JP3635517B2 - Substrate storage device in clean room - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーンルーム内に、半導体ウエハ、液晶製造用ガラス基板、フォトマスクなどの電子部品製造用基板を保管する基板保管装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
上述のような装置としては、従来、下記のものがあった。
A.第1従来例(特開平3−152004号公報参照)
この第1従来例によれば、箱状の本体外板内に、通路を挟んで、上下方向に複数の収納空間を区画形成した左右一対の荷収納部を設ける。荷収納部は、通路側に向いた前面と反対側の後面とが開放され、後面を覆うようにフィルタを配設するとともに、フィルタの後方で隔壁との間にエア供給路を形成する。本体外板内の下部に、通路側に連通した区画室を形成し、この区画室内に、その吐出部がエア供給路に連通した送風機を設けている。この送風機の吸引部を区画室内に開放し、荷収納部を通って通路に流出したクリーンエアを区画室を介して吸引するようになっている。
上記構成により、フィルタを通ったクリーン度の高いクリーンエアを、荷収納部の後面から前面へと流し、荷収納部内を高クリーン度に維持するようになっている。
B.第2従来例(特開平4−233747号公報参照)
図9の第2従来例のキャリアストッカの概略断面図に示すように、上下2段の保管部01,01の各搬入出口02に臨んだ昇降経路に沿ってキャリア(カセットと同義)03を昇降駆動するエレベータ機構04が設けられる。2つの保管部01,01はそれぞれ同一の構成を有し、天壁05、底壁06、および、搬入出口02の背面である側壁07を有する断面コ字状に構成される。各壁05,06,07は連通する中空部を有している。天壁05の下面にはエア吹出開口08が形成され、このエア吹出開口08に臨んで第1のフィルタ09が設けられ、その背面にはファン010が設けられている。底壁06の第1のフィルタ09と対向する位置にはエア吸引開口011が形成されている。
上記構成により、ファン010により送風されるエアが第1のフィルタ09によりクリーンエアとされ、キャリア03内に垂直状態で平行に配列収納されたウエハWに対してダウンフロー012が形成される。このエアが底壁06のエア吸引開口011を介して底壁06内に取り込まれる。そして、そのエアを、各壁05,06,07内を連通するエア循環経路013を通じてファン010の上流に循環するようになっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の装置では、それぞれ次のような欠点があった。
a.第1従来例の欠点
荷収納部としてカセットを用いた場合、そのカセットに対して水平方向にクリーンエアが流れる。そのため、収納された基板の並列方向がクリーンエアの流れ方向に直交するように、すなわち、隣合う基板間をクリーンエアが流れるようにカセットを置いたとしても、カセットの横壁面でクリーンエアが遮られ、クリーンエアが基板の全面には作用せず、基板そのものに対するクリーン度が低い欠点があった。
【0004】
b.第2従来例の欠点
ダウンフローのクリーンエアを流すため、第1従来例の欠点は生じないが、2段の保管部01,01それぞれに、第1のフィルタ09、ファン010、エア循環経路013を設けなければならない。そのため、構成が複雑で高価になるとともに収納スペースが減少する欠点があった。
【0005】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、クリーン度の高い状態で基板を保管できる装置を、簡単な構成で安価に、かつ、スペース面で有利に提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項1に記載の発明は、支持部材に、鉛直方向に所定間隔を隔てるとともに支持部材より水平方向に突出する状態で設けられた複数の棚支持部材と、
前記棚支持部材に設けられて電子部品製造用の基板を並列載置する棚と、
を備えたクリーンルーム内の基板保管装置であって、
前記棚に設けられて、前記基板の周囲に最上部の棚支持部材の上方から流されるダウンフローのクリーンエアを通す開口と、
前記開口に接続されてクリーンエアを吸引する吸引圧を付与する吸気手段と、
を備え、
かつ、前記支持部材と前記棚との間に、ダウンフローのクリーンエアを下方に流す通気空間を形成してあることを特徴としている。
【0007】
また、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のクリーンルーム内の基板保管装置において、
棚が、基板を平面視において所定間隔おきに隙間のある状態で並列載置するカセットを載置するものであり、
かつ、前記基板の並列方向視における前記棚の幅を、前記カセットの基板出し入れ用開口の幅よりも小に構成するものである。
【0008】
また、請求項3に記載の発明は、請求項1または請求項2に記載のクリーンルーム内の基板保管装置において、
棚支持部材に、開口に連通する吸気路を形成し、その吸気路と吸気手段とを接続するものである。
【0009】
【作用】
本発明の作用は次のとおりである。
すなわち、請求項1に記載の発明は、装置内の最上部とかクリーンルーム内の天井に設けられたクリーンユニットといった最上部の棚支持部材の上方から流されるダウンフローのクリーンエアを、吸気手段による吸引圧により、棚に設けた開口に吸引させる。この吸引により、クリーンエアを棚に並列載置された基板の上方から下方へと流し、基板全面に作用させてクリーン度の高い状態で基板を保管する。吸引されなかったクリーンエアは、支持部材と棚支持部材と棚との間に形成された通気空間を含めて棚の周囲全体から下方の棚へと流し、その下方の棚に並列載置された基板に流す。
【0010】
また、請求項2に記載の発明は、多数枚の基板を収納したカセットを棚に載置し、それらの基板にクリーンエアを流し、かつ、幅を狭くした棚により、それよりも下方の棚にクリーンエアをスムーズに流す。
【0011】
また、請求項3に記載の発明は、棚支持部材に形成した吸気路を通じて、クリーンエアを開口から吸引する。
【0012】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施例を図面を用いて詳細に説明する。
図1は、本発明に係るクリーンルーム内の基板保管装置の使用例を示す全体概略平断面図、図2は、基板保管装置の第1実施例を示す全体概略縦断面図、図3は、図2のA−A線矢視図である。
図1に示すように、クリーンルーム内に、電子部品製造用の基板1を洗浄処理する基板洗浄装置2に隣接して基板保管装置3が設けられている。基板洗浄装置2と基板保管装置3との間で基板1を受け渡す基板搬送装置4が設けられている。図示しないが、クリーンルームの天井内にクリーンユニット(図示せず)が設けられ、天井から床5(図2参照)の下方に向けてダウンフローのクリーンエアが流されている。
【0013】
基板保管装置3は、装置本体6の中央箇所に、2個のカセット7を保持して上下方向および水平方向に搬送するカセット搬送装置8が設けられ、そのカセット搬送装置8の搬送経路を挟んだ両側にカセット保管部9が設けられている。
【0014】
一方のカセット保管部9と基板搬送装置4との間には、基板搬送装置4とカセット搬送装置8との間で基板1の受け渡しを行うために基板1およびカセット7を一時的に載置する仮置き部10が設けられている。この仮置き部10には、基板1を鉛直姿勢で保持する基板保持溝を形成したくし歯部材11が設けられ、基板1を収容したカセット7をくし歯部材11の上方から下降することにより、基板1がカセット7に収納保持される状態から、基板1の下端がくし歯部材11の基板保持溝に挿入して保持される状態になり、この状態で基板1をカセット7より取り出すことができる。逆に、くし歯部材11に対してカセット7を上昇することにより、基板1がくし歯部材11に保持される状態からカセット7に収納保持される状態になる。
【0015】
カセット搬送装置8は、図2および図3に示すように、搬送経路に沿って移動する支持台12に昇降可能に昇降台13を設けて構成されている。昇降台13にリンク機構14を介してアーム支持部材15が設けられ、アーム支持部材15に、カセット7の両側の鍔部を係止保持する一対のアーム16,16が対向間隔を変更可能に設けられている。
この構成により、一対のアーム16,16を平行移動するとともに、互いに遠近する方向に移動するように駆動して2個のカセット7,7を搬送できる。
【0016】
カセット搬送装置8の搬送経路、両側のカセット保管部9,9および仮置き部10の上方に、送風ファン17とフィルタ18とを内蔵したクリーンユニット19が設けられている。
【0017】
カセット保管部9は、装置本体6の外壁に沿うように設けた立壁状の支持部材20に、鉛直方向に所定間隔を隔てるとともに支持部材20より水平方向に突出する状態で、つまり片持梁状に、一対ずつの棚支持部材21を3段設け、その棚支持部材21に、基板1を鉛直姿勢で並列載置して収納保持した2個のカセット7を載置する棚22を設けて構成されている。
【0018】
図4の要部の一部切欠平面図、および、図5の断面図(図4のB−B線断面図)に示すように、支持部材20は、立壁状の支持プレート20aと、その支持プレート20aに鉛直方向に所定間隔を隔てて取り付けられた3個の角パイプ状の支持フレーム20bと、上下で隣合う支持フレーム20bにわたって取り付けられたカバー20cとから構成され、一対の棚支持部材21の端部が支持フレーム20bに一体的に取り付けられている。
【0019】
また、前記支持部材20の側方には、支持部材20の側壁部分20L、20Rが設けられている。カバー20cと、支持部材20の側壁部分20Lと、支持部材20の側壁部分20Rとで棚22を3方向に囲う空間を形成している。なお、支持部材20には、側壁部分20L、20Rを備える方が、クリーンエアの流れが横方向にそれずに下向きに流れるよう拘束し、少ない流量でも確実にダウンフローを形成できて好ましいが、クリーンユニット19から充分な流量を供給できれば必ずしも備えることを要するものではない。
【0020】
図4に示すように、支持部材20を構成するカバー20cと棚22との間には、カバー20cと一対の棚支持部材21,21と棚22とにより囲まれてダウンフローのクリーンエアを下方に流す通気空間Sが形成されている。
【0021】
また、棚22と支持部材20の側壁部分20Lとの間には通気空間SLが、棚22と支持部材20の側壁部分20Rとの間には通気空間SRが、各々形成されている。支持部材20と棚22との間の通気空間は、前記通気空間Sと、通気空間SL、通気空間SRの3つとも形成するのが最適であるが、少なくともいずれか1つ形成されていればよい。
【0022】
図5に示すように、各棚22それぞれの内部は中空空間S1に形成され、棚22の上面に、カセット7の下面の4隅を位置決めして載置する位置決め部材23と、クリーンエアを中空空間S1に通す多数の開口24が形成されている。
【0023】
装置本体6の下部に吸気手段としての吸引ファン25が設けられ、その吸引ファン25の吸気側に配管26が接続されている。棚22には、中空空間S1に連通する筒部27が一体連接され、配管26と筒部27とが、流量調整弁28を設けたバルブ配管29を介して接続されている。また、吸引ファン25の排気側が床下側に向けられ、吸引ファン25によって開口24に吸引力を付与し、ダウンフローのクリーンエアを、開口24から中空空間S1、筒部27、バルブ配管29および配管26を介して吸引ファン25に吸引するようになっている。
【0024】
各棚22の流量調整弁28の開度は上のもの程小さくなるように設定されている。これにより、吸引ファン25による吸引力が上の棚22に対する程小さくなり、すべての棚22に載置されたカセット7内に収納された基板1にクリーンエアを良好に流すことができる。
図中30は、装置本体6の下面に設けられて装置本体6をクリーンルームの床5に設置支持する支持脚を示す。
【0025】
以上の構成により、クリーンユニット19からカセット7の周囲に流されるダウンフローのクリーンエアを最上部の棚22側に吸引し、最上部の棚22に載置されたカセット7内に収納保持された隣合う基板1間に上方から下方へと流し、クリーンエアを基板1の全面に作用させる。
【0026】
吸引されなかったクリーンエアは、通気空間Sを含めて最上部の棚22の周囲全体から下方の棚22へと流し、中間の棚22および最下部の棚22それぞれに載置されたカセット7内に収納保持された隣合う基板1間に上方から下方へと流し、クリーンエアを基板1の全面に作用させる。
【0027】
これにより、搬送等に際して基板1がカセット7内でがたつき、カセット7との当接により発塵しても、その発塵物を飛散させずに吸引し、クリーン度の高い状態で基板1を保管できる。また、カセット7の周囲にはダウンフローのクリーンエアが流れてエアカーテンが形成され、発塵物が周囲に飛散することを防止できる。
【0028】
図6は、基板保管装置の第2実施例の要部の一部切欠平面図であり、一対の棚支持部材31,31それぞれが中空のロッドで構成されて内部に吸気路S2が形成されるとともに、吸気路S2それぞれに流量調整弁32が設けられ、その吸気路S2に配管(図示せず)を介して吸引ファン(図示せず)が連通接続されている。他の構成は第1実施例と同じであり、同一図番を付してその説明は省略する。
【0029】
この第2実施例によれば、第1実施例のような筒部26不要にできる。また、通気空間Sの面積を大きくできるため、下方の棚22側にクリーンエアを流しやすい利点がある。
【0030】
上記第2実施例において、棚支持部材31,31それぞれを吸気路S2に構成せずに、棚支持部材31,31それぞれ内に吸気用の配管を通すようにしても良い。
【0031】
図7は、基板保管装置の第3実施例の要部を示す概略側面図であり、棚41上にカセット7を載置した状態で、カセット7内に並列載置された基板1の並列方向視における棚41の幅L1が、カセット7の基板出し入れ用開口42の幅L2よりも小に構成されている。他の構成は第1実施例と同じであり、同一図番を付してその説明は省略する。
【0032】
この第3実施例によれば、上側の棚41の開口24に吸引されずに下方に流れるクリーンエアを、その下方の棚41に載置されたカセット7の基板出し入れ用開口42に向けて流しやすく、そのカセット7に収納された基板1の全面にクリーンエアを良好に作用させることができる。
【0033】
図8は、基板保管装置の第4実施例の要部の一部切欠平面図であり、棚51の長手方向の中央部に一本の棚支持部材52が設けられ、この棚支持部材52が支持部材20を構成する支持フレーム20bに設けられ、棚51と棚支持部材52と支持部材20を構成するカバー20cとの間に、ダウンフローのクリーンエアを下方に流す平面視でコの字状の通気空間S3が形成されている。
【0034】
棚支持部材52が中空のロッドで構成されて内部に吸気路S4が形成されるとともに、その吸気路S4に流量調整弁53が設けられ、その吸気路S4に配管(図示せず)を介して吸引ファン(図示せず)が連通接続されている。他の構成は第1実施例と同じであり、同一図番を付してその説明は省略する。
【0035】
この第1実施例によれば、通気空間Sの面積をより大きくできるため、下方の棚側にクリーンエアを流しやすい利点がある。
【0036】
上記実施例では、支持プレート20aと支持フレーム20bとの間に生じる段部をカバー20cで覆い、クリーンユニット19からのダウンフローのクリーンエアをスムーズに流下させるように構成しているが、支持プレート20a自体に棚支持部材21を一体的に取り付け、支持フレーム20bおよびカバー20cを設けずに、支持プレート20aだけで支持部材20を構成するようにしても良く、支持部材20としては、各種の構成変形が可能である。
【0037】
上記実施例では、装置本体6内にクリーンユニット19を設けているが、本発明としては、クリーンユニット19を設けずに、クリーンルーム内の天井に備えられているクリーンユニットからのダウンフローのクリーンエアを装置本体6の最上部から取り込むように構成するものでも良い。
【0038】
また、上記実施例では、開口24を通じて吸引したクリーンエアをクリーンルームの床下側に流すようにしているが、配管26をクリーンユニット19に接続し、循環させるように構成しても良い。
【0039】
また、上記実施例では、棚22,41,51にカセット7を載置して基板1を保管するようにしているが、基板1を1枚ずつ並列載置して保管できるように構成するものでも良い。
【0040】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、請求項1に記載の発明によれば、装置内の最上部とかクリーンルーム内の天井に設けられたクリーンユニットといった最上部の棚支持部材の上方から流されるダウンフローのクリーンエアを、複数段の棚に載置される基板に流し、クリーン度の高い状態で基板を保管するから、前述した第2従来例のように、各棚ごとに個別にファンやフィルタやエア循環経路を設ける場合に比べて構成が簡単になり、安価である。
しかも、各棚ごとに設けていたファンやフィルタやエア循環経路装置が不要になるため、それらの設置スペースを基板の収納スペースに利用でき、棚の上下間隔を短くできて基板の収納スペースを拡大できる。
【0041】
また、請求項2に記載の発明は、棚に邪魔されずに、それよりも下方の棚にクリーンエアをスムーズに流すから、上下の棚のいずれに載置されようとも、クリーン度の高い状態で基板を保管できる。
【0042】
また、請求項3に記載の発明は、棚支持部材を利用して吸気路を形成するから、吸気用の配管を設けずに済み、通気空間の面積を大きくでき、クリーンエアをより良好に流すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るクリーンルーム内の基板保管装置の使用例を示す全体概略平断面図である。
【図2】基板保管装置の第1実施例を示す全体概略縦断面図である。
【図3】図2のA−A線矢視図である。
【図4】基板保管装置の第1実施例の要部の一部切欠平面図である。
【図5】図4のB−B線断面図である。
【図6】基板保管装置の第2実施例の要部の一部切欠平面図である。
【図7】基板保管装置の第3実施例の要部を示す概略側面図である。
【図8】基板保管装置の第4実施例の要部の一部切欠平面図である。
【図9】第2従来例のキャリアストッカを示す概略断面図である。
【符号の説明】
1…基板
7…カセット
20…支持部材
21…棚支持部材
22…棚
24…開口
25…吸引ファン(吸気手段)
31…棚支持部材
41…棚
42…基板出し入れ用開口
51…棚
52…棚支持部材
S…通気空間
S2…吸気路
S3…通気空間[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a substrate storage device for storing substrates for manufacturing electronic components such as semiconductor wafers, glass substrates for manufacturing liquid crystals, and photomasks in a clean room.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, there have been the following devices as described above.
A. First conventional example (see Japanese Patent Laid-Open No. 3-152004)
According to the first conventional example, a pair of left and right load storage portions are provided in a box-shaped main body outer plate, with a plurality of storage spaces defined in the vertical direction across the passage. The load storage portion has a front surface facing the passage side and a rear surface on the opposite side open, and a filter is disposed so as to cover the rear surface, and an air supply path is formed between the partition and the partition wall behind the filter. A compartment chamber communicating with the passage side is formed in the lower part of the main body outer plate, and a blower whose discharge portion communicates with the air supply path is provided in the compartment chamber. The suction part of the blower is opened in the compartment, and clean air that has flowed out into the passage through the load storage part is sucked through the compartment.
With the above configuration, clean air having a high degree of cleanness that has passed through the filter is allowed to flow from the rear surface to the front surface of the load storage portion, and the inside of the load storage portion is maintained at a high degree of cleanliness.
B. Second conventional example (refer to Japanese Patent Laid-Open No. Hei 4-233747)
As shown in the schematic cross-sectional view of the carrier stocker of the second conventional example in FIG. 9, the carrier (synonymous with cassette) 03 is moved up and down along the lifting path facing the loading /
With the above configuration, the air blown by the
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
However, the conventional apparatuses have the following drawbacks.
a. When a cassette is used as the defective load storage portion of the first conventional example, clean air flows in the horizontal direction with respect to the cassette. Therefore, even if the cassette is placed so that the parallel direction of the stored substrates is perpendicular to the flow direction of the clean air, that is, clean air flows between adjacent substrates, clean air is blocked by the horizontal wall of the cassette. In other words, clean air does not act on the entire surface of the substrate, and the cleanliness of the substrate itself is low.
[0004]
b. Disadvantages of the second conventional example Since the downflow of clean air flows, the disadvantages of the first conventional example do not occur, but the
[0005]
The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide an apparatus capable of storing a substrate in a clean state with a simple configuration at low cost and advantageously in terms of space. And
[0006]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve such an object, the present invention has the following configuration.
That is, the invention according to
A shelf that is provided on the shelf support member and on which a substrate for manufacturing electronic components is placed in parallel;
A substrate storage device in a clean room equipped with
An opening that is provided in the shelf and allows the downflow clean air to flow around the substrate from above the uppermost shelf support member;
An intake means that is connected to the opening and applies a suction pressure for sucking clean air;
With
And the ventilation space which flows down the clean air of a downflow is formed between the said supporting member and the said shelf, It is characterized by the above-mentioned.
[0007]
The invention according to
The shelf is for placing cassettes for placing the substrates in parallel in a state with a gap at predetermined intervals in plan view,
And the width | variety of the said shelf in the parallel direction view of the said board | substrate is comprised smaller than the width | variety of the board | substrate entrance / exit opening of the said cassette.
[0008]
Further, the invention according to
An air intake passage communicating with the opening is formed in the shelf support member, and the air intake passage and the air intake means are connected.
[0009]
[Action]
The operation of the present invention is as follows.
That is, according to the first aspect of the present invention, the downflow clean air flowing from above the uppermost shelf support member such as the uppermost unit in the apparatus or the clean unit provided on the ceiling in the clean room is sucked by the intake means. The pressure is sucked into the opening provided in the shelf. By this suction, clean air is caused to flow from the upper side to the lower side of the substrates placed in parallel on the shelf, and the substrates are stored on the entire surface of the substrate in a clean state. Clean air that was not aspirated flowed from the entire periphery of the shelf to the lower shelf including the ventilation space formed between the support member, the shelf support member, and the shelf, and was placed in parallel on the lower shelf. Flow on the substrate.
[0010]
According to the second aspect of the present invention, a cassette containing a large number of substrates is placed on a shelf, clean air is allowed to flow through these substrates, and a shelf with a narrower width is used. Make clean air flow smoothly.
[0011]
According to a third aspect of the present invention, clean air is sucked from the opening through the intake passage formed in the shelf support member.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Next, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
1 is an overall schematic plan view showing an example of use of a substrate storage device in a clean room according to the present invention, FIG. 2 is an overall schematic longitudinal sectional view showing a first embodiment of the substrate storage device, and FIG. It is an AA line arrow directional view of 2.
As shown in FIG. 1, a
[0013]
The
[0014]
Between one
[0015]
As shown in FIGS. 2 and 3, the
With this configuration, the two
[0016]
A
[0017]
The
[0018]
As shown in a partially cutaway plan view of the main part of FIG. 4 and a cross-sectional view of FIG. 5 (a cross-sectional view taken along the line BB of FIG. 4), the
[0019]
Further,
[0020]
As shown in FIG. 4, between the
[0021]
A ventilation space SL is formed between the
[0022]
As shown in FIG. 5, the inside of each
[0023]
A
[0024]
The opening degree of the flow
In the figure,
[0025]
With the above configuration, the downflow clean air flowing from the
[0026]
Clean air that has not been sucked flows from the entire periphery of the
[0027]
As a result, even if the
[0028]
FIG. 6 is a partially cutaway plan view of the main part of the second embodiment of the substrate storage device. Each of the pair of
[0029]
According to the second embodiment, the
[0030]
In the second embodiment, each of the
[0031]
FIG. 7 is a schematic side view showing the main part of the third embodiment of the substrate storage device, in the parallel direction of the
[0032]
According to the third embodiment, clean air that flows downward without being sucked into the
[0033]
FIG. 8 is a partially cutaway plan view of the main part of the fourth embodiment of the substrate storage apparatus. A single
[0034]
The
[0035]
According to the first embodiment, since the area of the ventilation space S can be increased, there is an advantage that clean air can easily flow to the lower shelf side.
[0036]
In the above-described embodiment, the step portion formed between the
[0037]
In the above embodiment, the
[0038]
In the above embodiment, the clean air sucked through the
[0039]
In the above embodiment, the
[0040]
【The invention's effect】
As is apparent from the above description, according to the first aspect of the present invention, the downflow that flows from above the uppermost shelf support member such as the uppermost portion in the apparatus or the clean unit provided on the ceiling in the clean room. Since the clean air is flowed to the substrates placed on the shelves in a plurality of stages and the substrates are stored in a state of high cleanliness, a fan, filter, etc. are individually provided for each shelf as in the second conventional example described above. Compared with the case where an air circulation path is provided, the configuration becomes simple and inexpensive.
In addition, the fan, filter, and air circulation path device provided for each shelf are no longer required, so that the installation space can be used as a substrate storage space, and the vertical space between the shelves can be shortened to expand the storage space for the substrate. it can.
[0041]
Further, since the invention according to
[0042]
In the invention according to
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an overall schematic plan sectional view showing an example of use of a substrate storage device in a clean room according to the present invention.
FIG. 2 is an overall schematic longitudinal sectional view showing a first embodiment of a substrate storage device.
FIG. 3 is a view taken along the line AA in FIG. 2;
FIG. 4 is a partially cutaway plan view of the main part of the first embodiment of the substrate storage device.
5 is a cross-sectional view taken along line BB in FIG.
FIG. 6 is a partially cutaway plan view of an essential part of a second embodiment of the substrate storage device.
FIG. 7 is a schematic side view showing a main part of a third embodiment of the substrate storage device.
FIG. 8 is a partially cutaway plan view of an essential part of a fourth embodiment of the substrate storage device.
FIG. 9 is a schematic sectional view showing a carrier stocker of a second conventional example.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
31 ...
Claims (3)
前記棚支持部材に設けられて電子部品製造用の基板を並列載置する棚と、
を備えたクリーンルーム内の基板保管装置であって、
前記棚に設けられて、前記基板の周囲に最上部の棚支持部材の上方から流されるダウンフローのクリーンエアを通す開口と、
前記開口に接続されてクリーンエアを吸引する吸引圧を付与する吸気手段と、
を備え、
かつ、前記支持部材と前記棚との間に、ダウンフローのクリーンエアを下方に流す通気空間を形成してあることを特徴とするクリーンルーム内の基板保管装置。A plurality of shelf support members provided in a state in which the support member is spaced apart by a predetermined interval in the vertical direction and protrudes in the horizontal direction from the support member;
A shelf that is provided on the shelf support member and on which a substrate for manufacturing electronic components is placed in parallel;
A substrate storage device in a clean room equipped with
An opening that is provided in the shelf and allows the downflow clean air to flow around the substrate from above the uppermost shelf support member;
An intake means that is connected to the opening and applies a suction pressure for sucking clean air;
With
A substrate storage device in a clean room, wherein a ventilation space is formed between the support member and the shelf for flowing down-flow clean air downward.
棚が、基板を平面視において所定間隔おきに隙間のある状態で並列載置するカセットを載置するものであり、
かつ、前記基板の並列方向視における前記棚の幅を、前記カセットの基板出し入れ用開口の幅よりも小に構成してあるクリーンルーム内の基板保管装置。In the substrate storage apparatus in the clean room according to claim 1,
The shelf is for placing cassettes for placing the substrates in parallel in a state with a gap at predetermined intervals in plan view,
And the board | substrate storage apparatus in the clean room which comprised the width | variety of the said shelf in the parallel direction view of the said board | substrate to be smaller than the width | variety of the board | substrate taking-in / out opening of the said cassette.
棚支持部材に、開口に連通する吸気路を形成し、その吸気路と吸気手段とを接続してあるクリーンルーム内の基板保管装置。In the substrate storage apparatus in the clean room according to claim 1 or 2,
A substrate storage device in a clean room in which an air intake passage communicating with an opening is formed in a shelf support member, and the air intake passage and the air intake means are connected.
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