KR20130092603A - 탄화 규소판의 스크라이브 방법 및 스크라이브 장치 - Google Patents

탄화 규소판의 스크라이브 방법 및 스크라이브 장치 Download PDF

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가즈아키 반도
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반도키코 가부시키가이샤
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Abstract

탄화 규소판(2)을 진공 흡착 고정하는 수평의 테이블(3)과, 가이드 레일(4, 4)을 따라 테이블(3)을 스크라이브 수치 제어 이동시키는 이송나사(5) 및 Y축 제어 모터(6)와, X축 방향을 따라 테이블(3)의 위쪽에 가설된 가이드 레일 장치체(7)와, 가이드 레일 장치체(7)로 X축 방향으로 가이드되어 이동하도록 장착된 캐리지(8)와, 캐리지(8)를 X축 방향으로 수치 제어 이동시키는 이송나사 및 X축 제어 모터(9)와, 캐리지(8)에 장착된 스크라이브 헤드(10)를 구비한다.

Description

탄화 규소판의 스크라이브 방법 및 스크라이브 장치{Method and apparatus for scribing silicon carbide board}
본 발명은, 탄화 규소판에 커터 휠로 압력을 가하여 해당 커터 휠을 탄화 규소판 상에서 전동(轉動)시켜 탄화 규소판에 스크라이브 라인을 새김 형성하는 탄화 규소판의 스크라이브 방법 및 스크라이브 장치에 관한 것이다.
그런데, 탄화 규소판(SiC판) 등은 그 표면 경도가 높아 스크라이브(절단선 새김 형성)할 때에 커터 휠의 미끄러짐(슬립)이 일어나기가 매우 쉬워서, 스크라이브 개시점으로부터 유효한 수직 크랙을 얻는 스크라이브 라인의 새김 형성은 어렵다. 스크라이브 라인을 따라 굽힘 응력을 가하여 꺾어 나누면, 스크라이브 개시점 및 그 근방에서 수직 크랙의 끊김으로부터 거스러미 등이 발생하기 쉽다.
특허문헌 1: 일본특허공개 2009-248267
본 발명은 스크라이브 개시점으로부터 유효한 수직 크랙이 연속하여 발생하도록 한 탄화 규소판의 스크라이브 방법 및 스크라이브 장치를 제공하고자 한 것이다.
본 발명은, 스크라이브 개시에 있어서 개시점에 먼저 오목부를 새김 형성하고, 이 오목부 안에서부터 스크라이브를 시작하도록 한 탄화 규소판의 스크라이브 방법이다.
본 발명은, 스크라이브 개시에 있어서 먼저, 스크라이브 개시점에 커터 휠을 탄화 규소판에 압접(壓接)한 상태로 커터 휠을 미소 회동 또는 미소 요동시켜 상기 개시점에 오목부를 새김 형성한 후, 이 오목부 안에서부터 스크라이브를 시작하도록 한 탄화 규소판의 스크라이브 방법이다.
또, 본 발명은, 스크라이브 개시에 있어서 커터 휠과는 별도로 마련한 다이아몬드 스크라이브 스타일러스를 개시점에 신장, 압접하여 오목부를 형성하고, 다음에 커터 휠을 이 오목부로 강하시키고, 이 오목부 안에서부터 스크라이브를 시작시키도록 한 탄화 규소판의 스크라이브 방법이다.
또한, 본 발명은 커터 휠을 구비하고, 이 커터 휠을 탄화 규소판에 압접한 상태로 전동(轉動)시켜 스크라이브 라인을 새김 형성하도록 한 스크라이브 헤드와, 다이아몬드 스크라이브 스타일러스를 구비하고, 이 다이아몬드 스크라이브 스타일러스를 탄화 규소판에 압접하여 오목부를 새김 형성하는 다이아몬드 스타일러스 장치를 구비한 스크라이브 장치이다.
상기 오목부의 크기(직경)는 스크라이브 라인의 굵기와 같거나 또는 작게 형성되는 것이 바람직하지만, 스크라이브 라인의 굵기보다 크게 해도 된다.
본 발명에서의 탄화 규소판은, 예를 들면 반도체 장치의 기판(웨이퍼), 전자 기기의 소자 등의 기판 등에 사용된다.
스크라이브 개시에 있어서, 먼저 개시점에 오목부를 새김 형성하고, 다음에 이 오목부 안에서부터 커터 휠을 스크라이브 시작시키기 때문에, 개시점으로부터 유효한 수직 크랙이 연속하여 발생한다. 이 때문에, 개시점을 포함한 스크라이브 라인 전체에 걸쳐 양호한 꺾어 나누기를 할 수 있다.
또한, 커터 휠이 오목부 안에서부터 출발하기 때문에, 오목부의 센터와 스크라이브 라인이 일치한다.
도 1은, 본 발명에 관한 스크라이브 방법의 일례를 실시중인 일례의 스크라이브 장치의 개략 정면도이다.
도 2는, 도 1에 도시된 스크라이브 장치에 있어서 본 발명에 관한 스크라이브 방법을 실시중인 설명도이다.
도 3은, 본 발명의 스크라이브 방법에 관한 스크라이브 라인의 일례를 평면도를 이용하여 설명한 설명도이다.
도 4는, 본 발명에 관한 스크라이브 방법에 의한 스크라이브 주요부의 단면 설명도이다.
도 5는, 본 발명에 관한 스크라이브 방법의 다른 예를 실시중인 다른 예의 스크라이브 장치의 개략 정면도이다.
도 6은, 도 5에 도시된 본 발명의 스크라이브 방법을 실시중인 스크라이브 장치의 스크라이브 헤드 및 다이아몬드 스타일러스 장치의 정면도이다.
도 7은, 본 발명에 관한 또 다른 예의 스크라이브 방법을 실시중인 또 다른 예의 스크라이브 장치의 개략 정면도이다.
도 8은, 스크라이브 장치이기도 한 탄화 규소판의 절단 장치에 있어서, 본 발명에 관한 스크라이브 방법의 다른 예를 실시중인 탄화 규소판의 절단 장치의 개략 평면도이다.
도 9는, 도 8에 도시된 본 발명의 스크라이브 방법을 실시중인 커터 헤드의 정면도이다.
이하, 본 발명의 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다. 물론, 본 발명의 스크라이브 방법은 스크라이브 헤드 및 스크라이브 장치에서 실시되는 것이기 때문에, 스크라이브 장치에 대한 실시형태로 본 발명의 스크라이브 방법을 설명한다.
제1 실시형태
도 1부터 도 4에서, 스크라이브 장치(1)는 탄화 규소판(2)을 올려놓고 진공 흡착 고정하는 수평의 테이블(3)과, 테이블(3)을 Y축 방향으로 수평 이동하도록 가이드하여 지지하는 평행한 한 쌍의 가이드 레일(4, 4)과, 가이드 레일(4, 4)을 따라 테이블(3)을 스크라이브 수치 제어 이동시키는 이송나사(5) 및 Y축 제어 모터(6)와, X축 방향을 따라 테이블(3)의 위쪽에 가설(架設)된 가이드 레일 장치체(7)와, 가이드 레일 장치체(7)로 X축 방향으로 가이드되어 이동하도록 장착된 캐리지(8)와, 캐리지(8)를 X축 방향으로 수치 제어 이동시키는 이송나사 및 X축 제어 모터(9)와, 캐리지(8)의 전면(前面)에 장착된 스크라이브 헤드(10)를 구비한다.
스크라이브 헤드(10)는 하단에 커터 휠 홀더(11)를 구비한 스플라인 축(12)과, 스플라인 축(12)을 상하이동이 자유롭게 하여 회전도 되도록 중심에 보유지지하는 로터리 스플라인 장치(13)와, 스플라인 축(12)의 상단에 자유 회전 조인트(14)를 개재하여 연결한 에어 실린더 장치(15)를 구비한다.
물론 에어 실린더 장치(15)의 본체는 캐리지(8)에 장착되고, 피스톤 로드(16)가 스플라인 축(12)에 자유 회전 조인트(14)를 개재하여 스플라인 축(12)에 연결되어 있다.
커터 휠 홀더(11)에는 커터 휠(17)을 구비한다. 물론, 커터 휠(17)의 축심은 스플라인 축(12)의 축심에 대해 편심(나아가는 방향에 대해 후방으로)하여 설치되어 있다.
로터리 스플라인 장치(13)에 보유지지된 스플라인 축(12)은, 에어 실린더 장치(15)에 의해 로터리 스플라인 장치(13) 안을 Z축 방향(탄화 규소판 2면에 대해 수직 방향)으로 상하이동된다. 또한, 스크라이브시에는 커터 휠(17)에 대해 탄화 규소판 2면과 직각 방향으로 에어 압력이 주어진다.
스플라인 축(12)은 로터리 스플라인 장치(13)에 의해 회전 구동된다.
로터리 스플라인 장치(13)의 측방에 각도 제어 모터(19)가 설치되어 있다.
로터리 스플라인 장치(13)에는 스플라인 축(12)을 회전하는 구동 기어(20)를 구비하고, 구동 기어(20)가 각도 제어 모터(19)에 장착한 기어(21)와 맞물림 연결되어 각도 제어 모터(19)에 의해 스플라인 축(12), 나아가서는 커터 휠(17)이 각도 제어 회전된다. 즉, 커터 휠(17)의 날면이 스크라이브 방향으로 향하도록 각도 제어된다.
본 스크라이브 장치(1)에 의해 실시되는 본 발명의 스크라이브 방법의 제1 실시형태를 이하에 설명한다.
소결 다이아몬드 휠로 이루어짐과 동시에 바람직하게는 날끝 각도가 90° 내지 140°이고 반경(휠경)이 2mm 내지 3.5mm인 커터 휠(17)에 에어 압력을 가하면서 전동시켜 스크라이브 라인을 새김 형성하는 동작에 들어가기 직전마다, 스크라이브 개시점(A)에 먼저 커터 휠(17)을 강하시키고, 예를 들면 날끝 하중 0.1kg/㎠ 내지 2kg/㎠로 압접하며, 그 압접 상태로 커터 휠(17)을 미소하게 회동 또는 요동하여 개시점(A)에 오목부(B)를 새김 형성한다. 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 오목부(B) 안에서부터 커터 휠(17)을 압접 상태로 스크라이브를 시작시켜 오목부(B)로부터 출발한 연속된 스크라이브 라인(C)을 새김 형성한다.
스크라이브 라인(C)을 형성할 때마다, 개시점(A)에 오목부(B)를 새김 형성하고, 오목부(B)로부터 스크라이브를 시작시키는 방법이다.
또, 오목부(B)의 크기(직경)는 스크라이브 라인(C)의 굵기와 같거나 또는 작게 한다. 도 3에는 설명을 위해 오목부가 크게 그려져 있다.
이와 같이 개시점(A)에 새김 형성한 오목부(B) 안에서부터 스크라이브를 행함으로써, 개시점(A)으로부터의 커터 휠의 미끄러짐(슬립)이 발생하지 않고, 오목부(개시점(A))로부터 연속된 수직 크랙을 발생시킬 수 있어 양호한 꺾어 나누기를 할 수 있다.
또한, 커터 휠(17)이 오목부(B)로부터 출발하기 때문에, 오목부(B)의 센터와 스크라이브 라인(C)이 일치한다.
제2 실시형태
도 5 및 도 6에서, 스크라이브 장치(22)는 스크라이브 헤드(23)를 장착한 캐리지(24)의 전면에 스크라이브 헤드(23)와 나란히 다이아몬드 스타일러스 장치(25)를 구비한다.
다이아몬드 스타일러스 장치(25)는, 스크라이브 개시에 있어서 탄화 규소판(2)에의 오목부(B)의 새김 형성을 전용으로 하는 것이다. 그런데, 본 실시형태에서의 스크라이브 장치(22)는, 놓인 탄화 규소판(2)을 진공 흡착하여 고정하고 수평 회전하는 테이블(26)과, 테이블(26)을 Y축 방향으로 수평 이동하도록 가이드 지지하는 평행한 한 쌍의 가이드 레일(27, 27)과, 가이드 레일(27, 27)을 따라 테이블(26)을 수치 제어 이동시키는 이송나사(28) 및 Y축 제어 모터(29)와, X축 방향을 따라 테이블(26)의 위쪽에 가설된 가이드 레일 장치체(30)와, 가이드 레일 장치체(30)에 X축 방향으로 가이드되어 이동하도록 장착된 캐리지(24)와, 캐리지(24)를 X축 방향으로 수치 제어 이동시키는 이송나사 및 X축 제어 모터(31)와, 캐리지(24)의 전면에 장치된 스크라이브 헤드(23)와, 마찬가지로 캐리지(24)의 전면에서 스크라이브 헤드(23)의 측방에 나란히 설치된 다이아몬드 스타일러스 장치(25)를 구비한다. 스크라이브 장치(22)에서는, 스크라이브 헤드(23)에는 하단에 소결 다이아몬드 휠로 이루어짐과 동시에 바람직하게는 날끝 각도가 90° 내지 140°이고 반경(휠경)이 2mm 내지 3.5mm인 커터 휠(32)을 구비하고 있지만, 탄화 규소판(2)에 수직인 축의 둘레로 회전시키는 각도 제어 장치는 구비하지 않는다. 가이드 레일 장치체(30)에 따른 X축 방향의 스크라이브를 행한다.
스크라이브 헤드(23)도 또한 커터 휠(32)을 탄화 규소판(2)에 에어 압력으로 예를 들면 날끝 하중 0.1kg/㎠ 내지 2.0kg/㎠로 압접한 상태로 전동시켜 스크라이브 라인을 새김 형성한다. 즉, 스크라이브 헤드(23)는 캐리지(24) 전면에 장착한 슬라이드 부시체(33)와, 슬라이드 부시체(33)에 의해 상하이동이 자유롭게 보유지지된 상하이동체(34)와, 상하이동체(34)의 하단에 구비한 커터 휠 홀더(35)와, 상하이동체(34)의 상단에 연결된 에어 실린더 장치(36)를 구비한다.
커터 휠 홀더(35)에는 커터 휠(32)을 구비한다. 상하이동체(34)의 상단은 에어 실린더 장치(36)의 피스톤 로드(37)에 연결되어 있다.
상하이동체(34)는 에어 실린더 장치(36)에 의해 상하이동되고, 스크라이브시에 커터 휠(32)은 상하이동체(34)를 개재하여 에어 실린더 장치(36)로부터 압력을 받아 탄화 규소판(2)에 예를 들면 날끝 하중 0.1kg/㎠ 내지 2.0kg/㎠로 압접되며, 캐리지(24)의 이동과 함께 전동하여 스크라이브가 행해진다.
한편, 다이아몬드 스타일러스 장치(25)는, 캐리지(24)의 전면에 장착한 중공(中空) 샤프트를 구비한 DD모터(38)와, 중공 샤프트 내에 슬라이딩이 자유롭게 보유지지되고 회전 구동을 받는 스플라인 축(39)과, 스플라인 축(39)의 하단에 설치된 다이아몬드 스크라이브 스타일러스(40)와, 스플라인 축(39)의 상단에 자유 회전 조인트(41)를 개재하여 연결한 에어 실린더 장치(42)로 이루어지고, 에어 실린더 장치(42)는 피스톤 로드(43)가 스플라인 축(39)에 연결되어 있다.
다이아몬드 스타일러스 장치(25)의 동작은, 에어 실린더 장치(42)에 의해 스플라인 축(39)이 탄화 규소판(2)으로 향하여 신장하고, 선단의 다이아몬드 스크라이브 스타일러스(40)를 탄화 규소판(2)에 압접함과 동시에, DD모터(28)를 구동시켜 선단의 다이아몬드 스크라이브 스타일러스(40)를 미소하게 회전시킴으로써 오목부(B)를 형성한다.
에어 실린더 장치(42)에 의한 상하이동 대신에, 다이아몬드 스크라이브 스타일러스(40)를 또는 다이아몬드 스타일러스 장치(25) 전체를 리니어 모터 또는 서보 모터로 상하이동시켜도 된다.
본 스크라이브 장치(22)에 의해 실시되는 스크라이브 방법을 이하에 설명한다.
탄화 규소판(2)에 스크라이브 라인을 새김 형성할 때마다, 스크라이브 개시에 있어서, 먼저 다이아몬드 스타일러스 장치(25)를 스크라이브 개시점(A)에 위치맞춤시키고, 다이아몬드 스타일러스 장치(25)를 동작시킨다. 스플라인 축(39)을 신장시켜 선단의 다이아몬드 스크라이브 스타일러스(40)를 개시점(A)에 압접시키고 다이아몬드 스크라이브 스타일러스(40)를 미소 회전 또한 요동시킴으로써, 개시점(A)에 오목부(B)를 새김 형성한다.
오목부(B)의 형성과 동시에, 다이아몬드 스크라이브 스타일러스(40)를 인입한다. 다음에, 오목부(B)가 형성된 위치(개시점(A)) 대신에, 커터 휠(32)을 이동하여 위치맞춤시키고 커터 휠(32)을 신장시켜 오목부(B) 내에 예를 들면 날끝 하중 0.1kg/㎠ 내지 2.0kg/㎠로 압접시킨다. 이 상태로 오목부(B) 안에서부터 스크라이브를 시작하여 오목부(B)로부터 연속하여 스크라이브 라인(C)을 새김 형성한다.
또한, 오목부(B)의 크기(직경)는 통상 스크라이브 라인(C)의 굵기와 같거나 또는 작게 하지만, 크게 해도 된다.
제3 실시형태
도 7에서, 본 실시예의 스크라이브 장치(45)는, 소결 다이아몬드 휠로 이루어짐과 동시에 바람직하게는 날끝 각도가 90° 내지 140°이고 반경(휠경)이 2mm 내지 3.5mm인 커터 휠(46)을 구비하고, 커터 휠(46)을 탄화 규소판(2)에 예를 들면 날끝 하중 0.1kg/㎠ 내지 2.0kg/㎠으로 압접한 상태로 전동시켜 스크라이브 라인(C)을 새김 형성하는 스크라이브 헤드(47)와, 탄화 규소판(2)에 오목부(B)의 새김 형성을 전용으로 행하는 다이아몬드 스타일러스 장치(48)를 서로 독립시켜 각각 다른 캐리지(49, 50)에 장착한 것이다.
각각의 캐리지(49, 50)는 테이블(51)의 위쪽에 가설된 가이드 레일 장치체(52)에 독립하여 장착되고, 서로 상대에 대해 독립하여 이동하게 되어 있다. 즉, 스크라이브 헤드(47)와 다이아몬드 스타일러스 장치(48)는 서로 상대에 대해 독립하여 이동한다.
또한, 스크라이브 헤드(47)와 다이아몬드 스타일러스 장치(48) 각각의 구조 및 동작은, 상기 제2 실시형태에 나타낸 스크라이브 장치(22)의 스크라이브 헤드(23), 다이아몬드 스타일러스 장치(25)의 구조 동작과 같은 것으로도 된다.
스크라이브 장치(45)는 제2 실시형태의 것과 같이, 놓인 탄화 규소판(2)을 진공 흡착하여 고정하고 수평 회전하는 테이블(51)과, 테이블(51)을 Y축 방향으로 수평 이동하도록 가이드 지지하는 평행한 한 쌍의 가이드 레일(53, 53)과, 가이드 레일(53, 53)을 따라 테이블(51)을 수치 제어 이동시키는 이송나사(58) 및 Y축 제어 모터(54)와, X축 방향을 따라 테이블(51)의 위쪽에 가설된 가이드 레일 장치체(52)와, 가이드 레일 장치체(52)에 X축 방향으로 가이드되어 이동하도록 장착된 2기의 캐리지(49, 50)와, 한쪽의 캐리지(49)를 X축 방향으로 수치 제어 이동시키는 이송나사 및 한쪽의 X축 제어 모터(55)와, 다른 쪽의 캐리지(50)를 마찬가지로 X축 방향으로 수치 제어 이동시키는 이송나사 및 다른 쪽의 X축 제어 모터(56)와, 한쪽의 캐리지(49)의 전면에 장치된 상기 스크라이브 헤드(47)와, 다른 쪽의 캐리지(50)의 전면에 장치된 상기 다이아몬드 스타일러스 장치(48)를 구비한다.
다이아몬드 스타일러스 장치(48)는 제2 실시형태에서의 다이아몬드 스타일러스 장치(25)와 같이, 선단에 다이아몬드 스크라이브 스타일러스(57)를 구비하고, 다이아몬드 스크라이브 스타일러스(57)가 탄화 규소판(2)으로 향하여 신장하고 압접하여 미소 회전 또한 미소 요동하여 오목부(B)를 새김 형성하게 되어 있다.
본 스크라이브 장치(45)에 의해 실시되는 스크라이브 방법을 이하에 설명한다.
탄화 규소판(2)에 스크라이브 라인을 새김 형성할 때마다, 그 스크라이브 개시에 있어서, 먼저 다이아몬드 스타일러스 장치(48)가 스크라이브 개시점(A)으로 이동하여 위치맞춤하고, 바로 다이아몬드 스타일러스 장치(48)가 동작하여 개시점(A)에 오목부(B)를 새김 형성한다. 오목부(B)가 형성되면 바로 다이아몬드 스타일러스 장치(48)는 원래의 위치로 복귀한다. 다음에 대신에 스크라이브 헤드(47)가 오목부(B)(개시점(A)) 형성 위치로 이동, 위치맞춤하고 커터 휠(46)을 신장시켜 오목부(B) 내에 예를 들면 날끝 하중 0.1kg/㎠ 내지 2.0kg/㎠로 압접시킨다. 이 상태로 오목부(B) 안에서부터 스크라이브를 시작시켜 오목부(B)로부터 연속된 스크라이브 라인(C)을 새김 형성한다.
물론, 오목부(B)의 크기(직경)는 스크라이브 라인(C)의 굵기와 같거나 또는 작게 하지만, 스크라이브 라인보다 크게 해도 된다.
제4 실시형태
도 8 및 도 9에서, 탄화 규소판의 절단 장치(60)는 소결 다이아몬드 휠로 이루어짐과 동시에 바람직하게는 날끝 각도가 90° 내지 140°이고 반경(휠경)이 2mm 내지 3.5mm인 커터 휠(61)을 구비한 캐리지(62)가 평면 좌표계를 NC제어되어 이동한다. 따라서, 커터 휠(61)은 직교 좌표계에서 NC제어되어 이동한다.
도 8에 도시된 바와 같이, 베이스대(63) 상에 Y축을 따라 가이드 레일(64, 64)이 설치되고, 가이드 레일(64, 64)에 의해 이동대(65)가 Y축 방향으로 이동되며, 또 이동대(65)에는 X축에 따른 가이드 레일(66, 66)이 설치되고, 가이드 레일(66, 66)에 의해 캐리지(62)가 X축 방향으로 이동이 자유롭다. 이동대(65)는 Y축 제어 모터(67) 및 맞물림 랙 장치 또한 이송나사에 의해 Y축 방향으로 수치 제어되어 이동된다.
이동대(65) 상의 캐리지(62)는 X축 제어 모터(68) 및 맞물림 랙 장치 또한 이송나사에 의해 X축 방향으로 수치 제어 이동된다.
따라서, 캐리지(62)는 X축 방향 및 Y축 방향으로 위치 제어되고, 캐리지(62)에 장착된 커터 휠(61)은 미리 기억된 운동 궤적을 이동한다. 이하, 도 9에 도시된 바와 같이, 캐리지(62)의 전면에는 스크라이브 헤드이기도 한 커터 헤드(69)가 장치되어 있다.
커터 헤드(69)는 하단에 커터 휠 홀더(70)를 구비한 스플라인 축(71)과, 스플라인 축(71)을 상하이동이 자유롭게 하여 회전도 되도록 중심에 보유지지하는 로터리 스플라인 장치(72)와, 스플라인 축(71)의 상단에 자유 회전 조인트(73)를 개재하여 연결한 에어 실린더 장치를 구비한다. 에어 실린더 장치(74)의 본체는 캐리지(62)에 장착되고, 피스톤 로드(75)가 스플라인 축(71)에 자유 회전 조인트(73)를 개재하여 스플라인 축(71)에 연결되어 있다.
커터 휠 홀더(70)에는 커터 휠(61)을 구비한다. 커터 휠(61)의 축심은 스플라인 축(71)의 축심에 대해 편심(나아가는 방향에 대해 후방)하여 설치되어 있다.
로터리 스플라인 장치(72)에 보유지지된 스플라인 축(71)은, 에어 실린더 장치(74)에 의해 로터리 스플라인 장치(72) 안을 Z축 방향(탄화 규소판 2면에 대해 수직 방향)으로 상하이동된다.
스크라이브시에는, 커터 휠(61)에 대해 탄화 규소판 2면과 직각 방향으로 에어 압력이 주어진다. 또한, 스플라인 축(71)은 로터리 스플라인 장치(72)에 의해 회전 구동된다. 로터리 스플라인 장치(72)의 측방에 각도 제어 모터(76)가 설치되어 있다.
로터리 스플라인 장치(72)에는 스플라인 축(71)을 회전하는 구동 기어(77)를 구비하고, 구동 기어(77)가 각도 제어 모터(76)에 장착한 기어(78)와 맞물림 연결되어, 각도 제어 모터(76)에 의해 스플라인 축(71) 나아가서는 커터 휠(61)이 각도 제어 회전된다.
즉, 커터 휠(61)의 날면이 스크라이브 방향으로 향하도록 각도 제어된다. 탄화 규소판(2)은 베이스대(63)에 설치된 테이블(79)에 놓이고, 또한 필요에 따라 흡착 고정된다.
본 절단 장치(1)에 의해 실시되는 본 발명의 스크라이브 방법을 이하에 설명한다.
커터 휠(61)에 에어 압력을 가하면서 전동시켜 스크라이브 라인을 새김 형성하는 동작에 들어가기 직전마다, 스크라이브 개시점(A)에 먼저 커터 휠(61)을 강하시키고, 예를 들면 날끝 하중 0.1kg/㎠ 내지 2.0kg/㎠로 압접하며, 이 압접 상태로 커터 휠(61)을 미소하게 회동 또는 요동하여 개시점(A)에 오목부(B)를 새김 형성한다. 다음에, 오목부(B) 안에서부터 커터 휠(61)을 압접 상태로 스크라이브 시작시켜 오목부(B)로부터 발한 연속된 스크라이브 라인(C)을 새김 형성한다.
스크라이브 라인(C)을 형성할 때마다, 개시점(A)에 오목부(B)를 새김 형성하고, 오목부(B)로부터 스크라이브를 시작시키는 방법이다.
이와 같이 개시점(A)에 새김 형성한 오목부(B) 안에서부터 스크라이브를 행함으로써, 개시점(A)으로부터의 커터 휠의 미끄러짐(슬립)이 발생하지 않고, 오목부(개시점(A))로부터 연속된 수직 크랙을 발생시킬 수 있어 양호한 꺾어 나누기를 할 수 있다.
또한, 커터 휠(61)이 오목부(B)로부터 출발하기 때문에, 오목부(B)의 센터와 스크라이브 라인(C)이 일치한다.

Claims (4)

  1. 스크라이브 개시에 있어서, 스크라이브 개시점에, 먼저 오목부를 새김 형성하고, 이 오목부 안에서부터 스크라이브를 시작하도록 한 탄화 규소판의 스크라이브 방법.
  2. 스크라이브 개시에 있어서, 먼저 스크라이브 개시점에 커터 휠을 탄화 규소판에 압접(壓接)한 상태로 커터 휠을 회동 또는 요동시켜 상기 개시점에 오목부를 새김 형성한 후, 이 오목부 안에서부터 스크라이브를 시작하도록 한 탄화 규소판의 스크라이브 방법.
  3. 스크라이브 개시에 있어서, 커터 휠과는 별도로 마련한 다이아몬드 스크라이브 스타일러스를 먼저, 스크라이브 개시점에 압접한 상태로 회동 또는 요동시켜 오목부를 새김 형성하고, 다음에 이 형성된 오목부에 커터 휠을 압접하고, 이 오목부 안에서부터 스크라이브를 시작시키도록 한 탄화 규소판의 스크라이브 방법.
  4. 커터 휠을 구비하고, 이 커터 휠을 탄화 규소판에 압접한 상태로 전동(轉動)시켜 스크라이브 라인을 새김 형성하도록 한 스크라이브 헤드와, 다이아몬드 스크라이브 스타일러스를 구비하고, 이 다이아몬드 스크라이브 스타일러스를 탄화 규소판에 압접하여 오목부를 새김 형성하는 다이아몬드 스타일러스 장치를 구비한 스크라이브 장치.
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