KR20130083995A - Seramic sheet desquamation apparatus - Google Patents

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KR20130083995A
KR20130083995A KR1020120004650A KR20120004650A KR20130083995A KR 20130083995 A KR20130083995 A KR 20130083995A KR 1020120004650 A KR1020120004650 A KR 1020120004650A KR 20120004650 A KR20120004650 A KR 20120004650A KR 20130083995 A KR20130083995 A KR 20130083995A
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Abstract

PURPOSE: A ceramic sheet exfoliation apparatus makes parallelism, adhesion, speed, etc. identical and thus implements even exfoliation. CONSTITUTION: A peeling table absorbs a ceramic sheet and then transfers it. A deposition head (120) absorbs the ceramic sheet in the lower-side. A grip unit mounting body (130) is installed in the down side of the deposition head. A grip unit (140) comprises a top part gripper and a lower part gripper. The top part gripper exfoliates a carrier film from a ceramic thin film.

Description

세라믹 시트 박리장치 {Seramic sheet desquamation apparatus}Ceramic sheet desquamation apparatus

본 발명은 세라믹 박막 적층 가공장치에 사용되는 세라믹 시트 박리장치에 관한 것으로, 대지(carrier film)(s2)상에 부착된 회로 패턴이 인쇄된 세라믹 박막(s1)으로 구성되는 세라믹 시트(s)에서 상기 대지(carrier film)(s2)를 박리하는 세라믹 시트 박리장치에 있어서, 그 상면에 상기 세라믹 시트(s)를 흡착하여 이송하며, 박리 테이블 수평 이동 수단(111)에 의해 수평방향으로 구동되고, 박리 테이블 상하 이동 수단(112)에 의해 상하로 이동되는 박리테이블(110);과, 상기 박리테이블(110)로부터 상기 세라믹 시트(s)를 전달받아 하면에 흡착 고정하여, 적층헤드 이송 수단(122)에 의해 적층 헤드 가이드 레일(121) 상에서 수평 이동하는 적층헤드(120);와, 상기 적층헤드(120)의 하방 측면에 그립 유닛 장착 몸체 회전각 조절 수단(131)에 의해 그 설치 각도가 조절이 가능하도록 설치되는 그립 유닛 장착 몸체(130);와, 상기 그립 유닛 장착 몸체(130)에 그립 유닛 상하 구동 수단(150)에 의해 상하로 구동 가능하도록 설치되며, 그립퍼 회동 수단(143)에 의해 서로 개폐가 가능하여 최상부에 위치하여 폐쇄되는 경우 상기 적층헤드(120)의 하면 일 측에 근접하여 상기 대지(carrier film)(s2)의 박리 시작 말단부(s2')를 포집한 후, 폐쇄상태를 유지하며 하방으로 이동하여 상기 대지(carrier film)(s2)를 상기 세라믹 박막(s1)으로부터 박리하는 상부 그립퍼(141)와 하부 그립퍼(142)를 포함하여 구성되는 그립유닛(140); 을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 세라믹 시트 박리장치(100)에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a ceramic sheet peeling apparatus used in a ceramic thin film laminating apparatus, wherein a ceramic sheet (s) composed of a ceramic thin film (s1) printed with a circuit pattern attached on a carrier film (s2) is printed. In the ceramic sheet peeling apparatus for peeling the carrier film (s2), the ceramic sheet (s) is adsorbed and transported on its upper surface, and driven horizontally by the peeling table horizontal moving means (111), A peeling table 110 which is moved up and down by the peeling table vertically moving means 112; and the ceramic sheet s is received from the peeling table 110 and fixed to the lower surface by adsorption. A stacking head 120 horizontally moved on the stacking head guide rail 121 by the stacking head 120; and an installation angle of the stacking head 120 is controlled by a grip unit mounting body rotation angle adjusting means 131 at a lower side of the stacking head 120. Even possible A grip unit mounting body 130 that is locked and installed to the grip unit mounting body 130 so as to be driven up and down by a grip unit up and down driving means 150, and are opened and closed by a gripper rotating means 143. If the position is closed at the top of the stacking head 120 is close to one side of the peeling start end portion (s2 ') of the carrier (carrier film) (s2) is collected, and then kept closed A grip unit (140) including a upper gripper (141) and a lower gripper (142) to move downward to peel the carrier film (s2) from the ceramic thin film (s1); It relates to a ceramic sheet peeling apparatus 100, characterized in that comprising a.

일반적으로, 세라믹 시트 박리장치가 사용되는 세라믹 박막 적층 가공장치는, 구체적으로 첨단 전자제품의 개발 및 Up-grade 에 따라 수요가 한층 급증하고 있는 고용량 구현을 위해 얇은 유전재료 사이에 전극을 인쇄하고, 수십~수백층을 적층하여 capacitor를 여러 개 병렬 연결한 것과 같은 기능을 가지는 초소형 capacitor인 Multi-layer ceramic capacitor(MLCC)와 같은 전자 부품을 제조하기 위하여, 도 1에 도시한 것과 같이 대지(Carrier Film: 일반적으로 PET Film이 많이 사용된다)(s2)상에 회로 패턴형상으로 인쇄된 세라믹 박막(s1)으로 구성되는 세라믹 시트(s)를 박리하여 정밀하게 고층으로 적층하는 적층 장비이다.
In general, the ceramic thin film lamination processing apparatus using a ceramic sheet peeling apparatus, specifically, to print the electrodes between the thin dielectric material for high capacity to meet the ever-increasing demand in accordance with the development and up-grade of advanced electronic products, In order to manufacture an electronic component such as a multi-layer ceramic capacitor (MLCC), which is a microcapacitor having a function of stacking several tens to hundreds of layers and connecting several capacitors in parallel, a carrier film as shown in FIG. : PET film is generally used) (s2) is a lamination apparatus for peeling precisely and stacking a ceramic sheet (s) composed of a ceramic thin film (s1) printed in a circuit pattern shape on a high layer.

일반적으로, 초소형 capacitor인 Multi-layer ceramic capacitor(MLCC)와 같은 capacitor의 용량을 크게 하기 위해서는 대향 전극 면적을 늘리거나, 전극간 거리를 작게 하거나, 비유전율이 큰 유전재료를 전극 사이에 적용하는 방법이 사용되나, 그 크기를 소형으로 유지하면서 용량을 증대시키기 위해서는 주로 유전물질 필름 또는 박막의 두께를 더욱 얇게 하여 제작한 후, 수십~수백층을 적층하여 병렬로 연결되도록 하고 있으며, 이러한 적층을 위하여 전용 적층기가 사용되게 된다.
Generally, in order to increase capacitance of a capacitor such as a multi-layer ceramic capacitor (MLCC) which is a very small capacitor, it is necessary to increase a counter electrode area, reduce a distance between electrodes, or apply a dielectric material having a large dielectric constant between electrodes However, in order to increase the capacity while keeping the size small, the thickness of the dielectric material film or thin film is mainly made thinner, and then several tens to several hundreds of layers are laminated and connected in parallel. A dedicated laminator is used.

이러한 박막 초소형 MLCC 전용 적층기에 의하여 제조되는 박막 초소형 MLCC는 IT 제품(휴대폰, PC, D-TV 등) 외에 메모리 모듈, 튜너 등 모바일 기기, 군사용 기기, 의료 기기, 항공기, 자동차 등의 특수 목적으로도 적용되며, 소형의 capacitor가 요구되는 대단히 다양한 분야에 널리 사용된다. 특히, 내부 인덕턴스(Inductance)가 낮아 다른 캐패시터에 비해 고주파에서 노이즈 제거 효과가 탁월하기 때문에, 휴대폰, 위성 등에 적용되며, 초소형으로도 높은 용량을 가지면서 고신뢰성을 가지는 capacitor로서의 역할을 한다. 일반적으로, MLCC는 휴대폰에 250여 개(스마트폰은 일반 휴대폰의 2배), 노트북에 300여 개, LCD TV에700여 개 등이 소요되는, 범용성이 높은 부품이다.
Thin-film micro-MLCCs manufactured by these thin film MLCC-dedicated laminators can be used for special purposes such as memory modules, tuners, mobile devices, military devices, medical devices, aircraft, automobiles, etc. in addition to IT products (mobile phones, PCs, D- And is widely used in a wide variety of fields where small capacitors are required. Particularly, since the inductance is low, it is superior in noise elimination effect at high frequencies compared with other capacitors, and thus it is applied to mobile phones, satellites, etc., and plays a role as a capacitor having high capacity and high reliability. In general, MLCC is a versatile component that requires more than 250 mobile phones (smartphones are twice as large as ordinary mobile phones), about 300 in notebooks, and about 700 in LCD TVs.

한편, 스마트폰 등의 휴대용 통신 기기, 태블릿 피씨, 노트북, 스마트 TV 등의 각종 전자기기의 고성능화 에 따라, 그에 사용되는 박막 초소형 MLCC의 사이즈도 점점 소형화 되는 것이 요구되고 있으며, 박막 초소형 MLCC는 resistor와 더불어 회로 구성의 기본 소자로서 그 사용이 필수적인 점을 고려할 때, 이러한 박막 초소형 MLCC의 제조를 위한 박막 초소형 MLCC 전용 적층기에 관한 기술은 현재 뿐만 아니라 향후에도 중요한 이슈로 부각될 수밖에 없다.
Meanwhile, as the performance of various electronic devices such as smart phones, portable PCs, tablet PCs, notebook computers, and smart TVs increases, the size of thin film MLCCs used for them is required to be smaller and smaller. In addition, considering the necessity of the use as a basic element of the circuit configuration, the technology related to the thin film ultra-small MLCC stacker for the production of such a thin film MLCC is emerging as an important issue in the future as well as in the future.

이러한 세라믹 박막 적층 가공장치의 일 실시예로는 도 2에 도시한 것과 같은 구성이 가능하다. 상기 세라믹 박막 적층 가공장치를 이용한 Ceramic 칩 제품의 제조 과정 중 작업 및 생산 효율을 위해 필연적으로 도 1에 도시한 것과 같이 대지(Carrier Film)(s2)를 사용하게 된다. 상기 대지(Carrier Film)(s2)의 본연의 임무가 끝나는 적층 공정에서 상기 대지(Carrier Film)(s2)를 세라믹 박막(s1)으로부터 제거하여야 하는데, 제품에 영향을 주지 않고 상기 대지(Carrier Film)(s2)를 제거하는 과정을 박리라 한다. 이러한 박리 과정에서 제품의 종류 제품의 물성에 따라 박리의 난이도가 구분되며, 박리 과정에 있어서 적층 제품에 영향을 전혀 끼치지 않으면서, 보다 안정되게 보다 빠르게 박리를 수행하는 기술이 필요하다.One embodiment of such a ceramic thin film lamination processing apparatus can be configured as shown in FIG. For the operation and production efficiency of the ceramic chip product using the ceramic thin film lamination processing apparatus, as shown in FIG. 1, a carrier film (Sarrier Film) (s2) is necessarily used. The carrier film s2 should be removed from the ceramic thin film s1 in a lamination process in which the original mission of the carrier film s2 is completed, and the carrier film without affecting a product. The process of removing (s2) is called peeling. In this peeling process, the difficulty of peeling is classified according to the physical properties of the product of the kind of the product, and in the peeling process, there is a need for a technique of performing peeling more stably and faster without affecting the laminated product at all.

이러한 박리 과정에서, 상기 대지(Carrier Film)(s2)는 일반적으로 PET Film이 주로 사용되는 바, 도 1에 도시한 것과 같이 낱장의 PET Film에 Coating 되어 있는 상기 세라믹 박막(s1)을 박리함에 있어서 강도가 매우 약한 박막 형상인 상기 세라믹 박막(s1)을 변형 및 파손 없이 박리할 수 있는 박리장치가 필요하게 된다.  In this peeling process, the carrier film s2 is generally a PET film mainly used in peeling the ceramic thin film s1 coated on a sheet of PET film as shown in FIG. 1. There is a need for a peeling apparatus capable of peeling the ceramic thin film s1 having a very low strength thin film without deformation and damage.

이러한 박리과정으로는, 기존에는 선적층 후박리 방식이 주로 사용되어 왔다. 기존의 선적층 후박리 방식은 물리적 강도가 낮은 상기 세라믹 박막(s1)을 적층하기 위하여, 도 3에 도시한 것과 같이 먼저 이미 적층되어 있는 세라믹 박막(s1) 위에 상기 대지(Carrier Film)(s2)와 상기 세라믹 박막(s1)이 서로 결합되어 있는 상기 세라믹 시트(s)를 먼저 가압하여 적층한 후(선적층), 그 다음에 도 3에서 <B> 또는 <C>에 도시한 것과 같이 상기 대지(Carrier Film)(s2)를 박리하는 방식을 말한다.As such a peeling process, a conventional shipping layer post-peeling method has been mainly used. In the conventional shipping layer post-peeling method, in order to stack the ceramic thin film s1 having a low physical strength, the carrier film s2 is placed on the ceramic thin film s1 that is already laminated as shown in FIG. 3. And the ceramic sheet s, to which the ceramic thin film s1 is bonded to each other, are first pressed and stacked (shipping layer), and then the board as shown in <B> or <C> in FIG. (Carrier Film) (s2) The method of peeling.

그러나, 이러한 선적층 후박리 방식의 경우, 적층시 상기 세라믹 박막(s1)의 변형을 적게하기 위하여(즉, a=a`) 적층 압력을 약하게 하는 경우, 적층되는 상기 세라믹 박막(s1)사이의 접착력이 상기 세라믹 박막(s1)과 상기 대지(Carrier Film)(s2) 사이의 접착력보다 약하게 되는 경우가 많아, 도 3에서 <B> 에 도시한 것과 같이 박리 과정에서 상기 세라믹 박막(s1)이 상기 대지(Carrier Film)(s2)에 그대로 붙어있는 상태로 적층되어 있는 상기 세라믹 박막(s1)으로부터 덜어져 나오기 쉽다는 문제점이 있었다.However, in the case of such a shipping layer post-peeling method, in order to reduce the deformation of the ceramic thin film s1 at the time of lamination (that is, a = a`), the lamination pressure is weakened, The adhesive force is often weaker than the adhesive force between the ceramic thin film s1 and the carrier film s2. As shown in FIG. 3B, the ceramic thin film s1 is removed during the peeling process. There is a problem that it is easy to be detached from the ceramic thin film s1 stacked in a state in which it is attached to the carrier film s2 as it is.

이러한 문제점을 해결하기 위하여 도 3에서 <C> 에 도시한 것과 같이 적층시 적층 압력을 강하게 하는 경우에는, 적층되는 상기 세라믹 박막(s1)이 적층되어 있는 상기 세라믹 박막(s1)에 강하게 적층되므로, 박리과정에서 상기 세라믹 박막(s1)이 상기 대지(Carrier Film)(s2)로부터 원활하게 박리된다는 장점은 있으나, 강한 적층 압력에 의해 적층된 상기 세라믹 박막(s1) 층에 변형이 발생하기 쉽다는 문제점이 있었다.(즉, a>a``)
In order to solve this problem, as shown in <C> in FIG. 3, when the stacking pressure is increased, the ceramic thin film s1 to be stacked is strongly stacked on the ceramic thin film s1. Although the ceramic thin film s1 is smoothly peeled from the carrier film s2 during the peeling process, the ceramic thin film s1 is easily deformed by the strong stacking pressure. (I.e. a> a``)

본 발명은 상기한 기존 발명의 문제점을 해결하여, 선박리 후적층 방식에 적합한 세라믹 시트 박리장치를 제공하는 것을 그 과제로 한다.This invention solves the problem of the existing invention mentioned above, and makes it the subject to provide the ceramic sheet peeling apparatus suitable for a ship post lamination system.

또한, 적층전 선 박리를 행함으로써, 흡착판의 평행도, 흡착력, Gap, 속도 등 동일한 조건에서의 박리과정의 진행이 가능하므로, 매 박리시의 조건 변수가 적어 균일하고 효율적인 박리가 가능하도록 하는 것을 그 과제로 한다. In addition, by carrying out the laminated wire peeling, it is possible to proceed with the peeling process under the same conditions such as parallelism, adsorption force, gap, and speed of the adsorption plate. It is a task.

또한, 가압 적층시 비교적 저압/저온의 조건에서 신속한 적층이 이루어지는 것이 의한 적층이 가능하여 매 층의 압력 과다에 의한 적층물의 변형을 최소화 할 수 있어, 제조된 제품의 품질 및 제조 효율을 증대시키는 것이 가능하며 적층 장비의 기능유지에 유리하도록 하는 것을 그 과제로 한다.
In addition, the lamination can be performed by rapid lamination under relatively low pressure / low temperature conditions during pressure lamination, thereby minimizing deformation of the lamination due to excessive pressure of each layer, thereby increasing the quality and manufacturing efficiency of the manufactured product. The object is to make it possible and to maintain the function of the lamination equipment.

상기한 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 세라믹 시트 박리장치는, 대지(carrier film)(s2)상에 부착된 회로 패턴이 인쇄된 세라믹 박막(s1)으로 구성되는 세라믹 시트(s)에서 상기 대지(carrier film)(s2)를 박리하는 세라믹 시트 박리장치에 있어서, 그 상면에 상기 세라믹 시트(s)를 흡착하여 이송하며, 박리 테이블 수평 이동 수단(111)에 의해 수평방향으로 구동되고, 박리 테이블 상하 이동 수단(112)에 의해 상하로 이동되는 박리테이블(110);과, 상기 박리테이블(110)로부터 상기 세라믹 시트(s)를 전달받아 하면에 흡착 고정하여, 적층헤드 이송 수단(122)에 의해 적층 헤드 가이드 레일(121) 상에서 수평 이동하는 적층헤드(120);와, 상기 적층헤드(120)의 하방 측면에 그립 유닛 장착 몸체 회전각 조절 수단(131)에 의해 그 설치 각도가 조절이 가능하도록 설치되는 그립 유닛 장착 몸체(130);와, 상기 그립 유닛 장착 몸체(130)에 그립 유닛 상하 구동 수단(150)에 의해 상하로 구동 가능하도록 설치되며, 그립퍼 회동 수단(143)에 의해 서로 개폐가 가능하여 최상부에 위치하여 폐쇄되는 경우 상기 적층헤드(120)의 하면 일 측에 근접하여 상기 대지(carrier film)(s2)의 박리 시작 말단부(s2')를 포집한 후, 폐쇄상태를 유지하며 상기 적층헤드(120)의 이동 속도에 동기하며 하방으로 이동하여 상기 대지(carrier film)(s2)를 상기 세라믹 박막(s1)으로부터 박리하는 상부 그립퍼(141)와 하부 그립퍼(142)를 포함하여 구성되는 그립유닛(140); 을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
In order to achieve the above object, the ceramic sheet peeling apparatus of the present invention comprises a ceramic sheet s composed of a ceramic thin film s1 on which a circuit pattern attached on a carrier film s2 is printed. A ceramic sheet peeling apparatus for peeling a carrier film (s2), wherein the ceramic sheet (s) is adsorbed and transported on an upper surface thereof, and driven in a horizontal direction by the peeling table horizontal moving means (111), and the peeling table is vertically up and down. A peeling table 110 which is moved up and down by the moving means 112, and by receiving the ceramic sheet s from the peeling table 110 and being fixed to the lower surface by the stacking head conveying means 122. A stacking head 120 horizontally moving on the stacking head guide rail 121; and an installation angle of the stacking head 120 is controlled by a grip unit mounting body rotation angle adjusting means 131 at a lower side of the stacking head 120. Grip oil installed The garnet mounting body 130 and the grip unit mounting body 130 are installed to be driven up and down by the grip unit up and down driving means 150, and can be opened and closed with each other by the gripper rotating means 143. In the case of being closed at the position of the stacking head 120, the stripping start end portion s2 'of the carrier film s2 is collected close to one side of the stacking head 120, and then maintained in a closed state. A grip unit configured to include an upper gripper 141 and a lower gripper 142 which move downward to be synchronized with the moving speed of the 120 to peel the carrier film s2 from the ceramic thin film s1. 140); And a control unit.

또한, 상기 그립 유닛(140)의 양 측면에 설치되는 그립 유닛 가이드(155);와, 상기 그립 유닛 장착 몸체(130)에 각각 더 설치되며, 상기 그립 유닛 가이드(155)가 각각 삽입되어 유도되는 그립 유닛 가이드 레일(156);를 더 포함하여 구성되며, 상기 그립 유닛(140)은 박리 압력 조절 실린더(170)를 통하여 상기 그립 유닛 상하 구동 수단(150)에 연결되며, 상기 박리 압력 조절 실린더(170)의 작동 정도에 따라 박리 과정 중 상기 그립유닛(140)으로부터 상기 대지(carrier film)(s2)에 가해지는 장력(tension)의 정도가 조절되는 것을 특징으로 한다.
In addition, the grip unit guide 155 is installed on both sides of the grip unit 140; and are further installed on the grip unit mounting body 130, respectively, the grip unit guide 155 is inserted and guided respectively And a grip unit guide rail 156, and the grip unit 140 is connected to the grip unit up and down driving means 150 through a peel pressure adjusting cylinder 170, and the peel pressure adjusting cylinder ( The degree of tension applied to the carrier film s2 from the grip unit 140 during the peeling process is controlled according to the operation degree of 170.

또한, 상기 하부 그립퍼(142)에 다수 개 형성되어, 상기 대지(carrier film)(s2)를 포집하는 경우에는 진공 흡입력이 인가되어 상기 대지(carrier film)(s2)가 더욱 잘 흡착되도록 하며, 박리 과정이 끝난 후에는 공기를 불어넣어 상기 대지(carrier film)(s2)가 쉽게 분리되도록 하는 그립퍼 진공흡기공(144);와, 상기 그립유닛(140)의 위치를 측정하는 그립 유닛 위치 측정 센서(171);와, 상기 그립 유닛 장착 몸체(130)에 상하 방향으로 다수 개 설치되며, 분리가 끝난 상기 대지(carrier)(s2)를 공기를 분출하여 분리시키는 블로워 노즐(180); 을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
In addition, a plurality of lower grippers 142 are formed, and when collecting the carrier film s2, a vacuum suction force is applied so that the carrier film s2 is more easily adsorbed, and peeled off. After the process is completed, the gripper vacuum intake hole 144 to blow the air to easily separate the carrier film (s2); And, the grip unit position measuring sensor for measuring the position of the grip unit 140 ( And a blower nozzle 180 which is installed in the grip unit mounting body 130 in a vertical direction and blows and separates the separated carrier (s2) from the air; And further comprising:

본 발명에 의하는 경우, 적층전 선 박리를 행함으로써, 흡착판의 평행도, 흡착력, Gap, 속도 등 동일한 조건에서의 박리과정의 진행이 가능하므로, 매 박리시의 조건 변수가 적어 균일하고 효율적인 박리가 가능하다는 장점이 있다.According to the present invention, by carrying out the laminated wire peeling, it is possible to proceed with the peeling process under the same conditions such as parallelism, adsorption force, gap, speed, etc. of the adsorption plate. The advantage is that it is possible.

또한, 가압 적층시 비교적 저압/저온의 조건에서 신속한 적층이 이루어지는 것이 의한 적층이 가능하여 매 층의 압력 과다에 의한 적층물의 변형을 최소화 할 수 있어, 제조된 제품의 품질 및 제조 효율을 증대시키는 것이 가능하며 적층 장비의 기능유지에 유리하다는 장점이 있다.
In addition, the lamination can be performed by rapid lamination under relatively low pressure / low temperature conditions during pressure lamination, thereby minimizing deformation of the lamination due to excessive pressure of each layer, thereby increasing the quality and manufacturing efficiency of the manufactured product. It is possible to maintain the function of the stacking equipment and has the advantage.

도 1: 본 발명의 세라믹 박막 적층용 프레스 장치가 적용되는 세라믹 박막 적층 가공장치에서 가공되는 세라믹 박막의 단면도.
도 2: 본 발명의 세라믹 박막 적층용 프레스 장치가 적용되는 세라믹 박막 적층 가공장치의 구성개략도.
도 3: 기존 발명의 일 실시예에 의한 선 적층 후박리 과정의 문제점을 보여주는 단면 모식도.
도 4: 본 발명의 일 실시예에 의한 세라믹 시트 박리장치의 측면 구성 모식도.
도 5: 본 발명의 일 실시예에 의한 세라믹 시트 박리장치의 정면 구성 모식도.
도 6: 본 발명의 일 실시예에 의한 세라믹 시트 박리장치의 작동 과정을 나타내는 주요부 작동 모식도.1: sectional drawing of the ceramic thin film processed by the ceramic thin film lamination processing apparatus to which the press apparatus for laminating the ceramic thin film of this invention is applied.
Fig. 2: A schematic diagram of a ceramic thin film lamination processing apparatus to which a press device for laminating ceramic thin films of the present invention is applied.
Figure 3 is a schematic cross-sectional view showing the problem of the line lamination post-peeling process according to an embodiment of the existing invention.
4 is a side view of the ceramic sheet peeling apparatus according to an embodiment of the present invention.
5 is a schematic diagram of a front configuration of a ceramic sheet peeling apparatus according to an embodiment of the present invention.
Figure 6 is a schematic view of the operation of the main part showing the operation of the ceramic sheet peeling apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부된 도면을 참조로 하여, 본 발명의 일 실시 예에 따른 세라믹 시트 박리장치를 상세히 설명한다. 우선, 도면들 중, 동일한 구성요소 또는 부품들은 가능한 한 동일한 참조부호로 나타내고 있음에 유의하여야 한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 관한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하지 않게 하기 위하여 생략한다.
Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, a ceramic sheet peeling apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail. First, it should be noted that, in the drawings, the same components or parts are denoted by the same reference numerals whenever possible. In describing the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted so as to avoid obscuring the subject matter of the present invention.

먼저, 본 발명의 세라믹 시트 박리장치(100)가 적용되는 세라믹 박막 적층 가공장치의 구성에 관하여 간략히 설명한다.First, the structure of the ceramic thin film lamination processing apparatus to which the ceramic sheet peeling apparatus 100 of this invention is applied is demonstrated briefly.

상기 세라믹 박막 적층 가공장치는 도 2에 나타낸 것과 같이 크게, 1차 VISION 장치(10), 정렬 스테이지(20), CUTTING 이송 UNIT(30), 박리테이블(110), 2차 VISION 장치(50), 적층헤드(160), 세라믹 시트 박리장치(100), 세라믹 박막 적층용 프레스 장치(70) 및 완제품 적재장치(80)를 포함하여 구성된다. 이 경우, 상기 박리테이블(110) 및 상기 적층헤드(160)는 전체적인 세라믹 박막 적층 가공장치의 구성요소를 이루는 것과 동시에 본 발명의 구성요소로 포함된다. As shown in FIG. 2, the ceramic thin film lamination processing apparatus includes a primary vision device 10, an alignment stage 20, a cutting transfer unit 30, a peeling table 110, a secondary vision device 50, The stacking head 160, the ceramic sheet peeling device 100, the ceramic thin film stacking press device 70, and the finished product stacking device 80 are configured to be included. In this case, the peeling table 110 and the stacking head 160 form the components of the overall ceramic thin film lamination processing apparatus and are included as components of the present invention.

가장 먼저, 도 2에 도시한 것과 같이 1차 VISION 장치(10)가 Pick up장치에 의해 정렬 스테이지Align stage에 공급 되어진 세라믹 시트(s)의 위치를 인식하여 보정 Data를 전송한다. First, as shown in FIG. 2, the primary vision device 10 recognizes the position of the ceramic sheet s supplied to the alignment stage by the pick up device and transmits correction data.

그 다음으로, 상기 정렬 스테이지(20)에서는, 공급 되어진 상기 세라믹 시트(s)를 진공으로 흡착 고정하고, 1차 VISION 장치(10)가 Vision 인식을 수행한 보정 Data를 전송 받아 X/Y/θ 보정을 실행하는 1차 Align 보정단계를 수행한다. 한편, 상기 정렬 스테이지(20)는, Cutting시 Cutter die의 역할을 한다. Subsequently, in the alignment stage 20, the supplied ceramic sheet s is sucked and fixed in a vacuum, and the primary vision device 10 receives the correction data from which vision recognition is performed and receives X / Y / θ. Perform the first alignment correction step to perform the correction. Meanwhile, the alignment stage 20 serves as a cutter die during cutting.

1차 Align보정이 완료 되면, CUTTING 이송 UNIT(30)의 Cutting head가 상기 세라믹 시트(s)를 절단함과 동시에 흡착 이동시켜, 전달위치(b)에 있는 박리테이블(110)로 상기 세라믹 시트(s)를 이동시킨다. When the first alignment correction is completed, the cutting head of the cutting transfer unit 30 cuts the ceramic sheet s and adsorbs and moves the ceramic sheet s to the peeling table 110 at the transfer position b. move s)

그 후, 상기 박리테이블(110)은 상기 CUTTING 이송 UNIT(30)의 Cutting head로부터 전달받은 상기 세라믹 시트(s)를 흡착 고정한 상태로, 박리위치(2차 Vision위치)(c)로 이동하여 대기한다.Thereafter, the peeling table 110 moves to the peeling position (secondary vision position) c while waiting to fix and fix the ceramic sheet s received from the cutting head of the cutting transfer unit 30. do.

다음으로, 2차 VISION 장치(50)는, 상기 박리테이블(110)에 흡착되어 공급된 상기 세라믹 시트(s)의 위치를 인식하여 보정 Data를 전송한다.Next, the secondary vision device 50 recognizes the position of the ceramic sheet s adsorbed and supplied to the peeling table 110 and transmits correction data.

그 후, 상기 2차 vision 보정 data가 전송 완료되면, 적층헤드(160)가 상기 박리위치(c)로 이송되어 상기 박리테이블(110)로부터 상기 세라믹 시트(s)를 전달받아 흡착고정한다. 이때 상기 박리테이블(110)은 상기 적층헤드(160)와 일정 간격을 유지하면서 진공을 해제하여 상기 적층헤드(160)로의 전이를 도와준다.Thereafter, when the second vision correction data is transmitted, the stacking head 160 is transferred to the peeling position c to receive and fix the ceramic sheet s from the peeling table 110. At this time, the peeling table 110 releases the vacuum while maintaining a predetermined distance from the stacking head 160 to help the transition to the stacking head 160.

상기 적층헤드(160)가 상기 세라믹 시트(s)를 흡착 고정 완료하면, 박리장치(70)가 상승하고, 상기 박리장치(70)의 그립(Grip)이 돌츨된 대지(carrier film)(s2)의 끝단을 잡아 미세 하강 이동하여 상기 대지(carrier film)(s2)에 적정 Tension을 부여한다. 적정 Tension 부여가 되면 상기 적층헤드(160)는 Press위치로 이동(박리시작)하게 되는데, 이때 상기 박리장치도 상기 적층헤드(160)의 이동 속도에 동기하여 Tension을 유지한 채로 이동하게 되고 세라믹 박막(s1)으로부터 상기 대지(carrier film)(s2)는 자연적으로 이형되어 진다.When the stacking head 160 has completed the adsorption fixation of the ceramic sheet s, the peeling apparatus 70 is raised, and the carrier film s2 in which the grip of the peeling apparatus 70 is protruded. Grab the end of the fine moving down to give the appropriate tension to the carrier (carrier film) (s2). When the proper tension is applied, the lamination head 160 moves (starts peeling) to the press position. At this time, the peeling apparatus also moves while maintaining the tension in synchronization with the moving speed of the lamination head 160 and the ceramic thin film. From s1, the carrier film s2 is naturally released.

그 후, Press위치(d)로 이동한 상기 적층헤드(160)에 흡착되어 있는 박리가 완료된 세라믹 박막(s1)를 압착 적층하기 위하여 본 발명의 세라믹 박막 적층용 프레스 장치(100)가 작동하여 적층 완료된 제품을 높은 압력으로 압착하여 적층한 후, 상기 적층 헤드(60)가 흡착된 완제품 반출위치(e)로 이송 적재하여 가공이 완료된다.
Thereafter, in order to press-stack the exfoliated ceramic thin film s1 adsorbed to the stacking head 160 moved to the press position d, the ceramic thin film stacking press apparatus 100 of the present invention is operated and laminated. After the finished product is pressed and laminated at a high pressure, the stacking head 60 is transferred to the finished product carrying out position (e) where the adsorption is carried out to complete the processing.

다음으로, 본 발명의 일 실시 예에 따른 세라믹 시트 박리장치를 상세히 설명한다.Next, the ceramic sheet peeling apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail.

본 발명의 일 실시 예에 따른 세라믹 시트 박리장치는 도 4 및 도 5에 도시한 것과 같이 크게 박리테이블(110), 적층헤드(120), 그립 유닛 장착 몸체(130) 및 그립유닛(140)을 포함하여 구성된다.
Ceramic sheet peeling apparatus according to an embodiment of the present invention is largely as shown in Figure 4 and 5 peeling table 110, the stacking head 120, the grip unit mounting body 130 and the grip unit 140 It is configured to include.

먼저, 박리테이블(110)에 관하여 설명한다. 상기 박리테이블(110)은 도 4에 도시한 것과 같이, 그 상면에 상기 세라믹 시트(s)를 흡착하여 이송하며, 박리 테이블 수평 이동 수단(111)에 의해 수평방향으로 구동되고, 박리 테이블 상하 이동 수단(112)에 의해 상하로 이동되는 구성을 가진다.
First, the peeling table 110 is demonstrated. As shown in FIG. 4, the peeling table 110 absorbs and transports the ceramic sheet s on an upper surface thereof, is driven in a horizontal direction by the peeling table horizontal moving means 111, and moves up and down the peeling table. It has a configuration moved up and down by the means 112.

다음으로, 적층헤드(120)에 관하여 설명한다. 상기 적층헤드(120)는 도 4에 도시한 것과 같이, 상기 박리테이블(110)로부터 상기 세라믹 시트(s)를 전달받아 하면에 흡착 고정하여, 도 2에 도시한 것과 같은 적층헤드 이송 수단(122)에 의해 적층 헤드 가이드 레일(121) 상에서 수평 이동하면서 박리과정을 수행하는 구성을 가진다. 상기 적층헤드(120)는 본 발명의 세라믹 시트 박리장치를 통하여 박리된 상기 세라믹 박막(s1)을 도 2에 도시한 것과 같은 세라믹 박막 적층용 프레스 장치(70)로 전달하는 기능도 아울러 가지게 된다.
Next, the stacking head 120 will be described. As shown in FIG. 4, the stacking head 120 receives the ceramic sheet s from the peeling table 110 and is fixed to a lower surface thereof, so that the stacking head transfer unit 122 as shown in FIG. It has a configuration that performs the peeling process while moving horizontally on the laminated head guide rail 121 by the). The stacking head 120 also has a function of transferring the ceramic thin film s1 separated through the ceramic sheet peeling apparatus of the present invention to the ceramic thin film stacking press 70 as shown in FIG. 2.

다음으로, 그립 유닛 장착 몸체(130)에 관하여 설명한다. 상기 그립 유닛 장착 몸체(130)은 도 4에 도시한 것과 같이, 상기 적층헤드(120)의 하방 측면에 그립 유닛 장착 몸체 회전각 조절 수단(131)에 의해 그 설치 각도가 조절이 가능하도록 설치되며, 후술할 그립유닛(140)이 지지되어 작동하는 지지체 역활을 한다. 이 경우, 상기 그립 유닛 장착 몸체 회전각 조절 수단(131)은 도 6에 도시한 것과 같이 상기 그립 유닛 장착 몸체(130)가 수직면에 대하여 가지는 각도(θ)를 조절하여 후술할 그립유닛(140)이 박리과정을 수행하며 하강하는 운동 방향을 결정하게 된다. 이 경우, 상기 그립 유닛 장착 몸체(130)가 수직면에 대하여 가지는 각도(θ)는 원활한 박리 공정을 위하여 도 6에 도시한 방향에서 보아 수직면에 대하여 시계 방향으로 약 -5°~+10°의 값을 가지는 것이 바람직하다. 한편, 상기 그립 유닛 장착 몸체 회전각 조절 수단(131)은 단순하게 회전각을 조절하여 고정시키는 링크 또는 힌지의 형태로 제작되는 것이 가능하다. 또한, 상기 그립 유닛 장착 몸체 회전각 조절 수단(131)은 더욱 원활한 박리를 위하여 박리 과정 중 상기 각도(θ)를 변화시키며 조절하는 것이 가능하도록 회전형 서보 또는 회전형 유압 실린더 등의 회전 구동 수단을 통하여 구성되는 것도 가능하다.
Next, the grip unit attaching body 130 is demonstrated. As shown in FIG. 4, the grip unit mounting body 130 is installed on the lower side of the stacking head 120 by the grip unit mounting body rotation angle adjusting means 131 to adjust the installation angle thereof. , The grip unit 140 to be described later serves as a support that is supported and operating. In this case, as shown in FIG. 6, the grip unit mounting body rotation angle adjusting unit 131 adjusts an angle θ of the grip unit mounting body 130 with respect to a vertical plane, and thus the grip unit 140 will be described later. This peeling process is performed to determine the direction of downward movement. In this case, the angle θ of the grip unit mounting body 130 with respect to the vertical plane is about −5 ° to + 10 ° clockwise with respect to the vertical plane as viewed in the direction shown in FIG. 6 for a smooth peeling process. It is preferable to have. On the other hand, the grip unit mounting body rotation angle adjusting means 131 can be manufactured in the form of a link or hinge to simply adjust and fix the rotation angle. In addition, the grip unit mounting body rotation angle adjusting means 131 is a rotational drive means such as a rotary servo or a rotating hydraulic cylinder to change and adjust the angle (θ) during the peeling process for smoother peeling. It is also possible to be configured through.

다음으로, 그립유닛(140)에 관하여 설명한다. 상기 그립유닛(140)은 도 4에 도시한 것과 같이, 상기 그립 유닛 장착 몸체(130)에 그립 유닛 상하 구동 수단(150)에 의해 상하로 구동 가능하도록 설치된다. 이 경우, 상기 그립 유닛 상하 구동 수단(150)은 대단히 다양한 실시예를 통하여 실시하는 것이 가능하며, 그 일 실시예로는 도 4 및 도 5에 도시한 것과 같이, 그립 유닛 서보모터(151)에 연결된 구동 풀리(152)와, 상기 구동 풀리(152)에 종동 풀리(153)을 통하여 연결되어 구동되는 구동 벨트(154)에 상기 그립유닛(140)이 연결되도록 하여, 상기 그립 유닛 서보모터(151)의 구동에 따라 상기 그립유닛(140)이 상하로 구동되도록 하는 것이 가능하다. 또한, 상기 그립 유닛 상하 구동 수단(150)을 구성하는 다른 실시예로는 리니어 서보 모터 또는 유압 실린더를 사용하여 구성하는 것이 가능하다. Next, the grip unit 140 will be described. As shown in FIG. 4, the grip unit 140 is installed on the grip unit mounting body 130 to be driven up and down by a grip unit vertical driving means 150. In this case, the grip unit up and down drive means 150 can be implemented through a wide variety of embodiments, as shown in Figure 4 and 5, the grip unit servo motor 151 The grip unit 140 is connected to a driving pulley 152 connected to the driving pulley 152 through a driven pulley 153 to be driven and driven by the grip unit 140. The grip unit 140 may be driven up and down by driving. In addition, as another embodiment of the grip unit vertical drive means 150, it is possible to configure using a linear servo motor or a hydraulic cylinder.

한편, 상기 그립유닛(140)은 도 4에 도시한 것과 같이, 그립퍼 회동 수단(143)에 의해 서로 개폐가 가능하여, 도 6에서 (f)에 도시한 것과 같이 최상부에 위치하여 폐쇄되는 경우 상기 적층헤드(120)의 하면 일 측에 근접하여 상기 대지(carrier film)(s2)의 박리 시작 말단부(s2')를 포집한 후, 도 6에서 (g) 내지(j)에 도시한 것과 같이 폐쇄상태를 유지하며 상기 적층헤드(120)의 이동 속도에 동기하며 하방으로 이동하여 상기 대지(carrier film)(s2)를 상기 세라믹 박막(s1)으로부터 박리하는 상부 그립퍼(141)와 하부 그립퍼(142)를 포함하여 구성된다. 이와 같이 상기 그립유닛(140)이 상기 적층헤드(120)의 이동 속도에 동기하며 하방으로 이동하는 구성에 의해, 박리되는 상기 대지(carrier film)(s2)에 일정한 장력이 유지되면서 박리과정이 진행되어 원활한 박리가 가능하게 된다. 이 경우, 상기 그립퍼 회동 수단(143)은 그 회전에 의해 상기 상부 그립퍼(141)와 하부 그립퍼(142)가 서로 개/폐 될 수 있도록, 회전형 서보 또는 회전형 유압 실린더 등의 회전 구동 수단을 통하여 구성되는 것이 바람직하다.On the other hand, the grip unit 140, as shown in Figure 4, can be opened and closed each other by the gripper rotating means 143, when the position is closed at the top as shown in (f) in Figure 6 After the peeling start end portion s2 'of the carrier film s2 is collected close to one side of the bottom of the stacking head 120, it is closed as shown in (g) to (j) in FIG. The upper gripper 141 and the lower gripper 142 which maintain the state and move downward in synchronization with the moving speed of the stacking head 120 to peel the carrier film s2 from the ceramic thin film s1. It is configured to include. As described above, the grip unit 140 moves downward in synchronization with the moving speed of the stacking head 120, thereby maintaining a constant tension on the carrier film s2 to be peeled off. As a result, smooth peeling is possible. In this case, the gripper rotating means 143 uses a rotary drive means such as a rotary servo or a rotary hydraulic cylinder so that the upper gripper 141 and the lower gripper 142 can be opened / closed with each other by the rotation thereof. It is preferable to be configured through.

한편, 상기 하부 그립퍼(142)의 내측 포집면에는 도 5 에 도시한 것과 같이 그립퍼 진공흡기공(144)이 다수 개 형성되도록 하여, 도 6 에서 (f) 내지(j)에 도시한 것과 같이 상기 대지(carrier film)(s2)를 포집하는 경우에는 진공 흡입력이 인가되어 상기 대지(carrier film)(s2)가 더욱 잘 흡착되도록 하며, 도 6 에서 (k)에 도시한 것과 같이박리 과정이 끝난 후에는 공기를 불어넣어 상기 대지(carrier film)(s2)가 쉽게 분리되도록 하는 것이 바람직하다.
Meanwhile, a plurality of gripper vacuum suction holes 144 are formed on the inner collecting surface of the lower gripper 142, as shown in FIG. 5, and as shown in (f) to (j) in FIG. In the case of collecting the carrier film s2, a vacuum suction force is applied to allow the carrier film s2 to be better adsorbed, and after completion of the peeling process as shown in (k) of FIG. It is preferable to blow air to make the carrier film s2 easily separated.

또한, 상기 그립 유닛(140)의 양 측면에는 도 4 및 도 5에 도시한 것과 같이 그립 유닛 가이드(155)가 더 설치되도록 하고, 상기 그립 유닛 장착 몸체(130)에는 상기 그립 유닛 가이드(155)가 각각 삽입되어 유도되는 그립 유닛 가이드 레일(156)이 각각 더 설치되도록 하여, 더욱 원활하고 정교한 상하 작동이 가능하도록 하는 것이 바람직하다.며, In addition, as shown in FIGS. 4 and 5, the grip unit guide 155 is further installed on both sides of the grip unit 140, and the grip unit guide 155 is provided on the grip unit mounting body 130. It is preferable that the grip unit guide rails 156, which are respectively inserted and guided, are further installed to enable smoother and more sophisticated vertical operation.

한편, 상기 그립 유닛(140)은 도 4 및 도 5에 도시한 것과 같이, 박리 압력 조절 실린더(170)를 통하여 상기 그립 유닛 상하 구동 수단(150)에 연결되도록 하여, 상기 박리 압력 조절 실린더(170)의 작동 정도에 따라 박리 과정 중 상기 그립유닛(140)으로부터 상기 대지(carrier film)(s2)에 가해지는 장력(tension)의 정도가 조절되도록 하는 것이 바람직하다.
On the other hand, the grip unit 140, as shown in Figure 4 and 5, to be connected to the grip unit up and down driving means 150 through the peel pressure control cylinder 170, the peel pressure control cylinder 170 It is preferable to control the degree of tension applied to the carrier film s2 from the grip unit 140 according to the degree of operation of the).

한편, 본 발명은 도 4에 도시한 것과 같이, 블로워 노즐(180)을 더 포함하여 구성되는 것이 바람직하다. 상기 블로워 노즐(180)은 도 4에 도시한 것과 같이, 상기 그립 유닛 장착 몸체(130)에 상하 방향으로 다수 개 설치되며, 도 6 에서 (j) 내지(k)에 도시한 것과 같이 분리가 끝난 상기 대지(carrier)(s2)를 공기를 분출하여 분리시키는 기능을 가진다.
On the other hand, the present invention preferably comprises a blower nozzle 180, as shown in FIG. As shown in FIG. 4, the blower nozzles 180 are installed in the grip unit mounting body 130 in the vertical direction, and are separated as shown in (j) to (k) in FIG. 6. The carrier (s2) has a function of blowing and separating the air.

또한, 상기 그립유닛(140)의 변위와 위치를 측정하는 그립 유닛 위치 측정 센서(171)를 더 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
In addition, the grip unit 140 is preferably configured to further include a grip unit position measuring sensor 171 for measuring the displacement and position.

이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 의한 세라믹 시트 박리장치의 작동에 관하여 도 6의 작동 과정을 나타내는 주요부 작동 모식도를 참조하여 설명한다.
Hereinafter, the operation of the ceramic sheet peeling apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the operation of the main part showing the operation process of FIG.

먼저, 도 6에서 (a)로 표현한 단계에서와 같이, 박리 테이블(110)이 그 상면에 상기 세라믹 시트(s)를 진공에 의해 흡착하여 이송하며, 박리 테이블 수평 이동 수단(111)에 의해 박리 위치까지 수평방향으로 이동하여 오게 된다. 이 경우, 상기 세라믹 시트(s)의 박리가 시작되는 말단부는 도 6에서 (a)로 표현한 단계에 나타난 바와 같이, 상기 박리 테이블(110)의 박리 시작 방향 외 측으로 소정 길이만큼 돌출된 상태로 흡착되어 이송된다.
First, as in the step represented by (a) in FIG. 6, the peeling table 110 adsorbs and transports the ceramic sheet s by vacuum on its upper surface, and peels off by the peeling table horizontal moving means 111. It is moved horizontally to the position. In this case, as shown in the step (a) in Figure 6, the distal end portion of the ceramic sheet (s) begins to be adsorbed in a state protruding by a predetermined length out of the peeling start direction of the peeling table 110. To be transported.

다음으로, 도 6에서 (b)로 표현한 단계에서와 같이, 그립 유닛(140)이 그립퍼 회동 수단(143)에 의해 상부 그립퍼(141)와 하부 그립퍼(142)가 서로 개방된 상태로 그립 유닛 상하 구동 수단(150)의 작동에 의해 상승하여 올라온다.
Next, as in the step represented by (b) in Figure 6, the grip unit 140 by the gripper rotating means 143, the upper gripper 141 and the lower gripper 142 open with each other the grip unit up and down It is raised and raised by the operation of the drive means 150.

그 후, 도 6에서 (c)로 표현한 단계에서와 같이, 적층 헤드(120)가 적층헤드 이송 수단(122)의 작동에 의해 적층 헤드 가이드 레일(121)을 따라 박리 위치로 이동하여 오게 된다.
Then, as in the step represented by (c) in Figure 6, the stacking head 120 is moved to the peeling position along the stacking head guide rail 121 by the operation of the stacking head conveying means (122).

다음으로, 도 6에서 (d)로 표현한 단계에서와 같이, 박리 테이블(110)이 박리 테이블 상하 이동 수단(112)에 의해 세라믹 시트(s)의 상면이 적층 헤드(120)의 하면에 약간의 간격을 두고 거의 접촉할 정도의 위치까지 상승한다. 이와 동시에 박리 테이블(110)에 인가되던 진공 흡입력이 해제되고, 적층헤드(120)에 진공 흡입력이 인가되어 상기 세라믹 시트(s)는 박리 테이블(110)로부터 분리되어 적층헤드(120)의 하면에 흡착된다. (도 6에서는, 진공이 인가되는 부분을 짙은 음영으로 표현하였다.) 이 경우 역시 도 6에서 (d)로 표현한 단계에 나타난 바와 같이, 상기 세라믹 시트(s)의 박리가 시작되는 말단부는 상기 적층 헤드(120)의 박리 시작 방향 외 측으로 소정 길이만큼 돌출된 상태로 흡착되어 이송된다.
Next, as in the step represented by (d) in FIG. 6, the upper surface of the ceramic sheet s is slightly lowered to the lower surface of the stacking head 120 by the peeling table 110 by the peeling table vertical movement means 112. Raise to near enough space at intervals. At the same time, the vacuum suction force applied to the peeling table 110 is released, and the vacuum suction force is applied to the stacking head 120, so that the ceramic sheet s is separated from the peeling table 110, and the lower surface of the stacking head 120 is removed. Is adsorbed. (In FIG. 6, the portion to which the vacuum is applied is expressed in dark shading.) In this case, as shown in step (d) of FIG. 6, the end portion at which the peeling of the ceramic sheet (s) starts is laminated. It is adsorbed and conveyed in the state which protruded by predetermined length to the outer side of the peeling start direction of the head 120.

그 후, 도 6에서 (e)로 표현한 단계에서와 같이, 그립 유닛(140)이 그립퍼 회동 수단(143)에 의해 상부 그립퍼(141)와 하부 그립퍼(142)가 서로 개방된 상태로 그립 유닛 상하 구동 수단(150)의 작동에 의해 최대 상승 위치까지 상승하여 올라온다. 이 경우, 하부 그립퍼(142)가 박리 시작 방향 외 측으로 소정 길이만큼 돌출된 세라믹 시트(s)의 박리가 시작되는 말단부의 하면에 접촉하게 된다.Then, as in the step represented by (e) in Figure 6, the grip unit 140 by the gripper rotating means 143, the upper gripper 141 and the lower gripper 142 open with each other the grip unit up and down By the operation of the drive means 150 is raised to the maximum lift position. In this case, the lower gripper 142 is in contact with the lower surface of the distal end at which the peeling of the ceramic sheet s protruding by a predetermined length outward from the peeling start direction starts.

다음으로, 도 6에서 (f)로 표현한 단계에서와 같이, 그립퍼 회동 수단(143)에 의해 상부 그립퍼(141)와 하부 그립퍼(142)가 서로 폐쇄된 상태로 작동하며 박리 시작 방향 외 측으로 소정 길이만큼 돌출된 세라믹 시트(s)의 박리가 시작되는 말단부를 포집한다. 이 단계에서, 하부 그립퍼(142)의 내측 포집면에 형성된 그립퍼 진공흡기공(144)에는 진공 흡입력이 인가되기 시작하여, 상기 대지(carrier film)(s2)가 더욱 잘 흡착되도록 하게 된다.Next, as in the step represented by (f) in FIG. 6, the gripper rotating means 143 operates in a state where the upper gripper 141 and the lower gripper 142 are closed to each other, and a predetermined length outside the peeling start direction. The end portion at which peeling of the protruding ceramic sheet s starts is collected. In this step, a vacuum suction force is applied to the gripper vacuum intake hole 144 formed in the inner collecting surface of the lower gripper 142, so that the carrier film s2 is more easily adsorbed.

그 후, 도 6에서 (g)로 표현한 단계에서와 같이, 적층 헤드(120)와 그립 유닛(140)이 서로 동기하며 약간씩 이동한다. 이 단계에서, 박리 압력 조절 실린더(170)의 압력 조절량에 의해 박리 과정 중 부여될 일정한 장력(tension)이 대지(carrier film)(s2)에 인가되며, 이러한 인가 장력에 의한 그립 유닛(140)의 미세 변위를 그립 유닛 위치 측정 센서(171)가 감지하여 박리 과정중에 가해질 구동력과 박리 속도를 조절하게 된다.Thereafter, as in the step represented by (g) in FIG. 6, the stacking head 120 and the grip unit 140 move slightly in synchronization with each other. In this step, a constant tension to be applied during the peeling process is applied to the carrier film s2 by the pressure adjusting amount of the peeling pressure adjusting cylinder 170, and the grip unit 140 is applied by the applied tension. The grip unit position sensor 171 detects the micro displacement to adjust the driving force and the peeling speed to be applied during the peeling process.

다음으로, 도 6에서 (h) 내지 (i)로 표현한 단계에서와 같이, 적층 헤드(120)와 그립 유닛(140)이 서로 동기하며 이동하며 박리 과정을 수행한다. 이 경우, 그립 유닛(140)이 하강하는 방향은 그립 유닛 장착 몸체 회전각 조절 수단(131)에 의해 조절된 방향으로 수직면과 일정한 각도(θ)를 가지게 된다. 한편, 이러한 박리과정 중 박리 테이블(110)은 수평 이동 중인 적층 헤드(120)의 하면에 흡착된 세라믹 시트(s)와 일정한 미세 간격을 유지하므로, 혹시라도 박리과정이 거의 종료되는 경우 적층 헤드(120)의 진공 흡착 면적이 점점 감소함에 따라 발생할 수 있는 세라믹 시트(s)의 탈락을 방지한다. Next, as in the steps represented by (h) to (i) in FIG. 6, the stacking head 120 and the grip unit 140 move in synchronization with each other to perform a peeling process. In this case, the direction in which the grip unit 140 descends has a constant angle θ with the vertical plane in the direction adjusted by the grip unit mounting body rotation angle adjusting means 131. Meanwhile, during the peeling process, the peeling table 110 maintains a constant fine interval with the ceramic sheet s adsorbed on the lower surface of the stacking head 120 which is horizontally moved. As the vacuum adsorption area of 120 decreases gradually, dropping of the ceramic sheet s, which may occur, is prevented.

그 후, 도 6에서 (j)로 표현한 단계에서와 같이 박리가 완료되며, 블로워 노즐(180)을 통해 압축 공기를 불어넣어 박리가 완료된 대지(carrier film)(s2)를 분리 시킨다. Then, the peeling is completed as in the step represented by (j) in Figure 6, by blowing the compressed air through the blower nozzle 180 to separate the carrier (s Carrier film) (s2) is completed.

마지막으로, 그립퍼 회동 수단(143)에 의해 상부 그립퍼(141)와 하부 그립퍼(142)가 서로 개방되어 대지(carrier film)(s2)를 놓는 것과 동시에, 하부 그립퍼(142)의 내측 포집면에 형성된 그립퍼 진공흡기공(144)로부터 압축 공기가 발산되도록 하여, 박리가 완료된 대지(carrier film)(s2)를 장치로 부터 완전히 분리 시키는 것으로 작동의 한 주기가 완료되게 된다.
Finally, the upper gripper 141 and the lower gripper 142 are opened to each other by the gripper rotating means 143 to place the carrier film s2, and formed on the inner collecting surface of the lower gripper 142. Compressed air is discharged from the gripper vacuum intake hole 144 to completely separate the carrier film s2 from which the peeling is completed, thereby completing one cycle of operation.

도면과 명세서에서 최적 실시 예들이 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
Optimal embodiments have been disclosed in the drawings and specification. Although specific terms have been employed herein, they are used for purposes of illustration only and are not intended to limit the scope of the invention as defined in the claims or the claims. Therefore, those skilled in the art will appreciate that various modifications and equivalent embodiments are possible without departing from the scope of the present invention. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.

s: 세라믹 시트
s1: 세라믹 박막 s2: 대지(carrier film)
10: 1차 VISION 장치 20: 정렬 스테이지
30: CUTTING 이송 UNIT
50: 2차 VISION 장치
70: 세라믹 박막 적층용 프레스 장치
80: 완제품 적재장치
100: 세라믹 시트 박리장치
110: 박리테이블
111: 박리 테이블 수평 이동 수단 112: 박리 테이블 상하 이동 수단
120: 적층 헤드 121: 적층 헤드 가이드 레일
122: 적층헤드 이송 수단
130: 그립 유닛 장착 몸체
131: 그립 유닛 장착 몸체 회전각 조절 수단
140: 그립 유닛
141: 상부 그립퍼 142: 하부 그립퍼
143: 그립퍼 회동 수단 144: 그립퍼 진공흡기공
150: 그립 유닛 상하 구동 수단
151: 그립 유닛 서보 152: 구동 풀리
153: 종동 풀리 154: 구동 벨트
155: 그립 유닛 가이드 156: 그립 유닛 가이드 레일
170: 박리 압력 조절 실린더 171: 그립 유닛 위치 측정 센서
180: 블로워 노즐
s: ceramic sheet
s1: ceramic thin film s2: carrier film
10: primary VISION device 20: alignment stage
30: CUTTING TRANSFER UNIT
50: secondary vision device
70: press device for laminating ceramic thin films
80: finished product loading device
100: ceramic sheet peeling apparatus
110: peeling table
111: peeling table horizontal movement means 112: peeling table vertical movement means
120: laminated head 121: laminated head guide rail
122: stacking head conveying means
130: grip unit mounting body
131: body rotation angle adjustment means with grip unit
140: grip unit
141: upper gripper 142: lower gripper
143: gripper rotation means 144: gripper vacuum suction hole
150: grip unit vertical drive means
151: grip unit servo 152: drive pulley
153: driven pulley 154: drive belt
155: grip unit guide 156: grip unit guide rail
170: release pressure adjusting cylinder 171: grip unit position measuring sensor
180: blower nozzle

Claims (3)

대지(carrier film)(s2)상에 부착된 회로 패턴이 인쇄된 세라믹 박막(s1)으로 구성되는 세라믹 시트(s)에서 상기 대지(carrier film)(s2)를 박리하는 세라믹 시트 박리장치에 있어서,

그 상면에 상기 세라믹 시트(s)를 흡착하여 이송하며, 박리 테이블 수평 이동 수단(111)에 의해 수평방향으로 구동되고, 박리 테이블 상하 이동 수단(112)에 의해 상하로 이동되는 박리테이블(110);
상기 박리테이블(110)로부터 상기 세라믹 시트(s)를 전달받아 하면에 흡착 고정하여, 적층헤드 이송 수단(122)에 의해 적층 헤드 가이드 레일(121) 상에서 수평 이동하는 적층헤드(120);
상기 적층헤드(120)의 하방 측면에 그립 유닛 장착 몸체 회전각 조절 수단(131)에 의해 그 설치 각도가 조절이 가능하도록 설치되는 그립 유닛 장착 몸체(130);
상기 그립 유닛 장착 몸체(130)에 그립 유닛 상하 구동 수단(150)에 의해 상하로 구동 가능하도록 설치되며, 그립퍼 회동 수단(143)에 의해 서로 개폐가 가능하여 최상부에 위치하여 폐쇄되는 경우 상기 적층헤드(120)의 하면 일 측에 근접하여 상기 대지(carrier film)(s2)의 박리 시작 말단부(s2')를 포집한 후, 폐쇄상태를 유지하며 상기 적층헤드(120)의 이동 속도에 동기하며 하방으로 이동하여 상기 대지(carrier film)(s2)를 상기 세라믹 박막(s1)으로부터 박리하는 상부 그립퍼(141)와 하부 그립퍼(142)를 포함하여 구성되는 그립유닛(140); 을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 세라믹 시트 박리장치(100).
In the ceramic sheet peeling apparatus for peeling the carrier film (s2) from the ceramic sheet (s) consisting of a ceramic thin film (s1) printed circuit pattern attached to the carrier film (s2),

The peeling table 110 which adsorb | sucks and conveys the said ceramic sheet | seat to the upper surface, is driven horizontally by the peeling table horizontal movement means 111, and is moved up and down by the peeling table vertical movement means 112. ;
A stacking head 120 horizontally moved on the stacking head guide rail 121 by the stacking head transporting means 122 by being fixed to the lower surface by receiving the ceramic sheet s from the peeling table 110;
A grip unit mounting body 130 installed at a lower side of the stacking head 120 by a grip unit mounting body rotation angle adjusting means 131 to adjust an installation angle thereof;
The stacking head is installed on the grip unit mounting body 130 so as to be driven up and down by the grip unit vertical driving means 150, and is opened and closed by the gripper rotating means 143 to be closed at the top. After collecting the peeling start end portion s2 'of the carrier film s2 close to one side of the lower surface of the 120, the closed state is maintained and synchronized with the moving speed of the stacking head 120 downward. A grip unit (140) including an upper gripper (141) and a lower gripper (142) for moving to and peeling the carrier film (s2) from the ceramic thin film (s1); Ceramic sheet peeling apparatus 100, characterized in that comprises a.
청구항 1에 있어서,
상기 그립 유닛(140)의 양 측면에 설치되는 그립 유닛 가이드(155);
상기 그립 유닛 장착 몸체(130)에 각각 더 설치되며, 상기 그립 유닛 가이드(155)가 각각 삽입되어 유도되는 그립 유닛 가이드 레일(156);를 더 포함하여 구성되며,
상기 그립 유닛(140)은 박리 압력 조절 실린더(170)를 통하여 상기 그립 유닛 상하 구동 수단(150)에 연결되며, 상기 박리 압력 조절 실린더(170)의 작동 정도에 따라 박리 과정 중 상기 그립유닛(140)으로부터 상기 대지(carrier film)(s2)에 가해지는 장력(tension)의 정도가 조절되는 것을 특징으로 하는 세라믹 시트 박리장치(100).
The method according to claim 1,
Grip unit guides 155 installed at both sides of the grip unit 140;
The grip unit mounting body 130 is further installed, and the grip unit guide rails 156 are respectively inserted and guided by the grip unit guide 155;
The grip unit 140 is connected to the grip unit up and down driving means 150 through a peel pressure adjusting cylinder 170, and the grip unit 140 during the peeling process according to the operation degree of the peel pressure adjusting cylinder 170. Ceramic sheet peeling apparatus (100), characterized in that the degree of tension applied to the carrier film (s2) is controlled from).
청구항 제 2항에 있어서,
상기 하부 그립퍼(142)에 다수 개 형성되어, 상기 대지(carrier film)(s2)를 포집하는 경우에는 진공 흡입력이 인가되어 상기 대지(carrier film)(s2)가 더욱 잘 흡착되도록 하며, 박리 과정이 끝난 후에는 공기를 불어넣어 상기 대지(carrier film)(s2)가 쉽게 분리되도록 하는 그립퍼 진공흡기공(144);
상기 그립유닛(140)의 위치를 측정하는 그립 유닛 위치 측정 센서(171);
상기 그립 유닛 장착 몸체(130)에 상하 방향으로 다수 개 설치되며, 분리가 끝난 상기 대지(carrier)(s2)를 공기를 분출하여 분리시키는 블로워 노즐(180);
을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 세라믹 시트 박리장치(100).
The method according to claim 2,
A plurality of lower grippers 142 are formed, and when the carrier film s2 is collected, a vacuum suction force is applied so that the carrier film s2 is more easily adsorbed, and the peeling process is performed. A gripper vacuum inlet 144 for blowing air to allow the carrier film s2 to be separated easily;
A grip unit position sensor 171 for measuring a position of the grip unit 140;
A plurality of blower nozzles (180) installed on the grip unit mounting body (130) in a vertical direction, and ejecting and separating the separated carrier (s2) by air;
Ceramic sheet peeling apparatus 100, characterized in that further comprises.
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