KR20130066928A - 게이트 밸브의 벨로우즈 보호 구조 - Google Patents

게이트 밸브의 벨로우즈 보호 구조 Download PDF

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Abstract

본 발명은 게이트 밸브의 실 유니트에서 개폐 실린더 내의 진퇴하는 로드부를 감싸고 있는 벨로우즈에 대하여 내부에서 일정 이상의 공기압이 가해지더라도 이를 감지해 해당 공기압을 해소시킴으로서 가압으로 인한 벨로우즈의 손상이나 수명 단축을 미연에 방지할 수 있는 게이트 밸브의 벨로우즈 보호 구조에 관한 것으로, 공기압의 유입에 따라 씰유니트부가 작동하여 밸브 케이싱의 개구부를 개폐하는 게이트 밸브에 있어서 프리 구동압과 록 구동압에 따라 진퇴하는 로드부를 감싸는 벨로우즈의 보호 구조로서, 상기 씰유니트부는 상기 로드부가 구비되는 개폐 실린더와, 상기 개폐 실린더가 고정되며 개폐를 위한 프리 구동압과 록 구동압을 전달받아 각각 프리 구동압 배출구와 록 구동압 배출구를 통해 배출하여 상기 개폐 실린더로 전달하는 백플레이트와, 상기 개폐 실린더의 로드부가 부착되는 씰플레이트로 구성되며, 상기 개폐 실린더에는 벨로우즈의 내기를 감지하는 안전밸브가 구비되며, 상기 벨로우즈에 가해지는 내기가 기준 압력을 초과하면 벨로우즈의 내기를 해당 안전밸브를 통해 외부로 배기시키는 것을 특징으로 한다.

Description

게이트 밸브의 벨로우즈 보호 구조{BELLOWS PROTECT STRUCTURE FOR GATE VALVE}
본 발명은 게이트 밸브의 벨로우즈 보호 구조에 관한 것으로, 보다 상세하게는 게이트 밸브의 실 유니트에서 개폐 실린더 내의 진퇴하는 로드부를 감싸고 있는 벨로우즈에 대하여 내부에서 일정 이상의 공기압이 가해지더라도 이를 감지해 해당 공기압을 해소시킴으로서 가압으로 인한 벨로우즈의 손상이나 수명 단축을 미연에 방지할 수 있는 게이트 밸브의 벨로우즈 보호 구조에 관한 것이다.
일반적으로 LCD 기판이나 반도체 소자, 솔라셀 등을 제조하기 위한 공정의 대부분은 진공 상태에서 진행된다. 따라서 LCD 기판이나 반도체 소자를 제조하기 위한 공정을 수행하는 장비는 진공 장비가 대부분이며, 이러한 진공 장비에는 진공 장비 내부의 고진공을 유지하기 위하여 진공 펌프가 사용되며, 진공 장비의 챔버와 챔버 사이에서 챔버의 진공도를 유지 또는 진공 챔버의 목적물이 통과될 수 있도록 개폐의 역할을 하기 위해 게이트 밸브(Gate Valve)가 구비된다.
이러한 게이트 밸브는 기술의 발전 및 생산성의 향상 등을 위해서 웨이퍼 또는 글라스 기판 등의 대형화로 인하여 그에 따른 게이트 밸브도 대형화되고 있지만, 기존의 캠 구조 또는 슬릿 밸브로의 대응은 중량 증가, 다수의 구동부 필요, 유지 보수 개소의 증가, 작동 속도의 지연 등으로 인하여 실현이 매우 어려운 문제점이 있다.
일반적으로 게이트 밸브의 구성은 진공 챔버의 사이에 설치되는 밸브 케이싱, 진공 챔버의 개구부를 개폐하는 씰유니트부, 씰유니트부를 승강시키는 승강 구동부, 그리고 공압 공급 및 동작을 제어하기 위한 제어반으로 구성된다.
여기에서 씰유니트부의 내부에는 백플레이트와 씰플레이트 사이에 개재되어 로드부를 통해 백플레이트와 씰플레이트를 전후진시켜 개폐 동작을 수행하는 개폐 실린더가 구비되게 되는데, 이러한 개폐 실린더의 로드부에는 밀봉(Seal) 동작에서 압력으로부터 로드부를 보호하기 위하여 벨로우즈와 같은 탄성체가 삽입된다.
하지만, 이러한 벨로우즈와 로드부 사이의 내기가 대기압 이상으로 올라가게 되면, 해당 벨로우즈의 수명에 현격한 저하가 발생하게 되어 수명 예측이 어려우며, 더불어 재료의 특성상 이러한 대기압에 의해 심각한 변형이나 손상이 발생되기 때문에 현장에서는 예기치 않은 기능 이상으로 인해 작업 지연과 불량 발생으로 큰 손실을 보고 있으며 유지 보수가 필요한 경우에 게이트 밸브 전체를 해체하여야 하는 어려움도 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 그 목적은 게이트 밸브의 실 유니트에서 개폐 실린더 내의 진퇴하는 로드부를 감싸고 있는 벨로우즈에 대하여 내부에서 일정 이상의 공기압이 가해지더라도 이를 감지해 해당 공기압을 해소시킴으로서 가압으로 인한 벨로우즈의 손상이나 수명 단축을 미연에 방지할 수 있는 게이트 밸브의 벨로우즈 보호 구조를 제공하는 것이다.
또한, 벨로우즈 보호를 위한 공기압 해소 시 실린더 개폐를 위한 기존의 공기압 유로를 그대로 사용함으로써 구성의 간소화와 기존 제품에의 적용성을 높일 수 있는 게이트 밸브의 벨로우즈 보호 구조를 제공하는 것이다.
본 발명의 일측면에 따르면, 공기압의 유입에 따라 씰유니트부가 작동하여 밸브 케이싱의 개구부를 개폐하는 게이트 밸브에 있어서 프리 구동압과 록 구동압에 따라 진퇴하는 로드부를 감싸는 벨로우즈의 보호 구조로서, 상기 씰유니트부는 상기 로드부가 구비되는 개폐 실린더와, 상기 개폐 실린더가 고정되며 개폐를 위한 프리 구동압과 록 구동압을 전달받아 각각 프리 구동압 배출구와 록 구동압 배출구를 통해 배출하여 상기 개폐 실린더로 전달하는 백플레이트와, 상기 개폐 실린더의 로드부가 부착되는 씰플레이트로 구성되며, 상기 개폐 실린더에는 벨로우즈의 내기를 감지하는 안전밸브가 구비되며, 상기 벨로우즈에 가해지는 내기가 기준 압력을 초과하면 벨로우즈의 내기를 해당 안전밸브를 통해 외부로 배기시키는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브의 벨로우즈 보호 구조를 제공한다.
바람직하게는, 상기 안전밸브는, 일측의 개방구를 통해 상기 벨로우즈에 가해지는 내기를 받아들이는 측정구; 상기 측정구와 연결되어 측정구를 통해 인입되는 공기압에 따라 개폐되는 몸체부; 및 상기 몸체부와 연결되어 몸체부의 개방시 해당 공기압을 배기시키는 배기구; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 몸체부는, 일측이 고정단으로서 고정설치되는 탄성부재; 및 상기 탄성부재의 자유단에 일측이 결합되며 타측이 상기 측정구를 막고 있는 게이트; 를 포함하여 구성되며, 측정구를 따라 인입되는 벨로우즈의 내기가 기준 압력을 초과하면 게이트가 후퇴하여 상기 측정구와 배기구를 연통시키는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 배기구는 록 구동압 배출구를 통해 벨로우즈의 내기를 배기시키는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 배기구는 프리 구동압 배출구를 통해 벨로우즈의 내기를 배기시키는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 게이트 밸브의 실 유니트에서 개폐 실린더 내의 진퇴하는 로드부를 감싸고 있는 벨로우즈에 대하여 내부에서 일정 이상의 공기압이 가해지더라도 이를 감지해 해당 공기압을 해소시킴으로서 가압으로 인한 벨로우즈의 손상이나 수명 단축을 미연에 방지할 수 있게 되는 효과가 있다.
또한, 벨로우즈 보호를 위한 공기압 해소 시 실린더 개폐를 위한 기존의 공기압 유로를 그대로 사용함으로써 구성의 간소화와 기존 제품에의 적용성을 높일 수 있게 되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명이 적용되는 게이트 밸브의 씰유니트부 승강 상태를 나타내는 도면.
도 2는 본 발명이 적용되는 게이트 밸브의 씰유니트부 하강 상태를 나타내는 도면.
도 3은 본 발명이 적용되는 게이트 밸브의 씰유니트부를 나타내는 사시도.
도 4는 본 발명에 따른 벨로우즈 보호 구조가 적용된 씰유니트부의 개방 상태를 나타내는 단면도.
도 5는 본 발명에 따른 벨로우즈 보호 구조가 적용된 씰유니트부의 폐쇄 상태를 나타내는 단면도.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 안전 밸브의 구조를 설명하기 위한 도면.
이하 본 발명에 따른 게이트 밸브의 벨로우즈 보호 구조에 대한 실시 예를 첨부한 도면을 참고하여 더 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명이 적용되는 게이트 밸브의 씰유니트부 승강 상태를 나타내는 도면이고, 도 2는 본 발명이 적용되는 게이트 밸브의 씰유니트부 하강 상태를 나타내는 도면이다.
본 발명이 적용되는 게이트 밸브는 진공 챔버의 사이에 설치되며 소정의 개구부를 갖는 밸브 케이싱(100)과, 상기 밸브 케이싱(100) 내에 내장되며 개구부를 개폐하는 씰유니트부(300)와, 상기 씰유니트부(300)를 승강 또는 하강시키는 승강 구동부(200)와, 공급 공급 및 동작 제어를 수행하는 제어반(400)을 포함하여 구성된다.
상기 승강 구동부(200)는 승강 실린더와 가이드 블럭으로 구성되어 공압에 의해 상기 씰유니트부(300)를 승하강시킨다. 여기에서 상기 승강 실린더는 공압 실린더가 사용될 수 있다. 이러한 승강 구동부(200)와 밸브 케이싱(100)과는 오링 등의 기밀유지 수단에 의하여 기밀이 유지된다.
그리고 이러한 승강 구동부(200)에는 별도의 밸브 로드(도시 않음)가 공기압 공급로로서 축방향으로 평행하게 가공되며, 이를 통해 공급되는 공기압에 의해 상기 씰유니트부(300)가 밀착(Lock) 및 해체(Free)를 할 수 있다. 해당 밸브 로드는 씰유니트부(300)의 백플레이트(310)에 결합되어 백플레이트(310)의 공압유로와 연결된다.
상기 승강 구동부(200) 및 씰유니트부(300)의 공압의 조정은 상기 제어반(400) 내에 있는 공기압 유닛 및 솔레노이드 밸브에 의해 이루어질 수 있다.
도 3에는 본 발명이 적용되는 게이트 밸브의 씰유니트부가 도시되어 있다.
상기 씰유니트부(300)는 개폐 실린더(320)를 중심으로 전후에 각각 백플레이트(310)와 실플레이트(330)가 설치되는 구조를 가지며, 해당 개폐 실린더(320)의 실린더 몸체(321) 부분은 백플레이트(310)에 고정되고 로드부(323)의 말단에는 씰플레이트(330)가 부착되는 구조를 가진다. 이러한 씰유니트부(300)는 공기압의 전달에 따라 전후 방향으로 상기 백플레이트(310)와 씰플레이트(330)를 가압하여 해당 백플레이트(310)와 씰플레이트(330)가 밸브 케이싱(100)의 개구부를 개폐할 수 있도록 구성된다.
상기 백플레이트(310)에는 공압유로가 되는 통로용 구멍을 가공하여 개폐 실린더(320)의 작동에 필요한 공압의 공급 및 배기 통로로 사용하게 되며, 그 구멍의 위치는 급기, 배기 구멍의 위치에 따라 변경될 수 있으며, 필요에 따라 그 수를 증감할 수 있다. 이하의 설명 및 도면에서는 설명의 편의를 위해 급기 및 배기에 필요한 유로를 하나씩만 설치한 경우를 보여줄 것이다.
도 3에 도시된 바와 같이 백플레이트(310)에는 밸브 케이싱(100)의 개구부의 크기에 따라 필요한 수만큼의 개폐 실린더(320)가 부착될 수 있으며, 그 수에는 제한이 없다. 또한 씰 유니트부(300)의 중량 변화에 따라 해당 개폐 실린더(320)의 용량 또는 수는 변경 가능하다.
상술한 개폐 실린더(320)의 상세한 구성에 대하여 도 4 및 도 5를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
상기 개폐 실린더(320)는 해당 백플레이트(310)의 내측면에 결합되며 공기압이 공급될 수 있는 소정의 내부 공간을 가지게 구성되는 실린더 몸체(321) 및 실린더 덮개(322)와, 상기 실린더 몸체(321) 내에 구비되어 공급되는 공압에 따라 실린더 몸체(321) 내에서 진퇴되는 피스톤 패드(324)와, 상기 실린더 덮개(322)를 관통하여 구비되며 일측이 상기 피스톤 패드(324)에 결합되고 타측이 상기 씰플레이트(330)에 결합되어 상기 피스톤 패드(324)의 움직임에 따라 연동하여 진퇴하는 로드부(323)를 포함하여 구성된다.
도 4를 참조하여 개폐 실린더(320)에 의해 해당 밸브 케이싱(100)의 개구부를 개방하는 프리(Free) 상태를 살펴보면, 상기 백플레이트(310)로 공급되는 프리 구동압은 프리 구동압 배출구(311)를 통해 배출되며, 해당 프리 구동압 전달시에는 프리 구동압 배출유로(312)를 따라 개폐 실린더(320)의 실린더 몸체(321)의 내부로 배출되어 피스톤 패드(324)를 백플레이트(310)의 방향으로 가압하게 되며, 이러한 가압에 따라 로드부(323)가 백플레이트(310)로 전진하면서 백플레이트(310)와 씰플레이트(330)가 해당 밸브 케이싱(100)의 개구부로부터 떨어져 밸브 케이싱(100)의 개방이 이루어지게 된다.
도 5를 참조하여 개폐 실린더(320)에 의해 해당 밸브 케이싱(100)의 개구부를 폐쇄하는 록(Lock) 상태를 살펴보면, 상기 백플레이트(310)로 공급되는 록 구동압은 록 구동압 배출구(313)를 통해 배출되며, 해당 록 구동압 전달시에는 록 구동압 배출유로(314)를 따라 개폐 실린더(320)의 실린더 몸체(321)의 내부로 배출되어 피스톤 패드(324)를 씰플레이트(330) 방향으로 가압하게 되며, 이러한 가압에 따라 로드부(323)가 백플레이트(310)와 이격되면서 백플레이트(310)와 씰플레이트(330)가 해당 밸브 케이싱(100)의 개구부로 밀려져 밸브 케이싱(100)의 폐쇄가 이루어지게 된다.
여기에서 프리 구동압과 록 구동압에 따라 전후진하게 되는 상기 로드부(323)에는 벨로우즈(Bellows)(326)가 삽입된다. 이러한 벨로우즈(326)는 탄성체로 이루어질 수 있으며, 용접 벨로우즈, 성형 벨로우즈 또는 로드부를 감싸기 위한 탄성체로 이루어진다.
통상 밸브 케이싱(100)의 내부는 진공 상태이므로 상기 로드부(323)에 벨로우즈(326)와 같은 탄성체로 감싸서 개폐 실린더(320)의 내부와 밸브 케이싱(100) 내부의 공간을 각각 분리 및 기밀 유지를 하게 된다. 이러한 기밀 유지에 의해 진공 공간 내에 대기의 진입을 차단하게 된다.
본 발명에서는 상기 벨로우즈(326)를 보호하기 위하여 안전 밸브(327, 328)를 개폐 실린더(320) 내에 구비시키고, 이러한 안전 밸브(327, 328)를 통해 개폐 실린더(320) 내의 공기압, 보다 정확하게는 로드부(323)와 벨로우즈(326) 사이의 내기를 감지하여 일정압을 초과하는 압력이 벨로우즈(326)에 가해지면 자동으로 열려서 해당 공기압을 배기시켜줌으로써 벨로우즈(326)의 변형 및 손상을 방지할 수 있게 된다.
실제 벨로우즈(326)는 내측으로 이상 공기압(약 0.101 Mpa 이상)이 발생하게 되면, 해당 벨로우즈(326)의 수명에 현격한 저하가 발생하게 되며, 실제 사용 공기압은 3~5 Kg/㎠ 이므로 대기압 대비 3~5배의 압력이 가해지면 해당 벨로우즈는 심각한 변형이나 손상이 발생한다.
이를 방지하기 위하여 해당 개폐 실린더(320)의 내부에는 프리 구동압 시 벨로우즈(326)의 내기를 감지하여 기준압을 초과하는 내기 발생시 해당 벨로우즈(326)에 가해지는 내기를 배기시켜 해소하는 제 1 안전밸브(327)가 구비된다.
마찬가지로, 해당 개폐 실린더(320)의 내부에는 록 구동압 시 벨로우즈(326)의 내기를 감지하여 기준압을 초과하는 내기 발생시 해당 벨로우즈(326)에 가해지는 내기를 배기시켜 해소하는 제 2 안전밸브(328)가 구비된다.
먼저 도 4 및 도 6을 참조하면, 상기 제 1 안전밸브(327)는 피스톤 패드(324)에 설치되며, 일측의 개방구를 통해 상기 벨로우즈(326)의 내기를 받아들이는 측정구(327a)와, 상기 측정구(327a)와 연결되어 측정구(327a)를 통해 인입되는 공기압에 따라 개폐되는 몸체부(327b)와, 상기 몸체부(327b)와 연결되어 몸체부(327b)의 개방시 해당 공기압을 배기시키는 배기구(327c)로 이루어진다. 여기에서 상기 제 1 안전밸브(327)를 이루는 측정구(327a), 몸체부(327b) 및 배기구(327c)는 일렬로 배열되는 것이 바람직하다.
여기에서 상기 측정구(327a)는 그 말단이 상기 벨로우즈(326)의 내기를 받아들일 수 있는 위치까지 연장형성된다. 이러한 연장구는 상기 로드부(323)에 내장될 수 있다. 또한 상기 몸체부(327b)는 내부에 스프링과 같은 탄성부재(327d)가 일측이 고정단으로서 고정설치되며 해당 탄성부재(327d)의 자유단에는 상기 측정구(327a)를 개폐할 수 있는 게이트(327e)가 결합된다. 따라서 상기 게이트(327e)는 상기 탄성부재(327d)의 탄성력에 의해 평상시 해당 측정구(327a)를 막고 있으며(도 6의 (a) 참조), 해당 측정구(327a)로 기준 압력(RP)을 초과하는 벨로우즈(326)의 내기가 인입되면 해당 공기압에 밀려 측정구(327a)를 개방시킴으로써 측정구(327a)와 배기구(327c)를 연통시켜 이상 공기압이 배기구(327c)를 통해 배기(도 6의 (b) 참조)되도록 하는 구조이다.
이때, 상기 기준 압력(RP)은 1.3 기압일 수 있으며, 해당 기준 압력(RP)은 탄성부재(327d)의 탄성계수로 조절될 수 있다.
그리고 상기 제 1 안전밸브(327)의 배기구(327c)는 프리 구동압 발생시 사용되지 않는 록 구동압 배출구(313)로 연통될 수 있다. 보다 구체적으로는 제 1 안전밸브(327)의 배기구(327c)는 백플레이트(310)와 피스톤 패드(324) 사이의 공간을 따라 배기되어 록 구동압 배출유로(314)를 통과해 록 구동압 배출구(313)를 따라 외부로 배기되게 된다.
다음으로 도 5 및 도 6을 참조하면, 상기 제 2 안전밸브(328)는 실린더 덮개(322)에 설치되며, 일측의 개방구를 통해 상기 벨로우즈(326)의 내기를 받아들이는 측정구(328a)와, 상기 측정구(328a)와 연결되어 측정구(328a)를 통해 인입되는 공기압에 따라 개폐되는 몸체부(328b)와, 상기 몸체부(328b)와 연결되어 몸체부(328b)의 개방시 해당 공기압을 배기시키는 배기구(328c)로 이루어진다. 여기에서 상기 제 2 안전밸브(328)를 이루는 측정구(328a), 몸체부(328b) 및 배기구(328c)는 일렬로 배열되는 것이 바람직하다.
여기에서 상기 측정구(328a)는 그 말단이 상기 벨로우즈(326)의 내기를 받아들일 수 있는 위치에 형성된다. 또한 상기 몸체부(328b)는 내부에 스프링과 같은 탄성부재(328d)가 일측이 고정단으로서 고정설치되며 해당 탄성부재(328d)의 자유단에는 상기 측정구(328a)를 개폐할 수 있는 게이트(328e)가 결합된다. 따라서 상기 게이트(328e)는 상기 탄성부재(328d)의 탄성력에 의해 평상시 해당 측정구(328a)를 막고 있으며(도 6의 (a) 참조), 해당 측정구(328a)로 기준 압력(RP)을 초과하는 벨로우즈(326)의 내기가 인입되면 해당 내기에 밀려 측정구(328a)를 개방시킴으로써 측정구(328a)와 배기구(328c)를 연통시켜 이상 내기가 배기구(328c)를 통해 배기(도 6의 (b) 참조)되도록 하는 구조이다.
이때, 상기 기준 압력(RP)은 1.3 기압일 수 있으며, 해당 기준 압력(RP)은 탄성부재(328d)의 탄성계수로 조절될 수 있다.
그리고 상기 제 2 안전밸브(328)의 배기구(328c)는 록 구동압 발생시 사용되지 않는 프리 구동압 배출구(311)로 연통될 수 있다. 보다 구체적으로는 제 2 안전밸브(328)의 배기구(328c)는 프리 구동압 배출유로(312)를 따라 배기되어 프리 구동압 배출구(311)를 따라 외부로 배기되게 된다.
실제 벨로우즈(326)로 차단된 벨로우즈(326)의 내부는 로드부(323)의 진퇴시에 체적 변화가 발생하므로 이에 따라 발생되는 공기압을 적절히 배기시키지 않을 경우 심각한 기능 이상을 초래할 수 있는데, 본 발명에 따른 제 1 안전밸브(327) 및 제 2 안전밸브(328)를 통해 기준을 초과하는 내기 발생 시 외부로 해당 공기압을 배기시킴으로써 벨로우즈의 손상 또는 수명 단축을 방지할 수 있게 된다.
여기에서 상술한 설명 및 도면에서는 개폐 실린더(320) 내에 제 1 안전밸브(327) 및 제 2 안전밸브(328)가 각각 하나씩 구비되는 것으로 설명되고 도시되었지만, 본 발명은 이에 제한되는 것은 아니며, 하나 이상의 제 1 안전밸브(327) 및 제 2 안전밸브(328)가 각각 개폐 실린더(320) 내에 구비될 수 있음은 물론이다.
이상과 같이 도면과 명세서에서 최적 실시 예가 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
100 : 밸브 케이싱 200 : 승강 구동부
300 : 씰유니트부 400 : 제어반
310 : 백플레이트 320 : 개폐 실린더
330 : 씰플레이트 323 : 로드부
326 : 벨로우즈 327 : 제 1 안전밸브
328 : 제 2 안전밸브

Claims (5)

  1. 공기압의 유입에 따라 씰유니트부가 작동하여 밸브 케이싱의 개구부를 개폐하는 게이트 밸브에 있어서 프리 구동압과 록 구동압에 따라 진퇴하는 로드부를 감싸는 벨로우즈의 보호 구조로서,
    상기 씰유니트부는 상기 로드부가 구비되는 개폐 실린더와, 상기 개폐 실린더가 고정되며 개폐를 위한 프리 구동압과 록 구동압을 전달받아 각각 프리 구동압 배출구와 록 구동압 배출구를 통해 배출하여 상기 개폐 실린더로 전달하는 백플레이트와, 상기 개폐 실린더의 로드부가 부착되는 씰플레이트로 구성되며,
    상기 개폐 실린더에는 벨로우즈의 내기를 감지하는 안전밸브가 구비되며, 상기 벨로우즈에 가해지는 내기가 기준 압력을 초과하면 벨로우즈의 내기를 해당 안전밸브를 통해 외부로 배기시키는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브의 벨로우즈 보호 구조.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 안전밸브는,
    일측의 개방구를 통해 상기 벨로우즈에 가해지는 내기를 받아들이는 측정구;
    상기 측정구와 연결되어 측정구를 통해 인입되는 공기압에 따라 개폐되는 몸체부; 및
    상기 몸체부와 연결되어 몸체부의 개방시 해당 공기압을 배기시키는 배기구; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브의 벨로우즈 보호 구조.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 몸체부는,
    일측이 고정단으로서 고정설치되는 탄성부재; 및
    상기 탄성부재의 자유단에 일측이 결합되며 타측이 상기 측정구를 막고 있는 게이트; 를 포함하여 구성되며,
    측정구를 따라 인입되는 벨로우즈의 내기가 기준 압력을 초과하면 게이트가 후퇴하여 상기 측정구와 배기구를 연통시키는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브의 벨로우즈 보호 구조.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 배기구는 록 구동압 배출구를 통해 벨로우즈의 내기를 배기시키는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브의 벨로우즈 보호 구조.
  5. 제 3항에 있어서,
    상기 배기구는 프리 구동압 배출구를 통해 벨로우즈의 내기를 배기시키는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브의 벨로우즈 보호 구조.
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