KR20130050239A

KR20130050239A - Jig for substrate inspection, base units of jig and substrate inspection apparatus

Info

Publication number: KR20130050239A
Application number: KR1020120123393A
Authority: KR
Inventors: 마코토 후지노
Original assignee: 니혼덴산리드가부시키가이샤
Priority date: 2011-11-07
Filing date: 2012-11-02
Publication date: 2013-05-15
Also published as: TW201341814A; CN103091516A; TWI457576B; JP2013100994A; KR101388989B1

Abstract

PURPOSE: A substrate inspection jig, a jig base unit and a substrate inspection apparatus are provided to reduce the load of configuration change of the substrate inspection jig according to configuration change of a substrate under inspection. CONSTITUTION: A substrate inspection jig(2) comprises a jig body(6), an electrode unit(7) and an inspection head(8). The electrode unit comprises a plurality of electrodes installed in a matrix and is attached to the jig body able to be exchanged. The inspection head comprises a plurality of probes and a probe support unit supporting the plurality of probes. The inspection head is attached to the electrode unit or the jig body so that a rear part of each probe contacts one electrode part of the electrode unit. The inspection head is able to be exchanged. A probe of the inspection head is arranged so that a front end of the probe corresponds to an inspection point set on a wire pattern of a substrate under inspection. The electrode part of the electrode unit is installed in a matrix with a smaller installation pitch than the installation pitch of the probe of the inspection head, in order for the arrangement of the probe corresponds to a plurality of different kinds of inspection heads.

Description

JIG FOR SUBSTRATE INSPECTION, BASE UNITS OF JIG AND SUBSTRATE INSPECTION APPARATUS

본 발명은, 기판검사장치에 부착되어, 피검사기판에 형성된 배선패턴의 전기적 특성에 관한 검사에 사용되는 기판검사치구 및 그 관련 기술에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a substrate inspection jig attached to a substrate inspection apparatus and used for inspection regarding electrical characteristics of a wiring pattern formed on a substrate to be inspected and related art.

종래의 기판검사치구로서, 전극유닛에 설치된 전극부의 구성을, 프로브의 설치형태가 서로 다른 복수 종류의 검사헤드에 대응하는 유니버셜한 구성으로 하고, 검사대상인 피검사기판의 배선패턴 등의 구성에 대응하여 검사헤드를 교환 가능하게 한 것이 있다.As a conventional substrate inspection jig, the configuration of the electrode portion provided in the electrode unit is a universal configuration corresponding to a plurality of types of inspection heads having different installation forms of probes, and corresponds to the configuration of wiring patterns and the like of the inspection target substrate. Some test heads can be replaced.

또한 상기한 종래의 기판검사치구를 사용한 기판검사장치에서는, 기판검사치구의 전극유닛의 전극부와 검사처리부 사이의 전기적인 접속관계를 전환하는 접속전환유닛이, 기판검사장치 본체에 있어서 기판검사치구의 전극유닛의 하측(또는 상측)에 배치되어 있다.In the conventional substrate inspection apparatus using the above-described conventional substrate inspection fixture, a connection inspection unit for switching the electrical connection relationship between the electrode portion of the electrode unit of the substrate inspection fixture and the inspection processing portion is provided in the substrate inspection apparatus main body. It is arrange | positioned at the lower side (or upper side) of the electrode unit.

또한, 유니버셜한 전극부의 구성을 구비하는 기판검사치구에 관한 선행기술문헌으로서는, 예를 들면 특허문헌1을 들 수 있다.
Moreover, patent document 1 is mentioned as a prior art document regarding the board | substrate test fixture provided with the structure of a universal electrode part.

일본국 특허 제2598482호 공보Japanese Patent No. 2598482

그러나 상기한 종래의 기판검사치구에서는, 전극유닛의 교환이 상정되어 있지 않기 때문에, 프로브의 설치 피치 등이 서로 다른 검사헤드를 설치하려고 하는 경우에는, 기판검사치구 전체를 교환할 필요가 있었다. 이 때문에 검사대상인 피검사기판의 구성(예를 들면 배선패턴의 형성 피치 등)의 변경에 따른 기판검사치구의 구성의 변경의 부담이 컸다.However, in the above-described conventional substrate inspection fixture, the replacement of the electrode unit is not assumed. Therefore, when the inspection heads having different installation pitches of the probe are to be installed, it is necessary to replace the entire substrate inspection fixture. For this reason, the burden of the change of the structure of the board | substrate test fixture according to the change of the structure (for example, pitch of formation of a wiring pattern, etc.) of the to-be-tested | inspected object was large.

또한 상기한 바와 같이 접속전환유닛이 기판검사장치 본체에 있어서 기판검사치구의 전극유닛의 하측(또는 상측)에 배치된 구성에서는, 기판검사장치에 있어서 기판검사치구의 전극유닛이 배치되는 부분 및 그 주변의 구성이 복잡해지므로 기판검사치구의 교환 등을 하기 어렵다고 하는 문제가 있다.As described above, in the configuration in which the connection switching unit is disposed below (or above) the electrode unit of the substrate inspection fixture in the substrate inspection apparatus main body, the portion where the electrode unit of the substrate inspection fixture is arranged in the substrate inspection apparatus and its Since the surrounding configuration becomes complicated, there is a problem that it is difficult to replace the substrate inspection jig.

또한 기판검사장치 본체에 있어서 기판검사치구의 전극유닛이 배치되는 부분의 하측(또는 상측)에는, 기판검사치구의 위치조절을 하는 위치조절 기구가 배치되는 것이 많다. 이 때문에 상기와 같은 구성에서는, 접속전환유닛이 방해를 받고, 위치조절 기구의 설치 스페이스를 확보하는 것이 어려울 경우가 있었다.Moreover, in the main body of a board | substrate test apparatus, the position adjustment mechanism which adjusts the position of a board | substrate test fixture is arrange | positioned in the lower side (or upper side) of the part in which the electrode unit of a board | substrate test fixture is arrange | positioned in many cases. For this reason, in the above structure, the connection switching unit is disturbed, and it is sometimes difficult to secure the installation space of the position adjustment mechanism.

따라서, 본 발명이 해결해야 할 제1과제는, 검사대상인 피검사기판의 구성의 변경에 따른 기판검사치구의 구성의 변경의 부담을 경감시킬 수 있는 기판검사치구 및 그 관련 기술을 제공하는 것이다.Accordingly, the first problem to be solved by the present invention is to provide a substrate inspection jig and related technology which can alleviate the burden of changing the configuration of the substrate inspection jig due to the change of the configuration of the inspection target substrate.

또한, 본 발명이 해결해야 할 제2과제는, 기판검사치구 및 전극유닛의 교환이 용이하게 이루어짐과 아울러 기판검사치구의 위치조절 기구의 설치 스페이스 확보가 용이한 기판검사장치를 제공하는 것이다.
In addition, a second problem to be solved by the present invention is to provide a substrate inspection apparatus that facilitates replacement of the substrate inspection fixture and the electrode unit, and also secures the installation space of the position adjustment mechanism of the substrate inspection fixture.

상기한 과제를 해결하기 위해서, 제1국면에서는, 기판검사장치에 부착되어 피검사기판에 형성된 배선패턴의 전기적 특성에 관한 검사에 사용되는 기판검사치구로서, 치구본체와, 매트릭스 모양으로 설치된 복수의 전극부를 구비하고, 상기 치구본체에 교환 가능하게 부착되는 전극유닛과, 복수의 프로브와 상기 복수의 프로브를 지지하는 프로브 지지부재를 구비하고, 그 각 프로브의 후단부가 상기 전극유닛 중에서 어느 하나의 상기 전극부와 전기적으로 접촉하도록, 상기 전극유닛 또는 상기 치구본체에 교환 가능하게 부착되는 검사헤드를 구비하고, 상기 검사헤드의 상기 프로브는, 그 선단부가 검사대상인 상기 피검사기판의 상기 배선패턴상에 설정되는 검사점에 대응하도록 배치되고, 상기 전극유닛의 상기 전극부는, 상기 프로브의 배치형태가 서로 다른 복수 종류의 상기 검사헤드에 대응 가능하게, 상기 검사헤드의 상기 프로브의 설치 피치보다도 작은 설치 피치로 매트릭스 모양으로 설치되어 있다.In order to solve the above problems, in the first aspect, a plurality of jig bodies and a matrix are provided as a substrate inspection jig which is attached to a substrate inspection apparatus and used for inspection regarding the electrical characteristics of the wiring pattern formed on the inspection target substrate. An electrode unit, the electrode unit being removably attached to the jig main body, and a plurality of probes and a probe support member for supporting the plurality of probes, the rear end of each probe being one of the electrode units; An inspection head, which is attached to the electrode unit or the jig main body so as to be in electrical contact with an electrode portion, wherein the probe of the inspection head has a front end on the wiring pattern of the substrate under test; It is arranged to correspond to the check point to be set, and The electrode portion of the electrode unit is provided in a matrix form at an installation pitch smaller than that of the probe of the inspection head so as to correspond to a plurality of types of inspection heads having different arrangements of the probes.

상기에서 매트릭스 모양이라 함은, 물리적으로 정확히 매트릭스는 물로 대략 매트릭스인 모양도 포함하는 개념이다. 이하, 동일하다.In the above, the shape of the matrix is a concept that includes physically exactly the shape of the matrix which is approximately matrix with water. The same applies to the following.

또한 제2국면에서는, 제1국면에 관한 기판검사치구에 있어서, 상기 전극유닛은, 상기 프로브 유닛과의 대향면에 형성된 복수의 전극구멍을 구비하는 절연성의 전극 기대재(電極基臺材)와, 도전성의 봉상(棒狀)의 형태를 구비하고, 상기 전극 기대재의 상기 전극구멍내에 설치되어 상기 전극부를 구성하는 전극 헤드부와, 도전성을 구비함과 아울러 코일 스프링 모양의 형태를 구비하고, 상기 전극구멍내에 삽입되어 그 신축방향의 일방측 단부가 상기 전극 헤드부의 후단측에 접촉되는 도전코일 스프링재와, 도전성을 구비하고, 그 선단부가 상기 전극구멍내에 삽입되어서 상기 도전코일 스프링재의 상기 신축방향의 타방측 단부에 접촉되는 중계 접속재를 구비한다.In the second aspect, in the substrate inspection fixture according to the first aspect, the electrode unit includes an insulating electrode base material having a plurality of electrode holes formed on the surface facing the probe unit. And an electrode head portion provided in the electrode hole of the electrode base material and constituting the electrode portion, and having a conductive spring shape and a coil spring shape. A conductive coil spring member inserted into an electrode hole and having one end portion thereof extended in contact with a rear end side of the electrode head portion, and having conductivity, and a tip end portion thereof is inserted into the electrode hole so that the conductive coil spring member is inserted into the electrode hole. And a relay connecting member which is in contact with the other end portion thereof.

상기에서 봉상이라 함은, 물리적으로 정확히 봉상은 물론 대략 봉상인 모양도 포함하는 개념이다. 또한 코일 스프링 모양이라 함은 정확히 물리적으로 코일 스프링은 대략 코일 스프링의 모양도 포함는 개념이다. 이하, 동일하다.In the above, the bar is a concept that includes a shape that is not only a bar, but also a bar, which is physically exactly. In addition, the coil spring shape is exactly the concept that the coil spring roughly includes the coil spring shape. The same applies to the following.

또한 제3국면에서는, 제2국면에 관한 기판검사치구에 있어서, 상기 전극 기대재의 상기 전극구멍내에는, 상기 전극 헤드부의 일부와 접촉하여 상기 전극 헤드부의 상기 검사헤드측으로의 대한 변위를 저지하는 접촉부가 설치되고, 상기 도전코일 스프링재는, 상기 전극구멍내에 있어서 신축방향으로 압축된 상태에서 상기 전극 헤드부와 상기 중계 접속재 사이에 삽입되어 있다.Further, in the third aspect, in the substrate inspection fixture according to the second aspect, a contact portion which contacts a part of the electrode head portion in the electrode hole of the electrode base material and prevents displacement of the electrode head portion toward the inspection head side. Is provided, and the conductive coil spring member is inserted between the electrode head portion and the relay connecting member in a state in which it is compressed in the stretching direction in the electrode hole.

또한 제4국면에서는, 제3국면에 관한 기판검사치구에 있어서, 상기 전극유닛의 상기 전극 헤드부에 있어서 상기 프로브의 후단부측을 향한 선단부는, 상기 검사헤드의 상기 프로브가 접촉되지 않고 있는 상태에 있어서, 상기 전극 기대재에 있어서 상기 검사헤드와의 대향면과 실질적으로 가지런하게 되는 위치에 배치되어 있다.Further, in the fourth aspect, in the substrate inspection fixture according to the third aspect, the tip portion of the electrode head portion of the electrode unit that is toward the rear end side of the probe is not in contact with the probe of the inspection head. WHEREIN: It is arrange | positioned in the said electrode base material in the position substantially aligned with the opposing surface with the said test head.

상기에서 가지런하게 되는 위치라 함은, 물리적으로 정확히 가지런하게 되는 위치는 물로 대략 또는 실질적으로 가지런하게 되는 위치도 포함하는 개념이다. 이하, 동일하다.The above-mentioned position is the concept that the position which is physically precisely trimmed also includes the position which is approximately or substantially trimmed with water. The same applies to the following.

또한 제5국면에서는, 제3국면에 관한 기판검사치구에 있어서, 상기 전극유닛의 상기 전극 헤드부에 있어서 상기 프로브의 후단부측을 향한 선단부는, 상기 검사헤드의 상기 프로브가 접촉되지 않고 있는 상태에 있어서, 상기 전극 기대재에 있어서 상기 검사헤드와의 대향면에 대하여 상기 검사헤드와 이반하는 방향으로 오목모양으로 후퇴한 위치에 배치되어 있다.Further, in the fifth aspect, in the substrate inspection fixture according to the third aspect, the tip portion of the electrode head portion of the electrode unit that is toward the rear end portion of the probe is not in contact with the probe of the inspection head. WHEREIN: It arrange | positions in the said electrode base material in the position which recessed in the recessed direction in the direction opposite to the said test head with respect to the opposing surface with the said test head.

또한 제6국면에서는, 제1국면에 관한 기판검사치구에 있어서, 상기 전극유닛에는, 상기 전극부의 상기 설치 피치가 서로 다른 복수의 전극설치영역이 형성되어 있다.In the sixth aspect, in the substrate inspection fixture according to the first aspect, the electrode unit is provided with a plurality of electrode mounting regions having different mounting pitches of the electrode portions.

또한 제7국면에서는, 제1국면에 관한 기판검사치구에 있어서, 상기 전극유닛의 상기 전극부에 있어서 상기 프로브의 상기 후단부측을 향한 선단부는, 그 중앙부가 대략 오목하게 들어간 오목형상을 구비한다.Further, in the seventh aspect, in the substrate inspection fixture according to the first aspect, the tip portion of the electrode portion of the electrode unit, which is directed toward the rear end portion of the probe, has a concave shape in which the central portion thereof is substantially concave. .

상기에서 오목하게 들어간 오목형상이라 함은, 물리적으로 정확히 오목하게 들어간 형상은 물론 대략 오목하게 들어간 형상도 포함하는 개념이다. 이하, 동일하다.The concave shape recessed in the above is a concept that includes not only a shape that is physically exactly recessed, but also a shape which is roughly recessed. The same applies to the following.

또한 제8국면에서는, 제1국면에 관한 기판검사치구에 있어서, 상기 전극유닛의 상기 전극부에 있어서 상기 프로브의 상기 후단부측을 향한 선단부의 가장자리부는, 상기 프로브의 상기 후단부측으로 돌출하는 복수의 돌기가 형성되어 있다.In the eighth aspect, in the substrate inspection fixture according to the first aspect, a plurality of edge portions of the tip portion of the electrode portion of the electrode unit, which are directed toward the rear end portion of the probe, protrude toward the rear end portion of the probe. Projections are formed.

또한 제9국면에서는, 제1국면에 관한 기판검사치구에 있어서, 상기 검사헤드의 상기 프로브의 상기 선단부 및 후단부는, 상기 프로브 지지부재에 있어서 상기 피검사기판측을 향한 선단측의 끝면 및 상기 전극유닛측을 향한 후단측의 끝면으로부터 돌출하고 있다.Further, in the ninth aspect, in the substrate inspection fixture according to the first aspect, the front end portion and the rear end portion of the probe of the inspection head are the end surface and the electrode on the tip side of the probe support member facing the substrate to be inspected. It protrudes from the end surface of the rear end side toward the unit side.

또한 제10국면에서는, 제1국면에 관한 기판검사치구와, 상기 기판검사치구가 부착되는 검사장치본체를 구비한 기판검사장치로서, 상기 검사장치본체는, 상기 기판검사치구를 통하여 상기 피검사기판의 상기 배선패턴의 전기적 특성을 검사하는 검사처리부와, 상기 기판검사장치 본체에 있어서 상기 기판검사장치 본체에 부착된 상기 기판검사치구의 상기 전극유닛과 상하방향으로 대향하는 영역으로부터 떨어진 위치에 배치되고, 상기 기판검사치구의 상기 전극부와 상기 검사처리부의 전기적인 접속관계를 전환하는 접속전환유닛을 구비한다.In a tenth aspect, there is provided a substrate inspection apparatus including a substrate inspection fixture according to the first aspect and an inspection apparatus main body to which the substrate inspection fixture is attached, wherein the inspection apparatus main body is connected to the inspected substrate through the substrate inspection fixture. An inspection processing section for inspecting electrical characteristics of the wiring pattern of the wiring pattern, and a substrate spaced apart from a region of the substrate inspection apparatus main body facing the electrode unit of the substrate inspection fixture attached to the substrate inspection apparatus main body in a vertical direction; And a connection switching unit for switching the electrical connection relationship between the electrode portion of the substrate inspection jig and the inspection processing portion.

또한 제11국면에서는, 복수의 프로브를 구비한 검사헤드와 함께 기판검사장치에 부착되고, 피검사기판에 형성된 배선패턴의 전기적 특성에 관한 검사에 사용되는 치구 베이스 유닛으로서, 치구본체와, 매트릭스 모양으로 설치된 복수의 전극부를 구비하고, 상기 치구본체에 교환 가능하게 부착되는 전극유닛을 구비하고, 상기 검사헤드가 상기 전극유닛 또는 상기 치구본체에 교환 가능하게 부착됨에 따라, 상기 검사헤드의 상기 프로브의 후단부가 상기 전극유닛 중에서 어느 하나의 상기 전극부와 전기적으로 접촉하고, 상기 전극유닛의 상기 전극부는, 상기 프로브의 배치형태가 서로 다른 복수 종류의 상기 검사헤드에 대응 가능하게, 상기 검사헤드의 상기 프로브의 설치 피치보다도 작은 설치 피치로 매트릭스 모양으로 설치되어 있다.
In addition, in the eleventh aspect, a jig base unit, which is attached to a substrate inspection apparatus together with an inspection head having a plurality of probes, is used for inspection regarding the electrical characteristics of the wiring pattern formed on the substrate to be inspected. And a plurality of electrode units installed in the test unit, the electrode unit being interchangeably attached to the jig main body, and wherein the test head is interchangeably attached to the electrode unit or the jig main body. A rear end of the electrode unit may be in electrical contact with any one of the electrode units, and the electrode unit of the electrode unit may correspond to a plurality of types of inspection heads having different arrangements of the probes. The mounting pitch is smaller than the mounting pitch of the probe, and is provided in a matrix.

상기 제1 또는 제9국면에 관한 기판검사치구에 의하면, 전극유닛이 교환 가능하기 때문에, 프로브의 설치 피치 등이 서로 다른 검사헤드를 설치하려고 하는 경우에도, 기판검사치구 전체를 교환하지 않고 전극유닛을 교환함으로써 그에 대응할 수 있다. 이 때문에 검사대상인 피검사기판의 구성(예를 들면 배선패턴의 형성 피치 등)의 변경에 따른 기판검사치구의 구성의 변경의 부담을 경감시킬 수 있다.According to the board | substrate test fixture which concerns on the said 1st or 9th aspect, since an electrode unit is replaceable, even if it is going to install the test head from which a probe installation pitch etc. differs, the electrode unit is not replaced, but the whole board | substrate test fixture is replaced. You can respond by exchanging. For this reason, the burden of the change of the structure of the board | substrate test fixture according to the change of the structure (for example, pitch of formation of a wiring pattern, etc.) of the to-be-tested object to be tested can be alleviated.

상기 제2국면에 관한 기판검사치구에 의하면, 검사헤드가 부착되고, 프로브의 후단부가 전극 헤드부에 전기적으로 접촉되었을 때에, 도전코일 스프링재의 가압력에 의하여 전극 헤드부가 프로브의 후단부에 탄성적으로 가압되어서 접촉되기 때문에 프로브와 전극 헤드부와의 전기적인 접촉상태를 안정시킬 수 있다.According to the substrate inspection jig according to the second aspect, when the inspection head is attached and the rear end portion of the probe is in electrical contact with the electrode head portion, the electrode head portion is elastically attached to the rear end portion of the probe by the pressing force of the conductive coil spring material. Since it is pressurized and contacted, the electrical contact state of a probe and an electrode head part can be stabilized.

상기 제3국면에 관한 기판검사치구에 의하면, 검사헤드가 부착되어 있지 않고, 전극 헤드부가 프로브와의 접촉을 대기하는 상태에서는, 압축된 상태에서 삽입된 도전코일 스프링재의 가압력에 의하여 전극 헤드부가 전극구멍내의 상한위치에 탄성적으로 가압되고 있다. 이 때문에 대기상태에 있는 전극 헤드부의 선단부의 위치를 정확하게 결정할 수 있고, 이에 따라 검사헤드가 부착되었을 때에 프로브의 후단부를 전극 헤드부에 확실하게 전기적으로 접촉시킬 수 있다.According to the substrate inspection jig according to the third aspect, in the state where the inspection head is not attached and the electrode head portion waits for contact with the probe, the electrode head portion is subjected to the electrode by the pressing force of the conductive coil spring material inserted in the compressed state. It is elastically pressed to the upper limit position in a hole. For this reason, the position of the front-end | tip part of an electrode head part in a standby state can be determined correctly, and, therefore, the rear end part of a probe can be reliably electrically contacted to an electrode head part when a test head is attached.

상기 제4국면에 관한 기판검사치구에 의하면, 전극유닛에 있어서 전극 헤드부의 프로브의 후단부측을 향한 선단부가, 검사헤드의 프로브가 접촉되지 않고 있는 상태에 있어서, 전극 기대재에 있어서 검사헤드와의 대향면과 실질적으로 가지런하게 되는 위치에 배치되어 있다. 그 때문에, 전극 헤드부에 대한 프로브의 후단부의 접촉에 따른 압력에 의하여, 전극 헤드부의 선단부가 전극 기대재의 상기 대향면에 대하여 검사헤드로부터 이반하는 방향으로 오목모양으로 약간 후퇴하게 되고, 이에 따라 프로브의 후단부의 전극 헤드부의 선단부로부터의 변위(變位)가 방지되어, 프로브와 전극 헤드부의 접촉상태를 안정시킬 수 있다.According to the substrate inspection jig according to the fourth aspect, in the electrode unit, the tip portion of the electrode head portion facing the rear end side of the probe is in contact with the inspection head in the electrode base material in a state where the probe of the inspection head is not in contact. It is arrange | positioned in the position which becomes substantially aligned with the opposing surface of. Therefore, due to the pressure caused by the contact of the rear end of the probe with respect to the electrode head, the tip of the electrode head retreats slightly in a concave shape in the direction away from the test head with respect to the opposing surface of the electrode base material. Displacement from the front end of the electrode head portion of the rear end portion of the front end portion is prevented, and the contact state between the probe and the electrode head portion can be stabilized.

상기 제5국면에 관한 기판검사치구에 의하면, 전극유닛에 있어서 전극 헤드부의 프로브의 후단부측을 향한 선단부가, 검사헤드의 프로브가 접촉되지 않고 있는 상태에 있어서, 전극 기대재에 있어서 검사헤드와의 대향면에 대하여 검사헤드와 이반하는 방향으로 오목모양으로 후퇴한 위치에 배치되어 있다. 그 때문에, 프로브의 후단부가 전극 헤드부에 접촉한 후 뿐만 아니라 접촉할 때에도, 프로브의 후단부의 위치를 변위시키지 않고 전극 헤드부의 상단부에 확실하게 접촉시킬 수 있어, 프로브와 전극 헤드부의 접촉상태를 보다 안정시킬 수 있다.According to the substrate inspection jig according to the fifth aspect, in the state where the tip of the electrode head toward the rear end of the probe of the electrode head is not in contact with the probe of the inspection head, It is arrange | positioned in the recessed position with respect to the opposing surface of in the direction opposite to a test head. Therefore, not only after the rear end of the probe contacts the electrode head portion, but also when the rear end portion contacts the electrode head portion, it is possible to reliably contact the upper end portion of the electrode head portion without displacing the position of the rear end portion of the probe. It can stabilize.

상기 제6국면에 관한 기판검사치구에 의하면, 전극유닛에는 전극부의 설치 피치가 서로 다른 복수의 전극설치영역이 형성되어 있기 때문에, 검사헤드의 프로브의 설치 피치가 부분적으로 다르게 되어 있는 경우에도 대응할 수 있다. 그 결과, 배선패턴의 형성 피치 등이 서로 다른 복수의 영역을 구비하는 피검사기판에 관해서도, 1개의 기판검사치구를 사용하여 한번에 검사할 수 있다.According to the substrate inspection jig according to the sixth aspect, since the electrode unit is provided with a plurality of electrode mounting regions having different mounting pitches of the electrode portions, it is possible to cope even when the mounting pitches of the probes of the inspection head are partially different. have. As a result, an inspection target board having a plurality of regions having different pitches and the like of wiring patterns can be inspected at once using one substrate inspection jig.

상기 제7국면에 관한 기판검사치구에 의하면, 전극유닛의 전극부에 있어서 프로브의 후단부측을 향한 선단부의 중앙부가 오목하게 들어간 오목형상을 구비하고 있다. 그 때문에, 프로브의 후단부가 전극부의 선단부의 오목부내에 삽입되도록 하여 전극부와 전기적으로 접촉하기 때문에, 프로브와 전극부의 전기적인 접촉상태를 안정시킬 수 있다.According to the board | substrate test fixture which concerns on the said 7th aspect, the electrode part of an electrode unit is provided with the concave shape which recessed the center part of the front end part toward the rear end part of a probe. Therefore, since the rear end of the probe is brought into electrical contact with the electrode portion by being inserted into the recess of the tip portion of the electrode portion, the electrical contact state between the probe and the electrode portion can be stabilized.

상기 제8국면에 관한 기판검사치구에 의하면, 전극유닛의 전극부에 있어서 상기 프로브의 후단부측을 향한 선단부의 가장자리부는, 프로브의 후단부측으로 돌출하는 복수의 돌기가 형성되어 있다. 그 때문에, 프로브의 후단부가, 전극부의 선단부의 가장자리부분에 형성된 복수의 돌기의 내측에 삽입되도록 하여 전극부와 전기적으로 접촉하기 때문에, 프로브와 전극부와의 전기적인 접촉상태를 안정시킬 수 있다.According to the substrate inspection jig according to the eighth aspect, a plurality of protrusions protruding toward the rear end of the probe are formed at the edge of the tip of the electrode unit toward the rear end of the probe. Therefore, since the rear end portion of the probe is electrically contacted with the electrode portion by being inserted inside the plurality of protrusions formed at the edge portion of the tip portion of the electrode portion, the electrical contact state between the probe and the electrode portion can be stabilized.

상기 제10국면에 관한 기판검사장치에 의하면, 접속전환유닛이, 기판검사장치 본체에 있어서, 기판검사장치 본체에 부착된 기판검사치구의 전극유닛과 상하방향으로 대향하는 영역으로부터 떨어진 위치에 배치되어 있다. 그 때문에, 기판검사장치에 있어서 기판검사치구의 전극유닛이 배치되는 부분 및 그 주변의 구성을 간단히 할 수 있어서, 기판검사치구 및 전극유닛의 교환작업 등이 용이하게 된다. 또한 기판검사치구의 위치조절기구의 설치 스페이스 확보도 용이하게 된다.According to the substrate inspection apparatus according to the tenth aspect, the connection switching unit is arranged in a substrate inspection apparatus main body at a position away from the region facing up and down with the electrode unit of the substrate inspection fixture attached to the substrate inspection apparatus main body. have. Therefore, in the board | substrate inspection apparatus, the part in which the electrode unit of a board | substrate test fixture is arrange | positioned, and the structure of its periphery can be simplified, and the replacement | exchange work of a board | substrate test fixture and an electrode unit becomes easy. In addition, it becomes easy to secure the installation space of the position adjusting mechanism of the substrate inspection jig.

상기 제11국면에 관한 치구 베이스 유닛에 의하면, 전극유닛이 교환 가능하기 때문에, 프로브의 설치 피치 등이 서로 다른 검사헤드를 설치하려고 하는 경우에도, 기판검사치구 전체를 교환하지 않고 전극유닛을 교환함으로써 그에 대응할 수 있다. 이 때문에 검사대상인 피검사기판의 구성(예를 들면 배선패턴의 형성 피치 등)의 변경에 따른 기판검사치구의 구성의 변경에 대한 부담을 경감시킬 수 있다.
According to the jig base unit according to the eleventh aspect, since the electrode units are replaceable, even when an inspection head having different installation pitches or the like of the probe is to be installed, the electrode unit is replaced without replacing the entire board inspection fixture. It can correspond to it. For this reason, the burden on the change of the structure of the board | substrate test fixture according to the change of the structure (for example, pitch of formation of a wiring pattern, etc.) of the to-be-tested object to be tested can be alleviated.

도1은 본 발명의 1실시형태에 관한 기판검사치구가 사용된 기판검사장치의 구성을 부분적으로 나타내는 도면이다.
도2는 도1의 기판검사치구의 단면도의 일부에 대한 구성을 확대하여 나타내는 도면이다.
도3은 검사헤드의 구성을 나타내는 단면도이다.
도4는 전극유닛의 전극 헤드부 및 그 주변의 구성을 확대하여 나타내는 단면도이다.
도5는 도4의 구성의 변형예를 나타내는 도면이다.
도6은 전극유닛의 전극구멍 및 전극 헤드부 등의 배치형태에 관한 변형예를 도식적으로 나타내는 개략적인 평면도이다.
도7은 전극유닛에 구비되는 전극 헤드부의 선단부의 구성에 관한 제1의 변형예를 나타내는 단면도이다.
도8(a), 도8(b)는 전극유닛에 구비되는 전극헤드의 선단부의 구성에 관한 제2의 변형예를 나타내는 단면도 및 평면도이다.1 is a diagram partially showing the configuration of a substrate inspection apparatus in which a substrate inspection jig according to one embodiment of the present invention is used.
FIG. 2 is an enlarged view of a configuration of a part of the cross-sectional view of the substrate inspection jig of FIG.
3 is a cross-sectional view showing the configuration of an inspection head.
4 is an enlarged cross-sectional view showing the configuration of an electrode head portion and its surroundings of the electrode unit.
FIG. 5 is a diagram illustrating a modification of the configuration of FIG. 4. FIG.
6 is a schematic plan view schematically showing a modification of the arrangement of the electrode holes, the electrode heads, and the like of the electrode unit.
7 is a cross-sectional view showing a first modification of the configuration of the tip portion of the electrode head portion provided in the electrode unit.
8 (a) and 8 (b) are sectional views and a plan view showing a second modification of the configuration of the tip portion of the electrode head provided in the electrode unit.

도1 내지 도5를 참조하여 본 발명의 1실시형태에 관한 기판검사치구가 적용된 기판검사장치에 대하여 설명한다.1 to 5, a substrate inspection apparatus to which a substrate inspection jig according to one embodiment of the present invention is applied will be described.

이러한 기판검사장치(1)는, 도1에 나타나 있는 바와 같이 기판검사치구(2)와, 그 기판검사치구(2)가 부착되는 검사장치본체(3)를 구비하고 있어, 도면에 나타나 있지 않은 피검사기판에 형성된 배선패턴의 전기적 특성에 관한 검사에 사용된다. 구체적인 검사로서는, 예를 들면 배선패턴의 도통검사(導通檢査) 및 배선패턴간의 절연검사(絶緣檢査) 등을 들 수 있다.As shown in FIG. 1, the substrate inspection apparatus 1 includes a substrate inspection fixture 2 and an inspection apparatus body 3 to which the substrate inspection fixture 2 is attached, which is not shown in the drawing. It is used to inspect the electrical characteristics of the wiring pattern formed on the substrate under test. As a specific test | inspection, the conduction test of a wiring pattern, the insulation test between wiring patterns, etc. are mentioned, for example.

기판검사치구(2)는, 도1에 나타나 있는 바와 같이 치구본체(6), 전극유닛(7) 및 검사헤드(8)를 구비하고 있다. 또한, 치구본체(6)와 전극유닛(7)을 합쳐서 치구 베이스 유닛(9)이라고 부르는 경우도 있다.The substrate inspection jig 2 includes a jig main body 6, an electrode unit 7, and an inspection head 8, as shown in FIG. In addition, the jig main body 6 and the electrode unit 7 may be collectively called a jig base unit 9.

치구본체(6)는 기판검사치구(2)의 기대(基臺) 부분을 구성하는 것으로서, 도1에 나타나 있는 바와 같이 대략 판자모양의 기대부재(61)와, 그 기대부재(61)의 윈도우부(61a)에 부착된 커넥터(62)를 구비하고 있다. 윈도우부(61a) 및 커넥터(62)는, 기대부재(61)에 있어서 전극유닛(7)이 부착되는 부착부(61b)로부터 기대부재(61)의 연장방향인 가로방향으로 떨어진 위치에 배치되어 있다. 이렇게 구성되는 치구본체(6)는, 검사장치본체(3)에 있어서 도면에 나타나 있지 않은 치구 부착부에 착탈이 가능하게 부착된다. 치구본체(6)와 검사장치본체(3)의 고정을 위한 고정구조에는, 예를 들면 간단한 원터치 조작 등에 의하여 고정 및 고정해제가 가능한 구조 혹은 볼트고정 등이 사용된다.The jig main body 6 constitutes a base portion of the substrate inspection jig 2, and as shown in FIG. 1, a substantially board-shaped base member 61 and a window of the base member 61 are shown. The connector 62 attached to the part 61a is provided. The window portion 61a and the connector 62 are disposed at a position spaced apart from the attachment portion 61b to which the electrode unit 7 is attached in the base member 61 in the transverse direction, which is an extension direction of the base member 61. have. The jig main body 6 constituted in this way is detachably attached to the jig attachment part which is not shown in the figure in the inspection apparatus main body 3. As a fixing structure for fixing the jig main body 6 and the inspection apparatus main body 3, for example, a structure or bolt fixing or the like that can be fixed and released by simple one-touch operation or the like is used.

전극유닛(7)은, 도1 및 도2에 나타나 있는 바와 같이 전극 기대재(71)와, 그 전극 기대재(71)에 의하여 지지되는 복수조의 전극헤드부(72), 도전코일 스프링재(73) 및 중계접속재(74)를 구비하여 구성된다. 이 중에서, 전극헤드부(72)가 본 발명에 관한 전극부에 해당된다.As shown in FIGS. 1 and 2, the electrode unit 7 includes an electrode base material 71, a plurality of sets of electrode head portions 72 and a conductive coil spring material supported by the electrode base material 71. 73) and a relay connection member 74. Among these, the electrode head part 72 corresponds to the electrode part concerning this invention.

전극 기대재(71)는, 도2에 나타나 있는 바와 같이 절연성을 구비하는 복수의 판상부재를 포개서 구성되어 있고, 전극헤드부(72), 도전코일 스프링재(73) 및 중계접속재(74)가 삽입되어서 지지되는 복수의 전극구멍(711)이 형성되어 있다. 전극구멍(711)은, 전극 기대재(71)를 이 기판검사치구(2)의 축방향인 상하방향으로 관통하고 있고, 그 검사헤드(8)측인 헤드측 단부(711a) 및 검사헤드(8)측과 반대측인 바닥부측 단부(71lb) 부분의 내경이 그 중간부(711c)의 내경보다도 좁게 되어 있다. 또한 전극구멍(711)의 헤드측 단부(711a)는, 전극 기대재(71)에 있어서 검사헤드(8)와의 대향면(712)으로 개구하고 있다. 또한, 변형예로서 전극 기대재(71)를 1매의 판상체(板狀體)에 의하여 구성하더라도 좋다.As shown in Fig. 2, the electrode base material 71 is formed by stacking a plurality of plate-like members having insulation properties. The electrode head portion 72, the conductive coil spring material 73 and the relay connecting material 74 are formed. A plurality of electrode holes 711 are inserted and supported. The electrode hole 711 penetrates the electrode base 71 in the vertical direction in the axial direction of the substrate inspection jig 2, and the head side end portion 711a and the inspection head 8 on the inspection head 8 side. The inner diameter of the bottom side end portion 71 lb on the side opposite to the c) side is narrower than the inner diameter of the middle portion 711c. Moreover, the head side edge part 711a of the electrode hole 711 opens to the opposing surface 712 with the test head 8 in the electrode base material 71. In addition, you may comprise the electrode base material 71 by one plate-shaped object as a modification.

전극헤드부(72)는 도전성(예를 들면 금속제)의 대략 봉(棒)모양의 형태를 구비하고, 선단측 소경부(721), 중간 대경부(722) 및 후단측 소경부(723)를 구비하고 있다. 중간 대경부(722)의 외경은, 선단측 소경부(721) 및 후단측 소경부(723)보다도 큼과 아울러 전극 기대재(71)의 전극구멍(711)의 중간부(711c)의 내경보다도 작으며 헤드측 단부(711a)의 내경보다도 크다. 또한 선단측 소경부(721)의 외경은 전극구멍(711)의 헤드측 단부(711a)의 내경보다도 작다.The electrode head portion 72 has a substantially rod-like form of conductivity (for example, metal), and the front end side small diameter portion 721, the middle large diameter portion 722, and the rear end side small diameter portion 723 are formed. Equipped. The outer diameter of the middle large diameter part 722 is larger than the front end side small diameter part 721 and the rear end side small diameter part 723, and is larger than the inner diameter of the middle part 711c of the electrode hole 711 of the electrode base material 71. It is small and larger than the inner diameter of the head side end portion 711a. The outer diameter of the tip-side small diameter portion 721 is smaller than the inner diameter of the head side end portion 711a of the electrode hole 711.

이러한 전극헤드부(72)는, 선단측 소경부(721)가 전극구멍(711)의 헤드측 단부(711a)내에 바닥부측으로부터 삽입되도록 하여 전극구멍(711)내에 삽입되어, 후술하는 도전코일 스프링재(73)의 가압력에 의하여 검사헤드(8)측에 탄성적으로 가압된 상태로 지지된다. 이 상태에 있어서, 도4에 나타나 있는 바와 같이 전극헤드부(72)의 선단측 소경부(721)와 중간 대경부(722) 사이의 단차부(724)가, 전극구멍(711)내의 헤드측 단부(711a)와 중간부(711c) 사이의 단차부(711d)(본 발명에 관한 접촉부에 해당)에 접촉함으로써 검사헤드(8)측으로 전극헤드부(72)가 변위하는 것을 저지하게 되어 있다.The electrode head portion 72 is inserted into the electrode hole 711 so that the tip side small diameter portion 721 is inserted from the bottom side in the head side end portion 711a of the electrode hole 711, and the conductive coil spring described later. It is supported by the pressing force of the ashes 73 in the state that it is elastically pressed to the test head 8 side. In this state, as shown in FIG. 4, the step 724 between the tip-side small diameter portion 721 and the intermediate large-diameter portion 722 of the electrode head portion 72 is the head side in the electrode hole 711. By contacting the step portion 711d (corresponding to the contact portion according to the present invention) between the end portion 711a and the intermediate portion 711c, the electrode head portion 72 is prevented from being displaced toward the inspection head 8 side.

이러한 때에, 도4에 나타나 있는 바와 같이 전극헤드부(72)에 있어서 검사헤드(8)측을 향한 선단부(도4의 도면에 나타나 있는 예에서는 선단면)(725)는, 전극 기대재(71)에 있어서 검사헤드(8)와의 대향면(712)과 실질적으로 하나의 면으로 가지런하게 되는 위치에 위치하도록 설정되어 있다. 또는, 이 도4에 나타내는 구성의 변형예로서, 도5에 나타나 있는 바와 같이 전극헤드부(72)의 선단부(도4의 도면에 나타나 있는 예에서는 선단면)(725)를, 전극 기대재(71)의 대향면(712)에 대하여 검사헤드(8)로부터 이반하는 방향으로 오목모양으로 후퇴한 위치에 위치하도록 설정하더라도 좋다.At this time, as shown in Fig. 4, the tip portion (the tip surface in the example shown in Fig. 4) 725 of the electrode head portion 72 toward the inspection head 8 side is an electrode base material 71. As shown in Figs. ) Is set so as to be positioned at a position substantially parallel to the opposing face 712 with the test head 8. Alternatively, as a modification of the configuration shown in FIG. 4, as shown in FIG. 5, the tip end portion (a tip end surface in the example shown in FIG. 4) 725 of the electrode head portion 72 is provided as an electrode base material ( The opposing surface 712 of 71 may be set so as to be positioned at a position recessed in a concave shape in a direction away from the test head 8.

도전코일 스프링재(73)는, 도전재료(예를 들면 금속)에 의하여 형성된 대략 코일 스프링 모양의 형태를 구비하고, 전극구멍(711)내에 있어서 그 신축방향으로 압축된 상태에서 전극헤드부(72)와 후술하는 중계접속재(74) 사이에 삽입되어 있다. 그리고 도전코일 스프링재(73)의 신축방향의 일방측 단부가 전극헤드부(72)의 후단측에 접촉함과 아울러 그 타방측 단부가 중계접속재(74)의 선단부에 접촉하고, 이에 따라 전극헤드부(72)와 중계접속재(74)가 도전코일 스프링재(73)를 통하여 전기적으로 접속된다. 또한, 본 실시형태에서는, 도전코일 스프링재(73)의 상기 일방측 단부가 전극헤드부(72)의 후단측 소경부(723)에 외부로부터 결합된 상태에서, 후단측 소경부(723)와 중간 대경부(722) 사이의 단차부에 접촉하여 전극헤드부(72)를 검사헤드(8)측으로 가압하고 있다.The conductive coil spring member 73 has a substantially coil spring shape formed of a conductive material (for example, metal), and is compressed in the stretch direction in the electrode hole 711 in the electrode head portion 72. ) And the relay connecting member 74 described later. One end portion of the conductive coil spring member 73 in the stretching direction is in contact with the rear end side of the electrode head portion 72, and the other end portion thereof is in contact with the tip portion of the relay connecting member 74. The portion 72 and the relay connecting member 74 are electrically connected to each other via the conductive coil spring member 73. In addition, in this embodiment, the said one side edge part of the conductive coil spring material 73 is connected to the rear end side small diameter part 723 of the electrode head part 72 from the exterior, and the rear end side small diameter part 723 and The electrode head portion 72 is pressed against the inspection head 8 side in contact with the stepped portion between the middle large diameter portions 722.

중계접속재(74)는 도전성을 구비하고, 전극헤드부(72)를 후술하는 접속전환유닛(32)에 전기적으로 접속시킨다. 그리고 중계접속재(74)의 선단부가 바닥부측 단부(71lb)로부터 전극구멍(711)내에 삽입되어, 도전코일 스프링재(73)를 통하여 전극헤드부(72)와 전기적으로 접속되어 있다.The relay connecting member 74 is electrically conductive and electrically connects the electrode head portion 72 to the connection switching unit 32 described later. The tip end of the relay connecting member 74 is inserted into the electrode hole 711 from the bottom end 71lb, and is electrically connected to the electrode head 72 via the conductive coil spring member 73.

중계접속재(74)의 구체적인 구성으로서는, 예를 들면 도전성의 와이어(741)와, 그 와이어(741)의 선단에 접합되고 도전성을 구비하는 스프링 접촉부(742)를 구비하여 구성되어 있다. 와이어(741)의 선지름(線徑)은, 전극구멍(711)의 바닥부측 단부(71lb)의 내경보다도 작게 설정되어 있다. 스프링 접촉부(742)의 외경은, 와이어(741)의 선지름 및 전극구멍(711)의 바닥부측 단부(71lb)의 내경보다도 크고 또한 중간부(711c)의 내경보다도 작게 설정되어 있다. 이 때문에 전극구멍(711)내에 있어서, 스프링 접촉부(742)가 바닥부측 단부(71lb)에 있어서 검사헤드(8)측의 개구부와 결합하고, 이에 따라 중계접속재(74)에 있어서 전극구멍(711)내에 삽입된 부분이 전극구멍(711)에서 빠지지 않게 되어 있다. 전극구멍(711)으로부터 인출된 와이어(741)는 커넥터(62)에 전기적으로 접속된다. 또한, 와이어(741)는 도체심(導體芯)의 주위를 수지 등의 절연재(絶緣材)에 의하여 피복하고 있는 것이 바람직하다. 또한 와이어(741)는, 전극구멍(711)으로부터 커넥터(62)까지 연속한 것이더라도 좋고, 도중에 다른 중계 와이어에 전기적으로 접속하여, 그 중계 와이어를 통하여 커넥터(62)와 전기적으로 접속되더라도 좋다. 또한 스프링 접촉부(742)로서는, 예를 들면 솔더링볼 등의 금속제의 볼이 사용된다.As a specific structure of the relay connection material 74, it is comprised, for example with the conductive wire 741 and the spring contact part 742 joined to the front-end | tip of this wire 741, and having electroconductivity. The wire diameter of the wire 741 is set smaller than the inner diameter of the bottom end 71 lb of the electrode hole 711. The outer diameter of the spring contact portion 742 is set larger than the inner diameter of the wire diameter of the wire 741 and the inner diameter of the bottom end 71lb of the electrode hole 711 and smaller than the inner diameter of the intermediate portion 711c. For this reason, in the electrode hole 711, the spring contact part 742 engages with the opening part of the test head 8 side at the bottom side end part 71lb, and, accordingly, the electrode hole 711 in the relay connection material 74 is carried out. The portion inserted into the electrode hole 711 does not come out. The wire 741 drawn out from the electrode hole 711 is electrically connected to the connector 62. Moreover, it is preferable that the wire 741 coat | covers the circumference | surroundings of a conductor core with insulating materials, such as resin. The wire 741 may be continuous from the electrode hole 711 to the connector 62, or may be electrically connected to another relay wire on the way, and may be electrically connected to the connector 62 through the relay wire. As the spring contact portion 742, for example, a metal ball such as a soldering ball is used.

이러한 전극유닛(7)의 전극구멍(711) 및 전극헤드부(72)는, 프로브(81)의 배치형태가 서로 다른, 후술하는 복수 종류의 검사헤드(8)에 대응 가능하게, 검사헤드(8)의 프로브(81)의 설치 피치보다도 작은 설치 피치로 대략 매트릭스 모양으로 설치되어 있다. 그리고 검사헤드(8)가 전극유닛(7)에 부착되는 데에 따라, 검사헤드(8)의 프로브(81)의 후단부(8lb)가, 전극유닛(7)에 있어서 대략 매트릭스 모양으로 설치된 어느 하나의 전극헤드부(72)와 전기적으로 접촉하게 되어 있다.The electrode hole 711 and the electrode head portion 72 of the electrode unit 7 are capable of responding to a plurality of types of inspection heads 8 to be described later, in which the arrangement of the probes 81 is different. It is provided in substantially matrix form at an installation pitch smaller than the installation pitch of the probe 81 of 8). As the test head 8 is attached to the electrode unit 7, the rear end 8lb of the probe 81 of the test head 8 is formed in a substantially matrix shape in the electrode unit 7. It is in electrical contact with one electrode head portion 72.

이러한 때에, 전극헤드부(72)는, 프로브(81)와의 접촉에 따른 프로브(81)로부터의 압력에 의하여 도전성코일 스프링재(73)의 가압력에 저항하여 전극구멍(711)의 내측으로 약간 압입된 상태가 된다. 이에 따라, 전극헤드부(72)의 선단부(725)가 전극 기대재(71)의 대향면(712)에 대하여 검사헤드(8)로부터 이반하는 방향으로 오목모양으로 약간 후퇴한 상태가 되고, 이에 따라 프로브(81)의 후단부(81a)가 전극헤드부(72)의 선단부(725)로부터 변위되는 것이 방지되어, 프로브(81)와 전극헤드부(72)의 접촉상태가 안정된다.At this time, the electrode head portion 72 is pressed against the inside of the electrode hole 711 slightly against the pressing force of the conductive coil spring member 73 by the pressure from the probe 81 in contact with the probe 81. It becomes a state. As a result, the tip portion 725 of the electrode head portion 72 is slightly recessed in a concave shape with respect to the opposing surface 712 of the electrode base material 71 from the test head 8. Accordingly, the rear end portion 81a of the probe 81 is prevented from being displaced from the front end portion 725 of the electrode head portion 72, so that the contact state between the probe 81 and the electrode head portion 72 is stabilized.

이러한 전극유닛(7)은, 치구본체(6)의 기대부재(61)의 부착부(61b)에 교환이 가능하게 부착된다. 전극유닛(7)과 치구본체(6)의 기대부재(61)의 고정을 위한 고정구조에는, 예를 들면 간단한 원터치 조작 등에 의하여 고정 및 고정해제가 가능한 구조 혹은 볼트고정 등이 사용된다.This electrode unit 7 is attached to the attachment part 61b of the base member 61 of the jig main body 6 so that replacement is possible. As the fixing structure for fixing the electrode unit 7 and the base member 61 of the jig main body 6, for example, a structure that can be fixed and released by simple one-touch operation or the like or a bolt fixing is used.

검사헤드(8)는, 도3에 나타나 있는 바와 같이 도전성을 구비하는 가늘고 긴 대략 바늘모양의 형태를 구비하는 복수의 프로브(81)와, 그 복수의 프로브(81)를 지지하는 프로브 지지부재(82)를 구비하여 구성되어 있다. 프로브 지지부재(82)는, 도면에 나타나 있지 않은 검사대상인 피검사기판측에 위치하는 선단측 지지부재(821)와, 전극유닛(7)측에 배치되는 후단측 지지부재(822)와, 선단측 지지부재(821)와 후단측 지지부재(822)를 연결하여 고정시키는 연결부재(823)를 구비하고 있다. 선단측 지지부재(821)와 후단측 지지부재(822)는, 상하방향으로 간격을 둔 상태에서 연결부재(823)에 의하여 연결되어 있다. 또한 선단측 지지부재(821) 및 후단측 지지부재(822)에는, 프로브(81)가 삽입되어서 지지되는 복수의 지지구멍이 형성되어 있고, 선단측 지지부재(821)의 지지구멍에는 프로브(81)의 선단측이 삽입되어 지지되고, 후단측 지지부재(822)의 지지구멍에는 프로브(81)의 후단측이 삽입되어 지지된다.As shown in Fig. 3, the inspection head 8 includes a plurality of probes 81 having an elongated, substantially needle-like shape having conductivity, and a probe support member for supporting the plurality of probes 81 ( 82) is comprised. The probe support member 82 includes a front end side support member 821 positioned at the side of the inspection target that is not shown in the drawing, a rear end side support member 822 disposed at the electrode unit 7, and a front end. A connecting member 823 is provided to connect and fix the side supporting member 821 and the rear end supporting member 822. The front end side support member 821 and the rear end side support member 822 are connected by the connecting member 823 in a state spaced apart in the vertical direction. Further, a plurality of support holes are formed in the tip side support member 821 and the rear end side support member 822 in which the probe 81 is inserted and supported, and the probe 81 is provided in the support hole of the tip side support member 821. ) Is inserted and supported, and the rear end side of the probe 81 is inserted and supported in the support hole of the rear end side support member 822.

이러한 프로브(81)의 지지상태에 있어서, 프로브(81)의 선단부(81a) 및 후단부(8lb)는, 선단측 지지부재(821)에 있어서 피검사기판측을 향한 선단측의 끝면(821a) 및 후단측 지지부재(822)에 있어서 전극유닛(7)측을 향한 후단측의 끝면(822a)으로부터 돌출하고 있다. 그리고 프로브(81)의 선단부(81a)가 검사대상인 피검사기판의 배선패턴상에 형성된 검사점에 전기적으로 접촉되고, 후단부(8lb)가 전극유닛(7)의 전극헤드부(72)에 전기적으로 접촉된다.In the support state of the probe 81, the tip end portion 81a and the rear end portion 8lb of the probe 81 are end faces 821a at the tip side of the tip supporting member 821 toward the substrate to be inspected. And the rear end side support member 822 protrude from the end face 822a on the rear end side toward the electrode unit 7 side. The tip end portion 81a of the probe 81 is in electrical contact with an inspection point formed on the wiring pattern of the substrate under test, and the rear end portion 8lb is electrically connected to the electrode head portion 72 of the electrode unit 7. Contact with.

또한, 도3의 도면에 나타나 있는 예에서는, 선단측 지지부재(821) 및 후단측 지지부재(822)는, 절연성을 구비하는 복수의 판상부재를 포개서 각각 구성되어 있지만, 단일 판상부재에 의하여 구성하더라도 좋다.In addition, in the example shown in FIG. 3, the front-end support member 821 and the rear-end support member 822 are each composed of a plurality of plate-like members having insulation, but constituted by a single plate-like member. You may.

이러한 검사헤드(8)는 전극유닛(7)에 교환 가능하게 부착된다. 검사헤드(8)와 전극유닛(7)의 고정을 위한 고정구조에는, 예를 들면 간단한 원터치 조작 등에 의하여 고정 및 고정해제가 가능한 구조 혹은 볼트고정 등이 사용된다. 변형예로서, 검사헤드(8)를 전극유닛(7)에 대하여가 아니라, 치구본체(6)의 기대부재(61)의 부착부(61b)에 대하여 직접 부착하더라도 좋다.This test head 8 is exchangeably attached to the electrode unit 7. As the fixing structure for fixing the test head 8 and the electrode unit 7, for example, a structure that can be fixed and released by simple one-touch operation or the like, or a bolt fixing or the like is used. As a modification, the inspection head 8 may be directly attached to the attachment portion 61b of the base member 61 of the jig main body 6, rather than to the electrode unit 7.

검사헤드(8)의 프로브(81)는, 그 선단부(81a)가 검사대상인 피검사기판의 배선패턴상에 설정되는 검사점에 대응하도록 배치되어 있다. 즉 검사헤드(8)는, 검사대상인 피검사기판의 종류별로 복수 종류로 준비되어 있고, 검사대상인 피검사기판의 종류가 변경되는 데에 따라서 적절하게 교환되도록 되어 있다.The probe 81 of the inspection head 8 is arranged so that its tip portion 81a corresponds to an inspection point set on the wiring pattern of the inspection target substrate. That is, the inspection head 8 is prepared in plural kinds for each kind of inspected substrate to be inspected, and is appropriately replaced as the kind of inspected substrate to be inspected is changed.

이에 대하여 전극유닛(7)쪽은, 프로브(81)의 설치형태가 서로 다른 복수 종류의 검사헤드(8)에 대응이 가능하게 전극구멍(711) 및 전극헤드부(722) 등의 구성이 설정되어 있다. 이 때문에 검사대상인 피검사기판의 종류가 변경되었을 때에, 검사헤드(8)의 프로브(81)의 설치형태의 변경 정도가 전극유닛(7)이 대응 가능한 범위내(예를 들면 프로브(81)의 설치 피치가 큰 변경이 없을 경우 등)이면, 검사헤드(8)만 교환하면 전극유닛(7)은 교환하지 않아도 되게 되어 있다.On the other hand, the electrode unit 7 has a configuration in which the electrode holes 711 and the electrode head portion 722 are set so that the probes 81 can cope with a plurality of types of inspection heads 8 having different installation forms. It is. For this reason, when the type of substrate to be inspected is changed, the degree of change in the installation form of the probe 81 of the inspection head 8 is within the range in which the electrode unit 7 can cope with (for example, the probe 81). If the mounting pitch is not large, etc.), the electrode unit 7 does not need to be replaced by replacing only the inspection head 8.

또한 본 실시형태에 관한 전극유닛(7)은 용이하게 교환 가능하기 때문에, 가령 피검사기판의 종류의 변경에 따른 검사헤드(8)의 프로브(81)의 설치형태의 변경 정도가 전극유닛(7)이 대응 가능한 범위외(예를 들면 프로브(81)의 설치 피치가 크게 변경되었을 경우 등)이더라도, 전극유닛(7)을 교환하면 치구본체(6)는 교환하지 않아도 되게 되어 있다.In addition, since the electrode unit 7 according to the present embodiment can be easily replaced, the degree of change in the installation form of the probe 81 of the inspection head 8 caused by the change of the type of the substrate under test is changed. ) Is outside the applicable range (for example, when the installation pitch of the probe 81 is largely changed, etc.), the jig main body 6 does not need to be replaced when the electrode unit 7 is replaced.

다음에 검사장치본체(3)의 구성에 대하여 설명한다. 검사장치본체(3)는, 도1에 나타나 있는 바와 같이 검사처리부(31)와 접속전환유닛(32)을 구비하고 있다. 검사처리부(31)는 기판검사치구(2)를 통하여 피검사기판의 배선패턴의 전기적 특성을 검사한다.Next, the structure of the test | inspection apparatus main body 3 is demonstrated. The inspection apparatus main body 3 is provided with the inspection processing part 31 and the connection switching unit 32, as shown in FIG. The inspection processing unit 31 inspects the electrical characteristics of the wiring pattern of the substrate under test through the substrate inspection fixture 2.

접속전환유닛(32)은, 복수의 스위칭 소자(예를 들면 반도체 스위칭 소자)를 구비하여 구성되어, 기판검사치구(2)의 전극헤드부(72)와 검사처리부(31) 사이를 전기적으로 접속하는 배선에 삽입되어, 전극헤드부(72)와 검사처리부(31)의 전기적인 접속관계를 전환한다.The connection switching unit 32 includes a plurality of switching elements (for example, semiconductor switching elements), and electrically connects between the electrode head portion 72 and the inspection processing portion 31 of the substrate inspection jig 2. And the electrical connection relationship between the electrode head portion 72 and the inspection processing portion 31 is switched.

이러한 접속전환유닛(32)은, 검사장치본체(3)에 있어서, 검사장치본체(3)에 부착된 기판검사치구(2)의 전극유닛(7)과 상하방향으로 대향하는 영역으로부터 가로방향으로 떨어진 위치에 배치되어 있다. 본 실시형태에서는, 접속전환유닛(32)은, 기판검사치구(2)의 치구본체(6)의 기대부재(61)에 있어서 전극유닛(7)과는 반대측에 배치된다. 또한 접속전환유닛(32)에 있어서 기판검사치구(2)측을 향한 면에는 커넥터부(321)가 설치되어 있다. 그리고 그 커넥터부(321)를 커넥터(62)에 접속함으로써, 접속전환유닛(32)이, 커넥터(62) 및 와이어(741)를 포함하는 중계접속재(74)를 통하여 전극헤드부(72)와 전기적으로 접속되어 있다. 즉 본 실시형태에서는, 전극헤드부(72)와 접속전환유닛(32)의 전기적인 접속은, 우선 치구본체(6)의 기대부재(61)에서 전극유닛(7)측의 부분에 있어서, 전극헤드부(72)와 커넥터(62) 사이에 도전코일 스프링재(73) 등을 통하여 와이어(741)에 의하여 이루어진다. 계속하여 그 와이어(741)와, 기대부재(61)에 있어서 전극유닛(7)과는 반대측에 배치된 접속전환유닛(32)이 커넥터(62)를 통하여 전기적으로 접속된다.The connection switching unit 32 is disposed in the inspection apparatus main body 3 in a transverse direction from an area facing the electrode unit 7 of the substrate inspection jig 2 attached to the inspection apparatus main body 3 in the vertical direction. It is located in a remote location. In the present embodiment, the connection switching unit 32 is disposed on the side opposite to the electrode unit 7 in the base member 61 of the jig main body 6 of the substrate inspection jig 2. In addition, a connector portion 321 is provided on the surface of the connection switching unit 32 facing the substrate inspection jig 2 side. And by connecting the connector part 321 to the connector 62, the connection switching unit 32 connects with the electrode head part 72 through the relay connection material 74 containing the connector 62 and the wire 741. It is electrically connected. In other words, in the present embodiment, the electrical connection between the electrode head portion 72 and the connection switching unit 32 is first performed at the electrode member 7 side of the base member 61 of the jig main body 6. A wire 741 is formed between the head portion 72 and the connector 62 via a conductive coil spring member 73 or the like. Subsequently, the wire 741 and the connection switching unit 32 disposed on the side opposite to the electrode unit 7 in the base member 61 are electrically connected through the connector 62.

이러한 기판검사장치(1)에 의한 검사에서는, 우선 기판검사치구(2)의 각 프로브(81)의 선단부(81a)가 피검사기판의 배선패턴의 각 검사점에 전기적으로 접촉된다. 그리고 접속전환유닛(32)에 의하여 프로브(81)의 후단부(8lb)가 전기적으로 접촉하고 있는 전극헤드부(72) 중에서 검사대상으로 되어 있는 배선패턴의 조합에 대응하는 전극헤드부(72)가 선택적으로 검사처리부(31)와 전기적으로 접속된다. 그리고 검사처리부(31)에 의한 검사용 전력(檢査用電力)이, 그 선택된 전극헤드부(72) 및 프로브(81)를 통하여 검사대상인 배선패턴에 공급된다. 그에 따라, 도통성(導通性) 또는 절연성(絶緣性) 등에 관한 검사를 위한 신호가, 검사대상의 배선패턴으로부터 프로브(81) 및 그 선택된 전극헤드부(72)를 통하여 검사처리부(31)에 의하여 검출되고, 그 검출 결과에 의거하여 검사대상의 배선패턴의 도전성 또는 절연성 등이 양부판정(良否判定)이 이루어진다. 1개의 배선패턴의 조합에 대한 검사가 종료되면, 다음의 배선패턴의 조합에 대한 검사가 이루어진다.In the inspection by the substrate inspection apparatus 1, first, the tip portion 81a of each probe 81 of the substrate inspection fixture 2 is in electrical contact with each inspection point of the wiring pattern of the substrate under test. The electrode head portion 72 corresponding to the combination of the wiring pattern, which is the inspection target, among the electrode head portions 72 in which the rear end portion 8lb of the probe 81 is in electrical contact by the connection switching unit 32. Is selectively connected to the inspection processing unit 31. Then, the inspection power by the inspection processing section 31 is supplied to the wiring pattern to be inspected through the selected electrode head portion 72 and the probe 81. As a result, a signal for inspection regarding conduction, insulation, or the like is transmitted to the inspection processing unit 31 through the probe 81 and the selected electrode head portion 72 from the wiring pattern to be inspected. Is detected, and the determination of the quality of the wiring pattern to be inspected is carried out based on the detection result. When the inspection for the combination of one wiring pattern is finished, the inspection for the next combination of wiring patterns is performed.

이상과 같이, 본 실시형태에 관하여 기판검사치구(2) 및 그를 사용한 기판검사장치(1)에 의하면, 전극유닛(7)이 교환 가능하기 때문에, 프로브(81)의 설치 피치 등이 서로 다른 검사헤드(8)를 설치하려고 하는 경우에도, 기판검사치구(2) 전체를 교환하지 않고, 전극유닛(7)을 교환함으로써 그에 대응할 수 있다. 이 때문에 검사대상인 피검사기판의 구성(예를 들면 배선패턴의 형성 피치 등)의 변경에 따른 기판검사치구(2)의 구성의 변경의 부담을 경감시킬 수 있다.As mentioned above, according to the board | substrate inspection jig 2 and the board | substrate inspection apparatus 1 using the same according to this embodiment, since the electrode unit 7 is replaceable, the inspection which differs in the installation pitch of the probe 81, etc. are different. Even when the head 8 is to be provided, it is possible to respond by replacing the electrode unit 7 without replacing the entire board inspection jig 2. For this reason, the burden of the change of the structure of the board | substrate test fixture 2 according to the change of the structure (for example, formation pitch of a wiring pattern, etc.) of the to-be-tested board | substrate to be tested can be reduced.

또한 검사헤드(8)가 전극유닛(7)에 부착되고, 프로브(81)의 후단부(8lb)가 전극헤드부(72)에 전기적으로 접촉되었을 때에, 도전코일 스프링재(73)의 가압력에 의하여 전극헤드부(72)가 프로브(81)의 후단부(8lb)에 탄성적으로 가압되어서 접촉되기 때문에 프로브(81)와 전극헤드부(72)의 전기적인 접촉상태를 안정시킬 수 있다.In addition, when the test head 8 is attached to the electrode unit 7 and the rear end 8lb of the probe 81 is in electrical contact with the electrode head 72, the pressure of the conductive coil spring member 73 Since the electrode head portion 72 is elastically pressed against the rear end portion 8lb of the probe 81 and is in contact with each other, the electrical contact state between the probe 81 and the electrode head portion 72 can be stabilized.

또한 검사헤드(8)가 부착되어 있지 않고, 전극헤드부(72)가 프로브(81)의 접촉을 대기하고 있는 상태에서는, 압축된 상태에서 삽입된 도전코일 스프링재(73)의 가압력에 의하여 전극헤드부(72)가 전극구멍(711)내의 상한위치에 탄성적으로 가압되고 있다. 이 때문에 대기상태에 있는 전극헤드부(72)의 선단부(725)의 위치를 정확하게 결정할 수 있고, 이에 따라 검사헤드(8)가 부착되었을 때에 프로브(81)의 후단부(8lb)를 전극헤드부(72)에 확실하게 전기적으로 접촉시킬 수 있다.In addition, in the state where the test head 8 is not attached and the electrode head portion 72 is waiting for the contact of the probe 81, the electrode is applied by the pressing force of the conductive coil spring member 73 inserted in the compressed state. The head portion 72 is elastically pressed to the upper limit position in the electrode hole 711. Therefore, the position of the tip 725 of the electrode head 72 in the standby state can be accurately determined, so that when the test head 8 is attached, the rear end 8lb of the probe 81 is moved to the electrode head part. 72 can be reliably electrically contacted.

또한 전극헤드부(72)의 선단부(725)가, 도4에 나타나 있는 바와 같이 검사헤드(8)의 프로브(81)의 접촉을 대기하고 있는 상태에서, 전극 기대재(71)의 대향면(712)과 실질적으로 가지런하게 되는 위치에 배치되어 있다. 그 때문에, 프로브(81)의 후단부(8lb)가 전극헤드부(72)에 접촉함에 따른 압력에 의하여 전극헤드부(72)의 선단부(725)가 전극 기대재(71)의 대향면(712)에 대하여 검사헤드(8)로부터 이반하는 방향으로 오목모양으로 약간 후퇴하게 되고, 이에 따라 프로브(81)의 후단부(8lb)가 전극헤드부(72)의 선단부(725)로부터 위치변위(位置變位)되는 것이 방지되어 프로브(81)와 전극헤드부(72)의 접촉상태를 안정시킬 수 있다.Further, in the state where the tip portion 725 of the electrode head portion 72 is waiting for contact with the probe 81 of the test head 8 as shown in Fig. 4, the opposing surface of the electrode base material 71 ( 712 is disposed at a position substantially aligned with. Therefore, the front end portion 725 of the electrode head portion 72 faces the opposite surface 712 of the electrode base material 71 due to the pressure that the rear end portion 8lb of the probe 81 contacts the electrode head portion 72. The back end 8lb of the probe 81 is displaced from the distal end 725 of the electrode head 72 by the concave shape in the opposite direction from the test head 8. I) can be prevented, and the contact state of the probe 81 and the electrode head part 72 can be stabilized.

또한 도5에 나타내는 변형예에 관한 구성에서는, 전극헤드부(72)의 선단부(725)가, 프로브(81)와의 접촉대기 상태에 있어서 전극 기대재(71)의 대향면(712)에 대하여 검사헤드(8)로부터 이반하는 방향으로 오목모양으로 후퇴한 위치에 배치되어 있다. 그 때문에, 프로브(81)의 후단부(8lb)가 전극헤드부(72)에 접촉한 후 뿐만 아니라 접촉할 때에도, 프로브(81)의 후단부(8lb)로부터 위치변위가 방지되면서 전극헤드부(72)의 상단부(725)에 확실하게 접촉시킬 수 있어, 프로브(81)와 전극헤드부(72)의 접촉상태를 보다 안정시킬 수 있다.In addition, in the structure concerning the modification shown in FIG. 5, the front-end | tip part 725 of the electrode head part 72 test | inspects the opposing surface 712 of the electrode base material 71 in the contact standby state with the probe 81. FIG. It is arrange | positioned at the position which retracted concavely in the direction away from the head 8. Therefore, not only after the rear end portion 8lb of the probe 81 comes into contact with the electrode head portion 72 but also when the rear end portion 8lb contacts the electrode head portion (when the position displacement is prevented from the rear end portion 8lb of the probe 81). 72 can be reliably brought into contact with the upper end 725, whereby the contact between the probe 81 and the electrode head 72 can be more stabilized.

본 실시형태에 관한 기판검사장치(1)에 의하면, 도1에 나타나 있는 바와 같이 접속전환유닛(32)이, 검사장치본체(3)에 있어서, 검사장치본체(3)에 부착된 기판검사치구(2)의 전극유닛(7)과 상하방향으로 대향하는 영역으로부터 가로방향으로 떨어진 위치에 배치되어 있다. 그 때문에, 기판검사장치(1)에 있어서 기판검사치구(2)의 전극유닛(7)이 배치되는 부분 및 그 주변의 구성을 간단하게 할 수 있어, 기판검사치구(2) 및 전극유닛(7)의 교환작업 등이 용이하게 된다. 또한 기판검사치구(2)의 도면에 나타나 있지 않은 위치조절기구의 설치 스페이스 확보도 용이하게 된다.According to the board | substrate test | inspection apparatus 1 which concerns on this embodiment, the board | substrate test fixture which the connection switching unit 32 attached to the test | inspection apparatus main body 3 in the test apparatus main body 3, as shown in FIG. It is arrange | positioned at the position separated in the horizontal direction from the area | region which opposes the electrode unit 7 of (2) in the up-down direction. Therefore, in the board | substrate test | inspection apparatus 1, the structure where the electrode unit 7 of the board | substrate test jig 2 is arrange | positioned, and the periphery thereof can be simplified, and the board | substrate test jig 2 and the electrode unit 7 can be simplified. ), Etc., can be replaced easily. In addition, it becomes easy to secure the installation space of the position adjustment mechanism not shown in the drawing of the substrate inspection jig 2.

이하에서는, 상기 실시형태에 관한 구성의 변형예에 대하여 설명한다. 상기 실시형태에 관한 전극유닛(7)에서는, 전극유닛(7)의 전극 기대재(71)의 대향면(712)에 형성되는 전극구멍(711) 및 전극헤드부(72) 등을 대향면(712)의 대략 전체 면에 있어서 똑같은 설치 피치로 설치하는 것을 상정하고 있었다. 이 점에 관한 변형예로서, 도6에 나타나 있는 바와 같이 대향면(712)에, 전극구멍(711) 및 전극헤드부(72) 등의 설치 피치가 서로 다른 복수의 전극설치영역(712a, 712b)을 형성하여도 좋다. 이에 따라 검사헤드(8)의 프로브(81)의 설치 피치가 부분적으로 다르게 되어 있는 경우에도 대응할 수 있음과 아울러, 배선패턴의 형성 피치 등이 서로 다른 복수의 영역을 구비하는 피검사기판에 관해서도, 1개의 기판검사치구(2)를 사용하여 한번에 검사할 수 있게 된다.Below, the modification of the structure which concerns on the said embodiment is demonstrated. In the electrode unit 7 according to the above embodiment, the electrode hole 711, the electrode head portion 72, and the like formed on the opposing surface 712 of the electrode base material 71 of the electrode unit 7 are opposed to each other ( 712) was supposed to be installed at the same mounting pitch in approximately the entire surface. As a modified example of this point, as shown in Fig. 6, a plurality of electrode mounting regions 712a and 712b having different mounting pitches of the electrode holes 711 and the electrode head portion 72 and the like on the opposing surface 712 are shown. ) May be formed. As a result, even when the installation pitches of the probes 81 of the inspection head 8 are partially different, the substrate to be inspected including a plurality of regions having different pitches, etc. for forming wiring patterns, Inspection can be performed at one time using one substrate inspection jig 2.

또한 전극헤드부(72)의 선단부(725)의 구성에 관한 변형예로서는, 도7에 나타내는 구성 및 도8(a), 도8(b)에 나타나 있는 구성을 들 수 있다. 도7에 나타내는 구성에서는, 전극헤드부(72)의 선단부(725)가, 그 중앙부가 대략 오목하게 들어간 오목형상을 구비하고 있다. 이 도7의 구성에 의하면, 프로브(81)의 후단부(8lb)가 전극헤드부(72)의 선단부(725)의 오목형상(726)내에 삽입되어 전극헤드부(72)와 전기적으로 접촉하기 때문에, 프로브(81)와 전극헤드부(72)의 전기적인 접촉상태를 안정시킬 수 있다.Moreover, as a modification regarding the structure of the front-end | tip part 725 of the electrode head part 72, the structure shown in FIG. 7 and the structure shown in FIG. 8 (a) and FIG. 8 (b) are mentioned. In the configuration shown in FIG. 7, the tip portion 725 of the electrode head portion 72 has a concave shape in which the center portion thereof is substantially concave. According to this configuration of FIG. 7, the rear end portion 8lb of the probe 81 is inserted into the concave shape 726 of the tip portion 725 of the electrode head portion 72 so as to be in electrical contact with the electrode head portion 72. Therefore, the electrical contact state between the probe 81 and the electrode head portion 72 can be stabilized.

또한 도8(a) 및 도8(b)에 나타나 있는 구성에서는, 전극헤드부(72)의 선단부(725)의 가장자리 부분에, 프로브(81)의 후단부(8lb) 측으로 돌출하는 복수의 돌기(727)가 형성되어 있다. 그 때문에, 프로브(81)의 후단부(8lb)가, 전극헤드부(72)의 선단부(725)의 가장자리부분에 형성된 복수의 돌기(727)의 내측에 삽입되도록 하여 전극헤드부(72)와 전기적으로 접촉하기 때문에, 프로브(81)와 전극헤드부(72)의 전기적인 접촉상태를 안정시킬 수 있다.
In addition, in the structure shown to FIG. 8 (a) and FIG. 8 (b), the several processus | protrusion which protrudes to the rear end part 8lb side of the probe 81 to the edge part of the front end part 725 of the electrode head part 72 is shown. 727 is formed. Therefore, the rear end portion 8lb of the probe 81 is inserted into the plurality of protrusions 727 formed at the edge portion of the tip portion 725 of the electrode head portion 72 so as to be inserted into the electrode head portion 72. Because of the electrical contact, the electrical contact between the probe 81 and the electrode head portion 72 can be stabilized.

1 : 기판검사장치
2 : 기판검사치구
3 : 검사장치본체
31 : 검사처리부
32 : 접속전환유닛
6 : 치구본체
61 : 기대부재
62 : 커넥터
7 : 전극유닛
71 : 전극기대재
711 : 전극구멍
712 : 대향면
72 : 전극헤드부
725 : 선단
726 : 오목형상
727 : 돌기
73 : 도전코일 스프링재
74 : 중계 접속재
8 : 검사헤드
81 : 프로브
82 : 프로브 지지부재
9 : 치구 베이스 유닛1: Board inspection device
2: substrate inspection fixture
3: Inspection device body
31: inspection processing unit
32: connection switching unit
6: jig main body
61: expectation member
62: connector
7: electrode unit
71: electrode base material
711 electrode hole
712: facing surface
72: electrode head portion
725: tip
726: concave
727: turning
73: conductive coil spring material
74: relay connection member
8: inspection head
81: probe
82: probe support member
9: jig base unit

Claims

A substrate inspection jig attached to a substrate inspection device and used for inspection of electrical characteristics of a wiring pattern formed on a substrate to be inspected,
Jig body,
An electrode unit having a plurality of electrode portions provided in a matrix shape, the electrode unit being replaceably attached to the jig main body,
And a plurality of probes and a probe support member for supporting the plurality of probes, the rear end of each probe being interchangeable with the electrode unit or the jig main body such that the rear end of each probe is in electrical contact with any one of the electrode units. Test head
Respectively,
The probe of the inspection head is arranged such that its tip corresponds to an inspection point set on the wiring pattern of the substrate to be inspected,
The electrode portion of the electrode unit is provided in a matrix shape at an installation pitch smaller than that of the probe of the inspection head so as to correspond to a plurality of types of inspection heads having different arrangements of the probes. PCB inspection fixture.

The method of claim 1,
The electrode unit,
An insulating electrode base member having a plurality of electrode holes formed on a surface opposite to the probe unit;
An electrode head portion having an electroconductive and rod-like shape and provided in the electrode hole of the electrode base member to constitute the electrode portion;
A conductive coil spring member having conductivity and having a coil spring shape and inserted into the electrode hole so that one end portion of the stretch direction is in contact with the rear end side of the electrode head portion;
A relay connecting member having conductivity and having a distal end inserted into the electrode hole to be in contact with the other end of the conductive coil spring member in the stretching direction.
Substrate inspection jig characterized in that it comprises.

The method of claim 2,
In the electrode hole of the electrode base member, a contact portion for contacting a part of the electrode head portion to prevent displacement of the electrode head portion toward the inspection head side is provided.
And the conductive coil spring member is inserted between the electrode head portion and the relay connecting member in a state in which the conductive coil spring member is compressed in the stretching direction in the electrode hole.

The method of claim 3,
In the electrode head portion of the electrode unit, the tip portion of the electrode head toward the rear end side of the probe is in contact with the inspection head in the electrode base member in a state where the probe of the inspection head is not in contact. The substrate inspection jig, characterized in that arranged in a position to be aligned.

The method of claim 3,
In the electrode head portion of the electrode unit, the tip portion of the electrode head toward the rear end side of the probe is provided on the opposite surface of the electrode base material to the inspection head in a state where the probe of the inspection head is not in contact. And a retracted position in a concave shape in a direction opposite to the test head.

The method of claim 1,
And the electrode unit is provided with a plurality of electrode mounting regions having different mounting pitches of the electrode portions.

The method of claim 1,
A front end portion of the electrode portion of the electrode unit, which is directed toward the rear end portion of the probe, has a concave shape in which the center portion thereof is concave.

The method of claim 1,
And an edge portion of the tip portion of the electrode unit facing the rear end portion of the probe is formed with a plurality of protrusions protruding toward the rear end portion of the probe.

The method of claim 1,
The front end portion and the rear end portion of the probe of the inspection head protrude from the end surface of the front end side toward the test substrate side and the end surface of the rear end side toward the electrode unit side in the probe support member. Inspection fixture.

A substrate inspection apparatus comprising a substrate inspection fixture of claim 1 and an inspection apparatus body to which the substrate inspection fixture is attached,
The inspection device body,
An inspection processor for inspecting electrical characteristics of the wiring pattern of the inspected substrate through the substrate inspection jig;
The substrate inspection device main body, which is disposed at a position away from an area of the substrate inspection device that is attached to the substrate inspection device main body to face the electrode unit in the vertical direction, wherein the electrode portion of the substrate inspection tool and the inspection processing portion Connection switching unit for switching the electrical connection relationship
Substrate inspection apparatus characterized in that it comprises.

A jig base unit attached to a substrate inspection apparatus together with an inspection head having a plurality of probes and used for inspection regarding electrical characteristics of a wiring pattern formed on a substrate to be inspected,
Jig body,
An electrode unit having a plurality of electrode portions provided in a matrix shape, the electrode unit being removably attached to the jig main body;
Respectively,
As the test head is interchangeably attached to the electrode unit or the jig main body, the rear end of the probe of the test head is in electrical contact with any one of the electrode units of the electrode unit,
The electrode unit of the electrode unit is provided in a matrix form at an installation pitch smaller than the installation pitch of the probe of the inspection head so as to correspond to the plurality of types of inspection heads having different arrangements of the probes. Base unit.