KR20130011684A - 웨이퍼 캐리어 - Google Patents

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KR20130011684A
KR20130011684A KR1020110073009A KR20110073009A KR20130011684A KR 20130011684 A KR20130011684 A KR 20130011684A KR 1020110073009 A KR1020110073009 A KR 1020110073009A KR 20110073009 A KR20110073009 A KR 20110073009A KR 20130011684 A KR20130011684 A KR 20130011684A
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Abstract

본 발명은 웨이퍼 캐리어에 관한 것으로, 웨이퍼 캐리어의 덮개에 가스 분배 유로를 형성함과 아울러 가스 분배 유로를 덮는 분배 유로 덮개판에 몸체 수납된 웨이퍼들 사이 사이에 대응되게 가스 배출공을 형성하여, 웨이퍼가 수납된 몸체 내부로 목적 가스를 주입하여 내부 공기를 치환하는 과정에서 수납된 웨이퍼들 사이 사이로 공급되는 목적 가스의 흐름을 유도하여 몸체 내부의 공기 치환율을 높일 수 있도록 하는 효과를 갖는다.

Description

웨이퍼 캐리어{WAFER CARRIER}
본 발명은 웨이퍼 캐리어에 관한 것으로서, 좀더 상세하게는 웨이퍼가 수납된 몸체 내부로 치환 목적 가스(이하 목적 가스라 한다.)를 주입하여 내부 공기를 치환하는 과정에서 수납된 웨이퍼들 사이 사이로 공급되는 목적 가스의 흐름을 유도하여 몸체 내부의 공기 치환율을 높일 수 있도록 하는 웨이퍼 캐리어에 관한 것이다.
주지된 바와 같이, 웨이퍼 캐리어(Wafer Carrier)는 반도체 소자 제조 과정에서 사용되는 실리콘 재질의 웨이퍼들이 각 단위의 반도체 제조 공정을 거치도록 이송 및 반송하도록 하는 웨이퍼 이송 및 운반용 용기를 말한다.
웨이퍼 캐리어는 운반 및 보관용도로 사용되는 전면 개방 운반용기(Front Opening Shipping Box: 이하 '포스비(FOSB)' 라 함)와, 운반 및 보관뿐만 아니라 공정진행 용도로 사용되는 전면부 개방 일체식 포드(Front Open Unified Pod: 이하 '풉(FOUP)'라 함)가 주로 사용된다.
일례로, 상기한 풉(FOUP)은 상기 웨이퍼들을 수용하기 위한 내부 수용 공간이 구비되는 몸체와, 이 몸체의 전면 개방부를 개폐하기 위한 덮개를 포함하여 구성된다.
그리고, 풉(FOUP)의 내부에는 일정 간격을 유지하며 복수의 웨이퍼들이 수납되도록 가이드 함과 아울러 수납 상태를 고정하기 위한 리테이너들이 구비된다.
한편, 상기한 웨이퍼들을 이용해 반도체를 생산하는 과정중에 풉 내부에 웨이퍼들을 수납한 상태로 목적 가스를 주입하여 내부에 채워진 공기를 목적 가스로 치환하는 공기 치환 공정이 요구된다.
그러나, 종래 풉(FOUP)의 경우 공기 치환 공정을 위한 구성은 웨이퍼들이 수납되는 몸체의 바닥면 일측에 목적 가스를 주입하기 위한 가스 주입구와, 몸체 내부를 채우던 공기 및 목적 가스를 배출하기 위한 가스 배출구만으로 이루어진다.
따라서, 종래 풉(FOUP)의 경우 수납된 웨이퍼들 사이 사이에서 공급된 목적 가스의 흐름이 저하되어 몸체 내부의 공기 치환율이 떨어지게 되어, 공기 치환 작업에 따른 작업 소요 시간이 길어져 생산성이 저하되는 단점을 가지게 된다.
상기한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 웨이퍼가 수납된 몸체 내부로 목적 가스를 주입하여 몸체 내부의 공기를 치환하는 과정에서 수납된 웨이퍼들 사이 사이로 공급되는 목적 가스의 흐름을 분배 및 유도하여 몸체 내부의 공기 치환율을 높일 수 있도록 하는 웨이퍼 캐리어를 제공하는 것이다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 웨이퍼 캐리어는 전면부가 개방되며 내부에 웨이퍼들이 수납되도록 수납 공간이 형성되고, 바닥의 전면부 양측에 가스 주입구 및 가스 배출구가 관통 형성되는 몸체; 및 상기 몸체의 전면 개방부를 닫아 폐쇄하며, 상기 가스 주입공에 대응되는 내측면 일측에서 높이 방향을 따라 홈이지며 가스 분배 유로가 형성되고, 상기 가스 주입구와 인접하는 상기 가스 분배 유로의 하단이 개방되게 분배 유로 입구를 이루도록 상기 가스 분배 유로를 덮으며 상기 가스 분배 유로를 통해 공급된 치환 목적 가스를 상기 몸체 내부에 수납된 각각의 웨이퍼들 사이 사이로 분배하여 공급되도록 복수의 가스 배출공들이 형성되는 분배 유로 덮개판이 구비되는 덮개;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 가스 배출공은 상기 몸체 내부에 수납되는 상기 각 웨이퍼들의 사이 사이에 위치하도록 형성되거나 또는, 상기 몸체 내부에 수납되는 상기 각 웨이퍼들의 측면에 대응되게 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 몸체의 가스 주입구에 연통되며 분리 가능하게 설치되며, 상기 가스 주입구와 상기 덮개의 가스 분배 유로의 분배 유로 입구를 연결하는 가스 공급 연결관;을 더 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 상기 가스 공급 연결관은 상기 몸체 내부에서 최하단에 수납되는 웨이퍼의 수납 높이 보다 더 낮게 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 가스 분배 유로는 상기 가스 주입구와 인접하는 하측 단부로부터 상측 단부로 갈수록 단면적이 작아지게 또는 커지게 형성될 수 있다.
또한, 상기 분배 유로 덮개판의 가스 배출공은 내측 직경과 외측 직경이 동일하게 관통 형성되거나, 내측 직경이 외측 직경 보다 더 크게 두께 방향으로 점차 축소되며 노즐 형태로 관통 형성되거나, 또는 내측 직경이 외측 직경 보다 더 작게 두께 방향으로 점차 확대되며 디퓨져 형태로 관통 형성될 수 있다.
또한, 상기 덮개는 상기 가스 배출구에 대응되는 내측면 타일측에서 높이 방향을 따라 홈이지게 가스 배출 유로가 더 형성되고, 상기 가스 배출구와 인접하는 상기 가스 배출 유로의 하단이 개방되게 배출 유로 출구를 이루도록 상기 가스 배출 유로를 덮으며 상기 몸체 내부에 수납된 각각의 웨이퍼들 사이 사이에서 치환된 공기 및 상기 치환 목적 가스들을 상기 가스 배출 유로를 통해 배출하도록 복수의 가스 배출공들이 형성되는 배출 유로 덮개판:을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 몸체의 가스 배출구에 연통되게 설치되어, 상기 가스 배출구와 상기 가스 배출 유로의 배출 유로 출구를 연결하는 가스 배출 연결관;을 더 포함할수 있다.
또한, 상기 가스 배출 연결관은 상기 몸체 내부에서 최하단에 수납되는 웨이퍼의 높이 보다 더 낮게 형성되는 것이 바람직하다.
또 다른 본 발명의 웨이퍼 캐리어는 전면부가 개방되며 내부에 웨이퍼들이 수납되도록 수납 공간이 형성되고, 바닥의 전면부 양측에 가스 주입구 및 가스 배출구가 관통 형성되는 몸체; 상기 몸체의 전면 개방부를 닫아 폐쇄하는 덮개; 및 상기 몸체 내측에서 상기 가스 주입공에 대응되게 상기 덮개 일측을 따라 높이 방향으로 연장 설치되며, 상기 가스 주입공을 통해 공급된 치환 목적 가스가 수납된 상기 웨이퍼들 사이 사이로 분배하여 공급되도록 복수의 가스 배출공들이 형성되는 가스 분배관;을 포함할 수 있다.
또한, 상기 가스 배출공은 상기 몸체 내부에 수납되는 상기 각 웨이퍼들의 사이 사이에 위치하거나, 또는 상기 몸체 내부에 수납되는 상기 각 웨이퍼들의 측면에 대응되게 형성될 수 있다.
또한, 상기 덮개 내측면에는 상기 가스 공급관이 수납되며 설치되도록 분배관 수납홈이 형성되고, 상기 몸체의 가스 주입구에 연통되게 설치되어, 상기 가스 주입구와 상기 가스 공급관의 하단부를 연결하는 가스 공급 연결관;을 더 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 상기 가스 분배관은 상기 가스 주입구와 인접하는 하측 단부로부터 상측 단부로 갈수록 점차 단면적이 더 작아지거나, 더 커지게 형성될 수 있다.
또한, 상기 가스 분배관의 가스 배출공은 내측 직경과 외측 직경이 일정하게 관통 형성되거나, 내측 직경이 외측 직경 보다 더 크게 두께 방향으로 점차 축소되며 노즐 형태로 관통 형성되거나 또는 내측 직경이 외측 직경 보다 더 작게 두께 방향으로 점차 확대되며 관통 형성될 수 있다.
또한, 상기 몸체 내측에서 상기 가스 배출공에 대응되게 상기 덮개 일측을 따라 높이 방향으로 연장 설치되며, 수납된 상기 웨이퍼들 사이 사이에 대응되게 복수의 가스 흡입공이 형성되는 가스 배출관;을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 덮개 내측면에는 상기 가스 배출관이 수납되며 설치되도록 배출관 수납홈이 형성되고, 상기 몸체의 가스 배출구에 연통되게 설치되어, 상기 가스 배출구와 상기 가스 공급관을 연통되게 연결하는 가스 배출 연결관;을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 가스 공급 연결관 및 상기 가스 배출 연결관은 상기 몸체 내부에서 최하단에 수납되는 웨이퍼의 높이 보다 더 낮게 형성되는 것이 바람직하다.
상기한 본 발명의 웨이퍼 캐리어에 따르면, 웨이퍼 캐리어의 덮개에 가스 분배 유로를 형성함과 아울러 가스 분배 유로를 덮는 분배 유로 덮개판에 몸체 수납된 웨이퍼들 사이 사이에 대응되게 가스 배출공을 형성하여 웨이퍼가 수납된 몸체 내부로 목적 가스를 주입하여 내부 공기를 치환하는 과정에서 수납된 웨이퍼들 사이 사이로 공급되는 목적 가스의 흐름을 유도하여 몸체 내부의 공기 치환율을 높일 수 있도록 하는 효과를 갖는다.
또한, 가스 공급 연결관을 이용해 가스 주입구와 덮개의 가스 분배 유로의 분배 유로 입구를 연결하도록 함으로써, 가스 주입구를 통해 공급되는 목적 가스가 덮개의 가스 분배 유로를 통해 좀더 효과적으로 분배되어 공급될 수 있도록 하는 효과를 갖는다.
또한, 덮개에 형성되는 가스 분배 유로가 가스 주입구와 인접하는 하측 단부로부터 상측 단부로 갈수록 단면적이 점차 작아지게 또는 커지게 형성함으로써, 분배 유로 덮개판에 형성되는 각각의 가스 배출공을 통해 동일하게 목적 가스가 공급될 수 있도록 하는 효과를 갖는다.
또한, 가스 배출공을 분배 유로 덮개판의 두께 방향으로 내측 직경과 외측 직경이 서로 동일하거나, 내측 직경이 외측직경보다 더 커지거나, 또는 내측 직경이 외측 직경보다 더 작아지게 변형하여 적용함으로써, 가스 배출공을 통해 웨이퍼들 사이 사이로 공급되는 목적 가스가 일정하게 공급되거나, 유속이 더 빨라진 상태로 공급되거나 또는 유속이 감소하며 좀더 확산되는 형태로 공급될 수 있도록 하는 효과를 갖는다.
또한, 덮개에 가스 배출구에 대응되는 내측면 타일측에서 높이 방향을 따라 홈이지게 가스 배출 유로 형성하고, 가스 배출구와 인접하는 가스 배출 유로의 하단이 개방되게 배출 유로 출구를 이루도록 가스 배출 유로를 덮으며 몸체 내부에 수납된 각각의 웨이퍼들 사이 사이에 공급된 가스들을 가스 배출 유로를 통해 배출하도록 복수의 가스 배출공이 형성되는 배출 유로 덮개판 더 구비하며, 가스 배출공과 가스 배출 유로의 배출 유로 출구를 연결하는 가스 배출 연결관을 더 포함하도록 구성되어 가스 배출구를 통해 몸체 내부의 공기와 목적 가스의 배출이 좀더 효과적으로 이루어질 수 있도록 하는 효과를 갖는다.
또한, 가스 공급 연결관과 가스 배출 연결관은 내부에서 최하단에 수납되는 웨이퍼의 수납 높이 보다 더 낮게 형성되어, 웨이퍼 인입출시 웨이퍼와의 간섭을 피할 수 있도록 하는 효과를 갖는다.
또 다른 본 발명의 웨이퍼 캐리어에 따르면 몸체 내측에서 가스 주입공에 대응되게 덮개 일측을 따라 높이 방향으로 연장 설치되며, 가스 주입공을 통해 공급된 가스가 수납된 웨이퍼들 사이 사이로 공급되게 복수의 가스 배출공이 형성되는 가스 분배관을 통해 웨이퍼가 수납된 몸체 내부로 목적 가스를 주입하여 내부 공기를 치환하는 과정에서 수납된 웨이퍼들 사이 사이로 공급되는 목적 가스의 흐름을 유도하여 몸체 내부의 공기 치환율을 높일 수 있도록 하는 효과를 갖는다.
또한, 덮개 내측면에 가스 분배관을 수용하기 위한 가스 분배관 수납홈을 형성함과 아울러 가스 공급 연결관을 이용해 상기 가스 주입구와 상기 가스 공급관 하단 분배 유로 입구를 연결하여, 가스 주입구를 통해 공급되는 목적 가스가 덮개의 가스 분배 유로를 통해 좀더 효과적으로 분배되어 수납된 웨이퍼들의 사이 사이로 잘 공급될 수 있도록 하는 효과를 갖는다.
또한, 가스 분배관에 형성되는 가스 분배 유로를 가스 주입구와 인접하는 하측 단부로부터 상측 단부로 갈수록 단면적이 작아지게 또는 커지게 형성하여, 가스 분배관에 형성되는 각각의 가스 배출공을 통해 동일한 목적 가스가 공급될 수 있도록 하는 효과를 갖는다.
또한, 가스 배출공을 가스 분배관의 두께 방향으로 내측 직경과 외측 직경이 서로 동일하거나, 내측 직경이 외측직경보다 더 커지거나, 또는 내측 직경이 외측 직경보다 더 작아지게 형성함으로써, 가스 배출공을 통해 몸체 내부에 수납된 웨이퍼들 사이 사이로 공급되는 목적 가스가 일정하게 공급되거나, 유속이 더 빨라진 상태로 공급되거나 또는 유속이 감소하며 좀더 확산되며 공급될 수 있도록 하는 효과를 갖는다.
또한, 상기 몸체 내측에서 상기 가스 배출공에 대응되게 상기 덮개 일측을 따라 높이 방향으로 연장 설치되며, 수납된 상기 웨이퍼들 사이 사이에 대응되게 복수의 가스 흡입공이 형성되는 가스 배출관 및 상기 가스 배출구와 상기 가스 공급관을 연통되게 연결하는 가스 배출 연결관을 더 포함하도록 구성되어 가스 배출구를 통해 몸체 내부의 공기와 목적 가스의 배출이 좀더 효과적으로 이루어질 수 있도록 하는 효과를 갖는다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 웨이퍼 캐리어의 분해 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시한 덮개의 분배 유로 덮개판 분리 사시도이다.
도 4는 도 1의 Ⅳ-Ⅳ선을 따라 잘라서 본 웨이퍼 캐리어의 측단면도이다.
도 5는 도 4의 Ⅴ부분의 가스 공급 연결관 연결부를 확대하여 도시한 측단면도이다.
도 6은 도 4의 Ⅵ부분의 가스 배출공을 확대하여 도시한 측단면도이다.
도 7은 도 3의 Ⅶ-Ⅶ선을 따라 잘라서 본 분배 유로 덮개판의 평단면도이다.
도 8 및 도 9는 분배 유로 덮개판의 분배관의 가스 배출공에 대한 변형예들을 도시한 평단면도이다.
도 10은 본 발명의 제2 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어의 측단면도이다.
도 11은 도 10의 ⅩⅠ부분의 가스 배출공을 확대하여 도시한 측단면도이다.
도 12는 본 발명의 제3 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어의 덮개를 도시한 배면도이다.
도 13은 도 12의 덮개가 적용된 웨이퍼 캐리어의 ⅩⅢ-ⅩⅢ선을 따라 잘라서본 측단면도이다.
도 14는 본 발명의 제4 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어의 분해 사사도이다.
도 15는 도 14에 도시한 덮개의 가스 분배관 분해 사시도이다.
도 16은 도 15의 가스 분배관을 분리하여 도시한 사시도이다.
도 17는 도 16의 ⅩⅦ-ⅩⅦ 선을 따라 잘라서 본 가스 분배관의 평단면도이다.
도 18 및 도 19는 도 17의 가스 공급관의 가스 공급공에 대한 변형예들을 도시한 평단면도이다.
도 20은 도 14의 웨이퍼 캐리어에 대한 측단면도이다.
도 21은 본 발명의 제5 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어의 측단면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어를 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 웨이퍼 캐리어의 분해 사시도이며, 도 3은 도 2에 도시한 덮개의 분배 유로 덮개판 분리 사시도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하여 설명하면, 본 실시예에서 웨이퍼 캐리어(1)는 풉(FOUP)인 것을 예시하며, 풉(FOUP)은 몸체(10)와, 이 몸체(10)의 전면 개방부를 닫아 폐쇄하는 덮개(20)를 포함하여 구성된다.
몸체(10)는 전면부가 개방되며 내부에 웨이퍼(미도시)를 수납하기 위한 내부 수납 공간이 형성되며, 내측 벽면에는 수납된 복수의 웨이퍼들을 기설정된 간격을 두고 높이 방향으로 서로 층을 이루며 수납되도록 가이드함과 아울러 수납된 상태를 유지하도록 잡아 고정하기 위한 리테이너들(13)이 구비된다.
그리고, 몸체(10)의 바닥면에는 내부에 충진된 공기를 목적 가스로 치환하도록 목적 가스를 공급하기 위한 가스 주입구(11) 및 치환된 공기 및 목적 가스를 배출하기 위한 가스 배출구(12)가 관통하여 형성된다.
덮개(20)는 몸체(10) 내부에 실장된 웨이퍼들을 안전하게 운반 및 보관할 수 있도록 몸체(10)의 전면 개방부를 닫아 폐쇄하도록 형성된다.
특히, 본 실시예의 덮개(20)에는 상기한 가스 주입공(11)에 대응되는 내측면 일측에서 높이 방향을 따라 홈이지며 가스 분배 유로(21)가 형성된다.
그리고, 상기 가스 주입구(11)와 인접하는 상기 가스 분배 유로(21)의 하단이 개방되게 분배 유로 입구(21)를 이루도록 상기 가스 분배 유로(22)를 덮으며 상기 가스 분배 유로(22)를 통해 공급된 가스를 상기 몸체(10) 내부에 수납된 각각의 웨이퍼들 사이 사이로 분배하여 공급할 수 있도록 복수의 가스 배출공(26)들이 형성되는 분배 유로 덮개판(25)을 포함하여 구성된다.
한편, 분배 유로 덮개판(25)은 양측면에 돌출 형성되는 고정 돌기(24)가 이에 대응되게 형성되는 가스 분배 유로(22)의 양측 벽면에 요홈지게 형성되는 돌기 수용홈(23)에 끼워져 고정된다.
도 4는 도 1의 Ⅳ-Ⅳ선을 따라 잘라서 본 웨이퍼 캐리어의 측단면도이고, 도 5는 도 4의 Ⅴ부분의 가스 공급 연결관 연결부를 확대하여 도시한 측단면도이며, 도 6은 도 4의 Ⅵ부분의 가스 배출공을 확대하여 도시한 측단면도이다.
도 4 내지 도 6를 참조하여 설명하면, 본 실시예의 웨이퍼 캐리어(1)는 덮개(20)에 가스 분배 유로(22)를 형성함과 아울러 가스 분배 유로(22)를 덮는 분배 유로 덮개판(25)에 몸체(1) 내부에 수납된 웨이퍼들 사이 사이에 대응되게 가스 배출공(26)들을 형성하여, 몸체(10) 내부에 채워진 공기를 치환하는 과정에서 수납된 웨이퍼들(50) 사이 사이로 공급되는 목적 가스의 흐름을 유도하여 몸체 내부의 공기 치환율을 높일 수 있도록 한다.
특히, 도 6에 도시한 바와 같이, 분배 유로 덮개판(25)에 형성되는 가스 배출공들(26)이 몸체(1) 내부에 수납된 웨이퍼들 사이 사이에 대응되게 형성되는 경우, 25매의 웨이퍼를 수납하는 풉(FOUP)을 기준으로 대략 23개의 가스 배출공들을 형성하는 것을 예시한다.
몸체(10)에는 상기 가스 주입구(11)와 상기 덮개(20)의 가스 분배 유로(21)의 하단부에 형성되는 분배 유로 입구를 연결하기 위한 가스 공급 연결관(15)이 더 구비된다.
이처럼, 가스 공급 연결관(15)을 이용해 가스 주입구(11)와 덮개(20)의 가스 분배 유로(21)의 분배 유로 입구를 연결하도록 함으로써, 가스 주입구(11)를 통해 공급되는 목적 가스가 덮개의 가스 분배 유로(21) 및 분배 유로 덮개판(25)의 가수 배출공(26)을 통해 좀더 효과적으로 분배되어 공급될 수 있도록 한다.
또한, 가스 공급 연결관(15)은 몸체(10)의 가스 주입구(11)로부터 분리 가능하게 설치되어, 세척 기구를 이용한 풉(FOUP)의 세척 과정에서 분리하여 세척 기구들과의 간섭을 피할 수 있도록 한다.
다시 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명하면, 덮개(20)에 형성되는 가스 분배 유로(22)는 몸체(10)의 가스 주입구(11)와 인접하는 하측 단부로부터 상측 단부로 갈수록 단면적이 작아지게 형성되는 것이 좀더 바람직하다.
이처럼, 가스 분배 유로(21)를 하측 단부로부터 상측 단부로 갈수록 단면적이 작아지게 형성함으로써, 분배 유로 덮개판(25)에 형성되는 각각의 가스 배출공(26)을 기설정된 가스유량과 가스압력으로 목적 가스가 공급될 수 있도록 한다.
그러나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며 분배 유로 덮개판(25)에 형성되는 각각의 가스 배출공(26)을 통해 공급되는 목적 가스의 공급 유량과 공급 압력의 변화를 통해 가스 치환율을 높일 수 있도록 하기 위해 가스 분배 유로(22)를 하측 단부로부터 상측 단부로 갈수록 단면적이 점차 커지게 변형하여 적용할 수 있음은 당연하다.
도 7은 도 3의 Ⅶ-Ⅶ선을 따라 잘라서 본 분배 유로 덮개판의 평단면도이고, 도 8 및 도 9는 분배 유로 덮개판의 분배관의 가스 배출공에 대한 변형예들을 도시한 평단면도이다.
도 7 내지 도 9을 참조하여 설명하면, 본 실시예에서 분배 유로 덮개판(25)에 형성되는 가스 배출공(26)은 내측 직경(l)과 외측 직경(L)이 동일하게 관통 형성하여 웨이퍼들 사이 사이로 목적 가스가 일정하게 공급될 수 있도록 하는 것을 예시한다.
그러나 본 발명이 이에 반드시 한정되는 것은 아니며, 도 7 및 도 8에 도시한 변형예에서와 같이, 가스 배출공(27, 28)이 분배 유로 덮개판(25)의 내측 직경(l)이 외측 직경(L)보다 더 커지게 노즐 형상을 이루며 관통 형성되거나 또는 내측 직경(l)이 외측 직경(L)보다 더 작아지게 디퓨져 형상을 이루며 관통 형성함으로써, 가스 배출공(27, 28)을 통해 몸체 내부에 수납된 웨이퍼들 사이 사이로 유속이 더 빨라진 상태로 공급되도록 하거나 또는 유속이 감소하며 좀더 넓게 확산되어 공급될 수 있도록 할 수도 있다.
한편, 상기한 가스 배출공(26, 27, 29)들은 원형으로 관통 형성되는 것을 예시하나, 가스 배출공(26)이 원형으로 이루어지지 않는 경우 상기한 내측 직경(l) 및 외측 직경(L)은 가스 배출공의 내, 외측의 최대 폭으로 각각 해설될 수 있다.
이하, 본 발명의 다른 실시예들을 첨부한 도면들을 참조하여 설명하며, 상기한 제1 실시예와 동일 및 유사한 구성에 대해서는 같은 참조 부호를 사용하고 이들에 대한 반복적인 설명은 생략하기로 한다.
도 10은 본 발명의 제2 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어의 측단면도이고, 도 11은 도 10의 ⅩⅠ부분의 가스 배출공을 확대하여 도시한 측단면도이다.
도 10 및 도 11을 참조하여 설명하면, 본 실시예의 웨이퍼 캐리어(100)는, 상기한 제1 실시예의 웨이퍼 캐리어와 비교하여, 덮개(120)의 분배 유로 덮개판(125)에 형성되는 복수의 가스 배출공(126)이 상기 몸체(10) 내부에 수납되는 상기 각 웨이퍼들(50)의 측면에 각각 대응되게 형성되는 구성의 차이를 갖는다.
특히, 본 실시예에서는 상기한 가스 배출공들(126)을 각각의 웨이퍼들(50)의 측면에 대응되게 형성하는 경우, 25매의 웨이퍼들(50)을 수납하는 풉(FOUP)을 기준으로 대략 13의 가스 배출공을 형성되는 것을 예시한다.
이처럼, 가스 배출공들(126)을 각각의 웨이퍼들(50) 측면에 대응되게 형성함으로써, 가스 배출공(126)을 통해 배출되는 목적 가스가 웨이퍼들(50)의 측면에 부딛치며 상, 하측 사이 공간으로 분산되며 공급되도록 하여 몸체 내부의 공기 치환율을 높일 수 있게 된다.
도 12는 본 발명의 제3 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어의 덮개를 도시한 배면도이고, 도 13은 도 12의 덮개가 적용된 웨이퍼 캐리어의 ⅩⅢ-ⅩⅢ선을 따라 잘라서본 측단면도이다.
도 12 및 도 13을 참조하여 설명하면, 본 실시예의 웨이퍼 캐리어(200)는, 전술한 제1 실시예의 웨이퍼 캐리어와 비교하여, 덮개(220)에 상기 몸체(10)의 가스 배출구(12)에 대응되는 내측면 타일측에서 높이 방향을 따라 홈이지게 가스 배출 유로(32)가 더 형성되는 구성의 차이를 갖는다.
그리고, 덮개(220)에는 상기 가스 배출구(12)와 인접하는 상기 가스 배출 유로(32)의 하단이 개방되게 배출 유로 출구(31)를 이루도록 상기 가스 배출 유로(32)를 덮으며, 상기 몸체(10) 내부에 수납된 각각의 웨이퍼들(50) 사이 사이에 공급된 목적 가스들에 의해 치환되는 공기가 상기 가스 배출 유로(32)를 통해 배출하도록 복수의 가스 흡입공(36)들이 형성되는 배출 유로 덮개판(35)이 더 구비된다.
또한, 상기 몸체(10)의 가스 배출구(12)에 연통되게 설치되며, 상기 가스 배출구(12)와 상기 가스 배출 유로(32)의 배출 유로 출구를 연결하는 가스 배출 연결관(16)이 더 구비된다.
따라서, 본 실시예의 웨이퍼 캐리어는 배출 유로 덮개판(35)의 가스 흡입공(36) 및 가스 배출 유로(32) 그리고 가스 배출 연결관(16)을 통해 몸체(10) 내부에 잔류하는 공기 및 일부 목적 가스들을 부압을 걸어 배출할 수 있는 별도의 유로를 형성하여 공기 치환 효과를 좀더 효과적으로 수행할 수 있도록 한다.
한편, 상기 가스 배출 연결관(16)은, 상기한 가스 공급 연결관(15)과 마찬가지로 상기 몸체(10) 내부에서 최하단에 수납되는 웨이퍼의 수납 높이 보다 더 낮게 형성되어, 웨이퍼 인입출시 간섭을 방지할 수 있도록 한다.
도 14는 본 발명의 제4 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어의 분해 사사도이고, 도 15는 도 14에 도시한 덮개의 가스 분배관 분해 사시도이다.
도 14 및 15을 참조하여 설명하면, 본 실시예의 웨이퍼 캐리어(300)는, 전술한 제1 실시예와 비교하여, 상기 몸체(10) 내측에서 상기 가스 주입공(11)에 대응되게 상기 덮개(120) 일측을 따라 높이 방향으로 연장 설치되며, 상기 가스 주입공(11)을 통해 공급된 가스가 수납된 상기 웨이퍼들(50) 사이 사이로 공급되게 복수의 가스 배출공(335)이 형성되는 별도의 가스 분배관(330)을 포함하도록 하는 구성의 차이를 갖는다.
따라서, 가스 주입공(11)을 통해 몸체(10) 내부로 유입된 목적 가스를 별도로 설치되는 가스 분배관(330)의 가스 배출공(335)들 통해 수납된 상기 웨이퍼들(50) 사이 사이로 공급할 수 있도록 한다.
그리고, 몸체(10) 내부에 가스 분배관(330)을 설치하기 위한 공간적 제한을 해소하기 위해 상기 덮개(320) 내측면에는 상기 가스 공급관(330)이 수납되며 설치되도록 분배관 수납홈(321)이 형성된다.
또한, 상기 몸체(10)의 가스 주입구(11)에 연통되게 설치되어, 상기 가스 주입구(11)와 상기 가스 공급관(330) 하단에 개방 형성된 분배 유로 입구(331)를 연결하는 가스 공급 연결관(315)이 형성된다.
한편, 가스 분배관(330)에 형성되는 가스 배출공(335)은, 도 5 및 도 11에 도시한 바와 같이, 상기 몸체(10) 내부에 수납되는 상기 각 웨이퍼들(50)의 사이 사이에 위치하도록 형성되거나 또는, 상기 몸체(10) 내부에 수납되는 상기 각 웨이퍼들(50)의 측면에 대응되게 형성될 수 있다.
도 16은 도 15의 가스 분배관을 분리하여 도시한 사시도이고, 도 17는 도 16의 ⅩⅦ-ⅩⅦ 선을 따라 잘라서 본 가스 분배관의 평단면도이며. 도 18 및 도 19는 도 17의 가스 공급관의 가스 공급공에 대한 변형예들을 도시한 평단면도이다.
도 16 내지 도 19을 참조하여 설명하면, 본 실시예의 가스 분배관(330)은, 전술한 제1 실시예의 상기한 가스 분배 유로(22)와 마찬가지로, 상기 가스 주입구(11)와 인접하는 하측 단부로부터 상측 단부로 갈수록 단면적이 작아지거나 커지게 게 형성될 수 있다. 따라서, 가스 분배관(330)에 형성되는 각각의 가스 배출공(335)들을 통해 기설정된 가스 유량 및 가스 압력으로 목적 가스가 공급될 수 있도록 한다.
그리고, 상기 가스 분배관(330)의 가스 배출공(335, 336, 337)은, 전술한 제1 실시예의 분배 유로 덮개판(25)의 가스 배출공(26)과 마찬가지로, 내측 직경(l)와 외측 직경(L)일 일정하게 관통 형성되거나, 내측 직경(l)이 외측 직경(L) 보다 더 크게 두께 방향으로 축소되며 노즐 형태로 관통 형성되거나, 또는 내측 직경(l)이 외측 직경(L)보다 더 작게 두께 방향으로 확대되며 디퓨져 형태로 관통 형성될 수 있다.
따라서, 가스 배출공(335, 336, 337)을 통해 몸체(10) 내부에 수납된 웨이퍼들(50) 사이 사이로 공급되는 목적 가스가 일정하게 공급되거나, 유속이 더 빨라진 상태로 공급되거나 또는 유속이 감소하며 좀더 확산되며 공급될 수 있다.
도 20은 도 14의 웨이퍼 캐리어에 대한 측단면도이다.
도 20을 참조하여 설명하면, 본 실시예의 웨이퍼 캐리어(300)는 몸체(10) 내측에서 가스 주입공(11)에 대응되게 덮개 일측을 따라 높이 방향으로 연장 설치되며, 가스 주입공(11)을 통해 공급된 목적 가스가 수납된 웨이퍼들(50) 사이 사이로 공급되게 복수의 가스 배출공(335)이 형성되는 가스 분배관(330)을 통해 웨이퍼들(50)이 수납된 몸체 내부로 목적 가스를 주입하여 내부 공기를 치환하는 과정에서 수납된 웨이퍼들(50) 사이 사이로 공급되는 목적 가스의 흐름을 유도하여 몸체 내부의 공기 치환율을 높일 수 있도록 한다.
도 21은 본 발명의 제5 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어의 측단면도이다.
도 21을 참조하여 설명하면, 본 실시예의 웨이퍼 캐리어(400)는, 전술한 제4 실시예의 웨이퍼 캐리어와 비교하여, 상기 몸체(10) 내측에서 상기 가스 배출공(12)에 대응되게 상기 덮개(420) 일측을 따라 높이 방향으로 연장 설치되며, 수납된 상기 웨이퍼들 사이 사이에 대응되게 복수의 가스 흡입공(435)이 형성되는 가스 배출관(430)을 더 포함할 수 있다. (도 12 및 도13 참조)
그리고. 상기 덮개(420) 내측면에는 상기 가스 배출관(430)이 수납되며 설치되도록 배출관 수납홈(421)이 형성되고, 상기 몸체(10)의 가스 배출구(12)에 연통되게 설치되어 상기 가스 배출구(12)와 상기 가스 배출관(430)을 연통되게 연결하는 가스 배출 연결관(416)을 포함할 수 있다.
따라서, 본 실시예의 웨이퍼 캐리어(400)는 수납된 웨이퍼들(50) 사이 사이에 잔류하는 공기 및 목적 가스 등이 가스 흡입공(435)을 통해 가스 배출관(430) 내부로 유입된 후, 가스 배출 연결관(416)을 거쳐 가스 배출구(12)를 통해 배출되도록 함으로써, 몸체(10) 내부의 공기와 목적 가스의 배출이 좀더 효과적으로 이루어져 웨이퍼들(50)이 수납된 몸체(10) 내부의 공기 치환이 좀더 효과적으로 이루어질 수 있도록 한다.
이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형 또는 변경하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.
1, 100, 200, 300, 400: 웨이퍼 캐리어 10: 몸체
11: 가스 주입구 12: 가스 배출구
13: 리테이너 15, 315: 가스 공급 연결관
16, 416: 가스 배출 연결관 20, 120, 220, 320, 420: 덮개
21, 331: 분배 유로 입구 22, 332: 가스 분배 유로
23: 돌기 수용홈 24: 고정 돌기
25, 125: 분배 유로 덮개판 31, 431: 배출 유로 출구
26, 27, 28, 126, 335, 336, 337: 가스 배출공
32, 432: 가스 배출 유로 35; 배출 유로 덮개판
36; 가스 흡입공 321: 분배관 수납홈
330: 가스 분배관 421: 배출관 수납홈
430: 가스 배출관

Claims (23)

  1. 전면부가 개방되며 내부에 웨이퍼들이 수납되도록 수납 공간이 형성되고, 바닥의 전면부 양측에 가스 주입구 및 가스 배출구가 관통 형성되는 몸체; 및

    상기 몸체의 전면 개방부를 닫아 폐쇄하며,
    상기 가스 주입공에 대응되는 내측면 일측에서 높이 방향을 따라 홈이지며 가스 분배 유로가 형성되고,
    상기 가스 주입구와 인접하는 상기 가스 분배 유로의 하단이 개방되게 분배 유로 입구를 이루도록 상기 가스 분배 유로를 덮으며 상기 가스 분배 유로를 통해 공급된 치환 목적 가스를 상기 몸체 내부에 수납된 각각의 웨이퍼들 사이 사이로 분배하여 공급되도록 복수의 가스 배출공들이 형성되는 분배 유로 덮개판이 구비되는 덮개;를 포함하는 웨이퍼 캐리어.
  2. 제1항에서,
    상기 가스 배출공은,
    상기 몸체 내부에 수납되는 상기 각 웨이퍼들의 사이 사이에 위치하도록 형성되는 웨이퍼 캐리어.
  3. 제1항에서,
    상기 가스 배출공은,
    상기 몸체 내부에 수납되는 상기 각 웨이퍼들의 측면에 대응되게 형성되는 웨이퍼 캐리어.
  4. 제1항에서,
    상기 몸체의 가스 주입구에 연통되며 분리 가능하게 설치되며,
    상기 가스 주입구와 상기 덮개의 가스 분배 유로의 분배 유로 입구를 연결하는 가스 공급 연결관;을 더 포함하는 웨이퍼 캐리어.
  5. 제4항에서,
    상기 가스 공급 연결관은,
    상기 몸체 내부에서 최하단에 수납되는 웨이퍼의 수납 높이 보다 더 낮게 형성되는 웨이퍼 캐리어.
  6. 제1항에서,
    상기 가스 분배 유로는,
    상기 가스 주입구와 인접하는 하측 단부로부터 상측 단부로 갈수록 단면적이 작아지게 또는 커지게 형성되는 웨이퍼 캐리어.
  7. 제1항에서,
    상기 분배 유로 덮개판의 가스 배출공은 내측 직경과 외측 직경이 동일하게 관통 형성되는 웨이퍼 캐리어.
  8. 제1항에서,
    상기 분배 유로 덮개판의 가스 배출공은,
    내측 직경이 외측 직경 보다 더 크게 두께 방향으로 점차 축소되며 관통 형성되는 웨이퍼 캐리어.
  9. 제1항에서,
    상기 분배 유로 덮개판의 가스 배출공은,
    내측 직경이 외측 직경 보다 더 작게 두께 방향으로 점차 확대되며 관통 형성되는 웨이퍼 캐리어.
  10. 제1항에서,
    상기 덮개는,
    상기 가스 배출구에 대응되는 내측면 타일측에서 높이 방향을 따라 홈이지게 가스 배출 유로가 더 형성되고,

    상기 가스 배출구와 인접하는 상기 가스 배출 유로의 하단이 개방되게 배출 유로 출구를 이루도록 상기 가스 배출 유로를 덮으며 상기 몸체 내부에 수납된 각각의 웨이퍼들 사이 사이에서 치환된 공기 및 상기 치환 목적 가스들을 상기 가스 배출 유로를 통해 배출하도록 복수의 가스 배출공들이 형성되는 배출 유로 덮개판:이 더 구비되는 웨이퍼 캐리어.
  11. 제10항에서,
    상기 몸체의 가스 배출구에 연통되게 설치되어,
    상기 가스 배출구와 상기 가스 배출 유로의 배출 유로 출구를 연결하는 가스 배출 연결관;을 더 포함하는 웨이퍼 캐리어.
  12. 제11항에서,
    상기 가스 배출 연결관은,
    상기 몸체 내부에서 최하단에 수납되는 웨이퍼의 높이 보다 더 낮게 형성되는 웨이퍼 캐리어.
  13. 전면부가 개방되며 내부에 웨이퍼들이 수납되도록 수납 공간이 형성되고, 바닥의 전면부 양측에 가스 주입구 및 가스 배출구가 관통 형성되는 몸체;
    상기 몸체의 전면 개방부를 닫아 폐쇄하는 덮개; 및
    상기 몸체 내측에서 상기 가스 주입공에 대응되게 상기 덮개 일측을 따라 높이 방향으로 연장 설치되며, 상기 가스 주입공을 통해 공급된 치환 목적 가스가 수납된 상기 웨이퍼들 사이 사이로 분배하여 공급되도록 복수의 가스 배출공들이 형성되는 가스 분배관;을 포함하는 웨이퍼 캐리어.
  14. 제13항에서,
    상기 가스 배출공은,
    상기 몸체 내부에 수납되는 상기 각 웨이퍼들의 사이 사이에 위치하도록 형성되는 웨이퍼 캐리어.
  15. 제13항에서,
    상기 가스 배출공은,
    상기 몸체 내부에 수납되는 상기 각 웨이퍼들의 측면에 대응되게 형성되는 웨이퍼 캐리어.
  16. 제13항에서,
    상기 덮개 내측면에는 상기 가스 공급관이 수납되며 설치되도록 분배관 수납홈이 형성되고,

    상기 몸체의 가스 주입구에 연통되게 설치되어, 상기 가스 주입구와 상기 가스 공급관의 하단부를 연결하는 가스 공급 연결관;을 더 포함하는 웨이퍼 캐리어.
  17. 제13항에서,
    상기 가스 분배관은,
    상기 가스 주입구와 인접하는 하측 단부로부터 상측 단부로 갈수록 점차 단면적이 더 작아지거나, 더 커지게 형성되는 웨이퍼 캐리어.
  18. 제13항에서,
    상기 가스 분배관의 가스 배출공은,
    내측 직경과 외측 직경이 일정하게 관통 형성되는 웨이퍼 캐리어.
  19. 제13항에서,
    상기 가스 분배관의 가스 배출공은,
    내측 직경이 외측 직경 보다 더 크게 두께 방향으로 점차 축소되며 관통 형성되는 웨이퍼 캐리어.
  20. 제13항에서,
    상기 가스 분배관의 가스 배출공은,
    내측 직경이 외측 직경 보다 더 작게 두께 방향으로 점차 확대되며 관통 형성되는 웨이퍼 캐리어.
  21. 제13항에서,
    상기 몸체 내측에서 상기 가스 배출공에 대응되게 상기 덮개 일측을 따라 높이 방향으로 연장 설치되며,
    수납된 상기 웨이퍼들 사이 사이에 대응되게 복수의 가스 흡입공이 형성되는 가스 배출관;을 더 포함하는 웨이퍼 캐리어.
  22. 제21항에서,
    상기 덮개 내측면에는 상기 가스 배출관이 수납되며 설치되도록 배출관 수납홈이 형성되고,
    상기 몸체의 가스 배출구에 연통되게 설치되어, 상기 가스 배출구와 상기 가스 공급관을 연통되게 연결하는 가스 배출 연결관;을 더 포함하는 웨이퍼 캐리어.
  23. 제22항에서,
    상기 가스 공급 연결관 및 상기 가스 배출 연결관은,
    상기 몸체 내부에서 최하단에 수납되는 웨이퍼의 높이 보다 더 낮게 형성되는 웨이퍼 캐리어.
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