KR101432192B1 - Track carriage system - Google Patents

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미치노부 와키자카
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무라다기카이가부시끼가이샤
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Abstract

본 발명의 궤도식 대차 시스템에 따르면, 다운 플로우식의 공기를 분출하는 클린룸 내에서 반송되는 물품의 오염을 가급적 방지할 수 있다.
본 발명에 따른 궤도식 대차 시스템(1)은, 다운 플로우(DF)식의 청정한 공기가 천정의 분출포트(7)로부터 분출되는 클린룸 내에 배치되는 시스템이다. 궤도식 대차 시스템(1)은, 궤도(2)와, 반송 대차(4)와, 바닥 커버(5)와, 측방 커버(6)와, 배출포트(8)를 구비하고 있다. 궤도(2)는, 클린룸 내에서 천정(13)으로부터 매달려 있다. 반송 대차(4)는, 궤도(2)를 따라 주행하여 물품(S)을 반송할 수 있다. 바닥 커버(5)는 궤도(2)의 바닥부를 덮는다. 측방 커버(6)는 궤도(2) 및 반송 대차(4)의 측방을 덮는다. 배출포트(8)는 바닥 커버(5) 및 측방 커버(6) 중 적어도 어느 하나에 형성되어, 분출포트(7)로부터 도입된 다운 플로우(DF)식의 공기를 배출한다.According to the tracked bogie system of the present invention, it is possible to prevent the contamination of articles conveyed in a clean room for jetting downflow-type air as much as possible.
The tracked cargo system 1 according to the present invention is a system in which clean air of the down flow type (DF) is disposed in a clean room where air is blown out from the jet port 7 of the ceiling. The tracked truck system 1 is provided with a track 2, a conveyance truck 4, a bottom cover 5, a side cover 6 and a discharge port 8. The orbit 2 is suspended from the ceiling 13 in the clean room. The conveyance truck 4 travels along the trajectory 2 to convey the article S. The bottom cover 5 covers the bottom of the orbit 2. The side cover 6 covers the sides of the track 2 and the conveyance truck 4. The discharge port 8 is formed in at least one of the bottom cover 5 and the side cover 6 to discharge the downflow (DF) air introduced from the spout port 7.

Description

궤도식 대차 시스템{TRACK CARRIAGE SYSTEM}[0001] TRACK CARRIAGE SYSTEM [0002]

본 발명은, 대차(臺車) 시스템, 특히, 다운 플로우식의 공기가 천정으로부터 분출되는 클린룸 내에 배치되는 궤도식 대차 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a tracked car system, and more particularly to a tracked cargo system in which a downflow type air is disposed in a clean room from which air is ejected from the ceiling.

종래, 다운 플로우식의 공기가 천정으로부터 분출되는 클린룸 내에서 유리기판 등의 물품을 반송하는 반송 대차가 궤도를 주행하는 궤도식 대차 시스템이 알려져 있다(예컨대, 특허문헌 1참조). 클린룸 내에서는, 천정으로부터 분출되는 다운 플로우식의 공기에 의해 물품의 오염을 방지한다. 종래의 클린룸 내에 배치된 궤도식 대차 시스템에서는, 궤도의 주위를 커버로 둘러싸고, 여기에 팬 필터 유닛을 설치하여 궤도에서 발생될 우려가 있는 먼지를 제거한다. BACKGROUND ART [0002] Conventionally, there is known a tracked bogie system in which a conveying bogie carrying an article such as a glass substrate travels in a track in a clean room where air of downflow type is ejected from the ceiling (see, for example, Patent Document 1). In the clean room, contamination of the article is prevented by the downflow air blown from the ceiling. In a tracked truck system disposed within a conventional clean room, a cover is enclosed around the orbit, and a fan filter unit is installed to remove dust that may be generated in the track.

[특허문헌 1] 일본특허공개공보 제2000-269296호[Patent Document 1] Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-269296

상기 종래의 구성에 의해 궤도에서 발생되는 먼지를 제거하는 것은 가능하다. 최근, 액정유리기판 등의 대형 기판에서는, 카세트 내에 기판 등의 물품을 밀봉하여 반송하지 않고, 개방된 카세트에 의해 기판을 반송하고 있다. 이와 같이, 개방된 카세트에 의해 물품을 반송할 경우, 궤도 주위의 먼지를 제거하는 것만으로는, 주위의 환경에 따라서는 반송중에 물품이 오염될 우려가 있다. With the above-described conventional configuration, it is possible to remove dust generated in the trajectory. In recent years, in a large-sized substrate such as a liquid crystal glass substrate, an article such as a substrate is sealed and conveyed in a cassette, and the substrate is conveyed by an opened cassette. As described above, when the article is transported by the opened cassette, there is a fear that the article may be contaminated during transporting only by removing the dust around the track, depending on the surrounding environment.

본 발명의 과제는, 궤도식 대차 시스템에 있어서, 클린룸 내에서 반송되는 물품의 오염을 가급적 방지하는 데에 있다. An object of the present invention is to prevent the contamination of articles carried in a clean room as much as possible in a tracked bogie system.

이하에서는 과제를 해결하기 위한 수단으로서 복수의 양태를 설명한다. 이들 양태는, 필요에 따라 임의로 조합시킬 수 있다. Hereinafter, a plurality of aspects will be described as means for solving the problems. These embodiments can be arbitrarily combined as needed.

본 발명에 관한 궤도식 대차 시스템은, 다운 플로우식의 청정한 공기가 천정으로부터 분출되는 분출포트를 갖는 클린룸 내에 배치되는 시스템이다. 궤도식 대차 시스템은, 궤도와, 반송 대차와, 바닥 커버와, 측방 커버와, 배출포트를 구비하고 있다. 궤도는, 클린룸 내에서 천정으로부터 매달려 있다. 반송 대차는 궤도를 따라 주행하여 물품을 반송할 수 있다. 바닥 커버는 궤도의 바닥부를 덮는다. 측방 커버는 궤도 및 반송 대차의 측방을 덮는다. 바닥 커버와 측방 커버와 천정에 의해 둘러싸인 공간으로 분출포트를 통해 다운 플로우식의 공기가 분출된다. 배출포트는, 바닥 커버 및 측방 커버 중 적어도 어느 하나에 형성되어, 분출포트로부터 도입된 다운 플로우식의 공기를 배출한다. The tracked bogie system according to the present invention is a system in which clean air of down flow type is disposed in a clean room having an ejection port through which the air is blown out from the ceiling. The tracked truck system includes a track, a conveyance truck, a bottom cover, a side cover, and a discharge port. The orbit hangs from the ceiling in the clean room. The conveying bogie can travel along the trajectory to carry the article. The bottom cover covers the bottom of the track. The side cover covers the side of the track and the conveyance truck. Down-flow type air is ejected through the ejection port into the space surrounded by the bottom cover, the side cover, and the ceiling. The discharge port is formed in at least one of the bottom cover and the side cover to discharge the downflow air introduced from the spout port.

이러한 궤도식 대차 시스템에 있어서 반송 대차는, 천정과 바닥 커버와 측방 커버에 의해 둘러싸인 공간을 주행하여 물품을 반송한다. 이 공간으로 분출포트로부터 다운 플로우식의 공기가 분출된다. 분출된 다운 플로우식의 공기는, 배출포트로부터 배출된다. In such a tracked bogie system, the transportation bogie carries a space surrounded by the ceiling, the bottom cover and the side cover to transport the article. Down-flow type air is ejected from the ejection port into this space. The jetted downflow air is discharged from the discharge port.

여기에서는, 먼지발생의 원인이 되는 주행하는 반송 대차에 대하여 천정으로부터 다운 플로우식의 공기가 닿기 때문에, 물품을 반송 대차상에 노출시켜 배치하여도 물품에 먼지가 부착되기 어려워진다. 이 때문에, 클린룸 내에서 반송되는 물품의 오염을 가급적 방지할 수가 있다. Here, the downflow type air comes from the ceiling to the traveling conveyance carriage causing the dust, so that even if the articles are arranged on the conveyance carriage, the dust is hardly attached to the articles. Therefore, the contamination of the articles conveyed in the clean room can be prevented as much as possible.

측방 커버의 내측에서 궤도의 주위를 덮는 내측 커버와, 내측 커버 내의 공기를 흡인하는 팬 필터 유닛을 더 구비하여도 무방하다. 이로써, 가장 먼지가 발생될 우려가 있는 차륜과 궤도간의 접촉부분을 내측 커버에 의해 덮고, 덮인 공간의 공기를 팬 필터 유닛으로 흡인하여 발생된 먼지를 제거할 수 있다. 이 때문에, 차륜과 궤도의 사이에서 발생된 먼지가 물품측으로 분출되기 어려워져, 물품의 오염을 더욱 방지할 수가 있다. An inner cover that covers the periphery of the trajectory from the inside of the side cover, and a fan filter unit that sucks air in the inside cover. As a result, the contact portion between the wheel and the orbit, which may generate the most dust, is covered by the inner cover, and dust generated by sucking air in the covered space into the fan filter unit can be removed. Therefore, the dust generated between the wheel and the track is hardly ejected toward the article, so that contamination of the article can be further prevented.

내측 커버는, 궤도의 양 측방에 한 쌍으로 배치된 제 1 커버 및 제 2 커버를 가지며, 반송 대차는, 제 1 커버와 제 2 커버 간의 간격보다 큰 폭을 갖는 격벽부를 구비하여도 무방하다. 이로써, 격벽부와 내측 커버에 의해 한정된 공간이 형성되어, 팬 필터 유닛에 의한 흡인을 도움에 따라 먼지의 유출을 감소시킬 수가 있다. The inner cover may have a first cover and a second cover arranged in pairs on both sides of the track, and the conveying carriage may have a partition wall portion having a width larger than an interval between the first cover and the second cover. Thereby, the space defined by the partition wall portion and the inner cover is formed, and the outflow of the dust can be reduced with the help of the suction by the fan filter unit.

배출포트는, 측방 커버의 하부에 설치되어 있어도 무방하다. 이로써, 공간 내에서의 물건의 낙하를 방지하기가 용이해진다.The discharge port may be provided at the lower portion of the side cover. This makes it easier to prevent falling of the object in the space.

본 발명에 따르면, 먼지발생의 원인이 되는 주행하는 반송 대차에 대하여 천정으로부터 다운 플로우식의 공기가 닿기 때문에, 물품을 대차상에 노출시켜 배치하여도 물품에 먼지가 부착되기 어려워진다. 이 때문에, 클린룸 내에서 반송되는 물품의 오염을 가급적 방지할 수가 있다. According to the present invention, the down flow type air from the ceiling comes into contact with the running conveyance carriage, which is a cause of dust generation, so that even when the articles are arranged on the carriage, dust is hardly attached to the articles. Therefore, the contamination of the articles conveyed in the clean room can be prevented as much as possible.

도 1은 본 발명의 제1실시형태에 의한 궤도식 대차 시스템의 평면도이다.
도 2는 궤도 주위의 단면도이다.
도 3은 반송 대차의 측면도이다.
도 4는 궤도 주위의 확대 단면도이다.
도 5는 측방 커버의 측면도.
도 6은 제 2 실시형태에 있어서, 제 1 실시형태의 도 2에 상당하는 단면도이다.
도 7은 제 2 실시형태에 있어서, 제 1 실시형태의 도 4에 상당하는 단면도이다.
도 8은 그 밖의 실시형태의 측방 커버의 도 5에 상당하는 측면도이다. 1 is a plan view of a tracked truck system according to a first embodiment of the present invention.
2 is a sectional view around the orbit.
3 is a side view of the conveyance truck.
4 is an enlarged sectional view around the orbit;
5 is a side view of the side cover;
Fig. 6 is a sectional view corresponding to Fig. 2 of the first embodiment in the second embodiment. Fig.
Fig. 7 is a sectional view corresponding to Fig. 4 of the first embodiment in the second embodiment. Fig.
Fig. 8 is a side view corresponding to Fig. 5 of the side cover of another embodiment. Fig.

(1) 궤도식 대차 시스템(1) Tracked lorry system

<제 1 실시형태>&Lt; First Embodiment >

도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 본 발명의 제 1 실시형태에 관한 궤도식 대차 시스템(1)은, 예컨대, 카세트(C, 도 2)에 노출되어 수납된 대형 유리기판 등의 물품(S)을 반송하는 시스템이다. 궤도식 대차 시스템(1)은, 다운 플로우식의 공기를 분출하는 분출포트(7)를 갖는 클린룸 내에 배치된다. 궤도식 대차 시스템(1)은, 궤도(2)와, 반송 대차(4)와, 바닥 커버(5)와, 측방 커버(6)와, 배출포트(8)를 구비하고 있다. 또한, 궤도식 대차 시스템(1)은 도 2에 나타내는 바와 같이, 내측 커버(9)와, 내측 커버(9) 내에 설치된 팬 필터 유닛(10)을 더 구비하고 있다. 1 and 2, a crawler track system 1 according to a first embodiment of the present invention includes an article S such as a large-sized glass substrate exposed and accommodated in a cassette C (Fig. 2) . The tracked truck system 1 is disposed in a clean room having an ejection port 7 for ejecting air of a downflow type. The tracked truck system 1 is provided with a track 2, a conveyance truck 4, a bottom cover 5, a side cover 6 and a discharge port 8. 2, the crawler track system 1 further includes an inner cover 9 and a fan filter unit 10 provided in the inner cover 9. As shown in Fig.

궤도(2)는 천정(13)으로부터 매달려 있다. 구체적으로는, 궤도(2)를 매달기 위하여 천정(13)으로부터 연장되는 매달기 부재(30)에 의해 매달린 궤도 지지 프레임(31) 상에 궤도(2)가 배치되어 있다. 궤도(2)는 주행 공간(14)에 배치되어 있다. 궤도(2)는 예컨대 타원형의 루프 형상이다. 반송 대차(4)는, 궤도(2) 상을, 예컨대 흰색 화살표로 나타낸 시계방향으로 주행하여 궤도(2)를 따라 배치된 도시되지 않은 처리 장치로 물품(S)을 반송한다. The orbit 2 is suspended from the ceiling 13. Specifically, the trajectory 2 is disposed on the trajectory support frame 31 suspended by the suspension member 30 extending from the ceiling 13 to suspend the trajectory 2. The orbit (2) is arranged in the running space (14). The orbit 2 is, for example, an elliptical loop shape. The conveying truck 4 travels on the trajectory 2 in a clockwise direction indicated by a white arrow, for example, and conveys the article S to an unshown processing apparatus disposed along the trajectory 2. [

클린룸의 천정(13)에는, 다운 플로우(DF)식의 공기를 분출하는 분출포트(7)가 형성되어 있다. 따라서, 반송 대차(4)가 주행하는 주행 공간(14)에는, 천정(13)으로부터의 다운 플로우(DF)식의 공기가 도입된다. 분출포트(7)에는 도 2에 나타내는 바와 같이, 다운 플로우용 팬 필터 유닛(32)이 설치되어 있다. 다운 플로우용 팬 필터 유닛(32)은, 천정(13) 내의 청정한 공기를 주행 공간(14)으로 분출하는 동시에, 공기 내의 먼지를 제거한다. In the ceiling 13 of the clean room, a jetting port 7 for jetting downflow (DF) air is formed. Therefore, downflow (DF) air from the ceiling 13 is introduced into the running space 14 on which the conveyance truck 4 travels. As shown in Fig. 2, the jet port 7 is provided with a fan filter unit 32 for downflow. The downflow fan filter unit 32 blows clean air in the ceiling 13 into the traveling space 14 and removes dust in the air.

궤도(2)는 도 1 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 주행 레일(11)과 주행 가이드(12)를 갖는다. 주행 레일(11)은, 좌우 한 쌍의 제 1 주행 레일(11a) 및 제 2 주행 레일(11b)로 구성되어 있다. 제 1 주행 레일(11a) 및 제 2 주행 레일(11b)은 평탄한 주행면을 갖는다. As shown in Figs. 1 and 3, the track 2 has a running rail 11 and a running guide 12. The running rail 11 is composed of a pair of right and left first running rails 11a and a pair of second running rails 11b. The first running rail 11a and the second running rail 11b have flat running surfaces.

주행 가이드(12)는, 제 1 주행 가이드(12a) 및 제 2 주행 가이드(12b)를 갖는다. 제 1 주행 가이드(12a) 및 제 2 주행 가이드(12b)는, 제 1 주행 레일(11a) 및 제 2 주행 레일(11b)의 외측단에 각각 설치되어 있다. 제 1 주행 가이드(12a) 및 제 2 주행 가이드(12b)는 외측단으로부터 상방으로 연장되어 있다. The travel guide 12 has a first travel guide 12a and a second travel guide 12b. The first travel guide 12a and the second travel guide 12b are provided at the outer ends of the first travel rail 11a and the second travel rail 11b, respectively. The first travel guide 12a and the second travel guide 12b extend upward from the outer end.

궤도(2)의 한쪽에는, 비접촉 급전선(給電線 : 17)이 배치되어 있다. 본 실시형태에서는 궤도(2)의 좌측에 배치되어 있다. 비접촉 급전선(17)은 도 3에 나타내는 바와 같이, 상하로 간격을 두고 배치된 2개의 리츠선(Litz wire : 17a,17b)을 갖는다. On one side of the track 2, a non-contact feeder line (feeder line) 17 is disposed. And is disposed on the left side of the orbit 2 in the present embodiment. As shown in Fig. 3, the non-contact feeder 17 has two Litz wires 17a and 17b arranged at upper and lower intervals.

(2) 반송 대차(2) Bouncing carriage

반송 대차(4)는 도 3 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 궤도(2)를 따라 주행하여 카세트(C)를 반송할 수 있는 것이다. 카세트(C)가 재치(載置)가능한 재치부(15)와, 궤도(2)를 주행할 수 있는 주행부(16)를 갖는다. 재치부(15)는 직사각형의 프레임형상의 부재이다. 재치부(15)의 하면에는, 주행부(16)를 부착하기 위한 제 1 부착부(15a) 및 제 2 부착부(15b)가 설치되어 있다. 제 1 부착부(15a)는 주행 방향 앞쪽에 배치되어 있다. 제 2 부착부(15b)는 주행방향 뒤쪽에 배치되어 있다. 재치부(15)의 상면에는, 주행부(16)로부터의 공기의 흐름을 차단하기 위해 직사각형의 전면(全面)에 격벽부(15c)가 형성되어 있다. As shown in Figs. 3 and 4, the conveyance truck 4 travels along the trajectory 2 and can carry the cassette C. Fig. A loading section 15 on which the cassette C can be placed and a running section 16 capable of running on the trajectory 2. [ The mounting portion 15 is a rectangular frame-like member. A first attaching portion 15a and a second attaching portion 15b for attaching the traveling portion 16 are provided on the lower surface of the mount portion 15. [ The first attachment portion 15a is disposed in front of the running direction. The second attachment portion 15b is disposed behind the running direction. A partition wall portion 15c is formed on the upper surface of the mounting portion 15 so as to block the flow of air from the traveling portion 16 on the entire surface of the rectangle.

주행부(16)는, 제 1 부착부(15a)에 회동(回動)가능하게 부착된 구동 주행부(16a)와, 제 2 부착부(15b)에 회동가능하게 부착된 종동(從動) 주행부(16b)를 갖는다. 구동 주행부(16a) 및 종동 주행부(16b)는 보기 대차(bogie truck)이다. 구동 주행부(16a)는, 구동 프레임(20a)과, 좌측 구동륜(21a) 및 우측 구동륜(21b)을 갖는다. 또한, 종동 주행부(16b)는, 종동 프레임(20b)과, 좌측 종동륜(21c)과, 우측 종동륜(21d)을 갖는다. 좌측 구동륜(21a) 및 좌측 종동륜(21c)의 진행방향 양측에는, 좌측 고정 가이드 롤러(22a) 및 좌측 분기 가이드 롤러(23a)가 각각 개별 설치되어 있다. 우측 구동륜(21b) 및 우측 종동륜(21d)의 진행방향 양측에는, 우측 고정 가이드 롤러(22b)와 우측 분기 가이드 롤러(23b)가 각각 개별 설치되어 있다. 좌측 고정 가이드 롤러(22a) 및 좌측 분기 가이드 롤러(23a)는, 제 1 주행 가이드(12a)에 의해 안내된다. 우측 고정 가이드 롤러(22b) 및 우측 분기 가이드 롤러(23b)는, 제 2 주행 가이드(12b)에 의해 안내된다. The running section 16 includes a drive running section 16a which is rotatably attached to the first attachment section 15a and a drive section 16b which is rotatably attached to the second attachment section 15b, And a traveling portion 16b. The drive travel portion 16a and the driven travel portion 16b are bogie trucks. The drive running section 16a has a drive frame 20a and a left drive wheel 21a and a right drive wheel 21b. The driven section 16b has a driven frame 20b, a left follower 21c and a right follower 21d. A left fixed guide roller 22a and a left branched guide roller 23a are provided on both sides of the traveling direction of the left drive wheel 21a and the left follower wheel 21c, respectively. The right fixed guide roller 22b and the right branched guide roller 23b are provided on both sides of the traveling direction of the right drive wheel 21b and the right follower wheel 21d, respectively. The left fixed guide roller 22a and the left branched guide roller 23a are guided by the first travel guide 12a. The right fixed guide roller 22b and the right branched guide roller 23b are guided by the second travel guide 12b.

구동 프레임(20a)은, 제 1 부착부(15a)에 수직축 둘레로 회동가능하게 연결되어 있다. 좌측 구동륜(21a) 및 우측 구동륜(21b)은, 구동 프레임(20a)에 좌우방향의 축둘레로 회전가능하게 지지되어 있다. 좌측 구동륜(21a) 및 우측 구동륜(21b)은, 제 1 주행레일(11a) 및 제 2 주행레일(11b) 위를 각각 개별 주행한다. 좌측 구동륜(21a) 및 우측 구동륜(21b)은, 구동 프레임(20a)에 설치된 좌측 구동모터(24a) 및 우측 구동모터(24b)에 의해 각각 개별 구동된다. The drive frame 20a is rotatably connected to the first attachment portion 15a around the vertical axis. The left drive wheel 21a and the right drive wheel 21b are rotatably supported by a drive frame 20a around a left-right directional axis. The left drive wheel 21a and the right drive wheel 21b individually travel on the first running rail 11a and the second running rail 11b. The left drive wheel 21a and the right drive wheel 21b are individually driven by the left drive motor 24a and the right drive motor 24b provided in the drive frame 20a.

종동 프레임(20b)은, 제 2 부착부(15b)에 수직축 둘레로 회동가능하게 연결되어 있다. 좌측 종동륜(21c) 및 우측 종동륜(21d)은, 종동 프레임(20b)에 좌우방향의 축둘레로 회전가능하게 지지되어 있다. 좌측 종동륜(21c) 및 우측 종동륜(21d)은, 제 1 주행레일(11a) 및 제 2 주행레일(11b) 위를 각각 개별 주행한다. The driven frame 20b is rotatably connected to the second attachment portion 15b around the vertical axis. The left follower wheel 21c and the right follower wheel 21d are rotatably supported by a driven frame 20b about an axis in the lateral direction. The left follower wheel 21c and the right follower wheel 21d individually travel on the first travel rail 11a and the second travel rail 11b, respectively.

구동 프레임(20a) 및 종동 프레임(20b)의 외측면에는, 비접촉 급전선(17)으로부터의 전력을 받는 좌측 픽업 유닛(28a) 및 우측 픽업 유닛(28b)이 부착되어 있다. 좌측 픽업 유닛(28a)은, 좌측 구동륜(21a) 및 좌측 종동륜(21c)을 각각 개별로 둘러싸도록 부착된 좌측 부착 브래킷(29a)을 통해 구동 프레임(20a) 및 종동 프레임(20b)의 외측면에 부착되어 있다. 우측 픽업 유닛(28b)은, 우측 구동륜(21b) 및 우측 종동륜(21d)을 각각 개별로 둘러싸도록 부착된 우측 부착 브래킷(29b)을 통해 구동 프레임(20a) 및 종동 프레임(20b)의 외측면에 부착되어 있다. A left pick-up unit 28a and a right pick-up unit 28b which receive electric power from the non-contact feeder 17 are attached to outer surfaces of the driving frame 20a and the driven frame 20b. The left pick-up unit 28a is connected to the outer side of the drive frame 20a and the driven frame 20b through a left attachment bracket 29a attached so as to individually surround the left drive wheel 21a and the left follower wheel 21c, Respectively. The right pickup unit 28b is connected to the outer side surfaces of the drive frame 20a and the driven frame 20b via the right attachment bracket 29b attached so as to individually surround the right drive wheel 21b and the right follower wheel 21d, Respectively.

(3) 바닥 커버(3) Floor coverings

바닥 커버(5)는, 궤도(2)의 바닥부를 덮도록 수평방향을 따라 배치되어 있다. 바닥 커버(5)는, 예컨대, 스테인리스 강판제(鋼板製)이며, 천정(13)으로부터 궤도(2)를 매달기 위해 연장되는 매달기 부재(30)에 의해 매달린 궤도 지지 프레임(31) 상에 형성되어 있다. The bottom cover 5 is arranged along the horizontal direction so as to cover the bottom portion of the orbit 2. [ The bottom cover 5 is made of, for example, a stainless steel plate (steel plate) and is mounted on a track support frame 31 suspended by a suspending member 30 extending from the ceiling 13 to suspend the track 2 Respectively.

(4) 측방 커버(4) Side cover

측방 커버(6)는, 반송 대차(4) 및 궤도(2)의 측방을 덮도록 수직으로 기립하여 배치되어 있다. 측방 커버(6)는, 예컨대, 클린룸용의 벽 패널을 이용하며, 매달기 부재(30)의 외측에서 궤도(2)의 양 측방을 덮도록 좌우 한 쌍으로 배치되어 있다. 측방 커버(6)는 천정(13)까지 연장되어 있다. 주행 공간(14)은 측방 커버(6)와, 천정(13)과, 바닥 커버(5)에 의해 반송 대차(4) 및 궤도(2)를 둘러싸도록 형성되어 있다. The side cover 6 is arranged so as to stand vertically so as to cover the side of the conveying carriage 4 and the trajectory 2. The side cover 6 is, for example, a wall panel for a clean room, and is disposed on the left and right sides of the hanging member 30 so as to cover both sides of the orbit 2. [ The side cover 6 extends to the ceiling 13. The running space 14 is formed so as to surround the conveying carriage 4 and the trajectory 2 by the side cover 6, the ceiling 13 and the bottom cover 5. [

(5) 배출포트(5) exhaust port

배출포트(8)는, 측방 커버(6)에 형성되어 분출포트(7)로부터 도입된 다운 플로우(DF)식의 공기를 주행 공간(14)으로부터 배출하는 것이다. 배출포트(8)는 바닥 커버(5)보다 상방에 배치되어 있다. 배출포트(8)는 도 1에 나타내는 바와 같이, 주행 방향으로 간격을 두고 배치되어 있으며, 예컨대 측방 커버(6)의 벽 패널 1장마다 배치되어 있다. 도 2 및 도 5에 나타내는 바와 같이, 배출포트(8)에는, 루버(louver ; 8a)가 설치되어 있다. 루버(8a)는, 주행 공간(14)으로부터 외부를 향해 비스듬하게 상방으로 경사져 형성되어 있다. 이로써, 주행 공간(14)으로부터 외부로 작은 물체가 낙하하기 어려워진다. The discharge port 8 is formed in the side cover 6 to discharge the downflow (DF) air introduced from the spray port 7 from the running space 14. And the discharge port 8 is disposed above the bottom cover 5. [ As shown in Fig. 1, the discharge ports 8 are arranged at intervals in the running direction, and are arranged for each wall panel of the side cover 6, for example. As shown in Figs. 2 and 5, a louver 8a is provided in the discharge port 8. The louver 8a is formed obliquely upwardly inclined from the running space 14 toward the outside. This makes it difficult for a small object to fall from the running space 14 to the outside.

예컨대, 유지관리(maintenance)를 위해 주행 공간(14)에 사람이 출입하여 공구 등을 떨어뜨려도 공구가 외부로 낙하하기 어렵다. 또한, 물품(S)이 반송중에 깨져도 그 파편이 외부로 낙하하기 어렵다. For example, it is difficult for a tool to fall out to the outside even if a person goes in and out of the running space 14 for maintenance and drops the tool or the like. Further, even if the article S is broken during transportation, the fragments thereof are hard to fall outside.

(6) 내측 커버(6) Inner cover

내측 커버(9)는 도 4에 나타내는 바와 같이, 측방 커버(6)의 내측에서 궤도(2)의 주위를 덮도록 배치되어 있다. 내측 커버(9)는, 궤도(2)의 양 측방에 배치된 구부러져 형성된 뒤집힌 L자 형상(inverted L-shaped)의 단면을 갖는 좌측 커버(9a) 및 우측 커버(9b)를 갖는다. 제 1 실시형태에서는, 좌측 커버(9a) 및 우측 커버(9b)의 구부러진 선단은, 반송 대차(4)의 좌측 픽업 유닛(28a) 및 우측 픽업 유닛(28b)의 상방까지 내측으로 각각 연장되어 있다. 또한, 반송 대차(4)의 재치부(15)의 상면 전면(全面)에는, 상기한 바와 같이 격벽부(15c)가 설치되어 있다. 격벽부(15c)의 폭(W)은, 좌측 커버(9a) 및 우측 커버(9b)의 구부러진 선단의 간격(D)보다 크다. 이 때문에, 격벽부(15c)와 내측 커버(9)에 의해 상하방향에서 서로 겹치는 부분이 형성된다. 이로써, 격벽부(15c)와 내측 커버(9)에 의해 한정된 공간이 형성되어, 팬 필터 유닛(10)에 의한 흡인을 도움에 따라 먼지가 내측 커버(9) 외부로 유출되는 것을 감소시킬 수 있다. 이 때문에, 좌측 구동륜(21a), 우측 구동륜(21b), 좌측 종동륜(21c), 우측 종동륜(21d)과 주행 레일(11)간의 접촉에 의해 내측 커버(9) 내에서 발생될 우려가 있는 먼지가 재치부(15)상에 재치(載置)된 카세트(C)내의 물품(S)으로 유출되기 어려워진다. The inner cover 9 is arranged so as to cover the periphery of the trajectory 2 inside the side cover 6 as shown in Fig. The inner cover 9 has a left cover 9a and a right cover 9b having inverted L-shaped cross sections formed on both sides of the track 2 and formed in a bent shape. In the first embodiment, the bent ends of the left cover 9a and the right cover 9b extend inwardly to the upper side of the left pick-up unit 28a and the right pick-up unit 28b of the conveyance truck 4 . A partition wall portion 15c is provided on the entire upper surface of the placement portion 15 of the conveyance truck 4 as described above. The width W of the partition wall portion 15c is larger than the interval D between the bent ends of the left cover 9a and the right cover 9b. For this reason, portions overlapping each other in the vertical direction are formed by the partition wall portion 15c and the inner cover 9. Thereby, a space defined by the partition wall portion 15c and the inner cover 9 is formed, and it is possible to reduce the outflow of the dust to the outside of the inner cover 9 with the help of the suction by the fan filter unit 10 . Therefore, there is a fear of being generated in the inner cover 9 due to the contact between the left drive wheel 21a, the right drive wheel 21b, the left follower wheel 21c and the right follower wheel 21d and the running rail 11 It becomes difficult for the dust to flow out to the article S in the cassette C placed on the placement unit 15. [

(7) 팬 필터 유닛(7) Fan filter unit

팬 필터 유닛(10)은, 내측 커버(9) 내의 공기를 흡인하고, 먼지를 제거하여 청정한 공기를 외부로 배출한다. 따라서, 팬 필터 유닛(10)은, 상술한 바와 같이 내측 커버(9) 내에서 발생될 우려가 있는 먼지를 제거할 수 있다. The fan filter unit 10 sucks air in the inner cover 9, removes dust, and discharges the clean air to the outside. Therefore, the fan filter unit 10 can remove dust that may be generated in the inner cover 9 as described above.

(8) 궤도식 대차 시스템의 동작(8) Operation of tracked truck system

이러한 구성의 제 1 실시형태에 관한 궤도식 대차 시스템(1)에서는, 반송 대차(4)가 궤도(2) 위를 주행할 때, 분출포트(7)로부터 다운 플로우(DF)식의 공기가 반송 대차(4)상으로 분출되어, 그것이 배출포트(8)로부터 배출된다. 이로써, 물품(S)에 먼지가 부착되기 어려워진다. 더욱이, 궤도(2)를 둘러싸도록 내측 커버(9)를 설치했기 때문에, 내측 커버(9) 내의 공기가 재치부(15)쪽으로 흐르기 어려워진다. 또한, 내측 커버(9) 내에 팬 필터 유닛(10)을 설치하였기 때문에, 반송 대차(4)의 하부에서 차륜과 궤도(2)간의 접촉으로 인해 발생될 우려가 있는 먼지가 제거되어, 물품(S)이 오염되기가 더욱 어려워진다. In the tracked bogie system 1 according to the first embodiment of such a configuration, when the conveyance bogie 4 travels on the trajectory 2, the downflow (DF) (4), and is discharged from the discharge port (8). This makes it difficult for dust to adhere to the article S. Moreover, since the inner cover 9 is provided so as to surround the trajectory 2, the air in the inner cover 9 is less likely to flow toward the receiving portion 15. [ Since the fan filter unit 10 is provided in the inner cover 9, the dust that may be generated due to the contact between the wheel and the orbit 2 at the lower portion of the conveyance truck 4 is removed, ) Becomes more difficult to be contaminated.

<제 2 실시형태>&Lt; Second Embodiment >

제 2 실시형태에서는, 도 6 및 도 7에 나타내는 바와 같이, 분출포트(107), 반송 대차(104)의 격벽부(115c), 내측 커버(109) 및 배출포트(108)의 구성이 제 1 실시형태와 다르다. 6 and 7, the configuration of the ejection port 107, the partition wall portion 115c of the conveyance truck 104, the inner cover 109, and the discharge port 108 is the same as that of the first Which is different from the embodiment.

분출포트(107)는 제 1 실시형태보다 작고 그 수가 많다. 또한, 분출포트(107)에 다운 플로우용 팬 필터 유닛은 설치되지 않았다. The ejection port 107 is smaller and larger in number than the first embodiment. Further, a fan filter unit for downflow was not provided in the jet port 107. [

반송 대차(104)의 격벽부(115c)는, 재치부(115) 상면의 전면이 아닌 부분적으로 배치되어 있다. 구체적으로는, 도 7에 나타내는 바와 같이 재치부(115) 상면 중 좌우방향의 중심부에만 형성되어 있다. The partition wall portion 115c of the conveyance truck 104 is partially disposed not on the front surface of the placement unit 115 but on the front face. Specifically, as shown in Fig. 7, only the central portion of the upper surface of the placement unit 115 in the left and right direction is formed.

내측 커버(109)의 좌측 커버(109a) 및 우측 커버(109b)의 구부러진 선단은, 도 7에 나타내는 바와 같이, 구동 주행부(16a)의 구동 프레임(20a) 및 종동 주행부(16b)의 종동 프레임(20b)의 양측부까지 연장되어 있다. 따라서, 제 1 실시형태보다 구부러진 부분의 길이가 길다. 7, the bent ends of the left cover 109a and the right cover 109b of the inner cover 109 are engaged with the driven frame 16a of the drive frame 20a and the driven running portion 16b of the drive drive portion 16a And extend to both side portions of the frame 20b. Therefore, the length of the bent portion is longer than that of the first embodiment.

한편, 반송 대차(104)의 격벽부(115c)는, 재치부(115) 상면의 전면이 아닌 부분적으로 배치되어 있다. 구체적으로는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 내측 커버(109)로 덮인 부분을 제외한, 재치부(115) 상면 중 좌우방향의 중심부에만 형성되어 있다. 제 2 실시형태에 있어서도 격벽부(115c)의 폭(W)은, 좌측 커버(109a) 및 우측 커버(109b)의 구부러진 선단의 간격(D)보다 크다. 이로써, 제 1 실시형태와 같은 작용효과를 거둔다. On the other hand, the partition wall portion 115c of the conveyance truck 104 is partially disposed not on the front surface of the placement portion 115. [ Specifically, as shown in Fig. 7, only the center portion of the upper surface of the placement unit 115 in the left and right direction is formed except for the portion covered with the inner cover 109. As shown in Fig. The width W of the partition wall portion 115c is larger than the distance D between the bent ends of the left cover 109a and the right cover 109b in the second embodiment. As a result, the same operation and effect as those of the first embodiment are obtained.

또한, 배출포트(108)는, 측방커버(106)가 아닌, 바닥 커버(105)의 내측 커버(109)의 외측에, 예컨대, 그레이팅(grating) 또는 펀칭 메탈(punching metal)의 형태로 형성되어 있다. 배출포트(108)는, 제 1 실시형태와 같이 주행 방향으로 간격을 두고 형성되어 있지는 않고, 주행 방향의 전체 길이에 걸쳐 형성되어 있다. The discharge port 108 is formed on the outside of the inner cover 109 of the bottom cover 105 instead of the side cover 106 in the form of a grating or a punching metal have. The discharge ports 108 are not formed at intervals in the running direction as in the first embodiment, but are formed over the entire length in the running direction.

그 밖의 구성은, 제 1 실시형태와 같으므로, 설명을 생략한다. The rest of the configuration is the same as that of the first embodiment, and a description thereof will be omitted.

이러한 구성의 제 2 실시형태에서는, 반송 대차(104)의 경량화를 꾀할 수 있다. 그러나, 내측 커버(109)는, 제 1 실시형태의 내측 커버(9)보다 구부러진 부분의 길이가 길어지는 만큼 중량이 증가한다. In the second embodiment having such a configuration, the weight of the conveyance truck 104 can be reduced. However, the weight of the inner cover 109 increases as the length of the portion bent than that of the inner cover 9 of the first embodiment becomes long.

(10) 기류해석(10) Air flow analysis

제 1 실시형태에 의한 반송 대차(4) 및 내측 커버(9)와 제 2 실시형태에 의한 반송 대차(104) 및 내측 커버(109)에서 기류가 어떻게 움직이는지를 시뮬레이션하였다. A simulation was performed on how the airflow moves in the conveyance truck 4 and the inner cover 9 according to the first embodiment and in the conveyance truck 104 and the inner cover 109 according to the second embodiment.

제 1 실시형태 및 제 2 실시형태 모두, 반송 대차의 기동 직후에는 그 후방의 350mm 정도의 범위에서 기류가 내측 커버(9,109) 내부로부터 분출된다. 그러나, 0.8초 후에는 분출된 기류가, 하향 기류가 되어 내측 커버(9,109) 내부로 되돌아와, 기류가 반송 대차(4,104)의 재치부(15,115)까지는 상승하지 않는 것을 확인하였다. In both of the first embodiment and the second embodiment, immediately after the start of the conveyance truck, airflow is emitted from the inside of the inner cover (9, 109) in the range of about 350 mm behind it. However, after 0.8 seconds, it was confirmed that the jet flow was returned to the inside of the inner cover 9,109 as a downward airflow, and the airflow did not rise to the placement portions 15,115 of the conveyance trucks 4,104.

(11) 특징(11) Features

(A) 궤도식 대차 시스템(1)은, 다운 플로우(DF)식의 청정한 공기가 천정(13)으로부터 분출되는 분출포트(7)를 갖는 클린룸 내에 배치되는 시스템이다. 궤도식 대차 시스템(1)은, 궤도(2)와, 반송 대차(4)와, 바닥 커버(5)와, 측방 커버(6)와, 배출포트(8)를 구비하고 있다. 궤도는, 클린룸 내에서 천정으로부터 매달려 있다. 반송 대차(4)는, 궤도(2)를 따라 주행하며 물품(S)을 반송할 수 있다. 바닥 커버(5)는 궤도(2)의 바닥부를 덮는다. 측방 커버(6)는 궤도(2) 및 반송 대차(4)의 측방을 덮는다. 바닥 커버(5)와 측방 커버(6)와 천정(13)으로 둘러싸인 주행 공간(14)으로 분출포트(7)로부터 다운 플로우(DF)식의 공기가 도입된다. 배출포트(8)는, 바닥 커버(5) 및 측방 커버(6) 중 적어도 어느 하나에 설치되어, 분출포트(7)로부터 도입된 다운 플로우(DF)식의 공기를 배출한다. (A) The tracked cargo system 1 is a system in which a clean air of downflow (DF) type is disposed in a clean room having an ejection port 7 from which the ceiling 13 is ejected. The tracked truck system 1 is provided with a track 2, a conveyance truck 4, a bottom cover 5, a side cover 6 and a discharge port 8. The orbit hangs from the ceiling in the clean room. The conveyance truck 4 travels along the trajectory 2 and can transport the article S. The bottom cover 5 covers the bottom of the orbit 2. The side cover 6 covers the sides of the track 2 and the conveyance truck 4. Downflow (DF) air is introduced from the spray port 7 into the running space 14 surrounded by the bottom cover 5, the side cover 6 and the ceiling 13. The discharge port 8 is provided in at least one of the bottom cover 5 and the side cover 6 to discharge the downflow (DF) air introduced from the spray port 7.

이러한 궤도식 대차 시스템(1)에서 반송 대차(4)는, 천정(13)과 바닥 커버(5)와 측방 커버(6)로 둘러싸인 주행 공간(14)을 주행하며 물품(S)을 반송한다. 상기 주행 공간(14)에 분출포트(7)로부터 다운 플로우(DF)식의 공기가 도입된다. 도입된 다운 플로우(DF)식의 공기는 배출포트(8)로부터 배출된다. In this crawler / bicycle system 1, the conveying carriage 4 travels the running space 14 surrounded by the ceiling 13, the bottom cover 5 and the side cover 6 to carry the article S thereon. Downflow (DF) type air is introduced into the running space 14 from the spray port 7. The introduced downflow (DF) air is discharged from the discharge port 8.

여기서는, 먼지발생의 원인이 되는 주행하는 반송 대차(4)에 대하여 천정(13)으로부터 다운 플로우(DF)식의 공기가 닿기 때문에, 물품(S)을 반송 대차(4) 상에 노출시켜 배치하여도 물품에 먼지가 부착되기 어려워진다. 이 때문에, 클린룸 내에서 반송되는 물품(S) 및 카세트(C)의 오염을 가급적 방지할 수가 있다. Here, since the downflow (DF) type air from the ceiling 13 comes into contact with the running conveyance carriage 4 causing the generation of dust, the articles S are arranged on the conveyance carriage 4 so as to be exposed It is difficult for dust to adhere to the article. Therefore, contamination of the article S and the cassette C conveyed in the clean room can be prevented as much as possible.

(B) 측방 커버(6)의 내측에서 궤도의 주위를 덮는 내측 커버(9)와, 내측 커버(9) 내의 공기를 흡인하는 팬 필터 유닛(10)을 더 구비하고 있다. 이로써, 가장 먼지를 발생시킬 우려가 있는 좌측 구동륜(21a), 우측 구동륜(21b), 좌측 종동륜(21c) 및 우측 종동륜(21d)과 궤도(2)간의 접촉부분을 내측 커버(9)로 덮고, 덮인 공간의 공기를 팬 필터 유닛(10)으로 흡인하여 발생된 먼지를 제거할 수 있다. 이 때문에, 좌측 구동륜(21a), 우측 구동륜(21b), 좌측 종동륜(21c) 및 우측 종동륜(21d)과 궤도(2)의 사이에서 발생된 먼지가 물품(S)측으로 분출되기 어려워져, 물품(S)의 오염을 더욱 방지할 수가 있다. (B) An inner cover (9) for covering the periphery of the orbit at the inner side of the side cover (6) and a fan filter unit (10) for sucking air in the inner cover (9). Thereby, the contact portion between the left drive wheel 21a, the right drive wheel 21b, the left follower wheel 21c and the right follower wheel 21d and the orbit 2, which may generate the most dust, And the air in the covered space can be sucked by the fan filter unit 10 to remove the generated dust. This makes it difficult for the dust generated between the left drive wheel 21a, the right drive wheel 21b, the left follower wheel 21c and the right follower wheel 21d and the orbit 2 to be ejected toward the article S, The contamination of the article S can be further prevented.

(C) 내측 커버(9(또는 109))는, 궤도(2)의 양 측방에 한 쌍으로 배치된 제 1 커버로서의 좌측 커버(9a) 및 제 2 커버로서의 우측 커버(9b)를 갖는다. 그리고, 반송 대차(4)는, 제 1 커버(9a)와 제 2 커버(9b) 간의 간격(D)보다 큰 폭(W)을 갖는 격벽부(15c)를 갖는다. 이로써, 격벽부(15c)와 내측 커버(9)에 의해 한정된 공간이 형성되어, 팬 필터 유닛(10)에 의한 흡인을 도움에 따라, 먼지가 내측 커버(9) 밖으로 유출되는 것을 감소시킬 수가 있다. (C) The inner cover 9 (or 109) has a left cover 9a as a first cover and a right cover 9b as a second cover arranged on both sides of the track 2 in a pair. The transport bogie 4 has a partition wall portion 15c having a width W larger than an interval D between the first cover 9a and the second cover 9b. Thereby, the space defined by the partition wall portion 15c and the inner cover 9 is formed, and it is possible to reduce the outflow of the dust outside the inner cover 9 with the help of the suction by the fan filter unit 10 .

(D) 배출포트(8)는, 측방 커버(6)의 하부에 설치되어 있다. 이로써, 주행 공간(14) 내로부터의 물건의 낙하를 방지하기 쉬워진다. (D) The discharge port 8 is provided in the lower part of the side cover 6. [ This makes it easier to prevent falling of the object from the inside of the traveling space 14. [

(12) 기타 실시형태(12) Other Embodiments

이상, 본 발명의 일 실시형태에 대해 설명하였는데, 본 발명은 상기 실시형태로 한정되는 것은 아니며, 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변경이 가능하다. 특히, 본 명세서에 기재된 복수의 실시형태 및 변형예는 필요에 따라 임의로 조합가능하다. Although the embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications are possible without departing from the gist of the invention. In particular, the plurality of embodiments and modifications described in this specification may be arbitrarily combined as needed.

(a) 상기 실시형태에서는, 측방 커버(6)가 궤도(2)의 양 측방에 배치되어 있지만, 측방 커버의 배치는 상기 실시형태로 한정되지 않는다. 예컨대, 상기한 루프 궤도와 같은 무단(endless) 순환 형상으로 이동하는 경우, 궤도의 외측(예컨대, 도 2의 좌측)에만 측방 커버를 설치하여도 무방하다. 이 경우, 궤도의 내주(內周)측을 포함하는 타원형의 공간이 형성된다. (a) In the above embodiment, the side cover 6 is disposed on both sides of the track 2, but the arrangement of the side cover is not limited to the above embodiment. For example, when moving in an endless circular shape such as the above-described loop trajectory, a side cover may be provided only on the outer side of the track (for example, the left side in FIG. 2). In this case, an elliptical space including the inner circumferential side of the trajectory is formed.

(b) 상기 실시형태에서는, 카세트(C) 내에 물품(S)이 노출되어 수납되어 있지만, 노출되지 않고 물품(S)이 카세트(C)에 밀폐되어 수납되는 형태여도 본 발명을 적용할 수 있다. 이 경우, 카세트(C)의 오염을 방지할 수 있다. (b) In the above embodiment, the present invention can be applied to a case in which the article S is exposed and accommodated in the cassette C, but the article S is not exposed and the article S is enclosed in the cassette C . In this case, contamination of the cassette C can be prevented.

(c) 상기 실시형태에서는, 분출포트(7)에 다운 플로우용 팬 필터 유닛(32)을 배치하였다. 그러나, 본 발명은 이것으로 한정되지 않으며, 분출포트는, 다운 플로우(DF)식의 청정한 공기를 주행 공간(14) 내에 도입할 수 있으면 되고, 팬 필터 유닛을 설치하지 않아도 무방하다. (c) In the above embodiment, the downflow fan filter unit 32 is arranged in the jetting port 7. However, the present invention is not limited to this, and it is sufficient that the jet port can introduce the downflow (DF) clean air into the travel space 14, and the fan filter unit need not be provided.

(d) 상기 실시형태에서는, 측방 커버(6)의 바닥 커버(5)보다 상방에 배출포트(8)를 설치하였으나, 도 8에 나타낸 실시형태에서는, 배출포트(208)를 바닥 커버(5)와의 경계부분에 설치하였다. 도 8에서 측방 커버(206)는, 받침대(pedestal)(240)상에 놓아 높이를 높였고, 그 높인 부분의 틈새가 배출포트(208)로 되어 있다. 이와 같이 배출포트(208)를 측방 커버(206)의 바닥 커버(5)와의 경계부분에 배치하여도 무방하다. (d) In the embodiment described above, the discharge port 8 is provided above the bottom cover 5 of the side cover 6. In the embodiment shown in Fig. 8, the discharge port 208 is connected to the bottom cover 5, As shown in FIG. 8, the side cover 206 is placed on a pedestal 240 to raise its height, and a clearance of the raised portion is a discharge port 208. In this way, the discharge port 208 may be disposed at the boundary with the bottom cover 5 of the side cover 206.

(e) 상기 실시형태에서는, 배출포트를 측방 커버 또는 바닥 커버에 설치하였지만, 양쪽 모두에 설치하여도 무방하다. (e) In the above embodiment, the discharge ports are provided in the side cover or the bottom cover, but they may be provided in both of them.

(f) 상기 실시형태에서는, 측방 커버(6)를 천정(13)까지 연장시켰지만, 천정(13)과 틈새를 벌려도 무방하다.(f) In the above embodiment, the side cover 6 is extended to the ceiling 13, but it is also possible to open a gap with the ceiling 13.

본 발명은, 클린룸 내에서 궤도를 주행하는 반송 대차에 의해 물품을 반송하는 궤도식 반송 시스템에 적용가능하다. INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is applicable to a tracked transport system for transporting an article by a transport truck that travels in an orbit in a clean room.

1 : 궤도식 대차 시스템
2 : 궤도
4 : 반송 대차
5 : 바닥 커버
6 : 측방 커버
7 : 분출포트
8 : 배출포트
9 : 내측 커버
10 : 팬 필터 유닛
11 : 주행 레일
11a : 제 1 주행 레일
11b : 제 2 주행 레일
12 : 주행 가이드
12a : 제 1 주행 가이드
12b : 제 2 주행 가이드
13 : 천정
14 : 주행 공간
15 : 재치(載置)부
15a : 제 1 부착부
15b : 제 2 부착부
15c : 격벽부
16 : 주행부
16a : 구동 주행부
16b : 종동(從動) 주행부
17 : 비접촉 급전선(給電線)
17a : 리츠선(Litz wire)
17b : 리츠선
20a : 구동 프레임
20b : 종동 프레임
21a : 좌측 구동륜
21b : 우측 구동륜
21c : 좌측 종동륜
21d : 우측 종동륜
22a : 좌측 고정 가이드 롤러
22b : 우측 고정 가이드 롤러
23a : 좌측 분기 가이드 롤러
23b : 우측 분기 가이드 롤러
24a : 좌측 구동모터
24b : 우측 구동모터
28a : 좌측 픽업 유닛
28b : 우측 픽업 유닛
29a : 좌측 부착 브래킷
29b : 우측 부착 브래킷
30 : 매달기 부재
31 : 궤도 지지 프레임
32 : 다운 플로우용 팬 필터 유닛
104 : 반송 대차
105 : 바닥 커버
106 : 측방 커버
108 : 배출포트
109 : 내측 커버
115 : 재치부
115c : 격벽부
206 : 측방 커버
208 : 배출포트
240 : 받침대1: Tracked lorry system
2: Orbit
4: Bouncing carriage
5: Floor cover
6: Side cover
7: Spout port
8: Exhaust port
9: Inner cover
10: Fan filter unit
11: Driving rail
11a: a first running rail
11b: a second running rail
12: Driving Guide
12a: 1st driving guide
12b: 2nd travel guide
13: Ceiling
14: Driving space
15: Mounting section
15a: first attachment portion
15b:
15c:
16:
16a:
16b:
17: Non-contact feeder (feeder)
17a: Litz wire
17b:
20a: driving frame
20b: a driven frame
21a: Left drive wheel
21b: right drive wheel
21c:
21d: Right braking wheel
22a: left fixed guide roller
22b: right fixing guide roller
23a: left branching guide roller
23b: right branching guide roller
24a: Left drive motor
24b: right drive motor
28a: Left pickup unit
28b: right pick-up unit
29a: Left attachment bracket
29b: Right attachment bracket
30: Suspension member
31: track support frame
32: Fan filter unit for downflow
104: Bouncing carriage
105: Floor cover
106: side cover
108: exhaust port
109: Inner cover
115:
115c:
206: Side cover
208: exhaust port
240: Stand

Claims (4)

다운 플로우식의 청정한 공기가 천정으로부터 분출되는 분출포트를 갖는 클린룸 내에 배치되는 궤도식 대차 시스템으로서,
상기 클린룸 내에서 천정으로부터 매달린 궤도와,
상기 궤도를 따라 주행하며 물품을 반송할 수 있는 반송 대차와,
상기 궤도의 바닥부를 덮는 바닥 커버와,
상기 궤도 및 반송 대차의 측방을 덮는 측방 커버와,
상기 바닥 커버 및 측방 커버 중 적어도 어느 하나에 설치되어, 상기 분출포트로부터 도입된 상기 다운 플로우식의 공기를 배출하는 배출포트를 구비하고,
상기 측방 커버의 내측에서 상기 궤도의 주위를 덮는 내측 커버와,
상기 내측 커버 내의 공기를 흡인하는 팬 필터 유닛을 더 구비한 궤도식 대차 시스템. A tracked lading system in which a clean, down-flow air is disposed in a clean room having an ejection port for ejecting from the ceiling,
An orbit suspended from the ceiling in the clean room,
A conveyance truck which travels along the orbit and can convey the article,
A bottom cover covering the bottom of the track,
A side cover covering lateral sides of the track and the conveyance truck,
And a discharge port provided in at least one of the bottom cover and the side cover for discharging the downflow air introduced from the spray port,
An inner cover that covers the periphery of the orbit from the inside of the side cover,
And a fan filter unit for sucking air in the inner cover. 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 내측 커버는, 상기 궤도의 양 측방에 한 쌍으로 배치된 제 1 커버 및 제 2 커버를 가지며,
상기 반송 대차는, 상기 제 1 커버와 제 2 커버 간의 간격보다 큰 폭을 갖는 격벽부를 구비한 궤도식 대차 시스템. The method according to claim 1,
Wherein the inner cover has a first cover and a second cover arranged in pairs on both sides of the track,
Wherein the conveying truck has a partition wall portion having a width larger than a distance between the first cover and the second cover. 제 1항에 있어서,
상기 배출포트는, 상기 측방 커버의 하부에 설치되어 있는 궤도식 대차 시스템.The method according to claim 1,
And the exhaust port is installed at a lower portion of the side cover.
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