KR20130122995A - 가스 누설 검사 기능을 갖는 공정가스 분배장치 - Google Patents

가스 누설 검사 기능을 갖는 공정가스 분배장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20130122995A
KR20130122995A KR1020120046049A KR20120046049A KR20130122995A KR 20130122995 A KR20130122995 A KR 20130122995A KR 1020120046049 A KR1020120046049 A KR 1020120046049A KR 20120046049 A KR20120046049 A KR 20120046049A KR 20130122995 A KR20130122995 A KR 20130122995A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
gas
vacuum pump
distribution
manifold
process gas
Prior art date
Application number
KR1020120046049A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101425441B1 (ko
Inventor
이효석
Original Assignee
주식회사 엘앤엘
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 엘앤엘 filed Critical 주식회사 엘앤엘
Priority to KR1020120046049A priority Critical patent/KR101425441B1/ko
Publication of KR20130122995A publication Critical patent/KR20130122995A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101425441B1 publication Critical patent/KR101425441B1/ko

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17D—PIPE-LINE SYSTEMS; PIPE-LINES
    • F17D5/00—Protection or supervision of installations
    • F17D5/02—Preventing, monitoring, or locating loss
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17D—PIPE-LINE SYSTEMS; PIPE-LINES
    • F17D1/00—Pipe-line systems
    • F17D1/02—Pipe-line systems for gases or vapours
    • F17D1/04—Pipe-line systems for gases or vapours for distribution of gas
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/16—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using electric detection means

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Abstract

가스 누설 검사 기능을 갖는 공정가스 분배장치가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 가스 공급기로부터 공정 가스를 공급받아 공정 장치에 분배하는 공정가스 분배장치로서, 상기 공정 가스를 복수의 루트로 분배하는 복수의 분배관과 상기 분배관을 커버하는 하우징을 포함하는 본체; 상기 각 분배관과 상기 하우징 외부를 상호 연결하는 매니폴드; 상기 매니폴드의 단부에 설치되는 진공 펌프; 상기 하우징 내부로 누설 검사용 가스를 공급하는 누설 검사용 가스 공급부; 및 상기 진공 펌프와 연결되고, 상기 누설 검사용 가스를 감지하는 가스 감지 센서를 포함하는, 가스 누설 검사 기능을 갖는 공정가스 분배장치가 제공된다.

Description

가스 누설 검사 기능을 갖는 공정가스 분배장치{Apparatus for distributing processing gas having air leakage testing function}
본 발명은 가스 누설 검사 기능을 갖는 공정가스 분배장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체, LCD 등의 제조 공정에서는 공정에 필요한 공정가스를 사용한다. 공정가스는 가스공급기에서 가스분배장치를 거쳐 공정장비로 공급된다. 공정 가스는 수소(H2), 실란(SiH4) 또는 삼불화질소(NF3) 등을 포함하는 데, 이러한 공정 가스는 독성이 강해 외부로 노출될 경우 인체에 치명적일 수 있다.
따라서 가스누출사고의 방지를 위한 가스누설검사의 정확성의 확보는 필수적인 사항이 되어 있고, 많은 반도체, LCD등 위험한 가스 사용업체는 안전한 가스의 사용을 위하여 가스누설검사에 인력과 장비의 투자를 시행하고 있다.
통상적으로 가스공급기는 자체적으로 가스누설검사를 실시하고 가스분배장치는 공정장비에서 가스누설검사를 실시하게 된다. 그러나 대부분의 경우 실질적으로 가스누출이 일어나는 부위가 광범위한 관계로 효율적인 검사가 이루어 지지 않고 있고 특히 가스분배장치는 수 미터에서 수십 미터 이상 떨어져서 연결되어 있는 공정장비에서 검사가 이루어지는 관계로 검사의 신속성과 정확성에서 비효율적인 면이 방치되어 있다.
본 발명의 실시예는, 독자적이고 신속한 가스 누설 검사를 하도록 구성된 공정가스 분배장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 가스 공급기로부터 공정 가스를 공급받아 공정 장치에 분배하는 공정가스 분배장치로서, 상기 공정 가스를 복수의 루트로 분배하는 복수의 분배관과 상기 분배관을 커버하는 하우징을 포함하는 본체; 상기 각 분배관과 상기 하우징 외부를 상호 연결하는 매니폴드; 상기 매니폴드의 단부에 설치되는 진공 펌프; 상기 하우징 내부로 누설 검사용 가스를 공급하는 누설 검사용 가스 공급부; 및 상기 진공 펌프와 연결되고, 상기 누설 검사용 가스를 감지하는 가스 감지 센서를 포함하는, 가스 누설 검사 기능을 갖는 공정가스 분배장치가 제공된다.
이 경우, 상기 각 분배관과 연결된 상기 매니폴드의 분기관에는 각각 밸브가 설치될 수 있고, 이때, 상기 각 밸브는 솔레노이드 밸브일 수 있다.
한편, 상기 진공 펌프는 상기 매니폴드에 분리 가능하게 설치될 수 있고, 상기 가스 감지 센서는 상기 진공 펌프에 분리 가능하게 연결될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 독자적인 가스 누설 검사 기능을 가짐으로써 공정가스 분배장치에 대한 신속하고 정확한 가스 누설 검사가 이루어질 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 공정가스 분배장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 공정가스 분배장치를 개략적으로 나타낸 도면이다. 도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 공정가스 분배장치(1)는 본체(10)와, 매니폴드(40)와, 진공 펌프(50)와, 누설 검사용 가스 공급부(60)와, 가스 감지 센서(70)를 포함한다. 이와 같은 본 실시예에 따른 공정가스 분배장치(1)는 가스 공급기(미도시)로부터 공정 가스를 공급받아 공정 장치(미도시)에 분배하며, 나아가 가스 누설 검사를 자체적으로 수행할 수 있다.
보다 상세히, 본체(10)는 공정 가스를 복수의 루트로 분배하는 복수의 분배관(21, 22, 23, 24)과 분배관(21, 22, 23, 24)을 커버하는 하우징(30)을 포함하여 구성된다. 분배관(21, 22, 23, 24)은 가스 공급관(3)을 통해 가스 공급기로부터 공급되는 공정 가스를 복수의 공정 장치로 분배한다. 즉, 본체(10)로 유입된 공정 가스는 복수의 루트로 분배되어 본체(10)에서 배출된다.
가스 공급관(3)에는 가스 공급관(3)을 개폐시키기 위한 밸브(5)가 설치될 수 있다. 그리고 각 분배관(21, 22, 23, 24)에는 각 분배관(21, 22, 23, 24)을 개폐시키기 위한 밸브(25, 26, 27, 28)가 설치될 수 있다.
분배관(21, 22, 23, 24)은 하우징(30)에 의해 커버된다. 하우징(30)은 공정 가스의 분배 과정에서 발생할 수 있는 누설을 차단하기 위해 외부와 차단된 밀폐공간을 구비한다.
매니폴드(40)는 복수의 분배관(21, 22, 23, 24)과 하우징(30)의 외부를 상호 연결한다. 매니폴드(40)는 각 분배관(21, 22, 23, 24)과 연결되는 분기관(41, 42, 43, 44)을 가진다. 각 분기관(41, 42, 43, 44)에는 각 분기관(41, 42, 43, 44)을 개폐하기 위한 밸브(45, 46, 47, 48)가 설치될 수 있다. 이때, 밸브(45, 46, 47, 48)는 솔레노이드 밸브일 수 있고, 외부에서 원격 조정할 수 있다. 대안적으로 밸브(45, 46, 47, 48)는 수동으로 조작할 수 있음은 물론이다.
매니폴드(40)에는 후술하는 진공 펌프(50)로의 이동 통로를 개폐하기 위한 밸브(49)가 설치될 수 있다.
매니폴드(40)의 단부에는 진공 펌프(50)가 설치될 수 있다. 진공 펌프(50)는 가스 누설 검사 과정에서 하우징(30) 내부의 공기를 분기관(41, 42, 43, 44)의 누설 부위를 통해 외부로 펌핑하기 위한 것으로, 이에 대한 설명은 후술한다.
진공 펌프(50)는 매니폴드(40)에 분리 가능하게 설치될 수 있다. 이 경우, 가스 누설검사 시에만 진공 펌프(50)를 설치하여 사용할 수 있어 공간 활용성이 좋다. 다만, 진공 펌프(50)는 매니폴드(40)에 고정 설치하여 사용될 수 있음은 물론이다.
본 실시예에 따른 공정가스 분배장치(1)는 누설 검사용 가스 공급부(60)를 포함한다. 누설 검사용 가스 공급부(60)는 누설 검사용 가스를 하우징(30) 내부로 공급한다. 누설 검사용 가스는 헬륨 또는 네온 등과 같은 불활성 기체를 포함할 수 있다. 누설 검사용 가스 공급부(60)는 누설 검사용 가스를 저장하는 저장부(미도시)와 저장부에서 하우징(30)으로 누설 검사용 가스를 펌핑하는 펌프(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.
누설 검사용 가스 공급부(60)는 하우징(30)에 고정 설치되거나 분리 가능하게 설치될 수 있음은 물론이다.
본 실시예에 따른 공정가스 분배장치(1)는 가스 감지 센서(70)를 포함할 수 있다. 가스 감지 센서(70)는 진공 펌프(50)와 연결된다. 이때 가스 감지 센서(70)는 진공 펌프(50)에 분리 가능하게 연결될 수 있다. 이 경우, 감지 센서는 진공 펌프(50)와 별도로 보관할 수 있다. 다만, 가스 감지 센서(70)는 진공 펌프(50)에 고정되어 사용될 수 있음은 물론이다.
이하, 도 1을 참조하여 본 실시예에 따른 공정가스 분배장치(1)가 가스 누설 검사를 수행하는 과정을 설명한다. 여기서 진공 펌프(50)가 매니폴드(40)에 고정 설치된 경우와 분리 가능하게 설치된 경우를 구별하여 설명한다.
진공 펌프가 고정 설치된 경우
공정가스 분배장치(1)의 복수의 분배관(21, 22, 23, 24) 중 하나, 예를 들어 도면 부호 21로 표기된 분배관에 대한 누설 검사를 수행하는 경우, 분기관(41)에 설치된 밸브(45)는 개방하고 나머지 분기관(42, 43, 44)의 밸브(46, 47, 48)는 폐쇄한다. 이 경우, 분배관(21)은 매니폴드(40)에 의해 외부와 연결될 수 있고, 나머지 분배관(22, 23, 24)은 외부와 단절된다. 이때, 분배관(21)에 의한 공정가스의 이동은 밸브(25)에 의해 차단되고, 나머지 분배관(22, 23, 24)에 의한 공정가스의 이동은 나머지 밸브(26, 27, 28)에 의해 선택적으로 차단될 수 있다.
이후, 누설 검사용 가스를 하우징(30) 내부로 공급한다. 그리고 진공 펌프(50)를 작동시킨다. 이때, 만약 분배관(21)에 누설 부위가 존재하면, 하우징(30) 내부의 누설 검사용 가스는 분배관(21)의 누설 부위를 통해 매니폴드(40)를 거쳐 외부로 펌핑되어 진공 펌프(50)에 연결된 가스 감지 센서(70)에 의해 감지된다.
이와 같은 누설 검사는 각 분배관(21, 22, 23, 24)을 대상으로 개별적으로 수행되거나 분배관(21, 22, 23, 24) 중 일부를 조합하여 수행되는 등 다양한 방식으로 진행될 수 있음은 물론이다.
이와 같은 본 실시예에 따르면, 공정가스 분배장치(1)가 독자적인 가스 누설 검사 기능을 가짐으로써 공정가스 분배장치(1)에 대한 신속하고 정확한 가스 누설 검사가 이루어질 수 있다.
진공 펌프가 분리 가능하게 설치된 경우
공정가스 분배장치(1)의 복수의 분배관(21, 22, 23, 24) 중 하나, 예를 들어 도면 부호 21로 표기된 분배관에 대한 누설 검사를 수행하는 경우, 분기관(41)에 설치된 밸브(45)는 개방하고 나머지 분기관(42, 43, 44)의 밸브(46, 47, 48)는 폐쇄한다. 이 경우, 분배관(21)은 매니폴드(40)에 의해 외부와 연결될 수 있고, 나머지 분배관(22, 23, 24)은 외부와 단절된다. 이때, 분배관(21)에 의한 공정가스의 이동은 밸브(25)에 의해 차단되고, 나머지 분배관(22, 23, 24)에 의한 공정가스의 이동은 나머지 밸브(26, 27, 28)에 의해 선택적으로 차단될 수 있다.
그리고, 본체(10)와 분리되어 있던 진공 펌프(50)를 매니폴드(40)의 단부에 설치한다. 이 진공 펌프(50)의 설치 공정은 분기관(41, 42, 43, 44)의 개방 또는 폐쇄 공정에 앞서 수행되거나 그 이후에 수행될 수 있다.
이후, 누설 검사용 가스를 하우징(30) 내부로 공급한다. 그리고 진공 펌프(50)를 작동시킨다. 이때, 만약 분배관(21)에 누설 부위가 존재하면, 하우징(30) 내부의 누설 검사용 가스는 분배관(21)의 누설 부위를 통해 매니폴드(40)를 거쳐 외부로 펌핑되어 진공 펌프(50)에 연결된 가스 감지 센서(70)에 의해 감지된다.
이와 같은 본 실시예에 따르면, 공정가스 분배장치(1)가 독자적인 가스 누설 검사 기능을 가짐으로써 공정가스 분배장치(1)에 대한 신속하고 정확한 가스 누설 검사가 이루어질 수 있을 뿐만 아니라, 진공 펌프(50)를 본체(10)로부터 분리할 수 있어 공간 활용성이 탁월하다.
이상, 본 발명의 실시예들에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.
10 : 본체
21, 22, 23, 24 : 분배관
30 : 하우징
40 : 매니폴드
41, 42, 43, 44 : 분기관
50 : 진공 펌프
60 : 누설 검사용 가스 공급부
70 : 가스 감지 센서

Claims (5)

  1. 가스 공급기로부터 공정 가스를 공급받아 공정 장치에 분배하는 공정가스 분배장치로서,
    상기 공정 가스를 복수의 루트로 분배하는 복수의 분배관과 상기 분배관을 커버하는 하우징을 포함하는 본체;
    상기 각 분배관과 상기 하우징 외부를 상호 연결하는 매니폴드;
    상기 매니폴드의 단부에 설치되는 진공 펌프;
    상기 하우징 내부로 누설 검사용 가스를 공급하는 누설 검사용 가스 공급부; 및
    상기 진공 펌프와 연결되고, 상기 누설 검사용 가스를 감지하는 가스 감지 센서를 포함하는, 가스 누설 검사 기능을 갖는 공정가스 분배장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 각 분배관과 연결된 상기 매니폴드의 분기관에는 각각 밸브가 설치되는 것을 특징으로 하는, 가스 누설 검사 기능을 갖는 공정가스 분배장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 각 밸브는 솔레노이드 밸브인 것을 특징으로 하는, 가스 누설 검사 기능을 갖는 공정가스 분배장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 진공 펌프는 상기 매니폴드에 분리 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는, 가스 누설 검사 기능을 갖는 공정가스 분배장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 가스 감지 센서는 상기 진공 펌프에 분리 가능하게 연결되는 것을 특징으로 하는, 가스 누설 검사 기능을 갖는 공정가스 분배장치.
KR1020120046049A 2012-05-02 2012-05-02 가스 누설 검사 기능을 갖는 공정가스 분배장치 KR101425441B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120046049A KR101425441B1 (ko) 2012-05-02 2012-05-02 가스 누설 검사 기능을 갖는 공정가스 분배장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120046049A KR101425441B1 (ko) 2012-05-02 2012-05-02 가스 누설 검사 기능을 갖는 공정가스 분배장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20130122995A true KR20130122995A (ko) 2013-11-12
KR101425441B1 KR101425441B1 (ko) 2014-08-18

Family

ID=49852421

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120046049A KR101425441B1 (ko) 2012-05-02 2012-05-02 가스 누설 검사 기능을 갖는 공정가스 분배장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101425441B1 (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106965266A (zh) * 2017-05-16 2017-07-21 青岛沃富特机械制造有限公司 一种真空分配装置及其木工机床
CN107782511A (zh) * 2017-10-18 2018-03-09 歌尔股份有限公司 气密性检测装置及检测方法
CN108488625A (zh) * 2018-05-29 2018-09-04 北京石油化工工程有限公司 一种气路系统集配器

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100572700B1 (ko) * 2003-10-13 2006-04-24 주식회사 마이크로텍 진공누설 검사방법 및 장치
KR20060010305A (ko) * 2004-07-27 2006-02-02 삼성전자주식회사 가스누설검출장치를 갖는 반도체 제조설비
KR20060091572A (ko) * 2005-02-16 2006-08-21 삼성전자주식회사 반도체 소자 제조 설비의 리크 감지 장치
JP2012047651A (ja) 2010-08-30 2012-03-08 Anest Iwata Corp リーク検出装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106965266A (zh) * 2017-05-16 2017-07-21 青岛沃富特机械制造有限公司 一种真空分配装置及其木工机床
CN107782511A (zh) * 2017-10-18 2018-03-09 歌尔股份有限公司 气密性检测装置及检测方法
CN107782511B (zh) * 2017-10-18 2019-08-23 歌尔股份有限公司 气密性检测装置及检测方法
CN108488625A (zh) * 2018-05-29 2018-09-04 北京石油化工工程有限公司 一种气路系统集配器

Also Published As

Publication number Publication date
KR101425441B1 (ko) 2014-08-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101425441B1 (ko) 가스 누설 검사 기능을 갖는 공정가스 분배장치
WO2006093935A3 (en) Apparatus and process for leak-testing and qualification of fluid dispensing vessels
JP2011107034A (ja) リークディテクタ
CN204177537U (zh) 一种容器氦质谱检漏装置
KR20170066677A (ko) 시료 채취 장치 및 시료 채취 방법
US20120260722A1 (en) Leak testing device and method
CN102150028A (zh) 探测在地下液体管道特别是水管道中泄漏的探测装置和探测方法
CN104296943A (zh) 一种真空式氦检设备及其方法
KR200490385Y1 (ko) 볼밸브의 누설시험장치
JP2012047651A (ja) リーク検出装置
KR101620262B1 (ko) 천연가스 배관용 볼밸브의 누설 시험 장치 및 이를 이용한 천연가스 배관용 볼밸브의 누설 시험 방법
CN104390747A (zh) 一种接插件焊接密封性的检测方法
KR20170037826A (ko) 교정장치
EA201070470A1 (ru) Детектор утечки газа, способ и устройство для обнаружения утечки газа
CN110187066B (zh) 一种水氧颗粒分析检测系统及其检测方法
JP2013185866A (ja) 漏洩検知機能およびパージ機能を有する配管システム
CN102494849B (zh) 气密性检测装置及其实现方法
KR20100099611A (ko) 불소가스 불순물 분석 장치
FI128657B (en) System and method for detecting leakage in a nuclear fuel bundle
JP2018140361A (ja) 混合ガス供給装置
CN209745904U (zh) 氧传感器校准装置
CN105934656B (zh) 用于测量加压装置中、特别是尿素设备的装置中的液位的设备和方法
SG10201706295QA (en) A Method and A Device for Measuring Gas Dissociation Degrees with an Optical Spectrometer
JP2009042041A (ja) リークテスト装置
CN204740091U (zh) 一种样气压力测量装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170518

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180515

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190524

Year of fee payment: 6