KR20130126935A - Dicing die bonding film packing structure and packing method - Google Patents
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Abstract
롤(5)은 중공 코어(7)에 필름(9)을 감아 형성된다. 한편, 필름(9)은 도 7에 나타낸 필름(100)과 거의 같은 것으로서, 표면에 요철이 형성된 다이싱 다이 본딩 필름이다. 롤(5)은 수납 자루(11)에 넣어진다. 수납 자루(11)에 롤(5)이 넣어진 상태에서, 그 양단부에는 측판(3)이 마련된다. 측판(3)의 볼록부(19)는 코어(7)의 양단부의 중공부에 끼워지도록 설치된다. 이 한 쌍의 측판(3)이 상하단에 설치된 롤(5)에 대하여, 측판(3) 및 롤(5)은 2개에서 4개의 밴드(15)로 고정된다. 밴드(15)는 적어도 2개가 교차하도록 측판(3) 및 롤(5)(수납 자루(11)) 외부의 전체 둘레에 걸쳐서 설치되어, 측판(3) 및 롤(5)이 고정된다. The roll 5 is formed by winding the film 9 on the hollow core 7. On the other hand, the film 9 is almost the same as the film 100 shown in FIG. 7, and is a dicing die bonding film in which the unevenness | corrugation was formed in the surface. The roll 5 is put in the storage bag 11. In the state where the roll 5 was put in the storage bag 11, the side plate 3 is provided in the both ends. The convex part 19 of the side plate 3 is provided so that it may fit in the hollow part of both ends of the core 7. The side plates 3 and the rolls 5 are fixed by two to four bands 15 with respect to the rolls 5 provided with the pair of side plates 3 at the upper and lower ends. The band 15 is provided over the whole perimeter of the side plate 3 and the roll 5 (storage bag 11) so that at least two may cross | intersect, and the side plate 3 and the roll 5 are fixed.
Description
본 발명은 반도체 장치를 제조할 때에 사용하는 다이싱 다이 본딩 필름의 패키징 구조 및 이의 패키징 방법에 관한 것이다. TECHNICAL FIELD This invention relates to the packaging structure of the dicing die bonding film used when manufacturing a semiconductor device, and its packaging method.
종래 반도체 웨이퍼를 각각의 칩으로 절단하여 분리할 때, 반도체 웨이퍼를 고정하기 위한 다이싱 테이프 및 절단된 반도체 칩을 리드 프레임이나 패키지 기판 등에 접착하기 위한 다이 본딩 필름의 두 가지의 기능을 겸비한 다이싱 다이 본딩 필름이 개발되어 왔다. 이와 같은 다이싱 다이 본딩 필름에는 통상 프리컷 가공이 실시되었다. Dicing combines two functions: a dicing tape for fixing a semiconductor wafer and a die bonding film for adhering the cut semiconductor chip to a lead frame or a package substrate when cutting and separating the semiconductor wafer into individual chips. Die bonding films have been developed. Such a dicing die bonding film was normally precut.
도 8은 다이싱 다이 본딩 필름의 하나의 예로서 필름(100)을 나타내는 도면들이며, 도 8a은 정면도, 도 8b은 도 8a의 D-D선을 따라 자른 단면도이다. 필름(100)은 이형 필름(103), 접착제층(105), 원형 라벨부(107a) 및 주변부(107b)로 이루어지는 점착 필름(107) 등에 의해 구성된다. FIG. 8 is a diagram illustrating a
접착제층(105)은 웨이퍼의 형상에 대응하는 원형으로 가공된 것으로, 이형 필름(103) 위에 배치된다. 점착 필름(107)은 다이싱 용 링 프레임의 형상에 대응하는 원형부분의 주변영역이 제거된 것이다. 점착 필름(107)의 원형 라벨부(107a)는 접착제층(105)을 덮으며, 그 외주부가 이형 필름(103)과 접촉한다. The
도 8b에서 나타내는 바와 같이, 접착제층(105)과 원형 라벨부(107a)가 적층된 부분은 점착 필름(107)의 주변부(107b)보다도 두껍다. 이 때문에, 제품으로서 롤 형상으로 감겼을 때, 접착제층(105)과 원형 라벨부(107a)의 적층부분과 주변부(107b)와의 단차가 중첩되어, 유연한 접착제층(105)의 표면에 단차가 전사될 우려가 있다. 이러한 전사 흔적이 발생하면, 접착제층(105)과 반도체 웨이퍼와의 접착 불량에 의해, 웨이퍼의 가공 시에 불량이 생길 우려가 있다. As shown in FIG. 8B, the portion where the
한편, 이러한 전사 흔적의 발생을 억제하기 위해서는, 테이프의 권취력을 약하게 하는 방법이 있다. 그러나 이 방법으로는, 수송 시의 진동 등에 의해 제품의 권취에 어긋남이 생길 우려가 있다. On the other hand, in order to suppress the generation | occurrence | production of such a transfer trace, there exists a method of weakening the winding force of a tape. However, in this method, there exists a possibility that a shift | offset | difference may arise in winding of a product by the vibration etc. at the time of transport.
이와 같은 라벨 흔적을 방지하기 위해서, 프리컷 형상을 궁리하는 방법이 고안되고 있다(예를 들면 특허문헌 1). In order to prevent such a label trace, the method of devising a precut shape is devised (for example, patent document 1).
[특허 문헌][Patent Document]
특허 문헌 1:일본 특허 공개 공보 제2007-002173호Patent Document 1: Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2007-002173
그러나 특허문헌 1과 같이 프리컷 형상을 궁리하는 방법으로는 형상의 조정이 어려우며, 또한 필름의 권취장력이 강해지면 라벨 흔적의 발생을 방지할 수가 없다. 따라서 권취장력의 조정이 필요하게 된다. 또한, 종래의 패키징 방법으로는, 코일을 옮길 경우에 제품의 일부분에 힘이 가해지거나, 혹은 손이 미끄러져서 제품을 낙하시키는 등으로 인해 제품에 손상을 줄 우려가 있다. However, in the method of devising the precut shape as in
본 발명은 이와 같은 문제를 고려하여 실시된 것으로, 권취의 어긋남을 확실하게 억제하고, 취급성도 뛰어난 다이싱 다이 본딩 필름의 패키징 구조 및 그 패키징 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been carried out in view of such a problem, and an object thereof is to provide a packaging structure of a dicing die bonding film and a packaging method of the dicing die-bonding film which reliably suppress the deviation of the winding and are excellent in handling.
상술한 목적을 이루기 위한 제1의 발명은, 중공 코어, 및 상기 코어에 감겨 소정의 형상으로 프리컷된 길이가 긴 다이싱 다이 본딩 필름을 포함하는 롤과, 상기 코어의 중공부에 대응하는 볼록부를 갖는 측판과, 상기 롤과 상기 측판을 고정하는 2개 내지 4개의 밴드를 구비하고, 상기 볼록부가 상기 코어의 양단에 끼워지도록 설치되며, 상기 적어도 2개의 밴드는 상기 측판 부위에서 서로 교차하고, 한 쌍의 상기 측판 각각이 상하 방향을 향하도록 재치(載置)된 상태에서, 상측의 상기 측판을 윗쪽으로 들어 올렸을 때의 상기 측판간의 거리 변화량이, 상기 측판을 들어올리기 전의 상기 측판간의 거리의 1% 이하인 것을 특징으로 하는 다이싱 다이 본딩 필름의 패키징 구조이다. According to a first aspect of the present invention, there is provided a roll including a hollow core, a long dicing die bonding film wound around the core and precut to a predetermined shape, and a convex corresponding to the hollow portion of the core. And a side plate having a portion, and two to four bands for fixing the roll and the side plate, the convex portions are installed to be fitted at both ends of the core, and the at least two bands cross each other at the side plate portion, In the state where each of the pair of side plates is placed in the vertical direction, the amount of change in distance between the side plates when the upper side plate is lifted upwards is the distance between the side plates before lifting the side plate. It is a packaging structure of a dicing die bonding film, which is 1% or less.
상기 밴드로 고정된 상기 측판 및 상기 롤은 2개 이상 나란하게 패키징 박스 내에 수용되어도 좋다. The side plate and the roll fixed by the band may be accommodated in a packaging box at least two side by side.
상기 측판의 상기 볼록부와는 반대측 면에 오목부가 마련되어, 적어도 2개의 상기 밴드가 상기 오목부에서 교차해도 좋다. 적어도 2개의 상기 밴드가 교차부에서 서로 고정되어 있어도 좋다. A recess may be provided on the side opposite to the convex portion of the side plate, and at least two of the bands may intersect at the recess. At least two said bands may be fixed to each other at the intersection.
제1의 발명에 의하면, 한 쌍의 측판으로 롤을 끼우기 때문에, 필름이 수송 중 등에 있어서 권취가 어긋나는 일이 없다. 또한, 측판 및 롤은 적어도 2개의 밴드가 교차하도록 고정되어 있기 때문에, 측판이 어긋나는 일이 없다. 또한, 핸들링 시의 측판간 거리의 변화량을 1% 이하로 함으로써, 핸들링 시에 있어서도 확실하게 필름의 권취의 어긋남를 방지할 수 있다. According to the first aspect of the invention, since the roll is sandwiched by a pair of side plates, the film does not slip off during transportation or the like. Moreover, since the side plate and the roll are fixed so that at least two bands cross | intersect, a side plate does not shift. Moreover, the shift | offset | difference of the winding of a film can also be prevented reliably also at the time of handling by making the change amount of the side plate distance at the time of handling into 1% or less.
또한, 롤을 2개 이상 나란하게 패키징 박스에 수납함으로써, 패키징 박스의 적재성도 뛰어난다. 또한, 측판의 외면에 오목부를 형성하여, 오목부에서 밴드가 교차하도록 함으로써, 해당 밴드를 잡기 쉽고, 롤을 패키징 박스로부터 꺼내는 작업 등에 있어서의 핸들링성이 좋다. 또한, 밴드끼리의 교차부를 고정함으로써, 밴드의 어긋남을 방지할 수 있다. Moreover, by storing two or more rolls side by side in a packaging box, the packaging box is also excellent in loadability. Moreover, by forming a recessed part in the outer surface of a side plate and making a band cross | intersect at a recessed part, it is easy to hold | maintain the said band and handling property in the operation | work which takes out a roll from a packaging box, etc. is favorable. In addition, the band shift can be prevented by fixing the intersections of the bands.
제2의 발명은, 소정의 형상으로 프리컷된 길이가 긴 다이싱 다이 본딩 필름을 중공 코어에 감아 롤을 형성하여, 상기 코어의 중공부에 대응하는 볼록부를 갖는 한 쌍의 측판을 상기 볼록부가 상기 코어의 양단에 끼워지도록 상기 롤에 설치하고, 한 쌍의 상기 측판 각각이 상하 방향을 향하도록 재치(載置)된 상태에서, 상측의 상기 측판을 윗쪽으로 들어 올렸을 때의 상기 측판간의 거리변화량이, 상기 측판을 들어 올리기 전의 상기 측판간의 거리의 1% 이하가 되도록, 상기 측판에서 교차하는 2개에서 4개의 밴드로 상기 롤과 상기 측판을 고정하는 것을 특징으로 하는 다이싱 다이 본딩 필름의 패키징 방법이다. According to a second aspect of the present invention, a long dicing die-bonding film precut into a predetermined shape is wound around a hollow core to form a roll, and the convex portion has a pair of side plates having a convex portion corresponding to the hollow portion of the core. Amount of change in distance between the side plates when the upper side plates are lifted up while being mounted on the roll so as to be fitted to both ends of the core, and the pair of side plates are placed so as to face in the vertical direction. Packaging the dicing die bonding film, characterized in that the roll and the side plate is fixed with two to four bands intersecting the side plate so that the distance between the side plates before lifting the side plate is 1% or less. It is a way.
상기 밴드를 마련한 후, 적어도 2개의 상기 밴드를 서로의 교차부에서 고정해도 좋다.After providing the band, at least two of the bands may be fixed at intersections with each other.
제2의 발명에 의하면, 필름의 권취의 어긋남을 확실하게 방지할 수 있으면서 동시에, 핸들링성도 우수하고 전사 흔적의 발생을 방지할 수 있다. According to the second invention, it is possible to reliably prevent the deviation of the winding of the film, and at the same time, the handling property is excellent and the generation of the transfer trace can be prevented.
본 발명에 의하면, 권취의 어긋남을 확실하게 억제하고 취급성도 우수한 다이싱 다이 본딩 필름의 패키징 구조 및 이의 패키징 방법을 제공할 수 있다. ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the packaging structure of the dicing die bonding film reliably suppressing the shift | offset | difference of a winding, and also excellent in handleability, and the packaging method thereof can be provided.
도 1은 패키징 구조(1)를 나타내는 분해사시도이다.
도 2는 패키징 구조(1)를 나타내는 사시도이다.
도 3a은 측판(3)의 평면도이다.
도 3b은 도 3a의 A-A선을 따라 자른 단면도이다.
도 4는 측판(3)의 압축 강도 시험 방법을 나타내는 개략도이다.
도 5는 패키징 구조(1)를 나타내는 분해사시도이다.
도 6은 패키징 구조(1)를 들어 올린 상태를 나타내는 도면들이다.
도 7은 롤(5)의 수납 형태를 나타내는 도면들이다.
도 8a은 필름(100)을 나타내는 정면도이다.
도 8b은 도 8a의 D-D선을 따라 자른 단면도이다. 1 is an exploded perspective view showing the
2 is a perspective view showing the
3A is a plan view of the
3B is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 3A.
4 is a schematic view showing a method of testing the compressive strength of the
5 is an exploded perspective view showing the
6 is a view showing a state in which the
FIG. 7: is a figure which shows the accommodating form of the
8A is a front view illustrating the
FIG. 8B is a cross-sectional view taken along the line DD of FIG. 8A.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태에 대해서 설명한다. 도 1은 패키징 구조(1)를 나타내는 분해사시도이고, 도 2는 패키징 구조(1)를 나타내는 사시도이다. 패키징 구조(1)는 주로 롤(5), 측판(3), 수납 자루(11), 밴드(15), 패키징 박스(13) 등을 포함한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 is an exploded perspective view showing the
롤(5)은 중공 코어(7)에 필름(9)이 감겨져 형성된다. 한편, 필름(9)은 도 7에 나타낸 필름(100)과 거의 동일한 것이며, 표면에 요철이 형성되는 다이싱 다이 본딩 필름이다.The
코어(7)에 대한 필름(9)의 권취장력은 예를 들면 10N 내지 20N 정도인 것이 바람직하다. 필름(9)의 권취장력이 20N을 넘으면, 상술한 요철형상에 따른 전사 흔적이 발생한다. 또한, 필름(9)의 권취장력이 10N 미만에서는, 필름(9)의 권취 어긋남 등이 생길 우려가 있기 때문이다. 그리고 상세한 것은 후술하겠지만, 통상적으로 권취 어긋남을 고려하여, 필름의 권취장력은 15N 정도로 설정되나, 본 발명에서는 종래에 없는 패키징 구조를 채용함으로써, 보다 낮은 8N 정도로 권취하더라도 권취 어긋남이 생기는 일이 없다. It is preferable that the winding tension of the
롤(5)은 수납 자루(11)에 넣어진다. 그리고 필름(9)을 구성하는 점착제나 접착제로서 광(자외선)경화성 조성물 등을 이용할 경우에는, 수납 자루(11)로서 이들 광 등을 투과하지 않는 것을 이용할 수 있다. The
수납 자루(11)에 롤(5)을 넣고 탈기하여 열 봉합(heat seal)한 상태에서, 그 양단부에는 측판(3)이 마련된다. 도 3a은 측판(3)의 평면도이며, 도 3b은 도 3a의 A-A선을 따라 자른 단면도이다.In a state where the
측판(3)은 중앙에서 방사형상으로 리브가 형성된 거의 직사각 형상의 부재이다. 측판(3)의 상면의 거의 중앙에는 오목부(17)가 마련된다. 또한, 측판(3)의 하면(下面)측 거의 중앙에는 볼록부(19)가 마련된다. 볼록부(19)는 측판의 아래쪽으로 돌출된 거의 원기둥 형상의 부위이다. 측판(3)의 가장자리부에는 볼록부(19)의 형성 방향과 같은 방향으로 리브가 형성된다. 리브 사이는 연속된 판 형상이어도 좋고, 도 3에 나타내는 바와 같이 관통된 구멍이 뚫려 있어도 좋다. 또한, 측판(3)의 거의 직사각형 형상의 네 모퉁이는 각도를 가져도 좋고, 도 3a에 나타내는 바와 같이 호를 그려도 좋다. 상하 방향에서 가해지는 힘을 완화하여 깨지기 어렵게 하기 위해서는, 구멍이 뚫려 있거나 및/또는 호를 그리고 있는 편이 바람직하다. 측판(3)의 형상은 도시한 예에만 한정되지는 않으며, 측판(3)의 외형이나, 오목부(17)와 볼록부(19)의 형상이나 크기, 리브 형상 등은 적절히 설정될 수 있다. 또한, 측판(3)은 금형 등을 이용하여 일괄 성형으로 제조해도 좋고, 거의 직사각형 형상의 판과 볼록부(19) 등의 부품으로 나누어서 따로따로 제조한 후 조합시켜 형성해도 좋다. 부품마다 제조하면 제품을 분해해서 수납할 수 있기 때문에 취급하기가 쉽다. The
또한, 필름(9)은 반도체 장치를 제조하기 위해서 사용되기 때문에, 통상적으로 클린 룸 내에서 취급된다. 이 때문에, 패키징 구조(1)를 구성하는 코어(7), 측판(3), 수납 자루(11), 밴드(15) 등은 클린 룸 내에서 취급이 가능한 수지 등으로 구성된다. 다시 말해서, 종이, 골판지, 섬유 등의 소재는 부적합하다. 수지로서 특히 생분해성 수지를 이용하면, 환경부하의 저감화를 도모할 수 있기 때문보다 바람직하다. In addition, since the
여기서, 측판(3)의 측방으로부터의 1500N의 압축력에 대한 변형량은 2% 이하인 것이 바람직하다. 도 4는 측판(3)의 압축 강도 시험 방법을 나타내는 개략도이다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 측판(3)의 측방(오목부(17) 및 볼록부(19)의 형성 방향과 수직하는 방향)에 지그(21)를 배치하고, 지그(21)에 대하여 1500N의 힘으로 압축력을 가하여(도면 중의 화살표(C) 방향), 이때의 압축 변형량을 측정하였다. 그 변형량이 원래 폭에 대하여 2%를 넘으면, 수송 시나 후술하는 밴드로 고정할 대 측판(3)이 변형되어, 필름(9)에 권취 어긋남 등이 생길 우려가 있다. Here, it is preferable that the deformation amount with respect to the compression force of 1500 N from the side of the
도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 측판(3)의 볼록부(19)는 코어(7)의 양단부의 중공부에 끼워서 설치된다. 여기서, 측판(3)을 롤(5)에 설치한 상태로, 롤(5)(필름(9))은 측판(3)에 의해 끼워진다. 이 때문에, 필름(9)은 롤 상태로, 그 양측부가 측판(3)으로 고정된다. As shown to FIG. 1 and FIG. 2, the
여기서, 측판(3)을 코어(7)에 밀어 넣을 때 측판(3)에 의해 필름의 측단부가 손상되지 않도록, 코어(7)의 폭은 필름(9)의 폭과 거의 동일하거나 다소 작은 것이 바람직하다. 또한, 측판(3)을 코어(7)에 끼웠을 때 측판(3)으로 필름(9)의 양 측단부를 확실하게 지지하기 위해서는, 필요에 따라 측판(3)과 필름(9) 측단부의 사이에 완충용 탄성 부재 등을 배치해도 좋다. 또한, 측판(3)의 사이즈를 롤(5)의 외경보다도 다소 크게 하여, 롤(5)이 측판(3) 가장자리부의 리브 내부에 수납되도록 하면, 패키징 박스의 내면과 롤(5)과의 접촉을 방지할 수 있다. Here, the width of the
도 2에 나타내는 바와 같이, 한 쌍의 측판(3)이 상하단에 설치된 롤(5)에 대하여, 측판(3) 및 롤(5)은 2개의 밴드(15)로 고정된다. 밴드(15)는 적어도 2개가 교차하도록 측판(3) 및 롤(5)(수납 자루(11)) 외부의 전체 둘레에 걸쳐서 설치되어, 측판(3) 및 롤(5)이 고정된다. As shown in FIG. 2, the
밴드를 2개로 할 경우, 2개의 밴드(15)는 측판(3)의 거의 중앙에서 교차한다. 다시 말해, 2개의 밴드(15)의 교차부는 오목부(17, 도 3)의 위치가 된다. 따라서 2개의 밴드(15)의 교차부 부근은 측판(3)과 접촉하지 않고, 측판(3, 오목부(17))과의 사이에 틈이 형성된다. 따라서 롤(5)을 들어 올릴 때, 오목부(17)로 형성된 틈에 손(손가락)을 삽입하여, 밴드(15)의 교차부를 움켜쥐고 들어 올릴 수 있다. 따라서 패키징 박스에서 꺼낼 때나 복수의 롤(5)이 늘어선 상태에서, 롤(5)을 용이하게 들어 올릴 수 있다. In the case of having two bands, the two
또한, 도 5에 나타내는 패키징 구조(1a)와 같이, 밴드를 더 늘려서 4개로 해도 좋다. 이 경우, 4개의 밴드는, 2개씩 우물 정(井)자 형상으로 형성된다. 따라서 중앙부에서의 교차가 어려워져서 롤(5)을 용이하게 들어 올리는 것은 다소 곤란해지지만, 대각선으로 건너편의 교차 부분에 손가락 등을 끼워 넣어서 들어 올리는 것으로 균형을 잘 유지하면서 롤(5)을 꺼낼 수 있다. 또한, 밴드가 4개인 경우는 1개와 3개를 서로 교차하도록 해도 좋다. 여하튼, 1군데 이상의 교차부를 마련하는 것으로 롤(5)을 용이하게 들어 올릴 수 있게 된다. In addition, as in the packaging structure 1a shown in FIG. 5, the band may be further increased to four. In this case, four bands are formed in well well shape two by two. Therefore, it is difficult to lift the
그리고 2개의 밴드(15)의 교차부는 서로 고정되어도 좋다. 예를 들면, 밴드(15)끼리를 융착이나 접착, 또는 다른 결속 부재를 이용해서 고정해도 좋다. 또한, 측판(3)의 가장자리부에 밴드를 끼워 넣을 수 있는 얕은 홈을 마련하여, 밴드가 걸리는 위치를 고정하는 것으로, 교차부가 오목부(17, 도 3)의 위치에 오도록 유도해도 좋다. 이와 같이 하는 것으로, 교차부의 위치가 어긋나는 일없이 핸들링이 보다 용이해진다. The intersections of the two
또한, 밴드(15)로서는, 클린 룸 내로 가지고 들어올 수 있는 수지제인 것이 바람직하다. 특히 생분해성 수지를 이용하면 환경부하의 저감화를 도모할 수 있기 때문에 보다 바람직하다. 또한, 상술한 바와 같이, 밴드(15)를 쥐고 롤(5)을 들어 올릴 때에, 밴드가 끊어지는 일이 없도록, 인장 파탄 강도 혹은 5% 모듈러스(modulus)가 200N 이상인 것이 바람직하다. Moreover, as the
도 6a은 패키징 구조(1)(패키징 박스 제외)를 나타내는 정면도이다. 한 쌍의 측판(3)이 상하 방향으로 위치하도록 롤(5)이 배치된다. 이 상태에서는, 밴드(15)에 의해 양 측판(3)은 롤(5)에 대하여 확실하게 고정된다. 이때의 측판(3) 사이의 거리를 'H1'로 표시한다. 6A is a front view showing the packaging structure 1 (excluding the packaging box). The
다음은, 도 6b에 나타내는 바와 같이, 이 상태에서 위쪽 측판(3)을 들어 올린다(도면에서 화살표(B) 방향). 롤(5)을 완전히 들어 올렸을 때의 측판(3) 사이의 거리를 'H2'로 표시한다. 다시 말해, (H2-H1)는, 패키징 구조의 자중(自重)에 의해, 또한 밴드(15)의 신장 및 측판(3)의 유격에 의해 생기는 거리의 변화량이 된다. Next, as shown in FIG. 6B, the
본 발명에서는, 패키징 구조의 중량, 밴드(15)의 강도, 측판(3)의 유격 등을 고려하여, 이 측판간 거리의 변화량 (H2-H1)이, 'H1'의 1% 이하가 되도록 설정되는 것이 바람직하다. 다시 말해, 패키징 구조의 중량이 설정되면, 그에 대하여 상술한 관계가 되도록, 밴드(15)의 강도 및 측판(3)의 유격이 설정된다. 또한, 다이싱 다이 본딩 필름은 수송, 보관 등을 실시할 때는 5℃ 이하의 환경에 놓이며, 핸들링할 때는 상온 하에 놓인다는 점에서 온도변화에 의한 영향이 작은 편이 바람직하다. 구체적으로, 밴드(15)는 0℃ 내지 30℃에서, 길이방향의 신축률이 ± 1% 이내인 것이 바람직하다. In the present invention, in consideration of the weight of the packaging structure, the strength of the
이렇게 하여 형성되는 롤(5) 등은 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 패키징 박스(13)에 삽입된다. 패키징 박스(13)는 운반 및 보관 시에 보호하는 것으로서, 클린 룸 내에서 취급되기 전에 내부의 롤(5) 등이 꺼내진다. 이 때문에, 패키징 박스(13)는 골판지제라도 좋다. The
또한, 도면에서는 2개의 롤(5)을 패키징 박스(13)에 수납하는 예를 제시하지만, 본 발명은 이에 한정되지는 않는다. 그러나 수송 시의 패키징 박스의 적재성이나 취급성을 고려하면, 하나의 패키징 박스(13)에 대하여 2개 또는 4개의 롤(5)을 수납하는 것이 바람직하다. 1개의 롤(5)로는, 패키징 박스(13)의 바닥 면적이 작아져서 불안정해지기 때문에, 다단으로 적재하는 것이 곤란해진다. 또한, 6개 이상의 롤이면, 패키징 박스(13)의 크기가 커지고 무거워지기 때문에, 취급이 곤란해진다. 이 때문에, 2개 또는 4개의 롤(5)을 패키징 박스(13)에 수납하는 것이 바람직하다. In addition, although the figure shows the example which accommodates two
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 롤(5)이 측판(3)에 끼워지기 때문에, 평소보다도 권취장력이 약하더라도 권취 어긋남의 발생을 방지할 수 있다. 또한, 측판(3)의 볼록부(19)가 코어(7)에 끼워지기 때문에, 측판(3)은 운반 시 등에 있어서 어긋나는 일이 없다. 또한, 측판(3)의 강도가 충분하기 때문에, 변형 등에 의해 위치가 어긋나는 일도 방지할 수 있다. As described above, according to the present invention, since the
또한, 측판(3)에는 오목부가 형성되어 밴드(15)가 오목부(17)의 위치에서 교차하기 때문에, 용이하게 밴드(15)의 교차부를 움켜쥐고 롤(5)을 들어 올릴 수 있다. 또한, 교차부가 서로 고정되거나, 혹은 밴드가 걸리는 위치가 고정되어 있으면, 교차부의 위치가 어긋나는 일이 없다. Moreover, since the recessed part is formed in the
또한, 측판(3)을 상하 방향으로 배치하고, 상부의 측판(3)을 들어 올렸을 때의 측판간 거리의 변화량을 원래의 측판간 거리의 1% 이하로 하는 것으로, 취급 시에 권취 어긋남이 생기는 것을 방지할 수 있다. In addition, by shifting the
이상, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시의 형태를 설명했지만, 본 발명의 기술적 범위는, 상술한 실시형태에 좌우되지 않는다. 당업자라면, 특허청구의 범위에 기재된 기술적 사상의 범주 내에 있어서 각종의 변경예 또는 수정예에 상도(想到)할 수 있는 것은 명확하며, 이들에 대해서도 당연히 본 발명의 기술적 범위에 속하는 것으로 이해된다. As mentioned above, although embodiment of this invention was described with reference to attached drawing, the technical scope of this invention does not depend on embodiment mentioned above. Those skilled in the art will appreciate that various modifications or modifications can be made within the scope of the technical idea described in the claims, and they are naturally understood to belong to the technical scope of the present invention.
실시예Example
각종 패키징 형태에 대하여, 그 평가를 실시하였다. 평가 대상의 필름으로서는, 도 8에 나타내는 것과 같은 다이싱 다이 본딩 필름을 작성하여 이용하였다. 이하, 각 구성의 제조 방법을 설명한다.
The evaluation was performed about various packaging forms. As a film of evaluation object, the dicing die bonding film as shown in FIG. 8 was created and used. Hereinafter, the manufacturing method of each structure is demonstrated.
점착 필름의 제작Production of adhesive film
용매인 톨루엔 400g 중에, n-부틸아크릴레이트 128g, 2-에틸헥실아크릴레이트 307g, 메틸메타아크릴레이트 67g, 메타크릴산 1.5g, 중합개시제로서 벤조일퍼옥사이드의 혼합액을 적절히 적하량을 조정하고, 반응 온도 및 반응 시간을 조정하여, 관능기를 갖는 용액인 화합물(1)을 얻었다. In 400 g of toluene, which is a solvent, n-butyl acrylate 128 g, 2-ethylhexyl acrylate 307 g, methyl methacrylate 67 g, methacrylic acid 1.5 g, and a dropping amount of a mixture of benzoyl peroxide are suitably adjusted as a polymerization initiator to react. Temperature and reaction time were adjusted and the compound (1) which is a solution which has a functional group was obtained.
다음은, 이 폴리머 용액에, 방사선 경화성 탄소-탄소 이중결합 및 관능기를 갖는 화합물(2)로서, 따로 메타크릴산과 에틸렌글리콜로 합성한 2-하이드록시에틸메타크릴레이트 2.5g, 중합금지제로서 하이드로퀴논을 적절히 적하량을 조정하면서 더하고 반응 온도 및 반응 시간을 조정하여, 방사선 경화성 탄소-탄소 이중결합을 갖는 용액인 화합물(A)을 얻었다. 이어서, 화합물(A) 용액 중의 화합물(A) 100질량부에 대하여 폴리이소시아네이트(B)로서 코로네이트 L(닛폰 폴리우레탄 공업(주)(Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd.) 제품)을 1질량부를 더하고, 광중합 개시제로서 이르가큐어 184(니혼 치바가이기(주)(Nihon Ciba-Geigy K.K.) 제품)를 0.5질량부, 용매로서 초산에틸을 150질량부를 화합물(A)용액에 더해서 혼합하여, 방사선 경화성의 점착제 조성물을 조제하였다. Next, as the compound (2) having a radiation-curable carbon-carbon double bond and a functional group in this polymer solution, 2.5 g of 2-hydroxyethyl methacrylate synthesized separately from methacrylic acid and ethylene glycol and a hydrogel as a polymerization inhibitor. The quinone was added while adjusting the dropping amount appropriately, and reaction temperature and reaction time were adjusted and the compound (A) which is a solution which has a radiation curable carbon-carbon double bond was obtained. Next, 1 mass part of coronate L (made by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd.) as a polyisocyanate (B) with respect to 100 mass parts of compounds (A) in a compound (A) solution. Furthermore, 0.5 mass part of Irgacure 184 (made by Nihon Ciba-Geigy KK) as a photoinitiator, 150 mass parts of ethyl acetate as a solvent were added to the compound (A) solution, and it mixed, and radiation Curable adhesive composition was prepared.
계속해서, 조제한 점착제층 조성물을 두께 100μm의 에틸렌-초산비닐 공중합체 기재 필름에 건조 막 두께가 20μm이 되도록 도공하고, 110℃에서 3분간 건조하여, 점착 필름(1A)을 제작하였다.
Subsequently, the prepared pressure-sensitive adhesive layer composition was coated on a 100 μm-thick ethylene-vinyl acetate copolymer base film so as to have a dry film thickness of 20 μm, and dried at 110 ° C. for 3 minutes to prepare an adhesive film 1A.
이형 필름Release film
이형 필름(2A)로서 두께 25μm의 이형 처리된 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름을 사용하였다.
As the release film 2A, a release treated polyethylene terephthalate film having a thickness of 25 µm was used.
접착 필름의 제작Production of adhesive film
에폭시 수지로서 크레졸 노볼락형 에폭시 수지(에폭시 당량 197, 분자량 1200, 연화점 70℃) 50질량부, 실란커플링제로서 γ-메르캅토프로필트리메톡시실란 1.5질량부, γ-우레이도프로필트리에톡시실란 3질량부, 평균입경 16nm의 실리카 필러 30질량부로 이루어지는 조성물에, 사이클로헥사논을 더해서 교반 혼합하고, 비즈 밀을 이용하여 90분간 더 혼련(混練)하였다.50 mass parts of cresol novolak-type epoxy resins (epoxy equivalent 197, molecular weight 1200, softening point 70 degreeC) as an epoxy resin, 1.5 mass parts of (gamma)-mercaptopropyl trimethoxysilane as a silane coupling agent, (gamma) -ureidopropyl triethoxy Cyclohexanone was added to the composition which consists of 3 mass parts of silanes, and 30 mass parts of silica fillers with an average particle diameter of 16 nm, and it stirred and mixed, and knead | mixed further for 90 minutes using the bead mill.
이에 아크릴수지(질량 평균 분자량:80만, 유리 전이 온도 -17℃) 100질량부, 6관능 아크릴레이트 모노머로서 디펜타에리스리톨 헥사 아크릴레이트 5질량부, 경화제로서 헥사메틸렌 디이소시아네이트의 어덕트체 0.5질량부, 큐어졸 2PZ(시코쿠 카세이(주)(SHIKOKU CHEMICALS CO.)제 상품명, 2-페닐이미다졸) 2.5질량부를 더해 교반 혼합하고, 진공 탈기하여, 접착제를 얻었다. 상기 접착제를 이형 필름(2A) 위에 도포하여, 110℃에서 1분간 가열 건조하고, 막 두께가 20μm인 B스테이지 상태(열경화성수지의 경화 중간 상태)의 도막을 형성하고, 이형 필름(2A) 위에 접착제층(3A)을 형성하여, 냉장 보관하였다.
100 mass parts of acrylic resin (mass average molecular weight: 800,000, glass transition temperature -17 degreeC), 5 mass parts of dipentaerythritol hexaacrylates as a 6 functional acrylate monomer, and 0.5 mass of adducts of hexamethylene diisocyanate as a hardening | curing agent Subsequently, 2.5 parts by mass of cure sol 2PZ (trade name, 2-phenylimidazole manufactured by Shikoku Chemical Co., Ltd.) was added, stirred and mixed, and vacuum degassed to obtain an adhesive. The adhesive was applied onto the release film 2A, heated and dried at 110 ° C. for 1 minute to form a coating film in a B stage state (intermediate curing state of the thermosetting resin) having a film thickness of 20 μm, and the adhesive on the release film 2A. Layer 3A was formed and refrigerated.
프리컷 가공Precut processing
냉장 보관되어 있었던 접착제층(3A)이 형성된 이형 필름(2A)을 상온으로 되돌려서, 접착제층에 대하여 이형 필름으로의 절개 깊이가 10μm 이하가 되도록 조정하여 지름 220mm의 원형 프리컷 가공을 하였다. 그 후, 접착제층의 불필요한 부분을 제거하고, 점착 필름(1A)을 그 점착제층이 접착제층으로 접하도록, 이형 필름(2A)을 실온에서 라미네이트하였다. 그리고 점착 필름(1A)에 대하여 이형 필름으로의 절개 깊이가 10μm 이하가 되도록 조절하여, 접착제층과 동심원 형상으로 지름 290mm의 원형 프리컷 가공을 하여 웨이퍼 가공용 테이프(4A)를 제작하였다. The release film 2A in which the adhesive bond layer 3A was refrigerated was returned to room temperature, and it adjusted so that the cutting depth to a release film might be 10 micrometers or less with respect to an adhesive bond layer, and the circular precut process of diameter 220mm was performed. Then, the unnecessary part of the adhesive bond layer was removed, and the release film 2A was laminated at room temperature so that the adhesive film 1A might contact the adhesive bond layer. And 1 A of adhesive films were adjusted so that the depth of cut | disconnection to a release film might be 10 micrometers or less, the circular precut process of diameter 290mm was performed concentrically with the adhesive bond layer, and the tape for wafer processing 4A was produced.
이상에 의해 제작된 필름을 각각의 방법으로 패키징하였다.
The film produced by the above was packaged by each method.
실시예1Example 1
프리컷 가공한 웨이퍼 가공용 테이프(4A)를 감김 시작부분과 감김 끝부분에 약 1.2m의 라벨이 없는 부분을 마련하고, 10N으로 300장을 감았다. 이를 폴리에틸렌제의 자루에 수납하여 탈기한 후, 열 봉합하여 도 3에서 나타내는 형상의 폴리프로필렌제 측판을 양단부에 설치하였다. 그리고 PP밴드 2개가 십자(十字)가 되도록 걸어서 융착하여 접합시켰다. 측판간 거리의 변화량(도 5의 H2-H1)은 측판간 거리(H1)의 0.3%로 하였다. 같은 롤을 2개 제작하여, 도 7a에 나타내는 바와 같이, 골판지 박스인 패키징 박스(13)에 2개 수납하고, 실시예 1의 웨이퍼 가공용 테이프 패키지를 얻었다.
The pre-processed wafer processing tape 4A was provided with an unlabeled portion of about 1.2 m at the beginning of the winding and the end of the winding, and then wound 300 sheets at 10N. This was stored in a bag made of polyethylene, degassed, heat-sealed, and polypropylene side plates of the shape shown in Fig. 3 were provided at both ends. The two PP bands were cross-bonded to form a cross. The amount of change of the side plate distance (H2-H1 of FIG. 5) was made into 0.3% of the side plate distance H1. Two similar rolls were produced, and as shown in FIG. 7A, two were accommodated in the
실시예 2Example 2
도 7b에 나타내는 바와 같이, 패키징 박스(13a)에 4개 수납한 것 외에는, 실시예 1과 같이 하여, 실시예 2의 웨이퍼 가공용 테이프 패키지를 얻었다.
As shown in FIG. 7B, the tape package for wafer processing of Example 2 was obtained like Example 1 except having stored four in the packaging box 13a.
실시예 3Example 3
측판간 거리의 변화량이 1%가 되도록 PP밴드를 건 것 외에는 실시예 1과 같이 하여, 실시예 3의 웨이퍼 가공용 테이프 패키지를 얻었다.
A tape package for wafer processing of Example 3 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the PP band was applied so that the amount of change in the side plate distance was 1%.
실시예 4Example 4
밴드 4개를 우물정자(井) 형상으로 교차시킨 것 외에는 실시예 1과 같이 하여, 실시예 4의 웨이퍼 가공용 테이프 패키지를 얻었다.
A tape package for wafer processing of Example 4 was obtained in the same manner as in Example 1 except that four bands were crossed in a well sperm shape.
실시예 5Example 5
PP밴드 2개를 융착시키지 않고, 측판의 네 변의 가장자리부에 홈을 마련하여 밴드를 건 것 외에는 실시예 1과 같이 하여, 실시예 5의 웨이퍼 가공용 테이프 패키지를 얻었다.
The tape package for a wafer process of Example 5 was obtained like Example 1 except having provided the groove | channel in the edge part of the four sides of a side plate, and not fused two PP bands.
비교예 1Comparative Example 1
권취장력이 40N인 것 외에는 실시예 1과 같이 하여, 비교예 1의 웨이퍼 가공용 테이프 패키지를 얻었다.
A tape package for wafer processing of Comparative Example 1 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the winding tension was 40N.
비교예 2Comparative Example 2
도 7c에 나타내는 바와 같이, 패키징 박스(13b)에 1개의 롤을 수납한 것 외에는 실시예 1과 같이 하여, 비교예 2의 웨이퍼 가공용 테이프 패키지를 얻었다.
As shown in FIG. 7C, the tape package for wafer processing of the comparative example 2 was obtained like Example 1 except having stored one roll in the packaging box 13b.
비교예 3Comparative Example 3
측판이 골판지제인 것 외에는 실시예 1과 같이 하여, 비교예 3의 웨이퍼 가공용 테이프 패키지를 얻었다.
A tape package for wafer processing of Comparative Example 3 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the side plates were made of corrugated cardboard.
비교예 4Comparative Example 4
측판간 거리의 변화량이 2%가 되도록 PP밴드를 건 것 외에는 실시예 1과 같이 하여, 비교예 4의 웨이퍼 가공용 테이프 패키지를 얻었다. A tape package for wafer processing of Comparative Example 4 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the PP band was applied so that the amount of change in the side plate distance was 2%.
결과를 표 1에 나타낸다.The results are shown in Table 1.
표 1Table 1
표에서의 '권취 어긋남' 및 '전사 흔적'은, 아래와 같이 평가하였다. 우선, 각 패키지를 1개월간 냉장고내(5℃)에서 보관한 후, 수송용 트럭에 실어서 히라쓰카(平塚)에서 고베(神戶)까지(약 1,000km) 냉장 상태 그대로 왕복하였다. 그 후, 각 패키지를 열어서, 롤을 상온으로 되돌리고 나서 패키징 자루를 개봉하여, 코어만을 고정하여 자연 하중으로 롤을 1분간 방치했을 때의 권취 어긋남의 유무를 관찰하여, 권취 어긋남이 2mm 이내면 '○', 권취 어긋남이 2mm 이상이면 'X'로 하였다. The "winding shift | offset | difference" and the "trace of transcription" in the table were evaluated as follows. First, each package was stored in a refrigerator (5 ° C.) for one month, and then loaded on a transport truck and shuttled from Hiratsuka to Kobe (about 1,000 km) in a refrigerated state. Thereafter, each package is opened, the roll is returned to room temperature, the packaging bag is opened, the core is fixed and the winding shift is observed when the roll is left for 1 minute under natural load, and the winding shift is less than 2 mm. (Circle) 'and winding shift were made into "' when it was 2 mm or more.
다음은, 롤을 풀어서, 육안으로 전사 흔적의 유무를 관찰하여 평가하였다. 여러 각도에서 육안으로 관찰해도 전사 흔적 또는 보이드를 확인할 수 없는 것을 '◎'라고 하고, 각도에 따라서는, 약간의 전사 흔적 또는 보이드를 확인할 수 있는 것을 '○'라고 하고, 어느 각도에서 육안으로 관찰해도, 필름 위에 전사 흔적 또는 보이드를 확인할 수 있는 것을 'X'로 하였다. Next, the roll was unwound and the presence or absence of traces of transcription was visually observed and evaluated. '◎' means that no trace of transcription or void can be observed even with the naked eye from various angles, and '○' means that some trace of trace or void can be identified depending on the angle. Even if it was able to confirm a trace of transcription or a void on a film, it was set as "'."
또한, 각 패키지를 3단으로 쌓아서, 1개월간 냉장고내(5℃)에서 보관한 후, 운반용 수레에 실어서 0.01 내지 0.25m/sec2의 가속도에서, 짐 붕괴의 유무를 관찰하였다. 짐 붕괴가 없었을 경우에는 '○', 짐 붕괴가 있었을 경우에는 'X'로 하였다. In addition, each package was stacked in three tiers, and stored in a refrigerator (5 ° C.) for one month, and then placed in a transport cart to observe the presence of luggage collapse at an acceleration of 0.01 to 0.25 m / sec 2 . If there was no load collapse, it was set as '○'.
또한, 각 패키지를 열어서, 롤을 꺼낼 때의 핸들링성을 평가하였다. 아주 취급하기 쉽고, 핸들링성 및 생산성에 뛰어난 것을 '◎'라고 하고, 취급하기 쉽고, 핸들링성 및 생산성이 좋은 것을 '○'라고 하고, 취급하기 어렵고, 핸들링성 및 생산성에 뒤떨어지는 것을 'X'로 하였다. Moreover, each package was opened and the handling property at the time of taking out a roll was evaluated. '◎' is very easy to handle and has excellent handling and productivity. '○' is easy to handle and has good handling and productivity. '○' is difficult to handle and is inferior to handling and productivity. It was set as.
측판을 사용한 실시예 1 내지 3 및 비교예 1 내지 3에서는 권취 어긋남의 발생은 없었지만, 측판간 거리의 변화량이 큰 비교예 4에서는 권취 어긋남이 발생하였다. 측판간 거리의 변화량을 작게 하는 것으로 권취 어긋남을 방지할 수 있다는 것을 알았다. Although the winding shift did not generate | occur | produce in Examples 1-3 and the comparative examples 1-3 using the side plate, the winding shift generate | occur | produced in the comparative example 4 with a large amount of change of the side plate distance. It was found that the winding shift can be prevented by reducing the amount of change in the side plate distance.
전사 흔적에 관해서는 각 실시예, 비교예 모두 완전히 억제할 수는 없었지만, 권취장력이 40N으로 높았던 비교예 1에 있어서, 'X'평가가 되었다. 다시 말해, 권취장력에 의해 전사 흔적의 발생에 차이가 생기는 것을 알았다. Regarding the traces of transcription, in each of the examples and the comparative examples, it could not be completely suppressed, but in Comparative Example 1 in which the winding tension was as high as 40N, the evaluation was performed. In other words, it was found that the difference in the generation of the transcriptional trace was caused by the winding tension.
다단 적재성에 대해서는, 1개의 롤을 패키징 박스에 수납한 비교예 2에 있어서 짐 붕괴가 발생하였다. 패키징 박스에는 2개 이상을 수납하는 편이 다단으로 적재했을 경우의 안정성이 크다는 것을 알았다. About multi-stage stackability, baggage collapse occurred in the comparative example 2 which accommodated one roll in the packaging box. It was found that the stability of the case where two or more were accommodated in a packaging box was large when it was stacked in multiple stages.
핸들링성에 대해서는, 밴드를 강하게 패키징한 실시예 1 내지 2, 5 및 비교예 1에서는 제품을 꺼내기가 용이하였다. 실시예 3에서는 밴드를 약간 느슨하게 했기 때문에 제품의 취출성이 다소 떨어졌다. 실시예 4에서는 밴드의 교차 부분에 오목한 부분이 없었기 때문에 취출을 위해 움켜쥐기 어렵다는 점에서 핸들링성이 다소 떨어졌다. 비교예 2에서는 제품의 취출은 용이하지만, 롤이 1개씩 패키징 박스에 수납되어 있기 때문에, 1개씩 열어야 할 필요가 있어서 생산성이 약간 떨어진다. 비교예 3에서는 골판지제의 측판을 사용하고 있기 때문에, 제품을 사용하는 클린 룸에 그대로 가져올 수 없어, 클린 룸 밖에서 측판을 풀어서 핸들링할 필요가 있어서, 핸들링성이 떨어진다. 비교예 4에서는 밴드 강도가 약하기 때문에 운반이 어려워서 핸들링성이 뒤떨어졌다. About handling property, the product was easy to take out in Examples 1-2, 5, and Comparative Example 1 which strongly packaged the band. In Example 3, since the band was slightly loosened, the takeout property of the product was somewhat inferior. In Example 4, since there was no concave portion at the intersection of the band, the handling property was somewhat inferior in that it was difficult to grasp for taking out. In Comparative Example 2, the extraction of the product is easy, but since the rolls are stored one by one in the packaging box, it is necessary to open one by one and the productivity is slightly decreased. In the comparative example 3, since the side board made of corrugated cardboard is used, it cannot be brought into a clean room using a product as it is, and it is necessary to unwind and handle a side plate outside a clean room, and handling property is inferior. In the comparative example 4, since the band strength was weak, carrying was difficult and the handling property was inferior.
1: 패키징 구조 3: 측판
5: 롤 7: 코어
9: 필름 11: 수납 자루
13, 13a, 13b: 패키징 박스 15: 밴드
17: 오목부 19: 볼록부
21: 지그 100: 필름
101: 코어 103: 이형 필름
105: 접착제층 107: 점착 필름
107a: 원형 라벨부 107b: 주변부 1: packaging structure 3: side plate
5: roll 7: core
9: film 11: storage bag
13, 13a, 13b: packaging box 15: band
17: recess 19: convex
21: jig 100: film
101: core 103: release film
105: adhesive layer 107: adhesive film
107a: circular label portion 107b: peripheral portion
Claims (6)
상기 코어의 중공부에 대응하는 볼록부를 갖는 측판; 및
상기 롤과 상기 측판을 고정하는 2개 내지 4개의 밴드를 구비하고,
상기 볼록부가 상기 코어의 양단에 끼워지도록 설치되며,
적어도 2개의 상기 밴드는, 상기 측판 부위에서 서로 교차하고,
한 쌍의 상기 측판 각각이 상하 방향을 향하도록 재치된 상태에서, 상측의 상기 측판을 윗쪽으로 들어 올렸을 때의 상기 측판간의 거리 변화량이, 상기 측판을 들어 올리기 전의 상기 측판간의 거리의 1% 이하인 것을 특징으로 하는 다이싱 다이 본딩 필름의 패키징 구조.A roll comprising a hollow core and an elongated dicing die bonding film wound around the core and precut to a predetermined shape;
A side plate having a convex portion corresponding to the hollow portion of the core; And
It has two to four bands for fixing the roll and the side plate,
The convex portions are installed to be fitted to both ends of the core,
At least two said bands intersect each other at said side plate portion,
In a state where each of the pair of side plates is placed in the vertical direction, the amount of change in distance between the side plates when the upper side plate is lifted upward is 1% or less of the distance between the side plates before lifting the side plate. The packaging structure of the dicing die bonding film characterized by the above-mentioned.
상기 코어의 중공부에 대응하는 볼록부를 갖는 한 쌍의 측판을 상기 볼록부가 상기 코어의 양단에 끼워지도록 상기 롤에 설치하며,
한 쌍의 상기 측판 각각이 상하 방향을 향하도록 재치된 상태에서, 상측의 상기 측판을 윗쪽으로 들어 올렸을 때의 상기 측판간의 거리 변화량이, 상기 측판을 들어 올리기 전의 상기 측판간의 거리의 1% 이하가 되도록, 상기 측판에서 교차하는 2개 내지 4개의 밴드로 상기 롤과 상기 측판을 고정하는 것을 특징으로 하는 다이싱 다이 본딩 필름의 패키징 방법. A long dicing die bonding film precut to a predetermined shape is wound around a hollow core to form a roll,
A pair of side plates having a convex portion corresponding to the hollow portion of the core is provided on the roll such that the convex portions are fitted to both ends of the core,
In the state where each of the pair of side plates is placed in the up and down direction, the amount of change in distance between the side plates when the upper side plate is lifted upward is 1% or less of the distance between the side plates before lifting the side plate. Fixing the roll and the side plate with two to four bands intersecting at the side plate, wherein the dicing die bonding film is packaged.
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Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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TW201408552A (en) * | 2012-08-27 | 2014-03-01 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | Packing device |
CN106233169A (en) * | 2014-04-17 | 2016-12-14 | 柯尼卡美能达株式会社 | Light reflective film volume and light reflective film coil packing body |
JP6005108B2 (en) * | 2014-08-01 | 2016-10-12 | 古河電気工業株式会社 | Packing structure of dicing die bonding film or die bonding film |
CN109592478A (en) * | 2017-09-30 | 2019-04-09 | 中航光电科技股份有限公司 | A kind of band packaging cable and its cable package component |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS572568B2 (en) * | 1974-04-16 | 1982-01-18 | ||
US4033454A (en) * | 1976-07-06 | 1977-07-05 | Greif Bros. Corporation | Method and structure for retaining shipping drums on pallets |
US4287991A (en) * | 1979-04-02 | 1981-09-08 | Donnelly Bernard P | Modularized unit load and disposable pallet therefor |
JPS5846765U (en) * | 1981-09-24 | 1983-03-29 | 大森機械工業株式会社 | Bundle of stacked paper leaf-like articles |
US4730732A (en) * | 1982-09-30 | 1988-03-15 | Continental Fibre Drum, Inc. | Pallet and top frame for scrolled drum palletized package |
US4821880A (en) * | 1987-07-27 | 1989-04-18 | Essex Group, Inc. | Palletized structure containing spools |
JP2604907Y2 (en) * | 1993-12-01 | 2000-06-12 | 村▲ずみ▼株式会社 | Protector for roll products |
EP1434088B1 (en) * | 2002-12-27 | 2006-08-30 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Roll support member and recording material package employing same |
US20040251156A1 (en) * | 2003-06-12 | 2004-12-16 | Bell Norman H. | Roll end support |
DK1674405T3 (en) * | 2003-10-14 | 2010-10-18 | Kyowa Ltd | Non-metallic binding strip |
JP2007161286A (en) * | 2005-12-12 | 2007-06-28 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | Packing material for photo-sensitive film roll |
JP5322609B2 (en) * | 2008-12-01 | 2013-10-23 | 日東電工株式会社 | Film roll for semiconductor device manufacturing |
JP4956560B2 (en) * | 2009-01-14 | 2012-06-20 | 古河電気工業株式会社 | Wafer processing tape roll packaging method |
JP5349111B2 (en) * | 2009-03-30 | 2013-11-20 | 村角株式会社 | Roll product protector |
JP5683078B2 (en) * | 2009-04-10 | 2015-03-11 | 村角株式会社 | Roll product protector |
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