KR20130078723A

KR20130078723A - 평판 디스플레이 패널 검사 장치의 ａｓｕ 에어 공급 구조

Info

Publication number: KR20130078723A
Application number: KR1020110147832A
Authority: KR
Inventors: 이원근
Original assignee: 엘아이지에이디피 주식회사
Priority date: 2011-12-30
Filing date: 2011-12-30
Publication date: 2013-07-10

Abstract

본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널 검사 장치의 ASU 에어 공급 구조는, 기판 이송 방향과 직교하는 방향으로 에어 배관들을 배치하여, ASU 플레이트 상부에 에어를 공급하면서 기판을 이송시킴으로써 기판 이송 구간별 공기압 편차를 최소화하여 보다 원활한 기판 이송이 가능하고, 검사 위치 구간 별 공기압 변동 차이가 최소화되어 기판 검사 진행이 보다 원환하게 이루어지는 효과를 제공한다.

Description

평판 디스플레이 패널 검사 장치의 ＡＳＵ 에어 공급 구조{Air supplying structure of inspection device for flat display panel}

본 발명은 평판 디스플레이 패널 검사 장치에서, 에어를 제공하여 기판을 부상시켜 이송하기 위한 ASU(Air Slider Unit)의 에어 공급 구조에 관한 것이다.

일반적으로 공정이 완료되어 제품으로 출시되기 전에 LCD 등의 평판표시장치나 반도체 웨이퍼 등의 기판을 육안 관찰하는 목시 검사를 통해 양호 또는 불량 여부를 판정하는 경우가 많이 있다.

이와 같은 수동 작업으로 기판을 검사하는 경우 외관이나 패턴 등에 대해 양호 또는 불량 여부가 정확하지 않을 뿐만 아니라 생산성도 저하시키는 문제점이 있다.

따라서, 자동 검사 장치를 통해 기판의 외관이나 패턴을 검사하려는 다양한 시도가 이루어지고 있다.

이러한 자동 검사 장치는 LCD 패널 등 기판을 검사 위치로 자동 이송하기 위해, 기판이 이송되는 플레이트 상에 기판을 에어(공기)로 부상시키기 위한 ASU(Air Slider Unit)를 이용하고 있다.

도 1은 ASU 플레이트 배치 구조를 보여주는 평면도로서, 다수의 ASU 플레이트들(10)이 기판 진행 방향으로 연속적으로 배치된 구조를 보여준다.

도 1에서 A 영역은 기판 로딩 위치이고, B 영역은 검사 위치이며, C 영역은 언로딩 위치를 나타낸다.

각각의 ASU 플레이트(10)에는 에어 배출홀과 같은 에어 배출부(25: 도 2 참조)들이 일정 간격마다 구비되어 에어를 배출할 수 있도록 구성되고, ASU 플레이트(10)의 내부 또는 하부에는 에어 배출부에 에어를 공급하기 위한 에어 배관(20)들이 구성된다.

그리고 에어 배관(20)들은 공기압 제공장치, 예를 들면 에어 펌프 등으로 연결되어 에어를 공급받을 수 있도록 구성된다.

그러나 상기한 바와 같은 ASU 플레이트 공기 공급 구조는 에어 배출부(25)와 연결된 에어 배관(20)들이 기판(S)을 이송하는 방향과 동일한 방향(가로 방향)으로 배치되기 때문에 기판 이동 구간별로 ASU 플레이트(10) 상부로 제공되는 공기압에 차이가 발생하여 기판(S) 이송이 원활하지 못하는 문제점이 있다.

즉, 도 2를 참조하면, 하나의 메인 배관(30)에 가로 방향으로 3개의 에어 배관(20)들이 일정 간격마다 배치되는데, 각 에어 배관(20)들의 공기압이 메인 배관과 연결되는 부분과 가까운 쪽은 상대적으로 공기압이 높고, 메인 배관과 연결되는 부분과 먼 쪽은 상대적으로 공기압이 낮아지게 되어 기판 이동시에 기판의 처짐량이 기판 이송 구간별로 달라지고, 심한 경우에는 기판(S)이 ASU 플레이트(10)에 걸리는 등 기판 이송이 원활하지 못하게 되는 문제점이 발생되는 것이다.

이상 설명한 배경기술의 내용은 이 건 출원의 발명자가 본 발명의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 본 발명의 도출 과정에서 습득한 기술 정보로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에게 공개된 공지기술이라 할 수는 없다.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 기판 이송 방향과 교차(직교 포함)하는 방향으로 에어 배관들을 배치하여, 구간별 제공 공기압 편차를 최소화함으로써, 보다 원활한 기판 이송이 가능하게 하는 평판 디스플레이 패널 검사 장치의 ASU 에어 공급 구조를 제공하는 데 목적이 있다.

상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널 검사 장치의 ASU 에어 공급 구조는, 상면에 다수의 에어 배출부를 갖는 ASU(air slider unit) 플레이트와; 상기 ASU 플레이트의 내부 또는 하부에 구비되어 상기 다수의 에어 배출부로 에어를 제공하는 에어 배관들 및 이 에어 배관들에 에어를 공급하는 공기압 제공장치로 구성되되, 상기 에어 배관들은 ASU 플레이트 상에서 기판이 이송되는 방향과 교차하는 방향으로 배치되어 각 에어 배관의 상부에 위치된 에어 배출부로 공기를 제공할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 한다.

상기 에어 배출부는 상기 각 에어 배관의 직상부에 일정 간격마다 에어 배관을 따라 직렬로 배치되게 구성되는 것이 바람직하다.

상호 인접한 복수의 에어 배관들은 하나의 메인 배관에 연결되어 에어를 공급받을 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.

상기 ASU 플레이트는 기판 이송 방향과 직교하는 방향으로 복수개가 배치될 경우에, 상기 각 에어 배관들은 상기 복수개의 ASU 플레이트에 연결되게 구성되는 것이 바람직하다.

상기한 바와 같은 본 발명의 주요한 과제 해결 수단들은, 아래에서 설명될 '발명의 실시를 위한 구체적인 내용', 또는 첨부된 '도면' 등의 예시를 통해 보다 구체적이고 명확하게 설명될 것이며, 이때 상기한 바와 같은 주요한 과제 해결 수단 외에도, 본 발명에 따른 다양한 과제 해결 수단들이 추가로 제시되어 설명될 것이다.

본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널 검사 장치의 ASU 에어 공급 구조는 기판 이송 방향과 교차(직교)하는 방향으로 에어 배관들을 배치하여, ASU 플레이트 상부에 에어를 공급하면서 기판을 이송시키기 때문에 구간별 공기압 편차를 최소화하여 보다 원활한 기판 이송이 가능하고, 검사 위치 구간 별 공기압 변동 차이가 최소화되어 기판 검사 진행이 보다 수월하게 이루어지는 효과가 있다.

도 1은 종래 ASU 플레이트 배치 구조를 보여주는 개략적인 평면도이다.
도 2는 도 1의 "X"부분의 개략적인 상세도이다.
도 3은 본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널 검사 장치의 ASU 플레이트 배치 구조를 보여주는 개략적인 평면도이다.
도 4는 도 3의 "Y"부분의 개략적인 상세도이다.

첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하면 다음과 같다.

도 3 및 도 4를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명한다.

일반적으로 ASU(Air Slider Unit)은 스테이지 위에 소정 지지대로 지지되며, 기판(S)을 부상시키기 위해 에어를 배출하는 에어 배출부(65)를 갖는 ASU 플레이트(50)가 구비된다.

여기서, 에어 배출부(65)는 에어 배관(60) 및 이 에어 배관(60)에 에어를 공급하는 공기압 제공장치(미도시)와 연결되어 에어를 배출할 수 있도록 구성된다.

공기압 제공장치는 통상적으로 에어 공급에 이용되는 에어 펌프, 에어 컴프레서 등으로 구성될 수 있다. 물론 공기압 제공장치와 에어 배관(60)을 연결하는 라인 상에는 공기압을 조절하는 공기압 조절장치가 구성되는 것이 바람직하다.

도 3에서는 평판 디스플레이 패널 검사 장치에 적용되는 ASU 플레이트(50)의 평면 배치 구조를 개략적으로 보여주고 있다.

도 3에서 ASU 플레이트(50)는 총 16개로 분할되어 배치된 구조를 예시한다.

즉, 기판 로딩 위치인 A 영역에는 4개의 ASU 플레이트(50)가 배치되고, 기판 검사 위치인 B 영역에는 상대적으로 작은 8개의 ASU 플레이트(50)가 배치되며, 언로딩 위치인 C 영역은 4개의 ASU 플레이트(50)가 배치된 구조를 보여준다.

이러한 ASU 플레이트(50)의 배치 구조는 하나의 실시예에 불과하며, 실시 조건에 따라 총 ASU 플레이트(50) 개수 및 배치 구조는 다양하게 변경하여 실시할 수 있음은 물론이다.

본 실시예에서는 도 3에 예시된 ASU 플레이트(50) 배치 구조를 중심으로 본 발명에 따른 ASU 에어 공급 구조에 대하여 설명한다.

각각의 ASU 플레이트(50)는 그 상면에 다수의 에어 배출부(65)가 구비된다. 이때 에어 배출부(65)는 각 에어 배관(60)의 직상부에 일정 간격마다 에어 배관(60)을 따라 직렬로 배치되게 구성되는 것이 바람직하다.

또한 ASU 플레이트(50)의 상면에는 상기 에어 배출부(65)를 중심으로 넓은 면적으로의 에어 공급을 위하여 긴 홈 구조의 에어 홈(55)이 형성되어 구성될 수 있다.

ASU 플레이트(50)의 하부에는 상기 각 라인의 에어 배출부(65)로 에어를 제공하는 에어 배관(60)들이 연결된다. 물론 각 에어 배관(60)들은 앞서 설명한 바와 같이 공기압 제공장치로부터 에어를 공급받도록 구성되는 것이 바람직하다.

이러한 에어 배관(60)들은 ASU 플레이트(50) 상에서 기판이 이송되는 방향과 직교하거나 교차하는 방향으로 배치되어 각 에어 배관(60)의 상부에 위치된 에어 배출부(65)로 공기를 제공할 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.

여기서 교차하는 방향으로 배치된다는 의미는, 에어 배관(60)이 기판 이송 방향과 직교하여 배치된 구조를 포함하여, 에어 배관(60)이 기판 이송 방향과 직교하여 배치된 상태를 중심으로 일정 각도 경사지게 배치된 구조를 포함하는 의미이다.

또한, 상호 인접한 복수의 에어 배관(60)들은 하나의 메인 배관(70)에 연결되어 에어를 공급받을 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.

도 4에서는 상호 인접한 3개의 에어 배관(60)에 하나의 메인 배관(70)이 연결되는 구조를 보여준다. 이는 하나의 예시이며, 실시 조건에 따라 메인 배관(70)에 접속되는 에어 배관(60)의 개수 및 연결 구조는 다양하게 변형하여 실시할 수 있다.

한편, 메인 배관(70)은 상기한 공기압 제공장치와 에어 배관(60) 사이를 연결하도록 구성된다.

도 4에서 메인 배관(70)은 ASU 플레이트(50)의 측면 쪽에서 에어 배관(60)들과 연결되도록 구성된 것을 예시하고 있으나, 바람직하게는 각 ASU 플레이트(50)의 중앙부 또는 서로 인접한 ASU 플레이트(50)들 사이에서 각 에어 배관(60)으로 분기되도록 구성되는 것이 바람직하다.

상기 실시예에서는 에어 배관(60)이 ASU 플레이트(50) 하부에 배치된 구조를 설명하였으나, 이에 한정되지 않고 ASU 플레이트(50)의 내부에 구성되는 것도 가능하다.

또한, 도 3에 도시된 바와 같이 ASU 플레이트(50)는 기판 이송 방향과 직교하는 방향으로 복수개(도 3에서는 2개)가 배치될 경우에, 각 에어 배관(60)들은 상기 복수개의 ASU 플레이트(50)에 연속적으로 연결되게 구성되는 것이 바람직하다. 이는 전체 에어 배관(60)의 구성을 단순화하면서도 ASU 플레이트(50) 전체적으로 일정한 공기압을 제공하기 위해서이다.

한편, 상기에서는 다수의 에어 배관(60)이 메인 배관(70)에 연결되어 구성된 구조를 예시하였으나, 필요에 따라서는 각각의 에어 배관(60)에 공기압 제공장치가 구성되어 에어를 공급받도록 구성되는 것도 가능하다.

그리고, 에어 배관(60)을 기판 이송 방향과 직교(또는 교차)하는 방향으로만 배치되는 구성에 한정되지 않고, 도 1 등에 예시된 바와 같이 에어 배관(60)을 기판 이송 방향과 동일한 방향으로 배치하는 구조와 혼합하여 구성하는 것도 가능하다.

상기한 바와 같은, 본 발명의 실시예들에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며, 서로 조합되어 실시될 수 있다. 또한, 본 발명은 도면 및 발명의 상세한 설명에 기재된 실시예를 통하여 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라서, 본 발명의 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.

Claims

상면에 다수의 에어 배출부를 갖는 ASU(air slider unit) 플레이트와;
상기 ASU 플레이트의 내부 또는 하부에 구비되어 상기 다수의 에어 배출부로 에어를 제공하는 에어 배관들 및 이 에어 배관들에 에어를 공급하는 공기압 제공장치로 구성되되,
상기 에어 배관들은 ASU 플레이트 상에서 기판이 이송되는 방향과 교차하는 방향으로 배치되어 각 에어 배관의 상부에 위치된 에어 배출부로 공기를 제공할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사 장치의 ASU 에어 공급 구조.
청구항1에 있어서,
상기 에어 배출부는 상기 각 에어 배관의 직상부에 일정 간격마다 에어 배관을 따라 직렬로 배치되게 구성된 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사 장치의 ASU 에어 공급 구조.
청구항1에 있어서,
상호 인접한 복수의 에어 배관들은 하나의 메인 배관에 연결되어 에어를 공급받을 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사 장치의 ASU 에어 공급 구조.
청구항1 내지 청구항3 중 어느 한 항에 있어서,
상기 ASU 플레이트는 기판 이송 방향과 직교하는 방향으로 복수개가 배치되고,
상기 각 에어 배관들은 상기 복수개의 ASU 플레이트에 연결되게 구성된 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널 검사 장치의 ASU 에어 공급 구조.