KR20130116178A - Storage room - Google Patents

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KR20130116178A
KR20130116178A KR1020130038081A KR20130038081A KR20130116178A KR 20130116178 A KR20130116178 A KR 20130116178A KR 1020130038081 A KR1020130038081 A KR 1020130038081A KR 20130038081 A KR20130038081 A KR 20130038081A KR 20130116178 A KR20130116178 A KR 20130116178A
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storage area
ffu
area
crane
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KR1020130038081A
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Korean (ko)
Inventor
야스히토 미츠도메
Original Assignee
무라다기카이가부시끼가이샤
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Abstract

PURPOSE: A storage is provided to prevent dust caused by the movement of a crane from spreading. CONSTITUTION: A storage (1A) comprises multiple storage shelves (81), a crane (9), a moving path (10), and an exhaust unit (11). The storage shelves are installed in a storage area (12) and store objects therein. The crane moves within a moving area in the storage area and draws the objects into/out of the storage shelves. The moving path is buried in the moving area, and the crane moves along the moving path. The exhaust unit exhausts clean air from the storage area to the outside.

Description

보관고{STORAGE ROOM}Archive {STORAGE ROOM}

본 발명은, 예를 들면 반도체 웨이퍼 또는 글라스 기판 등의 피보관물을 보관하기 위한 보관고에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD This invention relates to the storage for storing objects to be stored, for example, a semiconductor wafer or a glass substrate.

종래, 반도체 장치나 액정표시장치 등의 제조 공장의 클린 룸에 있어서, 예를 들면 반도체 웨이퍼 또는 글라스 기판 등의 피보관물을 보관하기 위한 보관고가 알려져 있다. 이러한 보관고에 있어서는, 보관고 내를 크레인이 이동함으로써 발생한 진애가 보관선반에 확산되는 것을 방지하기 위하여, 보관고 내에 청정 기체를 유통시키는 구성에 관하여 다양한 고안이 제안되어 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).Background Art In the clean room of a manufacturing plant such as a semiconductor device or a liquid crystal display device, a storage for storing a stored object such as a semiconductor wafer or a glass substrate is known. In such storage, in order to prevent the dust generated by moving a crane in the storage from spreading to the storage shelf, various designs have been proposed regarding the structure which distributes a clean gas in the storage (for example, refer patent document 1). ).

일본특허공개공보 2009－126631호Japanese Patent Publication No. 2009-126631

그런데, 상술한 바와 같은 보관고에 있어서는, 청정 기체를 순환시키기 위한 리턴 덕트의 레이아웃 등에 기인하여, 청정 기체의 유속에 분포가 발생하고, 그 결과, 청정 기체의 유속이 낮은 영역에서는, 크레인의 이동에 수반하여 발생하는 진애가 확산될 우려가 있다.By the way, in the storage mentioned above, distribution arises in the flow velocity of a clean gas due to the layout of the return duct for circulating a clean gas, etc. As a result, in the area | region where the flow velocity of clean gas is low, it moves to crane movement. There is a fear that the dust generated by it will spread.

본 발명은, 이러한 과제를 해결하기 위하여 이루어진 것이며, 크레인의 이동에 수반하여 발생하는 진애가 확산되는 것을 억제할 수 있는 보관고를 제공하는 것을 목적으로 한다.This invention is made | formed in order to solve such a subject, and an object of this invention is to provide the storage which can suppress the spread of the dust which arises with movement of a crane.

본 발명에 따른 보관고는, 바닥면의 상방에 위치하는 보관영역 내에 설치되고, 피보관물을 보관하는 복수의 보관선반과, 보관영역 중 보관선반의 전방에 위치하는 이동 영역 내를 이동하고, 피보관물을 보관선반에 대하여 반입·반출하는 크레인과, 바닥면을 따르도록 이동 영역 내에 부설되고, 크레인을 주행시키는 주행로와, 크레인과 주행로의 접지면보다 하방에 위치하고 또한 주행로를 따르도록 바닥면의 상방에 설치되고, 보관영역 내로부터 보관영역 외에 청정 기체를 배기하는 배기 장치를 구비한다.The storage room according to the present invention is provided in a storage area located above the bottom surface, and includes a plurality of storage shelves for storing the stored objects, and a moving area located in front of the storage shelf among the storage areas. Cranes for carrying in and out of the storage to and from the storage shelf, a traveling path which is installed in the moving area to follow the floor surface, and which are located below the ground plane of the crane and the traveling path, It is provided above the surface, and is provided with the exhaust apparatus which exhausts clean gas other than a storage area from the storage area.

이 보관고에서는, 크레인과 주행로의 접지면보다 하방에 위치하고 또한 주행로를 따르도록 배기 장치가 설치되어 있다. 이 때문에, 주행로를 따라 청정 기체의 유속 분포가 균일화된 상태로, 청정 기체가 접지면의 상방으로부터 하방을 향하여 흐르게 된다. 이에 의해, 접지면에서 발생한 진애는, 배기 장치에 의해 보관영역 내로부터 보관영역 외로 제거된다. 따라서, 이 보관고에 의하면, 크레인의 이동에 수반하여 발생하는 진애가 확산되는 것을 억제할 수 있다.In this storage, an exhaust device is provided so as to be located below the ground plane of the crane and the traveling path and along the traveling path. For this reason, the clean gas flows toward the downward direction from above the ground plane in a state where the flow velocity distribution of the clean gas is uniform along the traveling path. As a result, dust generated at the ground plane is removed from the storage area to the storage area by the exhaust device. Therefore, according to this storage, it can suppress that the dust which arises with movement of a crane spreads.

또한 주행로는, 바닥면에 대하여 간극부를 개재하여 부설되어 있고, 배기 장치는, 간극부에 설치되어 있어도 좋다. 이 구성에 의하면, 크레인의 저부에 각종 장치가 설치되어 있어도, 각종 장치와 배기 장치의 간섭을 방지할 수 있다.The traveling path may be provided with respect to the bottom surface via a gap portion, and the exhaust device may be provided in the gap portion. According to this structure, even if various apparatuses are provided in the bottom of a crane, the interference of various apparatuses and an exhaust apparatus can be prevented.

또한, 본 발명에 따른 보관고는, 보관영역의 상방에 설치되고, 보관영역 외로부터 보관영역 내로 청정 기체를 흡기하여 보관영역의 하방을 향하여 분출하는 제 1 흡기 장치를 더 구비해도 좋다. 이 구성에 의하면, 보관영역 내에서 상측으로부터 하측을 향하여 양호하게 청정 기체가 흐르기 때문에, 보관영역 내의 진애 등을 양호하게 배기 장치에 모을 수 있다.Further, the storage chamber according to the present invention may further include a first intake apparatus which is provided above the storage region and inhales clean gas from outside the storage region into the storage region and ejects it toward the lower side of the storage region. According to this configuration, since the clean gas flows well from the upper side to the lower side in the storage area, dust and the like in the storage area can be collected in the exhaust device satisfactorily.

또한, 본 발명에 따른 보관고는, 보관선반의 후방에 설치되고, 보관영역 외로부터 보관영역 내로 청정 기체를 흡기하여 보관선반의 전방을 향하여 분출하는 제 2 흡기 장치를 더 구비해도 좋다. 이 구성에 의하면, 보관선반의 후방으로부터 전방을 향하여 청정 기체가 양호하게 흐르기 때문에, 보관선반 내의 피보관물에 부착된 진애 등을 양호하게 제거할 수 있다.The storage chamber according to the present invention may further include a second intake apparatus which is provided at the rear of the storage shelf and inhales clean gas from outside the storage area into the storage area and ejects it toward the front of the storage shelf. According to this configuration, since the clean gas flows well from the rear of the storage shelf to the front, dust or the like adhered to the object in the storage shelf can be removed satisfactorily.

또한, 본 발명에 따른 보관고는, 보관영역 내와 보관영역 외를 구획하는 구획판을 더 구비해도 좋다. 이 구성에 의하면, 보관영역 내의 청정 기체의 흐름이 흐트러지는 것을 억제할 수 있다.In addition, the storage according to the present invention may further include a partition plate that divides the inside of the storage area and the outside of the storage area. According to this structure, it can suppress that the flow of the clean gas in a storage area is disturbed.

본 발명에 의하면, 크레인의 이동에 수반하여 발생하는 진애가 확산되는 것을 억제할 수 있는 보관고를 제공하는 것이 가능해진다.According to this invention, it becomes possible to provide the storage which can suppress the spread of the dust which arises with movement of a crane.

도 1은 본 발명에 따른 보관고의 제 1 실시예를 나타낸 구성도이다.
도 2는 본 발명에 따른 보관고의 제 2 실시예를 나타낸 구성도이다.
도 3은 본 발명에 따른 보관고의 제 3 실시예를 나타낸 구성도이다.1 is a configuration diagram showing a first embodiment of a storage room according to the present invention.
Figure 2 is a block diagram showing a second embodiment of the storage room according to the present invention.
3 is a configuration diagram showing a third embodiment of the storage room according to the present invention.

이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 보관고의 적합한 실시예에 대하여 상세하게 설명한다. 또한, 동일 또는 상당 요소에는 동일한 부호를 부여하고, 중복된 설명은 생략한다.Hereinafter, with reference to the drawings will be described in detail a preferred embodiment of the storage room according to the present invention. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same or equivalent element, and the overlapping description is abbreviate | omitted.

<제 1 실시예>&Lt; Embodiment 1 >

도 1은, 본 발명에 따른 보관고의 제 1 실시예를 나타낸 구성도이다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 보관고(1A)는, 예를 들면, 클린 룸(100)에 설치되어 있고, 반도체 웨이퍼 또는 글라스 기판 등의 피보관물(R)을 보관한다. 피보관물(R)은, 예를 들면, 카세트 등에 수용된 상태로 보관된다. 클린 룸(100)에 있어서, 보관고(1A)가 설치되는 바닥면(2A)의 하방에는, 공간인 바닥아래 영역(3)이 마련되어 있다. 바닥면(2A)은, 복수의 개구(21)가 마련된 바닥으로 되어 있고, 개구(21)에 의해 바닥면(2A)의 상방의 영역과 바닥아래 영역(3)이 연통되어 있다.1 is a configuration diagram showing a first embodiment of a storage room according to the present invention. As shown in FIG. 1, the storage 1A is provided in the clean room 100, for example, and stores the object R such as a semiconductor wafer or a glass substrate. The object R is stored in a state accommodated in a cassette or the like, for example. In the clean room 100, the bottom floor area | region 3 which is a space is provided below 2 A of floors in which 1 A of storage is provided. The bottom face 2A has a bottom provided with a plurality of openings 21, and the opening 21 communicates with the region above the bottom face 2A and the bottom bottom region 3.

클린 룸(100)의 외측에는, 상방을 향하여 연장되는 리턴 덕트(4)가 설치되어 있다. 리턴 덕트(4)는, 여기서는, 클린 룸(100)에 대하여 편측에 설치되어 있고, 수평 방향으로 대략 평행한 소정 방향(X)(지면 수직 방향)을 따라 복수 배치되어 있다. 또한 리턴 덕트(4)는, 클린 룸(100)에 대하여 양측에 설치되어도 좋다. 리턴 덕트(4)의 도중에는, 팬(F)이 설치되어 있다. 팬(F)은, 하측(바닥면측)의 공기를 흡인하여 상측(보관고(1A)의 상방측)으로 배기한다.Outside the clean room 100, a return duct 4 extending upward is provided. Here, the return duct 4 is provided in the one side with respect to the clean room 100, and is arranged in multiple numbers along the predetermined direction X (plane vertical direction) which is substantially parallel to a horizontal direction. In addition, the return duct 4 may be provided in both sides with respect to the clean room 100. The fan F is provided in the middle of the return duct 4. The fan F sucks air from the lower side (bottom surface side) and exhausts it to the upper side (upper side of the storage 1A).

이러한 클린 룸(100)에 설치된 보관고(1A)는, 외측 FFU(팬 필터 유닛)(5), 파티션(구획판)(6A), 천정 FFU(제 1 흡기 장치)(7), 래크(8), 크레인(9), 주행 레일(주행로)(10), 및 배기용 FFU(배기 장치)(11)를 구비하고 있다.The storage 1A installed in such a clean room 100 includes an outer FFU (fan filter unit) 5, a partition (compartment plate) 6A, a ceiling FFU (first intake device) 7, and a rack 8 , A crane 9, a travel rail (runway) 10, and an exhaust gas exhaust unit (FFU) 11 are provided.

외측 FFU(5)는, 파티션(6A)의 외측의 클린 룸(100) 내에 있어서, 파티션(6A)의 양측에 소정 방향(X)을 따라 복수 설치되어 있고, 상방으로부터 청정 공기(청정 기체)를 흡기하여 하방을 향하여 분출한다. 또한, 외측 FFU(5)의 하방에는, 그레이팅 바닥(G)이 설치되어 있다. 파티션(6A)은, 바닥면(2A)의 상방의 영역을 구획하는 것이며, 그 내측은 보관영역(12)으로 되어 있다. 천정 FFU(7)는, 파티션(6A)의 천정 부분, 즉, 보관영역(12)의 상방에 소정 방향(X)을 따라 복수 설치되어 있고, 보관영역(12) 외로부터 보관영역(12) 내로 청정 공기를 흡기하여, 보관영역(12)의 하방을 향하여 분출한다.In the clean room 100 outside the partition 6A, the outer FFU 5 is provided in plural on both sides of the partition 6A along a predetermined direction X, and clean air (clean gas) is provided from above. It inhales and spouts downward. Moreover, below the outer FFU 5, the grating bottom G is provided. The partition 6A partitions an area above the bottom 2A, and the inside thereof is a storage area 12. The ceiling FFU 7 is provided in plural in the ceiling portion of the partition 6A, that is, above the storage area 12 along the predetermined direction X, and from outside the storage area 12 into the storage area 12. The clean air is taken in and blown out toward the storage area 12.

래크(8)는 피보관물(R)을 보관하는 것이며, 보관영역(12) 내에 복수열(여기서는 2 열) 설치되어 있다. 각 래크(8)는 소정 방향(X)으로 연장되어 있고, 인접하는 래크(8, 8)가 대향하도록 대략 평행하게 배치되어 있다. 각 래크(8)에는, 소정 방향(X) 및 수직 방향(종횡)을 따라 피보관물(R)을 보관하는 보관선반(81)이 복수 형성되어 있다. 래크(8)에서는, 각 보관선반(81)에 대하여 피보관물(R)이 반입·반출되는 측이 전방으로 되어 있고, 그 반대측이 후방으로 되어 있다. 대향하는 래크(8, 8)는, 당해 대향하는 래크(8, 8)에 샌드위치된 영역으로부터 피보관물(R)의 반입·반출을 행할 수 있도록, 대향하는 래크(8, 8)에 샌드위치된 영역측이 전방이 되도록 배치되어 있다.The rack 8 stores the object R, and a plurality of rows (here two rows) are provided in the storage area 12. Each rack 8 extends in the predetermined direction X, and is arrange | positioned substantially parallel so that adjacent racks 8 and 8 may oppose. Each rack 8 is provided with the plurality of storage shelves 81 which hold | maintain the to-be-held object R along predetermined direction X and a vertical direction (vertical and horizontal). In the rack 8, the side into which the object R is carried in and out with respect to each storage shelf 81 is front, and the opposite side is back. The opposing racks 8 and 8 are sandwiched by the opposing racks 8 and 8 so as to carry in and carry out the object R from the region sandwiched by the opposing racks 8 and 8. It is arrange | positioned so that an area side may be front.

크레인(9)은, 피보관물(R)을 보관선반(81)에 대하여 반입·반출하는 것이며, 대향하는 래크(8, 8)에 샌드위치된 영역에 배치되어 있다. 즉, 크레인(9)은, 각 보관선반(81)의 전방에 위치하는 영역에 배치되어 있다. 크레인(9)은, 주행 레일(10)을 주행함으로써, 래크(8)를 따라 소정 방향(X)으로 이동할 수 있도록 되어 있다. 이와 같이, 보관영역(12) 중, 각 보관선반(81)의 전방에 위치하는 영역은, 크레인(9)이 이동하는 이동 영역(13)으로 되어 있다. 크레인(9)의 적재대(91)는 승강 가능하게 되어 있고, 수직 방향으로 설치된 복수의 보관선반(81)에 대하여, 피보관물(R)을 반입·반출할 수 있도록 되어 있다. 크레인(9)의 저부에는, 차륜(92, 92)이 설치되어 있다.The crane 9 carries in and carries out the to-be-retained object R with respect to the storage shelf 81, and is arrange | positioned in the area | region sandwiched by the opposing racks 8 and 8. As shown in FIG. That is, the crane 9 is arrange | positioned in the area located in front of each storage shelf 81. As shown in FIG. The crane 9 can move in the predetermined direction X along the rack 8 by running the travel rail 10. Thus, the area | region located in front of each storage shelf 81 among the storage areas 12 becomes the moving area 13 to which the crane 9 moves. The mounting base 91 of the crane 9 is able to move up and down, and is able to carry in and carry out the to-be-retained object R with respect to the some storage shelf 81 provided in the vertical direction. Wheels 92 and 92 are provided at the bottom of the crane 9.

주행 레일(10)은, 바닥면(2A) 및 래크(8)를 따르도록 크레인(9)을 주행시키는 것이며, 크레인(9)의 차륜(92, 92)에 대응하여, 바닥면(2A)을 따르도록 2 개 부설되어 있다. 여기서, 각 주행 레일(10)은, 바닥면(2A)에 대하여 높이 방향으로 이간한 위치에 설치된 상승부(14)에 의해, 바닥면(2A)에 대하여 상승된 상태로 부설되어 있다.The traveling rail 10 drives the crane 9 to follow the bottom surface 2A and the rack 8, and corresponds to the wheels 92 and 92 of the crane 9 to move the bottom surface 2A. Two are laid to follow. Here, each running rail 10 is attached in the state raised with respect to 2 A of floor surfaces by the rise part 14 provided in the position separated from the height direction with respect to 2 A of floor surfaces.

상승부(14)는, 여기서는 판 형상을 나타내고 있고, 바닥면(2A) 및 래크(8)를 따르도록 설치되어 있다. 상승부(14)는, 각 주행 레일(10)의 하방에 위치하는 부분으로부터 하방을 향하여 돌출한 지지부(15)에 의해, 바닥면(2A)에 대하여 고정되어 있다. 지지부(15)는, 주행 레일(10)을 따르도록 복수 설치되어 있다. 상승부(14) 및 지지부(15)는, 상방의 크레인(9) 및 주행 레일(10)의 중량에 견딜 수 있는 재료로 형성되어 있고, 예를 들면 금속에 의해 형성되어 있다. 상승부(14) 및 지지부(15)는, 별체로 형성되어 있어도 좋고, 일체로 형성되어 있어도 좋다.The rising part 14 has shown plate shape here, and is provided so that 2 A of bottom surfaces and the rack 8 may be along. The rising part 14 is fixed with respect to 2 A of bottom surfaces by the support part 15 which protruded downward from the part located under each running rail 10. As shown in FIG. The support part 15 is provided in multiple numbers so that the running rail 10 may be followed. The rising part 14 and the support part 15 are formed with the material which can bear the weight of the upper crane 9 and the traveling rail 10, For example, they are formed with metal. The rising part 14 and the support part 15 may be formed separately, and may be formed integrally.

바닥면(2A)과 상승부(14)의 사이의 공간은, 간극부(16)로 되어 있다. 즉, 각 주행 레일(10)은, 바닥면(2A)에 대하여 간극부(16)를 개재하여 부설되어 있다. 간극부(16)의 높이(h)는, 배기용 FFU(11)를 배치할 수 있는 정도, 또는, 그 이상의 높이로 되어 있다.The space between the bottom surface 2A and the riser 14 is a gap portion 16. That is, each running rail 10 is attached to the bottom surface 2A via the clearance gap 16. As shown in FIG. The height h of the gap portion 16 is such that the exhaust FFU 11 can be disposed or is higher than the height h.

배기용 FFU(11)는, 보관영역(12) 내로부터 보관영역(12) 외인 간극부(16)로 청정 공기를 배기하는 것이다. 배기용 FFU(11)는, 상승부(14)의 하면에 고정됨으로써, 간극부(16)에 설치되어 있다. 즉, 배기용 FFU(11)는, 바닥면(2A)의 상방에 있어서, 크레인(9)의 차륜(92)과 주행 레일(10)의 접지면(S)보다 하방에 위치하도록 설치되어 있다. 배기용 FFU(11)는, 주행 레일(10)을 따르도록 복수 설치되어 있다. 또한 배기용 FFU(11)는, 주행 레일(10)을 따라 빈틈 없이 설치되어 있어도 좋고, 빈틈을 두고 설치되어 있어도 좋다. 또한 배기용 FFU(11)는, 주행 레일(10)을 따르도록 설치하는 것이 가능하면, 하나여도 좋다. 배기용 FFU(11)에서는, 보관영역(12) 내로부터 간극부(16)로의 청정 공기의 유속을 조절하는 것이 가능하다.The exhaust FFU 11 exhausts clean air from the storage area 12 to the gap portion 16 outside the storage area 12. The exhaust FFU 11 is fixed to the lower surface of the rising portion 14 and is provided in the gap portion 16. That is, the exhaust FFU 11 is provided so as to be located below the ground surface S of the wheel 92 of the crane 9 and the travel rail 10 above the bottom surface 2A. The exhaust FFU 11 is provided in plural so as to follow the travel rail 10. In addition, the exhaust FFU 11 may be provided along the travel rail 10 without a gap, or may be provided with a gap. In addition, as long as it can install so that the exhaust FFU 11 may run along the running rail 10, you may be one. In the exhaust FFU 11, it is possible to adjust the flow rate of clean air from the storage region 12 to the gap portion 16.

이러한 보관고(1A)가 설치된 클린 룸(100)에서는, 파티션(6A)의 외측의 클린 룸(100) 내에서는, 외측 FFU(5)에 의해 청정 공기가 상방으로부터 하방을 향하여 분출된다. 파티션(6A)의 내측에서는, 천정 FFU(7)에 의해, 보관영역(12) 외로부터 보관영역(12) 내로 청정 공기가 흡기되고 보관영역(12)의 하방을 향하여 분출된다. 또한, 배기용 FFU(11)에 의해 보관영역(12) 내로부터 간극부(16)에 청정 공기가 배기된다. 이에 의해, 보관영역(12) 내에는, 상측으로부터 하측으로 흐르는 청정 공기의 흐름(다운 플로우)이 발생하고, 이 다운 플로우에 의해 보관영역(12) 내의 진애 등이 청정 공기와 함께 배기용 FFU(11)를 향한다. 그리고, 청정 공기가 배기용 FFU(11)를 통과할 때에, 진애 등은 배기용 FFU(11)의 필터에 의해 포착된다.In the clean room 100 provided with such a storage 1A, in the clean room 100 of the outer side of 6 A of partitions, the clean air blows out from upper direction downward by the outer FFU5. Inside the partition 6A, clean air is taken in by the ceiling FFU 7 from outside the storage area 12 into the storage area 12 and blown out below the storage area 12. In addition, clean air is exhausted from the storage region 12 to the gap portion 16 by the exhaust FFU 11. As a result, a flow (downflow) of clean air flowing from the upper side to the lower side is generated in the storage area 12, and dust and the like in the storage area 12 together with the clean air exhaust FFU ( 11) When clean air passes through the exhaust FFU 11, dust and the like are captured by the filter of the exhaust FFU 11.

간극부(16)로 배기된 청정 공기는, 팬(F)에 의해, 바닥면(2A)의 개구(21)를 개재하여 바닥아래 영역(3)으로 유입되고, 또한 리턴 덕트(4) 내로 유입된다. 리턴 덕트(4)에 유입된 청정 공기는, 일부는 외측 FFU(5)로 되돌려지고, 나머지는 천정 FFU(7)로 되돌려져 재차 보관영역(12) 내로 흡기된다. 청정 공기가 외측 FFU(5) 또는 천정 FFU(7)를 통과할 때, 바닥아래 영역(3) 또는 리턴 덕트(4)에서 모아진 진애 등은 외측 FFU(5) 또는 천정 FFU(7)의 필터에 의해 포착된다. 이와 같이, 클린 룸(100)에서는, 청정 공기가 보관영역(12), 간극부(16), 바닥아래 영역(3) 및 리턴 덕트(4)를 순환한다.The clean air exhausted to the gap portion 16 flows into the sub-floor area 3 through the opening 21 of the bottom surface 2A by the fan F, and also into the return duct 4. do. Part of the clean air flowing into the return duct 4 is returned to the outer FFU 5, and the rest of the clean air is returned to the ceiling FFU 7 and is again taken into the storage area 12. When clean air passes through the outer FFU (5) or ceiling FFU (7), dust collected in the subfloor area (3) or the return duct (4) is transferred to the filter of the outer FFU (5) or ceiling FFU (7). Is captured by. In this way, in the clean room 100, clean air circulates through the storage region 12, the gap portion 16, the subfloor region 3, and the return duct 4.

이상과 같이 구성된 보관고(1A)에서는, 크레인(9)의 차륜(92)과 주행 레일(10)의 접지면(S)보다 하방에 위치하고 또한 주행 레일(10)을 따르도록 배기용 FFU(11)가 설치되어 있다. 이 때문에, 클린 룸(100)에 설치된 리턴 덕트(4)의 배치 등에 상관없이, 주행 레일(10)을 따라 청정 공기의 유속 분포가 균일화된 상태로, 청정 공기가 접지면(S)의 상방으로부터 하방을 향하여 흐르게 된다. 이에 의해, 접지면(S)에서 발생한 진애는, 배기용 FFU(11)에 의해 보관영역(12) 내로부터 보관영역(12) 외로 제거된다. 따라서, 보관고(1A)에 의하면, 크레인(9)의 이동에 수반하여 발생하는 진애가 확산되는 것을 억제할 수 있다.In the storage 1A configured as described above, the exhaust FFU 11 is located below the wheel 92 of the crane 9 and the ground plane S of the travel rail 10 and follows the travel rail 10. Is installed. Therefore, regardless of the arrangement of the return duct 4 provided in the clean room 100 or the like, the clean air flows from above the ground plane S in a state where the flow velocity distribution of the clean air is uniform along the traveling rail 10. It flows downward. Thereby, the dust which generate | occur | produced in the ground surface S is removed by the exhaust FFU 11 from the storage area 12 to the storage area 12 outside. Therefore, according to the storage 1A, it can suppress that the dust which arises with the movement of the crane 9 spreads.

또한 보관고(1A)에서는, 상술한 바와 같이, 주행 레일(10)을 따라 청정 공기의 유속 분포가 균일화된 상태로, 청정 공기가 접지면(S)의 상방으로부터 하방을 향하여 흐르기 때문에, 보관영역(12) 중 주행 레일(10)보다 상방의 영역에서도, 다운 플로우가 균일화되기 쉬워진다. 이 때문에, 파티션(6A)의 천정 부분에 배치되는 천정 FFU(7)의 설치 대수를 저감시키는 것이 가능해진다. 따라서, 코스트 다운을 도모하는 것이 가능해진다.Further, in the storage 1A, as described above, the clean air flows downwardly from above the ground plane S in a state where the flow velocity distribution of the clean air is uniform along the traveling rail 10, so that the storage area ( Also in the area | region above the travel rail 10 among 12, downflow becomes easy to be uniform. For this reason, it becomes possible to reduce the installation number of the ceiling FFU7 arrange | positioned at the ceiling part of 6 A of partitions. Therefore, the cost can be reduced.

여기서, 보관영역(12)은, 메인터넌스 장치 등의 설비가 설치된 다른 영역과 연통하여 설치되는 경우가 있다. 이러한 경우, 보관영역(12) 내로부터 보관영역(12) 외로의 청정 공기의 유속이 너무 강하면, 다른 영역으로부터 보관영역(12) 내로 공기가 강하게 인입된다. 다른 영역으로부터 공기가 강하게 인입되면, 다른 영역으로부터 보관영역(12) 내로 진애 등이 침입할 우려가 있다. 본 실시예에 따른 보관고(1A)에서는, 배기용 FFU(11)에 의해, 보관영역(12) 내로부터 보관영역(12) 외로의 청정 공기의 유속이 조절 가능하기 때문에, 다른 영역으로부터의 진애 등의 침입을 억제할 수 있다.Here, the storage area 12 may be provided in communication with other areas in which facilities such as a maintenance apparatus are installed. In this case, if the flow rate of the clean air from the storage region 12 to the storage region 12 is too strong, air is strongly introduced into the storage region 12 from another region. If air is strongly drawn in from another area, dust or the like may enter the storage area 12 from another area. In the storage 1A according to the present embodiment, since the flow rate of the clean air from the storage area 12 to the storage area 12 outside the storage area 12 is adjustable by the exhaust FFU 11, dust from other areas, etc. Can prevent intrusion.

또한, 크레인(9)의 저부(차륜(92, 92) 간의 부분)에는, 예를 들면, 적재대(91)의 승강 장치 등의 각종 장치가 설치되는 경우가 있다. 보관고(1A)에서는, 주행 레일(10)은 바닥면(2A)에 대하여 간극부(16)를 개재하여 부설되어 있고, 배기용 FFU(11)는 간극부(16)에 설치되어 있다. 이 때문에, 승강 장치 등의 각종 장치와 배기용 FFU(11)와의 간섭을 방지할 수 있다.In addition, various apparatuses, such as the lifting device of the mounting stand 91, may be provided in the bottom part (part between the wheels 92 and 92) of the crane 9, for example. In the storage 1A, the traveling rail 10 is attached to the bottom surface 2A via the clearance part 16, and the exhaust FFU 11 is provided in the clearance part 16. As shown in FIG. For this reason, interference with various devices, such as a lifting device, and the exhaust FFU 11 can be prevented.

또한 보관고(1A)는, 보관영역(12)의 상방에 설치되고, 보관영역(12) 외로부터 보관영역(12) 내로 청정 공기를 흡기하여 보관영역(12)의 하방을 향하여 분출하는 천정 FFU(7)를 구비하고 있다. 이 때문에, 보관영역(12) 내에서 상측으로부터 하측을 향하여 양호하게 청정 공기가 흐르기 때문에, 보관영역(12) 내의 진애 등을 양호하게 배기용 FFU(11)에 모을 수 있다.In addition, the storage 1A is provided above the storage area 12, and draws clean air from outside the storage area 12 into the storage area 12 and blows it toward the lower side of the storage area 12. 7) is provided. For this reason, since the clean air flows favorably from the upper side to the lower side in the storage area 12, the dust etc. in the storage area 12 can be collected to the exhaust FFU 11 favorably.

또한, 본 실시예에 따른 보관고(1A)는, 보관영역(12) 내와 보관영역(12) 외를 구획하는 파티션(6A)을 구비하고 있다. 이 때문에, 보관영역(12) 내의 청정 공기의 흐름이 흐트러지는 것을 억제할 수 있다.The storage 1A according to the present embodiment includes a partition 6A that divides the inside of the storage area 12 and the outside of the storage area 12. For this reason, it can suppress that the flow of the clean air in the storage area 12 is disturbed.

<제 2 실시예>&Lt; Embodiment 2 >

도 2는, 본 발명에 따른 보관고의 제 2 실시예를 나타낸 구성도이다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 보관고(1B)가 설치된 클린 룸(200)은, 바닥면(2B)에 개구가 마련되지 않은 콘크리트 바닥으로 되어 있는 점에서, 상술한 보관고(1A)가 설치된 클린 룸(100)과 주로 상이하다. 이 때문에, 보관고(1B)는, 보관고(1A)의 구성에 더하여, 간극부(16)와 리턴 덕트(4)를 연결하기 위하여, 간극부(16)로부터 리턴 덕트(4)를 향하여 수평 방향으로 연장되는 연결 덕트(17)를 더 구비하고 있다.2 is a configuration diagram showing a second embodiment of a storage room according to the present invention. As shown in FIG. 2, since the clean room 200 provided with the storage 1B is a concrete floor with no opening provided in the bottom surface 2B, the clean room provided with the storage 1A mentioned above ( Mainly different from 100). For this reason, in addition to the structure of the storage 1A, the storage 1B is horizontal from the clearance part 16 toward the return duct 4 in order to connect the clearance part 16 and the return duct 4. A connecting duct 17 is further provided.

이러한 보관고(1B)가 설치된 클린 룸(200)에서는, 파티션(6A)의 외측의 클린 룸(200) 내에서는, 외측 FFU(5)에 의해, 청정 공기가 상방으로부터 하방을 향하여 분출된다. 파티션(6A)의 내측에서는, 천정 FFU(7)에 의해, 보관영역(12) 외로부터 보관영역(12) 내로 청정 공기가 흡기되고 보관영역(12)의 하방을 향하여 분출된다. 또한, 배기용 FFU(11)에 의해, 보관영역(12) 내로부터 간극부(16)로 청정 공기가 배기된다. 이에 의해, 보관영역(12) 내에는 다운 플로우가 발생하고, 이 다운 플로우에 의해 보관영역(12) 내의 진애 등이 청정 공기와 함께 배기용 FFU(11)를 향한다. 그리고, 청정 공기가 배기용 FFU(11)를 통과할 때에, 진애 등은 배기용 FFU(11)의 필터에 의해 포착된다.In the clean room 200 provided with such a storage 1B, in the clean room 200 of the outer side of 6 A of partitions, the clean air blows out from upper direction downward by the outer FFU5. Inside the partition 6A, clean air is taken in by the ceiling FFU 7 from outside the storage area 12 into the storage area 12 and blown out below the storage area 12. In addition, clean air is exhausted from the storage region 12 to the gap portion 16 by the exhaust FFU 11. As a result, downflow occurs in the storage region 12, and dust and the like in the storage region 12 are directed toward the exhaust FFU 11 together with the clean air. When clean air passes through the exhaust FFU 11, dust and the like are captured by the filter of the exhaust FFU 11.

간극부(16)에 배기된 청정 공기는, 팬(F)에 의해, 연결 덕트(17)를 개재하여 리턴 덕트(4) 내로 유입된다. 리턴 덕트(4)에 유입된 청정 공기는, 일부는 외측 FFU(5)로 되돌려지고, 나머지는 천정 FFU(7)로 되돌려져 재차 보관영역(12) 내로 흡기된다. 청정 공기가 외측 FFU(5) 또는 천정 FFU(7)를 통과할 때, 연결 덕트(17) 또는 리턴 덕트(4)로 모아진 진애 등은 외측 FFU(5) 또는 천정 FFU(7)의 필터에 의해 포착된다. 이와 같이, 클린 룸(200)에서는, 청정 공기가 보관영역(12), 간극부(16), 연결 덕트(17) 및 리턴 덕트(4)를 순환한다.The clean air exhausted by the clearance part 16 flows into the return duct 4 via the fan F via the connection duct 17. Part of the clean air flowing into the return duct 4 is returned to the outer FFU 5, and the rest of the clean air is returned to the ceiling FFU 7 and is again taken into the storage area 12. When clean air passes through the outer FFU 5 or the ceiling FFU 7, dust collected in the connecting duct 17 or the return duct 4 is collected by the filter of the outer FFU 5 or the ceiling FFU 7. Is captured. In this way, in the clean room 200, clean air circulates through the storage area 12, the gap portion 16, the connecting duct 17, and the return duct 4.

이상과 같이 구성된 보관고(1B)는, 상술한 보관고(1A)와 대략 동일한 효과를 나타낸다.The storage 1B comprised as mentioned above has the effect substantially the same as the storage 1A mentioned above.

<제 3 실시예>&Lt; Third Embodiment >

도 3은, 본 발명에 따른 보관고의 제 3 실시예를 나타낸 구성도이다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 보관고(1C)는, 보관선반(81)의 후방에 배면 FFU(제 2 흡기 장치)(18)를 구비하고 있는 점에서, 상술한 보관고(1A)와 주로 상이하다.3 is a configuration diagram showing a third embodiment of a storage room according to the present invention. As shown in FIG. 3, the storage 1C is mainly different from the storage 1A described above in that the rear FFU (second intake apparatus) 18 is provided behind the storage shelf 81.

보다 구체적으로는, 보관고(1C)에서는, 각 보관선반(81)의 후방을 덮도록, 파티션(6B)이 래크(8)의 후면을 따라 장착되어 있다. 이에 의해, 바닥면(2A)의 상방의 영역은, 파티션(6B)에 의해 보관영역(12) 내와 보관영역(12) 외로 구획되어 있고, 보관영역(12) 내가 클린 룸(300)으로 되어 있다. 배면 FFU(18)는, 파티션(6B)의 외면에 소정 방향(X)을 따라 복수 장착되어 있고, 보관영역(12) 외로부터 보관영역(12) 내로 청정 공기를 흡기하고 보관선반(81)의 전방을 향하여 분출한다. 배면 FFU(18)의 외측에는 파티션(6C)이 설치되어 있고, 이에 의해, 보관고(1C)의 상방의 천정 부분으로부터, 배면 FFU(18)가 양호하게 흡기할 수 있도록 되어 있다. 이러한 파티션(6C)이 설치됨으로써, 배면 FFU(18)가 파티션(6C)보다 외측의 영역으로부터 흡기하는 일은 없고, 이러한 외측의 영역에서 흡기에 수반하는 기류가 발생하는 것이 적절히 방지된다. 또한, 외측의 영역에 기류가 발생해도 지장없는 환경하이면, 파티션(6C)은 설치되지 않아도 된다. 또한, 천정 FFU(7)는 배면 FFU(18)의 능력에 따라서는 설치하지 않아도 되지만, 보관고(1C)에서는, 보다 바람직한 예로서, 보관영역(12) 중 이동 영역(13)의 상방에만 천정 FFU(7)가 설치되어 있다.More specifically, in storage 1C, partition 6B is attached along the rear surface of rack 8 so that the back of each storage shelf 81 may be covered. As a result, the area above the bottom surface 2A is partitioned into the storage area 12 and the storage area 12 by the partition 6B, and the storage area 12 becomes the clean room 300. have. The rear FFU 18 is mounted on the outer surface of the partition 6B along a predetermined direction X, and inhales clean air from outside the storage area 12 into the storage area 12 to store the storage shelf 81. Eject toward the front. The partition 6C is provided outside the rear FFU 18, whereby the rear FFU 18 can intake well from the ceiling portion above the storage 1C. By providing such a partition 6C, the back FFU 18 does not inhale from the area | region outside of partition 6C, and the generation of the airflow accompanying intake air in such an outer area | region is suitably prevented. In addition, the partition 6C may not be provided as long as there is no problem even if airflow is generated in the outer region. In addition, although the ceiling FFU 7 does not need to be installed depending on the capability of the rear FFU 18, in the storage 1C, as a more preferable example, the ceiling FFU 7 is only above the moving area 13 of the storage area 12. (7) is provided.

이러한 보관고(1C)가 설치된 클린 룸에서는, 배면 FFU(18)에 의해, 보관영역(12) 외로부터 보관영역(12) 내로 청정 공기가 흡기되고 보관선반(81)의 전방을 향하여 분출된다. 이에 의해, 보관선반(81)의 후방으로부터 전방을 향하여 청정 공기가 흐르고, 보관선반(81) 내의 피보관물(R)에 부착된 진애 등이 보관선반(81)의 전방의 보관영역(12)에 모아진다. 또한, 천정 FFU(7)에 의해, 보관영역(12) 외로부터 보관영역(12) 내로 청정 공기가 흡기되고 보관영역(12)의 하방을 향하여 분출된다. 또한, 배기용 FFU(11)에 의해, 보관영역(12) 내로부터 간극부(16)로 청정 공기가 배기된다. 이에 의해, 보관영역(12) 내에는 다운 플로우가 발생하고, 이 다운 플로우에 의해 보관영역(12) 내의 진애 등이 청정 공기와 함께 배기용 FFU(11)를 향한다. 그리고, 청정 공기가 배기용 FFU(11)를 통과할 때에, 진애 등은 배기용 FFU(11)의 필터에 의해 포착된다. 간극부(16)에 배기된 청정 공기는, 천정 FFU(7)로 되돌려지고, 재차 보관영역(12) 내로 흡기된다.In the clean room provided with such a storage 1C, clean air is taken in from the outside of the storage area 12 into the storage area 12 by the back FFU 18, and is blown toward the front of the storage shelf 81. Thereby, clean air flows toward the front from the rear of the storage shelf 81, and the dust etc. which adhered to the to-be-stored object R in the storage shelf 81 hold | maintain the storage area 12 in front of the storage shelf 81. Are collected in. In addition, by the ceiling FFU 7, clean air is taken in from the outside of the storage area 12 into the storage area 12 and blown out below the storage area 12. In addition, clean air is exhausted from the storage region 12 to the gap portion 16 by the exhaust FFU 11. As a result, downflow occurs in the storage region 12, and dust and the like in the storage region 12 are directed toward the exhaust FFU 11 together with the clean air. When clean air passes through the exhaust FFU 11, dust and the like are captured by the filter of the exhaust FFU 11. The clean air exhausted to the gap portion 16 is returned to the ceiling FFU 7 and is again intaken into the storage area 12.

이상과 같이 구성된 보관고(1C)는, 상술한 보관고(1A)와 대략 동일한 효과를 나타낸다. 또한 보관고(1C)는, 보관선반(81)의 후방에 설치되고, 보관영역(12) 외로부터 보관영역(12) 내로 청정 공기를 흡기하여 보관선반(81)의 전방을 향하여 분출하는 배면 FFU(18)를 구비하고 있기 때문에, 보관선반(81)의 후방으로부터 전방을 향하여 청정 공기가 양호하게 흐르고, 보관선반(81) 내의 피보관물(R)에 부착된 진애 등을 양호하게 제거할 수 있다.The storage 1C comprised as mentioned above has the effect substantially the same as the storage 1A mentioned above. In addition, the storage 1C is provided at the rear of the storage shelf 81, and the rear FFU (inlet of clean air from the outside of the storage area 12 into the storage area 12 and ejected toward the front of the storage shelf 81) 18), clean air flows well from the rear of the storage shelf 81 to the front, and dust and the like adhered to the object R in the storage shelf 81 can be satisfactorily removed. .

이상, 본 발명에 따른 보관고의 실시예에 대하여 설명했지만, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않는다. 예를 들면, 상기 실시예에서는, 배기용 FFU(11)는, 상승부(14)의 하면에 고정되어 있지만, 상승부(14)를 잘라 상승부(14)에 삽입해도 좋고, 상승부(14)의 상면에 고정해도 좋다. 요컨대, 크레인(9)의 차륜(92)과 주행 레일(10)의 접지면(S)보다 하방에 위치하고 또한 주행 레일(10)을 따르도록 바닥면(2A, 2B)의 상방에 설치되면 된다.As mentioned above, although the Example of the storage which concerns on this invention was described, this invention is not limited to the said Example. For example, in the above embodiment, the exhaust FFU 11 is fixed to the lower surface of the rising portion 14, but the rising portion 14 may be cut out and inserted into the rising portion 14, and the rising portion 14 You may fix it on the upper surface of). In other words, it may be provided above the bottom surfaces 2A and 2B so as to be located below the wheel 92 of the crane 9 and the ground plane S of the travel rail 10 and along the travel rail 10.

1A, 1B, 1C : 보관고
2A, 2B : 바닥면
6A, 6B : 파티션(구획판)
7 : 천정 FFU(제 1 흡기 장치)
9 : 크레인
10 : 주행 레일(주행로)
11 : 배기용 FFU(배기 장치)
12 : 보관영역
13 : 이동 영역
16 : 간극부
18 : 배면 FFU(제 2 흡기 장치)
81 : 보관선반1A, 1B, 1C: Storage
2A, 2B: bottom surface
6A, 6B: Partition
7: ceiling FFU (first intake)
9: crane
10: running rail (driving path)
11: FFU (exhaust device) for exhaust
12: storage area
13: moving area
16: gap part
18: back FFU (second intake apparatus)
81: storage shelf

Claims (5)

바닥면의 상방에 위치하는 보관영역 내에 설치되고, 피보관물을 보관하는 복수의 보관선반과,
상기 보관영역 중 상기 보관선반의 전방에 위치하는 이동 영역 내를 이동하고, 상기 피보관물을 상기 보관선반에 대하여 반입·반출하는 크레인과,
상기 바닥면을 따르도록 상기 이동 영역 내에 부설되고, 상기 크레인을 주행시키는 주행로와,
상기 크레인과 상기 주행로의 접지면보다 하방에 위치하고 또한 상기 주행로를 따르도록 상기 바닥면의 상방에 설치되고, 상기 보관영역 내로부터 상기 보관영역 외로 청정 기체를 배기하는 배기 장치를 구비하는 보관고.A plurality of storage shelves installed in a storage area located above the bottom surface and storing the stored objects;
A crane for moving in and out of the moving area located in front of the storage shelf among the storage areas, and carrying and carrying the stored object with respect to the storage shelf;
A traveling path disposed in the moving area so as to follow the bottom surface and driving the crane;
A storage device disposed below the ground plane of the crane and the traveling path and installed above the bottom surface to follow the traveling path, and having an exhaust device for exhausting clean gas from the storage area to the storage area. 제 1 항에 있어서,
상기 주행로는, 상기 바닥면에 대하여 간극부를 개재하여 부설되어 있고,
상기 배기 장치는, 상기 간극부에 설치되어 있는 보관고.The method of claim 1,
The traveling route is provided with respect to the bottom surface via a gap portion,
The exhaust device is a storage provided in the gap portion. 제 1 항에 있어서,
상기 보관영역의 상방에 설치되고, 상기 보관영역 외로부터 상기 보관영역 내로 청정 기체를 흡기하여 상기 보관영역의 하방을 향하여 분출하는 제 1 흡기 장치를 더 구비하는 보관고.The method of claim 1,
And a first intake apparatus installed above the storage area and configured to inhale clean gas from outside the storage area into the storage area and to blow the clean gas downward. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 보관선반의 후방에 설치되고, 상기 보관영역 외로부터 상기 보관영역 내로 청정 기체를 흡기하여 상기 보관선반의 전방을 향하여 분출하는 제 2 흡기 장치를 더 구비하는 보관고.The method according to any one of claims 1 to 3,
And a second intake apparatus provided at a rear side of the storage shelf and configured to inhale clean gas from outside the storage area into the storage area and to eject the gas toward the front of the storage shelf. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 보관영역 내와 상기 보관영역 외를 구획하는 구획판을 더 구비하는 보관고.The method according to any one of claims 1 to 3,
And a partition plate partitioning the storage area and the storage area.
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