KR20130128415A - Slurry management device for wire saw - Google Patents

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Abstract

슬러리 폐액(3)을 받는 제 1 조(5A)와, 제 1 조(5A)의 슬러리 폐액(3b)을 도입하여 슬러리(2)를 분리하는 원심분리기(14)와, 원심분리기(14)로부터의 고형분 함유 슬러리(2)를 받는 제 2 조(5B)와, 제 2 조(5B)의 슬러리(2)를 고정 연마 입자 와이어 소(1)에 공급하는 슬러리 공급계로(26)와, 제 2 조(5B)의 슬러리(2)를 취출하여 순환하는 순환 유로(28)에 구비한 비중계(29)와 점도계(30)에 의한 검출값으로부터 슬러리 농도를 검출하는 제어기(41)와, 제 2 조(5B)의 슬러리(2)의 일부를 폐슬러리(31)로서 배출하는 슬러리 배출계로(33)와, 새 슬러리(2a)를 제 2 조(5B)에 공급하는 새 슬러리 공급계로(38)를 구비하고, 제어기(41)에서 검출되는 슬러리 농도가 규정 농도를 유지하도록, 슬러리 배출계로(33)에 의한 폐슬러리(31)의 배출과 새 슬러리 공급계로(38)에 의한 새 슬러리(2a)의 공급을 행한다. From the first tank 5A which receives the slurry waste liquid 3, the centrifuge 14 which introduces the slurry waste liquid 3b of the first tank 5A, and isolate | separates the slurry 2 from the centrifuge 14, 2nd tank 5B which receives the solid content-containing slurry 2, the slurry supply line 26 which supplies the slurry 2 of the 2nd tank 5B to the fixed abrasive particle wire saw 1, and the 2nd Controller 41 which detects slurry concentration from the detection value by the hydrometer 29 and the viscometer 30 with which the circulation path 28 which removes and circulates the slurry 2 of tank 5B, and Article 2 A slurry discharge system 33 for discharging a part of the slurry 2 of 5B as waste slurry 31 and a new slurry supply system 38 for supplying the new slurry 2a to the second tank 5B. And discharge of the waste slurry 31 by the slurry discharge system 33 and the new slurry 2a by the new slurry supply system 38 so that the slurry concentration detected by the controller 41 maintains the prescribed concentration. supply It is carried out.

Figure P1020137015183
Figure P1020137015183

Description

와이어 소의 슬러리 관리 장치{SLURRY MANAGEMENT DEVICE FOR WIRE SAW}SLURRY MANAGEMENT DEVICE FOR WIRE SAW

본 발명은 고정 연마 입자 와이어 소(wire saw)에 공급하는 슬러리의 조정이 용이하고 또한 안정된 절단을 도모할 수 있도록 한 와이어 소의 슬러리 관리 장치에 관한 것이다. TECHNICAL FIELD The present invention relates to a wire saw slurry management device which enables easy adjustment of the slurry supplied to a fixed abrasive grain wire saw and enables stable cutting.

종래부터, 절단 대상 워크(예를 들면, 실리콘 잉곳)를 절단하여 웨이퍼를 형성하기 위한 장치로서 와이어 소가 사용되고 있다. 이 와이어 소에는 텐션을 부여한 가는 와이어 열(列)을 주행시키고, 그 와이어 열에 절삭 열(熱)을 제거하는 쿨런트에 절삭을 행하기 위한 연마 입자를 함유시킨 슬러리를 분사하면서 피절단물을 와이어 열에 가압함으로써, 피절단물을 복수장의 웨이퍼상으로 동시에 절단하도록 한 유리(遊離) 연마 입자 와이어 소가 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조). Conventionally, wire saws have been used as an apparatus for cutting a workpiece to be cut (for example, a silicon ingot) to form a wafer. The wire saw is subjected to a thin wire row to which tension is applied, and the cut object is wired while spraying a slurry containing abrasive grains for cutting to a coolant that removes cutting heat from the wire row. There exists a glass abrasive grain wire saw which cut | disconnected the to-be-processed object simultaneously in the form of several sheets by pressing to heat (for example, refer patent document 1).

또한, 최근, 가는 와이어의 표면에 다이아몬드 연마 입자 등을 미리 부착한 고정 연마 입자 와이어 열을 사용하고, 그 와이어 열에 쿨런트인 슬러리를 분사하면서 피절단물을 와이어 열에 가압함으로써, 피절단물을 복수장의 웨이퍼상으로 동시에 절단하도록 한 고정 연마 입자 와이어 소가 있다(예를 들면, 특허문헌 2 참조). Further, recently, by using a fixed abrasive particle wire row previously attached with diamond abrasive particles or the like on the surface of a thin wire, and pressing the cutting object against the wire row while spraying a coolant slurry on the wire row, a plurality of the to-be-cut objects are There is a fixed abrasive grain wire saw that is simultaneously cut onto a wafer (see Patent Document 2, for example).

상기 유리 연마 입자 와이어 소 및 고정 연마 입자 와이어 소에서는, 실리콘 잉곳을 절단하여 다수의 웨이퍼를 형성하기 위해서, 절단 작업의 개시부터 종료까지 동안을 1개의 뱃치 조작으로 행하고 있는 것이 일반적이다. 또한, 이러한 와이어 소로부터의 슬러리 폐액은, 자원의 유효 활용, 폐기물의 감용화(減容化) 등을 위해, 분리 회수를 하여 재이용하는 것에 의한 슬러리 관리가 검토되고 있다. In the said glass abrasive grain wire saw and the fixed abrasive grain saw, in order to cut | disconnect a silicon ingot and form many wafers, it is common to perform one batch operation from the start to the end of a cutting operation | work. In addition, the slurry management by separating and reusing the slurry waste liquid from such wire saws for the effective utilization of resources, the reduction of waste, etc. is examined.

상기 유리 연마 입자 와이어 소에서는 쿨런트에 연마 입자를 혼합한 슬러리를 와이어에 공급하여 실리콘 잉곳을 절단하고 있기 때문에, 유리 연마 입자 와이어 소로부터 배출되는 슬러리 폐액은 쿨런트에 연마 입자(SiC)와 절삭 부스러기(Si)가 혼합된 상태로 되어 있다. 이로 인해, 이러한 슬러리 폐액을 분리 회수하기 위해서는 슬러리 폐액을 쿨런트와 고형분으로 분리하는 동시에, 고형분은 연마 입자=회수, 절삭 부스러기=폐기의 2단계를 밟아 분리하게 된다. 여기에서, 연속 분리를 행하고자 한 경우에는, 슬러리 폐액을 연속적으로 추출하고, 그 추출량과 각각의 회수량을 감시하면서 연마 입자의 회수, 절삭 부스러기의 폐기, 새 쿨런트와 새 연마 입자의 조합, 재생 슬러리의 반송과 같은 복잡한 조작을 행할 필요가 있어 관리가 어렵다고 하는 문제가 있다. 이로 인해, 유리 연마 입자 와이어 소로부터의 슬러리 폐액의 슬러리 관리는 일반적으로 뱃치식이 주류가 되고 있다. In the glass abrasive particle wire saw, since the silicon ingot is cut by supplying a wire with a slurry mixed with abrasive particles to the coolant, the slurry waste liquid discharged from the glass abrasive particle wire saw cuts the abrasive particles (SiC) and the coolant into the coolant. Debris Si is in a mixed state. Therefore, in order to separate and recover such slurry waste liquid, the slurry waste liquid is separated into a coolant and a solid component, and the solid component is separated through two stages of abrasive particles = recovery and cutting debris = waste. Here, in the case where the continuous separation is to be performed, the slurry waste liquid is continuously extracted, and the recovery amount and the respective recovery amount are monitored, and the recovery of the abrasive particles, the disposal of the cutting debris, the combination of the new coolant and the new abrasive particles, There is a problem that it is difficult to manage because it is necessary to perform a complicated operation such as conveying the regenerated slurry. For this reason, in general, the batch management of the slurry waste liquid from the glass abrasive grain wire saw becomes the mainstream.

또한, 상기 고정 연마 입자 와이어 소에서는 쿨런트만으로 이루어지는 슬러리를 고정 연마 입자 와이어에 공급하여 실리콘 잉곳을 절단하고 있기 때문에, 고정 연마 입자 와이어 소로부터 배출되는 슬러리 폐액은 쿨런트에 절삭된 실리콘 입자 등이 혼합된 것이 되고 있다. In addition, in the fixed abrasive particle wire saw, since the slurry made up of coolant is supplied to the fixed abrasive particle wire to cut the silicon ingot, the slurry waste liquid discharged from the fixed abrasive particle wire saw may contain silicon particles cut into the coolant. It is mixed.

일본 공개특허공보 제(평)11-309674호Japanese Patent Laid-Open No. 11-309674 일본 공개특허공보 제2010-29998호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2010-29998

상기 고정 연마 입자 와이어 소에서는 상기 유리 연마 입자 와이어 소에 비해 절단 속도를 대폭 높일 수 있는 것이 알려져 있고, 절단 속도가 빠르기 때문에, 슬러리의 품질(즉, 슬러리 중의 고형분의 비중으로부터 얻어지는 농도에 대해 고형분의 점도로부터 얻어지는 입자 직경을 고려한 절단성을 나타내는 슬러리 농도)을 정밀하게 제어하지 않으면, 절단 품질이 안정되지 않는다고 하는 문제가 있다. 즉, 슬러리 중의 고형분 농도가 높아도, 고형분의 입자 직경이 작고 점도가 높은 경우에는 절단성은 저하된다. 뱃치식의 슬러리 관리에서는 절단 개시시와 절단 종료시의 슬러리 농도가 크게 변화되어 절단 품질이 변화되게 되기 때문에, 고정 연마 입자 와이어 소의 슬러리 폐액의 관리에 뱃치식을 채용하는 것은 곤란하다. 또한, 뱃치식을 사용하여 안정된 품질의 슬러리를 고정 연마 입자 와이어 소에 공급하기 위해서는 대량의 슬러리를 저류해 둘 필요가 있기 때문에, 설비 및 비용이 증가한다고 하는 문제가 있다. In the fixed abrasive wire saw, it is known that the cutting speed can be significantly increased as compared with the glass abrasive grain wire saw, and since the cutting speed is high, the solid content of the solid content with respect to the concentration obtained from the specific gravity of the solid content in the slurry There is a problem that the cutting quality is not stable unless the slurry concentration exhibiting the cutting property in consideration of the particle diameter obtained from the viscosity is precisely controlled. That is, even if the solid content concentration in a slurry is high, when the particle diameter of solid content is small and a viscosity is high, cutting property will fall. In batch slurry management, the slurry concentration at the start of cutting and at the end of cutting is greatly changed and the cutting quality is changed. Therefore, it is difficult to employ the batch type for the management of the slurry waste liquid of the fixed abrasive grain wire saw. Moreover, in order to supply a slurry of stable quality to a fixed abrasive grain wire saw using a batch type | mold, it is necessary to store a large amount of slurry, and there exists a problem that equipment and cost increase.

이로 인해, 고정 연마 입자 와이어 소의 슬러리 폐액의 관리에는 소량의 슬러리를 사용하여 절단한 슬러리 폐액을 연속 분리하여 재이용하는 관리가 바람직하지만, 종래, 슬러리 폐액으로부터 고체 입자를 용이하게 안정적으로 분리할 수 있고, 게다가, 절단에 적합한 슬러리 농도로 조정한 슬러리를 고정 연마 입자 와이어 소에 안정 공급할 수 있도록 한 슬러리의 관리에 관해서 개시한 것은 존재하고 있지 않다. For this reason, management of the slurry waste liquid cut | disconnected using a small amount of slurry is preferable for management of the slurry waste liquid of a fixed abrasive particle wire saw, However, solid particle can be easily and stably separated from a slurry waste liquid conventionally, In addition, there is no disclosure regarding the management of the slurry in which the slurry adjusted to the slurry concentration suitable for cutting can be stably supplied to the fixed abrasive grain wire saw.

본 발명의 목적은 상기 종래의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 고정 연마 입자 와이어 소에 공급하는 슬러리의 조정이 용이하고 또한 안정된 절단을 도모할 수 있도록 한 와이어 소의 슬러리 관리 장치를 제공하는 것에 있다. DISCLOSURE OF THE INVENTION An object of the present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to provide a slurry management apparatus for a wire saw that enables easy adjustment of the slurry supplied to the fixed abrasive grain wire saw and enables stable cutting.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 와이어 소의 슬러리 관리 장치는 고정 연마 입자 와이어 소로부터의 슬러리 폐액을 받아 저류하는 제 1 조와, 상기 제 1 조의 슬러리 폐액을 도입하여 고체 입자를 분리하는 원심 분리기와, 상기 원심 분리기로 고체 입자가 분리된 고형분 함유 슬러리를 받아서 저류하는 제 2 조와, 상기 제 2 조의 슬러리를 상기 고정 연마 입자 와이어 소에 공급하는 슬러리 공급계로와, 상기 제 2 조의 슬러리를 취출하여 순환하는 순환 유로에 구비한 비중계 및 점도계와, 상기 비중계에 의한 비중 검출값과 상기 점도계에 의한 점도 검출값을 도입하여, 슬러리 중의 고형분의 비중으로부터 얻어지는 농도에 대해 고형분의 점도로부터 얻어지는 입자 직경을 고려한 슬러리 농도를 검출하는 제어기와, 제 2 조의 슬러리의 일부를 폐슬러리로서 배출하는 슬러리 배출계로와, 새 슬러리를 상기 제 2 조에 공급하는 새 슬러리 공급계로를 구비하고, 상기 제어기는 상기 검출하고 있는 슬러리 농도가 규정 농도를 유지하도록, 상기 슬러리 배출계로에 의한 폐슬러리의 배출과 새 슬러리 공급계로에 의한 새 슬러리의 공급을 행하도록 한 것을 특징으로 하고 있다. In order to achieve the above object, the wire saw slurry management apparatus of the present invention comprises a first tank for receiving and storing the slurry waste liquid from the fixed abrasive particle wire saw, and a centrifugal separator for introducing the slurry waste liquid of the first tank to separate solid particles. And a second tank for receiving and storing the solid-containing slurry in which the solid particles are separated by the centrifugal separator, a slurry supply system for supplying the slurry of the second tank to the fixed abrasive particle wire saw, and taking out and circulating the slurry of the second tank. The slurry which considered the particle diameter obtained from the viscosity of solid content with respect to the density | concentration obtained from the specific gravity of solid content in a slurry by introduce | transducing the hydrometer and a viscometer provided in the circulation flow path to make, the density detection value by the said hydrometer, and the viscosity meter by the said viscosity meter. The controller which detects a density, and a part of slurry of Article 2 are closed A slurry discharge system for discharging as a slurry and a new slurry supply system for supplying new slurry to the second tank, wherein the controller is configured to supply waste slurry by the slurry discharge system so that the detected slurry concentration maintains a prescribed concentration. And supplying a new slurry by the new slurry supply system.

상기 와이어 소의 슬러리 관리 장치에 있어서, 상기 제 1 조에 사이클론 분리기를 구비하고, 상기 고정 연마 입자 와이어 소로부터의 슬러리 폐액을 사이클론 분리기로 유도하여 고체 입자의 농도를 높인 슬러리 폐액을 상기 원심 분리기에 공급하는 것은 바람직하다. In the wire saw slurry management device, the first tank is provided with a cyclone separator, and the slurry waste liquid from the fixed abrasive particle wire saw is led to a cyclone separator to supply the slurry waste liquid having a higher concentration of solid particles to the centrifuge. It is desirable.

또한, 상기 와이어 소의 슬러리 관리 장치에 있어서, 상기 규정 농도가 고정 연마 입자 와이어 소에 의한 안정 절단이 가능한 최대 농도인 것은 바람직하다. Moreover, in the said wire saw slurry management apparatus, it is preferable that the said prescribed concentration is the largest density which can be stably cut by the fixed abrasive grain wire saw.

또한, 상기 와이어 소의 슬러리 관리 장치에 있어서, 상기 제 1 조와 제 2 조를 일체로 구성하고, 제 1 조의 슬러리 폐액이 오버플로우벽을 개재하여 제 2 조에 공급되도록 한 것은 바람직하다. Moreover, in the said wire saw slurry management apparatus, it is preferable that the said 1st tank and the 2nd tank were comprised integrally, and the slurry waste liquid of 1st tank was supplied to 2nd tank through an overflow wall.

본 발명의 와이어 소의 슬러리 관리 장치에 의하면, 제 1 조에 받아들인 슬러리 폐액을 원심 분리기로 유도하여 고체 입자를 분리함으로써 얻은 고형분 함유 슬러리를 제 2 조에 공급하고, 상기 제 2 조의 슬러리를 고정 연마 입자 와이어 소에 공급하도록 하고, 제 2 조의 슬러리의 고형분 농도를 나타내는 비중에 대해 고형분의 입자 직경을 나타내는 점도를 고려한 슬러리 농도가 규정 농도가 되도록, 제 2 조의 슬러리의 일부를 폐슬러리로서 배출하는 동시에, 새 슬러리를 상기 제 2 조에 공급하도록 했기 때문에, 비교적 작은 용적의 제 1 조와 제 2 조 및 원심 분리기에 의해 슬러리 폐액으로부터 규정 농도의 슬러리를 안정적으로 생성할 수 있고, 또한 규정 농도의 슬러리를 고정 연마 입자 와이어 소에 공급함으로써 항상 안정된 절단을 확보할 수 있다고 하는 우수한 효과를 나타낼 수 있다. According to the wire saw slurry management apparatus of this invention, the slurry containing liquid obtained by guide | inducing the slurry waste liquid received in Article 1 by the centrifugal separator and isolate | separating solid particle is supplied to Article 2, and the said 2nd slurry is fixed abrasive particle wire A part of the slurry of Article 2 is discharged as waste slurry so that the slurry concentration in consideration of the viscosity representing the particle diameter of the solid content is set to the prescribed concentration with respect to the specific gravity indicating the solid content concentration of the slurry in the second tank. Since the slurry was supplied to the second tank, the slurry of the prescribed concentration can be stably produced from the slurry waste liquid by the first and second tanks and the centrifuge of the relatively small volume, and the slurry of the prescribed concentration can be stably Stable cutting can be ensured at all times by supplying the wire saw Which may indicate an excellent effect.

도 1은 본 발명에 있어서의 와이어 소의 슬러리 관리 장치의 하나의 실시예를 도시하는 블록도이다.
도 2는 본 발명에 의한 슬러리의 관리와, 종래에 있어서 슬러리 폐액을 뱃치 처리했을 때의 관리를 비교하여 도시한 선도이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a block diagram which shows one Example of the wire saw slurry management apparatus in this invention.
2 is a diagram showing a comparison between management of a slurry according to the present invention and management when a slurry waste liquid is batch processed in the related art.

이하, 본 발명의 실시형태를 도시예와 함께 설명한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1은 본 발명에 있어서의 와이어 소의 슬러리 관리 장치의 하나의 실시예를 도시하는 블록도이며, 도면 중, 도면부호 1은 고정 연마 입자 와이어 소이며, 고정 연마 입자 와이어 소(1)에서는 쿨런트로 이루어지는 슬러리(2)가 공급되어 도시하지 않는 고정 연마 입자 와이어에 의해 잉곳을 절단하고 있으며, 고정 연마 입자 와이어 소(1)로부터 배출되는 슬러리 폐액(3)은 액 수용 용기(4)에서 받고 있다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a block diagram which shows one Example of the wire saw slurry management apparatus in this invention, In the figure, the code | symbol 1 is a fixed abrasive grain wire saw, In the fixed abrasive particle wire saw 1, it is a coolant. The ingot is cut | disconnected by the fixed abrasive grain wire which is not shown in figure, and the slurry 2 which consists of these is received, and the slurry waste liquid 3 discharged | emitted from the fixed abrasive grain wire saw 1 is received in the liquid container 4.

도면 중, 도면부호 5는 저장조이며, 상기 저장조(5)는 내부에 구비한 오버플로우벽(6)에 의해 구획된 제 1 조(5A)와 제 2 조(5B)를 형성하고 있으며, 제 1 조(5A)에는 하측을 향하여 끝이 가는 형상의 사이클론 분리기(7)가 설치되어 있다. In the figure, reference numeral 5 denotes a reservoir, and the reservoir 5 forms a first tank 5A and a second tank 5B partitioned by an overflow wall 6 provided therein. 5 A of tanks are provided with the cyclone separator 7 of the shape which has an edge toward a downward side.

상기 액 수용 용기(4)의 슬러리 폐액(3)은 펌프(8)를 구비한 폐액 취입계로(取入系路)(9)에 의해 상기 제 1 조(5A)에 설치한 사이클론 분리기(7)에 공급되도록 되어 있다. 즉, 폐액 취입계로(9)는 상기 끝이 가는 형상의 사이클론 분리기(7)의 대직경부에 설치한 접선 방향의 도입구(10)에 대해 슬러리 폐액(3)을 도입하도록 접속되어 있고, 이것에 의해 사이클론 분리기(7)의 소직경단(11)으로부터는 슬러리 농도가 높아진 슬러리 폐액(3b)이 취출되고, 또한, 대직경측의 중심구(12)로부터는 슬러리 농도가 저하된 슬러리 폐액(3a)이 제 1 조(5A) 내로 배출되도록 되어 있다. The slurry waste liquid 3 of the liquid container 4 is a cyclone separator 7 installed in the first tank 5A by a waste liquid blowing system 9 having a pump 8. It is supposed to be supplied to. That is, the waste liquid injection passage 9 is connected to introduce the slurry waste liquid 3 into the tangential inlet 10 provided in the large diameter portion of the thin cyclone separator 7. As a result, the slurry waste liquid 3b having a high slurry concentration is taken out from the small diameter end 11 of the cyclone separator 7, and the slurry waste liquid 3a having a reduced slurry concentration from the central hole 12 on the large diameter side. It is supposed to be discharged into this Article 5A.

상기 사이클론 분리기(7)의 소직경단(11)은 취출계로(13)를 개재하여 원심 분리기(14)에 접속되어 있고, 상기 소직경단(11)으로부터의 슬러리 농도가 높아진 슬러리 폐액(3b)은 원심 분리기(14)에 의해 입자 직경이 큰 고체 입자(15)와, 고체 입자의 함유가 저하된 고형분 함유 슬러리(2)로 나뉘어지고, 고체 입자(15)는 회수 용기(16)에 회수되고, 슬러리(2)는 슬러리 탱크(17)에 회수된다. The small diameter end 11 of the cyclone separator 7 is connected to the centrifuge 14 via the extraction system 13, and the slurry waste liquid 3b in which the slurry concentration from the small diameter end 11 has become high is centrifuged. The separator 14 is divided into a solid particle 15 having a large particle diameter and a solid content-containing slurry 2 in which the content of the solid particles is reduced, and the solid particles 15 are recovered to the recovery vessel 16 and the slurry. 2 is recovered to the slurry tank 17.

상기 슬러리 탱크(17)의 슬러리(2)는 펌프(18)를 구비한 공급관(19)에 의해 상기 제 2 조(5B)에 공급하도록 하고 있다. 상기 취출계로(13)와 공급관(19)에는 비중계(23, 24)가 설치되어 있고, 이 비중계(23, 24)에 의한 비중의 계측에 의해 원심 분리기(14)에서의 고체 입자의 제거율이 구해지도록 되어 있다. The slurry 2 of the said slurry tank 17 is supplied to the said 2nd tank 5B by the supply pipe 19 provided with the pump 18. As shown in FIG. The extraction system 13 and the supply pipe 19 are provided with hydrometers 23 and 24, and the removal rate of the solid particles in the centrifuge 14 is determined by measuring the specific gravity by the hydrometers 23 and 24. It is meant to be built.

상기 제 2 조(5B) 내부의 슬러리(2)는 펌프(25)를 갖는 슬러리 공급계로(26)에 의해 상기 고정 연마 입자 와이어 소(1)에 공급되도록 되어 있다. 또한, 상기 제 2 조(5B) 내부의 슬러리(2)를 펌프(27)에 의해 취출하여 다시 상기 제 2 조(5B)로 되돌리는 순환 유로(28)가 설치되어 있고, 상기 순환 유로(28)에는 비중계(29)와 온도계(30a)가 부속된 점도계(30)를 설치하고 있다. The slurry 2 in the second tank 5B is supplied to the fixed abrasive particle wire saw 1 by the slurry supply passage 26 having the pump 25. Moreover, the circulation flow path 28 which takes out the slurry 2 in the said 2nd tank 5B with the pump 27, and returns it to the said 2nd tank 5B is provided, The said circulation flow path 28 ) Is provided with a viscometer 30 with a hydrometer 29 and a thermometer 30a attached thereto.

상기 순환 유로(28)에는 순환하고 있는 슬러리(2)를 폐슬러리(31)로서 폐슬러리 탱크(32)로 배출하기 위한 슬러리 배출계로(33)가 설치되어 있고, 상기 순환 유로(28)와 슬러리 배출계로(33)에는 슬러리(2)를 폐슬러리 탱크(32)로 배출하도록 전환하는 밸브(34, 35)를 설치하고 있다. 한편, 상기에서는 슬러리 배출계로(33)를 순환 유로(28)에 접속하여 설치한 경우에 관해서 설명했지만, 상기 제 2 조(5B)의 슬러리(2)를 폐슬러리 탱크(32)에 직접 배출하도록 슬러리 배출계로(33)를 독립적으로 설치하도록 해도 좋다. The circulation passage 28 is provided with a slurry discharge passage 33 for discharging the slurry 2 circulated as the waste slurry 31 to the waste slurry tank 32. The circulation passage 28 and the slurry are provided. The discharge system 33 is provided with valves 34 and 35 for switching the slurry 2 to be discharged to the waste slurry tank 32. In the above description, the case where the slurry discharge passage 33 is connected to the circulation passage 28 has been described. However, the slurry 2 of the second tank 5B is directly discharged to the waste slurry tank 32. The slurry discharge system 33 may be provided independently.

또한, 상기 제 2 조(5B)에는 새 슬러리 탱크(36)에 저류된 새 슬러리(2a)를 펌프(37)에 의해 공급하도록 한 새 슬러리 공급계로(38)가 접속되어 있다. 도 1 중, 도면부호 39는 제 2 조(5B)에 설치한 교반기, 도면부호 40은 상기 제 1 조(5A)의 슬러리 폐액(3a)이 오버플로우벽(6)을 넘어 상기 제 2 조(5B)로 유입되었을 때에 슬러리 폐액(3a)을 하방을 향하게 하여 교반기(39)에 의해 교반되도록 안내하는 가이드 벽이다. The second tank 5B is also connected to a new slurry supply passage 38 for supplying the new slurry 2a stored in the new slurry tank 36 by the pump 37. In Fig. 1, reference numeral 39 denotes an agitator installed in the second tank 5B, and reference numeral 40 indicates that the slurry waste liquid 3a of the first tank 5A extends beyond the overflow wall 6 to the second tank ( It is a guide wall which guides so that the slurry waste liquid 3a may be directed downward and stirred by the stirrer 39 when it flows into 5B).

도 1 중, 도면부호 41은 제어기이며, 제어기(41)는 상기 비중계(29)에 의한 비중 검출값과 상기 온도계(30a)가 부속된 점도계(30)에 의한 점도·온도 검출값을 입력하여, 슬러리(2) 중의 고형분의 입자 직경을 고려한 슬러리 농도(고정 연마 입자 와이어 소(1)에서의 절단 성능에 관계되는 값)를 검출하고 있다. 그리고, 제어기(41)에 있어서 검출하고 있는 슬러리 농도가 규정 농도에 도달한 경우에는, 제어기(41)는 상기 밸브(34, 35)를 조작하여 제 2 조(5B) 내의 소정량의 슬러리(2)를 폐슬러리(31)로서 폐슬러리 탱크(32)로 배출하고, 동시에, 펌프(37)를 구동하여, 새 슬러리 탱크(36)에 저류된 새 슬러리(2a)를 상기 배출된 폐슬러리(31)와 등량만큼 제 2 조(5B)에 공급한다. 이것에 의해, 제 2 조(5B) 내의 슬러리(2)의 슬러리 농도는 규정 농도 이하로 회복하게 된다. In Fig. 1, reference numeral 41 denotes a controller, and the controller 41 inputs a specific gravity detection value by the hydrometer 29 and a viscosity and temperature detection value by the viscometer 30 to which the thermometer 30a is attached. The slurry concentration (value related to the cutting performance in the fixed abrasive grain wire saw 1) in consideration of the particle diameter of the solid content in the slurry 2 is detected. Then, when the slurry concentration detected by the controller 41 reaches the prescribed concentration, the controller 41 operates the valves 34 and 35 to control the predetermined amount of slurry 2 in the second tank 5B. ) Is discharged to the waste slurry tank 32 as waste slurry 31, and at the same time, the pump 37 is driven to discharge the discharged waste slurry 31 with the new slurry 2a stored in the new slurry tank 36. ) And the same amount is supplied to Article 2B. As a result, the slurry concentration of the slurry 2 in the second tank 5B is restored to the specified concentration or less.

다음에, 상기 실시예의 작동을 설명한다. Next, the operation of the above embodiment will be described.

고정 연마 입자 와이어 소(1)로부터 액 수용 용기(4)로 배출된 슬러리 폐액(3)은 펌프(8)의 작동에 의해 폐액 취입계로(9)를 개재하여 상기 제 1 조(5A)에 설치한 사이클론 분리기(7)에 공급된다. 그러면, 사이클론 분리기(7)의 소직경단(11)으로부터는 슬러리 농도가 높아진 슬러리 폐액(3b)이 취출되고, 또한, 대직경측의 중심구(12)로부터는 슬러리 농도가 저하된 슬러리 폐액(3a)이 제 1 조(5A) 내로 배출된다. The slurry waste liquid 3 discharged from the fixed abrasive grain wire saw 1 to the liquid container 4 is installed in the first tank 5A via the waste liquid intake passage 9 by the operation of the pump 8. One cyclone separator 7 is supplied. Then, the slurry waste liquid 3b in which the slurry concentration was high was taken out from the small diameter end 11 of the cyclone separator 7, and the slurry waste liquid 3a in which the slurry concentration was reduced from the center hole 12 on the large diameter side. ) Is discharged into Article 5A.

상기 사이클론 분리기(7)의 소직경단(11)으로부터의 슬러리 농도가 높은 슬러리 폐액(3b)은 취출계로(13)를 개재하여 원심 분리기(14)에 공급됨으로써, 고체 입자(15)와, 고체 입자의 함유가 저하된 고형분 함유 슬러리(2)로 나뉘어지고, 고체 입자(15)는 회수 용기(16)에 회수되고, 슬러리(2)는 슬러리 탱크(17)에 회수된다. 이 때, 원심 분리기(14)는 공급되는 슬러리의 농도가 높을수록 높은 분리 성능을 발휘하기 때문에, 상기한 바와 같이 사이클론 분리기(7)에 의해 슬러리 농도를 높인 슬러리 폐액(3b)을 원심 분리기(14)에 공급함으로써, 원심 분리기(14)는 효과적으로 고체 입자(15)를 분리한다. The slurry waste liquid 3b having a high slurry concentration from the small diameter end 11 of the cyclone separator 7 is supplied to the centrifugal separator 14 via the extraction system 13, whereby the solid particles 15 and the solid particles are supplied. The solid content-containing slurry 2 is divided into the solid content-containing slurry 2, and the solid particles 15 are recovered to the recovery vessel 16, and the slurry 2 is recovered to the slurry tank 17. At this time, since the centrifugal separator 14 exhibits a high separation performance as the concentration of the slurry supplied is higher, the slurry waste liquid 3b having the slurry concentration increased by the cyclone separator 7 as described above is subjected to the centrifugal separator 14. ), The centrifuge 14 effectively separates the solid particles 15.

원심 분리기(14)에 의해 슬러리 탱크(17)에 회수된 슬러리(2)는 펌프(18)의 작동에 의해 공급관(19)을 개재하여 상기 제 2 조(5B)에 공급되고, 또한, 상기 제 2 조(5B)의 슬러리(2)는 펌프(25)의 작동에 의해 슬러리 공급계로(26)를 개재하여 상기 고정 연마 입자 와이어 소(1)에 공급되어 순환 사용되게 된다. The slurry 2 recovered to the slurry tank 17 by the centrifugal separator 14 is supplied to the said 2nd tank 5B via the supply pipe 19 by the operation of the pump 18, and the said The slurry 2 of 2 tank 5B is supplied to the said fixed abrasive grain wire saw 1 through the slurry supply line 26 by the operation of the pump 25, and is used for circulation.

상기 제 2 조(5B)에 구비하고 있는 순환 유로(28)에 설치한 비중계(29)로부터의 비중 검출값과 온도계(30a)가 부속된 점도계(30)로부터의 점도·온도 검출값이 제어기(41)에 입력되고 있고, 제어기(41)는 슬러리(2) 중의 고형분의 입자 직경을 고려한 슬러리 농도를 검출하고 있다. The specific gravity detection value from the hydrometer 29 provided in the circulation flow path 28 with which the said 2nd tank 5B is equipped, and the viscosity and temperature detection value from the viscometer 30 with which the thermometer 30a was attached are controlled by the controller ( 41), the controller 41 detects the slurry concentration in consideration of the particle diameter of the solid content in the slurry 2.

도 2는 본 발명에 의한 슬러리의 관리와, 종래에 있어서의 슬러리 폐액을 뱃치 처리했을 때의 관리를 비교하여 도시한 것이며, 가로축에 시간, 세로축에 비중을 나타내고 있다. 여기에서, 본 발명의 관리에서는 비중과 함께 점도를 검출함으로써, 고정 연마 입자 와이어 소(1)에서의 절단 성능에 영향을 주는 슬러리 농도를 검출하고 있다. 즉, 상기 원심 분리기(14)에 의한 분리에서는 그 특성상 소입자 직경의 고체 입자(고형분)가 축적되게 되고, 이로 인해, 슬러리 중의 고형분 농도는 유지되고 있어도, 고형분의 미세 입자가 증가하여 점도가 높아짐으로써, 고정 연마 입자 와이어 소(1)에 의한 절단 성능이 저하되는 문제가 있고, 이 문제를 해소하기 위해서, 상기 슬러리(2) 중의 고형분의 입도를 고려한 슬러리 농도를 구하여 제어하고 있다. Fig. 2 compares the management of the slurry according to the present invention with the management when the slurry waste liquid in the prior art is batch processed, and shows the specific gravity on the horizontal axis and the time on the vertical axis. Here, in the management of this invention, the slurry concentration which affects the cutting performance in the fixed abrasive grain wire saw 1 is detected by detecting a viscosity with specific gravity. That is, in the separation by the centrifugal separator 14, solid particles (solid content) having a small particle diameter accumulate due to their characteristics, and thus, even if the solid content concentration in the slurry is maintained, the fine particles of the solid content increase and the viscosity becomes high. As a result, there is a problem that the cutting performance by the fixed abrasive grain wire saw 1 is lowered. In order to solve this problem, the slurry concentration in consideration of the particle size of the solid content in the slurry 2 is obtained and controlled.

상기 슬러리 농도가 도 2에 도시하는 규정 농도(S)보다 낮을 때는, 제 2 조(5B)의 슬러리(2)를 그대로 상기 고정 연마 입자 와이어 소(1)에 공급하는 작업을 계속한다. 이 때, 도 2의 X는 고정 연마 입자 와이어 소(1)에 의한 절단을 안정적으로 행할 수 있는 한계값이며, 상기 규정 농도(S)는 상기 한계값(X)에 가까운, 고정 연마 입자 와이어 소(1)에 의한 안정 절단이 가능한 최대 농도이다. When the slurry concentration is lower than the prescribed concentration S shown in FIG. 2, the operation of supplying the slurry 2 of the second tank 5B to the fixed abrasive grain wire saw 1 as it is is continued. At this time, X in FIG. 2 is a threshold value capable of stably cutting by the fixed abrasive grain wire saw 1, and the specified concentration S is close to the threshold value X. The maximum concentration at which stable cleavage by (1) is possible.

상기 제어기(41)에서 검출하고 있는 슬러리 농도가 도 2의 규정 농도(S)에 도달한 경우에는, 제어기(41)는 상기 밸브(34, 35)를 조작하여 제 2 조(5B) 내의 소정량의 슬러리(2)를 폐슬러리(31)로서 폐슬러리 탱크(32)로 배출하고, 동시에, 펌프(37)를 구동하여, 새 슬러리 탱크(36)의 새 슬러리(2a)를 상기 배출된 폐슬러리(31)와 동등량만큼 제 2 조(5B)에 공급한다. 이것에 의해, 제 2 조(5B) 내의 슬러리(2)는 새 슬러리(2a)에 의해 희석되어, 슬러리 농도는 규정 농도(S) 이하로 회복되게 된다. When the slurry concentration detected by the controller 41 reaches the prescribed concentration S of FIG. 2, the controller 41 operates the valves 34 and 35 to determine a predetermined amount in the second tank 5B. Of the slurry 2 is discharged to the waste slurry tank 32 as waste slurry 31, and at the same time, the pump 37 is driven to transfer the new slurry 2a of the new slurry tank 36 to the discharged waste slurry. It supplies to Article 5B by the amount equivalent to (31). As a result, the slurry 2 in the second tank 5B is diluted by the new slurry 2a, so that the slurry concentration is restored to the specified concentration S or less.

상기 조작에 의해, 제 2 조(5B) 내의 슬러리(2)는 항상 도 2의 규정 농도(S) 이하로 안정적으로 유지되게 되고, 이와 같이 안정된 슬러리 농도의 슬러리(2)가 고정 연마 입자 와이어 소(1)에 공급됨으로써, 고정 연마 입자 와이어 소(1)에서는 항상 안정된 절단이 달성되게 된다. By the above operation, the slurry 2 in the second tank 5B is always kept stably at or below the prescribed concentration S of FIG. 2, and the slurry 2 having the stable slurry concentration is thus fixed with the fixed abrasive particle wire. By supplying to (1), stable cutting is always achieved in the fixed abrasive grain wire saw 1.

한편, 도 2의 Y는 종래에 있어서의 슬러리 폐액의 뱃치 처리를 도시하고 있으며, 선 Y와 같은 뱃치 처리의 경우에는, 절단 작업을 계속해 가면 서서히 슬러리 농도는 증가하게 되기 때문에, 우선, 절단 종료시의 슬러리 농도를 한계값(X)의 직전값이 되도록 설정하고, 이 절단 종료시의 설정값이 유지되도록 절단 개시시의 슬러리 농도를 역산하여 구하여 조정하고 있기 때문에, 종래에 있어서는, 절단 개시시에 있어서의 슬러리 농도를 매우 낮은 값으로 조정할 필요가 있으며, 이로 인해, 막 여과기 등의 분리 장치에 의한 정밀한 분리를 행할 필요가 있어 비용이 증가한다고 하는 문제를 가지고 있었다.On the other hand, Y of FIG. 2 shows the batch processing of the slurry waste liquid in the past, In the case of batch processing like the line Y, since a slurry operation continues and a slurry concentration will gradually increase, Since the slurry concentration is set to be the value immediately before the threshold value X, and the slurry concentration at the start of cutting is inverted and calculated so as to maintain the set value at the end of the cutting, the conventional method at the start of cutting It is necessary to adjust the slurry concentration to a very low value. As a result, it is necessary to perform precise separation by a separation device such as a membrane filter, which has a problem that the cost increases.

이것에 대해, 본 발명에서는, 도 2에 도시한 바와 같이, 슬러리(2)의 슬러리 농도를 한계값(X)에 가까운 규정 농도(S)로 조정하도록 했기 때문에, 원심 분리기(14)를 사용하여 슬러리 농도를 규정 농도(S)의 가까운 값으로 유지하는 것은 용이하게 된다. 즉, 원심 분리기(14)는 고체 입자의 농도가 높을수록 회수량이 증가하는 성능을 갖기 때문에, 사이클론 분리기(7)에서 농축한 슬러리 폐액(3b)을 원심 분리기(14)에 공급함으로써 고체 입자(15)를 양호하게 분리할 수 있고, 따라서, 슬러리 농도를 규정 농도(S) 이하로 용이하게 유지시킬 수 있다. 또한, 상기 원심 분리기(14)에 의한 분리에 의해서도, 슬러리 농도가 규정 농도(S)보다 커져 버리는 경우에는, 제 2 조(5B) 내의 슬러리(2)의 일부를 버리고, 새로운 새 슬러리(2a)를 공급함으로써 규정 농도(S)로 회복하도록 하고 있기 때문에, 슬러리(2)의 관리를 용이하고 저렴하게 실시할 수 있어 고정 연마 입자 와이어 소(1)에 공급하는 슬러리(2)를 항상 안정시킬 수 있는 이점이 있다. 또한, 슬러리 농도가 규정 농도(S)보다 커져 외부로 배출하는 폐슬러리(31)는 막 여과 장치, 예를 들면 스윙 세퍼레이터 등을 부속하여 구비하여 쿨런트의 회수율을 높이는 것은 바람직하다. 이 경우의 막 여과 장치는 종래의 뱃치식에 있어서의 분리 장치에 비해 비약적으로 소규모의 것으로 할 수 있다. In contrast, in the present invention, as shown in FIG. 2, the slurry concentration of the slurry 2 is adjusted to the prescribed concentration S close to the threshold value X, so that the centrifuge 14 is used. It is easy to maintain the slurry concentration at a value close to the prescribed concentration S. That is, since the centrifugal separator 14 has the performance of increasing the recovery amount as the concentration of the solid particles is higher, the solid particles (by supplying the slurry waste liquid 3b concentrated in the cyclone separator 7 to the centrifugal separator 14). 15) can be satisfactorily separated, and therefore, the slurry concentration can be easily maintained below the prescribed concentration (S). In addition, when the slurry concentration becomes larger than the prescribed concentration S even by separation by the centrifugal separator 14, a part of the slurry 2 in the second tank 5B is discarded, and a new fresh slurry 2a is discarded. In order to recover to the specified concentration (S), it is possible to easily and inexpensively manage the slurry (2) so that the slurry (2) supplied to the fixed abrasive grain wire saw (1) can always be stabilized. There is an advantage to that. In addition, it is preferable that the slurry slurry 31 which becomes larger than the prescribed concentration S and discharged to the outside is equipped with a membrane filtration device, for example, a swing separator, to increase the recovery rate of the coolant. The membrane filtration apparatus in this case can be made to be significantly smaller than the separation apparatus in the conventional batch type.

또한, 복수 구비되어 있는 고정 연마 입자 와이어 소(1)로부터의 슬러리 폐액(3)을 제 1 조(5A)로 도입한 경우에는, 제 1 조(5A)의 슬러리 폐액(3a)이 오버플로우벽(6)을 넘어 제 2 조(5B)에 공급됨으로써 대응할 수 있고, 또한, 제 1 조(5A)의 슬러리 폐액(3a)은 사이클론 분리기(7)에 의해 슬러리 농도가 높은 슬러리 폐액(3b)이 분리된 것이기 때문에, 이 슬러리 농도가 낮은 슬러리 폐액(3a)이 제 2 조(5B)에 공급되어도 문제를 일으키는 경우는 없다. 이와 같이 제 1 조(5A)와 제 2 조(5B)가 오버플로우벽(6)으로 가로막히고 일체로 구성한 저장조(5)에 의하면, 액의 주고 받기가 간략화되어, 다량의 슬러리 폐액(3)의 처리에 적합하게 적용할 수 있다. In addition, when the slurry waste liquid 3 from the fixed abrasive grain wire saw 1 provided with two or more was introduced into 5 A of tanks, the slurry waste liquid 3a of 5 A of tanks 1 is an overflow wall. The slurry waste liquid 3a of the first tank 5A can be responded by supplying it to the 2nd tank 5B beyond (6), and the slurry waste liquid 3b with high slurry concentration is carried out by the cyclone separator 7. Since it is isolate | separated, even if the slurry waste liquid 3a with low this slurry concentration is supplied to 2nd tank 5B, it does not cause a problem. As described above, according to the storage tank 5 in which the first tank 5A and the second tank 5B are blocked by the overflow wall 6 and constituted integrally, the exchange of liquid is simplified, and a large amount of the slurry waste liquid 3 is applied. It can apply suitably to the process of.

또한, 상기 폐슬러리 탱크(32)로 배출된 폐슬러리(31)는 여과기 등으로 유도하여 고액 분리함으로써, 여과액을 슬러리로서 회수하여 유효 이용할 수 있다. In addition, the waste slurry 31 discharged to the waste slurry tank 32 may be guided by a filter or the like to be solid-liquid separated, thereby recovering the filtrate as a slurry and effectively using it.

또한, 본 발명의 와이어 소의 슬러리 관리 장치는 상기의 실시예에만 한정되는 것이 아니며, 예를 들면, 제 1 조(5A)와 제 2 조(5B)를 일체로 설치하지 않고 별개로 설치하고 있어도 좋은 것, 그 밖에, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위내에 있어서 여러 가지로 변경을 가할 수 있는 것은 물론이다. In addition, the wire saw slurry management apparatus of this invention is not limited only to the said Example, For example, you may provide separately the 1st tank 5A and the 2nd tank 5B, without being integrally installed. Of course, various changes can be made within the scope not departing from the gist of the present invention.

본 발명의 와이어 소의 슬러리 관리 장치는 고정 연마 입자 와이어 소에 의해 워크를 절단하는데 적합한 슬러리 농도로 조정함으로써, 고정 연마 입자 와이어 소에 의한 절단 작업을 안정적이고 능률적으로 행할 때에 적용할 수 있다. The slurry management apparatus of the wire saw of this invention can be applied when carrying out the cutting operation by a fixed abrasive grain wire saw stably and efficiently by adjusting to the slurry density suitable for cutting a workpiece | work by a fixed abrasive grain wire saw.

1 고정 연마 입자 와이어 소
2 슬러리
2a 새 슬러리
3 슬러리 폐액
3a 슬러리 폐액
3b 슬러리 폐액
5A 제 1 조
5B 제 2 조
6 오버플로우벽
7 사이클론 분리기
14 원심 분리기
15 고체 입자
23, 24 비중계
26 슬러리 공급계로
28 순환 유로
29 비중계
30 점도계
31 폐슬러리
33 슬러리 배출계로
38 새 슬러리 공급계로
41 제어기
S 규정 농도1 fixed abrasive grain wire saw
2 slurry
2a fresh slurry
3 slurry waste liquid
3a slurry waste liquid
3b slurry waste liquid
5A Article 1
5B Article 2
6 overflow wall
7 cyclone separator
14 centrifuge
15 solid particles
23, 24 hydrometer
26 Slurry Feeding System
28 circulation euros
29 Hydrometer
30 viscometer
31 Waste Slurry
33 with slurry discharge meter
38 With New Slurry Feed System
41 controller
S regulation concentration

Claims (5)

고정 연마 입자 와이어 소로부터의 슬러리 폐액을 받아 저류하는 제 1 조와, 상기 제 1 조의 슬러리 폐액을 도입하여 고체 입자를 분리하는 원심 분리기와, 상기 원심 분리기에서 고체 입자가 분리된 고형분 함유 슬러리를 받아 저류하는 제 2 조와, 상기 제 2 조의 슬러리를 상기 고정 연마 입자 와이어 소에 공급하는 슬러리 공급계로와, 상기 제 2 조의 슬러리를 취출하여 순환하는 순환 유로에 구비된 비중계 및 점도계와, 상기 비중계에 의한 비중 검출값과 상기 점도계에 의한 점도 검출값을 도입하여, 슬러리 중의 고형분의 비중으로부터 얻어지는 농도에 대해 고형분의 점도로부터 얻어지는 입자 직경을 고려한 슬러리 농도를 검출하는 제어기와, 제 2 조의 슬러리의 일부를 폐슬러리로서 배출하는 슬러리 배출계로와, 새 슬러리를 상기 제 2 조에 공급하는 새 슬러리 공급계로를 구비하고, 상기 제어기는 상기 검출하고 있는 슬러리 농도가 규정 농도를 유지하도록, 상기 슬러리 배출계로에 의한 폐슬러리의 배출과 새 슬러리 공급계로에 의한 새 슬러리의 공급을 행하도록 한 것을 특징으로 하는 와이어 소의 슬러리 관리 장치.A first tank for receiving and storing the slurry waste liquid from the fixed abrasive wire saw, a centrifuge for introducing the slurry waste liquid of the first tank to separate solid particles, and a solid-containing slurry in which solid particles are separated in the centrifugal separator. And a specific gravity meter and a viscosity meter provided in a slurry supply system for supplying the slurry of the second tank to the fixed abrasive particle wire saw, and a circulation passage through which the slurry of the second tank is taken out and circulated; A controller for detecting the slurry concentration in consideration of the particle diameter obtained from the viscosity of the solid content to the concentration obtained from the specific gravity of the solid content in the slurry by introducing the detected value and the viscosity detection value by the viscometer, and a part of the slurry of the second set of slurry. And supplying the new slurry to the second tank Is provided with a new slurry supply system, and the controller is configured to perform discharge of waste slurry by the slurry discharge system and supply of new slurry by the new slurry supply system so that the detected slurry concentration is maintained at a prescribed concentration. Slurry management apparatus of the wire saw, characterized in that. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 조에 사이클론 분리기를 구비하고, 상기 고정 연마 입자 와이어 소로부터의 슬러리 폐액을 사이클론 분리기로 유도하여 고체 입자의 농도를 높인 슬러리 폐액을 상기 원심 분리기에 공급하도록 한 것을 특징으로 하는 와이어 소의 슬러리 관리 장치.2. The slurry tank according to claim 1, wherein the first tank is equipped with a cyclone separator, and the slurry waste liquid from the fixed abrasive particle wire saw is led to a cyclone separator so that the slurry waste liquid having a higher concentration of solid particles is supplied to the centrifuge. Slurry management apparatus of wire saw made with. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 규정 농도는 고정 연마 입자 와이어 소에 의한 안정 절단이 가능한 최대 농도인 것을 특징으로 하는 와이어 소의 슬러리 관리 장치.The wire saw slurry management device according to claim 1 or 2, wherein the prescribed concentration is a maximum concentration that can be stably cut by a fixed abrasive wire saw. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제 1 조와 제 2 조를 일체로 구성하고, 제 1 조의 슬러리 폐액이 오버플로우벽을 개재하여 제 2 조에 공급되도록 한 것을 특징으로 하는 와이어 소의 슬러리 관리 장치.The wire saw slurry management device according to claim 1 or 2, wherein the first tank and the second tank are integrally formed, and the slurry waste liquid of the first tank is supplied to the second tank via an overflow wall. . 제 3 항에 있어서, 상기 제 1 조와 제 2 조를 일체로 구성하고, 제 1 조의 슬러리 폐액이 오버플로우벽을 개재하여 제 2 조에 공급되도록 한 것을 특징으로 하는 와이어 소의 슬러리 관리 장치.
The wire saw slurry management device according to claim 3, wherein the first tank and the second tank are integrally formed, and the slurry waste liquid of the first tank is supplied to the second tank via an overflow wall.
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