KR20120125984A

KR20120125984A - Processing device and transfer device for a strip-shaped sheet substrate

Info

Publication number: KR20120125984A
Application number: KR1020127021745A
Authority: KR
Inventors: 도모나리 스즈키
Original assignee: 가부시키가이샤 니콘
Priority date: 2010-02-12
Filing date: 2011-02-10
Publication date: 2012-11-19
Also published as: TW201733890A; WO2011099562A1; KR20170069297A; JP5765240B2; CN102803109B; KR101747989B1; TWI592353B; TWI627120B; CN102803109A; JPWO2011099562A1; KR101803692B1; TW201144194A

Abstract

반송 장치는, 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)를 구비한다. 띠 모양의 시트 기판(FB) 즉 수지 필름 또는 포일(foil)은, 제1 안내 롤러(G1)로 경사지게 구부려지는 것에 의해 뒤집어지고, 제2 안내 롤러(G2)로도 경사지게 구부러지는 것에 의해 뒤집어진다. 기판(FB) 상의 얼라이먼트 마크(AM)의 얼라이먼트 카메라(51)에 의한 검출에 근거하여, 조정 기구(52, 53)는, 안내 롤러(G1, G2)를 시프트 또는 틸트한다. 이 시프트(평행 이동) 또는 틸트는, 제1 및 제2 안내 롤러(G1, G2)의 사이의 기판(FB)을 횡단 방향으로 이동한다. 처리 장치(10)는 기판(FB)의 면(Fp) 상에 유기 EL 소자를 형성한다. 안내 롤러(G1, G2) 대신에 원추(G3, G4)가 사용될 수 있다. 제3 안내 롤러(G23) 또는 원추(G27)가 부가될 수 있다. 게다가, 제4 안내 롤러(G24) 또는 원추(G28)가 부가될 수 있다. 안내 롤러 및 원추는, 기판(FB)의 피처리면(Fp)에 접촉하지 않는다. 기판(FB)의 횡단 방향의 이동시에, 기판(FB)에 주름이 발생하지는 않는다. The conveying apparatus is equipped with the 1st guide roller G1 and the 2nd guide roller G2. A strip | belt-shaped sheet | seat board | substrate FB, ie, a resin film or a foil, is inverted by bent inclined by the 1st guide roller G1, and is inverted by bent inclined also by the 2nd guide roller G2. Based on the detection by the alignment camera 51 of the alignment mark AM on the board | substrate FB, the adjustment mechanism 52 and 53 shift or tilt guide rollers G1 and G2. This shift (parallel movement) or tilt moves the board | substrate FB between 1st and 2nd guide rollers G1 and G2 in a transverse direction. The processing apparatus 10 forms an organic EL element on the surface Fp of the substrate FB. Cones G3 and G4 may be used instead of the guide rollers G1 and G2. A third guide roller G23 or cone G27 can be added. In addition, a fourth guide roller G24 or cone G28 may be added. The guide roller and the cone do not contact the processing surface Fp of the substrate FB. At the time of the cross direction of the board | substrate FB, a wrinkle does not arise in the board | substrate FB.

Description

PROCESSING DEVICE AND TRANSFER DEVICE FOR A STRIP-SHAPED SHEET SUBSTRATE}

본 발명은, 반송 장치 및 기판 처리 장치에 관한 것이다.
This invention relates to a conveying apparatus and a substrate processing apparatus.

디스플레이 장치 등의 표시 장치를 구성하는 표시 소자로서, 예를 들면 액정 표시 소자, 유기 전계 발광(유기 EL) 소자, 전자 페이퍼(paper)에 이용되는 전기 영동(泳動) 소자 등이 알려져 있다. 현재, 이들의 표시 소자로서, 기판 표면에 박막 트랜지스터로 불리는 스위칭 소자(Thin Film Transistor：TFT)를 형성한 후, 그 위에 각각의 표시 디바이스를 형성하는 능동적 소자(액티브 디바이스)가 주류가 되어오고 있다. As a display element which comprises a display apparatus, such as a display apparatus, a liquid crystal display element, an organic electroluminescent (organic EL) element, the electrophoretic element used for an electronic paper, etc. are known, for example. At present, as these display elements, active elements (active devices) that form a switching element called a thin film transistor (TFT) on a substrate surface and form respective display devices thereon have become mainstream. .

근년에는, 시트 모양의 기판(예를 들면 필름 부재 등) 상에 표시 소자를 형성하는 기술이 제안되고 있다. 이와 같은 기술로서, 예를 들면 롤?투?롤 방식(이하, 단지 「롤 방식」이라고 표기함)으로 불리는 수법이 알려져 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조). 롤 방식은, 기판 공급측의 공급용 롤러에 감긴 1매의 시트 모양의 기판(예를 들면, 띠 모양의 필름 부재)을 송출함과 아울러 송출된 기판을 기판 회수측의 회수용 롤러로 권취하면서 기판을 반송한다. In recent years, the technique of forming a display element on a sheet-like board | substrate (for example, a film member etc.) is proposed. As such a technique, for example, a method called a roll-to-roll method (hereinafter, simply referred to as a "roll method") is known (see Patent Document 1, for example). The roll method sends out a sheet-like substrate (for example, a strip-shaped film member) wound around a supply roller on a substrate supply side, and winds up the sent substrate with a recovery roller on the substrate recovery side. To return.

그리고, 기판이 송출되고 나서 권취될 때까지의 사이에, 예를 들면 복수의 반송 롤러 등을 이용하여 기판을 반송하면서, 복수의 처리 장치를 이용하여, TFT를 구성하는 게이트 전극, 게이트 산화막, 반도체막, 소스?드레인 전극 등을 형성하고, 기판의 피처리면 상에 표시 소자의 구성 요소를 순차 형성한다. 예를 들면, 유기 EL소자를 형성하는 경우에는, 발광층, 양극, 음극, 전기 회로 등을 기판 상에 순차 형성한다. And the gate electrode, gate oxide film, and semiconductor which comprise a TFT using a some processing apparatus, for example, conveying a board | substrate using a some conveyance roller etc. between a board | substrate being sent out and winding up. A film, a source / drain electrode, and the like are formed, and components of the display element are sequentially formed on the target surface of the substrate. For example, when forming an organic EL element, a light emitting layer, an anode, a cathode, an electric circuit, etc. are formed in order on a board | substrate.

표시 소자의 형성시에는, 예를 들면 구성 요소를 고정밀도로 기판 상에 배치하기 때문에, 처리 장치와 기판과의 사이에서 위치 맞춤이 필요하다. 이에, 기판의 반송 방향과 직교하는 방향에서의 단부의 각각에, 위치 조정용 롤러를 배치하고, 이 위치 조정용 롤러의 회전 속도를 조정함에 의해서, 기판의 위치를 조정하는 기술이 알려져 있다.
At the time of formation of a display element, for example, since a component is arrange | positioned on a board | substrate with high precision, alignment is necessary between a processing apparatus and a board | substrate. Therefore, the technique of adjusting the position of a board | substrate is known by arrange | positioning the roller for position adjustment in each of the edge parts in the direction orthogonal to the conveyance direction of a board | substrate, and adjusting the rotational speed of this position roller.

특허 문헌 1 : 국제공개 제 2006／100868호Patent Document 1: International Publication No. 2006/100100868

그렇지만, 상기의 위치 조정에서는, 위치 조정용 롤러 사이의 회전 속도의 차이에 의해서, 기판에 대해서 반송 방향과는 다른 방향으로 힘이 작용하여, 기판에 예를 들면 주름 등이 발생할 가능성이 있다. However, in said position adjustment, a force acts in a direction different from a conveyance direction with respect to a board | substrate by a difference in the rotational speed between the rollers for position adjustment, and there exists a possibility that wrinkles etc. may arise in a board | substrate, for example.

또, 기판의 반송시에 피처리면이 예를 들면 반송 롤러에 접촉하여, 피처리면의 처리 상태에 영향을 미칠 가능성이 있다. 그 때문에, 기판의 피처리면에 각종 처리를 실행하는 전후에서는, 기판의 피처리면에 대한 접촉을 극력(極力) 적게 할 정도의 구성이 요구되고 있다. Moreover, at the time of conveyance of a board | substrate, a to-be-processed surface may contact a conveyance roller, for example, and may affect the processing state of a to-be-processed surface. Therefore, before and after performing various processes to the to-be-processed surface of a board | substrate, the structure of the grade which reduces the contact with the to-be-processed surface of a board | substrate as much as possible is calculated | required.

본 발명에 관한 형태는, 기판의 위치 결정 정밀도를 향상할 수 있는 반송 장치 및 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 발명에 관한 형태의 다른 목적은, 기판의 피처리면에의 접촉을 억제하면서 기판을 반송할 수 있는 반송 장치 및 기판 처리 장치를 제공하는 것에 있다.
The aspect which concerns on this invention aims at providing the conveying apparatus and substrate processing apparatus which can improve the positioning accuracy of a board | substrate. Another object of the aspect according to the present invention is to provide a conveying apparatus and a substrate processing apparatus capable of conveying a substrate while suppressing contact with the surface to be processed of the substrate.

본 발명의 제1 형태에 따르면, 띠 모양의 시트 기판을 반송하는 반송 장치로서, 제1 방향으로부터(또는 제1 방향으로) 반송되는 시트 기판을 경사지게 구부려, 시트 기판의 반송 방향을 제1 방향으로부터 해당 제1 방향과 다른 제2 방향으로 바꾸는 제1 안내 부재와, 제2 방향으로부터(또는 제2 방향으로) 반송되는 시트 기판을 경사지게 구부려, 시트 기판의 반송 방향을 제2 방향으로부터 제2 방향과 다른 제3 방향으로 바꾸는 제2 안내 부재와, 제1 안내 부재 및 제2 안내 부재의 적어도 일방에 마련되며, 제1 안내 부재의 위치 및 제2 안내 부재의 위치의 적어도 일방을 조정하고, 제2 방향과 교차하는 방향에서의 시트 기판의 위치를 조정하는 조정 기구를 구비하는 반송 장치가 제공된다.According to the 1st aspect of this invention, the conveying apparatus which conveys a strip | belt-shaped sheet | seat board | substrate, bends the sheet | seat board | substrate conveyed from a 1st direction (or to a 1st direction) to incline, and conveyance direction of a sheet board | substrate from a 1st direction The first guide member which changes in the 2nd direction different from the said 1st direction, and the sheet board | substrate conveyed from a 2nd direction (or in a 2nd direction) are bent obliquely, and the conveyance direction of a sheet board | substrate is changed from a 2nd direction to a 2nd direction. It is provided in at least one of the 2nd guide member which changes to another 3rd direction, a 1st guide member, and a 2nd guide member, and adjusts the position of the 1st guide member and the at least one position of the 2nd guide member, and 2nd The conveying apparatus provided with the adjustment mechanism which adjusts the position of the sheet | seat board | substrate in the direction crossing with a direction is provided.

본 발명의 제2 형태에 따르면, 띠 모양의 시트 기판을 반송하는 반송 장치와, 시트 기판에 대해서 소정의 처리를 행하는 처리 장치를 구비하며, 반송 장치로서, 상기 형태의 반송 장치가 이용되는 기판 처리 장치가 제공된다.According to the second aspect of the present invention, there is provided a conveying apparatus for conveying a strip-shaped sheet substrate and a processing apparatus for performing a predetermined process on the sheet substrate, wherein the conveying apparatus of the above form is used as a conveying apparatus. An apparatus is provided.

본 발명의 제3 형태에 따르면, 띠 모양의 시트 기판을 반송하는 반송 장치로서, 시트 기판의 이면(裏面)을 지지하고, 제1 방향으로부터(또는 제1 방향으로) 반송되는 시트 기판을 경사지게 구부려, 시트 기판의 반송 방향을 제1 방향으로부터 제1 방향과 다른 제2 방향으로 바꾸는 제1 안내 부재와, 시트 기판의 이면을 지지하고, 제2 방향으로부터(또는 제2 방향으로) 반송되는 시트 기판을 경사지게 구부려, 시트 기판의 반송 방향을 제2 방향으로부터 제2 방향과 다른 제3 방향으로 바꾸는 제2 안내 부재와, 시트 기판의 이면을 지지하고, 제3 방향으로부터(또는 제3 방향으로) 반송되는 시트 기판을 경사지게 구부려, 시트 기판의 반송 방향을 제3 방향으로부터 제3 방향과 다른 제4 방향으로 바꾸는 제3 안내 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 장치가 제공된다.According to the 3rd aspect of this invention, the conveying apparatus which conveys a strip | belt-shaped sheet | seat board | substrate supports the back surface of a sheet | seat board | substrate, and bends the sheet | seat board | substrate conveyed from a 1st direction (or to a 1st direction) to incline. The sheet | seat board | substrate which supports the 1st guide member which changes the conveyance direction of a sheet substrate from a 1st direction to a 2nd direction different from a 1st direction, and the back surface of a sheet substrate, and is conveyed from a 2nd direction (or in a 2nd direction). To guide the back surface of the sheet substrate and the second guide member for changing the conveying direction of the sheet substrate from the second direction to a third direction different from the second direction, and conveying from the third direction (or in the third direction). And a third guide member which bends the sheet substrate to be inclined and changes the conveying direction of the sheet substrate from the third direction to a fourth direction different from the third direction. Ball.

본 발명의 제4 형태에 따르면, 띠 모양의 시트 기판을 반송하는 반송 장치와, 시트 기판에 대해서 소정의 처리를 행하는 처리 장치를 구비하며, 반송 장치로서, 상기 형태의 반송 장치가 이용되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치가 제공된다. According to the 4th aspect of this invention, the conveying apparatus which conveys a strip | belt-shaped sheet | seat board | substrate, and the processing apparatus which performs a predetermined process with respect to a sheet | seat board | substrate are provided, The conveying apparatus of the said form is used as a conveying apparatus, It is characterized by the above-mentioned. A substrate processing apparatus is provided.

본 발명의 제5 형태에 따르면, 띠 모양의 시트 기판의 표면에 소정의 처리를 실행하는 기판 처리 장치로서, 시트 기판의 이면을 지지하고, 제1 방향으로부터(또는 제1 방향으로) 반송되는 시트 기판을 경사지게 구부려, 시트 기판의 반송 방향을 제1 방향으로부터 해당 제1 방향과 다른 제2 방향으로 바꾸는 제1 안내 부재와, 시트 기판의 이면을 지지하고, 제2 방향으로부터(또는 제2 방향으로) 반송되는 시트 기판을 경사지게 구부려, 시트 기판의 반송 방향을 제2 방향으로부터 해당 제2 방향과 다른 제3 방향으로 바꾸는 제2 안내 부재와, 시트 기판의 이면을 지지하고, 제3 방향으로부터(또는 제3 방향으로) 반송되는 시트 기판을 경사지게 구부려, 시트 기판의 반송 방향을 제3 방향으로부터 해당 제3 방향과 다른 제4 방향으로 변환하는 제3 안내 부재와, 시트 기판의 이면을 지지하고, 제4 방향으로부터(또는 제4 방향으로) 반송되는 시트 기판을 경사지게 구부려, 시트 기판의 반송 방향을 제4 방향으로부터 해당 제4 방향과 다른 제５ 방향으로 바꾸는 제4 안내 부재와, 제1 안내 부재와 제2 안내 부재와의 사이에서, 시트 기판의 표면에 소정의 처리를 행하는 제1 처리부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치가 제공된다.
According to the fifth aspect of the present invention, there is provided a substrate processing apparatus that performs a predetermined process on the surface of a strip-shaped sheet substrate, the sheet being supported on the back surface of the sheet substrate and conveyed from the first direction (or in the first direction). The first guide member that bends the substrate at an angle and changes the conveying direction of the sheet substrate from the first direction to a second direction different from the first direction, and the back surface of the sheet substrate, supports from the second direction (or in the second direction) The second guide member which bends the sheet substrate to be conveyed at an inclined angle and changes the conveying direction of the sheet substrate from the second direction to a third direction different from the second direction, and supports the back surface of the sheet substrate from the third direction (or A third guide member which bends the sheet substrate to be conveyed in an inclined manner in a third direction, and converts the conveying direction of the sheet substrate from the third direction to a fourth direction different from the third direction; Fourth guide which supports the back surface of a board | substrate, bends the sheet | seat board | substrate conveyed from a 4th direction (or a 4th direction) to inclination, and changes the conveyance direction of a sheet board | substrate from a 4th direction to the 5th direction different from the said 4th direction A substrate processing apparatus is provided between a member and a 1st processing member which performs a predetermined process on the surface of a sheet | seat board | substrate between a 1st guide member and a 2nd guide member.

본 발명의 형태에 의하면, 종래에 비해, 높은 위치 결정 정밀도로 기판의 위치를 조정할 수 있다. 또, 본 발명의 형태에 의하면, 기판의 피처리면으로의 접촉을 억제하면서 기판을 반송할 수 있다.
According to the aspect of this invention, compared with the past, the position of a board | substrate can be adjusted with high positioning precision. Moreover, according to the aspect of this invention, a board | substrate can be conveyed, suppressing contact with the to-be-processed surface of a board | substrate.

도 1은 제1 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 개략 구성을 나타내는 전체도.
도 2는 본 실시 형태에 관한 반송 장치의 일부 구성을 나타내는 측단면도.
도 3은 본 실시 형태에 관한 반송 장치의 일부 구성을 나타내는 평면도.
도 4는 본 실시 형태에 관한 기판 처리 장치에 의한 반송 동작을 나타내는 도면.
도 5는 제2 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 반송 동작을 나타내는 도면.
도 6은 제3 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 반송 장치의 일부 구성을 나타내는 도면.
도 7은 본 실시 형태에 관한 반송 장치의 일부 구성을 나타내는 사시도.
도 8은 본 실시 형태에 관한 반송 장치의 다른 구성을 나타내는 도면.
도 9는 제4 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 개략 구성을 나타내는 전체도.
도 10은 본 실시 형태에 관한 반송 장치의 일부 구성을 나타내는 평면도.
도 11은 제5 실시 형태에 관한 반송 장치의 일부 구성을 나타내는 도면.
도 12는 제6 실시 형태에 관한 반송 장치의 일부 구성을 나타내는 도면.
도 13은 본 실시 형태에 관한 반송 장치의 다른 구성을 나타내는 도면. 1 is an overall view showing a schematic configuration of a substrate processing apparatus according to a first embodiment.
2 is a side sectional view showing a part of a configuration of a conveying apparatus according to the present embodiment.
3 is a plan view showing a partial configuration of a conveying apparatus according to the present embodiment.
4 is a diagram illustrating a conveying operation by the substrate processing apparatus according to the present embodiment.
5 is a diagram illustrating a conveying operation of a substrate processing apparatus according to a second embodiment.
FIG. 6 is a diagram illustrating a partial configuration of a conveying apparatus of the substrate processing apparatus according to the third embodiment. FIG.
7 is a perspective view illustrating a part of a configuration of a conveying apparatus according to the present embodiment.
8 is a diagram illustrating another configuration of the conveying apparatus according to the present embodiment.
9 is an overall view showing a schematic configuration of a substrate processing apparatus according to a fourth embodiment.
10 is a plan view showing a partial configuration of a conveying apparatus according to the present embodiment.
11 is a diagram illustrating a part of a configuration of a conveying apparatus according to a fifth embodiment.
12 is a diagram illustrating a part of a configuration of a conveying apparatus according to a sixth embodiment.
13 is a diagram showing another configuration of the conveying apparatus according to the present embodiment.

[제1 실시 형태］[First Embodiment]

도 1은, 제1 실시 형태에 관한 기판 처리 장치(FPA)의 구성을 나타내는 도면이다. FIG. 1: is a figure which shows the structure of the substrate processing apparatus FPA which concerns on 1st Embodiment.

도 1에 나타내는 바와 같이, 기판 처리 장치(FPA)는, 시트 기판(예를 들면, 띠 모양의 필름 부재, FB)를 공급하는 기판 공급부(SU), 시트 기판(FB)의 표면(피처리면)에 대해서 처리를 행하는 기판 처리부(PR), 시트 기판(FB)을 회수하는 기판 회수부(CL), 및, 이들의 각 부를 제어하는 제어부(CONT)를 가지고 있다. 기판 처리 장치(FPA)는, 예를 들면 공장 등에 설치된다.As shown in FIG. 1, the substrate processing apparatus FPA is a board | substrate supply part SU which supplies a sheet | seat board | substrate (for example, a strip | belt-shaped film member, FB), and the surface (surface to-be-processed) of the sheet | seat board | substrate FB. It has a substrate processing part PR which performs a process with respect to the board | substrate, the board | substrate collection | recovery part CL which collect | recovers the sheet | seat board | substrate FB, and the control part CONT which controls each part of these. The substrate processing apparatus FPA is installed in a factory or the like, for example.

기판 처리 장치(FPA)는, 기판 공급부(SU)로부터 시트 기판(FB)이 송출되고 나서, 기판 회수부(CL)에서 시트 기판(FB)을 회수할 때까지의 사이에, 시트 기판(FB)의 표면에 각종 처리를 실행하는 롤?투?롤 방식(이하, 단지 「롤 방식」이라고 표기함)의 장치이다. 기판 처리 장치(FPA)는, 시트 기판(FB) 상에 예를 들면 유기 EL소자, 액정 표시 소자 등의 표시 소자(전자 디바이스)를 형성하는 경우에 이용할 수 있다. 물론, 처리 장치(FPA)는, 이들의 소자 이외의 소자를 형성하는 경우에도 이용할 수 있다.The substrate processing apparatus FPA is a sheet | seat board | substrate FB after the sheet | seat board | substrate FB is sent out from the board | substrate supply part SU, and until the sheet | seat board | substrate FB is collect | recovered by the board | substrate collection | recovery part CL. A roll-to-roll method (hereinafter, simply referred to as a "roll method") that performs various processes on the surface of the device. The substrate processing apparatus FPA can be used when forming display elements (electronic devices), such as an organic electroluminescent element and a liquid crystal display element, on the sheet | seat board | substrate FB. Of course, the processing apparatus FPA can be used also when forming elements other than these elements.

기판 처리 장치(FPA)에서 처리 대상이 되는 시트 기판(FB)으로서는, 예를 들면 수지 필름이나 스테인리스 강 등의 박(포일(foil))을 이용할 수 있다. 예를 들면, 수지 필름은, 폴리에틸렌 수지, 폴리프로필렌 수지, 폴리에스테르 수지, 에틸렌 비닐 공중합체 수지, 폴리염화비닐 수지, 셀룰로오스 수지, 폴리아미드 수지, 폴리이미드 수지, 폴리카보네이트 수지, 폴리스티렌 수지, 아세트산 비닐 수지 등의 재료를 이용할 수 있다.As the sheet | seat board | substrate FB which becomes a process target in the substrate processing apparatus FPA, foil (foil), such as a resin film and stainless steel, can be used, for example. For example, the resin film is polyethylene resin, polypropylene resin, polyester resin, ethylene vinyl copolymer resin, polyvinyl chloride resin, cellulose resin, polyamide resin, polyimide resin, polycarbonate resin, polystyrene resin, vinyl acetate Materials, such as resin, can be used.

시트 기판(FB)의 Y 방향(짧은 방향)의 치수는 예를 들면 1m ~ 2m 정도로 형성되어 있으며, X 방향(긴 방향)의 치수는 예를 들면 10m 이상으로 형성되어 있다. 물론, 이 치수는 일례에 불과하며, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 시트 기판(FB)의 Y 방향의 치수가 1m 이하, 또는 50cm 이하라도 상관없고, 2m 이상이라도 상관없다. 또, 시트 기판(FB)의 X 방향의 치수가 10m 이하라도 상관없다.The dimension of the Y direction (short direction) of the sheet | seat board | substrate FB is formed in about 1 m-2 m, for example, and the dimension of X direction (long direction) is formed in 10 m or more, for example. Of course, this dimension is merely an example, and the present invention is not limited thereto. For example, the dimension of the Y direction of the sheet | seat board | substrate FB may be 1 m or less or 50 cm or less, and may be 2 m or more. Moreover, the dimension of the X direction of the sheet | seat board | substrate FB may be 10 m or less.

시트 기판(FB)은, 예를 들면 가요성을 가지도록 형성되어 있다. 여기서 가요성이란, 예를 들면 기판에 적어도 자중(自重) 정도의 소정의 힘을 가해도 단선하거나 파단하거나 하는 것은 아니고, 해당 기판을 굽히는 것이 가능한 성질을 말한다. 또, 예를 들면 상기 소정의 힘에 의해서 굴곡하는 성질도 가요성에 포함된다. 또, 상기 가요성은, 해당 기판의 재질, 크기, 두께, 또는 온도 등의 환경 등에 따라 바뀐다. 또한, 시트 기판(FB)으로서는, 1매의 띠 모양의 기판을 이용해도 상관없지만, 복수의 단위 기판을 접속하여 띠 모양으로 형성되는 구성으로 해도 상관없다.The sheet substrate FB is formed to have flexibility, for example. The flexibility here means, for example, that the substrate can be bent without breaking or breaking even when a predetermined force of at least self-weight is applied to the substrate. For example, the flexibility to bend by the predetermined force is also included in the flexibility. Moreover, the said flexibility changes with the environment, such as the material, size, thickness, or temperature of the said board | substrate. In addition, as a sheet | seat board | substrate FB, although you may use one strip | belt-shaped board | substrate, you may set it as a structure formed by connecting several unit board | substrates and forming strip | belt-shaped.

시트 기판(FB)은, 비교적 고온(예를 들면 200℃ 정도)의 열을 받아도 치수가 실질적으로 변하지 않도록(열변형이 작음) 열팽창 계수가 비교적 작은 것이 바람직하다. 예를 들면, 무기 필러(filler)를 수지 필름에 혼합하여 열팽창 계수를 작게 할 수 있다. 무기 필러의 예로서는, 산화 티탄, 산화 아연, 알루미나, 산화 규소 등을 들 수 있다.It is preferable that the sheet | seat board | substrate FB has a comparatively small thermal expansion coefficient so that a dimension does not substantially change (small thermal deformation), even if it receives the heat of comparatively high temperature (for example, about 200 degreeC). For example, an inorganic filler can be mixed with a resin film and a thermal expansion coefficient can be made small. As an example of an inorganic filler, titanium oxide, zinc oxide, alumina, silicon oxide, etc. are mentioned.

기판 공급부(SU)는, 예를 들면 롤 모양으로 감긴 시트 기판(FB)을 기판 처리부(PR)로 송출하여 공급한다. 기판 공급부(SU)에는, 예를 들면 시트 기판(FB)을 감는 축부나 해당 축부를 회전시키는 회전 구동원 등이 마련되어 있다. 대체적 및／또는 추가적으로, 기판 공급부(SU)는, 예를 들면 롤 모양으로 감긴 상태의 시트 기판(FB)을 덮는 커버부 등이 마련된 구성이라도 상관없다.The board | substrate supply part SU sends out and supplies the sheet | seat board | substrate FB wound by roll shape, for example to the board | substrate process part PR. The board | substrate supply part SU is provided with the shaft part which winds the sheet | seat board | substrate FB, the rotation drive source which rotates this shaft part, etc., for example. Alternatively and / or additionally, the substrate supply unit SU may be, for example, a configuration in which a cover portion for covering the sheet substrate FB wound in a roll shape or the like is provided.

기판 회수부(CL)는, 기판 처리부(PR)로부터의 시트 기판(FB)을 예를 들면 롤 모양으로 권취하여 회수한다. 기판 회수부(CL)에는, 기판 공급부(SU)와 마찬가지로, 시트 기판(FB)을 감기 위한 축부나 해당 축부를 회전시키는 회전 구동원, 회수한 시트 기판(FB)을 덮는 커버부 등이 마련되어 있다. 대체적 및／또는 추가적으로, 기판 처리부(PR)에서 시트 기판(FB)이 예를 들면 패널(panel) 모양으로 절단되는 경우 등에는 예를 들면 시트 기판(FB)을 겹친 상태로 회수하는 등, 기판 회수부(CL)는, 롤 모양으로 감은 상태와는 다른 상태로 시트 기판(FB)을 회수하는 구성이라도 상관없다.The board | substrate collection | recovery part CL winds up the sheet | seat board | substrate FB from board | substrate process part PR, for example in roll shape, and collect | recovers it. Like the substrate supply part SU, the board | substrate collection | recovery part CL is provided with the axial part for winding the sheet | seat board | substrate FB, the rotation drive source which rotates this axial part, the cover part which covers the recovered sheet | seat board | substrate FB, and the like. Substantially and / or additionally, when the sheet substrate FB is cut into a panel shape, for example, in the substrate processing part PR, for example, the sheet substrate FB is recovered in an overlapping state. The part CL may be a structure which collect | recovers the sheet | seat board | substrate FB in a state different from the state wound by roll shape.

기판 처리부(PR)는, 기판 공급부(SU)로부터 공급되는 시트 기판(FB)을 기판 회수부(CL)로 반송함과 아울러, 반송 과정에서 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)에 대해서 처리를 행한다. 기판 처리부(PR)는, 예를 들면 처리 장치(10), 반송 장치(30) 및 얼라이먼트 장치(50) 등을 가지고 있다.The substrate processing part PR conveys the sheet | seat board | substrate FB supplied from the board | substrate supply part SU to the board | substrate collection | recovery part CL, and processes with respect to the to-be-processed surface Fp of the sheet | seat board | substrate FB in a conveyance process. Is done. The substrate processing part PR has the processing apparatus 10, the conveying apparatus 30, the alignment apparatus 50, etc., for example.

처리 장치(10)는, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)에 대해서 예를 들면 유기 EL소자를 형성하기 위한 각종 장치를 가지고 있다. 이와 같은 장치로서는, 예를 들면 피처리면(Fp) 상에 격벽을 형성하기 위한 격벽 형성 장치, 유기 EL소자를 구동하기 위한 전극을 형성하기 위한 전극 형성 장치, 발광층을 형성하기 위한 발광층 형성 장치 등을 들 수 있다. 보다 구체적으로는, 액적(液滴) 도포 장치(예를 들면 잉크젯형 도포 장치, 스핀 코트(spin coat)형 도포 장치 등), 증착 장치, 스퍼터링(sputtering) 장치 등의 성막(成膜) 장치나, 노광 장치, 현상 장치, 표면 개질 장치, 세정 장치 등을 들 수 있다. 이들의 각 장치는, 예를 들면 시트 기판(FB)의 반송 경로 상에 적절히 마련되어 있다. The processing apparatus 10 has various apparatuses for forming organic electroluminescent element, for example with respect to the to-be-processed surface Fp of the sheet | seat board | substrate FB. As such an apparatus, for example, a barrier rib forming apparatus for forming a partition on the target surface Fp, an electrode forming apparatus for forming an electrode for driving an organic EL element, a light emitting layer forming apparatus for forming a light emitting layer, and the like. Can be mentioned. More specifically, film-forming apparatuses, such as a droplet coating apparatus (for example, an inkjet type | mold coating apparatus, a spin coat type | mold coating apparatus, etc.), a vapor deposition apparatus, a sputtering apparatus, , An exposure apparatus, a developing apparatus, a surface modification apparatus, a washing apparatus, and the like. Each of these apparatuses is suitably provided, for example on the conveyance path | route of the sheet | seat board | substrate FB.

예를 들면, 2 이상의 처리 장치를 반송 방향을 따라서 배치할 수 있다.For example, two or more processing apparatuses can be arrange | positioned along a conveyance direction.

반송 장치(30)는, 기판 처리부(PR) 내에서 예를 들면 시트 기판(FB)을 기판 회수부(CL)를 향해서 반송하는 롤러 장치(R)와, 처리 장치(10)를 사이에 두도록 해당 처리 장치(10)의 상류측 및 하류측에 배치되는 안내 롤러(G)를 가지고 있다. 롤러 장치(R)는, 시트 기판(FB)의 반송 경로를 따라서 예를 들면 복수 마련되어 있다. 복수의 롤러 장치(R) 중 적어도 일부의 롤러 장치(R)에는, 구동 기구(미도시)가 장착되어 있다. 이와 같은 롤러 장치(R)가 회전하는 것에 의해, 시트 기판(FB)이 X축 방향으로 반송되도록 되어 있다. 복수의 롤러 장치(R) 중 예를 들면 일부의 롤러 장치(R)가 반송 방향과 직교하는 방향으로 이동 가능하게 마련된 구성이라도 상관없다.The conveying apparatus 30 respond | corresponds so that the roller apparatus R which conveys the sheet | seat board | substrate FB toward the board | substrate collection | recovery part CL, and the processing apparatus 10 between, for example in substrate processing part PR. It has the guide roller G arrange | positioned at the upstream and downstream of the processing apparatus 10. As shown in FIG. The roller apparatus R is provided in multiple numbers along the conveyance path of the sheet | seat board | substrate FB, for example. A drive mechanism (not shown) is attached to at least one roller device R among the plurality of roller devices R. FIG. By rotating such a roller apparatus R, the sheet | seat board | substrate FB is conveyed to an X-axis direction. For example, some roller apparatuses R of some roller apparatus R may be comprised so that a movement to the direction orthogonal to a conveyance direction is possible.

또, 본 실시 형태에서의 반송 장치(30)는, 시트 기판(FB)의 반송 방향에 관해서, 안내 롤러(G)의 상류측 및 하류측에, 시트 기판(FB)에 장력이 가해지지 않도록, 시트 기판(FB)에 느슨해짐부(미도시)를 만들고 있다.Moreover, the conveying apparatus 30 in this embodiment does not apply tension to the sheet | seat board | substrate FB in the upstream and downstream of the guide roller G regarding the conveyance direction of the sheet | seat board | substrate FB, A loose portion (not shown) is formed in the sheet substrate FB.

도 2 및 도 3은, 처리 장치(10) 및 안내 롤러(G)의 구성을 나타내는 개략도이다. 도 2는, 기판 처리 장치(FPA)를 측방(側方, ＋X 방향)으로부터 보았을 때의 구성을 나타내고 있다. 도 3은, 기판 처리 장치(FPA)를 상측(＋Z 방향)으로부터 보았을 때의 구성을 나타내고 있다.FIG.2 and FIG.3 is schematic which shows the structure of the processing apparatus 10 and the guide roller G. FIG. 2 has shown the structure at the time of seeing the substrate processing apparatus FPA from the side (+ X direction). 3 shows a configuration when the substrate processing apparatus FPA is viewed from the upper side (+ Z direction).

도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 안내 롤러(G)는, 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)를 가지고 있다. 제1 안내 롤러(G1)는, 예를 들면 원기둥 모양이나 원통 모양 등으로 형성되어 있으며, 처리 장치(10)에 대해서 시트 기판(FB)의 반송 방향의 상류측에 배치되어 있다. 제2 안내 롤러(G2)는, 예를 들면 원기둥 모양이나 원통 모양 등으로 형성되어 있으며, 처리 장치(10)에 대해서 시트 기판(FB)의 반송 방향의 하류측에 배치되어 있다.As shown to FIG. 2 and FIG. 3, the guide roller G has the 1st guide roller G1 and the 2nd guide roller G2. The first guide roller G1 is formed, for example, in a cylindrical shape, a cylindrical shape, or the like, and is disposed on the upstream side of the conveyance direction of the sheet substrate FB with respect to the processing apparatus 10. The 2nd guide roller G2 is formed, for example in a cylinder shape, a cylindrical shape, etc., and is arrange | positioned with respect to the processing apparatus 10 downstream of the conveyance direction of the sheet | seat board | substrate FB.

제1 안내 롤러(G1)는, 해당 제1 안내 롤러(G1)의 상류측으로부터 제1 방향(＋X 방향)으로 반송되어 오는 시트 기판(FB)의 제1 부분 (제1 안내 롤러(G1)로 안내되기 전의 부분, 즉, 제1 안내 롤러(G1)에 대해, 시트 기판(FB)의 상류측 부분, F1)의 짧은 방향(폭 방향：여기에서는 Y 방향)에 대해서, 중심축(C1)이 경사 방향으로 기울도록 배치되어 있다. 제1 안내 롤러(G1)는, 롤러 표면(안내면, G1a)에서 시트 기판(FB)의 이면을 안내한다. The 1st guide roller G1 is a 1st part (1st guide roller G1) of the sheet | seat board | substrate FB conveyed in the 1st direction (+ X direction) from the upstream of this 1st guide roller G1. With respect to the part before being guided, ie, the 1st guide roller G1, with respect to the upstream part of the sheet | seat board | substrate FB, and the short direction (width direction: here, Y direction) of the F1, the central axis C1 It is arrange | positioned so that it may incline in the diagonal direction. The 1st guide roller G1 guides the back surface of the sheet | seat board | substrate FB on the roller surface (guide surface, G1a).

또한, 제1 안내 롤러(G1)의 상류측으로부터 반송되어 오는 시트 기판(FB)은, 도 2에서, 시트 기판(FB)의 이면(Fg)이 상측을 향하고 있는 상태이다.In addition, the sheet | seat board | substrate FB conveyed from the upstream of 1st guide roller G1 is a state where the back surface Fg of the sheet | seat board | substrate FB is facing upward.

제1 안내 롤러(G1)는, 시트 기판(FB)을 해당 시트 기판(FB)의 짧은 방향에 대해서 경사 방향으로 구부림과 아울러, 제1 안내 롤러(G1)의 롤러 표면을 따라서 시트 기판(FB)을 접는 것에 의해서, 시트 기판(FB)의 반송 방향을 상기 제1 방향으로부터 제2 방향(－Y 방향)으로 변환한다. 본 실시 형태에서, 제1 안내 롤러(G1)는, 시트 기판(FB)을 실질적으로 경사지게 구부릴 수 있다. 시트 기판(FB)은 제1 안내 롤러(G1)를 통하여 비틂(twist)을 수반하여 구부러질 수 있다. 시트 기판(FB)에는, 제1 안내 롤러(G1)로 안내되는 부분에서, 반송 방향(제1 방향)에 대해서 경사한, 부분적인 둘레면이 형성될 수 있다. 제1 방향(＋X 방향)의 진행 방향을 가지는 시트 기판(FB)이 제1 안내 롤러(G1)로 들어간다. 제2 방향(－Y 방향)의 진행 방향을 가지는 시트 기판(FB)이 제1 안내 롤러(G1)로부터 나온다. 본 실시 형태에서, 해당 제2 방향은, 예를 들면 제1 방향과 직교하는 방향이다. 예를 들면 제1 안내 롤러(G1)에 의해서 접혀진 시트 기판(FB)은, 제2 방향에서, 피처리면(Fp)이 상측(처리 장치(10)측)을 향하게 된다. 또, 시트 기판(FB)은, 제1 안내 롤러(G1)의 전후에서, 제1 부분(F1)과 제2 부분(제2 안내 롤러(G2)로 안내되기 전의 부분, 즉, 제2 안내 롤러(G2)에 대해, 시트 기판(FB)의 상류측 부분, F2)이 서로 평행하게 될 때까지 제1 안내 롤러(G1)의 롤러 표면(G1a)에 지지되어 있다.The 1st guide roller G1 bends the sheet | seat board | substrate FB in the diagonal direction with respect to the short direction of the said sheet | seat board | substrate FB, and along the roller surface of the 1st guide roller G1 along the sheet | seat board | substrate FB. By folding, the conveyance direction of the sheet | seat board | substrate FB is changed to the 2nd direction (-Y direction) from the said 1st direction. In this embodiment, the 1st guide roller G1 can bend the sheet | seat board | substrate FB substantially inclined. The sheet substrate FB may be bent along a twist through the first guide roller G1. In the sheet | seat board | substrate FB, the partial peripheral surface which inclines with respect to a conveyance direction (1st direction) can be formed in the part guided by the 1st guide roller G1. The sheet | seat board | substrate FB which has the advancing direction of a 1st direction (+ X direction) enters the 1st guide roller G1. The sheet | seat board | substrate FB which has the advancing direction of a 2nd direction (-Y direction) emerges from the 1st guide roller G1. In this embodiment, the said 2nd direction is a direction orthogonal to a 1st direction, for example. For example, in the sheet | seat board | substrate FB folded by the 1st guide roller G1, the to-be-processed surface Fp will go to the upper side (processing apparatus 10 side) in a 2nd direction. In addition, the sheet | seat board | substrate FB is the part before 1st part F1 and the 2nd part (second guide roller G2, ie, 2nd guide roller before and behind 1st guide roller G1). With respect to (G2), it is supported by the roller surface G1a of the 1st guide roller G1 until the upstream side part of the sheet | seat board | substrate FB and F2 become mutually parallel.

제2 안내 롤러(G2)는, 해당 제2 안내 롤러(G2)의 상류측으로부터 제2 방향으로 반송되어 오는 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)에 대해서, 중심축(C2)이 경사 방향으로 기울도록 배치되어 있다. 제2 안내 롤러(G2)는, 롤러 표면(안내면, G2a)에서 시트 기판(FB)의 이면을 안내한다. The center axis C2 is inclined with respect to the 2nd part F2 of the sheet | seat board | substrate FB which is conveyed to the 2nd direction from the upstream side of the said 2nd guide roller G2 of 2nd guide roller G2. It is arranged to incline in the direction. The 2nd guide roller G2 guides the back surface of the sheet | seat board | substrate FB in the roller surface (guide surface, G2a).

또한, 제2 안내 롤러(G2)의 상류측으로부터 반송되어 오는 시트 기판(FB)은, 도 2에서, 전술한 바와 같이, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)이 상측을 향하고 있는 상태이다.In addition, in the sheet | seat board | substrate FB conveyed from the upstream of 2nd guide roller G2, as above-mentioned, in FIG. 2, the to-be-processed surface Fp of the sheet | seat board | substrate FB is facing upward. .

제2 안내 롤러(G2)는, 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)을 해당 시트 기판(FB)의 짧은 방향에 대해서 경사 방향으로 굽힘과 아울러, 제2 안내 롤러(G2)의 롤러 표면을 따라서 시트 기판(FB)을 접는 것에 의해서, 시트 기판(FB)의 반송 방향을 상기 제2 방향으로부터 제3 방향(＋X 방향)으로 변환한다. 본 실시 형태에서, 제2 안내 롤러(G2)는, 시트 기판(FB)을 실질적으로 경사지게 굽힐 수 있다. 시트 기판(FB)은 제2 안내 롤러(G2)를 통하여 비틂(twist)을 수반하여 구부러질 수 있다. 시트 기판(FB)에는, 제2 안내 롤러(G2)로 안내되는 부분에서, 반송 방향(제2 방향)에 대해서 경사진, 부분적인 둘레면이 형성될 수 있다. 제2 방향(－Y 방향)의 진행 방향을 가지는 시트 기판(FB)이 제2 안내 롤러(G2)로 들어간다. 제3 방향(＋X 방향)의 진행 방향을 가지는 시트 기판(FB)이 제2 안내 롤러(G2)로부터 나온다. 본 실시 형태에서, 해당 제3 방향은, 예를 들면 제1 방향과 평행한 방향이다. 예를 들면 제2 안내 롤러(G2)에 의해서 접진 시트 기판(FB)은, 제3 방향에서, 이면(Fg)이 상측을 향하고, 피처리면(Fp)이 하측을 향하게 된다. 또, 시트 기판(FB)은, 제2 부분(F2)과 제3 부분(제3 안내 롤러(G3)로 안내되기 전의 부분, 즉, 제3 안내 롤러(G3)에 대해, 시트 기판(FB)의 상류측 부분, F3)이 서로 평행하게 될 때까지, 제2 안내 롤러(G2)의 롤러 표면(G2a)에 지지되어 있다.The 2nd guide roller G2 bends the 2nd part F2 of the sheet | seat board | substrate FB in the diagonal direction with respect to the short direction of the said sheet | seat board | substrate FB, and also roller surface of the 2nd guide roller G2. By folding the sheet | seat board | substrate FB along this, the conveyance direction of the sheet | seat board | substrate FB is changed to the 3rd direction (+ X direction) from the said 2nd direction. In the present embodiment, the second guide roller G2 can bend the sheet substrate FB substantially inclined. The sheet substrate FB may be bent along a twist through the second guide roller G2. In the sheet | seat board | substrate FB, the partial peripheral surface inclined with respect to a conveyance direction (2nd direction) can be formed in the part guided by the 2nd guide roller G2. The sheet | seat board | substrate FB which has the advancing direction of a 2nd direction (-Y direction) enters the 2nd guide roller G2. The sheet | seat board | substrate FB which has the advancing direction of a 3rd direction (+ X direction) emerges from 2nd guide roller G2. In this embodiment, the said 3rd direction is a direction parallel to a 1st direction, for example. For example, as for the sheet | seat board | substrate FB folded by the 2nd guide roller G2, the back surface Fg will face upward and the to-be-processed surface Fp will face downward in a 3rd direction. In addition, the sheet | seat board | substrate FB is the sheet | seat board | substrate FB with respect to the 2nd part F2 and the 3rd part (part before being guided by 3rd guide roller G3, ie, 3rd guide roller G3). It is supported by the roller surface G2a of the 2nd guide roller G2 until the upstream part of this, F3 becomes parallel to each other.

시트 기판(FB)의 반송 방향은, 해당 시트 기판(FB) 중 제1 안내 롤러(G1) 보다도 반송 방향의 상류측 부분(제1 부분(F1))에서 ＋X 방향(제1 방향)이고, 제1 안내 롤러(G1)와 제2 안내 롤러(G2)의 사이 부분(제2 부분(F2))에서는 -Y 방향(제2 방향)이며, 제2 안내 롤러(G2) 보다도 반송 방향 하류측 부분(제3 부분(F3))에서는 다시 ＋X 방향(제3 방향)이다. 이와 같이, 시트 기판(FB)은, 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)를 전환점로 하는 크랭크(crank) 모양의 경로를 반송되게 된다.The conveyance direction of the sheet | seat board | substrate FB is + X direction (1st direction) in the upstream part (1st part F1) of a conveyance direction rather than the 1st guide roller G1 among the said sheet | seat board | substrates FB, In the part between the 1st guide roller G1 and the 2nd guide roller G2 (2nd part F2), it is -Y direction (2nd direction), and is conveyance direction downstream part than 2nd guide roller G2 ( In 3rd part F3), it is + X direction (third direction) again. Thus, the sheet | seat board | substrate FB is conveyed the crank-shaped path | route which makes the 1st guide roller G1 and the 2nd guide roller G2 into a switching point.

제1 안내 롤러(G1)는, 예를 들면 베어링 부재(60)에 의해서 지지되어 있다. 베어링 부재(60)에는, 제1 안내 롤러(G1)를 구동하는 구동 기구(61)가 마련되어 있다. 구동 기구(61)는, 제1 안내 롤러(G1)를 중심축 방향으로 회전시킨다.The 1st guide roller G1 is supported by the bearing member 60, for example. In the bearing member 60, a drive mechanism 61 for driving the first guide roller G1 is provided. The drive mechanism 61 rotates the first guide roller G1 in the central axis direction.

제2 안내 롤러(G2)는, 제1 안내 롤러(G1)와 마찬가지로, 예를 들면 베어링 부재(62)에 의해서 지지되어 있다. 베어링 부재(62)에는, 제2 안내 롤러(G2)를 구동하는 구동 기구(63)가 마련되어 있다. 구동 기구(63)는, 제2 안내 롤러(G2)를 중심축 방향으로 회전시킨다.The 2nd guide roller G2 is supported by the bearing member 62 similarly to the 1st guide roller G1. In the bearing member 62, a drive mechanism 63 for driving the second guide roller G2 is provided. The drive mechanism 63 rotates the second guide roller G2 in the central axis direction.

또, 예를 들면 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)에는, 각각 회전량, 회전 속도 등을 검출하는 엔코더 등의 미도시한 검출 장치가 마련되어 있다. 해당 검출 장치에 의한 검출 결과는, 예를 들면 제어부(CONT)에 송신되도록 되어 있다.In addition, for example, detection devices not shown, such as an encoder which detects rotation amount, rotation speed, etc., are provided in the 1st guide roller G1 and the 2nd guide roller G2, respectively. The detection result by the said detection apparatus is sent to the control part CONT, for example.

제1 안내 롤러(G1)와 제2 안내 롤러(G2)와의 사이에는, 시트 기판(FB)을 지지하는 스테이지 장치(ST)가 배치되어 있다. 스테이지 장치(ST)는, 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)에 대해서 이면측(－Z측)에 배치되어 있으며, 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)을 지지하는 지지면(Sa)을 가지고 있다. 지지면(Sa)은, 예를 들면 평탄한 면, 혹은 곡률을 가지는 면으로 형성되어 있다.The stage apparatus ST which supports the sheet | seat board | substrate FB is arrange | positioned between the 1st guide roller G1 and the 2nd guide roller G2. The stage apparatus ST is arrange | positioned at the back surface side (-Z side) with respect to the 2nd part F2 of the sheet | seat board | substrate FB, and the support surface which supports the 2nd part F2 of the sheet | seat board | substrate FB. Has (Sa) The support surface Sa is formed in the surface which has a flat surface or curvature, for example.

스테이지 장치(ST)는, 지지면(Sa)이 예를 들면 평탄한 면이면, 지지면(Sa)은 XY 평면에 평행하게 되도록 배치되어 있다. 스테이지 장치(ST)에는, 스테이지 구동 기구(64)가 마련되어 있다. 스테이지 구동 기구(64)에 의해, 스테이지 장치(ST)는, 예를 들면 X 방향, Y 방향 및 Z 방향으로 이동 가능하게 마련되어 있다.The stage apparatus ST is arrange | positioned so that support surface Sa may become parallel to an XY plane, if support surface Sa is a flat surface, for example. The stage drive mechanism 64 is provided in the stage apparatus ST. The stage apparatus ST is provided so that the stage apparatus ST can move to an X direction, a Y direction, and a Z direction, for example.

스테이지 장치(ST)는, 지지면(Sa)에 흡착부(40, 도 2 참조)를 가지고 있다. 흡착부(40)는, 지지면(Sa)에 예를 들면 1개소 또는 복수 개소 배치되어 있다. 흡착부(40)에는, 예를 들면 흡인 펌프 등의 흡인 기구(41)가 접속되어 있다. 이 때문에, 스테이지 장치(ST)는, 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)을 지지면(Sa)에 흡착하면서 지지할 수 있도록 되어 있다.The stage apparatus ST has the adsorption | suction part 40 (refer FIG. 2) in the support surface Sa. The adsorption | suction part 40 is arrange | positioned at the support surface Sa, for example in one place or several place. A suction mechanism 41 such as a suction pump is connected to the suction unit 40, for example. For this reason, the stage apparatus ST can support the 2nd part F2 of the sheet | seat board | substrate FB, adsorb | sucking to the support surface Sa.

도 1로 되돌아가서, 얼라이먼트 장치(50)는, 시트 기판(FB)에 대해서 얼라이먼트 동작을 행한다. 얼라이먼트 장치(50)는, 시트 기판(FB)의 위치 상태를 검출하는 얼라이먼트 카메라(51)와, 해당 얼라이먼트 카메라(51)의 검출 결과에 근거하여 시트 기판(FB)을 X 방향, Y 방향, Z 방향, θX 방향, θY 방향, θZ 방향으로 미세 조정하는 제1 조정 기구(제1 조정부, 52) 및 제2 조정 기구(제2 조정부, 53)를 가지고 있다.Returning to FIG. 1, the alignment apparatus 50 performs an alignment operation on the sheet substrate FB. The alignment apparatus 50 uses the alignment camera 51 for detecting the positional state of the sheet substrate FB and the sheet substrate FB in the X direction, Y direction, and Z based on the detection result of the alignment camera 51. Direction, (theta) X direction, (theta) Y direction, and (theta) Z direction, the 1st adjustment mechanism (1st adjustment part 52) and the 2nd adjustment mechanism (2nd adjustment part, 53) are provided.

도 3에 나타내는 바와 같이, 시트 기판(FB)의 표면(피처리면(Fp)측의 면)에는, 얼라이먼트 마크(AM)가 형성되어 있다. 얼라이먼트 마크(AM)는, 시트 기판(FB)의 표면 중 예를 들면 시트 기판(FB)의 짧은 방향의 양단부에 각각 형성되어 있다. 도 3에서는, 얼라이먼트 마크(AM)를 한 쌍만 나타내었지만, 실제로는 시트 기판(FB)의 각각의 단부를 따라서 예를 들면 복수 배치되어 있다.As shown in FIG. 3, alignment mark AM is formed in the surface (surface of the to-be-processed surface Fp side) of the sheet | seat board | substrate FB. Alignment mark AM is each formed in the both ends of the short direction of the sheet | seat board | substrate FB among the surfaces of the sheet | seat board | substrate FB, respectively. In FIG. 3, only one pair of alignment marks AM is shown. In practice, a plurality of alignment marks AM are arranged along each end of the sheet substrate FB.

그리고, 본 실시 형태에서의 얼라이먼트 카메라(51)는, 시트 기판(FB)의 짧은 방향의 단부에 각각 대향하여 배치된다. 본 실시 형태에서의, 얼라이먼트 카메라(51)는, 시트 기판(FB)의 양단부의 얼라이먼트 마크(AM)를 각각 따로따로 검출하고 있다. 각 얼라이먼트 카메라(51)에 의한 검출 영역(CA)은, 예를 들면 얼라이먼트 마크(AM)를 포함하는 영역으로 설정되어 있다.And the alignment camera 51 in this embodiment is arrange | positioned facing the edge part of the short direction of the sheet | seat board | substrate FB, respectively. The alignment camera 51 in this embodiment detects the alignment mark AM of the both ends of the sheet | seat board | substrate FB separately. Detection area CA by each alignment camera 51 is set to the area | region containing alignment mark AM, for example.

제1 조정 기구(52)는, 예를 들면, 제1 안내 롤러(G1)의 양단부를 지지한다. 그리고, 제1 조정 기구(52)는, 제1 안내 롤러(G1)를 제1 안내 롤러(G1)의 중심축과 평행한 방향, 예를 들면, 제1 안내 롤러(G1)를 XY 평면 내, XY 평면에 직교 또는 교차하는 면내에서 이동시킨다. 게다가, 제1 조정 기구(52)는, 제1 안내 롤러(G1)를 θX 방향, θY 방향, θZ 방향 주위로 회전시킨다. 또한, 제1 조정 기구(52)는, 각 회전 방향의 회전 중심을, 제1 안내 롤러(G1)의 양단부 중 일방의 단부에 설정하거나, 제1 안내 롤러(G1)의 중심축 방향에서의 중앙 부분에 설정할 수 있다.The 1st adjustment mechanism 52 supports both ends of the 1st guide roller G1, for example. And the 1st adjustment mechanism 52 makes the 1st guide roller G1 parallel to the central axis of the 1st guide roller G1, for example, the 1st guide roller G1 in XY plane, Move in plane perpendicular to or intersecting the XY plane. In addition, the first adjustment mechanism 52 rotates the first guide roller G1 around the θX direction, the θY direction, and the θZ direction. In addition, the 1st adjustment mechanism 52 sets the rotation center of each rotation direction to the edge part of the both ends of the 1st guide roller G1, or the center in the center axis direction of the 1st guide roller G1. Can be set to the part.

제2 조정 기구(53)는, 예를 들면, 제2 안내 롤러(G2)의 양단부를 지지한다. 그리고, 제2 조정 기구(53)는, 제2 안내 롤러(G2)를 제2 안내 롤러(G2)의 중심축과 평행한 방향, 예를 들면, 제2 안내 롤러(G2)를 XY 평면 내, XY 평면에 직교 또는 교차하는 면내에서 이동시킨다. 게다가, 제2 조정 기구(53)는, 제2 안내 롤러(G2)를 θX 방향, θY 방향, θZ 방향 주위로 회전시킨다. 또한, 제2 조정 기구(53)는, 각 회전 방향의 회전 중심을, 예를 들면, 제2 안내 롤러(G2)의 양단부 중 일방의 단부에 설정하거나, 제2 안내 롤러(G2)의 중심축 방향에서의 중앙 부분에 설정할 수 있다.The second adjustment mechanism 53 supports, for example, both ends of the second guide roller G2. And the 2nd adjustment mechanism 53 has the 2nd guide roller G2 in the direction parallel to the central axis of the 2nd guide roller G2, for example, the 2nd guide roller G2 in XY plane, Move in plane perpendicular to or intersecting the XY plane. In addition, the second adjustment mechanism 53 rotates the second guide roller G2 around the θX direction, the θY direction, and the θZ direction. In addition, the 2nd adjustment mechanism 53 sets the rotation center of each rotation direction to the edge part of the both ends of the 2nd guide roller G2, for example, or the center axis | shaft of the 2nd guide roller G2. Can be set to the center part in the direction.

얼라이먼트 카메라(51)는, 해당 얼라이먼트 마크(AM)를 검출하고, 검출 결과를 제어부(CONT)에 송신한다. 제어부(CONT)는, 해당 검출 결과에 근거하여 제1 안내 롤러(G1)의 위치를 조정하기 위한 조정 신호를 조정 기구(52)에 송신함과 아울러, 제2 안내 롤러(G2)의 위치를 조정하기 위한 조정 신호를 조정 기구(53)에 송신한다. 조정 기구(52)는, 해당 제어부(CONT)로부터의 조정 신호에 근거하여 제1 안내 롤러(G1)의 위치를 조정한다. 조정 기구(53)는, 해당 제어부(CONT)로부터의 조정 신호에 근거하여 제2 안내 롤러(G2)의 위치를 조정한다. 또한, 제어부(CONT)는, 얼라이먼트 카메라(51)에 의한 검출 결과를 이용하지 않고 조정 신호를 생성하며, 조정 기구(52 및 53)에 대해서 해당 생성한 조정 신호를 송신할 수 있도록 되어 있다.The alignment camera 51 detects the alignment mark AM and transmits the detection result to the control unit CONT. The control part CONT transmits the adjustment signal for adjusting the position of the 1st guide roller G1 to the adjustment mechanism 52 based on the said detection result, and adjusts the position of the 2nd guide roller G2. The adjustment signal for this purpose is transmitted to the adjustment mechanism 53. The adjustment mechanism 52 adjusts the position of the 1st guide roller G1 based on the adjustment signal from the said control part CONT. The adjustment mechanism 53 adjusts the position of the 2nd guide roller G2 based on the adjustment signal from the said control part CONT. Moreover, the control part CONT produces | generates the adjustment signal, without using the detection result by the alignment camera 51, and can transmit the produced | generated adjustment signal to the adjustment mechanism 52 and 53. As shown in FIG.

상기와 같이 구성된 기판 처리 장치(FPA)는, 제어부(CONT)의 제어에 의해, 롤 방식에 의해서 유기 EL소자, 액정 표시 소자 등의 표시 소자(전자 디바이스)를 제조한다. 이하, 상기 구성의 기판 처리 장치(FPA)를 이용하여 표시 소자를 제조하는 공정을 설명한다.The substrate processing apparatus FPA comprised as mentioned above manufactures display elements (electronic device), such as an organic electroluminescent element and a liquid crystal display element, by a roll system by control of the control part CONT. Hereinafter, the process of manufacturing a display element using the substrate processing apparatus FPA of the said structure is demonstrated.

우선, 롤러에 감긴 띠 모양의 시트 기판(FB)을 기판 공급부(SU)에 장착한다. 제어부(CONT)는, 이 상태에서 기판 공급부(SU)로부터 해당 시트 기판(FB)이 송출되도록, 롤러를 회전시킨다. 그리고, 기판 처리부(PR)를 통과한 해당 시트 기판(FB)을 기판 회수부(CL)의 롤러로 권취시킨다. 이 기판 공급부(SU) 및 기판 회수부(CL)를 제어함에 의해서, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)을 기판 처리부(PR)에 대해서 연속적으로 반송할 수 있다.First, the strip | belt-shaped sheet | seat board | substrate FB wound by the roller is attached to the board | substrate supply part SU. The control part CONT rotates the roller so that the said sheet | seat board | substrate FB may be sent out from the board | substrate supply part SU in this state. And the sheet | seat board | substrate FB which passed the board | substrate process part PR is wound up by the roller of the board | substrate collection part CL. By controlling this board | substrate supply part SU and the board | substrate collection | recovery part CL, the to-be-processed surface Fp of the sheet | seat board | substrate FB can be conveyed continuously with respect to the board | substrate process part PR.

제어부(CONT)는, 시트 기판(FB)이 기판 공급부(SU)로부터 송출되고 나서 기판 회수부(CL)에서 권취될 때까지의 사이에, 기판 처리부(PR)의 반송 장치(30)에 의해서 시트 기판(FB)을 해당 기판 처리부(PR) 내에서 적절히 반송시키면서, 처리 장치(10)에 의해서 표시 소자의 구성 요소를 시트 기판(FB) 상에 순차 형성시킨다.The control part CONT is a sheet | seat by the conveying apparatus 30 of the board | substrate process part PR between the sheet board | substrate FB is sent out from the board | substrate supply part SU, and is wound up by the board | substrate collection | recovery part CL. While appropriately conveying the board | substrate FB in the said board | substrate processing part PR, the component of a display element is formed in order by the processing apparatus 10 on the sheet | seat board | substrate FB.

처리 장치(10)에 의한 처리를 행하게 할 때, 제어부(CONT)는, 얼라이먼트 장치(50)를 이용하여 시트 기판(FB)의 위치 맞춤을 행하게 한다. 예를 들면 얼라이먼트 카메라(51)에 의해서 시트 기판(FB)의 얼라이먼트 마크(AM)를 검출하고, 검출 결과에 근거하여 예를 들면 반송 장치(30)의 롤러 장치(R)의 구동량이나, 안내 롤러(G, 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2))의 위치 및 자세, 회전량, 회전 속도 등을 조정한다.When performing the process by the processing apparatus 10, the control part CONT causes the sheet substrate FB to be aligned using the alignment apparatus 50. For example, the alignment mark AM of the sheet | seat board | substrate FB is detected by the alignment camera 51, For example, based on a detection result, the drive amount of the roller apparatus R of the conveying apparatus 30, and guide | information are carried out. The position and attitude | position, rotation amount, rotation speed, etc. of roller G, 1st guide roller G1, and 2nd guide roller G2 are adjusted.

다음에, 안내 롤러(G, 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2))의 위치 및 자세를 조정하는 경우를 설명한다. Next, the case where the position and attitude | position of the guide roller G, the 1st guide roller G1, and the 2nd guide roller G2 are adjusted is demonstrated.

도 4는, 도 3에 나타내는 상태로부터, 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)를 각각의 중심축에 대해 평행한 방향(도 4의 경우, －X 방향)으로 동일한 이동량씩 이동시킨 상태를 나타내고 있다. 이 경우, 시트 기판(FB)은, 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)에 의해서 접혀진 상태로 장력이 가해지고 있다. 따라서, 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)를 상기와 같이 이동시킨 경우, 각각의 접는 위치가 -X 방향으로 동일한 거리씩 이동하고, 이것에 수반하여 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)이 -X 방향으로 이동한다.FIG. 4 shows the first guide roller G1 and the second guide roller G2 in the direction parallel to the respective central axes (in the case of FIG. 4, the -X direction) from the state shown in FIG. The moved state is shown. In this case, the tension | tensile_strength is applied to the sheet | seat board | substrate FB in the state folded by the 1st guide roller G1 and the 2nd guide roller G2. Therefore, when the 1st guide roller G1 and the 2nd guide roller G2 are moved as mentioned above, each folding position moves by the same distance in the -X direction, and with this, of the sheet | seat board | substrate FB The second portion F2 moves in the -X direction.

이와 같이, 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)를 이동시켜도, 시트 기판(FB)에 대해서 작용하는 힘의 방향은 변화하지 않기 때문에, 시트 기판(FB)의 반송 방향과는 다른 방향으로 작용하는 힘을 억제 혹은 없앨 수 있다. 이 때문에, 예를 들면 시트 기판(FB)에 대해서 주름 등이 발생하지 않고, 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)을 반송 방향과 직교하는 방향으로 이동시킬 수 있다. 안내 롤러(G)의 이동 후, 제어부(CONT)는, 예를 들면 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)의 위치에 맞추어 스테이지 장치(ST)를 X 방향 및 Y 방향으로 이동시킨다.Thus, even if the 1st guide roller G1 and the 2nd guide roller G2 are moved, the direction of the force which acts with respect to the sheet | seat board | substrate FB does not change, and it is different from the conveyance direction of the sheet | seat board | substrate FB. You can suppress or eliminate forces acting in different directions. For this reason, wrinkles etc. do not arise with respect to the sheet | seat board | substrate FB, for example, and the 2nd part F2 of the sheet | seat board | substrate FB can be moved to the direction orthogonal to a conveyance direction. After the movement of the guide roller G, the control part CONT moves the stage apparatus ST to a X direction and a Y direction according to the position of the 2nd part F2 of the sheet | seat board | substrate FB, for example.

또한, 시트 기판(FB)의 반송 방향에 관해서, 제1 안내 롤러(G1)의 상류측 및 제2 안내 롤러(G2)의 하류측에, 시트 기판(FB)의 느슨해짐부가 마련되어 있으므로, 제1 안내 롤러(G1)의 위치 및 제2 안내 롤러(G2)의 위치를 조정해도, 시트 기판(FB)에 작용하는 힘을 억제 혹은 없앨 수 있다.Moreover, regarding the conveyance direction of the sheet | seat board | substrate FB, since the loosening part of the sheet | seat board | substrate FB is provided in the upstream of the 1st guide roller G1 and the downstream of the 2nd guide roller G2, Even if the position of the guide roller G1 and the position of the 2nd guide roller G2 are adjusted, the force acting on the sheet | seat board | substrate FB can be suppressed or eliminated.

스테이지 장치(ST)의 X 방향 및 Y 방향의 위치를 조정시킨 후, 제어부(CONT)는 스테이지 장치(ST)를 ＋Z 방향으로 이동시키고, 지지면(Sa)에 시트 기판(FB)의 이면을 맞닿게 한다. 이 동작에 의해, 스테이지 장치(ST)의 지지면(Sa)에 시트 기판(FB)의 이면이 지지되게 된다. 이 때, 제어부(CONT)는, 예를 들면 스테이지 장치(ST)의 흡착부(40)에 시트 기판(FB)을 흡착시켜도 상관없다. 또, 스테이지 장치(ST)의 지지면(Sa)에 시트 기판(FB)의 이면을 맞닿게 하기 전에, 제1 안내 롤러(G1)와 제2 안내 롤러(G2)와의 사이의 간격을 서로 접근시켜, 시트 기판(FB)을 느슨해지게 해도 괜찮다. 시트 기판(FB)을 느슨해지게 하는 것에 의해서, 시트 기판(FB)에 장력이 없는 상태에서, 스테이지 장치(ST)의 지지면(Sa)에 맞닿음 및 흡착할 수 있다. 또, 제어부(CONT)는, 시트 기판(FB)을 지지한 상태에서 스테이지 장치(ST)를 예를 들면 ＋Z측으로 이동시킴으로써, 시트 기판(FB)의 Z 방향의 위치를 조정한다. 이 경우, 제어부(CONT)는, 스테이지 장치(ST)의 Z 방향으로의 이동량에 따라 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)를 Z 방향으로 이동시킨다.After adjusting the positions of the stage apparatus ST in the X direction and the Y direction, the control part CONT moves the stage apparatus ST to + Z direction, and hits the back surface of the sheet | seat board | substrate FB on the support surface Sa. To reach. By this operation, the back surface of the sheet substrate FB is supported by the support surface Sa of the stage apparatus ST. At this time, the control part CONT may make the sheet | seat board | substrate FB adsorb | suck to the adsorption | suction part 40 of the stage apparatus ST, for example. Moreover, before making the back surface of the sheet | seat board | substrate FB contact the support surface Sa of the stage apparatus ST, the space | interval between 1st guide roller G1 and 2nd guide roller G2 is made to approach each other. The sheet substrate FB may be loosened. By loosening the sheet | seat board | substrate FB, it can contact and adsorb | suck to the support surface Sa of the stage apparatus ST in the state in which there is no tension in the sheet | seat board | substrate FB. Moreover, the control part CONT adjusts the position of the sheet | seat board | substrate FB in the Z direction by moving the stage apparatus ST to + Z side, for example in the state which supported the sheet | seat board | substrate FB. In this case, the control part CONT moves the 1st guide roller G1 and the 2nd guide roller G2 to Z direction according to the movement amount to the Z direction of the stage apparatus ST.

시트 기판(FB)의 Z 방향의 위치 맞춤이 행해진 후, 제어부(CONT)는, 처리 장치(10)를 이용하여 시트 기판(FB) 중 제2 부분(F2)의 피처리면(Fp)에 대해서 소정의 처리를 행하게 한다. 해당 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)을 반송시키면서 처리를 행하게 하는 경우에는, 제어부(CONT)는, 처리 장치(10)에 의한 처리의 타이밍과 시트 기판(FB)의 반송의 타이밍을 조정하면서 상기 처리를 행하게 한다. 시트 기판(FB)이 스테이지 장치(ST)에 흡착되어 있는 경우, 제어부(CONT)는, 예를 들면 시트 기판(FB)의 이동에 맞추어 스테이지 장치(ST)를 기판의 반송 방향(예를 들면 -Y 방향)으로 이동시킨다.After alignment of the sheet | seat board | substrate FB in the Z direction is performed, the control part CONT uses the processing apparatus 10 with respect to the to-be-processed surface Fp of the 2nd part F2 of the sheet | seat board | substrate FB. Processing is performed. In the case where processing is performed while conveying the second portion F2 of the sheet substrate FB, the controller CONT adjusts the timing of the processing by the processing apparatus 10 and the timing of the conveyance of the sheet substrate FB. The above processing is performed while adjusting. When the sheet | seat board | substrate FB is adsorb | sucked to the stage apparatus ST, the control part CONT moves the stage apparatus ST to the conveyance direction of a board | substrate (for example,-) according to the movement of the sheet | seat board | substrate FB, for example. Y direction).

상기의 일련의 처리를 시트 기판(FB)에 반복 행하는 것에 의해, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)에는 표시 소자의 구성 요소가 형성되게 된다.By repeating the above series of processes on the sheet substrate FB, the components of the display element are formed on the to-be-processed surface Fp of the sheet substrate FB.

이상과 같이, 본 실시 형태에 의하면, 제1 방향(＋X 방향)으로 반송되는 시트 기판(FB)을 해당 시트 기판(FB)의 폭 방향(Y 방향)에 대해서 경사 방향으로 구부려, 시트 기판(FB)의 반송 방향을 제1 방향으로부터 해당 제1 방향과 다른 제2 방향(－Y 방향)으로 변환하는 제1 안내 롤러(G1)와, 제2 방향으로부터 반송되는 시트 기판(제2 방향으로 반송되는 시트 기판, FB)을 해당 시트 기판(FB)의 폭 방향(X 방향)에 대해서 경사 방향으로 구부려, 시트 기판(FB)의 반송 방향을 제2 방향으로부터 제2 방향과 다른 제3 방향(＋X 방향)으로 변환하는 제2 안내 롤러(G2)와, 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)에 마련되며, 제1 안내 롤러(G1)의 위치 및 제2 안내 롤러(G2)의 위치를 각각 조정하고, 제2 방향과 교차하는 방향에서의 시트 기판(FB)의 위치를 조정하는 조정 기구를 구비하기 때문에, 시트 기판(FB)에 대해서 반송 방향과는 다른 방향으로 힘이 작용하는 것을 억제할 수 있다. 이것에 의해, 시트 기판(FB)에 주름 등의 결함이 형성되는 것을 억제하면서 높은 반송 정밀도로 해당 시트 기판(FB)을 반송할 수 있다.As mentioned above, according to this embodiment, the sheet | seat board | substrate FB conveyed to a 1st direction (+ X direction) is bent in the diagonal direction with respect to the width direction (Y direction) of the said sheet | seat board | substrate FB, and sheet | seat board | substrate FB The first guide roller G1 which converts the conveyance direction of the into a 2nd direction (-Y direction) different from a said 1st direction from a 1st direction, and the sheet | seat board | substrate conveyed from a 2nd direction (to be conveyed in a 2nd direction) The sheet substrate FB is bent in an inclined direction with respect to the width direction (X direction) of the sheet substrate FB, and the conveying direction of the sheet substrate FB is different from the second direction in the third direction (+ X direction). ) Is provided on the second guide roller G2 and the first guide roller G1 and the second guide roller G2, and the position of the first guide roller G1 and the second guide roller G2 Equipped with the adjustment mechanism which adjusts a position, respectively, and adjusts the position of the sheet | seat board | substrate FB in the direction which cross | intersects a 2nd direction. Therefore, it can suppress that a force acts on the sheet | seat board | substrate FB in a direction different from a conveyance direction. Thereby, the sheet | seat board | substrate FB can be conveyed with high conveyance precision, suppressing formation of defects, such as a wrinkle, in the sheet | seat board | substrate FB.

또, 본 실시 형태에 의하면, 시트 기판(FB) 중 제1 안내 롤러(G1)와 제2 안내 롤러(G2)와의 사이의 제2 부분(F2)에 대해서 처리가 행해지게 되기 때문에, 시트 기판(FB) 중 해당 처리가 행해지는 부분을 효율적으로 이동시킬 수 있다.Moreover, according to this embodiment, since a process is performed about the 2nd part F2 between the 1st guide roller G1 and the 2nd guide roller G2 in the sheet | seat board | substrate FB, a sheet substrate ( The part in which the said process is performed among FB) can be moved efficiently.

［제2 실시 형태］[Second Embodiment]

다음에, 본 발명의 제2 실시 형태를 설명한다. 본 실시 형태에서는, 제1 실시 형태의 기판 처리 장치(FPA)와 동일 구성의 기판 처리 장치를 이용하여 설명한다. 이하, 기판 처리 장치의 각 구성 요소를 표기하는 경우에는, 제1 실시 형태에서 사용한 부호와 동일한 부호를 사용하는 것으로 한다.Next, a second embodiment of the present invention will be described. In this embodiment, it demonstrates using the substrate processing apparatus of the same structure as the substrate processing apparatus FPA of 1st Embodiment. Hereinafter, when describing each component of a substrate processing apparatus, the code | symbol same as the code | symbol used in 1st Embodiment shall be used.

본 실시 형태에서는, 예를 들면 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)를θZ 방향으로 회전시킴으로써 시트 기판(FB)을 반송 방향에 대해서 틸트시키는 동작을 설명한다. In this embodiment, the operation | movement which tilts the sheet | seat board | substrate FB with respect to a conveyance direction is demonstrated by rotating the 1st guide roller G1 and the 2nd guide roller G2 to (theta) Z direction, for example.

도 5는, 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)를 θZ 방향으로 회전시킨 경우의 시트 기판(FB)의 반송 상태를 나타내는 도면이다. 도 5에서는, 시트 기판(FB)의 제1 부분(F1) 및 제3 부분(F3)에 대해서는 각각 반송 방향을 유지하면서, 시트 기판(FB)의 제2 부분에서의 장력을 유지한 채로 제1 안내 롤러(G1)를 회전시킨 상태를 나타내고 있다.FIG. 5: is a figure which shows the conveyance state of the sheet | seat board | substrate FB when the 1st guide roller G1 and the 2nd guide roller G2 are rotated in (theta) Z direction. In FIG. 5, the 1st part F1 and the 3rd part F3 of the sheet | seat board | substrate FB hold | maintain the tension in the 2nd part of the sheet | seat board | substrate FB, respectively, maintaining a conveyance direction. The state which rotated the guide roller G1 is shown.

예를 들면, 제1 부분(F1)의 반송 방향을 유지한 채로 제1 안내 롤러(G1)만을 회전시키는 경우에서는, 제3 부분(F3)의 반송 방향을 변화시키지 않도록 하기 위해, 제어부(CONT)는, 제1 안내 롤러(G1)와 제2 안내 롤러(G2)를 동기하여 θZ 방향 주위로 회전시킴과 아울러, 제2 안내 롤러(G2)를 -X 방향으로 이동시킨다. 이 때, 제1 안내 롤러(G1)의 회전 중심에 대해서, 제2 안내 롤러(G2)의 회전 중심이 어긋나 있어도 좋다.For example, when rotating only the 1st guide roller G1, maintaining the conveyance direction of the 1st part F1, in order not to change the conveyance direction of the 3rd part F3, the control part CONT The first guide roller G1 and the second guide roller G2 are rotated around the θZ direction in synchronization with each other, and the second guide roller G2 is moved in the -X direction. At this time, the rotation center of the 2nd guide roller G2 may shift with respect to the rotation center of the 1st guide roller G1.

이 때, 제어부(CONT)는, 제1 안내 롤러(G1)와 제2 안내 롤러(G2)와의 사이에서, 회전 개시의 타이밍, 회전 방향, 회전 각도 및 회전 속도가 맞도록, 해당 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)를 회전시킨다. 또, 제어부(CONT)는, 제1 안내 롤러(G1)의 회전에 의해서 시트 기판(FB)이 어긋나는 양에 따라서, 제2 안내 롤러(G2)를 -X 방향으로 이동시킨다.At this time, the control part CONT is the said 1st guide roller so that the timing, rotation direction, rotation angle, and rotation speed of a rotation start may match between the 1st guide roller G1 and the 2nd guide roller G2. (G1) and the 2nd guide roller G2 are rotated. Moreover, the control part CONT moves the 2nd guide roller G2 to -X direction according to the quantity with which the sheet | seat board | substrate FB deviates by rotation of the 1st guide roller G1.

본 실시 형태에 의하면, 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)를 θZ 방향으로 회전시키는 것에 의해, 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)을, 해당 제2 부분(F2)의 반송 방향(－Y 방향)에 대해서 틸트시킬 수 있다. 게다가, 시트 기판(FB)의 제1 부분(F1) ~ 제3 부분(F3)에서, 각각의 반송 방향과는 다른 방향으로 힘이 작용하는 것을 막을 수 있기 때문에, 시트 기판(FB)에 주름 등의 결함이 발생하는것을 막을 수 있다. 이것에 의해, 시트 기판(FB)의 반송 상태를 유지하면서, 보다 고도한 반송을 행할 수 있다.According to this embodiment, the 2nd part F2 of the sheet | seat board | substrate FB is rotated in the said 2nd part F2 by rotating the 1st guide roller G1 and the 2nd guide roller G2 to (theta) Z direction. Can be tilted with respect to the conveyance direction (-Y direction). In addition, since the force acts in the direction different from each conveyance direction in the 1st part F1-the 3rd part F3 of the sheet | seat board | substrate FB, wrinkles etc. are applied to the sheet | seat board | substrate FB. It can prevent the defects from occurring. Thereby, more advanced conveyance can be performed, maintaining the conveyance state of the sheet | seat board | substrate FB.

또한, 본 실시 형태에서는, 제1 안내 롤러(G1)의 X 방향의 위치를 변화시키지 않고, 제2 안내 롤러(G2)의 X 방향의 위치를 이동시키는 경우를 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)의 양쪽 모두를 X 방향으로 이동시켜도 상관없다. 또, 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)의 회전 방향은, 도 5에 나타내는 방향에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 도 5에 나타내는 방향과는 반대 방향으로 회전시키도록 해도 상관없다.In addition, in this embodiment, although the case where the position of the 2nd guide roller G2 is moved in the X direction without changing the position of the 1st guide roller G1 was demonstrated as an example, it is limited to this. It is not. For example, you may move both the 1st guide roller G1 and the 2nd guide roller G2 to an X direction. In addition, the rotation direction of the 1st guide roller G1 and the 2nd guide roller G2 is not limited to the direction shown in FIG. 5, For example, even if it is made to rotate in the direction opposite to the direction shown in FIG. Does not matter.

[제3 실시 형태］[Third Embodiment]

다음에, 본 발명의 제3 실시 형태를 설명한다. Next, a third embodiment of the present invention will be described.

본 실시 형태에서는, 기판 처리 장치에 마련되는 제1 안내 부재 및 제2 안내 부재로서, 예를 들면 추 모양 부재를 이용한 구성을 설명한다. 본 실시 형태에 관한 기판 처리 장치는, 제1 안내 부재 및 제2 안내 부재 이외의 구성 요소에 대해서는 상기 각 실시 형태와 동일 구성으로 되어 있기 때문에, 동일한 부호를 부여하여 설명한다.In this embodiment, a structure using, for example, a weight member as the first guide member and the second guide member provided in the substrate processing apparatus will be described. Since the board | substrate processing apparatus which concerns on this embodiment has the same structure as each said embodiment about components other than a 1st guide member and a 2nd guide member, it attaches and demonstrates the same code | symbol.

도 6은, 기판 처리 장치(FPA)를 상측(＋Z 방향)으로부터 보았을 때의 구성을 나타내고 있다. 6 has shown the structure when the substrate processing apparatus FPA is seen from the upper side (+ Z direction).

도 6에 나타내는 바와 같이, 반송 장치(30)는, 제1 안내 부재로서 제1 추 모양 부재(G3)가 이용되고 있으며, 제2 안내 부재로서 제2 추 모양 부재(G4)가 이용되고 있다. 물론, 제1 안내 부재 및 제2 안내 부재 중 일방에만 제1 추 모양 부재(G3) 또는 제2 추 모양 부재(G4)를 적용시키는 구성이라도 상관없다.As shown in FIG. 6, the 1st weight member G3 is used as the 1st guide member, and the 2nd weight member G4 is used as the 2nd guide member of the conveying apparatus 30. As shown in FIG. Of course, you may be the structure which applies the 1st weight member G3 or the 2nd weight member G4 only to one of a 1st guide member and a 2nd guide member.

제1 추 모양 부재(G3) 및 제2 추 모양 부재(G4)는, 예를 들면 원추형으로 형성되어 있다. 구체적으로는, 제1 추 모양 부재(G3) 및 제2 추 모양 부재(G4)는, 각각 원형의 저면(일단부, 80a 및 80b)을 가짐과 아울러, 해당 저면(80a 및 80b)으로부터 정점(頂点, 타단부(81a 및 81b))을 향함에 따라 서서히 외경 치수가 작아지도록 형성된 측면(안내면)을 가진다.The first weight member G3 and the second weight member G4 are formed in a conical shape, for example. Specifically, the first weight member G3 and the second weight member G4 each have a circular bottom face (one end, 80a and 80b), and a vertex (from the bottom face 80a and 80b). It has a side surface (guide surface) formed so that outer diameter dimension may gradually become small as it goes to the point and other end parts 81a and 81b.

제1 추 모양 부재(G3)는, 저면(80a)의 중심점과 정점(81a)을 통과하는 중심축(C3)을 가지고 있다. 제1 추 모양 부재(G3)는, 중심축(C3)이 시트 기판(FB)의 제1 부분(F1)의 폭 방향(Y 방향)에 대해서 평행하게 되도록 배치되어 있다. 제1 추 모양 부재(G3)에는, 중심축(C3)을 중심으로 해당 추 모양 부재(G3)를 회전시키는 구동 기구(61)가 마련되어 있다. 이 구동 기구(61)는, 제1 추 모양 부재(G3)를 X 방향, Y 방향 및 θZ 방향으로도 구동하도록 되어 있다. 제1 추 모양 부재(G3)는, 측면(안내면, G3a)에서 시트 기판을 안내한다. 시트 기판(FB)은, 제1 부분(F1)과 제2 부분(F2)에서 피처리면(Fp)이 평행하게 될 때까지, 제1 추 모양 부재(G3)의 측면(G3a)에 지지되어 있다.The first weight member G3 has a central axis C3 passing through the center point of the bottom face 80a and the vertex 81a. The 1st weight member G3 is arrange | positioned so that the center axis C3 may become parallel with the width direction (Y direction) of the 1st part F1 of the sheet | seat board | substrate FB. The drive mechanism 61 which rotates the weight member G3 about the central axis C3 is provided in the 1st weight member G3. This drive mechanism 61 drives the 1st weight member G3 also to a X direction, a Y direction, and (theta) Z direction. The first weight member G3 guides the sheet substrate from the side surface (guide surface G3a). The sheet | seat board | substrate FB is supported by the side surface G3a of the 1st weight member G3 until the to-be-processed surface Fp becomes parallel in the 1st part F1 and the 2nd part F2. .

제2 추 모양 부재(G4)는, 저면(80b)의 중심점과 정점(81b)을 통과하는 중심축(C4)을 가지고 있다. 제2 추 모양 부재(G4)는, 중심축(C4)이 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)의 폭 방향(X 방향)에 대해서 평행하게 되도록 배치되어 있다. 제2 추 모양 부재(G4)에는, 중심축(C4)을 중심으로 해당 추 모양 부재(G4)를 회전시키는 구동 기구(63)가 마련되어 있다. 이 구동 기구(61)는, 제2 추 모양 부재(G4)를 X 방향, Y 방향 및 θZ 방향으로도 구동하도록 되어 있다. 제2 추 모양 부재(G4)는, 측면(안내면, G4a)에서 시트 기판을 안내한다. 시트 기판(FB)은, 제2 부분(F2)과 제3 부분(F3)에서 피처리면(Fp)이 평행하게 될 때까지, 제2 추 모양 부재(G4)의 측면(G4a)에 지지되어 있다.The second weight member G4 has a central axis C4 passing through the center point of the bottom face 80b and the vertex 81b. The second weight member G4 is disposed such that the central axis C4 is parallel to the width direction (X direction) of the second portion F2 of the sheet substrate FB. The drive mechanism 63 which rotates the said weight member G4 about the center axis C4 is provided in the 2nd weight member G4. This drive mechanism 61 drives the 2nd weight member G4 also to a X direction, a Y direction, and (theta) Z direction. The second weight member G4 guides the sheet substrate from the side surface (guide surface G4a). The sheet | seat board | substrate FB is supported by the side surface G4a of the 2nd weight member G4 until the to-be-processed surface Fp becomes parallel in 2nd part F2 and 3rd part F3. .

이와 같이 구성된 기판 처리 장치(FPA)에서, 시트 기판(FB)의 예를 들면 제2 부분(F2)을 -X 방향으로 이동하는 경우, 제어부(CONT)는, 제1 추 모양 부재(G3) 및 제2 추 모양 부재(G4)를 -X 방향으로 예를 들면 동일한 이동량씩 이동시킨다. 제1 추 모양 부재(G3) 및 제2 추 모양 부재(G4)의 이동에 의해서 시트 기판(FB)이 감기는 위치가 -X 방향으로 각각 이동하고, 이것에 수반하여 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)이 -X 방향으로 이동한다.In the substrate processing apparatus FPA configured as described above, when the second portion F2 of the sheet substrate FB is moved in the -X direction, for example, the control unit CONT includes the first weight member G3 and The second weight member G4 is moved in the -X direction, for example, by the same amount of movement. The position where the sheet | seat board | substrate FB is wound by the movement of the 1st weight member G3 and the 2nd weight member G4 moves to -X direction, respectively, and with this, The two parts F2 move in the -X direction.

이상과 같이, 본 실시 형태에 의하면, 제1 추 모양 부재(G3) 및 제2 추 모양 부재(G4)를 이동시켜도, 시트 기판(FB)에 대해서 반송 방향과는 다른 방향으로 힘이 작용하는 것을 억제할 수 있기 때문에, 예를 들면 시트 기판(FB)에 대해서 주름 등이 발생하지 않고, 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)을 이동시킬 수 있다.As described above, according to the present embodiment, even if the first weight member G3 and the second weight member G4 are moved, the force acts on the sheet substrate FB in a direction different from the conveying direction. Since it can suppress, wrinkles etc. do not arise with respect to the sheet | seat board | substrate FB, for example, and the 2nd part F2 of the sheet | seat board | substrate FB can be moved.

또한, 제1 추 모양 부재(G3) 및 제2 추 모양 부재(G4)를 이용하는 경우, 예를 들면 도 8에 나타내는 바와 같이, 제2 추 모양 부재(G4)의 중심축(C4)이 제1 추 모양 부재(G3)의 중심축(C4)과 평행하게 되도록 제2 추 모양 부재(G4)를 배치하는 구성으로 해도 상관없다. 이 경우에서도, 도 6에 나타내는 구성과 동일한 효과를 나타내게 된다. 게다가, 도 6에 나타내는 구성에 비해, 스테이지 장치(ST)의 이동 가능한 범위가 넓어지게 되기 때문에, 바람직한 구성이라고 말할 수 있다. 또, 도 8에 나타내는 구성은, 중심축(C3) 및 중심축(C4)이 Y 방향으로 평행이 되도록 배치된 구성이지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 중심축(C3) 및 중심축(C4)이 X 방향으로 평행이 되도록 배치된 구성으로 할 수 있다.In addition, when using the 1st weight member G3 and the 2nd weight member G4, as shown, for example in FIG. 8, the center axis C4 of the 2nd weight member G4 is 1st. It is good also as a structure which arrange | positions 2nd weight member G4 so that it may become parallel to the central axis C4 of weight member G3. Also in this case, the same effect as the structure shown in FIG. In addition, since the movable range of the stage apparatus ST becomes wide compared with the structure shown in FIG. 6, it can be said that it is a preferable structure. In addition, although the structure shown in FIG. 8 is a structure arrange | positioned so that the center axis C3 and the center axis C4 may become parallel in a Y direction, it is not limited to this. For example, it can be set as the structure arrange | positioned so that the center axis C3 and the center axis C4 may become parallel to an X direction.

또, 제1 추 모양 부재(G3) 및 제2 추 모양 부재(G4)의 형상으로서는, 예를 들면 도 6 내지 도 8에 나타내어진 바와 같이 원추 모양으로 형성된 구성에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 다른 추 모양(타원추 모양, 다각추 모양)으로 형성된 구성을 적용할 수 있다. 또, 예를 들면 원기둥 모양 부재의 일부에 테이퍼(taper)부를 형성하고, 해당 테이퍼부를 이용하여 시트 기판(FB)을 구부리는 구성을 적용할 수 있다.In addition, as a shape of the 1st weight member G3 and the 2nd weight member G4, it is not limited to the structure formed in conical shape as shown, for example in FIGS. 6-8. For example, a configuration formed in other weight shapes (elliptical cone shape, polygonal weight shape) can be applied. Moreover, the structure which forms a taper part in a part of cylindrical member, and for example bends the sheet | seat board | substrate FB using this taper part is applicable.

또한, 상기 각 실시 형태에서는, 제1 안내 부재 및 제2 안내 부재를 회전시키는 구성을 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 기판 처리 장치(FPA) 내에 고정된 원기둥 모양 부재나 원통 모양 부재, 추 모양 부재를 이용해도 상관없다. 이와 같은 원기둥 모양 부재나 원통 모양 부재, 추 모양 부재를 이용하는 경우, 안내 롤러(G)와 같은 회전 동작이 없는 점 이외는, 안내 롤러(G)와 동일한 동작으로 시트 기판(FB)의 위치 조정을 행할 수 있다. In addition, in each said embodiment, although the structure which rotates the 1st guide member and the 2nd guide member was demonstrated as an example, it is not limited to this. For example, you may use the cylindrical member, the cylindrical member, and the weight member fixed in the substrate processing apparatus FPA. When using such a cylindrical member, a cylindrical member, or a weight member, the positional adjustment of the sheet substrate FB is performed in the same operation as the guide roller G, except that there is no rotational motion such as the guide roller G. I can do it.

또, 이와 같이, 고정된 원기둥 모양 부재, 원통 모양 부재나 추 모양 부재를 이용하는 경우에는, 시트 기판(FB)의 이면을 지지하는 안내면만을 남기고, 안내면 이외의 부분을 제거해도 괜찮다.Moreover, when using the fixed cylindrical member, the cylindrical member, or the weight member in this way, only the guide surface which supports the back surface of the sheet | seat board | substrate FB may be left and you may remove parts other than a guide surface.

또, 상기 각 실시 형태에서는, 제1 안내 부재 및 제2 안내 부재로서, 원기둥 모양 부재, 원통 모양 부재, 추 모양 부재를 이용하는 경우, 시트 기판(FB)을 이들의 제1 안내 부재 및 제2 안내 부재에 접촉시키는 구성을 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 시트 기판(FB)과 안내 부재를 비접촉 상태로 하는 구성이라도 상관없다. 이와 같은 구성으로서는, 예를 들면, 제1 안내 부재 및 제2 안내 부재의 표면에 기체층을 형성하고, 해당 기체층을 통하여 시트 기판(FB)을 유지하는 구성 등을 들 수 있다.Moreover, in each said embodiment, when using a cylindrical member, a cylindrical member, and a weight member as a 1st guide member and a 2nd guide member, the sheet | seat board | substrate FB is used as these 1st guide member and 2nd guide | guide. Although the structure made to contact a member was demonstrated as an example, it is not limited to this. For example, the structure which makes the sheet | seat board | substrate FB and a guide member into a non-contact state may be sufficient. As such a structure, the structure etc. which form a base layer on the surface of a 1st guide member and a 2nd guide member, and hold | maintain the sheet | seat board | substrate FB through this base layer are mentioned, for example.

또, 상기 실시 형태에서는, 시트 기판(FB) 중 제1 안내 롤러(G1)와 제2 안내 롤러(G2)와의 사이 부분에 얼라이먼트 카메라(51)를 배치하고, 얼라이먼트 카메라(51)의 검출 결과를 이용하여 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)를 구동하는 구성을 예로 들어 설명했다. 이것에 더하여, 예를 들면 제1 안내 롤러(G1) 보다도 반송 방향 상류측 및 제2 안내 롤러(G2) 보다도 반송 방향 하류측 중 적어도 일방에, 별도의 얼라이먼트 카메라를 배치하는 구성으로 해도 상관없다. 이 경우, 별도로 배치한 얼라이먼트 카메라의 검출 결과에 근거하여 시트 기판(FB)의 위치를 조정하는 조정 기구를 별도로 마련하는 구성으로 할 수 있다. 또, 이와 같은 조정 기구로서, 예를 들면 롤러 장치(R)를 이용해도 상관없고, 다른 구성이라도 상관없다.Moreover, in the said embodiment, the alignment camera 51 is arrange | positioned in the part between the 1st guide roller G1 and the 2nd guide roller G2 among the sheet | seat board | substrates FB, and the detection result of the alignment camera 51 is changed. The structure which drives the 1st guide roller G1 and the 2nd guide roller G2 by using as an example was demonstrated. In addition, it is good also as a structure which arrange | positions another alignment camera, for example in at least one of conveyance direction upstream rather than 1st guide roller G1 and conveyance direction downstream than 2nd guide roller G2. In this case, it can be set as the structure which separately provides the adjustment mechanism which adjusts the position of the sheet | seat board | substrate FB based on the detection result of the alignment camera arrange | positioned separately. Moreover, as such an adjustment mechanism, you may use roller apparatus R, for example, and you may be another structure.

또, 상기 실시 형태에서는, 시트 기판(FB)에 형성된 얼라이먼트 마크(AM)를 이용하여 시트 기판(FB)의 위치 맞춤을 행하는 구성을 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 시트 기판(FB)에 얼라이먼트 마크가 형성되어 있지 않은 경우라도, 얼라이먼트 카메라(51)에 의해서 시트 기판(FB) 중 반송 방향으로 평행한 양변을 검출하고, 해당 검출 결과를 이용하여 시트 기판(FB)의 위치 맞춤을 행하는 구성으로 해도 상관없다.Moreover, in the said embodiment, although the structure which performs alignment of the sheet | seat board | substrate FB using the alignment mark AM formed in the sheet | seat board | substrate FB was demonstrated as an example, it is not limited to this. For example, even when the alignment mark is not formed in the sheet | seat board | substrate FB, the alignment camera 51 detects both sides parallel to a conveyance direction in the sheet | seat board | substrate FB, and uses the said detection result, and a sheet It is good also as a structure which performs alignment of the board | substrate FB.

또, 상기 실시 형태에서는, 스테이지 장치(ST) 중 시트 기판(FB)을 지지하는 지지면(Sa)이 평탄면으로 형성된 경우를 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 지지면(Sa)이 오목한 모양 또는 볼록한 모양으로 형성된 곡면이라도, 본 발명의 적용은 가능하다. 또, 스테이지 장치(ST)에 롤러를 배치하고, 지지면(Sa)으로서 해당 롤러의 표면의 일부를 이용해도 상관없다.Moreover, in the said embodiment, although the case where the support surface Sa which supports the sheet | seat board | substrate FB in the stage apparatus ST was formed as the flat surface was demonstrated as an example, it is not limited to this. For example, even if the support surface Sa is a curved surface formed in concave shape or convex shape, application of this invention is possible. Moreover, you may arrange | position a roller to stage apparatus ST and may use a part of surface of the said roller as support surface Sa.

또, 상기 실시 형태에서는, 시트 기판(FB)의 위치 맞춤 후에 해당 시트 기판(FB)을 스테이지 장치(ST)에 흡착시키는 예를 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 시트 기판(FB)의 위치 맞춤 전에, 예를 들면 스테이지 장치(ST)의 흡착부(40)에 시트 기판(FB)을 흡착시키도록 해도 상관없다. 이 경우, 시트 기판(FB)의 위치 맞춤을 행할 때에는, 예를 들면 스테이지 장치(ST)의 구동과 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)의 구동을 동기시키고, 시트 기판(FB)에 대해서 작용하는 힘의 방향을 유지하면서 해당 시트 기판(FB)의 위치를 조정한다.Moreover, in the said embodiment, although the example which made the said sheet | seat board | substrate FB adsorb | suck to the stage apparatus ST after alignment of the sheet | seat board | substrate FB was demonstrated, it is not limited to this. For example, before positioning of the sheet | seat board | substrate FB, you may make it adsorb | suck the sheet | seat board | substrate FB to the adsorption part 40 of the stage apparatus ST, for example. In this case, when aligning the sheet substrate FB, for example, the driving of the stage apparatus ST and the driving of the first guide roller G1 and the second guide roller G2 are synchronized, and the sheet substrate ( The position of the sheet substrate FB is adjusted while maintaining the direction of the force acting on the FB.

상기 실시 형태에 기재한 제1 안내 부재 및 제2 안내 부재는, 예를 들면 처리 장치(10)를 사이에 두는 위치에 한정되지 않고, 기판 처리 장치(FPA) 중 시트 기판(FB)의 반송 경로에 적절히 배치할 수 있다. 또, 상기 실시 형태에서, 제1 안내 부재와 제2 안내 부재와의 사이에 배치되는 처리 장치(10)는 단수라도 복수라도 상관없다.The 1st guide member and 2nd guide member described in the said embodiment are not limited to the position which interposes the processing apparatus 10, for example, and the conveyance path | route of the sheet | seat board | substrate FB in the substrate processing apparatus FPA. It can arrange | position appropriately. In addition, in the said embodiment, the processing apparatus 10 arrange | positioned between the 1st guide member and the 2nd guide member may be singular or plural.

또, 제1 안내 롤러(G1)와, 제1 안내 롤러(G1)의 상류측 롤러 장치(R)와의 사이에 미도시한 느슨해짐부를 만들고, 제2 안내 롤러(G2)와, 제2 안내 롤러(G2)의 하류측 롤러 장치(R)와의 사이에 느슨해짐부를 만들어도 괜찮다. 게다가 상류측 롤러 장치(R) 및 하류측 롤러 장치(R)를 시트 기판(FB)의 표면 및 이면에 접촉함과 아울러, 시트 기판(FB)을 사이에 두도록 하는 구성으로 해도 괜찮다.Moreover, the loosening part which is not shown in figure is made between the 1st guide roller G1 and the upstream roller apparatus R of the 1st guide roller G1, and the 2nd guide roller G2 and the 2nd guide roller You may make a loosening part with the downstream roller apparatus R of (G2). Furthermore, the upstream roller device R and the downstream roller device R may be in contact with the front and rear surfaces of the sheet substrate FB, and may be configured to sandwich the sheet substrate FB.

[제4 실시 형태］[4th Embodiment]

다음에, 본 발명의 제4 실시 형태를 설명한다. 도 9는, 본 발명의 제4 실시 형태에 관한 기판 처리 장치(FPA)의 구성을 나타내는 도면이다. 이하의 설명에서, 상술의 실시 형태와 동일 또는 동등의 구성 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고, 그 설명을 간략 혹은 생략한다.Next, a fourth embodiment of the present invention will be described. It is a figure which shows the structure of the substrate processing apparatus FPA which concerns on 4th Embodiment of this invention. In the following description, the same code | symbol is attached | subjected about the component part same or equivalent to above-mentioned embodiment, and the description is abbreviate | omitted or abbreviate | omitted.

본 실시 형태에서, 도 9에 나타내는 바와 같이, 기판 처리부(PR)는, 기판 공급부(SU)로부터 공급되는 시트 기판(FB)을 기판 회수부(CL)로 반송함과 아울러, 반송 과정에서 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)에 대해서 처리를 행한다. 기판 처리부(PR)는, 예를 들면 처리 장치(10), 반송 장치(30) 및 얼라이먼트 장치(미도시) 등을 가지고 있다.In this embodiment, as shown in FIG. 9, while the board | substrate process part PR conveys the sheet | seat board | substrate FB supplied from the board | substrate supply part SU to the board | substrate collection | recovery part CL, it is a sheet | seat board | substrate in a conveyance process. The processing is performed on the target surface Fp of (FB). The substrate processing unit PR has, for example, a processing apparatus 10, a conveying apparatus 30, an alignment apparatus (not shown), and the like.

처리 장치(10)는, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)에 대해서 예를 들면 유기 EL소자를 형성하기 위한 각종 처리부(예를 들면, 처리부(10A) 및 처리부(10B) 등)를 가지고 있다. 이와 같은 처리부로서는, 예를 들면 피처리면(Fp) 상에 격벽을 형성하기 위한 격벽 형성 장치, 유기 EL 소자를 구동하기 위한 전극을 형성하기 위한 전극 형성 장치, 발광층을 형성하기 위한 발광층 형성 장치 등이 마련된다. 보다 구체적으로는, 액적 도포 장치(예를 들면 잉크젯형 도포 장치, 스핀 코트형 도포 장치 등), 증착 장치, 스퍼터링 장치 등의 성막 장치나, 노광 장치, 현상 장치, 표면 개질 장치, 세정 장치 등을 들 수 있다. 이들의 각 장치는, 예를 들면 시트 기판(FB)의 반송 경로 상에 적절히 마련되어 있다.The processing apparatus 10 has various processing parts (for example, processing part 10A, processing part 10B, etc.) for forming organic electroluminescent element, for example with respect to the to-be-processed surface Fp of the sheet | seat board | substrate FB. have. As such a processing part, the partition forming apparatus for forming a partition on the to-be-processed surface Fp, the electrode forming apparatus for forming the electrode for driving an organic EL element, the light emitting layer forming apparatus for forming a light emitting layer, etc. are mentioned, for example. Prepared. More specifically, film forming apparatuses such as a droplet applying apparatus (for example, an inkjet coating apparatus, a spin coat coating apparatus, etc.), a vapor deposition apparatus, a sputtering apparatus, an exposure apparatus, a developing apparatus, a surface modification apparatus, a cleaning apparatus, etc. Can be mentioned. Each of these apparatuses is suitably provided, for example on the conveyance path | route of the sheet | seat board | substrate FB.

반송 장치(30)는, 기판 처리부(PR) 내에서 예를 들면 시트 기판(FB)을 기판 회수부(CL)측로 반송하는 롤러 장치(R)와, 처리 장치(10)를 사이에 두도록 해당 처리 장치(10)의 상류측 및 하류측에 배치되는 안내 롤러(G)를 가지고 있다. 롤러 장치(R)는, 시트 기판(FB)의 반송 경로를 따라서 예를 들면 복수 마련되어 있다. 복수의 롤러 장치(R) 중 적어도 일부의 롤러 장치(R)에는, 구동 기구(미도시)가 장착되어 있다. 이와 같은 롤러 장치(R)가 회전하는 것에 의해, 시트 기판(FB)이 X축 방향으로 반송되도록 되어 있다. 복수의 롤러 장치(R) 중 예를 들면 일부의 롤러 장치(R)가 반송 방향과 직교하는 방향으로 이동 가능하게 마련된 구성이라도 상관없다. 또한, 기판 처리부(PR) 전체에서는 시트 기판(FB)은 ＋X 방향으로 반송되게 된다.The conveying apparatus 30 processes this so that the roller apparatus R which conveys the sheet | seat board | substrate FB to the board | substrate collection | recovery part CL side, and the processing apparatus 10 are interposed in the board | substrate processing part PR, for example. It has the guide roller G arrange | positioned at the upstream and downstream of the apparatus 10. As shown in FIG. The roller apparatus R is provided in multiple numbers along the conveyance path of the sheet | seat board | substrate FB, for example. A drive mechanism (not shown) is attached to at least one roller device R among the plurality of roller devices R. FIG. By rotating such a roller apparatus R, the sheet | seat board | substrate FB is conveyed to an X-axis direction. For example, some roller apparatuses R of some roller apparatus R may be comprised so that a movement to the direction orthogonal to a conveyance direction is possible. Moreover, the sheet | seat board | substrate FB is conveyed to + X direction in the whole substrate processing part PR.

도 10은, 처리 장치(10) 및 안내 롤러(G)의 구성을 나타내는 개략도이다. 또한, 도 10은, 기판 처리 장치(FPA)를 상측(＋Z 방향)으로부터 보았을 때의 구성을 나타내고 있다. 10 is a schematic view showing the configuration of the processing apparatus 10 and the guide roller G. FIG. 10 has shown the structure at the time of seeing the substrate processing apparatus FPA from the upper side (+ Z direction).

도 10에 나타내는 바와 같이, 안내 롤러(G)는, 제1 안내 롤러(G21), 제2 안내 롤러(G22), 제3 안내 롤러(G23) 및 제4 안내 롤러(G24)를 가지고 있다. 제1 안내 롤러(G21) ~ 제4 안내 롤러(G24)는, 시트 기판(FB)의 반송 경로의 상류측으로부터 하류측을 향하여 순차적으로 배치되어 있다. 제1 안내 롤러(G21) ~ 제4 안내 롤러(G24)는, 각각 예를 들면 원기둥 모양이나 원통 모양 등으로 형성되어 있다.As shown in FIG. 10, the guide roller G has the 1st guide roller G21, the 2nd guide roller G22, the 3rd guide roller G23, and the 4th guide roller G24. The 1st guide roller G21-the 4th guide roller G24 are arrange | positioned sequentially toward the downstream side from the upstream side of the conveyance path | route of the sheet | seat board | substrate FB. The 1st guide roller G21-the 4th guide roller G24 are each formed in cylindrical shape, cylindrical shape, etc., respectively.

제1 안내 롤러(G21)는, 해당 제1 안내 롤러(G21)의 상류측으로부터 제1 방향(＋X 방향)으로 반송되어 오는 시트 기판(FB)의 제1 부분 (제1 안내 롤러(G21)로 안내되기 전의 부분, 즉, 제1 안내 롤러(G21)에 대해, 시트 기판(FB)의 상류측 부분, F1)의 짧은 방향(폭 방향：여기에서는 Y 방향)에 대해서, 중심축(C1)이 경사 방향으로 기울도록 배치되어 있다. 제1 안내 롤러(G21)는, 롤러 표면(안내면, G21a)에서 시트 기판(FB)의 이면을 안내한다. 또한, 제1 안내 롤러(G21)의 상류측으로부터 반송되어 오는 시트 기판(FB)은, 도 10에서, 시트 기판(FB)의 이면(Fg)이 상측을 향하고 있는 상태이다.The first guide roller G21 is a first portion (first guide roller G21) of the sheet substrate FB conveyed in the first direction (+ X direction) from an upstream side of the first guide roller G21. With respect to the part before being guided, ie, the 1st guide roller G21, with respect to the upstream part of the sheet | seat board | substrate FB, and the short direction (width direction: here, Y direction) of the F1, the central axis C1 It is arrange | positioned so that it may incline in the diagonal direction. The 1st guide roller G21 guides the back surface of the sheet | seat board | substrate FB on the roller surface (guide surface, G21a). In addition, the sheet | seat board | substrate FB conveyed from the upstream of 1st guide roller G21 is a state where the back surface Fg of the sheet | seat board | substrate FB is facing upward.

제1 안내 롤러(G21)는, 시트 기판(FB)의 제1 부분(F1)을 해당 시트 기판(FB)의 짧은 방향에 대해서 경사 방향으로 굽힘과 아울러, 제1 안내 롤러(G21)의 롤러 표면을 따라서 시트 기판(FB)을 접는 것에 의해서, 시트 기판(FB)의 반송 방향을 상기 제1 방향으로부터 제2 방향(－Y 방향)으로 변환한다. 본 실시 형태에서, 제1 안내 롤러(G21)는, 시트 기판(FB)을 실질적으로 경사지게 굽힐 수 있다. 시트 기판(FB)은 제1 안내 롤러(G21)를 통하여 비틂(twist)을 수반하여 구부러질 수 있다. 시트 기판(FB)에는, 제1 안내 롤러(G21)로 안내되는 부분에서, 반송 방향(제1 방향)에 대해서 경사한, 부분적인 둘레면이 형성될 수 있다. 제1 방향(＋X 방향)의 진행 방향을 가지는 시트 기판(FB)이 제1 안내 롤러(G21)로 들어간다. 제2 방향(－Y 방향)의 진행 방향을 가지는 시트 기판(FB)이 제1 안내 롤러(G21)로부터 나온다. 본 실시 형태에서, 해당 제2 방향은, 예를 들면 제1 방향과 직교하는 방향이다. 제1 안내 롤러(G21)는, 시트 기판(FB)의 이면(Fg)을 지지하면서 해당 시트 기판(FB)을 접는다. 예를 들면, 제1 안내 롤러(G21)에 의해서 접혀진 시트 기판(FB)은, 제2 방향에서, 피처리면(Fp)이 상측(처리 장치(10)측)을 향하게 된다. 또, 시트 기판(FB)은, 제1 안내 롤러(G21)의 전후에서, 제1 부분(F1)과 후술하는 제2 부분(F2)이 서로 평행하게 될 때 까지, 해당 제1 안내 롤러(G21)의 롤러 표면(G21a)에 지지되어 있다.The 1st guide roller G21 bends the 1st part F1 of the sheet | seat board | substrate FB in the diagonal direction with respect to the short direction of the said sheet | seat board | substrate FB, and also roller surface of the 1st guide roller G21. By folding the sheet | seat board | substrate FB along this, the conveyance direction of the sheet | seat board | substrate FB is changed from the said 1st direction to a 2nd direction (-Y direction). In the present embodiment, the first guide roller G21 can bend the sheet substrate FB substantially inclined. The sheet substrate FB may be bent along a twist through the first guide roller G21. In the sheet | seat board | substrate FB, the partial peripheral surface which inclines with respect to a conveyance direction (1st direction) can be formed in the part guided by the 1st guide roller G21. The sheet | seat board | substrate FB which has the advancing direction of a 1st direction (+ X direction) enters the 1st guide roller G21. The sheet | seat board | substrate FB which has the advancing direction of a 2nd direction (-Y direction) emerges from the 1st guide roller G21. In this embodiment, the said 2nd direction is a direction orthogonal to a 1st direction, for example. The first guide roller G21 folds the sheet substrate FB while supporting the back surface Fg of the sheet substrate FB. For example, in the sheet | seat board | substrate FB folded by the 1st guide roller G21, the to-be-processed surface Fp will go to the upper side (processing apparatus 10 side) in a 2nd direction. Moreover, the sheet | seat board | substrate FB is the said 1st guide roller G21 until the 1st part F1 and the 2nd part F2 mentioned later become parallel with each other before and behind the 1st guide roller G21. Is supported by the roller surface G21a.

제2 안내 롤러(G22)는, 해당 제2 안내 롤러(G22)의 상류측으로부터 제2 방향으로 반송되어 오는 시트 기판(FB)의 제2 부분(제2 안내 롤러(G22)로 안내되기 전의 부분, 즉, 제2 안내 롤러(G22)에 대해, 시트 기판(FB)의 상류측 부분, F2)에 대해서, 중심축(C2)이 경사 방향으로 기울도록 배치되어 있다. 제2 안내 롤러(G22)는, 롤러 표면(안내면, G22a)에서 시트 기판(FB)의 이면을 안내한다. 또한, 제2 안내 롤러(G22)의 상류측으로부터 반송되어 오는 시트 기판(FB)은, 도 10에서, 전술한 바와 같이, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)이 상측을 향하고 있는 상태이다.The 2nd guide roller G22 is the part before the 2nd part (second guide roller G22) of the sheet | seat board | substrate FB conveyed in the 2nd direction from the upstream side of the said 2nd guide roller G22. That is, with respect to the 2nd guide roller G22, the center axis | shaft C2 is arrange | positioned with respect to the upstream part of the sheet | seat board | substrate FB, and F2 so that it may incline in the diagonal direction. The 2nd guide roller G22 guides the back surface of the sheet | seat board | substrate FB in the roller surface (guide surface, G22a). In addition, in the sheet | seat board | substrate FB conveyed from the upstream side of the 2nd guide roller G22, as shown in FIG. 10, the to-be-processed surface Fp of the sheet | seat board | substrate FB is facing upwards. .

제2 안내 롤러(G22)는, 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)을 해당 시트 기판(FB)의 짧은 방향에 대해서 경사 방향으로 굽힘과 아울러, 제2 안내 롤러(G22)의 롤러 표면을 따라서 시트 기판(FB)을 접는 것에 의해서, 시트 기판(FB)의 반송 방향을 상기 제2 방향으로부터 제3 방향(＋X 방향)으로 변환한다. 본 실시 형태에서, 제2 안내 롤러(G22)는, 시트 기판(FB)을 실질적으로 경사지게 굽힐 수 있다. 시트 기판(FB)은 제2 안내 롤러(G22)를 통하여 비틂(twist)을 수반하여 구부러질 수 있다. 시트 기판(FB)에는, 제2 안내 롤러(G22)로 안내되는 부분에서, 반송 방향(제2 방향)에 대해서 경사한, 부분적인 둘레면이 형성될 수 있다. 제2 방향(－Y 방향)의 진행 방향을 가지는 시트 기판(FB)이 제2 안내 롤러(G22)로 들어간다. 제3 방향(＋X 방향)의 진행 방향을 가지는 시트 기판(FB)이 제2 안내 롤러(G22)로부터 나온다. 본 실시 형태에서, 해당 제3 방향은, 예를 들면 제1 방향과 평행한 방향이다. 제2 안내 롤러(G22)는, 시트 기판(FB)의 이면(Fg)을 지지하면서 해당 시트 기판(FB)을 접는다. 예를 들면, 제2 안내 롤러(G22)에 의해서 접혀진 시트 기판(FB)은, 제3 방향에서, 이면(Fg)이 상측을 향하고, 피처리면(Fp)이 하측을 향하게 된다. 또, 시트 기판(FB)은, 제2 안내 롤러(G22)의 전후에서, 제2 부분(F2)과 후술하는 제3 부분(F3)이 서로 평행하게 될 때까지, 해당 제2 안내 롤러(G22)의 롤러 표면(G22a)에 지지되어 있다.The 2nd guide roller G22 bends the 2nd part F2 of the sheet | seat board | substrate FB in the diagonal direction with respect to the short direction of the said sheet | seat board | substrate FB, and also roller surface of the 2nd guide roller G22. By folding the sheet | seat board | substrate FB along this, the conveyance direction of the sheet | seat board | substrate FB is changed to the 3rd direction (+ X direction) from the said 2nd direction. In the present embodiment, the second guide roller G22 can bend the sheet substrate FB substantially inclined. The sheet substrate FB may be bent along a twist through the second guide roller G22. In the sheet | seat board | substrate FB, the partial peripheral surface which inclines with respect to a conveyance direction (2nd direction) can be formed in the part guided by the 2nd guide roller G22. The sheet | seat board | substrate FB which has the advancing direction of a 2nd direction (-Y direction) enters the 2nd guide roller G22. The sheet | seat board | substrate FB which has the advancing direction of a 3rd direction (+ X direction) emerges from 2nd guide roller G22. In this embodiment, the said 3rd direction is a direction parallel to a 1st direction, for example. The 2nd guide roller G22 folds the said sheet | seat board | substrate FB, supporting the back surface Fg of the sheet | seat board | substrate FB. For example, as for the sheet | seat board | substrate FB folded by the 2nd guide roller G22, the back surface Fg will face upward and the to-be-processed surface Fp will face downward in a 3rd direction. Moreover, the sheet | seat board | substrate FB is the 2nd guide roller G22 before and behind 2nd guide roller G22, until the 2nd part F2 and the 3rd part F3 mentioned later become parallel to each other. Is supported by the roller surface G22a.

제3 안내 롤러(G23)는, 해당 제3 안내 롤러(G23)의 상류측으로부터 제3 방향(＋X 방향)으로 반송되어 오는 시트 기판(FB)의 제3 부분(제3 안내 롤러(G23)로 안내되기 전의 부분, 즉, 제3 안내 롤러(G23)에 대해, 시트 기판(FB)의 상류측 부분, F3)의 짧은 방향(폭 방향：여기에서는 Y 방향)에 대해서, 중심축(C3)이 경사 방향으로 기울도록 배치되어 있다. 제3 안내 롤러(G23)는, 롤러 표면(안내면, G23a)에서 시트 기판(FB)의 이면을 안내한다. 또한, 제3 안내 롤러(G23)의 상류측으로부터 반송되어 오는 시트 기판(FB)은, 도 10에서, 전술한 바와 같이 시트 기판(FB)의 이면(Fg)이 상측을 향하고 있는 상태이다.3rd guide roller G23 is the 3rd part (3rd guide roller G23) of the sheet | seat board | substrate FB conveyed in the 3rd direction (+ X direction) from the upstream of this 3rd guide roller G23. With respect to the part before being guided, ie, 3rd guide roller G23, the central axis C3 with respect to the upstream part of the sheet | seat board | substrate FB, and the short direction (width direction: here, Y direction) of the F3. It is arrange | positioned so that it may incline in the diagonal direction. The 3rd guide roller G23 guides the back surface of the sheet | seat board | substrate FB in the roller surface (guide surface, G23a). In addition, the sheet | seat board | substrate FB conveyed from the upstream side of 3rd guide roller G23 is a state where the back surface Fg of the sheet | seat board | substrate FB is facing upward in FIG. 10 as mentioned above.

제3 안내 롤러(G23)는, 시트 기판(FB)의 제3 부분(F3)을 해당 시트 기판(FB)의 짧은 방향에 대해서 경사 방향으로 굽힘과 아울러, 제3 안내 롤러(G23)의 롤러 표면을 따라서 시트 기판(FB)을 접는 것에 의해서, 시트 기판(FB)의 반송 방향을 상기 제3 방향으로부터 제4 방향(＋Y 방향)으로 변환한다. 본 실시 형태에서, 제3 안내 롤러(G23)는, 시트 기판(FB)을 실질적으로 경사지게 굽힐 수 있다. 시트 기판(FB)은 제3 안내 롤러(G23)를 통하여 비틂(twist)을 수반하여 구부러질 수 있다. 시트 기판(FB)에는, 제3 안내 롤러(G23)로 안내되는 부분에서, 반송 방향(제3 방향)에 대해서 경사한, 부분적인 둘레면이 형성될 수 있다. 제3 방향(＋X 방향)의 진행 방향을 가지는 시트 기판(FB)이 제3 안내 롤러(G23)로 들어간다. 제4 방향(＋Y 방향)의 진행 방향을 가지는 시트 기판(FB)이 제3 안내 롤러(G23)로부터 나온다. 본 실시 형태에서, 해당 제4 방향은, 예를 들면 제1 방향 및 제3 방향과 직교하는 방향이며, 제2 방향과는 반대의 방향이다. 제3 안내 롤러(G23)는, 시트 기판(FB)의 이면(Fg)을 지지하면서 해당 시트 기판(FB)을 접는다. 예를 들면, 제3 안내 롤러(G23)에 의해서 접혀진 시트 기판(FB)은, 제4 방향에서, 피처리면(Fp)이 상측을 향하여, 처리 장치(10)로 피처리면의 처리가 가능하게 된다. 또, 시트 기판(FB)은, 제3 안내 롤러(G23)의 전후에서, 제3 부분과 후술하는 제4 부분이 서로 평행하게 될 때까지, 해당 제3 안내 롤러(G23)의 롤러 표면(G23a)에 지지되어 있다.The 3rd guide roller G23 bends the 3rd part F3 of the sheet | seat board | substrate FB in the diagonal direction with respect to the short direction of the said sheet | seat board | substrate FB, and also roller surface of the 3rd guide roller G23. By folding the sheet | seat board | substrate FB along this, the conveyance direction of the sheet | seat board | substrate FB is changed from the said 3rd direction to a 4th direction (+ Y direction). In the present embodiment, the third guide roller G23 can bend the sheet substrate FB substantially inclined. The sheet substrate FB may be bent along a twist through the third guide roller G23. In the sheet | seat board | substrate FB, the partial peripheral surface which inclines with respect to a conveyance direction (third direction) can be formed in the part guided by the 3rd guide roller G23. The sheet | seat board | substrate FB which has the advancing direction of a 3rd direction (+ X direction) enters 3rd guide roller G23. The sheet | seat board | substrate FB which has the advancing direction of a 4th direction (+ Y direction) emerges from 3rd guide roller G23. In this embodiment, the said 4th direction is a direction orthogonal to a 1st direction and a 3rd direction, for example, and is a direction opposite to a 2nd direction. The 3rd guide roller G23 folds the said sheet | seat board | substrate FB, supporting the back surface Fg of the sheet | seat board | substrate FB. For example, in the sheet board | substrate FB folded by the 3rd guide roller G23, the to-be-processed surface Fp becomes an upward side in a 4th direction, and the process apparatus 10 can process a to-be-processed surface. . Moreover, before and after the 3rd guide roller G23, the sheet | seat board | substrate FB has the roller surface G23a of the said 3rd guide roller G23 until the 3rd part and the 4th part mentioned later become parallel to each other. Is supported).

제4 안내 롤러(G24)는, 해당 제4 안내 롤러(G24)의 상류측으로부터 제4 방향(＋Y 방향)으로 반송되어 오는 시트 기판(FB)의 제4 부분(제4 안내 롤러(G24)으로 안내되기 전의 부분, 즉, 제4 안내 롤러(G24)에 대해, 시트 기판(FB)의 상류측 부분, F4)에 대해서, 중심축(C4)이 경사 방향으로 기울도록 배치되어 있다. 제4 안내 롤러(G24)는, 롤러 표면(안내면, G24a)에서 시트 기판(FB)의 이면을 안내한다. 또한, 제4 안내 롤러(G24)의 상류측으로부터 반송되어 오는 시트 기판(FB)은, 도 10에서, 전술한 바와 같이 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)이 상측을 향하고 있는 상태이다.4th guide roller G24 is the 4th part (4th guide roller G24) of the sheet | seat board | substrate FB conveyed in the 4th direction (+ Y direction) from the upstream of this 4th guide roller G24. The central axis C4 is arranged to be inclined in the inclined direction with respect to the portion before being guided, that is, the fourth guide roller G24, with respect to the upstream side portion F4 of the sheet substrate FB. The 4th guide roller G24 guides the back surface of the sheet | seat board | substrate FB on the roller surface (guide surface, G24a). In addition, in the sheet | seat board | substrate FB conveyed from the upstream of 4th guide roller G24, as described above, the to-be-processed surface Fp of the sheet | seat board | substrate FB is facing upward.

제4 안내 롤러(G24)는, 시트 기판(FB)의 제4 부분(F4)을 해당 시트 기판(FB)의 짧은 방향에 대해서 경사 방향으로 굽힘과 아울러, 제4 안내 롤러(G24)의 롤러 표면을 따라서 시트 기판(FB)을 접는 것에 의해서, 시트 기판(FB)의 반송 방향을 상기 제4 방향으로부터 제５ 방향(＋X 방향)으로 변환한다. 본 실시 형태에서, 제4 안내 롤러(G24)는, 시트 기판(FB)을 실질적으로 경사지게 굽힐 수 있다. 시트 기판(FB)은 제4 안내 롤러(G24)를 통하여 비틂(twist)을 수반하여 구부러질 수 있다. 시트 기판(FB)에는, 제4 안내 롤러(G24)로 안내되는 부분에서, 반송 방향(제4 방향)에 대해서 경사한, 부분적인 둘레면이 형성될 수 있다. 제4 방향(＋Y 방향)의 진행 방향을 가지는 시트 기판(FB)이 제4 안내 롤러(G24)로 들어간다. 제５ 방향(＋X 방향)의 진행 방향을 가지는 시트 기판(FB)이 제4 안내 롤러(G24)로부터 나온다. 본 실시 형태에서, 해당 제５ 방향은, 예를 들면 제1 방향 및 제3 방향과 평행한 방향이다. 제4 안내 롤러(G24)는, 시트 기판(FB)의 이면(Fg)을 지지하면서 해당 시트 기판(FB)을 접는다. 예를 들면 제4 안내 롤러(G24)에 의해서 접혀진 시트 기판(FB)은, 제５ 방향에서, 이면(Fg)이 상측을 향하고, 피처리면(Fp)이 하측을 향하게 된다. 또, 시트 기판(FB)은, 제4 안내 롤러(G24)의 전후에서, 제4 부분(F4)과 제５ 부분(F5, 제4 안내 롤러(G24)로 안내된 후의 부분, 즉, 제4 안내 롤러(G24)에 대해, 시트 기판(FB)의 하류측 부분)이 서로 평행하게 될 때까지, 해당 제4 안내 롤러(G24)의 롤러 표면(G24a)에 지지되어 있다.The 4th guide roller G24 bends the 4th part F4 of the sheet | seat board | substrate FB in the diagonal direction with respect to the short direction of the said sheet | seat board | substrate FB, and also roller surface of the 4th guide roller G24. By folding the sheet | seat board | substrate FB along this, the conveyance direction of the sheet | seat board | substrate FB is changed to the 5th direction (+ X direction) from the said 4th direction. In the present embodiment, the fourth guide roller G24 can bend the sheet substrate FB substantially inclined. The sheet substrate FB may be bent along a twist through the fourth guide roller G24. In the sheet | seat board | substrate FB, the partial peripheral surface which inclines with respect to a conveyance direction (fourth direction) can be formed in the part guided by the 4th guide roller G24. The sheet | seat board | substrate FB which has the advancing direction of a 4th direction (+ Y direction) enters 4th guide roller G24. The sheet | seat board | substrate FB which has the advancing direction of a 5th direction (+ X direction) emerges from 4th guide roller G24. In this embodiment, the said 5th direction is a direction parallel to a 1st direction and a 3rd direction, for example. The 4th guide roller G24 folds the said sheet | seat board | substrate FB, supporting the back surface Fg of the sheet | seat board | substrate FB. For example, as for the sheet | seat board | substrate FB folded by the 4th guide roller G24, the back surface Fg will face upward and the to-be-processed surface Fp will face downward in a 5th direction. In addition, the part after the sheet | seat board | substrate FB is guided by 4th part F4 and 5th part F5, 4th guide roller G24 before and behind 4th guide roller G24, ie, 4th The guide roller G24 is supported by the roller surface G24a of the fourth guide roller G24 until the downstream portion of the sheet substrate FB is parallel to each other.

상기의 4개의 안내 롤러(G21 ~ G24)에 의해서 반송되는 시트 기판(FB)의 반송 방향은, 제1 부분(F1)에서는 ＋X 방향(제1 방향)이고, 제2 부분(F2)에서는 -Y 방향(제2 방향)이고, 제3 부분(F3)에서는 다시 ＋X 방향(제3 방향)이고, 제4 부분(F4)에서는 ＋Y 방향(제4 방향)이며, 제５ 부분(F5)에서는 ＋X 방향(제５ 방향)이다.The conveyance direction of the sheet | seat board | substrate FB conveyed by said four guide rollers G21-G24 is + X direction (1st direction) in 1st part F1, and -Y in 2nd part F2. Direction (second direction), the third part F3 is again + X direction (third direction), the fourth part F4 is the + Y direction (fourth direction), and the fifth part F5 is the + X direction. (The fifth direction).

그 때, 시트 기판(FB)은, 제1 방향, 제3 방향 및 제５ 방향에서, 시트 기판(FB)의 이면(Fg)이 상측을 향하고 있으며, 제2 방향 및 제4 방향에서, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)이 상측을 향하고 있다.In that case, as for the sheet | seat board | substrate FB, the back surface Fg of the sheet | seat board | substrate FB is facing upward in a 1st direction, a 3rd direction, and a 5th direction, In a 2nd direction and a 4th direction, a sheet substrate The to-be-processed surface Fp of (FB) is facing upward.

따라서, 처리 장치(10, 처리부(10A), 처리부(10B))에 의해서, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)을 처리할 때까지는, 피처리면(Fp)이 아래를 향하고 있기 때문에, 피처리면(Fp)에 대한 먼지 등의 부착을 저감할 수 있다.Therefore, since the to-be-processed surface Fp faces downward until the to-be-processed surface Fp of the sheet | seat board | substrate FB is processed by the processing apparatus 10, 10A, and 10B, the feature Adhesion of dust etc. to the surface Fp can be reduced.

이와 같이, 시트 기판(FB)은, 제1 안내 롤러(G21), 제2 안내 롤러(G22), 제3 안내 롤러(G23) 및 제4 안내 롤러(G24)를 각각 전환점로 하는 크랭크 모양의 경로를 반송되게 된다. 또, 제4 안내 롤러(G24)에 의해서 접어 구부러진 시트 기판(FB)은, 제５ 방향, 즉, 기판 처리부(PR)의 전체로서의 시트 기판(FB)의 반송 방향으로 반송되게 된다.Thus, the sheet | seat board | substrate FB has the crank-shaped path | route which makes a 1st guide roller G21, the 2nd guide roller G22, the 3rd guide roller G23, and the 4th guide roller G24 into a switching point, respectively. Will be returned. Moreover, the sheet | seat board | substrate FB bent and folded by the 4th guide roller G24 is conveyed in a 5th direction, ie, the conveyance direction of the sheet | seat board | substrate FB as the whole of the board | substrate process part PR.

또, 도 10에 나타내는 바와 같이, 처리 장치(10)는, 처리부(10A) 및 처리부(10B)를 가지고 있다. 처리부(10A)는, 예를 들면 Y 방향에서 제1 안내 롤러(G21)와 제2 안내 롤러(G22)와의 사이 위치에 마련되어 있으며, 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)의 피처리면(Fp)에 대향하여 배치되어 있다. 처리부(10B)는, 예를 들면 Y 방향에서 제3 안내 롤러(G23)와 제4 안내 롤러(G24)와의 사이 위치에 배치되어 있으며, 시트 기판(FB)의 제4 부분(F4)의 피처리면(Fp)에 대향하여 배치되어 있다. 본 실시 형태에서는, 처리부(10A) 및 처리부(10B)는, 예를 들면 서로 다른 처리를 행하도록 되어 있다.In addition, as shown in FIG. 10, the processing apparatus 10 includes a processing unit 10A and a processing unit 10B. 10 A of processing parts are provided in the position between the 1st guide roller G21 and the 2nd guide roller G22 in a Y direction, for example, and the to-be-processed surface of the 2nd part F2 of the sheet | seat board | substrate FB ( It is arranged opposite to Fp). The processing part 10B is arrange | positioned at the position between 3rd guide roller G23 and 4th guide roller G24 in the Y direction, for example, and the to-be-processed surface of the 4th part F4 of the sheet | seat board | substrate FB. It is arrange | positioned facing Fp. In the present embodiment, the processing unit 10A and the processing unit 10B are configured to perform different processing, for example.

처리부(10A)는, 예를 들면 구동 기구(11)에 접속되어 있으며, 예를 들면 X 방향 및 Y 방향으로 이동 가능하게 마련되어 있다. 예를 들면, 처리부(10A)는, 제2 부분(F2) 상의 제1 위치(A1)와 제4 부분(F4) 상의 제2 위치(A2)와의 사이를 이동할 수 있도록 되어 있다(X 방향의 이동). 또, 처리부(10A)는, 제2 부분(F2) 상 및 제4 부분(F4) 상을 이동할 수 있도록 되어 있다(Y 방향의 이동).10 A of processing parts are connected to the drive mechanism 11, for example, and are provided so that a movement to the X direction and a Y direction is possible, for example. For example, the processing unit 10A is capable of moving between the first position A1 on the second portion F2 and the second position A2 on the fourth portion F4 (moving in the X direction). ). In addition, the processing unit 10A is capable of moving on the second portion F2 and the fourth portion F4 (moving in the Y direction).

처리부(10B)는, 예를 들면 구동 기구(12)에 접속되어 있으며, 예를 들면 X 방향 및 Y 방향으로 이동 가능하게 마련되어 있다. 예를 들면, 처리부(10B)는, 제4 부분(F4) 상의 제1 위치(B1)와 제2 부분(F2) 상의 제2 위치(B2)와의 사이를 이동할 수 있도록 되어 있다(X 방향의 이동). 또, 처리부(10B)는, 제2 부분(F2) 상 및 제4 부분(F4) 상을 이동할 수 있도록 되어 있다(Y 방향의 이동).The processing unit 10B is connected to the drive mechanism 12, for example, and is provided to be movable in the X direction and the Y direction, for example. For example, the processor 10B is capable of moving between the first position B1 on the fourth portion F4 and the second position B2 on the second portion F2 (movement in the X direction). ). Moreover, the processing part 10B is able to move on the 2nd part F2 and the 4th part F4 (movement of a Y direction).

제1 안내 롤러(G21) ~ 제4 안내 롤러(G24)는, 예를 들면 미도시한 베어링 부재 등에 의해서 지지되어 있다. 각 베어링 부재에는, 제1 안내 롤러(G21) ~ 제4 안내 롤러(G24)를 회전시키는 구동 기구(미도시)가 마련되어 있다. 구동 기구는, 제1 안내 롤러(G21) ~ 제4 안내 롤러(G24)를, 각각 중심축(C1 ~ C4)을 중심으로 하여 회전시킨다.The 1st guide roller G21-the 4th guide roller G24 are supported by the bearing member etc. which are not shown, for example. Each bearing member is provided with the drive mechanism (not shown) which rotates the 1st guide roller G21-the 4th guide roller G24. The drive mechanism rotates the first guide rollers G21 to fourth guide rollers G24 around the center axes C1 to C4, respectively.

또, 시트 기판(FB) 중 제2 부분(F2) 및 제4 부분(F4)의 -Z측에 스테이지 장치를 배치시키는 구성으로 해도 상관없다. 해당 스테이지 장치는, 처리부(10A) 및 처리부(10B)에 의해서 처리되는 부분을 지지한다. 스테이지 장치 중 제2 부분(F2) 및 제4 부분(F4)을 지지하는 지지면은, 평탄면이라도 상관없고, 곡면이라도 상관없다.Moreover, it is good also as a structure which arrange | positions a stage apparatus in the -Z side of 2nd part F2 and 4th part F4 among sheet | seat board | substrate FB. This stage apparatus supports the part processed by the processing part 10A and the processing part 10B. The support surface which supports the 2nd part F2 and the 4th part F4 of a stage apparatus may be a flat surface, and may be a curved surface.

미도시한 얼라이먼트 장치는, 시트 기판(FB)에 대해서 얼라이먼트 동작을 행한다. 이 얼라이먼트 장치는, 시트 기판(FB)의 위치 상태를 검출하는 얼라이먼트 카메라(미도시)와, 해당 얼라이먼트 카메라의 검출 결과에 근거하여 시트 기판(FB)을 X 방향, Y 방향, Z 방향, θX 방향, θY 방향, θZ 방향으로 미세 조정하는 조정 기구(미도시)를 가지고 있다. 또한, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)에는, 예를 들면 미도시한 얼라이먼트 마크가 형성되어 있다. 얼라이먼트 마크는, 피처리면(Fp) 중 예를 들면 시트 기판(FB)의 짧은 방향의 양단부에 형성되어 있다.The alignment apparatus not shown performs an alignment operation with respect to the sheet | seat board | substrate FB. The alignment apparatus uses an alignment camera (not shown) for detecting the positional state of the sheet substrate FB and the sheet substrate FB in the X direction, Y direction, Z direction, and θX direction based on the detection result of the alignment camera. and an adjustment mechanism (not shown) for fine adjustment in the θY direction and the θZ direction. In addition, the alignment mark which is not shown in figure is formed in the to-be-processed surface Fp of the sheet | seat board | substrate FB. Alignment mark is formed in the both ends of the short direction of the sheet | seat board | substrate FB among the to-be-processed surface Fp, for example.

상기와 같이 구성된 기판 처리 장치(FPA)는, 제어부(CONT)의 제어에 의해, 롤 방식에 의해서 유기 EL 소자, 액정 표시 소자 등의 표시 소자(전자 디바이스)를 제조한다. 이하, 상기 구성의 기판 처리 장치(FPA)를 이용하여 표시 소자를 제조하는 공정을 설명한다.The substrate processing apparatus FPA comprised as mentioned above manufactures display elements (electronic device), such as an organic electroluminescent element and a liquid crystal display element, by a roll system by control of the control part CONT. Hereinafter, the process of manufacturing a display element using the substrate processing apparatus FPA of the said structure is demonstrated.

제어부(CONT)는, 시트 기판(FB)이 기판 공급부(SU)로부터 송출되고 나서 기판 회수부(CL)에서 권취될 때까지의 사이에, 기판 처리부(PR)의 반송 장치(30)에 의해서 시트 기판(FB)을 해당 기판 처리부(PR) 내에서 적절히 반송시키면서, 처리 장치(10, 처리부(10A) 및 처리부(10B)를 포함하는 각 처리부)에 의해서 표시 소자의 구성 요소를 시트 기판(FB) 상에 순차 형성시킨다.The control part CONT is a sheet | seat by the conveying apparatus 30 of the board | substrate process part PR between the sheet board | substrate FB is sent out from the board | substrate supply part SU, and is wound up by the board | substrate collection | recovery part CL. While appropriately conveying the board | substrate FB in the said board | substrate processing part PR, the component of a display element is carried out by the processing apparatus 10, each processing part containing the processing part 10A and the processing part 10B), and the sheet | seat board | substrate FB Form sequentially on the phase.

이 경우, 도 10에 나타내는 바와 같이, 시트 기판(FB)은, 제1 안내 롤러(G21), 제2 안내 롤러(G22), 제3 안내 롤러(G23) 및 제4 안내 롤러(G24)에 의해서, 이면(Fg)을 지지한 상태에서 접혀지게 된다. 이 때문에, 처리부(10A) 및 처리부(10B)의 전후에서, 시트 기판(FB)은, 피처리면(Fp)이 상기 4개의 안내 롤러(G21 ~ G24)에 접촉하지 않고 반송되게 된다.In this case, as shown in FIG. 10, the sheet | seat board | substrate FB is comprised by the 1st guide roller G21, the 2nd guide roller G22, the 3rd guide roller G23, and the 4th guide roller G24. , It is folded while supporting the back surface Fg. For this reason, before and after the processing part 10A and the processing part 10B, the sheet | seat board | substrate FB is conveyed without the to-be-processed surface Fp contacting said four guide rollers G21-G24.

또, 시트 기판(FB)은, 처리부(10A) 및 처리부(10B)에 대응한 제2 부분(F2) 및 제4 부분(F4)의 각각의 피처리면(Fp)이 해당 처리부(10A) 및 처리부(10B)측을 향할 수 있도록 반송되게 된다. 이 경우, 예를 들면 제2 부분(F2)과 제4 부분(F4)이 X 방향으로 늘어선 상태가 된다. 이 때문에, 제2 부분(F2)의 피처리면(Fp)을 처리하는 처리부(10A)가 제4 부분(F4)의 피처리면(Fp)을 처리하는 것이 가능해지고, 역으로, 제4 부분(F4)의 피처리면(Fp)을 처리하는 처리부(10B)가 제2 부분(F2)의 피처리면(Fp)을 처리하는 것도 가능하게 된다.In addition, as for the sheet | seat board | substrate FB, each to-be-processed surface Fp of the 2nd part F2 and the 4th part F4 corresponding to the processing part 10A and the processing part 10B is the said processing part 10A and a processing part. It is conveyed so that it may face the 10B side. In this case, for example, the second portion F2 and the fourth portion F4 are arranged in the X direction. For this reason, it becomes possible for the processing part 10A which processes the to-be-processed surface Fp of the 2nd part F2 to process the to-be-processed surface Fp of the 4th part F4, and conversely, 4th part F4. It becomes possible for the processing part 10B which processes the to-be-processed surface Fp of () to process the to-be-processed surface Fp of the 2nd part F2.

또, 본 실시 형태에 의하면, 기판 처리 장치(FPA)가, 상기의 제1 안내 롤러(G21) ~ 제4 안내 롤러(G24)를 가지는 것으로 했으므로, 시트 기판(FB)이 해당 기판 처리 장치(FPA) 전체로서의 반송 방향(예를 들면 ＋X 방향)으로 반송되도록, 해당 시트 기판(FB)의 반송 방향을 규정할 수 있다.Moreover, according to this embodiment, since the substrate processing apparatus FPA supposes having said 1st guide roller G21-the 4th guide roller G24, the sheet | seat board | substrate FB is the said substrate processing apparatus FPA. The conveyance direction of the said sheet | seat board | substrate FB can be prescribed | regulated so that it may convey in the conveyance direction (for example, + X direction) as a whole.

또, 시트 기판(FB) 중 제2 부분(F2)과 제4 부분(F4)이 피처리면(Fp)을 처리부(10A 및 10B)의 방향을 향하여 늘어선 상태가 되기 때문에, 처리부(10A 및 10B)가 제2 부분(F2)과 제4 부분(F4)과의 사이를 쉽게 이동하게 된다. 이것에 의해, 다양한 처리 동작이 가능해진다.Moreover, since the 2nd part F2 and the 4th part F4 of the sheet | seat board | substrate FB are in the state which lined the to-be-processed surface Fp toward the direction of the process part 10A and 10B, the process part 10A and 10B. Is easily moved between the second portion F2 and the fourth portion F4. This enables various processing operations.

또한, 본 실시 형태에서는, 처리부(10A)가 제2 부분(F2)의 피처리면(Fp)을 처리하고, 처리부(10B)가 제4 부분(F4)의 피처리면(Fp)을 처리하는 구성에 대해서 설명했지만, 이 구성에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 처리부(10B)를 생략한 경우에는, 제4 안내 롤러(G24)를 생략하고, 시트 기판(FB)을 제1 안내 롤러(G21), 제2 안내 롤러(G22), 제3 안내 롤러(G23)로 반송하는 것도 가능하다.In addition, in this embodiment, the process part 10A processes the to-be-processed surface Fp of the 2nd part F2, and the process part 10B processes the to-be-processed surface Fp of the 4th part F4. Although it demonstrated, it is not limited to this structure. For example, when the processing part 10B is omitted, the 4th guide roller G24 is abbreviate | omitted and the sheet | seat board | substrate FB is used for the 1st guide roller G21, the 2nd guide roller G22, and the 3rd guide | guide. It is also possible to convey by roller G23.

이상과 같이, 본 실시 형태에 의하면, 반송 장치(30)가, 상기의 제1 안내 롤러(G21), 제2 안내 롤러(G22), 제3 안내 롤러(G23)의 적어도 3개를 구비하는 것으로 했으므로, 시트 기판(FB)의 이면(Fg)만을 지지하면서 시트 기판(FB)을 반송할 수 있다. 이것에 의해, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)에 대한 외부로부터의 접촉을 막으면서 해당 시트 기판(FB)을 반송할 수 있다. As mentioned above, according to this embodiment, the conveying apparatus 30 is provided with at least 3 of said 1st guide roller G21, the 2nd guide roller G22, and the 3rd guide roller G23. Therefore, the sheet substrate FB can be transported while supporting only the back surface Fg of the sheet substrate FB. Thereby, the said sheet | seat board | substrate FB can be conveyed, preventing the contact from the exterior with respect to the to-be-processed surface Fp of the sheet | seat board | substrate FB.

[제５ 실시 형태］[Fifth embodiment]

다음에, 본 발명의 제５ 실시 형태를 설명한다. Next, a fifth embodiment of the present invention will be described.

본 실시 형태에서는, 기판 처리 장치에 마련되는 제1 안내 부재 ~ 제4 안내 부재로서, 예를 들면 추 모양 부재를 이용한 구성을 설명한다. 이하의 설명에서, 상술의 실시 형태와 동일 또는 동등의 구성 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고, 그 설명을 간략 혹은 생략한다.In this embodiment, a structure using, for example, a weight member as the first guide member to the fourth guide member provided in the substrate processing apparatus will be described. In the following description, the same code | symbol is attached | subjected about the component part same or equivalent to above-mentioned embodiment, and the description is abbreviate | omitted or abbreviate | omitted.

도 11은, 기판 처리 장치(FPA)를 상측(＋Z 방향)으로부터 보았을 때의 구성을 나타내고 있다. FIG. 11 has shown the structure at the time of seeing the substrate processing apparatus FPA from the upper side (+ Z direction).

도 11에 나타내는 바와 같이, 반송 장치(30)는, 제1 안내 부재로서 제1 추 모양 부재(G25)가 이용되고 있으며, 제2 안내 부재로서 제2 추 모양 부재(G26)가 이용되고 있다. 또, 제3 안내 부재로서 제3 추 모양 부재(G27)가 이용되고 있으며, 제4 안내 부재로서 제4 추 모양 부재(G28)가 이용되고 있다. 물론, 제1 안내 부재 ~ 제4 안내 부재 중 일부에만 추 모양 부재를 이용한 구성으로 해도 상관없다.As shown in FIG. 11, the 1st weight member G25 is used as the 1st guide member, and the 2nd weight member G26 is used as the 2nd guide member of the conveying apparatus 30. As shown in FIG. Moreover, the 3rd weight member G27 is used as a 3rd guide member, and the 4th weight member G28 is used as a 4th guide member. Of course, it is good also as a structure which used the weight member only in a part of 1st guide member-4th guide member.

도 12는, 제1 추 모양 부재(G25)의 구성을 예로 들어 나타내는 도면이다. 도 11 및 도 12에 나타내는 바와 같이, 제1 추 모양 부재(G25) ~ 제4 추 모양 부재(G28)는, 각각 원추형으로 형성되어 있다. 구체적으로는, 제1 추 모양 부재(G25) ~ 제4 추 모양 부재(G28)는, 각각 원형의 저면(일단부, 80) 및 정점(타단부, 81)을 가짐과 아울러, 해당 저면(80)으로부터 정점(81)을 향함에 따라 외경 치수가 서서히 작아지도록 형성된 측면(안내면)을 가진다. 제1 추 모양 부재(G25) ~ 제4 추 모양 부재(G28)는, 각각 저면(80)의 중심점과 정점(81)을 통과하는 중심축(C5 ~ C8)을 가지고 있다.12 is a diagram illustrating a configuration of the first weight member G25 as an example. As shown to FIG. 11 and FIG. 12, the 1st weight member G25-the 4th weight member G28 are each formed in cone shape. Specifically, the first weight member G25 to the fourth weight member G28 each have a circular bottom face (one end, 80) and a vertex (the other end, 81), and the bottom face 80 It has a side surface (guide surface) formed so that the outer diameter dimension gradually decreases toward the vertex 81 from the (). The first weight member G25 to the fourth weight member G28 each have a central axis C5 to C8 passing through the center point and the vertex 81 of the bottom face 80.

제1 추 모양 부재(G25)는, 중심축(C5)이 시트 기판(FB)의 제1 부분(F1)의 폭 방향(Y 방향)에 대해서 평행하게 되도록 배치되어 있다. 제1 추 모양 부재(G25)에는, 중심축(C5)을 중심으로 해당 제1 추 모양 부재(G25)를 회전시키는 구동 기구(미도시)가 마련되어 있다. 제1 추 모양 부재(G25)는, 측면(안내면, G25a)에서 시트 기판을 안내한다. 시트 기판(FB)은, 제1 부분(F1)과 제2 부분(F2)에서 피처리면(Fp)이 평행하게 될 때까지, 제1 추 모양 부재(G25)의 측면(G25a)에 지지되어 있다.The first weight member G25 is disposed such that the central axis C5 is parallel to the width direction (Y direction) of the first portion F1 of the sheet substrate FB. The 1st weight member G25 is provided with the drive mechanism (not shown) which rotates the said 1st weight member G25 about the center axis C5. The first weight member G25 guides the sheet substrate from the side surface (guide surface G25a). The sheet | seat board | substrate FB is supported by the side surface G25a of the 1st weight member G25 until the to-be-processed surface Fp becomes parallel in the 1st part F1 and the 2nd part F2. .

제2 추 모양 부재(G26)는, 중심축(C6)이 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)의 폭 방향(X 방향)에 대해서 평행하게 되도록 배치되어 있다. 제2 추 모양 부재(G26)에는, 중심축(C6)을 중심으로 해당 제2 추 모양 부재(G26)를 회전시키는 구동 기구(미도시)가 마련되어 있다. 제2 추 모양 부재(G26)는, 측면(안내면, G26a)에서 시트 기판을 안내한다. 시트 기판(FB)은, 제2 부분(F2)과 제3 부분(F3)에서 피처리면(Fp)이 평행하게 될 때까지, 제2 추 모양 부재(G26)의 측면(G26a)에 지지되어 있다.The second weight member G26 is disposed such that the central axis C6 is parallel to the width direction (X direction) of the second portion F2 of the sheet substrate FB. The 2nd weight member G26 is provided with the drive mechanism (not shown) which rotates the said 2nd weight member G26 about the center axis C6. The second weight member G26 guides the sheet substrate on the side surface (guide surface G26a). The sheet | seat board | substrate FB is supported by the side surface G26a of the 2nd weight member G26 until the to-be-processed surface Fp becomes parallel in the 2nd part F2 and the 3rd part F3. .

제3 추 모양 부재(G27)는, 중심축(C7)이 시트 기판(FB)의 제3 부분(F3)의 폭 방향(Y 방향)에 대해서 평행하게 되도록 배치되어 있다. 제3 추 모양 부재(G27)에는, 중심축(C7)을 중심으로 해당 제3 추 모양 부재(G27)를 회전시키는 구동 기구(미도시)가 마련되어 있다. 제3 추 모양 부재(G27)는, 측면(안내면, G27a)에서 시트 기판을 안내한다. 시트 기판(FB)은, 제3 부분(F3)과 제4 부분(F4)에서 피처리면(Fp)이 평행하게 될 때까지, 제3 추 모양 부재(G27)의 측면(G27a)에 지지되어 있다.The third weight member G27 is disposed such that the central axis C7 is parallel to the width direction (Y direction) of the third portion F3 of the sheet substrate FB. The 3rd weight member G27 is provided with the drive mechanism (not shown) which rotates the 3rd weight member G27 about the center axis C7. The third weight member G27 guides the sheet substrate from the side surface (guide surface G27a). The sheet | seat board | substrate FB is supported by the side surface G27a of the 3rd weight member G27 until the to-be-processed surface Fp becomes parallel in 3rd part F3 and 4th part F4. .

제4 추 모양 부재(G28)는, 중심축(C8)이 시트 기판(FB)의 제4 부분(F4)의 폭 방향(X 방향)에 대해서 평행하게 되도록 배치되어 있다. 제4 추 모양 부재(G28)에는, 중심축(C8)을 중심으로 해당 제4 추 모양 부재(G28)를 회전시키는 구동 기구(미도시)가 마련되어 있다. 제4 추 모양 부재(G28)는, 측면(안내면, G28a)에서 시트 기판을 안내한다. 시트 기판(FB)은, 제4 부분(F4)과 제５ 부분(F5)에서 피처리면(Fp)이 평행하게 될 때까지, 제4 추 모양 부재(G28)의 측면(G28a)에 지지되어 있다.The fourth weight member G28 is disposed such that the central axis C8 is parallel to the width direction (X direction) of the fourth portion F4 of the sheet substrate FB. The 4th weight member G28 is provided with the drive mechanism (not shown) which rotates the 4th weight member G28 about the center axis C8. The fourth weight member G28 guides the sheet substrate on the side surface (guide surface G28a). The sheet | seat board | substrate FB is supported by the side surface G28a of the 4th weight member G28 until the to-be-processed surface Fp becomes parallel in 4th part F4 and 5th part F5. .

이상과 같이, 본 실시 형태에 의하면, 제1 추 모양 부재(G25) ~ 제4 추 모양 부재(G28)에 의해서 시트 기판(FB)을 접는 것으로 했으므로, 이 경우에서도, 시트 기판(FB)의 이면(Fg)을 지지하여 시트 기판(FB)을 반송할 수 있다. 이것에 의해, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)에 대한 외부로부터의 접촉을 막으면서 해당 시트 기판(FB)을 반송할 수 있다.As described above, according to the present embodiment, since the sheet substrate FB is folded by the first weight member G25 to the fourth weight member G28, even in this case, the back surface of the sheet substrate FB (Fg) can be supported and the sheet | seat board | substrate FB can be conveyed. Thereby, the said sheet | seat board | substrate FB can be conveyed, preventing the contact from the exterior with respect to the to-be-processed surface Fp of the sheet | seat board | substrate FB.

또한, 제1 추 모양 부재(G25) ~ 제4 추 모양 부재(G28)를 이용하는 경우, 예를 들면 도 13에 나타내는 바와 같이, 제1 추 모양 부재(G25)의 중심축(C5)이 제4 추 모양 부재(G28)의 중심축(C8)과 평행하게 됨과 아울러, 제2 추 모양 부재(G26)의 중심축(C6)이 제3 추 모양 부재(G27)의 중심축(C7)과 평행하게 되도록, 제1 추 모양 부재(G25) ~ 제4 추 모양 부재(G28)를 배치하는 구성으로 해도 상관없다.In addition, when using the 1st weight member G25-the 4th weight member G28, as shown, for example in FIG. 13, the central axis C5 of the 1st weight member G25 is 4th. While parallel to the central axis C8 of the weight member G28, the central axis C6 of the second weight member G26 is parallel to the central axis C7 of the third weight member G27. It is good also as a structure which arrange | positions 1st weight member G25-4th weight member G28 as much as possible.

이 구성에서는, 도 11에 나타내는 구성과 동일한 효과를 나타내게 된다. 게다가, 도 11에 나타내는 구성에 비해, 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)과 제4 부분(F4)과의 거리가 가깝게 되어 있다. 이 때문에, 처리부(10A 및 10B)가 해당 제2 부분(F2)과 제4 부분(F4)과의 사이를 쉽게 이동하게 되어, 바람직한 구성이라고 말할 수 있다.In this structure, the same effect as the structure shown in FIG. In addition, compared with the structure shown in FIG. 11, the distance between the 2nd part F2 and the 4th part F4 of the sheet | seat board | substrate FB becomes close. For this reason, the process parts 10A and 10B easily move between the said 2nd part F2 and the 4th part F4, and it can be said that it is a preferable structure.

또한, 제1 추 모양 부재(G25) ~ 제4 추 모양 부재(G28)의 형상으로서는, 예를 들면 도 11 ~ 도 13에 나타내어진 바와 같이 원추 모양으로 형성된 구성이 바람직하지만, 다른 추 모양(타원추 모양, 다각추 모양)으로 형성된 구성이라도 상관없다. 또, 예를 들면 원기둥 모양 부재의 일부에 테이퍼부를 형성하고, 해당 테이퍼부를 이용하여 시트 기판(FB)을 구부리는 구성이라도 상관없다.In addition, as a shape of 1st weight member G25-4th weight member G28, as shown, for example, as shown in FIG. Conical shape, polygonal shape) may be used. For example, the taper part may be formed in a part of a cylindrical member, and the structure which bends the sheet | seat board | substrate FB using this taper part may be sufficient.

또한, 상기 각 실시 형태에서는, 제1 안내 부재 ~ 제4 안내 부재를 회전시키는 구성을 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 기판 처리 장치(FPA) 내에 고정된 원기둥 모양 부재, 원통 모양 부재나 추 모양 부재를 이용해도 상관없다. 이와 같은 원기둥 모양 부재나 원통 모양 부재, 추 모양 부재를 이용하는 경우, 안내 롤러(G)와 같은 회전 동작이 없는 점 이외는, 안내 롤러(G)와 동일한 동작으로 시트 기판(FB)의 위치 조정을 행할 수 있다. In addition, in each said embodiment, although the structure which rotates the 1st guide member-the 4th guide member was demonstrated as an example, it is not limited to this. For example, you may use the cylindrical member, cylindrical member, or weight member fixed in the substrate processing apparatus FPA. When using such a cylindrical member, a cylindrical member, or a weight member, the positional adjustment of the sheet substrate FB is performed in the same operation as the guide roller G, except that there is no rotational motion such as the guide roller G. I can do it.

또, 상기 각 실시 형태에서는, 제1 안내 부재 ~ 제4 안내 부재로서, 안내 롤러(G)나 원기둥 모양 부재, 원통 모양 부재, 추 모양 부재를 이용하는 경우, 시트 기판(FB)을 이들의 제1 안내 부재 ~ 제4 안내 부재에 접촉시키는 구성을 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 시트 기판(FB)과 각 안내 부재와의 사이를 비접촉 상태로 하는 구성이라도 상관없다. 이와 같은 구성으로서는, 예를 들면, 제1 안내 부재 ~ 제4 안내 부재의 표면에 기체층을 형성하고, 해당 기체층을 통하여 시트 기판(FB)을 유지하는 구성 등을 들 수 있다.Moreover, in each said embodiment, when using the guide roller G, the cylindrical member, the cylindrical member, and the weight member as 1st guide member-4th guide member, the sheet | seat board | substrate FB is the 1st guide member. Although the structure which contacts a guide member-a 4th guide member was mentioned as the example and demonstrated, it is not limited to this. For example, the structure which makes a non-contact state between the sheet | seat board | substrate FB and each guide member may be sufficient. As such a structure, the structure etc. which form the base layer on the surface of the 1st guide member-the 4th guide member, and hold | maintain the sheet | seat board | substrate FB through this base layer are mentioned, for example.

상기 실시 형태에 기재한 제1 안내 부재 ~ 제4 안내 부재는, 예를 들면 시트 기판(FB)의 반송 경로에서 처리 장치(10)의 근방의 위치에 한정되지 않고, 다른 위치에 적절히 배치할 수 있다. 또, 상기 실시 형태의 제1 안내 부재 ~ 제4 안내 부재까지의 구성을, 예를 들면 X 방향으로 반복하여 마련하는 구성으로 해도 상관없다.The 1st guide member-the 4th guide member described in the said embodiment are not limited to the position of the vicinity of the processing apparatus 10 in the conveyance path | route of the sheet | seat board | substrate FB, for example, and can be arrange | positioned suitably in another position. have. Moreover, you may be set as the structure which repeats and provides the structure to the 1st guide member-the 4th guide member of the said embodiment, for example in an X direction.

또, 상기 실시 형태에서는, 처리부(10A)와 처리부(10B)와의 사이에서는 다른 처리가 행해지는 경우를 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 처리부(10A)와 처리부(10B)와의 사이에서 동일한 처리가 행해지는 경우라도, 본 발명의 적용은 가능하다.Moreover, in the said embodiment, although the case where the other process is performed between 10 A of processing parts and 10 B of processing is demonstrated as an example, it is not limited to this. For example, even when the same processing is performed between the processing unit 10A and the processing unit 10B, the present invention can be applied.

또, 상기 실시 형태(예를 들면, 도 11 참조)에서는, 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)과 제4 부분(F4)이 X 방향으로 인접하여 늘어서도록 제3 안내 부재로 시트 기판(FB)을 ＋Y 방향으로 접는 구성으로 했지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 제3 안내 부재에 의해서 시트 기판(FB)을 제2 부분(F2)과는 반대 방향(예를 들면, 도 10에서는 -Y 방향)으로 접는 구성으로 해도 상관없다.In addition, in the said embodiment (for example, see FIG. 11), a sheet | seat board | substrate with a 3rd guide member so that the 2nd part F2 and the 4th part F4 of the sheet | seat board | substrate FB may line adjacently to a X direction. Although FB was configured to be folded in the + Y direction, the present invention is not limited thereto, and the sheet substrate FB may be, for example, opposed to the second portion F2 by the third guide member (for example, FIG. In 10, it is good also as a structure folded to -Y direction.

또, 상기 실시 형태에서는, 제1 부분(F1)과 제2 부분(F2)이 서로 평행하게 될 때까지, 제1 안내 부재로 접어서 겹쳤지만, 제1 부분(F1)에 대해서 제2 부분(F2)이 상측 또는 하측으로 어긋나도록 접어서 겹쳐도 괜찮다. 제2 부분(F2)과 제3 부분(F3), 제3 부분(F3)과 제4 부분(F4), 제4 부분(F4)과 제５ 부분(F5)과의 관계도 평행하게 한정되는 것은 아니다.Moreover, in the said embodiment, although it folded and overlapped with the 1st guide member until the 1st part F1 and the 2nd part F2 became mutually parallel, the 2nd part ( F2) may be folded so as to shift upward or downward. The relationship between the second part F2 and the third part F3, the third part F3 and the fourth part F4, and the fourth part F4 and the fifth part F5 is also limited in parallel. no.

또, 상기 실시 형태에서는, 제1 방향과 제3 방향, 및 제2 방향과 제4 방향의 관계를 서로 평행한 방향으로 하여 설명했지만, 평행하게 한정되지 않고, 평행 이외의 방향이라도 괜찮다.Moreover, in the said embodiment, although the relationship of the 1st direction, the 3rd direction, and the 2nd direction, and the 4th direction was demonstrated as parallel directions, it is not limited to parallel and may be directions other than parallel.

또, 제1 안내 롤러(G21)의 상류측 롤러 장치(R)는, 시트 기판(FB)의 피처리면에 처리를 실행하기 전의 반송 롤러로서 기능을 하기 때문에, 이 롤러 장치(R)를 시트 기판(FB)의 표면 및 이면에 접촉함과 아울러, 시트 기판(FB)을 끼워 넣도록 구성해도 괜찮다. 또, 시트 기판(FB)의 피처리면에 모든 처리를 실행한 후에는, 제4 안내 롤러(G24)의 하류측에, 시트 기판(FB)의 이면 및 표면에 접촉함과 아울러, 시트 기판(FB)을 끼워 넣도록 롤러 장치(R)를 배치해도 괜찮다.Moreover, since the upstream roller apparatus R of the 1st guide roller G21 functions as a conveyance roller before performing a process to the to-be-processed surface of the sheet | seat board | substrate FB, this roller apparatus R is used as a sheet | seat board | substrate. In addition to contacting the front and back surfaces of (FB), you may comprise so that the sheet | seat board | substrate FB may be inserted. Moreover, after performing all the processing to the to-be-processed surface of the sheet | seat board | substrate FB, while contacting the back surface and the surface of the sheet | seat board | substrate FB, the sheet | seat board | substrate FB, while contacting the downstream side of 4th guide roller G24 You may arrange | position the roller apparatus R so that the () may be inserted.

본 발명의 기술 범위는 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 적절히 변경을 더할 수 있다.
The technical scope of this invention is not limited to the said embodiment, A change can be added suitably in the range which does not deviate from the meaning of this invention.

FPA … 기판 처리 장치 　FB … 시트 기판
CONT … 제어부 　Fp … 처리면
G1, G21 … 제1 안내 롤러　 G2, G22 … 제2 안내 롤러
G23 … 제3 안내 롤러 G24 … 제4 안내 롤러
C1 ~ C8 … 중심축
G1a, G2a, G21a - G24a … 롤러 표면　ST … 스테이지 장치
Sa … 지지면 AM … 얼라이먼트 마크
CA … 검출 영역　 G3, G25 … 제1 추 모양 부재
G4, G26 … 제2 추 모양 부재 G27 … 제3 추 모양 부재
G28 … 제4 추 모양 부재 G3a, G4a　G21a ~ G24a … 롤러 표면
G25a ~ G28a … 측면　 10 … 처리 장치
30 … 반송 장치　 40 … 흡착부
51 … 얼라이먼트 카메라　 52, 53 … 조정 기구
61 … 구동 기구　 63 … 구동 기구
64 … 스테이지 구동 기구FPA… Substrate processing apparatus FB. Sheet substrate
CONT… Control unit Fp.. Treatment surface
G1, G21... First guide rollers G2, G22... Second guide roller
G23… Third guide roller G24... 4th guide roller
C1 to C8. Central axis
G1a, G2a, G21a-G24a... Roller surface ST. Stage device
Sa… Support surface AM.. Alignment mark
CA… Detection area G3, G25... First weight member
G4, G26... Second weight member G27... Third weight member
G28… Fourth weight member G3a, G4a G21a to G24a... Roller surface
G25a to G28a... Side 10. Processing device
30 ... Conveying apparatus 40. Adsorption part
51 ... Alignment cameras 52, 53. Fixed mechanism
61. Drive mechanism 63. Drive mechanism
64. Stage drive mechanism

Claims

As a conveying apparatus which conveys a strip | belt-shaped sheet | seat board | substrate,
A first guide member which bends the sheet substrate conveyed from the first direction obliquely and changes the conveying direction of the sheet substrate from the first direction to a second direction different from the first direction;
A second guide member which bends the sheet substrate conveyed from the second direction in an inclined manner and changes the conveying direction of the sheet substrate from the second direction to a third direction different from the second direction;
It is provided in at least one of the said 1st guide member and the said 2nd guide member, and adjusts at least one of the position of the said 1st guide member and the position of the said 2nd guide member, and in the direction which cross | intersects the said 2nd direction The conveying apparatus provided with the adjustment mechanism which adjusts the position of the said sheet | seat board | substrate.

The method according to claim 1,
The said 1st guide member is a conveying apparatus which has a cylindrical member provided with the central axis extended in the diagonal direction with respect to the width direction of the said sheet | seat board | substrate.

The method according to claim 2,
The said 1st guide member is a conveying apparatus provided with the drive mechanism which rotates the said cylindrical member about the said central axis.

The method according to claim 1,
The first guide member has a central axis that is parallel to the width direction of the sheet substrate, and has a weight member whose outer diameter dimension decreases from one end of the central axis toward the other end. Conveying device.

The method of claim 4,
The said 1st guide member is a conveying apparatus provided with the drive mechanism which rotates the said weight member about the said central axis.

The method according to claim 1,
The said 2nd guide member is a conveying apparatus which has a cylindrical member provided with the central axis extended in the diagonal direction with respect to the width direction of the said sheet | seat board | substrate.

The method of claim 6,
The said 2nd guide member is a conveying apparatus provided with the drive mechanism which rotates the said cylindrical member about the said central axis.

The method according to claim 1,
The said 2nd guide member is equipped with the center axis parallel to the width direction of the said sheet | seat board | substrate, and a conveying apparatus which has a weight member whose outer diameter dimension becomes small as it goes to the other end part from the one end part of the said center axis | shaft.

The method according to claim 8,
The said 2nd guide member is a conveying apparatus provided with the drive mechanism which rotates the said weight member about the said central axis.

The method according to any one of claims 1 to 9,
The first guide member has a guide surface that bends the sheet substrate until the surface of the sheet substrate conveyed in the second direction and the surface of the sheet substrate conveyed from the first direction are parallel to each other. Conveying device.

The method according to any one of claims 1 to 10,
The second guide member has a guide surface that bends the sheet substrate until the surface of the sheet substrate conveyed in the third direction and the surface of the sheet substrate conveyed from the second direction are parallel to each other. Conveying device.

The method according to any one of claims 1 to 11,
The said 2nd direction is a conveyance apparatus which is a direction crossing with respect to a said 1st direction.

The method according to any one of claims 1 to 12,
The said 3rd direction is a conveying apparatus parallel to the said 1st direction.

The method according to any one of claims 1 to 13,
The adjustment mechanism,
A first adjusting unit for adjusting the position of the first guide member;
A second adjusting part for adjusting the position of the second guide member;
And a control unit for controlling the first adjustment unit and the second adjustment unit.

The method according to claim 14,
The control unit controls the first guide member and the second guide member to tilt the sheet substrate.

The method according to any one of claims 1 to 15,
It further comprises a mark detection unit for detecting a mark provided on the sheet substrate,
The said adjustment mechanism is a conveying apparatus which adjusts the position of the said sheet board | substrate based on the detection result of the said mark detection part.

The method according to any one of claims 1 to 16,
And a stage device disposed between the first guide member and the second guide member and supporting the sheet substrate and movable at least in the direction in which the sheet substrate is pressed.

A conveying apparatus for conveying a strip-shaped sheet substrate,
It is provided with the processing apparatus which performs a predetermined process with respect to the said sheet substrate,
The substrate processing apparatus in which the conveying apparatus in any one of Claims 1-18 is used as said conveying apparatus.

The method of claim 19,
The said processing apparatus is arrange | positioned so that the said process may be performed with respect to the area | region between the said 1st guide member and the said 2nd guide member of the said conveyance apparatus among the said sheet substrates.

As a conveying apparatus which conveys a strip | belt-shaped sheet | seat board | substrate,
A first supporting the back surface of the sheet substrate and bending the sheet substrate conveyed from the first direction to be inclined to change the conveying direction of the sheet substrate from the first direction to a second direction different from the first direction Guide member,
The second guide member which supports the back surface of the said sheet substrate, bends the said sheet substrate conveyed from the said 2nd direction inclined, and changes the conveyance direction of the said sheet substrate from the said 2nd direction to the 3rd direction different from the said 2nd direction. Wow,
Third guide member which supports the back surface of the said sheet substrate, and inclines the said sheet substrate conveyed from the said 3rd direction, and changes the conveyance direction of the said sheet substrate from the said 3rd direction to the 4th direction different from the said 3rd direction The conveying apparatus characterized by the above-mentioned.

23. The method of claim 21,
The first guide member bends the sheet substrate until the surface of the sheet substrate conveyed from the first direction and the surface of the sheet substrate conveyed in the second direction are parallel to each other. The conveying apparatus which has a.

The method according to claim 21 or 22,
The second guide member bends the sheet substrate until the surface of the sheet substrate conveyed from the second direction and the surface of the sheet substrate conveyed in the third direction are parallel to each other. The conveying apparatus which has a.

The method according to any one of claims 21 to 23,
The third guide surface bends the sheet substrate until the surface of the sheet substrate conveyed from the third direction and the surface of the sheet substrate conveyed in the fourth direction are parallel to each other. The conveying apparatus which has a.

The method according to any one of claims 21 to 24,
At least one of the said 1st guide member, the said 2nd guide member, and the said 3rd guide member has a cylindrical member provided with the central axis extended in the diagonal direction with respect to the width direction of the said sheet | seat board | substrate, The conveying apparatus characterized by the above-mentioned. .

The method according to any one of claims 21 to 24,
At least one of the first guide member, the second guide member, and the third guide member has a central axis that is parallel to the width direction of the sheet substrate, and has an outer diameter as it faces the other end from one end of the central axis. It has a weight member which becomes small in dimension, The conveying apparatus characterized by the above-mentioned.

The method according to any one of claims 21 to 26,
The second direction is a direction intersecting with the first direction.

The method according to any one of claims 21 to 27,
The said 3rd direction is a direction parallel to a said 1st direction, The conveying apparatus characterized by the above-mentioned.

The method according to any one of claims 21 to 28,
The fourth direction is a direction parallel to the second direction.

The method according to any one of claims 21 to 29,
The first guide member has a cylindrical member having a central axis extending in an inclined direction with respect to the width direction of the sheet substrate,
The said 2nd guide member has a cylindrical member provided with the central axis extended in parallel with the central axis of the said 1st guide member, The conveying apparatus characterized by the above-mentioned.

32. The method of claim 30,
The said 3rd guide member has a cylindrical member which has the center axis extended in the direction crossing with respect to the center axis of the said 2nd guide member, The conveying apparatus characterized by the above-mentioned.

The method according to any one of claims 21 to 29,
The first guide member has a central axis that is parallel to the width direction of the sheet substrate, and has a weight member whose outer diameter dimension decreases from one end of the central axis toward the other end,
The second guide member has a central axis extending in parallel with the central axis of the first guide member, and has a weight member whose outer diameter dimension decreases from one end of the central axis toward the other end. Characteristic conveying device.

The method according to claim 32,
The third guide member has a central axis extending in a direction intersecting with the central axis of the second guide member, and further having a weight-shaped member whose outer diameter dimension decreases from one end of the central axis toward the other end. It has a conveyance apparatus characterized by the above-mentioned.

The method according to any one of claims 21 to 33,
The back surface of the sheet substrate is supported, and the sheet substrate conveyed from the fourth direction is bent in an inclined direction with respect to the width direction of the sheet substrate, so that the conveyance direction of the sheet substrate is changed from the fourth direction to the fourth direction. And a fourth guide member for changing to another fifth direction.

A conveying apparatus for conveying a strip-shaped sheet substrate,
It is provided with the processing apparatus which performs a predetermined process with respect to the said sheet substrate,
The conveying apparatus of any one of Claims 21-34 is used as said conveying apparatus, The substrate processing apparatus characterized by the above-mentioned.

As a substrate processing apparatus which performs a predetermined process on the surface of a strip | belt-shaped sheet substrate,
A first guide member which supports the back surface of the sheet substrate and bends the sheet substrate conveyed from the first direction inclined to change the conveying direction of the sheet substrate from the first direction to a second direction different from the first direction; ,
The second guide member which supports the back surface of the said sheet substrate, bends the said sheet substrate conveyed from the said 2nd direction inclined, and changes the conveyance direction of the said sheet substrate from the said 2nd direction to the 3rd direction different from the said 2nd direction. Wow,
Third guide member which supports the back surface of the said sheet substrate, and inclines the said sheet substrate conveyed from the said 3rd direction, and changes the conveyance direction of the said sheet substrate from the said 3rd direction to the 4th direction different from the said 3rd direction Wow,
Fourth guide member which supports the back surface of the said sheet substrate, and inclines the said sheet substrate conveyed from the said 4th direction, and changes the conveyance direction of the said sheet substrate from the said 4th direction to the 5th direction different from the said 4th direction Wow,
A substrate processing apparatus comprising a first processing portion that performs a predetermined process on the surface of the sheet substrate between the first guide member and the second guide member.

37. The method of claim 36,
The first guide member bends the sheet substrate until the surface of the sheet substrate conveyed from the first direction and the surface of the sheet substrate conveyed in the second direction are parallel to each other. To have,
The second guide member bends the sheet substrate until the surface of the sheet substrate conveyed from the second direction and the surface of the sheet substrate conveyed in the third direction are parallel to each other. Has,
The third guide surface bends the sheet substrate until the surface of the sheet substrate conveyed from the third direction and the surface of the sheet substrate conveyed in the fourth direction are parallel to each other. Substrate processing apparatus having a.

The method according to claim 36 or 37,
The first processing section includes a first position provided between the first guide member and the second guide member, and a second position provided between the third guide member and the fourth guide member. It is provided so that a movement is possible between, The substrate processing apparatus characterized by the above-mentioned.

The method according to claim 36 or 37,
And a second processing unit for performing a predetermined treatment on the surface of the sheet substrate between the third guide member and the fourth guide member.

42. The method of claim 39,
The said 1st process part and a said 2nd process part perform a different process, The substrate processing apparatus characterized by the above-mentioned.