KR20130035377A - 기판 이송 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로서, 이송 대상이 되는 기판의 하측에 마련되어 기판을 직립 상태로 이송하는 다수개의 반송 롤러, 상기 기판의 상측에 마련되어 이송되는 기판을 가이드하는 다수개의 가이드 롤러 및 상기 다수개의 반송 롤러의 외주면을 감싸도록 마련되는 이송 벨트를 포함하고, 상기 이송 벨트의 일면에는 상기 기판의 하단면이 접촉되는 것을 특징으로 한다.

Description

기판 이송 장치{APPARATUS FOR TRANSFERRING A SUBSTRATE}

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 또는 평판 디스플레이 등의 제조 공정에 사용되는 기판을 직립 상태로 이송할 때 반송 롤러의 손상을 방지하는 기판 이송 장치에 관한 것이다.

일반적으로 LCD 공정은 크게 TFT 어레이 공정, 컬러필터 공정, 셀 어셈블리 공정, 모듈 공정 등으로 이루어져 있으며, 각 공정은 다시 세부 공정으로 나누어진다.

즉, 하나의 공정을 마친 기판은 인라인 방식으로 다음 공정으로 이동하게 되는데, 종래에는 기판을 수평 상태로 유지하면서 이송하는 수평 이송방식이 주로 사용되었다. 이는 수평 상태에서 기판 표면에 여러 가지 공정(증착, PR 도포, 노광, 현상 등)을 수행하고, 안정적으로 기판을 이송하기 위한 것이다.

그러나 기판이 대형화되어 감에 따라 기판 이송 장치 역시 대형화되어 기판 이송 장치가 차지하는 부피가 증가하고 설비를 증설해야 하는 등 문제가 발생하며, 그 결과 LCD 생산량이 저하되고, 설비 비용이 증가하는 문제점이 발생하게 된다.

이와 같은 수평 이송 방식의 문제점을 해결하기 위해 기판을 수직으로 이동시키는 방식을 고려해 볼 수 있다. 즉, 기판을 수직으로 세워서 이송하면 이송 장치의 부피가 줄어들고, 여러 개의 이송 라인을 설치할 수 있게 되므로 생산량을 증대시키고, 비용을 절감하는 효과를 가져 올 수 있다.

도 1에 도시된 바와 같이 기판(P)을 수직으로 이송하는 장치는 이송 중 기판(P)이 오염되는 것을 방지하기 위한 챔버(50)를 포함하여 구성되고, 상기 챔버(50)의 내부에는 자성체로 형성되는 다수개의 반송 롤러(20)를 배치하며, 상기 챔버(50)의 외부에는 구동 모터(12) 및 구동 롤러(10)가 마련됨으로써 상기 챔버(50)의 내부에 모터 등의 구동 장치를 설치하지 않고 상기 반송 롤러(20)가 구동되도록 구성된다.

즉, 상기 구동 롤러(10)는 상기 챔버(50) 내부의 반송 롤러(20)를 회전시키기 위한 것으로서 상기 챔버(50) 외부의 하측에 마련되어 상기 구동 모터(12)와 연결되며, 상기 구동 롤러(10) 역시 자성체로 형성된다. 한편, 상기 구동 모터(12)는 구동 벨트 등을 통하여 상기 구동 롤러(10)와 연결되며, 상기 구동 롤러(10)가 회전되도록 구동력을 제공한다.

상술한 바와 같이 상기 구동 롤러(10) 및 상기 반송 롤러(20)가 자성체로 형성되는 경우 상기 구동 모터(12)가 구동하여 상기 챔버(50) 외부에 있는 구동 롤러(10)가 회전하면, 자기력에 의해 상기 반송 롤러(20)는 상기 구동 롤러(10) 회전 방향의 반대 방향으로 회전하게 된다.

한편, 도 2를 참조하면 상기 반송 롤러(20)에 의하여 이송되는 기판(P)을 가이드하기 위하여 상기 챔버(50)의 내부에는 하부 레일(30b) 및 상부 레일(30a)이 마련되는데, 상기 하부 레일(30b) 및 상부 레일(30a)의 양측에는 그 길이 방향을 따라 가이드 롤러(40)가 일정한 간격으로 설치되어 이송되는 기판(P)의 하측과 상측의 양면에 접촉되면서 수직 상태로 이송되는 기판(P)을 지지하게 된다.

그러나, 상술한 바와 같이 기판(P)을 수직으로 이송하는 경우 기판(P)의 두께는 얇고 면적은 크기 때문에 이송 중 기판(P)의 안정성에 문제가 발생할 수 있다. 즉, 기판(P) 및 상기 기판(P)에 결합되어 기판(P)을 지지하고 보호하는 지그 등의 자중에 의하여 상기 기판(P)의 하단면과 직접 접촉하는 상기 반송 롤러(20)에 스크래치 등의 손상이 생겨 약액 등이 자성체인 반송 롤러(20)에 침투하여 부식을 시킨다는 문제점이 발생하며, 이로 인하여 고가의 비용으로 제작되는 반송 롤러를 반복적으로 교체하여야 하고 교체 작업 동안 기판(P)의 생산량 또한 감소하게 된다는 문제점이 있다.

또한, 상기 기판(P)을 지지하며 안내하는 가이드 롤러(40)의 존재로 인하여 생산 비용이 고가이며, 기판(P)의 이송 도중 상기 기판(P)과 상기 가이드 롤러(40) 간의 충돌에 의하여 소음이 발생하고 상기 기판(P)에 손상을 줄 수 있다는 문제점이 있다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기판을 직립 상태로 이송하는 다수개의 반송 롤러의 외주면에 이송 벨트를 마련함으로써 반송 롤러의 손상 또는 파손을 방지하고, 고가의 비용으로 제조되는 반송 롤러의 사용 수량을 줄이며, 기판을 지지하며 안내하는 가이드 롤러의 사용을 제한하는 기판 이송 장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기판 이송 장치는, 이송 대상이 되는 기판의 하측에 마련되어 기판을 직립 상태로 이송하는 다수개의 반송 롤러; 상기 기판의 상측에 마련되어 이송되는 기판을 가이드하는 다수개의 가이드 롤러; 및 상기 다수개의 반송 롤러의 외주면을 감싸도록 마련되는 이송 벨트; 를 포함하고, 상기 이송 벨트의 일면에는 상기 기판의 하단면이 접촉되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 이송 벨트의 일면에는 그 길이 방향을 따라 안착홈이 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 가이드 롤러는 원통형으로 형성되고, 그 외주면에 상기 기판의 상단면이 접촉되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 가이드 롤러는 상기 기판보다 연질의 재질로 형성되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 기판을 직립 상태로 이송하는 다수개의 반송 롤러의 외주면에 이송 벨트가 마련되어 반송 롤러의 손상 또는 파손을 방지하고, 고가의 비용으로 제조되는 반송 롤러의 사용 수량을 줄여 기판의 생산 효율이 향상된다는 장점이 있다.

또한, 기판을 지지하며 안내하는 가이드 롤러의 사용을 제한하여 기판 이송 장치의 생산 비용을 줄일 수 있다는 장점이 있다.

도 1은 종래의 기판 이송 장치를 나타낸 측면도이다.
도 2는 종래의 기판 이송 장치를 나타낸 정면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 구동 롤러, 반송 롤러 및 이송 벨트를 나타낸 측면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타낸 정면도이다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있다. 또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 한다. 그리고 본 발명의 사상은 제시되는 실시예에 제한되지 아니하고 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위내에서 다른 실시예를 용이하게 실시할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 범위 내에 속함은 물론이다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 구동 롤러, 반송 롤러 및 이송 벨트를 나타낸 측면도이며, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타낸 정면도이다. 도 3 및 도 4를 참조하여 상기 기판 이송 장치의 구체적인 구성 및 작동 과정에 대하여 상세히 설명한다.

도 3에 도시된 바와 같이, 상기 기판 이송 장치는 구동 롤러, 반송 롤러 및 이송 벨트 등에 의하여 기판을 직립 상태로 이송한다. 즉, 상기 기판 이송 장치는 기판이 오염되는 것을 방지하기 위한 챔버(미도시)의 내부에 배치되며 자성체로 형성되는 다수개의 반송 롤러를 포함하며, 상기 챔버의 외부에는 상기 반송 롤러를 회전시키기 위한 구동 롤러가 마련됨으로써 상기 챔버의 내부에 모터 등의 구동 장치를 설치하지 않고 상기 반송 롤러가 구동되도록 구성된다.

즉, 상기 구동 롤러는 상기 챔버 내부의 반송 롤러를 회전시키기 위한 것으로서 상기 챔버 외부의 하측에 마련되어 상기 구동 모터(미도시) 등과 연결되며, 상기 구동 롤러 역시 자성체로 형성된다.

한편, 상기 이송 벨트는 직립 상태로 이송되는 기판의 하단면이 그 일면에 접촉되도록 이송 대상이 되는 기판의 하측에 마련되는 다수개의 반송 롤러의 외주면을 감싸도록 마련된다. 그리고, 상기 이송 벨트는 상기 기판에 대한 손상을 방지하도록 고무 재질 등으로 형성되는 것이 바람직하다.

즉, 상술한 바와 같이 상기 구동 롤러 및 상기 반송 롤러가 자성체로 형성되는 경우 상기 구동 모터 등에 의하여 상기 챔버 외부에 있는 구동 롤러가 회전하면, 자기력에 의해 상기 반송 롤러는 상기 구동 롤러 회전 방향의 반대 방향으로 회전하게 되고, 상기 이송 벨트 역시 상기 반송 롤러의 회전 방향으로 회전됨으로써 상기 기판을 직립 상태로 이송하게 된다.

이와 같이, 상기 반송 롤러의 외주면에 상기 이송 벨트를 마련함으로써 이송되는 기판 등의 자중에 의하여 상기 반송 롤러에 스크래치가 발생하는 문제점을 방지할 수 있으며, 이로 인하여 기판의 생산 효율이 향상되고, 또한 상기 반송 롤러의 사용 수량을 감소시켜 본 발명의 기판 이송 장치의 생산 비용을 절감하게 된다.

도 4를 참조하면, 상기 기판의 하단면과 접촉되는 상기 이송 벨트의 일면에는 그 길이 방향을 따라 안착홈이 형성되는데, 상기 안착홈에 의하여 별도의 부재 없이 상기 기판의 하측 양면이 지지됨으로써 상기 기판 이송 장치의 생산 비용을 줄일 수 있게 된다.

그리고 상기 기판의 상측에는 직립 상태로 기판을 가이드하는 다수개의 가이드 롤러가 마련되는데, 상기 가이드 롤러는 원통형으로 형성되고 그 외주면에 상기 기판의 상단면이 접촉된다. 따라서 상기 안착홈과 마찬가지로 상기 가이드 롤러에 의하여 별도의 부재 없이 상기 기판의 상측 양면이 지지됨으로써 상기 기판 이송 장치의 생산 비용을 줄일 수 있게 된다.

한편, 직립 상태로 이송되는 기판의 손상을 방지함과 아울로 소음을 감소시키기 위하여 상기 가이드 롤러는 상기 기판보다 연질의 재질로 형성되는 것이 바람직하다.

이상에서 본 발명에 따른 실시예들이 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 범위의 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 다음의 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.

100: 구동 롤러 200: 반송 롤러
300: 이송 벨트 400: 가이드 롤러

Claims (4)

1. 이송 대상이 되는 기판의 하측에 마련되어 기판을 직립 상태로 이송하는 다수개의 반송 롤러;
   상기 기판의 상측에 마련되어 이송되는 기판을 가이드하는 다수개의 가이드 롤러; 및
   상기 다수개의 반송 롤러의 외주면을 감싸도록 마련되는 이송 벨트; 를 포함하고,
   상기 이송 벨트의 일면에는 상기 기판의 하단면이 접촉되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 이송 벨트의 일면에는 그 길이 방향을 따라 안착홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
3. 제1항에 있어서,
   상기 가이드 롤러는 원통형으로 형성되고, 그 외주면에 상기 기판의 상단면이 접촉되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
4. 제1항에 있어서,
   상기 가이드 롤러는 상기 기판보다 연질의 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
   

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