KR20130073409A - Evaporatinng source having fixing member of evaporation heater - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An evaporation source including an evaporation heating fixing member is provided to implement large size, by fastening fixing members to a heat dissipation plate by arranging the fixing members in multi stages. CONSTITUTION: An evaporation heater (300) is arranged in the side of the circumference of an evaporation vessel. The evaporation heater is arranged along the direction of circumference. An evaporation heater fixing member (400) is constituted with an upper fixing member and a lower fixing member. The upper fixing member and the lower fixing member have ring shape. The evaporation heater fixing member supports the evaporation heater from the outside.

Description

증발히터 고정부재를 포함하는 증발원{EVAPORATINNG SOURCE HAVING FIXING MEMBER OF EVAPORATION HEATER}Evaporation source including evaporation heater fixing member {EVAPORATINNG SOURCE HAVING FIXING MEMBER OF EVAPORATION HEATER}

본 발명은 박막 증착장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 박막 증착장치에서 고온의 물질을 증발시킬 수 있는 증발히터 고정부재를 포함하는 증발원에 관한 것이다.The present invention relates to a thin film deposition apparatus, and more particularly, to an evaporation source including an evaporation heater fixing member capable of evaporating a high temperature material in the thin film deposition apparatus.

반도체 소자 또는 평판 디스플레이 소자의 제작에 주로 사용되는 박막 증착장치는 용기 내의 하부에 증착 물질을 담은 도가니를 설치하고, 도가니를 가열하여 내부의 증착 물질을 증발시켜 상부에 위치한 기판에 증착하는 방식으로 박막을 제조하는 장치이다.Thin film deposition apparatus mainly used in the manufacture of semiconductor devices or flat panel display devices by installing a crucible containing a deposition material in the lower portion of the container, and heating the crucible to evaporate the deposition material inside to deposit the thin film on the substrate located above It is a device for manufacturing.

일반적으로 박막 증착장치에서 진공 가열 증착 방법을 통하여 박막을 제조하는데, 진공 가열 증착이란 진공 용기 내의 기판 아래에 증발 물질이 담겨있는 도가니를 두고 도가니를 가열하여 증발 물질을 증발시켜 기판에 박막을 코팅하는 방법을 말한다.In general, a thin film is manufactured by a vacuum heating deposition method in a thin film deposition apparatus. In vacuum heating deposition, a crucible containing an evaporation material is placed under a substrate in a vacuum vessel, and the crucible is heated to evaporate the evaporation material to coat the thin film on the substrate. Say how.

이러한 진공 가열 증착에서 증발용기의 증발 물질을 가열시키는 방법에는 열선을 이용한 간접가열, 증발용기에 직접 전기를 흘리는 직접가열 또는 전자선을 이용한 전자선(E-beam) 가열 등의 방법이 사용된다. 이 중에서 열선을 이용하는 간접 가열방식이 증착제어가 안정적이기 때문에 많이 사용되고 있다.In such vacuum heating deposition, a method of heating the evaporation material of the evaporation vessel is used, such as indirect heating using a hot wire, direct heating to directly flow the evaporation vessel, or electron beam (E-beam) heating using an electron beam. Among them, the indirect heating method using a hot wire is widely used because the deposition control is stable.

이러한 간접 가열 방식의 증착장치에는 증발용기와 이를 가열할 수 있는 증발히터가 필요한데, 일반적으로 원통형 증발용기와 증발용기를 감싸는 필라멘트 방식의 증발히터를 많이 사용한다. 상기와 같은 필라멘트를 이용한 간접 가열로 800℃ 정도의 온도로 증발용기를 가열시키는 데에는 큰 어려움이 없으나 그 이상의 가열이 필요한 경우의 증발원을 고온 증발원이라고 일컬을 수 있다. 이러한 증발원은 주로 알루미늄 같은 금속물질이나 무기물을 증착시킬 때 사용하게 된다.The indirect heating deposition apparatus requires an evaporation vessel and an evaporation heater capable of heating it, and generally uses a cylindrical evaporation vessel and a filament type evaporation heater surrounding the evaporation vessel. Although there is no great difficulty in heating the evaporation vessel to a temperature of about 800 ° C. by indirect heating using the filament as described above, an evaporation source when more heating is required may be referred to as a high temperature evaporation source. This evaporation source is mainly used when depositing a metal or inorganic material such as aluminum.

종래의 진공 증착 가열에 사용되는 증발히터는 열선을 원주방향으로로 배열하고, 복수의 구멍들이 형성된 원형 띠 형상의 절연체에 상기 열선들을 통과시키는 방식으로 형상 및 위치를 고정한다.The evaporation heater used in the conventional vacuum deposition heating arranges the heating wires in the circumferential direction and fixes the shape and the position by passing the heating wires through a circular band-shaped insulator in which a plurality of holes are formed.

그런데 이러한 증발히터의 사용에 따라 열선이 열에 의해 변형되어 주로 길이방향으로 팽창되고 증발용기나 방열판에 접촉하여 합선이 발생하는 경우가 있었다.However, according to the use of the evaporation heater, the hot wire is deformed by heat, and mainly expands in the longitudinal direction, and a short circuit occurs in contact with the evaporation vessel or the heat sink.

또한 증착장치를 대형화하기 위해서는 증발히터 또한 대형화될 필요가 있는데, 종래의 증발히터와 고정구조로서는 자중에 의한 변형이 발생될 수 있고 결국 작동불량이나 증발히터의 파손으로 이어지는 문제가 있었다.In addition, in order to increase the size of the deposition apparatus, the evaporation heater also needs to be enlarged. As a conventional evaporation heater and a fixed structure, deformation due to its own weight may occur, resulting in a malfunction or breakdown of the evaporation heater.

본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 증발히터의 위치와 형상을 효과적으로 고정하여 증발원의 내구성과 작동 신뢰성을 향상할 수 있는 구조를 가지는 증발히터 고정부재 및 이를 구비하는 증발원을 제공하는 데 목적이 있다.An object of the present invention is devised to solve the above problems, the evaporation heater fixing member having a structure capable of effectively fixing the position and shape of the evaporation heater to improve the durability and operation reliability of the evaporation source and the evaporation source having the same The purpose is to provide.

본 발명은 증발용기와; 상기 증발용기의 외주측에 배치되고 축방향으로 긴 히팅부재들이 일정 간격을 두고 원주방향으로 배열되는 증발히터와; 상호 축방향으로 인접된 링 형상의 상측 고정부재 및 하측 고정부재로 이루어지고 상기 증발히터를 내주 및 외주측에서 지지하는 증발히터 고정부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 증발원을 개시한다.The present invention is an evaporation vessel; An evaporating heater disposed at an outer circumferential side of the evaporating vessel and arranged in the circumferential direction at a predetermined interval with heating members axially long; Disclosed is an evaporation source comprising: an evaporation heater fixing member comprising an upper fixing member and a lower fixing member having a ring shape adjacent to each other in an axial direction and supporting the evaporating heater on an inner circumference and an outer circumference side.

상기 상측 고정부재는, 상기 증발히터의 외주측을 지지하는 외측링부와 상기 증발히터의 내주측을 지지하는 내측링부와 상기 내측링부 및 외측링부를 반경방향으로 연결하는 연결부를 포함하여 이루어질 수 있다.The upper fixing member may include an outer ring part supporting the outer circumferential side of the evaporator heater, an inner ring part supporting the inner circumferential side of the evaporator heater, and a connection part connecting the inner ring part and the outer ring part in a radial direction.

상기 하측 고정부재는, 상기 증발히터의 외주측을 지지하는 외측링부와 상기 외측링부로부터 내주 방향으로 돌출되는 돌부를 포함할 수 있다.The lower fixing member may include an outer ring portion supporting the outer circumferential side of the evaporator heater and a protrusion protruding in the inner circumferential direction from the outer ring portion.

상기 하측 고정부재는, 상기 증발히터의 내주측을 지지하며 상기 돌부에 연결되는 내측링부를 더 포함할 수 있다.The lower fixing member may further include an inner ring part which supports an inner circumferential side of the evaporator heater and is connected to the protrusion.

상기 상측 고정부재는, 상기 연결부 사이에 형성되는 삽입부에 상호 인접한 히팅부재가 함께 삽입될 수 있다.The upper fixing member may include a heating member adjacent to each other between insertion portions formed between the connecting portions.

상기 증발히터는, 상단부 및 하단부에서 인접되는 히팅부재들의 연결부위와 개방부위가 원주방향으로 교번하여 배치되고, 상기 상측 고정부재는, 상기 삽입부에 상기 연결부위가 삽입되면서 상기 증발히터의 상단부 또는 하단부로부터 축방향으로 결합될 수 있다.The evaporation heater, the connecting portion and the open portion of the heating member adjacent to the upper end and the lower end are arranged alternately in the circumferential direction, the upper fixing member, the connecting portion is inserted into the insertion portion of the upper end of the evaporation heater or It can be coupled axially from the lower end.

상기 돌부와 상기 연결부는, 상기 증발히터의 원주방향으로 교번하여 배치될 수 있다.The protrusion and the connection part may be alternately arranged in the circumferential direction of the evaporation heater.

상기 돌부와 상기 연결부의 폭은 인접한 히팅부재들 사이의 간격에 대응될 수 있다.The width of the protrusion and the connection part may correspond to a gap between adjacent heating members.

상기 상측 고정부재와 하측 고정부재를 축방향으로 결합하는 체결부재를 더 포함할 수 있다.It may further include a fastening member for coupling the upper fixing member and the lower fixing member in the axial direction.

상기 증발히터의 외주측에 배치되는 원통 형상의 방열판을 더 포함하고, 상기 체결부재는, 상기 방열판에 결합되어 상기 증발히터를 상기 방열판에 대해 고정할 수 있다.A heat dissipation plate may further include a cylindrical heat dissipation plate disposed on an outer circumferential side of the evaporation heater, and the fastening member may be coupled to the heat dissipation plate to fix the evaporation heater to the heat dissipation plate.

상기 체결부재는, 상기 방열판의 외면에 지지되는 평판부와, 상기 방열판에 형성되는 개구부에 삽입되도록 내주측으로 돌출되는 돌출부와, 상기 돌출부에 형성되고 상기 두 개의 링 형상의 판재가 삽입되는 삽입구를 포함할 수 있다.The fastening member includes a flat plate supported on an outer surface of the heat sink, a protrusion projecting toward an inner circumferential side to be inserted into an opening formed in the heat sink, and an insertion hole formed in the protrusion and inserted into the two ring-shaped plate members. can do.

상기 증발히터 고정부재는, 높이방향으로 복수로 배치되어 상기 증발히터의 위치와 히팅부재들 사이의 간격을 고정할 수 있다.The evaporator heater fixing member may be disposed in a plurality in a height direction to fix a gap between the evaporator heater and the heating members.

상기 고정부재는, PBN으로 이루어질 수 있다.The fixing member may be made of PBN.

본 발명에 따른 증발히터 고정부를 구비하는 증발원은 고정부재가 두 개의 부재가 상하측으로 밀접하여 상호 보강하고 쌍을 이루어 증발히터의 내외주측을 지지하고 히팅부재들의 이격된 간격을 유지하기 때문에 증발히터의 형상과 위치를 더욱 견고하게 고정할 수 있어 증발원의 내구성과 작동 신뢰성이 향상되는 효과가 있다.An evaporation source having an evaporation heater fixing part according to the present invention is an evaporation heater because the fixing members support the inner and outer circumferential sides of the evaporation heater by pairing the two members closely up and down and maintaining a spaced distance between the heating members. It is possible to fix the shape and location of the more firmly has the effect of improving the durability and operating reliability of the evaporation source.

또한, 고정부재들이 다단으로 배치되고 체결부재에 의하여 방열판에 체결되는 구성으로 이루어지기 때문에 증발히터의 위치와 형상을 정확하게 고정하면서도 자중을 효과적으로 분산할 수 있어 증발원의 대형화가 가능한 효과가 있다.In addition, since the fixing members are arranged in multiple stages and fastened to the heat sink by the fastening member, it is possible to effectively disperse the weight while accurately fixing the position and shape of the evaporation heater, thereby increasing the size of the evaporation source.

또한, 고정부재를 단일로 형성하는 경우에 비하여 제조상의 공정상 생산성이 향상될 수 있는 효과가 있다.In addition, there is an effect that the productivity in the manufacturing process can be improved compared to the case of forming a single fixing member.

도 1은 본 발명의 증발히터 고정부재와 증발히터가 결합된 모습을 확대하여 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 증발히터 고정부재가 방열판에 체결된 모습을 도시한 사시도이다.
도 3은 도 1의 증발히터 고정부재의 체결부재를 도시한 사시도이다.
도 4는 도 1의 증발히터 고정부재가 배치되는 증발원을 도시한 측단면도이다.1 is an enlarged perspective view illustrating a state in which an evaporation heater fixing member and an evaporation heater are combined.
Figure 2 is a perspective view showing a state in which the evaporation heater fixing member of the present invention is fastened to the heat sink.
3 is a perspective view illustrating a fastening member of the evaporating heater fixing member of FIG. 1.
4 is a side cross-sectional view illustrating an evaporation source in which the evaporating heater fixing member of FIG. 1 is disposed.

이하 본 발명에 따른 증발히터 고정부재를 포함하는 증발원에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an evaporation source including an evaporation heater fixing member according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 증발히터 고정부재와 증발히터가 결합된 모습을 확대하여 도시한 사시도이고, 2는 본 발명의 증발히터 고정부재가 방열판에 체결된 모습을 도시한 사시도고, 도 3은 도 1의 증발히터 고정부재의 체결부재를 도시한 사시도고, 도 4는 도 1의 증발히터 고정부재가 배치되는 증발원을 도시한 측단면도이다.1 is a perspective view showing an enlarged view of the evaporation heater fixing member and the evaporation heater is coupled to the present invention, 2 is a perspective view showing a state in which the evaporating heater fixing member of the present invention is fastened to the heat sink, and FIG. 1 is a perspective view showing a fastening member of the evaporation heater fixing member of Figure 1, Figure 4 is a side cross-sectional view showing an evaporation source in which the evaporating heater fixing member of FIG.

본 발명에 따른 증발히터 고정부재를 포함하는 증발원은 증발용기(200)와; 상기 증발용기(200)의 외주측에 배치되고 축방향으로 긴 히팅부재들이 일정 간격을 두고 원주방향으로 배열되는 증발히터(300)와; 상호 축방향으로 인접된 상측 고정부재(410) 및 하측 고정부재(420)로 이루어지고 상기 증발히터(300)를 내주 및 외주측에서 지지하는 증발히터 고정부재(400)를 포함하여 이루어진다.An evaporation source including an evaporation heater fixing member according to the present invention includes an evaporation vessel (200); An evaporation heater 300 disposed at an outer circumferential side of the evaporation vessel 200 and having axially long heating members arranged in a circumferential direction at a predetermined interval; It consists of an upper fixing member 410 and the lower fixing member 420 adjacent to each other in the axial direction and comprises an evaporating heater fixing member 400 for supporting the evaporating heater 300 on the inner and outer circumferential sides.

증발히터(300)는 전원을 공급하면 내부 저항에 의하여 열을 방출하는 열선으로 이루어지는데, 종래기술에서는 증착장치의 증발원으로서 와이어 타입으로 이루어지기 때문에 열변형에 취약하고 주변 부품과의 합선 문제가 발생할 수 있음은 상기한 바와 같다. 또한, 와이어 형상의 열선의 경우 그 단면이 원형이어서 복사열이 등방형으로 방사되어 열전달 효율이 떨어진다. The evaporation heater 300 is composed of a heating wire that emits heat by internal resistance when the power is supplied. In the prior art, since the evaporation source is made of a wire type as an evaporation source of the deposition apparatus, the evaporation heater 300 is vulnerable to thermal deformation and short circuits with peripheral components. Can be as described above. In addition, in the case of a wire-shaped hot wire, its cross section is circular, and radiant heat is radiated isotropically, resulting in poor heat transfer efficiency.

본 발명의 증발원에서는 상기한 단점을 극복하기 위하여 평판 형상의 히팅부재(참조번호 미표시)들로 이루어지는 증발히터(300)를 채용한다. In the evaporation source of the present invention, in order to overcome the above-mentioned disadvantages, an evaporation heater 300 made of flat heating members (not shown) is employed.

상기 증발히터(300)는 내주면이 증발용기(200)를 바라보도록 설치되고 면적을 넓게 하면 증발용기(200)에 직접 전달되는 복사열의 양을 크게 할 수 있기 때문에 열전달 효율이 와이어 타입의 열선을 사용하는 경우에 비하여 월등한 이점이 있다.The evaporation heater 300 is installed so that the inner circumferential surface facing the evaporation vessel 200 and widening the area can increase the amount of radiant heat directly transmitted to the evaporation vessel 200, so that the heat transfer efficiency uses a wire type heating wire. There is an advantage over the case.

또한 상기 증발히터(300)는 구체적으로 축방향으로 긴 히팅부재가 일정 간격을 두고 원주방향으로로 배열되어 원통 형상을 이루는데, 상단부와 하단부 측에서는 인접되는 히팅부재들 사이에 연결부위(참조번호 미표시)가 형성되고 상기 연결부위들은 개방부위(참조번호 미표시)들과 원주방향으로 교번하여 배치된다.In addition, the evaporation heater 300 has a cylindrical shape in which the heating members are arranged in the circumferential direction at regular intervals in the axial direction, the connection portion (not shown reference number) between the adjacent heating members at the upper end and the lower end side. ) Are formed and the connecting portions are alternately arranged in the circumferential direction with the open portions (not shown).

증발히터(300)를 이루는 히팅부재들의 면적은 후술할 고정부재(400)와의 관계 및 열전달 면적을 고려하여 다양하게 이루어질 수 있다.The area of the heating members constituting the evaporation heater 300 may be variously made in consideration of the relationship with the fixing member 400 and heat transfer area to be described later.

상기 고정부재(400)는 상기 증발히터(300)의 형상과 위치를 고정할 수 있는 부재로서, 본 발명의 개념에 따라 각 고정부재(400)가 축방향으로 상호 인접된 두 개의 링 형상의 판재로 이루어진다.The fixing member 400 is a member capable of fixing the shape and position of the evaporation heater 300, in accordance with the concept of the present invention, each of the fixing member 400 is a ring-shaped plate material adjacent to each other in the axial direction Is made of.

상기 고정부재(400)는 상측 고정부재(410)와 하측 고정부재(420)로 이루어지고, 각각 증발히터(300)의 외주 및/또는 내주를 지지하여 증발히터(300)의 형상과 위치를 고정한다. The fixing member 400 is composed of an upper fixing member 410 and a lower fixing member 420, respectively, to support the outer and / or inner circumference of the evaporation heater 300 to fix the shape and position of the evaporation heater 300. do.

상기 고정부재(400)는 한 쌍의 부재인 상측 고정부재(410)와 하측 고정부재(420)가 상호 인접되거나 밀착되어 이루어지고, 상측 고정부재(410) 또는 하측 고정부재(420)의 적어도 하나는 상기 증발히터(300)의 외주측을 지지하는 외측링부(411)와 상기 증발히터(300)의 내주측을 지지하는 내측링부(412)와 상기 내측링부(412) 및 외측링부(411)를 반경방향으로 연결하는 연결부(413)를 포함하여 이루어질 수 있다.The fixing member 400 is formed by the upper fixing member 410 and the lower fixing member 420 which are a pair of members adjacent to or in close contact with each other, and at least one of the upper fixing member 410 or the lower fixing member 420. The outer ring part 411 supporting the outer circumferential side of the evaporation heater 300 and the inner ring part 412 and the inner ring part 412 and the outer ring part 411 supporting the inner circumferential side of the evaporator heater 300. It may be made by including a connecting portion 413 connecting radially.

도 1의 실시예에서는 상측 고정부재(410)가 내측링부(412)와 외측링부(411)를 포함하여 이루어지고, 상기 연결부(413)는 증발히터(300)를 이루는 히팅부재들 사이의 이격된 공간에 개재되어 증발히터(300)의 위치와 형상을 고정한다.1, the upper fixing member 410 includes an inner ring part 412 and an outer ring part 411, and the connection part 413 is spaced apart between the heating members constituting the evaporation heater 300. Interposed in the space to fix the position and shape of the evaporation heater (300).

하측 고정부재(420)는 상기 증발히터(300)의 외주측을 지지하는 외측링부(421)와 상기 외측링부(421)로부터 내주 방향으로 돌출되는 돌부(423)를 포함하여 이루어질 수 있다. 이때 상기 하측 고정부재(420)는 상측 고정부재(410)에서 내측링부(412)가 생략되는 형상이 될 수 있다.The lower fixing member 420 may include an outer ring portion 421 supporting the outer circumferential side of the evaporator heater 300 and a protrusion 423 protruding in the inner circumferential direction from the outer ring portion 421. In this case, the lower fixing member 420 may have a shape in which the inner ring part 412 is omitted from the upper fixing member 410.

이와 같이 하측 고정부재(420)가 상측 고정부재(410)의 내측링부(412)에 해당되는 부위가 생략되는 형상으로 이루어지는 경우, 증발히터(300)의 내주측을 가리지 않도록 배치될 수 있기 때문에 증발용기(200)로의 열전달을 저해하지 않으므로 증발히터(300)를 견고하게 지지하면서도 열효율의 저하를 방지할 수 있는 이점이 있다.As such, when the lower fixing member 420 has a shape in which a portion corresponding to the inner ring part 412 of the upper fixing member 410 is omitted, the lower fixing member 420 may be disposed so as not to cover the inner circumferential side of the evaporating heater 300. Since the heat transfer to the container 200 is not impeded, there is an advantage in that the evaporation heater 300 is firmly supported while the degradation of the thermal efficiency is prevented.

이 경우 상측 고정부재(410)는 증발히터(300)의 내외주측을 지지하고, 하측 고정부재(420)는 증발히터(300)의 외주측을 지지하면서 상측 고정부재(410)를 보강하는 역할을 하게 된다.In this case, the upper fixing member 410 supports the inner and outer circumferential sides of the evaporation heater 300, and the lower fixing member 420 supports the outer circumferential side of the evaporating heater 300 while reinforcing the upper fixing member 410. Done.

다만 상기 하측 고정부재(420)에 상기 돌부(423)에 연결되는 내측링부(미도시)가 부가되어 상기 상측 고정부재(410)에 대응되는 형상으로 이루어질 수 있고, 상기 상측 고정부재(410)와 하측 고정부재(420)가 서로 상하 위치가 치환되어 배치될 수도 있음은 물론이다.However, an inner ring portion (not shown) connected to the protrusion 423 may be added to the lower fixing member 420 to be formed in a shape corresponding to the upper fixing member 410, and the upper fixing member 410 may be formed. Of course, the lower fixing member 420 may be disposed with the upper and lower positions replaced with each other.

상기 상측 고정부재(410)와 하측 고정부재(420)는 PBN(Pyrolytic Boron Nitride)이나 세라믹과 같은 재질이 사용될 수 있으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 내구성, 내열성 및 절연성이 높은 재질들이 선택적으로 사용될 수도 있음은 물론이다.The upper fixing member 410 and the lower fixing member 420 may be made of a material such as PBN (Pyrolytic Boron Nitride) or ceramic, but the material is not limited thereto, and materials having high durability, heat resistance, and insulation may be selectively used. Of course.

상기 고정부재(400)가 PBN(Pyrolytic Boron Nitride)으로 이루어지는 경우 하측 고정부재(420)가 상측 고정부재(410)와 달리 내측의 링부를 생략한 형상으로 이루어지게 되면 재료를 절감하여 생산성을 향상할 수 있는 이점이 있다.When the fixing member 400 is made of PBN (Pyrolytic Boron Nitride), when the lower fixing member 420 is formed in a shape in which the inner ring part is omitted, unlike the upper fixing member 410, it is possible to reduce the material to improve productivity. There is an advantage to this.

상기한 바와 같이 고정부재(400)가 상측 고정부재(410)와 하측 고정부재(420)로 이루어지는 경우 단일로 형성하는 경우에 비하여 제조상의 공정을 단순화할 수 있는 이점을 가지고, 각 두 개가 쌍을 이루어 증발히터(300)의 내외주측을 지지하고 히팅부재들의 이격된 간격을 유지하기 때문에 증발히터(300)의 형상과 위치를 더욱 견고하게 고정할 수 있는 이점을 가짐에 유의하여야 한다.As described above, when the fixing member 400 is formed of the upper fixing member 410 and the lower fixing member 420, the fixing member 400 has an advantage of simplifying the manufacturing process as compared with the case of forming a single unit, and each of the two pairs It is to be noted that since the inner and outer circumference of the evaporation heater 300 is maintained and the spaced intervals of the heating members are maintained, the evaporation heater 300 has an advantage of more firmly fixing the shape and position of the evaporation heater 300.

상기 고정부재(400)와 증발히터(300)의 배치관계를 더욱 구체적으로 살펴보면, 상측 고정부재(410)에는 상호 인접하는 연결부(413) 사이에 증발히터(300)의 히팅부재가 축방향으로 삽입될 수 있는 삽입부(414)가 형성된다.Looking at the arrangement of the fixing member 400 and the evaporation heater 300 in more detail, the heating member of the evaporation heater 300 is inserted in the axial direction between the connecting portion 413 adjacent to each other in the upper fixing member 410. An insertion portion 414 may be formed.

하나의 삽입부(414)는 증발히터(300)를 이루는 두 개의 인접한 히팅부재가 합께 삽입되는 방식으로 증발히터(300)와 고정부재(400)가 상호간에 결합되는 것이 바람직하다. One insertion unit 414 is preferably the evaporation heater 300 and the fixing member 400 is coupled to each other in such a manner that two adjacent heating members constituting the evaporation heater 300 are inserted together.

즉, 상기 증발히터(300)는 축방향으로 긴 히팅부재가 일정 간격을 두고 원주방향으로 배열되어 원통 형상을 이루는데, 상단부와 하단부 측에서는 인접되는 히팅부재들 사이에 연결부위와 개방부위들이 원주방향으로 교번하여 배치되기 때문에, 증발히터(300)의 상단 또는 하단 측에서 상기 삽입부(414)에 연결부위가 삽입되고 상기 연결부(413)가 개방부위에 삽입되는 방식으로 고정부재(400)의 축방향 결합이 이루어지는 것이다.That is, the evaporation heater 300 has a cylindrical shape in which the heating members long in the axial direction are arranged in the circumferential direction at regular intervals, and in the circumferential direction between the connecting members and the open portions between adjacent heating members at the upper and lower ends. Since it is arranged alternately, the shaft of the fixing member 400 in such a way that the connection portion is inserted into the insertion portion 414 at the top or bottom side of the evaporation heater 300 and the connection portion 413 is inserted into the open portion. Directional bonding is achieved.

상기 하측 고정부재(420)는 돌부(423)가 상기 상측 고정부재(410)의 연결부(413)에 밀착되도록 배치될 수 있고, 다른 방법으로서 돌부(423)가 증발히터의 원주방향으로 연결부(413)와 교번하여 배치될 수도 있다.The lower fixing member 420 may be disposed such that the protrusion 423 is in close contact with the connecting portion 413 of the upper fixing member 410. Alternatively, the lower fixing member 420 may be connected to the connecting portion 413 in the circumferential direction of the evaporation heater. ) May be arranged alternately.

도 1에 나타난 실시예에서는 하측 고정부재(420)가 내측링부를 구비하지 않기 때문에 증발히터(300)와 하측 고정부재(420)의 결합과정에서 증발히터(300)가 탄성 변형되어 돌부(423)가 히팅부재들 사이의 이격 공간에 삽입될 수 있으므로 상측 고정부재(410)의 연결부(413)와 원주방향으로 동일한 위치에 배치될 수도 있고 상호 어긋나는 위치에 교번하여 배치될 수도 있는 것이다.In the embodiment shown in Figure 1, since the lower fixing member 420 does not have an inner ring portion, the evaporation heater 300 is elastically deformed in the process of coupling the evaporating heater 300 and the lower fixing member 420, the protrusion 423 May be inserted in the spaced space between the heating members, it may be disposed at the same position in the circumferential direction with the connecting portion 413 of the upper fixing member 410 or may be alternately arranged in a position that is shifted from each other.

또한 상기 돌부(423)들은 증발히터(300)를 이루는 히팅부재들의 이격된 사이의 공간마다 배치되도록 형성될 수도 있다.In addition, the protrusions 423 may be formed to be disposed in spaces between the heating members forming the evaporation heater 300.

상기 상측 고정부재(410)와 하측 고정부재(420)는 증발히터(300)의 형상을 고정하는 역할을 확실하게 하기 위하여 상기 돌부(423)와 상기 연결부(413)의 폭은 인접한 히팅부재들 사이의 간격에 대응되는 것이 바람직하다.The upper fixing member 410 and the lower fixing member 420 have a width between the protrusion 423 and the connecting portion 413 between adjacent heating members in order to ensure the role of fixing the shape of the evaporation heater 300. It is preferable to correspond to the interval of.

도 2는 본 발명의 증발히터 고정부재에 체결부재가 배치되는 실시예를 도시한 사시도이고, 도 3은 상기 체결부재를 확대하여 도시한 사시도로서, 체결부재(430)가 상측 고정부재(410)와 하측 고정부재(420)를 상호간에 결합시키면서 고정부재(400)를 방열판(100)에 고정시킨다.2 is a perspective view showing an embodiment in which the fastening member is disposed on the evaporating heater fixing member of the present invention, Figure 3 is a perspective view showing an enlarged fastening member, the fastening member 430 is the upper fixing member 410 While fixing the lower fixing member 420 with each other to fix the fixing member 400 to the heat sink (100).

상기 체결부재(430)는 상측 고정부재(410)와 하측 고정부재(420)가 상호 밀착되도록 고정하면서 원주방향으로 상호 이격되도록 복수로 배치되고, 바람직하게는 원주방향으로 등간격으로 배치될 수 있다.The fastening member 430 may be disposed in plural to be spaced apart from each other in the circumferential direction while fixing the upper fixing member 410 and the lower fixing member 420 to be in close contact with each other, and preferably, may be disposed at equal intervals in the circumferential direction. .

또한 상기 체결부재(430)는 일측이 상기 방열판(100)에 고정되고 타측이 상기 고정부재(400)를 지지할 수 있는데, 일예로서 도 3과 같이 상기 방열판(100)의 외면에 지지되는 평판부(431)와, 상기 방열판(100)에 형성되는 개구부(110)에 삽입되도록 내주측으로 돌출되는 돌출부(432)와, 상기 돌출부(432)에 형성되고 상기 두 개의 링 형상의 판재가 삽입되는 삽입구(433)를 포함하여 이루어질 수 있다.In addition, the fastening member 430 may have one side fixed to the heat dissipation plate 100 and the other side to support the fixing member 400. As an example, a flat plate part supported on the outer surface of the heat dissipation plate 100 is shown in FIG. 431, a protrusion 432 protruding toward an inner circumferential side to be inserted into the opening 110 formed in the heat sink 100, and an insertion hole formed in the protrusion 432 to insert the two ring-shaped plate members ( 433).

이러한 개념에 따라 이하 증발히터(300), 고정부재(400) 및 방열판(100)이 결합되는 과정을 설명한다.According to this concept will be described a process in which the evaporation heater 300, the fixing member 400 and the heat sink 100 is combined.

상기 증발히터(300)에 상측 고정부재(410)와 하측 고정부재(420)가 소정 위치에 배치되어 상호 결합되고, 방열판(100)이 상기 증발히터(300)의 외주측에 배치되면, 방열판(100)에 고정부재(400)의 위치에 대응되도록 마련된 복수의 개구부(110)들에 체결부재(430)들이 외주측에서 내주방향으로 삽입되면서 상기 돌출부(432)에 형성되는 삽입구(433)에 상측 고정부재(410)와 하측 고정부재(420)가 함께 삽입된다.When the upper fixing member 410 and the lower fixing member 420 is disposed at a predetermined position and coupled to the evaporation heater 300, and the heat dissipation plate 100 is disposed on the outer circumferential side of the evaporation heater 300, the heat dissipation plate ( The fastening member 430 is inserted into the plurality of openings 110 provided to correspond to the position of the fixing member 400 in the upper side from the outer circumferential side to the inner circumferential direction, and the upper side of the insertion hole 433 formed in the protrusion 432. The fixing member 410 and the lower fixing member 420 are inserted together.

상기와 같이 고정부재(400)와 체결부재(430)를 포함하는 증발히터의 고정장치는 증발히터(300)의 내외주측으로의 변형 및 증발히터(300)를 구성하는 각 히팅부재들의 원주방향으로의 변형을 제한하여 형상을 유지하면서 방열판(100)의 내주측에 정확한 위치에 고정하는 역할을 한다.The fixing device of the evaporation heater including the fixing member 400 and the fastening member 430 as described above is deformed to the inner and outer circumferential sides of the evaporation heater 300 and in the circumferential direction of each heating member constituting the evaporation heater 300. By limiting the deformation of the heat sink 100 while maintaining the shape serves to fix in the correct position.

한편 증발히터(300)를 이루는 각 히팅부재의 연결부위가 상단부와 하단부에만 형성될 수도 있고, 증발히터(300)가 축방향으로 두 개의 히트부로 구성될 수도 있다. 이때 상기 히트부의 개수는 증발히터(300)를 이루는 각 히팅부재들의 연결부위의 배치에 의해 결정될 수 있다.Meanwhile, a connection portion of each heating member constituting the evaporation heater 300 may be formed only at the upper end and the lower end, and the evaporation heater 300 may be configured as two heat parts in the axial direction. At this time, the number of the heat portion may be determined by the arrangement of the connection portion of each heating member constituting the evaporation heater (300).

이와 같이 증발히터(300)가 다단으로 이루어지는 경우 각 단의 최상측에 배치되는 고정부재(400)들이 각각 증발히터(300)의 하중을 분산하여 지지할 수 있고 이는 증발히터(300)의 위치와 형상을 안정적으로 고정할 수 있어 증발히터(300)의 대용량화가 가능한 이점을 제공함에 유의하여야 한다.As such, when the evaporation heater 300 is composed of multiple stages, the fixing members 400 disposed at the top of each stage may distribute and support the load of the evaporation heater 300, respectively. It should be noted that the shape can be stably fixed to provide an advantage that the capacity of the evaporation heater 300 can be increased.

또한 상기에서는 상측 고정부재(410)와 하측 고정부재(420)가 상호 밀착되어 한 쌍으로 고정부재(400)를 형성하고, 축방향으로 복수의 고정부재(400)들이 배치되는 예가 설명되었으나, 상기 상측 고정부재(410)와 하측 고정부재(420)는 상호간에 인접하되 소정 간격 이격되어 하나의 고정부재(400)를 이룰 수도 있음은 물론이다.In addition, the upper fixing member 410 and the lower fixing member 420 are in close contact with each other to form a fixing member 400 in a pair, a plurality of fixing members 400 are arranged in the axial direction has been described, The upper fixing member 410 and the lower fixing member 420 may be adjacent to each other but spaced apart from each other to form one fixing member 400.

도 4는 상기한 증발히터 고정부재를 구비하는 증발원을 도시한 측단면이다.Figure 4 is a side cross-sectional view showing an evaporation source having the evaporation heater fixing member.

본 발명에 따른 증발원은 도 1에 나타난 바와 같이 증발용기(200), 상기 증발용기(200)의 외주측에 배치되는 증발히터(300), 상기 증발히터(300)를 고정하는 고정부재(400) 및 증발히터(300)의 외주측에 배치되고 원통 형상으로 이루어지는 방열판(100)으로 이루어지고, 상기 방열판(100)의 외주측에 배치되고 내부 공간에 냉각수가 유동되는 냉각부(500)를 더 구비할 수 있다.As shown in FIG. 1, the evaporation source according to the present invention includes an evaporation container 200, an evaporation heater 300 disposed on an outer circumferential side of the evaporation container 200, and a fixing member 400 for fixing the evaporation heater 300. And a heat dissipation plate 100 disposed on an outer circumferential side of the evaporation heater 300 and having a cylindrical shape, and disposed on an outer circumferential side of the heat dissipation plate 100 and having a cooling unit 500 in which cooling water flows into an inner space. can do.

상기 증발원은 진공 가열 증착에 사용되는 장치로서, 진공의 용기(미도시) 내의 기판 아래에 증발 물질이 내부에 수용되는 도가니 형태의 증발용기(200)를 배치하고, 증발용기(200)를 증발히터(300)를 통해 가열하여 증발 물질을 증발시켜 기판에 박막을 코팅하는 장치이다.The evaporation source is a device used for vacuum heating deposition, the evaporation vessel 200 in the form of a crucible in which evaporation material is accommodated is disposed below a substrate in a vacuum vessel (not shown), and the evaporation vessel 200 is evaporated heater. A device for coating a thin film on a substrate by evaporating the evaporation material by heating through 300.

본 발명의 증발원은 알루미늄과 같은 금속 물질이나 무기 물질을 증착시키는 데 다양하게 사용될 수 있고, 고온의 증발원 및 저온의 증발원에 모두 적용될 수 있다.The evaporation source of the present invention can be used in various ways to deposit a metallic material or an inorganic material such as aluminum, and can be applied to both a high temperature evaporation source and a low temperature evaporation source.

또한 방열판(400)은 상측이 개방된 원통 형상으로 이루어지고 상기 증발용기(200)의 외주측을 감싸도록 배치되는데, 상기한 바와 같이 내주측에서 고정장치에 의하여 증발히터(300)를 지지하고, 상측에서 상기 증발히터(300)를 지지하도록 구성될 수도 있다. 상기 방열판(100)은 증발용기(200)의 형상에 대응되도록 이루어지는 것이 바람직하나 반드시 원통 형상에 한정되지는 않는다.In addition, the heat dissipation plate 400 is formed in a cylindrical shape with an upper side open to surround the outer circumferential side of the evaporation vessel 200. As described above, the heat sink 400 supports the evaporation heater 300 by a fixing device, It may be configured to support the evaporation heater 300 from above. The heat sink 100 is preferably made to correspond to the shape of the evaporation vessel 200, but is not necessarily limited to the cylindrical shape.

상기 증발원에서 증발용기(200), 증발히터(300) 및 방열판(400)은 고온에 내구성이 보장될 수 있는 재질이 다양하게 사용될 수 있고, 상호간에 서로 다른 재질이나 동일한 재질로 선택적으로 이루어질 수 있다. 그 예로서 탄탈륨, AlN, PBN 또는 텅스텐과 같은 재질이 사용될 수 있으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.The evaporation source 200, the evaporation heater 300 and the heat sink 400 in the evaporation source may be used in a variety of materials that can ensure durability at high temperatures, may be made of a different material or the same material to each other selectively. . For example, a material such as tantalum, AlN, PBN, or tungsten may be used, but is not necessarily limited thereto.

또한 상기 고정부재(400)는 절연물질로 이루어지는 것이 바람직하고, 예를 들어 PBN(Pyrolytic Boron Nitride)이나 세라믹과 같은 내구성과 내열성이 높은 재질로 이루어질 수 있다.In addition, the fixing member 400 is preferably made of an insulating material. For example, the fixing member 400 may be made of a material having high durability and heat resistance such as PBN (Pyrolytic Boron Nitride) or ceramic.

이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention as defined in the appended claims. It is to be understood that both the technical idea and the technical spirit of the invention are included in the scope of the present invention.

100...방열판 200...증발용기
300...증발히터 400...고정부재
410...상측 고정부재 420...하측 고정부재
430...체결부재100 ... heat sink 200 ... evaporator
300 ... evaporator heater 400 ... fixed member
410 ... upper fixing member 420 ... lower fixing member
430 ... fastening member

Claims (13)

증발용기와;
상기 증발용기의 외주측에 배치되고 축방향으로 긴 히팅부재들이 일정 간격을 두고 원주방향으로 배열되는 증발히터와;
상호 축방향으로 인접된 링 형상의 상측 고정부재 및 하측 고정부재로 이루어지고 상기 증발히터를 내주 및 외주측에서 지지하는 증발히터 고정부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 증발원.An evaporation vessel;
An evaporating heater disposed at an outer circumferential side of the evaporating vessel and arranged in the circumferential direction at a predetermined interval with heating members axially long;
And an evaporating heater fixing member formed of an upper fixing member and a lower fixing member having a ring shape adjacent to each other in an axial direction, and supporting the evaporating heater at an inner circumference and an outer circumferential side thereof. 청구항 1에 있어서,
상기 상측 고정부재는,
상기 증발히터의 외주측을 지지하는 외측링부와 상기 증발히터의 내주측을 지지하는 내측링부와 상기 내측링부 및 외측링부를 반경방향으로 연결하는 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 증발원.The method according to claim 1,
The upper fixing member,
And an outer ring portion for supporting the outer circumferential side of the evaporator heater, an inner ring portion for supporting the inner circumferential side of the evaporator heater, and a connecting portion for connecting the inner and outer ring portions in a radial direction. 청구항 2에 있어서,
상기 하측 고정부재는,
상기 증발히터의 외주측을 지지하는 외측링부와 상기 외측링부로부터 내주 방향으로 돌출되는 돌부를 포함하는 것을 특징으로 하는 증발원.The method according to claim 2,
The lower fixing member,
And an outer ring portion supporting the outer circumferential side of the evaporator heater and a protrusion protruding in the inner circumferential direction from the outer ring portion. 청구항 3에 있어서,
상기 하측 고정부재는,
상기 증발히터의 내주측을 지지하며 상기 돌부에 연결되는 내측링부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증발원.The method according to claim 3,
The lower fixing member,
Evaporation source further comprises an inner ring portion for supporting the inner peripheral side of the evaporation heater and connected to the protrusion. 청구항 2에 있어서,
상기 상측 고정부재는,
상기 연결부 사이에 형성되는 삽입부에 상호 인접한 히팅부재가 함께 삽입되는 것을 특징으로 하는 증발원.The method according to claim 2,
The upper fixing member,
Evaporation source, characterized in that the heating member adjacent to each other is inserted together between the insertion portion formed between the connecting portion. 청구항 5에 있어서,
상기 증발히터는,
상단부 및 하단부에서 인접되는 히팅부재들의 연결부위와 개방부위가 원주방향으로 교번하여 배치되고,
상기 상측 고정부재는,
상기 삽입부에 상기 연결부위가 삽입되면서 상기 증발히터의 상단부 또는 하단부로부터 축방향으로 결합되는 것을 특징으로 하는 증발원.The method according to claim 5,
The evaporation heater,
The connecting part and the open part of the heating members adjacent to the upper part and the lower part are alternately arranged in the circumferential direction,
The upper fixing member,
Evaporation source, characterized in that coupled to the insertion portion in the axial direction from the upper end or the lower end of the evaporation heater while the connection portion is inserted. 청구항 3에 있어서,
상기 돌부와 상기 연결부는,
상기 증발히터의 원주방향으로 교번하여 배치되는 것을 특징으로 하는 증발원.The method according to claim 3,
The protrusion and the connecting portion,
Evaporation source, characterized in that arranged alternately in the circumferential direction of the evaporator heater. 청구항 3에 있어서,
상기 돌부와 상기 연결부의 폭은 인접한 히팅부재들 사이의 간격에 대응되는 것을 특징으로 하는 증발원.The method according to claim 3,
Evaporation source, characterized in that the width of the protrusion and the connecting portion corresponding to the interval between the adjacent heating member. 청구항 2에 있어서,
상기 상측 고정부재와 하측 고정부재를 축방향으로 결합하는 체결부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증발원.The method according to claim 2,
Evaporation source further comprises a fastening member for coupling the upper fixing member and the lower fixing member in the axial direction. 청구항 9에 있어서,
상기 증발히터의 외주측에 배치되는 원통 형상의 방열판을 더 포함하고,
상기 체결부재는, 상기 방열판에 결합되어 상기 증발히터를 상기 방열판에 대해 고정하는 것을 특징으로 하는 증발원.The method according to claim 9,
Further comprising a cylindrical heat sink disposed on the outer circumferential side of the evaporator heater,
The fastening member is coupled to the heat sink, the evaporation source, characterized in that for fixing the evaporator heater to the heat sink. 청구항 10에 있어서,
상기 체결부재는,
상기 방열판의 외면에 지지되는 평판부와, 상기 방열판에 형성되는 개구부에 삽입되도록 내주측으로 돌출되는 돌출부와, 상기 돌출부에 형성되고 상기 두 개의 링 형상의 판재가 삽입되는 삽입구를 포함하는 것을 특징으로 하는 증발원.The method of claim 10,
The fastening member
And a flat plate supported on an outer surface of the heat sink, a protrusion projecting toward an inner circumferential side to be inserted into an opening formed in the heat sink, and an insertion hole formed in the protrusion and inserted into the two ring-shaped plate members. Evaporation source. 청구항 1 내지 11 중 어느 한 항에 있어서,
상기 증발히터 고정부재는,
높이방향으로 복수로 배치되어 상기 증발히터의 위치와 히팅부재들 사이의 간격을 고정하는 것을 특징으로 하는 증발원.The method according to any one of claims 1 to 11,
The evaporator heater fixing member,
Evaporation source, characterized in that arranged in a plurality in the height direction to fix the distance between the position of the evaporation heater and the heating member. 청구항 12에 있어서,
상기 고정부재는,
PBN으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 증발원.The method of claim 12,
Wherein:
Evaporation source, characterized in that consisting of PBN.
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