여, 용융 유리 MG는 본체(1)의 내부를 흐른다. 히터 전극(1a 및 1b)은 본체(1)의 외주 벽면으로부터 본체(1)에 전류를 흘려, 본체(1)의 저항에 의해 발생하는 줄열을 사용하여 본체(1)의 외주벽을 가열하여 용융 유리 MG의 온도를 소정의 온도로 올려, 용융 유리 MG에 배합시킨 청징제를 사용하여 용융 유리 MG의 탈포를 행한다.
본체(1)의 내부를 흐르는 용융 유리 MG는 본체(1)의 유로 단면 전체를 흐르는 것이 아니고, 통상 본체(1) 내부의 상방에는 용융 유리 MG의 탈포 처리에 의해 탈포한 기포를 방출시키기 위한 기상 공간 a가 존재한다. 즉, 본체(1)의 내부에는 본체(1)의 내부 표면과 용융 유리 MG의 액면 사이에 기상 공간 a가 형성된다. 기상 공간 a는, 청징조(30)의 본체(1)를 흐르는 용융 유리 MG의 액위의 조정을 함으로써, 소정의 넓이를 얻거나 일정한 넓이를 유지하거나 할 수 있다. 예를 들어, 용융조(10)에 투입하는 유리 재료의 양을 증감시키는 등의 적합한 방법을 채택하면 된다.
또한, 본체(1) 상부에는, 기상 공간 a로부터 방출된 기포 중의 가스 성분을 대기에 방출시키기 위한 도시하지 않은 가스 배기구가 형성되어 있다.
본 실시 형태에 관한 유리 기판의 제조 방법 또는 유리 기판의 제조 장치에서는, 청징조(30)에, 청징조 본체(1) 중 기상 공간 a에 접하는 부분이 열에 의해 변형되는 것을 방지하기 위한 청징조 형상 유지 수단(2)이 설치되어 있다.
다른 실시 형태에 관한 유리 기판의 제조 방법 또는 유리 기판의 제조 장치에서는, 청징조(30)에, 청징조 본체(1) 중 기상 공간 a에 접하는 부분이 박화에 의해 기상 공간 a 방향으로 현수되는 것을 방지하기 위한 청징조 형상 유지 수단(2)이 설치되어 있다.
도 3 내지 도 5를 사용하여, 청징조 형상 유지 수단에 대하여 더욱 상세하게 설명한다.
도 3은 청징조(30)의 예를 나타내는 개략도이며, 청징조(30)를 포함하는 단면도로 도시되어 있다. 도 3에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태의 청징조(30)는 청징조 형상 유지 수단(2)으로서 현수 부재(2B)를 구비하고 있다. 또는, 다른 실시 형태로서, 청징조(30)는 청징조 형상 유지 수단(2)으로서 구조물(2A) 및 현수 부재(2B)를 구비하고 있다. 즉, 본 실시 형태에서 청징조 형상 유지 수단(2)은 현수 부재(2B)를 의미하고, 다른 실시 형태에서 청징조 형상 유지 수단(2)은 구조물(2A) 및 현수 부재(2B)를 포함하여 구성되는 것으로 한다.
구조물(2A)은, 청징조 본체(1)의 상부에 있어서 본체(1)에 대한 상대 위치가 고정된 구조물이다. 여기에서는, 청징조 본체(1)의 주위를 덮는 내화성 보호층(이하, 보호층이라고도 의미함)(2Aa)과, 또한 보호층(2Aa)을 덮어 지지하는 내화성 지지체(이하, 지지체라고도 함)(2Ab)로 구성되어 있다.
또한, 현수 부재(2B)는 구조물(2A)을 개재하여 본체(1)의 상부를 현수하는 현수 부재이다. 현수 부재(2B)는 구조물(2A)(보호층(2Aa) 및 지지체(2Ab))을 관통하여, 현수 부재의 한 단부(2Ba)가 본체(1) 외표면의 상부측에 접속되고, 다른 단부(2Bb)가 구조물(2A)에 접속되어 있다. 구체적으로, 다른 단부(2Bb)는 지지체(2Ab) 외표면 상부를 따라 수평으로 절곡된 상태에서 접속되어 있다(도 3).
보호층(2Aa)은 본체(1)에 대하여 불균일한 힘이 가해지는 것을 방지하고, 확실하게 지지하는 역할을 하는 것이며, 예를 들어 부정형 내화물을 사용하여 형성할 수 있다. 부정형 내화물이란, 주지한 대로 사용시에 원하는 형상으로 성형할 수 있는 내화물을 의미하고, 모르타르 및 시멘트로 대표되듯이, 전형적으로는 점토상 또는 분체상의 제품으로서 시판되고 있다. 부정형 내화물의 재료로서는, 본체(1)의 주위를 보호할 수 있으면 특별히 제한은 없지만, 캐스터블(castable) 시멘트, 특히 내화성 및 내식성이 우수한 알루미나 시멘트가 적합하다.
본체(1)는, 예를 들어 1mm 정도의 두께로 형성되는 경우가 많기 때문에, 본체(1)의 내부를 통과하는 용융 유리에 의한 내압에 확실하게 견딜 수 있도록 하기 위해 보호층(2Aa)을 배치하는 것이 바람직하다. 또한, 보호층(2Aa)의 두께는 2.0mm 이상, 특히 10.0mm 이상이 적합하다. 보호층(2Aa)은 지나치게 두꺼워도 특별한 지장은 없지만, 사용하는 재료의 양을 저감시키는 관점에서는 50mm 이하가 적당하다.
한편, 지지체(2Ab)는 구조체(2A)의 최외층에 배치되어 본체(1)를 지지하여 보온하고, 나아가 외부로부터 가해질 가능성이 있는 물리적인 힘으로부터 본체(1)를 보호하는 역할을 하는 것이며, 내화 벽돌 등의 정형 내화물을 사용하는 것이 바람직하다. 내화 벽돌은 많은 경우 복수개의 내화 벽돌(내화물에 의해 구성된 벽돌 개체)을 소정 형상으로 적층하여 구성되고, 많은 경우에는 그 사이에 모르타르 등의 내화 충전제를 도포하여 고정된 복수개의 벽돌로 구성된다.
여기에서 의미하는 내화물은 관용대로 고온에 견딜 수 있는 비금속 재료, 구체적으로는 1000℃ 이상, 바람직하게는 1500℃ 이상의 내화도를 갖는 비금속 재료를 가리킨다. 또한, 내화물은 주지대로 전형적으로는 실리카, 알루미나, 지르코니아 등의 산화물에 의해, 경우에 따라서는 내화성을 손상시키지 않는 한도에 있어서 상기 산화물에 각종 성분을 배합하여 구성되는 것으로 한다.
현수 부재(2B)는, 예를 들어 본체(1)와 동일 재료인 백금 또는 백금 합금으로 구성한다. 현수 부재(2B)의 한 단부(2Ba)는 용접 등의 적합한 방법으로 본체(1)에 접속된다. 또한, 다른 단부(2Bb)는 이미 설명한 바와 같이 지지체(2Ab) 외표면의 상부측에 접속된다. 도 3과 같이, 다른 단부(2Bb)는 지지체(2Ab) 외표면 상부를 따라 수평으로 절곡된 형상으로 할 수도 있고, 다른 적합한 방법을 사용하여 접속시킬 수도 있다.
현수 부재(2B)는, 본체(1)의 기상 공간 a에 접하는 부분이 열에 의해 변형되지 않도록, 또는 기상 공간 a 방향으로 현수되지 않을 만큼의 강도를 갖는 것이면 된다. 예를 들어, 본체(1)의 관의 길이 방향으로 일정한 간격으로 1매씩 배치하도록 할 수도 있다(도 3 및 도 4).
여기서 관의 길이 방향이란, 용융 유리 MG가 이송관(20)으로부터 이송관(40)을 향하여 흐르는 용융 유리 MG의 흐름 방향을 의미한다. 도 4에 현수 부재(2B)의 형상 및 배치의 일례를 나타낸다. 이 현수 부재(2B)의 형상은 도 4의 예와 같이 판상의 것이 적합하지만, 청징조(30)의 형상을 유지할 수 있으면 이것에 한정되지는 않는다. 도 3, 도 4에 도시하는 현수 부재(2B)는 본체(1)의 외측으로 돌출된 부재이며, 이들 부재는 부재의 선단 부분이 지지체(2Ab)의 층에 위치하도록 연장되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 현수 부재(2B)는 본체(1)의 외측과 내화성 보호층(2Aa)을 긴밀히 유지하도록 설치되어 있다. 여기서 긴밀히 유지한다는 것은, 본체(1)의 외측과 내화성 보호층(2Aa) 사이에 간극이 생기지 않도록 유지하는 것을 의미한다.
도 4에 도시하는 구성에서 현수 부재(2B)는 판 부재이며, 이 판 부재는 지지체(2Ab)에 끼워져 있고, 지지체(2Ab)와의 사이의 마찰력에 의해, 또는 판 부재가 지지체(2Ab)에 볼트 등으로 고정됨으로써, 중력 방향의 힘과는 반대 방향으로 청징조 본체(1)를 인장하는 힘을 발생시켜, 청징조(30)의 변형을 억제할 수 있다. 이와 같이 현수 부재(2B)의 선단 부분이 지지체(2Ab)의 층에 위치하도록 부재는 연장되어 있으므로, 현수 부재(2B)의 선단 부분의 온도는 본체(1)의 온도에 비하여 낮다. 이로 인해, 현수 부재(2B)는 고온에 의한 연화를 저지할 수 있어, 청징조(30)의 형상을 효과적으로 유지할 수 있다.
판 부재인 현수 부재(2B)는 적어도 본체(1) 중에서 온도가 가장 높은 위치에 설치되는 것이 바람직하다. 예를 들어, 현수 부재(2B)는 본체(1)의 길이 방향의 복수의 위치에 설치된다. 이때, 현수 부재(2B)가 설치되는 복수의 위치 중 1개는 본체(1)의 길이 방향 중 온도가 가장 높아지는 위치이다. 이것은 본체(1)를 구성하는 백금 또는 백금 합금은 온도가 높을수록 연화되어 강도가 저하되기 때문에, 자체 무게에 기인한 열변형이 발생하기 쉬워지기 때문이다. 단, 예를 들어 디스플레이용 유리 기판의 제조에 있어서, 본체(1)의 온도는 대부분의 부분에서 1600℃ 이상으로 되기 때문에, 장소에 따라 변형량이나 변형 속도는 상이하기는 하지만 어느 부분에서든 경시적인 변형이 발생한다. 그로 인해, 도 4에 도시한 바와 같이 판 부재인 현수 부재(2B)는 본체(1)의 길이 방향으로 간격을 두고 설치되는 것이 바람직하다.
또한, 디스플레이용 유리 기판 중 특히 LTPS(저온 폴리실리콘) 디스플레이용 유리 기판 및／또는 유기 EL 디스플레이용 유리 기판의 경우, 다른 디스플레이용 유리용 유리 기판과 비교하여 유리의 점도(고온 점성)가 높으므로, 청징시의 용융 유리 온도를 다른 디스플레이용 유리 기판 제조시와 비교하여 고온으로 할 필요가 있다. 그로 인해, 본체(1)의 백금 또는 백금 합금의 연화에 의한 강도 저하가 현저해져, 본체(1)의 변형이 발생하기 쉬워진다. 즉, LTPS(저온 폴리실리콘) 디스플레이용 유리 기판의 제조 및／또는 유기 EL 디스플레이용 유리 기판의 제조에는, 본 발명의 청징조 형상 유지 수단(2)에 의한 청징조 변형 방지의 효과가 현저해진다. 또한, LTPS(저온 폴리실리콘) 디스플레이용 유리 기판의 제조 및／또는 유기 EL 디스플레이용 유리 기판으로서는, 변형점이 680℃ 이상, 보다 바람직하게는 변형점이 700℃ 이상인 유리 기판이 바람직하게 사용된다. 또한, 변형점이 높아질수록 동일한 온도에 있어서의 점도가 높아지는 경향이 있기 때문에, 변형점이 높은 유리일수록, 탈포를 행하기 위해서는 청징조(30)의 온도를 높게 할 필요가 있으므로, 본 발명의 청징조 형상 유지 수단(2)에 의한 청징조 변형 방지의 효과가 현저해지는 경향이 있다고 할 수 있다.
상술한 현수 부재(2B)가 설치되는 간격은 300mm 이하 1mm 이상으로 하는 것이 적합하다. 보다 바람직하게는 150mm 이하의 간격, 더욱 바람직하게는 50mm 이하의 간격으로 하는 것이 고려된다. 극단적으로 간격을 좁게 한 경우, 열에 의한 변형 또는 현수의 방지를 확실한 것으로 할 수는 있어도, 시공성이나 비용의 문제가 부상되기 때문에, 관의 길이 등을 고려하여 최적의 간격으로 설정하는 것으로 한다. 특히, 현수 부재(2B)의 법선 방향은 본체(1)의 길이 방향인 것이 청징조(30)의 형상을 효과적으로 유지하는 점에서 바람직하다. 또한, 판 부재의 두께는 1mm 이상인 것이 청징조(30)의 형상을 효과적으로 유지하는 점에서 바람직하다. 일례로서, 현수 부재(2B)의 두께는 1mm, 폭은 10mm 정도로 한다.
또한, 현수 부재(2B)는 본체(1)를 단면에서 본 경우에 있어서, 적어도 기상 공간 a에 접하는 원호 부분의 중심부를 포함하는 영역에 접속되는 것이 바람직하다. 바꾸어 말하면, 현수 부재(2B)는 기상 공간 a에 접하는 원호 부분 중, 가장 온도가 높아지는 부분을 포함하는 영역에 접속되는 것이 바람직하다.
또한, 현수 부재(2B)는 본체(1)를 단면에서 본 경우에 있어서, 기상 공간 a에 접하는 원호 부분의 0.5％ 내지 100％, 바람직하게는 15％ 내지 100％, 더욱 바람직하게는 25％ 내지 100％, 특히 바람직하게는 35％ 내지 100％의 영역에 접속되는 것이 바람직하다. 또한, 현수 부재(2B)는 원호 방향으로 2개 이상 설치되어 있을 수도 있다.
상기와 같은 청징조 형상 유지 수단(2)을 설치함으로써, 본 실시 형태에서는 청징조 본체(1)의 열에 의한 변형을 저감시킬 수 있다. 이에 의해, 청징조 본체(1) 중 기상 공간에 접하는 부분의 외표면과 내화성 보호층 사이에 공기가 유입되는 간극의 발생을 억제할 수 있으므로, 청징조 본체(1) 중 기상 공간에 접하는 부분의 외표면에 있어서 백금 또는 백금 합금의 휘발이 촉진되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 청징조 본체(1) 중 기상 공간에 접하는 부분의 외표면의 휘발량을 저감시킬 수 있으므로, 상기 부분에 있어서의 박화를 저감시킬 수 있다. 이에 의해, 청징조 본체(1) 중 기상 공간에 접하는 부분의 외표면의 전류 밀도가 다른 영역보다 높아짐으로써 온도가 비의도적으로 상승하는 것을 억제할 수 있으므로, 청징조 본체(1)의 파손 및 청징조 본체(1)의 한층 더한 휘발량 증가라는 문제도 방지할 수 있다.
또는, 다른 실시 형태에 있어서는 본체(1)가 기상 공간 a에 접하는 부분이 재료의 휘발에 의해 박화되었다고 해도, 본체의 기상 공간에 접하는 부분이 기상 공간 방향으로 현수되는 경우가 없다. 따라서, 본체 내벽의 기상 공간에 접하는 부분에 있어서 백금 또는 백금 합금의 휘발이 촉진되거나, 현수가 원인이 되어 청징조 본체에 균열이 발생하거나, 본체의 내부를 흐르는 용융 유리에 본체의 내벽이 접촉하여 이물질이 혼입되는 기회를 증대시키거나 하는 문제를 발생시킬 우려가 없어, 보다 순도가 높은 유리 기판을 얻을 수 있다.
특히, 본체(1)에 있어서의 용융 유리의 온도를 탈포 처리를 위하여 1600℃ 이상으로 하는 경우, 본체(1)는 용융 유리의 온도보다 높게 가열한다. 이로 인해, 본체(1)에 사용되는 내고온성이 높은 백금 또는 백금 합금에서조차 휘발 및 강도 저하가 발생한다. 이로 인해, 청징조 형상 유지 수단(2)으로서 도 3 또는 도 4에 도시한 바와 같은 현수 부재(2B)를 사용함으로써, 청징조(30)의 형상을 효과적으로 유지할 수 있다.
이어서, 도 5를 사용하여 청징조(30)가 청징조 형상 유지 수단(2)으로서 보강재(2C)를 구비한 예에 대하여 설명한다.
여기에서는, 본체(1)와 마찬가지의 재료인 백금 또는 백금 합금을 포함하는 보강재(2C)를, 복수로 분단한 본체(1)의 간극에 복수개 배치하여 형성하고 있다. 보강재(2C)는 청징조 본체(1)의 단면 형상에 대응하는 형상이며, 본체(1)의 직경과 동일한 정도이거나, 두께를 약간 두껍게 하여 링상으로 형성하고, 본체(1)와 용접에 의해 접속되고 있다(도 5의 (a) 및 (b)).
이러한 보강재(2C)를 일정한 간격으로 본체(1)에 배치시킴으로써, 보강재(2C)는 본체(1)의 골조와 같이 작용하여 본체(1)의 형상을 유지한다.
상술한 간격은, 현수 부재(2B)와 마찬가지로 300mm 이하 1mm 이상으로 하는 것이 적합하다. 보다 바람직하게는 150mm 이하의 간격으로 한다. 또한, 일례로서 보강재(2C)의 형상은 링의 폭이 1mm, 두께가 10mm 정도인 중공 원반상으로 한다.
보강재(2C)를 사용한 경우에도, 구조물(2A) 및 현수 부재(2B)를 사용한 경우와 마찬가지로, 본체(1)의 기상 공간 a에 접하는 부분이 기상 공간 a의 방향으로 현수되는 것을 방지할 수 있다.
청징조 형상 유지 수단으로서, 상기한 구조물(2A) 및 현수 부재(2B)와, 보강재(2C)를 조합하여 병용하는 형태로 형성할 수도 있다. 그 경우, 청징조(30)의 본체(1)의 기상 공간에 접하는 부분이 변형되는 것, 또는 현수되는 것을 더 효과적으로 방지하는 것을 기대할 수 있다.
상기와 같이 조합하여 형성할 때는, 현수 부재(2B)를 설치하는 위치와 보강재(2C)를 설치하는 위치가 겹치지 않도록 하여, 청징조(30)의 전체에 걸쳐 그 형상이 유지되도록 고려하는 것이 바람직하다.
또한, 청징조 본체(1)의 외표면에 용사막을 형성함으로써, 청징조 본체(1)의 외표면에 있어서의 휘발을 저감시킬 수 있다. 그로 인해, 청징조의 변형 방지 및 휘발 저감이라는 관점에서는, 청징조 형상 유지 수단(2)과 청징조 본체(1)의 외표면의 용사를 조합하여 사용하는 것이 바람직하다. 용사막은 적어도 청징조 본체(1)의 온도가 가장 높아지는 영역에 형성되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 용사막은 예를 들어 내화성 산화물을 포함하여 구성되는 것이 바람직하다. 내화성 산화물로서는, 지르코니아, 지르코니아와 Mg 및／또는 Y 화합물을 들 수 있다. 용사 방법으로서는 특별히 한정되지 않지만, 플라즈마 용사 등을 사용할 수 있다.
그런데, 유리 기판은 사용하는 청징제에 의해 청징 작용이 효과적으로 발휘되는 온도가 상이한 것이 알려져 있다. 예를 들어, As2O3(아비산)은 기포를 제거하는 능력이 우수하고, 청징 온도(용융 유리의 온도)도 1500℃ 정도의 범위이면 충분한다. 그러나 아비산은 환경 부하가 높기 때문에, 이미 설명한 바와 같이 최근에는 환경 부하가 높지 않은 청징제로서 SnO2(산화주석) 등이 사용되어 오고 있다. 그러나, 산화주석은 아비산과 비교하여 탈포 공정시에 기포를 방출하는 힘이 약하기 때문에, 유리의 점성을 낮게 하여 탈포 효과를 올릴 필요가 있고, 따라서 높은 온도에서 청징을 행할 필요가 있다. 예를 들어, 산화주석을 청징제로서 사용한 경우, 본체(1)에 있어서의 용융 유리의 온도는 1600℃ 이상인 것이 바람직하고, 예를 들어 1600℃ 내지 1700℃, 바람직하게는 1630℃ 내지 1710℃, 더욱 바람직하게는 1630℃ 내지 1720℃ 근방까지 승온된다. 즉, 청징조(30)의 온도를, 청징조(30)를 구성하는 본체(1)의 백금 또는 백금 합금의 내열 온도 근방까지 올릴 필요가 있다.
특히, LTPS 디스플레이용 유리 기판 및/또는 유기 EL 디스플레이용 유리 기판을 구성하는 유리는 점도가 높기 때문에, 청징을 충분히 행하기 위해서는 청징 공정에서의 용융 유리 온도의 최고 온도를 1640℃ 내지 1740℃로 하는 것이 바람직하다.
또한 청징조(30) 내에서, 용융 유리는 청징제의 산소 방출 반응이 촉진 되도록, 기포가 부상되기 쉬운 점도, 바람직하게는 120poise(포아즈)부터 400포아즈로 되도록, 청징조(30)에 공급되기 전에 가열된다. 예를 들어, 무알칼리 유리나 알칼리 금속 산화물의 합계량을 2질량％ 이하밖에 포함하지 않는 알칼리 미량 함유 유리(고온 점성 유리)는, 102. 5포아즈로 되는 온도가 1300℃ 이상, 바람직하게는 1400℃ 이상, 더욱 바람직하게는 1500℃ 이상이므로, 청징조 본체(1)의 온도는 1700℃ 이상, 바람직하게는 1710℃ 이상, 더욱 바람직하게는 1720℃ 근방까지 승온된다.
즉, 청징조(30)의 온도를, 청징조(30)를 구성하는 본체(1)의 백금 또는 백금 합금의 내열 온도 근방까지 올릴 필요가 있다.
따라서 본 발명은, 산화주석을 청징제로서 사용하는 유리 기판의 제조에 특히 적합하다. 또한, 본 발명은 고온 점성이 높은 유리 재료를 사용하여 유리 기판을 제조하는 경우에 특히 적합하다. 구체적으로는, 용융 유리가 102. 5포아즈로 되는 온도(용융 온도)가 1300℃ 이상인 유리 재료로 구성하는 경우에 특히 적합하다. 상기한 용융 온도는 1400℃ 이상, 나아가 1500℃ 이상의 용융 온도를 필요로 하는 유리 재료로 구성하는 경우에 보다 적합하다.
본 발명의 유리 기판의 제조 방법의 실시 시에, 실시 형태의 제조 방법에 한정되는 것은 아님은 명확하다. 예를 들어, 실시 형태에서 예시한 유리 원료 이외의 유리 원료에 대해서도, 종래부터 사용되어 온 범용의 원료를 사용하면 본 발명의 유리 기판의 제조 방법을 적용할 수 있다.
또한, 청징조 유지 수단에 관해서는, 예를 들어 구조물은 실시 형태의 구조물(2A)의 형상에 의하지 않고, 청징조 본체(1)의 상부에 있으며 본체(1)에 대한 상대 위치가 고정된 구조물이면 다른 형상의 것일 수도 있다. 또한, 현수 부재(2B)나 보강재(2C)의 형상에 대해서도 실시 형태의 형상에 한하지 않고, 다른 적합한 형상으로 할 수도 있다. 또한, 보호층(2Aa)과 지지체(2Ab) 중 적어도 어느 하나를 구비하고 있으면 된다. 또한, 현수 부재(2B)나 보강재(2C)를 배치하는 간격에 대해서도, 사용하는 청징조의 크기나 형상에 따라 적합한 배치 간격을 설정할 수 있다.
또한, 본 명세서에 있어서 「백금족 금속」은 백금족 원소를 포함하는 금속을 의미하고, 단일 백금족 원소를 포함하는 금속뿐만 아니라 백금족 원소의 합금을 포함하는 용어로서 사용한다. 즉, 「백금족 금속」은 백금 및 백금 합금을 포함한다. 여기서 백금족 원소란, 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 로듐(Rh), 루테늄(Ru), 오스뮴(Os), 이리듐(Ir)의 6원소를 가리킨다. 백금족 금속은 고가이지만, 융점이 높고, 용융 유리에 대한 내식성도 우수하다.
또한, 청징조는 도시한 바와 같이 원통형인 것이 바람직하지만, 용융 유리 MG를 그 내부에 수용하는 공간이 확보되어 있으면 그 형상에 제한은 없고, 예를 들어 그 외형이 직육면체 등일 수도 있다.
본 발명은, 오버플로우·다운로드법으로 유리를 성형하는 유리 기판의 제조에 적합하다. 오버플로우·다운로드법은 용융 유리를 쐐기 형상 성형체의 양측면을 따라 유하시키고, 상술한 쐐기 형상 성형체의 하단부에서 합류시킴으로써 판상 유리로 성형하고, 성형된 판상 유리를 서냉하고, 절단한다. 오버플로우·다운로드법은 용해시킨 유리를 어디에도 접촉하지 않고 수직 방향으로 인장하여 냉각시킴으로써, 매끄러운 표면을 실현할 수 있다. 그 후, 절단된 판상 유리는 고객의 사양에 맞게 소정의 크기로 더 절단되고, 단부면 연마, 세정 등이 행해져 출하된다.
본 발명은, 예를 들어 두께가 0.5 내지 0.7mm이고, 크기가 300×400mm 내지 2850×3050mm인 FPD용 유리 기판의 제조에 적합하다.
또한, 액정 표시 장치용 유리 기판 등은 그 표면에 반도체 소자가 형성되기 때문에, 알칼리 금속 성분을 전혀 함유하지 않거나 또는 포함되어 있어도 반도체 소자에 영향을 미치지 않을 정도의 미량인 것이 바람직하다. 또한, 액정 표시 장치용 유리 기판 등은 유리 기판 중에 기포가 존재하면 표시 결함의 원인으로 되기 때문에, 기포를 최대한 저감시키는 것이 바람직하다. 이러한 점에서, 액정 표시 장치용 유리 기판 등에서는 상술한 바와 같이 유리 조성, 용융 유리의 온도, 청징제 등이 선택되므로, 본 발명은 액정 표시 장치용 유리 기판 등의 제조에 적합하다.
그 외, 발명의 주지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 적합한 다른 형태에 대한 변경이 가능하다.
1: 본체(청징조 본체)
2: 청징조 형상 유지 수단
2A: 구조물
2Aa: 보호층(내화성 보호층)
2Ab: 지지체(내화성 지지체)
2B: 현수 부재
2Ba: 한 단부
2Bb: 다른 단부
2C: 보강재(청징조 형상 유지 수단)
10: 용융조
20, 40: 이송관
30: 청징조
100: 유리 기판 제조 장치
MG: 용융 유리
a: 기상 공간

Claims (9)

  1. 유리 기판의 제조 방법으로서,
    상기 제조 방법은,
    백금족 금속으로 구성된 청징조 본체의 내부에서 용융 유리를 가열하여 탈포를 행하는 청징 공정을 갖고,
    상기 청징조 본체의 내부에는, 상기 청징조 본체의 내부 표면과 용융 유리의 액면 사이에 기상 공간이 형성되고,
    상기 청징조 본체에는, 상기 청징조 본체 중 상기 기상 공간에 접하는 부분의 열에 의한 변형을 방지하기 위한 청징조 형상 유지 수단이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 제조 방법.
  2. 유리 기판의 제조 방법으로서,
    상기 제조 방법은, 관상의 청징조인 청징조 본체를 가열하면서, 상기 청징조 본체에 청징제를 배합시킨 용융 유리를 통과시켜 탈포 처리를 행하는 탈포 공정을 포함하고,
    상기 청징조 본체는,
    백금족 금속으로 구성되고,
    상기 청징조 본체에 청징제를 배합시킨 용융 유리를 통과시킬 때, 상기 청징조 본체의 내부 표면과 용융 유리의 액면 사이에 형성되는, 탈포용의 기상 공간을 갖고,
    상기 청징조에, 상기 청징조 본체 중 상기 기상 공간에 접하는 부분이 박화에 의해 상기 기상 공간 방향으로 현수되는 것을 방지하기 위한 청징조 형상 유지 수단을 설치하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 제조 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 청징조 본체의 외측에는 상기 청징조 본체를 덮도록 내화성 보호층이 형성되고,
    상기 청징조 형상 유지 수단은, 상기 청징조 본체의 외측과 상기 내화성 보호층을 긴밀히 유지하도록 설치되어 있는 것인 유리 기판의 제조 방법.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 청징조 본체 내의 용융 유리의 최고 온도는 1600℃ 이상인 유리 기판의 제조 방법.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 청징조 본체의 외측에는 상기 청징조 본체를 덮도록 내화성 지지체의 층이 형성되고,
    상기 청징조 형상 유지 수단은, 상기 청징조 본체의 외측에 돌출된 부재이며, 상기 부재는, 상기 부재의 선단 부분이 상기 내화성 지지체의 층에 위치하도록 연장되어 있는 것인 유리 기판의 제조 방법.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 청징조 형상 유지 수단은,
    상기 청징조 본체의 상부에 있는 구조물로서 상기 청징조 본체에 대한 상대 위치가 고정된 구조물과,
    상기 구조물을 개재하여 상기 청징조 본체의 상부를 현수하는 현수 부재로서, 한 단부가 상기 청징조 본체 외표면의 상부측에 접속되고, 다른 단부가 상기 구조물에 접속된 현수 부재로 구성되는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 제조 방법.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 용융 유리는 산화주석을 함유하는 것인 유리 기판의 제조 방법.
  8. 백금 또는 백금 합금으로 구성된 청징조 본체를 포함하는 청징조를 갖고,
    상기 청징조 본체의 내부에는, 상기 청징조 본체의 내부 표면과 청징조 본체 내부에 존재하는 용융 유리의 액면 사이에 기상 공간이 형성되고,
    상기 청징조 본체는, 상기 청징조 본체 중 상기 기상 공간에 접하는 부분의 열에 의한 변형을 방지하기 위한 청징조 형상 유지 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 제조 방법.
  9. 유리 기판의 제조 공정에 있어서 용융 유리의 탈포 처리를 행하기 위한 관상의 청징조인 청징조 본체를 갖는 유리 기판 제조 장치이며,
    상기 청징조 본체는,
    백금족 금속으로 구성되고,
    상기 청징조 본체의 내부 공간은, 상기 용융 유리의 액면과의 사이에 존재하는 탈포용의 기상 공간을 구비하고,
    상기 기상 공간에 대응하는 위치의 상기 청징조 본체가 현수되는 것을 방지하기 위한, 상기 청징조 본체의 형상을 유지하는 청징조 형상 유지 수단을 더 구비한 것을 특징으로 하는 유리 기판 제조 장치.
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