KR20130033360A - Film for holding glass substrate and method for polishing glass substrate - Google Patents

Film for holding glass substrate and method for polishing glass substrate Download PDF

Info

Publication number
KR20130033360A
KR20130033360A KR1020127025047A KR20127025047A KR20130033360A KR 20130033360 A KR20130033360 A KR 20130033360A KR 1020127025047 A KR1020127025047 A KR 1020127025047A KR 20127025047 A KR20127025047 A KR 20127025047A KR 20130033360 A KR20130033360 A KR 20130033360A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
glass substrate
double
sided adhesive
sheet
holding
Prior art date
Application number
KR1020127025047A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101598248B1 (en
Inventor
미노루 요코타
미츠루 후루타
다카시 사사모리
Original Assignee
후지보홀딩스가부시끼가이샤
아사히 가라스 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 후지보홀딩스가부시끼가이샤, 아사히 가라스 가부시키가이샤 filed Critical 후지보홀딩스가부시끼가이샤
Publication of KR20130033360A publication Critical patent/KR20130033360A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101598248B1 publication Critical patent/KR101598248B1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/27—Work carriers
    • B24B37/30—Work carriers for single side lapping of plane surfaces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B15/00—Layered products comprising a layer of metal
    • B32B15/20—Layered products comprising a layer of metal comprising aluminium or copper
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B17/00—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres
    • B32B17/06—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B3/00—Layered products comprising a layer with external or internal discontinuities or unevennesses, or a layer of non-planar form; Layered products having particular features of form
    • B32B3/10—Layered products comprising a layer with external or internal discontinuities or unevennesses, or a layer of non-planar form; Layered products having particular features of form characterised by a discontinuous layer, i.e. formed of separate pieces of material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B7/00—Layered products characterised by the relation between layers; Layered products characterised by the relative orientation of features between layers, or by the relative values of a measurable parameter between layers, i.e. products comprising layers having different physical, chemical or physicochemical properties; Layered products characterised by the interconnection of layers
    • B32B7/04—Interconnection of layers
    • B32B7/05—Interconnection of layers the layers not being connected over the whole surface, e.g. discontinuous connection or patterned connection
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B7/00—Layered products characterised by the relation between layers; Layered products characterised by the relative orientation of features between layers, or by the relative values of a measurable parameter between layers, i.e. products comprising layers having different physical, chemical or physicochemical properties; Layered products characterised by the interconnection of layers
    • B32B7/04—Interconnection of layers
    • B32B7/12—Interconnection of layers using interposed adhesives or interposed materials with bonding properties

Abstract

본 발명은, 자기 흡착형 시트가 양면 접착 시트를 개재해서 백 플레이트에 부착되어 구성됨과 함께, 상기 자기 흡착형 시트에 유리 기판이 흡착 유지되는 유리 기판 유지용 막체에 있어서, 상기 양면 접착 시트는, 동일 면 내에 배치된 복수매의 양면 접착 시트를 포함하고, 상기 복수매의 양면 접착 시트는, 인접하는 양면 접착 시트가 각각 소정의 간극을 두고 상기 자기 흡착형 시트 및 상기 백 플레이트에 부착되어 있는, 유리 기판 유지용 막체에 관한 것이다.In the present invention, the self-adsorbing sheet is attached to the back plate via a double-sided adhesive sheet, and the glass substrate-holding membrane body adsorbed and held on the self-adsorbing sheet, wherein the double-sided adhesive sheet is It includes a plurality of double-sided adhesive sheet disposed in the same surface, the adjacent double-sided adhesive sheet is attached to the self-adsorption sheet and the back plate, each adjacent double-sided adhesive sheet with a predetermined gap, It relates to a film substrate for holding a glass substrate.

Description

유리 기판 유지용 막체 및 유리 기판의 연마 방법 {FILM FOR HOLDING GLASS SUBSTRATE AND METHOD FOR POLISHING GLASS SUBSTRATE}Glass substrate holding membrane and polishing method of glass substrate {FILM FOR HOLDING GLASS SUBSTRATE AND METHOD FOR POLISHING GLASS SUBSTRATE}

본 발명은 유리 기판을 가공할 때에, 유리 기판을 유지하는 유리 기판 유지용 막체 및 유리 기판의 연마 방법에 관한 것이다.This invention relates to the glass substrate holding film body holding a glass substrate, and the grinding | polishing method of a glass substrate, when processing a glass substrate.

액정 디스플레이용에 적용되는 유리 기판은, 그의 표면의 미소한 요철이나 굴곡이 화상에 왜곡을 부여하는 원인이 되기 때문에, 그 미소한 요철이나 굴곡이 연마 장치로 제거된다. 이러한 연마 장치로서, 연마 정반에 부착된 연마 패드에, 연마 헤드에 유지된 유리 기판을 누름과 함께, 연마 정반 및 연마 헤드를 상대적으로 회전시켜서 유리 기판을 연마하는 연마 장치를, 본원 출원인이 특허문헌 1에서 개시하고 있다. In the glass substrate applied for the liquid crystal display, since the minute unevenness or curvature of the surface thereof causes distortion in the image, the minute unevenness or curvature is removed by the polishing apparatus. As such a polishing apparatus, a polishing apparatus for polishing a glass substrate by pressing the glass substrate held by the polishing head on a polishing pad attached to the polishing plate and rotating the polishing plate and the polishing head relatively, is disclosed in the patent application. It is disclosed in 1.

또한, 특허문헌 1의 연마 장치에서는, 연마 헤드에 설치되는 자기 흡착형 유지용 막체에 유리 기판을 흡착 유지시킴으로써, 유리 기판을 연마 헤드에 설치하도록 하고 있다.In addition, in the polishing apparatus of Patent Literature 1, the glass substrate is attached to the polishing head by adsorbing and holding the glass substrate on the self-adsorption type retaining membrane body provided on the polishing head.

그런데, 최근에는, 액정 디스플레이용 유리 기판의 대형화에 수반하여, 이 유리 기판을 연마 헤드에 흡착 유지시키기 위한 유지용 막체의 크기도 대형화하고 있다. 이 유지용 막체는, 다공질성 자기 흡착형 시트가 양면 접착 시트를 개재해서 백 플레이트에 부착됨으로써 구성되고, 이 자기 흡착형 시트에 유리 기판이 흡착 유지된다.By the way, in recent years, with the enlargement of the glass substrate for liquid crystal displays, the magnitude | size of the holding | maintenance film body for making this glass substrate adsorb | suck and hold | maintain by a polishing head is also enlarged. This holding | maintenance membrane body is comprised by attaching a porous self-adsorption type sheet to a back plate via a double-sided adhesive sheet, and a glass substrate is adsorbed-held by this self-adsorption type sheet.

그러나, 특히 G10이라고 칭해지는 크기(3130mm×2880mm)의 마더 유리 기판을 연마 가공하는 경우, 그 크기의 유리 기판을 유지하는 유지용 막체의 제조에 있어서, 자기 흡착형 시트나 백 플레이트는, 거기에 대응한 크기의 제품을 기존의 제조 설비로 제조할 수 있지만, 자기 흡착형 시트를 백 플레이트에 접착하는 양면 접착 시트는 기존의 제조 설비에서는 제조할 수 없고, 제조하는 경우에는 신규 설비 투자가 필요하여, 제조 비용이 증대해 버린다는 문제가 있었다.However, in the case of polishing a mother glass substrate having a size (3130 mm × 2880 mm), particularly referred to as G10, in the manufacture of a holding film body for holding a glass substrate of that size, the magnetic adsorption type sheet and the back plate are The product of the corresponding size can be manufactured by the existing manufacturing equipment, but the double-sided adhesive sheet which adheres the self-adsorbing sheet to the back plate cannot be manufactured by the existing manufacturing equipment. There was a problem that manufacturing costs would increase.

따라서, 종래에는, 기존의 크기의 양면 접착 시트를 적어도 2매 사용하여, 자기 흡착형 시트를 백 플레이트에 접착 유지하고 있었다.Therefore, conventionally, at least 2 sheets of the existing double-sided adhesive sheet were used to adhere and hold the self-adsorbing sheet to the back plate.

자기 흡착형 시트로서는 특허문헌 2에서 나타낸 바와 같이, 폴리우레탄 수지로 형성된 연질 플라스틱 시트로서의 폴리우레탄 시트를 예시할 수 있다. 특허문헌 2의 폴리우레탄 시트는, 그의 표면층에 미세한 다공이 형성되고, 표면층에 물 등의 액체를 포함시킴으로써, 표면층의 미세한 다공에 침입한 액체의 표면 장력에 의해 연마 정반에 연마 패드를 접착하는 것이지만, 이 폴리우레탄 시트에 의해 유리 기판을 자기 흡착 유지할 수도 있기 때문에, 자기 흡착형 시트로서 사용되고 있다.As a self-adsorption type sheet, as shown in patent document 2, the polyurethane sheet as a soft plastic sheet formed with the polyurethane resin can be illustrated. In the polyurethane sheet of Patent Literature 2, fine pores are formed in the surface layer thereof, and the surface layer contains liquids such as water, thereby adhering the polishing pad to the polishing platen by the surface tension of the liquid that has entered the fine pores of the surface layer. Since this polyurethane sheet can also self-adsorb and hold a glass substrate, it is used as a self-adsorption type sheet.

일본 특허 공개 제2004-122351호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2004-122351 일본 특허 공개 제2007-7824호 공보Japanese Patent Publication No. 2007-7824

그러나, 복수매의 양면 접착 시트를 사용하는 종래의 유지용 막체에 있어서는 인접하는 양면 접착 시트의 단부를 간극 없이 부착하는 것은 어렵다.However, in the conventional holding | maintenance membrane body which uses several sheets of double-sided adhesive sheets, it is difficult to attach the edge part of an adjacent double-sided adhesive sheet without a gap.

도 9의 (A)는, 자기 흡착형 시트(1)가 2매의 양면 접착 시트(2, 2)를 개재해서 백 플레이트(3)에 접착되고, 자기 흡착형 시트(1)에 유리 기판(G)이 흡착 유지된 단면도가 도시되어 있다. 인접하는 양면 접착 시트(2, 2)의 단부끼리 간극 없이 부착하기 위해서, 도 9의 (A)에 도시한 바와 같이 양면 접착 시트(2, 2)의 단부끼리 약간 겹치도록 접착하면 그 겹쳐진 부분이 볼록 형상이 되고, 이것이 자기 흡착형 시트(1)를 개재해서 유리 기판(G)에 볼록 형상부(4)가 되어 전사된다. 볼록 형상부(4)가 전사된 상태에서 유리 기판(G)을 연마하면, 연마 후의 유리 기판(G)은, 이 볼록 형상부(4)로 된 부분이 도 9의 (B)에 도시한 바와 같이, 반대로 오목 형상부(4A)가 되어 나타나므로, 가공 표면의 평탄성이 손상되어, 유리 기판(G)의 품질이 저하한다는 문제가 있었다. 또한, 도 9의 (A)에서는, 상하가 반대인 도면이 도시되어 있어, 실제로는 유리 기판(G)이 하방 위치에 있는 상태에서 연마된다.9A, the self-adsorption sheet 1 is bonded to the back plate 3 via two double-sided adhesive sheets 2 and 2, and the glass substrate ( A cross-sectional view in which G) is held adsorbed is shown. In order to attach the end portions of adjacent double-sided adhesive sheets 2 and 2 without gaps, as shown in Fig. 9A, the end portions of the double-sided adhesive sheets 2 and 2 are bonded so as to overlap each other so that the overlapped portions are overlapped. It becomes a convex shape, and this becomes the convex part 4 to the glass substrate G via the self-adsorption type sheet 1, and is transferred. When the glass substrate G is polished in the state where the convex portion 4 is transferred, the polished glass substrate G has a portion of the convex portion 4 as shown in Fig. 9B. Similarly, since the concave portion 4A appears on the contrary, the flatness of the processed surface is impaired and there is a problem that the quality of the glass substrate G is lowered. In addition, in FIG. 9 (A), the figure in which the upper and lower sides are reversed is shown, and it is actually grind | polished in the state in which glass substrate G is in a downward position.

본 발명은, 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 연마 후의 유리 기판의 품질을 향상시킬 수 있는 유리 기판 유지용 막체 및 유리 기판의 연마 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.This invention is made | formed in view of such a situation, and an object of this invention is to provide the glass substrate holding film body and the grinding | polishing method of a glass substrate which can improve the quality of the glass substrate after grinding | polishing.

본 발명은, 상기 목적을 달성하기 위해서, 자기 흡착형 시트가 양면 접착 시트를 개재해서 백 플레이트에 부착되어 구성됨과 함께, 상기 자기 흡착형 시트에 유리 기판이 흡착 유지되는 유리 기판 유지용 막체에 있어서, 상기 양면 접착 시트가, 동일면 내에 배치된 복수매의 양면 접착 시트를 포함하고, 상기 복수매의 양면 접착 시트는, 인접하는 양면 접착 시트가 각각 소정의 간극을 두고 상기 자기 흡착형 시트 및 상기 백 플레이트에 부착되어 있는, 유리 기판 유지용 막체를 제공한다. MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to achieve the said objective, in this film | membrane for glass substrate holding | maintenance which a self-adsorption type sheet | seat adheres to a back plate via a double-sided adhesive sheet, and a glass substrate is adsorbed-held on the said self-adsorption type sheet | seat, And the double-sided adhesive sheet includes a plurality of double-sided adhesive sheets disposed in the same plane, and the plurality of double-sided adhesive sheets each include the self-adsorbing sheet and the bag with a predetermined gap between adjacent double-sided adhesive sheets. Provided is a film substrate for holding a glass substrate that is attached to a plate.

본 발명에 따르면, 동일면 내에 배치된 복수매의 양면 접착 시트를 사용해서 1매의 자기 흡착형 시트를 백 플레이트에 접착시키지만, 이때, 인접하는 양면 접착 시트를 소정의 간극을 두고 자기 흡착형 시트 및 백 플레이트에 부착한다. 이러한 유지용 막체에 의해 유지되고 연마된 유리 기판은, 상기 간극이 전사되어서 연마됨으로써, 그의 표면에 볼록 형상부가 형성되지만, 유리 기판의 표면에 형성되는 볼록 형상부의 높이량은, 종래의 오목 형상부의 깊이량과 비교해서 그의 절대량이 작아지므로, 유리 기판의 평탄성을 손상시키는 것이 아니다. 이에 의해, 본 발명의 유지용 막체에 의하면, 연마 후의 유리 기판의 품질을 향상시킬 수 있다. According to the present invention, a single self-adhesive sheet is adhered to a back plate using a plurality of double-sided adhesive sheets arranged in the same plane, but at this time, the self-adsorbing sheet and the adjacent double-sided adhesive sheet have a predetermined gap. Attach to the back plate. In the glass substrate held and polished by the holding film body, the gap is transferred and polished so that a convex portion is formed on the surface thereof, but the height of the convex portion formed on the surface of the glass substrate is a conventional concave portion. Since the absolute amount becomes small compared with the depth amount, it does not impair the flatness of a glass substrate. Thereby, according to the film body for maintenance of this invention, the quality of the glass substrate after grinding | polishing can be improved.

본 발명은, 대형 유리 기판을 흡착 유지하는 유지용 막체를 대상으로 하고 있기 때문에, 청구항에서 설명하는 1매의 자기 흡착형 시트란, 대형 유리 기판에 대응할 수 있는 치수인 것이다. 또한, 복수매의 양면 접착 시트의 1매의 양면 접착 시트는 기존의 제조 설비에서 제조할 수 있는 최대 치수, 또는 그 치수보다 약간 작은 치수인 것이다. Since this invention aims at the holding | maintenance membrane body which adsorbs-holds a large glass substrate, one sheet | seat self-adsorption type described in a claim is a dimension which can respond to a large glass substrate. In addition, one double-sided adhesive sheet of a plurality of double-sided adhesive sheets is the largest dimension which can be manufactured by existing manufacturing equipment, or a dimension slightly smaller than the dimension.

본 발명은, 상기 목적을 달성하기 위해서, 자기 흡착형 시트가 양면 접착 시트를 개재해서 백 플레이트에 부착되어 구성됨과 함께, 상기 자기 흡착형 시트에 유리 기판이 흡착 유지되는 유리 기판 유지용 막체에 있어서, 상기 자기 흡착 시트 및 상기 양면 접착 시트가, 각각 동일면 내에 배치된 복수매의 상기 자기 흡착형 시트 및 상기 양면 접착 시트를 포함하고, 상기 복수매의 자기 흡착형 시트 및 양면 접착 시트는, 인접하는 자기 흡착형 시트 및 양면 접착 시트가 각각 소정의 간극을 두고 상기 백 플레이트에 부착되어 있는, 유리 기판 유지용 막체를 제공한다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to achieve the said objective, in this film | membrane for glass substrate holding | maintenance which a self-adsorption type sheet | seat adheres to a back plate via a double-sided adhesive sheet, and a glass substrate is adsorbed-held on the said self-adsorption type sheet | seat, And the self-adsorbing sheet and the double-sided adhesive sheet each include a plurality of the self-adsorbing sheet and the double-sided adhesive sheet disposed in the same plane, and the plurality of the self-adsorbing sheet and the double-sided adhesive sheet are adjacent to each other. A self-adsorbing sheet and a double-sided adhesive sheet are attached to the back plate with a predetermined gap, respectively, to provide a film substrate for holding a glass substrate.

본 발명에 따르면, 동일면 내에 배치되는 복수매의 자기 흡착형 시트를, 복수매의 자기 흡착형 시트마다 접착시킴과 함께 동일면 내에 배치되는 양면 접착 시트를 사용해서 백 플레이트에 접착시켜도 되고, 이때, 인접하는 자기 흡착형 시트 및 양면 접착 시트를 각각 소정의 간극을 두고 백 플레이트에 부착한다. 이러한 유지용 막체에 의해 유지되어 연마된 유리 기판은, 상기 간극이 전사되어서 연마됨으로써, 그의 표면에 볼록 형상부가 형성되지만, 유리 기판의 표면에 형성되는 볼록 형상부의 높이량은, 종래의 오목 형상부의 깊이량과 비교해서 그의 절대량이 작아지므로, 유리 기판의 평탄성을 손상시키는 것이 아니다. 이에 의해, 본 발명의 유지용 막체에 의하면, 연마 후의 유리 기판의 품질을 향상시킬 수 있다.According to the present invention, a plurality of self-adsorbing sheets disposed in the same plane may be bonded to each of the plurality of self-adsorbing sheets, and bonded to the back plate using a double-sided adhesive sheet disposed in the same plane. The self-adsorbing sheet and the double-sided adhesive sheet are attached to the back plate with a predetermined gap, respectively. In the glass substrate held and polished by such a holding film body, the gap is transferred and polished so that a convex portion is formed on the surface thereof, but the height of the convex portion formed on the surface of the glass substrate is a conventional concave portion. Since the absolute amount becomes small compared with the depth amount, it does not impair the flatness of a glass substrate. Thereby, according to the film body for maintenance of this invention, the quality of the glass substrate after grinding | polishing can be improved.

본 발명은, 상기 목적을 달성하기 위해서, 자기 흡착형 시트가 양면 접착 시트를 개재해서 백 플레이트에 부착되어 구성됨과 함께, 상기 자기 흡착형 시트에 유리 기판이 흡착 유지되는 유리 기판 유지용 막체에 있어서, 상기 양면 접착 시트가, 동일면 내에 배치된 복수매의 양면 접착 시트를 포함하고, 상기 복수매의 양면 접착 시트는, 인접하는 양면 접착 시트가 각각 소정의 간극을 두고 상기 자기 흡착형 시트 및 상기 백 플레이트에 부착되어 있는, 유리 기판 유지용 막체를 제공한다. MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to achieve the said objective, in this film | membrane for glass substrate holding | maintenance which a self-adsorption type sheet | seat adheres to a back plate via a double-sided adhesive sheet, and a glass substrate is adsorbed-held on the said self-adsorption type sheet | seat, And the double-sided adhesive sheet includes a plurality of double-sided adhesive sheets disposed in the same plane, and the plurality of double-sided adhesive sheets each include the self-adsorbing sheet and the bag with a predetermined gap between adjacent double-sided adhesive sheets. Provided is a film substrate for holding a glass substrate that is attached to a plate.

본 발명에 따르면, 동일면 내에 배치되는 복수매의 양면 접착 시트를 사용해서 1매의 자기 흡착형 시트를 백 플레이트에 접착시켜도 좋지만, 이때, 양면 접착 시트는 적어도 2매 겹쳐서 접착되어도 좋다. 그리고, 동일면 내의 복수매의 양면 접착 시트는 각각 소정의 간극을 두고 부착됨과 함께, 동일 평면 내의 양면 접착 시트 사이의 소정의 간극이, 양면 접착 시트의 적층 방향으로 인접하는 양면 접착 시트 사이의 소정의 간극과 양면 접착 시트의 적층 방향에 있어서 겹치지 않도록 부착된다. According to the present invention, one self-adsorbing sheet may be adhered to the back plate by using a plurality of double-sided adhesive sheets disposed in the same plane, but at this time, at least two double-sided adhesive sheets may be overlapped and bonded. The plurality of double-sided adhesive sheets in the same plane are attached to each other with a predetermined gap, and the predetermined gaps between the double-sided adhesive sheets in the same plane are predetermined between the double-sided adhesive sheets adjacent in the stacking direction of the double-sided adhesive sheets. It adheres so that it may not overlap in a lamination direction of a clearance gap and a double-sided adhesive sheet.

이러한 유지용 막체에 의해 유지되어 연마된 유리 기판은, 상기 간극이 전사되어 연마됨으로써, 그의 표면에 볼록 형상부가 형성되지만, 양면 접착 시트의 적층 방향으로 인접하는 상기 간극은 양면 접착 시트의 적층 방향으로 겹치지 않기 때문에(즉, 도면 상에서 상하 방향으로 겹치지 않고 좌 우측 방향으로 어긋나 있음), 간극에 의한 전사량을 억제할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따르면, 유리 기판의 표면에 형성되는 볼록 형상부의 높이를 낮게 억제할 수 있으므로, 연마 후의 유리 기판의 품질이 더욱 한층 향상된다. In the glass substrate held and polished by such a holding film body, the gap is transferred and polished so that a convex portion is formed on the surface thereof, but the gap adjacent in the stacking direction of the double-sided adhesive sheet is in the stacking direction of the double-sided adhesive sheet. Since they do not overlap (that is, they shift in the left-right direction without overlapping in the vertical direction on the drawing), the transfer amount due to the gap can be suppressed. Therefore, according to this invention, since the height of the convex-shaped part formed in the surface of a glass substrate can be suppressed low, the quality of the glass substrate after grinding | polishing further improves.

본 발명에 따르면, 상기 소정의 간극은 0.5mm±0.5mm로 설정되는 것이 바람직하다. 즉, 본 발명에서 말하는 소정의 간극은 0mm를 포함하고, 0 내지 1.0mm가 바람직하다. 간극이 0mm인 경우에는, 연마 후의 유리 기판에의 전사에 의한 오목 형상부, 볼록 형상부가 발생하지 않고, 또한, 간극이 1.0mm 이하이면, 유리 기판에의 전사에 의해 형성된 볼록 형상부는 디스플레이용 유리 기판의 품질에 영향을 주지 않으므로 바람직하다. According to the present invention, the predetermined gap is preferably set to 0.5 mm ± 0.5 mm. That is, the predetermined gap referred to in the present invention includes 0 mm, and preferably 0 to 1.0 mm. In the case where the gap is 0 mm, the concave portion and the convex portion due to transfer to the glass substrate after polishing do not occur, and when the gap is 1.0 mm or less, the convex portion formed by the transfer to the glass substrate is glass for display. It is preferable because it does not affect the quality of the substrate.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 유리 기판의 크기는 3130(mm)×2880(mm) 이상인 것이 바람직하다. 즉, 본 발명의 유지용 막체는 G10 크기라고 칭해지는 크기 이상의 크기의 유리 기판을 유지하여, 그 유리 기판을 연마할 수 있다. In addition, according to the present invention, the size of the glass substrate is preferably 3130 (mm) × 2880 (mm) or more. That is, the holding film body of this invention can hold | maintain the glass substrate of the magnitude | size more than called G10 size, and can grind | polish the glass substrate.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 유지용 막체의 크기는 3200(mm)×3000(mm) 이상인 것이 바람직하다. 상술한 G10 크기 이상의 유리 기판을 유지하기 위해서는, 3200(mm)×3000(mm) 이상의 크기를 갖는 유지용 막체를 사용하는 것이 바람직하다.Further, according to the present invention, the size of the holding membrane is preferably 3200 (mm) x 3000 (mm) or more. In order to hold the glass substrate of G10 size or more mentioned above, it is preferable to use the membrane film for holding | maintenance which has a size of 3200 (mm) x 3000 (mm) or more.

본 발명은, 상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 유리 기판 유지용 막체에 의해 유리 기판을 흡착 유지하고, 상기 유리 기판의 피연마면을 연마 패드에 가압하며, 유리 기판의 피연마면을 필요한 평탄도로 연마하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 연마 방법을 제공한다. In order to achieve the above object, the present invention adsorbs and holds a glass substrate by the glass substrate holding film body of the present invention, presses the surface to be polished on the polishing pad, and the surface to be polished of the glass substrate is required. A polishing method of a glass substrate is provided, which is polished to a flatness.

이에 의해, 본 발명에 따르면, 연마 후의 유리 기판의 품질을 향상시킬 수 있다.Thereby, according to this invention, the quality of the glass substrate after grinding | polishing can be improved.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 동일면 내에 배치된 복수매의 양면 접착 시트의 인접하는 양면 접착 시트를, 각각 소정의 간극을 두고 백 플레이트에 부착함으로써, 연마 후의 유리 기판의 품질을 향상시킬 수 있다.As described above, according to the present invention, the quality of the glass substrate after polishing can be improved by attaching adjacent double-sided adhesive sheets of a plurality of double-sided adhesive sheets arranged in the same plane to the back plate with a predetermined gap, respectively. .

도 1은 실시 형태의 유리 기판 유지용 막체가 적용된 유리 기판의 연마 장치의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시한 연마 장치의 주요부 구조를 도시한 확대 단면도이다.
도 3은 제1 실시 형태의 유지용 막체의 사시도이다.
도 4는 도 3에 도시한 유지용 막체의 단면도이다.
도 5는 도 3에 도시한 유지용 막체에 유리 기판이 흡착 유지된 단면도이다.
도 6의 (A)는 간극을 두고 접착한 2매의 양면 접착 시트에 의해 자기 흡착형 시트를 백 플레이트에 접착한 단면도이고, 도 6의 (B)는 유리 기판의 표면에 형성된 볼록 형상부의 설명도이다.
도 7은 제2 실시 형태의 유지용 막체의 단면도이다.
도 8은 제3 실시 형태의 유지용 막체의 단면도이다.
도 9의 (A)는 2매의 양면 접착 시트의 단부를 겹쳐서 자기 흡착형 시트를 백 플레이트에 접착한 단면도이고, 도 9의 (B)는 유리 기판의 표면에 형성된 오목 형상부의 설명도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a perspective view of the grinding | polishing apparatus of the glass substrate to which the film body for glass substrate maintenance of embodiment was applied.
FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view showing the main part structure of the polishing apparatus shown in FIG. 1.
3 is a perspective view of a membrane for holding of the first embodiment.
4 is a cross-sectional view of the holding membrane body shown in FIG. 3.
FIG. 5 is a cross-sectional view in which the glass substrate is adsorbed and held on the holding membrane body shown in FIG. 3. FIG.
FIG. 6A is a cross-sectional view of the self-adsorbing sheet bonded to the back plate by two double-sided adhesive sheets bonded with a gap, and FIG. 6B is a description of the convex portion formed on the surface of the glass substrate. It is also.
7 is a cross-sectional view of the retaining membrane body according to the second embodiment.
8 is a cross-sectional view of the retaining membrane body according to the third embodiment.
FIG. 9A is a cross-sectional view of a self-adsorbing sheet bonded to a back plate by overlapping ends of two double-sided adhesive sheets, and FIG. 9B is an explanatory view of a concave portion formed on the surface of a glass substrate.

이하, 첨부 도면에 따라 본 발명에 관한 유리 기판 유지용 막체 및 유리 기판의 연마 방법의 바람직한 실시 형태에 대해서 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, preferred embodiment of the glass substrate holding film body and the grinding | polishing method of a glass substrate which concern on this invention is demonstrated according to an accompanying drawing.

도 1은 실시 형태의 유리 기판 유지용 막체가 적용된 유리 기판의 연마 장치(10)의 사시도를 도시하고 있다. 또한, 도 2에는, 연마 장치(10)의 주요부 구조를 도시한 확대 단면도를 도시하고 있다.FIG. 1: shows the perspective view of the grinding | polishing apparatus 10 of the glass substrate to which the film substance for glass substrate maintenance of embodiment was applied. 2, the expanded sectional view which shows the principal part structure of the grinding | polishing apparatus 10 is shown.

이 연마 장치(10)는 직사각 형상으로 제조된 마더 유리 기판[예를 들어, 1변이 3130mm×2880mm(G10 크기) 이상, 두께 0.7mm](G)의 피연마면(A)을 액정 디스플레이용 유리 기판에 필요한 평탄도로 연마하는 연마 장치이고, 그의 구성은 유리 기판(G)을 실시 형태의 유지용 막체(12)를 개재해서 그의 하면에 유지하는 연마 헤드(14)와, 알루미늄제의 플레이트(16)를 개재해서 연마 패드(18)를 그의 상면에서 유지하는 연마 테이블(20)로 구성되어 있다. 마더 유리 기판(이하, 유리 기판이라고 함)(G)은 자기 흡착 작용이 있는 배킹재 등으로 이루어진 유지용 막체(12)에 유지됨과 함께, 연마 헤드(14)에 의해 피연마면(A)이 연마 패드(18)에 가압됨으로써, 피연마면(A)이 필요한 평탄도로 연마된다. 유지용 막체(12)는 상기 크기의 대형 유리 기판(G)을 흡착 유지하기 위해서, 3200(mm)×3000(mm) 이상의 크기를 갖는 것이 바람직하다. 또한, 유지용 막체(12)의 상세 구조에 대해서는 후술한다.This polishing apparatus 10 is a glass substrate for a liquid crystal display on a surface A of a mother glass substrate (eg, one side of 3130 mm × 2880 mm (G10 size) or larger and 0.7 mm thick) (G) manufactured in a rectangular shape. A polishing apparatus for polishing the substrate to the required flatness, the configuration of which comprises a polishing head 14 for holding the glass substrate G on its lower surface via the holding film body 12 of the embodiment, and an aluminum plate 16. ) And a polishing table 20 for holding the polishing pad 18 on its upper surface via the? The mother glass substrate (hereinafter referred to as glass substrate) G is held on the holding film body 12 made of a backing material or the like having a self-adsorption action, and the surface to be polished A is polished by the polishing head 14. By being pressed against the polishing pad 18, the surface to be polished A is polished to the required flatness. The holding film body 12 preferably has a size of 3200 (mm) x 3000 (mm) or more in order to adsorb and hold the large glass substrate G of the above size. In addition, the detailed structure of the holding film body 12 is mentioned later.

연마 중에는 도 2에 도시한 바와 같이, 연마 테이블(20)과 플레이트(16)에 관통 형성된 다수의 슬러리 공급 구멍(22, 22…)으로부터 산화세륨 수용액 등의 연마 슬러리가 연마 패드(18)의 하면측으로부터 공급된다. 이에 의해, 연마 패드(18)가 연마 슬러리에 의해 침지된 상태로 되고, 이 상태에서 유리 기판(G)이 연마된다. 슬러리 공급 구멍(22, 22…)은 연마 테이블(20)과 플레이트(16)에 있어서 촘촘하고 또한 균일하게 형성되어 있기 때문에, 연마 패드(18)에 연마 슬러리가 균일하게 공급된다. 또한, 연마 패드(18)로서는, 예를 들어 발포 폴리우레탄 타입이나 스웨이드 타입이 사용되고, 플레이트(16)에 접착되어 있다. 또한, 연마 패드(18)는 1매인 것도 좋지만, 유리 기판(G)의 크기에 대응해서 그 크기도 크기 때문에, 복수매의 분할 패드를 조합해서 1매의 연마 패드(18)로 할 수도 있다. 또한, 연마 테이블(20)에는 다수의 흡인 구멍(24, 24…)이 관통 형성되어 있고, 이들 흡인 구멍(24, 24…)은 도시하지 않은 석션 펌프에 밸브를 개재해서 접속되어 있다. 따라서, 상기 밸브를 개방함으로써, 석션 펌프의 흡인력이 흡인 구멍(24, 24…)에 전달되므로, 플레이트(16)가 연마 테이블(20)의 상면에 흡착 유지된다. 또한, 상기 밸브를 폐쇄함으로써, 석션 펌프의 흡인력이 해제되므로, 연마 패드(18)의 유지 보수, 교환 시에 연마 테이블(20)로부터 연마 패드(18)를 플레이트(16)와 함께 제거할 수 있다.During polishing, as shown in FIG. 2, a polishing slurry such as an aqueous cerium oxide solution is formed on the lower surface of the polishing pad 18 from a plurality of slurry supply holes 22, 22..., Formed through the polishing table 20 and the plate 16. It is supplied from the side. As a result, the polishing pad 18 is immersed by the polishing slurry, and the glass substrate G is polished in this state. Since the slurry supply holes 22, 22... Are dense and uniformly formed in the polishing table 20 and the plate 16, the polishing slurry is uniformly supplied to the polishing pad 18. As the polishing pad 18, for example, a foamed polyurethane type or a suede type is used and adhered to the plate 16. In addition, although the polishing pad 18 may be one sheet, since the magnitude | size is also large corresponding to the magnitude | size of the glass substrate G, you may make one polishing pad 18 combining several division pads. In addition, a plurality of suction holes 24, 24... Are formed through the polishing table 20, and these suction holes 24, 24... Are connected to a suction pump (not shown) via a valve. Therefore, by opening the valve, the suction force of the suction pump is transmitted to the suction holes 24, 24..., So that the plate 16 is adsorbed and held on the upper surface of the polishing table 20. In addition, since the suction force of the suction pump is released by closing the valve, it is possible to remove the polishing pad 18 together with the plate 16 from the polishing table 20 during maintenance and replacement of the polishing pad 18. .

도 1에 도시한 바와 같이, 연마 헤드(14)의 상부 중앙에는 스핀들(26)이 고정되고, 이 스핀들(26)에는 회전/승강 장치(28)가 연결되어 있다. 회전/승강 장치(28)는 연마 장치(10) 전체를 통괄 제어하는 제어부(30)에 의해, 유리 기판(G)의 연마에 적합한 회전수 및 하강 동작(가압력)으로 제어되고 있다.As shown in FIG. 1, the spindle 26 is fixed to the upper center of the polishing head 14, and the rotation / elevating device 28 is connected to the spindle 26. The rotation / elevation device 28 is controlled by the control part 30 which collectively controls the whole polishing apparatus 10 by the rotation speed suitable for grinding | polishing of the glass substrate G, and a lowering operation (pressure force).

도 3에는 제1 실시 형태의 유지용 막체(12)의 사시도가 도시되고, 도 4에는, 유지용 막체(12)의 단면도가 도시되어 있다. 또한, 도 5에는, 유지용 막체(12)에 유리 기판(G)이 흡착 유지된 단면도가 도시되어 있다. 또한, 도 3의 유지용 막체(12)는 상하가 반대인 것까지 도시되어 있다. 3, the perspective view of the holding film body 12 of 1st Embodiment is shown, and sectional drawing of the holding film body 12 is shown in FIG. 5 is sectional drawing in which the glass substrate G was adsorbed-held by the holding film body 12. As shown in FIG. In addition, the holding | maintenance membrane body 12 of FIG. 3 is shown to the up and down opposite.

이들 도면에 도시한 바와 같이, 유지용 막체(12)는 1매의 자기 흡착형 시트(32)가 동일면 내에 배치된 2매의 양면 접착 시트(34, 34)를 개재해서 알루미늄제의 백 플레이트(36)에 부착되어 구성됨과 함께, 도 5에 도시한 바와 같이 자기 흡착형 시트(32)에 유리 기판(G)이 흡착 유지된다. 또한, 도 3 내지 도 5에는, 1매의 자기 흡착형 시트(32)를 2매의 양면 접착 시트(34, 34)를 사용해서 백 플레이트(36)에 접착한 유지용 막체(12)를 예시했지만, 1매의 자기 흡착형 시트(32)를 동일면 내에 배치된 3매 이상의 양면 접착 시트(34, 34)를 사용해서 백 플레이트(36)에 접착한 유지용 막체(12)라도 좋다.As shown in these figures, the holding film body 12 is made of an aluminum back plate via two double-sided adhesive sheets 34 and 34 in which one self-adsorbing sheet 32 is disposed in the same plane. It is attached to the structure 36, and as shown in FIG. 5, the glass substrate G is adsorbed-held by the self-adsorption type sheet 32. 3 to 5 illustrate the retaining membrane body 12 in which one magnetic adsorption sheet 32 is bonded to the back plate 36 using two double-sided adhesive sheets 34 and 34. However, the retaining membrane body 12 in which one sheet of self-adsorbing sheet 32 is bonded to the back plate 36 using three or more double-sided adhesive sheets 34 and 34 arranged in the same plane may be used.

자기 흡착형 시트(32)는, 특허문헌 2에 개시되어 있는 바와 같은 폴리우레탄 수지로 형성된 폴리우레탄 시트이며, 그의 두께는 약 0.8mm이다. 이 폴리우레탄 시트는, 그의 표면층에 미세한 다공이 형성되고, 표면층에 물 등의 액체를 포함시킴으로써, 표면층의 미세한 다공에 침입한 액체의 표면 장력에 의해 유리 기판(G)을 흡착 유지할 수 있다. 또한, 양면 접착 시트(34)는 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET) 등의 기재(38)의 양면에 접착제(40, 40)가 도포됨으로써 구성되고, 그의 두께는 약 0.2mm이다.The self-adsorption type sheet 32 is a polyurethane sheet formed from a polyurethane resin as disclosed in Patent Document 2, and the thickness thereof is about 0.8 mm. This polyurethane sheet can adsorb | stain and hold | maintain glass substrate G by the surface tension of the liquid which penetrated the fine pore of a surface layer by forming fine porosity in the surface layer, and including liquid, such as water, in a surface layer. In addition, the double-sided adhesive sheet 34 is comprised by apply | coating adhesive agents 40 and 40 to both surfaces of the base material 38, such as polyethylene terephthalate (PET), and the thickness is about 0.2 mm.

도 3 내지 도 5에 도시하는 유지용 막체(12)에서는, 1매의 자기 흡착형 시트(32)에 동일면 내에 배치된 양면 접착 시트(34, 34)가 2매 사용되고, 2매의 양면 접착 시트(34, 34)는 소정의 간극(s)을 두고 자기 흡착형 시트(32) 및 백 플레이트(36)에 부착되어 있다.In the holding film body 12 shown in FIGS. 3-5, two double-sided adhesive sheets 34 and 34 arrange | positioned in the same plane to one sheet | seat self-adsorption | suction type | mold 32 are used, and two double-sided adhesive sheets 34 and 34 are attached to the self-adsorbing sheet 32 and the back plate 36 with a predetermined gap s.

이렇게 구성된 유지용 막체(12)에 의하면, 2매의 양면 접착 시트(34, 34)를 사용해서 1매의 자기 흡착형 시트(32)를 백 플레이트(36)에 접착시키지만, 이때, 양면 접착 시트(34, 34)를 소정의 간극(s)을 두고 자기 흡착형 시트(32) 및 백 플레이트(36)에 부착한다.According to the holding | maintenance membrane body 12 comprised in this way, although the self-adsorbing sheet | seat 32 is adhere | attached to the back plate 36 using two double-sided adhesive sheets 34 and 34, at this time, a double-sided adhesive sheet 34 and 34 are attached to the self-adsorbing sheet 32 and the back plate 36 with a predetermined gap s.

이러한 유지용 막체(12)에 의해 유지되어 연마된 유리 기판(G)은, 도 6의 (A)에 도시한 바와 같이, 간극(s)에 위치하는 자기 흡착형 시트(32)의 일부분(32a)이 연마 시의 가압력 등에 의해 간극(s)에 인입되기 때문에, 그 간극(s)에 대응하는 자기 흡착형 시트(32)의 흡착면에 오목 형상부(32b)가 발생한다. 따라서, 그 오목 형상부(32b)에 흡착 유지되어 있는 유리 기판(G)의 일부분(G1)이 볼록 형상으로 되어 변형되고, 이것이 유리 기판(G)의 피연마면에 오목 형상부(5)로 되어 전사된다. 오목 형상부(5)가 전사된 상태에서 유리 기판(G)을 연마하면, 그 오목 형상부(5)가 연마되지 않기 때문에, 연마 후의 유리 기판(G)은 이 오목 형상부(5)로 된 부분이 도 6의 (B)에 도시한 바와 같이 반대로 볼록 형상부(5A)가 되어 나타난다. 그러나, 유리 기판(G)의 표면에 형성되는 볼록 형상부(5A)의 높이량(a)은, 도 9에 도시한 종래의 오목 형상부(4A)의 깊이량(b)과 비교해서 그의 절대량이 작아지므로, 유리 기판(G)의 평탄성을 손상시키는 것은 아니다. The glass substrate G held and polished by this holding film body 12 is a part 32a of the self-adsorption type sheet 32 located in the clearance gap s, as shown to FIG. 6 (A). ) Is introduced into the gap s by the pressing force during polishing, etc., so that the concave portion 32b is generated on the adsorption surface of the self-adsorption type sheet 32 corresponding to the gap s. Therefore, the part G1 of glass substrate G adsorbed-held by the recessed part 32b becomes convex, and deform | transforms, and this is made into the recessed part 5 in the to-be-polished surface of glass substrate G. As shown in FIG. Is transferred. When the glass substrate G is polished in the state where the concave portion 5 is transferred, the concave portion 5 is not polished, so that the glass substrate G after polishing becomes the concave portion 5. As shown in FIG. 6 (B), the part is shown as being convex 5A. However, the height amount a of the convex portion 5A formed on the surface of the glass substrate G is its absolute amount as compared with the depth amount b of the conventional concave portion 4A shown in FIG. 9. Since this becomes small, the flatness of the glass substrate G is not impaired.

이에 의해, 제1 실시 형태의 유지용 막체(12)에 의하면, 연마 후의 유리 기판(G)의 품질을 향상시킬 수 있다.Thereby, according to the film body 12 for holding of 1st Embodiment, the quality of the glass substrate G after grinding | polishing can be improved.

또한, 유지용 막체(12)의 백 플레이트(36)에는, 도 5에 도시한 바와 같이 도넛 형상의 탄성 시트재(42)가 설치되고, 이 탄성 시트재(42)의 외주에는 복수의 걸림 부재(44, 44)가 고정되어 있다. 유지용 막체(12)는 탄성 시트재(42)를 장설해서 이들 걸림 부재(44, 44)를 도 1의 연마 헤드(14)의 훅부(도시하지 않음)에 결합시킴으로써 연마 헤드(14)에 장착된다.Moreover, as shown in FIG. 5, the donut-shaped elastic sheet material 42 is provided in the back plate 36 of the holding | maintenance membrane body 12, and the several engaging member is formed in the outer periphery of this elastic sheet material 42. FIG. (44, 44) are fixed. The retaining membrane body 12 is mounted on the polishing head 14 by installing an elastic sheet material 42 and coupling the engaging members 44 and 44 to the hook portions (not shown) of the polishing head 14 of FIG. 1. do.

도 7에는, 제2 실시 형태의 유지용 막체(112)의 단면도가 도시되어 있고, 도 3에 도시한 유지용 막체(12)와 동일 유사한 부재에 대해서는 동일한 부호를 부여해서 설명한다.FIG. 7 is a cross-sectional view of the retaining membrane body 112 of the second embodiment, and members similar to those of the retaining membrane body 12 shown in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals.

유지용 막체(112)는, 자기 흡착형 시트(32A, 32A) 및 양면 접착 시트(34, 34)가 각각 동일면 내에 배치됨과 함께 각각 2매 사용되고, 또한 각각 2매의 자기 흡착형 시트(32A, 32A) 및 양면 접착 시트(34, 34)가 소정의 간극(s)을 두고 백 플레이트(36)에 부착되어 있다. 또한, 도 7에는, 각각 2매의 자기 흡착형 시트(32A, 32A)와 양면 접착 시트(34, 34)를 백 플레이트(36)에 접착한 유지용 막체(112)를 예시했지만, 각각 3매 이상의 자기 흡착형 시트(32A, 32A)와 양면 접착 시트(34, 34)를 백 플레이트(36)에 접착한 유지용 막체(112)라도 좋다.The retaining membrane body 112 is used by the magnetic adsorption-type sheets 32A and 32A and the double-sided adhesive sheets 34 and 34 respectively arranged in the same plane, and is used in two sheets, respectively. 32A) and double-sided adhesive sheets 34 and 34 are attached to the back plate 36 with a predetermined gap s. In addition, although the retaining membrane body 112 which adhere | attached two self-adsorption type sheets 32A and 32A and the double-sided adhesive sheets 34 and 34 to the back plate 36 was shown in FIG. The retaining membrane body 112 which adhered the above-mentioned self-adsorption type sheets 32A and 32A and the double-sided adhesive sheets 34 and 34 to the back plate 36 may be sufficient.

이렇게 구성된 유지용 막체(112)에 의하면, 2매의 자기 흡착형 시트(32A, 32A)를, 2매의 자기 흡착형 시트(32A, 32A)마다 접착된 양면 접착 시트(34, 34)를 사용해서 백 플레이트(36)에 접착시키지만, 이때, 자기 흡착형 시트(32A, 32A) 및 양면 접착 시트(34, 34)를 소정의 간극(s)을 두고 백 플레이트(36)에 부착한다.According to the holding membrane body 112 thus constructed, two self-adhesive sheets 32A and 32A are used, and double-sided adhesive sheets 34 and 34 bonded to each of the two self-adsorbing sheets 32A and 32A. Although it adhere | attaches to the back plate 36, at this time, the self-adsorption type sheets 32A and 32A and the double-sided adhesive sheets 34 and 34 are attached to the back plate 36 with a predetermined clearance s.

이러한 유지용 막체(112)에 의해 유지되어 연마된 유리 기판(G)은, 도 6의 (A), 도 6의 (B)에 도시한 바와 같이, 간극(s)이 전사되어 연마됨으로써, 그의 표면에 볼록 형상부(5A)가 형성되지만, 볼록 형상부(5A)의 높이량(a)은, 도 9의 (B)에 도시한 오목 형상부(4A)의 깊이량(b)과 비교해서 그의 절대량이 작아지므로, 유리 기판(G)의 평탄성을 손상시키는 것은 아니다.As shown in FIGS. 6A and 6B, the glass substrate G held and polished by the holding film body 112 is transferred and polished by the gap s. Although the convex part 5A is formed in the surface, the height amount a of the convex part 5A is compared with the depth amount b of the concave part 4A shown in FIG. Since the absolute amount becomes small, it does not impair the flatness of glass substrate G.

이에 의해, 제2 실시 형태의 유지용 막체(112)에 의하면, 연마 후의 유리 기판(G)의 품질을 향상시킬 수 있다.Thereby, according to the holding film body 112 of 2nd Embodiment, the quality of the glass substrate G after grinding | polishing can be improved.

또한, 간극(s)의 형성 방향은, 유리 기판(G)의 기초가 되는 판 유리를 제조하는 플로트 제조 장치에 의한 유리 리본의 인출 방향과 동일하게 하는 것이 바람직하다. 즉, 간극(s)에 의해 유리 기판(G)에 발생하는 오목 형상 홈의 방향을, 유리 리본의 인출에 의해 발생하는, 판 유리의 표면에 발생하는 줄무늬의 방향과 동일하게 함으로써, 볼록 형상 홈이 두드러지지 않게 되므로 바람직하다.Moreover, it is preferable to make the formation direction of the clearance gap s the same as the drawing direction of the glass ribbon by the float manufacturing apparatus which manufactures the plate glass used as the base of glass substrate G. That is, the convex groove is made by making the direction of the concave groove which generate | occur | produces in the glass substrate G by the clearance gap s the same as the direction of the stripe which arises on the surface of plate glass which arises by drawing out of a glass ribbon. This is preferable because it becomes inconspicuous.

또한, 소정의 간극(s)은 0.5mm±0.5mm로 설정되는 것이 바람직하다. 즉, 실시예에서 규정하는 소정의 간극(s)은 0mm를 포함하고, 0 내지 1.0mm가 바람직하다. 간극이 0mm인 경우에는, 연마 후의 유리 기판(G)에 전사에 의한 오목 형상부(4A), 볼록 형상부(5A)가 발생하지 않고, 또한, 간극이 1.0mm 이하이면, 유리 기판(G)에 전사에 의해 형성된 볼록 형상부(5A)는 디스플레이용 유리 기판(G)의 품질에 영향을 주지 않는다.In addition, the predetermined gap s is preferably set to 0.5 mm ± 0.5 mm. That is, the predetermined gap s defined in the embodiment includes 0 mm, and preferably 0 to 1.0 mm. In the case where the gap is 0 mm, the concave portion 4A and the convex portion 5A due to transfer do not occur in the glass substrate G after polishing, and the glass substrate G is present if the gap is 1.0 mm or less. The convex-shaped part 5A formed by transfer is not affecting the quality of the glass substrate G for a display.

도 8에는, 제3 실시 형태의 유지용 막체(212)의 단면도가 도시되어 있고, 도 3에 도시한 유지용 막체(12)와 동일 유사한 부재에 대해서는 동일한 부호를 부여해서 설명한다.FIG. 8 is a cross-sectional view of the holding membrane body 212 of the third embodiment, and members similar to those of the holding membrane body 12 shown in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals.

유지용 막체(212)는 1매의 자기 흡착형 시트(32)에 양면 접착 시트(34A, 34A, 34B, 34B)가 2매 겹쳐 접착되어 있다. 또한, 자기 흡착형 시트(32)에 직접 부착된 동일면 내의 양면 접착 시트(34A, 34A)는 소정의 간극(s1)을 두고 부착되고, 이들 양면 접착 시트(34A, 34A)에 부착된 동일면 내의 양면 접착 시트(34B, 34B)도 마찬가지로 소정의 간극(s2)을 두고 부착되어 있다. 또한, 2매 겹쳐서 접착된 각각의 양면 접착 시트(34A, 34A, 34B, 34B) 간의 간극(s1, s2)이 양면 접착 시트의 적층 방향으로 겹치지 않도록(즉, 도면 상에 있어서 상하 방향으로 겹치지 않고 좌우 방향으로 어긋남), 양면 접착 시트(34A, 34A, 34B, 34B)가 접착되어 있다. As for the holding | maintenance membrane body 212, two sheets of double-sided adhesive sheets 34A, 34A, 34B, and 34B overlap and adhere | attach on the one sheet | seat self-adsorption sheet | seat 32. In addition, the double-sided adhesive sheets 34A and 34A in the same plane directly attached to the self-adsorbing sheet 32 are attached with a predetermined gap s1, and both sides in the same plane attached to these double-sided adhesive sheets 34A and 34A. Similarly, the adhesive sheets 34B and 34B are attached with a predetermined gap s2. In addition, the gaps s1 and s2 between the two-sided adhesive sheets 34A, 34A, 34B, and 34B that are bonded in two sheets are not overlapped in the stacking direction of the double-sided adhesive sheets (that is, they do not overlap in the vertical direction on the drawing). Shift | deviating to the left-right direction) and the double-sided adhesive sheets 34A, 34A, 34B, 34B are adhere | attached.

또한, 실시 형태의 유지용 막체(212)에서는, 4매의 양면 접착 시트(34A, 34A, 34B, 34B)를 사용하고, 이들 양면 접착 시트(34A, 34A, 34B, 34B)를 2매 겹쳐서 배치한 예를 나타내고 있지만, 양면 접착 시트를 6매 이상 사용해서 3매 겹침 이상으로 배치한 유지용 막체라도 좋다.In the holding membrane body 212 of the embodiment, four double-sided adhesive sheets 34A, 34A, 34B, and 34B are used, and two double-sided adhesive sheets 34A, 34A, 34B, and 34B are arranged in a stack. Although one example is shown, the holding | maintenance membrane body arrange | positioned in three or more stacks using 6 or more double-sided adhesive sheets may be sufficient.

이렇게 구성된 유지용 막체(212)에 의하면, 4매의 양면 접착 시트(34A, 34A, 34B, 34B)를 사용해서 1매의 자기 흡착형 시트(32)를 백 플레이트(36)에 접착시키지만, 이때, 양면 접착 시트(34A, 34A, 34B, 34B)는 적어도 2매 겹쳐 접착되고, 그리고, 양면 접착 시트(34A, 34A)는 소정의 간극(s1)을 두고 부착되며, 이들 양면 접착 시트(34A, 34A)에 부착된 동일면 내의 양면 접착 시트(34B, 34B)도 마찬가지로 소정의 간극(s2)을 두고 백 플레이트(36)에 부착됨과 함께, 2매 겹쳐서 접착된 각각의 양면 접착 시트(34A, 34A, 34B, 34B) 간의 간극(s1, s2)이 양면 접착 시트의 적층 방향으로 겹치지 않도록(즉, 도면 상에 있어서 상하 방향으로 겹치지 않고 좌우 방향으로 어긋남) 부착된다.According to the holding membrane body 212 configured in this way, the four self-adhesive sheets 32 are bonded to the back plate 36 by using four double-sided adhesive sheets 34A, 34A, 34B, and 34B. At least two sheets of double-sided adhesive sheets 34A, 34A, 34B, and 34B are bonded together, and the double-sided adhesive sheets 34A, 34A are attached to each other with a predetermined gap s1. The double-sided adhesive sheets 34B, 34B in the same plane attached to 34A are similarly attached to the back plate 36 with a predetermined gap s2, and each of the double-sided adhesive sheets 34A, 34A, The gaps s1 and s2 between 34B and 34B are attached so as not to overlap each other in the lamination direction of the double-sided adhesive sheet (that is, they do not overlap in the up-down direction on the drawings and are shifted in the left-right direction).

이러한 유지용 막체(212)에 의해 유지되어 연마된 유리 기판(G)은, 간극(s1, s2)이 전사되어서 연마됨으로써, 그의 표면에 2개의 볼록 형상부(5A, 5A)(도6 참조)가 형성되지만, 2개의 간극(s1, s2)은 양면 접착 시트의 적층 방향으로 겹치지 않기 때문에(즉, 도면 상에 있어서 상하 방향으로 겹치지 않고, 좌우측 방향으로 어긋나 있음), 간극(s1, s2)에 의한 전사량을 억제할 수 있다. 즉, 양면 접착 시트(34A, 34A)의 간극(s1)의 하방에는, 이 간극(s1)에 의한 자기 흡착형 시트(32)의 변형을 보강하기 위해, 도면 중 우측의 양면 접착 시트(34B)가 간극(s1)을 막도록 배치되어 있기 때문이고, 또한, 양면 접착 시트(34B, 34B)의 간극(s2)의 상방에는,이 간극(s2)에 의한 자기 흡착형 시트(32)의 변형을 보강하기 위해, 도면 중 좌측의 양면 접착 시트(34A)가 간극(s2)을 막도록 배치되어 있기 때문이다.The glass substrate G held and polished by such a holding film body 212 has two convex portions 5A and 5A on its surface (see FIG. 6) as the gaps s1 and s2 are transferred and polished. Is formed, but since the two gaps s1 and s2 do not overlap in the stacking direction of the double-sided adhesive sheet (that is, do not overlap in the vertical direction on the drawing, and are shifted in the left and right directions), the gaps s1 and s2 The amount of transfer due to this can be suppressed. That is, in order to reinforce the deformation | transformation of the self-adsorption type sheet 32 by this clearance gap s1 below the clearance gap s1 of double-sided adhesive sheets 34A and 34A, the double-sided adhesive sheet 34B of the right side in the figure is carried out. Is disposed so as to close the gap s1, and further, the upper side of the gap s2 of the double-sided adhesive sheets 34B and 34B is deformed in the self-adsorbing sheet 32 due to the gap s2. This is because the double-sided adhesive sheet 34A on the left side of the figure is disposed to reinforce the gap s2 for reinforcement.

따라서, 실시 형태의 유지용 막체(212)에 의하면, 유리 기판(G)의 표면에 형성되는 볼록 형상부(5A)(도6 참조)의 높이를 낮게 억제할 수 있으므로, 연마 후의 유리 기판(G)의 품질이 더욱 한층 향상된다. Therefore, according to the holding film body 212 of embodiment, since the height of the convex part 5A (refer FIG. 6) formed in the surface of the glass substrate G can be suppressed low, the glass substrate G after grinding | polishing ) Quality is further improved.

또한, 간극(s1, s2)은 도 3의 간극(s)과 동일한 것이 바람직하다. 또한, 간극(s1, s2)의 형성 방향은, 유리 기판(G)의 기초가 되는 판 유리를 제조하는 플로트 제조 장치에 의한 유리 리본의 인출 방향과 동일하게 하는 것이 바람직하다.In addition, the gaps s1 and s2 are preferably the same as the gap s of FIG. 3. Moreover, it is preferable to make the formation direction of clearance gap s1, s2 the same as the drawing direction of the glass ribbon by the float manufacturing apparatus which manufactures the plate glass used as the base of glass substrate G.

1: 자기 흡착형 시트
2: 양면 접착 시트
3: 백 플레이트
4: 볼록 형상부
4A: 오목 형상부
5: 오목 형상부
5A: 볼록 형상부
10: 연마 장치
12, 112, 212: 유지용 막체
14: 연마 헤드
16: 플레이트
18: 연마 패드
20: 연마 테이블
22: 슬러리 공급 구멍
24: 흡인 구멍
26: 스핀들
28: 회전/승강 장치
30: 제어부
32: 자기 흡착형 시트
34, 34A, 34B: 양면 접착 시트
36: 백 플레이트
38: 기재
40: 접착제
42: 탄성 시트재
44: 걸림 부재
G: 유리 기판1: magnetic adsorption sheet
2: double sided adhesive sheet
3: back plate
4: convex shape
4A: concave
5: concave
5A: convex
10: polishing device
12, 112, 212: retaining membrane
14: polishing head
16: plate
18: polishing pad
20: polishing table
22: slurry feed hole
24: suction hole
26: spindle
28: rotary device
30:
32: magnetic adsorption sheet
34, 34A, 34B: double sided adhesive sheet
36: back plate
38: description
40: adhesive
42: elastic sheet material
44: locking member
G: glass substrate

Claims (7)

자기 흡착형 시트가 양면 접착 시트를 개재해서 백 플레이트에 부착되어 구성됨과 함께, 상기 자기 흡착형 시트에 유리 기판이 흡착 유지되는 유리 기판 유지용 막체에 있어서,
상기 양면 접착 시트가, 동일면 내에 배치된 복수매의 양면 접착 시트를 포함하고, 상기 복수매의 양면 접착 시트는, 인접하는 양면 접착 시트가 각각 소정의 간극을 두고 상기 자기 흡착형 시트 및 상기 백 플레이트에 부착되어 있는, 유리 기판 유지용 막체.In the film body for glass substrate holding | maintenance by which the magnetic adsorption | suction type sheet | seat is attached to a back plate via the double-sided adhesive sheet, and a glass substrate is adsorb | sucked and hold | maintained on the said self-sorption type sheet | seat,
The double-sided adhesive sheet includes a plurality of double-sided adhesive sheets disposed in the same plane, and the plurality of double-sided adhesive sheets include the self-adsorbing sheet and the back plate, with adjacent double-sided adhesive sheets having a predetermined gap, respectively. A film body for holding a glass substrate, which is attached to the glass substrate. 자기 흡착형 시트가 양면 접착 시트를 개재해서 백 플레이트에 부착되어 구성됨과 함께, 상기 자기 흡착형 시트에 유리 기판이 흡착 유지되는 유리 기판 유지용 막체에 있어서,
상기 자기 흡착 시트 및 상기 양면 접착 시트가, 각각 동일면 내에 배치된 복수매의 상기 자기 흡착형 시트 및 상기 양면 접착 시트를 포함하고, 상기 복수매의 자기 흡착형 시트 및 양면 접착 시트는, 인접하는 자기 흡착형 시트 및 양면 접착 시트가 각각 소정의 간극을 두고 상기 백 플레이트에 부착되어 있는, 유리 기판 유지용 막체. In the film body for glass substrate holding | maintenance by which the magnetic adsorption | suction type sheet | seat is attached to a back plate via the double-sided adhesive sheet, and a glass substrate is adsorb | sucked and hold | maintained on the said self-sorption type sheet | seat,
The self-adsorbing sheet and the double-sided adhesive sheet each include a plurality of the self-adsorbing sheet and the double-sided adhesive sheet arranged in the same plane, and the plurality of the self-adsorbing sheet and the double-sided adhesive sheet are adjacent magnetic A film substrate for holding a glass substrate, wherein an adsorption type sheet and a double-sided adhesive sheet are attached to the back plate at predetermined intervals, respectively. 자기 흡착형 시트가 양면 접착 시트를 개재해서 백 플레이트에 부착되어 구성됨과 함께, 상기 자기 흡착형 시트에 유리 기판이 흡착 유지되는 유리 기판 유지용 막체에 있어서,
상기 양면 접착 시트가, 동일면 내에 배치된 복수매의 양면 접착 시트를 포함하고, 적어도 2매 겹쳐 접착되며, 동일면 내의 복수매의 양면 접착 시트는, 각각 소정의 간극을 두고 부착됨과 함께, 양면 접착 시트 사이의 소정의 간극이, 양면 접착 시트의 적층 방향으로 인접하는 양면 접착 시트 사이의 소정의 간극과 양면 접착 시트의 적층 방향에 있어서 겹치지 않는, 유리 기판 유지용 막체.In the film body for glass substrate holding | maintenance by which the magnetic adsorption | suction type sheet | seat is attached to a back plate via the double-sided adhesive sheet, and a glass substrate is adsorb | sucked and hold | maintained on the said self-sorption type sheet | seat,
The double-sided adhesive sheet includes a plurality of double-sided adhesive sheets disposed in the same plane, at least two sheets are laminated and bonded together, and the plurality of double-sided adhesive sheets in the same plane are attached to each other with a predetermined gap, and are double-sided adhesive sheets. The film body for glass substrate holding | maintenance which does not overlap the predetermined | prescribed clearance gap between the double-sided adhesive sheets adjacent in the lamination direction of a double-sided adhesive sheet, and the lamination direction of a double-sided adhesive sheet. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 소정의 간극이 0.5mm±0.5mm인 유리 기판 유지용 막체.The film substrate for holding a glass substrate according to any one of claims 1 to 3, wherein the predetermined gap is 0.5 mm ± 0.5 mm. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 유리 기판의 크기가 3130mm×2880mm 이상인 유리 기판 유지용 막체. The film substrate for holding a glass substrate according to any one of claims 1 to 4, wherein the glass substrate has a size of 3130 mm x 2880 mm or more. 제5항에 있어서, 상기 유지용 막체의 크기가 3200mm×3000mm 이상인 유리 기판 유지용 막체.The glass substrate holding film body according to claim 5, wherein the holding film body has a size of 3200 mm x 3000 mm or more. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 유리 기판 유지용 막체에 의해 유리 기판을 흡착 유지하고, 상기 유리 기판의 피연마면을 연마 패드에 가압하여, 유리 기판의 피연마면을 필요한 평탄도로 연마하는, 유리 기판의 연마 방법.The glass substrate holding film body of any one of Claims 1-6 adsorb | sucks and holds a glass substrate, presses the to-be-polished surface to a polishing pad, and makes the to-be-polished surface of a glass substrate necessary The polishing method of a glass substrate which grinds by road.
KR1020127025047A 2010-03-25 2010-03-25 Film for holding glass substrate and method for polishing glass substrate KR101598248B1 (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2010/055283 WO2011118010A1 (en) 2010-03-25 2010-03-25 Film for holding glass substrate and method for polishing glass substrate

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20130033360A true KR20130033360A (en) 2013-04-03
KR101598248B1 KR101598248B1 (en) 2016-02-26

Family

ID=44672601

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020127025047A KR101598248B1 (en) 2010-03-25 2010-03-25 Film for holding glass substrate and method for polishing glass substrate

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP5529258B2 (en)
KR (1) KR101598248B1 (en)
CN (1) CN102811837B (en)
WO (1) WO2011118010A1 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7205423B2 (en) * 2018-12-17 2023-01-17 Ａｇｃ株式会社 Film body for holding glass substrate and method for polishing glass substrate
CN110634400B (en) * 2019-08-22 2021-04-27 武汉华星光电技术有限公司 Backlight module, display device and manufacturing method of backlight module
CN116393336B (en) * 2023-06-09 2023-08-18 太原科技大学 Clamp for spin coating of magnetostrictive material film substrate and using method thereof

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004122351A (en) 2002-07-31 2004-04-22 Asahi Glass Co Ltd Method and device for polishing substrate
JP2007007824A (en) 2005-07-04 2007-01-18 Fujibo Holdings Inc Polishing cloth
JP2009119533A (en) * 2007-11-12 2009-06-04 Fujibo Holdings Inc Holding pad

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02220838A (en) * 1989-02-22 1990-09-04 Rodeele Nitta Kk Laminate and support material of member to be polished and polishing cloth used therewith
JP2000087004A (en) * 1998-09-17 2000-03-28 Nitta Ind Corp Holding agent for workpiece and separation of workpiece held therewith
JP2001138233A (en) * 1999-11-19 2001-05-22 Sony Corp Grinding apparatus, grinding method and cleaning method of grinding tool
JP2002337048A (en) * 2001-05-15 2002-11-26 Shin Etsu Handotai Co Ltd Method for polishing workpiece
JP2005051055A (en) * 2003-07-29 2005-02-24 Tokyo Electron Ltd Lamination method and laminating device
JP4034320B2 (en) * 2005-05-24 2008-01-16 富士紡ホールディングス株式会社 Holding pad
JP4948935B2 (en) * 2006-08-08 2012-06-06 富士紡ホールディングス株式会社 Polishing cloth
JP4943766B2 (en) * 2006-08-09 2012-05-30 ニッタ・ハース株式会社 Workpiece holding material and method for manufacturing the same

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004122351A (en) 2002-07-31 2004-04-22 Asahi Glass Co Ltd Method and device for polishing substrate
JP2007007824A (en) 2005-07-04 2007-01-18 Fujibo Holdings Inc Polishing cloth
JP2009119533A (en) * 2007-11-12 2009-06-04 Fujibo Holdings Inc Holding pad

Also Published As

Publication number Publication date
CN102811837B (en) 2015-12-02
WO2011118010A1 (en) 2011-09-29
JP5529258B2 (en) 2014-06-25
KR101598248B1 (en) 2016-02-26
CN102811837A (en) 2012-12-05
JPWO2011118010A1 (en) 2013-07-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8636561B2 (en) Polishing head and polishing apparatus
KR20070008567A (en) Layered support and method for laminating cmp pads
CN102581750A (en) Wax-free grinding and polishing template with double inlaying layers
KR101833560B1 (en) Glass substrate holding film body, and glass substrate polishing method
KR20130033360A (en) Film for holding glass substrate and method for polishing glass substrate
US8323075B2 (en) Polishing head, polishing apparatus and method for demounting workpiece
JP6147154B2 (en) Manufacturing method of glass substrate of cover glass for electronic device
KR20150114408A (en) Polishing method and holder
JP6074245B2 (en) Polishing pad
JP2011212807A (en) Holding material and method for manufacturing the same
TWI485038B (en) A glass substrate holding film body and a glass substrate
JP6004329B2 (en) Holding tool and manufacturing method thereof
CN111318958B (en) Film for holding glass substrate and method for polishing glass substrate
KR101596561B1 (en) Wafer polishing appratus
JP2019055474A (en) Film body for holding glass substrate and method for polishing glass substrate
JP2018122430A (en) Film body for holding glass substrate and method for polishing glass substrate
JP6432080B2 (en) Holding tool and manufacturing method thereof
KR20110116764A (en) Glass plate mounting system for polishing apparatus and glass plate polishing method
JP5122107B2 (en) Super strong adhesive sheet for polishing equipment
JP5238293B2 (en) Polishing head, polishing apparatus and polishing method
JP2023133815A (en) polishing body
TW201414579A (en) Sheet for mounting a substrate, pulishing aparatus, and method for making the same
JP2004141981A (en) Single-side polishing method of plurality of glass substrates

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
N231 Notification of change of applicant
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190129

Year of fee payment: 4