KR20120132360A - 액적 토출 장치 - Google Patents
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Abstract
(과제) 메인터넌스 장치에 악영향을 미치는 일 없이 토출 검사를 실행 가능한 액적 토출 장치를 제공한다.
(해결 수단) 기재(substrate; P)를 보유지지하는 스테이지부(6)와, 기재에 대하여 액체의 액적을 토출하는 노즐을 갖는 토출 헤드(9)와, 토출 헤드를 지지하여 스테이지부에 대하여, 토출 헤드와 일체적으로 상대 이동하는 이동부(4)와, 토출 헤드에 대하여 소정의 메인터넌스 처리를 행하는 메인터넌스 장치(14)와, 노즐의 액적 토출 특성을 검사하는 검사 장치(13, 15)를 구비한다. 메인터넌스 장치와 검사 장치는, 스테이지부를 사이에 두고 이동부의 상대 이동 방향의 반대측에 배치된다.
(해결 수단) 기재(substrate; P)를 보유지지하는 스테이지부(6)와, 기재에 대하여 액체의 액적을 토출하는 노즐을 갖는 토출 헤드(9)와, 토출 헤드를 지지하여 스테이지부에 대하여, 토출 헤드와 일체적으로 상대 이동하는 이동부(4)와, 토출 헤드에 대하여 소정의 메인터넌스 처리를 행하는 메인터넌스 장치(14)와, 노즐의 액적 토출 특성을 검사하는 검사 장치(13, 15)를 구비한다. 메인터넌스 장치와 검사 장치는, 스테이지부를 사이에 두고 이동부의 상대 이동 방향의 반대측에 배치된다.
Description
본 발명은, 액적 토출 장치(liquid droplet discharging device)에 관한 것이다.
최근, 자외선 조사에 의해 경화하는 자외선 경화(curing)형 잉크를 이용하여 기록 매체에 화상 또는 패턴을 형성하는 액적 토출 장치가 주목되고 있다. 자외선 경화형 잉크는, 자외선을 조사하기까지는 경화가 매우 늦고, 자외선을 조사하면 급속하게 경화한다는, 인쇄 잉크로서 바람직한 특성을 갖는다. 또한, 경화시에 있어서 용제를 휘발시키는 일이 없기 때문에, 환경 부하가 작다는 이점도 있다.
또한, 자외선 경화형 잉크는, 비히클(vehicle)의 조성에 의해 여러 가지의 기록 매체에 높은 부착성을 발휘한다. 또한, 경화한 후는 화학적으로 안정되고, 접착성, 내약제성(chemical resistance), 내후성, 내마찰성 등이 높으며, 옥외 환경에도 견디는 등, 우수한 특성을 갖는다. 이 때문에, 종이, 수지 필름, 금속박 등의 얇은 시트 형상의 기록 매체 외에, 기록 매체의 라벨면, 텍스타일 제품 등, 어느 정도 입체적인 표면 형상을 갖는 것에 대해서도 화상을 형성할 수 있다. 상기의 자외선 경화형 잉크를 액적 토출 방식으로, 기판 상의 IC에 제조 번호나 제조 회사 등의 속성 정보를 인쇄하는 기술이 개시되어 있다(예를 들면, 특허문헌 1).
이런 종류의 액적 토출 장치에 있어서는, 예를 들면, 검사용 스테이지에 액적 토출을 행하여 경화시킨 후에, 당해 검사용 스테이지를 촬상 장치 등을 이용하여 촬상함으로써, 토출 헤드로부터의 잉크 토출 상태를 미리 검사하는 검사 장치가 설치되어 있다(예를 들면, 특허문헌 2, 특허문헌 3 등 참조).
그러나, 전술한 바와 같은 종래 기술에는, 이하와 같은 문제가 존재한다.
액적 토출 장치에는, 토출 헤드로부터의 잉크 토출에 불량이 발생하고 있던 경우에, 클리닝 동작을 행하여 토출 불량을 해소하는 등을 위해, 와이핑(wiping) 기구, 노즐 흡인 기구 등으로 구성되는 메인터넌스 장치가 설치되지만, 상기 특허문헌 2, 특허문헌 3에 기재된 장치에서는, 메인터넌스 장치의 근방에 토출 검사 장치가 배치되어 있다. 그 때문에, 토출 검사시에 있어서, 검사용 스테이지에 토출한 액적을 경화시키기 위해 조사한 자외선이 메인터넌스 장치에 잔존하는 잉크를 경화시켜 문제를 발생시킬 가능성이 있다.
이는, 자외선 경화형 잉크를 이용한 경우에 한정되는 것이 아니고, 열 경화형 잉크를 이용한 경우에도, 검사용 스테이지에 토출한 액적을 경화(건조)시키기 위해 이용한 열이 메인터넌스 장치에 잔존하는 잉크에 작용하여 경화시켜, 동일한 문제를 발생시킬 가능성이 있다.
본 발명은, 이상과 같은 점을 고려하여 이루어진 것으로, 메인터넌스 장치에 악영향을 미치는 일 없이 토출 검사를 실행 가능한 액적 토출 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기의 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 이하의 구성을 채용하고 있다.
본 발명의 액적 토출 장치는, 기재(substrate)를 보유지지하는 스테이지부와, 상기 기재에 대하여 액체의 액적을 토출하는 노즐을 갖는 토출 헤드와, 상기 토출 헤드를 지지하여 상기 스테이지부에 대하여, 상기 토출 헤드와 일체적으로 상대 이동하는 이동부와, 상기 토출 헤드에 대하여 소정의 메인터넌스 처리를 행하는 메인터넌스 장치와, 상기 노즐의 액적 토출 특성을 검사하는 검사 장치를 구비하고, 상기 메인터넌스 장치와 상기 검사 장치는, 상기 스테이지부를 사이에 두고 상기 이동부의 상대 이동 방향의 반대측에 배치되는 것을 특징으로 하는 것이다.
따라서, 본 발명의 액적 토출 장치에서는, 검사 장치에 있어서 액적을 경화시키기 위해, 자외선 등의 활성 광선이나 열 등의 에너지를 부여한 경우에서도, 검사 장치가 스테이지부를 사이에 두고 메인터넌스 장치의 반대측에 배치되어 있기 때문에, 부여한 에너지에 의해 메인터넌스 장치에 잔존하는 액체가 경화하는 등의 악영향이 미치는 것을 방지할 수 있다.
상기의 액적 토출 장치에 있어서의 상기 검사 장치로서는, 상기 노즐로부터 상기 액적이 토출되는 검사용 토출부와, 상기 이동부의 이동 가능 범위의 외부 영역에 배치됨과 함께, 상기 검사용 토출부에 토출된 상기 액적을 상기 이동부의 이동 가능 범위의 외부 영역에서 촬상하는 촬상부를 구비하는 구성을 적합하게 채용할 수 있다.
이에 따라, 본 발명에서는, 검사용 토출부에 토출된 액적을, 촬상부가 이동부의 이동 가능 범위의 외부 영역에서 촬상하여, 노즐의 액적 토출 특성을 검사하기 때문에, 이동부의 이동 가능 범위로부터 촬상부를 이동시킬 필요가 없어진다.
따라서, 본 발명에 의하면, 노즐 토출 상태의 검사시에 토출 헤드를 이동시키는 것이 가능해지고, 기재에 대한 액적 토출과, 액적 토출 특성의 검사를 병행하여 행하는 것이 가능해진다.
상기의 액적 토출 장치에 있어서의 상기 검사용 토출부로서는, 상기 상대 이동 방향에 관하여 상기 이동부의 이동 가능 범위에서 상기 토출 헤드와 대향하는 위치와, 상기 이동부의 이동 가능 범위의 외부 영역에서 상기 촬상부와 대향하는 위치와의 사이를 이동하는 구성을 적합하게 채용할 수 있다.
이에 따라, 본 발명에서는, 검사용 토출부가 토출 헤드와 대향하는 위치에서 토출 헤드의 노즐로부터 검사용의 액적 토출이 가능해지고, 또한, 검사용 토출부가 이동하여 촬상부와 대향하는 위치에서 촬상 장치에 의한 액적의 촬상이 가능해진다.
또한, 본 발명에서는, 상기 노즐로부터 상기 검사용 토출부로의 액적 토출을, 상기 상대 이동마다 실행시키는 제어부를 구비하는 구성을 적합하게 채용할 수 있다.
이에 따라, 본 발명에서는, 노즐로부터의 액적 토출에 불량이 발생한 상태에서 기재에 대한 액적 토출을 행해 버려, 기재 및 토출하는 액체의 낭비를 막는 것이 가능해진다.
상기의 액적 토출 장치에 있어서의 상기 토출 헤드로서는, 활성 광선으로 경화하는 액체의 액적을 토출하는 구성을 적합하게 채용할 수 있다.
이에 따라, 본 발명에서는, 기재에 대하여 고정밀도로 토출된 액적에 활성 광선을 조사함으로써, 신속하고 그리고 작은 환경 부하로 고정밀도의 액적 토출 처리를 실행할 수 있다.
상기 구성에 있어서는, 상기 토출 헤드를 사이에 두고 상기 상대 이동 방향의 양측에 배치되어, 상기 기재 상의 상기 액적에 상기 활성 광선을 조사하는 조사부를 구비하는 구성을 적합하게 채용할 수 있다.
이에 따라, 본 발명에서는, 이동부의 상대 이동 방향의 한쪽측 및 다른 한쪽측의 어느 쪽에 있어서도, 토출한 액적을 경화시키는 것이 가능해져 생산성의 향상을 도모할 수 있다. 또한, 본 발명에서는, 상대 이동 방향의 한쪽측에서 검사용 토출부에 액적 토출을 행한 경우에는, 당해 한쪽측에서 후방에 위치하는 조사부에서 활성 광선을 조사하는 것도 가능하지만, 상대 이동 방향을 반전한 후에, 전방(외측)에 위치하는 조사부를 이용하여 활성 광선을 조사함으로써, 이동부의 이동 가능 범위를 작게 할 수 있다.
또한, 본 명세서에 있어서의, 소정 방향이나 상대 이동 방향에 대해서는, 제조?조립에 의한 오차 등에 의해 어긋나는 범위도 포함하는 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 실시 형태의 액적 토출 장치(1)의 개략 구성을 나타내는 개략도이다.
도 2는 액적 토출 헤드의 노즐 형성면에 있어서의 노즐의 배열 상태를 나타내는 도면이다.
도 3은 액적 토출 헤드의 내부 구성을 나타내는 부분 단면도이다.
도 4는 액적 토출 장치의 주요부를 나타내는 평면도이다.
도 5는 인쇄 처리를 행하는 순서를 나타내는 도면이다.
도 2는 액적 토출 헤드의 노즐 형성면에 있어서의 노즐의 배열 상태를 나타내는 도면이다.
도 3은 액적 토출 헤드의 내부 구성을 나타내는 부분 단면도이다.
도 4는 액적 토출 장치의 주요부를 나타내는 평면도이다.
도 5는 인쇄 처리를 행하는 순서를 나타내는 도면이다.
(발명을 실시하기 위한 형태)
이하, 본 발명의 액적 토출 장치의 실시 형태를, 도 1 내지 도 5를 참조하여 설명한다.
또한, 이하의 실시의 실시 형태는, 본 발명의 일 실시형태를 나타내는 것으로, 이 발명을 한정하는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 임의로 변경 가능하다. 또한, 이하의 도면에 있어서는, 각 구성을 알기 쉽게 하기 위해, 실제의 구조와 각 구조에 있어서의 축척이나 수 등을 상이하게 하고 있다.
이하의 설명에 있어서는, 도 1 중에 나타난 XYZ 직교 좌표계를 설정하고, 이 XYZ 직교 좌표계를 참조하면서 각 부재에 대해서 설명한다. XYZ 직교 좌표계는, X축 및 Y축이 스테이지(스테이지부)(6)에 대하여 평행한 방향으로 설정되고, Z축이 스테이지(6)에 대하여 직교하는 방향으로 설정되어 있다. 도 1 중의 XYZ 좌표계는, 실제로는 XY 평면이 수평면에 평행한 면에 설정되고, Z축이 연직 상방향으로 설정된다. 또한, 액적 토출 헤드(토출 헤드)(9)의 주사 이동 방향을 Y 방향(제1 방향), 스테이지(6)의 이동 방향을 X 방향(제2 방향)으로 한다.
도 1은 본 발명에 따른 실시 형태의 액적 토출 장치(1)의 개략 구성을 나타내는 개략도이다. 액적 토출 장치(1)는, 예를 들면 플라스틱 필름 등의 기록 매체(P) 상에 잉크를 토출하고, 기록 매체(P)에 착탄(landed)된 잉크에 대하여 자외선 조사를 행하여 당해 잉크를 경화시키고, 기록 매체(P) 상에 화상이나 각종의 모양 등의 패턴을 묘화하는 것이다.
자외선 경화형 잉크는, 자외선을 조사하기까지는 경화가 매우 늦고, 자외선을 조사하면 급속히 경화한다는, 인쇄 잉크로서 바람직한 특성을 갖는다. 또한, 경화시에 있어서 용제를 휘발시키는 일이 없기 때문에, 환경 부하가 작다는 이점도 있다.
또한, 자외선 경화형 잉크는, 비히클의 조성에 의해 여러 가지의 기록 매체에 높은 부착성을 발휘한다. 또한, 경화한 후는 화학적으로 안정되고, 접착성, 내약제성, 내후성, 내마찰성 등이 높으며, 옥외 환경에도 견디는 등, 우수한 특성을 갖는다. 이 때문에, 종이, 수지 필름, 금속박 등의 얇은 시트 형상의 기록 매체 외에, 기록 매체의 라벨면, 텍스타일 제품 등, 어느 정도 입체적인 표면 형상을 갖는 것에 대해서도 화상을 형성할 수 있다.
또한, 이하 「자외선 경화형 잉크」에 대해서 설명할 때는, 편의상, 단순히 「잉크」라고 하는 경우가 있다.
이 액적 토출 장치(1)는, 기록 매체(기재)(P)를 올려놓는 기대(base; 2)와, 기대(2) 상의 기록 매체(P)를 도 1 중의 X 방향으로 반송하는 반송 장치(conveying device; 3)와, 잉크를 토출하는 액적 토출 헤드(9)와, 액적 토출 헤드(9)를 복수 구비하여 이루어지는 캐리지(이동부)(4)와, 이 캐리지(4)를 Y 방향(상대 이동 방향)으로 이동시키는 이송 장치(5)와, 자외선 조사부(조사부)(12)와, 검사 매체(CP)를 올려놓는 검사 스테이지(검사용 토출부)(13)와, 촬상 수단(촬상부)(15)과, 판정부(40)와, 각종 구성부품의 제어를 행하는 제어부(8)를 구비하여 구성되어 있다. 반송 장치(3) 및 이송 장치(5)에 의해, 기록 매체(P)와 캐리지(4)를, X 방향과 Y 방향으로 각각 상대 이동시키는 이동 장치가 구성되어 있다.
검사 매체(CP)로서는, 기록 매체(P)와 적어도 표면 재질이 동종의 것이거나, 표면 장력이 거의 동일한 레벨의 것이 이용된다.
상기 검사 스테이지(13), 촬상 수단(15) 및 판정부(40)에 의해, 본 발명에 따른 검사 장치(CH)가 구성되어 있다.
또한, 본 실시 형태에 따른 액적 토출 헤드(9)는, 제어부(8)의 제어에 의해, 각 노즐(17)(도 2 및 도 3 참조)에 대응하여 상이한 파형의 전압이 인가됨으로써 상이한 양의 잉크를 토출 가능하게 해도 좋다. 즉, 이 액적 토출 헤드(9)는, 각 노즐로부터 서로 상이한 사이즈의 도트를 구분하여 인쇄할 수 있는 기술인 MSDT(Multi Size Dot Technology)를 채용해도 좋다.
반송 장치(3)는, 기대(2) 상에 설치된 스테이지(6) 및 스테이지 이동 장치(7)를 구비하여 구성된 것이다. 스테이지(6)는, 스테이지 이동 장치(7)에 의해 기대(2) 상을 X 방향으로 이동 가능하게 설치된 것으로, 상류측의 반송 장치(도시하지 않음)로부터 반송되는 기록 매체(P)를, 예를 들면 진공 흡착 기구에 의해 XY 평면 상에 보유지지하는 것이다.
스테이지 이동 장치(7)는, 볼 나사 또는 리니어 가이드 등의 베어링 기구를 구비한 것으로, 제어부(8)로부터 입력되는, 스테이지(6)의 X 좌표를 나타내는 스테이지 위치 제어 신호에 기초하여, 스테이지(6)를 X 방향으로 이동시키도록 구성된 것이다.
캐리지(4)는, 이송 장치(5)에 이동 가능하게 부착된 직사각형 판 형상의 것으로, 그 저면(底面)측에 복수의 액적 토출 헤드(9)를, Y 방향을 따라서 배열시킨 상태로 보유지지하여 Y 방향으로 이동하는 것이다. 이들 복수의 액적 토출 헤드(9(9Y, 9C, 9M, 9K))는, 후술하는 바와 같이 복수의 노즐(17)을 구비한 것으로, 제어부(8)로부터 입력되는 묘화 데이터나 구동 제어 신호에 기초하여, 잉크의 액적을 토출하는 것이다. 또한, 이들 복수의 액적 토출 헤드(9(9Y, 9C, 9M, 9K))는, Y(옐로우), C(시안), M(마젠타), K(흑)에 대응한 잉크를 각각 토출하는 것으로, 각각의 액적 토출 헤드(9)에는, 도 1에 나타내는 바와 같이 캐리지(4)를 통하여 튜브(배관)(10)가 연결되어 있다.
그리고, Y(옐로우)에 대응하는 액적 토출 헤드(9Y)에는, 튜브(10)를 통하여 Y(옐로우)용의 잉크를 충전?저장한 제1 탱크(잉크 저류실)(11Y)가 접속되어 있고, 이에 따라 액적 토출 헤드(9Y)에는, 이 제1 탱크(11Y)로부터 Y(옐로우)용의 잉크가 공급되도록 되어 있다. 마찬가지로, C(시안)에 대응하는 액적 토출 헤드(9C)에는 C(시안)용의 잉크를 충전한 제2 탱크(11C)가 접속되고, M(마젠타)에 대응하는 액적 토출 헤드(9M)에는 M(마젠타)용의 잉크를 충전한 제3 탱크(11M)가 접속되고, K(흑)에 대응하는 액적 토출 헤드(9K)에는 K(흑)용의 잉크를 충전한 제4 탱크(11K)가 접속되어 있다. 이러한 구성에 의해 액적 토출 헤드(9C)에는, 제2 탱크(11C)로부터 C(시안)용의 잉크가 공급되도록 되어 있고, 액적 토출 헤드(9M)에는, 제3 탱크(11M)로부터 M(마젠타)용의 잉크가 공급되도록 되어 있으며, 액적 토출 헤드(9K)에는, 제4 탱크(11K)로부터 K(흑)용의 잉크가 공급되도록 되어 있다.
여기에서, 잉크는, 예를 들면 자외선 경화형의 잉크 등, 소정 파장의 빛을 받아 경화하는 타입의 것으로, 모노머(monomer)와 광중합 개시제(photopolymerization)와 각 색에 대응하는 안료를 함유하고, 또한 필요에 따라서, 계면 활성제나 열 라디칼 중합 금지제 등의 각종 첨가제가 배합된 것이다. 또한, 이러한 잉크는, 통상은 그 성분(배합) 등에 의해 흡수하는 빛(자외선)의 파장역 등이 상이한 점에서, 경화하는 파장의 최적값, 즉 최적 경화 파장도, 잉크마다 상이하다.
예를 들면, 잉크는, 비히클, 광중합 개시제 및 안료의 혼합물에, 소포제(antifoaming agent), 중합 금지제 등의 보조제를 첨가하여 조합된다. 비히클은, 광중합 경화성을 갖는 올리고머, 모노머 등을, 반응성 희석제에 의해 점도 조정하여 조제된다. 따라서, 잉크를 경화시킬 목적으로 용매를 휘발시키는 일은 없다.
비히클로서는, 단관능 혹은 다관능의 중합성 화합물을 사용할 수 있다. 보다 구체적으로는, 폴리에스테르아크릴레이트, 에폭시아크릴레이트, 우레탄아크릴레이트 등의 올리고머(프레폴리머(prepolymer))를 예시할 수 있고, 잉크로서의 점도를 조정하는 반응성 희석제도 이들 재료를 이용할 수 있다.
광중합 개시제로서는, 벤조페논계, 벤조인계, 아세토페논계, 티옥산톤계가 널리 이용된다. 보다 구체적으로는, 4-benzoyl-N,N,N-trimethyl benzene methaneannmonium chloride, 2-hydroxy 3-(4-benzoyl-phenoxy)-N,N,N-trimethyl 1-propane annmonium chloride, 4-benzoyl-N,N-dimethyl N-[2-(1-oxo-2-propenyloxy)ethyl]benzene methammonium bromide 등, 제4급 암모늄염형의 수용성 유기물 등을 이용할 수 있다. 이 종의 광중합 개시제는, 그 조성에 따라서, 자외선 흡수 특성, 반응 개시 효율, 황변(yellowing) 등이 상이하기 때문에, 잉크로서의 색 등에 따라서 구분하여 사용할 수 있다.
중합 금지제로서는, 라디칼 포착 능력을 갖고 라디칼 중합을 저해하는 화합물이라면 어느 것이라도 사용할 수 있다. 단, 액적 토출 장치(1)에 있어서의 토출 적성 등을 배려하면, 하이드로퀴논류, 카테콜류, 힌더드아민류, 페놀류, 페노티아진류, 축합 방향족환의 퀴논류로부터 선택된 적어도 1종류 이상의 화합물이 바람직하다.
하이드로퀴논류로서는, 하이드로퀴논, 하이드로퀴논모노메틸에테르, 1-o-2,3,5-트리메틸하이드로퀴논, 2-tert-부틸하이드로퀴논 등을 예시할 수 있다. 카테콜류로서는, 카테콜, 4-메틸카테콜, 4-tert-부틸카테콜 등을 예시할 수 있다. 힌더드아민류로서는, 테트라메틸피페리디닐기를 갖는 화합물 등을 예시할 수 있다.
또한, 페놀류로서는, 페놀, 부틸하이드록시톨루엔, 부틸하이드록시아니솔, 피로갈롤, 갈산, 갈산 알킬에스테르 등을 예시할 수 있다. 페노티아진류로서는, 페노티아진 등을 예시할 수 있다. 상기 축합 방향족환의 퀴논류로서는, 나프토퀴논 등을 예시할 수 있다.
또한, 중합 금지제는, 카본 블랙 또는 표면에 중합 방지 관능기를 도입한 무기?유기 미립자라도 좋다. 중합 방지 관능기로서는, 예를 들면, 하이드록시페닐기, 디하이드록시페닐기, 테트라메틸피페리디닐기, 축합 방향족환 등을 예시할 수 있다.
여기에서, 도 2 및 도 3을 참조하여 액적 토출 헤드(9)의 구성에 대해서 설명한다. 도 2는, 액적 토출 헤드(9)의 노즐 형성면(21A)에 있어서의 노즐(17)의 배열 상태를 나타내는 도면이다. 도 3은, 액적 토출 헤드(9)의 내부 구성을 나타내는 부분 단면도이다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 노즐(17)은 노즐 형성면(21A)에 있어서 기록 매체(P)의 반송 방향(X 방향)을 따라서 복수 설치되어, 노즐열(16)을 설치하고 있다. 이 노즐열(16)은, 액적 토출 헤드(9)의 주사 방향(Y 방향)을 따라서 합계 5열 설치되어 있다. 또한, 액적 토출 헤드(9)에 설치하는 노즐 수 및 노즐열 수는 임의로 변경 가능하다. 또한, 액적 토출 헤드(9)끼리를 노즐(17) 사이의 피치의 반만큼 좌우 방향으로 어긋나게 배치해도 좋다. 이에 따라, 기록 매체(P)에 대하여 인자(印字)하는 해상도를 향상시킬 수 있다.
도 3에 나타내는 바와 같이, 액적 토출 헤드(9)는, 헤드 본체(18)와, 헤드 본체(18)에 접속된 유로 형성 유닛(22)을 구비한다. 유로 형성 유닛(22)은, 진동판(19)과, 유로 기판(20)과, 노즐 기판(21)을 구비함과 함께, 공통 잉크실(29)과, 잉크 공급구(30)와, 압력실(31)을 형성한다. 또한, 유로 형성 유닛(22)은, 다이어프램(diaphragm)부로서 기능하는 섬(island)부(32)와, 공통 잉크실(29) 내의 압력 변동을 흡수하는 컴플라이언스부(33)를 구비한다. 헤드 본체(18)에는, 고정 부재(26)와 함께 구동 유닛(24)을 수용하는 수용 공간(23)과, 잉크를 유로 형성 유닛(22)에 안내하는 내부 유로(28)가 형성된다.
상기 구성의 액적 토출 헤드(9)에 의하면, 케이블(27)을 통하여 구동 유닛(24)에 구동 신호가 입력되면, 압전 소자(25)가 신축한다. 이에 따라, 진동판(19)이 압력실(31)에 접근하는 방향(－Z 방향) 및 압력실(31)로부터 멀어지는 방향(＋Z 방향)으로 변형(이동)한다. 이 때문에, 압력실(31)의 용적이 변화하고, 잉크를 수용한 압력실(31)의 압력이 변동한다. 이 압력의 변동에 의해, 노즐(17)로부터 잉크가 분사된다.
도 1로 되돌아와, 캐리지(4)를 이동시키는 이송 장치(5)는, 예를 들면 기대(2)를 걸치는 교량 구조를 한 것으로, Y 방향 및 XY 평면에 직교하는 Z 방향에 대하여, 볼 나사 또는 리니어 가이드 등의 베어링 기구를 구비한 것이다. 이러한 구성하에 이송 장치(5)는, 제어부(8)로부터 입력되는, 캐리지(4)의 Y 좌표 및 Z 좌표를 나타내는 캐리지 위치 제어 신호에 기초하여, 캐리지(4)를 Y 방향으로 이동시킴과 함께, Z 방향으로도 이동시키도록 되어 있다.
또한, 도 1에 나타내는 캐리지(4)에는, 액적 토출 헤드(9)의 전체에 대하여, 당해 액적 토출 헤드(9)의 근방에 각각 자외선 조사부(12)가 배치되어 있다. 구체적으로는, 자외선 조사부(12)는, 캐리지(4)의 이동 방향의 전후의 양측에 설치되어 있고, 액적 토출 헤드(9)의 주사 이동과 함께 이동하도록 되어 있다. 자외선 조사부(12)는, 기록 매체(P)에 토출된 잉크를 경화시키기 위한 것으로, 본 실시 형태에서는 다수의 LED(발광 다이오드)로 이루어져 있다. 단, 본 발명에서는, LED에 한정되는 일 없이, 이 이외에도 예를 들면 레이저 다이오드(LD)나, 나아가서는 수은등 램프, 메탈할라이드 램프, 크세논 램프, 엑시머 램프 등을 자외선 조사부(12)로서 이용할 수 있다.
본 실시 형태의 LED로 이루어지는 자외선 조사부(12)는, 각각 조사하는 빛이, 대응하는 액적 토출 헤드(9Y, 9C, 9M, 9K)가 토출하는 잉크의, 최적 경화 파장에 대응한 파장을 갖고 있다. 즉, 전술한 바와 같이 각 잉크는, 그 성분(배합) 등에 의해 최적 경화 파장이 상이하고, 이에 대하여 자외선 조사부(12)는, 대응하는 잉크의 최적 경화 파장을 가진 빛을 조사하도록 되어 있다.
촬상 수단(15)은, 검사 스테이지(13)와 동일하게 스테이지(6)의 －Y측에, 그리고 캐리지(4)의 이동 가능 범위의 외부 영역인 －X측에, 여기에서는 1대 배치되어 있다. 이 촬상 수단(15)은, 각 노즐(17)의 잉크 토출 특성을 검사하기 위해, 검사 매체(CP)에 형성된 도트 패턴을 촬상하는 것이다. 촬상 수단(15)으로서는, 예를 들면 CCD 카메라나 스캐너 유닛 등을 이용할 수 있다. 촬상 수단(15)에 의해 촬상된 각종 데이터는, 판정부(40)에 입력된다.
검사 스테이지(13)는, 스테이지(6)의 －Y측에 배치되어 있고, 구동 장치(41)에 의해 기대(2) 상을 X 방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다. 즉, 검사 스테이지(13)는 전술한 스테이지(6)와는 독립적으로 X 방향으로 이동하도록 되어 있다. 구체적으로는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 검사 스테이지(13)는 구동 장치(41)의 구동에 의해, 캐리지(4)(액적 토출 헤드(9))의 －Z측에서 액적 토출 헤드(9)(의 이동 가능 범위)와 대향하는 위치와, 액적 토출 헤드(9)의 이동 가능 범위의 외부 영역에서 촬상 수단(15)과 대향하는 위치와의 사이를 이동 가능하게 되어 있다. 이 검사 스테이지(13)는, 예를 들면 플라스틱 필름 등의 검사 매체(CP)를, 예를 들면 진공 흡착 기구에 의해 XY 평면 상에 보유지지하는 것이다.
제어부(8)는, 스테이지 이동 장치(7)에 스테이지 위치 제어 신호를 출력하고, 이송 장치(5)에 캐리지 위치 제어 신호를 출력하며, 나아가서는 액적 토출 헤드(9)의 구동 회로 기판(도시하지 않음)에 묘화 데이터 및 구동 제어 신호를 출력하는 것이다. 이에 따라 제어부(8)는, 기록 매체(P)와 캐리지(4)를 상대 이동시키기 위해, 스테이지(6)의 이동에 의한 기록 매체(P)의 위치 결정 동작 및, 캐리지(4)의 이동에 의한 액적 토출 헤드(9)의 위치 결정 동작의 동기 제어를 행하고, 또한 액적 토출 헤드(9)에 액적 토출 동작을 행하게 함으로써, 기록 매체(P) 상 혹은 검사 매체(CP) 상의 소정의 위치에 잉크의 액적을 배치하도록 되어 있다. 또한, 이 제어부(8)는, 액적 토출 헤드(9)에 액적 토출 동작을 행하게 하는 것과는 별도로, 자외선 조사부(12)에 광조사 동작을 행하게 하도록 되어 있다.
또한, 기대(2) 내에서 스테이지(6)를 사이에 두고 Y 방향으로 검사 스테이지(13) 및 촬상 수단(15)과는 반대측의 ＋Y측에 위치하는 비(非)액적 토출 영역에는, 비인쇄시에 액적 토출 헤드(9)의 메인터넌스(예를 들면, 토출 회복 동작, 클리닝이나 플러싱 등)를 행하기 위한 메인터넌스 장치(14)가 설치되어 있다. 메인터넌스 장치(14)는, 액적 토출 헤드(9)의 노즐 형성면(21A)을 봉지 가능한 노즐 흡인 기구나 와이핑 기구(모두 도시하지 않음) 등을 구비하고 있다. 메인터넌스 장치(14)로서는, 노즐 흡인 기구, 와이핑 기구 등 중, 적어도 1개의 기구를 구비하고 있으면 좋다.
이어서, 상기 구성의 액적 토출 장치(1)에 의해, 기록 매체(P)에 잉크를 토출하여 인쇄 처리를 행하는 순서에 대해서 설명한다.
제어부(8)(도 1 참조)는, 기록 매체(P)에 대한 잉크 토출 처리 전에, 도 4 및 도 5(a)에 나타내는 바와 같이, 캐리지(4)(액적 토출 헤드(9))가 메인터넌스 장치(14)와 대향하는 홈 포지션 위치(HP)에 대기시킨다.
또한, 도 1에 나타낸 바와 같이, 캐리지(4)는 Y 방향으로 이동하고, 검사 스테이지(13)는 X 방향으로 이동하지만, 도 5(a)?(c)에서는, 이해를 용이하게 하기 위해, Y 방향으로 이동하는 것처럼 도시하는 것으로 한다.
홈 포지션 위치(HP)에서 대기하는 액적 토출 헤드(9)에 대해서는, 사용 이력에 따라서 적절한 메인터넌스 처리가 행해지지만, 잉크 토출 처리의 초동시에는, 예를 들면 노즐 흡인 기구에 의해 액적 토출 헤드(9) 내의 기포를 배출하거나, 그 후에 와이핑 기구에 의해 노즐 형성면(21A)을 와이프해도 좋다.
메인터넌스 처리를 행하지 않는 경우, 혹은 메인터넌스 처리가 완료되면, 제어부(8)는, 도 5(b)에 나타내는 바와 같이, 검사 스테이지(13)를 캐리지(4)의 이동 경로의 하방에 위치시키도록 구동 장치(41)를 제어한다. 그리고, 제어부(8)는, 검사 스테이지(13) 상의 검사 매체(CP)에 대향하는 위치에 액적 토출 헤드(9)를 －Y 방향으로 주사 이동(상대 이동)시키도록 이송 장치(5)의 제어를 행한다.
이때, 제어부(8)는, 정상의 주사 속도(상대 이동 속도)로 액적 토출 헤드(9)를 이동시키면서 액적 토출 헤드(9)의 각 노즐(17)로부터 검사 스테이지(13)의 검사 매체(CP)를 향하여 잉크를 토출시키는 제어를 행한다. 또한, 검사 매체(CP)에 토출된 잉크에 대해서는, 주사 방향의 후방에 위치하는 자외선 조사부(12)로부터 자외선을 조사하여 경화시킨다. 검사용 잉크에 대하여 조사되는 자외선은, 스테이지(6)에 보유지지된 기록 매체(P)에 대하여 토출한 잉크에 조사되는 자외선과 동등한 강도?방법으로 조사된다.
이에 따라, 검사 매체(CP)에 잉크가 착탄된 도트 패턴이 형성된다. 검사 매체(CP)에 잉크가 토출되면, 도 5(c)에 나타내는 바와 같이, 제어부(8)는, 검사 스테이지(13)를 촬상 수단(15)의 하방에 위치시키도록 구동 장치(41)를 제어한다. 촬상 수단(15)과 대향하는 위치에 검사 스테이지(13)가 이동하면, 상기의 도트 패턴은 촬상 수단(15)에 의해 촬상되고, 촬상된 각종 데이터는, 판정부(40)(도 1 참조)에 입력된다.
판정부(40)는, 촬상 수단(15)에 의해 촬상된 도트 패턴에 기초하여, 각 노즐(17)에 있어서 도트 누락, 비행 휘어짐(deflected flight) 등에 의한 착탄 위치 어긋남, 도트 지름의 이상(異常)값 등의 토출 불량(잉크 토출 특성)이 발생하고 있는지 아닌지를 판정한다. 이 때문에, 노즐(17)마다 토출 불량의 유무를 확인할 수 있다.
또한, 제어부(8)는, 판정부(40)의 판정 결과에 있어서 도트 누락 등의 토출 불량이 발생하고 있다고 판정된 노즐에 대하여 잉크를 토출시키지 않도록, 액적 토출 헤드(9)의 토출 동작을 제어한다. 즉, 제어부(8)에 의해, 토출 불량이 발생한 노즐을 사용하지 않는 묘화 데이터가 만들어지게 된다. 이 때문에, 토출 불량이 발생한 경우라도, 묘화 패턴이 변경되기 때문에, 액적 토출 헤드(9)의 토출 동작이 지연되는 것을 억제할 수 있다.
또한, 전술한 메인터넌스 장치(14)(도 1 참조)에 의해, 판정부(40)의 판정 결과에 있어서 토출 불량이 발생하고 있다고 판정된 노즐에 대하여 잉크의 토출 기능을 회복시키도록, 액적 토출 헤드(9)의 토출 회복 처리를 행해도 좋다. 즉, 메인터넌스 장치(14)에 의해, 토출 불량이 발생하고 있다고 판정된 노즐에 대하여 토출 기능 회복 처리가 행해지게 된다. 이 때문에, 토출 불량이 발생한 경우라도, 토출 불량을 해소할 수 있다.
여기에서, 토출 불량이 발생한 경우의 처리에 대해서 상술한다.
(1) 도트 누락이 발생한 경우에는, 클리닝 처리를 실행하는 것이 가장 확실한 대응이지만, 생산성에 영향을 미치는 것과, 인자를 일단 중지해 버리기 때문에 화질적인 불연속성을 발생시키기 쉽고, 인자하고 있는 기록 매체(P)를 불량으로 만들어버리기 때문에 불량 비용 상승의 문제가 발생한다. 그 때문에, 불량 노즐을 다른 양품(良品) 노즐로 대체하여 인자를 중단하는 일 없이 계속하는 것이 바람직하다. 정상 인자 공정에서는 1회의 주사 이동이 종료하면 N 노즐만큼, 부(副)주사 방향(X 방향)으로 이동하여 다음의 주(主)주사 인자를 계속하는 곳을, M/N 노즐만큼의 거리, 부주사 방향으로 이동하여, 불량 노즐에 대한 결함 인자부를 양(良)노즐로 인자함으로써 결함이 된 인자 패턴을 수복할 수 있다(N, M은 정(正)의 정수이고, M＜N).이 경우, 주주사 수는 최대 2배가 되어 일 화상 형성 시간은 길어진다. 그러나 불량 비용 상승을 막을 수 있기 때문에 유용하다.
(2) 착탄 위치 어긋남이 발생한 경우에는, 도트 누락의 경우와 동등한 처리로 불량 비용 상승을 막는다. 그러나, 위치 어긋남 불량에 대해서는 완전하게는 대응할 수 없기 때문에, 이하와 같이 하여 불량을 눈에 띄지 않게 한다. 우선, 명도가 높은 영역(예를 들면 황색을 주체로 한 것과 같은 에어리어, 잉크 농도가 낮은(계조 표현 중 밝은) 에어리어의 경우는 눈에 띄지 않기 때문에 부가 처리를 행하지 않는 한편, 진한 색 영역에서는 위치 어긋남에 수반하는 흰 줄이 눈에 띄기 때문에, 위치 어긋남이 작은 노즐로 겹쳐 인자하여 흰 줄을 지운다. (1)과 동일하게 M/N 노즐만큼의 부주사 방향으로의 이동에 의해 당해 부분의 인자를 행한다.
(3) 도트 지름 불량이 발생한 경우에는, 액적 토출 헤드(9) 자체의 특성 변동은 고장?수명 이외는 일어나기 어렵다는 점에서, 잉크의 표면 장력?점도가 변동함으로써 발생하고 있는 것으로 추측할 수 있지만, 동시에 잉크 조성도 변동하고 있어, 상기 인자 특성으로의 영향도 생각할 수 있다. 그래서, 불량이 발생한 상황에 따라서 대응한다.
구체적으로는, 잉크의 종류를 불문하고 복수의 노즐(17)에 전체적으로 불량이 발생하고 있는 경우, 잉크 토출 전압의 조정, 헤드 온도, 플래튼(platen) 온도 등으로 대응한다. 이 경우, 도트 지름의 변동량마다, 사전에 조건의 조합 테이블을 작성해 두는 것이 바람직하다. 또한, 특정의 색의 잉크만, 도트 지름이 변동하고 있고, 그리고 변동폭이 작은 경우에는, 당해 헤드의 잉크 토출 전압의 조정, 헤드의 잉크 온도로 조정할 수 있다. 혹은, 멀티 도트 사이즈의 인자 제어를 하고 있는 경우에서, 복수 사이즈의 잉크 도트를 구분하여 인쇄하는 제어를 하고 있는 경우에는, 불량 노즐?불량 잉크에 대해서는 도트 사이즈 데이터를, 변동하는 토출 잉크량에 대응하여 수 단계(several stage) 어긋나도록 데이터를 가공하여 대응해도 좋다. 이 경우에는, 노즐(17)마다의 세세한 조정을 할 수 있어 화질 열화도 최소로 할 수 있다. 한편, 불량 발생이 특정의 색의 잉크뿐이고, 당해 잉크에서 변동폭이, 예를 들면 50％를 초과하는 바와 같은 정도의 큰 경우, 하나의 도트를 2회로 나누어 토출하는 등의 대응을 한다. 이렇게 함으로써 화질 불량을 개선할 수 있어, 불량 비용 상승을 억제할 수 있다.
한편, 검사 매체(CP)에 잉크를 토출한 액적 토출 헤드(9)는, 검사 스테이지(13)의 상방을 통과한 후에, 캐리지(4)의 감속 및 주사 방향의 반전에 의해, ＋Y 방향으로 주사 이동한다. 이때, 상기의 검사에서 토출 불량이 검출되고, 메인터넌스 처리를 행하는 경우에는, 기록 매체(P)로의 잉크 토출은 행하지 않고, 액적 토출 헤드(9)를 메인터넌스 장치(14)와 대향하는 위치까지 이동시킨 후에 메인터넌스 처리를 실행한다.
상기의 검사 결과에서 토출 불량이 검출되지 않거나, 또는 메인터넌스 처리에 의해 토출 불량이 해소된, 혹은 토출 불량이 발생하지 않는 노즐(17)을 사용하는 경우에는, 액적 토출 헤드(9)의 주사 이동 중에, 스테이지(6) 상의 기록 매체(P)에 대하여 액적 토출 헤드(9)로부터 잉크가 토출된다. 그리고, Y 방향의 주사 이동에 의한 기록 매체(P)에 대한 잉크 토출과, 스테이지(6)에 대하여 X 방향(부주사 방향)으로의 상대 이동을 반복함으로써, 기록 매체(P)에 대하여 소정의 패턴이 인자된다.
여기에서, 전술한 잉크 토출 특성의 검사는, 검사 후에 발생한 토출 불량에 의해, 그 후에 기록 매체(P)에 잉크를 토출한 경우에, 토출 불량이 발생한 상태에서 잉크의 토출 처리를 행해 버리게 되므로, 기록 매체(P) 및 잉크가 낭비되는 것을 회피하기 위해, 예를 들면 주사 이동마다 행하는 것이 바람직하다. 단, 1회의 주사 이동마다 검사를 행하는 경우에는, 예를 들면 캐리지(4) 및 액적 토출 헤드(9)가 ＋Y측으로 주사 이동한 후에, 기록 매체(P)로의 잉크 토출을 수반하지 않는 －Y측으로의 이동에 의해 검사 스테이지(13)의 상방에 위치할 필요가 있고, 생산 효율이 저하될 가능성이 있다. 그 때문에, 캐리지(4) 및 액적 토출 헤드(9)가 주사 이동 후에 검사 스테이지(13) 측에 위치하는 2회의 주사 이동마다(1왕복마다), 잉크 토출 특성의 검사를 행하는 것이 생산 효율의 점에서 바람직하다.
이상과 같이, 본 실시 형태에서는, 메인터넌스 장치(14)와 검사 스테이지(13)가 스테이지(6)를 사이에 두고 반대측에 배치되어 있기 때문에, 잉크 토출 특성의 검사를 행할 때에 검사 매체(CP)에 토출한 잉크에 자외선을 조사하여 경화시켜도, 당해 자외선이 메인터넌스 장치(14)에 잔존하는 잉크를 경화시켜 문제가 발생하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에서는, 촬상 수단(15)이 액적 토출 헤드(9)의 이동 가능 범위의 외부 영역에 배치되어 있고, 또한 검사 스테이지(13)가 액적 토출 헤드(9)와 대향하는 위치와 촬상 수단(15)과 대향하는 위치와의 사이를 이동하기 때문에, 액적 토출 헤드(9)의 이동 가능 범위에서 촬상 수단(15)을 이동시킬 필요가 없어진다. 그 때문에, 본 실시 형태에서는, 잉크 토출 특성의 검사시에 액적 토출 헤드(9)를 이동시키는 것이 가능해져, 기록 매체(P)에 대한 잉크의 토출과 잉크 토출 특성의 검사를 병행하여 행하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 실시 형태에 의하면, 인쇄 속도의 저하를 억제하면서 인쇄 품질을 향상시키는 것이 가능해진다.
게다가, 본 실시 형태에서는, 검사 스테이지(13)가 일 방향으로만 왕복 이동하는 구성이기 때문에, 구조가 간이하고, 위치 결정 정밀도도 높으며, 이동 시간도 짧게 할 수 있다. 또한, 이 구성으로 함으로써 스캐너 유닛을 설치해도 잉크젯 헤드 캐리지의 주주사 방향의 이동 거리를 짧게 설정할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에서는, 잉크 토출 특성의 검사를, 1회의 주사 이동마다 행하기 때문에, 토출 불량이 발생한 상태에서 잉크의 토출 처리를 행해 버려, 기록 매체(P) 및 잉크가 낭비되는 것을 회피하는 것이 가능해진다.
이상, 첨부 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 적합한 실시 형태에 대해서 설명했지만, 본 발명에 따른 예에 한정되지 않는 것은 말할 필요도 없다. 전술한 예에 있어서 나타낸 각 구성 부재의 제(諸)형상이나 조합 등은 일 예로서, 본 발명의 주지로부터 일탈하지 않는 범위에 있어서 설계 요구 등에 기초하여 여러 가지 변경 가능하다.
예를 들면, 상기 실시 형태에서는, 촬상 수단(15)을 캐리지(4)의 이동 가능 범위의 외부 영역인 －X측에 배치하고, 검사 스테이지(13)를 X 방향으로 이동시키는 구성으로 했지만, 이에 한정되는 것이 아니고, 예를 들면, 촬상 수단(15)을 캐리지(4)의 이동 가능 범위의 외부 영역인 －Y측에 배치하고, 검사 스테이지(13)를 Y 방향으로 이동시키는 구성으로 해도 좋다.
전술한 바와 같이, 검사 스테이지(13)를 X 방향으로 이동시키는 구성으로 한 경우에는, 캐리지(4)의 이동 방향인 Y 방향에 관하여 액적 토출 장치(1)의 크기를 작게 할 수 있는 한편, 검사 스테이지(13)를 Y 방향으로 이동시키는 구성으로 한 경우에는, 예를 들면, 캐리지(4)를 Y 방향으로 이동시키는 이송 장치(5) 등을, 검사 스테이지(13)를 Y 방향으로 이동시키기 위한 구동 장치로서 이용함으로써, 장치의 부품 점수를 줄여 저비용화에 기여할 수 있다.
또한, 검사 스테이지(13)를 Y 방향으로 이동시키는 구성으로 하는 경우에는, 촬상 수단(15)의 길이를 액적 토출 헤드(9)에 있어서의 노즐열(16)의 길이보다도 길게 하는(촬상 수단(15)의 촬상 범위가 노즐열(16)에 의한 잉크 토출 범위보다도 넓다) 것이 바람직하다. 이 구성을 채용함으로써, 노즐열(16)로부터 토출된 잉크를 일괄적으로 촬상할 수 있어, 잉크 토출 특성의 검사를 요하는 시간의 단축화를 도모할 수 있다.
또한, 상기 실시 형태에서는, 스테이지(6)의 ＋Y측에 메인터넌스 장치(14)를 배치하고, 스테이지(6)의 －Y측에 검사 스테이지(13) 및 촬상 수단(15)을 배치하는 구성을 예시했지만, 스테이지(6)의 －Y측에 메인터넌스 장치(14)를 배치하고, 스테이지(6)의 ＋Y측에 검사 스테이지(13) 및 촬상 수단(15)을 배치하는 구성으로 해도 좋다. 단, 검사 스테이지(13) 및 촬상 수단(15)을 탱크(11Y, 11C, 11M, 11K)와 동일측에 배치한 경우에는, 검사 매체(CP)에 토출된 잉크에 대하여 자외선 조사부(12)로부터 조사한 자외선의 미광(迷光)이 탱크(11Y, 11C, 11M, 11K)에 저류된 각 색의 잉크에 악영향을 미칠 가능성이 있기 때문에, 상기 실시 형태에서 나타낸 바와 같이, 검사 스테이지(13) 및 촬상 수단(15)과 탱크(11Y, 11C, 11M, 11K)에 대해서도, 스테이지(6)를 사이에 둔 반대측에 배치하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 실시 형태에서는, 활성 광선으로 경화하는 액체로서 자외선 경화형 잉크를 이용했지만, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 가시광선, 적외선을 경화광으로서 사용할 수 있는 여러 가지의 활성 광선 경화형 잉크를 이용할 수 있다.
또한, 광원도 마찬가지로, 가시광선 등의 활성광을 사출하는 여러 가지의 활성광 광원을 이용하는 것, 즉 활성 광선 조사부를 이용할 수 있다.
여기에서, 본 발명에 있어서「활성 광선」이란, 그 조사에 의해 잉크 중에 있어서 개시종을 발생시킬 수 있는 에너지를 부여할 수 있는 것이면, 특별히 제한은 없고, 넓게, α선, γ선, X선, 자외선, 가시광선, 전자선 등을 포함하는 것이다. 그 중에서도, 경화 감도 및 장치의 입수 용이성의 관점에서는, 자외선 및 전자선이 바람직하고, 특히 자외선이 바람직하다. 따라서, 활성 광선 경화형 잉크로서는, 본 실시 형태와 같이, 자외선을 조사함으로써 경화 가능한 자외선 경화형 잉크를 이용하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 실시 형태에서는, 자외선 경화형 잉크를 이용하는 구성으로 했지만, 이에 한정되는 것이 아니고, 열 경화형 잉크를 이용하는 경우에도 본 발명을 적용 가능하다.
4 : 캐리지(이동부)
6 : 스테이지(스테이지부)
9 : 액적 토출 헤드(토출 헤드)
12 : 자외선 조사부(조사부)
13 : 검사 스테이지(검사용 토출부, 검사 장치)
14 : 메인터넌스 장치
15 : 촬상 수단(촬상부, 검사 장치)
17 : 노즐
P : 기록 매체(기재)
6 : 스테이지(스테이지부)
9 : 액적 토출 헤드(토출 헤드)
12 : 자외선 조사부(조사부)
13 : 검사 스테이지(검사용 토출부, 검사 장치)
14 : 메인터넌스 장치
15 : 촬상 수단(촬상부, 검사 장치)
17 : 노즐
P : 기록 매체(기재)
Claims (7)
- 기재(substrate)를 보유지지하는 스테이지부와,
상기 기재에 대하여 액체의 액적(liquid droplet)을 토출하는 노즐을 갖는 토출 헤드와,
상기 토출 헤드를 지지하여 상기 스테이지부에 대하여, 상기 토출 헤드와 일체적으로 상대 이동하는 이동부와,
상기 토출 헤드에 대하여 소정의 메인터넌스 처리를 행하는 메인터넌스 장치와,
상기 노즐의 액적 토출 특성을 검사하는 검사 장치를 구비하고,
상기 메인터넌스 장치와 상기 검사 장치는, 상기 스테이지부를 사이에 두고 상기 이동부의 상대 이동 방향의 반대측에 배치되는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치. - 제1항에 있어서,
상기 검사 장치는,
상기 노즐로부터 상기 액적이 토출되는 검사용 토출부와,
상기 이동부의 이동 가능 범위의 외부 영역에 배치됨과 함께, 상기 검사용 토출부에 토출된 상기 액적을 상기 이동부의 이동 가능 범위의 외부 영역에서 촬상하는 촬상부를 구비하는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치. - 제2항에 있어서,
상기 검사용 토출부는, 상기 상대 이동 방향에 관하여 상기 이동부의 이동 가능 범위에서 상기 토출 헤드와 대향하는 위치와, 상기 이동부의 이동 가능 범위의 외부 영역에서 상기 촬상부와 대향하는 위치와의 사이를 이동하는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치. - 기재를 보유지지하는 스테이지부와,
상기 기재에 대하여 액체의 액적을 토출하는 노즐을 갖는 토출 헤드와,
상기 토출 헤드를 지지하여 상기 스테이지부에 대하여, 상기 토출 헤드와 일체적으로 상대 이동하는 이동부와,
상기 토출 헤드에 대하여 소정의 메인터넌스 처리를 행하는 메인터넌스 장치와,
상기 노즐로부터 상기 액적이 토출되는 검사용 토출부와,
상기 검사용 토출부에 토출된 상기 액적을 촬상하는 촬상부를 구비하고,
상기 메인터넌스 장치와 상기 검사용 토출부는, 상기 스테이지부를 사이에 두고 상기 이동부의 상대 이동 방향의 반대측에 배치되는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치. - 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 노즐로부터 상기 검사용 토출부로의 액적 토출을, 상기 상대 이동마다 실행시키는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치. - 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 토출 헤드는, 활성 광선으로 경화하는 액체의 액적을 토출하는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치. - 제6항에 있어서,
상기 토출 헤드를 사이에 두고 상기 상대 이동 방향의 양측에 배치되고, 상기 기재 상의 상기 액적에 상기 활성 광선을 조사하는 조사부를 구비하는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
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