KR20130086940A - 장척 시트의 방향 전환 장치 및 물체 부양 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명의 방향 전환 장치 (4)는 구멍 (2)를 갖는 기둥상의 용기 (1)과, 구멍 (2)를 덮는 다공질 수지층 (3)을 갖는다. 용기 (1) 내에 압축 공기가 공급된다. 수지층 (3)의 표면으로부터 방산되는 공기가 장치 (4)에 걸려 있는 장척 시트 (6)을 부양시킨다. 장치 (4)는 소량의 압축 공기로 안정한 부상력을 발생시킨다. 수지층 (3)은 폴리테트라플루오로에틸렌막의 적층 구조를 포함한다. 수지층 (3)의 표면은 대전 방지제 또는 발수 발유제로 처리되어 있다. PTFE막은 PTFE 직포로 보강되어 있다. 수지층 (3)의 두께는 0.1 mm 내지 20 mm, 수지층 (3)의 통기 계수는 100 mL/(cm²·분·MPa) 내지 15000 mL/(cm²·분·MPa)이다. 용기 (1)은 스테인리스 파이프이다.

Description

장척 시트의 방향 전환 장치 및 물체 부양 장치{APPARATUS FOR CHANGE OF DIRECTION OF LONG SHEET, AND ARTICLE FLOATING APPARATUS}

본 발명은 장척 시트의 주행 방향을 전환(변환)하는 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 표면으로부터 공기를 분출하는 기둥상의 유공(有孔) 용기를 이용하여, 주행 중의 장척 시트를 부양시킨 상태로 하면서 주행 방향을 바꾸는 방향 전환 장치에 관한 것이다.

주행하는 장척 시트의 주행 방향을 전환시키는 턴 바라 불리는 중공 기둥상의 유공 용기가 종래부터 알려져 있다. 이 턴 바는 유공 용기 내부에 공급된 공기가 유공 용기의 구멍으로부터 장척 시트를 향해 분출되어, 유공 용기로부터 장척 시트를 떠오르게 한 상태로 유지하면서 장척 시트를 주행시키고, 유공 용기를 전환점으로 하여 장척 시트의 주행 방향을 바꾸는 것이다.

특허문헌 1에는, 주행하는 장척 시트(장척상 기재)의 주행 방향을 전환하는 방향 전환 장치(턴 롤)로서, 턴 롤 내부의 공동에 에어를 공급하는 에어 공급구와, 턴 롤 둘레면에 설치된 에어 분출 구멍을 구비한 턴 롤이 기재되어 있다. 특허문헌 1에서는 에어 분출 구멍으로부터의 분출량을 턴 롤의 폭 방향에서 조정하기 위해, 턴 롤 내부의 공동을 턴 롤 폭 방향으로 분할하는 칸막이를 설치하며, 칸막이에 의해 분할된 턴 롤 내부의 각 공동에 에어 공급량을 조절할 수 있는 독립한 에어 공급구를 설치하는 것이 기재되어 있다.

특허문헌 2에는, 장척 시트(필름상물)를 유체에 의해 부양시키면서 반송하는 방향 전환 장치(물체 부양 장치)로서, 외부로부터 공급되는 유체의 통로가 되는 유체 구멍을 구비한 복수의 박판에 의해 적층면이 형성되고, 적층면의 근방에 유체의 반송면이 형성되고, 박판 사이에는 유체 구멍으로부터 반송면을 향하는 유체의 유로가 형성되어 있는 적층형의 물체 부양 장치가 기재되어 있다.

특허문헌 3에는, 주행하는 장척 시트(필름)의 주행 방향을 전환하는 방향 전환 장치(필름 부양 방향 전환 장치)로서, 필름 반송면에 복수의 기체 분출 구멍을 뚫어 설치하고, 가로로 긴 중공체를 형성하여 이루어지고, 양 축단부를 장치 본체에 고착하고, 적어도 한쪽의 축단부의 중공체 내에 압축 유체를 공급하는 공급관을 접속하여, 필름 반송면의 기체 분출 구멍으로부터 에어를 분출하고, 비접촉 상태에서 필름을 반송하는 것으로, 특히 필름의 부양 반송용의 반송 가이드의 방향 전환 부분에 배치하는 방향 전환 부재의 단면 형상을 반타원, 타원호 또는 반원, 원호면의 모퉁이상으로 한 형상이며, 필름 반송체의 진입측 표면과 탈리측 표면이 필름 반송 방향과 평행한 직선면을 형성한 필름 부양 방향 전환 장치가 기재되어 있다. 또한, 특허문헌 3에는, 방향 전환 부분의 복수의 기체 분출 구멍을 구비한 박판의 표면의 필름 반송면에 일정 간격을 두고 끈상물을 권회하여 표면에 일정 피치의 나선상 간극을 형성하는 것도 기재되어 있다.

일본 특허 공개 제2002-193508호 공보 일본 특허 공개 제2000-016648호 공보 일본 특허 공개 (평)8-245028호 공보

상기 종래의 방향 전환 장치는 유공 용기의 표면으로부터 분출하는 공기를 장척 시트에 고속으로 쪼임으로써 장척 시트를 부양시키는 것이다. 따라서, 특허문헌 1 내지 3에는, 기본적으로는 분출하는 공기의 유속을 높이기 위해 분출 구멍의 개구 면적을 작게 하는 기술 내용이 기재되어 있다.

그러나, 공기의 유속을 높이는 것을 목적으로 하면 유공 용기 내부의 기압을 높이기 위해 대규모의 고압 발생 장치를 사용하는 것이 필요하게 된다. 또한, 공기 중에는 미소 파티클(더스트)이 포함되어 있기 때문에, 높은 유속으로 방향 전환 장치를 사용하면 실내의 공기 청정도가 저하된다는 문제가 있었다. 또한, 대량의 공기가 실내로 방출됨으로써, 이미 실내에 쌓여 있는 더스트를 끌어들여 흩어지게 하여 더스트 오염을 확대시킨다는 문제가 있었다. 따라서, 클린룸 등, 공기의 고청정도가 요구되는 분야에서는 종래의 방향 전환 장치는 적합하지 않았다.

본 발명은 상기와 같은 사정에 주목하여 이루어진 것으로서, 유공 용기 내의 내압이 낮더라도 사용 가능하며, 유공 용기로부터 방산되는 공기의 양을 감소시킴으로써 실내의 미소 파티클의 양을 감소시킬 수 있는 방향 전환 장치를 제공하는 것을 목적으로 하는 것이다.

본 발명자들은 장척 시트를 유공 용기의 표면으로부터 확실하게 띄운다는 과제와 유공 용기로부터 방산되는 공기의 양을 감소시킨다는 과제가 상반되는 가운데, 이들 과제를 동시에 해결할 수 있는 방향 전환 장치의 실현을 목표로 하여 예의 연구를 거듭해 왔다. 연구 과정에서는 방향 전환 장치에 다공질 세라믹 소결체를 이용하는 것도 검토했지만, 다공질 세라믹 소결체에서는 장척 시트를 확실하게 띄우고자 하면 대용량의 압축 공기가 필요하게 되어, 압축 공기의 공급 설비의 설치 비용 및 운전 비용이 높아지게 되는 것이 우려된다. 또한, 소결체의 미립자가 공기 중에 떠돌아다니게 되기 때문에 공기 청정도의 저하를 일으키게 되는 것도 우려된다. 더욱 연구를 진행시킨 결과, 유공 용기의 구멍을 덮도록 하여 다공질 수지층을 형성함으로써, 유공 용기 내부의 기압을 비교적 낮게 하더라도 방향 전환 장치의 표면으로부터 장척 시트를 확실하게 띄울 수 있다는 지견을 얻었다.

상기 과제를 해결할 수 있는 본 발명의 장척 시트의 방향 전환 장치는 기둥상의 유공 용기와, 상기 유공 용기의 구멍을 덮는 다공질 수지층을 갖는 것이다.

상기 방향 전환 장치에 있어서, 상기 다공질 수지층이 다공질 수지막의 적층 구조를 포함하는 형태로 하는 것이 추천된다.

상기 방향 전환 장치에 있어서, 상기 다공질 수지층이 다공질 수지막의 권회 구조를 포함하는 형태가 추천된다.

상기 방향 전환 장치에 있어서, 상기 다공질 수지층의 두께를 0.1 내지 20 mm로 하는 것이 바람직하다.

상기 방향 전환 장치에 있어서, 상기 다공질 수지층의 외면은 적어도 일부에 원주 곡면을 갖는 형태가 추천된다.

상기 방향 전환 장치에 있어서, 상기 다공질 수지층의 통기 계수를 100 내지 15000 mL/(cm²·분·MPa)로 하는 것이 바람직하다.

상기 방향 전환 장치에 있어서, 상기 다공질 수지층의 통기 계수의 변동 계수를 30％ 이하로 하는 것이 바람직하다.

상기 방향 전환 장치에 있어서, 상기 다공질 수지막을 다공질 폴리테트라플루오로에틸렌막으로 하는 형태가 추천된다.

상기 방향 전환 장치에 있어서, 상기 유공 용기와 상기 다공질 수지층의 사이, 또는 상기 다공질 수지층 중에 보강막이 형성되어 있는 형태가 추천된다.

상기 방향 전환 장치에 있어서, 상기 보강막의 일부가 상기 다공질 수지층에 고착되어 있는 형태가 추천된다.

상기 방향 전환 장치에 있어서, 상기 다공질 수지층의 표면에 발액제가 첨가 되어 있는 형태가 추천된다.

상기 방향 전환 장치에 있어서, 상기 유공 용기의 표면적 20 cm²에 대하여 내경 1 mm 이상의 구멍이 1개 이상 형성되어 있는 것이 바람직하다.

상기 방향 전환 장치에 있어서, 상기 유공 용기에 압축 기체 공급 장치가 접속되어 있는 형태가 추천된다.

상기 방향 전환 장치에 있어서, 상기 유공 용기 내에 수증기 발생 장치가 접속되어 있고 식품 반송에 이용하는 형태로 실시하는 것이 가능하다.

상기 과제를 해결할 수 있는 본 발명의 장척 시트의 방향 전환 장치는 기둥상의 유공 용기와, 상기 유공 용기의 구멍을 덮는 다공질 수지층을 갖는 물체 부양 부재를 병렬로 복수 배열하여 구성되는 것이다.

상기 방향 전환 장치에 있어서, 상기 다공질 수지층 상에 추가로 다공질 수지막이 착탈 가능하게 설치되어 있는 구성으로 하는 것이 바람직하다.

본 발명의 물체 부양 장치는 기둥상의 유공 용기와, 상기 유공 용기의 구멍을 덮는 다공질 수지층을 갖는 물체 부양 부재를 병렬로 복수 배열하여 구성되는 것이다.

본 발명의 방향 전환 장치에서는 유공 용기의 구멍을 덮도록 다공질 수지층을 형성함으로써, 유공 용기의 내부를 비교적 저압으로 하면서도 다공질 수지층으로부터 장척 시트를 확실하게 띄울 수 있다. 또한, 방향 전환 장치로부터 방산하는 공기량이 적기 때문에, 방향 전환 장치를 운전하는 실내의 공기 청정도가 향상된다.

도 1은 본 발명의 실시 형태에서의 방향 전환 장치의 형성 과정을 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시 형태에서의 방향 전환 장치의 형성 과정을 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시 형태에서의 방향 전환 장치의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시 형태에서의 방향 전환 장치의 사용예를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시 형태에서의 다른 방향 전환 장치의 사용예를 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시 형태에서의 물체 반송 장치를 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시예에서의 방향 전환 장치의 시험 장치를 나타내는 도면이다.

이하, 도면을 이용하여 본 발명의 방향 전환 장치에 대하여 설명한다. 도 1 및 2는 본 발명의 실시 형태에서의 방향 전환 장치의 형성 과정을 나타내는 도면이고, 도 3은 완성한 방향 전환 장치의 사시도이다. 우선, 도 1에 나타낸 바와 같이 중공의 기둥상을 이루고, 측면에 구멍 (2)가 형성된 유공 용기 (1)을 준비한다. 다음으로, 도 2에 나타낸 바와 같이 유공 용기 (1)의 구멍 (2)를 덮도록 하여 다공질 수지층 (3)을 형성한다. 이에 따라, 도 3에 나타낸 바와 같이 기둥상의 유공 용기 (1)과, 이 유공 용기 (1)의 구멍 (2)를 덮는 다공질 수지층 (3)을 갖는 방향 전환 장치가 형성된다. 다공질 수지층 (3)은 단층의 다공질 수지막으로 구성할 수도 있지만, 다공질 수지막의 적층 구조(권회 구조를 포함함)로 함으로써, 후술하는 바람직한 두께를 확보할 수 있다.

본 발명의 실시 형태에서의 방향 전환 장치의 유공 용기 (1)의 내부에 가압 기체를 들여 보내면, 가압 기체가 구멍 (2)를 빠져나가고, 또한 다공질 수지층 (3)을 통과하여 방향 전환 장치 밖으로 방산된다. 이 때의 다공질 수지층 (3) 표면의 기류 상태나 기압 분포에 대해서는 완전하게는 해명되어 있지 않지만, 매우 미세한 기류가 다공질 수지층 (3)의 수직 방향뿐만 아니라 다양한 방향으로 등방적으로 발생하고 있다고 생각된다. 종래의 방향 전환 장치와 같은 고속 다량의 기류 발생은 보이지 않지만, 다공질 수지층 (3)의 표면 부근에서는 매우 원활한 물체 부양력이 작용하고 있다.

이러한 다공질 수지 재료의 특질은 본 발명자들이 동시에 검토를 진행시켜 온 다공질 세라믹 소결체 등에서는 보이지 않았다.

도 4는 본 발명의 실시 형태에서의 방향 전환 장치의 사용예를 나타내는 도면이다. 도 4에 있어서, 상기 방향 전환 장치의 반바퀴에 걸쳐 장척 시트(예를 들면 물품의 반송 벨트로서 이용되는 것)를 걸어 두고, 그 상태에서 유공 용기 (1)의 내부에 가압 기체를 들여 보냄으로써 다공질 수지층 (3)의 표면으로부터 공기가 방산되고, 이에 따라 장척 시트가 부양하기 때문에 장척 시트가 원활하게 주행한다.

다공질 수지층 (3)을 구성하는 재료로서는, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 등의 폴리올레핀류, 폴리염화비닐, 폴리아미드, 폴리카보네이트, 폴리페닐렌에테르, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리우레탄 등, 이들의 혼합물, 적층물 등 다양한 수지제의 다공성 필름을 사용할 수 있다. 특히, 초고분자량의 올레핀류나 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE)은 용융 점도가 높기 때문에, 다공질 수지층 (3)의 제작 후에 다소의 열이 가해지더라도 구멍의 형태가 크게 변화하지 않으므로 바람직하다.

그 중에서도 폴리테트라플루오로에틸렌은 용융 점도가 크고, 내열성도 높으며, 가스 발생·발진량이 적기 때문에, 방향 전환 장치를 클린룸 등의 용도에 이용하는 경우는 보다 바람직하다. 또한, 폴리테트라플루오로에틸렌은 표면의 이형성이 우수하기 때문에, 장척 시트의 주행 중에 정전 등의 영향으로 유공 용기 (1) 내부로의 가압 기체의 송급이 정지했다 하더라도, 다공질 수지층 (3)과 장척 시트가 접촉하면서도 비교적 원활하게 미끄러진다. 이 때문에, 장치계 전체의 급한 정지에 의한 장척 시트의 손상을 최소한으로 억제할 수 있다. 따라서, 다공질 수지층 (3)을 구성하는 재료로서 폴리테트라플루오로에틸렌을 이용하는 것은 가압 기체의 송급 상태이든 비송급 상태이든 매우 유리한 효과를 가져온다.

또한, 다공질 수지층 (3)의 재료로서 PTFE를 이용하면, 마이너스 100℃의 극저온으로부터 260℃의 고온까지의 온도 범위에서 방향 전환 장치를 사용할 수 있다. 열용량이 높은 가열 수증기를 유공 용기 (1) 내에 송급하기 위한 증기 발생 장치를 접속함으로써, 식품을 조리하면서 반송하는 것도 가능하다.

다공질 수지층 (3)을 구성하는 다공질 수지막은 상 분리법으로 다공 구조로 한 막, 조공제(造孔劑)로 다공 구조로 한 막, 연신 가공으로 다공 구조로 한 막 등을 사용할 수 있다. 조공제를 사용하는 경우, 조공제인 충전재의 함유량이 많으면, 공경 분포가 넓어지게 된다는 점, 및 충전재의 탈락이 발생하기 쉬워진다는 점에서, 충전재의 함유율은 50 질량％ 이하로 하는 것이 바람직하다.

다공질 수지막을 폴리테트라플루오로에틸렌 재료를 이용하여 연신 가공으로 형성하는 경우에는, PTFE 파인 파우더와 윤활제의 혼합물을 압출 성형체(페이스트 성형체)로 하고, 윤활제를 제거한 후에 연신함으로써 얻을 수 있다. 연신에 제공하는 페이스트 성형체는 미소성체, 반미소성체, 소성체를 모두 이용할 수 있지만, 자기 융착성이 양호한 미소성체를 이용한 것이 보다 바람직하다. 연신 방법으로서는, PTFE의 융점 이하에서 행하는 1축 연신, 2축 동시 연신, 축차 2축 연신을 모두 적용할 수 있다. 상세하게는, 일본 특허 공고 (소)56-45773호 공보, 일본 특허 공고 (소)56-17216호 공보, 일본 특허 공고 (소)53-55378호 공보, 일본 특허 공고 (소)55-55379호 공보, 일본 특허 공개 (소)59-109534호 공보, 일본 특허 공개 (소)61-207446호 공보 등에 기재된 방법이 참고가 된다.

다공질 수지막의 공극률(空孔率)은, 예를 들면 40％ 이상(바람직하게는 60％ 이상, 보다 바람직하게는 70％ 이상), 95％ 이하(바람직하게는 93％ 이하, 보다 바람직하게는 90％ 이하)로 하는 것이 추천된다. 다공질 수지막의 공극률은 연신 배율에 의해 적절히 조정할 수 있다. 상기와 같은 공극률이 추천되는 것은, 공극률이 너무 낮으면 다공질 수지층 (3)의 통기 저항이 높아져, 장척 시트를 부양시키기 위해 고압의 가압 기체가 필요하게 되기 때문이다. 한편, 공극률의 상한에 특별히 제한은 없지만, 너무 높으면 유공 용기 (1)의 개개의 구멍 (2)로부터의 기류를 다공질 수지층 (3)으로 완전히 균일화할 수 없기 때문에 상기 범위가 추천된다.

다공질 수지막의 공극률은 다공질 불소 수지막의 질량 W와, 공극부를 포함하는 겉보기의 부피 V를 측정함으로써 구해지는 겉보기 밀도 D₂(D₂=W/V: 단위는 g/cm³)와, 전혀 공극이 형성되어 있지 않을 때의 진밀도(PTFE의 경우 2.2 g/cm³)를 이용하여, 하기 수학식 1에 기초하여 산출할 수 있다. 또한, 부피 V를 산출할 때의 두께는 다이얼 두께 게이지로 측정(테크록사 제조 「SM-1201」을 이용하여 본체 스프링 하중 이외의 하중을 걸지 않는 상태로 측정)한 평균 두께로 할 수 있다.

다공질 수지막의 1장의 두께는 특별히 한정되지 않지만, 다공질 수지층 (3)의 총 두께(단층의 경우에는 1장의 두께이고, 여러장 적층한 경우에는 합계 두께를 가리킴)는, 예를 들면 0.1 mm 이상, 바람직하게는 0.4 mm 이상, 더욱 바람직하게는 1 mm 이상으로 한다. 다공질 수지층 (3)의 총 두께가 너무 작으면, 가압 기체의 압력에 의해, 다공질 수지층 (3)이 유공 용기 (1)로부터 떨어져 외측으로 부풀게 되는 현상이 발생하기 때문이다. 또한, 유공 용기 (1)의 개개의 구멍 (2)로부터의 기류를 완전히 균일화할 수 없다. 또한, 다공질 수지막의 공경은 0.2 내지 10 μm정도, 바람직하게는 0.2 내지 5 μm 정도이다.

한편, 다공질 수지층 (3)의 총 두께가 너무 커지면 다공질 수지층 (3)의 측면 방향으로의 가압 기체의 누설을 멈추게 하는 것이 곤란해진다. 또한, 다공질 수지층 (3)의 통기 저항이 높아짐으로써 장척 시트를 부양시키기 위해 매우 고압의 가압 기체가 필요하게 된다. 이 때문에, 다공질 수지층 (3)의 총 두께는, 예를 들면 20 mm 이하, 바람직하게는 15 mm 이하, 더욱 바람직하게는 10 mm 이하로 한다.

다공질 수지막의 적층 형태로서는, 예를 들면 여러장의 다공질 수지막을 유공 용기 (1)에 동심원상으로 권취할 수 있다. 특히, 복수 적층한 다공질 수지막 중 유공 용기 (1)측에 가까운 것일수록 공극률이 높은 것을 이용하는 것이 바람직하다. 공극률이 낮은 다공질 수지막은 공기의 균일한 방산에 유효한 한편으로, 공기 중의 더스트에 의한 눈막힘을 일으키기 쉬워 장기간의 안정 구동성이 결여되는 경우가 있다. 따라서, 방향 전환 장치의 유공 용기 (1)측에, 눈막힘을 일으키기 어려운 공극률이 높은 것을 이용하고, 방향 전환 장치의 표면측에, 공기의 균일한 방산에 유효한 공극률이 낮은 것을 이용하는 것이 유효하다. 예를 들면, 유공 용기 (1)측에 가장 가까운 측의 다공질 수지막의 공극률을, 방향 전환 장치의 최외측 표면측의 다공질 수지막의 공극률의 1.5배 이상, 보다 바람직하게는 2배 이상, 더욱 바람직하게는 3배 이상으로 한다.

다공질 수지막의 다른 적층 형태로서는, 유공 용기 (1)에 1장의 다공질 수지막을 권회하는 형태를 생각할 수 있다. 권회의 경우, 다공질 수지막을 유공 용기 (1)에 권회한 후에 다공질 수지막을 가열 수축시킴으로써, 다공질 수지막이 유공 용기 (1)에 견고하게 고정되기 때문에 바람직하다. 장척 시트 (6)을 부양시킴에 있어서는, 다공질 수지층 (3)의 표면 근방은 중요한 부분이기 때문에, 이 부분은 아무것도 배치하지 않는 공간으로서 확보해 둘 필요가 있다. 이 때문에, 다공질 수지층 (3)보다 외측에 어떠한 기구를 이용하여 다공질 수지층 (3)을 고정하는 것은 바람직하지 않다. 따라서, 상기 권회에 의한 적층은 다공질 수지막의 가열 수축을 이용한 고정 수단으로서 유효하여, 본 발명의 방향 전환 장치의 형태로서 매우 바람직하다. 권회의 바람직한 주회수는, 예를 들면 유공 용기 (1)의 2 바퀴 이상, 보다 바람직하게는 5 바퀴 이상, 더욱 바람직하게는 7 바퀴 이상이다. 주회수의 상한은 특별히 없지만, 방향 전환 장치의 제조 효율 면에서 보아, 예를 들면 100 바퀴 이하, 바람직하게는 50 바퀴 이하로 한다.

다공질 수지막의 적층 시에는 층간에 존재하는 공기를 빼기 때문에, 방향 전환 장치를 가열 처리 전에 진공 처리하는 것이 유효하다. 필요하다면 다공질 수지막의 층간 접착에 열가소성 수지의 미분말이나 에폭시 수지 등의 열경화성 수지 등의 접착제를 사용하는 것도 가능하다. 접착제는 단순히 다공질 수지막의 표면에 도포하는 수법뿐만 아니라, 예를 들면 다공질 수지막의 구멍 부분에 열경화성 수지의 접착제를 함침하여 건조시킴으로써 반경화(B 스테이지화)시키고, 이것을 적층하여 가열 처리하는 수법을 채용하는 것도 가능하다.

다공질 수지층 (3)의 통기 계수(K: 통기 저항을 나타내는 지표. 단위는 mL/(cm²·분·MPa). 이하, 단위의 표시는 생략하는 경우가 있음)는 100 내지 15000으로 하는 것이 바람직하다. 통기 계수(K)를 100 이상으로 함으로써, 장척 시트를 한층 더 확실하게 부양시킬 수 있기 때문이다. 또한, 통기 계수(K)가 100 미만인 경우에는, 다공질 수지층 (3)의 표면 평활도를 매우 높게 해야만 하는 경우가 있어 경제적이지 않다.

한편, 통기 계수(K)를 15000 초과로 하면, 대용량의 압축 공기가 필요하게 되어, 압축 공기의 공급 설비의 설치 비용 및 운전 비용이 높아질 우려가 있다. 또한, 다공질 수지층 (3)의 표면인 작용면에 부양 대상인 장척 테이프 (6)을 두었을 때, 장척 테이프 (6) 아래의 구멍으로부터 압축 공기의 방산이 크게 방해받아, 안정성이 얻어지지 않게 된다. 따라서, 통기 계수(K)를 15000 이하로 하는 것이 바람직하다. 통기 계수(K)는 보다 바람직하게는 300 내지 10000, 더욱 바람직하게는 500 내지 7000으로 한다.

통기 계수(K)는 다음과 같이 하여 측정할 수 있다. 우선, 유공 용기 (1)에 일정 압력(MPa)의 압축 공기를 공급하고, 다공질 수지층 (3)의 표면인 부양 작용면에 방산되는 공기량(mL/분)을 측정한다(호리바 에스텍사 제조의 고정밀도 정밀막 유량계 SF-1U를 이용함). 다음으로, 측정된 방산 공기량의 값을 측정 면적(cm²)으로 나누어 단위 면적당의 통기량 V(mL/cm²·분)을 구한다. 또한, 유공 용기 (1)에 공급하는 압축 공기의 압력 P(MPa)를 다양하게 변화시켜 마찬가지의 측정을 행한다. 그리고, 공급 압력(P)을 횡축, 통기량(V)을 종축으로 한 그래프에 각 측정치를 플롯하고, 얻어진 직선의 기울기를 통기 계수(K)로 한다. 즉, 다음의 각 수학식 2 및 3이 얻어져, 통기 계수(K)를 특정할 수 있다.

통기 계수(K)의 값은 다공질 수지층 (3)의 상이한 영역 사이에서 그다지 변동하지 않는 것이 바람직하다. 장척 시트 (6)을 균형적으로 안정하게 부양시키기 때문이다. 이 때문에, 통기 계수의 변동 계수를 바람직하게는 30％ 이하, 보다 바람직하게는 15％ 이하로 한다. 변동 계수(C)가 30％를 초과하는 경우, 부양력의 안정성이 나빠질 우려가 있고, 특히 장척 테이프 (6)의 폭이 좁은 경우에 부양의 안정성이 결여된 것이 될 가능성이 있다.

변동 계수(C)는 다음과 같이 하여 측정할 수 있다. 우선, 다공질 수지층 (3)의 표면인 부양 작용면을 등분으로 5 구획으로 나눈다. 각 구획을 대표하여 1점의 측정점에 대하여 통기 계수(K)를 측정하고, 각 5 구획의 5 측정치의 평균치(Km)와 표준편차(σ)의 값을 이용하여, 하기 수학식 4에 따라 통기 계수(K)의 변동 계수(C)를 계산할 수 있다.

유공 용기 (1)과 다공질 수지층 (3)의 사이, 또는 다공질 수지층 (3) 중에 보강막이 형성되어 있는 것이 바람직하다. 다공질 수지층 (3)이 가압 기체의 압력에 의해 유공 용기 (1)로부터 떨어져 외측으로 부풀게 되는 현상을 방지하기 때문이다. 예를 들면, 적층하는 다공질 수지막의 사이에 보강막을 넣을 수 있다. 보강막의 재료로서는, 유리 섬유 직물, 탄소 섬유 직물, 부직포, 아라미드나 테플론(등록상표) 등의 수퍼 엔지니어링 플라스틱 섬유제의 직물, 스테인리스 메쉬 등, 통기성을 손상시키지 않고, 강도·강성을 갖는 재료를 사용할 수 있다. 보강막을 설치하는 위치는 유공 용기 (1)측에 가까운 쪽, 유공 용기 (1)로부터 먼 쪽, 또는 그 중간의 위치 중 어느 것이어도 좋지만, 유공 용기 (1)측에 가까운 쪽에 설치하면, 가압 기체를 다공질 수지층 (3)의 전체에 분배하는 기능과 압력을 경감하는 완충 기능을 기대할 수 있다. 유공 용기 (1)로부터 먼 쪽에 설치하는 경우에는, 다공질 수지층 (3)의 표면에 보강막의 요철의 영향이 미치는 것을 방지하기 때문에(즉 다공질 수지층 (3)의 표면으로부터 방산되는 가압 기체의 층류성을 흐트러뜨리지 않기 때문에), 최외층의 다공질 수지막의 두께는 100 μm 이상, 바람직하게는 150 μm 이상, 보다 바람직하게는 200 μm 이상으로 한다.

다공질 수지막끼리의 접착, 또는 다공질 수지층(막)과 보강막의 접착을 행하는 경우에는, 다공질 수지층(막)의 일부에서만 접착되는 것이 바람직하다. 기체의 투과를 저해하지 않기 때문이다. 통기성과 융착성이 있는 보강막을 이용하여 융착하는 경우에는 전체면 융착할 수도 있다.

또한, 보강막의 재료로서 페놀이나 폴리이미드 등의 열경화성 수지를 이용하는 것도 가능하지만, 이들 재료는 자기 융착 가공을 할 수 없기 때문에 접착제가 필요하게 되어, 접착제에 의한 구멍의 눈막힘을 일으킬 우려가 있다. 이 때문에, 이러한 수지 재료를 이용하기 위해서는, 수지를 완전 경화시키기 전의 반경화(B 스테이지화) 상태에서 다공질 수지막과의 적층 가공을 행하는 것이 바람직하다.

다공질 수지층 (3)의 표면에는 대전 방지 처리를 하는 것, 또는 방수 방오를 위해 발액제(예를 들면 발액성 중합체)를 첨가하는 것이 바람직하다. 대전 방지 처리 방법으로서는, 예를 들면 제4급 암모늄계 계면활성제를 포함하는 대전 방지제, 실리케이트나 카본 나노튜브나 카본 나노파이버 등의 도전성 미분말을 포함하는 대전 방지제로 처리할 수 있다. 방수 방오 처리 방법으로서는, 예를 들면 다공질 수지층 (3)의 표면을 발수 발유성 중합체로 피복해 둘 수 있다. 이 처리에 의해, 기계유, 물방울 등의 다양한 오염물이 다공질 수지층 (3)의 세공 내에 침투 또는 보유되는 것을 방지할 수 있다. 이들 오염 물질은 다공질 수지층 (3)의 통기 특성을 저하시키는 원인이 된다. 또한, 특허청구범위 및 본 명세서에 있어서 「발액제」란, 액체를 튀기는 성질 내지는 기능을 갖는 물질을 가리키는 것으로 하고, 「발액제」에는 「발수제」,「발유제」,「발수 발유제」 등을 포함하는 것으로 한다.

유공 용기 (1)의 재료에는 특별히 제한은 없고, 스테인리스재, 수지재의 것을 사용할 수 있다. 유공 용기 (1)의 표면에는 표면적 20 cm²에 대하여 내경 1 mm 이상의 구멍을 1개 이상 형성하는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명자들은 상기와 같이 다공질 수지 재료와의 대비에 있어서 다공질 세라믹 소결체에 대해서도 동시에 검토를 진행해 왔기 때문에, 이것에 의한 지견을 만약을 위해 기재해 둔다. 다공질 세라믹 소결체의 구멍 구조는 원료인 미분말의 입경과 형상 및 소결 방법에 의해 결정되지만, 구멍의 크기를 균일화하는 것, 구멍의 방향을 일치시키는 것은 매우 곤란하고 비용이 든다. 본 발명에서는 구멍 구조를 제어하기 쉬운 다공질 수지 재료를 사용하는 것이다. 이것에 의해, 다공질 수지막의 두께 방향의 구멍의 분포나 방향이 매우 균일해지기 때문에, 다공질 수지막의 표면에 방산하는 가압 기체의 벡터가 일치하여, 부양 대상물을 균일하게 지지하여 부양시키는 것이 가능하다. 즉, 마이크로미터 단위, 서브 마이크로미터 단위의 공경의 구멍이 균일하면서 방향이 일치하여 고밀도로 분포해 있기 때문에 정압 특성이 우수한 기체층류를 저압의 가압 기체로부터 얻을 수 있다. 이에 반해, 다공질 세라믹 소결체는 구멍 구조가 입체적으로 등방성이기 때문에 부양 대상물에 대향하는 면 이외의 면(단부면)으로부터도 가압 기체가 방산되게 된다. 예를 들면, 단부면에 열경화성 수지 등을 도포하여 경화시켜 단부면을 밀봉하는 데, 이는 매우 시간이 걸리는 작업이다. 본 발명의 경우, 다공질 수지가 부드러운 구조의 것이기 때문에, 단부면을 기계적으로 압축하거나 또는 가열 압축하는 것만으로 밀봉을 용이하게 행할 수 있다. 또한, 다공질 세라믹 소결체는 일반적으로 큰 벌크물로 형성하여, 필요한 형상으로 절삭 가공하거나, 또는 금형에 의한 소결 가공 성형으로 필요한 형상으로 가공되지만, 절삭 공정 또는 금형 제조 공정에 의해 제조 공정이 복잡화된다는 단점이 있다. 이 점에서, 본 발명의 방향 전환 장치는 제조가 용이한 것도 장점의 하나이다.

도 5는 본 발명의 실시 형태에서의 다른 방향 전환 장치의 사용예를 나타내는 도면이다. 도 5에 있어서, 기둥상의 유공 용기 (1)과, 이 유공 용기 (1)의 구멍 (2)를 덮는 다공질 수지층 (3)을 갖는 물체 부양 부재 (13)을 병렬로 복수 배열하여 방향 전환 장치가 구성되어 있다. 상기 방향 전환 장치의 약 반바퀴에 걸쳐 장척 시트 (6)을 걸어 두고, 그 상태에서 각각의 유공 용기 (1)의 내부에 가압 기체를 들여 보냄으로써 다공질 수지층 (3)의 표면으로부터 공기가 방산하고, 이에 따라 장척 시트 (6)이 부양하기 때문에 장척 시트 (6)이 원활하게 주행한다.

도 5의 예에서는 물체 부양 부재 (13)은 원형상으로 배열되어 있지만, 복수의 물체 부양 부재 (13)이 병렬로(즉 물체 부양 부재가 동일한 방향을 향하도록) 배열되어 있으면 좋고, 타원상 등일 수도 있다.

이상 설명한 본 발명의 실시 형태에서의 방향 전환 장치에 있어서, 다공질 수지층 (3) 상에 추가로 다공질 수지막(도시하지 않음)이 착탈 가능하게 설치되어 있는 구성으로 하는 것이 바람직하다. 방향 전환 장치의 운전 중에 다공질 수지막에 액체나 점착물 등이 부착된 경우라도 다공질 수지막을 다른 다공질 수지막으로 교환함으로써, 방향 전환 장치의 유지 보수가 매우 용이해지기 때문이다. 다공질 수지막의 재료로서는, 다공질 수지층 (3) 중의 다공질 수지막과 동일한 것을 사용할 수 있고, 다공질 PTFE 재료를 이용하는 것이 가장 바람직하다.

도 6은 본 발명의 방향 전환 장치로부터 파생하여 고안한 물체 부양 장치를 나타내는 것이다. 도 6에 나타낸 바와 같이, 유공 용기 (1)의 표면에 다공질 수지층 (3)을 설치한 물체 부양 부재 (13)을 병렬로 배열함으로써, 반송 물체 (12)를 부양시켜 반송할 수 있다. 반송 물체 (12)가 무거운 경우에는, 유공 용기 (1)을 각기둥 형상으로 함으로써, 다공질 수지층 (3)의 표면과 반송 물체 (12)가 대향하는 면적이 증가하여 부양력을 증가시킬 수 있다. 또한, 유공 용기 (1)의 직경을 작게 하여 다수 빈틈없이 배치함으로써도 부양력을 증가시킬 수 있다. 본 발명의 물체 부양 장치는 장척 시트의 주행 방향을 전환시키는 본 발명의 방향 전환 장치와는 부양 대상물이 상이한 것이지만, 채용할 수 있는 유공 용기 (1)과 다공질 수지층 (3)의 변동성이나 향수할 수 있는 작용 효과는 동일하기 때문에 상세한 설명은 생략한다.

도 6의 예에서는 물체 부양 부재 (13)은 동일 평면 상에 배열되어 있지만, 복수의 물체 부양 부재 (13)이 병렬로 배열되어 있으면 좋고, 물체 부양 부재 (13)이 곡면상으로 배열되어 있을 수도 있다.

<실시예>

이하, 실시예, 참고예를 들어 본 발명의 실시예에서의 방향 전환 장치를 설명한다. 물론, 본 발명은 이들 실시예로 한정되는 것은 아니다.

1. 평가 장치

도 7은 본 발명의 실시예에서의 방향 전환 장치의 시험 장치를 나타내는 도면이다. 도 7에 있어서, 시험대 (5) 상에는 방향 전환 장치 (4)와 가이드 레일 (9)가 고정되어 있다. 유공 용기 (1)과 다공질 수지층 (3)을 구비한 방향 전환 장치 (4)에는 일단부에 고정 바 (8), 타단부에 추 (7)이 부착된 장척 시트 (6)를 걸어 두었다. 장척 시트 (6)으로서 점착 테이프를 사용하고, 점착 테이프의 점착제측을 장척 시트 (6)을 향하게 하였다. 방향 전환 장치 (4)에는 기체 송급 호스 (10)에 의해 압축 기체 공급 장치(예를 들면 컴프레서) (11)을 접속하였다. 압축 기체 공급 장치 (11)로부터 송급되는 가압 기체를 방향 전환 장치 (4)에 도입하고, 이에 의해 장척 시트 (6)을 부양시켰다. 이 상태에서 고정 바 (8)을 가이드 레일 (9)를 따라 수평 방향으로 움직이게 함으로써 장척 시트 (6)인 점착 테이프를 방향 전환 장치 (4) 상에서 90도 방향 전환시켰다.

(실시예 1)

유공 용기 (1)로서, 스테인리스 파이프의 중앙부에 5 mmφ의 구멍을 원주 방향으로 등간격으로 4개 설치한 것을 이용하였다. 스테인리스 파이프는 외경 34 mm, 내경 28 mm, 길이 150 mm이고, 양단부를 두께 2 mm의 스테인리스판으로 용접 밀봉하고, 한쪽 단부에 기체 송급 호스 (10)의 커넥터를 부착할 수 있도록 천공 가공하였다.

다공질 수지막으로서, 2축 연신 다공질 PTFE 필름(재팬 고어텍스사 제조, 필름 두께: 125 μm, 겉보기 밀도: 0.436)을 이용하였다. 이 2축 연신 다공질 PTFE 필름은 다이킨 고교 가부시끼가이샤 제조의 PTFE 파인 파우더(상품명: 폴리플론 F 104)로부터 페이스트 압출, 롤 압연, 윤활제 건조, 연신, 소성의 각 공정을 거침으로써 제조한 것이다. 이 2축 연신 다공질 PTFE 필름을 폭 250 mm, 길이 3 m의 크기로 잘라 이용하였다.

보강막으로서 연신 PTFE제의 직조천(재팬 고어텍스사 제조, 소선 섬도: 380 데니어, 평량: 183 g/m²)을 이용하고, 이것을 폭 250 mm, 길이 1 m의 크기로 잘랐다.

유리판 상에, 상기와 같이 준비한 2축 연신 다공질 PTFE 필름과 연신 PTFE제의 직조천을 주름이 없도록 늘리면서 폭을 맞추어 중첩하여 펼쳤다. 또한, 선단부에서는 연신 PTFE제의 직조천의 선단부보다 10 cm 더 앞에 2축 연신 다공질 PTFE 필름의 선단부가 배치되도록 중첩하였다.

펼친 2축 연신 다공질 PTFE 필름과 연신 PTFE제의 직조천의 선두부의 2축 연신 다공질 PTFE 필름 상에 상기 스테인리스 파이프를 두고, 느슨함이나 주름이 발생하지 않도록 장력을 걸면서, 선단부의 2축 연신 다공질 PTFE 필름을 스테인리스 파이프측(최내층측)으로 하여 스테인리스 파이프에 동심원상으로 권취하였다.

이 2축 연신 다공질 PTFE 필름과 연신 PTFE제의 직조천이 권취된 스테인리스 파이프를 양단부에서 지지하는 지그에 얹어 오븐에 넣고, 340℃에서 가열 처리하였다. 약 10시간 후에 지그에 얹은 채로 오븐으로부터 꺼내고, 자연 방냉에 의해 실온까지 냉각하였다.

이어서, 스테인리스 파이프의 양단부로부터 비어져 나와 있는 2축 연신 다공질 PTFE 필름과 연신 PTFE제의 직조천을 커터 나이프로 잘라내어 폭을 150 mm(스테인리스 파이프의 길이와 동일)로 하였다. 또한, 스테인리스 파이프의 양단부를 스테인리스제의 호스 밴드(가부시끼가이샤 토욕스 제조, 상품명 에스카르고)로 단단히 조였다. 이상의 방법에 의해, 2축 연신 다공질 PTFE 필름과 연신 PTFE제의 직조천이 권취된 방향 전환 장치 (1)을 얻었다. 또한, 이 방향 전환 장치 (1)의 최외경은 42 mm였다.

(실시예 2)

다공질 수지막으로서 1축 연신 다공질 PTFE 필름(재팬 고어텍스사 제조, 필름 두께: 165 μm, 겉보기 밀도: 0.564)을 이용하였다. 이 1축 연신 다공질 PTFE 필름은 다이킨 고교 가부시끼가이샤 제조의 PTFE 파인 파우더(상품명: 폴리플론 F104)로부터 페이스트 압출, 롤 압연, 윤활제 건조, 연신, 소성의 각 공정을 거침으로써 제조한 것이다. 이 1축 연신 다공질 PTFE 필름을 폭 250 mm, 길이 4 m의 크기로 잘랐다.

보강막으로서 연신 PTFE제의 직조천(재팬 고어텍스사 제조, 소선 섬도: 380 데니어, 평량: 183 g/m²)을 이용하고, 이것을 폭 250 mm, 길이 50 cm의 크기로 잘라 사용하였다.

그 밖의 조건은 실시예 1과 동일하게 하여 방향 전환 장치 (2)를 얻었다. 이 방향 전환 장치 (2)의 외경은 39 mm였다.

(실시예 3)

다공질 수지막으로서 폴리프로필렌의 다공질막(상품명: NG100, 가부시끼가이샤 도꾸야마 제조, 두께: 110 μm)을 폭 250 mm, 길이 2 m로 자른 것을 준비하였다.

보강막으로서 300 메쉬의 스테인리스 스크린(소선 직경 30 μm, 가부시끼가이샤 메쉬 제조)을 폭 150 mm, 길이 2 m로 자른 것을 준비하였다.

실시예 1과 동일한 스테인리스 파이프 상에, 처음에 스테인리스 스크린을 동심원상으로 감고, 이어서 폴리프로필렌의 다공질막을 동심원상으로 주름없이 권취하였다. 그 위에, 추가로 실시예 2에서 이용한 것과 동일한 1축 연신 다공질 PTFE 필름을 5 바퀴 권취하였다. 1축 연신 다공질 PTFE 필름은 가열 처리했을 때에 수축하여, 조여 감기의 효과가 있기 때문에 이용하였다.

스테인리스 파이프를 실시예 1과 동일한 지그에 얹어 오븐에 넣고, 155℃에서 가열 처리하였다. 약 5 시간 후에 지그에 얹은 채로 오븐으로부터 꺼내고, 자연 방냉에 의해 실온까지 냉각하였다.

그 후에는 실시예 1과 동일한 처리를 하여 방향 전환 장치 (3)을 얻었다. 이 방향 전환 장치 (3)의 외경은 37 mm였다.

이상의 방향 전환 장치 (1) 내지 (3)에서의 다공질 수지막의 통기 계수(K) 및 그의 변동 계수(C)는 하기 표 1에 나타낸 바와 같은 것이다.

(참고예 1)

시판되는 초고분자량 폴리에틸렌제의 다공질 파이프(내경: 30 mm, 외경: 40 mm, 두께: 5 mm, 길이: 150 mm, 평균 기공 직경: 5 μm, 가부시끼가이샤 소메야 세이사꾸쇼 제조)를 그대로 방향 전환 장치 (4)로 하였다.

(참고예 2)

시판되는 초고분자량 폴리에틸렌제의 다공질 파이프(내경: 30 mm, 외경: 40 mm, 두께: 5 mm, 길이: 150 mm, 평균 기공 직경: 15 μm, 가부시끼가이샤 소메야 세이사꾸쇼 제조)를 그대로 방향 전환 장치 (5)로 하였다.

(참고예 3)

시판되는 다공질 세라믹제 산기관(상품명: 에어 스톤 NR-S304, 가부시끼가이샤 이와키 펌프 제조)을 그대로 방향 전환 장치 (6)으로 하였다.

이상의 방향 전환 장치 (4) 내지 (6)에서의 다공질 파이프나 산기관의 통기 계수(K) 및 그의 변동 계수(C)는 상기 표 1에 나타낸 바와 같은 것이다.

2. 평가 방법

도 7에 나타낸 시험 장치에, 방향 전환 장치 (1) 내지 (6)을 부착하여 점착 테이프의 주행 방향의 전환 시험을 행하였다. 점착 테이프(상품명: No3705 수퍼, 폭: 5 cm, 닛토덴꼬 가부시끼가이샤 제조)에 500 g의 추 (7)을 매닮으로써 100 g/cm의 하중을 걸었다. 점착제면을 방향 전환 장치에 대향시켜, 90도의 방향 전환 상태에서 방향 전환 장치 상에서 점착 테이프를 길이 방향으로 왕복시키고(도 7), 점착 테이프의 점착제의 영향을 받지 않고 움직일 수 있는지의 여부를 확인하였다(1회째).

또한, 이 상태에서 1 시간 방치한 후, 다시 점착 테이프를 길이 방향으로 움직이게 하여 점착 테이프의 점착제의 영향을 받지 않고 움직일 수 있는지의 여부를 확인하였다(2회째).

상기 표 1은 가압 기체의 압력을 0.05 MPa, 0.1 MPa, 0.2 MPa, 0.3 MPa로 변경하여 행한 시험의 결과를 나타내는 것이다. 사용한 방향 전환 장치는 상기 (1) 내지 (6)의 6 종류이다. 표 1에는 방향 전환 장치의 동작 초기에 행한 시험(1회째)의 결과와, 1 시간 후에 행한 시험(2회째)의 결과를 나타낸다.

표 1의 평가 기준은 이하와 같다.

○: 점착제의 영향을 받지 않고, 점착 테이프를 자유롭게 움직일 수 있음.

△: 점착제가 영향을 미쳐, 곳곳에 걸림이 있음.

×: 점착제가 방향 전환 장치에 점착하여 점착 테이프를 움직일 수 없음.

표 1의 시험 결과로부터 알 수 있는 바와 같이, 초고분자량 폴리에틸렌제의 다공질 파이프나 다공질 세라믹제의 다공질 파이프를 이용한 방향 전환 장치 (4) 내지 (6)에서는 가압 기체의 압력을 0.3 MPa까지 상승시킨 경우에는 약간 개선되긴 하지만, 그보다 낮은 압력에서는 점착제가 방향 전환 장치에 점착하여 점착 테이프를 움직일 수 없었다. 이에 반해, 본 발명의 실시예인 다공질 수지막을 이용한 방향 전환 장치 (1) 내지 (3)에서는 점착 테이프의 부양 상태가 양호하기 때문에, 점착제의 영향을 받지 않고 점착 테이프를 매우 원활하게 움직일 수 있었다.

1: 유공 용기
2: 구멍
3: 다공질 수지막
4: 방향 전환 장치
5: 시험대
6: 장척 시트
7: 추
8: 고정 바
9: 가이드 레일
10: 기체 송급 호스
11: 압축 기체 공급 장치
12: 반송 물체
13: 물체 부양 부재

Claims (17)

1. 기둥상의 유공(有孔) 용기와, 상기 유공 용기의 구멍을 덮는 다공질 수지층을 갖는 것을 특징으로 하는 장척 시트의 방향 전환 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 다공질 수지층이 다공질 수지막의 적층 구조를 포함하는 방향 전환 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 다공질 수지층이 다공질 수지막의 권회 구조를 포함하는 방향 전환 장치.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 다공질 수지층의 두께가 0.1 내지 20 mm인 방향 전환 장치.
5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 다공질 수지층의 외면은 적어도 일부에 원주 곡면을 갖는 방향 전환 장치.
6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 다공질 수지층의 통기 계수가 100 내지 15000 mL/(cm²·분·MPa)인 방향 전환 장치.
7. 제6항에 있어서, 상기 다공질 수지층의 통기 계수의 변동 계수가 30％ 이하인 방향 전환 장치.
8. 제2항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 다공질 수지막이 다공질 폴리테트라플루오로에틸렌막인 방향 전환 장치.
9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 유공 용기와 상기 다공질 수지층의 사이, 또는 상기 다공질 수지층 중에 보강막이 형성되어 있는 방향 전환 장치.
10. 제9항에 있어서, 상기 보강막의 일부가 상기 다공질 수지층에 고착되어 있는 방향 전환 장치.
11. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 다공질 수지층의 표면에 발액제가 첨가되어 있는 방향 전환 장치.
12. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 유공 용기의 표면적 20 cm²에 대하여 내경 1 mm 이상의 구멍이 1개 이상 형성되어 있는 방향 전환 장치.
13. 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 유공 용기에 압축 기체 공급 장치가 접속되어 있는 방향 전환 장치.
14. 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 유공 용기에 수증기 발생 장치가 접속되어 있고 식품 반송에 이용하는 방향 전환 장치.
15. 기둥상의 유공 용기와, 상기 유공 용기의 구멍을 덮는 다공질 수지층을 갖는 물체 부양 부재를 병렬로 복수 배열하여 구성되는 장척 시트의 방향 전환 장치.
16. 제1항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 다공질 수지층 상에 추가로 다공질 수지막이 착탈 가능하게 설치되어 있는 방향 전환 장치.
17. 기둥상의 유공 용기와, 상기 유공 용기의 구멍을 덮는 다공질 수지층을 갖는 물체 부양 부재를 병렬로 복수 배열하여 구성되는 물체 부양 장치.

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