KR20130055885A - 측정 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명의 측정 장치는 신호선을 통해 피측정물에 기준 신호를 제공하는 신호 제공부, 상기 신호선과 별개인 측정선을 통해 상기 피측정물의 전압 강하량을 측정하는 측정부, 상기 피측정물의 단자에 일단이 접촉되는 프로브를 포함하고 상기 신호선과 상기 측정선이 상기 프로브의 타단에 연결됨으로써, 신뢰성 있게 피측정물에 의한 전압 강하량을 측정할 수 있다.

Description

측정 장치 및 측정 시스템{APPARATUS AND SYSTEM FOR MEASURING}

본 발명은 측정 장치 및 측정 시스템에 관한 것으로서, 상세하게는 정밀하게 피측정물의 전압 강하량을 측정할 수 있는 측정 장치 및 측정 시스템에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼 단위의 회로의 상태를 검사하는 방법으로 현미경 카메라/레이저로 촬영된 영상을 분석하는 방법이 있다.

일예로 한국공개특허공보 제2003-0034149호에는 레이저 산란 검출기를 이용한 웨이퍼의 상태를 판정 방법이 개시되고 있다.

그러나, 이와 같은 회로 검사 방법은 웨이퍼의 표면을 검사하기 위한 방법으로 냉납땜, 과납땜, 다층 패턴의 연결 상태 등과 같은 제조상 오류를 검출하기 어려운 문제가 있다.

한국공개특허공보 제2003-0034149호

본 발명은 피측정물의 전압 강하량을 정밀하게 측정할 수 있는 측정 장치 및 측정 시스템을 제공하기 위한 것이다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 측정 장치는 신호선을 통해 피측정물에 기준 신호를 제공하는 신호 제공부 및 상기 신호선과 별개인 측정선을 통해 상기 피측정물의 전압 강하량을 측정하는 측정부를 포함할 수 있다.

이때, 상기 피측정물의 단자에 일단이 접촉되고 상기 일단을 제외한 동일 지점에 상기 신호선과 상기 측정선이 연결되는 프로브(probe)를 더 포함할 수 있다.

여기서, 상기 측정부는 상기 측정된 전압 강하량으로부터 상기 피측정물의 저항값을 산출하고, 상기 산출된 저항값에서 기측정된 상기 프로브의 저항값을 차감할 수 있다.

또한, 상기 신호선과 상기 측정선은, 상기 피측정물의 단자에 접촉하며 지그(jig)에 의해 서로 이격되어 평행하게 배치되는 프로브를 포함할 수 있다.

또한, 지그(jig)에 배치된 상태로 상기 피측정물의 단자에 일단이 접촉되고 상기 일단을 제외한 동일 지점에 상기 신호선과 상기 측정선이 연결되는 프로브를 더 포함할 수 있다.

또한, 상기 측정선은 상기 신호선을 포함한 신호 제공부의 임피던스 성분과 비교하여 상기 기준 신호가 상기 신호 제공부로만 흐르도록 하고, 상기 측정부로는 흐르지 않도록 하는 크기의 고임피던스 성분을 포함할 수 있다.

또한, 상기 피측정물의 단자에 일단이 접촉되는 두께 0.5mm범위 내에서 1㎛이상의 프로브 및 상기 피측정물의 대향면을 기준으로 프로브를 가이드하는 홀이 형성된 제1층, 하나 이상의 층으로 이루어지며 상기 프로브가 휘어질 수 있는 공간이 마련되는 동시에 상기 프로브를 인접 프로브와 격리시키는 제2층, 피측정물의 반대면에 해당하며 상기 프로브에서 상기 홀에 삽입된 부위의 동일 지점에 전기적으로 연결된 연결 단자가 형성되며 상기 프로브를 고정시키는 제3층을 구비하는 지그를 더 포함하고, 상기 측정부는 상기 측정된 전압 강하량으로부터 상기 피측정물의 저항값을 산출하고, 상기 산출된 저항값에서 기측정된 상기 프로브의 저항값을 차감할 수 있다.

한편, 본 발명의 다른 측정 장치는 피측정물의 단자에 일단이 접촉되는 프로브 및 상기 프로브의 타단에 연결되는 4와이어(4wire) 측정부를 포함할 수 있다.

한편, 본 발명의 측정 시스템은 피측정물이 거치되는 거치부, 상기 피측정물의 대향면에 복수의 홀이 형성된 지그, 상기 홀에 일부가 수납되는 프로브, 상기 프로브에서 수납된 부위에 연결되어 정전류를 제공하는 전류 제공부, 상기 프로브에서 상기 전류 제공부가 연결된 동일 지점에 연결되어 측정된 상기 피측정물의 전압 강하량으로부터 저항값을 산출하는 측정부, 상기 산출된 저항값에 포함된 상기 프로브의 저항값을 캘리브레이션(calibration)하는 캘리브레이션부 및 상기 프로브에서 상기 홀로부터 돌출된 단부가 상기 피측정물과 접촉 이탈되도록 상기 지그를 이동시키는 지그 이동부를 포함할 수 있다.

이상에서 설명된 바와 같이 본 발명의 측정 장치 및 측정 시스템은 전압 강하에 필요한 기준 신호를 제공하는 요소와 전압 강하량을 측정하는 요소를 분리시킴으로써 피측정물에 의한 전압 강하량을 정밀하게 측정할 수 있다.

또한, 일단이 피측정물의 단자에 접촉하고 상기 일단을 제외한 동일 지점에 신호선과 측정선이 연결되는 프로브를 포함함으로써 웨이퍼 단위의 피측정물의 각 단자에 1개의 프로브만을 접촉시키는 것으로 피측정물의 전압 강하량을 정밀하게 측정할 수 있다. 이러한 방식의 측정 장치는 각 신호선과 측정선에 마련된 프로브, 즉 2개의 프로브를 각 단자에 접촉시킴으로 발생되는 교정이 어려운 단자의 선저항을 포함하지 않는다. 대신 교정이 용이한 프로브의 선저항을 포함하므로 신뢰성 있게 전압 강하량을 측정할 수 있다.

도 1은 본 발명의 측정 장치를 나타낸 개략도.
도 2는 본 발명의 다른 측정 장치를 나타낸 개략도.
도 3은 본 발명의 또다른 측정 장치를 나타낸 개략도.
도 4는 본 발명의 또다른 측정 장치를 나타낸 개략도.
도 5는 도 4의 측정 장치에 의한 측정시 프로브의 접촉 상태를 나타낸 개략도.
도 6은 도 5의 측면도.
도 7은 본 발명의 또다른 측정 장치를 나타낸 개략도.
도 8은 본 발명의 측정 시스템을 나타낸 개략도.

이하, 본 발명의 측정 장치 및 측정 시스템에 대하여 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다.

앞에서 언급한 바와 같이 종래에는 웨이퍼 단위 등의 미세한 피측정물의 검사시 촬영된 영상을 이용한 매칭 방법이 이용되었다. 그러나 이와 같은 방법은 가공 상태에 기인한 냉납땜, 과납땜 등과 같은 오류를 검사하기 어려운 문제가 있다.

이와 같은 가공 상태에 기인한 오류를 파악하기 위해서는 각 회로 소자의 저항을 직접 확인할 필요가 있다.

도 1은 본 발명의 측정 장치를 나타낸 개략도이다.

도 1에 도시된 측정 장치는 신호선을 통해 피측정물(200)에 기준 신호를 제공하고 상기 신호선을 통해 피측정물의 전압 강하량을 측정하는 신호 제공 측정부(110)를 포함하고 있다.

피측정물(200)은 기판 상의 회로 소자, 기판의 회로 패턴, 웨이퍼 단위의 회로 소자, 마이크로 칩 등 전압 강하가 발생할 수 있는 다양한 회로 소자이다. 이러한 피측정물은 신호를 입력받아 자체 회로의 기능을 수행한 후 출력하게 되며 이에 따라 적어도 신호가 입력되는 입력 단자와 신호가 출력되는 출력 단자를 갖게 된다. 신호선은 이와 같은 피측정물의 단자에 연결될 수 있다. 또한, 신호선은 보호 부재가 설치되지 않은 웨이퍼 단위의 회로 소자에 대해서 보호 부재가 설치되지 않은 부위의 회로에도 연결될 수 있다.

피측정물이 정상적으로 회로에 설치되었는지 또는 피측정물이 정상 상태인지 파악하기 위해 피측정물에 의한 전압 강하량을 측정할 수 있다.

신호 제공 측정부(110)는 신호선을 통해 피측정물에 기준 신호를 제공한다. 이렇게 제공된 기준 신호는 피측정물을 통과하면서 피측정물의 특성에 따라 전압 강하가 이루어진다. 신호 제공 측정부는 전압 강하가 이루어진 기준 신호를 분석함으로써 전압 강하량을 측정하게 된다.

다만, 신호 제공 측정부에서 동일한 신호선을 통해 기준 신호를 제공함과 동시에 전압 강하량을 측정함으로써 선저항과 접촉 저항에서 오류가 야기될 수 있다.

이와 같은 선저항과 접촉 저항에 의한 오류를 배제시키기 위하여 기준 신호를 제공하는 요소와 전압 강하량을 측정하는 요소를 분리시킬 수 있다.

도 2는 본 발명의 다른 측정 장치를 나타낸 개략도이다.

도 2에 도시된 측정 장치는 신호선을 통해 피측정물(200)에 기준 신호를 제공하는 신호 제공부(130) 및 상기 신호선과 별개인 측정선을 통해 상기 피측정물(200)의 전압 강하량을 측정하는 측정부(150)를 포함하고 있다.

신호 제공부(130)는 신호선을 통해 피측정물에 기준 신호를 제공한다. 기준 신호의 제공을 위해 신호선은 신호 제공부의 일단과 피측정물의 일단자를 연결하는 제1 신호선과 신호 제공부의 타단과 피측정물의 타단자를 연결하는 제2 신호선을 포함할 수 있다.

이때의 기준 신호는 직류 파형, 교류 파형, 삼각 파형 등 다양한 파형의 전압, 전류 신호일 수 있다.

측정부(150)는 기준 신호가 제공된 피측정물의 전압 강하량을 측정한다. 전압 강하량의 측정을 위해 측정선은 측정부의 일단과 피측정물의 일단자를 연결하는 제1 측정선과 측정부의 타단과 피측정물의 타단자를 연결하는 제2 측정선을 포함할 수 있다.

이때 측정부는 신호선과 별개로 마련된 측정선을 통해 측정을 수행한다. 측정선이 신호선과 별개로 형성됨으로써 피측정물의 전압 강하량을 신뢰성 있게 측정할 수 있다. 기준 신호의 값을 알고 있으므로 옴의 법칙 등을 이용하여 이렇게 측정된 전압 강하량으로부터 피측정물의 저항값을 산출할 수 있다.

예를 들어 기준 신호가 전류 신호일 때, 기준 신호가 신호 제공부로만 흐르고 측정부로는 흐르지 않도록, 측정선을 포함한 측정부의 임피던스 성분은 신호선을 포함한 신호 제공부의 임피던스 성분에 비하여 고임피던스 성분일 수 있다. 이후 피측정물에 기준 신호로서 전류 신호를 제공한다면, 모든 기준 신호는 피측정물, 신호 제공부, 신호선이 이루는 폐루프를 따라 흐르며 측정선으로는 흐르지 않게 된다. 따라서, 측정선과 피측정물 접촉 지점(단자)의 접촉 저항 및 측정선의 선저항을 배제시킬 수 있다. 따라서, 피측정물에 의한 전압 강하량을 신뢰성 있게 측정할 수 있게 되고, 이에 따라 피측정물의 저항값 역시 신뢰성 있게 산출할 수 있게 된다.

다만, 측정선과 피측정물의 단자와의 접촉을 위해 4개의 프로브(probe)가 마련되어야 한다.

도 3은 본 발명의 또다른 측정 장치를 나타낸 개략도이다.

도 3에 도시된 측정 장치는 피측정물의 단자에 일단이 접촉되는 프로브(190)를 포함하고 있으며, 신호선과 측정선이 프로브(190)에서 피측정물의 단자에 접촉된 일단을 제외한 동일 지점에 연결되어 있다.

이와 같이 구성하면 프로브와 피측정물 단자 간의 접촉 저항 및 프로브의 선저항(피측정물의 단자에 접촉된 일단으로부터 신호선과 측정선이 연결된 지점까지의 저항값)이 전압 강하량에 영향을 미칠 수 있다. 따라서, 도 3의 구성에서 측정된 피측정물의 전압 강하량으로부터 산출된 피측정물의 저항값에는 프로브의 저항값(프로브의 접촉 저항 및 프로브의 선저항)이 포함될 수 있다. 이때 미리 파악해둔 프로브의 저항값으로 측정부에서 측정된 저항값을 켈리브레이션하면 실제 피측정물의 저항값이 출력된다.

이를 위해 측정부(150)는 측정된 전압 강하량으로부터 피측정물의 저항값을 산출하고, 측정 장치는 산출된 저항값에서 기측정된 프로브의 저항값을 차감한 보정 저항값을 출력하는 캘리브레이션(calibration)부(170)를 포함할 수 있다.

또는 별도의 캘리브레이션부를 마련하는 대신 산출된 저항값에서 기측정된 상기 프로브의 저항값을 측정부(150)에서 직접 차감하여 보정 저항값을 생성 출력할 수도 있다.

도 1의 측정부측의 측정 오차와 비교하여 도 3에 의한 측정 오차는 프로브의 저항값에 국한되므로 도 1의 측정 장치에 비하여 신뢰성 있게 전압 강하량을 측정할 수 있다. 따라서, 프로브의 저항값이 피측정물의 저항보다 상당히 작으면 프로브의 저항값을 무시할 수도 있다.

또한 도 3의 구성에 의하면 신호 제공부와 측정부를 분리시켜 구성함과 동시에 프로브(190)를 피측정물의 각 단자에 대해 하나만 적용할 수 있다. 이와 같은 구성에 의해 생산성을 향상시킬 수 있음과 동시에 프로브 간의 거리 차로 인한 선저항의 문제가 발생되지 않는다. 따라서, 캘리브레이션부가 적용된 경우 도 2의 4개의 프로브를 사용하는 방식에 비하여 신뢰성 있게 피측정물의 전압 강하량을 측정할 수 있다.

도 4는 본 발명의 또다른 측정 장치를 나타낸 개략도이다.

도 4에 도시된 측정 장치는 피측정물의 동일 단자에 일단이 접촉하며 지그(jig)에 형성된 홀에 삽입되어 서로 이격된 상태로 평행하게 배치되는 제1 프로브 및 제2 프로브를 포함하고 있다. 이때 신호선은 제1 프로브의 타단에 연결되고, 측정선은 제2 프로브의 타단에 연결될 수 있다.

프로브(140)의 두께가 예를 들어 1㎛~0.5㎜와 같이 매우 얇은 경우 수작업에 의한 프로브의 조작은 현실적으로 어렵다. 따라서, 프로브를 고정시킬 수 있는 지그(160)를 이용하게 된다.

도 4의 지그에는 피측청물과의 대향면에 피측정물 단자에 대응되도록 홀이 형성되어 있으며, 이때의 홀에 프로브가 삽입 고정되어 있다. 프로브 간의 혼선을 방지하기 위해 지그에 형성된 홀은 서로 이격되어 평행하게 형성된다. 따라서 홀에 삽입 배치되는 프로브 역시 서로 이격되어 평행하게 배치된다.

프로브의 두께가 얇으므로 신호선과 측정선을 프로브에 직접 연결하기가 어려울 수 있다. 따라서, 지그에서 홀을 제외한 부위에는 프로브에서 삽입된 부분과 전기적으로 연결된 연결 단자(161)가 구비될 수 있다. 이때, 신호선과 측정선은 연결 단자에 연결될 수 있다.

도 4의 측정 장치에서 지그를 이동시켜 프로브가 피측정물의 단자에 접촉되도록 한 상태를 도 5 및 도 6에 나타내었다. 도 5에서는 이해를 돕도록 프로브를 눕힌 상태로 나타내었다.

살펴보면, 피측정물의 전압 강하량을 측정하기 위해 총 4개의 프로브가 피측정물의 2개의 단자에 나뉘어 접촉되고 있다. 프로브는 서로 이격되어 평행한 상태로 배치되므로 동일 단자에 접촉되는 제1 프로브와 제2 프로브 간에는 필연적으로 거리 d가 발생되는데, 이로 인하여 피측정물의 단자 접촉시 거리 d 만큼의 선저항이 발생된다.

이때의 거리 d로 인한 선저항은 다음의 실시예에 의해 배제될 수 있다.

도 7은 본 발명의 또다른 측정 장치를 나타낸 개략도이다.

도 7에 도시된 측정 장치는 지그(jig)(160)에 배치되며 일단은 상기 피측정물의 단자에 접촉되고 상기 일단을 제외한 지점에 상기 지그의 연결 단자(161)가 전기적으로 연결되는 프로브(140)를 포함하고 있다. 이때 신호선 및 측정선은 연결 단자(161)의 동일 지점에 연결될 수 있다.

도 7의 구성에 따르면 신호선과 측정선이 모두 하나의 프로브에 연결되므로 피측정물의 동일 단자에는 하나의 프로브만이 접촉된다. 따라서, 피측정물의 단자에 서로 이격된 거리의 2개의 프로브가 접촉함으로써 생성되는 이격 거리 d로 인한 선저항의 문제가 발생되지 않는다.

예를 들어, 측정선은 고임피던스부를 포함하고 측정부에서 상기 측정된 전압 강하량으로부터 상기 피측정물의 저항값을 산출하는 경우를 가정한다

이때, 측정 장치는 피측정물의 단자에 일단이 접촉되는 두께 0.5㎜범위 내에서 1㎛이상의 프로브(140)를 이용한다. 매우 얇은 프로브를 이용하기 위해 프로브를 고정시키기 위한 지그가 구비되어 있다.

이때의 지그는 다층 구조로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 지그는 피측정물의 대향면을 기준으로 프로브를 가이드하는 홀이 형성된 제1층, 하나 이상의 층으로 이루어지며 프로브가 휘어질 수 있는 공간이 마련되는 동시에 프로브를 인접 프로브와 격리시키는 제2층, 피측정물의 반대면에 해당하며 프로브에서 지그의 홀에 삽입된 부위의 동일 지점에 전기적으로 연결된 연결 단자가 형성되며 프로브를 고정시키는 제3층으로 구성될 수 있다. 이때 제1층 및 제3층 또한 복수개의 세부층으로 구성될 수 있다.

신뢰성 있는 접촉을 제공하기 위해 프로브는 스프링과 같은 탄성 부재를 포함할 수 있다. 그러나 매우 얇은 두께의 프로브의 경우 내부에 스프링과 같은 부재를 설치하기가 어렵다. 따라서, 접촉시 프로브 자체의 휘어짐으로 탄성 부재를 대신할 수 있는데, 이를 위해 제1층에는 프로브가 유동되도록 가이드하는 홀이 형성된다. 제2층에는 프로브에서 휘어진 부위가 다른 프로브와 접촉되지 않도록 격리하며 상기 홀보다 큰 직경의 공간이 형성된다. 제3층에는 프로브를 고정시키는 부재가 마련되어 실질적으로 프로브를 지그에 고정시킨다. 연결 단자는 제3층에 형성될 수도 있으나, 지그에서 제1층에 형성된 홀을 제외한 어느 부위에도 형성될 수 있다.

이때, 신호선과 측정선은 피측정물의 단자에 직접 연결되는 대신 제3층의 연결 단자에 연결될 수 있다. 이에 따르면 측정부에서 측정된 전압 강하량에는 프로브의 선저항에 의한 전압 강하량이 포함될 수 있다. 측정 장치의 최종 출력 데이터가 저항값인 경우 측정부는 측정된 전압 강하량로부터 상기 피측정물의 저항값을 산출하고, 산출된 저항값에서 기측정된 프로브의 저항값을 차감할 수 있다. 지그의 연결 단자에 의한 선저항에 의해서도 전압 강하량이 변동될 수 있으므로 측정부는 기측정된 연결 단자의 저항값(프로브와 접촉된 부분으로부터 연결 단자까지의 저항값)을 프로브의 저항값과 함께 차감하여 보정 저항값을 생성 출력할 수도 있다. 이때의 보정 저항값이 피측정물의 실제 측정 저항값이 될 것이다. 한편, 저항값을 차감하는 기능은 측정부와 별개로 마련되는 캘리브레이션부에서 수행될 수도 있다.

이러한 구성에 의하면 4개의 프로브를 이용할 때의 프로브 간 이격거리 d에 의한 선저항이 배제되므로 보다 신뢰성 있게 전압 강하량을 측정할 수 있다. 이렇게 측정된 전압 강하량은 피측정물의 저항값 등을 산출하는 자료가 될 수 있다.

한편, 이상에서 살펴본, 피측정물의 각 단자에 일단이 접촉되는 하나의 프로브만을 적용하는 측정 장치는 프로브의 타단에 연결되는 4와이어(4wire) 측정부를 갖는 것으로 볼 수도 있다.

도 8은 본 발명의 측정 시스템을 나타낸 개략도이다.

도 8의 측정 시스템은 피측정물(200)이 거치되는 거치부(310), 피측정물의 대향면에 복수의 홀이 형성된 지그(140), 지그에 형성된 홀에 일부가 수납되는 프로브(140), 프로브에서 수납된 부위에 연결되어 정전류를 제공하는 전류 제공부(230), 프로브에서 전류 제공부가 연결된 동일 지점에 연결되어 측정된 피측정물의 전압 강하량으로부터 저항값을 산출하는 측정부(150), 산출된 저항값에 포함된 프로브의 저항값을 캘리브레이션(calibration)하는 캘리브레이션부(170) 및 프로브에서 홀로부터 돌출된 단부가 피측정물과 접촉 이탈되도록 지그를 이동시키는 지그 이동부(330)를 포함하고 있다.

거치부(310)는 피측정물이 거치되는 요소로, 생산성 향상을 위하여 컨베이어 벨트 등으로 구성될 수 있다.

전류 제공부(230)는 신호 제공부에 해당하는 요소로, 피측정물의 저항을 측정하기 위해 정전류를 생성한다. 이렇게 생성된 정전류는 신호선을 통해 지그에 일부가 수납된 프로브의 타단으로 제공된다.

지그 이동부(330)는 프로브에서 홀로부터 돌출된 단부가 피측정물과 접촉 또는 이탈되도록 지그를 피측정물에 수직 방향으로 지그를 이동시킨다. 이를 위해 모터, 링크 등의 구동 수단과 상기 구동 수단을 제어하는 컴퓨터를 포함할 수 있다.

캘리브레이션부는 측정부에 포함될 수 있다.

이상의 측정 시스템에 의하면 피측정물의 저항을 신뢰성 있게 산출할 수 있다.

한편, 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다. 예를 들어 프로브의 재질과 형상, 길이는 다양하게 변경이 가능하다. 또한, 프로브에서 피측정물의 단자에 접촉하는 일단을 제외한 동일 지점은 프로브에서 다양한 위치가 될 수 있다. 대표적으로 프로브의 타단이 이때의 동일 지점이 될 수 있다.

피측정물의 전압 강하량을 측정하는 장치 및 시스템에 적용할 수 있다.

특히, 측정에 이용되는 프로브의 두께가 얇은 측정 장치에 적용하는 것이 유리하다.

또한, 신뢰성 있는 전압 강하량을 측정할 필요가 있는 장치에 적용하는 것이 유리하다.

110...신호 제공 측정부 130...신호 제공부
140, 190...프로브 150...측정부
160...지그 161...연결 단자
163...홀 170...캘리브레이션부
200...피측정물 310...거치부
330...지그 이동부

Claims (9)

1. 신호선을 통해 피측정물에 기준 신호를 제공하는 신호 제공부; 및
   상기 신호선과 별개인 측정선을 통해 상기 피측정물의 전압 강하량을 측정하는 측정부;
   를 포함하는 측정 장치.
   
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 피측정물의 단자에 일단이 접촉되고 상기 일단을 제외한 동일 지점에 상기 신호선 및 상기 측정선이 연결되는 프로브(probe);를 포함하는 측정 장치.
   
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 측정부는,
   상기 측정된 전압 강하량으로부터 상기 피측정물의 저항값을 산출하고 상기 산출된 저항값에서 기측정된 상기 프로브의 저항값을 차감한 보정 저항값을 출력하는 측정 장치.
   
4. 제 1 항에 있어서,
   상기 피측정물의 동일 단자에 일단이 접촉하며 지그(jig)에 형성된 홀에 삽입되어 서로 이격된 상태로 평행하게 배치되는 제1 프로브 및 제2 프로브;를 포함하며,
   상기 신호선은 상기 제1 프로브의 타단에 연결되고, 상기 측정선은 상기 제2 프로브의 타단에 연결되는 측정 장치.
   
5. 제 1 항에 있어서,
   지그(jig)에 배치되며 일단은 상기 피측정물의 단자에 접촉되고 상기 일단을 제외한 지점에 상기 지그의 연결 단자가 전기적으로 연결되는 프로브;를 포함하고,
   상기 신호선 및 상기 측정선은 상기 연결 단자의 동일 지점에 연결되는 측정 장치.
   
6. 제 1 항에 있어서,
   상기 기준 신호가 상기 신호 제공부로만 흐르고 상기 측정부로는 흐르지 않도록, 상기 측정선을 포함한 상기 측정부의 임피던스 성분은 상기 신호선을 포함한 상기 신호 제공부의 임피던스 성분에 비하여 고임피던스인 측정 장치.
   
7. 제 1 항에 있어서,
   상기 피측정물의 단자에 일단이 접촉되는 두께 0.5mm범위 내에서 1㎛이상의 프로브; 및
   상기 피측정물의 대향면을 기준으로 상기 프로브를 가이드하는 홀이 형성된 제1층, 하나 이상의 층으로 이루어지며 상기 프로브가 휘어질 수 있는 공간이 마련되는 동시에 상기 프로브를 인접 프로브와 격리시키는 제2층, 피측정물의 반대면에 해당하며 상기 프로브에서 상기 홀에 삽입된 부위의 동일 지점에 전기적으로 연결된 연결 단자가 형성되며 상기 프로브를 고정시키는 제3층을 구비하는 지그;를 포함하고,
   상기 신호선과 상기 측정선은 상기 연결 단자에 연결되며,
   상기 측정부는 상기 측정된 전압 강하량으로부터 상기 피측정물의 저항값을 산출하고 상기 산출된 저항값에서 기측정된 상기 프로브의 저항값을 차감한 보정 저항값을 출력하는 측정 장치.
   
8. 피측정물의 단자에 일단이 접촉되는 프로브; 및
   상기 프로브의 타단에 연결되는 4와이어(4wire) 측정부;
   를 포함하는 측정 장치.
   
9. 피측정물이 거치되는 거치부;
   상기 피측정물의 대향면에 복수의 홀이 형성된 지그;
   상기 홀에 일부가 수납되는 프로브;
   상기 프로브에서 수납된 부위에 연결되어 정전류를 제공하는 전류 제공부;
   상기 프로브에서 상기 전류 제공부가 연결된 동일 지점에 연결되어 측정된 상기 피측정물의 전압 강하량으로부터 저항값을 산출하고, 산출된 저항값에서 기측정된 상기 프로브의 저항값을 차감하는 측정부; 및
   상기 프로브에서 상기 홀로부터 돌출된 단부가 상기 피측정물과 접촉 이탈되도록 상기 지그를 이동시키는 지그 이동부;
   를 포함하는 측정 시스템.

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