JP4262505B2

JP4262505B2 - Airflow control method

Info

Publication number: JP4262505B2
Application number: JP2003092863A
Authority: JP
Inventors: 勝北野; 泰二湯原
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 2003-03-28
Filing date: 2003-03-28
Publication date: 2009-05-13
Anticipated expiration: 2023-03-28
Also published as: JP2004299813A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は気流制御方法に係り、特に、液晶ディスプレイ（以下、ＬＣＤと記す）等の半導体製品の製造ラインにおいて基板を収納したカセット等を保管するクリーンストッカ内の気流制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
クリーンストッカは、主に半導体製品を製造するための基板の保管に使用されるため、その内部の空気には高い清浄度が要求される。また、基板を収容したカセットがクリーンストッカの内部空間で搬送される。
【０００３】
通常使用されるクリーンストッカでは、基板を収容したカセットの搬送はクレーンにより行われる。クレーンはクリーンストッカ内を移動しながら、搬入されたカセットをクリーンストッカ内の棚の所定の場所に移動したり、所定の場所から移動して搬出したりする。
【０００４】
一般的に、クリーンストッカでは、内部の空間の清浄度を維持するために、クリーンストッカ内の搬送部分で上部から下部へ流れる気流が形成されるように空気の循環を行っている。したがって、クリーンストッカ内部では、クレーンの動きにかかわらず一定条件でクリーンストッカ内の気流の循環を行っている。
【０００５】
図１は従来のクリーンストッカの構成を示す図であり、（ａ）側面図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は正面図である。
【０００６】
図１において、クリーンストッカの外周は側壁１で覆われており、内部はほぼ密閉した空間である。クリーンストッカ内には２列の並行した棚２が設けられ、基板を収容したカッセット３が棚の所定の場所に保管される。クレーン４は２列の棚２の間で、棚２に沿って設けられた通路内で移動可能である。各棚２の下側にはブロア５が設けられ、ブロアの吹き出し方向にＨＥＰＡフィルタ６が配置されて通過する空気から塵埃を除去している。なお、一般的に、クリーンストッカはクリーンルーム内に設置され、クリーンルームの床７がクリーンストッカの床を兼ねる場合が多い。
【０００７】
図１中、クリーンストッカ内の空気の流れを矢印で示す。ブロア５の吸い込み口はクレーン通路側であり、クレーンの移動で発生した塵埃をブロア５で吸い込み、ＨＥＰＡフィルタ６を通して棚２の後ろ側から浄な空気を棚２の上部へと送っている。棚２の後ろ側から前側（すなわちクレーン通路）に戻った空気は、クレーン通路を上から下に流れて再びブロア５に吸い込まれる。
【０００８】
以上のような気流を形成することにより、クレーン４の移動や動作により生じた塵埃は、直ちにブロア５に吸い込まれてＨＥＰＡフィルタ６により取り除かれる。なお、ブロア５は各棚２に対して一台設けられているが、１台の棚に複数のブロア５が設けられることもある。
【０００９】
【特許文献１】
特開２０００−１８８３２０号公報
【００１０】
【特許文献２】
特開２０００−２７２７１１号公報
【００１１】
【特許文献３】
特開平４−１２９２４５号公報
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
上述の図１に示すようなクリーンストッカにおいて、クリーンストッカへのカセット３の搬入・搬出のたびに、クリーンストッカ内のクレーン４はカセット搬送のためにクレーン通路に沿って移動し、且つカセット３を上下移動する。
【００１３】
近年、半導体製品用の基板の大型化に伴い、これを保管するためのクリーンストッカも大きくなり、また、基板を搬送するためクレーンも大きくなっている。さらに、処理速度を高めるために、クレーン移動速度も大きくなっている。
【００１４】
ここで、クレーン４はクリーンストッカ内を水平に移動するのに対し、クリーンストッカ内の気流は垂直方向（ダウンフロー）に維持されている。すわなち、クリーンストッカ内の気流に対してクレーン４は垂直方向に移動することとなる。
【００１５】
したがって、クレーン４の移動の際にクリーンストッカ内の気流が乱れ、この気流の乱れは時にはクリーンストッカ内の塵埃を舞い上げる原因となる。塵埃が舞い上がると、クリーンストッカの棚２に保管されたカセット３に収容されている基板に塵埃が付着するといった問題が発生する恐れがある。
【００１６】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、ストッカ内のクレーンの移動の際に発生する気流の乱れを抑制することのできる気流制御方法を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために本発明によれば、棚の間を移動するクレーンにより搬送物を移送する構成のストッカ内の気流を制御する気流制御方法であって、
該ストッカ内に設けられた複数の空気循環用ブロアの吸い込み量を該クレーンの移動に追従して個別に制御することによりストッカ内の乱流の発生を抑制し、前記複数のブロアのうち、前記クレーンが通過中の位置のブロアの送風量とその近傍に配置されたブロアの送風量が増大するように制御し、前記複数のブロアの各々に対応してシャッターを設け、該シャッターの開度を制御することにより前記ブロアの吸い込み量を制御し、前記ストッカ内のクレーンの進行方向前側及び後側の気圧の差圧を測定し、該差圧に基づいて、前記クレーンの後側における前記ストッカへの空気取り込み量を増大させることを特徴とする気流制御方法が提供される。
【００１８】
上述の発明によれば、クレーンの移動に追従して空気循環用ブロアの吸い込み量が個別に制御されるため、気圧が高くなる部分や乱流が発生する部分において局所的に循環空気量を大きくすることができ、これにより乱流の発生を防止したり、ストッカ内の気圧の差圧を解消することができる。したがって、クレーンの移動に伴う乱流や差圧の形成を防止することができ、クレーンの稼動に伴い発生する塵埃の拡散を防止することができる。
【００２２】
上述の発明によれば、クレーンの移動に追従して空気取り込み量が制御されるため、クレーン移動に伴って気圧が低くなる部分において空気取り込み量を大きくすることができる。これにより、クレーンの移動に伴い発生するストッカ内の気圧の差圧を解消することができる。したがって、クレーンの移動に伴う差圧に起因する乱流の発生を防止することができ、クレーンの稼動に伴い発生する塵埃の拡散を防止することができる。
【００２３】
上述の発明において、前記クレーンの後側の空気取り込み用ファンの送風量を増大させることにより前記ストッカへの空気取り込み量を増大させることが好ましい。また、前記クレーンの通路の床下にシャッターが設けられ、前記クレーンの前側のシャッターの開度を増大させることにより、前記クレーンの前側において循環用ブロアの吸い込み量を増大させることとしてもよい。
【００２９】
まず、本発明の第１実施例による気流制御方法について、図２を参照しながら説明する。図２は本発明の第１実施例による気流制御方法が適用されたクリーンストッカの構成を示す図である。
【００３０】
クリーンストッカには複数の棚２が２段２列に配置され、その間にクレーン通路が設けられている。図２では２段の棚２が８台分一列に並べられ、クレーン通路をはさんで他の８台の棚が一列に並べられている。各棚２はカセット３を上下２段に配置して保管できるように構成されており、棚２の下側に空気循環用ブロア５及びＨＥＰＡフィルタ６が配置される。ここで、本実施例では、後述するようにクリーンストッカ内の気流の制御を行なうために、ブロア５及びＨＥＰＡフィルタ６は、棚２の長手方向に沿って棚２の上下の列に対応して複数個配置されている。
【００３１】
棚２に保管されたカッセット３を搬出する場合には、クレーン４が目的のカッセト３がある場所までクレーン４をクレーン通路に沿って水平方向に移動し、クレーン４に取り付けられたフォークを上下移動させ、目的のカッセット３をフォークで保持しながらクレーン通路に沿って移動して所定の搬出位置へと搬送する。カセット３を搬入する場合は、その逆の動作を行なう。したがって、カセットの搬入・搬出の都度、クレーン４はクレーン通路を移動する。
【００３２】
ここで、クレーン４が移動すると、クレーン４の周囲に乱流が発生する場合がある。特に、クレーン４の後方に空気が引き込まれて乱流が発生することが多い。
【００３３】
また、クレーン４の移動に伴い、クリーンストッカの内部の空気圧力は僅かではあるが変化する。すなわち、クレーン通路はクレーンが通れる程度の幅の狭い空間であり、クレーン４が移動するとその前方の空気が圧縮され、クレーン４の移動方向前方では空気圧力が高くなる。一方クレーン４の移動方向方法では相対的に空気圧力は低くなる。このように、クレーン４の前方と後方の間で圧力差が生じると、前方の空気がクレーン４の後方に流れるため水平方向の気流が生じ、これがクレーン４の周囲に乱流を引き起こすことがある。
【００３４】
クレーン４には塵埃の発生源となる移動機構等が設けられており、クレーン４の周囲で乱流が発生すると、塵埃がクリーンストッカ内部で舞い上がって拡散してしまい。他のカセット３に収容された基板に付着するおそれがある。
【００３５】
そこで、本実施例では、ブロア５を棚２の下側に複数個設け、クレーン４の移動に同期してブロア５の送風量を調整することにより、クレーン４の移動による乱流が発生しても塵埃が拡散しないように、あるいはクレーンの移動に伴う圧力差が生じないようにしている。
【００３６】
具体的には、本実施例では、ブロア５とフィルタ６との対となるユニット（ファンフィルタユニット）を各棚２のカセット３を保管する上下の列に１台づつ設けている。そして、クレーン４が移動する際に、クレーン４の近傍のみブロア５の送風量を増大させ、吸い込み量を増大させている。
【００３７】
図２（ｃ）中、ブロア５の送風量（すなわち、吸い込み量）を矢印にて示しえとり、矢印の大きさにより送風量の大小が示されている。本実施例では、クレーン４の移動方向前側でクレーン４が通過している位置のブロア５−２より一つ前のブロア５−１の送風量を僅かに増大し、クレーン４が通過中のブロア５−２の送風量を増大し、クレーンが通過した後のブロア５−３の送風量の増大した分を減少している。図から分かるように、ブロア５−１の送風量の増大は僅かであり、ブロア５−２の送風量の増大量は大きい。ブロア５−３の送風量は一度ブロア５−２のように増大された後、通常の送風量に戻すべく増大分が低減されている。
【００３８】
ブロア５−１の送風量（すなわち吸い込み量）を僅かに増大することにより、クレーン４の前側の空気が押されて発生する気流の乱れを防止している。そして、クレーンが通過中のブロア５−２の送風量（すなわち吸い込み量）を増大させることにより、クレーン４の近傍、特に横側や後ろ側に発生する乱流が上方に拡散しないように、クレーン４近傍において強制的に下方への気流を形成している。すなわち、クレーン４の近傍において、上方から下方への気流を強くして、発生する塵埃を直ちにブロア５−２に吸い込ませ、ＨＥＰＡフィルタ６により除去している。
【００３９】
ブロア５−３の送風量は、例えばブロア５−２の増大した送風量と、通常の状態でのブロア５の送風量との間程度の送風量として、隣接したブロア５の間で送風量が大きく変わることによる乱流が発生しないようにしている。
【００４０】
ブロア５は、例えばインバータ制御可能なモータにより駆動され、その送風量の制御は、クリーンストッカの動作を制御する制御装置により行なわれることが好ましい。この制御装置にはクレーン４の移動情報が入力され、クレーンの移動に追従して各ブロア５の送風量が個別に制御される。
【００４１】
次に本発明の第２実施例による気流制御方法について、図３を参照しながら説明する。図３は本発明の第２実施例による気流制御方法が適用されたクリーンストッカの構成図である。図３において、図２と同等な構成部品には同じ符号を付し、その説明は省略する。
【００４２】
図３に示すクリーンストッカでは、各棚２の各段に対して１台のブロアフィルタユニットが設けられている。本実施例では、クレーン４の移動に追従して上述の第１実施例と同様にクレーン４の通過する位置近傍のブロア５の送風量を増大させる。これに加えて、本実施例では、クレーン４が目的位置に停止して目的のカセットを棚２の所望の段から移動、あるいは棚２の所望の段に移動している間に、その棚の段に設けられているブロア５の風量を増大させる。
【００４３】
すなわち、クレーン４が停止していても、棚の各段とクレーン４との間でカセット３を移載する間に塵埃が発生するおそれがあり、この部分での気流を強めて発生した塵埃を強制的に下方へ移動して、フィルタ６により取り除く構成である。なお、図３（ｂ）の矢印及び図３（ｃ）の○×印の大きさは、ブロア５の送風量の大小を示している。
【００４４】
以上のように、本実施例では、クレーン４の移動時だけでなく、クレーン４が定位置で動作している場合でも、塵埃の拡散を防止することができ、クリーンストッカ内の清浄度を維持することができる。
【００４５】
次に、クレーン４の移動に伴うクリーンストッカ内の圧力変化に起因した乱流の発生を抑制する気流制御方法について説明する。
【００４６】
図４は、クレーン４の移動に伴うクリーンストッカ内の圧力変化を説明するための図である。図４に示すクリーンストッカは、外部より高い圧力に維持して塵埃が外部からはい込まないようにした構成であり、クリーンストッカの天井部分に外部から空気を取り込むための空気取り込み用ファンとしてファンフィルタユニット１０が設けられ、床部分に排気口（開口床）１１が設けられている。すなわち、ファンフィルタユニット１０からの空気取り込み量が、排気口１１からの空気排出量より大きくなるように設定することにより、クリーンストッカ内を外部より高い圧力（陽圧）に維持している。クリーンストッカ内の圧力と外部の圧力との差圧はマノメータ１２により測定して、差圧が適当な値となるようにファンフィルタユニット１０の送風量を設定する。
【００４７】
図４に示すクリーンストッカでは、クレーン４が移動すると、クレーン４の移動方向前側（すなわち、図４におけるクレーン４の右側）において空気がクレーン４の移動により圧縮され、圧力が上昇する。反対に、クレーン４の移動方向前側（すなわち、図４におけるクレーン４の左側）において、相対的に圧力が減少する。このように、クレーン４を挟んで、前側と後側の空気圧に差圧が生じると、クリーンストッカ内で水平方向の気流が発生し、乱流が発生する原因となる。
【００４８】
そこで本発明の第３実施例による気流制御方法では、上述のような差圧が発生しないようにファンフィルタユニット１０の送風量を制御する。図５は本発明の第３実施例による気流制御方法が適用されたクリーンストッカの構成図である。図５において、図４に示す構成部品と同等の部品には同じ符号を付し、その説明は省略する。
【００４９】
図５に示すクリーンストッカには、複数台のファンフィルタユニット１０がクレーン通路に沿って天井部分に設けられており、各ファンフィルタユニット１０の送風量は制御装置により制御可能となっている。また、クリーンストッカの両端部付近の圧力を測定するマノメータ(気圧計）１３−１，１３−２が設けられ、さらに、両端の圧力の差圧を測定するマノメータ１４も設けられている。マノメータにより測定された差圧の情報も制御装置に送られる。
【００５０】
以上のような構成のクリーンストッカにおいて、マノメータ１３−１，１３−２の圧力が両方ともクリーンストッカの外部に対して陽圧となるように制御しながら、マノメータ１４により測定される差圧が減少して、差圧がなくなるようにファンフィルタユニット１０の送風量を制御する。すなわち、図５（ｃ）の矢印で示すように、クレーン４が移動する際に、クレーン４の後ろに位置するファンフィルタユニット１０の送風量が、前側に位置するファンフィルタユニット１０の送風量より大きくなるように制御する。
【００５１】
すなわち、ファンフィルタユニット１０の送風量を制御することにより、図４に示すようにクレーン４の前側の圧力が増大し後ろ側の圧力が減少するといった差圧の発生を防止し、結果として乱流の発生を防止して塵埃の拡散を防止することができる。
【００５２】
次に、本発明の第４実施例による気流制御構造及び気流制御方法について、図６を参照しながら説明する。図６は本発明の第４実施例によるクリーンストッカの構成図である。図６において、図２に示す構成部品と同等な部品には同じ符号を付し、その説明は省略する。
【００５３】
図６に示すクリーンストッカは、構成部品としては図２に示すクリーンストッカとほぼ同じ部品よりなっているが、クリーンルームの床７の下側まで延在しており、床下の位置にブロア５及びＨＥＰＡフィルタ６が設けられている点と、クレーン通路の下側にシャッター２０が設けられている点が異なる。
【００５４】
すなわち、本実施例によるクリーンストッカは、側壁１がクリーンルームの床７を超えて下方に延在しており、床下でクリーンストッカの床２３が形成されている。棚２はクリーンルームの床７と同じレベルの床に設置される。クリーンルームの床７を、棚２を設置する床面としてもよい。棚２を設置する床面は開口を有しないブラインド床であるが、クレーン通路の部分だけは開口床（グレーティング床）となっている。そして、開口床の開口を開閉することのできるシャッター２０が設けられている。
【００５５】
本実施例では、棚２が設置される床の下側にブロア５が設けられているので、クレーン通路を垂直に下降してきた空気は、開口床を通じて床下に流れてブロア５に吸い込まれる。ブロア５から吹き出す空気はフィルタ６を通って塵埃が除去された後、棚２の後側から上方に向かって流れ、棚２の各段を通って再度クレーン通路に流れる。
【００５６】
以上のようなクリーンルームの構成において、シャッター２０の開度を調節することにより、クレーン４の移動による圧力差の発生に起因してクレーン４近傍での乱流の発生を抑制する。本実施例では、クレーン４が移動する際に、クレーン４の前側のシャッター２０を通常より大きく開けることでクレーン４の前側の空気をより強く床下に吸い込むことにより、クレーン４の前側において圧力が上昇しないように抑制する。
【００５７】
具体的には、図６（ｃ）の矢印に示すように、クレーン４の移動に伴い、クレーン４の移動方向直前のシャッター２０−１の開度を増大する。ここで、シャッター２０−２の一つ前側のシャッター２２−１についても開度を増大している。これは、クレーン４が接近してからシャッター２２−２の開度を急激に増大すると乱流が発生するおそれがあるためである。したがって、一つ前側のシャッター２２−２から徐々に開度を増大することが好ましい。
【００５８】
以上のような送風量の制御により、クレーン４の前後で圧力差が発生せず、圧力差に起因した乱流の発生が防止され、乱流による塵埃の拡散を防止することができる。
【００５９】
なお、本実施例では、ファン５及びフィルタ６をクリーンルームの床７の下側に設ける構成であり、これまで使用されていなかった空間をクリーンストッカの一部として利用するため、クリーンルーム内の空間を有効利用することができる。また、クリーンストッカの大型化にとっても有効である。
【００６０】
次に、本発明の第５実施例による気流制御構造及び気流制御方法について図７を参照しながら説明する。図７は本発明の第５実施例によるクリーンストッカの構成図である。図７において、図６に示す構成部品と同等な部品には同じ符号を付し、その説明は省略する。
【００６１】
図７に示すクリーンストッカは、図６に示す複数のシャター２０の代わりに複数のファン２１を設けたものである。シャッター２０と同様に、ファン２１はクレーン通路の開口床部分の真下に整列して設けられる。
【００６２】
本実施例では、クレーン４の移動に追従してファン２１の送風量を調節し、クレーン４の移動による圧力差の発生に起因してクレーン４近傍での乱流の発生を抑制する。すなわち、クレーン４が移動する際に、クレーン４の前側のファン２１の送風量を通常より増大させることでクレーン４の前側の空気をより強く床下に吸い込むことにより、クレーン４の前側において圧力が上昇しないように抑制する。
【００６３】
具体的には、図７（ｃ）の矢印に示すように、クレーン４の移動に伴い、クレーン４の移動方向直前のファン２１−２の送風量を増大する。ここで、ファン２１−２の一つ前側のファン２１−１についても送風量を増大している。これは、クレーン４が接近してからファン２１−１の送風量を急激に増大すると乱流が発生するおそれがあるためである。したがって、一つ前側のファン２１−２から徐々に送風量を増大することが好ましい。
【００６４】
次に、本発明の第６実施例について、図８を参照しながら説明する。図８は本発明の第６実施例によるクリーンストッカの構成図である。図８において、図５及び図６に示す構成部品と同等な部品には同じ符号を付し、その説明は適宜省略する。
【００６５】
図４を参照しながら説明したように、クリーンストッカ内で、クレーン４が移動すると、クレーン４を挟んで、前側と後側の空気圧に差圧が生じる。これにより、クリーンストッカ内で水平方向の気流が発生し、乱流が発生する原因となる。
【００６６】
そこで本発明の第６実施例による気流制御方法では、上述のような差圧が発生しないようにファンフィルタユニット１０の送風量を調節すると共に、シャッター２０の開度も同時に調節する。
【００６７】
図８に示すクリーンストッカには、複数台のファンフィルタユニット１０がクレーン通路に沿って天井部分に設けられており、各ファンフィルタユニット１０の送風量は制御装置により制御可能となっている。また、クリーンストッカの両端部付近の圧力を測定するマノメータ(気圧計）１３−１，１３−２が設けられ、さらに、両端の圧力の差圧を測定するマノメータ１４も設けられている。マノメータにより測定された差圧の情報も制御装置に送られる。
【００６８】
以上のような構成のクリーンストッカにおいて、マノメータ１３−１，１３−２の圧力が両方ともクリーンストッカの外部に対して陽圧となるように制御しながら、マノメータ１４により測定される差圧が減少して、差圧がなくなるようにファンフィルタユニット１０の送風量及びシャター２０の開度を制御する。すなわち、図８（ｃ）の矢印で示すように、クレーン４が移動する際に、クレーン４の後に位置するファンフィルタユニット１０の送風量が、前側に位置するファンフィルタユニット１０の送風量より大きくなるように制御すると共に、クレーン４の前側に位置するシャッター２０の開度が、後側に位置するシャッター２０の開度より大きくなるように制御する。
【００６９】
すなわち、ファンフィルタユニット１０の送風量及びシャター２０の開度を制御することにより、図４に示すようにクレーン４の前側の圧力が増大し後側の圧力が減少するといった差圧の発生を防止し、結果として乱流の発生を防止して塵埃の拡散を防止することができる。
【００７０】
次に、本発明の第７実施例による気流制御方法及び気流制御構造について、図９を参照しながら説明する。図９は本発明の第７実施例によるクリーンストッカの構成図である。図９において、図１に示す構成部品と同等な部品には同じ符号を付し、その説明は省略する。
【００７１】
図９に示すクリーンストッカは、図１に示す従来のクリーンストッカに対して、各棚２の上下の列毎にシャッター２２を設けたものである。すなわち、上下に重なった棚２の列の下側で、クレーン通路に面する部分に複数のシャッター２２をクレーン通路の両側に設け、クレーン４の移動に追従してシャッター２２の開度を調節する。シャッター２２の開度の制御は、図６に示すシャッター２０と同様であり、クレーン４が移動する際に、クレーン４の前側のシャッター２２を通常より大きく開けることでクレーン４の前側の空気をブロア５により強く吸い込むことにより、クレーン４の前側において圧力が上昇しないように抑制する。
【００７２】
具体的には、図９（ｂ）の矢印に示すように、クレーン４の移動に伴い、クレーン４の移動方向直前の両側のシャッター２２の開度を増大する。ここで、シャッター２２−２の一つ前側のシャッター２２−１についても開度を増大している。これは、クレーン４が接近してからシャッター２２−１２の送風量を急激に増大すると乱流が発生するおそれがあるためである。したがって、一つ前側のシャター２２−２から徐々に開度を増大することが好ましい。
【００７３】
以上のような送風量の制御により、クレーン４の前後で圧力差が発生せず、圧力差に起因した乱流の発生が防止され、乱流による塵埃の拡散を防止することができる。
【発明の効果】
上述の如く本発明によれば、クレーンの移動に追従して空気循環用ブロアの吸い込み量を個別に制御することにより、気圧が高くなる部分や乱流が発生する部分において局所的に循環空気の吸い込み量を大きくすることができ、これにより乱流の発生を防止したり、ストッカ内の気圧の差圧を解消することができる。したがって、クレーンの移動に伴う乱流や差圧の形成を防止することができ、クレーンの稼動に伴い発生する塵埃の拡散を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のクリーンストッカの構成を示す図である。
【図２】本発明の第１実施例による気流制御方法が適用されたクリーンストッカの構成図である。
【図３】本発明の第２実施例による気流制御方法が適用されたクリーンストッカの構成図である。
【図４】クレーンの移動に伴うクリーンストッカ内の圧力変化を説明するための図である。
【図５】本発明の第３実施例による気流制御方法が適用されたクリーンストッカの構成図である。
【図６】本発明の第４実施例によるクリーンストッカの構成図である。
【図７】本発明の第５実施例によるクリーンストッカの構成図である。
【図８】本発明の第６実施例によるクリーンストッカの構成図である。
【図９】本発明の第７実施例によるクリーンストッカの構成図である。
【符号の説明】
１側壁
２棚
３カセット
４クレーン
５ブロア
６ＨＥＰＡフィルタ
７床
１０ファンフィルタユニット
１１排気口（開口床）
１２、１３−１，１３−２，１４マノメータ
２０シャッター
２１ファン
２２シャター
２３床[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an airflow control method, and more particularly, to an airflow control method in a clean stocker for storing a cassette or the like in which a substrate is stored in a production line of a semiconductor product such as a liquid crystal display (hereinafter referred to as LCD).
[0002]
[Prior art]
Since the clean stocker is mainly used for storing a substrate for manufacturing a semiconductor product, high cleanliness is required for air inside the clean stocker. Further, the cassette containing the substrate is transported in the internal space of the clean stocker.
[0003]
In a normally used clean stocker, a cassette containing a substrate is transported by a crane. While the crane moves in the clean stocker, the loaded cassette is moved to a predetermined location on a shelf in the clean stocker, or moved out of the predetermined location and carried out.
[0004]
In general, in a clean stocker, in order to maintain the cleanliness of the internal space, air is circulated so that an airflow flowing from the upper part to the lower part is formed in the conveying part in the clean stocker. Therefore, inside the clean stocker, airflow in the clean stocker is circulated under a constant condition regardless of the movement of the crane.
[0005]
1A and 1B are diagrams showing a configuration of a conventional clean stocker, where FIG. 1A is a side view, FIG. 1B is a plan view, and FIG. 1C is a front view.
[0006]
In FIG. 1, the outer periphery of the clean stocker is covered with a side wall 1, and the inside is a substantially sealed space. Two rows of parallel shelves 2 are provided in the clean stocker, and a cassette 3 containing substrates is stored in a predetermined place on the shelf. The crane 4 can move between two rows of shelves 2 in a passage provided along the shelves 2. A blower 5 is provided below each shelf 2, and a HEPA filter 6 is disposed in the blower blowing direction to remove dust from the passing air. In general, the clean stocker is installed in a clean room, and the floor 7 of the clean room often serves as the floor of the clean stocker.
[0007]
In FIG. 1, the flow of air in the clean stocker is indicated by arrows. The suction port of the blower 5 is on the crane passage side. Dust generated by the movement of the crane is sucked by the blower 5, and clean air is sent from the rear side of the shelf 2 to the upper part of the shelf 2 through the HEPA filter 6. The air returned from the rear side of the shelf 2 to the front side (that is, the crane passage) flows from the top to the bottom of the crane passage and is sucked into the blower 5 again.
[0008]
By forming the airflow as described above, dust generated by the movement and operation of the crane 4 is immediately sucked into the blower 5 and removed by the HEPA filter 6. One blower 5 is provided for each shelf 2, but a plurality of blowers 5 may be provided on one shelf.
[0009]
[Patent Document 1]
JP 2000-188320 A
[0010]
[Patent Document 2]
JP 2000-272711 A
[0011]
[Patent Document 3]
Japanese Patent Laid-Open No. 4-129245
[0012]
[Problems to be solved by the invention]
In the clean stocker as shown in FIG. 1 described above, each time the cassette 3 is carried into and out of the clean stocker, the crane 4 in the clean stocker moves along the crane path for carrying the cassette. Move up and down.
[0013]
In recent years, with an increase in the size of a substrate for semiconductor products, a clean stocker for storing the substrate has also increased, and a crane for transporting the substrate has also increased. Furthermore, the crane moving speed is also increased in order to increase the processing speed.
[0014]
Here, the crane 4 moves horizontally in the clean stocker, whereas the airflow in the clean stocker is maintained in the vertical direction (down flow). That is, the crane 4 moves in the vertical direction with respect to the airflow in the clean stocker.
[0015]
Therefore, when the crane 4 moves, the airflow in the clean stocker is disturbed, and this disturbance of airflow sometimes causes the dust in the clean stocker to rise. If the dust soars, there is a risk that the dust may adhere to the substrate stored in the cassette 3 stored in the shelf 2 of the clean stocker.
[0016]
This invention is made | formed in view of said point, and it aims at providing the airflow control method which can suppress the disturbance of the airflow generate | occur | produced in the case of the movement of the crane in a stocker.
[0017]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above problems, according to the present invention, there is an airflow control method for controlling an airflow in a stocker configured to transfer a conveyed product by a crane that moves between shelves,
Suppresses the occurrence of turbulent flow in the stocker by individually controlling the suction amount of a plurality of air circulation blowers provided in the stocker following the movement of the crane. Then, among the plurality of blowers, control is performed so that the blower amount of the blower at the position where the crane is passing and the blower amount disposed in the vicinity thereof are increased, A shutter is provided, and the amount of suction of the blower is controlled by controlling the opening of the shutter, and the pressure difference between the front side and the rear side in the traveling direction of the crane in the stocker is measured, and based on the differential pressure Increase the amount of air taken into the stocker on the rear side of the crane An airflow control method is provided.
[0018]
According to the above-described invention, since the suction amount of the air circulation blower is individually controlled following the movement of the crane, the circulating air amount is locally increased in the portion where the atmospheric pressure is high or the portion where the turbulent flow is generated. Thus, the generation of turbulent flow can be prevented and the differential pressure between the atmospheric pressures in the stocker can be eliminated. Therefore, it is possible to prevent the formation of turbulent flow and differential pressure associated with the movement of the crane, and it is possible to prevent the diffusion of dust generated with the operation of the crane.
[0022]
According to the above-described invention, since the air intake amount is controlled following the movement of the crane, the air intake amount can be increased in a portion where the atmospheric pressure decreases as the crane moves. Thereby, the differential pressure | voltage of the atmospheric | air pressure in a stocker which generate | occur | produces with the movement of a crane can be eliminated. Therefore, generation | occurrence | production of the turbulent flow resulting from the differential pressure accompanying the movement of a crane can be prevented, and the spreading | diffusion of the dust which generate | occur | produces with the operation of a crane can be prevented.
[0023]
In the above-described invention, it is preferable to increase the amount of air taken into the stocker by increasing the amount of air blown by the air intake fan on the rear side of the crane. Further, a shutter may be provided under the floor of the crane passage, and the suction amount of the circulation blower may be increased on the front side of the crane by increasing the opening of the shutter on the front side of the crane.
[0029]
First, the airflow control method according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a diagram showing a configuration of a clean stocker to which the airflow control method according to the first embodiment of the present invention is applied.
[0030]
In the clean stocker, a plurality of shelves 2 are arranged in two rows and two rows, and a crane passage is provided therebetween. In FIG. 2, two shelves 2 are arranged in a line for eight units, and the other eight shelves are arranged in a row across the crane passage. Each shelf 2 is configured so that the cassette 3 can be stored in two upper and lower stages, and an air circulation blower 5 and a HEPA filter 6 are disposed below the shelf 2. In this embodiment, the blower 5 and the HEPA filter 6 correspond to the upper and lower rows of the shelf 2 along the longitudinal direction of the shelf 2 in order to control the airflow in the clean stocker as will be described later. A plurality are arranged.
[0031]
When carrying out the cassette 3 stored on the shelf 2, the crane 4 moves horizontally along the crane passage to the place where the target cassette 3 is located, and the fork attached to the crane 4 is moved up and down. The target cassette 3 is moved along the crane passage while being held by the fork and conveyed to a predetermined unloading position. When the cassette 3 is carried in, the reverse operation is performed. Therefore, every time the cassette is loaded / unloaded, the crane 4 moves in the crane passage.
[0032]
Here, when the crane 4 moves, a turbulent flow may occur around the crane 4. In particular, air is often drawn behind the crane 4 to generate turbulent flow.
[0033]
Further, as the crane 4 moves, the air pressure inside the clean stocker changes slightly. That is, the crane passage is a space that is narrow enough to allow the crane to pass through. When the crane 4 moves, the air in front of the crane 4 is compressed, and the air pressure increases in front of the moving direction of the crane 4. On the other hand, in the moving direction method of the crane 4, the air pressure is relatively low. In this way, when a pressure difference is generated between the front and rear of the crane 4, the front air flows to the rear of the crane 4, thereby generating a horizontal airflow, which may cause turbulence around the crane 4. .
[0034]
The crane 4 is provided with a moving mechanism or the like as a dust generation source. When turbulent flow occurs around the crane 4, the dust rises and diffuses inside the clean stocker. There is a risk of adhering to a substrate housed in another cassette 3.
[0035]
Therefore, in this embodiment, a plurality of blowers 5 are provided on the lower side of the shelf 2, and turbulent flow due to the movement of the crane 4 is generated by adjusting the air flow rate of the blower 5 in synchronization with the movement of the crane 4. In order to prevent the dust from diffusing, the pressure difference associated with the movement of the crane is prevented.
[0036]
Specifically, in this embodiment, one unit (fan filter unit) that is a pair of the blower 5 and the filter 6 is provided in each of the upper and lower rows in which the cassettes 3 of the shelves 2 are stored. And when the crane 4 moves, the ventilation volume of the blower 5 is increased only in the vicinity of the crane 4, and the suction amount is increased.
[0037]
In FIG. 2C, the amount of air blown by the blower 5 (that is, the amount of suction) is indicated by an arrow, and the size of the arrow indicates the magnitude of the air flow. In this embodiment, the blower 5-1 is slightly increased in front of the blower 5-2 at the position where the crane 4 passes on the front side in the moving direction of the crane 4, and the blower in which the crane 4 is passing is increased. The amount of air flow of 5-2 is increased and the amount of increase of the air amount of blower 5-3 after the crane passes is decreased. As can be seen from the figure, the increase in the air flow rate of the blower 5-1 is slight, and the increase amount of the air flow rate of the blower 5-2 is large. The blower 5-3 blown air volume is once increased as in the blower 5-2, and then the increase is reduced to return to the normal blower air volume.
[0038]
By slightly increasing the amount of air blown by the blower 5-1 (that is, the amount of suction), turbulence in the airflow generated by pushing the air on the front side of the crane 4 is prevented. Then, by increasing the amount of air blown by the blower 5-2 while the crane is passing (that is, the amount of suction), the turbulent flow generated in the vicinity of the crane 4, particularly the side and rear side, is prevented from diffusing upward. A downward airflow is forcibly formed in the vicinity of 4. That is, in the vicinity of the crane 4, the airflow from the upper side to the lower side is strengthened, and the generated dust is immediately sucked into the blower 5-2 and removed by the HEPA filter 6.
[0039]
The blower 5-3 blown air amount is, for example, between the increased blower amount of the blower 5-2 and the blower air amount of the blower 5 in a normal state. The turbulent flow due to a large change is avoided.
[0040]
The blower 5 is driven by, for example, a motor that can be controlled by an inverter, and the amount of blown air is preferably controlled by a control device that controls the operation of the clean stocker. The movement information of the crane 4 is input to this control device, and the air flow rate of each blower 5 is individually controlled following the movement of the crane.
[0041]
Next, an airflow control method according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a configuration diagram of a clean stocker to which an airflow control method according to a second embodiment of the present invention is applied. 3, the same components as those in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.
[0042]
In the clean stocker shown in FIG. 3, one blower filter unit is provided for each stage of each shelf 2. In the present embodiment, following the movement of the crane 4, the air flow rate of the blower 5 in the vicinity of the position where the crane 4 passes is increased as in the first embodiment described above. In addition to this, in this embodiment, the crane 4 stops at the target position and the target cassette is moved from the desired level of the shelf 2 or is moved to the desired level of the shelf 2. The air volume of the blower 5 provided in the stage is increased.
[0043]
That is, even when the crane 4 is stopped, dust may be generated while the cassette 3 is transferred between each stage of the shelf and the crane 4. The filter 6 is forcibly moved downward and removed by the filter 6. Note that the size of the arrows in FIG. 3B and the circles in FIG. 3C indicate the size of the blower 5.
[0044]
As described above, in this embodiment, not only when the crane 4 is moved, but also when the crane 4 is operating at a fixed position, it is possible to prevent the diffusion of dust and maintain the cleanliness in the clean stocker. can do.
[0045]
Next, an airflow control method for suppressing the generation of turbulent flow due to the pressure change in the clean stocker accompanying the movement of the crane 4 will be described.
[0046]
FIG. 4 is a view for explaining a pressure change in the clean stocker accompanying the movement of the crane 4. The clean stocker shown in FIG. 4 is configured to maintain a higher pressure than the outside so that dust does not enter from the outside, and a fan filter as an air intake fan for taking air from outside into the ceiling portion of the clean stocker A unit 10 is provided, and an exhaust port (opening floor) 11 is provided in the floor portion. That is, by setting the air intake amount from the fan filter unit 10 to be larger than the air discharge amount from the exhaust port 11, the inside of the clean stocker is maintained at a higher pressure (positive pressure) than the outside. The pressure difference between the pressure in the clean stocker and the external pressure is measured by the manometer 12, and the air flow rate of the fan filter unit 10 is set so that the differential pressure becomes an appropriate value.
[0047]
In the clean stocker shown in FIG. 4, when the crane 4 moves, the air is compressed by the movement of the crane 4 on the front side in the moving direction of the crane 4 (that is, the right side of the crane 4 in FIG. 4), and the pressure increases. On the contrary, the pressure decreases relatively on the front side in the moving direction of the crane 4 (that is, on the left side of the crane 4 in FIG. 4). Thus, when a differential pressure is generated between the air pressures on the front side and the rear side across the crane 4, a horizontal air flow is generated in the clean stocker, which causes turbulence.
[0048]
Therefore, in the airflow control method according to the third embodiment of the present invention, the air flow rate of the fan filter unit 10 is controlled so that the above-described differential pressure does not occur. FIG. 5 is a configuration diagram of a clean stocker to which an airflow control method according to a third embodiment of the present invention is applied. 5, parts that are the same as the parts shown in FIG. 4 are given the same reference numerals, and descriptions thereof will be omitted.
[0049]
In the clean stocker shown in FIG. 5, a plurality of fan filter units 10 are provided on the ceiling portion along the crane passage, and the air volume of each fan filter unit 10 can be controlled by a control device. Further, manometers (barometers) 13-1 and 13-2 for measuring pressures near both ends of the clean stocker are provided, and a manometer 14 for measuring a differential pressure between both ends is also provided. Information on the differential pressure measured by the manometer is also sent to the control device.
[0050]
In the clean stocker having the above configuration, the differential pressure measured by the manometer 14 is reduced while controlling the pressures of the manometers 13-1 and 13-2 to be positive with respect to the outside of the clean stocker. Then, the air flow rate of the fan filter unit 10 is controlled so that the differential pressure is eliminated. That is, as indicated by an arrow in FIG. 5C, when the crane 4 moves, the air flow rate of the fan filter unit 10 located behind the crane 4 is greater than the air flow rate of the fan filter unit 10 located on the front side. Control to increase.
[0051]
That is, by controlling the air flow rate of the fan filter unit 10, as shown in FIG. 4, the pressure on the front side of the crane 4 increases and the pressure on the rear side decreases, thereby preventing the occurrence of differential pressure. Generation of dust can be prevented and diffusion of dust can be prevented.
[0052]
Next, an airflow control structure and an airflow control method according to a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 6 is a configuration diagram of a clean stocker according to a fourth embodiment of the present invention. 6, parts that are the same as the parts shown in FIG. 2 are given the same reference numerals, and descriptions thereof will be omitted.
[0053]
The clean stocker shown in FIG. 6 is composed of almost the same components as the clean stocker shown in FIG. 2, but extends to the lower side of the floor 7 of the clean room, and the blower 5 and the HEPA are located below the floor. The difference is that the filter 6 is provided and the shutter 20 is provided below the crane passage.
[0054]
That is, in the clean stocker according to the present embodiment, the side wall 1 extends downward beyond the floor 7 of the clean room, and the floor 23 of the clean stocker is formed under the floor. The shelf 2 is installed on the same level as the floor 7 of the clean room. The floor 7 of the clean room may be a floor on which the shelf 2 is installed. The floor on which the shelf 2 is installed is a blind floor having no opening, but only the portion of the crane passage is an opening floor (grating floor). And the shutter 20 which can open and close the opening of an opening floor is provided.
[0055]
In this embodiment, since the blower 5 is provided below the floor on which the shelf 2 is installed, the air that has descended vertically through the crane passage flows under the floor through the open floor and is sucked into the blower 5. After the dust is removed through the filter 6, the air blown out from the blower 5 flows upward from the rear side of the shelf 2, and then flows again to the crane passage through each stage of the shelf 2.
[0056]
In the configuration of the clean room as described above, by adjusting the opening degree of the shutter 20, the occurrence of a turbulent flow in the vicinity of the crane 4 due to the generation of a pressure difference due to the movement of the crane 4 is suppressed. In this embodiment, when the crane 4 moves, the pressure on the front side of the crane 4 is increased by sucking the air on the front side of the crane 4 under the floor more strongly by opening the shutter 20 on the front side of the crane 4 larger than usual. Suppress not to.
[0057]
Specifically, as indicated by the arrow in FIG. 6C, the opening degree of the shutter 20-1 immediately before the moving direction of the crane 4 is increased as the crane 4 moves. Here, the opening degree of the shutter 22-1 immediately before the shutter 20-2 is also increased. This is because if the opening degree of the shutter 22-2 is suddenly increased after the crane 4 approaches, turbulence may occur. Therefore, it is preferable to gradually increase the opening degree from the one-front shutter 22-2.
[0058]
By controlling the amount of blown air as described above, a pressure difference does not occur before and after the crane 4, turbulent flow due to the pressure difference is prevented, and dust diffusion due to turbulent flow can be prevented.
[0059]
In this embodiment, the fan 5 and the filter 6 are provided below the floor 7 of the clean room. Since the space that has not been used so far is used as a part of the clean stocker, the space in the clean room is used. It can be used effectively. It is also effective for increasing the size of the clean stocker.
[0060]
Next, an airflow control structure and an airflow control method according to a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 7 is a configuration diagram of a clean stocker according to a fifth embodiment of the present invention. 7, parts that are the same as the parts shown in FIG. 6 are given the same reference numerals, and descriptions thereof will be omitted.
[0061]
The clean stocker shown in FIG. 7 is provided with a plurality of fans 21 instead of the plurality of shutters 20 shown in FIG. Similar to the shutter 20, the fan 21 is provided in alignment with the opening floor portion of the crane passage.
[0062]
In this embodiment, the amount of air blown by the fan 21 is adjusted following the movement of the crane 4, and the occurrence of turbulent flow in the vicinity of the crane 4 due to the generation of a pressure difference due to the movement of the crane 4 is suppressed. That is, when the crane 4 moves, the pressure on the front side of the crane 4 increases by sucking the air on the front side of the crane 4 under the floor more strongly by increasing the air flow rate of the fan 21 on the front side of the crane 4 than usual. Suppress not to.
[0063]
Specifically, as shown by the arrow in FIG. 7C, the amount of air blown by the fan 21-2 immediately before the moving direction of the crane 4 increases as the crane 4 moves. Here, the air flow rate is also increased for the fan 21-1 on the front side of the fan 21-2. This is because a turbulent flow may occur if the amount of air blown by the fan 21-1 is rapidly increased after the crane 4 approaches. Therefore, it is preferable to gradually increase the air flow rate from the front fan 21-2.
[0064]
Next, a sixth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 8 is a configuration diagram of a clean stocker according to a sixth embodiment of the present invention. 8, parts that are the same as the parts shown in FIGS. 5 and 6 are given the same reference numerals, and descriptions thereof will be omitted as appropriate.
[0065]
As described with reference to FIG. 4, when the crane 4 moves in the clean stocker, a differential pressure is generated between the air pressure on the front side and the rear side across the crane 4. As a result, a horizontal air flow is generated in the clean stocker, which causes turbulence.
[0066]
Therefore, in the airflow control method according to the sixth embodiment of the present invention, the air flow rate of the fan filter unit 10 is adjusted so that the differential pressure as described above is not generated, and the opening degree of the shutter 20 is also adjusted simultaneously.
[0067]
In the clean stocker shown in FIG. 8, a plurality of fan filter units 10 are provided on the ceiling portion along the crane passage, and the air volume of each fan filter unit 10 can be controlled by a control device. Further, manometers (barometers) 13-1 and 13-2 for measuring pressures near both ends of the clean stocker are provided, and a manometer 14 for measuring a differential pressure between both ends is also provided. Information on the differential pressure measured by the manometer is also sent to the control device.
[0068]
In the clean stocker having the above configuration, the differential pressure measured by the manometer 14 is reduced while controlling the pressures of the manometers 13-1 and 13-2 to be positive with respect to the outside of the clean stocker. Then, the air flow rate of the fan filter unit 10 and the opening degree of the shutter 20 are controlled so that the differential pressure is eliminated. That is, as shown by the arrow in FIG. 8C, when the crane 4 moves, the air flow rate of the fan filter unit 10 located behind the crane 4 is larger than the air flow rate of the fan filter unit 10 located on the front side. And the opening degree of the shutter 20 located on the front side of the crane 4 is controlled to be larger than the opening degree of the shutter 20 located on the rear side.
[0069]
That is, by controlling the air flow rate of the fan filter unit 10 and the opening degree of the shutter 20, it is possible to prevent the occurrence of a differential pressure in which the pressure on the front side of the crane 4 increases and the pressure on the rear side decreases as shown in FIG. As a result, the generation of turbulent flow can be prevented and the diffusion of dust can be prevented.
[0070]
Next, an airflow control method and an airflow control structure according to a seventh embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 9 is a block diagram of a clean stocker according to a seventh embodiment of the present invention. 9, parts that are the same as the parts shown in FIG. 1 are given the same reference numerals, and descriptions thereof will be omitted.
[0071]
The clean stocker shown in FIG. 9 is different from the conventional clean stocker shown in FIG. 1 in that shutters 22 are provided for the upper and lower rows of each shelf 2. That is, a plurality of shutters 22 are provided on both sides of the crane passage in a portion facing the crane passage below the row of the shelves 2 that overlap vertically, and the opening degree of the shutter 22 is adjusted following the movement of the crane 4. . Control of the opening degree of the shutter 22 is the same as that of the shutter 20 shown in FIG. 6, and when the crane 4 moves, the front side shutter 22 of the crane 4 is opened larger than usual so that the air on the front side of the crane 4 is blown. By sucking in more strongly, the pressure on the front side of the crane 4 is prevented from rising.
[0072]
Specifically, as indicated by the arrows in FIG. 9B, the opening degree of the shutters 22 on both sides immediately before the moving direction of the crane 4 increases as the crane 4 moves. Here, the opening degree of the shutter 22-1 immediately before the shutter 22-2 is also increased. This is because turbulence may occur if the amount of air blown from the shutter 22-12 is rapidly increased after the crane 4 approaches. Therefore, it is preferable to gradually increase the opening from the immediately preceding shutter 22-2.
[0073]
By controlling the amount of blown air as described above, a pressure difference does not occur before and after the crane 4, turbulent flow due to the pressure difference is prevented, and dust diffusion due to turbulent flow can be prevented.
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, by individually controlling the suction amount of the air circulation blower following the movement of the crane, the circulation air is locally generated in a portion where the atmospheric pressure increases or a portion where turbulence occurs. The amount of suction can be increased, thereby preventing the occurrence of turbulent flow and eliminating the differential pressure between the atmospheric pressures in the stocker. Therefore, it is possible to prevent the formation of turbulent flow and differential pressure associated with the movement of the crane, and it is possible to prevent the diffusion of dust generated with the operation of the crane.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a conventional clean stocker.
FIG. 2 is a configuration diagram of a clean stocker to which an airflow control method according to a first embodiment of the present invention is applied.
FIG. 3 is a configuration diagram of a clean stocker to which an airflow control method according to a second embodiment of the present invention is applied.
FIG. 4 is a diagram for explaining a pressure change in the clean stocker accompanying the movement of the crane.
FIG. 5 is a configuration diagram of a clean stocker to which an airflow control method according to a third embodiment of the present invention is applied.
FIG. 6 is a configuration diagram of a clean stocker according to a fourth embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a configuration diagram of a clean stocker according to a fifth embodiment of the present invention.
FIG. 8 is a configuration diagram of a clean stocker according to a sixth embodiment of the present invention.
FIG. 9 is a configuration diagram of a clean stocker according to a seventh embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
1 Side wall
2 shelves
3 cassettes
4 Crane
5 Blower
6 HEPA filter
7 floors
10 Fan filter unit
11 Exhaust vent (open floor)
12, 13-1, 13-2, 14 Manometer
20 Shutter
21 fans
22 Shutter
23 floors

Claims

An airflow control method for controlling an airflow in a stocker configured to transfer a conveyed product by a crane that moves between shelves,
By controlling the suction amount of a plurality of air circulation blowers provided in the stocker individually following the movement of the crane, the occurrence of turbulent flow in the stocker is suppressed ,
Among the plurality of blowers, the blower amount at the position where the crane is passing is controlled so as to increase the blower amount of the blower arranged in the vicinity thereof,
A shutter is provided corresponding to each of the plurality of blowers, and the amount of suction of the blower is controlled by controlling the opening of the shutter,
An air flow characterized by measuring a pressure difference between the front and rear air pressures of the crane in the stocker and increasing the amount of air taken into the stocker on the rear side of the crane based on the differential pressure. Control method.

The airflow control method according to claim 1 ,
An airflow control method characterized by increasing an air intake amount into the stocker by increasing an air blowing amount of an air intake fan on the rear side of the crane.