KR20130026926A - Light emitting device and method for fabricating the same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A light emitting device and a manufacturing method thereof are provided to improve a current diffusion effect by differently forming the dopant density of a window layer and a plurality of convex parts. CONSTITUTION: A light emitting structure layer includes a first conductive semiconductor layer(12), an active layer(13), and a second conductive semiconductor layer(14). An electrode(31) is formed on the light emitting structure layer. A window layer(15) is formed under the second conductive semiconductor layer. A light transmissive electrode layer(21) is formed under the window layer. A mirror layer(23) is formed under the light transmissive electrode layer. A plurality of convex parts(16) protrude from the lower side of the window layer to the mirror layer.

Description

발광 소자 및 그 제조방법{LIGHT EMITTING DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME}LIGHT EMITTING DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME}

실시 예는 발광 소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.The embodiment relates to a light emitting device and a method of manufacturing the same.

일반적으로, 반도체 발광 다이오드(light emitting diode: LED)는 풀컬러 디스플레이, 이미지 스캐너, 각종 신호시스템 및 광통신기기에 광원으로 널리 사용되고 있다. 이러한 LED는 전자와 정공의 재결합원리를 이용하는 활성층에서 빛을 생성하여 방출시킨다. In general, semiconductor light emitting diodes (LEDs) are widely used as light sources in full color displays, image scanners, various signal systems, and optical communication devices. These LEDs generate and emit light in the active layer using the recombination principle of electrons and holes.

AlGaInP 계열의 발광소자는 레이저 다이오드로 구성된 경우 약 670nm의 파장대를 가진 레이저 광을 출사할 수 있으며, LED로 구성된 경우에는 활성층 내에서의 Al 및 Ga성분비를 조절하여 옐로(Yellow)나 그린(Green) 계열의 560nm 부터 레드(Red)계열인 680nm까지의 고휘도 빛을 발광할 수 있는데, Al성분이 증가할수록 발광되는 빛의 파장은 점점 짧아진다.The AlGaInP series light emitting device can emit laser light having a wavelength range of about 670 nm when it is composed of a laser diode, and in the case of an LED, by adjusting the Al and Ga component ratios in the active layer, it is yellow or green. It can emit high brightness light from 560nm of series to 680nm of Red series. As the Al component increases, the wavelength of emitted light becomes shorter.

실시 예는 새로운 반도체 구조물을 갖는 발광 소자를 제공한다.The embodiment provides a light emitting device having a new semiconductor structure.

실시 예는 윈도우층과 투광성 전극층 사이에 복수의 볼록부를 갖는 발광 소자를 제공한다.The embodiment provides a light emitting device having a plurality of convex portions between a window layer and a transparent electrode layer.

실시 예는 복수의 볼록부와 윈도우층의 도펀트 농도를 다르게 하여, 전류를 확산시켜 줄 수 있도록 한 발광 소자 및 그 제조방법을 제공한다.The embodiment provides a light emitting device capable of diffusing current by varying dopant concentrations of a plurality of convex portions and a window layer, and a method of manufacturing the same.

실시 예는 윈도우층 아래에 요철 구조의 미러층을 포함하는 발광 소자 및 그 제조방법을 제공한다.The embodiment provides a light emitting device including a mirror layer having an uneven structure under the window layer, and a method of manufacturing the same.

실시 예에 따른 발광 소자는, 제1도전형 반도체층, 활성층 및 제2도전형 반도체층을 포함하는 발광 구조층; 상기 발광 구조층 위에 전극; 상기 제2도전형 반도체층 아래에 윈도우층; 상기 윈도우층 아래에 투광성 전극층; 상기 투광성 전극층의 아래에 미러층; 및 상기 윈도우층 하면으로부터 상기 미러층의 방향으로 돌출된 복수의 볼록부를 포함한다. The light emitting device according to the embodiment may include a light emitting structure layer including a first conductive semiconductor layer, an active layer, and a second conductive semiconductor layer; An electrode on the light emitting structure layer; A window layer under the second conductive semiconductor layer; A translucent electrode layer below the window layer; A mirror layer under the light transmitting electrode layer; And a plurality of convex portions protruding from the lower surface of the window layer in the direction of the mirror layer.

실시 예에 따른 발광 소자 제조 방법은, 기판 위에 제1도전형 반도체층, 활성층 및 제2도전형 반도체층을 형성하는 단계; 상기 제1도전형 반도체층 위에 윈도우층을 형성하는 단계; 상기 윈도우층 위에 복수의 마스크 패턴을 형성하는 단계; 상기 복수의 마스크 패턴 사이의 상기 윈도우층 위에 복수의 볼록부를 형성하는 단계; 상기 복수의 볼록부 및 상기 윈도우층 위에 투광성 전극층을 형성하는 단계; 상기 투광성 전극층 위에 미러층을 형성하는 단계; 상기 미러층 위에 전도성 기판을 형성하는 단계; 상기 기판을 제거하는 단계; 및 상기 기판이 제거된 제1도전형 반도체층 위에 전극을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 윈도우층과 상기 복수의 볼록부는 GaP 계열의 반도체층을 포함한다. In one embodiment, a light emitting device manufacturing method includes: forming a first conductive semiconductor layer, an active layer, and a second conductive semiconductor layer on a substrate; Forming a window layer on the first conductive semiconductor layer; Forming a plurality of mask patterns on the window layer; Forming a plurality of convex portions on the window layer between the plurality of mask patterns; Forming a translucent electrode layer on the plurality of convex portions and the window layer; Forming a mirror layer on the light transmissive electrode layer; Forming a conductive substrate on the mirror layer; Removing the substrate; And forming an electrode on the first conductive semiconductor layer from which the substrate is removed, wherein the window layer and the plurality of convex portions include a GaP-based semiconductor layer.

실시 예는 광 추출 효율을 개선시켜 줄 수 있다.The embodiment can improve light extraction efficiency.

실시 예는 전류 블록킹을 통해 전류 확산 효과를 줄 수 있다.The embodiment can give a current spreading effect through current blocking.

실시 예는 AlGaInP계 발광 소자와, 이를 구비한 발광 소자 패키지 및 조명 시스템의 신뢰성도 개선될 수 있다.The embodiment may also improve the reliability of the AlGaInP-based light emitting device, the light emitting device package and the lighting system having the same.

도 1은 제1실시 예에 따른 발광 소자를 나타낸 측 단면도이다.
도 2 내지 도 8은 도 1의 발광 소자의 제조 공정을 나타낸 도면이다.
도 9는 제2실시 예에 따른 발광 소자를 나타낸 측 단면도이다.
도 10은 제3실시 예에 따른 발광 소자를 나타낸 측 단면도이다.
도 11은 도 1의 발광 소자를 갖는 발광 소자 패키지를 나타낸 도면이다.
도 12는 도 11의 발광 소자 패키지를 갖는 표시 장치를 나타낸 사시도이다.
도 13은 도 11의 발광 소자 패키지를 갖는 표시 장치의 다른 예를 나타낸 도면이다.
도 14는 도 11의 발광 소자 패키지를 갖는 조명 장치를 나타낸 도면이다.
1 is a side sectional view showing a light emitting device according to the first embodiment.
2 to 8 are views illustrating a manufacturing process of the light emitting device of FIG. 1.
9 is a side sectional view showing a light emitting device according to the second embodiment.
10 is a side sectional view showing a light emitting device according to the third embodiment.
FIG. 11 is a view illustrating a light emitting device package having the light emitting device of FIG. 1.
12 is a perspective view illustrating a display device having the light emitting device package of FIG. 11.
FIG. 13 is a diagram illustrating another example of a display device having the light emitting device package of FIG. 11.
FIG. 14 is a view illustrating a lighting device having the light emitting device package of FIG. 11.

실시 예의 설명에 있어서, 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들이 기판, 각 층(막), 영역, 패드 또는 패턴들의 "상/위(on)"에 또는 "하/아래(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "상/위(on)"와 "하/아래(under)"는 "직접(directly)" 또는 "다른 층을 개재하여 (indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 각 층의 위 또는 아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다In the description of the embodiments, it is to be understood that each layer (film), region, pattern or structure may be referred to as being "on" or "under" a substrate, each layer It is to be understood that the terms " on "and " under" include both " directly "or" indirectly " do. In addition, the criteria for the top or bottom of each layer will be described based on the drawings.

그러나, 본 발명의 실시형태는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시형태로 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명의 실시형태는 당해 기술분야에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면상의 동일한 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다. 우선, 실시 예에 따른 반도체 발광소자에 대해 다양한 실시형태를 통해 구체적으로 설명하고, 이러한 반도체 발광소자를 사용한 발광소자 패키지와 백라이트 장치에 대해 설명한다.
However, embodiments of the present invention may be modified in various other forms, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below. Further, the embodiments of the present invention are provided to more fully explain the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the shapes and sizes of the elements in the drawings may be exaggerated for clarity of description, and the elements denoted by the same reference numerals in the drawings are the same elements. First, a semiconductor light emitting device according to an embodiment will be described in detail through various embodiments, and a light emitting device package and a backlight device using the semiconductor light emitting device will be described.

도 1은 제1실시 예에 따른 발광 소자를 나타낸 도면이다.1 is a view showing a light emitting device according to a first embodiment.

도 1을 참조하면, 발광 소자(41)는 제1도전형 반도체층(12), 활성층(13), 제2도전형 반도체층(14), 윈도우층(15), 복수의 볼록부(16), 투광성 전극층(21), 미러층(23), 전도성 기판(25), 전극층(33) 및 전극(31)을 포함한다.Referring to FIG. 1, the light emitting device 41 may include a first conductive semiconductor layer 12, an active layer 13, a second conductive semiconductor layer 14, a window layer 15, and a plurality of convex portions 16. And a light transmissive electrode layer 21, a mirror layer 23, a conductive substrate 25, an electrode layer 33, and an electrode 31.

상기 제1도전형 반도체층(12)은 제1도전형 도펀트가 도핑된 3족-5족 화합물 반도체로 구현되며, 예컨대 AlxGayIn1 -x- yP (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료로 형성될 수 있다. 상기 제1도전형 반도체층(12)이 n형 AlGaInP 계열의 반도체층인 경우, 상기 제1도전형의 도펀트는 n형 도펀트로서, Si, Ge, Sn, Se, 및 Te 중 적어도 하나를 포함한다. 상기 제1도전형 반도체층(12)은 단층 또는 다층으로 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The first conductive semiconductor layer 12 is a first conductive type dopant is doped with a group III is implemented to -5 V compound semiconductor, for example, Al x Ga y In 1 -x- y P (0≤x≤1, 0 Y? 1, 0? X + y? 1). When the first conductive semiconductor layer 12 is an n-type AlGaInP-based semiconductor layer, the dopant of the first conductive type is an n-type dopant and includes at least one of Si, Ge, Sn, Se, and Te. . The first conductive semiconductor layer 12 may be formed as a single layer or a multilayer, but is not limited thereto.

상기 제1도전형 반도체층(12)과 상기 활성층(13) 사이에는 제1클래드층(미도시)이 형성될 수 있으며, 상기 제1클래드층은 GaP계 반도체로 형성될 수 있다. 이러한 제1클래드층은 캐리어를 구속시켜 주는 역할을 한다. 다른 예로서, 상기 제1 클래드층(미도시)은 3족-5족 화합물 반도체를 이용하여 초격자 구조로 형성될 수 있으며, 이에 한정하지 않는다. 상기 제1 클래드층은 n형 또는/및 p형 도펀트를 포함할 수 있으며, 예컨대 제1도전형 또는 저 전도성의 반도체층으로 형성될 수 있다.A first cladding layer (not shown) may be formed between the first conductive semiconductor layer 12 and the active layer 13, and the first cladding layer may be formed of a GaP-based semiconductor. The first cladding layer serves to restrain the carrier. As another example, the first clad layer (not shown) may be formed in a superlattice structure using a group III-V compound semiconductor, but is not limited thereto. The first cladding layer may include an n-type and / or p-type dopant, and may be formed of, for example, a first conductive type or low conductivity semiconductor layer.

상기 제1도전형 반도체층(12) 아래에는 활성층(13)이 형성된다. 상기 활성층(13)은 단일 우물, 단일 양자 우물, 다중 우물, 다중 양자 우물(MQW), 양자 선, 양자 점 구조 중 적어도 하나로 형성될 수 있다. 상기 활성층(13)은 우물층과 장벽층이 교대로 배치되며, 상기 우물층은 에너지 준위가 연속적인 우물층일 수 있다. 또한 상기 우물층은 에너지 준위가 양자화된 양자 우물(Quantum Well)일 수 있다. 상기의 우물층은 양자 우물층으로 정의될 수 있으며, 상기 장벽층은 양자 장벽층으로 정의될 수 있다. 상기 우물층과 상기 장벽층의 페어는 2~30주기로 형성될 수 있다. 상기 우물층은 예컨대, AlxGayIn1 -x- yP (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료로 형성될 수 있다. 상기 장벽층(133)은 상기 우물층(131)의 밴드 갭보다 더 넓은 밴드 갭을 갖는 반도체층으로 예컨대, AlxGayIn1 -x- yP (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료로 형성될 수 있다. An active layer 13 is formed under the first conductive semiconductor layer 12. The active layer 13 may be formed of at least one of a single well, a single quantum well, a multi well, a multi quantum well (MQW), a quantum line, and a quantum dot structure. The active layer 13 may alternately include a well layer and a barrier layer, and the well layer may be a well layer in which energy levels are continuous. In addition, the well layer may be a quantum well in which the energy level is quantized. The well layer may be defined as a quantum well layer, and the barrier layer may be defined as a quantum barrier layer. The pair of the well layer and the barrier layer may be formed in 2 to 30 cycles. The well layer is, for example, may be formed of a semiconductor material having a composition formula of Al x Ga y In 1 -x- y P (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x + y≤1). The barrier layer 133 is, for example, Al x Ga y In 1 -x- y P (0≤x≤1, 0≤y≤ a semiconductor layer having a wider band gap than the band gap of the well layer 131 1, 0 ≦ x + y ≦ 1).

상기 활성층(13)은 자외선 대역의 광을 발광하거나, Al 및 Ga 성분비를 조절하여 560nm부터 680nm까지의 파장 범위 내에서 선택적인 피크 파장을 발광할 수 있다.
The active layer 13 may emit light in an ultraviolet band, or may emit a selective peak wavelength within a wavelength range of 560 nm to 680 nm by adjusting the Al and Ga component ratios.

상기 활성층(13) 아래에는 제2도전형 반도체층(14)이 형성된다. 상기 제2도전형 반도체층(14)은 제2도전형의 도펀트를 포함한다. 상기 제2도전형 반도체층(14)은 예컨대, AlxGayIn1 -x- yP (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료로 형성될 수 있다. 상기 제2도전형 반도체층(14)이 p형 AlGaInP 계열의 반도체층인 경우, 상기 제2도전형 도펀트는 p형 도펀트로서, Mg, Zn, Ca, Sr, Ba, C 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
A second conductive semiconductor layer 14 is formed under the active layer 13. The second conductive semiconductor layer 14 includes a dopant of a second conductive type. The second semiconductor having a second conductivity type composition formula of the semiconductor layer 14 is, for example, Al x Ga y In 1 -x- y P (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x + y≤1) It can be formed of a material. When the second conductive semiconductor layer 14 is a p-type AlGaInP-based semiconductor layer, the second conductive dopant is a p-type dopant and may include at least one of Mg, Zn, Ca, Sr, Ba, and C. Can be.

발광 구조층(11)의 층들의 전도성 타입은 반대로 형성될 수 있으며, 예컨대 상기 제2도전형의 반도체층은 n형 반도체층, 상기 제1도전형 반도체층(12)은 p형 반도체층으로 구현될 수 있다. 또한 상기 제2도전형 반도체층(14) 위에는 상기 제2도전형과 반대의 극성을 갖는 제3도전형 반도체층인 n형 반도체층이 더 형성할 수도 있다. The conductive types of the layers of the light emitting structure layer 11 may be formed to be opposite to each other. For example, the second conductive semiconductor layer may be an n-type semiconductor layer, and the first conductive semiconductor layer 12 may be a p-type semiconductor layer. Can be. Further, an n-type semiconductor layer, which is a third conductive semiconductor layer having a polarity opposite to that of the second conductive type, may be further formed on the second conductive semiconductor layer 14.

상기 발광소자는 상기 제1도전형 반도체층(12), 활성층(13) 및 상기 제2도전형 반도체층(14)을 발광 구조층(11)으로 정의될 수 있으며, 상기 발광 구조층(11)은 n-p 접합 구조, p-n 접합 구조, n-p-n 접합 구조, p-n-p 접합 구조 중 적어도 한 구조를 포함할 수 있다. 상기 n-p 및 p-n 접합은 2개의 층 사이에 활성층(13)이 배치되며, n-p-n 접합 또는 p-n-p 접합은 3개의 층 사이에 적어도 하나의 활성층(13)을 포함하게 된다.
The light emitting device may define the first conductive semiconductor layer 12, the active layer 13, and the second conductive semiconductor layer 14 as the light emitting structure layer 11, and the light emitting structure layer 11. May include at least one of an np junction structure, a pn junction structure, an npn junction structure, and a pnp junction structure. In the np and pn junctions, an active layer 13 is disposed between two layers, and an npn junction or a pnp junction includes at least one active layer 13 between three layers.

상기 제2도전형 반도체층(14) 아래에는 윈도우층(15)이 형성되며, 상기 윈도우층(15)은 AlxGayIn1 -x- yP (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료로 형성될 수 있으며, 제2도전형 도펀트가 첨가될 수 있다. 상기 윈도우층(15)은 예컨대, p형 GaP 반도체층으로 형성될 수 있으며, p형 도펀트는 Mg, Zn, Ca, Sr, C 및 Ba 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 윈도우층(15)의 두께는 1㎛ 이상 예컨대,1~8㎛의 범위로 형성될 수 있다. 상기 윈도우층(15)은 에너지 밴드 갭이 넓기 때문에, 활성층(13)에서 발광된 빛을 흡수하지 않고 통과시켜 주며, 또한 두께가 상대적으로 두꺼워 전류 확산층의 기능을 수행하게 된다.
The second conductive type semiconductor layer 14 below the window layer 15 is formed, the window layer 15 is Al x Ga y In 1 -x- y P (0≤x≤1, 0≤y≤ 1, 0 ≦ x + y ≦ 1), and a second conductive dopant may be added. The window layer 15 may be formed of, for example, a p-type GaP semiconductor layer, and the p-type dopant may include at least one of Mg, Zn, Ca, Sr, C, and Ba. The window layer 15 may have a thickness of about 1 μm or more, for example, about 1 μm to about 8 μm. Since the window layer 15 has a wide energy band gap, the window layer 15 passes through the light emitted from the active layer 13 without absorbing it, and also has a relatively thick thickness to perform the function of the current diffusion layer.

상기 윈도우층(15) 아래에는 복수의 볼록부(16)가 형성되며, 상기 복수의 볼록부(16)는 상기 윈도우층(15)으로부터 미러층(23) 방향으로 돌출되며, AlxGayIn1 -x- yP (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체층으로 형성될 수 있으며, 제2도전형 도펀트가 첨가될 수 있다. 상기 복수의 볼록부(16)는 상기 윈도우층(15)과 동일한 반도체이거나, GaP 계열의 반도체층으로 형성될 수 있다. 상기 볼록부(16)에는 Mg, Zn, Ca, Sr, C 및 Ba 중 적어도 하나의 p형 도펀트가 첨가될 수 있다. 상기 각 볼록부(16)의 두께는 3㎛ 이하 예컨대, 1~3㎛의 범위로 형성될 수 있다. 상기 각 볼록부(16)는 상면 너비보다 하면 너비가 더 좁게 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.A plurality of convex portions 16 are formed under the window layer 15, and the plurality of convex portions 16 protrude from the window layer 15 in the direction of the mirror layer 23, and Al x Ga y In 1 -x- y P may be formed in a semiconductor layer having a composition formula of (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x + y≤1 ), may be a second conductive type dopant is added. The plurality of convex portions 16 may be the same semiconductor as the window layer 15 or may be formed of a GaP-based semiconductor layer. At least one p-type dopant among Mg, Zn, Ca, Sr, C, and Ba may be added to the convex portion 16. Each convex portion 16 may have a thickness of 3 μm or less, for example, in a range of 1 μm to 3 μm. Each of the convex portions 16 may be formed to have a smaller width than the upper surface width, but is not limited thereto.

상기 윈도우층(15)과 상기 복수의 볼록부(16)의 도펀트 농도는 동일하게 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. The dopant concentrations of the window layer 15 and the plurality of convex portions 16 may be the same, but are not limited thereto.

상기 복수의 볼록부(16) 및 상기 윈도우층(15)의 아래에는 투광성 전극층(21)이 형성될 수 있으며, 상기 투광성 전극층(21)은 상기 복수의 볼록부(16)에 의해 굴곡을 갖는 층으로 형성될 수 있다. 상기 투광성 전극층(21)은 상기 윈도우층(15)의 하면 및 및 상기 볼록부(16)의 표면에 오믹 접촉되며, 인가되는 전류를 확산시켜 주게 된다. 상기 투광성 전극층(21)은 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), IZTO(indium zinc tin oxide), IAZO(indium aluminum zinc oxide), IGZO(indium gallium zinc oxide), IGTO(indium gallium tin oxide), AZO(aluminum zinc oxide), ATO(antimony tin oxide), GZO(gallium zinc oxide), ZnO, IrOx, RuOx, NiO 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.A light transmissive electrode layer 21 may be formed under the plurality of convex portions 16 and the window layer 15, and the light transmissive electrode layer 21 may be bent by the plurality of convex portions 16. It can be formed as. The transmissive electrode layer 21 is in ohmic contact with the lower surface of the window layer 15 and the surface of the convex portion 16 to diffuse the applied current. The translucent electrode layer 21 may be formed of indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), indium zinc tin oxide (IZTO), indium aluminum zinc oxide (IAZO), indium gallium zinc oxide (IGZO), and indium gallium tin (IGTO). oxide), aluminum zinc oxide (AZO), antimony tin oxide (ATO), gallium zinc oxide (GZO), ZnO, IrOx, RuOx, and NiO.

상기 투광성 전극층(21)의 아래에는 미러층(23)이 형성되며, 상기 미러층(23)은 금속을 포함하며, 그 물질은 예컨대, Al, Ag, Pd, Rh, Pt, Ir 및 이들 중 2이상의 합금 중에서 선택적으로 형성될 수 있다. 상기 미러층(23)은 상면이 요철 구조로 형성됨으로써, 상기 투광성 전극층(21)을 통해 입사된 빛을 반사시켜 주어, 광의 임계각을 변화시켜 줄 수 있다. 상기 미러층(23)은 본딩층을 포함할 수 있으며, 상기 본딩층은 전도성 기판(25)과의 접합된다.A mirror layer 23 is formed below the transparent electrode layer 21, and the mirror layer 23 includes a metal, and the material may be, for example, Al, Ag, Pd, Rh, Pt, Ir, and two of them. It may be formed selectively from the above alloys. The upper surface of the mirror layer 23 has a concave-convex structure, thereby reflecting light incident through the translucent electrode layer 21, thereby changing the critical angle of the light. The mirror layer 23 may include a bonding layer, and the bonding layer is bonded to the conductive substrate 25.

상기 미러층(23) 아래에는 전도성 기판(25)이 배치되며, 상기 전도성 기판(25)은 실리콘계 재질을 포함하며, 예컨대 p형 실리콘 기판을 포함한다. 상기 전도성 기판(25)은 GaN과 같은 반도체 기판을 포함할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.A conductive substrate 25 is disposed below the mirror layer 23, and the conductive substrate 25 includes a silicon-based material, for example, a p-type silicon substrate. The conductive substrate 25 may include a semiconductor substrate such as GaN, but is not limited thereto.

상기 전도성 기판(25)의 아래에는 전극층(33)이 배치되며, 상기 전극층(33)은 Ti, Ru, Rh, Ir, Mg, Zn, Al, In, Ta, Pd, Co, Ni, Si, Ge, Ag 및 Au와 이들의 선택적인 합금 중에서 선택될 수 있다.An electrode layer 33 is disposed below the conductive substrate 25, and the electrode layer 33 includes Ti, Ru, Rh, Ir, Mg, Zn, Al, In, Ta, Pd, Co, Ni, Si, Ge , Ag and Au and their optional alloys.

상기 제1도전형 반도체층(12) 위에는 전극(31)이 배치되며, 상기 전극(31)은 Ti, Ru, Rh, Ir, Mg, Zn, Al, In, Ta, Pd, Co, Ni, Si, Ge, Ag 및 Au와 이들의 선택적인 합금 중에서 선택될 수 있다.An electrode 31 is disposed on the first conductive semiconductor layer 12, and the electrode 31 includes Ti, Ru, Rh, Ir, Mg, Zn, Al, In, Ta, Pd, Co, Ni, and Si. , Ge, Ag and Au and their optional alloys.

상기 발광 소자(41)의 표면에는 표면 보호를 위해 절연층이 더 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.
An insulating layer may be further formed on the surface of the light emitting device 41 to protect the surface, but is not limited thereto.

도 2 내지 도 8은 도 1의 발광 소자의 제조 과정을 나타낸 도면이다.2 to 8 are views illustrating a manufacturing process of the light emitting device of FIG. 1.

도 2를 참조하면, 기판(1)은 성장 장비에 로딩된다. 상기 기판(1)은 투광성, 절연성 또는 도전성 기판을 이용할 수 있으며, 예컨대, 사파이어(Al2O3), SiC, Si, GaAs, GaN, ZnO, GaP, InP, Ge, Ga2O3, LiGaO3 중 적어도 하나를 이용할 수 있다. 상기 기판(1)의 상면에는 복수의 돌출부가 형성될 수 있으며, 상기의 복수의 돌출부는 상기 기판(1)의 식각을 통해 형성하거나, 별도의 러프니스와 같은 광 추출 구조로 형성될 수 있다. 상기 돌출부는 스트라이프 형상, 반구형상, 또는 돔(dome) 형상을 포함할 수 있다. 상기 기판(1)의 두께는 30㎛~400㎛ 범위로 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.Referring to FIG. 2, the substrate 1 is loaded into growth equipment. The substrate 1 may be a translucent, insulating or conductive substrate, for example, sapphire (Al 2 O 3 ), SiC, Si, GaAs, GaN, ZnO, GaP, InP, Ge, Ga 2 O 3 , LiGaO 3 At least one of may be used. A plurality of protrusions may be formed on an upper surface of the substrate 1, and the plurality of protrusions may be formed by etching the substrate 1 or may be formed of a light extraction structure such as a separate roughness. The protrusion may include a stripe shape, a hemispherical shape, or a dome shape. The thickness of the substrate 1 may be formed in the range of 30㎛ ~ 400㎛, but is not limited thereto.

상기 기판(1) 위에는 화합물 반도체층이 성장될 수 있으며, 상기 화합물 반도체층의 성장 장비는 전자빔 증착기, PVD(physical vapor deposition), CVD(chemical vapor deposition), PLD(plasma laser deposition), 이중형의 열증착기(dual-type thermal evaporator) 스퍼터링(sputtering), MOCVD(metal organic chemical vapor deposition) 등에 의해 형성할 수 있으며, 이러한 장비로 한정하지는 않는다. The compound semiconductor layer may be grown on the substrate 1, and the growth equipment of the compound semiconductor layer may include an electron beam evaporator, physical vapor deposition (PVD), chemical vapor deposition (CVD), plasma laser deposition (PLD), and dual heat It can be formed by a dual-type thermal evaporator sputtering, metal organic chemical vapor deposition (MOCVD), etc., but is not limited to such equipment.

상기 기판(1) 위에는 제1도전형 반도체층(12), 활성층(13), 제2도전형 반도체층(14) 및 윈도우층(15)이 순차적으로 형성된다. 상기 제1도전형 반도체층(12), 활성층(13) 및 제2도전형 반도체층(14)은 AlxGayIn1 -x- yP (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체층으로 형성될 수 있다. 상기 제1도전형 반도체층(12)은 n형 도펀트가 첨가된 n형 반도체층으로 형성될 수 있으며, 상기 제2도전형 반도체층(14)은 p형 도펀트가 첨가된 p형 반도체층으로 형성될 수 있다. 상기 윈도우층(15)은 p형 GaP 반도체층으로 형성될 수 있으며, 상기 제2도전형 반도체층(14)의 두께보다 더 두껍게 형성될 수 있다.The first conductive semiconductor layer 12, the active layer 13, the second conductive semiconductor layer 14, and the window layer 15 are sequentially formed on the substrate 1. The first conductive semiconductor layer 12, active layer 13 and second conductive type semiconductor layer 14 is Al x Ga y In 1 -x- y P (0≤x≤1, 0≤y≤1, It may be formed of a semiconductor layer having a composition formula of 0≤x + y≤1). The first conductive semiconductor layer 12 may be formed of an n-type semiconductor layer to which an n-type dopant is added, and the second conductive semiconductor layer 14 may be formed of a p-type semiconductor layer to which a p-type dopant is added. Can be. The window layer 15 may be formed of a p-type GaP semiconductor layer, and may be formed thicker than the thickness of the second conductive semiconductor layer 14.

상기 기판(1)과 제1도전형 반도체층(12) 사이에는 버퍼층 또는/및 저 전도층이 형성될 수 있으며, 상기 버퍼층 및/또는 저 전도층은 Al, Ga, In 중 적어도 하나와 인(P)를 선택적으로 조합하여 형성될 수 있으며, 예컨대 AlxGayIn1 -x- yP (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체층으로 형성될 수 있다.
A buffer layer and / or a low conductive layer may be formed between the substrate 1 and the first conductive semiconductor layer 12, and the buffer layer and / or the low conductive layer may be formed of at least one of Al, Ga, and In. P) a can be formed by selectively combining, for example, a semiconductor having a composition formula of Al x Ga y in 1 -x- y P (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x + y≤1) It can be formed in layers.

도 3을 참조하면, 상기 윈도우층(15) 위에는 마스크 패턴(16-1)이 형성된다. 상기 마스크 패턴(16-1)은 서로 이격되어 배치될 수 있으며, 그 물질은 SiO2, Si3N4, Al2O3 중 적어도 하나로 형성될 수 있다. 도 4와 같이, 상기 마스크 패턴(16-1)은 원형 형상을 포함하며 그 너비는 7㎛±3㎛ 범위로 형성될 수 있으며, 상기 마스크 패턴(16-1) 간의 간격은 3㎛±1㎛로 형성될 수 있다. 다른 예로서, 상기 마스크 패턴(16-1)은 다각형 형상으로 포함하며, 그 너비 및 마스크 패턴 간의 간격은 상기의 범위 내에서 형성될 수 있다.Referring to FIG. 3, a mask pattern 16-1 is formed on the window layer 15. The mask pattern 16-1 may be spaced apart from each other, and the material may be formed of at least one of SiO 2 , Si 3 N 4 , and Al 2 O 3 . As shown in FIG. 4, the mask pattern 16-1 may have a circular shape, and a width thereof may be formed in a range of 7 μm ± 3 μm, and the interval between the mask patterns 16-1 is 3 μm ± 1 μm. It can be formed as. As another example, the mask pattern 16-1 may include a polygonal shape, and the width and the interval between the mask patterns may be formed within the above range.

상기 마스크 패턴(16-1)이 형성되지 않는 상기 윈도우층(15)의 상면에는 복수의 볼록부(16)가 성장된다. 상기 복수의 볼록부(16)는 3족-5족 화합물 반도체층을 포함하며, AlxGayIn1 -x- yP(0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체층으로 형성될 수 있다. 상기 복수의 볼록부(16)는 상기 윈도우층(15)과 동일한 반도체로 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.A plurality of convex portions 16 are grown on the upper surface of the window layer 15 where the mask pattern 16-1 is not formed. Wherein the plurality of raised portions (16) comprises a Group III -5 compound semiconductor layer, Al x Ga y In 1 -x- y P (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x + y It can be formed of a semiconductor layer having a composition formula of ≤1). The plurality of convex portions 16 may be formed of the same semiconductor as the window layer 15, but is not limited thereto.

상기 복수의 볼록부(16)는 상면 너비가 하면 너비(D2)보다 더 좁게 형성될 수 있으며, 그 측면의 경사 각도(θ1)는 30~80°의 범위로 형성될 수 있다.The plurality of convex portions 16 may be formed to be narrower than the width D2 of the upper surface width, and the inclination angle θ1 of the side surface may be formed in the range of 30 to 80 °.

도 3 및 도 5를 참조하면, 상기 마스크 패턴을 제거하게 되며, 상기 마스크 패턴이 제거된 영역(16-2)에는 상기 윈도우층(15)의 상면에 노출된다. Referring to FIGS. 3 and 5, the mask pattern is removed and the mask pattern is removed from the upper surface of the window layer 15 in the region 16-2.

도 6을 참조하면, 상기 윈도우층(15)의 상면과 상기 볼록부(16)의 표면에는 투광성 전극층(21)이 형성되며, 상기 투광성 전극층(21)은 스퍼터링 또는 증착 방식으로 형성될 수 있다. 상기 투광성 전극층(21)은 굴곡진 층으로 형성되며, 상기 윈도우층(15)의 상면 및 상기 볼록부(16)의 표면에 오믹 접촉될 수 있다. 상기 투광성 전극층(21)은 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), IZTO(indium zinc tin oxide), IAZO(indium aluminum zinc oxide), IGZO(indium gallium zinc oxide), IGTO(indium gallium tin oxide), AZO(aluminum zinc oxide), ATO(antimony tin oxide), GZO(gallium zinc oxide), ZnO, IrOx, RuOx, NiO 중 적어도 하나로 형성될 수 있다.
Referring to FIG. 6, a light transmissive electrode layer 21 is formed on an upper surface of the window layer 15 and a surface of the convex portion 16, and the light transmissive electrode layer 21 may be formed by sputtering or deposition. The transmissive electrode layer 21 may be formed as a curved layer, and may be in ohmic contact with the upper surface of the window layer 15 and the surface of the convex portion 16. The translucent electrode layer 21 may be formed of indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), indium zinc tin oxide (IZTO), indium aluminum zinc oxide (IAZO), indium gallium zinc oxide (IGZO), and indium gallium tin (IGTO). oxide), aluminum zinc oxide (AZO), antimony tin oxide (ATO), gallium zinc oxide (GZO), ZnO, IrOx, RuOx, and NiO.

도 7을 참조하면, 상기 윈도우층(15) 위에는 미러층(23)이 형성되며, 상기 미러층(23)은 금속 물질을 이용하여 증착, 도금, 스퍼터링 방식으로 형성될 수 있다. 상기 미러층(23)은 Al, Ag, Pd, Rh, Pt, Ir 및 이들 중 2이상의 합금 중에서 선택적으로 형성될 수 있다. Referring to FIG. 7, a mirror layer 23 is formed on the window layer 15, and the mirror layer 23 may be formed using a metal material by deposition, plating, and sputtering. The mirror layer 23 may be selectively formed among Al, Ag, Pd, Rh, Pt, Ir, and two or more of these alloys.

상기 미러층(23) 위에 전도성 기판(25)을 형성하게 된다. 상기 전도성 기판(25)은 상기 미러층(23)에 접합되어 배치될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기 전도성 기판(25)은 실리콘 계열이거나 GaN과 같은 반도체 기판을 포함할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. The conductive substrate 25 is formed on the mirror layer 23. The conductive substrate 25 may be bonded to the mirror layer 23, but is not limited thereto. The conductive substrate 25 may be silicon-based or include a semiconductor substrate such as GaN, but is not limited thereto.

상기 전도성 기판(25) 상에 전극층(33)을 형성하며, 상기 전극층(33)은 패드로 기능하게 된다. An electrode layer 33 is formed on the conductive substrate 25, and the electrode layer 33 functions as a pad.

도 7 및 도 8을 참조하면, 상기 기판(1)을 제거하게 된다. 상기 기판 제거 방식은 레이저 리프트 오프 방식으로 이용하거나, 화학적 방식을 이용하여 제거할 수 있다. 상기 기판(1)이 제거되면, 제1도전형 반도체층(12)이 노출될 수 있다.7 and 8, the substrate 1 is removed. The substrate removal method may be used by a laser lift-off method or may be removed using a chemical method. When the substrate 1 is removed, the first conductive semiconductor layer 12 may be exposed.

또한 상기 기판이 제거된 제1도전형 반도체층(12)의 표면에 전극(31)을 형성하게 되며, 상기 전극(31)은 패드를 포함한다.
In addition, the electrode 31 is formed on the surface of the first conductive semiconductor layer 12 from which the substrate is removed, and the electrode 31 includes a pad.

도 9는 제2실시 예에 따른 발광 소자를 나타낸 도면이다.9 is a view showing a light emitting device according to a second embodiment.

도 9를 참조하면, 발광 소자는 윈도우층(15)과 볼록부(17)에 첨가된 도펀트 농도를 상이하게 한다. 상기 볼록부(17)는 상기 윈도우층(15)의 도펀트 농도보다 더 높은 도펀트 농도를 갖는 GaP 계열의 층으로 형성되며, 상기 윈도우층(15)은 상기 볼록부(17)보다 더 낮은 도펀트 농도를 갖는 GaP 계열의 층으로 형성될 수 있다. 상기 윈도우층(15)의 p형 도펀트 농도는 1×1018cm-3 이하로 형성될 수 있으며, 상기 복수의 볼록부(17)의 p형 도펀트 농도는 5×1018cm-3 이상으로 형성될 수 있다. 상기 윈도우층(15)와 상기 볼록부(17)에 첨가된 도펀트의 종류는 동일한 도펀트로 형성될 수 있다. Referring to FIG. 9, the light emitting device has different dopant concentrations added to the window layer 15 and the convex portion 17. The convex portion 17 is formed of a GaP-based layer having a higher dopant concentration than the dopant concentration of the window layer 15, and the window layer 15 has a lower dopant concentration than the convex portion 17. It can be formed of a GaP-based layer having. The p-type dopant concentration of the window layer 15 may be formed to be 1 × 10 18 cm −3 or less, and the p-type dopant concentration of the plurality of convex portions 17 is formed to be 5 × 10 18 cm −3 or more. Can be. The type of dopant added to the window layer 15 and the convex portion 17 may be formed of the same dopant.

다른 예로서, 상기 윈도우층(15)와 상기 볼록부(17)에 첨가된 도펀트 종류는 다른 도펀트로 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 윈도우층(15)에 첨가된 도펀트는 마그네슘(Mg)일 수 있으며, 상기 볼록부(17)에 첨가된 도펀트는 카본(C)일 수 있다. 상기 윈도우층(15)에 첨가된 도펀트 농도는 5×1018cm-3 이하이고, 상기 볼록부(17)에 첨가된 도펀트 농도는 1×1019cm-3 이상으로 형성될 수 있다.
As another example, the type of dopant added to the window layer 15 and the convex portion 17 may be formed of other dopants. For example, the dopant added to the window layer 15 may be magnesium (Mg), and the dopant added to the convex portion 17 may be carbon (C). The dopant concentration added to the window layer 15 may be 5 × 10 18 cm −3 or less, and the dopant concentration added to the convex portion 17 may be 1 × 10 19 cm −3 or more.

상기 볼록부(17)는 상기 투광성 전극층(21)으로 공급되는 전류를 확산시켜 주는 층으로 역할을 하게 되고, 상기 볼록부(17) 사이인 윈도우층(15)의 영역은 전류를 블록킹하는 역할을 한다. 이에 따라 상기 윈도우층(15)의 두께를 8㎛ 이하로 형성할 수 있다.The convex portion 17 serves as a layer for diffusing the current supplied to the transparent electrode layer 21, and an area of the window layer 15 between the convex portions 17 serves to block the current. do. Accordingly, the window layer 15 may have a thickness of 8 μm or less.

상기 윈도우층(15)의 하면에 접척된 투명 전극층(21)의 영역 중 상기 전극(31)에 대응되는 영역(21-1)은 블록부(17)이 형성되지 않는 플랫한 영역으로 형성되며, 상기 전극(31)의 너비와 다르게 예컨대, 상기 전극(31)의 너비보다 적어도 큰 너비(D3)로 형성될 수 있다. 이러한 영역(21-1)은 전극(31)과 발광 구조층(11)의 두께 방향으로 대응되게 배치되어, 상기 전극(31)으로 이동하려는 전류를 블록킹시켜 준다. The region 21-1 corresponding to the electrode 31 of the region of the transparent electrode layer 21 contacting the bottom surface of the window layer 15 is formed as a flat region in which the block portion 17 is not formed. Different from the width of the electrode 31, for example, it may be formed of a width (D3) at least larger than the width of the electrode (31). The region 21-1 is disposed to correspond to the thickness direction of the electrode 31 and the light emitting structure layer 11, thereby blocking a current to be moved to the electrode 31.

또한 상기 투광성 전극층(21)의 상면 둘레에는 채널층(22)이 형성되며, 상기 채널층(22)은 절연 재질로 형성될 수 있다. 상기 채널층(22)은 링(ring), 프레임(frame), 밴드(band)와 같은 연속적인 구조로 형성될 수 있으며, 그 물질은 SiO2, SiOx, SiOxNy, Si3N4, Al2O3, TiO2 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다. In addition, a channel layer 22 is formed around the upper surface of the transparent electrode layer 21, and the channel layer 22 may be formed of an insulating material. The channel layer 22 may be formed in a continuous structure such as a ring, a frame, and a band, and the material may be SiO 2 , SiO x , SiO x N y , Si 3 N 4. , Al 2 O 3 , TiO 2 It may include at least one of.

상기 채널층(22)의 내측부는 상기 윈도우층(15)의 하면에 접촉될 수 있으며, 외측부는 상기 반도체 구조물의 측면(S1)으로부터 이격될 수 있다. 상기 채널층(22)은 미러층(23)과 반도체 구조물의 측면(S1)을 이격시켜 주어, 반도체 구조물의 측면에서의 전기적인 쇼트를 방지할 수 있다.
The inner portion of the channel layer 22 may contact the lower surface of the window layer 15, and the outer portion may be spaced apart from the side surface S1 of the semiconductor structure. The channel layer 22 may be spaced apart from the mirror layer 23 and the side surface S1 of the semiconductor structure, thereby preventing electrical short at the side surface of the semiconductor structure.

도 10은 제3실시 예에 따른 발광 소자를 나타낸 도면이다.10 is a view showing a light emitting device according to a third embodiment.

도 10을 참조하면, 발광 소자는 윈도우층(15)과 투광성 전극층(21) 사이에 복수의 볼록부(18)가 형성되며, 상기 각 볼록부(18)는 제1층(18-1)과 제2층(18-2)을 포함한다. 상기 제1층(18-1)은 상기 윈도우층(15) 아래에 접촉되며, 상기 제2층(18-2)은 상기 제1층(18-1) 아래에 배치된다. 상기 제1층(18-1)과 제2층(18-2)은 GaP 계열의 반도체 재료로 형성될 수 있다. Referring to FIG. 10, in the light emitting device, a plurality of convex portions 18 are formed between the window layer 15 and the transparent electrode layer 21, and each of the convex portions 18 may be formed of the first layer 18-1. The second layer 18-2 is included. The first layer 18-1 is in contact with the window layer 15, and the second layer 18-2 is disposed under the first layer 18-1. The first layer 18-1 and the second layer 18-2 may be formed of a GaP-based semiconductor material.

상기 제1층(18-1)과 제2층(18-2)은 서로 다른 반도체 재료로 적층되거나, 서로 다른 두께로 적층되거나, 서로 다른 도펀트 농도를 갖고 적층될 수 있다. 또한 상기 제1층(18-1)과 제2층(18-2)의 페어는 2~30주기로 반복적으로 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.
The first layer 18-1 and the second layer 18-2 may be stacked with different semiconductor materials, stacked with different thicknesses, or stacked with different dopant concentrations. In addition, the pair of the first layer 18-1 and the second layer 18-2 may be repeatedly formed in 2 to 30 cycles, but is not limited thereto.

도 11는 도 1의 발광 소자를 갖는 발광소자 패키지를 나타낸 도면이다. FIG. 11 is a view illustrating a light emitting device package having the light emitting device of FIG. 1.

도 11을 참조하면, 발광소자 패키지(50)는 몸체(51)와, 상기 몸체(51)에 적어도 일부가 배치된 제1 리드전극(52) 및 제2 리드전극(53)과, 상기 몸체(51) 상에 상기 제1 리드전극(52) 및 제2 리드전극(53)과 전기적으로 연결되는 상기 발광 소자(41)와, 상기 몸체(51) 상에 상기 발광 소자(41)를 포위하는 몰딩부재(57)를 포함한다.Referring to FIG. 11, the light emitting device package 50 includes a body 51, a first lead electrode 52 and a second lead electrode 53 at least partially disposed on the body 51, and the body ( A molding for enclosing the light emitting element 41 on the body 51 and the light emitting element 41 electrically connected to the first lead electrode 52 and the second lead electrode 53. And a member 57.

상기 몸체(51)는 실리콘 재질, 합성수지 재질, 또는 금속 재질을 포함하여 형성될 수 있다. 상기 몸체(51)는 위에서 볼 때 내부에 캐비티(cavity)(35) 및 그 둘레에 경사면을 갖는 반사부를 포함한다. The body 51 may include a silicon material, a synthetic resin material, or a metal material. The body 51 includes a cavity 35 therein and a reflecting portion having an inclined surface around the cavity 35 when viewed from above.

상기 제1 리드전극(52) 및 상기 제2 리드전극(53)은 서로 전기적으로 분리되며, 상기 몸체(51) 내부를 관통하도록 형성될 수 있다. 즉, 상기 제1 리드전극(52) 및 상기 제2 리드전극(53)은 일부는 상기 캐비티(35) 내부에 배치되고, 다른 부분은 상기 몸체(51)의 외부에 배치될 수 있다. The first lead electrode 52 and the second lead electrode 53 are electrically separated from each other, and may be formed to penetrate the inside of the body 51. That is, some of the first lead electrode 52 and the second lead electrode 53 may be disposed inside the cavity 35, and other portions of the first lead electrode 52 and the second lead electrode 53 may be disposed outside the body 51.

상기 제1 리드전극(52) 및 제2 리드전극(53)은 상기 발광 소자(41)에 전원을 공급하고, 상기 발광 소자(41)에서 발생된 빛을 반사시켜 광 효율을 증가시킬 수 있으며, 상기 발광 소자(41)에서 발생된 열을 외부로 배출시키는 기능을 할 수도 있다.The first lead electrode 52 and the second lead electrode 53 may supply power to the light emitting device 41, and may reflect light generated from the light emitting device 41 to increase light efficiency. It may also function to discharge the heat generated by the light emitting element 41 to the outside.

상기 발광 소자(41)는 상기 몸체(51) 상에 설치되거나 상기 제1 리드전극(52) 또는/및 제2 리드전극(53) 상에 설치될 수 있다.The light emitting element 41 may be installed on the body 51 or on the first lead electrode 52 and / or the second lead electrode 53.

상기 발광 소자(41)의 와이어(56)는 상기 제1 리드전극(52) 또는 제2 리드전극(53) 중 어느 하나에 전기적으로 연결될 수 있으며, 이에 한정되지 않는다. The wire 56 of the light emitting element 41 may be electrically connected to either the first lead electrode 52 or the second lead electrode 53, but is not limited thereto.

상기 몰딩부재(57)는 상기 발광 소자(41)를 포위하여 상기 발광 소자(41)를 보호할 수 있다. 또한, 상기 몰딩부재(57)에는 형광체가 포함되고, 이러한 형광체에 의해 상기 발광 소자(41)에서 방출된 광의 파장이 변화될 수 있다.
The molding member 57 may surround the light emitting element 41 to protect the light emitting element 41. In addition, the molding member 57 may include a phosphor, and the wavelength of the light emitted from the light emitting element 41 may be changed by the phosphor.

실시예에 따른 발광 소자 또는 발광 소자 패키지는 라이트 유닛에 적용될 수 있다. 상기 라이트 유닛은 복수의 발광 소자 또는 발광 소자 패키지가 어레이된 구조를 포함하며, 도 12 및 도 13에 도시된 표시 장치, 도 14에 도시된 조명 장치를 포함하고, 조명등, 신호등, 차량 전조등, 전광판 등이 포함될 수 있다.The light emitting device or the light emitting device package according to the embodiment may be applied to the light unit. The light unit includes a structure in which a plurality of light emitting devices or light emitting device packages are arranged, and includes a display device shown in FIGS. 12 and 13 and a lighting device shown in FIG. 14. Etc. may be included.

도 12는 실시 예에 따른 표시 장치의 분해 사시도이다. 12 is an exploded perspective view of a display device according to an exemplary embodiment.

도 12를 참조하면, 표시 장치(1000)는 도광판(1041)과, 상기 도광판(1041)에 빛을 제공하는 발광 모듈(1031)와, 상기 도광판(1041) 아래에 반사 부재(1022)와, 상기 도광판(1041) 위에 광학 시트(1051)와, 상기 광학 시트(1051) 위에 표시 패널(1061)과, 상기 도광판(1041), 발광 모듈(1031) 및 반사 부재(1022)를 수납하는 바텀 커버(1011)를 포함할 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.Referring to FIG. 12, the display device 1000 includes a light guide plate 1041, a light emitting module 1031 providing light to the light guide plate 1041, a reflective member 1022 under the light guide plate 1041, and the light guide plate 1041. A bottom cover 1011 that houses an optical sheet 1051 on the light guide plate 1041, a display panel 1061 on the optical sheet 1051, the light guide plate 1041, a light emitting module 1031, and a reflective member 1022. ), But is not limited thereto.

상기 바텀 커버(1011), 반사시트(1022), 도광판(1041), 광학 시트(1051)는 라이트 유닛(1050)으로 정의될 수 있다.The bottom cover 1011, the reflective sheet 1022, the light guide plate 1041, and the optical sheet 1051 can be defined as a light unit 1050.

상기 도광판(1041)은 상기 발광 모듈(1031)로부터 제공된 빛을 확산시켜 면광원화 시키는 역할을 한다. 상기 도광판(1041)은 투명한 재질로 이루어지며, 예를 들어, PMMA(polymethyl metaacrylate)와 같은 아크릴 수지 계열, PET(polyethylene terephthlate), PC(poly carbonate), COC(cycloolefin copolymer) 및 PEN(polyethylene naphthalate) 수지 중 하나를 포함할 수 있다. The light guide plate 1041 serves to diffuse the light provided from the light emitting module 1031 to make a surface light source. The light guide plate 1041 is made of a transparent material, for example, acrylic resin-based such as polymethyl metaacrylate (PMMA), polyethylene terephthlate (PET), polycarbonate (PC), cycloolefin copolymer (COC), and polyethylene naphthalate (PEN). It may include one of the resins.

상기 발광모듈(1031)은 상기 도광판(1041)의 적어도 일 측면에 배치되어 상기 도광판(1041)의 적어도 일 측면에 빛을 제공하며, 궁극적으로는 표시 장치의 광원으로써 작용하게 된다.The light emitting module 1031 is disposed on at least one side of the light guide plate 1041 to provide light to at least one side of the light guide plate 1041, and ultimately serves as a light source of the display device.

상기 발광모듈(1031)은 적어도 하나를 포함하며, 상기 도광판(1041)의 일 측면에서 직접 또는 간접적으로 광을 제공할 수 있다. 상기 발광 모듈(1031)은 보드(1033)과 상기에 개시된 실시 예에 따른 발광 소자 패키지(50)를 포함하며, 상기 발광 소자 패키지(50)는 상기 보드(1033) 상에 소정 간격으로 어레이될 수 있다. 상기 보드는 인쇄회로기판(printed circuit board)일 수 있지만, 이에 한정하지 않는다. 또한 상기 보드(1033)은 메탈 코어 PCB(MCPCB, Metal Core PCB), 연성 PCB(FPCB, Flexible PCB) 등을 포함할 수도 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기 발광 소자 패키지(50)는 상기 바텀 커버(1011)의 측면 또는 방열 플레이트 상에 탑재될 경우, 상기 보드(1033)은 제거될 수 있다. 상기 방열 플레이트의 일부는 상기 바텀 커버(1011)의 상면에 접촉될 수 있다. 따라서, 발광 소자 패키지(50)에서 발생된 열은 방열 플레이트를 경유하여 바텀 커버(1011)로 방출될 수 있다.The light emitting module 1031 may include at least one, and may provide light directly or indirectly at one side of the light guide plate 1041. The light emitting module 1031 may include a board 1033 and a light emitting device package 50 according to the embodiment disclosed above, and the light emitting device package 50 may be arrayed on the board 1033 at predetermined intervals. have. The board may be a printed circuit board, but is not limited thereto. In addition, the board 1033 may include a metal core PCB (MCPCB, Metal Core PCB), flexible PCB (FPCB, Flexible PCB) and the like, but is not limited thereto. When the light emitting device package 50 is mounted on the side surface of the bottom cover 1011 or the heat dissipation plate, the board 1033 may be removed. A part of the heat radiation plate may be in contact with the upper surface of the bottom cover 1011. Therefore, heat generated in the light emitting device package 50 may be discharged to the bottom cover 1011 via the heat dissipation plate.

상기 복수의 발광 소자 패키지(50)는 상기 보드(1033) 상에 빛이 방출되는 출사면이 상기 도광판(1041)과 소정 거리 이격되도록 탑재될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기 발광 소자 패키지(50)는 상기 도광판(1041)의 일측면인 입광부에 광을 직접 또는 간접적으로 제공할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The plurality of light emitting device packages 50 may be mounted on the board 1033 such that an emission surface on which light is emitted is spaced apart from the light guide plate 1041 by a predetermined distance, but is not limited thereto. The light emitting device package 50 may directly or indirectly provide light to a light incident portion that is one side of the light guide plate 1041, but is not limited thereto.

상기 도광판(1041) 아래에는 상기 반사 부재(1022)가 배치될 수 있다. 상기 반사 부재(1022)는 상기 도광판(1041)의 하면으로 입사된 빛을 반사시켜 상기 표시 패널(1061)로 공급함으로써, 상기 표시 패널(1061)의 휘도를 향상시킬 수 있다. 상기 반사 부재(1022)는 예를 들어, PET, PC, PVC 레진 등으로 형성될 수 있으나, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기 반사 부재(1022)는 상기 바텀 커버(1011)의 상면일 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The reflective member 1022 may be disposed under the light guide plate 1041. The reflective member 1022 reflects the light incident on the lower surface of the light guide plate 1041 and supplies the reflected light to the display panel 1061 to improve the brightness of the display panel 1061. The reflective member 1022 may be formed of, for example, PET, PC, or PVC resin, but is not limited thereto. The reflective member 1022 may be an upper surface of the bottom cover 1011, but is not limited thereto.

상기 바텀 커버(1011)는 상기 도광판(1041), 발광모듈(1031) 및 반사 부재(1022) 등을 수납할 수 있다. 이를 위해, 상기 바텀 커버(1011)는 상면이 개구된 박스(box) 형상을 갖는 수납부(1012)가 구비될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기 바텀 커버(1011)는 탑 커버(미도시)와 결합될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The bottom cover 1011 may house the light guide plate 1041, the light emitting module 1031, the reflective member 1022, and the like. To this end, the bottom cover 1011 may be provided with a housing portion 1012 having a box-like shape with an opened upper surface, but the present invention is not limited thereto. The bottom cover 1011 may be coupled to a top cover (not shown), but is not limited thereto.

상기 바텀 커버(1011)는 금속 재질 또는 수지 재질로 형성될 수 있으며, 프레스 성형 또는 압출 성형 등의 공정을 이용하여 제조될 수 있다. 또한 상기 바텀 커버(1011)는 열 전도성이 좋은 금속 또는 비 금속 재료를 포함할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The bottom cover 1011 may be formed of a metal material or a resin material, and may be manufactured using a process such as press molding or extrusion molding. In addition, the bottom cover 1011 may include a metal or a non-metal material having good thermal conductivity, but the present invention is not limited thereto.

상기 표시 패널(1061)은 예컨대, LCD 패널로서, 서로 대향되는 투명한 재질의 제 1 및 제 2기판, 그리고 제 1 및 제 2기판 사이에 개재된 액정층을 포함한다. 상기 표시 패널(1061)의 적어도 일면에는 편광판이 부착될 수 있으며, 이러한 편광판의 부착 구조로 한정하지는 않는다. 상기 표시 패널(1061)은 상기 발광 모듈(1031)로부터 제공된 광을 투과 또는 차단시켜 정보를 표시하게 된다. 이러한 표시 장치(1000)는 각 종 휴대 단말기, 노트북 컴퓨터의 모니터, 랩탑 컴퓨터의 모니터, 텔레비전과 같은 영상 표시 장치에 적용될 수 있다. The display panel 1061 is, for example, an LCD panel, and includes a first and second substrates of transparent materials facing each other, and a liquid crystal layer interposed between the first and second substrates. A polarizing plate may be attached to at least one surface of the display panel 1061, but the present invention is not limited thereto. The display panel 1061 displays information by transmitting or blocking light provided from the light emitting module 1031. The display device 1000 can be applied to video display devices such as portable terminals, monitors of notebook computers, monitors of laptop computers, and televisions.

상기 광학 시트(1051)는 상기 표시 패널(1061)과 상기 도광판(1041) 사이에 배치되며, 적어도 한 장 이상의 투광성 시트를 포함한다. 상기 광학 시트(1051)는 예컨대 확산 시트(diffusion sheet), 수평 및 수직 프리즘 시트(horizontal/vertical prism sheet), 및 휘도 강화 시트(brightness enhanced sheet) 등과 같은 시트 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 확산 시트는 입사되는 광을 확산시켜 주고, 상기 수평 또는/및 수직 프리즘 시트는 입사되는 광을 상기 표시 패널(1061)로 집광시켜 주며, 상기 휘도 강화 시트는 손실되는 광을 재사용하여 휘도를 향상시켜 준다. 또한 상기 표시 패널(1061) 위에는 보호 시트가 배치될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The optical sheet 1051 is disposed between the display panel 1061 and the light guide plate 1041 and includes at least one light-transmitting sheet. The optical sheet 1051 may include at least one of a sheet such as a diffusion sheet, a horizontal / vertical prism sheet, a brightness enhanced sheet, and the like. The diffusion sheet diffuses incident light, and the horizontal and / or vertical prism sheet concentrates incident light on the display panel 1061. The brightness enhancing sheet reuses the lost light to improve the brightness I will. A protective sheet may be disposed on the display panel 1061, but the present invention is not limited thereto.

상기 발광 모듈(1031)의 광 경로 상에는 광학 부재로서, 상기 도광판(1041), 및 광학 시트(1051)를 포함할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The light guide plate 1041 and the optical sheet 1051 may be included as an optical member on the optical path of the light emitting module 1031, but are not limited thereto.

도 13은 실시 예에 따른 발광 소자 패키지를 갖는 표시 장치를 나타낸 도면이다. 13 is a diagram illustrating a display device having a light emitting device package according to an exemplary embodiment.

도 13을 참조하면, 표시 장치(1100)는 바텀 커버(1152), 상기에 개시된 발광 소자 패키지(50)가 어레이된 보드(1120), 광학 부재(1154), 및 표시 패널(1155)을 포함한다. Referring to FIG. 13, the display device 1100 includes a bottom cover 1152, a board 1120 on which the light emitting device package 50 disclosed above is arranged, an optical member 1154, and a display panel 1155. .

상기 보드(1120)과 상기 발광 소자 패키지(50)는 발광 모듈(1060)로 정의될 수 있다. 상기 바텀 커버(1152), 적어도 하나의 발광 모듈(1060), 광학 부재(1154)는 라이트 유닛(미도시)으로 정의될 수 있다. The board 1120 and the light emitting device package 50 may be defined as a light emitting module 1060. The bottom cover 1152, at least one light emitting module 1060, and the optical member 1154 may be defined as a light unit (not shown).

상기 바텀 커버(1152)에는 수납부(1153)를 구비할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The bottom cover 1152 may include an accommodating part 1153, but is not limited thereto.

상기 광학 부재(1154)는 렌즈, 도광판, 확산 시트, 수평 및 수직 프리즘 시트, 및 휘도 강화 시트 등에서 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 도광판은 PC 재질 또는 PMMA(Poly methy methacrylate) 재질로 이루어질 수 있으며, 이러한 도광판은 제거될 수 있다. 상기 확산 시트는 입사되는 광을 확산시켜 주고, 상기 수평 및 수직 프리즘 시트는 입사되는 광을 상기 표시 패널(1155)으로 집광시켜 주며, 상기 휘도 강화 시트는 손실되는 광을 재사용하여 휘도를 향상시켜 준다. The optical member 1154 may include at least one of a lens, a light guide plate, a diffusion sheet, a horizontal and vertical prism sheet, and a brightness enhancement sheet. The light guide plate may be made of a PC material or a poly methy methacrylate (PMMA) material, and the light guide plate may be removed. The diffusion sheet diffuses the incident light, and the horizontal and vertical prism sheets condense the incident light onto the display panel 1155. The brightness enhancing sheet reuses the lost light to improve the brightness .

상기 광학 부재(1154)는 상기 발광 모듈(1060) 위에 배치되며, 상기 발광 모듈(1060)로부터 방출된 광을 면 광원하거나, 확산, 집광 등을 수행하게 된다.The optical member 1154 is disposed on the light emitting module 1060, and performs surface light source, diffusion, condensing, etc. of the light emitted from the light emitting module 1060.

도 14는 실시 예에 따른 조명 장치의 사시도이다.14 is a perspective view of a lighting apparatus according to an embodiment.

도 14를 참조하면, 조명 장치(1500)는 케이스(1510)와, 상기 케이스(1510)에 설치된 발광모듈(1530)과, 상기 케이스(1510)에 설치되며 외부 전원으로부터 전원을 제공받는 연결 단자(1520)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 14, the lighting device 1500 may include a case 1510, a light emitting module 1530 installed in the case 1510, and a connection terminal installed in the case 1510 and receiving power from an external power source. 1520).

상기 케이스(1510)는 방열 특성이 양호한 재질로 형성되는 것이 바람직하며, 예를 들어 금속 재질 또는 수지 재질로 형성될 수 있다.The case 1510 may be formed of a material having good heat dissipation, for example, may be formed of a metal material or a resin material.

상기 발광 모듈(1530)은 보드(1532)와, 상기 보드(1532)에 탑재되는 실시 예에 따른 발광 소자 패키지(50)를 포함할 수 있다. 상기 발광 소자 패키지(50)는 복수개가 매트릭스 형태 또는 소정 간격으로 이격되어 어레이될 수 있다. The light emitting module 1530 may include a board 1532 and a light emitting device package 50 according to an embodiment mounted on the board 1532. The plurality of light emitting device packages 50 may be arranged in a matrix form or spaced apart at predetermined intervals.

상기 보드(1532)는 절연체에 회로 패턴이 인쇄된 것일 수 있으며, 예를 들어, 일반 인쇄회로기판(PCB: Printed Circuit Board), 메탈 코아(Metal Core) PCB, 연성(Flexible) PCB, 세라믹 PCB, FR-4 기판 등을 포함할 수 있다. The board 1532 may be a circuit pattern printed on an insulator. For example, a printed circuit board (PCB), a metal core PCB, a flexible PCB, a ceramic PCB, FR-4 substrates and the like.

또한, 상기 보드(1532)는 빛을 효율적으로 반사하는 재질로 형성되거나, 표면이 빛이 효율적으로 반사되는 컬러, 예를 들어 백색, 은색 등의 코팅층될 수 있다.In addition, the board 1532 may be formed of a material that reflects light efficiently, or a surface may be coated with a color such as white, silver, etc., in which the light is efficiently reflected.

상기 보드(1532) 상에는 적어도 하나의 발광 소자 패키지(50)가 탑재될 수 있다. 상기 발광 소자 패키지(50) 각각은 적어도 하나의 발광 칩(LED: Light Emitting Diode) 을 포함할 수 있다. At least one light emitting device package 50 may be mounted on the board 1532. Each of the light emitting device packages 50 may include at least one light emitting diode (LED).

상기 발광모듈(1530)은 색감 및 휘도를 얻기 위해 다양한 발광 소자 패키지(50)의 조합을 가지도록 배치될 수 있다. 예를 들어, 고 연색성(CRI)을 확보하기 위해 백색 발광 다이오드, 적색 발광 다이오드 및 녹색 발광 다이오드를 조합하여 배치할 수 있다.The light emitting module 1530 may be arranged to have a combination of various light emitting device packages 50 to obtain color and luminance. For example, a white light emitting diode, a red light emitting diode, and a green light emitting diode may be combined to secure high color rendering (CRI).

상기 연결 단자(1520)는 상기 발광모듈(1530)과 전기적으로 연결되어 전원을 공급할 수 있다. 상기 연결 단자(1520)는 소켓 방식으로 외부 전원에 돌려 끼워져 결합되지만, 이에 대해 한정하지는 않는다. 예를 들어, 상기 연결 단자(1520)는 핀(pin) 형태로 형성되어 외부 전원에 삽입되거나, 배선에 의해 외부 전원에 연결될 수도 있는 것이다.
The connection terminal 1520 may be electrically connected to the light emitting module 1530 to supply power. The connection terminal 1520 is inserted into and coupled to an external power source in a socket manner, but is not limited thereto. For example, the connection terminal 1520 may be formed in a pin shape and inserted into an external power source, or may be connected to the external power source by a wire.

이상에서 실시예들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Features, structures, effects, and the like described in the above embodiments are included in at least one embodiment of the present invention, and are not necessarily limited to only one embodiment. Furthermore, the features, structures, effects, and the like illustrated in each embodiment may be combined or modified with respect to other embodiments by those skilled in the art to which the embodiments belong. Therefore, it should be understood that the present invention is not limited to these combinations and modifications.

또한, 이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be taken by way of illustration, It can be seen that various modifications and applications are possible. For example, each component specifically shown in the embodiments can be modified and implemented. It is to be understood that all changes and modifications that come within the meaning and range of equivalency of the claims are therefore intended to be embraced therein.

11: 발광 소자 12: 제1도전형 반도체층
13: 활성층 14: 제2도전형 반도체층
15: 윈도우층 16,17,18: 볼록부
18-1,18-2: 채널층 21: 투광성 전극층
22: 채널층 23: 미러층
25: 전도성 기판 31: 전극
33: 전극층
11: light emitting element 12: first conductive semiconductor layer
13: active layer 14: second conductive semiconductor layer
15: window layer 16, 17, 18: convex portion
18-1, 18-2: Channel layer 21: Translucent electrode layer
22: channel layer 23: mirror layer
25 conductive substrate 31 electrode
33: electrode layer

Claims (19)

제1도전형 반도체층, 활성층 및 제2도전형 반도체층을 포함하는 발광 구조층;
상기 발광 구조층 위에 전극;
상기 제2도전형 반도체층 아래에 윈도우층;
상기 윈도우층 아래에 투광성 전극층;
상기 투광성 전극층의 아래에 미러층; 및
상기 윈도우층 하면으로부터 상기 미러층의 방향으로 돌출된 복수의 볼록부를 포함하는 발광 소자.
A light emitting structure layer including a first conductive semiconductor layer, an active layer, and a second conductive semiconductor layer;
An electrode on the light emitting structure layer;
A window layer under the second conductive semiconductor layer;
A translucent electrode layer below the window layer;
A mirror layer under the light transmitting electrode layer; And
And a plurality of convex portions protruding from the lower surface of the window layer in the direction of the mirror layer.
제1항에 있어서, 상기 윈도우층 및 상기 복수의 볼록부는 GaP 계열의 반도체층을 포함하는 발광 소자.The light emitting device of claim 1, wherein the window layer and the plurality of convex portions comprise a GaP-based semiconductor layer. 제2항에 있어서, 상기 윈도우층 및 상기 복수의 볼록부는 p형 도펀트를 포함하는 발광 소자.The light emitting device of claim 2, wherein the window layer and the plurality of convex portions include a p-type dopant. 제3항에 있어서, 상기 윈도우층과 상기 복수의 볼록부는 서로 다른 도펀트 농도를 갖는 발광 소자.The light emitting device of claim 3, wherein the window layer and the plurality of convex portions have different dopant concentrations. 제4항에 있어서, 상기 복수의 볼록부는 상기 윈도우층의 도펀트 농도보다 높은 도펀트 농도를 갖는 발광 소자.The light emitting device of claim 4, wherein the plurality of convex portions have a dopant concentration higher than that of the window layer. 제5항에 있어서, 상기 윈도우층과 상기 복수의 볼록부의 도펀트 종류는 서로 다른 발광 소자.The light emitting device of claim 5, wherein a dopant of the window layer and the plurality of convex portions is different from each other. 제5항에 있어서, 상기 볼록부는 서로 다른 도펀트 농도를 갖는 복수의 층을 포함하는 발광 소자.The light emitting device of claim 5, wherein the convex portion includes a plurality of layers having different dopant concentrations. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 윈도우층과 상기 투광성 전극층 사이에 절연성의 채널층을 포함하는 발광 소자.The light emitting device according to any one of claims 1 to 7, further comprising an insulating channel layer between the window layer and the light transmissive electrode layer. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 볼록부 중 상기 전극에 대응되는 영역은 상기 전극의 너비보다 적어도 큰 너비로 형성되는 발광 소자.The light emitting device of claim 1, wherein a region of the convex portion corresponding to the electrode is formed to have a width that is at least larger than the width of the electrode. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 윈도우층은 상기 볼록부의 두께보다 두꺼운 두께를 갖는 발광 소자.The light emitting device according to any one of claims 1 to 7, wherein the window layer has a thickness thicker than that of the convex portion. 제10항에 있어서, 상기 볼록부는 3㎛ 이하의 두께를 갖는 발광 소자.The light emitting device of claim 10, wherein the convex portion has a thickness of 3 μm or less. 제10항에 있어서, 상기 미러층은 금속 재질을 포함하며, 상면이 요철 면으로 형성되는 발광 소자.The light emitting device of claim 10, wherein the mirror layer comprises a metal material, and the upper surface is formed of an uneven surface. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 미러층 아래에 전도성 기판을 포함하는 발광 소자.The light emitting device of claim 1, further comprising a conductive substrate under the mirror layer. 제13항에 있어서, 상기 전도성 기판은 실리콘 계열의 기판인 발광 소자.The light emitting device of claim 13, wherein the conductive substrate is a silicon-based substrate. 제14항에 있어서, 상기 전도성 기판 아래에 전극층을 포함하는 발광 소자. The light emitting device of claim 14, further comprising an electrode layer under the conductive substrate. 제5항에 있어서, 상기 투광성 전극층의 영역 중 상기 전극과 대응되는 영역은 상기 전극의 너비보다 적어도 넓은 영역을 갖고 플랫하게 형성되는 발광 소자. The light emitting device of claim 5, wherein a region of the light transmissive electrode layer corresponding to the electrode is flat and has a region that is at least wider than the width of the electrode. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 복수의 볼록부는 상면 너비가 하면 너비보다 더 넓은 발광 소자.The light emitting device according to any one of claims 1 to 6, wherein the plurality of convex portions have an upper surface width that is wider than a lower surface width. 기판 위에 제1도전형 반도체층, 활성층 및 제2도전형 반도체층을 형성하는 단계;
상기 제1도전형 반도체층 위에 윈도우층을 형성하는 단계;
상기 윈도우층 위에 복수의 마스크 패턴을 형성하는 단계;
상기 복수의 마스크 패턴 사이의 상기 윈도우층 위에 복수의 볼록부를 형성하는 단계;
상기 복수의 볼록부 및 상기 윈도우층 위에 투광성 전극층을 형성하는 단계;
상기 투광성 전극층 위에 미러층을 형성하는 단계;
상기 미러층 위에 전도성 기판을 형성하는 단계;
상기 기판을 제거하는 단계; 및
상기 기판이 제거된 제1도전형 반도체층에 전극을 형성하는 단계를 포함하며,
상기 윈도우층과 상기 복수의 볼록부는 GaP 계열의 반도체층을 포함하는 발광 소자 제조방법.
Forming a first conductive semiconductor layer, an active layer, and a second conductive semiconductor layer on the substrate;
Forming a window layer on the first conductive semiconductor layer;
Forming a plurality of mask patterns on the window layer;
Forming a plurality of convex portions on the window layer between the plurality of mask patterns;
Forming a translucent electrode layer on the plurality of convex portions and the window layer;
Forming a mirror layer on the light transmissive electrode layer;
Forming a conductive substrate on the mirror layer;
Removing the substrate; And
Forming an electrode on the first conductive semiconductor layer from which the substrate is removed;
The window layer and the plurality of convex portions include a GaP-based semiconductor layer manufacturing method.
제18항에 있어서, 상기 윈도우층과 상기 복수의 볼록부은 서로 다른 p형 도펀트 농도로 형성되는 발광 소자 제조방법.

The method of claim 18, wherein the window layer and the plurality of convex portions are formed at different p-type dopant concentrations.

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