KR20130015612A - Array method for inkjet head - Google Patents

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KR20130015612A
KR20130015612A KR1020110077695A KR20110077695A KR20130015612A KR 20130015612 A KR20130015612 A KR 20130015612A KR 1020110077695 A KR1020110077695 A KR 1020110077695A KR 20110077695 A KR20110077695 A KR 20110077695A KR 20130015612 A KR20130015612 A KR 20130015612A
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Abstract

PURPOSE: A method for aligning an inkjet head is provided to rapidly inspect a position aligning state of a plurality of the inkjet heads and corrects the same, thereby enabling to reduce time required for processing a substrate. CONSTITUTION: A method for aligning an inkjet head is as follows. A control unit arranges a photographing member in the lower part of the inkjet head(1310). The photographing member photographs a nozzle of the inkjet head under the inkjet head so that images are obtained(1320). The photographing member transmits the images to the control unit(1330). The control unit analyzes the images, thereby determining the existence of changes in a position of the inkjet head(1340). [Reference numerals] (1310) Completing setting of a photographing member; (1320) Photographing the nozzle of a head by the photographing member; (1330) Transmitting the photographed image to a control unit; (1340) Analyzing the photographed image by the control unit; (1350) Correcting the position of the head; (1360) Continuing the process; (AA) Start; (BB) Position changed?

Description

잉크젯 헤드의 정렬 방법{ARRAY METHOD FOR INKJET HEAD}Alignment method of inkjet head {ARRAY METHOD FOR INKJET HEAD}

본 발명은 잉크젯 헤드의 정렬 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 복수개의 촬영부재로 잉크젯 헤드의 노즐을 촬영한 이미지를 분석하여 잉크젯 헤드의 위치 변동 여부를 판단하는 잉크젯 헤드의 정렬 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an alignment method of an inkjet head, and more particularly, to an alignment method of an inkjet head for determining whether the position of the inkjet head is changed by analyzing an image photographing a nozzle of the inkjet head with a plurality of photographing members.

최근에, 휴대 전화기, 휴대형 컴퓨터 등의 전자 기기의 표시부에 액정 표시 장치가 널리 이용되고 있다. 액정 표시 장치는 블랙 매트릭스, 컬러 필터, 공통 전극 및 배향막이 형성된 컬러 필터 기판과; 박막트랜지스터(TFT), 화소 전극 및 배향막이 형성된 어레이 기판 사이에 액정층을 형성하여, 액정의 이방성에 따른 빛의 굴절률의 차이를 이용해 영상 효과를 얻는다.In recent years, liquid crystal displays have been widely used in display units of electronic devices such as mobile phones and portable computers. The liquid crystal display device comprises: a color filter substrate on which a black matrix, a color filter, a common electrode, and an alignment layer are formed; A liquid crystal layer is formed between the thin film transistor (TFT), the pixel electrode, and the array substrate on which the alignment layer is formed, thereby obtaining an image effect by using a difference in refractive index of light according to the anisotropy of the liquid crystal.

컬러 필터 기판과 어레이 기판 사이에 액정층을 형성하는 방법으로는 액정 주입 방법 또는 액정 적하 방법이 있다. 액정 주입 방법은 컬러 필터 기판과 어레이 기판을 일정 간격 이격시켜 합착하고, 그 사이 공간으로 액정을 주입하여 충전하는 방법이다.As a method of forming a liquid crystal layer between a color filter substrate and an array substrate, there is a liquid crystal injection method or a liquid crystal dropping method. The liquid crystal injection method is a method in which the color filter substrate and the array substrate are bonded to each other by a predetermined interval, and the liquid crystal is injected and filled into the space therebetween.

액정 적하 방법은 컬러 필터 기판 또는 어레이 기판상의 실라인 영역에 실라인을 형성한 후 실라인에 의해 정의된 표시 영역 내에 액정을 적하하는 방법이다. 액정이 적하된 컬러 필터 기판과 어레이 기판은 얼라인된 후 적하된 액정이 전면에 고르게 퍼지도록 가압되며, 자외선(UV) 및 열처리 공정을 통해 씰 패턴을 경화시킴으로써 컬러 필터 기판과 어레이 기판이 합착된다.The liquid crystal dropping method is a method of dropping a liquid crystal in the display area defined by the seal line after forming the seal line in the seal line region on the color filter substrate or the array substrate. After the liquid crystal is loaded, the color filter substrate and the array substrate are aligned, and the liquid crystals are pressed to spread evenly on the entire surface, and the color filter substrate and the array substrate are bonded by curing the seal pattern through UV and heat treatment processes. .

한편, 특허문헌 1에는 잉크젯 프린팅 장비의 헤드 정렬 장치를 개시하고 있다. 그러나 특허문헌 1에 개시된 헤드 정렬 방식은 하나의 얼라인먼트 검사용 카메라를 이용하여 노즐의 위치를 확인하는 방식이므로 헤드 정렬에 많은 시간이 소요되는 문제점이 있다.On the other hand, Patent Document 1 discloses a head alignment device of an inkjet printing equipment. However, since the head alignment method disclosed in Patent Document 1 is a method of checking the position of the nozzle using one alignment inspection camera, there is a problem that the head alignment takes a lot of time.

특허문헌 1: 한국등록특허 10-0811231(2008.03.07 공고)Patent Document 1: Korea Patent Registration 10-0811231 (2008.03.07 notification)

본 발명의 실시예들은 잉크젯 헤드의 하측에서 2개의 촬영부재로 노즐들을 촬영하고, 이로부터 획득된 촬영이미지를 분석하여 잉크젯 헤드의 위치 변동 여부를 판단하고자 한다.Embodiments of the present invention intend to determine whether the position of the inkjet head is changed by photographing nozzles with two photographing members under the inkjet head and analyzing the photographed image obtained therefrom.

본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited thereto, and other objects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명의 일 측면에 따르면, 제어부가 잉크젯 헤드의 하측에 촬영부재를 위치시키는 제1단계와; 상기 제1단계 이후에, 상기 촬영부재가 상기 잉크젯 헤드의 하측에서 상기 잉크젯 헤드의 노즐을 촬영하여 촬영이미지를 획득하는 제2단계와; 상기 제2단계 이후에, 상기 촬영부재가 상기 촬영이미지를 상기 제어부로 전송하는 제3단계와; 상기 제3단계 이후에, 상기 제어부가 상기 촬영이미지를 분석하여 상기 잉크젯 헤드의 위치 변동 여부를 판단하는 제4단계를 포함하는 잉크젯 헤드의 정렬 방법이 제공될 수 있다.According to an aspect of the invention, the control unit comprises a first step of positioning the photographing member on the lower side of the inkjet head; A second step of, after the first step, the photographing member photographs a nozzle of the inkjet head under the inkjet head to obtain a photographed image; A third step of transmitting, by the photographing member, the photographed image to the controller after the second step; After the third step, a method of aligning the inkjet head may include a fourth step of the controller analyzing the photographed image to determine whether the position of the inkjet head is changed.

또한, 상기 제2단계는, 상기 촬영부재 중 제1촬영부재가 상기 잉크젯 헤드의 노즐 중 제1노즐을 촬영하여 제1촬영이미지를 획득하는 제2-1단계와; 상기 촬영부재 중 상기 제1촬영부재에 인접배치된 제2촬영부재가 상기 잉크젯 헤드의 노즐 중 제2노즐을 촬영하여 제2촬영이미지를 획득하는 제2-2단계를 포함하고, 상기 제2-1단계와 상기 제2-2단계는 동시에 진행될 수 있다.In addition, the second step may include a second step of acquiring a first photographed image by a first photographing member of the photographing members photographing a first nozzle of a nozzle of the inkjet head; A second photographing member of the photographing member disposed adjacent to the first photographing member includes photographing a second nozzle of the nozzle of the inkjet head to obtain a second photographed image; Step 1 and step 2-2 may be performed simultaneously.

또한, 상기 제4단계는, 상기 제어부가 상기 제1촬영이미지의 중심과 상기 제2촬영이미지의 중심을 연결하는 제1가상선을 설정하는 제4-1단계와; 상기 제어부가 상기 제1촬영이미지에 촬상된 상기 제1노즐의 중심과 상기 제2촬영이미지에 촬상된 상기 제2노즐의 중심을 연결하는 제2가상선을 설정하는 제4-2단계와; 상기 제어부가 상기 제1가상선과 상기 제2가상선 사이의 교차각을 계산하여 상기 잉크젯 헤드의 위치 변동 여부를 판단하는 제4-3단계를 포함할 수 있다.In addition, the fourth step may include a step 4-1 in which the controller sets a first virtual line connecting the center of the first captured image to the center of the second captured image; Setting a second virtual line connecting the center of the first nozzle photographed to the first photographed image and the center of the second nozzle photographed to the second photographed image by the controller; The control unit may include a fourth step of determining whether the position of the inkjet head is changed by calculating an intersection angle between the first virtual line and the second virtual line.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 베이스와; 상기 베이스의 상면으로부터 상측으로 이격 배치되는 갠트리와; 상기 갠트리에 결합되는 액정 공급 유닛과; 상기 갠트리에 이동 가능하게 결합되고, 그 하면에 상기 액정 공급 유닛으로부터 공급된 액정을 잉크젯 방식으로 토출하도록 복수개의 노즐이 제공된 잉크젯 헤드와; 상기 베이스의 상기 상면에 제공되고, 상기 갠트리의 길이방향에 평행 또는 수직한 방향으로 이동하며 상기 잉크젯 헤드의 하측에서 상기 노즐들을 촬영하는 헤드 촬영 유닛과; 상기 헤드 촬영 유닛으로부터 상기 촬영이미지를 전송받아 상기 잉크젯 헤드의 위치 변동 여부를 판단하는 제어부를 포함하는 액정 토출 장치가 제공될 수 있다.According to another aspect of the invention, the base; A gantry spaced upwardly from an upper surface of the base; A liquid crystal supply unit coupled to the gantry; An inkjet head movably coupled to the gantry and provided with a plurality of nozzles on a lower surface thereof so as to eject a liquid crystal supplied from the liquid crystal supply unit in an inkjet manner; A head photographing unit provided on the upper surface of the base and moving in a direction parallel to or perpendicular to a longitudinal direction of the gantry and photographing the nozzles under the inkjet head; The liquid crystal ejection apparatus may include a controller configured to receive the photographed image from the head photographing unit and determine whether the position of the inkjet head is changed.

또한, 상기 헤드 촬영 유닛은, 상기 잉크젯 헤드의 하측에서 상기 노즐들을 촬영하는 촬영부재와; 상기 베이스의 상면에 제공되고, 상기 촬영부재를 상기 갠트리의 길이방향에 평행 또는 수직한 방향으로 이동시키는 촬영부재 이동유닛을 포함할 수 있다.The head photographing unit may further include: a photographing member photographing the nozzles under the inkjet head; It may be provided on the upper surface of the base, and may include a photographing member moving unit for moving the photographing member in a direction parallel or perpendicular to the longitudinal direction of the gantry.

또한, 상기 촬영부재는, 상기 잉크젯 헤드의 노즐 중 제1노즐을 촬영하여 제1촬영이미지를 획득하는 제1촬영부재와; 상기 제1촬영부재에 인접배치되고, 상기 잉크젯 헤드의 노즐 중 제2노즐을 촬영하여 제2촬영이미지를 획득하는 제2촬영부재와; 상기 잉크젯 헤드의 노즐들에 광을 조사하는 조명부재를 포함할 수 있다.The photographing member may include: a first photographing member photographing a first nozzle of the nozzles of the inkjet head to obtain a first photographed image; A second photographing member disposed adjacent to the first photographing member and configured to photograph a second nozzle of the nozzles of the inkjet head to obtain a second photographed image; It may include a lighting member for irradiating light to the nozzles of the inkjet head.

또한, 상기 촬영부재 이동유닛은, 상기 촬영부재를 지지하는 슬라이더와; 상기 슬라이더가 상기 갠트리의 길이방향에 평행한 방향으로 이동하도록 구동력을 제공하는 제1구동부재와; 상기 슬라이더가 상기 갠트리의 길이방향에 수직한 방향으로 이동하도록 구동력을 제공하는 제2구동부재를 포함할 수 있다.In addition, the photographing member moving unit, the slider for supporting the photographing member; A first driving member providing a driving force to move the slider in a direction parallel to the longitudinal direction of the gantry; The slider may include a second driving member for providing a driving force to move in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the gantry.

본 발명의 실시예에 의하면, 잉크젯 헤드들의 정렬 방향을 따라 이동하면서 각각의 잉크젯 헤드의 노즐을 촬영한 이미지를 분석하여 잉크젯 헤드의 위치 변동 여부를 판단할 수 있어 다수개의 잉크젯 헤드의 위치 정렬상태를 신속히 검사 및 보정할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the position of the plurality of inkjet heads can be determined by analyzing the photographed images of the nozzles of the respective inkjet heads while moving along the alignment direction of the inkjet heads. Quickly inspect and calibrate.

또한, 본 발명의 실시예에 의하면, 기판의 처리 공정 시간을 단축할 수 있다.In addition, according to the embodiment of the present invention, the processing step time of the substrate can be shortened.

도 1은 잉크젯 방식 액정 도포 설비의 구성을 보여주는 도면이다.
도 2는 도 1의 액정 토출부의 사시도이다.
도 3은 도 1의 액정 토출부의 평면도이다.
도 4는 도 2의 헤드의 노즐들을 도시한 도면이다.
도 5는 도 2 및 도 3의 헤드 이동 유닛의 측면을 보여주는 도면이다.
도 6은 도 5의 제 1 이동 유닛의 정면도이다.
도 7과 도 8은 도 2의 헤드 촬영 유닛의 작동 과정을 나타낸 도면이다.
도 9 내지 도 11은 도 2의 헤드 촬영 유닛을 이용하여 헤드의 위치 변동 여부를 판단하는 과정을 나타낸 순서도이다.
도 12는 도 11의 제4단계에서 헤드의 위치 변동량을 계산하는 일 예를 나타낸 도면이다.
1 is a view showing the configuration of an inkjet liquid crystal coating equipment.
FIG. 2 is a perspective view of the liquid crystal discharge part of FIG. 1.
3 is a plan view of the liquid crystal discharge part of FIG. 1.
4 shows the nozzles of the head of FIG. 2.
5 is a view showing the side of the head moving unit of FIGS. 2 and 3.
6 is a front view of the first mobile unit of FIG. 5.
7 and 8 are views illustrating an operation process of the head photographing unit of FIG. 2.
9 to 11 are flowcharts illustrating a process of determining whether a head position is changed using the head photographing unit of FIG. 2.
FIG. 12 is a diagram illustrating an example of calculating a position change amount of a head in the fourth step of FIG. 11.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 잉크젯 헤드의 정렬 방법 및 이를 이용한 액정 토출 장치를 상세히 설명한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
Hereinafter, an alignment method of an inkjet head and a liquid crystal ejecting apparatus using the same according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.

도 1은 잉크젯 방식 액정 도포 설비의 구성을 보여주는 도면이다.1 is a view showing the configuration of an inkjet liquid crystal coating equipment.

도 1의 액정 도포 설비(1)는 액적을 토출하는 잉크젯 방식으로 기판에 액정(Liquid Crystal)을 도포하는 설비이다. 기판은 액정 표시 패널의 컬러 필터(CF) 기판 또는 박막트랜지스터(TFT) 기판일 수 있으며, 액정은 컬러 필터(CF) 기판 또는 박막트랜지스터(TFT) 기판의 전면에 도포될 수 있다.
The liquid crystal coating equipment 1 of FIG. 1 is a facility for applying liquid crystal to a substrate by an inkjet method of discharging droplets. The substrate may be a color filter (CF) substrate or a thin film transistor (TFT) substrate of the liquid crystal display panel, and the liquid crystal may be applied to the entire surface of the color filter (CF) substrate or the thin film transistor (TFT) substrate.

도 1을 참조하면, 액정 도포 설비(1)는 액정 토출부(10), 기판 이송부(20), 로딩부(30), 언로딩부(40), 액정 공급부(50), 그리고 메인 제어부(90)를 포함한다. 액정 토출부(10)와 기판 이송부(20)는 제 1 방향(Ⅰ)으로 일렬로 배치되고, 서로 간에 인접하게 위치할 수 있다. 액정 토출부(10)를 중심으로 기판 이송부(20)와 마주하는 위치에는 액정 공급부(50)와 메인 제어부(90)가 배치된다. 액정 공급부(50)와 메인 제어부(90)는 제 2 방향(Ⅱ)으로 일렬 배치될 수 있다. 기판 이송부(20)를 중심으로 액정 토출부(10)와 마주하는 위치에 로딩부(30)와 언로딩부(40)가 배치된다. 로딩부(30)와 언로딩부(40)는 제 2 방향(Ⅱ)으로 일렬 배치될 수 있다. Referring to FIG. 1, the liquid crystal coating apparatus 1 may include a liquid crystal discharge unit 10, a substrate transfer unit 20, a loading unit 30, an unloading unit 40, a liquid crystal supply unit 50, and a main control unit 90. ). The liquid crystal discharge portion 10 and the substrate transfer portion 20 are arranged in a line in the first direction I and can be positioned adjacent to each other. A liquid crystal supply part 50 and a main control part 90 are disposed at positions facing the substrate transfer part 20 with the liquid crystal discharge part 10 as a center. The liquid crystal supply part 50 and the main control part 90 may be arranged in a line in the second direction II. The loading unit 30 and the unloading unit 40 are disposed at positions facing the liquid crystal discharge unit 10 with the substrate transfer unit 20 as a center. The loading section 30 and the unloading section 40 may be arranged in a line in the second direction II.

여기서, 제 1 방향(Ⅰ)은 액정 토출부(10)와 기판 이송부(20)의 배열 방향이고, 제 2 방향(Ⅱ)은 수평면 상에서 제 1 방향(Ⅰ)에 수직한 방향이고, 제 3 방향(Ⅲ)은 제 1 방향(Ⅰ)과 제 2 방향(Ⅱ)에 수직한 방향이다.
Here, the first direction (I) is an arrangement direction of the liquid crystal discharge unit 10 and the substrate transfer unit 20, the second direction (II) is a direction perpendicular to the first direction (I) on the horizontal plane, the third direction (III) is a direction perpendicular to the first direction I and the second direction II.

액정이 도포될 기판은 로딩부(30)로 반입된다. 기판 이송부(20)는 로딩부(30)에 반입된 기판을 액정 토출부(10)로 이송한다. 액정 토출부(10)는 액정 공급부(50)로부터 액정을 공급받고, 액적을 토출하는 잉크젯 방식으로 기판상에 액정을 토출한다. 액정 토출이 완료되면, 기판 이송부(20)는 액정 토출부(10)로부터 언로딩부(40)로 기판을 이송한다. 액정이 도포된 기판은 언로딩부(40)로부터 반출된다. 메인 제어부(90)는 액정 토출부(10), 기판 이송부(20), 로딩부(30), 언로딩부(40), 그리고 액정 공급부(50)의 전반적인 동작을 제어한다.
The substrate to which the liquid crystal is to be applied is loaded into the loading unit 30. The substrate transferring unit 20 transfers the substrate loaded into the loading unit 30 to the liquid crystal discharging unit 10. The liquid crystal discharge unit 10 receives liquid crystal from the liquid crystal supply unit 50, and discharges the liquid crystal onto the substrate by an inkjet method of discharging liquid droplets. When the liquid crystal discharge is completed, the substrate transfer unit 20 transfers the substrate from the liquid crystal discharge unit 10 to the unloading unit 40. The substrate coated with the liquid crystal is carried out from the unloading part 40. The main controller 90 controls the overall operations of the liquid crystal discharge unit 10, the substrate transfer unit 20, the loading unit 30, the unloading unit 40, and the liquid crystal supply unit 50.

도 2는 도 1의 액정 토출부의 사시도이다. 도 3은 도 1의 액정 토출부의 평면도이다. 도 2 및 도 3을 참조하면, 액정 토출부(10)는 베이스(B), 기판 지지 유닛(100), 갠트리(200), 갠트리 이동 유닛(300), 헤드들(400), 헤드 이동 유닛(500), 액정 공급 유닛(600), 헤드 제어 유닛(700), 액정 토출량 측정 유닛(800), 노즐 검사 유닛(900), 헤드 세정 유닛(1000), 그리고 헤드 촬영 유닛(1100)을 포함한다.FIG. 2 is a perspective view of the liquid crystal discharge part of FIG. 1. 3 is a plan view of the liquid crystal discharge part of FIG. 1. 2 and 3, the liquid crystal discharge part 10 includes a base B, a substrate support unit 100, a gantry 200, a gantry moving unit 300, heads 400, and a head moving unit ( 500, the liquid crystal supply unit 600, the head control unit 700, the liquid crystal discharge amount measuring unit 800, the nozzle inspection unit 900, the head cleaning unit 1000, and the head photographing unit 1100.

베이스(B)는 일정한 두께를 가지는 직육면체 형상으로 제공될 수 있다. 베이스(B)의 상면에는 기판 지지 유닛(100)이 배치된다. 기판 지지 유닛(100)은 기판(S)이 놓이는 지지판(110)을 가진다. 지지판(110)은 사각형 형상의 판일 수 있다. 지지판(110)의 하면에는 회전 구동 부재(120)가 연결된다. 회전 구동 부재(120)는 회전 모터일 수 있다. 회전 구동 부재(120)는 지지판(100)에 수직한 회전 중심 축을 중심으로 지지판(110)을 회전시킨다.Base (B) may be provided in a rectangular parallelepiped shape having a constant thickness. The substrate support unit 100 is disposed on the upper surface of the base B. The substrate support unit 100 has a support plate 110 on which the substrate S is placed. The support plate 110 may be a rectangular plate. The rotation driving member 120 is connected to the lower surface of the support plate 110. The rotation drive member 120 may be a rotation motor. The rotation driving member 120 rotates the support plate 110 around a rotation center axis perpendicular to the support plate 100. [

지지판(110)이 회전 구동 부재(120)에 의해 회전되면, 기판(S)은 지지판(110)의 회전에 의해 회전될 수 있다. 액정이 도포될 기판에 형성된 셀의 장변 방향이 제 2 방향(Ⅱ)을 향하는 경우, 회전 구동 부재(120)는 셀의 장변 방향이 제 1 방향(Ⅰ)을 향하도록 기판을 회전시킬 수 있다.When the support plate 110 is rotated by the rotation driving member 120, the substrate S may be rotated by the rotation of the support plate 110. When the long-side direction of the cell formed on the substrate to which the liquid crystal is to be applied faces the second direction II, the rotation driving member 120 can rotate the substrate such that the long-side direction of the cell is in the first direction I.

지지판(110)과 회전 구동 부재(120)는 직선 구동 부재(130)에 의해 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동될 수 있다. 직선 구동 부재(130)는 슬라이더(132)와 가이드 부재(134)를 포함한다. 회전 구동 부재(120)는 슬라이더(132)의 상면에 설치된다. 가이드 부재(134)는 베이스(B)의 상면 중심부에 제 1 방향(Ⅰ)으로 길게 연장된다. 슬라이더(132)에는 리니어 모터(미도시)가 내장될 수 있으며, 슬라이더(132)는 리니어 모터(미도시)에 의해 가이드 부재(134)를 따라 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동된다.The support plate 110 and the rotation driving member 120 may be linearly moved in the first direction I by the linear driving member 130. The linear drive member 130 includes a slider 132 and a guide member 134. The rotation drive member 120 is installed on the upper surface of the slider 132. The guide member 134 is elongated in the first direction I in the center of the upper surface of the base B. A linear motor (not shown) may be incorporated in the slider 132 and the slider 132 is linearly moved in the first direction I along the guide member 134 by a linear motor (not shown).

갠트리(200)는 지지판(110)이 이동되는 경로의 상부에 제공된다. 갠트리(200)는 베이스(B)의 상면으로부터 상방향으로 이격 배치된다. 갠트리(200)는 길이 방향이 제 2 방향(Ⅱ)을 향하도록 배치된다. 헤드들(400)은 헤드 이동 유닛(500)에 의해 갠트리(200)에 결합된다. 헤드들(400)은 헤드 이동 유닛(500)에 의해 갠트리(200)의 길이 방향, 즉 제 2 방향(Ⅱ)으로 직선 이동하고, 또한 제 3 방향(Ⅲ)으로 직선 이동될 수 있다. 또한, 헤드들(400)은 각각 헤드 이동 유닛(500)에 대해 제 3 방향(Ⅲ)에 나란한 축을 중심으로 회전할 수 있다.The gantry 200 is provided at the top of the path through which the support plate 110 is moved. The gantry 200 is spaced apart from the top surface of the base B in the upward direction. The gantry 200 is arranged such that the longitudinal direction thereof is in the second direction II. The heads 400 are coupled to the gantry 200 by the head moving unit 500. The heads 400 may be linearly moved in the longitudinal direction of the gantry 200, that is, the second direction II by the head moving unit 500, and may also be linearly moved in the third direction III. In addition, the heads 400 may rotate about an axis parallel to the third direction III with respect to the head moving unit 500, respectively.

갠트리 이동 유닛(300)은 갠트리(200)를 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동시킨다. 갠트리 이동 유닛(300)은 제 1 이동 유닛(310)과 제 2 이동 유닛(320)을 포함한다. 제 1 이동 유닛(310)은 갠트리(200)의 일단에 제공되고, 제 2 이동 유닛(320)은 갠트리(200)의 타단에 제공된다. 제 1 이동 유닛(310)은 베이스(B)의 일측에 제공된 가이드 레일(315)을 따라 슬라이딩 이동하고, 제 2 이동 유닛(320)은 베이스(B)의 타측에 제공된 가이드 레일(325)을 따라 슬라이딩 이동하며 갠트리(200)를 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동시킨다.The gantry moving unit 300 linearly moves the gantry 200 in the first direction (I). The gantry moving unit 300 includes a first moving unit 310 and a second moving unit 320. The first mobile unit 310 is provided at one end of the gantry 200, and the second mobile unit 320 is provided at the other end of the gantry 200. The first moving unit 310 slides along the guide rail 315 provided on one side of the base B, and the second moving unit 320 follows the guide rail 325 provided on the other side of the base B. The gantry 200 is linearly moved in the first direction I while slidingly moving.

헤드들(400)은 기판에 액정의 액적을 토출한다. 헤드들(400)은 복수개 제공될 수 있다. 헤드들(400)은 제 2 방향(Ⅱ)으로 일렬로 나란하게 갠트리(200)에 결합된다.The heads 400 discharge droplets of liquid crystal onto the substrate. Heads 400 may be provided in plurality. The heads 400 are coupled to the gantry 200 side by side in a second direction (II).

도 4를 참조할 때, 헤드들(400)의 저면에는 액정의 액적을 토출하는 복수개의 노즐들(410a,410b)이 제공된다. 일 예로, 헤드(410)에는 128개 또는 256개의 노즐들(410a,410b)이 제공될 수 있다. 노즐들(410a,410b)은 일정 피치의 간격으로 일렬로 배치될 수 있다. 노즐들(410a,410b)은 μg 단위의 양으로 액정을 토출할 수 있다.Referring to FIG. 4, a plurality of nozzles 410a and 410b for discharging droplets of liquid crystal are provided on the bottom of the heads 400. For example, the head 410 may be provided with 128 or 256 nozzles 410a and 410b. The nozzles 410a and 410b may be arranged in a row at intervals of a predetermined pitch. The nozzles 410a and 410b may discharge the liquid crystal in an amount of μg.

각각의 헤드들(400)에는 노즐들(410a,410b)에 대응하는 수만큼의 압전 소자가 제공될 수 있다. 노즐들(410a,410b)의 액적 토출량은 압전 소자들에 인가되는 전압의 제어에 의해 각기 독립적으로 조절될 수 있다.Each head 400 may be provided with as many piezoelectric elements as the nozzles 410a and 410b. Droplet discharge amounts of the nozzles 410a and 410b may be independently adjusted by controlling voltages applied to the piezoelectric elements.

헤드 이동 유닛(500)은 개별 헤드들(400)에 각각 제공될 수 있다. 본 실시 예의 경우, 3 개의 헤드(410,420,430)가 제공된 예를 들어 설명하므로, 헤드 이동 유닛(500) 또한 헤드의 수에 대응하도록 3 개가 제공될 수 있다. 이와 달리 헤드 이동 유닛(500)은 1 개 제공될 수 있으며, 이 경우 헤드들(400)은 개별 이동이 아니라 일체로 이동될 수 있다.
The head moving unit 500 may be provided to the individual heads 400, respectively. In the present embodiment, since three heads 410, 420, and 430 are provided by way of example, three head moving units 500 may also be provided to correspond to the number of heads. Alternatively, one head moving unit 500 may be provided, in which case the heads 400 may be integrally moved instead of individually moved.

도 5는 도 2 및 도 3의 헤드 이동 유닛의 측면을 보여주는 도면이다. 도 6은 도 5의 제 1 이동 유닛의 정면도이다.5 is a view showing the side of the head moving unit of FIGS. 2 and 3. 6 is a front view of the first mobile unit of FIG. 5.

도 5 및 도 6을 참조하면, 헤드 이동 유닛(500)은 제 1 이동 유닛(520)과 제 2 이동 유닛(540)을 포함한다. 제 1 이동 유닛(520)은 개별 헤드(410)를 갠트리(200)의 길이 방향, 즉 제 2 방향(Ⅱ)으로 직선 이동시킨다. 제 2 이동 유닛(540)은 개별 헤드(410)를 제 3 방향(Ⅲ)으로 직선 이동시키거나, 제 3 방향(Ⅲ)에 나란한 축을 중심으로 회전시킨다.5 and 6, the head moving unit 500 includes a first moving unit 520 and a second moving unit 540. The first moving unit 520 linearly moves the individual heads 410 in the longitudinal direction of the gantry 200, that is, in the second direction II. The second moving unit 540 linearly moves the individual heads 410 in the third direction (III) or rotates about an axis parallel to the third direction (III).

제 1 이동 유닛(520)은 가이드 레일들(522a,522b), 슬라이더들(524a, 524b), 그리고 이동 플레이트(526)를 포함한다. 가이드 레일들(522a,522b)은 제 2 방향(Ⅱ)으로 길게 연장되며, 갠트리(200)의 전면에 제 3 방향(Ⅲ)으로 이격 설치될 수 있다. 가이드 레일들(522a,522b)에는 슬라이더들(524a, 524b)이 이동 가능하게 결합되며, 슬라이더들(524a, 524b)에는 직선 구동기, 예를 들어 리니어 모터(미도시)가 내장될 수 있다. 이동 플레이트(526)는 슬라이더들(524a, 524b)에 결합된다. 이동 플레이트(526)의 상부 영역은 상부에 위치한 슬라이더(524a)에 결합되고, 이동 플레이트(526)의 하부 영역은 하부에 위치한 슬라이더(524b)에 결합된다. 이동 플레이트(526)는, 도 6에 도시된 바와 같이, 리니어 모터(미도시)의 구동력에 의해 가이드 레일들(522a,522b)을 따라 제 2 방향(Ⅱ)으로 직선 이동한다. 이와 같이, 헤드(410,420,430)가 제 2 방향(Ⅱ)을 따라 개별 이동됨에 따라, 헤드(410,420,430) 간의 간격이 조절될 수 있다.The first moving unit 520 includes guide rails 522a and 522b, sliders 524a and 524b, and a moving plate 526. The guide rails 522a and 522b extend in the second direction II and may be spaced apart in the third direction III on the front surface of the gantry 200. Sliders 524a and 524b are movably coupled to the guide rails 522a and 524b, and a linear driver, for example, a linear motor (not shown) may be built in the sliders 524a and 524b. The moving plate 526 is coupled to the sliders 524a and 524b. The upper region of the moving plate 526 is coupled to the slider 524a located above, and the lower region of the moving plate 526 is coupled to the slider 524b located below. As illustrated in FIG. 6, the moving plate 526 linearly moves in the second direction II along the guide rails 522a and 522b by a driving force of a linear motor (not shown). As such, as the heads 410, 420, 430 are individually moved along the second direction II, the distance between the heads 410, 420, 430 may be adjusted.

제 2 이동 유닛(540)은 가이드 부재(542), 슬라이더(544), 검출기(546), 제어기(548)를 포함한다. 가이드 부재(542)는 제 1 이동 유닛(520)의 이동 플레이트(526)에 결합되며, 슬라이더(544)의 제 3 방향(Ⅲ) 직선 이동을 안내한다. 슬라이더(544)는 가이드 부재(542)에 제 3 방향(Ⅲ)으로 직선 이동 또는 제 3 방향(Ⅲ)에 나란한 축을 중심으로 회전 가능하게 결합된다. 슬라이더(544)에는 직선 구동기, 예를 들어 리니어 모터(미도시)가 내장될 수 있다. 또한, 슬라이더(544)에는 회전 구동기가 내장될 수 있다. 헤드(410)는 슬라이더(544)에 결합되며, 슬라이더(544)의 제 3 방향(Ⅲ) 직선 이동에 의해 제 3 방향(Ⅲ)으로 이동된다.The second moving unit 540 includes a guide member 542, a slider 544, a detector 546, and a controller 548. The guide member 542 is coupled to the moving plate 526 of the first moving unit 520 and guides the linear movement of the slider 544 in the third direction (III). The slider 544 is rotatably coupled to the guide member 542 about a linear movement in the third direction (III) or about an axis parallel to the third direction (III). The slider 544 may include a linear driver, for example, a linear motor (not shown). In addition, the slider 544 may be a built-in rotary driver. The head 410 is coupled to the slider 544 and is moved in the third direction III by linear movement of the slider 544 in the third direction III.

검출기(546)는 갠트리(200)에 설치될 수 있으며, 헤드(410)와 기판(S) 사이의 간격을 검출한다. 검출기(546)는 레이저 센서일 수 있다. 제어기(548)는 검출기(546)의 검출 신호에 대응하는 제어 신호를 생성하고, 슬라이더(544)에 내장된 리니어 모터에 제어 신호를 전달하여 리니어 모터의 구동을 제어한다. 검출기(546)의 검출 결과에 따라 헤드(410)와 기판(S) 사이의 간격이 기설정된 기준치를 벗어나는 것으로 판단되면, 제어기(548)는 리니어 모터(미도시)의 구동을 제어하여 헤드(410)와 기판(S) 사이의 간격을 조절한다.
The detector 546 may be installed in the gantry 200, and detects a gap between the head 410 and the substrate S. Detector 546 may be a laser sensor. The controller 548 generates a control signal corresponding to the detection signal of the detector 546 and transmits a control signal to the linear motor included in the slider 544 to control the driving of the linear motor. If it is determined that the distance between the head 410 and the substrate S is out of the predetermined reference value according to the detection result of the detector 546, the controller 548 controls the driving of the linear motor (not shown) to control the head 410. ) And the distance between the substrate (S).

다시 도 3을 참조하면, 액정 공급 유닛(600)은 액정 공급 모듈(620)과 압력 조절 모듈(640)을 포함한다. 액정 공급 모듈(620)과 압력 조절 모듈(640)은 갠트리(200)에 결합될 수 있다. 액정 공급 모듈(620)은 액정 공급부(도 1의 도면 번호 50)로부터 액정을 공급받고, 액정을 개별 헤드(410,420,430)에 공급한다. 압력 조절 모듈(640)은 액정 공급 모듈(620)에 양압 또는 음압을 제공하여 액정 공급 모듈(620)의 압력을 조절한다. Referring back to FIG. 3, the liquid crystal supply unit 600 includes a liquid crystal supply module 620 and a pressure regulating module 640. The liquid crystal supply module 620 and the pressure regulation module 640 may be coupled to the gantry 200. The liquid crystal supply module 620 receives the liquid crystal from the liquid crystal supply unit (reference numeral 50 of FIG. 1), and supplies the liquid crystal to the individual heads 410, 420, and 430. The pressure regulation module 640 adjusts the pressure of the liquid crystal supply module 620 by providing a positive pressure or a negative pressure to the liquid crystal supply module 620.

액정 토출량 측정 유닛(800)은 개별 헤드(410,420,430)의 액정 토출량을 측정한다. 액정 토출량 측정 유닛(800)은 베이스(B) 상의 기판 지지 유닛(100)의 일측에 배치될 수 있다. 액정 토출량 측정 유닛(800)은 개별 헤드(410,420,430) 마다 전부의 노즐들(410a,410b, 도 4 참조)로부터 토출되는 액정 량을 측정한다. 개별 헤드(410,420,430)의 액정 토출량 측정을 통해, 개별 헤드(410,420,430)의 노즐들(410a,410b, 도 4 참조)의 이상 유무를 거시적으로 확인할 수 있다. 즉, 개별 헤드(410,420,430)의 액정 토출량이 기준치를 벗어나면, 노즐들(410a,410b, 도 4 참조) 중 적어도 하나에 이상이 있음을 알 수 있다.The liquid crystal discharge amount measuring unit 800 measures the liquid crystal discharge amount of the individual heads 410, 420, and 430. The liquid crystal discharge amount measuring unit 800 may be disposed on one side of the substrate support unit 100 on the base B. The liquid crystal discharge amount measuring unit 800 measures the amount of liquid crystal discharged from all the nozzles 410a, 410b (see FIG. 4) for each of the individual heads 410, 420, and 430. By measuring the liquid crystal discharge amount of the individual heads 410, 420, 430, the presence or absence of abnormalities of the nozzles 410a, 410b (see FIG. 4) of the individual heads 410, 420, 430 may be confirmed. That is, when the liquid crystal discharge amount of the individual heads 410, 420, 430 is out of the reference value, it can be seen that at least one of the nozzles 410a, 410b (see FIG. 4) is abnormal.

헤드들(410,420,430)은 갠트리 이동 유닛(300)과 헤드 이동 유닛(500)에 의해 제 1 방향(Ⅰ)과 제 2 방향(Ⅱ)으로 이동되어 액정 토출량 측정 유닛(800)의 상부에 위치할 수 있다. 헤드 이동 유닛(500)은 헤드들(410,420,430)을 제 3 방향(Ⅲ)으로 이동시켜 헤드들(410,420,430)과 액정 토출량 측정 유닛(800)과의 상하 방향 거리를 조절할 수 있다.The heads 410, 420, 430 may be moved in the first direction (I) and the second direction (II) by the gantry moving unit 300 and the head moving unit 500 to be positioned above the liquid crystal discharge amount measuring unit 800. have. The head moving unit 500 may adjust the vertical distance between the heads 410, 420, 430 and the liquid crystal discharge amount measuring unit 800 by moving the heads 410, 420, 430 in the third direction (III).

노즐 검사 유닛(900)은 광학 검사를 통해 헤드들(410,420,430)에 제공된 개별 노즐의 이상 유무를 확인한다. 액정 토출량 측정 유닛(800)에서 거시적인 노즐의 이상 유무를 확인한 결과, 불특정의 노즐에 이상이 있는 것으로 판단된 경우, 노즐 검사 유닛(900)은 개별 노즐의 이상 유무를 확인하면서 노즐에 대한 전수 검사를 진행할 수 있다.The nozzle inspection unit 900 checks the abnormality of the individual nozzles provided to the heads 410, 420, and 430 through optical inspection. When the abnormality of the macroscopic nozzle is checked by the liquid crystal discharge quantity measurement unit 800 and it is judged that there is an abnormality in the unspecified nozzle, the nozzle inspection unit 900 checks the existence of abnormality of the individual nozzle, .

노즐 검사 유닛(900)은 베이스(B) 상의 기판 지지 유닛(100) 일측에 배치될 수 있다. 헤드들(410,420,430)은 갠트리 이동 유닛(300)과 헤드 이동 유닛(500)에 의해 제 1 방향(Ⅰ)과 제 2 방향(Ⅱ)으로 이동되어 노즐 검사 유닛(900)의 상부에 위치할 수 있다. 헤드 이동 유닛(500)은 헤드들(410,420,430)을 제 3 방향(Ⅲ)으로 이동시켜 헤드들(410,420,430)과 노즐 검사 유닛(900)과의 상하 방향 거리를 조절할 수 있다.The nozzle inspection unit 900 may be disposed on one side of the substrate support unit 100 on the base B. The heads 410, 420, 430 may be moved in the first direction (I) and the second direction (II) by the gantry moving unit 300 and the head moving unit 500 to be positioned above the nozzle inspection unit 900. . The head moving unit 500 may move the heads 410, 420, 430 in the third direction III to adjust the vertical distance between the heads 410, 420, 430 and the nozzle inspection unit 900.

헤드 세정 유닛(1000)은 퍼징(Purging) 공정과 흡입(Suction) 공정을 진행한다. 퍼징(Purging) 공정은 헤드들(410,420,430)의 내부에 수용된 액정의 일부를 고압으로 분사하는 공정이다. 흡입(Suction) 공정은, 퍼징(Purging) 공정 후, 헤드들(410,420,430)의 노즐면에 잔류하는 액정을 흡입하여 제거하는 공정이다.
The head cleaning unit 1000 performs a purging process and a suction process. Purging is a process of spraying a part of the liquid crystal contained in the heads 410, 420, and 430 at high pressure. The suction process is a process of sucking and removing liquid crystal remaining on the nozzle faces of the heads 410, 420, and 430 after a purging process.

도 7과 도 8은 도 2의 헤드 촬영 유닛의 작동 과정을 나타낸 도면이다.7 and 8 are views illustrating an operation process of the head photographing unit of FIG. 2.

도 2, 도 4, 도 7 및 도 8을 참조하면, 헤드 촬영 유닛(1100)은 촬영부재(1110)와 촬영부재 이동유닛(1160)을 포함한다. 촬영부재(1110)는 헤드들(410,420,430)의 하측에서 노즐들(410a,410b)을 촬영한다. 촬영부재 이동유닛(1160)은 베이스(B)의 상면에 제공되고, 촬영부재(1110)를 갠트리(200)의 길이방향에 평행한 방향(즉, 제 2 방향(Ⅱ)) 또는 수직한 방향(즉, 제 1 방향(Ⅰ))으로 이동시킨다.2, 4, 7 and 8, the head photographing unit 1100 includes a photographing member 1110 and a photographing member moving unit 1160. The photographing member 1110 photographs the nozzles 410a and 410b under the heads 410, 420, and 430. The photographing member moving unit 1160 is provided on the upper surface of the base B, and the photographing member 1110 is parallel to the longitudinal direction of the gantry 200 (ie, the second direction (II)) or the vertical direction ( That is, it moves to the 1st direction (I).

촬영부재(1110)는 제1촬영부재(1111), 제2촬영부재(1113) 그리고 조명부재(1170)를 포함한다. 제1촬영부재(1111)는 헤드(410)의 노즐 중 제1노즐(410a, 도 4 참조)을 촬영하여 제1촬영이미지(810, 도 12 참조)를 획득한다. 제2촬영부재(1113)는 헤드(410)의 노즐 중 제2노즐(410b, 도 4 참조)을 촬영하여 제2촬영이미지(830, 도 12 참조)를 획득한다. 일 예로, 제1촬영부재(1111)는 헤드(410)의 저면 일측 말단부에 위치하는 제1노즐(410a)을 촬영하고, 제2촬영부재(1113)는 헤드(410)의 저면 타측 말단부에 위치하는 제2노즐(410b)을 촬영할 수 있다.The photographing member 1110 includes a first photographing member 1111, a second photographing member 1113, and an illumination member 1170. The first photographing member 1111 photographs the first nozzle 410a (see FIG. 4) among the nozzles of the head 410 to obtain a first photographed image 810 (see FIG. 12). The second photographing member 1113 photographs the second nozzle 410b (see FIG. 4) among the nozzles of the head 410 to obtain a second photographed image 830 (see FIG. 12). For example, the first photographing member 1111 photographs the first nozzle 410a positioned at one end of the bottom of the head 410, and the second photographing member 1113 is located at the other end of the bottom of the head 410. The second nozzle 410b may be photographed.

조명부재(1170)는 헤드(410)의 노즐들(410a,410b)에 광을 조사한다. 일 예로, 조명부재(1170)는 LED로 제공될 수 있다.The lighting member 1170 irradiates light to the nozzles 410a and 410b of the head 410. For example, the lighting member 1170 may be provided as an LED.

촬영부재 이동유닛(1160)는 슬라이더(1120), 제1구동부재(1130), 제2구동부재(1140), 그리고 가이드 몸체(1150)를 포함한다.The photographing member moving unit 1160 includes a slider 1120, a first driving member 1130, a second driving member 1140, and a guide body 1150.

슬라이더(1120)는 촬영부재(1110)를 지지한다. 슬라이더(1120)는 직사각형의 판 형상으로 제공된다. 촬영부재(1110)는 슬라이더(1120) 상에서 제 2 방향(Ⅱ)과 나란하게 일정간격 이격배치된다. 일 예로, 슬라이더(1120)의 중심과 제1노즐(410a)의 중심을 동축상에 놓았을 때, 제1촬영부재(1111)는 제1노즐(410a)의 수직 하방향에, 제2촬영부재(1113)는 제2노즐(410b)의 수직 하방향에 위치할 수 있다.The slider 1120 supports the photographing member 1110. The slider 1120 is provided in a rectangular plate shape. The photographing members 1110 may be spaced apart from each other on the slider 1120 by parallel to the second direction II. For example, when the center of the slider 1120 and the center of the first nozzle 410a are coaxially positioned, the first photographing member 1111 is vertically downward of the first nozzle 410a and the second photographing member. 1113 may be positioned in a vertical downward direction of the second nozzle 410b.

제1구동부재(1130)는 슬라이더(1120)가 제 2 방향(Ⅱ)으로 이동하도록 구동력을 제공한다. 제2구동부재(1140)는 슬라이더(1120)가 제 1 방향(Ⅰ)으로 이동하도록 구동력을 제공한다. 제1구동부재(1130)와 제2구동부재(1140)는 리니어 모터로 제공될 수 있다. The first driving member 1130 provides a driving force to move the slider 1120 in the second direction (II). The second driving member 1140 provides a driving force to move the slider 1120 in the first direction (I). The first driving member 1130 and the second driving member 1140 may be provided as linear motors.

가이드 몸체(1150)는 그 내부에 제1구동부재(1130)와 제2구동부재(1140)가 배치되는 공간을 제공한다. 가이드 몸체(1150)의 상면에는 제 2 방향(Ⅱ)으로 제1가이드홈(1151)이 제공된다. 제1가이드홈(1151)은 슬라이더(1120)가 제 2 방향(Ⅱ)으로 직선이동하게 한다. 제1가이드홈(1151)의 양측 말단에는 제2가이드홈(1152,1153)이 각각 제공된다. 제2가이드홈(1152,1153)은 슬라이더(1120)가 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선이동하게 한다.
The guide body 1150 provides a space in which the first driving member 1130 and the second driving member 1140 are disposed. The first guide groove 1151 is provided on the upper surface of the guide body 1150 in the second direction (II). The first guide groove 1151 causes the slider 1120 to linearly move in the second direction (II). Second guide grooves 1152 and 1153 are provided at both ends of the first guide groove 1151, respectively. The second guide grooves 1152 and 1153 allow the slider 1120 to linearly move in the first direction (I).

도 9 내지 도 11은 도 2의 헤드 촬영 유닛을 이용하여 헤드의 위치 변동 여부를 판단하는 과정을 나타낸 순서도이다.9 to 11 are flowcharts illustrating a process of determining whether a head position is changed using the head photographing unit of FIG. 2.

도 2와 도 9 내지 도 11을 참조하여, 헤드의 위치 변동 여부를 판단하는 과정을 설명한다.Referring to Figures 2 and 9 to 11, the process of determining whether the position of the head changes.

제어부(90, 도 1 참조)는 헤드(410)의 하측에 촬영부재(1110)를 위치시킨다(제1단계,1310). 이 때, 제어부(90)는 제1구동부재(1130, 도 7 참조) 또는 제2구동부재(1140, 도 7 참조)를 작동시켜 촬영부재(1110)의 위치를 설정한다. 이어서, 제어부(90)는 촬영부재(1110)가 헤드(410)의 하측에서 헤드(410)의 노즐(410a,410b)을 촬영하여 촬영이미지들(1410,1430 도 12 참조)을 획득한다(제2단계,1320). 이 때, 제1촬영부재(1111, 도 7 참조)는 제1노즐(410a)를 촬영하고(제2-1단계,1321), 제2촬영부재(1113, 도 7 참조)는 제2노즐(410b)를 촬영할 수 있다(제2-2단계,1323). 한편, 제2-1단계와 제2-2단계는 동시에 진행될 수 있다. 이와 달리, 제2-1단계와 제2-2단계는 순차로 진행될 수도 있다. 이어서, 촬영부재(1110)는 촬영이미지들(1410,1430)을 제어부(90)로 전송한다(제3단계,1330). 이어서, 제어부(90)는 촬영이미지들(1410,1430)을 분석하여 헤드(410)의 위치 변동 여부를 판단한다(1340,제4단계). 일 예로, 도 11과 도 12를 참조하면, 제어부(90)는 제1촬영이미지(1410)의 중심(IO1)과 제2촬영이미지(1430)의 중심(IO2)을 연결하는 제1가상선(L1)을 설정한다(제4-1단계,1341). 이어서, 제어부(90)는 제1촬영이미지(1410)에 촬상된 제1노즐(410a)의 중심(NO1)과, 제2촬영이미지(1430)에 촬상된 제2노즐(410b)의 중심(NO2)을 연결하는 제2가상선(L2)를 설정한다(제4-2단계,1343). 이어서, 제어부(90)는 제1가상선(L1)과 제2가상선(L2)이 만나는 점(CO)을 기준으로 제1가상선(L1)과 제2가상선(L2) 사이의 교차각(θ)을 계산한다(제4-3단계,1345). 여기서 교차각(θ)이 오차범위 이내이면 제어부(90)는 헤드(410)가 정상위치라고 판단하고, 교차각(θ)이 오차범위를 벗어나면 제어부(90)는 헤드(410)의 위치가 변동되었다고 판단한다. 헤드(410)의 위치가 변동되었다고 판단된 경우(1350), 제어부(90)는 헤드(410)의 위치를 보정하고 다시 제2단계(1320)부터 수행한다. 헤드(410)의 위치가 정상이라고 판단된 경우(1360), 제어부(90)는 계속하여 공정이 진행되도록 한다.The controller 90 (see FIG. 1) positions the photographing member 1110 under the head 410 (first step 1310). At this time, the controller 90 sets the position of the photographing member 1110 by operating the first driving member 1130 (see FIG. 7) or the second driving member 1140 (see FIG. 7). Subsequently, the controller 90 acquires photographed images 1410 and 1430 by photographing the nozzles 410a and 410b of the head 410 under the head 410 (see FIG. 12). Step 2,1320). In this case, the first photographing member 1111 (see FIG. 7) photographs the first nozzle 410a (steps 2-1 and 1321), and the second photographing member 1113 (see FIG. 7) the second nozzle ( 410b) (steps 2-2 and 1323). Meanwhile, steps 2-1 and 2-2 may be performed at the same time. Alternatively, steps 2-1 and 2-2 may be performed sequentially. Subsequently, the photographing member 1110 transmits the photographed images 1410 and 1430 to the controller 90 (third step 1330). Subsequently, the controller 90 analyzes the photographed images 1410 and 1430 to determine whether the head 410 is changed in position (step 1340, 4th step). For example, referring to FIGS. 11 and 12, the controller 90 may include a first virtual line connecting the center IO1 of the first captured image 1410 and the center IO2 of the second captured image 1430. L1) is set (step 4-1, 1431). Subsequently, the controller 90 controls the center NO1 of the first nozzle 410a captured by the first captured image 1410 and the center NO2 of the second nozzle 410b captured by the second captured image 1430. ) And set the second virtual line L2 (steps 4-2 and 1343). Subsequently, the controller 90 crosses an angle between the first virtual line L1 and the second virtual line L2 based on the point CO at which the first virtual line L1 and the second virtual line L2 meet. (θ) is calculated (step 4-3, 1345). Here, if the crossing angle θ is within the error range, the controller 90 determines that the head 410 is in the normal position. If the crossing angle θ is outside the error range, the controller 90 determines that the position of the head 410 is not. It is determined that it has changed. When it is determined that the position of the head 410 is changed (1350), the controller 90 corrects the position of the head 410 and performs the second step 1320 again. If it is determined that the position of the head 410 is normal (1360), the controller 90 continues the process.

이와 같은 과정을 통해, 헤드(410)의 위치 변동 여부를 판단한 후, 제어부(90)는 촬영부재(1110)를 제 2 방향(Ⅱ)으로 이동시켜 헤드(420)의 위치 변동 여부를 판단한다.Through this process, after determining whether the position of the head 410 is changed, the controller 90 determines whether the position of the head 420 is changed by moving the photographing member 1110 in the second direction (II).

한편, 상술한 과정을 거쳐, 헤드들(400) 각각을 제 2 방향(Ⅱ)에 나란하도록 위치 보정한 후, 헤드들(400) 전체가 제 2 방향(Ⅱ)에 나란하게 배치되어 있는지 여부를 판단하고자 하는 경우, 다음과 같은 방법을 사용할 수 있다.On the other hand, after the above-described process, after correcting the position of each of the heads 400 side by side in the second direction (II), it is determined whether the entire head 400 is arranged side by side in the second direction (II) If you want to judge, you can use the following method.

일 예로, 제1촬영부재(1111)로 헤드(410)의 제1노즐(410a)을 촬영하고, 제1가이드홈(1151)을 따라 촬영부재(1110)를 제 2 방향(Ⅱ)으로 이동시킨 후, 제2촬영부재(1113)로 헤드(430)의 제2노즐(이는, 헤드(410)의 제2노즐(410b)에 대응함)을 촬영한다. 이 때, 제2촬영부재(1113)로 헤드(430)를 촬영한 촬영이미지에 제2노즐이 촬상되지 않는 등의 경우, 제어부(90)는 촬영부재(1110)를 제2가이드홈(1153)을 따라 제 1 방향(Ⅰ)으로 이동시켜 다시 제2촬영부재(1113)로 헤드(430)를 촬영한다. 이와 같은 과정을 통해 획득한 촬영이미지들과 제 1 방향(Ⅰ)으로 이동한 촬영부재(1110)의 이동량을 이용하여 헤드들(400) 전체의 제 2 방향(Ⅱ) 정렬 여부를 판단할 수 있다.
For example, the first nozzle 410a of the head 410 is photographed by the first photographing member 1111, and the photographing member 1110 is moved along the first guide groove 1151 in the second direction (II). Thereafter, the second photographing member 1113 photographs the second nozzle of the head 430 (which corresponds to the second nozzle 410b of the head 410). At this time, when the second nozzle is not captured in the captured image of the head 430 by the second photographing member 1113, the controller 90 moves the photographing member 1110 to the second guide groove 1153. Next, the head 430 is photographed by the second photographing member 1113 by moving in the first direction (I). By using the photographed images acquired through the above process and the movement amount of the photographing member 1110 moved in the first direction (I), it may be determined whether the second direction (II) of the entire heads 400 is aligned. .

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. The foregoing description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and various changes and modifications may be made by those skilled in the art without departing from the essential characteristics of the present invention.

따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are intended to illustrate rather than limit the scope of the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The protection scope of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the equivalent scope should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

** 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 **
100 : 기판 지지 유닛 200 : 갠트리
300 : 갠트리 이동 유닛 400 : 헤드들
500 : 헤드 이동 유닛 600 : 액정 공급 유닛
800 : 액정 토출량 측정 유닛 900 : 노즐 검사 유닛
1000 : 헤드 세정 유닛 1100 : 헤드 촬영 유닛
1110 : 촬영부재 1120 : 슬라이더
1150 : 가이드 몸체 1170 : 조명부재
** Explanation of symbols on the main parts of the drawing **
100: substrate support unit 200: gantry
300: gantry moving unit 400: heads
500: head moving unit 600: liquid crystal supply unit
800: liquid crystal discharge amount measurement unit 900: nozzle inspection unit
1000: head cleaning unit 1100: head photographing unit
1110: photographing member 1120: slider
1150: the guide body 1170: lighting member

Claims (2)

잉크젯 헤드의 정렬 방법에 있어서,
제어부가 잉크젯 헤드의 하측에 촬영부재를 위치시키는 제1단계와;
상기 제1단계 이후에, 상기 촬영부재가 상기 잉크젯 헤드의 하측에서 상기 잉크젯 헤드의 노즐을 촬영하여 촬영이미지를 획득하는 제2단계와;
상기 제2단계 이후에, 상기 촬영부재가 상기 촬영이미지를 상기 제어부로 전송하는 제3단계와;
상기 제3단계 이후에, 상기 제어부가 상기 촬영이미지를 분석하여 상기 잉크젯 헤드의 위치 변동 여부를 판단하는 제4단계
를 포함하는 잉크젯 헤드의 정렬 방법.
In the inkjet head alignment method,
A first step of the controller locating the photographing member under the inkjet head;
A second step of, after the first step, the photographing member photographs a nozzle of the inkjet head under the inkjet head to obtain a photographed image;
A third step of transmitting, by the photographing member, the photographed image to the controller after the second step;
After the third step, the control unit analyzes the photographed image to determine whether the position of the inkjet head fluctuated
Alignment method of an inkjet head comprising a.
제1항에 있어서,
상기 제2단계는,
상기 촬영부재 중 제1촬영부재가 상기 잉크젯 헤드의 노즐 중 제1노즐을 촬영하여 제1촬영이미지를 획득하는 제2-1단계와;
상기 촬영부재 중 상기 제1촬영부재에 인접배치된 제2촬영부재가 상기 잉크젯 헤드의 노즐 중 제2노즐을 촬영하여 제2촬영이미지를 획득하는 제2-2단계를 포함하고,
상기 제2-1단계와 상기 제2-2단계는 동시에 진행되는 잉크젯 헤드의 정렬 방법.
The method of claim 1,
The second step comprises:
Step 2-1 of the first photographing member of the photographing member to photograph the first nozzle of the nozzle of the inkjet head to obtain a first photographed image;
A second photographing member of the photographing member disposed adjacent to the first photographing member includes a second step of photographing a second nozzle of the nozzle of the inkjet head to obtain a second photographed image;
And the steps 2-1 and 2-2 are simultaneously performed.
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