JP5585236B2 - Tracked cart system - Google Patents

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Description

本発明は、台車システム、特に、ダウンフローが天井から吹き出すクリーンルーム内に配置される有軌道台車システムに関する。   The present invention relates to a trolley system, and more particularly to a tracked trolley system arranged in a clean room where downflow blows out from a ceiling.

ダウンフローが天井から吹き出すクリーンルーム内でガラス基板等の物品を搬送する搬送台車が軌道を走行する有軌道台車システムが従来知られている（たとえば、特許文献１参照）。クリーンルーム内では、天井から吹き出すダウンフローにより物品の汚染を防止している。従来のクリーンルーム内に配置された有軌道台車システムでは、軌道の周囲をカバーで囲み、そこに、ファンフィルタユニットを設け、軌道で発生するおそれがある塵埃を除去している。   2. Description of the Related Art A tracked cart system in which a transport cart that transports an article such as a glass substrate travels on a track in a clean room in which a downflow blows from the ceiling is conventionally known (see, for example, Patent Document 1). In the clean room, the downflow that blows out from the ceiling prevents articles from being contaminated. In a conventional tracked cart system arranged in a clean room, a track is surrounded by a cover, and a fan filter unit is provided there to remove dust that may be generated on the track.

特開２０００−２６９２９６号公報JP 2000-269296 A

前記従来の構成では、軌道で発生する塵埃を除去することはできる。最近、液晶ガラス基板等の大型の基板では、カセット内に基板等の物品を密封して搬送するのではなく、開放されたカセットで基板を搬送している。このように、開放されたカセットで物品を搬送する場合、軌道の周囲の塵埃を除去するだけでは、周囲の環境によっては、搬送中に物品が汚染されるおそれがある。   In the conventional configuration, dust generated on the track can be removed. Recently, in a large substrate such as a liquid crystal glass substrate, an article such as a substrate is not sealed and conveyed in a cassette, but the substrate is conveyed in an open cassette. As described above, when an article is transported using the opened cassette, the article may be contaminated during the transportation depending on the surrounding environment only by removing dust around the track.

本発明の課題は、有軌道台車システムにおいて、クリーンルーム内で搬送される物品の汚染を可及的に防止することにある。   An object of the present invention is to prevent as much as possible contamination of an article conveyed in a clean room in a tracked cart system.

以下に、課題を解決するための手段として複数の態様を説明する。これら態様は、必要に応じて任意に組み合せることができる。
本発明に係る有軌道台車システムは、清浄な空気のダウンフローが天井から吹き出す吹き出し口を有するクリーンルーム内に配置されるシステムである。有軌道台車システムは、軌道と、搬送台車と、底カバーと、側方カバーと、排出口と、を備えている。軌道は、クリーンルーム内で天井から吊り下げられている。搬送台車は、軌道に沿って走行して物品を搬送可能である。底カバーは、軌道の底部を覆う。側方カバーは、軌道および搬送台車の側方を覆う。底カバーと側方カバーと天井とで囲まれた空間に吹き出し口からダウンフローが吹き出す。排出口は、底カバーおよび側方カバーの少なくともいずれかに設けられ、吹き出し口から導入されたダウンフローを排出する。
この有軌道台車システムでは、搬送台車は、天井と底カバーと側方カバーとで囲まれた空間を走行して物品を搬送する。この空間に吹き出し口からダウンフローが吹き出す。吹き出したダウンフローは、排出口から排出される。
ここでは、塵埃発生原因となる走行する搬送台車に対して天井からダウンフローがあたるため、搬送台車上に露出して物品を配置しても物品に塵埃が付着しにくくなる。このため、クリーンルーム内で搬送される物品の汚染を可及的に防止できる。 Hereinafter, a plurality of modes will be described as means for solving the problems. These aspects can be arbitrarily combined as necessary.
The tracked cart system according to the present invention is a system that is arranged in a clean room having a blow-out port from which clean air downflow blows out from a ceiling. The tracked cart system includes a track, a transport cart, a bottom cover, a side cover, and a discharge port. The track is suspended from the ceiling in a clean room. The transport cart can travel along the track and transport articles. The bottom cover covers the bottom of the track. The side cover covers the track and the side of the transport carriage. Downflow blows out from the outlet into a space surrounded by the bottom cover, the side cover, and the ceiling. The discharge port is provided in at least one of the bottom cover and the side cover, and discharges the downflow introduced from the blowout port.
In this tracked cart system, the transport cart travels in a space surrounded by the ceiling, the bottom cover, and the side covers and transports articles. Downflow blows out from this outlet into this space. The blown down flow is discharged from the discharge port.
Here, since the traveling carriage that causes dust generation is caused to flow down from the ceiling, it is difficult for dust to adhere to the article even when the article is placed exposed on the carriage. For this reason, the contamination of the articles conveyed in the clean room can be prevented as much as possible.

側方カバーの内側で軌道の周囲を覆う内側カバーと、内側カバー内の空気を吸引するファンフィルタユニットと、をさらに備えてもよい。これにより、最も発塵するおそれがある車輪と軌道との接触部分を内側カバーで覆い、覆われた空間の空気をファンフィルタユニットで吸引して発生した塵埃を除去できる。このため、車輪と軌道との間で発生した塵埃が物品側に吹き出しにくくなり、さらに物品の汚染を防止できる。
内側カバーは、軌道の両側方に一対配置された第１カバーおよび第２カバーを有し、搬送台車は、第１カバーと第２カバーとの間隔より大きい幅を有する隔壁部を有してもよい。これにより、隔壁部と内側カバーとにより限定された空間が形成され、ファンフィルタユニットによる吸引を助けて、塵埃の流出を減少させることができる。 You may further provide the inner cover which covers the circumference | surroundings of a track | truck inside a side cover, and the fan filter unit which attracts | sucks the air in an inner cover. Thereby, the contact portion between the wheel and the track that is most likely to generate dust is covered with the inner cover, and dust generated by sucking the air in the covered space with the fan filter unit can be removed. For this reason, the dust generated between the wheel and the track becomes difficult to blow out to the article side, and further, contamination of the article can be prevented.
The inner cover has a first cover and a second cover disposed on both sides of the track, and the transport carriage has a partition wall portion having a width larger than a distance between the first cover and the second cover. Good. As a result, a limited space is formed by the partition wall and the inner cover, and suction by the fan filter unit can be assisted to reduce the outflow of dust.

排出口は、側方カバーの下部に設けられていてもよい。これにより、空間内からの物の落下を防止しやすくなる。   The discharge port may be provided in the lower part of the side cover. Thereby, it becomes easy to prevent the fall of the thing from the space.

本発明によれば、塵埃発生原因となる走行する搬送台車に対して天井からダウンフローがあたるため、台車上に露出して物品を配置しても物品に塵埃が付着しにくくなる。このため、クリーンルーム内で搬送される物品の汚染を可及的に防止できる。   According to the present invention, since the traveling carriage that causes dust generation is subjected to a downflow from the ceiling, it is difficult for dust to adhere to the article even if the article is placed exposed on the carriage. For this reason, the contamination of the articles conveyed in the clean room can be prevented as much as possible.

本発明の第１実施形態による有軌道台車システムの平面図。1 is a plan view of a tracked truck system according to a first embodiment of the present invention. 軌道の周囲の断面図。Sectional drawing around a track. 搬送台車の側面図。The side view of a conveyance trolley. 軌道の周囲の拡大断面図。The expanded sectional view around the orbit. 側方カバーの側面図。The side view of a side cover. 第２実施形態において、第１実施形態の図２に相当する断面図。In 2nd Embodiment, sectional drawing equivalent to FIG. 2 of 1st Embodiment. 第１実施形態において、第１実施形態の図４に相当する断面図。FIG. 5 is a cross-sectional view corresponding to FIG. 4 of the first embodiment in the first embodiment. 他の実施形態の側方カバーの図４に相当する側面図。The side view equivalent to FIG. 4 of the side cover of other embodiment.

（１）有軌道台車システム
＜第１実施形態＞
図１および図２に示すように、本発明の第１実施形態に係る有軌道台車システム１は、例えば、カセットＣ（図２）に露出して収納された大型のガラス基板等の物品Ｓを搬送するシステムである。有軌道台車システム１は、ダウンフローを吹き出す吹き出し口７を有するクリーンルーム内に配置される。有軌道台車システム１は、軌道２と、搬送台車４と、底カバー５と、側方カバー６と、排出口８と、を備えている。また、有軌道台車システム１は、図２に示すように、内側カバー９と、内側カバー９内に設けられたファンフィルタユニット１０と、をさらに備えている。 (1) Tracked cart system <first embodiment>
As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the tracked cart system 1 according to the first embodiment of the present invention includes, for example, an article S such as a large glass substrate exposed and stored in a cassette C (FIG. 2). It is a transport system. The tracked cart system 1 is disposed in a clean room having a blowout port 7 for blowing out a downflow. The tracked cart system 1 includes a track 2, a transport cart 4, a bottom cover 5, a side cover 6, and a discharge port 8. In addition, as shown in FIG. 2, the tracked cart system 1 further includes an inner cover 9 and a fan filter unit 10 provided in the inner cover 9.

軌道２は、天井１３から吊り下げられている。具体的には、軌道２を吊るために天井１３から延びる吊り部材３０により吊り下げられた軌道支持フレーム３１上に軌道２が配置されている。軌道２は、走行空間１４に配置されている。軌道２は、例えば長円形のループ形状である。搬送台車４は、軌道２上を、例えば白抜き矢印で示す時計回りに走行して物品Ｓを軌道２に沿って配置された図示しない処理装置に搬送する。   The track 2 is suspended from the ceiling 13. Specifically, the track 2 is arranged on a track support frame 31 suspended by a suspension member 30 extending from the ceiling 13 in order to suspend the track 2. The track 2 is disposed in the traveling space 14. The track 2 has, for example, an oval loop shape. The transport carriage 4 travels on the track 2 clockwise, for example, as indicated by a white arrow, and transports the article S to a processing device (not shown) disposed along the track 2.

クリーンルームの天井１３には、ダウンフローＤＦを吹き出す吹き出し口７が設けられている。したがって、搬送台車４が走行する走行空間１４には、天井１３からのダウンフローＤＦが導入される。吹き出し口７には、図２に示すように、ダウンフロー用ファンフィルタユニット３２が設けられている。ダウンフロー用ファンフィルタユニット３２は、天井１３内の清浄な空気を走行空間１４に吹き出すとともに、空気内の塵埃を除去する。   On the ceiling 13 of the clean room, a blowout port 7 for blowing out the downflow DF is provided. Therefore, the downflow DF from the ceiling 13 is introduced into the traveling space 14 where the transport carriage 4 travels. As shown in FIG. 2, a downflow fan filter unit 32 is provided at the outlet 7. The downflow fan filter unit 32 blows clean air in the ceiling 13 into the traveling space 14 and removes dust in the air.

軌道２は、図１および図３に示すように、走行レール１１と走行ガイド１２とを有している。走行レール１１は、左右一対の第１走行レール１１ａおよび第２走行レール１１ｂから構成されている。第１走行レール１１ａおよび第２走行レール１１ｂは、平坦な走行面を有している。   As shown in FIGS. 1 and 3, the track 2 includes a travel rail 11 and a travel guide 12. The traveling rail 11 includes a pair of left and right first traveling rails 11a and a second traveling rail 11b. The first travel rail 11a and the second travel rail 11b have flat travel surfaces.

走行ガイド１２は、第１走行ガイド１２ａおよび第２走行ガイド１２ｂを有している。第１走行ガイド１２ａおよび第２走行ガイド１２ｂは、第１走行レール１１ａおよび第２走行レール１１ｂの外側端にそれぞれ設けられている。第１走行ガイド１２ａおよび第２走行ガイド１２ｂは外側端から上方に延びている。   The travel guide 12 has a first travel guide 12a and a second travel guide 12b. The first travel guide 12a and the second travel guide 12b are provided at outer ends of the first travel rail 11a and the second travel rail 11b, respectively. The first travel guide 12a and the second travel guide 12b extend upward from the outer end.

軌道２の一方の側には、非接触給電線１７が配置されている。この実施形態では、軌道２の左側に配置されている。非接触給電線１７は、図３に示すように、上下に間隔を隔てて配置された２本のリッツ線１７ａ，１７ｂを有している。   A contactless power supply line 17 is disposed on one side of the track 2. In this embodiment, it is arranged on the left side of the track 2. As shown in FIG. 3, the non-contact power supply line 17 has two litz wires 17 a and 17 b that are spaced apart from each other in the vertical direction.

（２）搬送台車
搬送台車４は、図３および図４に示すように、軌道２に沿って走行してカセットＣを搬送可能である。カセットＣを載置可能な載置部１５と、軌道２を走行可能な走行部１６とを有している。載置部１５は矩形枠形状の部材である。載置部１５の下面には、走行部１６を取り付けるための第１取付部１５ａおよび第２取付部１５ｂが設けられている。第１取付部１５ａは走行方向の前側に配置されている。第２取付部１５ｂは、走行方向の後側に配置されている。載置部１５の上面には、走行部１６からの空気の流れを遮断するために矩形の全面に隔壁部１５ｃが形成されている。 (2) Carriage Cart The carriage 4 can travel along the track 2 and transport the cassette C as shown in FIGS. 3 and 4. It has the mounting part 15 which can mount the cassette C, and the driving | running | working part 16 which can drive | work the track | orbit 2. FIG. The placement unit 15 is a rectangular frame member. A first attachment portion 15 a and a second attachment portion 15 b for attaching the traveling portion 16 are provided on the lower surface of the placement portion 15. The first attachment portion 15a is disposed on the front side in the traveling direction. The second attachment portion 15b is disposed on the rear side in the traveling direction. On the upper surface of the mounting portion 15, a partition wall portion 15 c is formed on the entire rectangular surface in order to block the air flow from the traveling portion 16.

走行部１６は、第１取付部１５ａに回動自在に取り付けられた駆動走行部１６ａと、第２取付部１５ｂに回動自在に取り付けられた従動走行部１６ｂとを有している。駆動走行部１６ａおよび従動走行部１６ｂは、ボギー台車である。駆動走行部１６ａは、駆動フレーム２０ａと、左駆動輪２１ａおよび右駆動輪２１ｂと、を有している。また、従動走行部１６ｂは、従動フレーム２０ｂと、左従動輪２１ｃと、右従動輪２１ｄと、を有している。左駆動輪２１ａおよび右駆動輪２１ｂと、左従動輪２１ｃおよび右従動輪２１ｄの進行方向両側には、左固定ガイドローラ２２ａおよび右固定ガイドローラ２２ｂと、左分岐ガイドローラ２３ａおよび右分岐ガイドローラ２３ｂと、が各別に設けられている。左固定ガイドローラ２２ａおよび左分岐ガイドローラ２３ａは、第１走行ガイド１２ａに案内される。右固定ガイドローラ２２ｂおよび右分岐ガイドローラ２３ｂは、第２走行ガイド１２ｂに案内される。   The travel unit 16 includes a drive travel unit 16a that is rotatably attached to the first attachment unit 15a, and a driven travel unit 16b that is rotatably attached to the second attachment unit 15b. The drive travel unit 16a and the follow travel unit 16b are bogies. The drive travel unit 16a includes a drive frame 20a, a left drive wheel 21a, and a right drive wheel 21b. The driven traveling unit 16b includes a driven frame 20b, a left driven wheel 21c, and a right driven wheel 21d. The left fixed guide roller 22a, the right fixed guide roller 22b, the left branch guide roller 23a, and the right branch guide roller are provided on both sides in the traveling direction of the left drive wheel 21a and the right drive wheel 21b, and the left driven wheel 21c and the right driven wheel 21d. 23b are provided separately. The left fixed guide roller 22a and the left branch guide roller 23a are guided by the first travel guide 12a. The right fixed guide roller 22b and the right branch guide roller 23b are guided by the second traveling guide 12b.

駆動フレーム２０ａは、第１取付部１５ａに垂直軸回りに回動自在に連結されている。左駆動輪２１ａおよび右駆動輪２１ｂは、駆動フレーム２０ａに左右方向の軸回りに回転自在に支持されている。左駆動輪２１ａおよび右駆動輪２１ｂは、第１走行レール１１ａおよび第２走行レール１１ｂ上を各別に走行する。左駆動輪２１ａおよび右駆動輪２１ｂは、駆動フレーム２０ａに設けられた左駆動モータ２４ａおよび右駆動モータ２４ｂにより各別に駆動される。   The drive frame 20a is connected to the first mounting portion 15a so as to be rotatable about a vertical axis. The left drive wheel 21a and the right drive wheel 21b are supported by the drive frame 20a so as to be rotatable about a left-right axis. The left driving wheel 21a and the right driving wheel 21b travel on the first traveling rail 11a and the second traveling rail 11b separately. The left drive wheel 21a and the right drive wheel 21b are driven separately by a left drive motor 24a and a right drive motor 24b provided on the drive frame 20a.

従動フレーム２０ｂは、第２取付部１５ｂに垂直軸回りに回動自在に連結されている。左従動輪２１ｃおよび右従動輪２１ｄは、従動フレーム２０ｂに左右方向の軸回りに回転自在に支持されている。左従動輪２１ｃおよび右従動輪２１ｄは、第１走行レール１１ａおよび第２走行レール１１ｂ上を各別に走行する。   The driven frame 20b is connected to the second mounting portion 15b so as to be rotatable about a vertical axis. The left driven wheel 21c and the right driven wheel 21d are supported by the driven frame 20b so as to be rotatable about a horizontal axis. The left driven wheel 21c and the right driven wheel 21d travel on the first traveling rail 11a and the second traveling rail 11b separately.

駆動フレーム２０ａおよび従動フレーム２０ｂの外側面には、非接触給電線１７からの電力を受ける左ピックアップユニット２８ａおよび右ピックアップユニット２８ｂが取り付けられている。左ピックアップユニット２８ａおよび右ピックアップユニット２８ｂは、左駆動輪２１ａと右駆動輪２１ｂおよび左従動輪２１ｃおよび右従動輪２１ｄを各別に囲むように取り付けられた左取付ブラケット２９ａおよび右取付ブラケット２９ｂを介して駆動フレーム２０ａおよび従動フレーム２０ｂの外側面に取り付けられている。   A left pickup unit 28a and a right pickup unit 28b that receive power from the non-contact power supply line 17 are attached to the outer surfaces of the drive frame 20a and the driven frame 20b. The left pickup unit 28a and the right pickup unit 28b are connected via a left mounting bracket 29a and a right mounting bracket 29b, which are attached to surround the left driving wheel 21a, the right driving wheel 21b, the left driven wheel 21c, and the right driven wheel 21d, respectively. Are attached to the outer surfaces of the drive frame 20a and the driven frame 20b.

（３）底カバー
底カバー５は、軌道２の底部を覆うように水平方向に沿って配置されている。底カバー５は、たとえば、ステンレス鋼板製であり、天井１３から軌道２を吊るために延びる吊り部材３０により吊り下げられた軌道支持フレーム３１上に形成されている。 (3) Bottom Cover The bottom cover 5 is disposed along the horizontal direction so as to cover the bottom of the track 2. The bottom cover 5 is made of, for example, a stainless steel plate, and is formed on a track support frame 31 that is suspended by a suspension member 30 that extends to suspend the track 2 from the ceiling 13.

（４）側方カバー
側方カバー６は、搬送台車４および軌道２の側方を覆うように垂直に立って配置されている。側方カバー６は、たとえば、クリーンルーム用の壁パネルを用いており、吊り部材３０の外側で軌道２の両側方を覆うように左右一対配置されている。側方カバー６は、天井１３まで延びている。走行空間１４は、側方カバー６と、天井１３と、底カバー５とで、搬送台車４および軌道２を囲むように形成されている。 (4) Side Cover The side cover 6 is arranged so as to stand vertically so as to cover the sides of the transport carriage 4 and the track 2. The side cover 6 uses, for example, a wall panel for a clean room, and is arranged in a pair on the left and right sides so as to cover both sides of the track 2 outside the suspension member 30. The side cover 6 extends to the ceiling 13. The traveling space 14 is formed by the side cover 6, the ceiling 13, and the bottom cover 5 so as to surround the transport carriage 4 and the track 2.

（５）排出口
排出口８は、側方カバー６に設けられ、吹き出し口７から導入されたダウンフローＤＦを走行空間１４から排出するものである。排出口８は、底カバー５より上方に配置されている。排出口８は、図１に示すように、走行方向に間隔を隔てて配置されており、たとえば導側方カバー６の壁パネル１枚ごとに配置されている。図２および図５に示すように、排出口８には、ガラリ８ａが設置されている。ガラリ８ａは、走行空間１４から外部に向かって斜め上方に傾斜して形成されている。これにより、走行空間１４から外部に小さい物体が落下しにくくなる。 (5) Discharge port The discharge port 8 is provided in the side cover 6, and discharges the downflow DF introduced from the blowout port 7 from the traveling space 14. The discharge port 8 is disposed above the bottom cover 5. As shown in FIG. 1, the discharge ports 8 are arranged at intervals in the traveling direction. For example, the discharge ports 8 are arranged for each wall panel of the guide side cover 6. As shown in FIGS. 2 and 5, a louver 8 a is installed at the discharge port 8. The gallery 8a is formed to be inclined obliquely upward from the traveling space 14 toward the outside. This makes it difficult for a small object to fall from the traveling space 14 to the outside.

たとえば、メンテナンスのために走行空間１４に人が立ち入って工具等を落としても工具が外部に落下しにくい。また、物品Ｓが搬送中に割れてもその破片が外部に落下しにくい。   For example, even if a person enters the traveling space 14 and drops a tool or the like for maintenance, the tool is difficult to fall outside. Moreover, even if the article S is cracked during conveyance, the fragments are unlikely to fall outside.

（６）内側カバー
内側カバー９は、図４に示すように、側方カバー６の内側で軌道２の周囲を覆うように配置されている。内側カバー９は、軌道２の両側方に配置された折れ曲がった倒立Ｌ字状の断面を有する左カバー９ａおよび右カバー９ｂを有している。第１実施形態では、左カバー９ａおよび右カバー９ｂの折れ曲がった先端は、搬送台車４の左ピックアップユニット２８ａおよび右ピックアップユニット２８ｂの上方まで内側にそれぞれ延びている。また、搬送台車４の載置部１５の上面の全面には、前述したように隔壁部１５ｃが設けられている。隔壁部１５ｃの幅Ｗは、左カバー９ａおよび右カバー９ｂの折れ曲がった先端の間隔Ｄより大きい。このため、隔壁部１５ｃと内側カバー９とで上下方向において重なり合う部分が形成される。これにより、隔壁部１５ｃと、内側カバー９により限定された空間が形成され、ファンフィルタユニット１０による吸引を助けて、塵埃の内側カバー９外への流出を減少させることができる。このため、左駆動輪２１ａ、右駆動輪２１ｂ、左従動輪２１ｃ、右従動輪２１ｄと走行レール１１との接触により内側カバー９内で生じるおそれがある塵埃が載置部１５上に載置されたカセットＣ内の物品Ｓに流れにくくなる。 (6) Inner Cover As shown in FIG. 4, the inner cover 9 is disposed so as to cover the periphery of the track 2 inside the side cover 6. The inner cover 9 includes a left cover 9 a and a right cover 9 b that are disposed on both sides of the track 2 and have a bent inverted L-shaped cross section. In the first embodiment, the bent tips of the left cover 9a and the right cover 9b extend inward to above the left pickup unit 28a and the right pickup unit 28b of the transport carriage 4, respectively. Further, as described above, the partition wall 15c is provided on the entire upper surface of the mounting portion 15 of the transport carriage 4. The width W of the partition wall 15c is larger than the distance D between the bent tips of the left cover 9a and the right cover 9b. For this reason, the part which overlaps in the up-down direction by the partition part 15c and the inner side cover 9 is formed. Thereby, a space limited by the partition wall portion 15c and the inner cover 9 is formed, and the suction by the fan filter unit 10 can be assisted to reduce the outflow of dust to the outside of the inner cover 9. Therefore, dust that may be generated in the inner cover 9 due to the contact between the left driving wheel 21a, the right driving wheel 21b, the left driven wheel 21c, the right driven wheel 21d, and the traveling rail 11 is placed on the placement unit 15. It becomes difficult to flow to the article S in the cassette C.

（７）ファンフィルタユニット
ファンフィルタユニット１０は、内側カバー９内の空気を吸引し、塵埃を除去して清浄な空気を外部に排出する。したがって、ファンフィルタユニット１０は、前述したように内側カバー９内で発生するおそれがある塵埃を除去できる。 (7) Fan filter unit The fan filter unit 10 sucks air in the inner cover 9, removes dust, and discharges clean air to the outside. Therefore, the fan filter unit 10 can remove dust that may be generated in the inner cover 9 as described above.

（８）有軌道台車システムの動作
このような構成の第１実施形態に係る有軌道台車システム１では、搬送台車４が軌道２上を走行するとき、吹き出し口７からダウンフローＤＦが搬送台車４上に吹き付けられ、それが排出口８から排出される。これにより、物品Ｓに塵埃が付着しにくくなる。しかも、軌道２の囲むように内側カバー９を設けたため、内側カバー９内の空気が載置部１５側に空気が流れにくくなる。さらに、内側カバー９内にファンフィルタユニット１０を設けたので、搬送台車４の下部で車輪と軌道２との接触により生じるおそれがある塵埃が除去され、さらに物品Ｓが汚染されにくくなる。 (8) Operation of the tracked cart system In the tracked cart system 1 according to the first embodiment having such a configuration, when the transport cart 4 travels on the track 2, the downflow DF is transferred from the outlet 7 to the transport cart 4. It is sprayed on and discharged from the discharge port 8. Thereby, it becomes difficult for dust to adhere to the article S. In addition, since the inner cover 9 is provided so as to surround the track 2, the air in the inner cover 9 does not easily flow to the placement portion 15 side. Furthermore, since the fan filter unit 10 is provided in the inner cover 9, dust that may be generated due to contact between the wheels and the track 2 is removed at the lower part of the transport carriage 4, and the article S is not easily contaminated.

（９）
＜第２実施形態＞
第２実施形態では、図６および図７に示すように、吹き出し口１０７、搬送台車１０４の隔壁部１１５ｃ、内側カバー１０９、および排出口１０８の構成が第１実施形態と異なる。 (9)
Second Embodiment
In the second embodiment, as shown in FIGS. 6 and 7, the configurations of the outlet 107, the partition wall 115c of the transport carriage 104, the inner cover 109, and the outlet 108 are different from those of the first embodiment.

吹き出し口１０７は、第１実施形態より小さく、かつ数が多い。また、吹き出し口１０７にダウンフロー用ファンフィルタユニットは設けられていない。
搬送台車４の隔壁部１１５ｃは、載置部１１５の上面の全面ではなく部分的に配置されている。具体的に、図７に示すように、載置部１１５の上面のうち左右方向の中心部にだけ形成されている。 The outlet 107 is smaller and more numerous than the first embodiment. Further, the downflow fan filter unit is not provided at the outlet 107.
The partition wall 115c of the transport carriage 4 is partially arranged instead of the entire upper surface of the placement unit 115. Specifically, as shown in FIG. 7, the upper surface of the mounting portion 115 is formed only at the central portion in the left-right direction.

内側カバー１０９の左カバー１０９ａおよび右カバー１０９ｂの折れ曲がった先端は、図７に示すように、駆動走行部１６ａの駆動フレーム２０ａおよび従動走行部１６ｂの従動フレーム２０ｂの両側部まで延びている。したがって、第１実施形態より折れ曲がり部分の長さが長い。   As shown in FIG. 7, the bent front ends of the left cover 109a and the right cover 109b of the inner cover 109 extend to both sides of the drive frame 20a of the drive travel unit 16a and the driven frame 20b of the driven travel unit 16b. Therefore, the length of the bent portion is longer than that of the first embodiment.

一方、搬送台車４の隔壁部１１５ｃは、載置部１１５の上面の全面ではなく部分的に配置されている。具体的に、図７に示すように、内側カバー１０９で覆われた部分を除く、載置部１５の上面のうち左右方向の中心部にだけ形成されている。第２実施形態においても、載置部１１５ｃの幅Ｗは、左カバー１０９ａおよび右カバー１０９ｂの折れ曲がった先端の間隔Ｄより大きい。これにより、第１実施形態と同様な作用効果を奏する。   On the other hand, the partition wall 115c of the transport carriage 4 is partially arranged instead of the entire upper surface of the placement unit 115. Specifically, as shown in FIG. 7, it is formed only in the center portion in the left-right direction on the upper surface of the placement portion 15 excluding the portion covered with the inner cover 109. Also in the second embodiment, the width W of the placement portion 115c is larger than the distance D between the bent tips of the left cover 109a and the right cover 109b. Thereby, there exists an effect similar to 1st Embodiment.

また、排出口１０８は、側方カバー１０６ではなく、底カバー１０５の内側カバー１０９の外側に、たとえば、グレーチングまたはパンチングメタルの形態で設けられている。排出口１０８は、第１実施形態のように、走行方向に間隔を隔てて設けられてはおらず、走行方向の全長にわたって設けられている。
その他の構成は、第１実施形態と同様なため、説明を省略する。
このような構成の第２実施形態では、搬送台車１０４の軽量化を図ることができる。しかし、内側カバー１０９は、第１実施形態の内側カバー９より折れ曲がり部分の長さが長くなる分重量が増加する。 Further, the discharge port 108 is provided not on the side cover 106 but on the outer side of the inner cover 109 of the bottom cover 105, for example, in the form of grating or punching metal. The discharge port 108 is not provided at intervals in the traveling direction as in the first embodiment, but is provided over the entire length in the traveling direction.
Since other configurations are the same as those of the first embodiment, description thereof is omitted.
In the second embodiment having such a configuration, the weight of the transport carriage 104 can be reduced. However, the weight of the inner cover 109 increases as the length of the bent portion becomes longer than that of the inner cover 9 of the first embodiment.

（１０）気流解析
第１実施形態による搬送台車４および内側カバー９と第２実施形態による搬送台車１０４および内側カバー１０９とで気流がどのように動くかをシミュレーションした。
第１実施形態および第２実施形態とも、搬送台車の起動直後は、その後方の３５０ｍｍ程度の範囲で気流が内側カバー９，１０９内から吹き出す。しかし、０．８秒後には吹き出した気流は、下向きの流れになり、内側カバー９，１０９内に戻り、気流が搬送台車４，１０４の載置部１５ｃ，１１５ｃまでは上昇しないことを確認した。 (10) Airflow analysis It was simulated how the airflow moves between the transport carriage 4 and the inner cover 9 according to the first embodiment and the transport carriage 104 and the inner cover 109 according to the second embodiment.
In both the first embodiment and the second embodiment, immediately after the conveyance carriage is started, the air flow blows out from the inner covers 9 and 109 within a range of about 350 mm behind the carriage. However, after 0.8 seconds, the blown airflow turned downward and returned to the inner covers 9, 109, and it was confirmed that the airflow did not rise to the placement portions 15c, 115c of the transport carriages 4,104. .

（１１）特徴
（Ａ）有軌道台車システム１は、清浄な空気のダウンフローＤＦが天井１３から吹き出す吹き出し口７を有するクリーンルーム内に配置されるシステムである。有軌道台車システム１は、軌道２と、搬送台車４と、底カバー５と、側方カバー６と、排出口８と、を備えている。軌道は、クリーンルーム内で天井から吊り下げられている。搬送台車４は、軌道２に沿って走行して物品Ｓを搬送可能である。底カバー５は、軌道２の底部を覆う。側方カバー６は、軌道２および搬送台車４の側方を覆う。底カバー５と側方カバー６と天井１３とで囲まれた走行空間１４に吹き出し口７からダウンフローＤＦが導入される。排出口８は、底カバー５および側方カバー６の少なくともいずれかに設けられ、吹き出し口７から導入されたダウンフローＤＦを排出する。
この有軌道台車システム１では、搬送台車４は、天井１３と底カバー５と側方カバー６とで囲まれた走行空間１４を走行して物品Ｓを搬送する。この走行空間１４に吹き出し口７からダウンフローＤＦが導入される。導入されたダウンフローＤＦは、排出口８から排出される。
ここでは、塵埃発生原因となる走行する搬送台車４に対して天井１３からダウンフローＤＦがあたるため、搬送台車４上に露出して物品Ｓを配置しても物品に塵埃が付着しにくくなる。このため、クリーンルーム内で搬送される物品ＳおよびカセットＣの汚染を可及的に防止できる。 (11) Features (A) The tracked cart system 1 is a system arranged in a clean room having a blowout port 7 through which a downflow DF of clean air blows out from the ceiling 13. The tracked cart system 1 includes a track 2, a transport cart 4, a bottom cover 5, a side cover 6, and a discharge port 8. The track is suspended from the ceiling in a clean room. The transport carriage 4 can travel along the track 2 and transport the article S. The bottom cover 5 covers the bottom of the track 2. The side cover 6 covers the side of the track 2 and the transport carriage 4. The downflow DF is introduced from the outlet 7 into the traveling space 14 surrounded by the bottom cover 5, the side cover 6 and the ceiling 13. The discharge port 8 is provided in at least one of the bottom cover 5 and the side cover 6 and discharges the downflow DF introduced from the blowout port 7.
In this tracked cart system 1, the transport cart 4 travels in the travel space 14 surrounded by the ceiling 13, the bottom cover 5, and the side covers 6 and transports the articles S. Downflow DF is introduced into the traveling space 14 from the outlet 7. The introduced downflow DF is discharged from the discharge port 8.
Here, since the downflow DF is applied from the ceiling 13 to the traveling carriage 4 that causes dust generation, even if the article S is exposed on the carriage 4 and the article S is arranged, it is difficult for dust to adhere to the article. For this reason, it is possible to prevent contamination of the article S and the cassette C conveyed in the clean room as much as possible.

（Ｂ）側方カバー６の内側で軌道の周囲を覆う内側カバー９と、内側カバー９内の空気を吸引するファンフィルタユニット１０と、をさらに備えている。これにより、最も発塵するおそれがある左駆動輪２１ａ、右駆動輪２１ｂ、左従動輪２１ｃ、および右従動輪２１ｄと軌道２との接触部分を内側カバー９で覆い、覆われた空間の空気をファンフィルタユニット１０で吸引して発生した塵埃を除去できる。このため、左駆動輪２１ａ、右駆動輪２１ｂ、左従動輪２１ｃ、および右従動輪２１ｄと軌道２との間で発生した塵埃が物品Ｓ側に吹き出しにくくなり、さらに物品Ｓの汚染を防止できる。   (B) An inner cover 9 that covers the periphery of the track inside the side cover 6 and a fan filter unit 10 that sucks air in the inner cover 9 are further provided. Thus, the left drive wheel 21a, the right drive wheel 21b, the left driven wheel 21c, and the contact portion between the right driven wheel 21d and the track 2 that are most likely to generate dust are covered with the inner cover 9, and the air in the covered space is covered. Can be removed by sucking the fan filter unit 10. For this reason, the dust generated between the left driving wheel 21a, the right driving wheel 21b, the left driven wheel 21c, and the right driven wheel 21d and the track 2 is difficult to blow out to the article S side, and further, the contamination of the article S can be prevented. .

（Ｃ）内側カバー９（または１０９）は、軌道２の両側方に一対配置された第１カバーとしての左カバー９ａおよび第２カバーとしての右カバー９ｂを有し、搬送台車４は、第１カバーと第２カバー９ｂとの間隔Ｄより大きい幅Ｗを有する隔壁部１５ｃを有する。これにより、隔壁部１５ｃと内側カバー９とにより限定された空間が形成され、ファンフィルタユニット１０による吸引を助けて、塵埃の内側カバー９外への流出を減少させることができる。
（Ｄ）排出口８は、側方カバー６の下部に設けられている。これにより、走行空間１４内からの物の落下を防止しやすくなる。 (C) The inner cover 9 (or 109) has a left cover 9a as a first cover and a right cover 9b as a second cover disposed on both sides of the track 2, and the transport carriage 4 is a first cover. A partition wall 15c having a width W larger than the distance D between the cover and the second cover 9b is provided. As a result, a limited space is formed by the partition wall 15c and the inner cover 9, and the suction by the fan filter unit 10 can be assisted to reduce the outflow of dust to the outside of the inner cover 9.
(D) The discharge port 8 is provided in the lower part of the side cover 6. Thereby, it becomes easy to prevent the fall of the thing from the running space 14.

（１２）他の実施形態
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。特に、本明細書に書かれた複数の実施形態および変形例は必要に応じて任意に組み合せ可能である。 (12) Other Embodiments Although one embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. In particular, a plurality of embodiments and modifications described in this specification can be arbitrarily combined as necessary.

（ａ）前記実施形態では、側方カバー６が軌道２の両側方に配置されていたが、側方カバーの配置は前記実施形態に限定されない。たとえば、移動が上記のようなループ軌道のような無端循環形状の場合、軌道の外側（たとえば図２の左側）だけに側方カバーを設けてもよい。この場合、軌道の内周側を含む長円形の空間が形成される。   (A) In the said embodiment, although the side cover 6 was arrange | positioned at the both sides of the track | truck 2, arrangement | positioning of a side cover is not limited to the said embodiment. For example, when the movement is an endless circulation shape such as a loop track as described above, a side cover may be provided only outside the track (for example, the left side in FIG. 2). In this case, an oval space including the inner peripheral side of the track is formed.

（ｂ）前記実施形態では、カセットＣ内に物品Ｓが露出して収納されているが、露出されずに物品ＳがカセットＣに密閉して収納される形態であっても本発明を適用できる。この場合、カセットＣの汚染を防止できる。   (B) In the above embodiment, the article S is exposed and stored in the cassette C. However, the present invention can be applied even if the article S is stored in the cassette C without being exposed. . In this case, contamination of the cassette C can be prevented.

（ｃ）前記実施形態では、吹き出し口７にダウンフロー用ファンフィルタユニット３２を配置した。しかし本発明はこれに限定されず、吹き出し口は、清浄なダウンフローＤＦを走行空間１４内に導入できればよく、ファンフィルタユニットを設けなくてもよい。   (C) In the above embodiment, the downflow fan filter unit 32 is disposed at the outlet 7. However, the present invention is not limited to this, and the blowout port only needs to be able to introduce a clean downflow DF into the traveling space 14, and the fan filter unit may not be provided.

（ｄ）前記実施形態では、側方カバー６の底カバー５より上方に排出口８を設けたが、図８に示す実施形態では、排出口２０８を底カバー５との境界部分に設けている。図８では、側方カバー２０６は、台座２４０上に載せてかさ上げしており、かさ上げ部分の隙間が排出口２０８となっている。このように排出口２０８を側方カバー２０６の底カバー５との境界部分に配置してもよい。   (D) In the above embodiment, the discharge port 8 is provided above the bottom cover 5 of the side cover 6, but in the embodiment shown in FIG. 8, the discharge port 208 is provided at the boundary portion with the bottom cover 5. . In FIG. 8, the side cover 206 is placed on the pedestal 240 and raised, and a gap in the raised portion serves as a discharge port 208. In this way, the discharge port 208 may be arranged at the boundary portion between the side cover 206 and the bottom cover 5.

（ｅ）前記実施形態では、排出口を側方カバーまたは底カバーに設けたが、両方に設けてもよい。   (E) In the above embodiment, the discharge port is provided in the side cover or the bottom cover, but may be provided in both.

（ｆ）前記実施形態では、側方カバー６を天井１３まで延ばしたが、天井１３と隙間をあけてもよい。   (F) Although the side cover 6 is extended to the ceiling 13 in the embodiment, a gap may be formed between the ceiling 13 and the ceiling 13.

本発明は、クリーンルーム内で軌道を走行する搬送台車により物品を搬送する有軌道搬送システムに適用可能である。   The present invention can be applied to a tracked transport system that transports articles by a transport cart that travels on a track in a clean room.

１ 有軌道台車システム
２ 軌道
４ 搬送台車
５ 底カバー
６ 側方カバー
７ 吹き出し口
８ 排出口
９ 内側カバー
１０ ファンフィルタユニット
１１ 走行レール
１１ａ 第１走行レール
１１ｂ 第２走行レール
１２ 走行ガイド
１２ａ 第１走行ガイド
１２ｂ 第２走行ガイド
１３ 天井
１４ 走行空間
１５ 載置部
１５ａ 第１取付部
１５ｂ 第２取付部
１５ｃ 隔壁部
１６ 走行部
１６ａ 駆動走行部
１６ｂ 従動走行部
１７ 非接触給電線
１７ａ リッツ線
１７ｂ リッツ線
２０ａ 駆動フレーム
２０ｂ 従動フレーム
２１ａ 左駆動輪
２１ｂ 右駆動輪
２１ｃ 左従動輪
２１ｄ 右従動輪
２２ａ 左固定ガイドローラ
２２ｂ 右固定ガイドローラ
２３ａ 左分岐ガイドローラ
２３ｂ 右分岐ガイドローラ
２４ａ 左駆動モータ
２４ｂ 右駆動モータ
２８ａ 左ピックアップユニット
２８ｂ 右ピックアップユニット
２９ａ 左取付ブラケット
２９ｂ 右取付ブラケット
３０ 吊り部材
３１ 軌道支持フレーム
３２ ダウンフロー用ファンフィルタユニット
１０４ 搬送台車
１０５ 底カバー
１０６ 側方カバー
１０８ 排出口
１０９ 内側カバー
１１５ 載置部
１１５ｃ 隔壁部
２０６ 側方カバー
２０８ 排出口
２４０ 台座 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Tracked vehicle system 2 Track 4 Carriage cart 5 Bottom cover 6 Side cover 7 Outlet 8 Outlet 9 Inner cover 10 Fan filter unit 11 Traveling rail 11a First traveling rail 11b Second traveling rail 12 Traveling guide 12a First traveling Guide 12b Second traveling guide 13 Ceiling 14 Traveling space 15 Mounting portion 15a First mounting portion 15b Second mounting portion 15c Bulkhead portion 16 Traveling portion 16a Drive traveling portion 16b Driven traveling portion 17 Non-contact power supply line 17a Litz wire 17b Litz wire 20a drive frame 20b driven frame 21a left drive wheel 21b right drive wheel 21c left driven wheel 21d right driven wheel 22a left fixed guide roller 22b right fixed guide roller 23a left branch guide roller 23b right branch guide roller 24a left drive motor 24b right drive motor 28a Left pickup unit 28b Right pickup unit 29a Left mounting bracket 29b Right mounting bracket 30 Lifting member 31 Track support frame 32 Downflow fan filter unit 104 Conveying carriage 105 Bottom cover 106 Side cover 108 Discharge port 109 Inner cover 115 Mounting portion 115c Partition 206 Side cover 208 Discharge port 240 Pedestal

Claims (3)

清浄な空気のダウンフローが天井から吹き出す吹き出し口を有するクリーンルーム内に配置される有軌道台車システムであって、
前記クリーンルーム内で天井から吊り下げられた軌道と、
前記軌道に沿って走行して物品を搬送可能な搬送台車と、
前記軌道の底部を覆う底カバーと、
前記軌道および搬送台車の側方を覆う側方カバーと、
前記底カバーおよび側方カバーの少なくともいずれかに設けられ、前記吹き出し口から導入した前記ダウンフローを排出する排出口と、
前記側方カバーの内側で前記軌道の周囲を覆う内側カバーと、
前記内側カバー内の空気を吸引するファンフィルタユニットと、
を備えた有軌道台車システム。 A tracked bogie system disposed in a clean room having a blowout port from which a clean air downflow blows from the ceiling,
A track suspended from the ceiling in the clean room;
A transport carriage capable of traveling along the track and transporting articles;
A bottom cover covering the bottom of the track;
A side cover that covers the track and the side of the carriage,
A discharge port that is provided in at least one of the bottom cover and the side cover and discharges the downflow introduced from the blowout port;
An inner cover that covers the periphery of the track inside the side cover;
A fan filter unit for sucking air in the inner cover;
Tracked bogie system equipped with. 前記内側カバーは、前記軌道の両側方に一対配置された第１カバーおよび第２カバーを有し、
前記搬送台車は、前記第１カバーと第２カバーとの間隔より大きい幅を有する隔壁部を有する、請求項１に記載の有軌道台車システム。 The inner cover has a first cover and a second cover disposed on both sides of the track,
The transport carriage has a partition wall portion having a width greater than the distance between the first cover and the second cover, the track guided vehicle system according to claim 1. 前記排出口は、前記側方カバーの下部に設けられている、請求項１又は２に記載の有軌道台車システム。 The tracked carriage system according to claim 1 or 2 , wherein the discharge port is provided at a lower portion of the side cover.
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