KR20130109843A - 슬릿코터 - Google Patents

Abstract

슬릿코터를 개시한다.
이러한 슬릿코터는, 기판이 놓여지는 작업대와, 약액이 토출되는 노즐립을 구비하고, 상기 작업대 측에 놓여진 기판에 약액을 도포할 수 있도록 형성된 슬릿노즐부와, 상기 작업대 상에서 상기 슬릿노즐부의 노즐립 길이방향을 따라 움직일 수 있도록 형성된 고정블럭을 구비한 이송부와, 상기 이송부의 고정블럭을 따라 움직이면서 상기 노즐립의 외부면에 묻어있는 약액을 긁어서 걷어낼 수 있는 상태로 배치되는 복수 개의 블레이드를 구비하고, 상기 복수 개의 블레이드 중에서 상기 노즐립의 폭방향 양측면과 대응하는 블레이드는 약액 제거방향을 안내할 수 있도록 안내단이 형성된 약액제거부를 포함한다.

Description

슬릿코터{Slit Coater}

본 발명은 기판 측에 각종 약액을 도포하는 작업에 사용하는 슬릿코터에 관한 것이다.

평판표시소자용 기판 제조 공정 중에는 각종 약액을 기판 측에 도포하는 작업이 있으며, 이러한 약액의 도포 작업에 사용하는 장치 중에는 슬릿코터가 있다.

상기 슬릿코터는, 약액이 토출되는 노즐립이 슬릿형(slit type)으로 형성된 슬릿노즐부를 구비하고 기판의 일측에서 타측을 향하여 순차적으로 약액을 도포할 수 있도록 형성된다.

상기한 슬릿코터는 기판에 약액을 균일하게 도포할 수 있어야 하며, 특히 기판 측에 약액 도포 후 슬릿노즐부의 노즐립 부위에 묻어있는 약액을 전부 제거한 상태로 도포 작업을 진행하는 것이 중요하다.

이와 같이 노즐립에 묻어있는 약액의 제거가 가능한 구조를 갖는 슬릿코터로는, 2007년 본 출원인에 의해 특허 출원되어 등록된 "특허 제10-0897240호의 세정장치를 구비한 슬릿코터"가 있다.

상기 특허 제10-0897240호의 세정장치를 구비한 슬릿코터는, 슬릿노즐의 노즐립을 사이에 두고 양측에 배치된 이동블럭 간에 세정용 유체를 분사하고 흡입력을 발생하면서 클린 및 석션, 건조 분위기로 노즐립을 세정(약액 제거)할 수 있는 세정수단을 구비하여 이루어진다.

하지만, 상기와 같이 세정용 유체를 이용하여 노즐립을 세정하는 방식은, 유체를 분사 및 석션하기 위한 유체 라인 및 구동원들이 추가로 필요하므로 구조가 복잡하고, 제작 및 유지 보수에 과다한 비용이 소요되는 단점이 있다.

더욱이, 상기와 같이 세정용 유체를 분사 및 석션하는 습식 방식으로 세정 작업을 진행하면, 세정 작업 중에 세정용 유체(액체)가 불규칙하게 튀면서 발생할 수 있는 2차 오염을 줄일 수는 있지만, 세정용 유체(액체)에 의한 2차 오염의 발생을 근본적으로 방지하기 어려우므로 만족할 만한 세정 신뢰도 및 작동 안정성을 기대할 수 없다.

본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서,

본 발명의 목적은 특히, 노즐립(Nozzle Lip) 주변에 묻어 있는 약액을 직접 걷어내는 방식으로 간편하게 제거할 수 있는 구조를 구비한 슬릿코터를 제공하는데 있다.

상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 실현하기 위하여,

기판이 놓여지는 작업대;

약액이 토출되는 노즐립을 구비하고, 상기 작업대 측에 놓여진 기판에 약액을 도포할 수 있도록 형성된 슬릿노즐부;

상기 작업대 상에서 상기 슬릿노즐부의 노즐립 길이방향을 따라 움직일 수 있도록 형성된 고정블럭을 구비한 이송부;

상기 이송부의 고정블럭을 따라 움직이면서 상기 노즐립의 외부면에 묻어있는 약액을 긁어서 걷어낼 수 있는 상태로 배치되는 복수 개의 블레이드를 구비하고, 상기 복수 개의 블레이드 중에서 상기 노즐립의 폭방향 양측면과 대응하는 블레이드는 약액 제거방향을 안내할 수 있도록 안내단이 형성된 약액제거부;

를 포함하는 슬릿코터를 제공한다.

이와 같은 본 발명은, 슬릿노즐부를 이용한 슬릿(slit) 도포 방식으로 기판 측에 약액 도포 작업을 진행할 수 있으며, 특히 상기 슬릿노즐부의 노즐립 주변에 불규칙하게 묻어있는 약액을 긁어서 걷어내는 방식으로 제거할 수 있도록 형성된 이송부 및 약액제거부를 구비하고 있으므로 상기 노즐립 주변에 묻어있는 약액을 더욱 간편하고 안정적으로 제거할 수 있다.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일실시 예에 따른 슬릿코터의 전체 구조를 개략적으로 나타낸 도면들이다.
도 3 내지 도 6은 본 발명의 일실시 예에 따른 슬릿코터의 세부 구조 및 작용을 설명하기 위한 도면들이다.

이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명한다.

본 발명의 실시 예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자들이 본 발명의 실시가 가능한 범위 내에서 설명된다.

따라서, 본 발명의 실시 예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있는 것이므로 본 발명의 특허청구범위는 아래에서 설명하는 실시 예들로 인하여 한정되는 것은 아니다.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일실시 예에 따른 슬릿코터의 전체 구조를 개략적으로 나타낸 도면들이고, 도 3 내지 도 5는 본 발명의 일실시 예에 따른 슬릿코터의 세부 구조 및 작용을 설명하기 위한 도면들로서, 도면 부호 2는 작업대를 지칭하고, 도면 부호 4는 슬릿노즐부를 지칭한다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 작업대(2)는 도 1에서와 같이 기판(G)이 놓여지는 작업면(A)을 상부에 구비한 테이블 형태로 제공될 수 있다.

상기 작업면(A)은 기판(G)의 양쪽면 중에서 일면이 지지되면서 평면을 이루는 상태로 놓여질 수 있도록 형성된다.

그리고, 상기 작업대(2)는 도면에는 나타내지 않았지만, 상기 작업면(A) 상에 놓여진 기판(G)을 예를 들어, 통상의 컨베이어 이송 방식, 또는 플로팅(floating) 이송 방식으로 일측에서 타측을 향하여 이송할 수 있는 구조로 제공될 수 있다.

상기 슬릿노즐부(4)는 기판(G) 상에 포토레지스트와 같은 각종 약액(W)을 슬릿(slit) 도포 방식으로 도포할 수 있도록 형성된다.

상기 슬릿노즐부(4)는 약액(W)이 토출되는 노즐(N1)이 형성된 노즐립(N, Nozzle Lip)을 구비하고, 기판(G) 사이즈와 대응하는 길이로 연장된 슬릿(slit) 타입으로 형성된다.

즉, 상기 슬릿노즐부(4)는 예를 들어, 도 1 및 도 2에서와 같이 상기 노즐립(N)의 폭방향 양측면이 아래쪽을 향하여 점차 폭이 좁아지는 형태를 이루면서 일측에서 타측을 향하여 슬릿 타입으로 연장 형성된 구조로 제공될 수 있다.

상기 슬릿노즐부(4)는 기판(G) 일측에서 타측을 향하여 이동되면서 슬릿 코팅 방식으로 기판(G) 측에 약액(W)을 도포할 수 있는 이송 구조를 갖도록 상기 작업대(2)에 셋팅될 수 있다.

예를 들어, 상기 슬릿노즐부(4)는 도 1 및 도 2에서와 같이 상기 작업대(2)의 작업면(A) 일측에서 타측을 향하여 이동 가능하게 설치된 겐트리(B, gantry) 측에 고정되어 상기 작업대(2) 상에서 상기 겐트리(B)에 의해 도포방향으로 이동될 수 있는 구조로 제공될 수 있다.

그리고, 상기 슬릿노즐부(4)는 상기 겐트리(B) 측에 설치될 때 예를 들어, 도 1 및 도 2에서와 같이 레일(B1)을 따라 움직이면서 상기 작업대(2)의 작업면(A)을 향하여 상,하 방향으로 이동이 가능한 구조로 제공될 수 있다.

상기 겐트리(B)는 도면에는 나타내지 않았지만 모터나 실린더와 같은 구동원의 동력을 전달받아서 LM가이드와 같은 레일을 따라 움직이는 통상의 구조로 이루어질 수 있다.

그러면, 상기 슬릿노즐부(4)는, 상기 작업대(2) 상에서 도 3에서와 같이 상기 겐트리(B)의 이동에 의해 작업면(A) 일측에서 타측을 향하여 이동되면서 슬릿 코팅 방식으로 기판(G)에 약액(W)을 균일하게 도포할 수 있다.

상기에서는 작업대(2) 상에 설치된 겐트리(B)에 의해 상기 슬릿노즐부(4)가 움직이면서 약액(W)을 도포하는 구조를 일예로 설명 및 도면에 나타내고 있지만, 본 발명이 이러한 구조에 한정되는 것은 아니다.

예를 들어, 도면에는 나타내지 않았지만 상기 슬릿노즐부(4)가 상기 작업대(2) 일측에 고정된 상태에서 상기 작업면(A)에 놓여진 기판(G)이 통상의 컨베이어 이송 방식 또는 플로팅(floating) 이송 방식에 의해 상기 슬릿노즐부(4)의 설치 지점을 통과하는 상태로 움직일 때 슬릿 도포 방식으로 약액(W)의 도포가 이루어지는 구조로 제공될 수도 있다.

한편, 상기 본 발명의 일실시 예에 따른 슬릿코터는, 상기 슬릿노즐부(4)의 노즐립(N) 측에 묻어있는 약액(W)을 제거하기 위한 약액제거부(6) 및 이송부(8)를 포함한다.

특히, 상기 약액제거부(6) 및 이송부(8)는, 상기 슬릿노즐부(4)로 약액(W)을 토출하면서 도포 작업을 진행할 때, 노즐립(N) 외부면에 달라붙어서 묻어있는 약액(W)을 직접 긁어서 걷어내는 방식으로 제거할 수 있도록 형성된다.

상기 약액제거부(6)는 예를 들어, 도 1 및 도 2에서와 같이 상기 슬릿노즐부(4)의 이동 구간과 대응하도록 상기 작업대(2) 일측에 설치될 수 있다. 그러면, 상기 작업대(2) 상에서 상기 슬릿노즐부(4)가 상기 약액제거부(6)를 향하여 이동된 상태로 약액(W) 제거 작업이 진행될 수 있다.

도 4 내지 도 6을 참조하면, 상기 약액제거부(6)는, 블레이드를 구비하고, 이 블레이드는 상기 슬릿노즐부(4)의 노즐립(N)과 대응하도록 한 군데 이상의 지점에 설치될 수 있다.

예를 들어, 도 4 및 도 5에서와 같이 상기 노즐립(N)의 폭방향 양측면과 대응하는 제1 블레이드(C1)와, 제2 블레이드(C2) 그리고, 상기 노즐립(N)의 끝단과 대응하는 제3 블레이드(C3)로 구성될 수 있다.

상기 블레이드(C1, C2, C3)들은 탄성력을 갖는 박판형으로 이루어질 수 있으며, 재질은 내구성 및 내부식성, 내화학성 등이 우수한 금속이나 합성수지 중에서 사용할 수 있다.

상기 블레이드(C1, C2, C3)들은 후술하는 이송부(8) 측에 각각 일측이 고정된 상태로 타측이 상기 노즐립(N)의 폭방향 양측면 및 끝단 측에 탄력적으로 밀착되도록 셋팅된다.

상기 이송부(8)는 고정블럭(D)을 구비하고, 이 고정블럭(D)은, 상기 작업대(2) 일측에서 별도의 지지대(D1) 위에 설치된 상태로 제공될 수 있다.

그리고, 상기 고정블럭(D)은 상기 블레이드(C1, C2, C3)들이 상기 노즐립(N)을 향하여 위치 조절이 가능한 상태로 고정할 수 있도록 형성될 수 있다.

예를 들어, 도 4에서와 같이 상기 블레이드(C1, C2, C3)들 일측(고정부)에 슬롯홈(E)을 형성하고, 이 슬롯홈(E)을 관통하는 방향으로 상기 고정블럭(D) 측에 조임나사(E1)를 체결하여 이 조임나사(E1)를 조이거나 푸는 조작에 의해 상기 슬롯홈(E)의 길이방향 내에서 상기 블레이드(C1, C2, C3)들의 위치를 적절하게 조절할 수 있다.

상기 블레이드(C1, C2, C3)들은 상기 고정블럭(D) 측에서 각각 퀵슈(D1, quick shoe)에 얹혀진 상태로 설치될 수 있다.

상기 퀵슈(D1)는 상기 고정블럭(D) 측에서 상기 블레이드(C1, C2, C3)들의 자유단이 상기 슬릿노즐부(4)의 노즐립(N) 폭방향 양측면 및 끝단과 탄력적으로 밀착될 수 있도록 가이드할 수 있는 상태로 상기 블레이드(C1, C2, C3)들의 일측을 잡아주는 역할을 한다.

상기 고정블럭(D)은 상기 작업대(2) 상에서 상기 슬릿노즐부(4)의 노즐립(N) 길이 방향을 따라 상기 블레이드(C1, C2, C3)들을 움직일 수 있도록 이동 가능한 구조로 제공된다.

예를 들어, 상기 고정블럭(D)은 도 6에서와 같이 상기 슬릿노즐부(4) 아래쪽에서 노즐립(N)의 길이 방향과 대응하도록 배치된 이송레일(D3) 상에 이동 가능하게 설치될 수 있다.

그리고, 상기 고정블럭(D)은 도면에는 나타내지 않았지만 모터 또는 실린더와 같은 구동원의 동력을 통상의 방법으로 전달받아서 상기 이송레일(D3)을 따라 움직이도록 셋팅될 수 있다.

상기와 같이 고정블럭(D)이 이송레일(D3)을 따라 움직이는 구조로 제공되면, 상기 슬릿노즐부(4)의 노즐립(N) 폭방향 양측면에 묻어있는 약액(W)은 상기 제1 및 제2 블레이드(C1, C2)로 긁어서 걷어낼 수 있고, 상기 노즐립(N)의 끝단에 묻어있는 약액(W)은 상기 제3 블레이드(C3)로 긁어서 걷어낼 수 있다.

그러므로 상기한 약액제거부(6)는, 상기 노즐립(N)의 외부면에 묻어있는 약액(W)을 3개의 블레이드(C1, C2, C3)들로 직접 긁어서 걷어내는 방식으로 간편하게 제거할 수 있다.

상기한 블레이드(C1, C2, C3)들은, 상기 고정블럭(D)과 함께 움직이면서 약액(W)을 걷어낼 때 진행 방향 내에서 간격을 띄우고 긁음 동작이 이루어지도록 셋팅하면 좋다.

예를 들어, 도 4를 기준으로 할 때, 상기 노즐립(N)의 폭방향 양측면과 대응하는 제1 및 제2 블레이드(C1, C2)들 보다 상기 노즐립(N)의 끝단과 대응하는 제3 블레이드(C3)가 뒤쪽에 배치되도록 설치할 수 있다. 그리고, 상기 제1 및 제2 블레이드(C1, C2)도 진행 방향 내에서 전,후로 간격을 띄우고 배치된 상태로 설치할 수 있다.

그러면, 상기 노즐립(N)의 외부면 중에서 폭방향 양측면에 묻어있는 약액(W)을 상기 제1 및 제2 블레이드(C1, C2)로 먼저 걷어낸 다음, 상기 제3 블레이드(C3)로 상기 노즐립(N)의 끝단에 묻어있는 약액(W)을 걷어내는 방식으로 약액(W) 제거 작업을 진행할 수 있다.

이와 같은 작용에 의하면, 약액(W) 제거 작업 중에 특히, 상기 노즐립(N)의 폭방향 양측면에 묻어있던 약액(W)이 상기 노즐립(N)의 끝단으로 밀려서 남아있는 현상(2차 오염)을 방지할 수 있다.

그리고, 상기한 약액제거부(6)는, 상기 슬릿노즐부(4)의 노즐립(N) 외부면으로부터 약액(W)을 더욱 원활하게 긁어서 걷어낼 수 있는 블레이드 구조를 갖도록 형성된다.

특히, 상기 제1 블레이드(C1) 및 상기 제2 블레이드(C2)는 상기 노즐립(N)의 외부면 중에서 폭방향 양측면에 묻어있는 약액(W)이 아래쪽을 향하여 밀려나는 상태로 분리 제거가 가능하게 안내할 수 있도록 자유단 측에 안내단(H)이 형성된다.

다시 도 4를 참조하면, 상기 안내단(H)은 상기 제1 블레이드(C1) 및 상기 제2 블레이드(C2)의 자유단 측에서 경사진 둘레부를 형성하는 상태로 제공될 수 있다.

즉, 상기 안내단(H)은 도 6에서와 같이 상기 제1 블레이드(C1) 및 상기 제2 블레이드(C2)가 수평방향으로 움직이면서 긁음 동작될 때 상기 노즐립(N)의 하부를 향하여 약액(W)을 미는 상태로 걷어낼 수 있도록 상기 제1 및 제2 블레이드(C1, C2)의 자유단이 경사진 상태의 단부를 이루도록 형성된다.

예를 들어, 상기 안내단(H)은 도 4 및 도 6을 기준으로 할 때, 상기 제1 및 제2 블레이드(C1, C2)의 자유단 상부모서리 및 하부모서리 사이가 경사진 연결 상태의 단부를 이루도록 형성될 수 있다. 즉, 상기 제1 및 제2 블레이드(C1, C2)의 자유단 상부모서리가 하부모서리 보다 더 전방에 위치된 상태의 단부 구조로 제공된다.

그리고, 상기 안내단(H)은 이탈방지홈(H1)을 더 포함하여 이루어질 수 있다.

상기 이탈방지홈(H1)은, 특히 상기 제1 블레이드(C1) 및 상기 제2 블레이드(C2)로 상기 노즐립(N)의 약액(W)을 걷어낼 때 상기 노즐립(N)의 상부를 향하여 약액(W)이 이동되는 것을 방지할 수 있도록 형성된다.

예를 들어, 상기 이탈방지홈(H1)은 상기 안내단(H) 상부에 도 6에서와 같은 홈 모양으로 형성될 수 있다.

이와 같은 이탈방지홈(H1)은, 상기 제1 블레이드(C1) 및 상기 제2 블레이드(C2)로 약액(W)을 걷어낼 때 약액(W) 일부가 상기 안내단(H)의 경사부를 따라 위로 이동되더라도 홈 내부로 약액(W)이 모여서 머물도록 하는 역할을 한다.

그러므로, 상기한 안내단(H)의 구조에 의하면, 상기 제1 블레이드(C1) 및 상기 제2 블레이드(C2)로 약액(W)을 긁어서 걷어낼 때 도 6에서와 같이 상기 노즐립(N)의 아래쪽을 향하여 약액(W)이 안정적으로 이동 및 분리되는 상태로 제거되도록 할 수 있다.

상기에서는 작업대(2) 상에서 상기 슬릿노즐부(4)가 겐트리(B)에 의해 이동되면서 상기 약액제거부(6)와 대응하는 위치로 이동되는 구조를 일예로 설명 및 도면에 나타내고 있지만, 본 발명이 이러한 구조에 한정되는 것은 아니다.

예를 들어, 도면에는 나타내지 않았지만 상기 약액제거부(6)가 상기 슬릿노즐부(4)를 향하여 약액(W) 제거가 가능한 상태로 이동되는 구조를 갖도록 형성될 수도 있다.

그리고, 상기 약액제거부(6)는, 도 4에서와 같이 상기 블레이드(C1, C2, C3)들과 대응하는 접촉조절구(F)를 더 포함하여 이루어질 수 있다.

상기 접촉조절구(F)는, 상기 블레이드(C1, C2, C3)들의 자유단이 노즐립(N) 외부면과 접촉될 때 접촉력을 조절할 수 있도록 형성된다.

상기 접촉조절구(F)는 나사 조절 방식으로 접촉력을 조절할 수 있는 구조로 제공될 수 있다.

예를 들어, 상기 접촉조절구(F)는 나사를 사용할 수 있으며, 도 4에서와 같이 상기 이송부(8)의 고정블럭(D) 측에 나사 결합으로 각각 끼워지고 끝단이 상기 블레이드(C1, C2, C3) 일측과 접촉될 수 있는 상태로 셋팅될 수 있다.

그러면, 상기 접촉조절구(F)의 정,역 회전 조작에 의해 나사 끝단으로 상기 제1 내지 제3 블레이드(C1, C2, C3) 일측을 미는 방식으로 접촉력을 조절할 수 있다.

이처럼 접촉조절구(F)를 더 구비하면, 상기 노즐립(N)에 묻어있는 약액(W)의 양이나 상태 등에 따라 적절하게 제거가 가능하도록 상기 제1 내지 제3 블레이드(C1, C2, C3)의 접촉력을 간편하게 조절 및 셋팅한 상태로 약액(W) 제거 작업을 진행할 수 있다.

상기 본 발명의 일실시 예에 따른 슬릿코터는, 약액용제부(10)를 더 포함하여 이루어질 수 있다.

상기 약액용제부(10)는, 상기 슬릿노즐부(4)의 노즐립(N)에 묻어있는 약액(W)이 상기 노즐립(N)의 외부면에서 더욱 원활하게 분리될 수 있는 구조를 제공한다.

특히, 상기 약액용제부(10)는 상기 노즐립(N)의 약액(W)을 녹여서 상기 약액제거부(6)의 작동 중에 약액(W)이 원활하게 분리될 수 있도록 형성된다.

다시 도 4를 참조하면, 상기 약액용제부(10)는, 용제(T1)를 분사하는 분사기(T)를 구비하고, 이 분사기(T)들은 예를 들어, 도면에서와 같이 상기 고정블럭(D) 측에서 상기 노즐립(N) 외부면을 향하여 용제(T1)를 분사할 수 있도록 한 개 이상 설치될 수 있다.

상기 분사기(T)들은 도면에는 나타내지 않았지만 통상의 방법으로 용제(T1)를 공급받아서 분사할 수 있도록 셋팅되며, 상기 용제(T1)는 신너(thinner)를 사용할 수 있다.

상기한 약액용제부(10)는 상기 약액제거부(6)의 블레이드(C1, C2, C3)들로 노즐립(N)의 약액(W)을 제거하기 전에 상기 노즐립(N)의 외부면을 향하여 용제(T1)를 분사하는 방식으로 약액(W)을 녹일 수 있으므로 상기 블레이드(C1, C2, C3)로 약액(W)을 더욱 원활하게 긁어서 걷어낼 수 있다.

그리고, 상기 작업대(2) 상에는 도면에는 나타내지 않았지만, 예를 들어, 유체를 분사 및 석션하는 방식으로 상기 약액제거부(6)의 블레이드(C1, C2, C3)들을 세정 및 건조할 수 있도록 형성된 세정구를 더 설치할 수도 있다.

그러면, 약액(W) 제거 작업 중에 상기 블레이드(C1, C2, C3) 측에 약액(W)이 달라붙더라도 상기 블레이드(C1, C2, C3)들을 간편하게 세정 및 건조할 수 있다.

따라서, 상기한 본 발명의 일실시 예에 따른 슬릿코터는, 상기 작업대(2) 상에서 상기 슬릿노즐부(4)를 이용하여 기판(G) 측에 약액(W)을 도포할 수 있을 뿐만 아니라, 도포 작업 중에 약액(W) 일부가 상기 슬릿노즐부(4)의 노즐립(N) 외부면에 묻더라도 상기 약액제거부(6)의 블레이드(C1, C2, C3)들을 이용하여 약액(W)을 긁어서 걷어내는 방식으로 간편하게 제거할 수 있다.

특히, 본 발명은 상기 약액제거부(6)의 블레이드(C1, C2, C3)로 상기 노즐립(N) 외부면의 약액(W)을 긁어낼 때, 약액(W)이 상기 노즐립(N) 하부를 향하여 안정적으로 이동 및 분리될 수 있도록 약액(W)의 제거 방향을 안내할 수 있게 형성된 안내단(H)를 구비하고 있으므로 약액(W) 제거 품질을 더 높일 수 있고, 제거되는 약액(W)에 의한 노즐립(N)의 2차 오염도 방지할 수 있다.

2: 작업대 4: 슬릿노즐부 6: 약액제거부
8: 이송부 10: 약액용제부 G: 기판
W: 약액 C1: 제1 블레이드 C2: 제2 블레이드
C3: 제3 블레이드

Claims (6)

1. 기판이 놓여지는 작업대;
   약액이 토출되는 노즐립을 구비하고, 상기 작업대 측에 놓여진 기판에 약액을 도포할 수 있도록 형성된 슬릿노즐부;
   상기 작업대 상에서 상기 슬릿노즐부의 노즐립 길이방향을 따라 움직일 수 있도록 형성된 고정블럭을 구비한 이송부;
   상기 이송부의 고정블럭을 따라 움직이면서 상기 노즐립의 외부면에 묻어있는 약액을 긁어서 걷어낼 수 있는 상태로 배치되는 복수 개의 블레이드를 구비하고, 상기 복수 개의 블레이드 중에서 상기 노즐립의 폭방향 양측면과 대응하는 블레이드는 약액 제거방향을 안내할 수 있도록 안내단이 형성된 약액제거부;
   를 포함하는 슬릿코터.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 복수 개의 블레이드는,
   상기 고정블럭 측에 일단이 각각 고정되어 타측의 자유단이 상기 슬릿노즐부의 노즐립 폭방향 측면 및 노즐립 끝단과 접촉될 수 있는 상태로 설치되는 슬릿코터.
3. 청구항 1에 있어서,
   상기 안내단은,
   상기 블레이드가 상기 노즐립의 길이방향을 따라 긁음 동작될 때 상기 노즐립의 폭방향 측면에 묻어있는 약액을 점차 아래쪽을 향하여 밀어내는 상태로 걷어낼 수 있도록 상기 블레이드의 자유단 상부모서리 및 하부모서리 사이가 경사진 연결 상태의 단부를 이루도록 형성되는 것을 특징으로 하는 슬릿코터.
4. 청구항 1에 있어서,
   상기 안내단은, 이탈방지홈을 더 포함하며,
   상기 이탈방지홈은,
   상기 안내단으로 상기 노즐립의 폭방향 측면의 약액을 걷어낼 때 위쪽을 향하여 이동되는 약액이 모일 수 있도록 상기 안내단 측에 형성되는 것을 특징으로 하는 슬릿코터.
5. 청구항 1에 있어서,
   상기 슬릿노즐은, 접촉조절구를 더 포함하며,
   상기 접촉조절구는,
   상기 이송부의 고정블럭 측에 나사 결합으로 설치되어 정,역 회전시 전,후 방향으로 움직이면서 상기 블레이드 일측을 밀어서 이 블레이드의 자유단 접촉력을 조절할 수 있도록 셋팅되는 것을 특징으로 하는 슬릿코터.
6. 청구항 1에 있어서,
   상기 슬릿코터는, 약액용제부를 더 포함하며,
   상기 약액용제부는,
   용제를 분사할 수 있는 분사기를 구비하고, 상기 작업대 상에서 상기 슬릿노즐부의 노즐립 외부면을 향하여 상기 분사기로 용제를 분사할 수 있도록 셋팅되는 것을 특징으로 하는 슬릿코터.

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