JP2010272828A - Storage room of liquid crystal substrate - Google Patents

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Matsuo Kamiya
松雄 神谷
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a storage room of a liquid crystal substrate which effectively prevents a disturbance of air stream caused from an operation of a stacker crane being a transfer device installed in the storage room of liquid crystal substrate. <P>SOLUTION: The storage room 10 of liquid crystal substrate includes a plurality of storage shelves 20 which stores cassettes each keeping a liquid crystal substrate, a stacker crane 30 which runs on a rail located along a plurality of storage shelves 20 and transfers the cassette, an exhaust means which exhausts the air inside of the room in front of the running direction of the stacker crane 30, a supply means which supplies the air of an amount of exhaust that the exhaust means exhausts in the rear of the running direction of the stacker crane 30, and a control means 60 which exhausts from the exhaust means an amount of air pushed away by the stacker crane 30, produced by a projection area and moved distance of the stacker crane 30, in accordance with the movement control signal of the stacker crane 30 and supplies the air from the supply means. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、特に、液晶基板の保管倉庫室において保管棚に収容するカセットを搬送するスタッカクレーン等の移動物体を備えた液晶基板の保管倉庫室に関するものである。   In particular, the present invention relates to a storage warehouse room for liquid crystal substrates provided with a moving object such as a stacker crane for transporting cassettes stored in storage shelves in the storage warehouse room for liquid crystal substrates.

液晶や半導体製品の製造に用いられるガラス基板やウェハの一時保管のため、高い清浄度に保持された保管倉庫室がある。
図５は従来の液晶基板の保管倉庫室の構成概略図を示している。図示のように液晶基板の保管倉庫室１は、基板等を保管する複数の保管棚２を室内に設けている。この保管棚２に収容されるカセット３がある。カセット３には、複数の基板が一部露出して保持されている。そしてカセット３は、液晶基板の保管倉庫室１に備えられたスタッカクレーン４で保管棚２に搬入し保管されている。スタッカクレーン（移動体）４は、クリーンルーム内の保管棚２に沿って施工されたレール５上を移動する台車６を備えている。また空間内では、清浄空気を供給する空調手段により、上部から下部へ流れる気流を形成し、清浄空気の循環を行って空間内の高い清浄度を維持している。 For temporary storage of glass substrates and wafers used in the manufacture of liquid crystals and semiconductor products, there are storage warehouse rooms that are kept at a high degree of cleanliness.
FIG. 5 shows a schematic diagram of a conventional storage warehouse room for liquid crystal substrates. As shown in the drawing, a storage warehouse room 1 for liquid crystal substrates is provided with a plurality of storage shelves 2 for storing substrates and the like. There is a cassette 3 accommodated in the storage shelf 2. A plurality of substrates are partially exposed and held in the cassette 3. The cassette 3 is carried and stored in the storage shelf 2 by a stacker crane 4 provided in the storage warehouse room 1 of the liquid crystal substrate. The stacker crane (moving body) 4 includes a carriage 6 that moves on a rail 5 constructed along a storage shelf 2 in a clean room. Also, in the space, an air flow that flows from the upper part to the lower part is formed by air conditioning means for supplying clean air, and the clean air is circulated to maintain high cleanliness in the space.

ところで近年の液晶基板の大型化に伴い、スタッカクレーンも大型化されている。このため、クレーンが高速で走行することによる倉庫室内の気流が大きく乱れることが問題となっている。具体的には、クレーン自体が大型化し、進行方向に対する投影面積も大きくなり、ストッカ断面積に対する閉塞具合も大きくなる。そうすると押し退ける空気量も大きくなり気流の乱れ具合も大きくなっている。
そこで特許文献１には、スタッカクレーンの走行に伴う室内の気流制御に関して、レール端部で排気する方法などが開示されている。 By the way, with the recent increase in size of liquid crystal substrates, stacker cranes have also increased in size. For this reason, the problem is that the airflow in the warehouse room is greatly disturbed by the crane traveling at high speed. Specifically, the crane itself increases in size, the projected area with respect to the traveling direction increases, and the degree of blockage with respect to the cross-sectional area of the stocker also increases. As a result, the amount of air that can be pushed away increases and the turbulence of the airflow also increases.
Thus, Patent Document 1 discloses a method of exhausting air at the end of the rail, etc., regarding indoor airflow control accompanying travel of the stacker crane.

特開２００５−３１１２６０号公報JP 2005-31260 A

しかし特許文献１の方法では、巻き上がりなどの塵埃の拡散防止には有効であるが、排気のみで対応しようとしているため、部屋全体の空気の乱れ自体を防止することは困難である。また、ストッカ端部での対策のみで、ストッカ中央での対策には言及されていない。   However, although the method of Patent Document 1 is effective for preventing dust from diffusing, such as rolling up, it is difficult to prevent air turbulence in the entire room because it is intended to deal with exhaust only. Also, only measures at the end of the stocker are mentioned, and measures at the center of the stocker are not mentioned.

そこで上記従来技術の問題点を解決するため本発明は、液晶基板の保管倉庫室に設置される搬送装置であるスタッカクレーンの動作に伴う気流の乱れに対して効果的に防止する液晶基板の保管倉庫室を提供することを目的とする。   Therefore, in order to solve the above-mentioned problems of the prior art, the present invention is directed to storage of a liquid crystal substrate that effectively prevents turbulence of airflow associated with operation of a stacker crane that is a transfer device installed in a storage warehouse room for the liquid crystal substrate. The purpose is to provide a warehouse room.

上記目的を達成するため、本発明の液晶基板の保管倉庫室は、液晶基板を収容するカセットを保管する複数の保管棚と、前記複数の保管棚に沿って配置したレールを走行し、前記カセットを搬送するスタッカクレーンと、前記スタッカクレーンの走行方向前方で室内の空気を排気する排気手段と、前記スタッカクレーンの走行方向後方で前記排気手段の排気した空気量を給気する給気手段と、前記スタッカクレーンの移動制御信号に基づいて、前記スタッカクレーンの投影面積と移動距離から生じる前記スタッカクレーンの押し退ける空気量を前記排気手段から排気させると共に前記給気手段から給気させる制御手段と、を備えたことを特徴としている。   In order to achieve the above object, a storage warehouse room for a liquid crystal substrate according to the present invention travels on a plurality of storage shelves that store cassettes that store liquid crystal substrates, and rails arranged along the plurality of storage shelves, A stacker crane for conveying the air, an exhaust means for exhausting indoor air in the traveling direction of the stacker crane, and an air supply means for supplying the amount of air exhausted by the exhaust means at the rear of the stacker crane in the traveling direction; Based on the movement control signal of the stacker crane, a control means for exhausting the amount of air pushed away from the stacker crane resulting from the projected area and movement distance of the stacker crane from the exhaust means and supplying air from the air supply means, It is characterized by having prepared.

また、本発明の液晶基板の保管倉庫室は、液晶基板を収納するカセットを保管する複数の保管棚と、前記複数の保管棚に沿って配置したレール間を正逆方向に走行し、前記カセットを搬送するスタッカクレーンと、を備えた液晶基板の保管倉庫室において、前記スタッカクレーンの移動制御信号に基づいて前記スタッカクレーンの進行方向に対して交差方向の投影面積と移動距離から生ずる前記スタッカクレーンが押し退ける空気量を演算する制御手段と、前記空気量を前記スタッカクレーンの進行方向前方から排気する第１の給排気手段と、前記空気量を前記スタッカクレーンの進行方向後方から給気する第２の給排気手段と、を設けたことを特徴としている。
この場合において、前記第１及び第２の給排気手段は、前記空気量を、前記スタッカクレーンの移動速度に合わせて給排気するとよい。 Further, the storage warehouse room for the liquid crystal substrate of the present invention travels in a forward / reverse direction between a plurality of storage shelves for storing a cassette for storing the liquid crystal substrate and rails arranged along the plurality of storage shelves. A stacker crane that transports the stacker crane in a storage warehouse room of a liquid crystal substrate, wherein the stacker crane is generated from a projected area and a movement distance in a direction crossing the traveling direction of the stacker crane based on a movement control signal of the stacker crane Control means for calculating the amount of air that is pushed away, first air supply / exhaust means for exhausting the air amount from the front in the direction of travel of the stacker crane, and second air for supplying the air amount from the back in the direction of travel of the stacker crane. And an air supply / exhaust means.
In this case, the first and second air supply / exhaust means may supply and exhaust the air amount in accordance with the moving speed of the stacker crane.

さらに本発明の液晶基板の保管倉庫室は、液晶基板を収納するカセットを保管する複数の保管棚と、前記複数の保管棚に沿って配置したレールの間を正逆方向に走行し、前記カセットを搬送するスタッカクレーンと、前記レールに沿って配置し、前記保管棚に清浄空気を供給する複数のＦＦＵと、前記レールに沿って配置し、前記室内の空気を排気する複数のレタン部と、を備えた液晶基板の保管倉庫室であって、前記スタッカクレーンの移動制御信号に基づいて前記スタッカクレーンの進行方向に対して交差方向の投影面積と移動距離から生ずる前記スタッカクレーンが押し退ける空気量を演算し、前記スタッカクレーンの走行方向前方の前記レタン部から前記空気量を排気させて、前記空気量を前記スタッカクレーンの走行方向後方の前記ＦＦＵから給気させる制御手段を設けたことを特徴としている。
この場合において、前記レタン部と前記ＦＦＵの間に前記レタン部の排気した空気を前記ＦＦＵに供給するファンを設けているとよい。 Furthermore, the liquid crystal substrate storage warehouse room according to the present invention travels in a forward / reverse direction between a plurality of storage shelves for storing cassettes for storing liquid crystal substrates and rails arranged along the plurality of storage shelves. A stacker crane that conveys the air, a plurality of FFUs that are arranged along the rails and that supplies clean air to the storage shelves, a plurality of letter units that are arranged along the rails and exhaust the air in the room, A storage warehouse room for a liquid crystal substrate comprising: a movement control signal of the stacker crane, and an amount of air that the stacker crane pushes away from a projected area and a movement distance in a direction crossing the traveling direction of the stacker crane. Calculating and exhausting the amount of air from the retan portion forward of the stacker crane in the traveling direction, so that the amount of air is It is characterized in that a control means for the air supply from the FFU.
In this case, it is preferable that a fan is provided between the letan part and the FFU to supply the air exhausted from the letan part to the FFU.

また前記ＦＦＵは、前記スタッカクレーンの走行方向に沿って複数の給気ゾーンを形成し、前記スタッカクレーンの通過した前記給気ゾーンごとに段階的に前記空気量を給気することを特徴とする請求項４に記載の液晶基板の保管倉庫室。   The FFU forms a plurality of air supply zones along a traveling direction of the stacker crane, and supplies the air amount in stages for each of the air supply zones that the stacker crane has passed. A storage warehouse room for the liquid crystal substrate according to claim 4.

上記構成による本発明の液晶基板の保管倉庫室によれば、スタッカクレーンの走行の際に、スタッカクレーンの進行方向に対して交差方向の投影面積と移動距離に基づいてクレーンが押し退ける空気を演算し、クレーンの進行方向の前方スペースから排気し、その排気した空気をクレーンの進行方向の後方スペースに給気するようにしている。このためクレーンの走行に伴う空気の乱れを最小限に抑制することができる。
またクレーンが押し退ける空気量をクレーンの移動速度に合わせて給排気させている。このためクレーンの走行に伴う空気の乱れをより最小限に抑制することができる。 According to the storage warehouse room of the liquid crystal substrate of the present invention having the above configuration, when the stacker crane travels, the air that the crane pushes away is calculated based on the projected area and the moving distance in the crossing direction with respect to the traveling direction of the stacker crane. The exhaust air is exhausted from the front space in the traveling direction of the crane, and the exhausted air is supplied to the rear space in the traveling direction of the crane. For this reason, the turbulence of the air accompanying the traveling of the crane can be minimized.
The amount of air that the crane pushes away is supplied and exhausted according to the moving speed of the crane. For this reason, the turbulence of the air accompanying the traveling of the crane can be suppressed to a minimum.

また本発明の液晶基板の保管倉庫室によれば、スタッカクレーンの進行方向に対して交差方向の投影面積と移動距離に基づいてクレーンが押し退ける空気を演算し、浄化空気を供給するＦＦＵと、室内の空気を外部に排気するレタン部により、前記空気量の給排気を行なうようにしている。このため、クレーンの走行に伴う空気の乱れを最小限に抑制することができるとともに、構成要件を簡略化して、設備コストを低減化することができる。
また本構成によれば、室内の端部以外のストッカ中央部においても、あるいは搬送装置の移動距離が長い場合でも気流の乱れを抑制することができる。 According to the storage warehouse room for the liquid crystal substrate of the present invention, the FFU that calculates the air that the crane pushes away based on the projected area and the moving distance in the crossing direction with respect to the traveling direction of the stacker crane, and supplies purified air; The air amount is supplied and exhausted by a retan portion that exhausts the air to the outside. For this reason, while being able to suppress the turbulence of the air accompanying traveling of a crane to the minimum, a component can be simplified and equipment cost can be reduced.
Further, according to the present configuration, the turbulence of the airflow can be suppressed even in the central portion of the stocker other than the indoor end portion or even when the moving distance of the transfer device is long.

本発明の液晶基板の保管倉庫室の構成概略を示す図である。It is a figure which shows the structure outline of the storage warehouse room of the liquid crystal substrate of this invention. 本発明の液晶基板の保管倉庫室のスタッカクレーンの進行方向に対して垂直な断面図である。It is sectional drawing perpendicular | vertical with respect to the advancing direction of the stacker crane of the storage warehouse room of the liquid crystal substrate of this invention. 液晶基板の保管倉庫室の変形例１の構成概略を示す図である。It is a figure which shows the structure outline of the modification 1 of the storage warehouse room of a liquid crystal substrate. 液晶基板の保管倉庫室の変形例２の構成概略を示す図である。It is a figure which shows the structure outline of the modification 2 of the storage warehouse room of a liquid crystal substrate. 従来の液晶基板の保管倉庫室の構成概略を示す図である。It is a figure which shows the structure outline of the storage warehouse room of the conventional liquid crystal substrate.

本発明の液晶基板の保管倉庫室の実施形態について添付の図面を参照しながら、以下詳細に説明する。
図１は本発明の液晶基板の保管倉庫室の構成概略を示す図である。図示のように液晶基板の保管倉庫室１０の室内は、収容スペース１２と、収容スペース１２の上方に天井裏スペース１４と、収容スペース１２の下方に床下スペース１６とに区分けしている。 Embodiments of a storage warehouse room for a liquid crystal substrate according to the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a storage warehouse room for a liquid crystal substrate according to the present invention. As illustrated, the interior of the storage warehouse room 10 for the liquid crystal substrate is divided into a storage space 12, a ceiling space 14 above the storage space 12, and an underfloor space 16 below the storage space 12.

収容スペース１２には、空間内を複数に区分けして搬送カセット２２を収容する保管棚２０を形成している。搬送カセット２２には、複数の基板が一部露出して保持されている。保管棚２０は複数列に並べて配置し、列毎に複数段に積み重ねている。また保管棚２０の複数列の間の床下スペース１６上には、後述するスタッカクレーン３０のレール（搬送路）３２を配置している。   In the storage space 12, a storage shelf 20 for storing the transport cassette 22 is formed by dividing the space into a plurality of spaces. A plurality of substrates are partially exposed and held in the transport cassette 22. The storage shelves 20 are arranged in a plurality of rows and stacked in a plurality of stages for each row. A rail (conveyance path) 32 of a stacker crane 30 to be described later is disposed on the underfloor space 16 between a plurality of rows of the storage shelf 20.

スタッカクレーン３０は、前述の複数の保管棚２０に沿って形成したレール３２上を走行させる台車である。スタッカクレーン３０は台車部３４とクレーン部３６から構成されている。台車部３４は、レール３２上を正逆方向に走行し、中央には、移動方向と交差方向にクレーン部３６を立設させている。クレーン部３６は、搬送カセット２２の支持手段を備えている。支持手段は、クレーン部３６の上下方向に移動可能な昇降手段に形成している。   The stacker crane 30 is a carriage that runs on rails 32 formed along the plurality of storage shelves 20 described above. The stacker crane 30 includes a carriage unit 34 and a crane unit 36. The carriage unit 34 travels in the forward / reverse direction on the rail 32, and a crane unit 36 is erected in the center in a direction crossing the moving direction. The crane unit 36 includes a support unit for the transport cassette 22. The supporting means is formed as lifting means that can move in the vertical direction of the crane section 36.

天井裏スペース１４には、空調手段４０と給排気手段５０を形成している。
空調手段４０は、収容スペース１２（室内）の保管棚２０に清浄空気を供給するものであり、本実施形態では一例としてＦＦＵ（ファンフィルタユニット）を用いている。空調手段４０となるＦＦＵは、収容スペース１２に並べた保管棚２０に沿って収容スペース１２の天井面に複数取り付けている。この各ＦＦＵは、収容スペース１２と天井裏スペース１４の間の天井面に吹き出し口を取り付けている。 Air conditioning means 40 and air supply / exhaust means 50 are formed in the ceiling space 14.
The air-conditioning means 40 supplies clean air to the storage shelf 20 in the accommodation space 12 (indoor), and in this embodiment, an FFU (fan filter unit) is used as an example. A plurality of FFUs serving as the air-conditioning means 40 are attached to the ceiling surface of the storage space 12 along the storage shelves 20 arranged in the storage space 12. Each FFU has a blowout port attached to the ceiling surface between the accommodation space 12 and the ceiling space 14.

給排気手段５０は、ＦＦＵと同様に天井裏スペース１４に取り付けた第１及び第２の給排気手段５２，５４から構成されている。第１及び第２の給排気手段５２，５４は、ダクト５６を介して接続させている。ダクト５６の途中にはファン５８を取り付けている。ファン５８は後述する制御手段６０と電気的に接続させている。第１及び第２の給排気手段５２，５４は、室内（収容スペース１２）の空気を排気して、排気した空気量を再び室内（収容スペース１２）に給気する開口である。第１及び第２の給排気手段５２，５４は、室内の両端の上方、換言すればレールの両端の上方に設けて、その間の下方をスタッカクレーン３０が走行するように構成している。   The air supply / exhaust means 50 includes first and second air supply / exhaust means 52 and 54 attached to the ceiling space 14 like the FFU. The first and second air supply / exhaust means 52 and 54 are connected via a duct 56. A fan 58 is attached in the middle of the duct 56. The fan 58 is electrically connected to the control means 60 described later. The first and second air supply / exhaust means 52 and 54 are openings for exhausting air in the room (accommodating space 12) and supplying the exhausted air amount to the room (accommodating space 12) again. The first and second air supply / exhaust means 52, 54 are provided above both ends of the room, in other words, above both ends of the rail, and are configured such that the stacker crane 30 travels below them.

収容スペース１２と床下スペース１６の間には、グレーチング構造の開口部６２を形成している。開口部６２は、収容スペース１２を通った空気が排気される排気口である。床下スペース１６には、スタッカクレーン３０の走行方向に沿って複数のレタン部５９を形成している。床下スペース１６は収容スペース１２の外側を囲むように形成した図示しないリターン領域を介して天井裏スペース１４と接続させている。これにより収容スペース１２を通った空気は、開口部６２から床下スペース１６に導入される。そして床下スペース１６からレタン部５９を介してリターン領域に供給されて天井裏スペース１４に導入される。このように保管倉庫室１０では、室内空気の循環経路を形成している。   An opening 62 having a grating structure is formed between the storage space 12 and the underfloor space 16. The opening 62 is an exhaust port through which air that has passed through the accommodation space 12 is exhausted. In the underfloor space 16, a plurality of letter portions 59 are formed along the traveling direction of the stacker crane 30. The underfloor space 16 is connected to the ceiling back space 14 via a return area (not shown) formed so as to surround the outside of the accommodation space 12. As a result, the air passing through the accommodation space 12 is introduced into the underfloor space 16 from the opening 62. Then, it is supplied to the return area from the underfloor space 16 via the return portion 59 and introduced into the ceiling space 14. In this way, the storage warehouse room 10 forms a circulation path for room air.

制御手段６０は、スタッカクレーン３０とファン５８と電気的に接続している。制御手段６０は、液晶基板の搬送カセット２２を所定の保管棚２０に収容させるためにスタッカクレーン３０の移動距離、移動速度、移動位置を制御する信号を、スタッカクレーン３０に送信している。   The control means 60 is electrically connected to the stacker crane 30 and the fan 58. The control means 60 transmits a signal for controlling the moving distance, moving speed, and moving position of the stacker crane 30 to the stacker crane 30 in order to accommodate the transport cassette 22 of the liquid crystal substrate in the predetermined storage shelf 20.

制御手段６０は、スタッカクレーン３０の制御信号に基づいて、スタッカクレーン３０が押し退ける空気量を演算している。
ここでスタッカクレーン３０が室内を走行するとき、スタッカクレーン３０の走行に伴いスタッカクレーン３０前方の空気は押し退けられながら、床下スペース１６やスタッカクレーン３０後方に回り込もうとする。この前方に押し退けられる空気量は、次のように求めることができる。 The control means 60 calculates the amount of air that the stacker crane 30 pushes away based on the control signal of the stacker crane 30.
Here, when the stacker crane 30 travels indoors, as the stacker crane 30 travels, the air in front of the stacker crane 30 is pushed away and tries to wrap around the underfloor space 16 and the stacker crane 30 rear. The amount of air pushed away forward can be determined as follows.

図２は本発明の液晶基板の保管倉庫室のスタッカクレーンの進行方向に対して垂直な断面図である。図示のようにスタッカクレーン３０の進行方向に対して交差方向となる断面の投影面積をＡ（斜線部）とし、スタッカクレーン３０の移動距離をＸ（ｍ）とすると、押し退けられる空気量Ｖ（ｍ３）は次式で表すことができる。
押し退ける空気量Ｖ（ｍ３）＝投影面積Ａ（ｍ２）×移動距離Ｘ（ｍ）
これにより給排気手段の給排気する空気量が演算できる。 FIG. 2 is a cross-sectional view perpendicular to the traveling direction of the stacker crane in the storage warehouse room of the liquid crystal substrate of the present invention. As shown in the figure, assuming that the projected area of the cross section that intersects the traveling direction of the stacker crane 30 is A (shaded portion) and the movement distance of the stacker crane 30 is X (m), the amount of air V (m 3 ) can be expressed by the following equation.
Air amount V (m 3 ) to be pushed away = projected area A (m 2 ) × movement distance X (m)
Thereby, the amount of air supplied and exhausted by the air supply / exhaust means can be calculated.

また本発明の空気量Ｑ（ｍ３／ｓ）は、スタッカクレーンの移動速度ｖ（ｍ／ｓ）によっても求めることができる。すなわち
押し退ける空気量Ｑ（ｍ３／ｓ）＝投影面積Ａ（ｍ２）×移動速度ｖ（ｍ／ｓ）
これにより給排気手段５０における毎秒あたりの給排気する空気量が演算できる。 The air amount Q (m 3 / s) of the present invention can also be obtained from the moving speed v (m / s) of the stacker crane. That is, the amount of air Q (m 3 / s) to be pushed away = projected area A (m 2 ) × moving speed v (m / s)
Thus, the amount of air supplied / exhausted per second in the air supply / exhaust means 50 can be calculated.

また制御手段６０は、ファン５８と接続している。制御手段６０は、スタッカクレーン３０の正逆の移動方向に合わせて、スタッカクレーン３０の進行方向前方の給排気手段を排気し、進行方向後方の給排気手段から給気させるように、ファン５８の給排気方向を切替え制御している。図１では一例として、図中矢印ｆの方向にスタッカクレーン３０が走行する場合、走行方向前方に配置された第２給排気手段５４から排気（排気手段）し、走行方向後方に配置された第１の給排気手段５２から給気（給気手段）するようにファン５８の給排気方向を切り替えている。一方、矢印ｆの反対方向にスタッカクレーン３０が走行する場合、スタッカクレーン３０の走行方向前方に配置された第１の給排気手段５２から排気（排気手段）し、走行方向後方の第２の給排気手段５４から給気（給気手段）するようにファン５８の給排気方向を切替えている。   The control means 60 is connected to the fan 58. The control means 60 exhausts the air supply / exhaust means in the forward direction of the stacker crane 30 in accordance with the forward and reverse movement directions of the stacker crane 30 and supplies air from the air supply / exhaust means at the rear of the travel direction. The supply / exhaust direction is switched and controlled. In FIG. 1, as an example, when the stacker crane 30 travels in the direction of the arrow f in the figure, exhaust is performed from the second air supply / exhaust means 54 disposed in front of the travel direction (exhaust means) and the second disposed in the travel direction rearward. The air supply / exhaust direction of the fan 58 is switched so that air is supplied (air supply means) from one air supply / exhaust means 52. On the other hand, when the stacker crane 30 travels in the direction opposite to the arrow f, the stacker crane 30 exhausts air from the first air supply / exhaust means 52 disposed in front of the stacker crane 30 in the travel direction (exhaust means), and the second supply at the rear in the travel direction. The air supply / exhaust direction of the fan 58 is switched so that air is supplied from the exhaust means 54 (air supply means).

上記構成による本発明の液晶基板の保管倉庫室の作用について以下説明する。
まず、収容スペース１２の上部に取り付けた空調手段４０から清浄空気が下方の保管棚２０に向けて給気される。このとき、収容スペース１２内の複数の保管棚２０の間を清浄空気が通過する。そして、床面に設けられたグレーチング状の開口部６２から収容スペース１２を通過した空気が吸い込まれ、床下スペース１６に導入される。床下スペース１６に導入された空気はレタン部５９を介して図示しないリターン領域を通って上方の天井裏スペース１４へと導入される。そして天井裏スペース１４の空調手段４０によって室内を通過した空気が清浄化されて再び収容スペース１２に導入される。このように保管倉庫室１０は、室内を高い清浄度に維持された循環経路が形成されている。 The operation of the storage warehouse room for the liquid crystal substrate of the present invention having the above configuration will be described below.
First, clean air is supplied from the air conditioning means 40 attached to the upper portion of the accommodation space 12 toward the storage shelf 20 below. At this time, clean air passes between the plurality of storage shelves 20 in the accommodation space 12. Then, the air that has passed through the accommodation space 12 is sucked from the grating-like opening 62 provided on the floor surface and introduced into the under-floor space 16. The air introduced into the underfloor space 16 is introduced into the upper ceiling space 14 through a return area (not shown) through the return portion 59. And the air which passed the room | chamber interior is cleaned by the air-conditioning means 40 of the ceiling back space 14, and is introduce | transduced into the accommodation space 12 again. Thus, the storage warehouse room 10 is formed with a circulation path in which the room is maintained at high cleanliness.

このような保管倉庫室１０において、スタッカクレーン３０は、搬送カセットを保持しながら、レール上を保管棚２０や製造装置（図示省略）などの必要な個所に移動する。
このとき制御手段６０によりスタッカクレーン３０の移動距離、移動速度、移動位置が制御される。 In such a storage warehouse room 10, the stacker crane 30 moves on the rail to a necessary place such as the storage shelf 20 or a manufacturing apparatus (not shown) while holding the transport cassette.
At this time, the control means 60 controls the moving distance, moving speed, and moving position of the stacker crane 30.

また制御手段では、スタッカクレーン３０の走行に伴う押し退けられる空気量を演算している。すなわち、押し退ける空気量Ｖ（ｍ３）＝スタッカクレーン３０の進行方向に対して交差方向となる断面の投影面積Ａ（ｍ２）×移動距離Ｘ（ｍ）の関係から空気量Ｖ（ｍ３）を演算する。また、押し退ける空気量Ｑ（ｍ３／ｓ）＝投影面積Ａ（ｍ２）×移動速度ｖ（ｍ／ｓ）の関係によっても空気量Ｑ（ｍ３／ｓ）を求めることができる。 The control means calculates the amount of air that is pushed away when the stacker crane 30 travels. In other words, displacing air amount V (m 3) = air volume V (m 3) from the relationship a cross direction to the traveling direction of the stacker crane 30 the cross section of the projected area A (m 2) × travel distance X (m) Is calculated. Further, the air amount Q (m 3 / s) can also be obtained by the relationship of the air amount Q (m 3 / s) to be pushed away = projected area A (m 2 ) × moving speed v (m / s).

そして得られた空気量に基づいて、制御手段６０は、ファン５８を介して給排気手段５０に給排気させている。具体的には、図１に示すスタッカクレーン３０の走行方向前方に配置された第２の給排気手段５４から排気（排気手段）し、走行方向後方に配置された第１の給排気手段５２から給気（給気手段）するようにファン５８の排気方向を切り替えている。   Based on the obtained air amount, the control means 60 supplies / exhausts air to the air supply / exhaust means 50 via the fan 58. Specifically, the stacker crane 30 shown in FIG. 1 is exhausted (exhaust means) from the second air supply / exhaust means 54 disposed forward in the traveling direction, and from the first air supply / exhaust means 52 disposed rearward in the traveling direction. The exhaust direction of the fan 58 is switched so as to supply air (air supply means).

また第１及び第２の給排気手段５２，５４は、空気量を、スタッカクレーン３０の移動速度に合わせて給排気するように、制御手段６０でファン５８の排気出力を調整することもできる。これにより、スタッカクレーン３０の走行に伴う空気の乱れをより最小限に抑制することができる。   Further, the first and second air supply / exhaust means 52 and 54 can adjust the exhaust output of the fan 58 by the control means 60 so that the air amount is supplied and exhausted in accordance with the moving speed of the stacker crane 30. Thereby, the turbulence of the air accompanying traveling of the stacker crane 30 can be suppressed to a minimum.

図３は液晶基板の保管倉庫室の変形例１の構成概略を示す図である。図示のように変形例１の液晶基板の保管倉庫室１０Ａは、図１に示す液晶基板の保管倉庫室１０の給排気手段５０の替わりに空調手段４０となるＦＦＵと、レタン部５９を用いて給排気する構成としている。   FIG. 3 is a diagram showing a schematic configuration of Modification 1 of the storage warehouse room for the liquid crystal substrate. As shown in the figure, the liquid crystal substrate storage warehouse room 10A of Modification 1 uses an FFU serving as an air-conditioning means 40 instead of the air supply / exhaust means 50 of the liquid crystal substrate storage warehouse room 10 shown in FIG. It is configured to supply and exhaust air.

ＦＦＵは、スタッカクレーン３０の走行方向に沿って連続する複数のＦＦＵを１つの給気ゾーン４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃ…とし、この給気ゾーン４１ごとに制御手段６０と電気的に接続させている。   In the FFU, a plurality of FFUs that are continuous along the traveling direction of the stacker crane 30 are defined as one air supply zone 41A, 41B, 41C,... And each air supply zone 41 is electrically connected to the control means 60.

複数のレタン部５９は、ファン５８ａに接続しており、ファン５８ａを介して床下スペース１６から天井裏スペース１４へ排気させている。ファン５８ａは制御手段６０と電気的に接続させている。   The plurality of letter portions 59 are connected to the fan 58a, and are exhausted from the underfloor space 16 to the ceiling back space 14 through the fan 58a. The fan 58a is electrically connected to the control means 60.

制御手段６０は、給気ゾーン４１ごとに給気するとともに、複数のレタン部５９からファン５８ａを介して排気するように制御している。その他の構成は図１の構成と同一であり、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。   The control means 60 controls to supply air for each of the air supply zones 41 and to exhaust air from the plurality of retan portions 59 via the fans 58a. Other configurations are the same as those in FIG. 1, and the same reference numerals are given and detailed description thereof is omitted.

上記構成による液晶基板の保管倉庫室１０Ａの作用について以下説明する。始めにスタッカクレーン３０の移動速度と移動距離又は移動位置の情報から制御手段６０により給排気させる空気量を決定する。スタッカクレーン３０の移動と同時に、スタッカクレーン３０が停止する近傍且つ、進行方向前方の１つ又は複数のレタン部５９から前記空気量を排気するようにファン５８ａを稼動させて床下スペース１６から天井裏スペース１４へ排気した空気量を送る。これと同時にスタッカクレーン３０が通過した空間の給気ゾーン４１から排気した空気と同量の空気量を給気する。ここで給気ゾーン４１による給気は段階的に行なうことができる。例えば図３に示すように位置Ｌのスタッカクレーン３０から位置Ｎに移動する際、給気ゾーン４１Ａから給気し、ついでスタッカクレーン３０の通過した給気ゾーン４１Ｂ〜４１Ｃと順に給気することができる。その他のＦＦＵは通常の空気清浄を行なっている。   The operation of the liquid crystal substrate storage warehouse room 10A having the above configuration will be described below. First, the amount of air to be supplied / exhausted by the control means 60 is determined from information on the moving speed and moving distance or moving position of the stacker crane 30. Simultaneously with the movement of the stacker crane 30, the fan 58 a is operated so as to exhaust the amount of air from one or a plurality of the retan portions 59 in the vicinity of the stacker crane 30 and in front of the traveling direction. The amount of exhausted air is sent to the space 14. At the same time, the same amount of air as the air exhausted from the air supply zone 41 in the space through which the stacker crane 30 has passed is supplied. Here, the air supply by the air supply zone 41 can be performed in stages. For example, as shown in FIG. 3, when moving from the stacker crane 30 at the position L to the position N, air is supplied from the air supply zone 41 </ b> A and then supplied to the air supply zones 41 </ b> B to 41 </ b> C through which the stacker crane 30 has passed. it can. Other FFUs perform normal air cleaning.

なおファン５８ａは、スタッカクレーン３０の走行方向の両端に２台設置するように構成し、スタッカクレーン３０の前進後退移動に伴い切り替えるようにすることができる。またレタン部５９ごとに開閉弁を取り付けてスタッカクレーン３０の停止する近傍且つ、進行方向前方のレタン部５９の開閉弁のみ開放して排気するように構成することもできる。   Two fans 58 a can be installed at both ends of the stacker crane 30 in the traveling direction, and can be switched as the stacker crane 30 moves forward and backward. In addition, an opening / closing valve may be attached to each of the letter portions 59 so that only the opening / closing valve of the letter portion 59 in the vicinity of the stop of the stacker crane 30 and in the front in the traveling direction is opened and exhausted.

これによりスタッカクレーン３０の進行方向に対して交差方向の投影面積Ａと移動距離Ｘから生ずるスタッカクレーン３０が押し退ける空気量をレタン部５９から排気して、排気した空気量を給気ゾーン４１から給気することができ、スタッカクレーン３０の走行に伴う空気の乱れを最小限に抑制することができる。   As a result, the amount of air that the stacker crane 30 pushes away from the projected area A and the moving distance X in the direction intersecting the traveling direction of the stacker crane 30 is exhausted from the retent unit 59, and the exhausted air amount is supplied from the supply zone 41. The air turbulence accompanying the travel of the stacker crane 30 can be minimized.

図４は液晶基板の保管倉庫室の変形例２の構成概略を示す図である。変形例２の液晶基板の保管倉庫室１０Ｂは、変形例１の保管倉庫室１０Ａと同様の給気ゾーンを備えている。そして給気ゾーン４１Ａ，４１Ｂ…と対向する床下スペース１６には、複数のレタン部５９と、これに接続したファン５８からなる排気ゾーン４２Ａ，４２Ｂ…を形成している。なおファン５８Ａ，５８Ｂ，５８Ｃ，５８Ｄ，５８Ｅ………は制御手段６０と電気的に接続している。図４では対向する給気ゾーン４１と排気ゾーン４２の間をスペースＡ，Ｂ…，Ｆとしている。   FIG. 4 is a diagram showing a schematic configuration of a second modification of the storage warehouse room for the liquid crystal substrate. The storage warehouse room 10B for the liquid crystal substrate according to the second modification includes an air supply zone similar to the storage warehouse room 10A according to the first modification. In the underfloor space 16 that faces the air supply zones 41A, 41B, ..., exhaust zones 42A, 42B, ... that include a plurality of retan portions 59 and a fan 58 connected thereto are formed. The fans 58A, 58B, 58C, 58D, 58E,... Are electrically connected to the control means 60. In FIG. 4, spaces A, B,... F are defined between the air supply zone 41 and the exhaust zone 42 facing each other.

上記構成による液晶基板の保管倉庫室１０Ｂの作用について以下説明する。一例としてスタッカクレーン３０がスペースＢからスペースＥに移動する場合、前述同様に制御手段６０により空気量を決定する。スタッカクレーン３０の移動と同時に、停止位置となるスペースＥの排気ゾーン４２からファン５８Ｅを介して前述の空気量を排気する。これと同時にスペースＢの給気ゾーン４１Ｂから、排気した空気と同量の空気量を給気する。又スタッカクレーン３０が通過したスペースＢ，スペースＣ，スペースＤの順に排気ゾーン４２Ｂ，４２Ｃ，４２Ｄを介して排気した空気と同量の空気量を給気ゾーン４１Ｂ，４１Ｃ，４１Ｄの順に段階的に給気するようにしている。なおスタッカクレーン３０がゾーンを通過する前（前方）と後（後方）で排気ファン５８Ｂ，５８Ｃ，５８Ｄも段階的に排気する風量を変更するように制御することもできる。   The operation of the liquid crystal substrate storage warehouse room 10B having the above configuration will be described below. As an example, when the stacker crane 30 moves from the space B to the space E, the air amount is determined by the control means 60 as described above. Simultaneously with the movement of the stacker crane 30, the above-described air amount is exhausted through the fan 58E from the exhaust zone 42 of the space E serving as a stop position. At the same time, the same amount of air as that of the exhausted air is supplied from the supply zone 41B of the space B. Further, in the order of space B, space C, and space D through which the stacker crane 30 has passed, the same amount of air as the air exhausted through the exhaust zones 42B, 42C, 42D is stepwise in order of the supply zones 41B, 41C, 41D. I try to supply air. The exhaust fans 58B, 58C, and 58D can also be controlled to change the air volume exhausted stepwise before (front) and after (rear) the stacker crane 30 passes through the zone.

これによりスタッカクレーン３０の進行方向に対して交差方向の投影面積Ａと移動距離Ｘから生ずるスタッカクレーン３０が押し退ける空気量を排気ゾーン４２のレタン部５９から排気して、排気した空気量を給気ゾーン４１から給気することができ、スタッカクレーン３０の走行に伴う空気の乱れを最小限に抑制することができる。   As a result, the amount of air that the stacker crane 30 pushes away from the projected area A and the movement distance X in the direction intersecting the traveling direction of the stacker crane 30 is exhausted from the retan portion 59 of the exhaust zone 42, and the exhausted air amount is supplied. Air can be supplied from the zone 41, and air turbulence associated with the travel of the stacker crane 30 can be minimized.

本発明は、クリーンルームなど高い清浄度を要求される保管設備の分野において特に利用可能である。   The present invention is particularly applicable in the field of storage facilities that require high cleanliness, such as a clean room.

１………液晶基板の保管倉庫室、２………保管棚、３………カセット、４………スタッカクレーン、５………レール、６………台車、１０………液晶基板の保管倉庫室、１２………収容スペース、１４………天井裏スペース、１６………床下スペース、２０………保管棚、２２………搬送カセット、３０………スタッカクレーン、３２………レール、３４………台車部、３６………クレーン部、４０………空調手段、４１………給気ゾーン、４２………排気ゾーン、５０………給排気手段、５２………第１の給排気手段、５４………第２の給排気手段、５６………ダクト、５８………ファン、５９………レタン部、６０………制御手段、６２………開口部。 1 ......... Storage room for liquid crystal substrates, 2 ......... Storage shelves, 3 ......... cassettes, 4 ...... stacker cranes, 5 ...... rails, 6 ...... carts, 10 ......... liquid crystal substrates Storage warehouse room, 12 ... Storage space, 14 ... Ceiling space, 16 ... Under floor space, 20 ... Storage shelf, 22 ... Transport cassette, 30 ... Stacker crane, 32 ... ... Rail, 34 ......... Carriage part, 36 ......... Crane part, 40 ......... Air conditioning means, 41 ......... Air supply zone, 42 ...... Exhaust zone, 50 ...... Air supply / exhaust means, 52 ... ... 1st air supply / exhaust means, 54 ......... 2nd air supply / exhaust means, 56 ......... Duct, 58 ......... Fan, 59 ...... Letan part, 60 ...... Control means, 62 ......... Opening Department.

Claims (6)

液晶基板を収容するカセットを保管する複数の保管棚と、
前記複数の保管棚に沿って配置したレールを走行し、前記カセットを搬送するスタッカクレーンと、
前記スタッカクレーンの走行方向前方で室内の空気を排気する排気手段と、
前記スタッカクレーンの走行方向後方で前記排気手段の排気した空気量を給気する給気手段と、
前記スタッカクレーンの移動制御信号に基づいて、前記スタッカクレーンの投影面積と移動距離から生じる前記スタッカクレーンの押し退ける空気量を前記排気手段から排気させると共に前記給気手段から給気させる制御手段と、
を備えたことを特徴とする液晶基板の保管倉庫室。 A plurality of storage shelves for storing cassettes containing liquid crystal substrates;
A stacker crane that travels on rails arranged along the plurality of storage shelves and conveys the cassette;
Exhaust means for exhausting indoor air in the traveling direction of the stacker crane;
An air supply means for supplying the amount of air exhausted by the exhaust means at the rear of the stacker crane in the traveling direction;
Based on the movement control signal of the stacker crane, control means for exhausting the amount of air that the stacker crane pushes away from the projected area and movement distance of the stacker crane from the exhaust means and supplying air from the supply means;
A storage warehouse room for liquid crystal substrates. 液晶基板を収納するカセットを保管する複数の保管棚と、
前記複数の保管棚に沿って配置したレール間を正逆方向に走行し、前記カセットを搬送するスタッカクレーンと、
を備えた液晶基板の保管倉庫室において、
前記スタッカクレーンの移動制御信号に基づいて前記スタッカクレーンの進行方向に対して交差方向の投影面積と移動距離から生ずる前記スタッカクレーンが押し退ける空気量を演算する制御手段と、
前記空気量を前記スタッカクレーンの進行方向前方から排気する第１の給排気手段と、
前記空気量を前記スタッカクレーンの進行方向後方から給気する第２の給排気手段と、
を設けたことを特徴とする液晶基板の保管倉庫室。 A plurality of storage shelves for storing cassettes for storing liquid crystal substrates;
A stacker crane that travels in the forward and reverse direction between rails arranged along the plurality of storage shelves, and transports the cassette;
In the storage warehouse room of the LCD substrate with
Control means for calculating the amount of air that the stacker crane pushes away from the projected area and the moving distance in the crossing direction with respect to the traveling direction of the stacker crane, based on the movement control signal of the stacker crane;
First air supply / exhaust means for exhausting the amount of air from the front of the stacker crane in the traveling direction;
Second air supply / exhaust means for supplying air from behind the stacker crane in the traveling direction;
A storage warehouse room for liquid crystal substrates. 前記第１及び第２の給排気手段は、前記空気量を、前記スタッカクレーンの移動速度に合わせて給排気することを特徴とする請求項２に記載の液晶基板の保管倉庫室。   3. The storage warehouse room for a liquid crystal substrate according to claim 2, wherein the first and second air supply / exhaust means supply and exhaust the air amount in accordance with a moving speed of the stacker crane. 液晶基板を収納するカセットを保管する複数の保管棚と、
前記複数の保管棚に沿って配置したレールの間を正逆方向に走行し、前記カセットを搬送するスタッカクレーンと、
前記レールに沿って配置し、前記保管棚に清浄空気を供給する複数のＦＦＵと、
前記レールに沿って配置し、前記室内の空気を排気する複数のレタン部と、
を備えた液晶基板の保管倉庫室であって、
前記スタッカクレーンの移動制御信号に基づいて前記スタッカクレーンの進行方向に対して交差方向の投影面積と移動距離から生ずる前記スタッカクレーンが押し退ける空気量を演算し、前記スタッカクレーンの走行方向前方の前記レタン部から前記空気量を排気させて、前記空気量を前記スタッカクレーンの走行方向後方の前記ＦＦＵから給気させる制御手段を設けたことを特徴とする液晶基板の保管倉庫室。 A plurality of storage shelves for storing cassettes for storing liquid crystal substrates;
A stacker crane that travels in the forward and reverse direction between rails arranged along the plurality of storage shelves, and transports the cassette;
A plurality of FFUs arranged along the rails for supplying clean air to the storage shelves;
A plurality of letter portions arranged along the rails and exhausting the indoor air;
A storage warehouse room for a liquid crystal substrate comprising:
Based on the movement control signal of the stacker crane, the amount of air that the stacker crane pushes away from the projected area and the movement distance in the crossing direction with respect to the traveling direction of the stacker crane is calculated. A storage warehouse room for a liquid crystal substrate, characterized in that control means is provided for exhausting the air amount from a section and supplying the air amount from the FFU behind the stacker crane in the traveling direction. 前記レタン部と前記ＦＦＵの間に前記レタン部の排気した空気を前記ＦＦＵに供給するファンを設けたことを特徴とする請求項４に記載の液晶基板の保管倉庫室。   5. The storage warehouse room for a liquid crystal substrate according to claim 4, wherein a fan is provided between the letan part and the FFU for supplying the FFU with air exhausted from the letan part. 前記ＦＦＵは、前記スタッカクレーンの走行方向に沿って複数の給気ゾーンを形成し、前記スタッカクレーンの通過した前記給気ゾーンごとに段階的に前記空気量を給気することを特徴とする請求項４に記載の液晶基板の保管倉庫室。   The FFU forms a plurality of air supply zones along a traveling direction of the stacker crane, and supplies the air amount in stages for each of the air supply zones that the stacker crane has passed. Item 5. A storage warehouse room for liquid crystal substrates according to item 4.
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