JPH09134849A - Manufacture of laminated electronic component - Google Patents

Manufacture of laminated electronic component

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JPH09134849A
JPH09134849A JP29010895A JP29010895A JPH09134849A JP H09134849 A JPH09134849 A JP H09134849A JP 29010895 A JP29010895 A JP 29010895A JP 29010895 A JP29010895 A JP 29010895A JP H09134849 A JPH09134849 A JP H09134849A
Authority
JP
Japan
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ceramic green
suction
green sheet
sheet
punching
Prior art date
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Pending
Application number
JP29010895A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Osamu Fujii
理 藤井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Taiyo Yuden Co Ltd
Original Assignee
Taiyo Yuden Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH09134849A publication Critical patent/JPH09134849A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28BSHAPING CLAY OR OTHER CERAMIC COMPOSITIONS; SHAPING SLAG; SHAPING MIXTURES CONTAINING CEMENTITIOUS MATERIAL, e.g. PLASTER
    • B28B11/00Apparatus or processes for treating or working the shaped or preshaped articles
    • B28B11/14Apparatus or processes for treating or working the shaped or preshaped articles for dividing shaped articles by cutting
    • B28B11/16Apparatus or processes for treating or working the shaped or preshaped articles for dividing shaped articles by cutting for extrusion or for materials supplied in long webs
    • B28B11/168Apparatus or processes for treating or working the shaped or preshaped articles for dividing shaped articles by cutting for extrusion or for materials supplied in long webs in which the material is cut-out from a strand or web by means of a frame-shaped knife

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Ceramic Capacitors (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce the manufacturing cost of laminated electronic component by recycling a carrier film by extracting a sheet without giving any damage to the carrier film. SOLUTION: After a carrier film F is removed from the rear surface of a ceramic green sheet S while the sheet S is held by means of a suction head 2 by suction, the sheet S is carried onto a punching state 4 and held between the head 2 and state 4. Then a piece of a prescribed size is punched from the sheet matrix S with a punching blade 3 and the punched piece Sa is extracted with the suction head 2. Since the film F is removed from the sheet matrix S before the sheet S is punched, the carrier film F is not damaged as in the case of the conventional example. Therefore, the manufacturing cost of laminated electronic components can be reduced by recycling the carrier film F.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、所定寸法のセラミ
ックグリーンシートを積み重ねて製造される積層型電子
部品の製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a laminated electronic component manufactured by stacking ceramic green sheets having a predetermined size.

【0002】[0002]

【従来の技術】積層型電子部品として代表的な積層コン
デンサは、従来、以下のようにして製造されている。
2. Description of the Related Art A typical multilayer capacitor as a multilayer electronic component has been conventionally manufactured as follows.

【0003】まず、PET等からなるキャリアフィルム
の表面に、ドクターブレードやリバースロールコータ等
を用いた塗工法によってセラミックスラリーを均一な厚
さで塗布し、これを乾燥させて、キャリアフィルム上に
セラミックグリーンシートを形成する。
First, the surface of a carrier film made of PET or the like is coated with a ceramic slurry in a uniform thickness by a coating method using a doctor blade, a reverse roll coater or the like, and this is dried to form a ceramic on the carrier film. Form a green sheet.

【0004】次に、このセラミックグリーンシートの表
面に、スクリーン印刷等によって導体ペーストを所定パ
ターンで印刷し、これを乾燥させて内部電極となる導体
層を形成する。
Next, a conductor paste is printed in a predetermined pattern on the surface of the ceramic green sheet by screen printing or the like, and the conductor paste is dried to form a conductor layer to be an internal electrode.

【0005】次に、セラミックグリーンシートが形成さ
れたキャリアフィルムを台盤上に搬送し、セラミックグ
リーンシートに対して打抜刃を食い込ませて該セラミッ
クグリーンシートのみを所定寸法で打ち抜く。
Next, the carrier film on which the ceramic green sheets are formed is conveyed onto a base, and a punching blade is cut into the ceramic green sheets to punch only the ceramic green sheets to a predetermined size.

【0006】次に、打ち抜かれた所定寸法のセラミック
グリーンシートをキャリアフィルムから剥離して抜き取
り、これの積み重ねを行う。上記の手順は、所定寸法の
セラミックグリーンシートが所定枚数積み重ねられるま
で繰り返され、積み重ね後はこれを加圧して積層物を得
る。
Next, the punched ceramic green sheets of a predetermined size are peeled off from the carrier film, extracted, and stacked. The above procedure is repeated until a predetermined number of ceramic green sheets having a predetermined size are stacked, and after stacking, this is pressed to obtain a laminate.

【0007】次に、積層物を部品個々に対応する寸法に
切断してこれを焼成し、焼成チップの両端部に導体ペー
ストを塗布し焼き付けて外部電極を形成し、必要に応じ
て外部電極の表面に半田メッキ層等を形成する。
Next, the laminate is cut into a size corresponding to each component and fired, and a conductor paste is applied to both ends of the fired chip and baked to form an external electrode. A solder plating layer or the like is formed on the surface.

【0008】図11は先に述べたシート抜き取りの工程
で一般に使用される装置を示すもので、図中、101は
台盤、102は吸着ヘッド、103は打抜刃、Fはキャ
リアフィルム、Sはセラミックグリーンシートである。
FIG. 11 shows an apparatus generally used in the above-mentioned sheet extracting process. In the figure, 101 is a base, 102 is a suction head, 103 is a punching blade, F is a carrier film, and S is a film. Is a ceramic green sheet.

【0009】台盤101はキャリアフィルムFの幅より
も大きな平坦上面を備え、該上面に多数の吸引孔101
aを有している。これら吸引孔101aは図示省略の負
圧源に接続されており、必要に応じて吸引作用を生じさ
せることよりキャリアフィルムFを吸着保持する。
The base 101 has a flat upper surface larger than the width of the carrier film F, and a large number of suction holes 101 are formed on the upper surface.
a. These suction holes 101a are connected to a negative pressure source (not shown), and suction-hold the carrier film F by causing a suction action as necessary.

【0010】吸着ヘッド102は台盤101の上面と平
行に向き合う平坦下面を備え、該下面に多数の吸引孔1
02aを有している。これら吸引孔102aは図示省略
の負圧源に接続されており、必要に応じて吸引作用を生
じさせることにより打抜後のセラミックグリーンシート
Saを吸着保持する。この吸着ヘッド102は台盤10
1の上面と直行する方向の上下動とシート積層位置への
水平移動とを可能としている。
The suction head 102 has a flat lower surface facing parallel to the upper surface of the base 101, and a large number of suction holes 1 are formed on the lower surface.
02a. These suction holes 102a are connected to a negative pressure source (not shown), and attract and hold the punched ceramic green sheet Sa by generating a suction action as necessary. The suction head 102 is a base 10.
It is possible to move up and down in a direction perpendicular to the upper surface of No. 1 and move horizontally to the sheet stacking position.

【0011】打抜刃103は先鋭な刃先を有する平刃を
吸着ヘッド102の4側面に隙間なく配置、または同刃
先を有する四角筒形の刃を吸着ヘッド102の周囲に配
置して構成されており、その刃先を吸着ヘッド102の
下面から下方に突出している。ちなみに、この刃先突出
量は、乾燥後のセラミックグリーンシートSの厚みより
も僅かに大きく設定されている。
The punching blade 103 is configured by arranging a flat blade having a sharp cutting edge on the four side surfaces of the suction head 102 without a gap, or a square tubular blade having the same cutting edge around the suction head 102. The blade edge projects downward from the lower surface of the suction head 102. Incidentally, the protruding amount of the blade edge is set to be slightly larger than the thickness of the dried ceramic green sheet S.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】上記の従来方法では、
所定寸法のセラミックグリーンシートを得る際に、図1
1に示すように、セラミックグリーンシートSに対して
打抜刃103をその刃先がキャリアフィルムFの表面に
僅かに入り込む深さまで食い込ませているため、図12
に示すように、キャリアフィルムFの表面には刃先によ
る傷跡Faが形成されてしまう。このようなキャリアフ
ィルムFはシート残骸を除去しても再び使用することは
不可能であり、通常は1回限りで廃棄処分されてしまう
ことからコスト的にも負担が大きい。この問題は積層コ
ンデンサに限らず、積層インダクタや厚膜多層基板等の
他の積層型電子部品においても同様のシート抜き取りを
実施する場合に生じ得る。
In the above conventional method,
When obtaining a ceramic green sheet of a predetermined size,
As shown in FIG. 1, since the punching blade 103 bites into the ceramic green sheet S to such a depth that the cutting edge thereof slightly enters the surface of the carrier film F, FIG.
As shown in FIG. 3, a scar Fa due to the cutting edge is formed on the surface of the carrier film F. Such a carrier film F cannot be reused even if the sheet debris is removed, and since it is normally disposed of only once, the cost is heavy. This problem may occur not only in the case of the multilayer capacitor, but also in the case of performing similar sheet extraction in other multilayer electronic components such as a multilayer inductor and a thick film multilayer substrate.

【0013】本発明は上記問題点に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、キャリアフィルムを傷つ
けることなくシート抜き取りが行えるようにすること
で、キャリアフィルムの再利用を可能として製造コスト
の低減に貢献できる積層型電子部品の製造方法を提供す
ることにある。
The present invention has been made in view of the above problems. An object of the present invention is to make it possible to remove a sheet without damaging the carrier film, thereby making it possible to reuse the carrier film and to reduce the manufacturing cost. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a multilayer electronic component that can contribute to reduction of power consumption.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、所定寸法のセラミックグリーンシートを
積み重ねるようにした積層型電子部品の製造方法におい
て、キャリアフィルム表面に形成されたセラミックグリ
ーンシートの表面を吸着ヘッドで吸着保持した状態でセ
ラミックグリーンシート裏面側のキャリアフィルムを該
セラミックグリーンシートから剥離するステップと、セ
ラミックグリーンシートを吸着保持する吸着ヘッドを打
抜ステージ上に移行させ、吸着ヘッドと打抜ステージと
を相対的に接近させて両者間にセラミックグリーンシー
トを挟み込むステップと、吸着ヘッドと打抜ステージと
の間に挟み込まれたセラミックグリーンシートに対して
打抜刃を食い込ませて該セラミックグリーンシートを所
定寸法で打ち抜くステップと、打ち抜かれたセラミック
グリーンシートを吸着ヘッドと打抜ステージの何れか一
方で吸着保持して抜き取るステップとを具備した、こと
をその主たる特徴としている。
To achieve the above object, the present invention provides a ceramic green sheet formed on the surface of a carrier film in a method for producing a laminated electronic component in which ceramic green sheets having predetermined dimensions are stacked. The step of peeling the carrier film on the back surface side of the ceramic green sheet from the ceramic green sheet while the surface of the ceramic green sheet is suction-held by the suction head, and the suction head holding the ceramic green sheet by suction is moved to the punching stage, And the punching stage are brought relatively close to each other to sandwich the ceramic green sheet therebetween, and the punching blade is bited into the ceramic green sheet sandwiched between the suction head and the punching stage. A punch for punching a ceramic green sheet to a specified size. And-up, the punched ceramic green sheets provided with the steps of withdrawing adsorbed and held by one of the suction head and the punching stage, and its main feature that.

【0015】本発明に係る積層型電子部品の製造方法に
よれば、吸着ヘッドによってセラミックグリーンシート
を吸着保持した状態でその裏面側のキャリアフィルムを
剥離した後、該セラミックグリーンシートを打抜ステー
ジ上に搬送して吸着ヘッドと打抜ステージとの間に挟み
込み、そして該セラミックグリーンシートを打抜刃によ
って所定寸法に打ち抜いて、打ち抜かれた所定寸法のセ
ラミックグリーンシートを吸着ヘッドまたは打抜ステー
ジによってシート母体から抜き取るようにしているの
で、シート打ち抜きの過程でキャリアフィルムの表面に
従来のような傷跡を生じることがなく、シート打ち抜き
の前段階で剥離されたキャリアフィルムを再利用でき
る。
According to the method of manufacturing a laminated electronic component of the present invention, the carrier film on the back surface side of the ceramic green sheet is peeled off while the ceramic green sheet is suction-held by the suction head, and the ceramic green sheet is then punched. And then sandwiched between the suction head and the punching stage, and the ceramic green sheet is punched to a predetermined size by a punching blade, and the punched ceramic green sheet of a predetermined size is sheeted by the suction head or the punching stage. Since it is pulled out from the mother body, the surface of the carrier film is not scratched as in the conventional case during the sheet punching process, and the carrier film peeled off before the sheet punching can be reused.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
従って説明する。尚、本発明は積層コンデンサ,積層イ
ンダクタ,厚膜多層基板等の各種の積層型電子部品に適
用可能であるが、ここでは従来と同様に本発明を積層コ
ンデンサに適用した例について説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. The present invention can be applied to various laminated electronic components such as a laminated capacitor, a laminated inductor, and a thick film multilayer substrate. Here, an example in which the present invention is applied to a laminated capacitor as in the conventional case will be described.

【0017】図1乃至図5は本発明の第1の実施形態を
示すもので、図中、1は吸着ステージ、2は吸着ヘッ
ド、3は打抜刃、4は打抜ステージ、5はステージ連結
プレート、6はフィルム引き出しロール、Fはキャリア
フィルム、Sはセラミックグリーンシートである。
1 to 5 show a first embodiment of the present invention, in which 1 is a suction stage, 2 is a suction head, 3 is a punching blade, 4 is a punching stage, and 5 is a stage. A connecting plate, 6 is a film drawing roll, F is a carrier film, and S is a ceramic green sheet.

【0018】吸着ステージ1は、キャリアフィルムFの
幅よりも大きな矩形状の平坦上面(フィルム吸着面)1
aを備え、該フィルム吸着面1aに多数の吸引孔1bを
有している。これら吸引孔1bは図示省略の負圧源に接
続されており、吸着ステージ1上に搬送されたキャリア
フィルムFは該吸引孔1bで生じる吸引作用によってフ
ィルム吸着面1aに吸着保持される。
The suction stage 1 has a rectangular flat upper surface (film suction surface) 1 larger than the width of the carrier film F.
The film suction surface 1a has a large number of suction holes 1b. These suction holes 1b are connected to a negative pressure source (not shown), and the carrier film F conveyed onto the suction stage 1 is suction-held on the film suction surface 1a by the suction action generated in the suction holes 1b.

【0019】吸着ヘッド2は、上記吸着ステージ1のフ
ィルム吸着面1aと平行に向き合う矩形状の平坦下面
(シート吸着面)2aを備え、該シート吸着面2aに多
数の吸引孔2bを有している。これら吸引孔2bは図示
省略の負圧源に接続されており、セラミックグリーンシ
ートSと打ち抜かれたセラミックグリーンシートSaは
該吸引孔2bで生じる吸引作用によってシート吸着面2
aに吸着保持される。
The suction head 2 has a rectangular flat lower surface (sheet suction surface) 2a facing in parallel with the film suction surface 1a of the suction stage 1, and has a large number of suction holes 2b in the sheet suction surface 2a. There is. These suction holes 2b are connected to a negative pressure source (not shown), and the ceramic green sheet S and the punched-out ceramic green sheet Sa are sucked by the suction action generated in the suction holes 2b.
It is adsorbed and held by a.

【0020】打抜刃3は、先鋭な刃先を有する平刃を吸
着ヘッド2の4側面に隙間なく配置、または同刃先を有
する四角筒形の刃を吸着ヘッド2の周囲に配置して構成
されており、該打抜刃3は刃支持プレート3aにより支
持されて該刃支持プレート3aとの一体的な上下動を可
能としている。刃支持プレート3aはバネ3bによって
上方に付勢されており、ここでは刃支持プレート3aと
吸着ヘッド2との隙間によって打抜刃3の下降量が規定
されている。
The punching blade 3 is constructed by arranging a flat blade having a sharp blade edge on the four side surfaces of the suction head 2 without any gap, or a square cylindrical blade having the same blade edge around the suction head 2. The punching blade 3 is supported by the blade supporting plate 3a and can move up and down integrally with the blade supporting plate 3a. The blade support plate 3a is biased upward by a spring 3b, and the amount of lowering of the punching blade 3 is defined by the gap between the blade support plate 3a and the suction head 2 here.

【0021】打抜ステージ4は、セラミックグリーンシ
ートSの幅よりも大きな矩形状の平坦上面(シート吸着
面)4aを備え、該シート吸着面4aの周囲に多数の吸
引孔4bを有している。これら吸引孔4bは図示省略の
負圧源に接続されており、打抜後のシート残骸は該吸引
孔4bで生じる吸引作用によってシート吸着面4aに吸
着保持される。
The punching stage 4 has a rectangular flat upper surface (sheet suction surface) 4a larger than the width of the ceramic green sheet S, and has a large number of suction holes 4b around the sheet suction surface 4a. . These suction holes 4b are connected to a negative pressure source (not shown), and the sheet debris after punching is sucked and held on the sheet suction surface 4a by the suction action generated in the suction holes 4b.

【0022】ステージ連結プレート5は、吸着ステージ
1と打抜ステージ4とを所定の距離間隔をもって連結し
ており、該ステージ連結プレート5には、キャリアフィ
ルムFを下方に引き出すためのロール6が上下に間隔を
おいて配置されている。両ロール6はキャリアフィルム
Fの幅よりも大きな軸長さを備え、図示省略のフィルム
巻き取り機の動作に応じてキャリアフィルムFを下方に
案内する。図示例のものでは、セラミックグリーンシー
トSを吸着保持する吸着ヘッド2を打抜ステージ4上に
移行させる際に該セラミックグリーンシートSの裏面が
打抜ステージ4に接触して傷つくことがないように適当
な隙間を形成してある。
The stage connecting plate 5 connects the suction stage 1 and the punching stage 4 with a predetermined distance therebetween, and the stage connecting plate 5 is provided with a roll 6 for pulling the carrier film F downward. Are spaced apart. Both rolls 6 have an axial length larger than the width of the carrier film F, and guide the carrier film F downward according to the operation of a film winder (not shown). In the example shown in the drawing, when the suction head 2 that suction-holds the ceramic green sheet S is moved onto the punching stage 4, the back surface of the ceramic green sheet S is prevented from coming into contact with the punching stage 4 and being damaged. A proper gap is formed.

【0023】積層コンデンサの製造に際しては、まず、
PET等からなるキャリアフィルムFの表面に、ドクタ
ーブレードやリバースロールコータ等を用いた塗工法に
よってセラミックスラリーを均一な厚さで塗布し、これ
を乾燥させて、セラミックグリーンシートSを形成する
(図1参照)。このセラミックグリーンシートSは剥離
可能な付着力をもってキャリアフィルムFの表面にくっ
ついており、同付着状態のままでキャリアフィルムFと
の一体動を可能としている。
When manufacturing a multilayer capacitor, first,
A ceramic slurry is applied to the surface of a carrier film F made of PET or the like by a coating method using a doctor blade, a reverse roll coater or the like with a uniform thickness, and this is dried to form a ceramic green sheet S (Fig. 1). The ceramic green sheet S adheres to the surface of the carrier film F with a peelable adhesive force, and is capable of moving integrally with the carrier film F in the same attached state.

【0024】次に、このセラミックグリーンシートSの
表面に、スクリーン印刷等によって導体ペーストを所定
パターンで印刷し、これを乾燥させて、内部電極となる
導体層(図示省略)を形成する。
Next, a conductor paste is printed in a predetermined pattern on the surface of the ceramic green sheet S by screen printing or the like, and this is dried to form a conductor layer (not shown) to be an internal electrode.

【0025】次に、図1に示すように、セラミックグリ
ーンシートSが形成されたキャリアフィルムFを吸着ス
テージ1上に搬送し、所定位置でこれを停止させる。
尚、搬送初期はキャリアフィルムFの端部をセラミック
グリーンシートSから剥離してこれをロール6を介して
フィルム巻き取り機(図示省略)にセットすると共に、
セラミックグリーンシートSの端部を打抜ステージ4方
向に引き出してシート巻き取り機(図示省略)にセット
し、キャリアフィルムFの搬送に合わせてキャリアフィ
ルムFとセラミックグリーンシートSの巻き取りを行
う。そして、吸引孔1bに吸引作用を生じさせて停止後
のキャリアフィルムFをフィルム吸着面1aに吸着保持
させる。
Next, as shown in FIG. 1, the carrier film F having the ceramic green sheet S formed thereon is conveyed onto the suction stage 1 and stopped at a predetermined position.
At the beginning of conveyance, the end portion of the carrier film F is peeled off from the ceramic green sheet S and set on a film winder (not shown) via the roll 6, and
The end portion of the ceramic green sheet S is pulled out toward the punching stage 4 and set on a sheet winder (not shown), and the carrier film F and the ceramic green sheet S are wound in accordance with the conveyance of the carrier film F. Then, a suction action is generated in the suction hole 1b to suck and hold the carrier film F after stopping on the film suction surface 1a.

【0026】次に、図2に示すように、吸着ヘッド2を
吸着ステージ1に向かって所定ストローク下降させて、
そのシート吸着面2aをセラミックグリーンシートSの
表面所定位置に密着させる。そして、吸引孔2bに吸引
作用を生じさせて密着後のセラミックグリーンシートS
をシート吸着面2bに吸着保持させる。
Next, as shown in FIG. 2, the suction head 2 is lowered toward the suction stage 1 by a predetermined stroke,
The sheet suction surface 2a is brought into close contact with a predetermined position on the surface of the ceramic green sheet S. Then, the ceramic green sheet S after being brought into close contact by causing a suction action in the suction hole 2b
Are held by suction on the sheet suction surface 2b.

【0027】次に、図3に示すように、セラミックグリ
ーンシートSを吸着保持する吸着ヘッド2を図中右移動
させて打抜ステージ4上に移行させながら、このときの
セラミックグリーンシートSの移動量に相当する分のキ
ャリアフィルムFをロール6を介して巻き取ってセラミ
ックグリーンシートSの裏面から剥離する。勿論、同動
作は吸着ステージ1及び打抜ステージ4を図中左移動さ
せながらキャリアフィルムFを巻き取りことによっても
行える。
Next, as shown in FIG. 3, while moving the suction head 2 for sucking and holding the ceramic green sheet S to the right in the figure and moving it to the punching stage 4, the movement of the ceramic green sheet S at this time is performed. The carrier film F corresponding to the amount is wound around the roll 6 and peeled from the back surface of the ceramic green sheet S. Of course, the same operation can be performed by winding the carrier film F while moving the suction stage 1 and the punching stage 4 to the left in the drawing.

【0028】次に、図4に示すように、セラミックグリ
ーンシートSを吸着保持する吸着ヘッド2を打抜ステー
ジ4に向かって所定ストローク垂直に下降させて、打抜
ステージ4のシート吸着面4aにセラミックグリーンシ
ートSの裏面を密着させ、吸着ヘッド2と打抜ステージ
4との間でセラミックグリーンシートSを挟み込む。そ
して、吸引孔4bに吸引作用を生じさせて密着後のセラ
ミックグリーンシートSをシート吸着面4aに吸着保持
させる。
Next, as shown in FIG. 4, the suction head 2 for sucking and holding the ceramic green sheet S is vertically lowered toward the punching stage 4 by a predetermined stroke, and is brought to the sheet suction surface 4a of the punching stage 4. The back surface of the ceramic green sheet S is brought into close contact, and the ceramic green sheet S is sandwiched between the suction head 2 and the punching stage 4. Then, a suction action is generated in the suction holes 4b to suck and hold the ceramic green sheet S after the close contact with the sheet suction surface 4a.

【0029】次に、図4に示すように、刃支持プレート
3aを利用して打抜刃3をシート吸着面4aに向かって
所定ストローク垂直に下降させて、吸着ヘッド2と打抜
ステージ4との間に挟み込まれたセラミックグリーンシ
ートSに対して打抜刃3の刃先を食い込ませる。打抜刃
3の刃先食い込み量はセラミックグリーンシートSの厚
みに合わせて設定されているため、打抜刃3の食い込み
によってセラミックグリーンシートSは所定の矩形寸法
で打ち抜かれる。
Next, as shown in FIG. 4, the punching blade 3 is vertically lowered toward the sheet suction surface 4a by a predetermined stroke by using the blade support plate 3a, so that the suction head 2 and the punching stage 4 are separated from each other. The cutting edge of the punching blade 3 is made to bite into the ceramic green sheet S sandwiched between. Since the amount of biting of the cutting edge of the punching blade 3 is set according to the thickness of the ceramic green sheet S, the biting of the punching blade 3 punches the ceramic green sheet S in a predetermined rectangular dimension.

【0030】次に、図5に示すように、打抜刃3を元の
位置にバネ復帰させると共に、打ち抜かれたセラミック
グリーンシートSaを吸着保持する吸着ヘッド2を所定
ストローク上昇させて、打ち抜かれたセラミックグリー
ンシートSaをシート母体Sから抜き取り、これを吸着
ヘッド2によって積層位置に搬送し、吸着保持を解きな
がらその積み重ねを行う。
Next, as shown in FIG. 5, the punching blade 3 is returned to the original position by the spring, and the suction head 2 for sucking and holding the punched ceramic green sheet Sa is lifted by a predetermined stroke to punch it. The ceramic green sheets Sa are taken out from the sheet matrix S, conveyed by the suction head 2 to the stacking position, and stacked while releasing suction holding.

【0031】上記の手順は、所定寸法のセラミックグリ
ーンシートSaが所定枚数積み重ねられるまで繰り返さ
れ、積み重ね後はこれを加圧して積層物を得る。
The above procedure is repeated until a predetermined number of ceramic green sheets Sa having a predetermined size are stacked, and after stacking, this is pressed to obtain a laminate.

【0032】次に、積層物を部品個々に対応する寸法に
切断してこれを焼成し、焼成チップの両端部に導体ペー
ストを塗布し焼き付けて外部電極を形成し、必要に応じ
て外部電極の表面に半田メッキ層等を形成する。
Next, the laminated product is cut into a size corresponding to each individual component and fired, and a conductor paste is applied to both ends of the fired chip and baked to form an external electrode. A solder plating layer or the like is formed on the surface.

【0033】シート打ち抜きを行った後に打抜ステージ
4におけるシート吸着保持を解いてもシート残骸がシー
ト吸着面4aにくっついているような場合には、吸引孔
4bから逆にエア等を吹き出すようにするとこれを簡単
に解消することができ、その後のシート残骸の巻き取り
をスムーズに行うことができる。
If the sheet remains adhered to the sheet suction surface 4a even after releasing the sheet suction and hold in the punching stage 4 after punching the sheet, air or the like may be blown out from the suction hole 4b. Then, this can be easily eliminated, and the subsequent winding of the sheet debris can be performed smoothly.

【0034】このように、上述の製造方法によれば、吸
着ヘッド2によってセラミックグリーンシートSを吸着
保持した状態でその裏面側のキャリアフィルムFを剥離
した後、該セラミックグリーンシートSを打抜ステージ
4上に搬送して吸着ヘッド2と打抜ステージ4との間に
挟み込み、そして該セラミックグリーンシートSを打抜
刃3によって所定寸法に打ち抜いて、打ち抜かれた所定
寸法のセラミックグリーンシートSaを吸着ヘッド2に
よってシート母体Sから抜き取るようにしているので、
シート打ち抜きの過程でキャリアフィルムFの表面に従
来のような傷跡を生じることがなく、シート打ち抜きの
前段階で剥離されたキャリアフィルムFを再利用して製
造コストの低減を図ることができる。
As described above, according to the above-mentioned manufacturing method, the carrier film F on the back surface side of the ceramic green sheet S is peeled off while the ceramic green sheet S is suction-held by the suction head 2, and then the ceramic green sheet S is punched out. 4 and conveys the ceramic green sheet S between the suction head 2 and the punching stage 4 and punches the ceramic green sheet S to a predetermined size by a punching blade 3 to suck the punched ceramic green sheet Sa of a predetermined size. Since the head 2 pulls out from the sheet matrix S,
In the sheet punching process, the surface of the carrier film F is not scratched as in the conventional case, and the carrier film F peeled off before the sheet punching can be reused to reduce the manufacturing cost.

【0035】図6乃至図10は本発明の第2の実施形態
を示すもので、図中、11は吸着ステージ、12は吸着
ヘッド、13はロール支持プレート、14はフィルム引
き出しロール、15は打抜ステージ、16は打抜刃、F
はキャリアフィルム、Sはセラミックグリーンシートで
ある。
6 to 10 show a second embodiment of the present invention. In the drawings, 11 is a suction stage, 12 is a suction head, 13 is a roll support plate, 14 is a film drawing roll, and 15 is a punching roll. Punching stage, 16 is punching blade, F
Is a carrier film and S is a ceramic green sheet.

【0036】吸着ステージ11は、キャリアフィルムF
の幅よりも大きな矩形状の平坦上面(フィルム吸着面)
11aを備え、該フィルム吸着面11aに多数の吸引孔
11bを有している。これら吸引孔11bは図示省略の
負圧源に接続されており、吸着ステージ11上に搬送さ
れたキャリアフィルムFは該吸引孔11bで生じる吸引
作用によってフィルム吸着面11aに吸着保持される。
The suction stage 11 has a carrier film F.
Rectangular flat upper surface (film suction surface) larger than the width of
11a, and the film suction surface 11a has a large number of suction holes 11b. These suction holes 11b are connected to a negative pressure source (not shown), and the carrier film F conveyed onto the suction stage 11 is sucked and held on the film suction surface 11a by the suction action generated in the suction holes 11b.

【0037】吸着ヘッド12は、上記吸着ステージ11
のフィルム吸着面11aと平行に向き合い、且つセラミ
ックグリーンシートSの幅よりも大きな矩形状の平坦下
面(シート吸着面)12aを備え、該シート吸着面12
aに多数の吸引孔12bを有している。これら吸引孔1
2bは図示省略の負圧源に接続されており、セラミック
グリーンシートSまたは打抜後のシート残骸は該吸引孔
12bで生じる吸引作用によってシート吸着面12aに
吸着保持される。
The suction head 12 is the suction stage 11 described above.
Is provided with a rectangular flat lower surface (sheet suction surface) 12a facing in parallel with the film suction surface 11a and having a width larger than the width of the ceramic green sheet S.
A has a large number of suction holes 12b. These suction holes 1
Reference numeral 2b is connected to a negative pressure source (not shown), and the ceramic green sheet S or the sheet debris after punching is adsorbed and held on the sheet adsorbing surface 12a by the suction action generated in the suction holes 12b.

【0038】ロール支持プレート13は、吸着ステージ
11の打抜ステージ側に突設されており、該ロール支持
プレート13には、キャリアフィルムFを下方に引き出
すためのロール14が上下に間隔をおいて配置されてい
る。両ロール14はキャリアフィルムFの幅よりも大き
な軸長さを備え、図示省略のフィルム巻き取り機の動作
に応じてキャリアフィルムFを下方に案内する。
The roll supporting plate 13 is provided so as to project on the punching stage side of the suction stage 11. On the roll supporting plate 13, rolls 14 for pulling out the carrier film F downward are vertically spaced. It is arranged. Both rolls 14 have an axial length larger than the width of the carrier film F, and guide the carrier film F downward according to the operation of a film winder (not shown).

【0039】打抜ステージ15は、矩形状の平坦上面
(シート吸着面)15aを備え、該シート吸着面15a
に多数の吸引孔15bを有している。これら吸引孔15
bは図示省略の負圧源に接続されており、打ち抜かれた
セラミックグリーンシートSaは該吸引孔15bで生じ
る吸引作用によってシート吸着面15aに吸着保持され
る。ちなみに、打抜ステージ15側のシート吸着保持力
は該打抜ステージ15によるシート抜き取りを的確に行
うために吸着ヘッド12側のそれよりも強く設定されて
いる。
The punching stage 15 has a rectangular flat upper surface (sheet suction surface) 15a, and the sheet suction surface 15a.
Has a large number of suction holes 15b. These suction holes 15
b is connected to a negative pressure source (not shown), and the punched ceramic green sheet Sa is adsorbed and held on the sheet adsorbing surface 15a by the adsorbing action generated in the adsorbing holes 15b. By the way, the sheet suction holding force on the punching stage 15 side is set to be stronger than that on the suction head 12 side in order to accurately perform sheet removal by the punching stage 15.

【0040】打抜刃16は、先鋭な刃先を有する平刃を
打抜ステージ15の4側面に隙間なく配置、または同刃
先を有する四角筒形の刃を打抜ステージ15の周囲に配
置して構成されている。この打抜刃16はその刃先をシ
ート吸着面15aから上方に突出しており、該刃先突出
量はセラミックグリーンシートSの厚みに一致してい
る。
As the punching blade 16, a flat blade having a sharp cutting edge is arranged on the four side surfaces of the punching stage 15 without any gap, or a square tubular blade having the same cutting edge is arranged around the punching stage 15. It is configured. The punching blade 16 has its blade edge protruding upward from the sheet suction surface 15a, and the blade edge protrusion amount corresponds to the thickness of the ceramic green sheet S.

【0041】積層コンデンサの製造に際しては、まず、
PET等からなるキャリアフィルムFの表面に、ドクタ
ーブレードやリバースロールコータ等を用いた塗工法に
よってセラミックスラリーを均一な厚さで塗布し、これ
を乾燥させて、セラミックグリーンシートSを形成する
(図6参照)。このセラミックグリーンシートSは剥離
可能な付着力をもってキャリアフィルムFの表面にくっ
ついており、同付着状態のままでキャリアフィルムFと
の一体動を可能としている。
When manufacturing a multilayer capacitor, first,
A ceramic slurry is applied to the surface of a carrier film F made of PET or the like by a coating method using a doctor blade, a reverse roll coater or the like with a uniform thickness, and this is dried to form a ceramic green sheet S (Fig. 6). The ceramic green sheet S adheres to the surface of the carrier film F with a peelable adhesive force, and is capable of moving integrally with the carrier film F in the same attached state.

【0042】次に、このセラミックグリーンシートSの
表面に、スクリーン印刷等によって導体ペーストを所定
パターンで印刷し、これを乾燥させて、内部電極となる
導体層(図示省略)を形成する。
Next, a conductor paste is printed in a predetermined pattern on the surface of the ceramic green sheet S by screen printing or the like, and the conductor paste is dried to form a conductor layer (not shown) to be an internal electrode.

【0043】次に、図6に示すように、セラミックグリ
ーンシートSが形成されたキャリアフィルムFを吸着ス
テージ11上に搬送し、所定位置でこれを停止させる。
尚、搬送初期はキャリアフィルムFの端部をセラミック
グリーンシートSから剥離してこれをロール14を介し
てフィルム巻き取り機(図示省略)にセットすると共
に、セラミックグリーンシートSの端部を打抜ステージ
15方向に引き出してシート巻き取り機(図示省略)に
セットし、キャリアフィルムFの搬送に合わせてキャリ
アフィルムFとセラミックグリーンシートSの巻き取り
を行う。そして、吸引孔11bに吸引作用を生じさせて
停止後のキャリアフィルムFをフィルム吸着面11aに
吸着保持させる。
Next, as shown in FIG. 6, the carrier film F on which the ceramic green sheet S is formed is conveyed onto the suction stage 11 and stopped at a predetermined position.
At the beginning of conveyance, the end of the carrier film F is peeled from the ceramic green sheet S and set on a film winder (not shown) via the roll 14, and the end of the ceramic green sheet S is punched out. The carrier film F is pulled out in the direction of the stage 15 and set in a sheet winder (not shown), and the carrier film F and the ceramic green sheet S are wound in accordance with the conveyance of the carrier film F. Then, the suction action is generated in the suction holes 11b, and the stopped carrier film F is suction-held on the film suction surface 11a.

【0044】次に、図7に示すように、吸着ヘッド12
を吸着ステージ11に向かって所定ストローク下降させ
て、そのシート吸着面12aをセラミックグリーンシー
トSの表面所定位置に密着させる。そして、吸引孔12
bに吸引作用を生じさせて密着後のセラミックグリーン
シートSをシート吸着面12bに吸着保持させる。
Next, as shown in FIG. 7, the suction head 12
Is lowered toward the suction stage 11 by a predetermined stroke to bring the sheet suction surface 12a into close contact with a predetermined position on the surface of the ceramic green sheet S. And the suction hole 12
The ceramic green sheet S after the close contact is sucked and held by the sheet suction surface 12b.

【0045】次に、図8に示すように、セラミックグリ
ーンシートSを吸着保持する吸着ヘッド12を図中右移
動させて打抜ステージ15上に移行させながら、このと
きのセラミックグリーンシートSの移動量に相当する分
のキャリアフィルムFをロール14を介して巻き取って
セラミックグリーンシートSの裏面から剥離する。勿
論、同動作は吸着ステージ11及び打抜ステージ15を
図中左移動させながらキャリアフィルムFを巻き取りこ
とによっても行える。
Next, as shown in FIG. 8, while moving the suction head 12 for sucking and holding the ceramic green sheet S to the right in the figure and moving it to the punching stage 15, the movement of the ceramic green sheet S at this time is performed. The carrier film F corresponding to the amount is wound around the roll 14 and peeled from the back surface of the ceramic green sheet S. Of course, the same operation can be performed by winding the carrier film F while moving the suction stage 11 and the punching stage 15 to the left in the figure.

【0046】次に、図9に示すように、セラミックグリ
ーンシートSを吸着保持する吸着ヘッド12に向かって
打抜ステージ15を所定ストローク垂直に上昇させて、
該打抜ステージ15のシート吸着面15aをセラミック
グリーンシートSの裏面に密着させ、吸着ヘッド2と打
抜ステージ15との間でセラミックグリーンシートSを
挟み込む。そして、吸引孔15bに吸引作用を生じさせ
て密着後のセラミックグリーンシートSをシート吸着面
15aに吸着保持させる。
Next, as shown in FIG. 9, the punching stage 15 is vertically raised by a predetermined stroke toward the suction head 12 which holds the ceramic green sheet S by suction.
The sheet suction surface 15a of the punching stage 15 is brought into close contact with the back surface of the ceramic green sheet S, and the ceramic green sheet S is sandwiched between the suction head 2 and the punching stage 15. Then, a suction action is generated in the suction holes 15b to suck and hold the ceramic green sheet S after the adhesion on the sheet suction surface 15a.

【0047】打抜ステージ15を吸着ヘッド12に向か
って所定ストローク上昇させる上記過程では、図9に示
すように、吸着ヘッド12と打抜ステージ15との間に
挟み込まれたセラミックグリーンシートSに対して打抜
刃16が食い込み、これにより該セラミックグリーンシ
ートSが所定寸法で矩形状に打ち抜かれる。
In the above process of raising the punching stage 15 toward the suction head 12 by a predetermined stroke, as shown in FIG. 9, with respect to the ceramic green sheet S sandwiched between the suction head 12 and the punching stage 15. The punching blade 16 bites in, and thereby the ceramic green sheet S is punched into a rectangular shape with a predetermined size.

【0048】次に、図10に示すように、打ち抜かれた
セラミックグリーンシートSaを吸着保持する打抜ステ
ージ15を下降復帰させて、打ち抜かれたセラミックグ
リーンシートSaをシート母体Sから抜き取り、これを
打抜ステージ15によって積層位置に搬送し、吸着保持
を解きながらその積み重ねを行う。
Next, as shown in FIG. 10, the punching stage 15 for sucking and holding the punched ceramic green sheet Sa is returned to the lowered position, and the punched ceramic green sheet Sa is pulled out from the sheet matrix S, and this is removed. The sheet is conveyed to the stacking position by the punching stage 15 and stacked while releasing the suction and holding.

【0049】上記の手順は、所定寸法のセラミックグリ
ーンシートSaが所定枚数積み重ねられるまで繰り返さ
れ、積み重ね後はこれを加圧して積層物を得る。
The above procedure is repeated until a predetermined number of ceramic green sheets Sa having a predetermined size are stacked, and after stacking, this is pressed to obtain a laminate.

【0050】次に、積層物を部品個々に対応する寸法に
切断してこれを焼成し、焼成チップの両端部に導体ペー
ストを塗布し焼き付けて外部電極を形成し、必要に応じ
て外部電極の表面に半田メッキ層等を形成する。
Next, the laminated product is cut into a size corresponding to each component, and the product is fired. A conductor paste is applied to both ends of the fired chip and baked to form an external electrode. A solder plating layer or the like is formed on the surface.

【0051】シート打ち抜きを行った後に吸着ヘッド1
2におけるシート吸着保持を解いてもシート残骸がシー
ト吸着面12aにくっついているような場合には、吸引
孔12bから逆にエア等を吹き出すようにするとこれを
簡単に解消することができ、その後のシート残骸の巻き
取りをスムーズに行うことができる。
After punching the sheet, the suction head 1
In the case where the sheet debris is stuck to the sheet suction surface 12a even after the sheet suction holding in 2 is released, it is possible to easily eliminate this by blowing air or the like from the suction hole 12b in reverse. You can smoothly wind up the sheet debris.

【0052】このように、上述の製造方法によれば、吸
着ヘッド12によってセラミックグリーンシートSを吸
着保持した状態でその裏面側のキャリアフィルムFを剥
離した後、該セラミックグリーンシートSを打抜ステー
ジ15上に搬送して吸着ヘッド12と打抜ステージ15
との間に挟み込み、そして該セラミックグリーンシート
Sを打抜刃16によって所定寸法に打ち抜いて、打ち抜
かれた所定寸法のセラミックグリーンシートSaを打抜
ステージ15によってシート母体Sから抜き取るように
しているので、シート打ち抜きの過程でキャリアフィル
ムFの表面に従来のような傷跡を生じることがなく、シ
ート打ち抜きの前段階で剥離されたキャリアフィルムF
を再利用して製造コストの低減を図ることができる。
As described above, according to the manufacturing method described above, the carrier film F on the back surface side of the ceramic green sheet S is peeled off while the ceramic green sheet S is suction-held by the suction head 12, and then the ceramic green sheet S is punched out. 15 and the suction head 12 and the punching stage 15
And the ceramic green sheet S is punched to a predetermined size by the punching blade 16, and the punched ceramic green sheet Sa having a predetermined size is pulled out from the sheet matrix S by the punching stage 15. The carrier film F peeled off before the sheet punching without causing scratches on the surface of the carrier film F during the sheet punching as in the prior art.
Can be reused to reduce the manufacturing cost.

【0053】[0053]

【発明の効果】以上詳述したうように、本発明によれ
ば、吸着ヘッドによってセラミックグリーンシートを吸
着保持した状態でその裏面側のキャリアフィルムを剥離
した後、該セラミックグリーンシートを打抜ステージ上
に搬送して吸着ヘッドと打抜ステージとの間に挟み込
み、そして該セラミックグリーンシートを打抜刃によっ
て所定寸法に打ち抜いて、打ち抜かれた所定寸法のセラ
ミックグリーンシートを吸着ヘッドまたは打抜ステージ
によってシート母体から抜き取るようにしているので、
シート打ち抜きの過程ではキャリアフィルムの表面に従
来のような傷跡を生じることがなく、シート打ち抜きの
前段階で剥離されたキャリアフィルムを再利用して製造
コストの低減を図ることができる。
As described above in detail, according to the present invention, the carrier film on the back side of the ceramic green sheet is peeled off while the ceramic green sheet is sucked and held by the suction head, and the ceramic green sheet is punched out. It is conveyed to the upper side and sandwiched between the suction head and the punching stage, and the ceramic green sheet is punched to a predetermined size by a punching blade, and the punched ceramic green sheet of a predetermined size is sucked by the suction head or the punching stage. Since it is designed to be pulled out from the base sheet,
In the sheet punching process, the surface of the carrier film is not scratched as in the conventional case, and the carrier film peeled off before the sheet punching can be reused to reduce the manufacturing cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施形態を示す工程図FIG. 1 is a process diagram showing a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第1の実施形態を示す工程図FIG. 2 is a process chart showing the first embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第1の実施形態を示す工程図FIG. 3 is a process chart showing the first embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第1の実施形態を示す工程図FIG. 4 is a process chart showing the first embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第1の実施形態を示す工程図FIG. 5 is a process chart showing the first embodiment of the present invention.

【図6】本発明の第2の実施形態を示す工程図FIG. 6 is a process chart showing a second embodiment of the present invention.

【図7】本発明の第2の実施形態を示す工程図FIG. 7 is a process chart showing a second embodiment of the present invention.

【図8】本発明の第2の実施形態を示す工程図FIG. 8 is a process chart showing a second embodiment of the present invention.

【図9】本発明の第2の実施形態を示す工程図FIG. 9 is a process chart showing a second embodiment of the present invention.

【図10】本発明の第2の実施形態を示す工程図FIG. 10 is a process drawing showing the second embodiment of the present invention.

【図11】従来のシート抜き取りの手順を示す図FIG. 11 is a diagram showing a conventional sheet extracting procedure.

【図12】従来の問題点の説明図FIG. 12 is an explanatory diagram of conventional problems.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

F…キャリアフィルム、S…セラミックグリーンシー
ト、Sa…打ち抜かれたセラミックグリーンシート、1
…吸着ステージ、2…吸着ヘッド、3…打抜刃、4…打
抜ステージ、11…吸着ステージ、12…吸着ヘッド、
15…打抜ステージ、16…打抜刃。
F ... Carrier film, S ... Ceramic green sheet, Sa ... Punched ceramic green sheet, 1
... Suction stage, 2 ... Suction head, 3 ... Punching blade, 4 ... Punching stage, 11 ... Suction stage, 12 ... Suction head,
15 ... Punching stage, 16 ... Punching blade.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 所定寸法のセラミックグリーンシートを
積み重ねるようにした積層型電子部品の製造方法におい
て、 キャリアフィルム表面に形成されたセラミックグリーン
シートの表面を吸着ヘッドで吸着保持した状態でセラミ
ックグリーンシート裏面側のキャリアフィルムを該セラ
ミックグリーンシートから剥離するステップと、 セラミックグリーンシートを吸着保持する吸着ヘッドを
打抜ステージ上に移行させ、吸着ヘッドと打抜ステージ
とを相対的に接近させて両者間にセラミックグリーンシ
ートを挟み込むステップと、 吸着ヘッドと打抜ステージとの間に挟み込まれたセラミ
ックグリーンシートに対して打抜刃を食い込ませて該セ
ラミックグリーンシートを所定寸法で打ち抜くステップ
と、 打ち抜かれたセラミックグリーンシートを吸着ヘッドと
打抜ステージの何れか一方で吸着保持して抜き取るステ
ップとを具備した、 ことを特徴とする積層型電子部品の製造方法。
1. A method for manufacturing a laminated electronic component, wherein ceramic green sheets of a predetermined size are stacked, wherein the back surface of the ceramic green sheet is held while the surface of the ceramic green sheet formed on the surface of the carrier film is suction-held by a suction head. The step of peeling the carrier film on the side of the ceramic green sheet from the ceramic green sheet, and moving the suction head that holds the ceramic green sheet to the punching stage so that the suction head and the punching stage are relatively close to each other. The step of sandwiching the ceramic green sheet, the step of punching the ceramic green sheet into a predetermined size by cutting the ceramic green sheet sandwiched between the suction head and the punching stage with the punching blade, and the punched ceramic Green sheet Method of manufacturing a multilayer electronic component, characterized equipped with a step of withdrawing by suction held by one of the suction head and the punching stage, the.
【請求項2】 打抜刃が吸着ヘッド側に設けられてお
り、吸着ヘッドと打抜ステージとの相対的な接近によっ
てセラミックグリーンシートの打ち抜きが実施される、 ことを特徴とする請求項1記載の積層型電子部品の製造
方法。
2. The punching blade is provided on the suction head side, and the ceramic green sheet is punched by a relative approach between the suction head and the punching stage. Manufacturing method of multilayer electronic component of.
【請求項3】 打抜刃が打抜ステージ側に設けられてお
り、吸着ヘッドと打抜ステージとの相対的な接近によっ
てセラミックグリーンシートの打ち抜きが実施される、 ことを特徴とする請求項1記載の積層型電子部品の製造
方法。
3. The punching blade is provided on the punching stage side, and the ceramic green sheet is punched by the relative approach between the suction head and the punching stage. A method for manufacturing the described laminated electronic component.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101411284B1 (en) * 2012-11-20 2014-07-04 (주)이노시엠 Ceramic Sheet Peering Apparatus

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KR101411284B1 (en) * 2012-11-20 2014-07-04 (주)이노시엠 Ceramic Sheet Peering Apparatus

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