KR20120126570A - 레이저 산란 기반 시편 검사 장치 - Google Patents

레이저 산란 기반 시편 검사 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 시편 검사 장치를 제공한다. 상기 시편 검사 장치는 스테이지와; 상기 스테이지 상에 배치되며, 사방으로 이동 가능한 이동 스테이지와; 상기 이동 스테이지 상에 배치되며, 사방으로 스위블 이동 가능하고, 시편이 고정되는 시편 고정 테이블과; 상기 스테이지 상에 배치되며, 위도 및 경도 조절이 가능하고 상기 시편으로 레이저 광을 조사하는 광원 유닛; 및 상기 스테이지 상에 배치되며, 위도 조절이 가능하고, 시편에서 산란되는 산란광을 취득하는 영상 취득 유닛을 포함한다.

Description

레이저 산란 기반 시편 검사 장치{APPARATUS FOR TESTING SAMPLE BASED ON LASER SCATTERING}
본 발명은 시편 검사 장치에 관한 것으로서, 레이저 광을 다양한 각도에서 시편으로 조사하고, 시편으로부터 산란되는 산란광을 다양한 각도에서 측정할 수 있으며, 시편의 자세를 다양하게 변경할 수 있는 레이저 산란 기반 시편 검사 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자는 웨이퍼 상에 다수의 물질층을 적층하고 패터닝하는 과정을 반복하여 형성된다. 이때, 각 물질층의 적층 또는 패터닝 과정에서 발생할 수 있는 결함(DEFECT)이나 오염 입자가 소정의 허용 한도를 넘게 되면 완성된 반도체 소자는 작동하지 않거나 오동작 할 수가 있다.
따라서, 현재 대부분의 반도체 소자의 제조공정은 각 공정수행 후에 웨이퍼 표면을 검사하여 형성된 물질층의 표면 또는 내부에 결함이나 오염입자의 정도를 파악하는 공정을 포함하고 있다.
현재, 이러한 웨이퍼 표면 검사방식에는 크게 두 가지가 있는데, 하나는 레이저 산란(LASER SCATTERING)을 이용한 검사방식이고, 다른 하나는 CCD(Charged Couple Device) 촬상소자를 이용한 검사방식이다.
여기서, 상기 레이저 산란을 이용한 검사장치의 구성은 분석대상물 예컨대 웨이퍼 상에 레이저를 주사하여 스캐터링되는 레이저를 디텍터로 센싱하여 센싱된 레이저의 인텐시티(Intensity)를 분석함으로서 웨이퍼 상에 존재하는 파티클의 개수및 크기를 분석할 수 있도록 되어 있다.
상기와 같은 레이저 산란을 이용한 검사 방법에서 시편으로 사용되는 웨이퍼에 레이저 광이 조사되면, 시편으로 부터 레이저 산란광이 다양한 각도를 이루어 반사된다.
따라서, 웨이퍼와 같은 시편 표면의 결함을 보다 정확한 검사하기 위하여 시편으로 조사되는 레이저 광의 조사각 및 산란광을 취득하는 카메라의 위치를 다양한 위치로 가변시키는 기술이 필요하다.
이에 더하여, 시편의 다양한 자세에서의 표면 검사를 이루도록 할 수 있는 검사 기술도 요구된다.
본 발명의 목적은 시편으로 조사되는 레이저 광의 조사각을 다양하게 변경함과 아울러, 시편으로부터 산란되는 산란광을 다양한 각도에서 측정하고, 시편의 자세를 다양하게 변경할 수 있는 레이저 산란 기반 시편 검사 장치를 제공함에 있다.
바람직한 양태에 있어서, 본 발명은 레이저 산란 기반 시편 검사 장치를 제공한다.
상기 시편 검사 장치는 스테이지와; 상기 스테이지 상에 배치되며, 사방으로 이동 가능한 이동 스테이지와; 상기 이동 스테이지 상에 배치되며, 사방으로 스위블 이동 가능하고, 시편이 고정되는 시편 고정 테이블과; 상기 스테이지 상에 배치되며, 위도 및 경도 조절이 가능하고 상기 시편으로 레이저 광을 조사하는 광원 유닛; 및 상기 스테이지 상에 배치되며, 위도 조절이 가능하고, 시편에서 산란되는 산란광을 취득하는 영상 취득 유닛을 포함한다.
여기서, 상기 이동 스테이지는 상기 스테이지 상에 설치되며, X축 가이드 홈이 형성되는 X축 가이드 테이블과, 상기 X축 가이드 테이블 상에 배치되며, 상기 X축 가이드 홈에 끼워지는 가이드 돌기를 구비하여 X축을 따라 이동되고, 상단부에 Y축을 따르는 볼 스크루를 갖는 Y축 가이드 테이블과, 상기 Y축 가이드 테이블에 배치되며, 하단이 상기 볼 스크루와 스크루 체결되어 Y축을 따라 유동 가능하고, 상기 시편 고정 테이블이 고정되는 Y축 이동 테이블을 구비하는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 시편 고정 테이블은, 상기 Y축 이동 테이블 상에 설치되며, 상단에 Y축 선 상에서 하방으로 오목한 제 1곡면 경로홈이 형성되는 제 1시편 고정 테이블과, 상기 제 1곡면 경로홈에 배치되며, 상기 제 1곡면 경로홈을 따라 스위블 이동되고, 상단에 X축 선 상에서 하방으로 오목한 제 2곡면 경로홈이 형성되는 제 2시편 고정 테이블과, 상기 제 2곡면 경로홈에 배치되며, 상기 제 2곡면 경로홈을 따라 스위블 이동되는 제 3시편 고정 테이블과, 상기 제 3시편 고정 테이블의 상단에 배치되며, 상기 제 3시편 고정 테이블의 중심에서 회전 가능하고, 상단에 시편이 고정되는 시편 고정대를 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제 1시편 고정 테이블에는, 상기 제 1곡면 경로홈에서 유동되는 제 2시편 고정 테이블의 외주를 조여 이동 위치를 고정하는 제 1고정 볼트가 설치된다.
상기 제 2시편 고정 테이블에는, 상기 제 2곡면 경로홈에서 유동되는 제 3시편 고정 테이블의 외주를 조여 이동 위치를 고정하는 제 2고정 볼트가 설치된다.
또한, 상기 영상 측정 유닛은, 상기 이동 스테이지를 에워싸도록 상기 스테이지의 중심으로부터 일정 반경을 이루는 반원 형상의 이동 경로부와, 상기 이동 경로부를 따라 이동되도록 직립되어 배치되는 제 1고정 프레임과, 상기 제 1고정 프레임의 상단에 설치되는 판상의 제 1반원 각도 부재와, 일단이 상기 제 1반원 각도 부재의 중심에 힌지 연결되고, 타단이 상기 시편 고정 테이블 상부에 위치되는 제 1가동 프레임과, 상기 제 1가동 프레임의 타단에 설치되며, 시편으로부터 산란되는 광을 측정하는 카메라를 구비하는 것이 바람직하다.
상기 제 1가동 프레임의 단부에는, 상기 제 1가동 프레임의 회전 방향과 교차되는 방향을 따르는 보조 볼 스크루가 설치되는 직각 프레임을 구비하고, 상기 카메라는 상기 보조 볼 스크루에 스크루 체결되어 상기 교차되는 방향을 따라 이동 가능한 것이 바람직하다.
또한, 상기 이동 경로부는, 한 쌍의 이동 경로홈이고, 상기 제 1고정 프레임의 하단에는 상기 각 이동 경로홈을 관통하는 한 쌍의 가이드 로드가 형성되고, 상기 제 1고정 프레임의 측부에는 상기 이동 경로부 근방의 스테이지 상면에 선택적으로 밀착되는 스크루 볼트가 더 설치되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 광원 유닛은, 상기 영상 취득 유닛의 맞은 편에 배치되도록 상기 스테이지 상에 직립되어 배치되는 제 2고정 프레임과, 상기 제 2고정 프레임의 상단에 설치되는 판상의 제 2반원 각도 부재와, 일단이 상기 제 2반원 각도 부재의 중심에 힌지 연결되고, 타단이 상기 시편 고정 테이블 상부에 위치되는 제 2가동 프레임과, 상기 제 2가동 프레임의 타단에 설치되며, 상외부로부터 전원을 인가 받아 레이저 광을 외부로 조사하는 레이저 소스를 구비하는 것이 바람직하다.
본 발명은 시편으로 조사되는 레이저 광의 조사각을 다양하게 변경시킬 수 있는 효과를 갖는다.
또한, 본 발명은 시편으로부터 산란되는 산란광을 다양한 각도에서 측정하고, 시편의 자세를 다양하게 변경할 수 있는 효과를 갖는다.
도 1은 본 발명의 레이저 산란 기반 시편 검사 장치를 보여주는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 시편 검사 장치를 보여주는 저면도이다.
도 3은 본 발명에 따르는 시편 고정 테이블을 보여주는 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따르는 시편 고정 테이블의 스위블 동작시 조절 방식의 예를 보여주는 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레이저 산란 기반 시편 검사 장치를 설명한다.
상기 시편 검사 장치의 구성을 설명한다.
도 1은 본 발명의 시편 검사 장치를 보여주고, 도 2는 본 발명의 시편 검사 장치의 저면을 보여준다.
도 1을 참조 하면, 본 발명의 시편 검사 장치는 크게, 스테이지(100)와, 이동 스테이지(200)와, 시편 고정 테이블(300), 광원 유닛(500)과, 영상 취득 유닛(400)으로 구성된다.
상기 스테이지(100)는 일정 두께의 판상으로 형성된다.
상기 이동 스테이지(200)는 X축 및 Y축으로 이동 가능한 장치이다.
상기 이동 스테이지(200)는 X축 가이드 테이블(210)과, Y축 가이드 테이블(220)과 Y축 이동 테이블(230)로 구성된다.
상기 X축 가이드 테이블(210)은 스테이지(100) 중앙부 상면에 고정 설치된다. 상기 X축가이드 테이블(210)의 양측면에는 X축 가이드 홈(211)이 형성된다. 상기 X축 가이드 홈(211)의 형성 방향은 X축을 따라 형성된다.
상기 Y축 가이드 테이블(220)은 상기 X축 가이드 테이블(210) 상단에 배치된다.
상기 Y축 가이드 테이블(220)의 양단측에는 하단부로 돌출되어 상기 각 X축 가이드 홈(211)에 끼워지는 가이드 돌기(221)가 형성된다. 상기 Y축 가이드 테이블(220)은 X축 가이드 홈(211)을 따라 이동 가능하다.
상기 Y축 가이드 테이블(220)은 볼 스크루(222)를 구비한다. 상기 볼 스크루(222)의 양단은 상기 Y축 가이드 테이블(220)의 양단에 회전 지지된다. 상기 볼 스크루(222)는 Y축을 따라 배치된다.
상기 Y축 이동 테이블(230)은 상기 Y축 가이드 테이블(220)의 상단에 배치된다. 상기 Y축 이동 테이블(230)의 하단은 볼 스크루(222)와 스크루 체결된다. 상기 Y축 이동 테이블(230)의 하단은 Y축 가이드 테이블(220)의 상단에서 Y축을 따라 레일 결합된다. 따라서, Y축 이동 테이블(230)은 볼 스크루(222)의 회전에 따라 이동 가능하다.
상기 Y축 이동 케이블(230)의 상단에는 시편 고정 테이블(300)이 고정 설치된다.
도 3을 참조 하면, 상기 시편 고정 테이블(300)은 상기 Y축 이동 테이블(230) 상단에 설치된다.
상기 시편 고정 테이블(300)은 제 1시편 고정 테이블(310)과, 제 2시편 고정 테이블(320)과, 제 3시편 고정 테이블(330)과, 시편 고정대(340)로 구성된다.
상기 제 1시편 고정 테이블(310)은 상기 Y축 이동 테이블(230)의 상단에 고정 설치된다.
상기 제 1시편 고정 테이블(310)의 상단에는 X축 선상을 따라 하방으로 오목한 곡면을 이루는 제 1곡면 경로홈(311)이 형성된다.
상기 제 2시편 고정 테이블(320)은 상기 제 1시편 고정 테이블(310) 상단에 배치된다.
상기 제 2시편 고정 테이블(320)의 하단은 상기 제 1곡면 경로홈(311)에 위치되어 X축 선상을 따라 스위블 이동 되도록 하방으로 볼록한 곡면 형상으로 돌출 형성된다.
상기 제 2시편 고정 테이블(320)의 상단에는 Y축 선상을 따라 하방으로 오목한 곡면을 이루는 제 2곡면 경로홈(321)이 형성된다.
상기 제 3시편 고정 테이블(330)의 하단은 상기 제 2곡면 경로홈(321)에 위치되어 Y축 선상을 따라 스위블 이동 되도록 하방으로 볼록한 곡면 형상으로 돌출 형성된다.
상기 제 3시편 고정 테이블(330)의 상단은 편평함을 이룰 수 있다.
상기 시편 고정대(340)는 판 형상으로 형성되고, 상기 제 3시편 고정 테이블(330)의 상단에 고정 설치된다. 상기 시편 고정대(340)의 상단에는 검사 대상인 시편(미도시)이 고정될 수 있다. 상기 시편의 고정은 별도의 고정 부재(미도시)를 사용하여 고정하거나, 접착재와 같은 부재를 사용하여 고정할 수 있다.
또한, 상기 시편 고정대(340)의 중심(C)은 제 3시편 고정 테이블(330)의 중심에 형성되는 회전축(미도시)에 연결될 수 있다. 상기 시편 고정대(340)는 XY 평면상에서 회전 가능하다.
한편, 제 1시편 고정 테이블(310)의 일측부에는 제 1고정 볼트(B1)가 설치된다. 상기 제 1고정 볼트(B1)는 제 1시편 고정 테이블(310)의 일측부를 관통하고, 제 1곡면 경로홈(311)을 따라 스위블 이동되는 제 2시편 고정 테이블(320)의 외주를 밀착 고정함으로써 이동 위치를 고정하는 역할을 한다.
또한, 제 2시편 고정 테이블(320)의 일측부에는 제 2고정 볼트(B2)가 설치된다. 상기 제 2고정 볼트(B2)는 제 2시편 고정 테이블(320)의 일측부를 관통하고, 제 2곡면 경로홈(321)을 따라 스위블 이동되는 제 3시편 고정 테이블(330)의 외주를 밀착 고정함으로써 이동 위치를 고정하는 역할을 한다.
이에 더하여, 도 4를 참조 하면, 제 1고정 볼트(B1)의 단부에는 제 1기어(G1)가 설치되고, 제 2시편 고정 테이블(320)의 볼록한 하단면은 제 1거어(G1)와 기어치(G) 연결될 수도 있다. 또한, 제 2고정 볼트(B2)의 단부에는 제 2기어(G2)가 설치되고, 제 3시편 고정 테이블(330)의 볼록한 하단면은 제 2거어(G2)와 기어치(G) 연결될 수도 있다. 따라서, 제 1,2기어(G1,G2)의 회전을 통하여 제 2,3시편 고정 테이블(320,330)의 스위블 이동 및 이동 위치 고정을 실시할 수도 있다.
도 1을 참조 하면, 상기 연상 취득 유닛(400)은 이동 경로부(410)와, 제 1고정 프레임(420)과, 제 1반원 각도 부재(430)0와, 제 1가동 프레임(440)과, 카메라(450)로 구성된다.
상기 이동 경로부(410)는 한 쌍의 이동 경로홀(411)을 포함한다.
상기 한 쌍의 이동 경로홀(411)은 스테이지(100)의 중앙부에서 일정 반경을 이루는 원주를 따라 반원 형상의 경로를 형성한다. 상기 각 이동 경로홀(411)은 스테이지(100)의 상하를 관통한다. 상기 각 이동 경로홈(411)은 상기 이동 스테이지(200)가 설치된 영역을 에워싸도록 형성된다.
상기 제 1고정 프레임(420)은 스테이지(100) 상에 직립되는 상태로 배치된다.
상기 제 1고정 프레임(420)의 하단에는 한 쌍의 가이드 로드(421)가 형성된다. 상기 각 가이드 로드(421)는 각 이동 경로홀(411)을 관통한다. 따라서, 상기 제 1고정 프레임(420)은 이동 경로홀(411)을 따라 이동 가능하다.
도 2에 도시되는 바와 같이, 상기 각 가이드 로드(421)의 하단은 스테이지(100) 중심축(101)과 가이드 바(423)를 통하여 연결된다.
또한, 상기 제 1고정 프레임(420)의 측부에는 상기 이동 경로부(410) 근방의 스테이지(100) 상면에 선택적으로 밀착되는 스크루 볼트(422)가 더 설치된다. 상기 스크루 볼트(422)가 스테이지(100) 상면에 밀착됨에 따라 제 1고정 프레임(420)의 이동 위치는 고정된다.
상기 제 1반원 각도 부재(430)는 상기 제 1고정 프레임(420)의 상단에 설치된다. 상기 제 1반원 각도 부재(430)는 하단에 반원 형상의 중심이 형성된다.
상기 제 1가동 프레임(440)은 상기 제 1반원 각도 부재(430)의 중심과 연결되어 회전 가능하다.
상기 제 1가동 프레임(440)의 일단은 상기 제 1반원 각도 부재(430)의 중심과 힌지 연결된다. 상기 제 1가동 프레임(440)의 일단은 상기 제 1반원 각도 부재(430)의 중심에서 일정의 마찰력이 존재하도록 힌지 연결된다. 따라서, 상기 제 1가동 프레임(440)은 외력 없이 자유 회전을 이루지 않는다.
상기 제 1가동 프레임(440)은 타단을 따라 직각으로 벤딩된다. 상기 제 1가동 프레임(440)의 타단에는 직각 프레임(441)이 설치된다.
상기 직각 프레임(441)에는 제 1가동 프레임(440)의 회전 방향에 교차되는 방향을 따르는 보조 볼 스크루(442)가 설치된다.
상기 카메라(450)는 그 일부가 상기 보조 볼 스크루(422)와 스크루 체결되도록 연결된다. 따라서, 상기 카메라(450)는 보조 볼 스크루(442)의 회전에 따라 교차 방향을 따라서 이동 위치 가능하다.
상기 광원 유닛(500)은 상기 영상 취득 유닛(400)의 반대 편에 위치되도록 스테이지(100) 상단에 설치된다.
상기 광원 유닛(500)은 제 2고정 프레임(510)과, 제 2반원 각도 부재(520)와, 제 2가동 프레임(530)과, 레이저 소스(540)로 구성된다.
상기 제 2고정 프레임(510)은 스테이지(100) 상단에 직립되는 상태로 설치된다.
상기 제 2반원 각도 부재(520)는 상기 제 2고정 프레임(510)의 상단에 고정 설치된다.
상기 제 2가동 프레임(510)의 일단은 상기 제 2반원 각도 부재(520)의 중심과 힌지 연결된다. 상기 제 2가동 프레임(510)의 일단은 상기 제 2반원 각도 부재(520)의 중심에서 일정의 마찰력이 존재하도록 힌지 연결된다. 따라서, 상기 제 2가동 프레임(530)은 외력 없이 자유 회전을 이루지 않는다.
상기 제 2가동 프레임(530)은 타단을 따라 직각으로 벤딩되어 형성된다.
상기 레이저 소스(540)는 상기 제 2가동 프레임(530)의 타단에 고정 설치된다.
여기서, 상기 제 2가동 프레임(530)은 타단을 따라 직각으로 벤딩된다. 상기 제 2가동 프레임(530)의 타단에는 직각 프레임(531)이 설치된다.
상기 직각 프레임(531)에는 제 2가동 프레임(530)의 회전 방향에 교차되는 방향을 따르는 보조 볼 스크루(532)가 설치된다.
상기 레이저 소스(540)는 그 일부가 상기 보조 볼 스크루(532)와 스크루 체결되도록 연결된다. 따라서, 상기 레이저 소스(540)는 보조 볼 스크루(532)의 회전에 따라 교차 방향을 따라서 이동 위치 가능하다.
다음은, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 시편 검사 장치의 작용을 설명하도록 한다.
도 1 및 도 2를 참조 하면, 시편(미도시)은 시편 고정대(340)의 상단에 고정된다.
시편의 다양한 회전 위치 조절 방법을 설명한다.
이동 스테이지(200)는 시편을 XY 평면상의 임의의 위치에 이동 위치시킬 수 있다.
즉, Y축 가이드 테이블(220)의 가이드 돌기(221)는 X축 가이드 홈(211)에 끼워진 상태를 이룬다. 따라서, Y축 가이드 테이블(220)은 X축을 따라 임의의 위치로 이동된다.
그리고, Y축 이동 테이블(230)의 하단은 Y축 가이드 테이블(220)에 설치되는 볼 스크루(222)에 스크루 체결된다. 따라서, 볼 스크루(222)를 일정 방향으로 회전시키면, Y축 이동 테이블(230)은 Y축을 따라 임의의 위치로 이동된다.
시편 고정 테이블(300)은 시편의 위도 및 경도를 가변 조절할 수 있다.
제 2시편 고정 테이블(320)은 제 1시편 고정 테이블(310)의 제 1곡면 경로홈(311)을 따라 회전된다. 즉, 상기 제 2시편 고정 테이블(320)은 Y축 선 상을 따라 스위블 이동 가능하다. 그리고, 상기 제 2시편 고정 테이블(320)은 제 1고정 볼트(B1)의 조임에 의하여 스위블 이동 위치에서 고정될 수 있다. 따라서, 시편의 경도를 조절할 수 있다.
또한, 제 3시편 고정 테이블(330)은 제 2시편 고정 테이블(320)의 제 2곡면 경로홈(321)을 따라 회전된다. 즉, 상기 제 3시편 고정 테이블(330)은 X축 선 상을 따라 스위블 이동 가능하다. 그리고, 상기 제 3시편 고정 테이블(330)은 제 2고정 볼트(B2)의 조임에 의하여 스위블 이동 위치에서 고정될 수 있다. 따라서, 시편의 위도를 조절할 수 있다.
이에 더하여, 상기 시편 고정대(340)는 제 3시편 고정 테이블(330) 중심의 회전축에 연결되어 XY 평면상에서 회전 가능하다.
따라서, 시편은 시편 고정대(340)에 설치되는 상태로 상기와 같은 과정을 통하여 위도 및 경도를 임의로 조절할 수 있음과 아울러, XY 평면상에서의 회전 위치를 임의로 조절할 수 있다.
레이저 광의 조사각을 다양하게 가변하는 방법을 설명한다.
스테이지(100) 상에 직립되는 제 2고정 프레임(510)의 타단에는 제 2반원 각도 부재(520)가 설치된다. 타단에 레이저 소스(540)가 설치되는 제 2가동 프레임(530)은 제 2반원 각도 부재(520)의 중심을 기준으로 회전된다.
상기 제 2가동 프레임(530)은 제 2반원 각도 부재(520)를 통하여 회전각을 결정하여 일정 위치에 회전 위치시킬 수 있다.
따라서, 레이저 소스(540)의 위도를 다양한 위치로 가변 조절할 수 있기 때문에, 시편으로의 레이저 광의 조사각을 용이하게 가변시킬 수 있다.
카메라(450)의 광 측정 위치를 다양하게 가변시키는 방법을 설명하도록 한다.
제 1고정 프레임(420)은 한 쌍의 이동 경로홈(411)을 따라 이동된다. 상기 제 1고정 프레임(420)은 그 측부에 설치되는 스크루 볼트(422)의 조임에 의하여 스테이지(100) 상에서 이동 위치가 고정된다.
제 1가동 프레임(420)은 일단이 제 1반원 각도 부재(430)의 중심에 힌지 연결된 상태를 이룬다. 제 1가동 프레임(420)은 상기 중심을 회전 중심으로 하여 회전된다. 따라서, 제 1가동 프레임(420)의 회전 각을 임의의 위치로 이동 위치시킬 수 있다.
또한, 제 1가동 프레임(420)의 타단에는 상기 회전 방향과 교차되는 방향을 따르는 보조 볼 스크루(442)가 설치되는 직각 프레임(441)이 설치된다.
상기 보조 볼 스크루(442)를 일정 방향으로 회전시키면, 커메라(450)는 상기 교차되는 방향을 따라 임의의 위치로 이동 위치된다.
다양한 조사각을 이루어 시편으로 레이저 광이 조사되면, 레이저 광은 시편으로부터 산란되어 산란광을 형성한다.
이때, 상기 카메라(450)는 상기와 같은 과정을 통하여 위도 및 경도의 조절이 가능하기 때문에, 다양한 산란광의 산란각에 대응하여 이를 용이하게 측정할 수 있다.
100 : 스테이지 200 : 이동 스테이지
210 : X축 가이드 테이블 220 : Y축 가이드 테이블
230 : Y축 이동 테이블 300 : 시편 고정 테이블
310 : 제 1시편 고정 테이블 320 : 제 2시편 고정 테이블
330 : 제 3시편 고정 테이블 340 : 시편 고정대
400 : 영상 취득 유닛 410 : 이동 경로부
420 : 제 1고정 프레임 430 : 제 1반원 각도 부재
440 : 제 1가동 프레임 450 : 카메라
500 : 광원 유닛 510 : 제 2고정 프레임
520 : 제 2반원 각도 부재 530 : 제 2가동 프레임
540 : 레이저 소스

Claims (8)

  1. 스테이지;
    상기 스테이지 상에 배치되며, 사방으로 이동 가능한 이동 스테이지;
    상기 이동 스테이지 상에 배치되며, 사방으로 스위블 이동 가능하고, 시편이 고정되는 시편 고정 테이블;
    상기 스테이지 상에 배치되며, 위도 및 경도 조절이 가능하고 상기 시편으로 레이저 광을 조사하는 광원 유닛; 및
    상기 스테이지 상에 배치되며, 위도 조절이 가능하고, 시편에서 산란되는 산란광을 취득하는 영상 취득 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 시편 검사 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 이동 스테이지는,
    상기 스테이지 상에 설치되며, X축 가이드 홈이 형성되는 X축 가이드 테이블과,
    상기 X축 가이드 테이블 상에 배치되며, 상기 X축 가이드 홈에 끼워지는 가이드 돌기를 구비하여 X축을 따라 이동되고, 상단부에 Y축을 따르는 볼 스크루를 갖는 Y축 가이드 테이블과,
    상기 Y축 가이드 테이블에 배치되며, 하단이 상기 볼 스크루와 스크루 체결되어 Y축을 따라 유동 가능하고, 상기 시편 고정 테이블이 고정되는 Y축 이동 테이블을 구비하는 것을 특징으로 하는 시편 검사 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 시편 고정 테이블은,
    상기 Y축 이동 테이블 상에 설치되며, 상단에 Y축 선 상에서 하방으로 오목한 제 1곡면 경로홈이 형성되는 제 1시편 고정 테이블과,
    상기 제 1곡면 경로홈에 배치되며, 상기 제 1곡면 경로홈을 따라 스위블 이동되고, 상단에 X축 선 상에서 하방으로 오목한 제 2곡면 경로홈이 형성되는 제 2시편 고정 테이블과,
    상기 제 2곡면 경로홈에 배치되며, 상기 제 2곡면 경로홈을 따라 스위블 이동되는 제 3시편 고정 테이블과,
    상기 제 3시편 고정 테이블의 상단에 배치되며, 상기 제 3시편 고정 테이블의 중심에서 회전 가능하고, 상단에 시편이 고정되는 시편 고정대를 구비하는 것을 특징으로 하는 시편 검사 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 제 1시편 고정 테이블에는,
    상기 제 1곡면 경로홈에서 유동되는 제 2시편 고정 테이블의 외주를 조여 이동 위치를 고정하는 제 1고정 볼트가 설치되고,
    상기 제 2시편 고정 테이블에는,
    상기 제 2곡면 경로홈에서 유동되는 제 3시편 고정 테이블의 외주를 조여 이동 위치를 고정하는 제 2고정 볼트가 설치되는 것을 특징으로 하는 시편 검사 장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 영상 측정 유닛은,
    상기 이동 스테이지를 에워싸도록 상기 스테이지의 중심으로부터 일정 반경을 이루는 반원 형상의 이동 경로부와,
    상기 이동 경로부를 따라 이동되도록 직립되어 배치되는 제 1고정 프레임과,
    상기 제 1고정 프레임의 상단에 설치되는 판상의 제 1반원 각도 부재와,
    일단이 상기 제 1반원 각도 부재의 중심에 힌지 연결되고, 타단이 상기 시편 고정 테이블 상부에 위치되는 제 1가동 프레임과,
    상기 제 1가동 프레임의 타단에 설치되며, 시편으로부터 산란되는 광을 측정하는 카메라를 구비하는 것을 특징으로 하는 시편 검사 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 제 1가동 프레임의 단부에는,
    상기 제 1가동 프레임의 회전 방향과 교차되는 방향을 따르는 보조 볼 스크루가 설치되는 직각 프레임을 구비하고,
    상기 카메라는 상기 보조 볼 스크루에 스크루 체결되어 상기 교차되는 방향을 따라 이동 가능한 것을 특징으로 하는 시편 검사 장치.
  7. 제 5항에 있어서,
    상기 이동 경로부는, 한 쌍의 이동 경로홈이고,
    상기 제 1고정 프레임의 하단에는 상기 각 이동 경로홈을 관통하는 한 쌍의 가이드 로드가 형성되고,
    상기 제 1고정 프레임의 측부에는 상기 이동 경로부 근방의 스테이지 상면에 선택적으로 밀착되는 스크루 볼트가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 시편 검사 장치.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 광원 유닛은,
    상기 영상 취득 유닛의 맞은 편에 배치되도록 상기 스테이지 상에 직립되어 배치되는 제 2고정 프레임과,
    상기 제 2고정 프레임의 상단에 설치되는 판상의 제 2반원 각도 부재와,
    일단이 상기 제 2반원 각도 부재의 중심에 힌지 연결되고, 타단이 상기 시편 고정 테이블 상부에 위치되는 제 2가동 프레임과,
    상기 제 2가동 프레임의 타단에 설치되며, 상외부로부터 전원을 인가 받아 레이저 광을 외부로 조사하는 레이저 소스를 구비하는 것을 특징으로 하는 시편 검사 장치.
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