JPH09129502A - Method and device of manufacturing laminated electronic component - Google Patents

Method and device of manufacturing laminated electronic component

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JPH09129502A
JPH09129502A JP7285190A JP28519095A JPH09129502A JP H09129502 A JPH09129502 A JP H09129502A JP 7285190 A JP7285190 A JP 7285190A JP 28519095 A JP28519095 A JP 28519095A JP H09129502 A JPH09129502 A JP H09129502A
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Japan
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cutting
ceramic green
green sheet
carrier film
blade
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Koichi Ando
功一 安藤
Yoshiji Sekiguchi
義二 関口
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Taiyo Yuden Co Ltd
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Taiyo Yuden Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide the method of manufacturing laminated electronic compo nent capable of settling the nonconformity in the case of cutting off a ceramic green sheet for manufacturing excellent components. SOLUTION: A ceramic green sheet 2 on a carrier film 1 is linearly cut off by draw cutting mode using respective cut off blades 13 by shifting respective circular cut off blades 13 in parallel with the surface of a table 3 so that the burring or cracking around an unit sheet in case of cut off step by conventional cutting mode may be avoided thereby enabling a clean cut off surface to be produced.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、所定の大きさに切
断されたセラミックグリーンシートを積み重ねて製造さ
れる積層型電子部品の製造方法とその装置に関するもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing a laminated electronic component manufactured by stacking ceramic green sheets cut into a predetermined size.

【0002】[0002]

【従来の技術】積層型電子部品として代表的な積層コン
デンサは、従来、以下のようにして製造されている。
2. Description of the Related Art A typical multilayer capacitor as a multilayer electronic component has been conventionally manufactured as follows.

【0003】まず、PET等からなるキャリアフィルム
の上面に、ドクターブレード法等によってセラミックス
ラリーを均一な厚さで塗布し、これを乾燥させて、キャ
リアフィルム上にセラミックグリーンシートを形成す
る。
First, a ceramic slurry is applied to the upper surface of a carrier film made of PET or the like by a doctor blade method or the like with a uniform thickness, and this is dried to form a ceramic green sheet on the carrier film.

【0004】次に、このセラミックグリーンシートの上
面に、スクリーン印刷等によって内部電極となる導体ペ
ーストのパターンを形成し、これを乾燥させる。
Next, a pattern of a conductor paste to be internal electrodes is formed on the upper surface of this ceramic green sheet by screen printing or the like, and this is dried.

【0005】次に、図8(a)に示すように、キャリア
フィルム101とセラミックグリーンシート102を双
方の付着状態を維持したままテーブル103上に搬送し
て停止させる。テーブル103の上面には多数の吸引孔
103aが形成されており、停止後のキャリアフィルム
1はテーブル103に吸着保持される。
Next, as shown in FIG. 8 (a), the carrier film 101 and the ceramic green sheet 102 are conveyed onto the table 103 and stopped while maintaining the adhered state of both. A large number of suction holes 103 a are formed on the upper surface of the table 103, and the stopped carrier film 1 is suction-held on the table 103.

【0006】次に、図8(a)に示すように、打抜刃1
04を周囲に備えたカッティングヘッド105をテーブ
ル103の上方から垂直に降下させてその下面をセラミ
ックグリーンシート102に密着させると共に、打抜刃
104の刃先をキャリアフィルム101の上面層まで食
い込ませて、セラミックグリーンシート102を所定の
大きさに切断する。カッティングヘッド105の下面に
は多数の吸引孔105aが形成されており、密着後のセ
ラミックグリーンシート102はテーブル103側より
も大きな力でカッティングヘッド105に吸着保持され
る。
Next, as shown in FIG. 8A, the punching blade 1
A cutting head 105 equipped with 04 on the periphery is vertically lowered from above the table 103 to bring the lower surface into close contact with the ceramic green sheet 102, and the cutting edge of the punching blade 104 is cut into the upper surface layer of the carrier film 101. The ceramic green sheet 102 is cut into a predetermined size. A large number of suction holes 105a are formed on the lower surface of the cutting head 105, and the ceramic green sheet 102 after the close contact is sucked and held by the cutting head 105 with a force larger than that of the table 103 side.

【0007】次に、図8(b)に示すように、カッティ
ングヘッド105を上昇させて、所定の大きさに切断さ
れたセラミックグリーンシート(以下、単位シートと言
う)102aをキャリアフィルム101から剥離する。
Next, as shown in FIG. 8 (b), the cutting head 105 is raised to separate the ceramic green sheet (hereinafter referred to as a unit sheet) 102a cut into a predetermined size from the carrier film 101. To do.

【0008】次に、単位シート102aを吸着保持する
カッティングヘッド105を積層位置に移動させ、ここ
で吸引力を解いて単位シート102aの積み重ねを行
う。上記の手順は単位シート102aが所定枚数積み重
ねられるまで繰り返され、積み重ね後はこれを加圧して
積層物を得る。
Next, the cutting head 105 for sucking and holding the unit sheets 102a is moved to the stacking position, where the suction force is released to stack the unit sheets 102a. The above procedure is repeated until a predetermined number of unit sheets 102a are stacked, and after stacking, this is pressed to obtain a laminate.

【0009】次に、積層物を部品個々に対応する寸法に
切断してこれを焼成し、チップ両端部に導体ペーストを
塗布し焼き付けて外部電極を形成し、必要に応じて外部
電極の表面に半田メッキ層を形成する。
Next, the laminated product is cut into a size corresponding to each component and baked, and a conductor paste is applied to both ends of the chip and baked to form an external electrode. If necessary, the external electrode is formed on the surface of the external electrode. Form a solder plating layer.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】上記従来の製造方法で
は、カッティングヘッド105の周囲に設けられた打抜
刃104を、キャリアフィルム101の上面に対し直行
方向に降下させることによって、キャリアフィルム10
1上のセラミックグリーンシート102を押し切りによ
って切断しているため、打抜刃104からの押圧力によ
って単位シート102aの周囲にバリや割れが発生し易
く、この影響で単位シートの積み重ねを行う際に位置ず
れを生じたり、また加圧を行う際に応力集中が局部的に
発生して品質や性能の低下を招来する問題点がある。ま
た、切断時に打抜刃104にシート材料が付着し易いた
め、定期的にこれを除去しないとバリや割れの程度が徐
々に悪化する問題点がある。
In the above-mentioned conventional manufacturing method, the punching blade 104 provided around the cutting head 105 is lowered in the direction perpendicular to the upper surface of the carrier film 101, whereby the carrier film 10 is cut.
Since the ceramic green sheet 102 on 1 is cut by push cutting, burrs and cracks are easily generated around the unit sheet 102a due to the pressing force from the punching blade 104, and when stacking the unit sheets due to this influence. There is a problem that displacement occurs and stress concentration is locally generated during pressurization, resulting in deterioration of quality and performance. Further, since the sheet material easily adheres to the punching blade 104 at the time of cutting, there is a problem that the degree of burrs and cracks gradually deteriorates unless the sheet material is regularly removed.

【0011】上記の問題は積層コンデンサに限らず、積
層インダクタや厚膜多層基板等においても、セラミック
グリーンシートを同様の押し切りによって切断する場合
に生じ得る。
The above problem may occur not only in the case of the multilayer capacitor but also in the case of the multilayer inductor, the thick film multilayer substrate, etc., when the ceramic green sheet is cut by the same pressing.

【0012】本発明は上記問題点に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、セラミックグリーンシー
トを切断する際の不具合を解消して良質な部品を得るこ
とができる積層型電子部品の製造方法と、この方法実施
に好適な装置を提供することにある。
The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a laminated electronic component capable of obtaining a high-quality component by eliminating the problem of cutting a ceramic green sheet. An object of the present invention is to provide a manufacturing method and an apparatus suitable for carrying out this method.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1の発明は、キャリアフィルム上のセラミッ
クグリーンシートを所定の大きさに切断し、これをキャ
リアフィルムから剥離して積み重ねる積層型電子部品の
製造方法において、キャリアフィルム上のセラミックグ
リーンシートを切断刃による引き切りによって所定の大
きさに切断する、ことをその特徴としている。
In order to achieve the above object, the invention of claim 1 is a laminated type in which a ceramic green sheet on a carrier film is cut into a predetermined size and is peeled from the carrier film and stacked. The method of manufacturing an electronic component is characterized in that the ceramic green sheet on the carrier film is cut into a predetermined size by cutting with a cutting blade.

【0014】また、請求項2の発明は、セラミックグリ
ーンシートを上面に形成されたキャリアフィルムを吸着
保持するためのテーブルと、キャリアフィルム上のセラ
ミックグリーンシートを所定の大きさに切断するための
刃と、所定の大きさに切断されたセラミックグリーンシ
ートを吸着保持してキャリアフィルムから剥離するため
の吸着ヘッドとを備えた積層型電子部品の製造装置にお
いて、吸着ヘッドの周囲に、キャリアフィルム上のセラ
ミックグリーンシートを引き切りによって切断する刃を
設けた、ことをその特徴としている。
According to a second aspect of the invention, there is provided a table for adsorbing and holding a carrier film having a ceramic green sheet formed on the upper surface thereof, and a blade for cutting the ceramic green sheet on the carrier film into a predetermined size. And a suction head for sucking and holding a ceramic green sheet cut into a predetermined size and peeling it from the carrier film, in a manufacturing apparatus for a laminated electronic component, the suction head is provided with a carrier film on the carrier film. The feature is that a blade for cutting the ceramic green sheet by cutting is provided.

【0015】請求項1及び請求項2の発明によれば、キ
ャリアフィルム上のセラミックグリーンシートを引き切
りによって切断しているので、従来の押し切りによる切
断のように切断時に単位シートの周囲にバリや割れが発
生することを防止して、綺麗な切断面を得ることが可能
であり、バリや割れを原因として単位シートの積み重ね
を行う際に生じる位置ずれや、また加圧を行う際に発生
する局部的な応力集中を回避して、製造部品の品質や性
能の低下を未然に防止できる。
According to the first and second aspects of the present invention, since the ceramic green sheet on the carrier film is cut by pull cutting, burrs and burrs are formed around the unit sheet at the time of cutting like the conventional push cutting. It is possible to prevent the occurrence of cracks and obtain a clean cut surface, which occurs when the unit sheets are stacked due to burrs and cracks and when pressure is applied. By avoiding localized stress concentration, it is possible to prevent deterioration of quality and performance of manufactured parts.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】図1乃至図4は本発明の一実施形
態を示すもので、図1は装置側面図、図2は図1のA−
A線断面図、図3は図1のB−B線断面図、図4はシー
ト切断から剥離の様子を示す図である。本発明は積層コ
ンデンサ,積層インダクタ,厚膜多層基板等の各種の積
層型電子部品に適用可能であるが、ここでは積層コンデ
ンサに適用した例について説明する。
1 to 4 show an embodiment of the present invention. FIG. 1 is a side view of the apparatus, and FIG. 2 is A- of FIG.
FIG. 4 is a sectional view taken along line A, FIG. 3 is a sectional view taken along line BB in FIG. 1, and FIG. The present invention can be applied to various laminated electronic components such as a laminated capacitor, a laminated inductor, and a thick film multilayer substrate. Here, an example applied to a laminated capacitor will be described.

【0017】図中、1はキャリアフィルム、2はセラミ
ックグリーンシート、3はテーブル、11は切断・吸着
ユニットである。
In the figure, 1 is a carrier film, 2 is a ceramic green sheet, 3 is a table, and 11 is a cutting / suction unit.

【0018】キャリアフィルム1はPET等の可撓性樹
脂フィルムから所定幅の帯状に形成されており、その上
面にはセラミックグリーンシート2が所定厚及び幅で設
けられている。このセラミックグリーンシート2は、誘
電体セラミックスラリーをドクターブレード法等によっ
てキャリアフィルム1上に均一な厚さで塗布しこれを乾
燥させることで形成されている。また、セラミックグリ
ーンシート2の上面には、スクリーン印刷等によって内
部電極となる導体ペーストのパターン(図示省略)が形
成されている。ちなみに、セラミックグリーンシート2
はキャリアフィルム1に剥離可能な状態で付着してお
り、該付着力はキャリアフィルム1上に予め周知の離型
材を塗布ことによって調整される。
The carrier film 1 is formed of a flexible resin film such as PET in a band shape with a predetermined width, and a ceramic green sheet 2 is provided on the upper surface thereof with a predetermined thickness and width. The ceramic green sheet 2 is formed by applying a dielectric ceramic slurry on the carrier film 1 by a doctor blade method or the like with a uniform thickness and drying it. Further, on the upper surface of the ceramic green sheet 2, a pattern (not shown) of a conductor paste to be an internal electrode is formed by screen printing or the like. By the way, ceramic green sheet 2
Is adhered to the carrier film 1 in a releasable state, and the adhesive force is adjusted by applying a known release material on the carrier film 1 in advance.

【0019】テーブル3は、セラミックグリーンシート
2を上面に形成されたキャリアフィルム1を吸着保持す
るためのもので、キャリアフィルム1よりも幅が大き
く、且つ平坦な上面には、多数の吸引孔3aが形成され
ている。これら吸引孔3aはコンプレッサ等の負圧源に
接続されており、必要に応じてキャリアフィルム1の下
面を吸着保持できる。
The table 3 is for adsorbing and holding the carrier film 1 having the ceramic green sheet 2 formed on the upper surface thereof. The table 3 is wider than the carrier film 1 and has a large number of suction holes 3a on the flat upper surface. Are formed. These suction holes 3a are connected to a negative pressure source such as a compressor so that the lower surface of the carrier film 1 can be adsorbed and held if necessary.

【0020】切断・吸着ユニット11は、吸着ヘッド1
2と、円形状の刃先を有する4個の切断刃13と、切断
刃支持用の4個のアーム14と、昇降板15と、アーム
移動用のベルト16と、ベルト駆動用のモータ17と、
昇降板駆動用の2個のシリンダ18と、吸着ヘッド駆動
用のシリンダ19と、ベース板20とから主に構成され
ている。
The cutting / suction unit 11 is the suction head 1
2, four cutting blades 13 having a circular cutting edge, four arms 14 for supporting the cutting blades, an elevating plate 15, a belt 16 for arm movement, and a belt driving motor 17,
It is mainly composed of two cylinders 18 for driving the lifting plate, a cylinder 19 for driving the suction head, and a base plate 20.

【0021】吸着ヘッド12は、所定の大きさに切断さ
れたグリーンシート(以下、単位シートという)2aを
吸着保持するためのもので、単位シート2aと同一形状
を有し、且つテーブル3の上面と平行に向き合う平坦な
下面には、多数の吸引孔12aが形成されている。これ
ら吸引孔12aはコンプレッサ等の負圧源に接続されて
おり、必要に応じてテーブル側よりも大きな力で単位シ
ート2aを吸着保持する。この吸着ヘッド12はベース
板20上に設けられたシリンダ19のロッド19aに連
結されており、該シリンダ19の作動によってテーブル
3の上面との平行状態を維持したままテーブル上面と直
行する方向で昇降する。
The suction head 12 is for sucking and holding a green sheet (hereinafter referred to as a unit sheet) 2a cut into a predetermined size, has the same shape as the unit sheet 2a, and has an upper surface of the table 3. A large number of suction holes 12a are formed on a flat lower surface facing in parallel with. These suction holes 12a are connected to a negative pressure source such as a compressor, and if necessary, attract and hold the unit sheet 2a with a force larger than that on the table side. The suction head 12 is connected to a rod 19a of a cylinder 19 provided on the base plate 20, and the cylinder 19 is actuated to move up and down in a direction perpendicular to the upper surface of the table 3 while maintaining a parallel state with the upper surface of the table 3. To do.

【0022】各アーム14は側面から見て略L字状をな
しており、その上部に固着されたスライドガイド21を
昇降板15の外縁(ガイドレール部)に摺動自在に係合
され、該昇降板15の外縁各辺に沿って移動できるよう
になっている。また、各アーム14の下部には、吸着ヘ
ッド12側に開口を有する筒部材22と、切断刃13の
軸13aを回動自在に支持するブッシュ22と、切断刃
13の軸13aを吸着ヘッド12側に付勢するバネ23
が設けられている。つまり、各切断刃13はその軸13
aをテーブル上面と平行な向きで支持され、しかも図3
に示すように上面から見て軸線が90度宛異なる向きで
配置されており、バネ付勢力によってその先端面を吸着
ヘッド12の各側面に当接している。また、昇降板15
はベース板20上に設けられた2つのシリンダ18のロ
ッド18aに連結されており、該シリンダ18の作動に
よってテーブル3の上面との平行状態を維持したままテ
ーブル上面と直行する方向で昇降する。
Each arm 14 is substantially L-shaped when viewed from the side, and a slide guide 21 fixed to the upper part of the arm 14 is slidably engaged with the outer edge (guide rail portion) of the elevating plate 15, It can be moved along each outer edge of the lift plate 15. In addition, in the lower part of each arm 14, a cylindrical member 22 having an opening on the suction head 12 side, a bush 22 that rotatably supports the shaft 13a of the cutting blade 13, and the shaft 13a of the cutting blade 13 are attached to the suction head 12. Spring 23 that biases to the side
Is provided. That is, each cutting blade 13 has its shaft 13
a is supported in a direction parallel to the upper surface of the table, and further, in FIG.
As shown in FIG. 5, the axes are arranged so that the axes are different from each other by 90 degrees when viewed from the upper surface, and the tip end surface of the axis is in contact with each side surface of the suction head 12 by the spring biasing force. Also, the lifting plate 15
Is connected to the rods 18a of two cylinders 18 provided on the base plate 20, and the cylinders 18 are operated to move up and down in a direction perpendicular to the upper surface of the table 3 while maintaining the parallel state with the upper surface of the table 3.

【0023】ベルト16は、各アーム14を昇降板15
の外縁各辺に沿って移動させるためのもので、昇降板1
5の4隅に配置された4個のプーリ24に巻き付けら
れ、これに各アーム14の上端延設部14aが連結され
ている。また、4個のうちの1つのプーリ軸には駆動力
伝達用のプーリ25が連結されており、該プーリ25と
ベルト駆動用のモータ17の軸に連結されたプーリ25
には別のベルト26が巻き付けられている。つまり、ベ
ルト16はモータ17の作動によって所定方向に移動
し、該移動に伴って各アーム14が昇降板15の外縁各
辺に沿って移動し、各切断刃13が吸着ヘッド12の各
側面に沿って移動する。
The belt 16 attaches each arm 14 to the lifting plate 15
For moving along each side of the outer edge of the
It is wound around four pulleys 24 arranged at the four corners of No. 5, and the upper end extending portions 14a of each arm 14 are connected to this. A pulley 25 for driving force transmission is connected to one of the four pulley shafts, and the pulley 25 is connected to the pulley 25 and the shaft of a belt driving motor 17.
Another belt 26 is wound around. That is, the belt 16 moves in a predetermined direction by the operation of the motor 17, the arms 14 move along the outer edges of the lift plate 15 along with the movement, and the cutting blades 13 move to the side surfaces of the suction head 12. Move along.

【0024】ここで、図1及び図4を参照してセラミッ
クグリーンシートの切断と剥離の手順について説明す
る。
Here, the procedure for cutting and peeling the ceramic green sheet will be described with reference to FIGS.

【0025】まず、セラミックグリーンシート2を上面
に形成されたキャリアフィルム1をテーブル1上に搬送
し、所定位置でこれを停止させる。そして、テーブル3
の吸引孔3aに吸引力を作用させてキャリアフィルム1
をテーブル上面に吸着保持させる。
First, the carrier film 1 having the ceramic green sheet 2 formed on its upper surface is conveyed onto the table 1 and stopped at a predetermined position. And table 3
A suction force is applied to the suction holes 3a of the carrier film 1
Is adsorbed and held on the table top surface.

【0026】次に、図4(a)に示すように、シリンダ
19の作動によって吸着ヘッド12を所定距離降下さ
せ、その下面をセラミックグリーンシート2の上面に密
着させる。これと同時に、シリンダ18の作動によって
昇降板15及び各アーム14も同一距離降下させ、吸着
ヘッド12と各切断刃13の位置関係を維持する。
Next, as shown in FIG. 4A, the suction head 12 is lowered by a predetermined distance by the operation of the cylinder 19, and the lower surface thereof is brought into close contact with the upper surface of the ceramic green sheet 2. At the same time, the operation of the cylinder 18 also lowers the lifting plate 15 and each arm 14 by the same distance, and maintains the positional relationship between the suction head 12 and each cutting blade 13.

【0027】次に、図4(b)に示すように、シリンダ
18の作動によって昇降板15及び各アーム14をセラ
ミックグリーンシート2の厚みよりも僅かに大きな距離
だけ降下させ、各切断刃13の刃先をキャリアフィルム
1の上面層まで食い込ませる。
Next, as shown in FIG. 4 (b), the operation of the cylinder 18 lowers the elevating plate 15 and each arm 14 by a distance slightly larger than the thickness of the ceramic green sheet 2 to remove each cutting blade 13. The cutting edge is cut into the upper surface layer of the carrier film 1.

【0028】次に、図4(c)に示すように、モータ1
7の作動によってベルト16及び各アーム14を所定方
向に移動させ、各切断刃13をテーブル3の上面と平行
に移動させる。これにより、各切断刃13はキャリアフ
ィルム1と接触したまま回転しながら切断ヘッド12の
側面に沿って移動し、キャリアフィルム1上のセラミッ
クグリーンシート2が各切断刃13による引き切りによ
って直線状に切断される。
Next, as shown in FIG. 4 (c), the motor 1
The belt 16 and each arm 14 are moved in a predetermined direction by the operation of 7, and each cutting blade 13 is moved in parallel with the upper surface of the table 3. As a result, each cutting blade 13 moves along the side surface of the cutting head 12 while rotating while being in contact with the carrier film 1, and the ceramic green sheet 2 on the carrier film 1 is linearly cut by the cutting blades 13. Be disconnected.

【0029】先に述べたように、各切断刃13はその移
動方向を90度宛異にしており、しかもその移動距離を
吸着ヘッド12の側面幅よりも大きく設定してあるた
め、図4(d)に示すように、各切断刃13による切断
ラインLは90度角で直交し、これによりセラミックグ
リーンシート2が所定の大きさに切断される。
As described above, since the cutting blades 13 have their moving directions different from each other by 90 degrees and the moving distance thereof is set to be larger than the side face width of the suction head 12, FIG. As shown in d), the cutting lines L by the respective cutting blades 13 are orthogonal to each other at a 90 degree angle, whereby the ceramic green sheet 2 is cut into a predetermined size.

【0030】次に、図4(e)に示すように、シリンダ
18の作動によって昇降板15及び各アーム14を図4
(b)での降下分だけ上昇させ、吸着ヘッド12と各切
断刃13の位置関係を元の状態に戻す。また、これと前
後して吸着ヘッド12の吸引孔12aに吸引力を作用さ
せて切断後の単位シート2aを吸着保持させる。
Next, as shown in FIG. 4 (e), the lift plate 15 and each arm 14 are moved to the position shown in FIG.
It is raised by the amount of fall in (b), and the positional relationship between the suction head 12 and each cutting blade 13 is returned to the original state. Around this, a suction force is applied to the suction holes 12a of the suction head 12 to suck and hold the cut unit sheet 2a.

【0031】次に、図4(f)に示すように、シリンダ
19の作動によって吸着ヘッド12を上昇復帰させ、切
断後の単位シート2aをキャリアフィルム1から剥離す
る。これと同時に、シリンダ18の作動によって昇降板
15及び各アーム14も上昇復帰させ、吸着ヘッド12
と各切断刃13の位置関係を維持すると共に、モータ1
7の作動によってベルト16及び各アーム14を逆方向
に移動させ、各切断刃13を元の位置に復帰させる。
Next, as shown in FIG. 4 (f), the suction head 12 is raised and returned by the operation of the cylinder 19, and the cut unit sheet 2a is peeled from the carrier film 1. At the same time, the lift plate 15 and the arms 14 are also lifted and returned by the operation of the cylinder 18, and the suction head 12
While maintaining the positional relationship between the cutting blade 13 and each cutting blade 13,
By the operation of 7, the belt 16 and each arm 14 are moved in the opposite direction, and each cutting blade 13 is returned to the original position.

【0032】次に、単位シート2aを吸着保持する吸着
ヘッド12を積層位置に移動させ、ここで吸引力を解い
て単位シート2aの積み重ねを行う。上記の手順は単位
シート2aが所定枚数積み重ねられるまで繰り返され、
積み重ね後はこれを加圧して積層物を得る。
Next, the suction head 12 for sucking and holding the unit sheets 2a is moved to the stacking position, where the suction force is released to stack the unit sheets 2a. The above procedure is repeated until a predetermined number of unit sheets 2a are stacked,
After stacking, this is pressed to obtain a laminate.

【0033】次に、積層物を部品個々に対応する寸法に
切断してこれを焼成し、チップ両端部に導体ペーストを
塗布し焼き付けて外部電極を形成し、必要に応じて外部
電極の表面に半田メッキ層等を形成する。以上で積層コ
ンデンサが製造される。
Next, the laminate is cut into a size corresponding to each component and baked, and a conductor paste is applied to both ends of the chip and baked to form an external electrode. If necessary, a surface of the external electrode is formed. A solder plating layer or the like is formed. The multilayer capacitor is manufactured as described above.

【0034】このように、上述の製造方法によれば、キ
ャリアフィルム1上のセラミックグリーンシート2を引
き切りによって切断しているので、従来の押し切りによ
る切断のように切断時に単位シートの周囲にバリや割れ
が発生することを防止して綺麗な切断面を得ることが可
能であり、バリや割れを原因として単位シートの積み重
ねを行う際に生じる位置ずれや、また加圧を行う際に発
生する局部的な応力集中を的確に回避して、製造部品の
品質や性能の低下を未然に防止できる。また、切断時に
刃自体にシート材料が付着することがないので掃除の面
倒がなく、常にバリや割れがない綺麗な切断面を得るこ
とができる。
As described above, according to the above-mentioned manufacturing method, since the ceramic green sheet 2 on the carrier film 1 is cut by pull-cutting, burrs are formed around the unit sheet at the time of cutting like the conventional push-cutting. It is possible to prevent the occurrence of cracks and cracks and obtain a clean cut surface, which occurs when the unit sheets are stacked due to burrs and cracks and when pressure is applied. Precisely avoiding localized stress concentration, it is possible to prevent deterioration in quality and performance of manufactured parts. Further, since the sheet material does not adhere to the blade itself at the time of cutting, there is no need for cleaning, and a clean cut surface free of burrs and cracks can be obtained at all times.

【0035】しかも、切断刃13の刃先をキャリアフィ
ルム1の上面層まで食い込ませた状態でセラミックグリ
ーンシート2を引き切りによって切断しているので、切
断刃13の移動方向とテーブル上面との平行度が正確に
保たれていない場合でも、シート切断を完全に行って切
断不良を回避することができる。
Moreover, since the ceramic green sheet 2 is cut by pulling with the cutting edge of the cutting blade 13 biting into the upper surface layer of the carrier film 1, the parallelism between the moving direction of the cutting blade 13 and the upper surface of the table. Even if the sheet is not accurately maintained, it is possible to completely cut the sheet and avoid a cutting failure.

【0036】尚、上記実施形態では、吸着ヘッド12を
上昇させることによって単位シート2aの剥離を行うも
のを例示したが、図5に示すように、テーブル3’を水
平方向で移動可能に構成し、図4(e)に対応するタイ
ミングで該テーブル3’を図中左方向に移動させ、これ
と同時にキャリアフィルム1と切断後のセラミックグリ
ーンシート2を下方に引き込むようにすれば、吸着ヘッ
ド12を上昇させることなく単位シート2aの剥離を行
うことができる。この場合は、単位シート2aの一側端
から他側端に向かって剥離が行われるので、吸着ヘッド
12を上昇させて剥離する場合に比べて剥離時にシート
変形や破れが生じ難く、より高品質の単位シートが得ら
れる。
In the above embodiment, the unit sheet 2a is peeled off by raising the suction head 12, but as shown in FIG. 5, the table 3'is configured to be movable in the horizontal direction. , The table 3'is moved to the left in the figure at the timing corresponding to FIG. 4 (e), and at the same time, the carrier film 1 and the ceramic green sheet 2 after cutting are pulled downward. The unit sheet 2a can be peeled off without raising. In this case, since peeling is performed from one end of the unit sheet 2a toward the other end, sheet deformation or breakage is less likely to occur during peeling as compared with the case where the suction head 12 is lifted and peeled, and higher quality is achieved. A unit sheet of is obtained.

【0037】また、上記実施形態では、吸着ヘッド12
と各切断刃13を各々専用のシリンダ18,19によっ
て独立して昇降できるようにしたものを例示したが、シ
リンダ18を排除して昇降板15を吸着ヘッド12に固
定するようにし、吸着ヘッド12からの各切断刃13の
下方突出量をセラミックグリーンシート2の厚みに応じ
て予め規定するようにしても、上記と同様のシート切断
及び剥離を行うことができる。
Further, in the above embodiment, the suction head 12
Although the cutting blades 13 and the cutting blades 13 can be independently moved up and down by the dedicated cylinders 18 and 19, respectively, the cylinders 18 are eliminated and the lifting plate 15 is fixed to the suction heads 12. Even if the downward protrusion amount of each cutting blade 13 from the above is defined in advance according to the thickness of the ceramic green sheet 2, the same sheet cutting and peeling as described above can be performed.

【0038】さらに、上記実施形態では、引き切りを可
能とした切断刃として、円形状の刃先を有し、且つテー
ブル上面と平行な方向に移動する刃13を例示したが、
引き切りを可能とするものであれば種々の切断刃構造、
例えば図6または図7に示す構造を採用することができ
る。
Further, in the above-described embodiment, the cutting blade 13 which has a circular cutting edge and moves in the direction parallel to the upper surface of the table is exemplified as the cutting blade capable of pulling and cutting.
Various cutting blade structures, as long as they allow pull cutting,
For example, the structure shown in FIG. 6 or 7 can be adopted.

【0039】図6に示した切断刃31は、曲線状の刃先
を有し、且つテーブル上面との刃先間隔を変えることな
く揺動するものであり、昇降板15の側面にモータ32
とこれによって回動するボールネジ33をテーブル上面
と平行に配設し、切断刃31の頂点箇所に回動自在に取
り付けられたナット34をボールネジ32に螺合して、
切断刃31の中心部に設けたピン31aを昇降板側面の
V溝15aで案内するようにしている。
The cutting blade 31 shown in FIG. 6 has a curved cutting edge and swings without changing the distance between the cutting edge and the table top surface.
And a ball screw 33 that rotates by this is arranged parallel to the table upper surface, and a nut 34 rotatably attached to the apex of the cutting blade 31 is screwed into the ball screw 32,
The pin 31a provided at the center of the cutting blade 31 is guided by the V groove 15a on the side surface of the lift plate.

【0040】この切断刃構造によれば、モータ32の作
動によってナット34をテーブル上面と平行に移動させ
ることにより、切断刃31をテーブル上面との刃先間隔
を変えることなく揺動させてキャリアフィルム上のセラ
ミックグリーンシートを引き切りによって切断すること
ができる。
According to this cutting blade structure, the nut 34 is moved in parallel with the table upper surface by the operation of the motor 32, so that the cutting blade 31 is swung without changing the blade tip distance from the table upper surface, so that the carrier film is not moved. The ceramic green sheet of can be cut by drawing.

【0041】図7に示した切断刃41は、直線状の刃先
を有し、且つテーブル上面に対し直交方向と交差する方
向に平行移動するものであり、昇降板15の側面にシリ
ンダ42をテーブル上面と直交方向に配置してそのロッ
ドに押圧板43を連結し、切断刃41には傾斜した長孔
41aを2つ形成してこれに昇降板側面に突設したピン
15bを嵌挿して、該切断刃41をバネ44によって上
方に付勢してその上縁を押圧板43の平坦な下面に当接
してある。
The cutting blade 41 shown in FIG. 7 has a linear cutting edge and is parallel to the table upper surface in a direction intersecting the direction orthogonal to the table upper surface. Arranged in a direction orthogonal to the upper surface, the pressing plate 43 is connected to the rod, two slender elongated holes 41a are formed in the cutting blade 41, and a pin 15b protruding from the side surface of the elevating plate is fitted into this. The cutting blade 41 is urged upward by a spring 44 so that its upper edge is in contact with the flat lower surface of the pressing plate 43.

【0042】この切断刃構造によれば、シリンダ42の
作動によって押圧板43を介して切断刃41をバネ付勢
力に抗して下方押圧することにより、該切断刃41を傾
斜した長孔41aに沿って図中斜め左下に移動させてキ
ャリアフィルム上のセラミックグリーンシートを引き切
りによって切断することができる。
According to this cutting blade structure, the operation of the cylinder 42 presses the cutting blade 41 downward against the spring biasing force via the pressing plate 43, so that the cutting blade 41 is formed into the slender long hole 41a. The ceramic green sheet on the carrier film can be cut by pulling it by moving it diagonally to the lower left in the figure.

【0043】[0043]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
キャリアフィルム上のセラミックグリーンシートを引き
切りによって切断しているので、従来の押し切りによる
切断のように切断時に単位シートの周囲にバリや割れが
発生することを防止して綺麗な切断面を得ることが可能
であり、バリや割れを原因として単位シートの積み重ね
を行う際に生じる位置ずれや、また加圧を行う際に発生
する局部的な応力集中を的確に回避して、製造部品の品
質や性能の低下を未然に防止できる。また、切断時に刃
自体にシート材料が付着することがないので掃除の面倒
がなく、常にバリや割れがない綺麗な切断面を得ること
ができる。
As described in detail above, according to the present invention,
Since the ceramic green sheet on the carrier film is cut by pull cutting, burrs and cracks are not generated around the unit sheet at the time of cutting as in the case of conventional push cutting to obtain a clean cut surface. It is possible to accurately avoid positional deviations that occur when stacking unit sheets due to burrs and cracks, and local stress concentration that occurs when applying pressure, and to improve the quality of manufactured parts. It is possible to prevent performance deterioration. Further, since the sheet material does not adhere to the blade itself at the time of cutting, there is no need for cleaning, and a clean cut surface free of burrs and cracks can be obtained at all times.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る装置側面図FIG. 1 is a side view of an apparatus according to the present invention.

【図2】図1のA−A線断面図FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG. 1;

【図3】図1のB−B線断面図FIG. 3 is a sectional view taken along line BB of FIG. 1;

【図4】シート切断から剥離の様子を示す図FIG. 4 is a diagram showing a state of cutting and peeling a sheet.

【図5】テーブルの他の構造例を示す図FIG. 5 is a diagram showing another structural example of a table.

【図6】切断刃の他の構造例を示す図FIG. 6 is a view showing another structural example of the cutting blade.

【図7】切断刃の他の構造例を示す図FIG. 7 is a view showing another structural example of the cutting blade.

【図8】従来装置及び方法を示す図FIG. 8 is a diagram showing a conventional apparatus and method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…キャリアフィルム、2…セラミックグリーンシー
ト、2a…単位シート、3,3’…テーブル、12…吸
着ヘッド、13,31,41…切断刃。
1 ... Carrier film, 2 ... Ceramic green sheet, 2a ... Unit sheet, 3, 3 '... Table, 12 ... Suction head, 13, 31, 41 ... Cutting blade.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 キャリアフィルム上のセラミックグリー
ンシートを所定の大きさに切断し、これをキャリアフィ
ルムから剥離して積み重ねる積層型電子部品の製造方法
において、 キャリアフィルム上のセラミックグリーンシートを切断
刃による引き切りによって所定の大きさに切断する、 ことを特徴とする積層型電子部品の製造方法。
1. A method for manufacturing a laminated electronic component, wherein a ceramic green sheet on a carrier film is cut into a predetermined size, and the ceramic green sheet is peeled from the carrier film and stacked. A method of manufacturing a multilayer electronic component, comprising cutting the material into a predetermined size by drawing.
【請求項2】 セラミックグリーンシートを上面に形成
されたキャリアフィルムを吸着保持するためのテーブル
と、キャリアフィルム上のセラミックグリーンシートを
所定の大きさに切断するための刃と、所定の大きさに切
断されたセラミックグリーンシートを吸着保持してキャ
リアフィルムから剥離するための吸着ヘッドとを備えた
積層型電子部品の製造装置において、 吸着ヘッドの周囲に、キャリアフィルム上のセラミック
グリーンシートを引き切りによって切断する刃を設け
た、 ことを特徴とする積層型電子部品の製造装置。
2. A table for adsorbing and holding a carrier film having a ceramic green sheet formed on an upper surface thereof, a blade for cutting the ceramic green sheet on the carrier film into a predetermined size, and a predetermined size. In a laminated electronic component manufacturing device equipped with an adsorption head for adsorbing and holding the cut ceramic green sheet and peeling it from the carrier film, the ceramic green sheet on the carrier film is cut off around the adsorption head. An apparatus for manufacturing a laminated electronic component, which is provided with a cutting blade.
【請求項3】 引き切り用の刃が、円形状の刃先を有
し、且つテーブル上面と平行な方向に移動する刃であ
る、 ことを特徴とする請求項2記載の積層型電子部品の製造
装置。
3. The laminated electronic component according to claim 2, wherein the pulling-off blade has a circular blade edge and is movable in a direction parallel to the upper surface of the table. apparatus.
【請求項4】 引き切り用の刃が、曲線状の刃先を有
し、且つテーブル上面との刃先間隔を変えることなく揺
動する刃である、 ことを特徴とする請求項2記載の積層型電子部品の製造
装置。
4. The laminated die according to claim 2, wherein the pull-cutting blade is a blade having a curved blade edge and swinging without changing a blade edge distance from a table upper surface. Manufacturing equipment for electronic components.
【請求項5】 引き切り用の刃が、直線状の刃先を有
し、且つテーブル上面に対し直行方向と交差する方向に
平行移動する刃である、 ことを特徴とする請求項2記載の積層型電子部品の製造
装置。
5. The laminate according to claim 2, wherein the pull-cutting blade is a blade that has a linear blade edge and that translates in a direction intersecting the orthogonal direction with respect to the upper surface of the table. Type electronic parts manufacturing equipment.
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