KR101871503B1 - Light emitting device and method for fabricating the same - Google Patents

Light emitting device and method for fabricating the same Download PDF

Info

Publication number
KR101871503B1
KR101871503B1 KR1020110090394A KR20110090394A KR101871503B1 KR 101871503 B1 KR101871503 B1 KR 101871503B1 KR 1020110090394 A KR1020110090394 A KR 1020110090394A KR 20110090394 A KR20110090394 A KR 20110090394A KR 101871503 B1 KR101871503 B1 KR 101871503B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
layer
light emitting
window
light
convex portions
Prior art date
Application number
KR1020110090394A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20130026926A (en
Inventor
김태진
Original Assignee
엘지이노텍 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지이노텍 주식회사 filed Critical 엘지이노텍 주식회사
Priority to KR1020110090394A priority Critical patent/KR101871503B1/en
Publication of KR20130026926A publication Critical patent/KR20130026926A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101871503B1 publication Critical patent/KR101871503B1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/36Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/02Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
    • H01L33/10Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a light reflecting structure, e.g. semiconductor Bragg reflector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/02Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
    • H01L33/20Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a particular shape, e.g. curved or truncated substrate
    • H01L33/22Roughened surfaces, e.g. at the interface between epitaxial layers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/36Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes
    • H01L33/38Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes with a particular shape

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Led Devices (AREA)

Abstract

실시 예에 따른 발광 소자는, 제1도전형 반도체층, 활성층 및 제2도전형 반도체층을 포함하는 발광 구조층; 상기 발광 구조층 위에 전극; 상기 제2도전형 반도체층 아래에 윈도우층; 상기 윈도우층 아래에 투광성 전극층; 상기 투광성 전극층의 아래에 미러층; 및 상기 윈도우층 하면으로부터 상기 미러층의 방향으로 돌출된 복수의 볼록부를 포함한다. A light emitting device according to an embodiment includes a light emitting structure layer including a first conductive semiconductor layer, an active layer, and a second conductive semiconductor layer; An electrode on the light emitting structure layer; A window layer below the second conductive semiconductor layer; A transparent electrode layer below the window layer; A mirror layer below the light-transmitting electrode layer; And a plurality of convex portions protruding in the direction of the mirror layer from the bottom surface of the window layer.

Description

발광 소자 및 그 제조방법{LIGHT EMITTING DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a light emitting device,

실시 예는 발광 소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.The embodiments relate to a light emitting device and a manufacturing method thereof.

일반적으로, 반도체 발광 다이오드(light emitting diode: LED)는 풀컬러 디스플레이, 이미지 스캐너, 각종 신호시스템 및 광통신기기에 광원으로 널리 사용되고 있다. 이러한 LED는 전자와 정공의 재결합원리를 이용하는 활성층에서 빛을 생성하여 방출시킨다. BACKGROUND ART In general, semiconductor light emitting diodes (LEDs) are widely used as light sources in full color displays, image scanners, various signal systems, and optical communication devices. These LEDs generate and emit light in the active layer, which utilizes the recombination principle of electrons and holes.

AlGaInP 계열의 발광소자는 레이저 다이오드로 구성된 경우 약 670nm의 파장대를 가진 레이저 광을 출사할 수 있으며, LED로 구성된 경우에는 활성층 내에서의 Al 및 Ga성분비를 조절하여 옐로(Yellow)나 그린(Green) 계열의 560nm 부터 레드(Red)계열인 680nm까지의 고휘도 빛을 발광할 수 있는데, Al성분이 증가할수록 발광되는 빛의 파장은 점점 짧아진다.The light emitting device of the AlGaInP series can emit laser light having a wavelength of about 670 nm in the case of a laser diode. In the case of an LED, it is possible to control the ratio of Al and Ga in the active layer, It is possible to emit high brightness light of 560 nm to 680 nm which is a red series, and as the Al component increases, the wavelength of light emitted becomes shorter and shorter.

실시 예는 새로운 반도체 구조물을 갖는 발광 소자를 제공한다.Embodiments provide a light emitting device having a novel semiconductor structure.

실시 예는 윈도우층과 투광성 전극층 사이에 복수의 볼록부를 갖는 발광 소자를 제공한다.The embodiment provides a light emitting device having a plurality of convex portions between a window layer and a light transmitting electrode layer.

실시 예는 복수의 볼록부와 윈도우층의 도펀트 농도를 다르게 하여, 전류를 확산시켜 줄 수 있도록 한 발광 소자 및 그 제조방법을 제공한다.Embodiments provide a light emitting device capable of diffusing a current by making a dopant concentration of a plurality of convex portions and a window layer different from each other and a method of manufacturing the same.

실시 예는 윈도우층 아래에 요철 구조의 미러층을 포함하는 발광 소자 및 그 제조방법을 제공한다.Embodiments provide a light emitting device including a mirror layer having a concave-convex structure below a window layer and a method of manufacturing the same.

실시 예에 따른 발광 소자는, 제1도전형 반도체층, 활성층 및 제2도전형 반도체층을 포함하는 발광 구조층; 상기 발광 구조층 위에 전극; 상기 제2도전형 반도체층 아래에 윈도우층; 상기 윈도우층 아래에 투광성 전극층; 상기 투광성 전극층의 아래에 미러층; 및 상기 윈도우층 하면으로부터 상기 미러층의 방향으로 돌출된 복수의 볼록부를 포함한다. A light emitting device according to an embodiment includes a light emitting structure layer including a first conductive semiconductor layer, an active layer, and a second conductive semiconductor layer; An electrode on the light emitting structure layer; A window layer below the second conductive semiconductor layer; A transparent electrode layer below the window layer; A mirror layer below the light-transmitting electrode layer; And a plurality of convex portions protruding in the direction of the mirror layer from the bottom surface of the window layer.

실시 예에 따른 발광 소자 제조 방법은, 기판 위에 제1도전형 반도체층, 활성층 및 제2도전형 반도체층을 형성하는 단계; 상기 제1도전형 반도체층 위에 윈도우층을 형성하는 단계; 상기 윈도우층 위에 복수의 마스크 패턴을 형성하는 단계; 상기 복수의 마스크 패턴 사이의 상기 윈도우층 위에 복수의 볼록부를 형성하는 단계; 상기 복수의 볼록부 및 상기 윈도우층 위에 투광성 전극층을 형성하는 단계; 상기 투광성 전극층 위에 미러층을 형성하는 단계; 상기 미러층 위에 전도성 기판을 형성하는 단계; 상기 기판을 제거하는 단계; 및 상기 기판이 제거된 제1도전형 반도체층 위에 전극을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 윈도우층과 상기 복수의 볼록부는 GaP 계열의 반도체층을 포함한다. A method of manufacturing a light emitting device according to an embodiment of the present invention includes: forming a first conductive semiconductor layer, an active layer, and a second conductive semiconductor layer on a substrate; Forming a window layer on the first conductive semiconductor layer; Forming a plurality of mask patterns on the window layer; Forming a plurality of convex portions on the window layer between the plurality of mask patterns; Forming a transparent electrode layer on the plurality of convex portions and the window layer; Forming a mirror layer on the transparent electrode layer; Forming a conductive substrate on the mirror layer; Removing the substrate; And forming an electrode on the first conductive semiconductor layer from which the substrate is removed, wherein the window layer and the plurality of convex portions include a GaP-based semiconductor layer.

실시 예는 광 추출 효율을 개선시켜 줄 수 있다.Embodiments can improve the light extraction efficiency.

실시 예는 전류 블록킹을 통해 전류 확산 효과를 줄 수 있다.The embodiment can provide a current diffusion effect through current blocking.

실시 예는 AlGaInP계 발광 소자와, 이를 구비한 발광 소자 패키지 및 조명 시스템의 신뢰성도 개선될 수 있다.Embodiments can improve the reliability of an AlGaInP light emitting device, a light emitting device package including the same, and an illumination system.

도 1은 제1실시 예에 따른 발광 소자를 나타낸 측 단면도이다.
도 2 내지 도 8은 도 1의 발광 소자의 제조 공정을 나타낸 도면이다.
도 9는 제2실시 예에 따른 발광 소자를 나타낸 측 단면도이다.
도 10은 제3실시 예에 따른 발광 소자를 나타낸 측 단면도이다.
도 11은 도 1의 발광 소자를 갖는 발광 소자 패키지를 나타낸 도면이다.
도 12는 도 11의 발광 소자 패키지를 갖는 표시 장치를 나타낸 사시도이다.
도 13은 도 11의 발광 소자 패키지를 갖는 표시 장치의 다른 예를 나타낸 도면이다.
도 14는 도 11의 발광 소자 패키지를 갖는 조명 장치를 나타낸 도면이다.
1 is a side sectional view showing a light emitting device according to a first embodiment.
2 to 8 are views showing a manufacturing process of the light emitting device of FIG.
9 is a side sectional view showing a light emitting device according to the second embodiment.
10 is a side sectional view showing a light emitting device according to the third embodiment.
11 is a view showing a light emitting device package having the light emitting element of FIG.
12 is a perspective view showing a display device having the light emitting device package of FIG.
13 is a view showing another example of a display device having the light emitting device package of Fig.
14 is a view showing a lighting device having the light emitting device package of Fig.

실시 예의 설명에 있어서, 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들이 기판, 각 층(막), 영역, 패드 또는 패턴들의 "상/위(on)"에 또는 "하/아래(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "상/위(on)"와 "하/아래(under)"는 "직접(directly)" 또는 "다른 층을 개재하여 (indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 각 층의 위 또는 아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다In the description of the embodiments, it is to be understood that each layer (film), region, pattern or structure may be referred to as being "on" or "under" a substrate, each layer It is to be understood that the terms " on "and " under" include both " directly "or" indirectly " do. In addition, the criteria for above or below each layer will be described with reference to the drawings

그러나, 본 발명의 실시형태는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시형태로 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명의 실시형태는 당해 기술분야에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면상의 동일한 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다. 우선, 실시 예에 따른 반도체 발광소자에 대해 다양한 실시형태를 통해 구체적으로 설명하고, 이러한 반도체 발광소자를 사용한 발광소자 패키지와 백라이트 장치에 대해 설명한다.
However, the embodiments of the present invention can be modified into various other forms, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below. Further, the embodiments of the present invention are provided to more fully explain the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the shapes and sizes of the elements in the drawings may be exaggerated for clarity of description, and the elements denoted by the same reference numerals in the drawings are the same elements. First, a semiconductor light emitting device according to an embodiment will be described in detail through various embodiments, and a light emitting device package and a backlight device using such a semiconductor light emitting device will be described.

도 1은 제1실시 예에 따른 발광 소자를 나타낸 도면이다.1 is a view showing a light emitting device according to a first embodiment.

도 1을 참조하면, 발광 소자(41)는 제1도전형 반도체층(12), 활성층(13), 제2도전형 반도체층(14), 윈도우층(15), 복수의 볼록부(16), 투광성 전극층(21), 미러층(23), 전도성 기판(25), 전극층(33) 및 전극(31)을 포함한다.1, the light emitting device 41 includes a first conductive semiconductor layer 12, an active layer 13, a second conductive semiconductor layer 14, a window layer 15, a plurality of convex portions 16, A transparent electrode layer 21, a mirror layer 23, a conductive substrate 25, an electrode layer 33, and an electrode 31. [

상기 제1도전형 반도체층(12)은 제1도전형 도펀트가 도핑된 3족-5족 화합물 반도체로 구현되며, 예컨대 AlxGayIn1 -x- yP (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료로 형성될 수 있다. 상기 제1도전형 반도체층(12)이 n형 AlGaInP 계열의 반도체층인 경우, 상기 제1도전형의 도펀트는 n형 도펀트로서, Si, Ge, Sn, Se, 및 Te 중 적어도 하나를 포함한다. 상기 제1도전형 반도체층(12)은 단층 또는 다층으로 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The first conductive semiconductor layer 12 is formed of a Group III-V compound semiconductor doped with a first conductive type dopant, and may be formed of Al x Ga y In 1 -x- y P (0? 1, 0? X + y? 1). When the first conductivity type semiconductor layer 12 is an n-type AlGaInP series semiconductor layer, the first conductivity type dopant is at least one of Si, Ge, Sn, Se, and Te as an n-type dopant . The first conductive semiconductor layer 12 may be formed as a single layer or a multilayer, but the present invention is not limited thereto.

상기 제1도전형 반도체층(12)과 상기 활성층(13) 사이에는 제1클래드층(미도시)이 형성될 수 있으며, 상기 제1클래드층은 GaP계 반도체로 형성될 수 있다. 이러한 제1클래드층은 캐리어를 구속시켜 주는 역할을 한다. 다른 예로서, 상기 제1 클래드층(미도시)은 3족-5족 화합물 반도체를 이용하여 초격자 구조로 형성될 수 있으며, 이에 한정하지 않는다. 상기 제1 클래드층은 n형 또는/및 p형 도펀트를 포함할 수 있으며, 예컨대 제1도전형 또는 저 전도성의 반도체층으로 형성될 수 있다.A first cladding layer (not shown) may be formed between the first conductive semiconductor layer 12 and the active layer 13, and the first cladding layer may be formed of a GaP semiconductor. The first cladding layer serves to constrain the carrier. As another example, the first clad layer (not shown) may be formed in a superlattice structure using a group III-V compound semiconductor, but the present invention is not limited thereto. The first cladding layer may include n-type and / or p-type dopants, and may be formed of, for example, a first conductive type or a low conductive semiconductor layer.

상기 제1도전형 반도체층(12) 아래에는 활성층(13)이 형성된다. 상기 활성층(13)은 단일 우물, 단일 양자 우물, 다중 우물, 다중 양자 우물(MQW), 양자 선, 양자 점 구조 중 적어도 하나로 형성될 수 있다. 상기 활성층(13)은 우물층과 장벽층이 교대로 배치되며, 상기 우물층은 에너지 준위가 연속적인 우물층일 수 있다. 또한 상기 우물층은 에너지 준위가 양자화된 양자 우물(Quantum Well)일 수 있다. 상기의 우물층은 양자 우물층으로 정의될 수 있으며, 상기 장벽층은 양자 장벽층으로 정의될 수 있다. 상기 우물층과 상기 장벽층의 페어는 2~30주기로 형성될 수 있다. 상기 우물층은 예컨대, AlxGayIn1 -x- yP (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료로 형성될 수 있다. 상기 장벽층(133)은 상기 우물층(131)의 밴드 갭보다 더 넓은 밴드 갭을 갖는 반도체층으로 예컨대, AlxGayIn1 -x- yP (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료로 형성될 수 있다. An active layer 13 is formed under the first conductive semiconductor layer 12. The active layer 13 may be formed of at least one of a single well, a single quantum well, a multi-well, a multiple quantum well (MQW), a quantum wire, and a quantum dot structure. The active layer 13 may be a well layer and a barrier layer alternately arranged, and the well layer may be a well layer having a continuous energy level. Also, the well layer may be a quantum well in which the energy level is quantized. The well layer may be defined as a quantum well layer, and the barrier layer may be defined as a quantum barrier layer. The pair of the well layer and the barrier layer may be formed in 2 to 30 cycles. The well layer may be formed of a semiconductor material having a composition formula of Al x Ga y In 1 -x- y P (0? X? 1, 0? Y? 1, 0? X + y? The barrier layer 133 is, for example, Al x Ga y In 1 -x- y P (0≤x≤1, 0≤y≤ a semiconductor layer having a wider band gap than the band gap of the well layer 131 1, 0? X + y? 1).

상기 활성층(13)은 자외선 대역의 광을 발광하거나, Al 및 Ga 성분비를 조절하여 560nm부터 680nm까지의 파장 범위 내에서 선택적인 피크 파장을 발광할 수 있다.
The active layer 13 emits ultraviolet light or emits selective peak wavelengths within a wavelength range of 560 nm to 680 nm by controlling the ratio of Al and Ga.

상기 활성층(13) 아래에는 제2도전형 반도체층(14)이 형성된다. 상기 제2도전형 반도체층(14)은 제2도전형의 도펀트를 포함한다. 상기 제2도전형 반도체층(14)은 예컨대, AlxGayIn1 -x- yP (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료로 형성될 수 있다. 상기 제2도전형 반도체층(14)이 p형 AlGaInP 계열의 반도체층인 경우, 상기 제2도전형 도펀트는 p형 도펀트로서, Mg, Zn, Ca, Sr, Ba, C 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
A second conductive semiconductor layer 14 is formed under the active layer 13. The second conductive semiconductor layer 14 includes a dopant of a second conductivity type. The second conductivity type semiconductor layer 14 is formed of a semiconductor having a composition formula of Al x Ga y In 1 -x- y P (0? X? 1, 0? Y? 1, 0? X + May be formed of a material. In the case where the second conductivity type semiconductor layer 14 is a p-type AlGaInP series semiconductor layer, the second conductivity type dopant is at least one of Mg, Zn, Ca, Sr, Ba and C as a p- .

발광 구조층(11)의 층들의 전도성 타입은 반대로 형성될 수 있으며, 예컨대 상기 제2도전형의 반도체층은 n형 반도체층, 상기 제1도전형 반도체층(12)은 p형 반도체층으로 구현될 수 있다. 또한 상기 제2도전형 반도체층(14) 위에는 상기 제2도전형과 반대의 극성을 갖는 제3도전형 반도체층인 n형 반도체층이 더 형성할 수도 있다. The conductive type of the layers of the light emitting structure layer 11 may be reversely formed. For example, the second conductive type semiconductor layer may be an n-type semiconductor layer, and the first conductive type semiconductor layer 12 may be a p- . Also, an n-type semiconductor layer may be further formed on the second conductive semiconductor layer 14 as a third conductive semiconductor layer having a polarity opposite to the polarity of the second conductive type.

상기 발광소자는 상기 제1도전형 반도체층(12), 활성층(13) 및 상기 제2도전형 반도체층(14)을 발광 구조층(11)으로 정의될 수 있으며, 상기 발광 구조층(11)은 n-p 접합 구조, p-n 접합 구조, n-p-n 접합 구조, p-n-p 접합 구조 중 적어도 한 구조를 포함할 수 있다. 상기 n-p 및 p-n 접합은 2개의 층 사이에 활성층(13)이 배치되며, n-p-n 접합 또는 p-n-p 접합은 3개의 층 사이에 적어도 하나의 활성층(13)을 포함하게 된다.
The light emitting device may be defined as a light emitting structure layer 11 of the first conductivity type semiconductor layer 12, the active layer 13, and the second conductivity type semiconductor layer 14, May include at least one of an np junction structure, a pn junction structure, an npn junction structure, and a pnp junction structure. In the np and pn junctions, the active layer 13 is disposed between two layers, and the npn junction or the pnp junction includes at least one active layer 13 between the three layers.

상기 제2도전형 반도체층(14) 아래에는 윈도우층(15)이 형성되며, 상기 윈도우층(15)은 AlxGayIn1 -x- yP (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료로 형성될 수 있으며, 제2도전형 도펀트가 첨가될 수 있다. 상기 윈도우층(15)은 예컨대, p형 GaP 반도체층으로 형성될 수 있으며, p형 도펀트는 Mg, Zn, Ca, Sr, C 및 Ba 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 윈도우층(15)의 두께는 1㎛ 이상 예컨대,1~8㎛의 범위로 형성될 수 있다. 상기 윈도우층(15)은 에너지 밴드 갭이 넓기 때문에, 활성층(13)에서 발광된 빛을 흡수하지 않고 통과시켜 주며, 또한 두께가 상대적으로 두꺼워 전류 확산층의 기능을 수행하게 된다.
The second conductive type semiconductor layer 14 below the window layer 15 is formed, the window layer 15 is Al x Ga y In 1 -x- y P (0≤x≤1, 0≤y≤ 1, 0? X + y? 1), and a second conductivity type dopant may be added. The window layer 15 may be formed of, for example, a p-type GaP semiconductor layer, and the p-type dopant may include at least one of Mg, Zn, Ca, Sr, C and Ba. The thickness of the window layer 15 may be in the range of 1 탆 or more, for example, 1 to 8 탆. Since the window layer 15 has a wide energy bandgap, the window layer 15 allows the light emitted from the active layer 13 to pass without being absorbed, and the thickness of the window layer 15 is relatively thick, so that the window layer 15 functions as a current diffusion layer.

상기 윈도우층(15) 아래에는 복수의 볼록부(16)가 형성되며, 상기 복수의 볼록부(16)는 상기 윈도우층(15)으로부터 미러층(23) 방향으로 돌출되며, AlxGayIn1 -x- yP (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체층으로 형성될 수 있으며, 제2도전형 도펀트가 첨가될 수 있다. 상기 복수의 볼록부(16)는 상기 윈도우층(15)과 동일한 반도체이거나, GaP 계열의 반도체층으로 형성될 수 있다. 상기 볼록부(16)에는 Mg, Zn, Ca, Sr, C 및 Ba 중 적어도 하나의 p형 도펀트가 첨가될 수 있다. 상기 각 볼록부(16)의 두께는 3㎛ 이하 예컨대, 1~3㎛의 범위로 형성될 수 있다. 상기 각 볼록부(16)는 상면 너비보다 하면 너비가 더 좁게 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.A plurality of convex portions 16 are formed under the window layer 15. The plurality of convex portions 16 protrude from the window layer 15 in the direction of the mirror layer 23 and the Al x Ga y In 1- x- y P (0? X? 1, 0? Y? 1, 0? X + y? 1), and a second conductivity type dopant may be added. The plurality of convex portions 16 may be the same semiconductor as the window layer 15, or may be formed of a GaP-based semiconductor layer. At least one p-type dopant of Mg, Zn, Ca, Sr, C, and Ba may be added to the convex portion 16. The thickness of each of the convex portions 16 may be 3 m or less, for example, in the range of 1 to 3 m. Each of the convex portions 16 may be formed to have a smaller width than an upper surface width, but the present invention is not limited thereto.

상기 윈도우층(15)과 상기 복수의 볼록부(16)의 도펀트 농도는 동일하게 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. The dopant concentration of the window layer 15 and the plurality of convex portions 16 may be the same, but the present invention is not limited thereto.

상기 복수의 볼록부(16) 및 상기 윈도우층(15)의 아래에는 투광성 전극층(21)이 형성될 수 있으며, 상기 투광성 전극층(21)은 상기 복수의 볼록부(16)에 의해 굴곡을 갖는 층으로 형성될 수 있다. 상기 투광성 전극층(21)은 상기 윈도우층(15)의 하면 및 및 상기 볼록부(16)의 표면에 오믹 접촉되며, 인가되는 전류를 확산시켜 주게 된다. 상기 투광성 전극층(21)은 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), IZTO(indium zinc tin oxide), IAZO(indium aluminum zinc oxide), IGZO(indium gallium zinc oxide), IGTO(indium gallium tin oxide), AZO(aluminum zinc oxide), ATO(antimony tin oxide), GZO(gallium zinc oxide), ZnO, IrOx, RuOx, NiO 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.A transparent electrode layer 21 may be formed under the plurality of convex portions 16 and the window layer 15 and the transparent electrode layer 21 may be formed by a plurality of convex portions 16, As shown in FIG. The transparent electrode layer 21 is in ohmic contact with the lower surface of the window layer 15 and the surface of the convex portion 16 and diffuses the applied current. The transmissive electrode layer 21 may be formed of at least one selected from the group consisting of ITO (indium tin oxide), IZO (indium zinc oxide), IZTO (indium zinc tin oxide), IAZO (indium aluminum zinc oxide), IGZO oxide, AZO (aluminum zinc oxide), ATO (antimony tin oxide), GZO (gallium zinc oxide), ZnO, IrOx, RuOx and NiO.

상기 투광성 전극층(21)의 아래에는 미러층(23)이 형성되며, 상기 미러층(23)은 금속을 포함하며, 그 물질은 예컨대, Al, Ag, Pd, Rh, Pt, Ir 및 이들 중 2이상의 합금 중에서 선택적으로 형성될 수 있다. 상기 미러층(23)은 상면이 요철 구조로 형성됨으로써, 상기 투광성 전극층(21)을 통해 입사된 빛을 반사시켜 주어, 광의 임계각을 변화시켜 줄 수 있다. 상기 미러층(23)은 본딩층을 포함할 수 있으며, 상기 본딩층은 전도성 기판(25)과의 접합된다.A mirror layer 23 is formed under the transparent electrode layer 21 and the mirror layer 23 includes a metal such as Al, Ag, Pd, Rh, Pt, Ir, Or more of the above-described alloys. The mirror layer 23 is formed in a concavo-convex structure on the upper surface thereof, so that light incident through the transmissive electrode layer 21 can be reflected to change the critical angle of light. The mirror layer 23 may comprise a bonding layer, which is bonded to the conductive substrate 25.

상기 미러층(23) 아래에는 전도성 기판(25)이 배치되며, 상기 전도성 기판(25)은 실리콘계 재질을 포함하며, 예컨대 p형 실리콘 기판을 포함한다. 상기 전도성 기판(25)은 GaN과 같은 반도체 기판을 포함할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.A conductive substrate 25 is disposed under the mirror layer 23, and the conductive substrate 25 includes a silicon-based material, for example, a p-type silicon substrate. The conductive substrate 25 may include a semiconductor substrate such as GaN, but the present invention is not limited thereto.

상기 전도성 기판(25)의 아래에는 전극층(33)이 배치되며, 상기 전극층(33)은 Ti, Ru, Rh, Ir, Mg, Zn, Al, In, Ta, Pd, Co, Ni, Si, Ge, Ag 및 Au와 이들의 선택적인 합금 중에서 선택될 수 있다.An electrode layer 33 is disposed under the conductive substrate 25 and the electrode layer 33 is formed of a metal such as Ti, Ru, Rh, Ir, Mg, Zn, Al, In, Ta, Pd, , Ag and Au, and alloys thereof.

상기 제1도전형 반도체층(12) 위에는 전극(31)이 배치되며, 상기 전극(31)은 Ti, Ru, Rh, Ir, Mg, Zn, Al, In, Ta, Pd, Co, Ni, Si, Ge, Ag 및 Au와 이들의 선택적인 합금 중에서 선택될 수 있다.An electrode 31 is disposed on the first conductive semiconductor layer 12 and the electrode 31 is formed of a metal such as Ti, Ru, Rh, Ir, Mg, Zn, Al, In, Ta, Pd, , Ge, Ag, Au, and their alloys.

상기 발광 소자(41)의 표면에는 표면 보호를 위해 절연층이 더 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.
An insulating layer may be further formed on the surface of the light emitting device 41 to protect the surface, but the present invention is not limited thereto.

도 2 내지 도 8은 도 1의 발광 소자의 제조 과정을 나타낸 도면이다.2 to 8 are views showing a manufacturing process of the light emitting device of FIG.

도 2를 참조하면, 기판(1)은 성장 장비에 로딩된다. 상기 기판(1)은 투광성, 절연성 또는 도전성 기판을 이용할 수 있으며, 예컨대, 사파이어(Al2O3), SiC, Si, GaAs, GaN, ZnO, GaP, InP, Ge, Ga2O3, LiGaO3 중 적어도 하나를 이용할 수 있다. 상기 기판(1)의 상면에는 복수의 돌출부가 형성될 수 있으며, 상기의 복수의 돌출부는 상기 기판(1)의 식각을 통해 형성하거나, 별도의 러프니스와 같은 광 추출 구조로 형성될 수 있다. 상기 돌출부는 스트라이프 형상, 반구형상, 또는 돔(dome) 형상을 포함할 수 있다. 상기 기판(1)의 두께는 30㎛~400㎛ 범위로 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.Referring to FIG. 2, the substrate 1 is loaded into the growth equipment. The substrate 1 may be made of a light-transmitting, insulating or conductive substrate. For example, the substrate 1 may be made of a material such as sapphire (Al 2 O 3 ), SiC, Si, GaAs, GaN, ZnO, GaP, InP, Ge, Ga 2 O 3 , LiGaO 3 May be used. A plurality of protrusions may be formed on the upper surface of the substrate 1, and the plurality of protrusions may be formed through etching of the substrate 1, or may be formed of a light extraction structure such as a separate roughness. The protrusions may include a stripe shape, a hemispherical shape, or a dome shape. The thickness of the substrate 1 may be in the range of 30 탆 to 400 탆, but is not limited thereto.

상기 기판(1) 위에는 화합물 반도체층이 성장될 수 있으며, 상기 화합물 반도체층의 성장 장비는 전자빔 증착기, PVD(physical vapor deposition), CVD(chemical vapor deposition), PLD(plasma laser deposition), 이중형의 열증착기(dual-type thermal evaporator) 스퍼터링(sputtering), MOCVD(metal organic chemical vapor deposition) 등에 의해 형성할 수 있으며, 이러한 장비로 한정하지는 않는다. A compound semiconductor layer may be grown on the substrate 1. The growth equipment of the compound semiconductor layer may be an electron beam evaporator, physical vapor deposition (PVD), chemical vapor deposition (CVD), plasma laser deposition (PLD) For example, a dual-type thermal evaporator, sputtering, metal organic chemical vapor deposition (MOCVD), and the like.

상기 기판(1) 위에는 제1도전형 반도체층(12), 활성층(13), 제2도전형 반도체층(14) 및 윈도우층(15)이 순차적으로 형성된다. 상기 제1도전형 반도체층(12), 활성층(13) 및 제2도전형 반도체층(14)은 AlxGayIn1 -x- yP (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체층으로 형성될 수 있다. 상기 제1도전형 반도체층(12)은 n형 도펀트가 첨가된 n형 반도체층으로 형성될 수 있으며, 상기 제2도전형 반도체층(14)은 p형 도펀트가 첨가된 p형 반도체층으로 형성될 수 있다. 상기 윈도우층(15)은 p형 GaP 반도체층으로 형성될 수 있으며, 상기 제2도전형 반도체층(14)의 두께보다 더 두껍게 형성될 수 있다.A first conductive semiconductor layer 12, an active layer 13, a second conductive semiconductor layer 14, and a window layer 15 are sequentially formed on the substrate 1. The first conductivity type semiconductor layer 12, the active layer 13, and the second conductivity type semiconductor layer 14 are formed of Al x Ga y In 1 -x- y P (0? X ? 1, 0? 0? X + y? 1). The first conductivity type semiconductor layer 12 may be formed of an n-type semiconductor layer doped with an n-type dopant, and the second conductivity type semiconductor layer 14 may be formed of a p-type semiconductor layer doped with a p- . The window layer 15 may be formed of a p-type GaP semiconductor layer and may be thicker than the second conductive semiconductor layer 14.

상기 기판(1)과 제1도전형 반도체층(12) 사이에는 버퍼층 또는/및 저 전도층이 형성될 수 있으며, 상기 버퍼층 및/또는 저 전도층은 Al, Ga, In 중 적어도 하나와 인(P)를 선택적으로 조합하여 형성될 수 있으며, 예컨대 AlxGayIn1 -x- yP (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체층으로 형성될 수 있다.
A buffer layer and / or a low conduction layer may be formed between the substrate 1 and the first conductivity type semiconductor layer 12, and the buffer layer and / or the low conduction layer may include at least one of Al, Ga, P), and may be formed by a combination of a semiconductor having a composition formula of Al x Ga y In 1 -x- y P (0? X? 1, 0? Y? 1, 0? X + Layer.

도 3을 참조하면, 상기 윈도우층(15) 위에는 마스크 패턴(16-1)이 형성된다. 상기 마스크 패턴(16-1)은 서로 이격되어 배치될 수 있으며, 그 물질은 SiO2, Si3N4, Al2O3 중 적어도 하나로 형성될 수 있다. 도 4와 같이, 상기 마스크 패턴(16-1)은 원형 형상을 포함하며 그 너비는 7㎛±3㎛ 범위로 형성될 수 있으며, 상기 마스크 패턴(16-1) 간의 간격은 3㎛±1㎛로 형성될 수 있다. 다른 예로서, 상기 마스크 패턴(16-1)은 다각형 형상으로 포함하며, 그 너비 및 마스크 패턴 간의 간격은 상기의 범위 내에서 형성될 수 있다.Referring to FIG. 3, a mask pattern 16-1 is formed on the window layer 15. The mask patterns 16-1 may be spaced apart from each other, and the material may be formed of at least one of SiO 2 , Si 3 N 4 , and Al 2 O 3 . As shown in FIG. 4, the mask pattern 16-1 includes a circular shape and its width may be formed in a range of 7 mu m +/- 3 mu m, and the interval between the mask patterns 16-1 is 3 mu m +/- 1 mu m As shown in FIG. As another example, the mask pattern 16-1 may be formed in a polygonal shape, and the width and the interval between the mask patterns may be formed within the above range.

상기 마스크 패턴(16-1)이 형성되지 않는 상기 윈도우층(15)의 상면에는 복수의 볼록부(16)가 성장된다. 상기 복수의 볼록부(16)는 3족-5족 화합물 반도체층을 포함하며, AlxGayIn1 -x- yP(0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체층으로 형성될 수 있다. 상기 복수의 볼록부(16)는 상기 윈도우층(15)과 동일한 반도체로 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.A plurality of convex portions 16 are grown on the upper surface of the window layer 15 where the mask pattern 16-1 is not formed. The plurality of convex portions 16 include a group III-V group compound semiconductor layer, and are formed of Al x Ga y In 1 -x- y P (0? X? 1, 0? Y? 1, Lt; = 1). The plurality of convex portions 16 may be formed of the same semiconductor as the window layer 15, but the present invention is not limited thereto.

상기 복수의 볼록부(16)는 상면 너비가 하면 너비(D2)보다 더 좁게 형성될 수 있으며, 그 측면의 경사 각도(θ1)는 30~80°의 범위로 형성될 수 있다.The width of the upper surface of the plurality of convex portions 16 may be narrower than the bottom width D2 and the inclination angle? 1 of the side surfaces may be in a range of 30 to 80 degrees.

도 3 및 도 5를 참조하면, 상기 마스크 패턴을 제거하게 되며, 상기 마스크 패턴이 제거된 영역(16-2)에는 상기 윈도우층(15)의 상면에 노출된다. Referring to FIGS. 3 and 5, the mask pattern is removed, and the mask pattern-removed region 16-2 is exposed on the upper surface of the window layer 15.

도 6을 참조하면, 상기 윈도우층(15)의 상면과 상기 볼록부(16)의 표면에는 투광성 전극층(21)이 형성되며, 상기 투광성 전극층(21)은 스퍼터링 또는 증착 방식으로 형성될 수 있다. 상기 투광성 전극층(21)은 굴곡진 층으로 형성되며, 상기 윈도우층(15)의 상면 및 상기 볼록부(16)의 표면에 오믹 접촉될 수 있다. 상기 투광성 전극층(21)은 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), IZTO(indium zinc tin oxide), IAZO(indium aluminum zinc oxide), IGZO(indium gallium zinc oxide), IGTO(indium gallium tin oxide), AZO(aluminum zinc oxide), ATO(antimony tin oxide), GZO(gallium zinc oxide), ZnO, IrOx, RuOx, NiO 중 적어도 하나로 형성될 수 있다.
6, a transmissive electrode layer 21 is formed on the upper surface of the window layer 15 and the surface of the convex portion 16, and the transmissive electrode layer 21 may be formed by sputtering or vapor deposition. The transparent electrode layer 21 is formed as a curved layer and may be in ohmic contact with the upper surface of the window layer 15 and the surface of the convex portion 16. The transmissive electrode layer 21 may be formed of at least one selected from the group consisting of ITO (indium tin oxide), IZO (indium zinc oxide), IZTO (indium zinc tin oxide), IAZO (indium aluminum zinc oxide), IGZO oxide, AZO (aluminum zinc oxide), ATO (antimony tin oxide), GZO (gallium zinc oxide), ZnO, IrOx, RuOx and NiO.

도 7을 참조하면, 상기 윈도우층(15) 위에는 미러층(23)이 형성되며, 상기 미러층(23)은 금속 물질을 이용하여 증착, 도금, 스퍼터링 방식으로 형성될 수 있다. 상기 미러층(23)은 Al, Ag, Pd, Rh, Pt, Ir 및 이들 중 2이상의 합금 중에서 선택적으로 형성될 수 있다. Referring to FIG. 7, a mirror layer 23 is formed on the window layer 15, and the mirror layer 23 may be formed by vapor deposition, plating, or sputtering using a metal material. The mirror layer 23 may be selectively formed of Al, Ag, Pd, Rh, Pt, Ir, and alloys of two or more thereof.

상기 미러층(23) 위에 전도성 기판(25)을 형성하게 된다. 상기 전도성 기판(25)은 상기 미러층(23)에 접합되어 배치될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기 전도성 기판(25)은 실리콘 계열이거나 GaN과 같은 반도체 기판을 포함할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. A conductive substrate 25 is formed on the mirror layer 23. The conductive substrate 25 may be disposed on the mirror layer 23, but the present invention is not limited thereto. The conductive substrate 25 may be a silicon substrate or may include a semiconductor substrate such as GaN, but the present invention is not limited thereto.

상기 전도성 기판(25) 상에 전극층(33)을 형성하며, 상기 전극층(33)은 패드로 기능하게 된다. An electrode layer 33 is formed on the conductive substrate 25 and the electrode layer 33 functions as a pad.

도 7 및 도 8을 참조하면, 상기 기판(1)을 제거하게 된다. 상기 기판 제거 방식은 레이저 리프트 오프 방식으로 이용하거나, 화학적 방식을 이용하여 제거할 수 있다. 상기 기판(1)이 제거되면, 제1도전형 반도체층(12)이 노출될 수 있다.Referring to FIGS. 7 and 8, the substrate 1 is removed. The substrate removal method may be used by a laser lift off method or by a chemical method. When the substrate 1 is removed, the first conductivity type semiconductor layer 12 may be exposed.

또한 상기 기판이 제거된 제1도전형 반도체층(12)의 표면에 전극(31)을 형성하게 되며, 상기 전극(31)은 패드를 포함한다.
In addition, an electrode 31 is formed on the surface of the first conductive type semiconductor layer 12 from which the substrate is removed, and the electrode 31 includes a pad.

도 9는 제2실시 예에 따른 발광 소자를 나타낸 도면이다.9 is a view showing a light emitting device according to the second embodiment.

도 9를 참조하면, 발광 소자는 윈도우층(15)과 볼록부(17)에 첨가된 도펀트 농도를 상이하게 한다. 상기 볼록부(17)는 상기 윈도우층(15)의 도펀트 농도보다 더 높은 도펀트 농도를 갖는 GaP 계열의 층으로 형성되며, 상기 윈도우층(15)은 상기 볼록부(17)보다 더 낮은 도펀트 농도를 갖는 GaP 계열의 층으로 형성될 수 있다. 상기 윈도우층(15)의 p형 도펀트 농도는 1×1018cm-3 이하로 형성될 수 있으며, 상기 복수의 볼록부(17)의 p형 도펀트 농도는 5×1018cm-3 이상으로 형성될 수 있다. 상기 윈도우층(15)와 상기 볼록부(17)에 첨가된 도펀트의 종류는 동일한 도펀트로 형성될 수 있다. Referring to FIG. 9, the light emitting element makes the dopant concentration added to the window layer 15 and the convex portion 17 different. The convex portion 17 is formed of a GaP series layer having a dopant concentration higher than the dopant concentration of the window layer 15 and the window layer 15 has a lower dopant concentration than the convex portion 17 Gt; GaP < / RTI > The p-type dopant concentration of the window layer 15 may be less than or equal to 1 x 10 18 cm -3 and the p-type dopant concentration of the plurality of convex portions 17 may be less than or equal to 5 x 10 18 cm -3 . . The dopant added to the window layer 15 and the convex portion 17 may be formed of the same dopant.

다른 예로서, 상기 윈도우층(15)와 상기 볼록부(17)에 첨가된 도펀트 종류는 다른 도펀트로 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 윈도우층(15)에 첨가된 도펀트는 마그네슘(Mg)일 수 있으며, 상기 볼록부(17)에 첨가된 도펀트는 카본(C)일 수 있다. 상기 윈도우층(15)에 첨가된 도펀트 농도는 5×1018cm-3 이하이고, 상기 볼록부(17)에 첨가된 도펀트 농도는 1×1019cm-3 이상으로 형성될 수 있다.
As another example, the dopant species added to the window layer 15 and the convex portion 17 may be formed of other dopants. For example, the dopant added to the window layer 15 may be magnesium (Mg), and the dopant added to the convex portion 17 may be carbon (C). The dopant concentration added to the window layer 15 is 5 × 10 18 cm -3 or less and the dopant concentration added to the convex portion 17 may be 1 × 10 19 cm -3 or more.

상기 볼록부(17)는 상기 투광성 전극층(21)으로 공급되는 전류를 확산시켜 주는 층으로 역할을 하게 되고, 상기 볼록부(17) 사이인 윈도우층(15)의 영역은 전류를 블록킹하는 역할을 한다. 이에 따라 상기 윈도우층(15)의 두께를 8㎛ 이하로 형성할 수 있다.The convex portion 17 serves as a layer for diffusing a current supplied to the light transmitting electrode layer 21 and the region of the window layer 15 between the convex portions 17 serves to block current do. Accordingly, the thickness of the window layer 15 can be less than 8 탆.

상기 윈도우층(15)의 하면에 접척된 투명 전극층(21)의 영역 중 상기 전극(31)에 대응되는 영역(21-1)은 블록부(17)이 형성되지 않는 플랫한 영역으로 형성되며, 상기 전극(31)의 너비와 다르게 예컨대, 상기 전극(31)의 너비보다 적어도 큰 너비(D3)로 형성될 수 있다. 이러한 영역(21-1)은 전극(31)과 발광 구조층(11)의 두께 방향으로 대응되게 배치되어, 상기 전극(31)으로 이동하려는 전류를 블록킹시켜 준다. A region 21-1 corresponding to the electrode 31 among the regions of the transparent electrode layer 21 touching the lower surface of the window layer 15 is formed as a flat region in which the block portion 17 is not formed, For example, a width D3 that is at least larger than the width of the electrode 31, unlike the width of the electrode 31. This region 21-1 is disposed in correspondence with the thickness direction of the electrode 31 and the light emitting structure layer 11 to block a current to move to the electrode 31. [

또한 상기 투광성 전극층(21)의 상면 둘레에는 채널층(22)이 형성되며, 상기 채널층(22)은 절연 재질로 형성될 수 있다. 상기 채널층(22)은 링(ring), 프레임(frame), 밴드(band)와 같은 연속적인 구조로 형성될 수 있으며, 그 물질은 SiO2, SiOx, SiOxNy, Si3N4, Al2O3, TiO2 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다. Also, a channel layer 22 is formed on the upper surface of the transparent electrode layer 21, and the channel layer 22 may be formed of an insulating material. The channel layer 22 may be formed of a continuous structure such as a ring, a frame, and a band. The material may be SiO 2 , SiO x , SiO x N y , Si 3 N 4 , Al 2 O 3, TiO 2 As shown in FIG.

상기 채널층(22)의 내측부는 상기 윈도우층(15)의 하면에 접촉될 수 있으며, 외측부는 상기 반도체 구조물의 측면(S1)으로부터 이격될 수 있다. 상기 채널층(22)은 미러층(23)과 반도체 구조물의 측면(S1)을 이격시켜 주어, 반도체 구조물의 측면에서의 전기적인 쇼트를 방지할 수 있다.
The inner side of the channel layer 22 may contact the lower surface of the window layer 15 and the outer side may be spaced from the side surface S1 of the semiconductor structure. The channel layer 22 may separate the mirror layer 23 from the side surface S1 of the semiconductor structure to prevent electrical shorting on the side surface of the semiconductor structure.

도 10은 제3실시 예에 따른 발광 소자를 나타낸 도면이다.10 is a view illustrating a light emitting device according to the third embodiment.

도 10을 참조하면, 발광 소자는 윈도우층(15)과 투광성 전극층(21) 사이에 복수의 볼록부(18)가 형성되며, 상기 각 볼록부(18)는 제1층(18-1)과 제2층(18-2)을 포함한다. 상기 제1층(18-1)은 상기 윈도우층(15) 아래에 접촉되며, 상기 제2층(18-2)은 상기 제1층(18-1) 아래에 배치된다. 상기 제1층(18-1)과 제2층(18-2)은 GaP 계열의 반도체 재료로 형성될 수 있다. 10, a plurality of convex portions 18 are formed between the window layer 15 and the transparent electrode layer 21, and each of the convex portions 18 includes a first layer 18-1 and a second layer 18-2. And a second layer 18-2. The first layer 18-1 is under the window layer 15 and the second layer 18-2 is disposed under the first layer 18-1. The first layer 18-1 and the second layer 18-2 may be formed of a GaP-based semiconductor material.

상기 제1층(18-1)과 제2층(18-2)은 서로 다른 반도체 재료로 적층되거나, 서로 다른 두께로 적층되거나, 서로 다른 도펀트 농도를 갖고 적층될 수 있다. 또한 상기 제1층(18-1)과 제2층(18-2)의 페어는 2~30주기로 반복적으로 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.
The first layer 18-1 and the second layer 18-2 may be stacked with different semiconductor materials, stacked with different thicknesses, or stacked with different dopant concentrations. Also, the pair of the first layer 18-1 and the second layer 18-2 may be repeatedly formed in 2 to 30 cycles, but the present invention is not limited thereto.

도 11는 도 1의 발광 소자를 갖는 발광소자 패키지를 나타낸 도면이다. 11 is a view showing a light emitting device package having the light emitting element of FIG.

도 11을 참조하면, 발광소자 패키지(50)는 몸체(51)와, 상기 몸체(51)에 적어도 일부가 배치된 제1 리드전극(52) 및 제2 리드전극(53)과, 상기 몸체(51) 상에 상기 제1 리드전극(52) 및 제2 리드전극(53)과 전기적으로 연결되는 상기 발광 소자(41)와, 상기 몸체(51) 상에 상기 발광 소자(41)를 포위하는 몰딩부재(57)를 포함한다.11, the light emitting device package 50 includes a body 51, a first lead electrode 52 and a second lead electrode 53 at least partially disposed on the body 51, 51 which are electrically connected to the first lead electrode 52 and the second lead electrode 53 on the body 51 and the molding 51 surrounding the light emitting element 41 on the body 51, Member (57).

상기 몸체(51)는 실리콘 재질, 합성수지 재질, 또는 금속 재질을 포함하여 형성될 수 있다. 상기 몸체(51)는 위에서 볼 때 내부에 캐비티(cavity)(35) 및 그 둘레에 경사면을 갖는 반사부를 포함한다. The body 51 may be formed of a silicon material, a synthetic resin material, or a metal material. The body 51 includes a reflection portion having a cavity 35 and an inclined surface around the body 35 when viewed from above.

상기 제1 리드전극(52) 및 상기 제2 리드전극(53)은 서로 전기적으로 분리되며, 상기 몸체(51) 내부를 관통하도록 형성될 수 있다. 즉, 상기 제1 리드전극(52) 및 상기 제2 리드전극(53)은 일부는 상기 캐비티(35) 내부에 배치되고, 다른 부분은 상기 몸체(51)의 외부에 배치될 수 있다. The first lead electrode 52 and the second lead electrode 53 are electrically separated from each other and may be formed to pass through the inside of the body 51. That is, some of the first lead electrode 52 and the second lead electrode 53 may be disposed inside the cavity 35, and other portions may be disposed outside the body 51.

상기 제1 리드전극(52) 및 제2 리드전극(53)은 상기 발광 소자(41)에 전원을 공급하고, 상기 발광 소자(41)에서 발생된 빛을 반사시켜 광 효율을 증가시킬 수 있으며, 상기 발광 소자(41)에서 발생된 열을 외부로 배출시키는 기능을 할 수도 있다.The first lead electrode 52 and the second lead electrode 53 may supply power to the light emitting device 41 and increase the light efficiency by reflecting the light generated from the light emitting device 41, And may also function to discharge heat generated in the light emitting element 41 to the outside.

상기 발광 소자(41)는 상기 몸체(51) 상에 설치되거나 상기 제1 리드전극(52) 또는/및 제2 리드전극(53) 상에 설치될 수 있다.The light emitting device 41 may be installed on the body 51 or on the first lead electrode 52 and / or the second lead electrode 53.

상기 발광 소자(41)의 와이어(56)는 상기 제1 리드전극(52) 또는 제2 리드전극(53) 중 어느 하나에 전기적으로 연결될 수 있으며, 이에 한정되지 않는다. The wire 56 of the light emitting device 41 may be electrically connected to any one of the first lead electrode 52 and the second lead electrode 53. However, the present invention is not limited thereto.

상기 몰딩부재(57)는 상기 발광 소자(41)를 포위하여 상기 발광 소자(41)를 보호할 수 있다. 또한, 상기 몰딩부재(57)에는 형광체가 포함되고, 이러한 형광체에 의해 상기 발광 소자(41)에서 방출된 광의 파장이 변화될 수 있다.
The molding member 57 may surround the light emitting device 41 to protect the light emitting device 41. In addition, the molding member 57 includes a phosphor, and the wavelength of the light emitted from the light emitting device 41 may be changed by the phosphor.

실시예에 따른 발광 소자 또는 발광 소자 패키지는 라이트 유닛에 적용될 수 있다. 상기 라이트 유닛은 복수의 발광 소자 또는 발광 소자 패키지가 어레이된 구조를 포함하며, 도 12 및 도 13에 도시된 표시 장치, 도 14에 도시된 조명 장치를 포함하고, 조명등, 신호등, 차량 전조등, 전광판 등이 포함될 수 있다.The light emitting device or the light emitting device package according to the embodiment can be applied to a light unit. The light unit includes a structure in which a plurality of light emitting devices or light emitting device packages are arrayed, and includes the display device shown in Figs. 12 and 13 and the illuminating device shown in Fig. 14, and includes a lighting lamp, a traffic light, a vehicle headlight, And the like.

도 12는 실시 예에 따른 표시 장치의 분해 사시도이다. 12 is an exploded perspective view of the display device according to the embodiment.

도 12를 참조하면, 표시 장치(1000)는 도광판(1041)과, 상기 도광판(1041)에 빛을 제공하는 발광 모듈(1031)와, 상기 도광판(1041) 아래에 반사 부재(1022)와, 상기 도광판(1041) 위에 광학 시트(1051)와, 상기 광학 시트(1051) 위에 표시 패널(1061)과, 상기 도광판(1041), 발광 모듈(1031) 및 반사 부재(1022)를 수납하는 바텀 커버(1011)를 포함할 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.12, a display device 1000 includes a light guide plate 1041, a light emitting module 1031 for providing light to the light guide plate 1041, a reflection member 1022 under the light guide plate 1041, An optical sheet 1051 on the light guide plate 1041, a display panel 1061 on the optical sheet 1051, and a bottom cover 1011 for storing the light guide plate 1041, the light emitting module 1031 and the reflecting member 1022 , But is not limited thereto.

상기 바텀 커버(1011), 반사시트(1022), 도광판(1041), 광학 시트(1051)는 라이트 유닛(1050)으로 정의될 수 있다.The bottom cover 1011, the reflective sheet 1022, the light guide plate 1041, and the optical sheet 1051 can be defined as a light unit 1050.

상기 도광판(1041)은 상기 발광 모듈(1031)로부터 제공된 빛을 확산시켜 면광원화 시키는 역할을 한다. 상기 도광판(1041)은 투명한 재질로 이루어지며, 예를 들어, PMMA(polymethyl metaacrylate)와 같은 아크릴 수지 계열, PET(polyethylene terephthlate), PC(poly carbonate), COC(cycloolefin copolymer) 및 PEN(polyethylene naphthalate) 수지 중 하나를 포함할 수 있다. The light guide plate 1041 diffuses the light from the light emitting module 1031 to convert the light into a surface light source. The light guide plate 1041 may be made of a transparent material such as acrylic resin such as polymethyl methacrylate (PET), polyethylene terephthalate (PET), polycarbonate (PC), cycloolefin copolymer (COC), and polyethylene naphthalate Resin. ≪ / RTI >

상기 발광모듈(1031)은 상기 도광판(1041)의 적어도 일 측면에 배치되어 상기 도광판(1041)의 적어도 일 측면에 빛을 제공하며, 궁극적으로는 표시 장치의 광원으로써 작용하게 된다.The light emitting module 1031 is disposed on at least one side of the light guide plate 1041 to provide light to at least one side of the light guide plate 1041 and ultimately to serve as a light source of the display device.

상기 발광모듈(1031)은 적어도 하나를 포함하며, 상기 도광판(1041)의 일 측면에서 직접 또는 간접적으로 광을 제공할 수 있다. 상기 발광 모듈(1031)은 보드(1033)과 상기에 개시된 실시 예에 따른 발광 소자 패키지(50)를 포함하며, 상기 발광 소자 패키지(50)는 상기 보드(1033) 상에 소정 간격으로 어레이될 수 있다. 상기 보드는 인쇄회로기판(printed circuit board)일 수 있지만, 이에 한정하지 않는다. 또한 상기 보드(1033)은 메탈 코어 PCB(MCPCB, Metal Core PCB), 연성 PCB(FPCB, Flexible PCB) 등을 포함할 수도 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기 발광 소자 패키지(50)는 상기 바텀 커버(1011)의 측면 또는 방열 플레이트 상에 탑재될 경우, 상기 보드(1033)은 제거될 수 있다. 상기 방열 플레이트의 일부는 상기 바텀 커버(1011)의 상면에 접촉될 수 있다. 따라서, 발광 소자 패키지(50)에서 발생된 열은 방열 플레이트를 경유하여 바텀 커버(1011)로 방출될 수 있다.The light emitting module 1031 may include at least one light source, and may provide light directly or indirectly from one side of the light guide plate 1041. The light emitting module 1031 includes a board 1033 and a light emitting device package 50 according to the embodiment described above. The light emitting device package 50 may be arrayed on the board 1033 at a predetermined interval have. The board may be, but is not limited to, a printed circuit board. The board 1033 may include a metal core PCB (MCPCB), a flexible PCB (FPCB), or the like, but is not limited thereto. When the light emitting device package 50 is mounted on the side surface of the bottom cover 1011 or on the heat radiation plate, the board 1033 can be removed. A part of the heat radiation plate may be in contact with the upper surface of the bottom cover 1011. Therefore, heat generated in the light emitting device package 50 can be emitted to the bottom cover 1011 via the heat radiation plate.

상기 복수의 발광 소자 패키지(50)는 상기 보드(1033) 상에 빛이 방출되는 출사면이 상기 도광판(1041)과 소정 거리 이격되도록 탑재될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기 발광 소자 패키지(50)는 상기 도광판(1041)의 일측면인 입광부에 광을 직접 또는 간접적으로 제공할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The plurality of light emitting device packages 50 may be mounted on the board 1033 such that the light emitting surface of the light emitting device package 50 is spaced apart from the light guiding plate 1041 by a predetermined distance. The light emitting device package 50 may directly or indirectly provide light to the light-incident portion, which is one side of the light guide plate 1041, but is not limited thereto.

상기 도광판(1041) 아래에는 상기 반사 부재(1022)가 배치될 수 있다. 상기 반사 부재(1022)는 상기 도광판(1041)의 하면으로 입사된 빛을 반사시켜 상기 표시 패널(1061)로 공급함으로써, 상기 표시 패널(1061)의 휘도를 향상시킬 수 있다. 상기 반사 부재(1022)는 예를 들어, PET, PC, PVC 레진 등으로 형성될 수 있으나, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기 반사 부재(1022)는 상기 바텀 커버(1011)의 상면일 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The reflective member 1022 may be disposed under the light guide plate 1041. The reflective member 1022 reflects the light incident on the lower surface of the light guide plate 1041 and supplies the reflected light to the display panel 1061 to improve the brightness of the display panel 1061. The reflective member 1022 may be formed of, for example, PET, PC, or PVC resin, but is not limited thereto. The reflective member 1022 may be an upper surface of the bottom cover 1011, but is not limited thereto.

상기 바텀 커버(1011)는 상기 도광판(1041), 발광모듈(1031) 및 반사 부재(1022) 등을 수납할 수 있다. 이를 위해, 상기 바텀 커버(1011)는 상면이 개구된 박스(box) 형상을 갖는 수납부(1012)가 구비될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. 상기 바텀 커버(1011)는 탑 커버(미도시)와 결합될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The bottom cover 1011 may house the light guide plate 1041, the light emitting module 1031, the reflective member 1022, and the like. To this end, the bottom cover 1011 may be provided with a housing portion 1012 having a box-like shape with an opened upper surface, but the present invention is not limited thereto. The bottom cover 1011 may be coupled to a top cover (not shown), but is not limited thereto.

상기 바텀 커버(1011)는 금속 재질 또는 수지 재질로 형성될 수 있으며, 프레스 성형 또는 압출 성형 등의 공정을 이용하여 제조될 수 있다. 또한 상기 바텀 커버(1011)는 열 전도성이 좋은 금속 또는 비 금속 재료를 포함할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The bottom cover 1011 may be formed of a metal material or a resin material, and may be manufactured using a process such as press molding or extrusion molding. In addition, the bottom cover 1011 may include a metal or a non-metal material having good thermal conductivity, but the present invention is not limited thereto.

상기 표시 패널(1061)은 예컨대, LCD 패널로서, 서로 대향되는 투명한 재질의 제 1 및 제 2기판, 그리고 제 1 및 제 2기판 사이에 개재된 액정층을 포함한다. 상기 표시 패널(1061)의 적어도 일면에는 편광판이 부착될 수 있으며, 이러한 편광판의 부착 구조로 한정하지는 않는다. 상기 표시 패널(1061)은 상기 발광 모듈(1031)로부터 제공된 광을 투과 또는 차단시켜 정보를 표시하게 된다. 이러한 표시 장치(1000)는 각 종 휴대 단말기, 노트북 컴퓨터의 모니터, 랩탑 컴퓨터의 모니터, 텔레비전과 같은 영상 표시 장치에 적용될 수 있다. The display panel 1061 is, for example, an LCD panel, including first and second transparent substrates facing each other, and a liquid crystal layer interposed between the first and second substrates. A polarizing plate may be attached to at least one surface of the display panel 1061, but the present invention is not limited thereto. The display panel 1061 transmits or blocks light provided from the light emitting module 1031 to display information. The display device 1000 can be applied to video display devices such as portable terminals, monitors of notebook computers, monitors of laptop computers, and televisions.

상기 광학 시트(1051)는 상기 표시 패널(1061)과 상기 도광판(1041) 사이에 배치되며, 적어도 한 장 이상의 투광성 시트를 포함한다. 상기 광학 시트(1051)는 예컨대 확산 시트(diffusion sheet), 수평 및 수직 프리즘 시트(horizontal/vertical prism sheet), 및 휘도 강화 시트(brightness enhanced sheet) 등과 같은 시트 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 확산 시트는 입사되는 광을 확산시켜 주고, 상기 수평 또는/및 수직 프리즘 시트는 입사되는 광을 상기 표시 패널(1061)로 집광시켜 주며, 상기 휘도 강화 시트는 손실되는 광을 재사용하여 휘도를 향상시켜 준다. 또한 상기 표시 패널(1061) 위에는 보호 시트가 배치될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The optical sheet 1051 is disposed between the display panel 1061 and the light guide plate 1041 and includes at least one light-transmitting sheet. The optical sheet 1051 may include at least one of a sheet such as a diffusion sheet, a horizontal / vertical prism sheet, a brightness enhanced sheet, and the like. The diffusion sheet diffuses incident light, and the horizontal and / or vertical prism sheet concentrates incident light on the display panel 1061. The brightness enhancing sheet reuses the lost light to improve the brightness I will. A protective sheet may be disposed on the display panel 1061, but the present invention is not limited thereto.

상기 발광 모듈(1031)의 광 경로 상에는 광학 부재로서, 상기 도광판(1041), 및 광학 시트(1051)를 포함할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The optical path of the light emitting module 1031 may include the light guide plate 1041 and the optical sheet 1051 as an optical member, but the present invention is not limited thereto.

도 13은 실시 예에 따른 발광 소자 패키지를 갖는 표시 장치를 나타낸 도면이다. 13 is a view illustrating a display device having a light emitting device package according to an embodiment.

도 13을 참조하면, 표시 장치(1100)는 바텀 커버(1152), 상기에 개시된 발광 소자 패키지(50)가 어레이된 보드(1120), 광학 부재(1154), 및 표시 패널(1155)을 포함한다. 13, the display device 1100 includes a bottom cover 1152, a board 1120 in which the light emitting device package 50 described above is arranged, an optical member 1154, and a display panel 1155 .

상기 보드(1120)과 상기 발광 소자 패키지(50)는 발광 모듈(1060)로 정의될 수 있다. 상기 바텀 커버(1152), 적어도 하나의 발광 모듈(1060), 광학 부재(1154)는 라이트 유닛(미도시)으로 정의될 수 있다. The board 1120 and the light emitting device package 50 may be defined as a light emitting module 1060. The bottom cover 1152, the at least one light emitting module 1060, and the optical member 1154 may be defined as a light unit (not shown).

상기 바텀 커버(1152)에는 수납부(1153)를 구비할 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The bottom cover 1152 may include a receiving portion 1153, but the present invention is not limited thereto.

상기 광학 부재(1154)는 렌즈, 도광판, 확산 시트, 수평 및 수직 프리즘 시트, 및 휘도 강화 시트 등에서 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 도광판은 PC 재질 또는 PMMA(Poly methy methacrylate) 재질로 이루어질 수 있으며, 이러한 도광판은 제거될 수 있다. 상기 확산 시트는 입사되는 광을 확산시켜 주고, 상기 수평 및 수직 프리즘 시트는 입사되는 광을 상기 표시 패널(1155)으로 집광시켜 주며, 상기 휘도 강화 시트는 손실되는 광을 재사용하여 휘도를 향상시켜 준다. The optical member 1154 may include at least one of a lens, a light guide plate, a diffusion sheet, a horizontal and vertical prism sheet, and a brightness enhancement sheet. The light guide plate may be made of a PC material or a PMMA (poly methy methacrylate) material, and such a light guide plate may be removed. The diffusion sheet diffuses the incident light, and the horizontal and vertical prism sheets condense the incident light onto the display panel 1155. The brightness enhancing sheet reuses the lost light to improve the brightness .

상기 광학 부재(1154)는 상기 발광 모듈(1060) 위에 배치되며, 상기 발광 모듈(1060)로부터 방출된 광을 면 광원하거나, 확산, 집광 등을 수행하게 된다.The optical member 1154 is disposed on the light emitting module 1060, and performs surface light source, diffusion, and light condensation of the light emitted from the light emitting module 1060.

도 14는 실시 예에 따른 조명 장치의 사시도이다.14 is a perspective view of a lighting apparatus according to an embodiment.

도 14를 참조하면, 조명 장치(1500)는 케이스(1510)와, 상기 케이스(1510)에 설치된 발광모듈(1530)과, 상기 케이스(1510)에 설치되며 외부 전원으로부터 전원을 제공받는 연결 단자(1520)를 포함할 수 있다.14, the lighting apparatus 1500 includes a case 1510, a light emitting module 1530 installed in the case 1510, a connection terminal (not shown) installed in the case 1510 and supplied with power from an external power source 1520).

상기 케이스(1510)는 방열 특성이 양호한 재질로 형성되는 것이 바람직하며, 예를 들어 금속 재질 또는 수지 재질로 형성될 수 있다.The case 1510 is preferably formed of a material having a good heat dissipation property, and may be formed of, for example, a metal material or a resin material.

상기 발광 모듈(1530)은 보드(1532)와, 상기 보드(1532)에 탑재되는 실시 예에 따른 발광 소자 패키지(50)를 포함할 수 있다. 상기 발광 소자 패키지(50)는 복수개가 매트릭스 형태 또는 소정 간격으로 이격되어 어레이될 수 있다. The light emitting module 1530 may include a board 1532 and a light emitting device package 50 mounted on the board 1532. A plurality of the light emitting device packages 50 may be arrayed in a matrix form or spaced apart at a predetermined interval.

상기 보드(1532)는 절연체에 회로 패턴이 인쇄된 것일 수 있으며, 예를 들어, 일반 인쇄회로기판(PCB: Printed Circuit Board), 메탈 코아(Metal Core) PCB, 연성(Flexible) PCB, 세라믹 PCB, FR-4 기판 등을 포함할 수 있다. The board 1532 may be a printed circuit pattern on an insulator and may be a printed circuit board (PCB), a metal core PCB, a flexible PCB, a ceramic PCB, FR-4 substrate, and the like.

또한, 상기 보드(1532)는 빛을 효율적으로 반사하는 재질로 형성되거나, 표면이 빛이 효율적으로 반사되는 컬러, 예를 들어 백색, 은색 등의 코팅층될 수 있다.In addition, the board 1532 may be formed of a material that efficiently reflects light, or may be a coating layer such as a white color, a silver color, or the like whose surface is efficiently reflected by light.

상기 보드(1532) 상에는 적어도 하나의 발광 소자 패키지(50)가 탑재될 수 있다. 상기 발광 소자 패키지(50) 각각은 적어도 하나의 발광 칩(LED: Light Emitting Diode) 을 포함할 수 있다. At least one light emitting device package 50 may be mounted on the board 1532. Each of the light emitting device packages 50 may include at least one light emitting diode (LED).

상기 발광모듈(1530)은 색감 및 휘도를 얻기 위해 다양한 발광 소자 패키지(50)의 조합을 가지도록 배치될 수 있다. 예를 들어, 고 연색성(CRI)을 확보하기 위해 백색 발광 다이오드, 적색 발광 다이오드 및 녹색 발광 다이오드를 조합하여 배치할 수 있다.The light emitting module 1530 may be arranged to have a combination of various light emitting device packages 50 to obtain color and brightness. For example, a white light emitting diode, a red light emitting diode, and a green light emitting diode may be arranged in combination in order to secure a high color rendering index (CRI).

상기 연결 단자(1520)는 상기 발광모듈(1530)과 전기적으로 연결되어 전원을 공급할 수 있다. 상기 연결 단자(1520)는 소켓 방식으로 외부 전원에 돌려 끼워져 결합되지만, 이에 대해 한정하지는 않는다. 예를 들어, 상기 연결 단자(1520)는 핀(pin) 형태로 형성되어 외부 전원에 삽입되거나, 배선에 의해 외부 전원에 연결될 수도 있는 것이다.
The connection terminal 1520 may be electrically connected to the light emitting module 1530 to supply power. The connection terminal 1520 is connected to the external power source by being inserted in a socket manner, but the present invention is not limited thereto. For example, the connection terminal 1520 may be formed in a pin shape and inserted into an external power source or may be connected to an external power source through wiring.

이상에서 실시예들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The features, structures, effects and the like described in the embodiments are included in at least one embodiment of the present invention and are not necessarily limited to only one embodiment. Furthermore, the features, structures, effects and the like illustrated in the embodiments can be combined and modified by other persons skilled in the art to which the embodiments belong. Therefore, it should be understood that the present invention is not limited to these combinations and modifications.

또한, 이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be taken by way of illustration, It can be seen that various modifications and applications are possible. For example, each component specifically shown in the embodiments can be modified and implemented. It is to be understood that all changes and modifications that come within the meaning and range of equivalency of the claims are therefore intended to be embraced therein.

11: 발광 소자 12: 제1도전형 반도체층
13: 활성층 14: 제2도전형 반도체층
15: 윈도우층 16,17,18: 볼록부
18-1,18-2: 채널층 21: 투광성 전극층
22: 채널층 23: 미러층
25: 전도성 기판 31: 전극
33: 전극층
11: light emitting element 12: first conductivity type semiconductor layer
13: active layer 14: second conductivity type semiconductor layer
15: window layer 16, 17, 18:
18-1, 18-2: channel layer 21: light-transmitting electrode layer
22: channel layer 23: mirror layer
25: conductive substrate 31: electrode
33: electrode layer

Claims (19)

제1도전형 반도체층, 제2도전형 반도체층, 상기 제1도전형 반도체층과 상기 제2도전형 반도체층 사이에 배치되는 활성층을 포함하는 발광 구조층;
상기 발광 구조층 위에 전극;
상기 제2도전형 반도체층 아래에 윈도우층;
상기 윈도우층 아래에 투광성 전극층;
상기 투광성 전극층의 아래에 미러층; 및
상기 윈도우층 하면으로부터 상기 미러층의 방향으로 돌출된 복수의 볼록부를 포함하고,
상기 윈도우층 및 상기 복수의 볼록부는 GaP 계열의 반도체층을 포함하고,
상기 윈도우층 및 상기 복수의 볼록부는 p형 도펀트를 포함하며,
상기 복수의 볼록부는 상기 윈도우층의 도펀트 농도보다 높은 도펀트 농도를 가지며,
상기 볼록부는 서로 다른 도펀트 농도를 갖는 복수의 층을 포함하는 발광 소자.
A light emitting structure layer including a first conductive semiconductor layer, a second conductive semiconductor layer, and an active layer disposed between the first conductive semiconductor layer and the second conductive semiconductor layer;
An electrode on the light emitting structure layer;
A window layer below the second conductive semiconductor layer;
A transparent electrode layer below the window layer;
A mirror layer below the light-transmitting electrode layer; And
And a plurality of convex portions protruding from the bottom surface of the window layer in the direction of the mirror layer,
Wherein the window layer and the plurality of convex portions comprise GaP series semiconductor layers,
Wherein the window layer and the plurality of convex portions comprise a p-type dopant,
Wherein the plurality of convex portions have a dopant concentration higher than the dopant concentration of the window layer,
Wherein the convex portion includes a plurality of layers having different dopant concentrations.
제1도전형 반도체층, 제2도전형 반도체층, 상기 제1도전형 반도체층과 상기 제2도전형 반도체층 사이에 배치되는 활성층을 포함하는 발광 구조층;
상기 발광 구조층 위에 전극;
상기 제2도전형 반도체층 아래에 윈도우층;
상기 윈도우층 아래에 투광성 전극층;
상기 투광성 전극층의 아래에 미러층; 및
상기 윈도우층 하면으로부터 상기 미러층의 방향으로 돌출된 복수의 볼록부를 포함하고,
상기 윈도우층 및 상기 복수의 볼록부는 GaP 계열의 반도체층을 포함하고,
상기 윈도우층 및 상기 복수의 볼록부는 p형 도펀트를 포함하며,
상기 복수의 볼록부는 상기 윈도우층의 도펀트 농도보다 높은 도펀트 농도를 가지며,
상기 투광성 전극층의 영역 중 상기 전극과 대응되는 영역은 상기 전극의 너비보다 적어도 넓은 영역을 갖고 플랫하게 형성되는 발광 소자.
A light emitting structure layer including a first conductive semiconductor layer, a second conductive semiconductor layer, and an active layer disposed between the first conductive semiconductor layer and the second conductive semiconductor layer;
An electrode on the light emitting structure layer;
A window layer below the second conductive semiconductor layer;
A transparent electrode layer below the window layer;
A mirror layer below the light-transmitting electrode layer; And
And a plurality of convex portions protruding from the bottom surface of the window layer in the direction of the mirror layer,
Wherein the window layer and the plurality of convex portions comprise GaP series semiconductor layers,
Wherein the window layer and the plurality of convex portions comprise a p-type dopant,
Wherein the plurality of convex portions have a dopant concentration higher than the dopant concentration of the window layer,
Wherein a region of the light transmitting electrode layer corresponding to the electrode is formed to be flat with a region at least wider than the width of the electrode.
제1항에 있어서,
상기 볼록부는 상기 윈도우층 하면과 접촉하는 제1층과 상기 제1층 아래에 배치되는 제2층을 포함하고,
상기 제1층 및 상기 제2층은 서로 다른 반도체 재료로 적층되는 발광 소자.
The method according to claim 1,
Wherein the convex portion includes a first layer in contact with the bottom surface of the window layer and a second layer disposed under the first layer,
Wherein the first layer and the second layer are laminated with different semiconductor materials.
제3항에 있어서,
상기 제1층 및 상기 제2층은 하나의 페어로 20주기 내지 30주기 형성되는 발광 소자.
The method of claim 3,
Wherein the first layer and the second layer are formed in one pair for 20 to 30 cycles.
제2항에 있어서,
상기 투광성 전극층 상면 둘레에 배치되는 채널층을 포함하고,
상기 채널층은 절연 재질로 형성되는 발광 소자.
3. The method of claim 2,
And a channel layer disposed around the upper surface of the transmissive electrode layer,
Wherein the channel layer is formed of an insulating material.
제5항에 있어서,
상기 채널층의 일부는 상기 윈도우층의 하면과 접촉하는 발광 소자.
6. The method of claim 5,
And a part of the channel layer contacts the lower surface of the window layer.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 복수의 볼록부는 상면 너비가 하면 너비보다 더 넓은 발광 소자.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the plurality of convex portions have a top width larger than a bottom width.
제7항에 있어서,
상기 윈도우층은 상기 볼록부의 두께보다 두꺼운 두께를 갖는 발광 소자.


8. The method of claim 7,
Wherein the window layer has a thickness greater than the thickness of the convex portion.


삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
KR1020110090394A 2011-09-06 2011-09-06 Light emitting device and method for fabricating the same KR101871503B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110090394A KR101871503B1 (en) 2011-09-06 2011-09-06 Light emitting device and method for fabricating the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110090394A KR101871503B1 (en) 2011-09-06 2011-09-06 Light emitting device and method for fabricating the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20130026926A KR20130026926A (en) 2013-03-14
KR101871503B1 true KR101871503B1 (en) 2018-06-27

Family

ID=48178049

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110090394A KR101871503B1 (en) 2011-09-06 2011-09-06 Light emitting device and method for fabricating the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101871503B1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102336432B1 (en) * 2015-09-01 2021-12-07 쑤저우 레킨 세미컨덕터 컴퍼니 리미티드 Light emitting device and light emitting device package
CN112038459A (en) * 2020-09-14 2020-12-04 扬州乾照光电有限公司 Photonic crystal LED structure and manufacturing method

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010153792A (en) * 2008-11-20 2010-07-08 Stanley Electric Co Ltd Manufacturing method of optical semiconductor device
JP2011114123A (en) * 2009-11-26 2011-06-09 Stanley Electric Co Ltd Optical semiconductor device

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101103882B1 (en) * 2008-11-17 2012-01-12 엘지이노텍 주식회사 Semiconductor light emitting device and fabrication method thereof

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010153792A (en) * 2008-11-20 2010-07-08 Stanley Electric Co Ltd Manufacturing method of optical semiconductor device
JP2011114123A (en) * 2009-11-26 2011-06-09 Stanley Electric Co Ltd Optical semiconductor device

Also Published As

Publication number Publication date
KR20130026926A (en) 2013-03-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101953716B1 (en) Light emitting device, light emitting device package, and lighting system
KR101047639B1 (en) Semiconductor light emitting device, light emitting device package and fabricating method for semiconductor light emitting device
KR101826982B1 (en) Light emitting device, light emitting device package, and light unit
KR20140032163A (en) Light emitting device, light emitting device package, and light unit
KR20150039518A (en) Light emitting device
KR20150065412A (en) Light emitting device and lightihng device having the same
KR101865918B1 (en) Light emitting device, method for fabricating the same, and light emitting device package
KR20150065411A (en) Light emitting device and lightihng device having the same
KR101896690B1 (en) Light emitting device and light emitting device package
KR101880445B1 (en) Light emitting device, method of fabricating light emitting device, light emitting device package, and light unit
KR101843420B1 (en) Light emitting device, method for fabricating the same, and light emitting device package
KR20140009649A (en) Light emitting device, light emitting device package, and light unit
KR101871503B1 (en) Light emitting device and method for fabricating the same
KR20140078250A (en) Light emitting device, method for fabricating the same, and lighting system
KR101914077B1 (en) Light emitting device, light emitting device package, and light unit
KR101897059B1 (en) Light emitting device, light emitting device package, and light unit
KR101901835B1 (en) Light emitting device and lighting apparatus
KR20150060403A (en) Light emitting device, method for fabricating the same, and light emitting device package
KR101842594B1 (en) Light emitting device, light emitting device package, and light unit
KR101869553B1 (en) Light emitting device, light emitting device package, and light unit
KR101956016B1 (en) Light emitting device, light emitting device package, and light unit
KR101896680B1 (en) Light emitting device, light emitting device package, and light unit
KR101852566B1 (en) Light emitting device, light emitting device package, and light unit
KR101914081B1 (en) Light emitting device, light emitting device package, and light unit
KR101836373B1 (en) Light emitting device, method for fabricating the same, and light emitting device package

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant