KR20130018258A - Glass substrate holding film body, and glass substrate polishing method - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 자기 흡착형 시트(32)가 양면 접착 시트(34)를 개재해서 백 플레이트에 부착되어 구성됨과 함께, 상기 자기 흡착형 시트에 유리 기판이 흡착 유지되는 유리 기판 유지용 막체에 있어서, 상기 양면 접착 시트는 시트 형상의 기재(38)와 상기 기재의 양면에 구비된 점착층(40, 42)으로 구성되고, 상기 점착층은 상기 기재의 동일면 내에서 각각 소정의 간극(B'''', B'''')을 두고 구비되며, 상기 기재의 양면에 구비된 점착층 간의 간극이 점착층의 적층 방향에 있어서 겹치지 않는 유리 기판 유지용 막체에 관한 것이다.In the present invention, the self-adsorbing sheet 32 is attached to the back plate via the double-sided adhesive sheet 34, and the glass substrate is retained by the adsorbed sheet. The double-sided adhesive sheet is composed of a sheet-shaped substrate 38 and adhesive layers 40 and 42 provided on both sides of the substrate, and the adhesive layers each have a predetermined gap B '' 'within the same surface of the substrate. And a gap between the adhesive layers provided on both surfaces of the base material do not overlap in the stacking direction of the adhesive layer.

Description

유리 기판 유지용 막체 및 유리 기판의 연마 방법 {GLASS SUBSTRATE HOLDING FILM BODY, AND GLASS SUBSTRATE POLISHING METHOD}Glass substrate holding film and polishing method of glass substrate {GLASS SUBSTRATE HOLDING FILM BODY, AND GLASS SUBSTRATE POLISHING METHOD}

본 발명은, 유리 기판을 가공할 때에, 유리 기판을 유지하는 유리 기판 유지용 막체 및 유리 기판의 연마 방법에 관한 것이다.This invention relates to the glass substrate holding film body holding a glass substrate, and the grinding | polishing method of a glass substrate, when processing a glass substrate.

액정 디스플레이용으로 적용되는 유리 기판은, 그의 표면의 미소한 요철이나 굴곡이 화상에 왜곡을 부여하는 원인이 된다. 이로 인해, 그 미소한 요철이나 굴곡을 연마 장치로 제거함으로써, 원하는 평탄도를 갖는 유리 기판으로 가공된다. 이러한 연마 장치로서, 연마 정반에 부착된 연마 패드에, 연마 헤드에 유지된 유리 기판을 누름과 함께, 연마 정반 및 연마 헤드를 상대적으로 회전시켜서 유리 기판을 연마하는 연마 장치를, 본원 출원인이 특허문헌 1에서 개시하고 있다. 또한, 특허문헌 1의 연마 장치에서는, 연마 헤드에 설치되는 자기 흡착형 유지용 막체에 유리 기판을 흡착 유지시킴으로써, 유리 기판을 연마 헤드에 설치한다.In the glass substrate applied for a liquid crystal display, minute unevenness | corrugation and curvature of the surface become a cause which gives a distortion to an image. For this reason, it is processed into the glass substrate which has desired flatness by removing the micro unevenness | corrugation and curvature with a grinding | polishing apparatus. As such a polishing apparatus, a polishing apparatus for polishing a glass substrate by pressing the glass substrate held by the polishing head on a polishing pad attached to the polishing plate and rotating the polishing plate and the polishing head relatively, is disclosed in the patent application. It is disclosed in 1. In addition, in the polishing apparatus of patent document 1, a glass substrate is attached to a polishing head by making the glass substrate adsorb | suck and hold | maintain on the membrane body for self-adsorption type holding | maintenance provided in a polishing head.

최근에는, 액정 디스플레이용 유리 기판의 대형화에 수반하여, 이 유리 기판을 연마 헤드에 흡착 유지시키기 위한 유지용 막체의 크기도 대형화하고 있다. 이 유지용 막체는, 다공질성 자기 흡착형 시트가 양면 접착 시트를 개재해서 백 플레이트에 부착됨으로써 구성되고, 이 자기 흡착형 시트에 유리 기판이 흡착 유지된다.In recent years, with the enlargement of the glass substrate for liquid crystal displays, the magnitude | size of the holding | maintenance film body for making this glass substrate adsorb | suck and hold | maintain by a polishing head is also enlarged. This holding | maintenance membrane body is comprised by attaching a porous self-adsorption type sheet to a back plate via a double-sided adhesive sheet, and a glass substrate is adsorbed-held by this self-adsorption type sheet.

G10이라고 칭해지는 크기(3130mm×2880mm)의 마더 유리 기판을 연마 가공하는 경우, 그 크기의 유리 기판을 유지하는 유지용 막체의 제조에 있어서, 자기 흡착형 시트나 백 플레이트는, 거기에 대응한 크기의 제품을 기존의 제조 설비로 제조할 수 있다. 그러나, 자기 흡착형 시트를 백 플레이트에 접착하는 양면 접착 시트는 기존의 제조 설비에서는 단일 제품으로서 제조할 수 없고, 제조하는 경우에는 신규 설비 투자가 필요하여, 제조 비용이 증대한다는 문제가 있었다.In the case of grinding a mother glass substrate having a size (3130 mm × 2880 mm) called G10, in the manufacture of a holding film body for holding a glass substrate having the size, the magnetic adsorption type sheet and the back plate have a size corresponding thereto. Can be manufactured with existing manufacturing facilities. However, the double-sided adhesive sheet for adhering the self-adsorbing sheet to the back plate cannot be manufactured as a single product in the existing manufacturing equipment, and when manufacturing, there is a problem that a new equipment investment is required and the manufacturing cost increases.

양면 접착 시트는, 폴리에틸렌테레프탈레이트 등의 기재의 양면에 접착제가 도포된 점착층을 구비하고 있다. 상기 기재에 대해서는, 기존의 제조 설비에서도 상기 G10 크기의 것을 제조할 수 있다. 그러나, 접착제의 도포 장치는, 도포 면적이 매우 넓은 것에 기인해서 기존의 설비에서는 대응할 수 없었다.The double-sided adhesive sheet is equipped with the adhesion layer in which the adhesive agent was apply | coated to both surfaces of base materials, such as a polyethylene terephthalate. About the said base material, the said G10 size thing can be manufactured also in an existing manufacturing facility. However, the application device of the adhesive cannot cope with existing facilities due to the very large application area.

따라서, 종래에는, 기존의 크기의 양면 접착 시트를 적어도 2매 사용하여, 자기 흡착형 시트를 백 플레이트에 접착 유지하고 있었다.Therefore, conventionally, at least 2 sheets of the existing double-sided adhesive sheet were used to adhere and hold the self-adsorbing sheet to the back plate.

자기 흡착형 시트로서는 특허문헌 2에 나타낸 바와 같이, 폴리우레탄 수지로 형성된 연질 플라스틱 시트로서의 폴리우레탄 시트를 예시할 수 있다. 특허문헌 2의 폴리우레탄 시트는, 그의 표면층에 미세한 다공이 형성되고, 표면층에 물 등의 액체를 포함시킴으로써, 표면층의 미세한 다공에 침입한 액체의 표면 장력에 의해 연마 정반에 연마 패드를 접착하는 것이다. 이 폴리우레탄 시트에 의해 유리 기판을 자기 흡착 유지할 수도 있기 때문에, 자기 흡착형 시트로서 사용되고 있다.As a self-adsorption type sheet, as shown in patent document 2, the polyurethane sheet as a soft plastic sheet formed with the polyurethane resin can be illustrated. In the polyurethane sheet of Patent Literature 2, fine pores are formed in the surface layer thereof, and the surface layer contains liquids such as water, thereby adhering the polishing pad to the polishing platen by the surface tension of the liquid that has entered the fine pores of the surface layer. . Since a glass substrate can also be self-adsorbed and held by this polyurethane sheet, it is used as a self-adsorption type sheet.

그런데, 복수매의 양면 접착 시트를 사용하는 종래의 유지용 막체에 있어서, 인접하는 양면 접착 시트의 단부끼리 간극 없이 부착하는 것은 어렵다.By the way, in the conventional holding | maintenance membrane body which uses several sheets of double-sided adhesive sheets, it is difficult to attach the edge part of adjacent double-sided adhesive sheets without a gap.

도 8은, 자기 흡착형 시트(1)가 2매의 양면 접착 시트(2A, 2B)를 개재해서 백 플레이트(3)에 접착되고, 자기 흡착형 시트(1)에 유리 기판(G)이 흡착 유지된 유지용 막체(6)의 단면도가 도시되어 있다. 인접하는 양면 접착 시트(2A, 2B)의 단부끼리 간극 없이 부착하기 위해서, 양면 접착 시트(2A, 2B)의 단부끼리 약간 겹치도록 접착하면 그 겹쳐진 부분이 볼록 형상이 되고, 이것이 자기 흡착형 시트(1)를 개재해서 유리 기판(G)에 볼록 형상부(4)가 되어 전사된다. 볼록 형상부(4)가 전사된 상태에서 유리 기판(G)을 연마하면, 연마 후의 유리 기판(G)은, 이 볼록 형상부(4)로 된 부분이 도 9에 도시한 바와 같이, 반대로 오목 형상부(4A)가 되어 나타나므로, 가공 표면의 평탄성이 손상되어, 유리 기판(G)의 품질(평탄도)이 저하한다는 문제가 있었다.8, the self-adsorbing sheet 1 is bonded to the back plate 3 via two double-sided adhesive sheets 2A and 2B, and the glass substrate G is adsorbed onto the self-adsorbing sheet 1. A sectional view of the retaining membrane body 6 is shown. In order for the ends of adjacent double-sided adhesive sheets 2A and 2B to be attached without gaps, the ends of the double-sided adhesive sheets 2A and 2B are bonded so as to overlap each other so that the overlapped portions become convex, which is a self-adsorbing sheet ( Through 1), it becomes the convex part 4 to the glass substrate G, and is transferred. When the glass substrate G is polished in the state where the convex portion 4 is transferred, the polished glass substrate G is concave on the contrary, as shown in FIG. Since it appears as 4 A of shape parts, the flatness of the process surface was impaired and there existed a problem that the quality (flatness) of glass substrate G fell.

이상의 문제를 해결하기 위해서, 대형 유리 기판을 원하는 평탄도로 연마하기 위해서는, 도 10에 도시한 바와 같이 두께 방향의 간극(A)과 면 방향의 간극(B)을 유지용 막체(6)에 갖게 하는 것이 필요하다.In order to solve the above problem, in order to grind a large glass substrate to a desired flatness, as shown in FIG. 10, the holding film body 6 has a gap A in the thickness direction and a gap B in the plane direction. It is necessary.

간극(A, B)을 갖는 유지용 막체로서, 하기의 구성의 유지용 막체를 고려할 수 있다.As the holding film body having the gaps A and B, the holding film body having the following structure can be considered.

도 11에 도시한 바와 같이, 작은 크기의 유지용 막체(6, 6)를 동일면 내에서 소정의 간극(A', B')을 가지고 복수매 사용함으로써 큰 크기로 한 유지용 막체(7).As shown in Fig. 11, the retaining membrane 7 having a large size is obtained by using a plurality of the retaining membranes 6, 6 having a small size with a predetermined gap A ', B' in the same plane.

도 12에 도시한 바와 같이, 자기 흡착형 시트(1)를 단일 제품으로 하고, 양면 접착 시트(2C, 2D)를 동일면 내에서 소정의 간극(A'', B'')을 가지고 복수매 사용함으로써 큰 크기로 한 유지용 막체(8).As shown in Fig. 12, the self-adsorbing sheet 1 is used as a single product, and the double-sided adhesive sheets 2C and 2D are used in plural sheets with predetermined gaps A '' and B '' within the same plane. The holding | maintenance membrane body 8 which made it large in size by doing so.

도 13에 도시한 바와 같이, 자기 흡착형 시트(1)를 단일 제품으로 하여, 양면 접착 시트(2E, 2F)를 동일면 내에서 소정의 간극(A''', B''')을 가지고 복수매 사용하고, 또한, 2장 겹침과 함께, 상하 2매의 각각의 양면 접착 시트(2E, 2F) 간의 간극(A''', B''')을 양면 접착 시트의 적층 방향에 있어서 겹치지 않는 구성으로 함으로써 큰 크기로 한 유지용 막체(9).As shown in FIG. 13, using the self-adsorption sheet 1 as a single product, the double-sided adhesive sheets 2E and 2F have a plurality of predetermined gaps A '' ', B' '' within the same plane. It uses every sheet | seat and does not overlap the gap | interval A '", B'" between each of the upper and lower two-sided adhesive sheets 2E, 2F with two sheets overlapping in the lamination direction of a double-sided adhesive sheet. The holding | maintenance membrane body 9 made into the large size by setting it as a structure.

일본 특허 공개 제2004-122351호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2004-122351 일본 특허 공개 제2007-7824호 공보Japanese Patent Publication No. 2007-7824

그러나, 도 11에 도시한 유지용 막체(7)에서는, 제작 오차를 감안하면 간극(B')을 작게 하는 것은 곤란하다. 따라서, 유지용 막체(7)에서는, 유지용 막체(7)의 두께만큼 큰 간극(A')과 간극(B')이 존재하기 때문에, 그 간극(A', B')의 위치에 대응하는 유리 기판에, 도 14에 도시한 바와 같이 볼록 형상부(4B)가 크게 나타난다. 따라서, 이 유지용 막체(7)에서는, 연마 후의 유리 기판의 품질을 향상시키는 것은 어렵다.However, in the holding film body 7 shown in FIG. 11, it is difficult to make the clearance gap B 'small in consideration of manufacturing error. Therefore, in the retaining membrane 7, the gap A 'and the gap B' that are as large as the thickness of the retaining membrane 7 are present, and thus correspond to the positions of the gaps A 'and B'. As shown in FIG. 14, the convex part 4B appears large in a glass substrate. Therefore, in this holding film body 7, it is difficult to improve the quality of the glass substrate after grinding | polishing.

또한, 도 12에 나타낸 유지용 막체(8)의 간극(A'')은, 도 11에 도시한 유지용 막체(7)의 간극(A')보다 자기 흡착형 시트(1)의 두께분만큼 작아지는 제작 오차를 감안하면 간극(B")을 작게 하는 것도 곤란하다. 또한, 연마 시에는 유리 기판과 연마 패드의 마찰 저항에 의해, 자기 흡착형 시트(1)가 면 방향으로 신장되기 때문에, 간극(B")이 커진다. 따라서, 이 유지용 막체(8)에서도, 유리 기판에 상기 볼록 형상부(4B)(도 14 참조)가 크게 나타나기 때문에, 연마 후의 유리 기판의 품질을 향상시키는 것은 어렵다.In addition, the gap A ″ of the retaining membrane body 8 shown in FIG. 12 is as much as the thickness of the self-adsorbing sheet 1 than the gap A ′ of the retaining membrane body 7 shown in FIG. 11. It is also difficult to make the gap B ″ small in view of the smaller manufacturing error. In addition, when polishing, the self-adsorption type sheet 1 is elongated in the plane direction by frictional resistance between the glass substrate and the polishing pad, The gap B "becomes large. Therefore, also in this holding | maintenance film body 8, since the said convex part 4B (refer FIG. 14) appears large in a glass substrate, it is difficult to improve the quality of the glass substrate after grinding | polishing.

도 13에 나타낸 유지용 막체(9)는, 2장 겹쳐서 배치된 양면 접착 시트(2E, 2F)의 각각의 기재(2G, 2H)의 강도에 의해, 자기 흡착형 시트(1)의 면 방향의 신장을, 도 12에 나타낸 유지용 막체(8)보다 작게 억제할 수 있다. 그러나, 도 13에 도시한 바와 같이 양면 접착 시트(2E, 2F)를 2장 겹치면, 2개의 간극(A''')의 가산값이, 도 12의 유지용 막체의 간극(A'')의 2배가 되고, 또한, 제작 오차를 감안하면 간극(B''')을 작게 하는 것도 곤란하다. 따라서, 이 유지용 막체(9)에서도 연마 후의 유리 기판의 품질을 향상시키는 것은 어렵다.The holding | maintenance film body 9 shown in FIG. 13 is the surface direction of the self-adsorption type sheet 1 by the intensity | strength of each base material 2G, 2H of the double-sided adhesive sheet 2E, 2F which was arrange | positioned in two sheets. Elongation can be suppressed smaller than the holding film body 8 shown in FIG. However, when two double-sided adhesive sheets 2E and 2F are overlapped as shown in FIG. 13, the addition value of the two gaps A '' 'is equal to the gap A' 'of the retaining membrane body in FIG. Doubled, and considering the manufacturing error, it is also difficult to make the gap B '' 'small. Therefore, it is difficult to improve the quality of the glass substrate after grinding also in this holding | maintenance film body 9.

본 발명은, 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 연마 후의 유리 기판의 품질을 향상시킬 수 있는 유리 기판 유지용 막체 및 유리 기판의 연마 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.This invention is made | formed in view of such a situation, and an object of this invention is to provide the glass substrate holding film body and the grinding | polishing method of a glass substrate which can improve the quality of the glass substrate after grinding | polishing.

본 발명은, 자기 흡착형 시트가 양면 접착 시트를 개재해서 백 플레이트에 부착되어 구성됨과 함께, 상기 자기 흡착형 시트에 유리 기판이 흡착 유지되는 유리 기판 유지용 막체에 있어서, 상기 양면 접착 시트는 시트 형상의 기재와 상기 기재의 양면에 구비된 점착층으로 구성되고, 상기 점착층은 상기 기재의 동일면 내에서 소정의 간극을 두고 구비되며, 상기 기재의 양면에 구비된 점착층 간의 간극이 점착층의 적층 방향에 있어서 겹치지 않는 유리 기판 유지용 막체를 제공한다.In the present invention, a self-adsorbing sheet is attached to a back plate via a double-sided adhesive sheet, and a glass substrate-holding membrane body in which a glass substrate is adsorbed and held on the self-adsorbing sheet, wherein the double-sided adhesive sheet is a sheet. And a pressure-sensitive adhesive layer provided on both sides of the base material, wherein the pressure-sensitive adhesive layer is provided with a predetermined gap within the same surface of the base material, and a gap between the pressure-sensitive adhesive layers provided on both sides of the base material is A film substrate for holding a glass substrate that does not overlap in the stacking direction is provided.

본 발명의 유지용 막체에 의하면, 연마 가공 시의 자기 흡착형 시트의 면 방향의 신장을, 자기 흡착형 시트와 동일한 크기의 양면 접착 시트의 기재에 의해 억제할 수 있다. 또한, 본 발명의 유지용 막체의 간극(B'''')은, 전술한 도 12, 도 13의 유지용 막체(8, 9)의 간극(B'', B''')과 대략 동일하다. 그러나, 본 발명의 유지용 막체의 간극(A'''')은, 기재의 양면에 구비된 점착층의 두께분만큼이므로, 도 11 내지 도 13의 유지용 막체(7 내지 9)의 간극(A' 내지 A''')보다 대폭 작아진다. 따라서, 본 발명의 유지용 막체에 의하면, 유지용 막체(7 내지 9)와 비교하여, 연마 후의 유리 기판의 품질을 향상시킬 수 있다.According to the membrane | film | coat for holding | maintenance of this invention, elongation of the surface direction of the self-adsorption type sheet at the time of grinding | polishing process can be suppressed by the base material of the double-sided adhesive sheet of the same magnitude | size as a self-adsorption type sheet. In addition, the clearance gap B '' '' of the retention membrane body of the present invention is substantially the same as the clearance gaps B '', B '' 'of the retention membrane bodies 8 and 9 of FIGS. 12 and 13 described above. Do. However, since the clearance gap A '' '' of the retention membrane body of the present invention is as much as the thickness of the adhesive layer provided on both sides of the base material, the clearance gap (a) of the retention membrane bodies 7 to 9 of Figs. Significantly smaller than A 'to A' ''). Therefore, according to the holding film body of this invention, compared with the holding film bodies 7-9, the quality of the glass substrate after grinding | polishing can be improved.

이러한 유지용 막체에 의해 유지되어 연마된 유리 기판은, 상기 간극이 전사되어 연마됨으로써, 그의 표면에 볼록 형상부가 형성된다. 그러나, 본 발명의 유지용 막체에 의하면, 상기 기재의 양면에 구비된 점착층 간의 상기 간극은, 점착층의 적층 방향에 있어서 겹치지 않기 때문에, 간극에 의한 전사량을 억제할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따르면, 유리 기판의 표면에 형성되는 볼록 형상부의 높이를 낮게 억제할 수 있으므로, 연마 후의 유리 기판의 품질이 더욱 한층 향상된다.In the glass substrate held and polished by such a holding film body, the gap is transferred and polished, whereby a convex portion is formed on the surface thereof. However, according to the film body for holding | maintenance of this invention, since the said space | interval between the adhesion layers provided in both surfaces of the said base material does not overlap in the lamination | stacking direction of an adhesion layer, the transfer amount by a clearance can be suppressed. Therefore, according to this invention, since the height of the convex-shaped part formed in the surface of a glass substrate can be suppressed low, the quality of the glass substrate after grinding | polishing further improves.

본 발명은, 대형 유리 기판을 흡착 유지하는 유지용 막체를 대상으로 하고 있다. 이로 인해, 본 발명의 1매의 자기 흡착형 시트 및 양면 접착 시트의 기재는 대형 유리 기판에 대응할 수 있는 치수인 것이다. 또한, 양면 접착 시트의 점착층은 기존의 도포 장치로 도포할 수 있는 최대 치수 이하이다.This invention aims at the membrane body for holding | maintenance which adsorbs-holds a large glass substrate. For this reason, the base material of one sheet | seat of a self-adsorption | suction type | mold and a double-sided adhesive sheet of this invention is a dimension which can respond to a large glass substrate. In addition, the adhesion layer of a double-sided adhesive sheet is below the largest dimension which can be apply | coated with an existing coating apparatus.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 유리 기판의 크기는 3130(mm)×2880(mm) 이상인 것이 바람직하다. 즉, 본 발명의 유지용 막체는, G10 크기라고 칭해지는 크기 이상의 크기의 유리 기판을 유지하고, 그 유리 기판을 연마한다. In addition, according to the present invention, the size of the glass substrate is preferably 3130 (mm) × 2880 (mm) or more. That is, the holding film body of this invention hold | maintains the glass substrate of the magnitude | size more than called G10 size, and grinds the glass substrate.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 유지용 막체의 크기는 3200(mm)×3000(mm) 이상인 것이 바람직하다. 상술한 G10 크기 이상의 유리 기판을 유지하기 위해서는, 3200(mm)×3000(mm) 이상의 크기를 갖는 유지용 막체를 사용하는 것이 바람직하다.Further, according to the present invention, the size of the holding membrane is preferably 3200 (mm) x 3000 (mm) or more. In order to hold the glass substrate of G10 size or more mentioned above, it is preferable to use the membrane film for holding | maintenance which has a size of 3200 (mm) x 3000 (mm) or more.

본 발명은, 상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 유리 기판 유지용 막체에 의해 유리 기판을 흡착 유지하고, 상기 유리 기판의 피연마면을 연마 패드에 가압하여, 유리 기판의 피연마면을 필요한 평탄도로 연마하는 것을 포함하는 유리 기판의 연마 방법을 제공한다. 이에 의해, 본 발명에 따르면, 연마 후의 유리 기판의 품질을 향상시킬 수 있다.In order to achieve the above object, the present invention adsorbs and holds a glass substrate by the glass substrate holding membrane of the present invention, presses the surface to be polished of the glass substrate to a polishing pad, and thus requires the surface to be polished of the glass substrate. Provided is a method for polishing a glass substrate comprising polishing with a flatness. Thereby, according to this invention, the quality of the glass substrate after grinding | polishing can be improved.

본 발명에 따르면, 연마 후의 유리 기판의 품질을 향상시킬 수 있다.According to this invention, the quality of the glass substrate after grinding | polishing can be improved.

도 1은 실시 형태의 유리 기판 유지용 막체가 적용된 유리 기판의 연마 장치의 사시도이다.
도 2는 실시 형태의 연마 장치의 주요부 구조를 도시한 확대 단면도이다.
도 3은 제1 실시 형태의 유지용 막체의 사시도이다.
도 4는 실시 형태의 유지용 막체의 단면도이다.
도 5는 실시 형태의 유지용 막체에 유리 기판이 흡착 유지된 단면도이다.
도 6은 간극을 두고 접착한 2매의 양면 접착 시트에 의해 자기 흡착형 시트를 백 플레이트에 접착한 단면도이다.
도 7은 유리 기판의 표면에 형성된 볼록 형상부의 설명도이다.
도 8은 2매의 양면 접착 시트의 단부를 겹쳐서 자기 흡착형 시트를 백 플레이트에 접착한 단면도이다.
도 9는 유리 기판의 표면에 형성된 오목 형상부의 설명도이다.
도 10은 유지용 막체의 간극을 설명하기 위해서 사용한 단면도이다.
도 11은 유지용 막체의 제1 비교예를 나타낸 단면도이다.
도 12는 유지용 막체의 제2 비교예를 나타낸 단면도이다.
도 13은 유지용 막체의 제3 비교예를 나타낸 단면도이다.
도 14는 유리 기판의 표면에 형성된 볼록 형상부의 설명도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a perspective view of the grinding | polishing apparatus of the glass substrate to which the film body for glass substrate maintenance of embodiment was applied.
2 is an enlarged cross-sectional view showing the main part structure of the polishing apparatus of the embodiment.
3 is a perspective view of a membrane for holding of the first embodiment.
4 is a cross-sectional view of the holding membrane body of the embodiment.
It is sectional drawing in which the glass substrate was adsorbed-held by the holding film body of embodiment.
Fig. 6 is a cross-sectional view of the self-adsorbing sheet bonded to the back plate by two double-sided adhesive sheets bonded with a gap.
It is explanatory drawing of the convex-shaped part formed in the surface of a glass substrate.
8 is a cross-sectional view of a self-adsorbing sheet bonded to a back plate by overlapping ends of two double-sided adhesive sheets.
It is explanatory drawing of the recessed part formed in the surface of a glass substrate.
10 is a cross-sectional view used to explain the gap between the holding membrane body.
11 is a cross-sectional view illustrating a first comparative example of the holding membrane body.
12 is a cross-sectional view illustrating a second comparative example of the retaining membrane body.
It is sectional drawing which shows the 3rd comparative example of a holding film body.
It is explanatory drawing of the convex-shaped part formed in the surface of a glass substrate.

이하, 첨부 도면에 따라 본 발명에 관한 유리 기판 유지용 막체 및 유리 기판의 연마 방법의 바람직한 실시 형태에 대해서 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, preferred embodiment of the glass substrate holding film body and the grinding | polishing method of a glass substrate which concern on this invention is demonstrated according to an accompanying drawing.

도 1은 실시 형태의 유리 기판 유지용 막체가 적용된 유리 기판의 연마 장치(10)의 사시도를 도시하고 있다. 또한, 도 2에는, 연마 장치(10)의 주요부 구조를 도시한 확대 단면도를 도시하고 있다.FIG. 1: shows the perspective view of the grinding | polishing apparatus 10 of the glass substrate to which the film substance for glass substrate maintenance of embodiment was applied. 2, the expanded sectional view which shows the principal part structure of the grinding | polishing apparatus 10 is shown.

연마 장치(10)는, 직사각 형상으로 제조된 마더 유리 기판[예를 들어, 1변이 3130mm×2880mm(G10 크기) 이상, 두께 0.7mm](G)의 피연마면(A)을 액정 디스플레이용 유리 기판에 필요한 평탄도로 연마하는 연마 장치이다. 연마 장치(10)는, 유리 기판(G)을 유지용 막체(12)를 개재해서 그의 하면에 유지하는 연마 헤드(14)와, 알루미늄제의 플레이트(16)를 개재해서 연마 패드(18)를 그의 상면에 유지하는 연마 테이블(20)로 구성되어 있다. 마더 유리 기판(이하, 유리 기판이라고 함)(G)은 자기 흡착 작용이 있는 배킹재 등으로 이루어진 유지용 막체(12)에 유지됨과 함께, 연마 헤드(14)에 의해 피연마면(A)이 연마 패드(18)에 가압된다. 그 결과, 유리 기판(G)은 피연마면(A)이 필요한 평탄도로 연마된다. 유지용 막체(12)는 상기 크기의 대형 유리 기판(G)을 흡착 유지하기 위해서, 3200(mm)×3000(mm) 이상의 크기를 갖고 있는 것이 바람직하다. 또한, 유지용 막체(12)의 상세 구조에 대해서는 후술한다.Polishing apparatus 10 is a glass substrate for a liquid crystal display that is to be polished surface (A) of a mother glass substrate (for example, one side of 3130 mm x 2880 mm (G10 size) or more, 0.7 mm thick) (G) manufactured in a rectangular shape. It is a polishing apparatus for polishing to the flatness required for the substrate. The polishing apparatus 10 uses the polishing pad 14 to hold the glass substrate G on its lower surface via the holding film body 12, and the polishing pad 18 via the aluminum plate 16. It is comprised by the grinding | polishing table 20 hold | maintained at the upper surface. The mother glass substrate (hereinafter referred to as glass substrate) G is held on the holding film body 12 made of a backing material or the like having a self-adsorption action, and the surface to be polished A is polished by the polishing head 14. It is pressed against the polishing pad 18. As a result, the glass substrate G is polished to the required flatness of the to-be-polished surface A. In order to adsorb | suck and hold the large size glass substrate G of the said magnitude | size, it is preferable that the holding film body 12 has the size of 3200 (mm) x 3000 (mm) or more. In addition, the detailed structure of the holding film body 12 is mentioned later.

연마 중에는 도 2에 도시한 바와 같이, 연마 테이블(20)과 플레이트(16)에 관통 형성된 다수의 슬러리 공급 구멍(22A, 22B…)으로부터 산화세륨 수용액 등의 연마 슬러리가 연마 패드(18)의 하면측으로부터 공급되고 있다. 이에 의해, 연마 패드(18)가 연마 슬러리에 의해 침지된 상태로 된다. 이 상태에서 유리 기판(G)이 연마된다. 슬러리 공급 구멍(22A, 22B…)은 연마 테이블(20)과 플레이트(16)에 있어서 촘촘하고 또한 균일하게 형성되어 있다. 이로 인해, 연마 패드(18)에 연마 슬러리가 균일하게 공급되어 있다. 또한, 연마 패드(18)로서는, 예를 들어 발포 폴리우레탄 타입이나 스웨이드(Suede) 타입이 사용되고, 플레이트(16)에 접착되어 있다. 연마 패드(18)는 단일 구성으로도 좋지만, 유리 기판(G)의 크기에 대응해서 그 크기도 크기 때문에, 복수매의 분할 패드를 조합해서 1매의 연마 패드(18)로 해도 좋다. 또한, 연마 테이블(20)에는 다수의 흡인 구멍(24A, 24B…)이 관통 형성되어 있고, 이들 흡인 구멍(24A, 24B…)은 도시하지 않은 석션 펌프에 밸브를 개재해서 접속되어 있다. 따라서, 상기 밸브를 개방함으로써, 석션 펌프의 흡인력이 흡인 구멍(24A, 24B…)에 전달되므로, 플레이트(16)가 연마 테이블(20)의 상면에 흡착 유지된다. 상기 밸브를 폐쇄함으로써, 석션 펌프의 흡인력이 해제되므로, 연마 패드(18)의 유지 보수, 교환 시에 연마 테이블(20)로부터 연마 패드(18)를 플레이트(16)와 함께 제거할 수 있다.During polishing, as shown in FIG. 2, a polishing slurry such as an aqueous cerium oxide solution is formed on the lower surface of the polishing pad 18 from a plurality of slurry supply holes 22A, 22B... Which are formed through the polishing table 20 and the plate 16. It is supplied from the side. As a result, the polishing pad 18 is immersed by the polishing slurry. In this state, the glass substrate G is polished. The slurry supply holes 22A, 22B are formed in the polishing table 20 and the plate 16 in a compact and uniform manner. For this reason, the polishing slurry is uniformly supplied to the polishing pad 18. As the polishing pad 18, for example, a foamed polyurethane type or a suede type is used, and is adhered to the plate 16. Although the polishing pad 18 may be a single structure, since it is large also corresponding to the magnitude | size of the glass substrate G, you may make one polishing pad 18 combining several division pads. In addition, a plurality of suction holes 24A, 24B ... are formed through the polishing table 20, and these suction holes 24A, 24B ... are connected to a suction pump (not shown) via a valve. Therefore, by opening the valve, the suction force of the suction pump is transmitted to the suction holes 24A, 24B, so that the plate 16 is sucked and held on the upper surface of the polishing table 20. By closing the valve, the suction force of the suction pump is released, so that the polishing pad 18 can be removed together with the plate 16 from the polishing table 20 during maintenance and replacement of the polishing pad 18.

도 1에 도시한 바와 같이 연마 헤드(14)의 상부 중앙에는, 스핀들(26)이 고정되고, 이 스핀들(26)에는 회전/승강 장치(28)가 연결되어 있다. 회전/승강 장치(28)는 연마 장치(10) 전체를 통괄 제어하는 제어부(30)에 의해, 유리 기판(G)의 연마에 적합한 회전 수 및 하강 동작(가압력)이 제어되고 있다.As shown in FIG. 1, a spindle 26 is fixed to an upper center of the polishing head 14, and a rotation / elevation device 28 is connected to the spindle 26. The rotation / elevation apparatus 28 is controlled by the control part 30 which controls the whole grinding | polishing apparatus 10 as a whole, and the rotation speed suitable for grinding | polishing of the glass substrate G, and the lowering operation (pressure force).

도 3에는, 실시 형태의 유지용 막체(12)의 사시도가 도시되고, 도 4에는, 백 플레이트(36)를 제외한 실시 형태의 유지용 막체(12)의 단면도가 도시되어 있다. 또한, 도 5는 실시 형태의 유지용 막체(12)에 유리 기판(G)이 흡착 유지된 단면도가 도시되어 있다.3, the perspective view of the holding film body 12 of embodiment is shown, and sectional drawing of the holding film body 12 of embodiment except the back plate 36 is shown in FIG. 5 is sectional drawing in which the glass substrate G was adsorbed-held by the holding film body 12 of embodiment.

도 4에 도시한 바와 같이 유지용 막체(12)는, 1매의 자기 흡착형 시트(32)가 동일면 내에 배치된 1매의 양면 접착 시트(34)를 개재해서, 도 3의 알루미늄제의 백 플레이트(36)에 부착되어 구성된다. 이 자기 흡착형 시트(32)에 도 5에 도시한 바와 같이 유리 기판(G)이 흡착 유지된다.As shown in FIG. 4, the holding film body 12 is the aluminum bag of FIG. 3 via one double-sided adhesive sheet 34 in which one magnetic adsorption | suction type sheet 32 is arrange | positioned in the same surface. It is attached to the plate 36 is configured. The glass substrate G is adsorb | sucked and hold | maintained on this self-adsorption type sheet 32 as shown in FIG.

자기 흡착형 시트(32)는, 특허문헌 2에 개시되어 있는 바와 같은 폴리우레탄 수지로 형성된 폴리우레탄 시트이며, 그의 두께는 약 1.1 내지 1.5mm인 것이 바람직하다. 이 폴리우레탄 시트는, 그의 표면층에 미세한 다공이 형성되고, 표면층에 물 등의 액체를 포함시킴으로써, 표면층의 미세한 다공에 침입한 액체의 표면 장력에 의해 유리 기판(G)을 흡착 유지할 수 있다.The self-adsorption type sheet 32 is a polyurethane sheet formed from a polyurethane resin as disclosed in Patent Document 2, and the thickness thereof is preferably about 1.1 to 1.5 mm. This polyurethane sheet can adsorb | stain and hold | maintain glass substrate G by the surface tension of the liquid which penetrated the fine pore of a surface layer by forming fine porosity in the surface layer, and including liquid, such as water, in a surface layer.

양면 접착 시트(34)는 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET) 등의 기재(38)와, 기재(38)의 양면에 접착제가 도포됨으로써 형성된 점착층(40, 42)으로 구성된다. 기재(38)의 두께는 약 75㎛인 것이 바람직하고, 점착층(40)의 두께는 약 50㎛인 것이 바람직하다. 또한, 자기 흡착형 시트(32)측의 점착층(40)보다 백 플레이트(36)측의 점착층(42)의 두께를 얇게 함으로써, 유리 기판(G)의 평탄도 향상에 기여할 수 있다.The double-sided adhesive sheet 34 is composed of a base material 38 such as polyethylene terephthalate (PET) and adhesive layers 40 and 42 formed by applying an adhesive to both surfaces of the base material 38. It is preferable that the thickness of the base material 38 is about 75 micrometers, and it is preferable that the thickness of the adhesion layer 40 is about 50 micrometers. In addition, by making the thickness of the adhesion layer 42 on the back plate 36 side thinner than the adhesion layer 40 on the self-adsorption type sheet 32 side, it can contribute to the flatness improvement of the glass substrate G. FIG.

도 3 내지 도 5에 도시한 유지용 막체(12)는, 1매의 자기 흡착형 시트(32)에 동일면 내에 양면 접착 시트(34)가 1매 배치되고, 양면 접착 시트(34)의 점착층(40)은, 소정의 간극(S1)을 두고 기재(38)에 도포됨과 함께, 점착층(42)도 마찬가지로 소정의 간극(S2)을 두고 기재(38)에 도포된다. 그리고, 이들 간극(S1, S2)은 점착층의 적층 방향에 있어서 겹치지 않도록 되어 있다. 이들 점착층(40, 42)은 기존의 도포 장치로 도포할 수 있는 최대 치수 이하이다.In the membrane body 12 for holding | maintenance shown in FIGS. 3-5, one double-sided adhesive sheet 34 is arrange | positioned in the same surface to one sheet | seat of self-adsorption | suction type | mold 32, and the adhesive layer of the double-sided adhesive sheet 34 is shown. 40 is applied to the base 38 with a predetermined gap S1, and the adhesive layer 42 is also applied to the base 38 with a predetermined gap S2. In addition, these gaps (S 1, S 2) is so as not to overlap in the lamination direction of the adhesive layer. These adhesive layers 40 and 42 are below the maximum dimension which can be apply | coated with an existing coating apparatus.

상기와 같이 구성된 유지용 막체(12)에 의하면, 도 6에 도시한 바와 같이 간극(S1)에 위치하는 자기 흡착형 시트(32)의 일부분(32a)이, 연마 시의 가압력 등에 의해 간극(S1)에 인입된다. 그 결과, 간극(S1)에 대응하는 자기 흡착형 시트(32)의 흡착면에 오목 형상부(32b)가 발생한다. 따라서, 그 오목 형상부(32b)에 흡착 유지되어 있는 유리 기판(G)의 일부분(G1)이 볼록 형상으로 변형되고, 유리 기판(G)의 피연마면에 오목 형상부(5a)가 발생한다. 오목 형상부(5a)가 발생한 상태에서 유리 기판(G)을 연마하면, 그 오목 형상부(5a)가 연마되지 않는다. 이로 인해, 오목 형상부(5a)가 되는 부분이 연마 후의 유리 기판(G)에 있어서 도 7에 도시한 바와 같이 볼록 형상부(5A)가 된다.According to the holding membrane body 12 configured as described above, as shown in FIG. 6, the portion 32a of the self-adsorbing sheet 32 positioned in the gap S 1 is formed by the pressing force or the like during polishing. S 1 ). As a result, the concave portion 32b is generated on the adsorption face of the self-adsorption type sheet 32 corresponding to the gap S 1 . Therefore, the part G1 of the glass substrate G adsorbed-held by the recessed part 32b deforms into convex shape, and the recessed part 5a arises in the to-be-polished surface of the glass substrate G. As shown in FIG. . When the glass substrate G is polished in a state where the concave portion 5a is generated, the concave portion 5a is not polished. For this reason, the part used as the concave part 5a becomes the convex part 5A in the glass substrate G after grinding | polishing as shown in FIG.

그러나, 유리 기판(G)의 표면에 형성되는 볼록 형상부(5A)의 높이(a)는, 도 9에 도시한 종래의 오목 형상부(4A)의 깊이(b), 및 도 14에 도시한 볼록 형상부(4B)의 높이(c)와 비교해서 그의 절대량이 작아지므로, 유리 기판(G)의 평탄성을 손상시키는 것은 아니다.However, the height a of the convex portion 5A formed on the surface of the glass substrate G is the depth b of the conventional concave portion 4A shown in FIG. 9, and shown in FIG. 14. Since the absolute amount thereof becomes smaller than the height c of the convex portion 4B, the flatness of the glass substrate G is not impaired.

도 6에 도시한 바와 같이, 간극(S2)에 위치하는 자기 흡착형 시트(32)의 일부분(32c)이, 연마 시의 가압력 등에 의해 간극(S2)에 인입되는 방향으로 변형된다. 그 결과, 간극(S2)에 대응하는 자기 흡착형 시트(32)의 흡착면에 오목 형상부(32d)가 생긴다. 따라서, 그 오목 형상부(32d)에 흡착 유지되어 있는 유리 기판(G)의 일부분(G2)이 볼록 형상으로 변형되어, 유리 기판(G)의 피연마면에 오목 형상부(5b)가 생긴다. 오목 형상부(5b)가 생긴 상태에서 유리 기판(G)을 연마하면, 오목 형상부(5b)가 연마되지 않는다. 이로 인해, 오목 형상부(5b)로 된 부분이 연마 후의 유리 기판(G)에 있어서 도 7에 도시한 바와 같이 볼록 형상부(5B)가 된다.6, the part (32c) of the self-suction-type sheet (32) which is located in the gap (S 2), is deformed in a direction in which the inlet gap (S 2) by a pressing force at the time of polishing. As a result, the concave portion 32d is formed on the adsorption face of the self-adsorption type sheet 32 corresponding to the gap S 2 . Therefore, a part G 2 of the glass substrate G adsorbed and held by the concave portion 32d is deformed into a convex shape, and the concave portion 5b is formed on the surface to be polished of the glass substrate G. . When the glass substrate G is polished in a state where the concave portion 5b is formed, the concave portion 5b is not polished. For this reason, the part which became the recessed part 5b becomes the convex part 5B in the glass substrate G after grinding | polishing as shown in FIG.

그러나, 자기 흡착형 시트(32)의 일부분(32a)의 변형량은, 자기 흡착형 시트(32)의 일부분(32c)의 변형량보다 작다. 점착층(40)의 간극(S1)은 직접 자기 흡착형 시트(32)의 발포 구조부의 미공과 접하고 있는 것, 및 그 발포 구조부 크기가 간극(S1)의 크기에 가깝기 때문에, 점착층(40)이나 기재(38)를 개재해서 접하고 있는 간극(S2)에 비해 자기 흡착형 시트(32)의 변형에 끼치는 영향이 적기 때문이다.However, the amount of deformation of the portion 32a of the self-adsorbing sheet 32 is smaller than the amount of deformation of the portion 32c of the self-adsorbing sheet 32. The gap S 1 of the pressure-sensitive adhesive layer 40 is in direct contact with the pores of the foam structure of the self-adsorption type sheet 32, and the size of the foam structure is close to the size of the gap S 1 . This is because the influence on the deformation of the self-adsorption type sheet 32 is less than that of the gap S 2 which is in contact with each other via 40 and the base material 38.

따라서, 유리 기판(G)의 표면에 형성되는 볼록 형상부(5B)의 높이(b)는, 볼록 형상부(5A)의 높이(a) 및 도 9에 나타낸 종래의 오목 형상부(4A)의 깊이(b)와 비교해서 그의 절대량이 대폭 작아진다. 32a의 변형량은, 유리 기판(G)의 평탄성을 손상시키는 것은 아니다.Therefore, the height b of the convex part 5B formed in the surface of the glass substrate G is the height a of the convex part 5A, and the conventional concave part 4A shown in FIG. Compared with the depth b, the absolute amount thereof becomes significantly smaller. The deformation amount of 32a does not impair the flatness of the glass substrate G.

실시 형태의 유지용 막체(12)에 의하면, 연마 후의 유리 기판(G)의 품질을 향상시킬 수 있다.According to the holding film body 12 of embodiment, the quality of the glass substrate G after grinding | polishing can be improved.

또한, 유지용 막체(12)의 백 플레이트(36)에는, 도 5에 도시한 바와 같이 시트 형상의 탄성 시트재(44)가 설치되고, 이 탄성 시트재(44)의 외주에는 복수의 걸림 부재(46A, 46B…)가 고정되어 있다. 유지용 막체(12)는 탄성 시트재(44)를 장설해서, 이들 걸림 부재(46A, 46B…)를 도 1의 연마 헤드(14)의 훅부(도시하지 않음)에 결합시킴으로써 연마 헤드(14)에 장착된다.Moreover, as shown in FIG. 5, the sheet-shaped elastic sheet material 44 is provided in the back plate 36 of the holding | maintenance membrane body 12, and the some circumference | surroundings of this elastic sheet material 44 are several locking members. (46A, 46B ...) are fixed. The retaining membrane 12 is provided with an elastic sheet member 44, and the engaging members 46A, 46B are coupled to the hook portions (not shown) of the polishing head 14 of FIG. Is mounted on.

도 4 내지 도 6에 나타낸 소정의 간극(S1, S2)은 1.5±1.5mm로 설정되는 것이 바람직하고, 1.5±1.4mm로 설정되는 것이 바람직하다. 즉, 이들 실시 형태에서 규정하는 소정의 간극(S1, S2)은 0을 포함하고, 0 내지 3.0mm인 것이 바람직하다. 간극이 0인 경우에는, 연마 후의 유리 기판(G)에 전사에 의한 볼록 형상부(5A, 5B: 도 7 참조)가 발생하지 않고, 또한, 간극이 3.0mm이면, 유리 기판(G)에 전사에 의해 형성된 볼록 형상부(5A, 5B)는 디스플레이용 유리 기판(G)의 품질에 영향을 주지 않는다.The predetermined gaps S 1 , S 2 shown in FIGS. 4 to 6 are preferably set to 1.5 ± 1.5 mm, and preferably set to 1.5 ± 1.4 mm. In other words, the predetermined gaps S 1 and S 2 defined in these embodiments include 0, and are preferably 0 to 3.0 mm. In the case where the gap is 0, the convex portions 5A and 5B (see FIG. 7) due to transfer do not occur in the glass substrate G after polishing, and when the gap is 3.0 mm, the transfer is performed to the glass substrate G. The convex portions 5A and 5B formed by the do not affect the quality of the glass substrate G for display.

점착층(40, 42)의 두께는 각각 50㎛ 이하인 것이 바람직하고, 40㎛ 이하인 것이 더욱 바람직하며, 30㎛ 이하인 것이 특히 바람직하다.It is preferable that the thickness of the adhesion layers 40 and 42 is 50 micrometers or less, respectively, It is more preferable that it is 40 micrometers or less, It is especially preferable that it is 30 micrometers or less.

또한, 도 4 내지 도 6에 나타낸 유지용 막체(12)는, 연마 가공 시의 자기 흡착형 시트(32)의 면 방향의 신장을, 자기 흡착형 시트(32)와 동일한 크기의 기재(38) 강도에 의해 억제할 수 있다.In addition, the holding | maintenance membrane body 12 shown in FIGS. 4-6 has elongation of the surface direction of the self-adsorption type sheet 32 at the time of grinding | polishing process, The base material 38 of the same magnitude | size as the self-adsorption type sheet 32 It can suppress by strength.

한편, 대형 유리 기판을 원하는 평탄도로 연마 가공하기 위해서는, 도 10에서 설명한 바와 같이 두께 방향의 간극(A)과 면 방향의 간극(B)을 유지용 막체에 갖게 하는 것이 필요하다.On the other hand, in order to grind a large glass substrate to a desired flatness, as shown in FIG. 10, it is necessary to make the holding film body have a gap A in the thickness direction and a gap B in the plane direction.

따라서, 도 4에 도시한 바와 같이 실시 형태의 유지용 막체(12)의 간극(B'''')은 도 12, 도 13에 나타낸 유지용 막체(8, 9)의 간극(B'', B''')과 대략 동일하지만, 실시 형태의 유지용 막체(12)의 간극(A'''')은, 기재(38)의 양면에 구비된 점착층(40, 42)의 두께분만큼이므로, 도 11 내지 도 13의 유지용 막체(7, 8, 9)의 간극(A' 내지 A''')보다 대폭 작아진다.Therefore, as shown in FIG. 4, the clearance gap B '' '' of the retention membrane body 12 of embodiment is the clearance gap B "of the retention membrane bodies 8 and 9 shown in FIG. 12, FIG. B '' ') is substantially the same, but the gap A' '' 'of the retaining membrane body 12 of the embodiment is equal to the thickness of the adhesive layers 40 and 42 provided on both surfaces of the substrate 38. Therefore, it becomes significantly smaller than the clearance gap A'-A '' 'of the holding | maintenance membrane body 7, 8, 9 of FIGS.

따라서, 실시 형태의 유지용 막체(12)에 의하면, 도 11 내지 도 13에 나타낸 유지용 막체(7, 8, 9)와 비교하여, 연마 후의 유리 기판의 품질을 향상시키는 것이 가능하게 된다.Therefore, according to the holding film body 12 of embodiment, compared with the holding film bodies 7, 8, and 9 shown in FIGS. 11-13, it becomes possible to improve the quality of the glass substrate after grinding | polishing.

본 발명을 상세하게 또한 특정한 실시 형태를 참조하여 설명했지만, 본 발명의 정신과 범위를 일탈하지 않고 여러 변형이나 수정을 가할 수 있는 것은, 당업자에 있어서 명확하다.Although this invention was detailed also demonstrated with reference to the specific embodiment, it is clear for those skilled in the art that various changes and correction can be added without deviating from the mind and range of this invention.

본 출원은 2010년 3월 30일에 출원된 일본 특허 출원 제2010-077934호에 기초하는 것으로, 그의 내용은 여기에 참조로 포함된다.This application is based on the JP Patent application 2010-077934 of an application on March 30, 2010, The content is taken in here as a reference.

<산업상 이용가능성> Industrial Applicability

본 발명에 따르면, 연마 후의 유리 기판의 품질을 향상시킬 수 있다.According to this invention, the quality of the glass substrate after grinding | polishing can be improved.

1: 자기 흡착형 시트
2A 내지 2H: 양면 접착 시트
3: 백 플레이트
4: 볼록 형상부
4A: 오목 형상부
5: 오목 형상부
5A: 볼록 형상부
6, 7, 8, 9: 유지용 막체
10: 연마 장치
12, 112, 212: 유지용 막체
14: 연마 헤드
16: 플레이트
18: 연마 패드
20: 연마 테이블
22: 슬러리 공급 구멍
24: 흡인 구멍
26: 스핀들
28: 회전/승강 장치
30: 제어부
32: 자기 흡착형 시트
34, 34A, 34B: 양면 접착 시트
36: 백 플레이트
38: 기재
40, 42: 점착층
44: 탄성 시트재
46: 걸림 부재
G: 유리 기판1: magnetic adsorption sheet
2A to 2H: double sided adhesive sheet
3: back plate
4: convex shape
4A: concave
5: concave
5A: convex
6, 7, 8, 9: maintenance membrane
10: polishing device
12, 112, 212: retaining membrane
14: polishing head
16: plate
18: polishing pad
20: polishing table
22: slurry feed hole
24: suction hole
26: spindle
28: rotary device
30:
32: magnetic adsorption sheet
34, 34A, 34B: double sided adhesive sheet
36: back plate
38: description
40, 42: adhesive layer
44: elastic sheet material
46: locking member
G: glass substrate

Claims (4)

자기 흡착형 시트가 양면 접착 시트를 개재해서 백 플레이트에 부착되어 구성됨과 함께, 상기 자기 흡착형 시트에 유리 기판이 흡착 유지되는 유리 기판 유지용 막체에 있어서,
상기 양면 접착 시트는 시트 형상의 기재와 상기 기재의 양면에 구비된 점착층으로 구성되고,
상기 점착층은 상기 기재의 동일면 내에서 각각 소정의 간극을 두고 구비되며,
상기 기재의 양면에 구비된 점착층 간의 간극이 점착층의 적층 방향에 있어서 겹치지 않는 유리 기판 유지용 막체.In the film body for glass substrate holding | maintenance by which the magnetic adsorption | suction type sheet | seat is attached to a back plate via the double-sided adhesive sheet, and a glass substrate is adsorb | sucked and hold | maintained on the said self-sorption type sheet | seat,
The double-sided adhesive sheet is composed of a sheet-shaped base material and an adhesive layer provided on both sides of the base material,
The adhesive layer is provided with a predetermined gap in the same plane of the substrate, respectively
The membrane body for glass substrate holding | maintenance which the clearance gap between the adhesion layers with which both surfaces of the said base material do not overlap in the lamination direction of an adhesion layer. 제1항에 있어서, 상기 유리 기판의 크기가 3130mm×2880mm 이상인 유리 기판 유지용 막체.The film substrate for holding a glass substrate according to claim 1, wherein the glass substrate has a size of 3130 mm x 2880 mm or more. 제2항에 있어서, 상기 유지용 막체의 크기가 3200mm×3000mm 이상인 유리 기판 유지용 막체.The film substrate holding film body according to claim 2, wherein the holding film body has a size of 3200 mm x 3000 mm or more. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 유리 기판 유지용 막체에 의해 유리 기판을 흡착 유지하고, 상기 유리 기판의 피연마면을 연마 패드에 가압하여, 유리 기판의 피연마면을 필요한 평탄도로 연마하는 것을 포함하는 유리 기판의 연마 방법.The glass substrate holding film body in any one of Claims 1-3 adsorb | sucks and hold | maintains a glass substrate, presses the to-be-polished surface to a polishing pad, and makes the to-be-polished surface of a glass substrate necessary A method of polishing a glass substrate, which comprises polishing by road.
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