KR101868463B1 - High temperature evaporation having outer heating container - Google Patents

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Abstract

본 발명은 박막 증착장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 박막 증착장치에서 고온의 물질을 증발시킬 수 있는 고온 증발원에 관한 것이다.
본 발명은 증발용기와; 상기 증발용기의 외주측에 배치되는 증발히터와; 상기 증발용기를 지지하는 지지부재를 포함하는 고온 증발원에 있어서, 상기 증발용기는 내부에 증발물질이 저장되는 공간을 가지며 상측이 개방된 내부 가열용기와, 상기 내부 가열용기가 내삽되며 상기 내부 가열용기의 파손시 증발 물질이 외부로 유출되는 것을 방지하는 외부 가열용기를 포함하는 것을 특징으로 하는 고온 증발원을 개시한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a thin film deposition apparatus, and more particularly, to a high temperature evaporation source capable of evaporating a high temperature material in a thin film deposition apparatus.
The present invention relates to an evaporation vessel, An evaporation heater disposed on an outer peripheral side of the evaporation vessel; And a support member for supporting the evaporation vessel, wherein the evaporation vessel includes an inner heating vessel having a space in which evaporation materials are stored, the upper side of the inner heating vessel being opened, And an external heating container for preventing the evaporation material from flowing out to the outside during the breakage of the high temperature evaporation source.

Description

외부 가열용기를 포함하는 고온 증발원{HIGH TEMPERATURE EVAPORATION HAVING OUTER HEATING CONTAINER}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a high temperature evaporation source including an external heating vessel,

본 발명은 박막 증착장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 박막 증착장치에서 고온의 물질을 증발시킬 수 있는 고온 증발원에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a thin film deposition apparatus, and more particularly, to a high temperature evaporation source capable of evaporating a high temperature material in a thin film deposition apparatus.

반도체 소자 또는 평판 디스플레이 소자의 제작에 주로 사용되는 박막 증착장치는 용기 내의 하부에 증착 물질을 담은 도가니를 설치하고, 도가니를 가열하여 내부의 증착 물질을 증발시켜 상부에 위치한 기판에 증착하는 방식으로 박막을 제조하는 장치이다.A thin film deposition apparatus, which is mainly used for manufacturing a semiconductor device or a flat panel display device, includes a crucible containing an evaporation material in a lower portion of a container, heating the crucible to evaporate the evaporation material therein, .

일반적으로 박막 증착장치에서 진공 가열 증착 방법을 통하여 박막을 제조하는데, 진공 가열 증착이란 진공 용기 내의 기판 아래에 증발 물질이 담겨있는 도가니를 두고 도가니를 가열하여 증발 물질을 증발시켜 기판에 박막을 코팅하는 방법을 말한다.Generally, a thin film is manufactured by a vacuum heating deposition method in a thin film deposition apparatus. In vacuum heating deposition, a crucible having an evaporation material is placed under a substrate in a vacuum container, a crucible is heated to evaporate the evaporation material, How to say.

이러한 진공 가열 증착에서 증발용기의 증발 물질을 가열시키는 방법에는 열선을 이용한 간접가열, 증발용기에 직접 전기를 흘리는 직접가열 또는 전자선을 이용한 전자선(E-beam) 가열 등의 방법이 사용된다. 이 중에서 열선을 이용하는 간접 가열방식이 증착제어가 안정적이기 때문에 많이 사용되고 있다.Methods for heating the evaporation material in the evaporation vessel in the vacuum heating deposition include indirect heating using a hot wire, direct heating to direct electricity to the evaporation vessel, or electron beam (E-beam) heating using an electron beam. Among them, the indirect heating method using hot wire is widely used because the deposition control is stable.

이러한 간접 가열 방식의 증착장치에는 증발용기와 이를 가열할 수 있는 가열부가 필요한데, 일반적으로 원통 형상 증발용기와 증발용기를 감싸는 필라멘트 방식의 가열부를 많이 사용한다. 상기와 같은 필라멘트를 이용한 간접 가열로 800℃ 정도의 온도로 증발용기를 가열시키는 데에는 큰 어려움이 없으나 그 이상의 가열이 필요한 경우의 증발원을 고온 증발원이라고 일컬을 수 있다. 이러한 고온 증발원은 주로 알루미늄 같은 금속물질이나 무기물을 증착시킬 때 사용하게 된다.Such an indirect heating type evaporation apparatus requires an evaporation vessel and a heating unit capable of heating the evaporation vessel. Generally, a cylindrical-shaped evaporation vessel and a filament-type heating unit which surrounds the evaporation vessel are often used. There is no great difficulty in heating the evaporation vessel to a temperature of about 800 DEG C by the indirect heating using the filament as described above, but the evaporation source in the case where the evaporation vessel is heated further may be referred to as a high temperature evaporation source. These high-temperature evaporation sources are mainly used for depositing metal materials such as aluminum and inorganic materials.

이러한 고온 증발원은 저온의 증발원에 비하여 가열 효율과 열에 의한 외부 장치의 보호의 필요성이 더욱 증가된다. 일반적으로 증발용기는 고온의 열을 받기 때문에 온도 변화나 충격에 의해 균열이나 파손이 발생할 우려가 있고, 이에 따라 증발 물질이 증발원 내부로 유입되어 주변 장치를 오염시키는 문제가 발생할 수 있다.Such a high temperature evaporation source further increases the heating efficiency and the necessity of protecting the external device by heat as compared with the low temperature evaporation source. In general, since the evaporation vessel receives heat at a high temperature, cracks or breakage may occur due to a temperature change or an impact. Accordingly, evaporation materials may flow into the evaporation source and contaminate peripheral devices.

이러한 오염이 발생하는 경우 증발용기는 물론 고온 증발원을 이루는 구성 전체를 교체하는 데 따르는 시간과 비용에 대한 비경제성의 문제가 있고, 박막 증착장치의 고온 증발원에 있어서 증발용기가 파손되더라도 주변 장치의 오염을 방지할 수 있는 구조에 대한 요청이 제기된다.If such contamination occurs, there is a problem of inconvenience in terms of the time and cost involved in replacing the entire constituent of the evaporation vessel as well as the evaporation vessel, and even if the evaporation vessel is broken at the high temperature evaporation source of the film deposition apparatus, A request is made for a structure that can prevent the problem.

본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 고온 증발원에서 증발용기의 균열이나 파손이 발생하더라도 주변 장치의 증발 물질로 인한 오염을 방지할 수 있는 구조를 가지는 외부 가열용기를 포함하는 고온 증발원를 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to provide an external heating container having a structure capable of preventing contamination due to evaporation material of a peripheral device even if cracks or breakage of the evaporation container occur in a high temperature evaporation source To provide a high-temperature evaporation source.

본 발명은 증발용기와; 상기 증발용기의 외주측에 배치되는 증발히터와; 상기 증발용기를 지지하는 지지부재를 포함하는 고온 증발원에 있어서, 상기 증발용기는 내부에 증발물질이 저장되는 공간을 가지며 상측이 개방된 내부 가열용기와, 상기 내부 가열용기가 내삽되며 상기 내부 가열용기의 파손시 증발 물질이 외부로 유출되는 것을 방지하는 외부 가열용기를 포함하는 것을 특징으로 하는 고온 증발원을 개시한다.The present invention relates to an evaporation vessel, An evaporation heater disposed on an outer peripheral side of the evaporation vessel; And a support member for supporting the evaporation vessel, wherein the evaporation vessel includes an inner heating vessel having a space in which evaporation materials are stored, the upper side of the inner heating vessel being opened, And an external heating container for preventing the evaporation material from flowing out to the outside during the breakage of the high temperature evaporation source.

상기 내부 가열용기는 상기 외부 가열용기와의 사이에 공간이 형성되도록 이격되어 배치될 수 있다.The inner heating vessel may be spaced apart from the outer heating vessel to form a space therebetween.

상기 내부 가열용기는 내부 공간에 증발 물질이 수용되는 몸체부와 상기 몸체부의 상단부에서 외주측으로 돌출되는 플랜지부로 이루어지고, 상기 외부 가열용기는 내부 공간에 내부 가열용기가 수용되는 수용부와 상기 수용부의 상단부에서 외주측으로 돌출되는 지지부로 이루어질 수 있다.Wherein the inner heating container comprises a body portion in which an evaporation material is accommodated in an inner space and a flange portion protruding from an upper end of the body portion to an outer periphery, And a support protruding from the upper end to the outer periphery of the part.

상기 지지부는 상기 플랜지부의 하측에 밀착되어 배치되며 상기 지지부재에 의하여 지지될 수 있다.The support portion is disposed in close contact with the lower side of the flange portion and can be supported by the support member.

상기 지지부재는 상기 증발히터의 외주측에 배치되며, 냉매 유로가 형성되어 상기 증발히터에 의한 열이 외부로 발산되는 것을 막을 수 있다.The support member is disposed on the outer circumferential side of the evaporation heater, and a coolant channel is formed to prevent heat generated by the evaporation heater from being diverted to the outside.

상기 지지부재는 상기 증발히터의 외주측에 배치되는 외부 지지부재와, 상기 외부 지지부재와 증발히터 사이에 배치되는 내부 지지부재로 이루어지며, 상기 지지부는 상기 외부 지지부재에 지지되며, 상기 플랜지부는 상기 내부 지지부재에 지지될 수 있다.Wherein the support member comprises an outer support member disposed on an outer peripheral side of the evaporation heater and an inner support member disposed between the outer support member and the evaporation heater, the support portion being supported by the outer support member, And can be supported by the inner supporting member.

상기 내부 지지부재는 상기 증발히터에 의한 열이 외부로 발산되는 것을 막을 수 있다.The inner support member can prevent the heat generated by the evaporation heater from being diverted to the outside.

상기 외부 지지부재는 냉매 유로가 형성되어 상기 증발히터에 의한 열이 외부로 발산되는 것을 막을 수 있다.The external support member may prevent a heat generated by the evaporation heater from being radiated to the outside by forming a refrigerant passage.

본 발명에 따른 외부 가열용기를 포함하는 고온 증발원는, 증발용기 위부에 보호장치로서 외부의 용기가 배치되기 때문에 증발용기가 파손되더라도 증발원을 이루는 구성들에 대한 증발 물질로 인한 오염이 방지될 수 있으므로 유지보수성이 향상되는 효과가 있다.The high temperature evaporation source including the external heating container according to the present invention can prevent the contamination due to the evaporation material from constituting the evaporation source even if the evaporation container is broken due to the arrangement of the external container as a protecting device on the upper part of the evaporation container. The water retention property is improved.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 외부 가열용기를 포함하는 고온 증발원를 도시한 측단면도이다.
도 2는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 외부 가열용기를 포함하는 고온 증발원를 도시한 측단면도이다.1 is a side cross-sectional view illustrating a high temperature evaporation source including an external heating vessel according to an embodiment of the present invention.
2 is a side cross-sectional view illustrating a high-temperature evaporation source including an external heating container according to another embodiment of the present invention.

이하 본 발명에 따른 외부 가열용기를 포함하는 고온 증발원에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a high temperature evaporation source including an external heating vessel according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 외부 가열용기를 포함하는 고온 증발원는 도 1에 나타난 바와 같이 내부 가열용기(200)와; 상기 내부 가열용기(200)의 외주측에 배치되는 증발히터(300)와; 상기 내부 가열용기(200)를 지지하는 지지부재(100)를 포함하는 고온 증발원(10)에 있어서, 상기 내부 가열용기(200)는 내부에 증발 물질이 저장되는 공간을 가지며 상측이 개방된 내부 가열용기(200)와, 상기 내부 가열용기(200)가 내삽되며 상기 내부 가열용기(200)의 파손시 증발 물질이 외부로 유출되는 것을 방지하는 외부 가열용기(400)를 포함하는 것을 특징으로 하는 고온 증발원(10)을 개시한다.The high temperature evaporation source including the external heating vessel according to the present invention includes an internal heating vessel 200 as shown in FIG. 1; An evaporation heater 300 disposed on an outer peripheral side of the inner heating vessel 200; In the high temperature evaporation source (10) including the support member (100) supporting the inner heating vessel (200), the inner heating vessel (200) has a space in which evaporation materials are stored, And an external heating vessel (400) for preventing the evaporation material from flowing out to the outside when the internal heating vessel (200) is broken and the internal heating vessel (200) The evaporation source 10 is started.

고온 증발원(10)은 진공 가열 증착에 사용되는 장치로서, 진공의 용기(미도시) 내의 기판 아래에 증발 물질이 내부에 수용되는 도가니 형태의 내부 가열용기(200)를 배치하고, 상기 내부 가열용기(200)를 증발히터(300)를 통해 가열하여 증발 물질을 증발시켜 기판에 박막을 코팅하는 장치로서 알루미늄과 같은 금속 물질이나 무기 물질을 증착시키는 데 다양하게 사용될 수 있다.The high-temperature evaporation source 10 is an apparatus used for vacuum heating deposition, in which a crucible-shaped internal heating vessel 200 in which evaporation material is accommodated is disposed under a substrate in a vacuum vessel (not shown) The evaporation material is evaporated by heating the evaporation source 200 through the evaporation heater 300 to apply a thin film to the substrate. The evaporation material may be variously used to deposit a metal or an inorganic material such as aluminum.

본 발명의 고온 증발원(10)은 내부 가열용기(200)를 가열하기 위하여 내부 가열용기(200)의 외주측에 열선 형태의 증발히터(300)를 배치하여 간접가열하는 방식을 사용하는 예가 도시되는데, 상기 증발히터(300)의 배치는 선택에 따라 다양하게 이루어질 수 있다.The high temperature evaporation source 10 of the present invention uses an indirect heating method in which a hot wire type evaporation heater 300 is disposed on the outer circumferential side of the inner heating vessel 200 for heating the inner heating vessel 200 And the arrangement of the evaporation heaters 300 may be variously selected.

본 발명의 고온 증발원(10)에서 내부 가열용기(200), 증발히터(300) 및 외부 가열용기(400)는 고온에 내구성이 보장될 수 있는 재질이 다양하게 사용될 수 있고, 상호간에 서로 다른 재질이나 동일한 재질로 선택적으로 이루어질 수 있다. 그 예로서 탄탈륨, AlN, PBN 또는 텅스텐과 같은 재질이 사용될 수 있으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.In the high temperature evaporation source 10 of the present invention, the inner heating vessel 200, the evaporation heater 300, and the outer heating vessel 400 may be made of various materials capable of ensuring durability at high temperature, Or the same material. For example, materials such as tantalum, AlN, PBN, or tungsten may be used, but the present invention is not limited thereto.

지지부재(100)는 상기 내부 가열용기(200)를 지지하는 부재로서, 고온 증발원(10)의 외형을 이루는 하우징이나, 내부 가열용기(200) 및 증발히터(300)로부터 외부로 열전달을 차폐하는 배치되는 방열판(도 2의 500) 또는 고온 증발원(10) 내부의 프레임과 같은 구성을 의미할 수 있다.The support member 100 is a member for supporting the inner heating vessel 200 and includes a housing constituting the external shape of the high temperature evaporation source 10 or a housing for shielding heat transfer from the inner heating vessel 200 and the evaporation heater 300 to the outside (500 in FIG. 2) or a frame inside the high-temperature evaporation source 10, as shown in FIG.

상기 지지부재(100)는 상기 증발히터(300)의 외주측에 배치되며, 냉매 유로가 형성되어 상기 증발히터(300)의 열이 외부로 발산되는 것을 막도록 구성될 수 있다.The support member 100 is disposed on the outer circumferential side of the evaporation heater 300 and may be configured to prevent the heat of the evaporation heater 300 from being diverted to the outside.

외부 가열용기(400)는 상측이 개방되어 내부 가열용기(200)가 상측에서 삽입되어 결합되고, 내주의 형상이 내부 가열용기(200)의 외주의 형상에 실질적으로 대응되도록 이루어질 수 있다.The outer heating vessel 400 may be opened so that the inner heating vessel 200 is inserted and coupled from the upper side and the shape of the inner vessel substantially corresponds to the shape of the outer periphery of the inner heating vessel 200.

상기 외부 가열용기(400)의 외주측에는 증발히터(300)가 배치되고, 상기 증발히터(300)로부터 전달되는 열이 내부 가열용기(200)에 전달되어 내부에 수용되는 증발 물질을 가열하여야 하기 때문에 외부 가열용기(400)를 이루는 재질은 열전도성과 열에 대한 내구성이 강한 물질로 이루어지는 것이 바람직하다. Since the evaporation heater 300 is disposed on the outer circumference side of the external heating vessel 400 and the heat transferred from the evaporation heater 300 is transferred to the internal heating vessel 200 to heat the evaporation material contained therein The material of the external heating container 400 is preferably made of a material having high thermal conductivity and heat resistance.

열전도율의 향상을 위하여 상기 외부 가열용기(400)의 내주면과 내부 가열용기(200)의 외주면은 상호간에 밀착되어 배치될 수 있지만, 상기 내부 가열용기(200)는 상기 외부 가열용기(400)와의 사이에 공간이 형성되도록 이격되어 배치되는 것이 바람직하다.In order to improve the thermal conductivity, the inner circumferential surface of the outer heating vessel 400 and the outer circumferential surface of the inner heating vessel 200 may be disposed in close contact with each other. However, the inner heating vessel 200 may be disposed between the outer heating vessel 400 So as to form a space therebetween.

또한, 상기 외부 가열용기(400)의 저면은 내부 가열용기(200)의 저부로부터 이격되어 배치될 수 있는데, 이 경우 내부 가열용기(200)의 저부와 외부 가열용기(400)의 저면 사이에는 소정의 공간이 형성된다.The bottom of the outer heating vessel 400 may be spaced apart from the bottom of the inner heating vessel 200. In this case, Is formed.

상기 내부 가열용기(200)와 외부 가열용기(400)는 서로 다른 재질로 이루어질 수도 있고 서로 다른 두께로 이루어질 수도 있다. 이때 증발히터(300)에 의한 가열 과정에서 열팽창률이 상호 다를 수 있고 상기 공간은 내부 가열용기(200)가 변형될 수 있는 여유 공간으로서 기능할 수 있다.The inner heating vessel 200 and the outer heating vessel 400 may be made of different materials or may have different thicknesses. In this case, the thermal expansion coefficients may be different from each other during the heating process by the evaporation heater 300, and the space may function as a clearance space in which the inner heating vessel 200 can be deformed.

도 2에서는 이러한 여유 공간이 구비되는 예가 도시되는데, 화살표로 표시된 바와 같이 내부 가열용기(200)가 열팽창에 의해서 하방으로 변형이 이루어지더라도 외부 가열용기(400)의 저면과의 사이에 거리만큼의 안전성이 확보될 수 있다.2 shows an example in which such a clearance is provided. Even if the internal heating vessel 200 is deformed downward due to thermal expansion as indicated by an arrow, a distance between the inner heating vessel 200 and the bottom surface of the external heating vessel 400 Safety can be ensured.

상기와 같이 여유 공간이 형성되면 상기 내부 가열용기(200)의 저부와 외부 가열용기(400)의 저면이 상호 밀착되는 경우에 서로 다른 열팽창률을 가짐에 따라 발생하는 파손의 위험성이 제거될 수 있는 이점이 있음에 유의하여야 한다.When the bottom of the inner heating vessel 200 and the bottom of the outer heating vessel 400 are in close contact with each other, the risk of breakage caused by having different thermal expansions can be eliminated, It should be noted that there are advantages.

상기 이격되는 거리는 열팽창률과 공간적인 배치관계를 고려하여 선택적으로 이루어질 수 있다.The spacing distance can be selectively made considering the thermal expansion coefficient and spatial arrangement relationship.

또한, 내부 가열용기(200)는 내부 공간에 증발 물질이 수용되는 몸체부(202)와, 상기 몸체부(202)의 상단부에서 외주측으로 돌출되는 플랜지부(201)로 이루어질 수 있고, 이 경우 상기 플랜지부(201)는 하우징과 같은 지지부재에 의하여 지지될 수 있다.The inner heating vessel 200 may include a body portion 202 in which an evaporation material is contained in an inner space and a flange portion 201 protruding from the upper end of the body portion 202 to the outer circumference. The flange portion 201 may be supported by a supporting member such as a housing.

상기 외부 가열용기(400)는 내부 가열용기(200)의 형상에 대응되도록 내부 공간에 내부 가열용기(200)를 수용하는 수용부(402)와, 상기 수용부의 외주측으로 돌출되는 지지부(401)를 포함하여 이루어질 수 있다.The external heating container 400 includes a receiving portion 402 for receiving the internal heating container 200 in the internal space so as to correspond to the shape of the internal heating container 200 and a supporting portion 401 projecting to the outer peripheral side of the receiving portion 200 .

상기 플랜지부(201)와 지지부(401)는 원기둥 형상의 상단부에서 외주측으로 돌출되는 링 형상으로 이루어질 수 있다.The flange portion 201 and the support portion 401 may have a ring shape protruding from the upper end of the cylindrical shape to the outer periphery.

도 1의 실시예에서는 플랜지부(201)의 하측이 지지부(401)의 상측에 지지되고, 지지부재(100)가 지지부(401)의 하측을 지지하는 예가 도시되었다. 이 경우 상기 지지부재(100)는 방열판을 의미할 수도 있음은 상기한 바와 같다.In the embodiment of FIG. 1, the lower side of the flange portion 201 is supported on the support portion 401, and the support member 100 supports the lower side of the support portion 401. In this case, the support member 100 may be a heat sink.

그런데, 이러한 실시예에서 내부 가열용기(200)의 상측에 바람직하지 않은 열전달이 발생하여 증발 물질이 외부로 넘치는 현상이 발생할 수 있고, 이러한 문제를 해결하기 위한 구성은 도 2와 관련하여 이하 더욱 구체적으로 설명한다.However, in this embodiment, an undesirable heat transfer may occur on the upper side of the internal heating vessel 200, causing a phenomenon that the evaporation material overflows to the outside. In order to solve such a problem, .

도 2는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 외부 가열용기를 포함하는 고온 증발원를 도시한 측단면도로서, 외부 가열용기(400)의 지지부(401)가 내부 가열용기(200)의 플랜지부(201)보다 하측에 이격되어 배치될 수 있다.2 is a side cross-sectional view illustrating a high-temperature evaporation source including an external heating container according to another embodiment of the present invention. The supporting portion 401 of the external heating container 400 is connected to the flange portion 201 of the internal heating container 200, And can be disposed apart from the lower side.

이러한 구조를 가짐에 따라 외부 가열용기(400)로부터 내부 가열용기(200)의 상단부측으로 전달되는 열을 최소화할 수 있는 이점을 가지게 된다.With such a structure, there is an advantage that heat transmitted from the external heating vessel 400 to the upper end side of the internal heating vessel 200 can be minimized.

상기 내부 가열용기(200)와 외부 가열용기(400)의 고온 증발원(10)에서의 지지부위는 서로 다르게 이루어질 수 있는데 더욱 구체적으로는 상기 플랜지부(201)를 지지하는 부위는 고온 증발원(10)의 상단부측에 형성되는 냉각부(미도시)나 하우징(미도시)의 부위일 수 있고, 상기 지지부(401)를 지지하는 부위는 내부 지지부재(500)일 수 있다.The supporting portion of the inner heating vessel 200 and the outer heating vessel 400 may be different from each other in the high temperature evaporation source 10. More specifically, the portion supporting the flange portion 201 may be a high temperature evaporation source 10, (Not shown) or a housing (not shown) formed on the upper end side of the support portion 401. The support portion 401 may be a portion of the inner support member 500. [

상기 내부 지지부재(500)는 상기 증발히터(300)에 의한 열이 외부로 박산되는 것을 막는 일종의 방열판으로서 기능할 수 있고, 상기 외부 지지부재(100)는 상기한 바와 같이 냉매 유로가 형성되어 상기 증발히터(300)에 의한 열이 외부로 발산되는 것을 막을 수 있다.The inner support member 500 may function as a kind of heat dissipation plate for preventing heat generated by the evaporation heater 300 from being discharged to the outside, The heat generated by the evaporation heater 300 can be prevented from being radiated to the outside.

도 1에서 설명된 상기 지지부재는 외부 지지부재(100)와 상기 외부 지지부재(100)와 증발히터(300) 사이에 배치되는 내부 지지부재(500)로 이루어질 수 있다.The support member illustrated in FIG. 1 may include an outer support member 100 and an inner support member 500 disposed between the outer support member 100 and the evaporation heater 300.

바람직하게는 상기 플랜지부(201)를 지지하는 외부 지지부재(100)는 냉각부를 의미할 수 있는데, 이 경우 내부 가열용기(200)의 상단부측의 온도가 몸체부(202)보다 비교적 낮게 이루어지기 때문에 증발 물질이 외부로 끓어 넘치는 현상이 방지될 수 있고, 이는 기판에 기화되지 않은 증발 물질이 증착되는 현상을 방지하여 작동 신뢰성을 향상시키고 고온 증발원(10) 내부에 증발 물질이 유입되는 현상을 방지하여 내구성을 향상시킬 수 있음을 의미한다.Preferably, the external support member 100 supporting the flange portion 201 may refer to a cooling portion. In this case, the temperature of the upper end side of the internal heating container 200 is relatively lower than that of the body portion 202 Therefore, it is possible to prevent the evaporation material from boiling out to the outside, which prevents evaporation of vaporized material that is not vaporized on the substrate, thereby improving operational reliability and preventing evaporation material from flowing into the high temperature evaporation source 10 Thereby improving durability.

다만 상기 플랜지부(201)와 지지부(401)는 동일한 부재의 서로 다른 부위에 지지될 수도 있음은 물론이다.However, it is needless to say that the flange portion 201 and the support portion 401 may be supported at different portions of the same member.

상기 내부 지지부재(500)는 상측이 개방된 원통 형상으로 이루어지고 상기 외부 가열용기(400)의 외주측을 감싸도록 배치되어 내부 가열용기(200), 증발히터(300) 및 외부 가열용기(400)장치로부터 외부로 방출되는 열을 차단하는 역할을 한다.The inner supporting member 500 has a cylindrical shape with an opened upper side and is disposed so as to surround the outer circumferential side of the outer heating container 400 and is connected to the inner heating container 200, the evaporation heater 300, and the outer heating container 400 ) It serves to cut off the heat released from the device to the outside.

상기 내부 지지부재(500)는 하나의 판재로 이루어질 수도 있고, 복수의 판재들이 배치되어 이루어질 수도 있다.The inner support member 500 may be formed of one plate material, or a plurality of plate materials may be disposed.

또한 상기 내부 지지부재(500)는 외부 가열용기(400)의 외면과의 사이에 형성되는 공간에 증발히터(300)를 전부 수용하면서 외부와 공간적으로 차폐되도록 배치될 수도 있다.The inner support member 500 may be disposed so as to be spatially shielded from the outside while completely accommodating the evaporation heater 300 in a space formed between the inner support member 500 and the outer surface of the outer heating vessel 400.

이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention as defined in the appended claims. It is to be understood that both the technical idea and the technical spirit of the invention are included in the scope of the present invention.

10...고온 증발원 100...지지부재
200...내부 가열용기 300...증발히터
400...외부 가열용기10 ... high temperature evaporation source 100 ... supporting member
200 ... internal heating container 300 ... evaporation heater
400 ... External heating container

Claims (8)

증발용기와;
상기 증발용기의 외주측에 배치되는 증발히터와;
상기 증발용기의 상단부를 지지하는 지지부재를 포함하는 고온 증발원에 있어서,
상기 증발용기는 내부에 증발물질이 저장되는 공간을 가지며 상측이 개방된 내부 가열용기와,
상기 내부 가열용기가 내삽되며 상기 내부 가열용기의 파손시 증발 물질이 외부로 유출되는 것을 방지하여 상기 고온 증발원에 설치되는 주변 장치가 증발 물질로 인해 오염되는 것을 방지하는 외부 가열용기를 포함하며,
상기 내부 가열용기는 내부 공간에 증발 물질이 수용되는 몸체부와 상기 몸체부의 상단부에서 외주측으로 돌출되는 플랜지부로 이루어지고,
상기 외부 가열용기는 내부 공간에 내부 가열용기가 수용되는 수용부와 상기 수용부의 상단부에서 외주측으로 돌출되는 지지부로 이루어지며,
상기 지지부재는 상기 증발히터의 외주측에 배치되며, 상기 증발히터에 의한 열이 외부로 발산되는 것을 막기 위해 냉매 유로가 형성되는 것을 특징으로 하는 고온 증발원.An evaporation vessel;
An evaporation heater disposed on an outer peripheral side of the evaporation vessel;
And a support member for supporting an upper end portion of the evaporation vessel,
Wherein the evaporation vessel includes an internal heating vessel having a space for storing evaporation material therein and having an open upper side,
And an external heating container for preventing the peripheral device installed in the high temperature evaporation source from being contaminated by the evaporation material while preventing the evaporation material from flowing out to the outside when the internal heating container is broken and the internal heating container is broken,
Wherein the inner heating container comprises a body portion in which an evaporation material is accommodated in an inner space and a flange portion protruding from an upper end portion of the body portion to an outer periphery,
Wherein the external heating container comprises a housing portion in which an internal heating container is housed in an internal space and a support portion protruding from an upper end portion of the housing portion to an outer circumferential side,
Wherein the support member is disposed on an outer circumferential side of the evaporation heater, and a refrigerant channel is formed to prevent heat generated by the evaporation heater from being radiated to the outside. 청구항 1에 있어서,
상기 내부 가열용기는 상기 외부 가열용기와의 사이에 공간이 형성되도록 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는 고온 증발원.The method according to claim 1,
Wherein the inner heating vessel is spaced apart from the outer heating vessel so as to form a space therebetween. 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 지지부는 상기 플랜지부의 하측에 밀착되어 배치되며 상기 지지부재에 의하여 지지되는 것을 특징으로 하는 고온 증발원.The method according to claim 1,
Wherein the support portion is disposed in close contact with the lower side of the flange portion and is supported by the support member. 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 지지부재는 상기 증발히터의 외주측에 배치되는 외부 지지부재와, 상기 외부 지지부재와 증발히터 사이에 배치되는 내부 지지부재로 이루어 지며,
상기 외부 지지부재에는 상기 증발히터에 의한 열이 외부로 발산되는 것을 막기 위해 냉매 유로가 형성되며,
상기 지지부는 상기 내부 지지부재에 지지되며, 상기 플랜지부는 상기 외부 지지부재에 지지되는 것을 특징으로 하는 고온 증발원.The method according to claim 1,
Wherein the support member comprises an outer support member disposed on an outer peripheral side of the evaporation heater and an inner support member disposed between the outer support member and the evaporation heater,
A refrigerant passage is formed in the external support member to prevent heat generated by the evaporation heater from being radiated to the outside,
Wherein the support portion is supported by the inner support member, and the flange portion is supported by the outer support member. 청구항 6에 있어서,
상기 내부 지지부재는 상기 증발히터에 의한 열이 외부로 발산되는 것을 막는 방열판인 것을 특징으로 하는 고온 증발원.The method of claim 6,
Wherein the inner supporting member is a heat dissipating plate that prevents heat generated by the evaporation heater from being radiated to the outside. 삭제delete
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