KR101536188B1 - Plate-shaped article transporting device - Google Patents

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다쓰히사 쓰지
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가부시키가이샤 다이후쿠
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Abstract

본 발명은, 소형의 공기 공급원으로부터의 공기의 공급으로 판상체(板狀體)를 적절히 비접촉 상태로 지지할 수 있는 판상체 반송(搬送) 장치를 제공한다. 판상체의 하면을 향해 공기를 공급하여 판상체를 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단을, 반송 방향을 따라 구비되어 공기 공급원으로부터 공급된 공기를 위쪽을 향해 분출하는 공기 분출부와, 공기 분출부에 대하여 가로 폭 방향의 양측에 인접하는 상태로 배치된 한쌍의 안내판부를 구비하여 구성하고, 한쌍의 안내판부의 한쪽에서의 가로 폭 방향의 공기 분출부로부터 이격(離隔)되는 측의 단부(端部)에 돌조부(突條部)를 구비하고, 돌조부를, 반송되는 판상체의 하면보다 아래쪽에 위치하는 높이로 안내판부의 상면으로부터 위쪽으로 돌출시키고 또한 반송 방향을 따라 형성한다.The present invention provides a plate-shaped article carrying apparatus capable of supporting a plate-like body in a non-contact state properly by supply of air from a small air supply source. A blowing-type support means for supporting the plate-shaped body in a noncontact state by supplying air toward the lower face of the plate-like body, an air blowing portion provided along the conveying direction for blowing the air supplied from the air supply source upward, And a pair of guide plate portions disposed on both sides of the pair of guide plate portions in a state of being adjacent to both sides in the widthwise direction of the pair of guide plate portions, And the protruding portion is formed to protrude upward from the upper surface of the guide plate portion at a height lower than the lower surface of the transported plate body and along the transport direction.

Description

판상체 반송 장치{PLATE-SHAPED ARTICLE TRANSPORTING DEVICE}[0001] PLATE-SHAPED ARTICLE TRANSPORTING DEVICE [0002]

본 발명은, 판상체(板狀體)의 하면을 향해 공기를 공급하여 판상체를 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단과, 판상체에 대하여 반송(搬送) 방향에서의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단을 포함하여 구성되어 있는 판상체 반송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an air blowing type air conditioner comprising air blowing support means for supplying air toward a lower surface of a plate body to support the plate body in a noncontact state and means for supplying a propulsion force to the plate- The present invention relates to a plate-like object conveying device including a plate-like object conveying device.

이러한 판상체 반송 장치는, 송풍식 지지 수단에 의해 판상체의 하면을 향해 공기를 공급하여 판상체를 비접촉 상태로 지지하고, 그 판상체에 대하여 추진력 부여 수단에 의해 반송 방향에서의 추진력을 부여하여, 판상체를 반송 방향을 따라 반송하는 것이다.Such a plate-like object conveying device is a device in which air is supplied toward the lower surface of the plate-shaped object by air blowing-type support means to support the plate-shaped object in a noncontact state, and propulsion force in the conveying direction is given to the plate- , And the platelet is transported along the transport direction.

그리고, 이와 같은 판상체 반송 장치에 있어서, 종래에는, 판상체의 하면에서의 비접촉 상태로 지지하는 범위의 전체에 걸쳐 대향하는 상태로 공기 분출부를 설치하고, 공기 분출부로부터 위쪽을 향해 분출된 공기를, 판상체의 하면에서의 비접촉 상태로 지지하는 범위의 전체에 걸쳐 공급함으로써, 송풍식 지지 수단에 의해 판상체를 비접촉 상태로 지지하고 있는 것이 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).Conventionally, in such a plate-like object conveying device, an air ejecting portion is provided so as to oppose the entire range of the non-contact state supported by the lower surface of the plate-shaped member, and the air ejected from the air ejecting portion Contact state with the lower surface of the plate-shaped member, thereby supporting the plate-shaped member in a noncontact state by the blow-type support means (see, for example, Patent Document 1).

일본공개특허 제2005-029359호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-029359

그러나, 상기한 종래의 판상체 반송 장치에서는, 공기 분출부로부터 위쪽을 향해 분출된 공기를, 판상체의 하면에서의 비접촉 상태로 지지하는 범위의 전체에 걸쳐 공급하고 있으므로, 공기 분출부로부터 분출하는 범위가 넓기 때문에, 공기 분출부로부터 위쪽을 향해 분출하는 공기의 양이 많아지게 되고, 그 결과, 공기 공급원으로부터 공급되는 공기량이 많이 필요하므로, 공기 공급원은 대량의 공기를 공급 가능한 대형인 것으로 되어 있었다.However, in the above-described conventional plate-shaped article transporting apparatus, since the air blown upward from the air blowing section is supplied over the entire range of the non-contact state at the lower face of the plate-shaped body, The amount of air ejected from the air ejecting portion toward the upper side increases, and as a result, a large amount of air is supplied from the air supply source, so that the air supply source is large in size to be able to supply a large amount of air .

본 발명은, 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 그 목적은, 공기 공급원의 소형화를 도모하면서 공기 공급원으로부터의 공기의 공급에 의해 판상체를 적절히 비접촉 상태로 지지할 수 있는 판상체 반송 장치를 제공하는 점에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a plate-shaped article carrying apparatus capable of supporting a plate- Device.

본 발명에 관한 판상체 반송 장치는, 판상체의 하면을 향해 공기를 공급하여 판상체를 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단과, 판상체에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단을 포함하여 구성되어 있는 것으로서,The plate-shaped goods conveying apparatus according to the present invention includes blowing-type support means for supplying air toward the lower face of the plate-like body to support the plate-shaped body in a noncontact state, and driving force applying means for imparting a driving force to the plate- As a result,

상기 송풍식 지지 수단이, 상기 반송 방향을 따라 구비되어 공기 공급원으로부터 공급된 공기를 위쪽을 향해 분출하는 공기 분출부와, 상기 공기 분출부로부터 판상체의 하면에 분출된 공기를 판상체의 하면을 따라 상기 반송 방향과 교차하는 가로 폭 방향으로 안내할 수 있도록 상기 공기 분출부에 대하여 상기 가로 폭 방향의 양측에 인접하는 상태로 배치된 한쌍의 안내판부를 구비하여 구성되며, 상기 한쌍의 안내판부의 한쪽 또는 양쪽에서의 상기 가로 폭 방향의 상기 공기 분출부로부터 이격(離隔)되는 측의 단부(端部)에 돌조부(突條部)가 구비되고, 상기 돌조부가, 반송되는 판상체의 하면보다 아래쪽에 위치하는 높이에 상기 안내판부의 상면으로부터 위쪽으로 돌출하고 또한 상기 반송 방향을 따라 형성되어 있다.Wherein the blowing-type support means comprises: an air ejecting portion provided along the conveying direction and ejecting the air supplied from the air supply source upward; and an air ejecting portion for ejecting the air ejected from the air ejecting portion onto the lower surface of the plate- And a pair of guide plate portions disposed on both sides in the lateral width direction with respect to the air ejecting portion so as to be guided in the lateral width direction intersecting with the conveying direction, and one or both of the pair of guide plate portions Wherein a projecting portion is provided at an end portion of the side in the widthwise direction which is spaced apart from the air ejecting portion on both sides and the projecting portion is located below the lower surface of the plate- And is formed along the conveying direction. [0052] As shown in Fig.

즉, 공기 공급원으로부터 공기 분출부에 공기가 공급되어, 그 공기가 공기 공급부로부터 위쪽을 향해 분출된다. 그리고, 공기 분출부로부터 위쪽을 향해 분출된 공기는 판상체의 하면에 공급되고, 이 판상체의 하면에 공급된 공기는, 안내판부와 판상체와의 사이의 공간을 안내판부의 상면 및 판상체의 하면을 따라 가로 폭 방향으로 유동(流動)한다.That is, air is supplied from the air supply source to the air ejecting portion, and the air is ejected upward from the air supply portion. The air blown upward from the air spouting portion is supplied to the lower surface of the plate-like member, and the air supplied to the lower surface of the plate-like member passes through the space between the guide plate portion and the plate- (Flows) in the transverse direction along the lower surface.

즉, 공기 분출부가 설치되어 있는 개소에서는, 공기 분출부로부터 위쪽을 향해 분출된 공기에 의해 판상체의 하면을 비접촉 상태로 지지할 수 있고, 또한 안내판부가 설치되어 있는 개소에서는, 그 안내판부 상에 형성된 공기층에 의해 판상체의 하면을 비접촉 상태로 지지할 수 있다. 그리고, 판상체의 하면을 비접촉 상태로 지지하는 공기 분출부와 안내판부 중, 공기의 분출은 공기 분출부만으로 되므로, 송풍식 지지 수단으로부터 판상체의 하면에 공급하는 공기의 양을 적게 할 수 있어, 공기 공급원으로부터 공급하는 공기량을 적게 할 수 있으므로, 공기 공급원의 소형화를 도모할 수 있다.That is, in the portion provided with the air ejecting portion, the lower surface of the plate-shaped body can be supported in a noncontact state by the air ejected upward from the air ejecting portion, and in the portion provided with the guide plate portion, The lower surface of the plate-like member can be supported in a non-contact state by the formed air layer. Since the air ejection portion and the guide plate portion, which support the lower surface of the plate-shaped body in a noncontact state, are ejected only by the air ejection portion, the amount of air supplied to the lower surface of the plate- , It is possible to reduce the amount of air supplied from the air supply source, so that the size of the air supply source can be reduced.

그리고, 안내판부의 상면을 따라 외측으로 유동하는 공기는, 돌조부의 존재에 의해 안내판부의 단부로부터 쉽게 배기되지 않으므로, 판상체의 단부에 있어서도 공기층을 형성하기 쉬워져, 안내판부 상에 형성된 공기층에 의해 판상체를 비접촉 상태로 적절히 쉽게 지지하게 된다. 따라서, 공기 공급원의 소형화를 도모하면서 공기 공급원으로부터의 공기의 공급으로 판상체를 적절히 비접촉 상태로 지지할 수 있는 판상체 반송 장치를 제공할 수 있기에 이르렀다.Since the air flowing outward along the upper surface of the guide plate portion is not easily exhausted from the end portion of the guide plate portion due to the presence of the protruding portion, the air layer is easily formed even at the end portion of the plate- So that the plate member can be suitably and easily supported in a noncontact state. Accordingly, it has become possible to provide a plate-shaped article transporting device capable of properly supporting the plate-shaped body in a noncontact state by supplying air from an air supply source while reducing the size of the air supply source.

본 발명에 관한 판상체 반송 장치의 실시형태에 있어서는, 상기 추진력 부여 수단으로서, 판상체에서의 반송 방향과 교차하는 상기 가로 폭 방향의 일단부를 접촉 지지하여 판상체에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 일단측의 추진력 부여 수단과, 판상체에서의 상기 가로 폭 방향의 타단부를 접촉 지지하여 판상체에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 타단측의 추진력 부여 수단과의 한쌍의 추진력 부여 수단이 구비되고, 상기 송풍식 지지 수단이, 평면에서 볼 때, 상기 한쌍의 추진력 부여 수단의 사이에 설치되고, 상기 송풍식 지지 수단에서의 상기 한쌍의 안내판부 중 한쪽 또는 양쪽이, 상기 추진력 부여 수단의 근방까지 연장되어 있는 것이 바람직하다.In the embodiment of the plate-shaped article transporting apparatus according to the present invention, as the driving force applying means, one end portion in the transverse direction intersecting with the transport direction of the plate-shaped body is contactably supported to give a propelling force to the plate- And a pair of driving force applying means, which is a driving force applying means on the other end side for contacting and supporting the other end portion in the transverse direction of the plate-like member in the carrying direction with respect to the plate- Wherein one or both of the pair of guide plate portions of the blowing-type support means are provided between the pair of driving force applying means as viewed in a plan view, It is preferable to extend to the vicinity.

즉, 일단측의 추진력 부여 수단에 의해, 판상체에서의 가로 폭 방향의 일단부를 접촉 지지하고, 타단측의 추진력 부여 수단에 의해, 판상체에서의 가로 폭 방향의 타단부를 접촉 지지하여, 한쌍의 추진력 부여 수단에 의해, 판상체에서의 가로 폭 방향의 양 단부를 접촉 지지하고 있다. 따라서, 한쌍의 추진력 부여 수단에 의해 판상체의 가로 폭 방향의 양 단부를 접촉 지지함으로써 판상체를 안정된 상태로 지지하고, 그 지지한 판상체의 양 단부에 대하여 추진력이 부여되므로, 안정된 상태로 판상체를 반송 방향을 따라 반송할 수 있다.That is, one end portion in the transverse direction of the plate-like member is contactably supported by the one-end driving force applying means and the other end portion in the transverse direction of the plate-like member is contacted and supported by the other- Both end portions in the lateral width direction of the plate member are contacted and supported by the driving force applying means. Therefore, by supporting both ends of the plate-like object in the transverse direction by the pair of propulsion-imparting means, the propelling force is applied to both ends of the plate-like object supported thereby, The upper body can be transported along the transport direction.

그리고, 송풍식 지지 수단이, 평면에서 볼 때, 한쌍의 추진력 부여 수단의 사이에 설치되고, 송풍식 지지 수단에서의 한쌍의 안내판부 중 한쪽 또는 양쪽이, 추진력 부여 수단의 근방까지 연장되어 있으므로, 송풍식 지지 수단에 의해, 판상체에서의 추진력 지지 수단에 의해 접촉 지지되어 있는 부분의 근방까지 비접촉 상태로 지지할 수 있으므로, 추진력 부여 수단과 송풍식 지지 수단에 의해 판상체를 적절히 지지할 수 있다.The air blowing-type support means is provided between a pair of propelling power applying means as viewed in a plan view, and one or both of the pair of guide plate portions in the blowing-type support means extend to the vicinity of the propelling power providing means, It is possible to support the plate member by the propulsive force applying means and the ventilated support means in a noncontact state by the air blowing support means up to the vicinity of the portion supported by the propulsion force support means in the plate member .

본 발명에 관한 판상체 반송 장치의 실시형태에 있어서는, 상기 한쌍의 안내판부 중 한쪽의 안내판부가, 다른 쪽의 안내판부 보다 상기 가로 폭 방향으로 광폭(廣幅)으로 형성되고, 상기 한쌍의 안내판부 중 상기 한쪽에 안내판부에만 상기 돌조부가 구비되어 있는 것이 바람직하다.In the embodiment of the plate-shaped goods conveying apparatus according to the present invention, one of the pair of guide plate portions is formed in a wider width in the lateral width direction than the other guide plate portion, It is preferable that the protruding portion is provided only in the guide plate portion on the one side of the guide portion.

즉, 한쪽의 안내판부의 가로 폭 방향의 폭은, 다른 쪽의 안내판부의 가로 폭 방향의 폭보다 광폭으로 형성되어 있으므로, 공기 분출부로부터 분출된 공기는 다른 쪽의 안내판부 측으로 쉽게 유동할 수 있고, 한쪽의 안내판부 측으로 쉽게 유동하지 않게 된다. 그러나, 공기 분출부로부터 한쪽의 안내판부 측으로 유동한 공기는, 돌조부의 존재에 의해 유동이 저지되므로 단부로부터 쉽게 배기되지 않게 된다. 그러므로, 한쪽의 안내판부 상에서도 공기층이 쉽게 형성되게 할 수 있다. 따라서, 한쪽의 안내판부에서는, 돌조부를 구비함으로써 안내판부 상에 공기층이 쉽게 형성될 수 있고, 다른 쪽의 안내판부에서는, 협폭(狹幅)으로 형성함으로써 안내판부 상에 공기층이 쉽게 형성될 수 있어, 한쌍의 안내판부 상에 형성된 공기층에 의해 판상체를 비접촉 상태로 적절히 쉽게 지지할 수 있게 된다.That is, since the width of the one guide plate portion in the lateral width direction is wider than the width of the other guide plate portion in the lateral width direction, air ejected from the air ejection portion can easily flow toward the other guide plate portion side, So that it can not easily flow toward one guide plate portion side. However, since the flow of the air that has flowed from one air guide portion to one guide plate portion is blocked by the presence of the protruding portion, the air is not easily exhausted from the end portion. Therefore, it is possible to easily form the air layer on one guide plate portion. Therefore, in one guide plate portion, the air layer can be easily formed on the guide plate portion by providing the protuberance portion, and in the other guide plate portion, the air layer can be easily formed on the guide plate portion So that the plate member can be suitably and easily supported in a noncontact state by the air layer formed on the pair of guide plate portions.

본 발명에 관한 판상체 반송 장치의 실시형태에 있어서는, 상기 송풍식 지지 수단이, 상기 가로 폭 방향으로 간격을 둔 상태로 한쌍 배열하여 구비되어, 상기 한쌍의 송풍식 지지 수단의 사이에 상기 판상체 상의 공기를 상기 판상체의 아래쪽의 공간으로 배기하는 배기용의 간극이 형성되고, 상기 한쌍의 송풍식 지지 수단의 각각의 상기 한쌍의 안내판부의, 상기 가로 폭 방향에 있어서 상기 배기용의 간극에 가까운 쪽의 안내판부를, 상기 배기용의 간극보다 먼 쪽의 안내판부보다 상기 가로 폭 방향으로 협폭으로 형성하고, 상기 한쌍의 안내판부 중 상기 배기용의 간극보다 먼 쪽의 안내판부에만 상기 돌조부가 구비되어 있는 것이 바람직하다.In the embodiment of the plate-shaped article transporting apparatus according to the present invention, the air-blowing-type supporting means are provided in pairs in a state of being spaced apart in the lateral direction, and between the pair of air- Wherein a gap for exhausting air on the upper surface of the plate-like body is exhausted to a space below the plate-like body, and a gap for exhausting in the widthwise direction of each of the pair of guide plate portions of each of the pair of blow- And the guide plate portion of the pair of guide plate portions is formed narrower in the widthwise direction than the guide plate portion farther from the gap for exhausting, and only the guide plate portion farther from the gap for exhausting of the pair of guide plate portions is provided .

즉, 배기용의 간극보다 먼 쪽의(즉, 외측의) 안내판부의 가로 폭 방향의 폭은, 배기용의 간극에 가까운 쪽의(즉, 내측의) 안내판부의 가로 폭 방향의 폭보다 광폭으로 형성되어 있으므로, 공기 분출부로부터 분출된 공기는 내측의 안내판부 측으로 쉽게 유동할 수 있고, 외측의 안내판부 측으로 쉽게 유동하지 않게 된다. 그러나, 공기 분출부로부터 외측의 안내판부 측으로 유동한 공기는, 돌조부의 존재에 의해 유동이 저지되므로 단부로부터 쉽게 배기되지 않게 된다. 그러므로, 외측의 안내판부 상에서도 공기층이 쉽게 형성되게 할 수 있다. 따라서, 외측의 안내판부에서는, 돌조부를 구비함으로써 안내판부 상에 공기층이 쉽게 형성될 수 있고, 내측의 안내판부에서는, 협폭으로 형성함으로써 안내판부 상에 공기층이 쉽게 형성될 수 있어, 한쌍의 안내판부 상에 형성된 공기층에 의해 판상체를 비접촉 상태로 적절히 쉽게 지지할 수 있게 된다.That is, the width in the lateral width direction of the guide plate portion farther from the gap for exhaust (i.e., outside) is formed to be wider than the width in the lateral width direction of the guide plate portion closer to the gap for exhausting The air ejected from the air ejecting portion can easily flow toward the inside guide plate portion side and can not easily flow toward the guide plate side portion outside. However, the air that has flowed from the air spouting portion to the side of the guide plate portion outside is prevented from being easily exhausted from the end portion because the flow is blocked by the existence of the protrusion portion. Therefore, the air layer can be easily formed also on the outer guide plate portion. Therefore, in the outer guide plate portion, the air layer can be easily formed on the guide plate portion by providing the protruding portion, and in the inner guide plate portion, the air layer can be easily formed on the guide plate portion by forming the narrow portion, It is possible to suitably and easily support the plate-shaped body in a noncontact state by the air layer formed on the plate portion.

본 발명에 관한 판상체 반송 장치의 실시형태에 있어서는, 상기 공기 공급원이, 전동식의 송풍팬과 제진(除塵) 필터를 일체로 조립하여 구성된 팬 필터 유닛에 의해 구성되어 있는 것이 바람직하다.In the embodiment of the plate-shaped article transporting apparatus according to the present invention, it is preferable that the air supply source is constituted by a fan filter unit constituted by integrally assembling an electric blowing fan and a dust removing filter.

즉, 전동식의 송풍팬과 제진 필터를 일체로 조립한 팬 필터 유닛을 설치하는 것만으로 공기 공급원을 설치할 수 있으므로, 송풍식 지지 수단의 설치가 간단한 것으로 되고, 따라서, 판상체 반송 장치의 제작의 용이화를 도모할 수 있다.In other words, since the air supply source can be provided only by providing the fan filter unit in which the electric blowing fan and the dust removing filter are integrally assembled, the installation of the blowing-type support means is simplified, We can plan anger.

본 발명에 관한 판상체 반송 장치의 실시형태에 있어서는, 상기 공기 공급원으로부터의 공기가 압입(壓入)되는 챔버 공간을 형성하는 챔버부가 설치되고, 상기 공기 분출부가, 상기 챔버부의 상부에 구비되고, 상기 공기 공급원이, 판상체의 반송 경로의 가로 폭 내에 위치하는 개소에서, 또한 평면에서 볼 때 상기 챔버부에서의 상기 분출구와 중복되지 않도록 상기 챔버부에 대하여 수평 방향으로 어긋난 개소에 설치되어 있는 것이 바람직하다.In the embodiment of the plate-shaped substance transporting apparatus according to the present invention, a chamber portion forming a chamber space into which air from the air supply source is press-fitted is provided, the air ejecting portion is provided on the chamber portion, The air supply source is provided at a position located within the horizontal width of the conveyance path of the plate member and at a position shifted in the horizontal direction with respect to the chamber portion so as not to overlap with the air outlet in the chamber portion when viewed from the plane desirable.

즉, 공기 공급원으로부터의 공기는, 안내 통로부를 유동하여 챔버부의 챔버 공간에 압입되므로 공기 공급원으로부터 공급되는 공기에 맥동(脈動; pu1sation)이 생긴 것으로 해도, 그 맥동을 챔버 공간의 쿠션 작용(cushioning)에 의해 흡수하므로, 분출구로부터 분출되는 공기의 맥동을 억제할 수 있다.That is, since the air from the air supply source flows through the guide passage portion and is press-fitted into the chamber space of the chamber portion, even if pulsation occurs in the air supplied from the air supply source, the pulsation is caused by cushioning of the chamber space, The pulsation of the air ejected from the ejection port can be suppressed.

그리고, 공기 공급원이, 평면에서 볼 때 챔버부에서의 분출구와 중복되지 않도록 챔버부에 대하여 수평 방향으로 어긋난 개소에 설치되어 있다. 따라서, 파손된 판형체의 파편 등의 이물질이 분출구로부터 챔버 공간 내에 침입했다고 해도, 그 이물질이 직접 공기 공급원에 낙하하지 않으므로, 공기 공급원에 이물질이 쉽게 침입하지 않도록 할 수 있다. 즉, 침입한 이물질을 챔버부에 머물도록 할 수 있으므로, 챔버 공간 내의 이물질을 제거하는 것만으로 되는 등, 이물질의 제거 작업이 용이하게 행해진다.Then, the air supply source is provided at a position shifted in the horizontal direction with respect to the chamber portion so as not to overlap with the jet port in the chamber portion as seen from the plane. Therefore, even if foreign matter such as broken pieces of the plate-shaped body breaks into the chamber space from the jetting port, the foreign matter does not directly fall on the air supply source, so that foreign matter can be prevented from easily entering the air supply source. That is, since the intruded foreign matter can be kept in the chamber portion, the foreign matter in the chamber space is only removed, and the foreign matter can be easily removed.

또한, 본 발명에 관한 판상체 반송 장치의 실시형태에 있어서는, 상기 돌조부가 상기 반송 방향을 따라 직선형으로 연속적으로 연이어 형성되어 있는 것이 바람직하다.Further, in the embodiment of the plate-shaped article transporting apparatus according to the present invention, it is preferable that the protruding portions are formed continuously and continuously in a linear shape along the transport direction.

도 1은 판상체 반송 장치의 사시도이다.
도 2는 판상체 반송 장치의 종단(縱斷) 정면도이다.
도 3은 송풍식 지지 수단의 종단 정면도이다.
도 4는 챔버부의 종단 정면도이다.
도 5는 다른 실시형태의 송풍식 지지 수단의 정면도이다.1 is a perspective view of a plate-shaped article transporting apparatus.
2 is a front elevational view of the plate-shaped article carrying device.
Fig. 3 is a longitudinal front elevational view of the ventilated support means. Fig.
4 is a longitudinal front view of the chamber portion.
5 is a front view of an air blowing type support means of another embodiment.

이하, 본 발명에 관한 판상체 반송 장치를, 판상체로서 직사각형의 기판, 상세하게는, 평판 디스플레이(flat panel display)용의 유리 기판을 반송하도록 구성한 경우에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, a case in which a plate-shaped object transporting apparatus according to the present invention is configured to transport a rectangular substrate as a plate, and more specifically a glass substrate for a flat panel display, will be described with reference to the drawings.

도 1에 나타낸 바와 같이, 판형체 반송 장치(H)는, 유리 기판(1)의 하면을 향해 청정 공기를 공급하여 유리 기판(1)을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단(2)과, 유리 기판(1)의 하면을 접촉 지지하여 유리 기판(1)에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단(3)을 구비하여 구성되어 있다. 그리고, 판상체 반송 장치(H)는, 송풍식 지지 수단(2) 및 추진력 부여 수단(3)을 구비한 판상체 반송 유닛(U)을 반송 방향으로 복수 대 병설하여 구성되어 있다.1, the plate-shaped material transporting apparatus H includes air blowing-type support means 2 for supplying clean air toward the lower surface of the glass substrate 1 to support the glass substrate 1 in a non-contact state, And a thrust applying means (3) for supporting the lower surface of the glass substrate (1) by contacting and supporting the glass substrate (1) with a thrust in the transport direction. The plate conveying device H is constituted by arranging a plurality of plate-shaped conveying units U each having an air blowing-type supporting means 2 and an impelling force applying means 3 in the conveying direction.

추진력 부여 수단(3)은, 유리 기판(1)의 하면에서의 반송 방향과 직교하는 가로 폭 방향의 단부를 접촉 지지하는 회전 롤러(6)를 반송 방향을 따라 복수 개 병설하고, 각각의 회전 롤러(6)를 그에 대응하는 전동 모터(7)에 의해 별개로 회전 구동시켜 유리 기판(1)에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여하도록 구성되어 있다. 이와 같은 구성 대신에, 1개의 전동 모터에 의해, 기어 기구를 통하여 복수 개의 회전 롤러를 회전 구동시키는 것도 가능하다.The driving force applying means 3 is provided with a plurality of rotating rollers 6 which contact and support the end portions in the lateral width direction perpendicular to the carrying direction on the lower surface of the glass substrate 1 along the carrying direction, (6) is rotationally driven separately by an electric motor (7) corresponding thereto to give a thrust force to the glass substrate (1) in the transport direction. Instead of such a configuration, it is also possible to rotationally drive a plurality of rotating rollers through a gear mechanism by one electric motor.

또한, 추진력 부여 수단(3)으로서, 유리 기판(1)의 하면에서의 가로 폭 방향의 일단부를 접촉 지지하여 유리 기판(1)에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 일단측의 추진력 부여 수단(3)과, 유리 기판(1)의 하면에서의 가로 폭 방향의 타단부를 접촉 지지하여 유리 기판(1)에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 타단측의 추진력 부여 수단(3)의 한쌍의 추진력 부여 수단(3)이 구비되어 있다. 그리고, 이들 한쌍의 추진력 부여 수단(3)에 의해, 유리 기판(1)의 하면에서의 가로 폭 방향의 양 단부를 아래쪽으로부터 접촉 지지하고, 또한 그 양 단부에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여하도록 되어 있다.The thrust applying means 3 is a means for applying thrust force to the glass substrate 1 at one end in the widthwise direction of the glass substrate 1 to support the glass substrate 1 in the carrying direction 3 of the glass substrate 1 and a pair of driving force applying means 3 on the other end side for contacting and supporting the other end in the lateral width direction on the lower surface of the glass substrate 1 and for imparting the driving force in the carrying direction to the glass substrate 1 A thrust applying means 3 is provided. Both the ends in the widthwise direction of the lower surface of the glass substrate 1 are contact-supported from below by the pair of driving force applying means 3 and the driving force is applied to both ends of the glass substrate 1 in the carrying direction .

도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 송풍식 지지 수단(2)은, 평면에서 볼 때, 한쌍의 추진력 부여 수단(3) 사이에 설치되어 있다. 그리고, 송풍식 지지 수단(2)은, 유리 기판(1)의 반송 경로의 가로 폭 내에 전체가 위치하는 개소에 설치되어, 유리 기판(1)의 하면에서의 가로 폭 방향의 중간부에 청정 공기를 공급하여 유리 기판(1)을 비접촉 상태로 지지하도록 되어 있다.As shown in Figs. 2 and 3, the air blowing-type support means 2 is provided between a pair of driving force applying means 3 when seen in a plan view. The blowing-type support means 2 is provided at a position where the blowing-type support means 2 is entirely located within the horizontal width of the conveyance path of the glass substrate 1, and clean air So as to support the glass substrate 1 in a noncontact state.

즉, 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 판상체 반송 장치(H)는, 유리 기판(1)의 가로 폭 방향의 양 단부를 추진력 부여 수단(3)에 의해 접촉 지지하고, 유리 기판(1)의 가로 폭 방향의 중앙부를 송풍식 지지 수단(2)에 의해 비접촉 지지한 상태에서, 추진력 부여 수단(3)에 의해 유리 기판(1)의 가로 폭 방향의 양 단부에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여함으로써, 유리 기판(1)을 반송 방향을 따라 반송하도록 구성되어 있다.2 and 3, the plate-shaped goods conveying apparatus H is constituted such that both end portions in the transverse direction of the glass substrate 1 are contact-supported by the urging force applying means 3 and the glass substrate 1 ) Of the glass substrate 1 with respect to both ends in the transverse direction of the glass substrate 1 by the thrust applying means 3 in a state in which the central portion in the transverse direction of the glass substrate 1 is not contact- So that the glass substrate 1 is transported along the transport direction.

[송풍식 지지 수단][Ventilating type support means]

다음에, 송풍식 지지 수단(2)에 대하여 설명한다.Next, the blowing-type support means 2 will be described.

도 3에 나타낸 바와 같이, 송풍식 지지 수단(2)은, 공기 공급용의 공기 공급원(11)과, 챔버부(14)와, 안내 통로부(15)와, 안내판부(16)를 구비하여 구성되어 있다. 챔버부(14)는, 공기 공급원(11)으로부터의 공기가 압입되는 챔버 공간(12)을 형성하고 있고, 이 챔버 공간(12)으로부터 위쪽을 향해 공기를 분출하는 분출구(13)를 구비하고 있다. 안내 통로부(15)는, 공기 공급원(11)으로부터 공급되는 공기를 챔버부(14)에 안내한다. 안내판부(16)는, 분출구(13)로부터 유리 기판(1)의 하면을 향해 분출된 공기를 유리 기판(1)의 하면을 따라 유동 안내할 수 있도록 챔버부(14)에 인접하는 상태로 설치되어 있다. 여기서 「압입」이라는 표현은, 공기 공급원(11)으로부터 챔버 공간(12) 내에 도입된 공기의 압력이, 챔버부(14)의 외부보다 높아지도록 도입된다는 의미에서 사용된다. 이 압력 때문에, 공기는 분출구(13)로부터 분출된다.3, the blowing-type support means 2 includes an air supply source 11 for supplying air, a chamber portion 14, a guide passage portion 15, and a guide plate portion 16 Consists of. The chamber section 14 forms a chamber space 12 into which air from the air supply source 11 is pressurized and has a jet port 13 for jetting air upward from the chamber space 12 . The guide passage portion 15 guides the air supplied from the air supply source 11 to the chamber portion 14. The guide plate portion 16 is installed in a state of being adjacent to the chamber portion 14 so that the air ejected from the jetting port 13 toward the lower surface of the glass substrate 1 can be guided along the lower surface of the glass substrate 1 . Is used in the sense that the pressure of the air introduced from the air supply source 11 into the chamber space 12 is introduced so as to be higher than the outside of the chamber part 14. [ Because of this pressure, the air is ejected from the air outlet 13.

송풍식 지지 수단(2)은, 공기 공급원(11)으로부터 공급된 공기를, 안내 통로부(15)를 통하여 반송 방향을 따라 설치된 챔버부(14)에 안내하고, 챔버부(14)에 있어서 맥동이 억제된 공기를 분출구(13)로부터 위쪽을 향해 분출하도록 구성되어 있다.The air blowing type support means 2 guides the air supplied from the air supply source 11 to the chamber portion 14 provided along the carrying direction through the guide passage portion 15, So that the suppressed air is ejected upward from the air outlet 13.

그리고, 송풍식 지지 수단(2)에 의해 유리 기판(1)을 비접촉 지지하고 있는 상태에서는, 분출구(13)로부터 위쪽을 향해 분출된 공기는 유리 기판(1)의 하면을 향해 공급되고, 이 유리 기판(1)의 하면을 향해 공급된 공기는, 안내판부(16)와 유리 기판(1)과의 사이의 공간을 안내판부(16)의 상면 및 유리 기판(1)의 하면을 따라 가로 폭 방향으로 유동한다.The air blown upward from the air outlet 13 is supplied toward the lower surface of the glass substrate 1 in a state in which the glass substrate 1 is not contact supported by the air blowing-type support means 2, The air supplied toward the lower surface of the substrate 1 is guided to the space between the guide plate portion 16 and the glass substrate 1 along the upper surface of the guide plate portion 16 and along the lower surface of the glass substrate 1 in the transverse width direction .

이와 같이 공기를 유동시켜 안내판부(16)와 유리 기판(1)과의 사이에 공기층을 형성함으로써, 유리 기판(1)의 하면을 향해 공기를 분출하는 챔버부(14)가 설치되어 있는 개소에 있어서 유리 기판(1)을 비접촉 상태로 지지할뿐아니라, 그 옆쪽의 안내판부(16)가 설치되어 있는 개소에 있어서도 유리 기판(1)을 비접촉 상태로 지지 가능하도록 되어 있다.By forming the air layer between the guide plate portion 16 and the glass substrate 1 by flowing the air in this manner, a portion where the chamber portion 14 for ejecting air toward the lower surface of the glass substrate 1 is provided Not only the glass substrate 1 is supported in a noncontact state but also the glass substrate 1 can be held in a noncontact state even in a place where the guide plate portion 16 on the side is provided.

송풍식 지지 수단(2)은, 서로 간격을 둔 상태로 가로 폭 방향으로 한쌍 배열하여 구비되어 있고, 한쌍의 송풍식 지지 수단(2) 사이에, 안내판부(16) 상의 공기를 안내판부(16)의 아래쪽의 공간으로 배기하는 배기로(17)[중앙부의 배기로(17a)라고 하는 경우가 있고, 본원의 배기로 또는 배기용의 간극에 상당함]이 형성되어 있다. 또한, 한쌍의 송풍식 지지 수단(2)의 각각은, 추진력 부여 수단(3)에 대하여 서로 간격을 둔 상태로 구비되어 있고, 송풍식 지지 수단(2)과 추진력 부여 수단(3)과의 사이에도 안내판부(16) 상의 공기를 안내판부(16)의 아래쪽의 공간으로 배기하는 배기로(17)[단부의 배기로(17b)라고 하는 경우가 있음]가 형성되어 있다.The air blowing-type support means 2 is provided so as to be spaced apart from each other in a pair in the widthwise direction and air is blown between the pair of blowing-type support means 2 through the guide plate portion 16 The exhaust passage 17 (the exhaust passage 17a at the central portion, corresponding to the exhaust passage or exhaust gap of the present invention) for exhausting the exhaust gas to a space below the exhaust passage 17 is formed. Each of the pair of blowing-type support means 2 is provided in a state of being spaced apart from each other with respect to the propulsion force imparting means 3 and is provided between the blow propulsion support means 2 and the propulsion force imparting means 3 An exhaust passage 17 (sometimes referred to as an exhaust passage 17b at the end) for exhausting the air on the guide plate portion 16 to the space below the guide plate portion 16 is formed.

또한, 송풍식 지지 수단(2)은, 연속하는 상태로 반송 방향으로 병설되어 있고, 반송 방향으로 인접하는 챔버부(14)끼리의 사이나 반송 방향으로 인접하는 안내판부(16)끼리의 사이에는 간극은 형성되어 있지 않다.The air blowing-type support means 2 is provided in a continuous manner in the conveying direction, and is sandwiched between the adjacent chamber portions 14 in the conveying direction or between the adjacent guide plate portions 16 in the conveying direction No gap is formed.

다음에, 송풍식 지지 수단(2)의 각 부에 대하여 설명을 추가하지만, 한쌍의 송풍식 지지 수단(2)은, 폭 방향에서의 중앙 위치에 있어서 반송 방향을 따라 연장되는 가상선에 대하여 대칭적으로 구성되어 있는 점 이외에는 마찬가지로 구성되어 있으므로, 가로 폭 방향의 한쪽에 위치하는 송풍식 지지 수단(2)에 대하여 설명하고, 다른 쪽에 위치하는 송풍식 지지 수단(2)에 대해서는 설명을 생략한다. 또한, 송풍식 지지 수단(2)의 각 부에 대하여 설명하는 데 있어서, 가로 폭 방향에서의 중앙부의 배기로(17a)가 형성되어 있는 측을 내측, 가로 폭 방향에서의 단부의 배기로(17b)가 형성되어 있는 측을 외측이라고 하여 설명하는 경우가 있다.Next, a description will be given of each part of the blowing-type support means 2, but the pair of blowing-type support means 2 are symmetrical with respect to the imaginary line extending in the conveying direction at the central position in the width direction The air blowing-type support means 2 located on one side in the lateral direction will be described, and the description of the air blowing-type support means 2 located on the other side will be omitted. In the description of each part of the air blowing-type support means 2, the side where the exhaust passage 17a is formed at the center in the lateral width direction is referred to as the inside, the exhaust passage 17b at the end in the lateral widthwise direction Is formed on the outer side is referred to as the outer side.

[공기 공급원][Air supply source]

공기 공급원(11)은, 전동식의 송풍팬(9)과 제진 필터(10)를 일체로 조립하여 구성된 팬 필터 유닛에 의해 구성되어 있고, 송풍팬(9)이 세로 축심 주위로 회전하고, 그 송풍팬(9)의 위쪽을 덮도록 제진 필터(10)가 설치되어 있다. 이와 같이 공기 공급원(11)을 배치함으로써, 송풍팬(9)을 회전 구동시킴으로써 공기 공급원(11)의 아래쪽의 공기를 급기(給氣)하고, 그 급기된 공기를 제진 필터(10)를 통해 공기 공급원(11)의 위쪽으로 청정 공기로서 배기하여, 위쪽을 향해 공기를 공급하도록 배치되어 있다.The air supply source 11 is constituted by a fan filter unit constituted by integrally assembling an electric blowing fan 9 and a vibration damping filter 10 so that the blowing fan 9 rotates about the vertical axis, A vibration damping filter 10 is provided so as to cover the upper side of the fan 9. By arranging the air supply source 11 as described above, the air blowing from the air supply source 11 is supplied by rotating the blowing fan 9, and the air supplied from the air supply source 11 is supplied to the air And is disposed above the supply source 11 as clean air to supply air upward.

또한, 공기 공급원(11)은, 평면에서 볼 때 직사각형으로 형성되어 있고, 공기 공급원(11)의 가로 폭 방향에서의 폭은, 송풍식 지지 수단(2)의 가로 폭 방향에서의 폭의 1/2~1/3 정도이며, 공기 공급원(11)의 반송 방향에서의 폭은, 송풍식 지지 수단(2)의 반송 방향의 폭의 1/2 정도이다.The air supply source 11 is formed in a rectangular shape in a plan view and the width in the lateral width direction of the air supply source 11 is 1 / 2 to 1/3 and the width of the air supply source 11 in the carrying direction is about 1/2 of the width of the blowing-type holding means 2 in the carrying direction.

공기 공급원(11)은, 이 공기 공급원(11)의 공급면(상면)에 형성된 공급구(18)가 평면에서 볼 때 챔버부(14)에서의 분출구(13)와 중복되지 않도록 챔버부(14)에 대하여 가로 폭 방향의 외측으로 어긋난 개소에 설치되어 있다. 또한, 공기 공급원(11)은, 가로측면에서 볼 때 챔버부(14)와 중복되지 않도록 챔버부(14)에 대하여 상하 방향의 하방 측으로 어긋난 개소에 설치되어 있다.The air supply source 11 is provided so that the supply port 18 formed on the supply surface (upper surface) of the air supply source 11 is not overlapped with the air discharge port 13 in the chamber portion 14 as seen in plan view, In the widthwise direction. The air supply source 11 is provided at a position shifted downward in the vertical direction with respect to the chamber portion 14 so as not to overlap with the chamber portion 14 when viewed from the lateral side.

이와 같이 설치된 공기 공급원(11)은, 그 가로 폭 방향의 내측 단부의 상단이, 챔버부(14)의 가로 폭 방향의 외측 단부의 하단에 근접하는 상태로 설치되어 있다. 또한, 공기 공급원(11)의 내측 단부와 챔버부(14)의 외측 단부와는 평면에서 볼 때 중복되어 있다.The air supply source 11 thus installed is provided in such a state that the upper end of the inner end portion in the lateral width direction is close to the lower end of the outer end portion in the lateral width direction of the chamber portion 14. Further, the inner end of the air supply source 11 and the outer end of the chamber portion 14 are overlapped in a plan view.

[안내 통로부][Guide passage section]

안내 통로부(15)는, 공기 공급원(11)의 공급구(18)와 챔버부(14)의 외측의 가로측면에 형성된 도입구(19)를 연통시키는 상태로 설치된 덕트에 의해 구성되어 있다.The guide passage portion 15 is constituted by a duct provided in a state in which the supply port 18 of the air supply source 11 and the introduction port 19 formed on the lateral side of the outer side of the chamber portion 14 communicate with each other.

설명을 추가하면, 안내 통로부(15)의 한쪽의 단부는, 공급구(18)의 주위에 위치하는 공기 공급원(11)의 프레임체와 접속됨으로써 공기 공급원(11)의 공급면과 접속되고, 안내 통로부(15)의 다른 쪽의 단부는, 도입구(19)의 주위에 위치하는 챔버부(14)의 측판과 접속됨으로써 챔버부(14)의 외측의 가로 측면부(14a)와 접속되어 있다.One end of the guide passage portion 15 is connected to the supply surface of the air supply source 11 by being connected to the frame body of the air supply source 11 located around the supply port 18, The other end of the guide passage portion 15 is connected to the lateral side portion 14a on the outer side of the chamber portion 14 by being connected to the side plate of the chamber portion 14 located around the introduction port 19 .

안내 통로부(15)의 상면 부분은, 가로 폭 방향의 내측으로 갈수록 높게 위치하도록 경사형으로 형성되어 있고, 반송 방향에서 볼 때의 안내 통로부(15)의 형상이 삼각형상으로 형성되어 있다. 이와 같이 형성된 안내 통로부(15)는, 반송 방향에서 볼 때의 상하 방향의 통로 폭이 가로 폭 방향에서 외측[공기 공급원(11)의 외측 단부측]보다 내측[챔버부(14) 측]으로 갈수록 광폭으로 형성되어 있다. 즉, 안내 통로부(15)의 통로 폭은, 공기의 통기량이 많아지는 가로 폭 방향의 내측으로 갈수록 광폭으로 되도록 형성되어 있다.The upper surface portion of the guide passage portion 15 is formed in an inclined shape so as to be positioned higher toward the inside in the lateral width direction and the shape of the guide passage portion 15 when viewed in the carrying direction is formed in a triangular shape. The guide passage portion 15 formed in this way is configured such that the vertical width of the passage in the transport direction as viewed in the transport direction is larger than the outer side (on the side of the outer side of the air supply source 11) And is formed to have a wider width. That is, the passage width of the guide passage portion 15 is formed so as to become wider toward the inside in the lateral width direction in which the amount of the air is increased.

또한, 안내 통로부(15)의, 반송 방향에서의 전단(前端)에 배치된 전면 부분과 후단(後端)에 배치된 후면 부분은, 가로 폭 방향을 따른 자세로 연직(鉛直)으로 세워 설치되어 서로 평행하게 형성되어 있고, 안내 통로부(15)는, 평면에서 볼 때의 가로 폭 방향의 폭이 외측과 내측에서 같은 폭으로 형성되어 있다. 또한, 안내 통로부(15)의 반송 방향에서의 통로 폭은, 공급구(18)나 도입구(19)의 반송 방향에서의 폭과 같은 폭으로 형성되어 있다.The front portion of the guide passage portion 15 disposed at the front end in the carrying direction and the rear portion disposed at the rear end are vertically erected in a posture along the lateral width direction And the width of the guide passage portion 15 in the horizontal width direction when viewed in the plane is formed to be the same width on the outer side and on the inner side. The width of the passage in the conveyance direction of the guide passage portion 15 is formed to have the same width as the width of the supply port 18 and the introduction port 19 in the transport direction.

[챔버부][Chamber part]

도 4에 나타낸 바와 같이, 챔버부(14)는, 반송 방향으로 기울어진 경사진 자세의 사각 상자형으로 형성되어, 반송 방향을 따라 형성되어 있고, 그 내부 공간에 의해 챔버 공간(12)이 형성되어 있다. 즉, 챔버부(14)의 내부 공간을 형성하는 상면부(14b)와 한쌍의 가로 측면부(14a)와 하면부(14c)가 반송 방향으로 연장되어 있다.4, the chamber portion 14 is formed in a rectangular box shape having an inclined posture inclined in the carrying direction and is formed along the carrying direction, and the chamber space 12 is formed by the internal space . That is, the upper surface portion 14b forming the inner space of the chamber portion 14 and the pair of the horizontal side surface portion 14a and the lower surface portion 14c extend in the transport direction.

챔버부(14)에서의 상면부(14b)는, 펀칭 메탈(punching metal)에 의해 구성되어 있고, 이 펀칭 메탈에 형성되어 있는 구멍에 의해 분출구(13)가 형성되어 있다. 이와 같이, 챔버부(14)의 상부에는, 위쪽을 향해 공기를 분출하는 분출구(13)가 다수 형성되어 있고, 챔버부(14)의 상부에, 반송 방향을 따라 구비되어 공기 공급원(11)으로부터 공급된 공기를 위쪽을 향해 분출하기 위해 복수 개의 분출구(13)에 의해 구성된 공기 분출부(20)가 구비되어 있다.The upper surface portion 14b of the chamber portion 14 is constituted by a punching metal and the ejection port 13 is formed by a hole formed in the punching metal. A plurality of air outlets 13 for blowing air upward are formed in the upper part of the chamber part 14 and are provided on the upper part of the chamber part 14 in the direction from the air supply source 11 And an air spouting portion 20 constituted by a plurality of spouting outlets 13 for spraying the supplied air upward.

챔버부(14)의, 반송 방향에서의 전단에 배치된 전면 부분과 후단에 배치된 후면 부분은, 가로 폭 방향을 따른 자세로 연직으로 세워 설치되어 서로 평행하게 형성되어 있다.The front portion of the chamber portion 14 disposed at the front end in the carrying direction and the rear portion disposed at the rear end are vertically erected in a posture along the lateral width direction and are formed parallel to each other.

그리고, 챔버부(14)는, 안내 통로부(15)에 의해 안내되어 온 공기를, 도입구(19)로부터 챔버 공간(12) 내에 도입하고, 그 도입한 공기의 맥동을 억제한 상태에서, 복수 개의 분출구(13)로부터 위쪽을 향해 분출하도록 구성되어 있다.The chamber portion 14 introduces the air guided by the guide passage portion 15 into the chamber space 12 from the inlet 19 and suppresses pulsation of the introduced air, And is configured to jet upward from the plurality of jetting ports (13).

도입구(19)는, 챔버부(14)의 하면부(14c)로부터 설정 높이만큼 높은 개소에 형성되어 있고, 챔버부(14)의 하면부(14c)와 도입구(19)와의 사이에는 단차(段差)가 형성되어 있다.The introducing port 19 is formed at a position as high as the predetermined height from the bottom face 14c of the chamber portion 14. Between the bottom face 14c of the chamber portion 14 and the inlet port 19, (Step difference) is formed.

하면부(14c)는, 가로 폭 방향의 외측 부분의 상면이, 평탄면에 형성되고, 가로 폭 방향의 내측 부분의 상면이, 외측으로 갈수록 위쪽에 위치하는 경사면으로 형성되어 있다.The lower surface portion 14c is formed with a top surface of the outer side portion in the lateral width direction on a flat surface and an upper surface of the inside portion in the lateral width direction is formed as an inclined surface located on the upper side toward the outer side.

그리고, 챔버부(14)에는, 하면부(14c)로부터 내측의 가로 측면부(14a)에 걸쳐 유지보수용 개구(21)가 형성되고, 또한 이 유지보수용 개구(21)를 개폐 가능한 커버 부재(22)를 구비하여 구성되어 있다. 그리고, 커버 부분(22)은, 나비 볼트 등에 의해 구성된 고정 부재에 의해 챔버부(14)에 고정되어 있고, 공구를 사용하지 않고 착탈하여 유지보수용 개구(21)를 개폐할 수 있도록 구성되어 있다.A maintenance opening 21 is formed in the chamber portion 14 from the lower surface portion 14c to the inside lateral side surface portion 14a and a cover member capable of opening and closing the maintenance opening 21 22). The cover portion 22 is fixed to the chamber portion 14 by a fixing member constituted by a wing bolt or the like and is constructed so as to be able to open and close the maintenance opening 21 by being detached without using a tool .

즉, 챔버부(14)는, 파손된 유리 기판(1)의 파편 등의 이물질이 분출구(13)로부터 챔버 공간(12) 내에 침입했다고 해도, 그 이물질을 챔버부(14)의 하면부(14c), 특히, 하면부(14c)에서의 아래쪽으로 팽출(膨出)하는 가로 폭 방향의 외측 부분에서 캐치(catch)할 수 있다. 그리고, 안내 통로부(15)가 챔버부(14)의 가로 측면부(14a)와 접속되어 있는 것, 및 도입구(19)와 하면부(14c)와의 사이에 단차가 형성되어 있으므로, 안내 통로부(15)에 이물질이 침입하는 것을 방지할 수 있고, 이로써, 공기 공급원(11)에 이물질이 침입하는 것을 방지할 수 있도록 구성되어 있다. 그리고, 챔버부(14)의 하면부(14c)에 캐치된 이물질은, 커버 부재(22)를 떼어내어 유지보수용 개구(21)를 개구시킴으로써, 챔버 공간(12) 내의 이물질을 유지보수용 개구(21)를 통해 외부로 인출할 수 있도록 구성되어 있다.That is, even if a foreign substance such as a broken piece of the broken glass substrate 1 infiltrates into the chamber space 12 from the jet port 13, the chamber part 14 can prevent the foreign matter from entering the lower surface part 14c ), Particularly at the outer side portion in the lateral width direction which bulges downward in the lower surface portion 14c. Since the guide passage portion 15 is connected to the lateral side portion 14a of the chamber portion 14 and the step is formed between the introduction port 19 and the bottom portion 14c, It is possible to prevent foreign matter from entering the air supply source 15, thereby preventing foreign matter from entering the air supply source 11. [ The foreign matter caught in the lower surface portion 14c of the chamber portion 14 is removed by removing the cover member 22 and opening the maintenance opening 21 to open the foreign matter in the chamber space 12 to the maintenance opening And can be drawn out to the outside through the opening 21.

또한, 챔버부(14)에는, 공기 공급원(11)으로부터 공급되는 공기의 공급량이 설정량 이하로 되는 것을 검출하는 풍량 검출 수단(24)이 구비되어 있다.The chamber section 14 is also provided with air volume detecting means 24 for detecting that the supply amount of the air supplied from the air supply source 11 becomes a predetermined amount or less.

이 풍량 검출 수단(24)은, 반송 방향을 따른 축심 주위로 요동(搖動) 가능하게 현수(懸垂) 지지된 요동체(25)와, 투광기(投光器)와, 수광기(受光器)에 의해 구성되어 있는 검출체(26)를 구비하여 구성되어 있고, 요동체(25) 및 검출체(26)는, 챔버부(14)에서의 외측의 가로 측면부(14a)의 도입구(19)보다 위쪽 개소에 지지되어 있다. 또한, 요동체(25)는, 연직 자세로 하단이 도입구(19)의 상단보다 아래쪽에 위치하도록 형성되어 있고, 공기 공급원(11)이 작동하여 공기 공급원(11)으로부터 공기가 공급되면, 요동체(25)는 연직 자세로부터 내측으로 요동한 경사 자세로 전환되도록 되어 있다.The air volume detecting means 24 is constituted by a swinging body 25 suspended in suspension so as to be swingable about an axis center along the carrying direction, a light projector, and a light receiver The swinging body 25 and the detecting body 26 are provided at positions above the introduction port 19 of the lateral side surface portion 14a on the outer side in the chamber portion 14 Respectively. When the air supply source 11 is operated and air is supplied from the air supply source 11, the swinging body 25 is moved in the up-and- The moving body 25 is switched to a tilted posture pivotally moved inward from the vertical posture.

그리고, 공기 공급원(11)으로부터 적절히 공기가 공급되고 있는 상태에서는, 요동체(25)가 설정 각도 이상으로 요동함으로써, 검출체(26)는 요동체(25)를 검출하는 검출 상태로 되도록 되어 있다. 또한, 제진 필터(10)의 막힘 등에 의해 공기 공급원(11)으로부터 적절히 공기가 공급되지 않아, 공급되는 공기의 공급량이 설정량[예를 들면, 반송하는 유리 기판(1)이 아래쪽으로 휘어 송풍식 지지 수단(2)에 접촉할 우려가 있는 공급량] 이하로 된 상태에서는, 요동체(25)가 설정 각도 이하로 밖에 요동하지 않으므로, 검출체(26)는 요동체(25)를 검출하지 않는 비검출 상태로 되도록 되어 있다.In a state where air is appropriately supplied from the air supply source 11, the oscillator 25 oscillates at a predetermined angle or more, so that the detector 26 is set in a detection state for detecting the oscillator 25 . In addition, air is not appropriately supplied from the air supply source 11 due to clogging of the damping filter 10 or the like, so that the supply amount of the air to be supplied is set to a predetermined amount (for example, the glass substrate 1, The detection body 26 can not detect the oscillation body 25 in a state where the oscillation body 25 does not detect the oscillation body 25 because the oscillation body 25 does not oscillate at a set angle or less in the state where the oscillation body 25 is in contact with the support means 2 So as to be in the detection state.

[안내판부][Guide plate]

도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 안내판부(16)는, 챔버부(14)[공기 분출부(20)]로부터 유리 기판(1)의 하면을 향해 분출된 공기를 유리 기판(1)의 하면을 따라 가로 폭 방향으로 안내할 수 있도록 챔버부(14)에 대하여 가로 폭 방향의 양측에 인접하는 상태로 한쌍 배치되어 있다. 그리고, 한쌍의 안내판부(16)의 한쪽에서의 외측 단부에 돌조부(27)가 구비되고, 돌조부(27)는, 반송되는 유리 기판(1)의 하면보다 아래쪽에 위치하는 높이에 안내판부(16)의 상면으로부터 위쪽으로 돌출하고 또한 반송 방향을 따라 직선형으로 연속적으로 연장되도록 형성되어 있다.2 and 3, the guide plate portion 16 is formed in such a manner that the air ejected from the chamber portion 14 (air ejecting portion 20) toward the lower surface of the glass substrate 1 is guided to the lower surface of the glass substrate 1 And are disposed adjacent to both sides of the chamber part 14 in the lateral width direction so as to be guided in the lateral direction along the lower surface. A projecting portion 27 is provided at an outer end of one of the pair of guide plate portions 16 and the projecting portion 27 is provided at a height lower than the lower surface of the glass substrate 1 to be conveyed, Protrudes upward from the upper surface of the base plate 16 and extends continuously in a straight line along the carrying direction.

설명을 추가하면, 한쌍의 안내판부(16)의 각각은, 그 상면이 반송되는 유리 기판(1)의 하면을 따르도록 수평 자세로 설치되어 있다. 또한, 챔버부(14)는, 그 상면이 반송되는 유리 기판(1)의 하면을 따르도록 형성되어 있고, 한쌍의 안내판부(16)와 챔버부(14)는, 각각의 상면이 면일치로 되는 상태로 배치되어 있다.As a further explanation, each of the pair of guide plate portions 16 is provided in a horizontal posture so as to follow the lower surface of the glass substrate 1 on which the upper surface thereof is to be conveyed. The chamber section 14 is formed so as to follow the lower surface of the glass substrate 1 on which the upper surface is to be conveyed and the pair of guide plate sections 16 and the chamber section 14 As shown in FIG.

그리고, 한쌍의 안내판부(16) 중 챔버부(14)의 외측에 인접하는 외측의[즉, 배기로(17)로부터 먼 쪽의] 안내판부(16b)는, 그 가로 폭 방향의 외측 단부가, 추진력 부여 수단(3)의 근방까지 연장되어 있고, 챔버부(14)의 내측에 인접하는 내측의[즉, 배기로(17)에 가까운 쪽의] 안내판부(16a)는, 그 가로 폭 방향의 내측 단부가, 판상체 반송 장치(H)의 가로 폭 방향의 중앙부의 근방까지 연장되어 있다.The guide plate portion 16b of the pair of guide plate portions 16 adjacent to the outside of the chamber portion 14 (i.e., away from the exhaust passage 17) has an outer end portion in the lateral width direction And the guide plate portion 16a on the inner side (that is, on the side closer to the exhaust passage 17) adjacent to the inside of the chamber portion 14 extends to the vicinity of the thrusting means 3, Is extended to the vicinity of the central portion in the transverse direction of the plate-like object transport device H.

또한, 내측의 안내판부(16a)는, 외측의 안내판부(16b)보다 가로 폭 방향으로 협폭으로 형성되어 있다. 이와 같이 한쌍의 안내판부(16)의 가로 폭을 형성함으로써, 챔버부(14)는, 단부의 배기로(17b)보다 중앙부의 배기로(17a) 측으로 치우친 상태로 배치되게 되어, 챔버부(14)로부터 분출된 공기가 유리 기판(1)의 중앙 가까이의 하면에 공급되도록 되어 있다.The inner guide plate portion 16a is formed narrower in the lateral width direction than the outer guide plate portion 16b. By forming the width of the pair of guide plate portions 16 as described above, the chamber portion 14 is disposed in a state of being shifted toward the exhaust passage 17a at the central portion than the exhaust passage 17b at the end portion, Is supplied to the lower surface of the glass substrate 1 near the center thereof.

또한, 내측의 안내판부(16a)의 가로 폭 방향의 폭은, 챔버부(14)의 가로 폭 방향의 폭의 1/3~1/4 정도의 폭으로 형성되고, 외측의 안내판부(16b)의 가로 폭 방향의 폭은, 챔버부(14)의 가로 폭 방향의 폭의 2.5배 정도의 폭으로 형성되어 있다.The width of the inner guide plate portion 16a in the lateral width direction is about 1/3 to 1/4 of the width of the chamber portion 14 in the lateral width direction, The width of the chamber portion 14 in the width direction is about 2.5 times the width of the chamber portion 14 in the width direction.

그리고, 돌조부(27)는, 외측의 안내판부(16b)에서의 외측 단부에, 반송 방향을 따라 안내판부(16)의 전체 폭에 걸쳐 구비되어 있다. 또한, 내측의 안내판부(16a)에는 돌조부(27)는 구비되어 있지 않다.The protruding portion 27 is provided on the outer end of the outer guide plate portion 16b over the entire width of the guide plate portion 16 along the carrying direction. Further, the inner guide plate portion 16a is not provided with the protruding portion 27.

즉, 챔버부(14)로부터 단부의 배기로(17b)까지의 거리는, 챔버부(14)로부터 중앙부의 배기로(17a)까지의 거리보다 길므로 챔버부(14)로부터 분출된 공기는 내측으로 쉽게 유동할 수 있고, 외측으로는 쉽게 유동하지 않게 된다. 그러나, 챔버부(14)로부터 외측으로 유동한 공기는, 돌조부(27)의 존재에 의해 단부의 배기로(17b)로부터 쉽게 배기되지 않으므로, 챔버부(14)의 외측에 있어서도 공기층을 쉽게 형성할 수 있도록 되어 있다.That is, the distance from the chamber portion 14 to the exhaust passage 17b at the end is longer than the distance from the chamber portion 14 to the exhaust passage 17a at the center portion, so that the air ejected from the chamber portion 14 is directed inward It can easily flow, and it can not flow easily outward. However, since the air that has flowed outward from the chamber portion 14 is not easily exhausted from the exhaust passage 17b at the end portion due to the presence of the protruding portion 27, the air layer is easily formed even outside the chamber portion 14 .

안내판부(16)에는, 안내판부(16)의 상면보다 위쪽으로 돌출하는 상태로 또한 반송되는 유리 기판(1)에 대하여 아래쪽으로 이격되는 상태로 지지체(28)가 형성되어 있고, 송풍식 지지 수단(2)의 고장 등에 의해 송풍식 지지 수단(2)의 지지력이 저하된 경우 등에 의해 아래쪽으로 휜 유리 기판(1)을, 지지체(28)에 의해 안내판부(16)의 상면보다 위쪽에서 지지 가능하도록 구성되어 있다.The guide plate portion 16 is formed with a support body 28 so as to be spaced apart downward from the glass substrate 1 which is also projected upward from the upper surface of the guide plate portion 16, The glass substrate 1 curved downward can be supported by the support body 28 above the upper surface of the guide plate portion 16 when the support force of the blower support means 2 is lowered due to a failure of the support plate 2, .

그리고, 지지체(28)는, 회전 가능한 수지제의 볼체(ball body)에 의해 구성되어 있고, 내측의 안내판부(16a)에서의 내측 단부, 외측의 안내판부(16b)에서의 가로 폭 방향의 중앙부, 및 외측의 안내판부(16b)에서의 내측 단부의 각각에, 반송 방향을 따라 설정 간격을 두고 설치되어 있다.The support body 28 is constituted by a rotatable resin ball body and has an inner end in the inner guide plate portion 16a and a central portion in the horizontal width direction in the outer guide plate portion 16b. And the inner end portion of the outer guide plate portion 16b with a predetermined interval along the conveying direction.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시형태에서는, 챔버부(14)의 가로 폭 방향의 양측에 위치하는 내측의 안내판부(16a)와 외측의 안내판부(16b) 중, 가로 폭 방향의 폭이 넓은 외측의 안내판부(16b)의 단부에 돌조부(27)를 구비하고 있다. 이와 같이 외측의 안내판부(16b)에 돌조부(27)를 구비함으로써, 챔버부(14)로부터 외측으로 유동한 공기는, 돌조부(27)의 존재에 의해 단부의 배기로(17b)로부터 쉽게 배기되지 않아, 챔버부(14)의 외측에 있어서도 공기층을 형성하기 용이하게 되어 있다.As described above, in this embodiment, of the inner guide plate portion 16a and the outer guide plate portion 16b located on both sides in the lateral width direction of the chamber portion 14, And the protruding portion 27 is provided at the end of the guide plate portion 16b. By providing the protruding portion 27 on the outside guide plate portion 16b as described above, the air that has flowed outward from the chamber portion 14 can be easily removed from the exhaust passage 17b at the end portion due to the presence of the protruding portion 27 The air layer can be easily formed even outside the chamber portion 14 because the air layer is not exhausted.

[다른 실시형태][Other Embodiments]

(1) 상기 실시형태에서는, 내측의 안내판부(16a)를 외측의 안내판부(16b)보다 가로 폭 방향으로 협폭으로 형성하여 구성하였지만, 도 5의 (a)에 나타낸 바와 같이, 내측의 안내판부(16a)를 외측의 안내판부(16b)보다 가로 폭 방향으로 광폭으로 형성하여 구성해도 되고, 또한 내측의 안내판부(16a)와 외측의 안내판부(16b)와의 가로 폭 방향의 폭을 같은 폭으로 형성하여 구성해도 된다.(1) In the above embodiment, the inner guide plate portion 16a is formed narrower in the lateral direction than the outer guide plate portion 16b. However, as shown in Fig. 5 (a) The inner guide plate portion 16a and the outer guide plate portion 16b may be formed to have a width in the lateral width direction that is wider than the outer guide plate portion 16b. .

(2) 상기 실시형태에서는, 한쌍의 송풍식 지지 수단(2)을 서로 간격을 둔 상태로 설치하여, 한쌍의 송풍식 지지 수단(2) 사이에 배기로(17)를 형성하였으나, 도 5의 (b)에 나타낸 바와 같이, 한쌍의 송풍식 지지 수단(2)을 밀접(密接)시킨 상태로 설치하여, 한쌍의 송풍식 지지 수단(2) 사이에 배기로(17)를 형성하지 않아도 되다.(2) In the above embodiment, the pair of blowing-type support means 2 are provided in a spaced relation to each other, and the exhaust passage 17 is formed between the pair of blowing-type support means 2. However, it is not necessary to form the exhaust passage 17 between the pair of blowing-type support means 2 by providing the pair of blowing-type support means 2 in a state of being closely contacted as shown in Fig.

또한, 송풍식 지지 수단(2)을, 가로 폭 방향으로 한쌍 병설하여 구성하였지만, 도 5의 (c)에 나타낸 바와 같이, 송풍식 지지 수단(2)을, 가로 폭 방향으로 1개만 설치하여 복수 개 병설하지 않아도 되고, 또한 송풍식 지지 수단(2)을, 가로 폭 방향으로 다수 병설하여 구성해도 된다.5 (c), only one blowing-type support means 2 is provided in the transverse direction, and a plurality of blowing-type support means 2 are arranged in the widthwise direction, It is not necessary to provide a plurality of blowing-type support means 2 in the widthwise direction.

또한, 송풍식 지지 수단(2)을, 가로 폭 방향으로 1개만 설치한 경우에는, 송풍식 지지 수단(2)에서의 한쌍의 안내판부(16)의 양쪽이, 추진력 부여 수단(3)의 근방까지 연장되어 있다.In the case where only one blowing-type support means 2 is provided in the widthwise direction, both of the pair of guide plate portions 16 in the blowing-type support means 2 are disposed in the vicinity of the thrusting means 3 .

(3) 상기 실시형태에서는, 한쌍의 안내판부(16) 중 한쪽의 안내판부(16)에만 돌조부를 구비하였으나, 도 5의 (c)에 나타낸 바와 같이, 한쌍의 안내판부(16) 중 양쪽의 안내판부(16)에 돌조부(27)를 구비해도 된다.(3) In the above embodiment, only one of the guide plate portions 16 of the pair of guide plate portions 16 is provided with the protrusion portion. However, as shown in Fig. 5C, It is also possible to provide the protruding portion 27 in the guide plate portion 16 of the second housing.

또한, 상기 실시형태에서는, 한쌍의 안내판부(16) 중 외측의 안내판부(16b)에만 돌조부(27)를 구비하였으나, 도 5의 (a)에 나타낸 바와 같이, 한쌍의 안내판부(16) 중 내측의 안내판부(16a)에만 돌조부(27)를 구비해도 된다.5A, the pair of guide plate portions 16 are provided with the protruding portions 27. However, as shown in Fig. 5A, The protruding portion 27 may be provided only on the guide plate portion 16a on the inner side.

(4) 상기 실시형태에서는, 공기 공급원(11)을, 팬 필터 유닛에 의해 구성하였지만, 공기 공급원(11)을, 압축기 등에 의해 구성해도 된다.(4) In the above embodiment, the air supply source 11 is constituted by the fan filter unit. However, the air supply source 11 may be constituted by a compressor or the like.

(5) 상기 실시형태에서는, 추진력 부여 수단(3)으로서, 일단측의 추진력 부여 수단(3)과 타단측의 추진력 부여 수단(3)을 설치하였으나, 추진력 부여 수단(3)으로서, 일단측의 추진력 부여 수단(3) 또는 타단측의 추진력 부여 수단(3) 중 어느 한쪽의 추진력 부여 수단(3)만을 설치해도 되고, 또한 추진력 부여 수단(3)으로서, 유리 기판(1)에서의 가로 폭 방향의 중앙부를 접촉 지지하여 판상체에 대하여 추진력을 부여하는 중앙측의 추진력 부여 수단(3)을 설치해도 된다.(5) In the above-described embodiment, the propulsion force applying means 3 on one end side and the propulsion force imparting means 3 on the other end side are provided as the propulsion force imparting means 3; however, as the propulsion force imparting means 3, Only one thrust force applying means 3 of the thrust force applying means 3 or the thrust force applying means 3 of the other end side may be provided and as the thrust force applying means 3, The center-side thrust force applying means 3 that provides the thrust force to the plate-shaped body by contacting and supporting the central portion of the plate-

(6) 상기 실시형태에서는, 공기 공급원(11)을, 평면에서 볼 때 챔버부(14)에서의 분출구(13)와 중복되지 않도록 챔버부(14)에 대하여 수평 방향으로 어긋난 개소에 설치하였으나, 공기 공급원(11)을, 평면에서 볼 때 챔버부(14)에서의 분출구(13)와 중복되도록 챔버부(14)의 아래쪽의 개소에 설치해도 된다.(6) In the above embodiment, the air supply source 11 is provided at a position shifted in the horizontal direction with respect to the chamber portion 14 so as not to overlap with the air outlet 13 in the chamber portion 14 as viewed in plan. However, The air supply source 11 may be provided at the lower portion of the chamber portion 14 so as to overlap with the air outlet 13 in the chamber portion 14 as seen in plan view.

또한, 상기 실시형태에서는, 송풍식 지지 수단(2)에 챔버부(14)를 설치하였으나, 송풍식 지지 수단(2)에 챔버부(14)를 형성하지 않아도 되고, 공기 공급원(11)으로부터 공급된 공기를 직접 공기 분출부(20)로부터 분출하도록 구성해도 된다.In the above embodiment, the chamber portion 14 is provided in the blowing-type support means 2, but the chamber portion 14 may not be formed in the blowing-type support means 2, Air blown out from the air blowing unit 20 may be configured.

1: 판상체
2: 송풍식 지지 수단
3: 추진력 부여 수단
9: 송풍팬
10: 제진 필터
11: 공기 공급원
14: 챔버부
16: 안내판부
16a: 내측의 안내판부
16b: 외측의 안내판부
17: 배기로
20: 공기 분출부
27: 돌조부1: plate
2: Ventilated support means
3: propulsion means
9: Blower fan
10: Dust filter
11: Air source
14: chamber part
16: guide plate
16a: an inner guide plate
16b: an outer guide plate portion
17: By exhaust
20:
27:

Claims (7)

판상체(板狀體)의 하면을 향해 공기를 공급하여 판상체를 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단과,
상기 판상체에 대하여 반송(搬送) 방향에서의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단을 포함하여 구성되어 있는 판상체 반송 장치로서,
상기 송풍식 지지 수단은,
상기 반송 방향을 따라 구비되어 공기 공급원으로부터 공급된 공기를 위쪽을 향해 분출(噴出)하는 공기 분출부;
상기 공기 분출부로부터 상기 판상체의 하면으로 분출된 공기를 상기 판상체의 하면을 따라 상기 반송 방향과 교차하는 가로 폭 방향으로 안내할 수 있도록 상기 공기 분출부에 대하여 상기 가로 폭 방향의 양측에 인접하는 상태로 배치된 한쌍의 안내판부
를 포함하여 구성되며,
상기 송풍식 지지 수단은, 상기 공기 공급원이 공급하는 공기를, 상기 공기 분출부와 상기 한쌍의 안내판부 중 상기 공기 분출부만에 대하여 공급하도록 구성되고,
상기 한쌍의 안내판부의 한쪽 또는 양쪽에서의 상기 가로 폭 방향의 상기 공기 분출부로부터 이격(離隔)되는 측의 단부(端部)에 돌조부(突條部)가 구비되고,
상기 돌조부는, 반송되는 상기 판상체의 하면보다 아래쪽에 위치하는 높이로 상기 한쌍의 안내판부의 상면으로부터 위쪽으로 돌출하고 또한 상기 반송 방향을 따라 형성되어 있는, 판상체 반송 장치.Blowing-type support means for supplying air toward the lower face of the plate-like body to support the plate-shaped body in a non-contact state,
And a thrusting force applying means for applying thrust in the direction of conveyance (conveyance) to the plate-like object,
The air blowing-
An air blowing unit provided along the conveying direction and ejecting (blowing out) air supplied from an air supply source upward;
The air ejecting portion is provided on both sides in the lateral width direction with respect to the air ejecting portion so as to guide the air ejected from the air ejecting portion to the lower surface of the plate-like member in the lateral width direction crossing the conveying direction along the lower surface of the plate- A pair of guide plates
And,
Wherein the blowing-type support means is configured to supply air supplied by the air supply source only to the air ejecting portion of the air ejecting portion and the pair of guide plate portions,
A protruding portion is provided at an end portion of the one or both of the pair of guide plate portions which is spaced apart from the air ejecting portion in the lateral width direction,
Wherein the protruding portion protrudes upward from an upper surface of the pair of guide plate portions at a height lower than a lower surface of the plate body to be conveyed and is formed along the conveying direction. 제1항에 있어서,
상기 추진력 부여 수단으로서, 상기 판상체에서의 반송 방향과 교차하는 상기 가로 폭 방향의 일단부를 접촉 지지하여 판상체에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 일단측의 추진력 부여 수단과, 상기 판상체에서의 상기 가로 폭 방향의 타단부를 접촉 지지하여 판상체에 대하여 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 타단측의 추진력 부여 수단과의 한쌍의 추진력 부여 수단이 구비되고,
상기 송풍식 지지 수단은, 평면에서 볼 때, 상기 한쌍의 추진력 부여 수단의 사이에 설치되고,
상기 송풍식 지지 수단에서의 상기 한쌍의 안내판부 중 한쪽 또는 양쪽은, 상기 추진력 부여 수단의 근방까지 연장되어 있는, 판상체 반송 장치.The method according to claim 1,
A thrusting force applying means at one end for contacting and supporting one end portion in the transverse direction intersecting with the carrying direction of the plate member with respect to the plate member in the carrying direction, And a thrust force applying means for applying thrust force in the transverse direction to the plate-shaped body by contacting and supporting the other end in the transverse direction of the plate-
Wherein said blowing-type support means is provided between said pair of driving force applying means when seen in plan view,
Wherein one or both of the pair of guide plate portions in the air blowing-type support means extend to the vicinity of the driving force applying means. 제2항에 있어서,
상기 한쌍의 안내판부 중 한쪽의 안내판부는, 다른 쪽의 안내판부보다 상기 가로 폭 방향으로 광폭(廣幅)으로 형성되고,
상기 한쌍의 안내판부 중 상기 한쪽의 안내판부에만 상기 돌조부가 구비되며,
상기 한쌍의 안내판부 중 상기 한쪽의 안내판부는, 상기 가로 폭 방향의 폭이, 상기 공기 분 출부의 상기 가로 폭 방향의 폭보다 크게 되도록 형성되어 있는, 판상체 반송 장치.3. The method of claim 2,
Wherein one of the pair of guide plate portions is formed to be wider in widthwise direction than the other guide plate portion,
The protruding portion is provided only in the one guide plate portion of the pair of guide plate portions,
Wherein the one guide plate portion of the pair of guide plate portions is formed such that the width in the lateral width direction is larger than the width in the lateral width direction of the air outlet portion. 제3항에 있어서,
상기 송풍식 지지 수단은, 상기 가로 폭 방향으로 간격을 둔 상태로 한쌍 배열하여 구비되어, 상기 한쌍의 송풍식 지지 수단의 사이에 상기 한쌍의 안내판부 상의 공기를 상기 한쌍의 안내판부의 아래쪽의 공간으로 배기하는 배기용의 간극이 형성되고,
상기 한쌍의 송풍식 지지 수단의 각각의 상기 한쌍의 안내판부의, 상기 가로 폭 방향에 있어서 상기 배기용의 간극에 가까운 쪽의 안내판부를, 상기 배기용의 간극보다 먼 쪽의 안내판부보다 상기 가로 폭 방향으로 협폭(狹幅)으로 형성하고,
상기 한쌍의 안내판부 중 상기 배기용의 간극보다 먼 쪽의 안내판부에만 상기 돌조부가 구비되어 있는, 판상체 반송 장치.The method of claim 3,
Wherein the air blowing-type support means is provided in a pair in a state of being spaced apart in the lateral width direction, and the air on the pair of guide plate portions is sandwiched between the pair of blowing-type support means into the space below the pair of guide plate portions An exhaust gap for exhausting is formed,
Wherein a guide plate portion closer to the gap for exhaust in the transverse direction of each of the pair of guide plate portions of each of the pair of blower supports is disposed in the transverse width direction And the width is narrow,
Wherein the protruding portion is provided only in the guide plate portion farther from the gap for exhausting than the pair of guide plate portions. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 공기 공급원은, 전동식의 송풍팬과 제진(除塵) 필터를 일체로 조립하여 구성된 팬 필터 유닛에 의해 구성되어 있는, 판상체 반송 장치.5. The method according to any one of claims 1 to 4,
Wherein the air supply source is constituted by a fan filter unit constituted by integrally assembling an electric blowing fan and a dust removing filter. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 공기 공급원으로부터의 공기가 압입(壓入)되는 챔버 공간을 형성하는 챔버부가 설치되고,
상기 공기 분출부는, 상기 챔버부의 상부에 구비되고,
상기 공기 공급원은, 상기 판상체의 반송 경로의 가로 폭 내에 위치하는 개소에서, 또한 평면에서 볼 때 상기 챔버부에서의 상기 공기 분출부와 중복되지 않도록 상기 챔버부에 대하여 수평 방향으로 어긋난 개소에 설치되어 있는, 판상체 반송 장치.5. The method according to any one of claims 1 to 4,
A chamber portion forming a chamber space into which air from the air supply source is press-fitted,
Wherein the air ejecting portion is provided at an upper portion of the chamber portion,
The air supply source is installed at a position located within the horizontal width of the conveyance path of the plate-like member and at a position shifted in the horizontal direction with respect to the chamber portion so as not to overlap with the air ejection portion in the chamber portion when viewed from the plane And the plate-like body conveying device. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 돌조부는 상기 반송 방향을 따라 직선형으로 연속적으로 연장되고,
상기 한쌍의 안내판부에는, 상기 한쌍의 안내판부의 상면보다 위쪽으로 돌출하는 상태로, 또한 반송되는 상기 판상체에 대하여 아래쪽으로 이격되는 상태로, 지지체가 설치되고,
상기 지지체는, 상기 판상체가 아래쪽으로 휠 때, 상기 한쌍의 안내판부의 상면보다 위쪽에서 지지될 수 있도록 구성되어 있는, 판상체 반송 장치.5. The method according to any one of claims 1 to 4,
Wherein the protruding portion continuously extends linearly along the transport direction,
Wherein the pair of guide plate portions are provided with a support body in a state of protruding upward from the upper surface of the pair of guide plate portions and spaced downward with respect to the plate-
Wherein the support body is configured to be supported above the upper surface of the pair of guide plate portions when the plate body is lowered.
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