KR101803692B1

KR101803692B1 - Processing device and transfer device for a strip-shaped sheet substrate

Info

Publication number: KR101803692B1
Application number: KR1020177015676A
Authority: KR
Inventors: 도모나리 스즈키
Original assignee: 가부시키가이샤 니콘
Priority date: 2010-02-12
Filing date: 2011-02-10
Publication date: 2017-11-30
Also published as: KR101747989B1; KR20120125984A; WO2011099562A1; TW201144194A; JPWO2011099562A1; TWI627120B; TWI592353B; CN102803109A; KR20170069297A; TW201733890A; CN102803109B; JP5765240B2

Abstract

반송 장치는, 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)를 구비한다. 띠 모양의 시트 기판(FB) 즉 수지 필름 또는 포일(foil)은, 제1 안내 롤러(G1)로 경사지게 구부려지는 것에 의해 뒤집어지고, 제2 안내 롤러(G2)로도 경사지게 구부러지는 것에 의해 뒤집어진다. 기판(FB) 상의 얼라이먼트 마크(AM)의 얼라이먼트 카메라(51)에 의한 검출에 근거하여, 조정 기구(52, 53)는, 안내 롤러(G1, G2)를 시프트 또는 틸트한다. 이 시프트(평행 이동) 또는 틸트는, 제1 및 제2 안내 롤러(G1, G2)의 사이의 기판(FB)을 횡단 방향으로 이동한다. 처리 장치(10)는 기판(FB)의 면(Fp) 상에 유기 EL 소자를 형성한다. 안내 롤러(G1, G2) 대신에 원추(G3, G4)가 사용될 수 있다. 제3 안내 롤러(G23) 또는 원추(G27)가 부가될 수 있다. 게다가, 제4 안내 롤러(G24) 또는 원추(G28)가 부가될 수 있다. 안내 롤러 및 원추는, 기판(FB)의 피처리면(Fp)에 접촉하지 않는다. 기판(FB)의 횡단 방향의 이동시에, 기판(FB)에 주름이 발생하지는 않는다. The conveying apparatus has a first guide roller G1 and a second guide roller G2. The band-shaped sheet substrate FB, that is, the resin film or the foil is inverted by being bent obliquely by the first guide roller G1 and inverted by being inclinedly bent by the second guide roller G2. The adjusting mechanisms 52 and 53 shift or tilt the guide rollers G1 and G2 based on the detection of the alignment mark AM on the substrate FB by the alignment camera 51. [ This shift (parallel movement) or tilting moves the substrate FB between the first and second guide rollers G1 and G2 in the transverse direction. The processing apparatus 10 forms an organic EL element on the surface Fp of the substrate FB. Cones G3 and G4 may be used instead of the guide rollers G1 and G2. A third guide roller G23 or a cone G27 may be added. In addition, a fourth guide roller G24 or cone G28 can be added. The guide roller and the cone do not contact the surface Fp of the substrate FB. Wrinkles do not occur on the substrate FB when the substrate FB is moved in the transverse direction.

Description

BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a conveying apparatus and a processing apparatus for a strip-

본 발명은, 반송 장치 및 기판 처리 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a transfer apparatus and a substrate processing apparatus.

디스플레이 장치 등의 표시 장치를 구성하는 표시 소자로서, 예를 들면 액정 표시 소자, 유기 전계 발광(유기 EL) 소자, 전자 페이퍼(paper)에 이용되는 전기 영동(泳動) 소자 등이 알려져 있다. 현재, 이들의 표시 소자로서, 기판 표면에 박막 트랜지스터로 불리는 스위칭 소자(Thin Film Transistor：TFT)를 형성한 후, 그 위에 각각의 표시 디바이스를 형성하는 능동적 소자(액티브 디바이스)가 주류가 되어오고 있다. BACKGROUND ART As display elements constituting a display device such as a display device, there are known liquid crystal display elements, organic electroluminescence (EL) elements, electrophoretic elements used in electronic paper, and the like. At present, active devices (active devices) for forming respective display devices thereon have become mainstream after forming a switching element (Thin Film Transistor: TFT) called a thin film transistor on the substrate surface as their display elements .

근년에는, 시트 모양의 기판(예를 들면 필름 부재 등) 상에 표시 소자를 형성하는 기술이 제안되고 있다. 이와 같은 기술로서, 예를 들면 롤·투·롤 방식(이하, 단지 「롤 방식」이라고 표기함)으로 불리는 수법이 알려져 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조). 롤 방식은, 기판 공급측의 공급용 롤러에 감긴 1매의 시트 모양의 기판(예를 들면, 띠 모양의 필름 부재)을 송출함과 아울러 송출된 기판을 기판 회수측의 회수용 롤러로 권취하면서 기판을 반송한다. In recent years, a technique of forming a display element on a sheet-like substrate (for example, a film member or the like) has been proposed. As such a technique, for example, a technique called a roll-to-roll process (hereinafter simply referred to as "roll process") is known (see, for example, Patent Document 1). In the roll method, a single sheet-like substrate (for example, a strip-shaped film member) wound on a supply roller on a substrate supply side is fed out, and the outgoing substrate is wound on a return roller on the substrate recovery side, .

그리고, 기판이 송출되고 나서 권취될 때까지의 사이에, 예를 들면 복수의 반송 롤러 등을 이용하여 기판을 반송하면서, 복수의 처리 장치를 이용하여, TFT를 구성하는 게이트 전극, 게이트 산화막, 반도체막, 소스·드레인 전극 등을 형성하고, 기판의 피처리면 상에 표시 소자의 구성 요소를 순차 형성한다. 예를 들면, 유기 EL소자를 형성하는 경우에는, 발광층, 양극, 음극, 전기 회로 등을 기판 상에 순차 형성한다. A plurality of processing apparatuses are used to transfer a substrate, such as a gate electrode, a gate oxide film, and a semiconductor constituting a TFT, while transferring the substrate by using a plurality of transport rollers or the like, for example, A source, a drain electrode, and the like are formed, and the constituent elements of the display element are sequentially formed on the surface of the substrate to be processed. For example, in the case of forming an organic EL device, a light emitting layer, a cathode, a cathode, an electric circuit and the like are sequentially formed on a substrate.

표시 소자의 형성시에는, 예를 들면 구성 요소를 고정밀도로 기판 상에 배치하기 때문에, 처리 장치와 기판과의 사이에서 위치 맞춤이 필요하다. 이에, 기판의 반송 방향과 직교하는 방향에서의 단부의 각각에, 위치 조정용 롤러를 배치하고, 이 위치 조정용 롤러의 회전 속도를 조정함에 의해서, 기판의 위치를 조정하는 기술이 알려져 있다. At the time of forming the display element, for example, the components are arranged on the substrate with high accuracy, so that alignment between the processing apparatus and the substrate is required. There is known a technique for adjusting the position of the substrate by disposing a position adjustment roller at each end of the substrate in a direction perpendicular to the transport direction of the substrate and adjusting the rotation speed of the position adjustment roller.

특허 문헌 1 : 국제공개 제 2006／100868호Patent Document 1: International Publication No. 2006/100868

그렇지만, 상기의 위치 조정에서는, 위치 조정용 롤러 사이의 회전 속도의 차이에 의해서, 기판에 대해서 반송 방향과는 다른 방향으로 힘이 작용하여, 기판에 예를 들면 주름 등이 발생할 가능성이 있다. However, in the position adjustment described above, there is a possibility that a force acts on the substrate in a direction different from the carrying direction due to the difference in rotational speed between the position adjusting rollers, for example, wrinkles or the like may occur on the substrate.

또, 기판의 반송시에 피처리면이 예를 들면 반송 롤러에 접촉하여, 피처리면의 처리 상태에 영향을 미칠 가능성이 있다. 그 때문에, 기판의 피처리면에 각종 처리를 실행하는 전후에서는, 기판의 피처리면에 대한 접촉을 극력(極力) 적게 할 정도의 구성이 요구되고 있다. In addition, when the substrate is transported, the surface to be treated may come into contact with, for example, the transport roller, thereby affecting the processing state of the surface to be treated. For this reason, there is a demand for a configuration that minimizes the contact of the substrate with respect to the surface to be processed before and after various treatments are performed on the surface to be treated of the substrate.

본 발명에 관한 형태는, 기판의 위치 결정 정밀도를 향상할 수 있는 반송 장치 및 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 발명에 관한 형태의 다른 목적은, 기판의 피처리면에의 접촉을 억제하면서 기판을 반송할 수 있는 반송 장치 및 기판 처리 장치를 제공하는 것에 있다. An aspect of the present invention is to provide a transport apparatus and a substrate processing apparatus capable of improving positioning accuracy of a substrate. Another object of the present invention is to provide a transport apparatus and a substrate processing apparatus capable of transporting a substrate while suppressing contact of the substrate with a surface to be processed.

본 발명의 제1 형태에 따르면, 띠 모양의 시트 기판을 반송하는 반송 장치로서, 제1 방향으로부터(또는 제1 방향으로) 반송되는 시트 기판을 경사지게 구부려, 시트 기판의 반송 방향을 제1 방향으로부터 해당 제1 방향과 다른 제2 방향으로 바꾸는 제1 안내 부재와, 제2 방향으로부터(또는 제2 방향으로) 반송되는 시트 기판을 경사지게 구부려, 시트 기판의 반송 방향을 제2 방향으로부터 제2 방향과 다른 제3 방향으로 바꾸는 제2 안내 부재와, 제1 안내 부재 및 제2 안내 부재의 적어도 일방에 마련되며, 제1 안내 부재의 위치 및 제2 안내 부재의 위치의 적어도 일방을 조정하고, 제2 방향과 교차하는 방향에서의 시트 기판의 위치를 조정하는 조정 기구를 구비하는 반송 장치가 제공된다.According to the first aspect of the present invention, there is provided a conveyance device for conveying a belt-like sheet substrate, wherein a sheet substrate conveyed from the first direction (or in the first direction) is bent obliquely, (Or in a second direction) of the sheet substrate in a second direction different from the first direction, and a sheet substrate conveyed from the second direction At least one of the first guide member and the second guide member is arranged to adjust at least one of the position of the first guide member and the position of the second guide member, And an adjustment mechanism for adjusting the position of the sheet substrate in a direction crossing the direction of the sheet.

본 발명의 제2 형태에 따르면, 띠 모양의 시트 기판을 반송하는 반송 장치와, 시트 기판에 대해서 소정의 처리를 행하는 처리 장치를 구비하며, 반송 장치로서, 상기 형태의 반송 장치가 이용되는 기판 처리 장치가 제공된다.According to a second aspect of the present invention, there is provided a transfer apparatus comprising: a transfer device for transferring a strip-shaped sheet substrate; and a processing device for performing a predetermined process on the sheet substrate, Device is provided.

본 발명의 제3 형태에 따르면, 띠 모양의 시트 기판을 반송하는 반송 장치로서, 시트 기판의 이면(裏面)을 지지하고, 제1 방향으로부터(또는 제1 방향으로) 반송되는 시트 기판을 경사지게 구부려, 시트 기판의 반송 방향을 제1 방향으로부터 제1 방향과 다른 제2 방향으로 바꾸는 제1 안내 부재와, 시트 기판의 이면을 지지하고, 제2 방향으로부터(또는 제2 방향으로) 반송되는 시트 기판을 경사지게 구부려, 시트 기판의 반송 방향을 제2 방향으로부터 제2 방향과 다른 제3 방향으로 바꾸는 제2 안내 부재와, 시트 기판의 이면을 지지하고, 제3 방향으로부터(또는 제3 방향으로) 반송되는 시트 기판을 경사지게 구부려, 시트 기판의 반송 방향을 제3 방향으로부터 제3 방향과 다른 제4 방향으로 바꾸는 제3 안내 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 장치가 제공된다.According to a third aspect of the present invention, there is provided a conveyance device for conveying a belt-like sheet substrate, wherein the sheet substrate conveyed from the first direction (or in the first direction) is inclinedly bent A first guide member which supports the back surface of the sheet substrate and which is transported from the second direction (or in the second direction), a first guide member which changes the transport direction of the sheet substrate from a first direction to a second direction different from the first direction, A second guide member for supporting the back surface of the sheet substrate and changing the conveying direction of the sheet substrate from a second direction to a third direction different from the second direction; And a third guide member for bending the sheet substrate in an inclined manner and changing the conveying direction of the sheet substrate from a third direction to a fourth direction different from the third direction, Is provided.

본 발명의 제4 형태에 따르면, 띠 모양의 시트 기판을 반송하는 반송 장치와, 시트 기판에 대해서 소정의 처리를 행하는 처리 장치를 구비하며, 반송 장치로서, 상기 형태의 반송 장치가 이용되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치가 제공된다. According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a conveying apparatus comprising: a conveying device for conveying a belt-like sheet substrate; and a processing device for performing a predetermined process on the sheet substrate, Is provided.

본 발명의 제5 형태에 따르면, 띠 모양의 시트 기판의 표면에 소정의 처리를 실행하는 기판 처리 장치로서, 시트 기판의 이면을 지지하고, 제1 방향으로부터(또는 제1 방향으로) 반송되는 시트 기판을 경사지게 구부려, 시트 기판의 반송 방향을 제1 방향으로부터 해당 제1 방향과 다른 제2 방향으로 바꾸는 제1 안내 부재와, 시트 기판의 이면을 지지하고, 제2 방향으로부터(또는 제2 방향으로) 반송되는 시트 기판을 경사지게 구부려, 시트 기판의 반송 방향을 제2 방향으로부터 해당 제2 방향과 다른 제3 방향으로 바꾸는 제2 안내 부재와, 시트 기판의 이면을 지지하고, 제3 방향으로부터(또는 제3 방향으로) 반송되는 시트 기판을 경사지게 구부려, 시트 기판의 반송 방향을 제3 방향으로부터 해당 제3 방향과 다른 제4 방향으로 변환하는 제3 안내 부재와, 시트 기판의 이면을 지지하고, 제4 방향으로부터(또는 제4 방향으로) 반송되는 시트 기판을 경사지게 구부려, 시트 기판의 반송 방향을 제4 방향으로부터 해당 제4 방향과 다른 제５ 방향으로 바꾸는 제4 안내 부재와, 제1 안내 부재와 제2 안내 부재와의 사이에서, 시트 기판의 표면에 소정의 처리를 행하는 제1 처리부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치가 제공된다. According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a substrate processing apparatus for carrying out a predetermined process on a surface of a band-shaped sheet substrate, the substrate processing apparatus comprising: a sheet transporting unit for transporting the sheet transported from the first direction A first guide member for bending the substrate obliquely to change the conveyance direction of the sheet substrate from a first direction to a second direction different from the first direction, and a second guide member for supporting the back surface of the sheet substrate, A second guide member for bending the conveyed sheet substrate in an inclined manner and changing the conveying direction of the sheet substrate from a second direction to a third direction different from the second direction; A third guide member for bending the conveyed sheet substrate in an inclined manner to convert the conveying direction of the sheet substrate from a third direction to a fourth direction different from the third direction, A fourth guide for supporting the back surface of the substrate and curving the sheet substrate conveyed from the fourth direction (or in the fourth direction) in an inclined manner to change the conveying direction of the sheet substrate from the fourth direction to the fifth direction different from the fourth direction And a first processing unit for performing a predetermined process on the surface of the sheet substrate between the first guide member and the second guide member.

본 발명의 형태에 의하면, 종래에 비해, 높은 위치 결정 정밀도로 기판의 위치를 조정할 수 있다. 또, 본 발명의 형태에 의하면, 기판의 피처리면으로의 접촉을 억제하면서 기판을 반송할 수 있다. According to the aspect of the present invention, the position of the substrate can be adjusted with high positioning accuracy as compared with the prior art. Further, according to the aspect of the present invention, the substrate can be transported while suppressing contact of the substrate with the object surface.

도 1은 제1 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 개략 구성을 나타내는 전체도.
도 2는 본 실시 형태에 관한 반송 장치의 일부 구성을 나타내는 측단면도.
도 3은 본 실시 형태에 관한 반송 장치의 일부 구성을 나타내는 평면도.
도 4는 본 실시 형태에 관한 기판 처리 장치에 의한 반송 동작을 나타내는 도면.
도 5는 제2 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 반송 동작을 나타내는 도면.
도 6은 제3 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 반송 장치의 일부 구성을 나타내는 도면.
도 7은 본 실시 형태에 관한 반송 장치의 일부 구성을 나타내는 사시도.
도 8은 본 실시 형태에 관한 반송 장치의 다른 구성을 나타내는 도면.
도 9는 제4 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 개략 구성을 나타내는 전체도.
도 10은 본 실시 형태에 관한 반송 장치의 일부 구성을 나타내는 평면도.
도 11은 제5 실시 형태에 관한 반송 장치의 일부 구성을 나타내는 도면.
도 12는 제6 실시 형태에 관한 반송 장치의 일부 구성을 나타내는 도면.
도 13은 본 실시 형태에 관한 반송 장치의 다른 구성을 나타내는 도면. BRIEF DESCRIPTION OF DRAWINGS FIG. 1 is a whole view showing a schematic configuration of a substrate processing apparatus according to a first embodiment; FIG.
Fig. 2 is a side sectional view showing a part of the configuration of the transport apparatus according to the embodiment; Fig.
3 is a plan view showing a part of the configuration of the transport apparatus according to the embodiment;
4 is a view showing a carrying operation by the substrate processing apparatus according to the embodiment;
5 is a view showing a carrying operation of the substrate processing apparatus according to the second embodiment;
6 is a view showing a part of the configuration of a transfer apparatus of the substrate processing apparatus according to the third embodiment;
7 is a perspective view showing a part of the configuration of the transport apparatus according to the embodiment;
8 is a view showing another configuration of the transport apparatus according to the embodiment;
9 is a whole view showing a schematic configuration of a substrate processing apparatus according to a fourth embodiment;
10 is a plan view showing a part of the configuration of the transport apparatus according to the embodiment.
11 is a view showing a part of the configuration of a transport apparatus according to a fifth embodiment;
12 is a view showing a part of the configuration of a transport apparatus according to a sixth embodiment;
13 is a view showing another configuration of the transport apparatus according to the embodiment;

[제1 실시 형태］[First Embodiment]

도 1은, 제1 실시 형태에 관한 기판 처리 장치(FPA)의 구성을 나타내는 도면이다. 1 is a view showing a configuration of a substrate processing apparatus (FPA) according to the first embodiment.

도 1에 나타내는 바와 같이, 기판 처리 장치(FPA)는, 시트 기판(예를 들면, 띠 모양의 필름 부재, FB)를 공급하는 기판 공급부(SU), 시트 기판(FB)의 표면(피처리면)에 대해서 처리를 행하는 기판 처리부(PR), 시트 기판(FB)을 회수하는 기판 회수부(CL), 및, 이들의 각 부를 제어하는 제어부(CONT)를 가지고 있다. 기판 처리 장치(FPA)는, 예를 들면 공장 등에 설치된다.1, the substrate processing apparatus FPA includes a substrate supply section SU for supplying a sheet substrate (for example, a strip-shaped film member FB), a surface (an object surface) of the sheet substrate FB, A substrate processing unit PR for carrying out processing on the sheet substrate FB, a substrate recovery unit CL for recovering the sheet substrate FB, and a control unit CONT for controlling these parts. The substrate processing apparatus (FPA) is installed in, for example, a factory.

기판 처리 장치(FPA)는, 기판 공급부(SU)로부터 시트 기판(FB)이 송출되고 나서, 기판 회수부(CL)에서 시트 기판(FB)을 회수할 때까지의 사이에, 시트 기판(FB)의 표면에 각종 처리를 실행하는 롤·투·롤 방식(이하, 단지 「롤 방식」이라고 표기함)의 장치이다. 기판 처리 장치(FPA)는, 시트 기판(FB) 상에 예를 들면 유기 EL소자, 액정 표시 소자 등의 표시 소자(전자 디바이스)를 형성하는 경우에 이용할 수 있다. 물론, 처리 장치(FPA)는, 이들의 소자 이외의 소자를 형성하는 경우에도 이용할 수 있다.The substrate processing apparatus FPA includes a sheet substrate FB in which the sheet substrate FB is discharged from the substrate supply unit SU until the sheet substrate FB is recovered from the substrate recovery unit CL, (Hereinafter simply referred to as " roll system ") in which various treatments are carried out on the surface of a substrate. The substrate processing apparatus FPA can be used in the case of forming display elements (electronic devices) such as organic EL elements and liquid crystal display elements on the sheet substrate FB. Of course, the processing apparatus (FPA) can also be used when forming elements other than these elements.

기판 처리 장치(FPA)에서 처리 대상이 되는 시트 기판(FB)으로서는, 예를 들면 수지 필름이나 스테인리스 강 등의 박(포일(foil))을 이용할 수 있다. 예를 들면, 수지 필름은, 폴리에틸렌 수지, 폴리프로필렌 수지, 폴리에스테르 수지, 에틸렌 비닐 공중합체 수지, 폴리염화비닐 수지, 셀룰로오스 수지, 폴리아미드 수지, 폴리이미드 수지, 폴리카보네이트 수지, 폴리스티렌 수지, 아세트산 비닐 수지 등의 재료를 이용할 수 있다.As the sheet substrate FB to be processed in the substrate processing apparatus (FPA), for example, a foil such as a resin film or stainless steel can be used. For example, the resin film may be formed of a resin such as polyethylene resin, polypropylene resin, polyester resin, ethylene vinyl copolymer resin, polyvinyl chloride resin, cellulose resin, polyamide resin, polyimide resin, polycarbonate resin, polystyrene resin, A resin or the like can be used.

시트 기판(FB)의 Y 방향(짧은 방향)의 치수는 예를 들면 1m ~ 2m 정도로 형성되어 있으며, X 방향(긴 방향)의 치수는 예를 들면 10m 이상으로 형성되어 있다. 물론, 이 치수는 일례에 불과하며, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 시트 기판(FB)의 Y 방향의 치수가 1m 이하, 또는 50cm 이하라도 상관없고, 2m 이상이라도 상관없다. 또, 시트 기판(FB)의 X 방향의 치수가 10m 이하라도 상관없다.The dimension of the sheet substrate FB in the Y direction (short direction) is, for example, about 1 m to 2 m, and the dimension in the X direction (long direction) is, for example, 10 m or more. Of course, this dimension is merely an example, and the present invention is not limited thereto. For example, the size of the sheet substrate FB in the Y direction may be 1 m or less, or 50 cm or less, or 2 m or more. The size of the sheet substrate FB in the X direction may be 10 m or less.

시트 기판(FB)은, 예를 들면 가요성을 가지도록 형성되어 있다. 여기서 가요성이란, 예를 들면 기판에 적어도 자중(自重) 정도의 소정의 힘을 가해도 단선하거나 파단하거나 하는 것은 아니고, 해당 기판을 굽히는 것이 가능한 성질을 말한다. 또, 예를 들면 상기 소정의 힘에 의해서 굴곡하는 성질도 가요성에 포함된다. 또, 상기 가요성은, 해당 기판의 재질, 크기, 두께, 또는 온도 등의 환경 등에 따라 바뀐다. 또한, 시트 기판(FB)으로서는, 1매의 띠 모양의 기판을 이용해도 상관없지만, 복수의 단위 기판을 접속하여 띠 모양으로 형성되는 구성으로 해도 상관없다.The sheet substrate FB is formed, for example, to have flexibility. Here, the flexibility refers to a property that, for example, a predetermined force of about at least its own weight is applied to a substrate, not breaking or breaking, but bending the substrate. Also, for example, the property of bending by the predetermined force is included in the flexibility. In addition, the flexibility varies depending on the material, size, thickness, temperature, etc. of the substrate, and the like. As the sheet substrate FB, one strip-shaped substrate may be used, but a configuration in which a plurality of unit substrates are connected and formed in a band shape may be employed.

시트 기판(FB)은, 비교적 고온(예를 들면 200℃ 정도)의 열을 받아도 치수가 실질적으로 변하지 않도록(열변형이 작음) 열팽창 계수가 비교적 작은 것이 바람직하다. 예를 들면, 무기 필러(filler)를 수지 필름에 혼합하여 열팽창 계수를 작게 할 수 있다. 무기 필러의 예로서는, 산화 티탄, 산화 아연, 알루미나, 산화 규소 등을 들 수 있다.It is preferable that the sheet substrate FB has a relatively small coefficient of thermal expansion so that the dimension does not substantially change (thermal deformation is small) even if the sheet substrate FB receives heat at a relatively high temperature (for example, about 200 DEG C). For example, an inorganic filler may be mixed with a resin film to reduce the thermal expansion coefficient. Examples of the inorganic filler include titanium oxide, zinc oxide, alumina, silicon oxide and the like.

기판 공급부(SU)는, 예를 들면 롤 모양으로 감긴 시트 기판(FB)을 기판 처리부(PR)로 송출하여 공급한다. 기판 공급부(SU)에는, 예를 들면 시트 기판(FB)을 감는 축부나 해당 축부를 회전시키는 회전 구동원 등이 마련되어 있다. 대체적 및／또는 추가적으로, 기판 공급부(SU)는, 예를 들면 롤 모양으로 감긴 상태의 시트 기판(FB)을 덮는 커버부 등이 마련된 구성이라도 상관없다.The substrate feed unit SU feeds and feeds the sheet substrate FB wound, for example, in a roll shape to the substrate processing unit PR. The substrate supply unit SU is provided with, for example, a shaft portion around which the sheet substrate FB is wound, a rotation drive source for rotating the shaft portion, and the like. Alternatively, and / or additionally, the substrate supply section SU may be constituted by a cover section or the like which covers, for example, a sheet substrate FB wound in a roll shape.

기판 회수부(CL)는, 기판 처리부(PR)로부터의 시트 기판(FB)을 예를 들면 롤 모양으로 권취하여 회수한다. 기판 회수부(CL)에는, 기판 공급부(SU)와 마찬가지로, 시트 기판(FB)을 감기 위한 축부나 해당 축부를 회전시키는 회전 구동원, 회수한 시트 기판(FB)을 덮는 커버부 등이 마련되어 있다. 대체적 및／또는 추가적으로, 기판 처리부(PR)에서 시트 기판(FB)이 예를 들면 패널(panel) 모양으로 절단되는 경우 등에는 예를 들면 시트 기판(FB)을 겹친 상태로 회수하는 등, 기판 회수부(CL)는, 롤 모양으로 감은 상태와는 다른 상태로 시트 기판(FB)을 회수하는 구성이라도 상관없다.The substrate collecting section CL collects the sheet substrate FB from the substrate processing section PR, for example, in the form of a roll. The substrate recovery unit CL is provided with a shaft for winding the sheet substrate FB, a rotation drive source for rotating the shaft, and a cover unit for covering the recovered sheet substrate FB, as in the case of the substrate supply unit SU. Alternatively, and / or additionally, in the case where the sheet substrate FB is cut, for example, in the form of a panel in the substrate processing section PR, for example, the sheet substrates FB are collected in an overlapped state, The portion CL may be configured to recover the sheet substrate FB in a state different from the state of being rolled up.

기판 처리부(PR)는, 기판 공급부(SU)로부터 공급되는 시트 기판(FB)을 기판 회수부(CL)로 반송함과 아울러, 반송 과정에서 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)에 대해서 처리를 행한다. 기판 처리부(PR)는, 예를 들면 처리 장치(10), 반송 장치(30) 및 얼라이먼트 장치(50) 등을 가지고 있다.The substrate processing section PR transports the sheet substrate FB fed from the substrate feed section SU to the substrate return section CL and also performs the process on the processed surface Fp of the sheet substrate FB in the conveying process . The substrate processing section PR has, for example, a processing apparatus 10, a transport apparatus 30, an alignment apparatus 50, and the like.

처리 장치(10)는, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)에 대해서 예를 들면 유기 EL소자를 형성하기 위한 각종 장치를 가지고 있다. 이와 같은 장치로서는, 예를 들면 피처리면(Fp) 상에 격벽을 형성하기 위한 격벽 형성 장치, 유기 EL소자를 구동하기 위한 전극을 형성하기 위한 전극 형성 장치, 발광층을 형성하기 위한 발광층 형성 장치 등을 들 수 있다. 보다 구체적으로는, 액적(液滴) 도포 장치(예를 들면 잉크젯형 도포 장치, 스핀 코트(spin coat)형 도포 장치 등), 증착 장치, 스퍼터링(sputtering) 장치 등의 성막(成膜) 장치나, 노광 장치, 현상 장치, 표면 개질 장치, 세정 장치 등을 들 수 있다. 이들의 각 장치는, 예를 들면 시트 기판(FB)의 반송 경로 상에 적절히 마련되어 있다. The processing apparatus 10 has various apparatuses for forming, for example, organic EL elements on the surface Fp of the sheet substrate FB. Examples of such devices include a barrier-wall forming apparatus for forming barrier ribs on the surface to be treated Fp, an electrode forming apparatus for forming electrodes for driving organic EL elements, a light-emitting layer forming apparatus for forming a light- . More specifically, a film forming apparatus such as a droplet applying apparatus (for example, an ink jet type applying apparatus, a spin coat type applying apparatus, etc.), a vapor deposition apparatus, a sputtering apparatus, , An exposure apparatus, a developing apparatus, a surface modifying apparatus, and a cleaning apparatus. Each of these devices is suitably provided on, for example, a conveyance path of the sheet substrate FB.

예를 들면, 2 이상의 처리 장치를 반송 방향을 따라서 배치할 수 있다.For example, two or more processing apparatuses can be disposed along the transport direction.

반송 장치(30)는, 기판 처리부(PR) 내에서 예를 들면 시트 기판(FB)을 기판 회수부(CL)를 향해서 반송하는 롤러 장치(R)와, 처리 장치(10)를 사이에 두도록 해당 처리 장치(10)의 상류측 및 하류측에 배치되는 안내 롤러(G)를 가지고 있다. 롤러 장치(R)는, 시트 기판(FB)의 반송 경로를 따라서 예를 들면 복수 마련되어 있다. 복수의 롤러 장치(R) 중 적어도 일부의 롤러 장치(R)에는, 구동 기구(미도시)가 장착되어 있다. 이와 같은 롤러 장치(R)가 회전하는 것에 의해, 시트 기판(FB)이 X축 방향으로 반송되도록 되어 있다. 복수의 롤러 장치(R) 중 예를 들면 일부의 롤러 장치(R)가 반송 방향과 직교하는 방향으로 이동 가능하게 마련된 구성이라도 상관없다.The conveying device 30 includes a roller device R for conveying the sheet substrate FB toward the substrate collecting part CL in the substrate processing part PR, And guide rollers G disposed on the upstream side and the downstream side of the processing apparatus 10. A plurality of roller units R are provided along the conveyance path of the sheet substrate FB, for example. A drive mechanism (not shown) is mounted on at least a part of the roller devices R among the plurality of roller devices R. By rotating the roller device R as described above, the sheet substrate FB is conveyed in the X-axis direction. For example, a part of the roller apparatus R among the plurality of roller apparatuses R may be provided so as to be movable in a direction perpendicular to the carrying direction.

또, 본 실시 형태에서의 반송 장치(30)는, 시트 기판(FB)의 반송 방향에 관해서, 안내 롤러(G)의 상류측 및 하류측에, 시트 기판(FB)에 장력이 가해지지 않도록, 시트 기판(FB)에 느슨해짐부(미도시)를 만들고 있다.The conveying apparatus 30 according to the present embodiment is arranged such that no tension is applied to the sheet substrate FB on the upstream side and the downstream side of the guide roller G with respect to the conveying direction of the sheet substrate FB, And a loosened portion (not shown) is formed on the sheet substrate FB.

도 2 및 도 3은, 처리 장치(10) 및 안내 롤러(G)의 구성을 나타내는 개략도이다. 도 2는, 기판 처리 장치(FPA)를 측방(側方, ＋X 방향)으로부터 보았을 때의 구성을 나타내고 있다. 도 3은, 기판 처리 장치(FPA)를 상측(＋Z 방향)으로부터 보았을 때의 구성을 나타내고 있다.Figs. 2 and 3 are schematic views showing the structures of the processing apparatus 10 and the guide roller G. Fig. Fig. 2 shows a configuration of the substrate processing apparatus (FPA) when viewed from the side (lateral direction, + X direction). Fig. 3 shows the configuration when the substrate processing apparatus FPA is viewed from above (+ Z direction).

도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 안내 롤러(G)는, 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)를 가지고 있다. 제1 안내 롤러(G1)는, 예를 들면 원기둥 모양이나 원통 모양 등으로 형성되어 있으며, 처리 장치(10)에 대해서 시트 기판(FB)의 반송 방향의 상류측에 배치되어 있다. 제2 안내 롤러(G2)는, 예를 들면 원기둥 모양이나 원통 모양 등으로 형성되어 있으며, 처리 장치(10)에 대해서 시트 기판(FB)의 반송 방향의 하류측에 배치되어 있다.As shown in Figs. 2 and 3, the guide roller G has a first guide roller G1 and a second guide roller G2. The first guide roller G1 is formed in, for example, a cylindrical shape or a cylindrical shape, and is disposed on the upstream side of the processing device 10 in the transport direction of the sheet substrate FB. The second guide roller G2 is formed in, for example, a cylindrical shape or a cylindrical shape, and is disposed on the downstream side of the processing device 10 in the conveying direction of the sheet substrate FB.

제1 안내 롤러(G1)는, 해당 제1 안내 롤러(G1)의 상류측으로부터 제1 방향(＋X 방향)으로 반송되어 오는 시트 기판(FB)의 제1 부분 (제1 안내 롤러(G1)로 안내되기 전의 부분, 즉, 제1 안내 롤러(G1)에 대해, 시트 기판(FB)의 상류측 부분, F1)의 짧은 방향(폭 방향：여기에서는 Y 방향)에 대해서, 중심축(C1)이 경사 방향으로 기울도록 배치되어 있다. 제1 안내 롤러(G1)는, 롤러 표면(안내면, G1a)에서 시트 기판(FB)의 이면을 안내한다. The first guide roller G1 is rotatably supported by a first portion of the sheet substrate FB which is conveyed in the first direction (+ X direction) from the upstream side of the first guide roller G1 With respect to the portion before the guide, that is, the first guide roller G1, in the short direction (the width direction: here the Y direction) of the upstream side portion F1 of the sheet substrate FB, And is inclined in the oblique direction. The first guide roller G1 guides the back surface of the sheet substrate FB on the roller surface (guide surface G1a).

또한, 제1 안내 롤러(G1)의 상류측으로부터 반송되어 오는 시트 기판(FB)은, 도 2에서, 시트 기판(FB)의 이면(Fg)이 상측을 향하고 있는 상태이다.The sheet substrate FB conveyed from the upstream side of the first guide roller G1 is in a state in which the back face Fg of the sheet substrate FB is directed upward in Fig.

제1 안내 롤러(G1)는, 시트 기판(FB)을 해당 시트 기판(FB)의 짧은 방향에 대해서 경사 방향으로 구부림과 아울러, 제1 안내 롤러(G1)의 롤러 표면을 따라서 시트 기판(FB)을 접는 것에 의해서, 시트 기판(FB)의 반송 방향을 상기 제1 방향으로부터 제2 방향(－Y 방향)으로 변환한다. 본 실시 형태에서, 제1 안내 롤러(G1)는, 시트 기판(FB)을 실질적으로 경사지게 구부릴 수 있다. 시트 기판(FB)은 제1 안내 롤러(G1)를 통하여 비틂(twist)을 수반하여 구부러질 수 있다. 시트 기판(FB)에는, 제1 안내 롤러(G1)로 안내되는 부분에서, 반송 방향(제1 방향)에 대해서 경사한, 부분적인 둘레면이 형성될 수 있다. 제1 방향(＋X 방향)의 진행 방향을 가지는 시트 기판(FB)이 제1 안내 롤러(G1)로 들어간다. 제2 방향(－Y 방향)의 진행 방향을 가지는 시트 기판(FB)이 제1 안내 롤러(G1)로부터 나온다. 본 실시 형태에서, 해당 제2 방향은, 예를 들면 제1 방향과 직교하는 방향이다. 예를 들면 제1 안내 롤러(G1)에 의해서 접혀진 시트 기판(FB)은, 제2 방향에서, 피처리면(Fp)이 상측(처리 장치(10)측)을 향하게 된다. 또, 시트 기판(FB)은, 제1 안내 롤러(G1)의 전후에서, 제1 부분(F1)과 제2 부분(제2 안내 롤러(G2)로 안내되기 전의 부분, 즉, 제2 안내 롤러(G2)에 대해, 시트 기판(FB)의 상류측 부분, F2)이 서로 평행하게 될 때까지 제1 안내 롤러(G1)의 롤러 표면(G1a)에 지지되어 있다.The first guide roller G1 bends the sheet substrate FB in the oblique direction with respect to the short direction of the sheet substrate FB and also conveys the sheet substrate FB along the roller surface of the first guide roller G1, The conveying direction of the sheet substrate FB is changed from the first direction to the second direction (-Y direction). In the present embodiment, the first guide roller G1 can bend the sheet substrate FB at a substantially inclined angle. The sheet substrate FB can be bent with the twist through the first guide roller G1. The sheet substrate FB may be formed with a partial circumferential surface inclined with respect to the conveying direction (first direction) at a portion guided by the first guide roller G1. The sheet substrate FB having the advancing direction in the first direction (+ X direction) enters the first guide roller G1. The sheet substrate FB having the advancing direction in the second direction (-Y direction) comes out from the first guide roller G1. In the present embodiment, the second direction is, for example, a direction orthogonal to the first direction. For example, the sheet substrate FB folded by the first guide roller G1 faces the upper side (the side of the processing apparatus 10) with the side to be processed Fp in the second direction. The sheet substrate FB is held between the first portion F1 and the second portion (the portion before being guided to the second guide roller G2, that is, the second guide roller G2) before and after the first guide roller G1, The upstream portion G2 of the sheet substrate FB is supported on the roller surface G1a of the first guide roller G1 until the upstream portion F2 of the sheet substrate FB becomes parallel to each other.

제2 안내 롤러(G2)는, 해당 제2 안내 롤러(G2)의 상류측으로부터 제2 방향으로 반송되어 오는 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)에 대해서, 중심축(C2)이 경사 방향으로 기울도록 배치되어 있다. 제2 안내 롤러(G2)는, 롤러 표면(안내면, G2a)에서 시트 기판(FB)의 이면을 안내한다. The second guide roller G2 has a center axis C2 inclined with respect to the second portion F2 of the sheet substrate FB which is conveyed in the second direction from the upstream side of the second guide roller G2 As shown in Fig. The second guide roller G2 guides the back surface of the sheet substrate FB from the roller surface (guide surface G2a).

또한, 제2 안내 롤러(G2)의 상류측으로부터 반송되어 오는 시트 기판(FB)은, 도 2에서, 전술한 바와 같이, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)이 상측을 향하고 있는 상태이다.The sheet substrate FB conveyed from the upstream side of the second guide roller G2 is in a state in which the surface to be processed Fp of the sheet substrate FB is directed upward as shown in Fig. 2 .

제2 안내 롤러(G2)는, 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)을 해당 시트 기판(FB)의 짧은 방향에 대해서 경사 방향으로 굽힘과 아울러, 제2 안내 롤러(G2)의 롤러 표면을 따라서 시트 기판(FB)을 접는 것에 의해서, 시트 기판(FB)의 반송 방향을 상기 제2 방향으로부터 제3 방향(＋X 방향)으로 변환한다. 본 실시 형태에서, 제2 안내 롤러(G2)는, 시트 기판(FB)을 실질적으로 경사지게 굽힐 수 있다. 시트 기판(FB)은 제2 안내 롤러(G2)를 통하여 비틂(twist)을 수반하여 구부러질 수 있다. 시트 기판(FB)에는, 제2 안내 롤러(G2)로 안내되는 부분에서, 반송 방향(제2 방향)에 대해서 경사진, 부분적인 둘레면이 형성될 수 있다. 제2 방향(－Y 방향)의 진행 방향을 가지는 시트 기판(FB)이 제2 안내 롤러(G2)로 들어간다. 제3 방향(＋X 방향)의 진행 방향을 가지는 시트 기판(FB)이 제2 안내 롤러(G2)로부터 나온다. 본 실시 형태에서, 해당 제3 방향은, 예를 들면 제1 방향과 평행한 방향이다. 예를 들면 제2 안내 롤러(G2)에 의해서 접진 시트 기판(FB)은, 제3 방향에서, 이면(Fg)이 상측을 향하고, 피처리면(Fp)이 하측을 향하게 된다. 또, 시트 기판(FB)은, 제2 부분(F2)과 제3 부분(제3 안내 롤러(G3)로 안내되기 전의 부분, 즉, 제3 안내 롤러(G3)에 대해, 시트 기판(FB)의 상류측 부분, F3)이 서로 평행하게 될 때까지, 제2 안내 롤러(G2)의 롤러 표면(G2a)에 지지되어 있다.The second guide roller G2 is configured to bend the second portion F2 of the sheet substrate FB in the oblique direction with respect to the short direction of the sheet substrate FB, The conveying direction of the sheet substrate FB is changed from the second direction to the third direction (+ X direction) by folding the sheet substrate FB along the first direction. In the present embodiment, the second guide roller G2 can bend the sheet substrate FB at a substantially inclined angle. The sheet substrate FB can be bent with a twist through the second guide roller G2. A partial circumferential surface inclined with respect to the conveying direction (second direction) may be formed in the portion of the sheet substrate FB that is guided by the second guide roller G2. The sheet substrate FB having the advancing direction in the second direction (-Y direction) enters the second guide roller G2. The sheet substrate FB having the advancing direction in the third direction (+ X direction) comes out of the second guide roller G2. In the present embodiment, the third direction is, for example, a direction parallel to the first direction. The back side Fg is directed upward and the target surface Fp is directed downward in the third direction by, for example, the second guide roller G2. The sheet substrate FB is fixed to the sheet substrate FB with respect to the second portion F2 and the third portion (the portion before being guided by the third guide roller G3, that is, the third guide roller G3) Is supported by the roller surface G2a of the second guide roller G2 until the upstream portion F3 of the second guide roller G2 becomes parallel to each other.

시트 기판(FB)의 반송 방향은, 해당 시트 기판(FB) 중 제1 안내 롤러(G1) 보다도 반송 방향의 상류측 부분(제1 부분(F1))에서 ＋X 방향(제1 방향)이고, 제1 안내 롤러(G1)와 제2 안내 롤러(G2)의 사이 부분(제2 부분(F2))에서는 -Y 방향(제2 방향)이며, 제2 안내 롤러(G2) 보다도 반송 방향 하류측 부분(제3 부분(F3))에서는 다시 ＋X 방향(제3 방향)이다. 이와 같이, 시트 기판(FB)은, 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)를 전환점로 하는 크랭크(crank) 모양의 경로를 반송되게 된다.The conveying direction of the sheet substrate FB is the + X direction (first direction) in the upstream portion (first portion F1) of the sheet substrate FB in the conveying direction with respect to the first guide roller G1, (Second direction) in the portion (second portion F2) between the first guide roller G1 and the second guide roller G2 and the downstream side portion The third portion F3) is again in the + X direction (third direction). Thus, the sheet substrate FB is conveyed along a crank-shaped path having the first guide roller G1 and the second guide roller G2 as turning points.

제1 안내 롤러(G1)는, 예를 들면 베어링 부재(60)에 의해서 지지되어 있다. 베어링 부재(60)에는, 제1 안내 롤러(G1)를 구동하는 구동 기구(61)가 마련되어 있다. 구동 기구(61)는, 제1 안내 롤러(G1)를 중심축 방향으로 회전시킨다.The first guide roller G1 is supported by a bearing member 60, for example. The bearing member 60 is provided with a drive mechanism 61 for driving the first guide roller G1. The driving mechanism 61 rotates the first guide roller G1 in the direction of the central axis.

제2 안내 롤러(G2)는, 제1 안내 롤러(G1)와 마찬가지로, 예를 들면 베어링 부재(62)에 의해서 지지되어 있다. 베어링 부재(62)에는, 제2 안내 롤러(G2)를 구동하는 구동 기구(63)가 마련되어 있다. 구동 기구(63)는, 제2 안내 롤러(G2)를 중심축 방향으로 회전시킨다.The second guide roller G2 is supported by, for example, a bearing member 62 in the same manner as the first guide roller G1. The bearing member 62 is provided with a drive mechanism 63 for driving the second guide roller G2. The drive mechanism 63 rotates the second guide roller G2 in the direction of the central axis.

또, 예를 들면 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)에는, 각각 회전량, 회전 속도 등을 검출하는 엔코더 등의 미도시한 검출 장치가 마련되어 있다. 해당 검출 장치에 의한 검출 결과는, 예를 들면 제어부(CONT)에 송신되도록 되어 있다.Further, for example, the first guide roller G1 and the second guide roller G2 are provided with an unillustrated detection device such as an encoder for detecting the rotation amount, the rotation speed, and the like, respectively. The detection result by the detection device is transmitted to the control unit CONT, for example.

제1 안내 롤러(G1)와 제2 안내 롤러(G2)와의 사이에는, 시트 기판(FB)을 지지하는 스테이지 장치(ST)가 배치되어 있다. 스테이지 장치(ST)는, 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)에 대해서 이면측(－Z측)에 배치되어 있으며, 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)을 지지하는 지지면(Sa)을 가지고 있다. 지지면(Sa)은, 예를 들면 평탄한 면, 혹은 곡률을 가지는 면으로 형성되어 있다.A stage device ST for supporting the sheet substrate FB is disposed between the first guide roller G1 and the second guide roller G2. The stage device ST is disposed on the back side (-Z side) with respect to the second portion F2 of the sheet substrate FB and is provided with a support surface S for supporting the second portion F2 of the sheet substrate FB (Sa). The support surface Sa is, for example, a flat surface or a surface having a curvature.

스테이지 장치(ST)는, 지지면(Sa)이 예를 들면 평탄한 면이면, 지지면(Sa)은 XY 평면에 평행하게 되도록 배치되어 있다. 스테이지 장치(ST)에는, 스테이지 구동 기구(64)가 마련되어 있다. 스테이지 구동 기구(64)에 의해, 스테이지 장치(ST)는, 예를 들면 X 방향, Y 방향 및 Z 방향으로 이동 가능하게 마련되어 있다.In the stage apparatus ST, if the support surface Sa is, for example, a flat surface, the support surface Sa is arranged so as to be parallel to the XY plane. The stage device ST is provided with a stage driving mechanism 64. By means of the stage driving mechanism 64, the stage device ST is provided movably in the X direction, the Y direction and the Z direction, for example.

스테이지 장치(ST)는, 지지면(Sa)에 흡착부(40, 도 2 참조)를 가지고 있다. 흡착부(40)는, 지지면(Sa)에 예를 들면 1개소 또는 복수 개소 배치되어 있다. 흡착부(40)에는, 예를 들면 흡인 펌프 등의 흡인 기구(41)가 접속되어 있다. 이 때문에, 스테이지 장치(ST)는, 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)을 지지면(Sa)에 흡착하면서 지지할 수 있도록 되어 있다.The stage device ST has a suction portion 40 (see Fig. 2) on the support surface Sa. The adsorption units 40 are arranged at one or more locations on the support surface Sa, for example. To the suction unit 40, a suction mechanism 41 such as a suction pump is connected. Therefore, the stage device ST is capable of supporting the second portion F2 of the sheet substrate FB while supporting it on the supporting surface Sa.

도 1로 되돌아가서, 얼라이먼트 장치(50)는, 시트 기판(FB)에 대해서 얼라이먼트 동작을 행한다. 얼라이먼트 장치(50)는, 시트 기판(FB)의 위치 상태를 검출하는 얼라이먼트 카메라(51)와, 해당 얼라이먼트 카메라(51)의 검출 결과에 근거하여 시트 기판(FB)을 X 방향, Y 방향, Z 방향, θX 방향, θY 방향, θZ 방향으로 미세 조정하는 제1 조정 기구(제1 조정부, 52) 및 제2 조정 기구(제2 조정부, 53)를 가지고 있다.Returning to Fig. 1, the alignment apparatus 50 performs an alignment operation with respect to the sheet substrate FB. The alignment apparatus 50 includes an alignment camera 51 for detecting the positional state of the sheet substrate FB and a control unit for controlling the alignment of the sheet substrate FB in the X direction, (First adjusting portion) 52 and a second adjusting mechanism (second adjusting portion) 53 for fine adjustment in the direction of the XY plane, the X direction, the Y direction, and the Z direction.

도 3에 나타내는 바와 같이, 시트 기판(FB)의 표면(피처리면(Fp)측의 면)에는, 얼라이먼트 마크(AM)가 형성되어 있다. 얼라이먼트 마크(AM)는, 시트 기판(FB)의 표면 중 예를 들면 시트 기판(FB)의 짧은 방향의 양단부에 각각 형성되어 있다. 도 3에서는, 얼라이먼트 마크(AM)를 한 쌍만 나타내었지만, 실제로는 시트 기판(FB)의 각각의 단부를 따라서 예를 들면 복수 배치되어 있다.As shown in Fig. 3, an alignment mark AM is formed on the surface (the surface on the side of the object Fp) of the sheet substrate FB. The alignment marks AM are formed at both ends of the sheet substrate FB, for example, in the short direction of the sheet substrate FB. Although only one pair of alignment marks AM is shown in Fig. 3, a plurality of aligning marks AM are actually disposed along each end of the sheet substrate FB, for example.

그리고, 본 실시 형태에서의 얼라이먼트 카메라(51)는, 시트 기판(FB)의 짧은 방향의 단부에 각각 대향하여 배치된다. 본 실시 형태에서의, 얼라이먼트 카메라(51)는, 시트 기판(FB)의 양단부의 얼라이먼트 마크(AM)를 각각 따로따로 검출하고 있다. 각 얼라이먼트 카메라(51)에 의한 검출 영역(CA)은, 예를 들면 얼라이먼트 마크(AM)를 포함하는 영역으로 설정되어 있다.The alignment camera 51 in the present embodiment is disposed so as to oppose the short-side end portions of the sheet substrate FB. The alignment camera 51 in the present embodiment separately detects the alignment marks AM at the both end portions of the sheet substrate FB. The detection area CA by each alignment camera 51 is set as an area including, for example, an alignment mark AM.

제1 조정 기구(52)는, 예를 들면, 제1 안내 롤러(G1)의 양단부를 지지한다. 그리고, 제1 조정 기구(52)는, 제1 안내 롤러(G1)를 제1 안내 롤러(G1)의 중심축과 평행한 방향, 예를 들면, 제1 안내 롤러(G1)를 XY 평면 내, XY 평면에 직교 또는 교차하는 면내에서 이동시킨다. 게다가, 제1 조정 기구(52)는, 제1 안내 롤러(G1)를 θX 방향, θY 방향, θZ 방향 주위로 회전시킨다. 또한, 제1 조정 기구(52)는, 각 회전 방향의 회전 중심을, 제1 안내 롤러(G1)의 양단부 중 일방의 단부에 설정하거나, 제1 안내 롤러(G1)의 중심축 방향에서의 중앙 부분에 설정할 수 있다.The first adjusting mechanism 52 supports both ends of the first guide roller G1, for example. The first adjusting mechanism 52 is configured to move the first guide roller G1 in a direction parallel to the central axis of the first guide roller G1, for example, in the XY plane in the first guide roller G1, And is moved in an orthogonal or crossing plane to the XY plane. In addition, the first adjusting mechanism 52 rotates the first guide roller G1 around the? X direction, the? Y direction, and the? Z direction. The first adjustment mechanism 52 is configured to set the rotation center in each rotation direction at one end of the both ends of the first guide roller G1 or the center of the first guide roller G1 in the center axis direction Section.

제2 조정 기구(53)는, 예를 들면, 제2 안내 롤러(G2)의 양단부를 지지한다. 그리고, 제2 조정 기구(53)는, 제2 안내 롤러(G2)를 제2 안내 롤러(G2)의 중심축과 평행한 방향, 예를 들면, 제2 안내 롤러(G2)를 XY 평면 내, XY 평면에 직교 또는 교차하는 면내에서 이동시킨다. 게다가, 제2 조정 기구(53)는, 제2 안내 롤러(G2)를 θX 방향, θY 방향, θZ 방향 주위로 회전시킨다. 또한, 제2 조정 기구(53)는, 각 회전 방향의 회전 중심을, 예를 들면, 제2 안내 롤러(G2)의 양단부 중 일방의 단부에 설정하거나, 제2 안내 롤러(G2)의 중심축 방향에서의 중앙 부분에 설정할 수 있다.The second adjusting mechanism 53, for example, supports both ends of the second guide roller G2. The second adjusting mechanism 53 is configured to move the second guide roller G2 in a direction parallel to the center axis of the second guide roller G2, for example, in the XY plane, the second guide roller G2, And is moved in an orthogonal or crossing plane to the XY plane. In addition, the second adjusting mechanism 53 rotates the second guide roller G2 around the? X direction, the? Y direction, and the? Z direction. The second adjusting mechanism 53 may set the rotation center in each rotation direction to one end of the both ends of the second guide roller G2 or the center axis of the second guide roller G2, In the direction of the center.

얼라이먼트 카메라(51)는, 해당 얼라이먼트 마크(AM)를 검출하고, 검출 결과를 제어부(CONT)에 송신한다. 제어부(CONT)는, 해당 검출 결과에 근거하여 제1 안내 롤러(G1)의 위치를 조정하기 위한 조정 신호를 조정 기구(52)에 송신함과 아울러, 제2 안내 롤러(G2)의 위치를 조정하기 위한 조정 신호를 조정 기구(53)에 송신한다. 조정 기구(52)는, 해당 제어부(CONT)로부터의 조정 신호에 근거하여 제1 안내 롤러(G1)의 위치를 조정한다. 조정 기구(53)는, 해당 제어부(CONT)로부터의 조정 신호에 근거하여 제2 안내 롤러(G2)의 위치를 조정한다. 또한, 제어부(CONT)는, 얼라이먼트 카메라(51)에 의한 검출 결과를 이용하지 않고 조정 신호를 생성하며, 조정 기구(52 및 53)에 대해서 해당 생성한 조정 신호를 송신할 수 있도록 되어 있다.The alignment camera 51 detects the alignment mark AM and transmits the detection result to the control unit CONT. The control unit CONT transmits an adjustment signal for adjusting the position of the first guide roller G1 to the adjustment mechanism 52 based on the detection result and adjusts the position of the second guide roller G2 To the adjustment mechanism (53). The adjustment mechanism 52 adjusts the position of the first guide roller G1 based on the adjustment signal from the control section CONT. The adjustment mechanism 53 adjusts the position of the second guide roller G2 based on the adjustment signal from the control section CONT. The control unit CONT can generate an adjustment signal without using the detection result by the alignment camera 51 and transmit the generated adjustment signal to the adjustment mechanisms 52 and 53. [

상기와 같이 구성된 기판 처리 장치(FPA)는, 제어부(CONT)의 제어에 의해, 롤 방식에 의해서 유기 EL소자, 액정 표시 소자 등의 표시 소자(전자 디바이스)를 제조한다. 이하, 상기 구성의 기판 처리 장치(FPA)를 이용하여 표시 소자를 제조하는 공정을 설명한다.The substrate processing apparatus FPA configured as described above produces a display element (electronic device) such as an organic EL element or a liquid crystal display element by a roll system under the control of the control unit CONT. Hereinafter, a process for manufacturing a display device using the substrate processing apparatus (FPA) having the above-described structure will be described.

우선, 롤러에 감긴 띠 모양의 시트 기판(FB)을 기판 공급부(SU)에 장착한다. 제어부(CONT)는, 이 상태에서 기판 공급부(SU)로부터 해당 시트 기판(FB)이 송출되도록, 롤러를 회전시킨다. 그리고, 기판 처리부(PR)를 통과한 해당 시트 기판(FB)을 기판 회수부(CL)의 롤러로 권취시킨다. 이 기판 공급부(SU) 및 기판 회수부(CL)를 제어함에 의해서, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)을 기판 처리부(PR)에 대해서 연속적으로 반송할 수 있다.First, a strip-like sheet substrate FB wound on a roller is mounted on a substrate supply unit SU. The control unit CONT rotates the roller so that the sheet substrate FB is fed from the substrate supply unit SU in this state. Then, the sheet substrate FB that has passed through the substrate processing section PR is wound by a roller of the substrate recovery section CL. By controlling the substrate supply section SU and the substrate recovery section CL, the surface Fp of the sheet substrate FB can be continuously transported to the substrate processing section PR.

제어부(CONT)는, 시트 기판(FB)이 기판 공급부(SU)로부터 송출되고 나서 기판 회수부(CL)에서 권취될 때까지의 사이에, 기판 처리부(PR)의 반송 장치(30)에 의해서 시트 기판(FB)을 해당 기판 처리부(PR) 내에서 적절히 반송시키면서, 처리 장치(10)에 의해서 표시 소자의 구성 요소를 시트 기판(FB) 상에 순차 형성시킨다.The control unit CONT controls the sheet transporting unit 30 of the sheet processing unit PR by the transporting device 30 of the substrate processing unit PR until the sheet substrate FB is fed out from the substrate feeding unit SU and then wound up in the substrate returning unit CL. The processing element 10 sequentially forms the elements of the display element on the sheet substrate FB while appropriately transporting the substrate FB in the substrate processing portion PR.

처리 장치(10)에 의한 처리를 행하게 할 때, 제어부(CONT)는, 얼라이먼트 장치(50)를 이용하여 시트 기판(FB)의 위치 맞춤을 행하게 한다. 예를 들면 얼라이먼트 카메라(51)에 의해서 시트 기판(FB)의 얼라이먼트 마크(AM)를 검출하고, 검출 결과에 근거하여 예를 들면 반송 장치(30)의 롤러 장치(R)의 구동량이나, 안내 롤러(G, 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2))의 위치 및 자세, 회전량, 회전 속도 등을 조정한다.When performing the processing by the processing apparatus 10, the control unit CONT causes the alignment of the sheet substrate FB to be performed using the alignment apparatus 50. [ The alignment mark AM of the sheet substrate FB is detected by the alignment camera 51 and the amount of movement of the roller device R of the conveying device 30 and the amount The position and posture, the amount of rotation, the rotational speed, and the like of the rollers (G, first guide roller G1 and second guide roller G2) are adjusted.

다음에, 안내 롤러(G, 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2))의 위치 및 자세를 조정하는 경우를 설명한다. Next, a case of adjusting the positions and postures of the guide rollers (G, first guide roller G1 and second guide roller G2) will be described.

도 4는, 도 3에 나타내는 상태로부터, 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)를 각각의 중심축에 대해 평행한 방향(도 4의 경우, －X 방향)으로 동일한 이동량씩 이동시킨 상태를 나타내고 있다. 이 경우, 시트 기판(FB)은, 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)에 의해서 접혀진 상태로 장력이 가해지고 있다. 따라서, 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)를 상기와 같이 이동시킨 경우, 각각의 접는 위치가 -X 방향으로 동일한 거리씩 이동하고, 이것에 수반하여 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)이 -X 방향으로 이동한다.4 shows a state in which the first guide roller G1 and the second guide roller G2 are moved in the direction parallel to the respective central axes (-X direction in FIG. 4) by the same amount of movement As shown in FIG. In this case, the sheet substrate FB is tensioned by being folded by the first guide roller G1 and the second guide roller G2. Therefore, when the first guide roller G1 and the second guide roller G2 are moved as described above, the respective folding positions move by the same distance in the -X direction, The second portion F2 moves in the -X direction.

이와 같이, 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)를 이동시켜도, 시트 기판(FB)에 대해서 작용하는 힘의 방향은 변화하지 않기 때문에, 시트 기판(FB)의 반송 방향과는 다른 방향으로 작용하는 힘을 억제 혹은 없앨 수 있다. 이 때문에, 예를 들면 시트 기판(FB)에 대해서 주름 등이 발생하지 않고, 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)을 반송 방향과 직교하는 방향으로 이동시킬 수 있다. 안내 롤러(G)의 이동 후, 제어부(CONT)는, 예를 들면 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)의 위치에 맞추어 스테이지 장치(ST)를 X 방향 및 Y 방향으로 이동시킨다.Since the direction of the force acting on the sheet substrate FB does not change even if the first guide roller G1 and the second guide roller G2 are moved in this way, The force acting in the other direction can be suppressed or eliminated. This makes it possible to move the second portion F2 of the sheet substrate FB in a direction perpendicular to the carrying direction without causing wrinkles or the like on the sheet substrate FB, for example. After the movement of the guide roller G, the control section CONT moves the stage device ST in the X and Y directions in accordance with the position of the second portion F2 of the sheet substrate FB, for example.

또한, 시트 기판(FB)의 반송 방향에 관해서, 제1 안내 롤러(G1)의 상류측 및 제2 안내 롤러(G2)의 하류측에, 시트 기판(FB)의 느슨해짐부가 마련되어 있으므로, 제1 안내 롤러(G1)의 위치 및 제2 안내 롤러(G2)의 위치를 조정해도, 시트 기판(FB)에 작용하는 힘을 억제 혹은 없앨 수 있다.Since the loosened portion of the sheet substrate FB is provided on the upstream side of the first guide roller G1 and the downstream side of the second guide roller G2 with respect to the conveyance direction of the sheet substrate FB, Even if the position of the guide roller G1 and the position of the second guide roller G2 are adjusted, the force acting on the sheet substrate FB can be suppressed or eliminated.

스테이지 장치(ST)의 X 방향 및 Y 방향의 위치를 조정시킨 후, 제어부(CONT)는 스테이지 장치(ST)를 ＋Z 방향으로 이동시키고, 지지면(Sa)에 시트 기판(FB)의 이면을 맞닿게 한다. 이 동작에 의해, 스테이지 장치(ST)의 지지면(Sa)에 시트 기판(FB)의 이면이 지지되게 된다. 이 때, 제어부(CONT)는, 예를 들면 스테이지 장치(ST)의 흡착부(40)에 시트 기판(FB)을 흡착시켜도 상관없다. 또, 스테이지 장치(ST)의 지지면(Sa)에 시트 기판(FB)의 이면을 맞닿게 하기 전에, 제1 안내 롤러(G1)와 제2 안내 롤러(G2)와의 사이의 간격을 서로 접근시켜, 시트 기판(FB)을 느슨해지게 해도 괜찮다. 시트 기판(FB)을 느슨해지게 하는 것에 의해서, 시트 기판(FB)에 장력이 없는 상태에서, 스테이지 장치(ST)의 지지면(Sa)에 맞닿음 및 흡착할 수 있다. 또, 제어부(CONT)는, 시트 기판(FB)을 지지한 상태에서 스테이지 장치(ST)를 예를 들면 ＋Z측으로 이동시킴으로써, 시트 기판(FB)의 Z 방향의 위치를 조정한다. 이 경우, 제어부(CONT)는, 스테이지 장치(ST)의 Z 방향으로의 이동량에 따라 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)를 Z 방향으로 이동시킨다.After the position of the stage device ST in the X direction and the Y direction is adjusted, the control section CONT moves the stage device ST in the + Z direction and aligns the back surface of the sheet substrate FB with the support surface Sa . By this operation, the back surface of the sheet substrate FB is supported on the support surface Sa of the stage device ST. At this time, the control unit CONT may, for example, adsorb the sheet substrate FB to the suction unit 40 of the stage device ST. The gap between the first guide roller G1 and the second guide roller G2 is brought close to each other before the back surface of the sheet substrate FB is abutted against the support surface Sa of the stage device ST , The sheet substrate FB may be loosened. The sheet substrate FB can be brought into contact with and abut against the support surface Sa of the stage device ST without tension on the sheet substrate FB by loosening the sheet substrate FB. The control section CONT adjusts the position of the sheet substrate FB in the Z direction by moving the stage device ST to the + Z side, for example, in a state in which the sheet substrate FB is supported. In this case, the control section CONT moves the first guide roller G1 and the second guide roller G2 in the Z direction in accordance with the amount of movement of the stage device ST in the Z direction.

시트 기판(FB)의 Z 방향의 위치 맞춤이 행해진 후, 제어부(CONT)는, 처리 장치(10)를 이용하여 시트 기판(FB) 중 제2 부분(F2)의 피처리면(Fp)에 대해서 소정의 처리를 행하게 한다. 해당 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)을 반송시키면서 처리를 행하게 하는 경우에는, 제어부(CONT)는, 처리 장치(10)에 의한 처리의 타이밍과 시트 기판(FB)의 반송의 타이밍을 조정하면서 상기 처리를 행하게 한다. 시트 기판(FB)이 스테이지 장치(ST)에 흡착되어 있는 경우, 제어부(CONT)는, 예를 들면 시트 기판(FB)의 이동에 맞추어 스테이지 장치(ST)를 기판의 반송 방향(예를 들면 -Y 방향)으로 이동시킨다.After the positional alignment of the sheet substrate FB in the Z direction is performed, the control unit CONT controls the position of the second portion F2 of the sheet substrate FB by using the processing apparatus 10, . The controller CONT controls the timing of the processing by the processing apparatus 10 and the timing of conveyance of the sheet substrate FB in the case of performing the processing while conveying the second portion F2 of the sheet substrate FB So that the above-described processing is performed. When the sheet substrate FB is attracted to the stage device ST, the control unit CONT controls the stage device ST in accordance with the movement of the sheet substrate FB, for example, in the conveying direction of the substrate (for example, Y direction).

상기의 일련의 처리를 시트 기판(FB)에 반복 행하는 것에 의해, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)에는 표시 소자의 구성 요소가 형성되게 된다.By repeatedly performing the above-described series of processes on the sheet substrate FB, the constituent elements of the display element are formed on the surface Fp of the sheet substrate FB to be processed.

이상과 같이, 본 실시 형태에 의하면, 제1 방향(＋X 방향)으로 반송되는 시트 기판(FB)을 해당 시트 기판(FB)의 폭 방향(Y 방향)에 대해서 경사 방향으로 구부려, 시트 기판(FB)의 반송 방향을 제1 방향으로부터 해당 제1 방향과 다른 제2 방향(－Y 방향)으로 변환하는 제1 안내 롤러(G1)와, 제2 방향으로부터 반송되는 시트 기판(제2 방향으로 반송되는 시트 기판, FB)을 해당 시트 기판(FB)의 폭 방향(X 방향)에 대해서 경사 방향으로 구부려, 시트 기판(FB)의 반송 방향을 제2 방향으로부터 제2 방향과 다른 제3 방향(＋X 방향)으로 변환하는 제2 안내 롤러(G2)와, 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)에 마련되며, 제1 안내 롤러(G1)의 위치 및 제2 안내 롤러(G2)의 위치를 각각 조정하고, 제2 방향과 교차하는 방향에서의 시트 기판(FB)의 위치를 조정하는 조정 기구를 구비하기 때문에, 시트 기판(FB)에 대해서 반송 방향과는 다른 방향으로 힘이 작용하는 것을 억제할 수 있다. 이것에 의해, 시트 기판(FB)에 주름 등의 결함이 형성되는 것을 억제하면서 높은 반송 정밀도로 해당 시트 기판(FB)을 반송할 수 있다.As described above, according to the present embodiment, the sheet substrate FB conveyed in the first direction (+ X direction) is bent in the oblique direction with respect to the width direction (Y direction) of the sheet substrate FB, A first guide roller G1 for converting the conveying direction of the sheet S from the first direction to a second direction (-Y direction) different from the first direction; The sheet substrate FB is bent in the oblique direction with respect to the width direction (X direction) of the sheet substrate FB so that the conveying direction of the sheet substrate FB is shifted from the second direction in the third direction The second guide roller G2 is provided on the first guide roller G1 and the second guide roller G2 and rotatably supports the first guide roller G1 and the second guide roller G2, And an adjusting mechanism for adjusting the position of the sheet substrate FB in the direction crossing the second direction Therefore, the force acting on the sheet substrate FB in a direction different from the conveying direction can be suppressed. This makes it possible to convey the sheet substrate FB with high conveying accuracy while suppressing formation of defects such as wrinkles on the sheet substrate FB.

또, 본 실시 형태에 의하면, 시트 기판(FB) 중 제1 안내 롤러(G1)와 제2 안내 롤러(G2)와의 사이의 제2 부분(F2)에 대해서 처리가 행해지게 되기 때문에, 시트 기판(FB) 중 해당 처리가 행해지는 부분을 효율적으로 이동시킬 수 있다.According to the present embodiment, since the processing is performed on the second portion F2 between the first guide roller G1 and the second guide roller G2 of the sheet substrate FB, FB can be moved efficiently.

［제2 실시 형태］[Second Embodiment]

다음에, 본 발명의 제2 실시 형태를 설명한다. 본 실시 형태에서는, 제1 실시 형태의 기판 처리 장치(FPA)와 동일 구성의 기판 처리 장치를 이용하여 설명한다. 이하, 기판 처리 장치의 각 구성 요소를 표기하는 경우에는, 제1 실시 형태에서 사용한 부호와 동일한 부호를 사용하는 것으로 한다.Next, a second embodiment of the present invention will be described. In the present embodiment, a substrate processing apparatus having the same structure as the substrate processing apparatus (FPA) of the first embodiment is used. Hereinafter, when each constituent element of the substrate processing apparatus is represented, the same reference numerals as those used in the first embodiment are used.

본 실시 형태에서는, 예를 들면 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)를θZ 방향으로 회전시킴으로써 시트 기판(FB)을 반송 방향에 대해서 틸트시키는 동작을 설명한다. In the present embodiment, for example, an operation of tilting the sheet substrate FB in the conveying direction by rotating the first guide roller G1 and the second guide roller G2 in the? Z direction will be described.

도 5는, 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)를 θZ 방향으로 회전시킨 경우의 시트 기판(FB)의 반송 상태를 나타내는 도면이다. 도 5에서는, 시트 기판(FB)의 제1 부분(F1) 및 제3 부분(F3)에 대해서는 각각 반송 방향을 유지하면서, 시트 기판(FB)의 제2 부분에서의 장력을 유지한 채로 제1 안내 롤러(G1)를 회전시킨 상태를 나타내고 있다.5 is a view showing the conveying state of the sheet substrate FB when the first guide roller G1 and the second guide roller G2 are rotated in the? Z direction. 5, the first portion F1 and the third portion F3 of the sheet substrate FB are maintained in the first direction while maintaining the tension in the second portion of the sheet substrate FB, And the guide roller G1 is rotated.

예를 들면, 제1 부분(F1)의 반송 방향을 유지한 채로 제1 안내 롤러(G1)만을 회전시키는 경우에서는, 제3 부분(F3)의 반송 방향을 변화시키지 않도록 하기 위해, 제어부(CONT)는, 제1 안내 롤러(G1)와 제2 안내 롤러(G2)를 동기하여 θZ 방향 주위로 회전시킴과 아울러, 제2 안내 롤러(G2)를 -X 방향으로 이동시킨다. 이 때, 제1 안내 롤러(G1)의 회전 중심에 대해서, 제2 안내 롤러(G2)의 회전 중심이 어긋나 있어도 좋다.For example, in the case of rotating only the first guide roller G1 while maintaining the conveying direction of the first portion F1, the control portion CONT may be provided so as not to change the conveying direction of the third portion F3, Synchronously rotates the first guide roller G1 and the second guide roller G2 about the? Z direction and moves the second guide roller G2 in the -X direction. At this time, the center of rotation of the second guide roller G2 may be offset from the center of rotation of the first guide roller G1.

이 때, 제어부(CONT)는, 제1 안내 롤러(G1)와 제2 안내 롤러(G2)와의 사이에서, 회전 개시의 타이밍, 회전 방향, 회전 각도 및 회전 속도가 맞도록, 해당 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)를 회전시킨다. 또, 제어부(CONT)는, 제1 안내 롤러(G1)의 회전에 의해서 시트 기판(FB)이 어긋나는 양에 따라서, 제2 안내 롤러(G2)를 -X 방향으로 이동시킨다.At this time, the control section CONT controls the first guide roller G1 and the second guide roller G2 so that the timing of the start of rotation, the rotational direction, the rotational angle, Thereby rotating the first guide roller G1 and the second guide roller G2. The control section CONT moves the second guide roller G2 in the -X direction in accordance with the amount by which the sheet substrate FB is displaced by the rotation of the first guide roller G1.

본 실시 형태에 의하면, 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)를 θZ 방향으로 회전시키는 것에 의해, 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)을, 해당 제2 부분(F2)의 반송 방향(－Y 방향)에 대해서 틸트시킬 수 있다. 게다가, 시트 기판(FB)의 제1 부분(F1) ~ 제3 부분(F3)에서, 각각의 반송 방향과는 다른 방향으로 힘이 작용하는 것을 막을 수 있기 때문에, 시트 기판(FB)에 주름 등의 결함이 발생하는것을 막을 수 있다. 이것에 의해, 시트 기판(FB)의 반송 상태를 유지하면서, 보다 고도한 반송을 행할 수 있다.The first and second guide rollers G1 and G2 are rotated in the? Z direction so that the second portion F2 of the sheet substrate FB is rotated in the second portion F2 In the transport direction (-Y direction). In addition, since the first part F1 to the third part F3 of the sheet substrate FB can prevent the force from acting in directions different from the respective conveying directions, It is possible to prevent the occurrence of defects. Thereby, it is possible to carry out more advanced conveyance while maintaining the conveying state of the sheet substrate FB.

또한, 본 실시 형태에서는, 제1 안내 롤러(G1)의 X 방향의 위치를 변화시키지 않고, 제2 안내 롤러(G2)의 X 방향의 위치를 이동시키는 경우를 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)의 양쪽 모두를 X 방향으로 이동시켜도 상관없다. 또, 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)의 회전 방향은, 도 5에 나타내는 방향에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 도 5에 나타내는 방향과는 반대 방향으로 회전시키도록 해도 상관없다.In the present embodiment, the case where the position of the second guide roller G2 in the X direction is moved without changing the position of the first guide roller G1 in the X direction has been described as an example, It is not. For example, both the first guide roller G1 and the second guide roller G2 may be moved in the X direction. The direction of rotation of the first guide roller G1 and the second guide roller G2 is not limited to the direction shown in Fig. 5, and may be a direction opposite to the direction shown in Fig. 5 Does not matter.

[제3 실시 형태］[Third embodiment]

다음에, 본 발명의 제3 실시 형태를 설명한다. Next, a third embodiment of the present invention will be described.

본 실시 형태에서는, 기판 처리 장치에 마련되는 제1 안내 부재 및 제2 안내 부재로서, 예를 들면 추 모양 부재를 이용한 구성을 설명한다. 본 실시 형태에 관한 기판 처리 장치는, 제1 안내 부재 및 제2 안내 부재 이외의 구성 요소에 대해서는 상기 각 실시 형태와 동일 구성으로 되어 있기 때문에, 동일한 부호를 부여하여 설명한다.In the present embodiment, a configuration using, for example, a weight member as the first guide member and the second guide member provided in the substrate processing apparatus will be described. In the substrate processing apparatus according to the present embodiment, constituent elements other than the first guiding member and the second guiding member are the same as those of the above-described embodiments, and therefore, the same reference numerals are given to them.

도 6은, 기판 처리 장치(FPA)를 상측(＋Z 방향)으로부터 보았을 때의 구성을 나타내고 있다. Fig. 6 shows a configuration when the substrate processing apparatus FPA is viewed from above (+ Z direction).

도 6에 나타내는 바와 같이, 반송 장치(30)는, 제1 안내 부재로서 제1 추 모양 부재(G3)가 이용되고 있으며, 제2 안내 부재로서 제2 추 모양 부재(G4)가 이용되고 있다. 물론, 제1 안내 부재 및 제2 안내 부재 중 일방에만 제1 추 모양 부재(G3) 또는 제2 추 모양 부재(G4)를 적용시키는 구성이라도 상관없다.As shown in Fig. 6, the transport device 30 uses the first scoop member G3 as the first guide member and the second scoop member G4 as the second guide member. Of course, the first throat member G3 or the second throat member G4 may be applied to only one of the first guide member and the second guide member.

제1 추 모양 부재(G3) 및 제2 추 모양 부재(G4)는, 예를 들면 원추형으로 형성되어 있다. 구체적으로는, 제1 추 모양 부재(G3) 및 제2 추 모양 부재(G4)는, 각각 원형의 저면(일단부, 80a 및 80b)을 가짐과 아울러, 해당 저면(80a 및 80b)으로부터 정점(頂点, 타단부(81a 및 81b))을 향함에 따라 서서히 외경 치수가 작아지도록 형성된 측면(안내면)을 가진다.The first and second weft-shaped members G3 and G4 are formed, for example, in a conical shape. Specifically, the first and second chute members G3 and G4 have circular bottom faces (one ends, 80a and 80b), respectively, and have vertices (80a and 80b) And has a side surface (guide surface) formed so that the outer diameter gradually becomes smaller as it faces the other end (apex 81a and 81b).

제1 추 모양 부재(G3)는, 저면(80a)의 중심점과 정점(81a)을 통과하는 중심축(C3)을 가지고 있다. 제1 추 모양 부재(G3)는, 중심축(C3)이 시트 기판(FB)의 제1 부분(F1)의 폭 방향(Y 방향)에 대해서 평행하게 되도록 배치되어 있다. 제1 추 모양 부재(G3)에는, 중심축(C3)을 중심으로 해당 추 모양 부재(G3)를 회전시키는 구동 기구(61)가 마련되어 있다. 이 구동 기구(61)는, 제1 추 모양 부재(G3)를 X 방향, Y 방향 및 θZ 방향으로도 구동하도록 되어 있다. 제1 추 모양 부재(G3)는, 측면(안내면, G3a)에서 시트 기판을 안내한다. 시트 기판(FB)은, 제1 부분(F1)과 제2 부분(F2)에서 피처리면(Fp)이 평행하게 될 때까지, 제1 추 모양 부재(G3)의 측면(G3a)에 지지되어 있다.The first chute member G3 has a center point of the bottom surface 80a and a central axis C3 passing through the apex 81a. The first sprocket G3 is disposed such that the center axis C3 is parallel to the width direction (Y direction) of the first portion F1 of the sheet substrate FB. The first throttling member G3 is provided with a driving mechanism 61 for rotating the throne member G3 around the center axis C3. The driving mechanism 61 drives the first chute member G3 also in the X direction, the Y direction, and the? Z direction. The first spiral member G3 guides the sheet substrate on the side surface (guide surface, G3a). The sheet substrate FB is supported on the side G3a of the first chute member G3 until the surface Fp of the first part F1 and the second part F2 becomes parallel .

제2 추 모양 부재(G4)는, 저면(80b)의 중심점과 정점(81b)을 통과하는 중심축(C4)을 가지고 있다. 제2 추 모양 부재(G4)는, 중심축(C4)이 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)의 폭 방향(X 방향)에 대해서 평행하게 되도록 배치되어 있다. 제2 추 모양 부재(G4)에는, 중심축(C4)을 중심으로 해당 추 모양 부재(G4)를 회전시키는 구동 기구(63)가 마련되어 있다. 이 구동 기구(61)는, 제2 추 모양 부재(G4)를 X 방향, Y 방향 및 θZ 방향으로도 구동하도록 되어 있다. 제2 추 모양 부재(G4)는, 측면(안내면, G4a)에서 시트 기판을 안내한다. 시트 기판(FB)은, 제2 부분(F2)과 제3 부분(F3)에서 피처리면(Fp)이 평행하게 될 때까지, 제2 추 모양 부재(G4)의 측면(G4a)에 지지되어 있다.The second spiral member G4 has a central axis C4 passing through the center point of the bottom surface 80b and the vertex 81b. The second spiral member G4 is arranged so that the central axis C4 is parallel to the width direction (X direction) of the second portion F2 of the sheet substrate FB. The second spine member G4 is provided with a drive mechanism 63 for rotating the spine member G4 around the central axis C4. The drive mechanism 61 drives the second thud element G4 in the X direction, the Y direction, and the? Z direction as well. The second spiral member G4 guides the sheet substrate on the side surface (guide surface, G4a). The sheet substrate FB is supported on the side surface G4a of the second spiral member G4 until the surface Fp of the second portion F2 and the third portion F3 becomes parallel .

이와 같이 구성된 기판 처리 장치(FPA)에서, 시트 기판(FB)의 예를 들면 제2 부분(F2)을 -X 방향으로 이동하는 경우, 제어부(CONT)는, 제1 추 모양 부재(G3) 및 제2 추 모양 부재(G4)를 -X 방향으로 예를 들면 동일한 이동량씩 이동시킨다. 제1 추 모양 부재(G3) 및 제2 추 모양 부재(G4)의 이동에 의해서 시트 기판(FB)이 감기는 위치가 -X 방향으로 각각 이동하고, 이것에 수반하여 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)이 -X 방향으로 이동한다.In the substrate processing apparatus FPA configured as described above, when the second portion F2 of the sheet substrate FB is moved in the -X direction, for example, the control portion CONT controls the first chute member G3 and the second chute member G2, The second spade member G4 is moved in the -X direction, for example, by the same amount of movement. The position at which the sheet substrate FB is wound is moved in the -X direction by the movement of the first and second chute members G3 and G4, And the second part F2 moves in the -X direction.

이상과 같이, 본 실시 형태에 의하면, 제1 추 모양 부재(G3) 및 제2 추 모양 부재(G4)를 이동시켜도, 시트 기판(FB)에 대해서 반송 방향과는 다른 방향으로 힘이 작용하는 것을 억제할 수 있기 때문에, 예를 들면 시트 기판(FB)에 대해서 주름 등이 발생하지 않고, 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)을 이동시킬 수 있다.As described above, according to the present embodiment, even if the first sprocket G3 and the second sprocket G4 are moved, a force acts on the sheet substrate FB in a direction different from the conveying direction It is possible to move the second portion F2 of the sheet substrate FB without causing wrinkles or the like on the sheet substrate FB, for example.

또한, 제1 추 모양 부재(G3) 및 제2 추 모양 부재(G4)를 이용하는 경우, 예를 들면 도 8에 나타내는 바와 같이, 제2 추 모양 부재(G4)의 중심축(C4)이 제1 추 모양 부재(G3)의 중심축(C4)과 평행하게 되도록 제2 추 모양 부재(G4)를 배치하는 구성으로 해도 상관없다. 이 경우에서도, 도 6에 나타내는 구성과 동일한 효과를 나타내게 된다. 게다가, 도 6에 나타내는 구성에 비해, 스테이지 장치(ST)의 이동 가능한 범위가 넓어지게 되기 때문에, 바람직한 구성이라고 말할 수 있다. 또, 도 8에 나타내는 구성은, 중심축(C3) 및 중심축(C4)이 Y 방향으로 평행이 되도록 배치된 구성이지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 중심축(C3) 및 중심축(C4)이 X 방향으로 평행이 되도록 배치된 구성으로 할 수 있다.8, the center axis C4 of the second spine member G4 is located at the center of the first spine member G3 and the second spine member G4, Shaped member G4 may be arranged so as to be parallel to the central axis C4 of the weight member G3. In this case as well, the same effect as that shown in Fig. 6 can be obtained. In addition, since the movable range of the stage device ST becomes wider as compared with the configuration shown in Fig. 6, it can be said that this configuration is preferable. The configuration shown in Fig. 8 is configured so that the central axis C3 and the central axis C4 are arranged parallel to each other in the Y direction, but the present invention is not limited thereto. For example, the central axis C3 and the central axis C4 are arranged in parallel in the X direction.

또, 제1 추 모양 부재(G3) 및 제2 추 모양 부재(G4)의 형상으로서는, 예를 들면 도 6 내지 도 8에 나타내어진 바와 같이 원추 모양으로 형성된 구성에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 다른 추 모양(타원추 모양, 다각추 모양)으로 형성된 구성을 적용할 수 있다. 또, 예를 들면 원기둥 모양 부재의 일부에 테이퍼(taper)부를 형성하고, 해당 테이퍼부를 이용하여 시트 기판(FB)을 구부리는 구성을 적용할 수 있다.The shapes of the first and second chute members G3 and G4 are not limited to the conical shape as shown in Figs. 6 to 8, for example. For example, it is possible to apply a configuration formed in another shape (cone shape, polygonal shape). It is also possible to adopt a configuration in which, for example, a tapered portion is formed in a part of the cylindrical member and the sheet substrate FB is bent using the tapered portion.

또한, 상기 각 실시 형태에서는, 제1 안내 부재 및 제2 안내 부재를 회전시키는 구성을 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 기판 처리 장치(FPA) 내에 고정된 원기둥 모양 부재나 원통 모양 부재, 추 모양 부재를 이용해도 상관없다. 이와 같은 원기둥 모양 부재나 원통 모양 부재, 추 모양 부재를 이용하는 경우, 안내 롤러(G)와 같은 회전 동작이 없는 점 이외는, 안내 롤러(G)와 동일한 동작으로 시트 기판(FB)의 위치 조정을 행할 수 있다. Further, in each of the above-described embodiments, the configuration in which the first guide member and the second guide member are rotated is described as an example, but the present invention is not limited thereto. For example, a cylindrical member, a cylindrical member, or a chisel member fixed within the substrate processing apparatus (FPA) may be used. The position adjustment of the sheet substrate FB can be performed by the same operation as that of the guide roller G except that there is no rotation operation like the guide roller G in the case of using such a cylindrical member, .

또, 이와 같이, 고정된 원기둥 모양 부재, 원통 모양 부재나 추 모양 부재를 이용하는 경우에는, 시트 기판(FB)의 이면을 지지하는 안내면만을 남기고, 안내면 이외의 부분을 제거해도 괜찮다.In the case of using the fixed cylindrical member, the cylindrical member, or the weight member as described above, it is also possible to remove the portion other than the guide surface while leaving only the guide surface for supporting the back surface of the sheet substrate FB.

또, 상기 각 실시 형태에서는, 제1 안내 부재 및 제2 안내 부재로서, 원기둥 모양 부재, 원통 모양 부재, 추 모양 부재를 이용하는 경우, 시트 기판(FB)을 이들의 제1 안내 부재 및 제2 안내 부재에 접촉시키는 구성을 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 시트 기판(FB)과 안내 부재를 비접촉 상태로 하는 구성이라도 상관없다. 이와 같은 구성으로서는, 예를 들면, 제1 안내 부재 및 제2 안내 부재의 표면에 기체층을 형성하고, 해당 기체층을 통하여 시트 기판(FB)을 유지하는 구성 등을 들 수 있다.Further, in each of the above-described embodiments, when a cylindrical member, a cylindrical member, and a weight member are used as the first guide member and the second guide member, the sheet substrate FB is held between the first guide member and the second guide member But the present invention is not limited to this. For example, the sheet substrate FB and the guide member may be in a noncontact state. Such a configuration includes, for example, a configuration in which a base layer is formed on the surfaces of the first guide member and the second guide member, and the sheet substrate FB is held through the base layer.

또, 상기 실시 형태에서는, 시트 기판(FB) 중 제1 안내 롤러(G1)와 제2 안내 롤러(G2)와의 사이 부분에 얼라이먼트 카메라(51)를 배치하고, 얼라이먼트 카메라(51)의 검출 결과를 이용하여 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)를 구동하는 구성을 예로 들어 설명했다. 이것에 더하여, 예를 들면 제1 안내 롤러(G1) 보다도 반송 방향 상류측 및 제2 안내 롤러(G2) 보다도 반송 방향 하류측 중 적어도 일방에, 별도의 얼라이먼트 카메라를 배치하는 구성으로 해도 상관없다. 이 경우, 별도로 배치한 얼라이먼트 카메라의 검출 결과에 근거하여 시트 기판(FB)의 위치를 조정하는 조정 기구를 별도로 마련하는 구성으로 할 수 있다. 또, 이와 같은 조정 기구로서, 예를 들면 롤러 장치(R)를 이용해도 상관없고, 다른 구성이라도 상관없다.In the above embodiment, the alignment camera 51 is disposed between the first guide roller G1 and the second guide roller G2 of the sheet substrate FB and the detection result of the alignment camera 51 is The first guide roller G1 and the second guide roller G2 are driven by using the above-described structure. In addition, for example, a separate alignment camera may be arranged on at least one of the upstream side of the first guide roller G1 in the transport direction and the downstream side of the second guide roller G2 in the transport direction. In this case, an adjustment mechanism for adjusting the position of the sheet substrate FB may be separately provided based on the detection result of the alignment camera separately disposed. As such an adjustment mechanism, for example, a roller device R may be used, and other configurations may be used.

또, 상기 실시 형태에서는, 시트 기판(FB)에 형성된 얼라이먼트 마크(AM)를 이용하여 시트 기판(FB)의 위치 맞춤을 행하는 구성을 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 시트 기판(FB)에 얼라이먼트 마크가 형성되어 있지 않은 경우라도, 얼라이먼트 카메라(51)에 의해서 시트 기판(FB) 중 반송 방향으로 평행한 양변을 검출하고, 해당 검출 결과를 이용하여 시트 기판(FB)의 위치 맞춤을 행하는 구성으로 해도 상관없다.In the above embodiment, the alignment of the sheet substrate FB using the alignment mark AM formed on the sheet substrate FB has been described as an example, but the present invention is not limited thereto. For example, even when the alignment mark is not formed on the sheet substrate FB, both the parallel sides of the sheet substrate FB in the conveying direction are detected by the alignment camera 51, And the substrate FB may be aligned.

또, 상기 실시 형태에서는, 스테이지 장치(ST) 중 시트 기판(FB)을 지지하는 지지면(Sa)이 평탄면으로 형성된 경우를 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 지지면(Sa)이 오목한 모양 또는 볼록한 모양으로 형성된 곡면이라도, 본 발명의 적용은 가능하다. 또, 스테이지 장치(ST)에 롤러를 배치하고, 지지면(Sa)으로서 해당 롤러의 표면의 일부를 이용해도 상관없다.In the above embodiment, the support surface Sa for supporting the sheet substrate FB in the stage device ST is formed as a flat surface. However, the present invention is not limited to this. For example, the present invention is applicable even if the support surface Sa is a concaved or convex surface. It is also possible to dispose a roller on the stage device ST and use a part of the surface of the roller as the support surface Sa.

또, 상기 실시 형태에서는, 시트 기판(FB)의 위치 맞춤 후에 해당 시트 기판(FB)을 스테이지 장치(ST)에 흡착시키는 예를 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 시트 기판(FB)의 위치 맞춤 전에, 예를 들면 스테이지 장치(ST)의 흡착부(40)에 시트 기판(FB)을 흡착시키도록 해도 상관없다. 이 경우, 시트 기판(FB)의 위치 맞춤을 행할 때에는, 예를 들면 스테이지 장치(ST)의 구동과 제1 안내 롤러(G1) 및 제2 안내 롤러(G2)의 구동을 동기시키고, 시트 기판(FB)에 대해서 작용하는 힘의 방향을 유지하면서 해당 시트 기판(FB)의 위치를 조정한다.In the above embodiment, the stage substrate ST is attracted to the sheet substrate FB after the positioning of the sheet substrate FB. However, the present invention is not limited to this. The sheet substrate FB may be sucked to the suction portion 40 of the stage device ST before the positioning of the sheet substrate FB, for example. In this case, when aligning the sheet substrate FB, for example, the driving of the stage device ST and the driving of the first guide roller G1 and the second guide roller G2 are synchronized, FB) while adjusting the position of the sheet substrate FB while maintaining the direction of the force acting on the sheet substrate FB.

상기 실시 형태에 기재한 제1 안내 부재 및 제2 안내 부재는, 예를 들면 처리 장치(10)를 사이에 두는 위치에 한정되지 않고, 기판 처리 장치(FPA) 중 시트 기판(FB)의 반송 경로에 적절히 배치할 수 있다. 또, 상기 실시 형태에서, 제1 안내 부재와 제2 안내 부재와의 사이에 배치되는 처리 장치(10)는 단수라도 복수라도 상관없다.The first guide member and the second guide member described in the above embodiment are not limited to the position where the processing apparatus 10 is placed, for example, As shown in Fig. In the above embodiment, the number of the processing apparatuses 10 disposed between the first guide member and the second guide member may be a single number or a plurality.

또, 제1 안내 롤러(G1)와, 제1 안내 롤러(G1)의 상류측 롤러 장치(R)와의 사이에 미도시한 느슨해짐부를 만들고, 제2 안내 롤러(G2)와, 제2 안내 롤러(G2)의 하류측 롤러 장치(R)와의 사이에 느슨해짐부를 만들어도 괜찮다. 게다가 상류측 롤러 장치(R) 및 하류측 롤러 장치(R)를 시트 기판(FB)의 표면 및 이면에 접촉함과 아울러, 시트 기판(FB)을 사이에 두도록 하는 구성으로 해도 괜찮다.It is also possible to make a loosened portion not shown between the first guide roller G1 and the upstream roller device R of the first guide roller G1 and to fix the second guide roller G2, It is also possible to make a loosened portion between the roller device R on the downstream side of the roller G2. The upstream roller device R and the downstream roller device R may be in contact with the front and back surfaces of the sheet substrate FB and the sheet substrate FB may be interposed therebetween.

[제4 실시 형태］[Fourth Embodiment]

다음에, 본 발명의 제4 실시 형태를 설명한다. 도 9는, 본 발명의 제4 실시 형태에 관한 기판 처리 장치(FPA)의 구성을 나타내는 도면이다. 이하의 설명에서, 상술의 실시 형태와 동일 또는 동등의 구성 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고, 그 설명을 간략 혹은 생략한다.Next, a fourth embodiment of the present invention will be described. Fig. 9 is a diagram showing a configuration of a substrate processing apparatus (FPA) according to a fourth embodiment of the present invention. In the following description, the same or equivalent components to those of the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will be simplified or omitted.

본 실시 형태에서, 도 9에 나타내는 바와 같이, 기판 처리부(PR)는, 기판 공급부(SU)로부터 공급되는 시트 기판(FB)을 기판 회수부(CL)로 반송함과 아울러, 반송 과정에서 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)에 대해서 처리를 행한다. 기판 처리부(PR)는, 예를 들면 처리 장치(10), 반송 장치(30) 및 얼라이먼트 장치(미도시) 등을 가지고 있다.9, the substrate processing unit PR transports the sheet substrate FB supplied from the substrate supply unit SU to the substrate recovery unit CL, and in the conveying process, (Fp) of the substrate (FB). The substrate processing section PR has, for example, a processing apparatus 10, a transport apparatus 30, and an alignment apparatus (not shown).

처리 장치(10)는, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)에 대해서 예를 들면 유기 EL소자를 형성하기 위한 각종 처리부(예를 들면, 처리부(10A) 및 처리부(10B) 등)를 가지고 있다. 이와 같은 처리부로서는, 예를 들면 피처리면(Fp) 상에 격벽을 형성하기 위한 격벽 형성 장치, 유기 EL 소자를 구동하기 위한 전극을 형성하기 위한 전극 형성 장치, 발광층을 형성하기 위한 발광층 형성 장치 등이 마련된다. 보다 구체적으로는, 액적 도포 장치(예를 들면 잉크젯형 도포 장치, 스핀 코트형 도포 장치 등), 증착 장치, 스퍼터링 장치 등의 성막 장치나, 노광 장치, 현상 장치, 표면 개질 장치, 세정 장치 등을 들 수 있다. 이들의 각 장치는, 예를 들면 시트 기판(FB)의 반송 경로 상에 적절히 마련되어 있다.The processing apparatus 10 has various processing sections (for example, a processing section 10A and a processing section 10B) for forming, for example, an organic EL element on the processed surface Fp of the sheet substrate FB have. Examples of such a processing section include a partition wall forming apparatus for forming a partition wall on the surface to be treated Fp, an electrode forming apparatus for forming an electrode for driving the organic EL element, a light emitting layer forming apparatus for forming a light emitting layer, and the like . More specifically, a film forming apparatus such as a droplet applying apparatus (for example, an ink jet type coating apparatus or a spin coat type coating apparatus), a vapor deposition apparatus or a sputtering apparatus, an exposure apparatus, a developing apparatus, a surface modifying apparatus, . Each of these devices is suitably provided on, for example, a conveyance path of the sheet substrate FB.

반송 장치(30)는, 기판 처리부(PR) 내에서 예를 들면 시트 기판(FB)을 기판 회수부(CL)측로 반송하는 롤러 장치(R)와, 처리 장치(10)를 사이에 두도록 해당 처리 장치(10)의 상류측 및 하류측에 배치되는 안내 롤러(G)를 가지고 있다. 롤러 장치(R)는, 시트 기판(FB)의 반송 경로를 따라서 예를 들면 복수 마련되어 있다. 복수의 롤러 장치(R) 중 적어도 일부의 롤러 장치(R)에는, 구동 기구(미도시)가 장착되어 있다. 이와 같은 롤러 장치(R)가 회전하는 것에 의해, 시트 기판(FB)이 X축 방향으로 반송되도록 되어 있다. 복수의 롤러 장치(R) 중 예를 들면 일부의 롤러 장치(R)가 반송 방향과 직교하는 방향으로 이동 가능하게 마련된 구성이라도 상관없다. 또한, 기판 처리부(PR) 전체에서는 시트 기판(FB)은 ＋X 방향으로 반송되게 된다.The conveying device 30 is provided with a roller device R for conveying the sheet substrate FB to the substrate collecting part CL side for example in the substrate processing part PR, And a guide roller G disposed on the upstream side and the downstream side of the apparatus 10. A plurality of roller units R are provided along the conveyance path of the sheet substrate FB, for example. A drive mechanism (not shown) is mounted on at least a part of the roller devices R among the plurality of roller devices R. By rotating the roller device R as described above, the sheet substrate FB is conveyed in the X-axis direction. For example, a part of the roller apparatus R among the plurality of roller apparatuses R may be provided so as to be movable in a direction perpendicular to the carrying direction. In addition, in the entire substrate processing section PR, the sheet substrate FB is transported in the + X direction.

도 10은, 처리 장치(10) 및 안내 롤러(G)의 구성을 나타내는 개략도이다. 또한, 도 10은, 기판 처리 장치(FPA)를 상측(＋Z 방향)으로부터 보았을 때의 구성을 나타내고 있다. Fig. 10 is a schematic view showing the structure of the processing apparatus 10 and the guide roller G. Fig. Fig. 10 shows a configuration when the substrate processing apparatus FPA is viewed from above (+ Z direction).

도 10에 나타내는 바와 같이, 안내 롤러(G)는, 제1 안내 롤러(G21), 제2 안내 롤러(G22), 제3 안내 롤러(G23) 및 제4 안내 롤러(G24)를 가지고 있다. 제1 안내 롤러(G21) ~ 제4 안내 롤러(G24)는, 시트 기판(FB)의 반송 경로의 상류측으로부터 하류측을 향하여 순차적으로 배치되어 있다. 제1 안내 롤러(G21) ~ 제4 안내 롤러(G24)는, 각각 예를 들면 원기둥 모양이나 원통 모양 등으로 형성되어 있다.As shown in Fig. 10, the guide roller G has a first guide roller G21, a second guide roller G22, a third guide roller G23 and a fourth guide roller G24. The first to fourth guide rollers G21 to G24 are sequentially arranged from the upstream side to the downstream side of the conveyance path of the sheet substrate FB. Each of the first to fourth guide rollers G21 to G24 is formed into, for example, a cylindrical shape or a cylindrical shape.

제1 안내 롤러(G21)는, 해당 제1 안내 롤러(G21)의 상류측으로부터 제1 방향(＋X 방향)으로 반송되어 오는 시트 기판(FB)의 제1 부분 (제1 안내 롤러(G21)로 안내되기 전의 부분, 즉, 제1 안내 롤러(G21)에 대해, 시트 기판(FB)의 상류측 부분, F1)의 짧은 방향(폭 방향：여기에서는 Y 방향)에 대해서, 중심축(C1)이 경사 방향으로 기울도록 배치되어 있다. 제1 안내 롤러(G21)는, 롤러 표면(안내면, G21a)에서 시트 기판(FB)의 이면을 안내한다. 또한, 제1 안내 롤러(G21)의 상류측으로부터 반송되어 오는 시트 기판(FB)은, 도 10에서, 시트 기판(FB)의 이면(Fg)이 상측을 향하고 있는 상태이다.The first guide roller G21 is rotatably supported by a first portion of the sheet substrate FB (first guide roller G21) which is conveyed in the first direction (+ X direction) from the upstream side of the first guide roller G21 With respect to the portion before the guide, that is, the first guide roller G21, with respect to the short direction (width direction: Y direction in this case) of the upstream side portion F1 of the sheet substrate FB, And is inclined in the oblique direction. The first guide roller G21 guides the back surface of the sheet substrate FB from the roller surface (guide surface G21a). The sheet substrate FB conveyed from the upstream side of the first guide roller G21 is in a state in which the back face Fg of the sheet substrate FB is directed upward.

제1 안내 롤러(G21)는, 시트 기판(FB)의 제1 부분(F1)을 해당 시트 기판(FB)의 짧은 방향에 대해서 경사 방향으로 굽힘과 아울러, 제1 안내 롤러(G21)의 롤러 표면을 따라서 시트 기판(FB)을 접는 것에 의해서, 시트 기판(FB)의 반송 방향을 상기 제1 방향으로부터 제2 방향(－Y 방향)으로 변환한다. 본 실시 형태에서, 제1 안내 롤러(G21)는, 시트 기판(FB)을 실질적으로 경사지게 굽힐 수 있다. 시트 기판(FB)은 제1 안내 롤러(G21)를 통하여 비틂(twist)을 수반하여 구부러질 수 있다. 시트 기판(FB)에는, 제1 안내 롤러(G21)로 안내되는 부분에서, 반송 방향(제1 방향)에 대해서 경사한, 부분적인 둘레면이 형성될 수 있다. 제1 방향(＋X 방향)의 진행 방향을 가지는 시트 기판(FB)이 제1 안내 롤러(G21)로 들어간다. 제2 방향(－Y 방향)의 진행 방향을 가지는 시트 기판(FB)이 제1 안내 롤러(G21)로부터 나온다. 본 실시 형태에서, 해당 제2 방향은, 예를 들면 제1 방향과 직교하는 방향이다. 제1 안내 롤러(G21)는, 시트 기판(FB)의 이면(Fg)을 지지하면서 해당 시트 기판(FB)을 접는다. 예를 들면, 제1 안내 롤러(G21)에 의해서 접혀진 시트 기판(FB)은, 제2 방향에서, 피처리면(Fp)이 상측(처리 장치(10)측)을 향하게 된다. 또, 시트 기판(FB)은, 제1 안내 롤러(G21)의 전후에서, 제1 부분(F1)과 후술하는 제2 부분(F2)이 서로 평행하게 될 때 까지, 해당 제1 안내 롤러(G21)의 롤러 표면(G21a)에 지지되어 있다.The first guide roller G21 bends the first portion F1 of the sheet substrate FB in the oblique direction with respect to the short direction of the sheet substrate FB and the first portion F1 of the first guide roller G21, The conveying direction of the sheet substrate FB is changed from the first direction to the second direction (-Y direction) by folding the sheet substrate FB along the conveying direction. In the present embodiment, the first guide roller G21 can bend the sheet substrate FB at a substantially inclined angle. The sheet substrate FB can be bent with the twist through the first guide roller G21. The sheet substrate FB may be provided with a partial circumferential surface inclined with respect to the conveying direction (first direction) at a portion guided by the first guide roller G21. The sheet substrate FB having the advancing direction in the first direction (+ X direction) enters the first guide roller G21. The sheet substrate FB having the advancing direction in the second direction (-Y direction) comes out of the first guide roller G21. In the present embodiment, the second direction is, for example, a direction orthogonal to the first direction. The first guide roller G21 folds the sheet substrate FB while supporting the back face Fg of the sheet substrate FB. For example, the sheet substrate FB folded by the first guide roller G21 faces the upper side (the side of the processing apparatus 10) with the side to be processed Fp in the second direction. The sheet substrate FB is held between the first guide roller G21 and the second guide roller G21 until the first portion F1 and the second portion F2 described later become parallel to each other before and after the first guide roller G21 On the roller surface G21a.

제2 안내 롤러(G22)는, 해당 제2 안내 롤러(G22)의 상류측으로부터 제2 방향으로 반송되어 오는 시트 기판(FB)의 제2 부분(제2 안내 롤러(G22)로 안내되기 전의 부분, 즉, 제2 안내 롤러(G22)에 대해, 시트 기판(FB)의 상류측 부분, F2)에 대해서, 중심축(C2)이 경사 방향으로 기울도록 배치되어 있다. 제2 안내 롤러(G22)는, 롤러 표면(안내면, G22a)에서 시트 기판(FB)의 이면을 안내한다. 또한, 제2 안내 롤러(G22)의 상류측으로부터 반송되어 오는 시트 기판(FB)은, 도 10에서, 전술한 바와 같이, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)이 상측을 향하고 있는 상태이다.The second guide roller G22 has a second portion of the sheet substrate FB which is conveyed in the second direction from the upstream side of the second guide roller G22 (a portion before being guided to the second guide roller G22) That is, the upstream portion F2 of the sheet substrate FB with respect to the second guide roller G22, the center axis C2 is inclined in the oblique direction. The second guide roller G22 guides the back surface of the sheet substrate FB from the roller surface (guide surface, G22a). The sheet substrate FB conveyed from the upstream side of the second guide roller G22 is in a state in which the surface to be processed Fp of the sheet substrate FB is directed upward as shown in Fig. .

제2 안내 롤러(G22)는, 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)을 해당 시트 기판(FB)의 짧은 방향에 대해서 경사 방향으로 굽힘과 아울러, 제2 안내 롤러(G22)의 롤러 표면을 따라서 시트 기판(FB)을 접는 것에 의해서, 시트 기판(FB)의 반송 방향을 상기 제2 방향으로부터 제3 방향(＋X 방향)으로 변환한다. 본 실시 형태에서, 제2 안내 롤러(G22)는, 시트 기판(FB)을 실질적으로 경사지게 굽힐 수 있다. 시트 기판(FB)은 제2 안내 롤러(G22)를 통하여 비틂(twist)을 수반하여 구부러질 수 있다. 시트 기판(FB)에는, 제2 안내 롤러(G22)로 안내되는 부분에서, 반송 방향(제2 방향)에 대해서 경사한, 부분적인 둘레면이 형성될 수 있다. 제2 방향(－Y 방향)의 진행 방향을 가지는 시트 기판(FB)이 제2 안내 롤러(G22)로 들어간다. 제3 방향(＋X 방향)의 진행 방향을 가지는 시트 기판(FB)이 제2 안내 롤러(G22)로부터 나온다. 본 실시 형태에서, 해당 제3 방향은, 예를 들면 제1 방향과 평행한 방향이다. 제2 안내 롤러(G22)는, 시트 기판(FB)의 이면(Fg)을 지지하면서 해당 시트 기판(FB)을 접는다. 예를 들면, 제2 안내 롤러(G22)에 의해서 접혀진 시트 기판(FB)은, 제3 방향에서, 이면(Fg)이 상측을 향하고, 피처리면(Fp)이 하측을 향하게 된다. 또, 시트 기판(FB)은, 제2 안내 롤러(G22)의 전후에서, 제2 부분(F2)과 후술하는 제3 부분(F3)이 서로 평행하게 될 때까지, 해당 제2 안내 롤러(G22)의 롤러 표면(G22a)에 지지되어 있다.The second guide roller G22 is configured to bend the second portion F2 of the sheet substrate FB in the oblique direction with respect to the short direction of the sheet substrate FB, The conveying direction of the sheet substrate FB is changed from the second direction to the third direction (+ X direction) by folding the sheet substrate FB along the first direction. In the present embodiment, the second guide roller G22 can bend the sheet substrate FB at a substantially inclined angle. The sheet substrate FB can be bent with the twist through the second guide roller G22. The sheet substrate FB may be provided with a partial circumferential surface inclined with respect to the conveying direction (second direction) at a portion guided by the second guide roller G22. The sheet substrate FB having the advancing direction in the second direction (-Y direction) enters the second guide roller G22. The sheet substrate FB having the advancing direction in the third direction (+ X direction) comes out of the second guide roller G22. In the present embodiment, the third direction is, for example, a direction parallel to the first direction. The second guide roller G22 folds the sheet substrate FB while supporting the back face Fg of the sheet substrate FB. For example, the back side Fg of the sheet substrate FB folded by the second guide roller G22 faces upward and the side Fp of the object side faces downward in the third direction. The sheet substrate FB is conveyed by the second guide roller G22 until the second portion F2 and a third portion F3 described later become parallel to each other before and after the second guide roller G22 Of the roller surface G22a.

제3 안내 롤러(G23)는, 해당 제3 안내 롤러(G23)의 상류측으로부터 제3 방향(＋X 방향)으로 반송되어 오는 시트 기판(FB)의 제3 부분(제3 안내 롤러(G23)로 안내되기 전의 부분, 즉, 제3 안내 롤러(G23)에 대해, 시트 기판(FB)의 상류측 부분, F3)의 짧은 방향(폭 방향：여기에서는 Y 방향)에 대해서, 중심축(C3)이 경사 방향으로 기울도록 배치되어 있다. 제3 안내 롤러(G23)는, 롤러 표면(안내면, G23a)에서 시트 기판(FB)의 이면을 안내한다. 또한, 제3 안내 롤러(G23)의 상류측으로부터 반송되어 오는 시트 기판(FB)은, 도 10에서, 전술한 바와 같이 시트 기판(FB)의 이면(Fg)이 상측을 향하고 있는 상태이다.The third guide roller G23 is a third portion of the sheet substrate FB which is conveyed in the third direction (+ X direction) from the upstream side of the third guide roller G23 With respect to the portion before the guide, that is, the third guide roller G23, with respect to the short direction (width direction: Y direction in this case) of the upstream portion F3 of the sheet substrate FB, the center axis C3 And is inclined in the oblique direction. The third guide roller G23 guides the back surface of the sheet substrate FB from the roller surface (guide surface G23a). The sheet substrate FB conveyed from the upstream side of the third guide roller G23 is in a state in which the back face Fg of the sheet substrate FB is directed upward as shown in Fig.

제3 안내 롤러(G23)는, 시트 기판(FB)의 제3 부분(F3)을 해당 시트 기판(FB)의 짧은 방향에 대해서 경사 방향으로 굽힘과 아울러, 제3 안내 롤러(G23)의 롤러 표면을 따라서 시트 기판(FB)을 접는 것에 의해서, 시트 기판(FB)의 반송 방향을 상기 제3 방향으로부터 제4 방향(＋Y 방향)으로 변환한다. 본 실시 형태에서, 제3 안내 롤러(G23)는, 시트 기판(FB)을 실질적으로 경사지게 굽힐 수 있다. 시트 기판(FB)은 제3 안내 롤러(G23)를 통하여 비틂(twist)을 수반하여 구부러질 수 있다. 시트 기판(FB)에는, 제3 안내 롤러(G23)로 안내되는 부분에서, 반송 방향(제3 방향)에 대해서 경사한, 부분적인 둘레면이 형성될 수 있다. 제3 방향(＋X 방향)의 진행 방향을 가지는 시트 기판(FB)이 제3 안내 롤러(G23)로 들어간다. 제4 방향(＋Y 방향)의 진행 방향을 가지는 시트 기판(FB)이 제3 안내 롤러(G23)로부터 나온다. 본 실시 형태에서, 해당 제4 방향은, 예를 들면 제1 방향 및 제3 방향과 직교하는 방향이며, 제2 방향과는 반대의 방향이다. 제3 안내 롤러(G23)는, 시트 기판(FB)의 이면(Fg)을 지지하면서 해당 시트 기판(FB)을 접는다. 예를 들면, 제3 안내 롤러(G23)에 의해서 접혀진 시트 기판(FB)은, 제4 방향에서, 피처리면(Fp)이 상측을 향하여, 처리 장치(10)로 피처리면의 처리가 가능하게 된다. 또, 시트 기판(FB)은, 제3 안내 롤러(G23)의 전후에서, 제3 부분과 후술하는 제4 부분이 서로 평행하게 될 때까지, 해당 제3 안내 롤러(G23)의 롤러 표면(G23a)에 지지되어 있다.The third guide roller G23 is configured to bend the third portion F3 of the sheet substrate FB in the oblique direction with respect to the short direction of the sheet substrate FB, The conveying direction of the sheet substrate FB is changed from the third direction to the fourth direction (+ Y direction) by folding the sheet substrate FB along the first direction. In the present embodiment, the third guide roller G23 can bend the sheet substrate FB at a substantially inclined angle. The sheet substrate FB can be bent with the twist through the third guide roller G23. A partial circumferential surface inclined with respect to the conveying direction (third direction) may be formed on the sheet substrate FB at a portion guided by the third guide roller G23. The sheet substrate FB having the advancing direction in the third direction (+ X direction) enters the third guide roller G23. The sheet substrate FB having the advancing direction in the fourth direction (+ Y direction) comes out of the third guide roller G23. In the present embodiment, the fourth direction is, for example, a direction orthogonal to the first direction and the third direction, and is opposite to the second direction. The third guide roller G23 folds the sheet substrate FB while supporting the back face Fg of the sheet substrate FB. For example, the sheet substrate FB folded by the third guide roller G23 can be processed on the surface to be treated by the treatment apparatus 10 in the fourth direction with the surface to be treated Fp facing upward . The sheet substrate FB is conveyed to the roller surface G23a of the third guide roller G23 before and after the third guide roller G23 until the third portion and the fourth portion described later become parallel to each other .

제4 안내 롤러(G24)는, 해당 제4 안내 롤러(G24)의 상류측으로부터 제4 방향(＋Y 방향)으로 반송되어 오는 시트 기판(FB)의 제4 부분(제4 안내 롤러(G24)으로 안내되기 전의 부분, 즉, 제4 안내 롤러(G24)에 대해, 시트 기판(FB)의 상류측 부분, F4)에 대해서, 중심축(C4)이 경사 방향으로 기울도록 배치되어 있다. 제4 안내 롤러(G24)는, 롤러 표면(안내면, G24a)에서 시트 기판(FB)의 이면을 안내한다. 또한, 제4 안내 롤러(G24)의 상류측으로부터 반송되어 오는 시트 기판(FB)은, 도 10에서, 전술한 바와 같이 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)이 상측을 향하고 있는 상태이다.The fourth guide roller G24 is moved in the fourth direction (the fourth guide roller G24) of the sheet substrate FB which is transported in the fourth direction (+ Y direction) from the upstream side of the fourth guide roller G24 The central axis C4 is arranged to be inclined in the oblique direction with respect to the portion before the guide, that is, the fourth guide roller G24, the upstream side portion F4 of the sheet substrate FB. The fourth guide roller G24 guides the back surface of the sheet substrate FB on the roller surface (guide surface, G24a). The sheet substrate FB conveyed from the upstream side of the fourth guide roller G24 has a state in which the surface to be processed Fp of the sheet substrate FB is directed upward as shown in Fig.

제4 안내 롤러(G24)는, 시트 기판(FB)의 제4 부분(F4)을 해당 시트 기판(FB)의 짧은 방향에 대해서 경사 방향으로 굽힘과 아울러, 제4 안내 롤러(G24)의 롤러 표면을 따라서 시트 기판(FB)을 접는 것에 의해서, 시트 기판(FB)의 반송 방향을 상기 제4 방향으로부터 제５ 방향(＋X 방향)으로 변환한다. 본 실시 형태에서, 제4 안내 롤러(G24)는, 시트 기판(FB)을 실질적으로 경사지게 굽힐 수 있다. 시트 기판(FB)은 제4 안내 롤러(G24)를 통하여 비틂(twist)을 수반하여 구부러질 수 있다. 시트 기판(FB)에는, 제4 안내 롤러(G24)로 안내되는 부분에서, 반송 방향(제4 방향)에 대해서 경사한, 부분적인 둘레면이 형성될 수 있다. 제4 방향(＋Y 방향)의 진행 방향을 가지는 시트 기판(FB)이 제4 안내 롤러(G24)로 들어간다. 제５ 방향(＋X 방향)의 진행 방향을 가지는 시트 기판(FB)이 제4 안내 롤러(G24)로부터 나온다. 본 실시 형태에서, 해당 제５ 방향은, 예를 들면 제1 방향 및 제3 방향과 평행한 방향이다. 제4 안내 롤러(G24)는, 시트 기판(FB)의 이면(Fg)을 지지하면서 해당 시트 기판(FB)을 접는다. 예를 들면 제4 안내 롤러(G24)에 의해서 접혀진 시트 기판(FB)은, 제５ 방향에서, 이면(Fg)이 상측을 향하고, 피처리면(Fp)이 하측을 향하게 된다. 또, 시트 기판(FB)은, 제4 안내 롤러(G24)의 전후에서, 제4 부분(F4)과 제５ 부분(F5, 제4 안내 롤러(G24)로 안내된 후의 부분, 즉, 제4 안내 롤러(G24)에 대해, 시트 기판(FB)의 하류측 부분)이 서로 평행하게 될 때까지, 해당 제4 안내 롤러(G24)의 롤러 표면(G24a)에 지지되어 있다.The fourth guide roller G24 is configured to bend the fourth portion F4 of the sheet substrate FB in the oblique direction with respect to the short direction of the sheet substrate FB, The conveying direction of the sheet substrate FB is changed from the fourth direction to the fifth direction (+ X direction) by folding the sheet substrate FB along the first direction. In the present embodiment, the fourth guide roller G24 can bend the sheet substrate FB at a substantially inclined angle. The sheet substrate FB can be bent with the twist through the fourth guide roller G24. The sheet substrate FB may be provided with a partial circumferential surface inclined with respect to the conveying direction (fourth direction) at a portion guided by the fourth guide roller G24. The sheet substrate FB having the advancing direction in the fourth direction (+ Y direction) enters the fourth guide roller G24. The sheet substrate FB having the advancing direction in the fifth direction (+ X direction) comes out from the fourth guide roller G24. In the present embodiment, the fifth direction is, for example, a direction parallel to the first direction and the third direction. The fourth guide roller G24 folds the sheet substrate FB while supporting the back face Fg of the sheet substrate FB. For example, the sheet substrate FB folded by the fourth guide roller G24 is directed in the fifth direction such that the back side Fg faces upward and the target surface Fp faces downward. It should be noted that the sheet substrate FB is provided on the front and rear sides of the fourth guide roller G24 and after the fourth portion F4 and the fifth portion F5 are guided to the fourth guide roller G24, Is guided by the roller surface G24a of the fourth guide roller G24 until the guide roller G24 is in parallel with the sheet guide plate G24 on the downstream side of the sheet substrate FB.

상기의 4개의 안내 롤러(G21 ~ G24)에 의해서 반송되는 시트 기판(FB)의 반송 방향은, 제1 부분(F1)에서는 ＋X 방향(제1 방향)이고, 제2 부분(F2)에서는 -Y 방향(제2 방향)이고, 제3 부분(F3)에서는 다시 ＋X 방향(제3 방향)이고, 제4 부분(F4)에서는 ＋Y 방향(제4 방향)이며, 제５ 부분(F5)에서는 ＋X 방향(제５ 방향)이다.The conveyance direction of the sheet substrate FB conveyed by the four guide rollers G21 to G24 is the + X direction (first direction) in the first part F1 and the Y direction in the second part F2 (Fourth direction) in the fourth part F4, and in the + X direction (third direction) in the third part F3, and in the + X direction (Fifth direction).

그 때, 시트 기판(FB)은, 제1 방향, 제3 방향 및 제５ 방향에서, 시트 기판(FB)의 이면(Fg)이 상측을 향하고 있으며, 제2 방향 및 제4 방향에서, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)이 상측을 향하고 있다.At this time, the back face Fg of the sheet substrate FB is upward in the first direction, the third direction and the fifth direction, and in the second direction and the fourth direction, The surface Fp of the workpiece FB is directed upward.

따라서, 처리 장치(10, 처리부(10A), 처리부(10B))에 의해서, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)을 처리할 때까지는, 피처리면(Fp)이 아래를 향하고 있기 때문에, 피처리면(Fp)에 대한 먼지 등의 부착을 저감할 수 있다.Therefore, the object side Fp faces downward until the object side Fp of the sheet substrate FB is processed by the processing apparatus 10 (the processing unit 10A, the processing unit 10B) It is possible to reduce adhesion of dust and the like to the reed surface Fp.

이와 같이, 시트 기판(FB)은, 제1 안내 롤러(G21), 제2 안내 롤러(G22), 제3 안내 롤러(G23) 및 제4 안내 롤러(G24)를 각각 전환점로 하는 크랭크 모양의 경로를 반송되게 된다. 또, 제4 안내 롤러(G24)에 의해서 접어 구부러진 시트 기판(FB)은, 제５ 방향, 즉, 기판 처리부(PR)의 전체로서의 시트 기판(FB)의 반송 방향으로 반송되게 된다.As described above, the sheet substrate FB is provided with a crank-shaped path having a first guiding roller G21, a second guiding roller G22, a third guiding roller G23 and a fourth guiding roller G24, . The sheet substrate FB folded and folded by the fourth guide roller G24 is conveyed in the fifth direction, that is, the conveying direction of the sheet substrate FB as a whole of the substrate processing section PR.

또, 도 10에 나타내는 바와 같이, 처리 장치(10)는, 처리부(10A) 및 처리부(10B)를 가지고 있다. 처리부(10A)는, 예를 들면 Y 방향에서 제1 안내 롤러(G21)와 제2 안내 롤러(G22)와의 사이 위치에 마련되어 있으며, 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)의 피처리면(Fp)에 대향하여 배치되어 있다. 처리부(10B)는, 예를 들면 Y 방향에서 제3 안내 롤러(G23)와 제4 안내 롤러(G24)와의 사이 위치에 배치되어 있으며, 시트 기판(FB)의 제4 부분(F4)의 피처리면(Fp)에 대향하여 배치되어 있다. 본 실시 형태에서는, 처리부(10A) 및 처리부(10B)는, 예를 들면 서로 다른 처리를 행하도록 되어 있다.As shown in Fig. 10, the processing apparatus 10 has a processing section 10A and a processing section 10B. The processing section 10A is provided at a position between the first guide roller G21 and the second guide roller G22 in the Y direction and is disposed on the side of the second portion F2 of the sheet substrate FB Fp). The processing section 10B is disposed at a position between the third guide roller G23 and the fourth guide roller G24 in the Y direction and is disposed at a position between the object side of the fourth portion F4 of the sheet substrate FB (Fp). In the present embodiment, the processing section 10A and the processing section 10B perform, for example, different processes.

처리부(10A)는, 예를 들면 구동 기구(11)에 접속되어 있으며, 예를 들면 X 방향 및 Y 방향으로 이동 가능하게 마련되어 있다. 예를 들면, 처리부(10A)는, 제2 부분(F2) 상의 제1 위치(A1)와 제4 부분(F4) 상의 제2 위치(A2)와의 사이를 이동할 수 있도록 되어 있다(X 방향의 이동). 또, 처리부(10A)는, 제2 부분(F2) 상 및 제4 부분(F4) 상을 이동할 수 있도록 되어 있다(Y 방향의 이동).The processing section 10A is connected to, for example, the drive mechanism 11, and is provided movably in the X direction and the Y direction, for example. For example, the processing section 10A is movable between a first position A1 on the second portion F2 and a second position A2 on the fourth portion F4 (movement in the X direction ). The processing section 10A is capable of moving on the second section F2 and on the fourth section F4 (movement in the Y direction).

처리부(10B)는, 예를 들면 구동 기구(12)에 접속되어 있으며, 예를 들면 X 방향 및 Y 방향으로 이동 가능하게 마련되어 있다. 예를 들면, 처리부(10B)는, 제4 부분(F4) 상의 제1 위치(B1)와 제2 부분(F2) 상의 제2 위치(B2)와의 사이를 이동할 수 있도록 되어 있다(X 방향의 이동). 또, 처리부(10B)는, 제2 부분(F2) 상 및 제4 부분(F4) 상을 이동할 수 있도록 되어 있다(Y 방향의 이동).The processing section 10B is connected to, for example, the drive mechanism 12, and is provided movably in the X direction and the Y direction, for example. For example, the processing section 10B can move between the first position B1 on the fourth section F4 and the second position B2 on the second section F2 (movement in the X direction ). The processing section 10B is capable of moving on the second section F2 and on the fourth section F4 (movement in the Y direction).

제1 안내 롤러(G21) ~ 제4 안내 롤러(G24)는, 예를 들면 미도시한 베어링 부재 등에 의해서 지지되어 있다. 각 베어링 부재에는, 제1 안내 롤러(G21) ~ 제4 안내 롤러(G24)를 회전시키는 구동 기구(미도시)가 마련되어 있다. 구동 기구는, 제1 안내 롤러(G21) ~ 제4 안내 롤러(G24)를, 각각 중심축(C1 ~ C4)을 중심으로 하여 회전시킨다.The first to fourth guide rollers G21 to G24 are supported by, for example, a bearing member (not shown). Each bearing member is provided with a drive mechanism (not shown) for rotating the first to fourth guide rollers G21 to G24. The driving mechanism rotates the first to fourth guide rollers G21 to G24 about the central axes C1 to C4, respectively.

또, 시트 기판(FB) 중 제2 부분(F2) 및 제4 부분(F4)의 -Z측에 스테이지 장치를 배치시키는 구성으로 해도 상관없다. 해당 스테이지 장치는, 처리부(10A) 및 처리부(10B)에 의해서 처리되는 부분을 지지한다. 스테이지 장치 중 제2 부분(F2) 및 제4 부분(F4)을 지지하는 지지면은, 평탄면이라도 상관없고, 곡면이라도 상관없다.The stage device may be arranged on the -Z side of the second portion F2 and the fourth portion F4 of the sheet substrate FB. The stage device supports a portion to be processed by the processing portion 10A and the processing portion 10B. The supporting surface for supporting the second portion F2 and the fourth portion F4 of the stage device may be a flat surface or a curved surface.

미도시한 얼라이먼트 장치는, 시트 기판(FB)에 대해서 얼라이먼트 동작을 행한다. 이 얼라이먼트 장치는, 시트 기판(FB)의 위치 상태를 검출하는 얼라이먼트 카메라(미도시)와, 해당 얼라이먼트 카메라의 검출 결과에 근거하여 시트 기판(FB)을 X 방향, Y 방향, Z 방향, θX 방향, θY 방향, θZ 방향으로 미세 조정하는 조정 기구(미도시)를 가지고 있다. 또한, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)에는, 예를 들면 미도시한 얼라이먼트 마크가 형성되어 있다. 얼라이먼트 마크는, 피처리면(Fp) 중 예를 들면 시트 기판(FB)의 짧은 방향의 양단부에 형성되어 있다.An alignment device (not shown) performs an alignment operation with respect to the sheet substrate FB. This alignment apparatus includes an alignment camera (not shown) for detecting the positional state of the sheet substrate FB and a control unit for controlling the sheet substrate FB in the X direction, the Y direction, the Z direction, the X direction , and an adjustment mechanism (not shown) for fine adjustment in the? Y direction and? Z direction. An unshown alignment mark is formed on the surface Fp of the sheet substrate FB, for example. The alignment marks are formed at both ends of the sheet F in the short direction, for example, of the surface Fp to be processed.

상기와 같이 구성된 기판 처리 장치(FPA)는, 제어부(CONT)의 제어에 의해, 롤 방식에 의해서 유기 EL 소자, 액정 표시 소자 등의 표시 소자(전자 디바이스)를 제조한다. 이하, 상기 구성의 기판 처리 장치(FPA)를 이용하여 표시 소자를 제조하는 공정을 설명한다.The substrate processing apparatus FPA configured as described above produces a display element (electronic device) such as an organic EL element or a liquid crystal display element by a roll system under the control of the control unit CONT. Hereinafter, a process for manufacturing a display device using the substrate processing apparatus (FPA) having the above-described structure will be described.

제어부(CONT)는, 시트 기판(FB)이 기판 공급부(SU)로부터 송출되고 나서 기판 회수부(CL)에서 권취될 때까지의 사이에, 기판 처리부(PR)의 반송 장치(30)에 의해서 시트 기판(FB)을 해당 기판 처리부(PR) 내에서 적절히 반송시키면서, 처리 장치(10, 처리부(10A) 및 처리부(10B)를 포함하는 각 처리부)에 의해서 표시 소자의 구성 요소를 시트 기판(FB) 상에 순차 형성시킨다.The control unit CONT controls the sheet transporting unit 30 of the sheet processing unit PR by the transporting device 30 of the substrate processing unit PR until the sheet substrate FB is fed out from the substrate feeding unit SU and then wound up in the substrate returning unit CL. The constituent elements of the display element are moved to the sheet substrate FB by the processing apparatus 10 (each processing section including the processing section 10A and the processing section 10B) while appropriately transporting the substrate FB in the substrate processing section PR, .

이 경우, 도 10에 나타내는 바와 같이, 시트 기판(FB)은, 제1 안내 롤러(G21), 제2 안내 롤러(G22), 제3 안내 롤러(G23) 및 제4 안내 롤러(G24)에 의해서, 이면(Fg)을 지지한 상태에서 접혀지게 된다. 이 때문에, 처리부(10A) 및 처리부(10B)의 전후에서, 시트 기판(FB)은, 피처리면(Fp)이 상기 4개의 안내 롤러(G21 ~ G24)에 접촉하지 않고 반송되게 된다.In this case, as shown in Fig. 10, the sheet substrate FB is conveyed by the first guide roller G21, the second guide roller G22, the third guide roller G23 and the fourth guide roller G24 , And the back face (Fg). Therefore, on the front and rear sides of the processing section 10A and the processing section 10B, the sheet substrate FB is conveyed without contacting the target surface Fp with the four guide rollers G21 to G24.

또, 시트 기판(FB)은, 처리부(10A) 및 처리부(10B)에 대응한 제2 부분(F2) 및 제4 부분(F4)의 각각의 피처리면(Fp)이 해당 처리부(10A) 및 처리부(10B)측을 향할 수 있도록 반송되게 된다. 이 경우, 예를 들면 제2 부분(F2)과 제4 부분(F4)이 X 방향으로 늘어선 상태가 된다. 이 때문에, 제2 부분(F2)의 피처리면(Fp)을 처리하는 처리부(10A)가 제4 부분(F4)의 피처리면(Fp)을 처리하는 것이 가능해지고, 역으로, 제4 부분(F4)의 피처리면(Fp)을 처리하는 처리부(10B)가 제2 부분(F2)의 피처리면(Fp)을 처리하는 것도 가능하게 된다.The sheet substrate FB is formed such that the respective processed surfaces Fp of the second portion F2 and the fourth portion F4 corresponding to the processing portion 10A and the processing portion 10B are provided in the processing portion 10A and the processing portion 10B, (10B) side. In this case, for example, the second portion F2 and the fourth portion F4 are aligned in the X direction. The processing section 10A for processing the processed surface Fp of the second section F2 becomes able to process the processed surface Fp of the fourth section F4 and conversely the fourth section F4 The processing portion 10B for processing the target surface Fp of the second portion F2 can also process the target surface Fp of the second portion F2.

또, 본 실시 형태에 의하면, 기판 처리 장치(FPA)가, 상기의 제1 안내 롤러(G21) ~ 제4 안내 롤러(G24)를 가지는 것으로 했으므로, 시트 기판(FB)이 해당 기판 처리 장치(FPA) 전체로서의 반송 방향(예를 들면 ＋X 방향)으로 반송되도록, 해당 시트 기판(FB)의 반송 방향을 규정할 수 있다.According to the present embodiment, since the substrate processing apparatus FPA has the first to fourth guide rollers G21 to G24 described above, the sheet substrate FB is transferred to the corresponding substrate processing apparatus FPA (For example, in the + X direction) as the entirety of the sheet substrate FB.

또, 시트 기판(FB) 중 제2 부분(F2)과 제4 부분(F4)이 피처리면(Fp)을 처리부(10A 및 10B)의 방향을 향하여 늘어선 상태가 되기 때문에, 처리부(10A 및 10B)가 제2 부분(F2)과 제4 부분(F4)과의 사이를 쉽게 이동하게 된다. 이것에 의해, 다양한 처리 동작이 가능해진다.Since the second portion F2 and the fourth portion F4 of the sheet substrate FB are arranged in the direction of the processing portions 10A and 10B in the state in which the processed surfaces Fp are aligned with the processing portions 10A and 10B, Is easily moved between the second portion F2 and the fourth portion F4. This makes it possible to perform various processing operations.

또한, 본 실시 형태에서는, 처리부(10A)가 제2 부분(F2)의 피처리면(Fp)을 처리하고, 처리부(10B)가 제4 부분(F4)의 피처리면(Fp)을 처리하는 구성에 대해서 설명했지만, 이 구성에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 처리부(10B)를 생략한 경우에는, 제4 안내 롤러(G24)를 생략하고, 시트 기판(FB)을 제1 안내 롤러(G21), 제2 안내 롤러(G22), 제3 안내 롤러(G23)로 반송하는 것도 가능하다.In the present embodiment, the processing section 10A processes the target surface Fp of the second section F2 and the processing section 10B processes the target surface Fp of the fourth section F4 The present invention is not limited to this configuration. For example, when the processing section 10B is omitted, the fourth guide roller G24 is omitted and the sheet substrate FB is conveyed to the first guide roller G21, the second guide roller G22, It may be conveyed to the roller G23.

이상과 같이, 본 실시 형태에 의하면, 반송 장치(30)가, 상기의 제1 안내 롤러(G21), 제2 안내 롤러(G22), 제3 안내 롤러(G23)의 적어도 3개를 구비하는 것으로 했으므로, 시트 기판(FB)의 이면(Fg)만을 지지하면서 시트 기판(FB)을 반송할 수 있다. 이것에 의해, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)에 대한 외부로부터의 접촉을 막으면서 해당 시트 기판(FB)을 반송할 수 있다. As described above, according to the present embodiment, the transport apparatus 30 is provided with at least three of the first guide roller G21, the second guide roller G22 and the third guide roller G23 The sheet substrate FB can be conveyed while supporting only the back face Fg of the sheet substrate FB. Thus, the sheet substrate FB can be conveyed while preventing contact of the sheet substrate FB from the external surface Fp.

[제５ 실시 형태］[Fifth Embodiment]

다음에, 본 발명의 제５ 실시 형태를 설명한다. Next, a fifth embodiment of the present invention will be described.

본 실시 형태에서는, 기판 처리 장치에 마련되는 제1 안내 부재 ~ 제4 안내 부재로서, 예를 들면 추 모양 부재를 이용한 구성을 설명한다. 이하의 설명에서, 상술의 실시 형태와 동일 또는 동등의 구성 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고, 그 설명을 간략 혹은 생략한다.In the present embodiment, a configuration using, for example, a weight member as the first to fourth guide members provided in the substrate processing apparatus will be described. In the following description, the same or equivalent components to those of the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will be simplified or omitted.

도 11은, 기판 처리 장치(FPA)를 상측(＋Z 방향)으로부터 보았을 때의 구성을 나타내고 있다. Fig. 11 shows a configuration when the substrate processing apparatus FPA is viewed from above (+ Z direction).

도 11에 나타내는 바와 같이, 반송 장치(30)는, 제1 안내 부재로서 제1 추 모양 부재(G25)가 이용되고 있으며, 제2 안내 부재로서 제2 추 모양 부재(G26)가 이용되고 있다. 또, 제3 안내 부재로서 제3 추 모양 부재(G27)가 이용되고 있으며, 제4 안내 부재로서 제4 추 모양 부재(G28)가 이용되고 있다. 물론, 제1 안내 부재 ~ 제4 안내 부재 중 일부에만 추 모양 부재를 이용한 구성으로 해도 상관없다.As shown in Fig. 11, the conveying apparatus 30 uses the first spine member G25 as the first guide member and the second spine member G26 as the second guide member. The third spine member G27 is used as the third guide member, and the fourth spine member G28 is used as the fourth guide member. It is needless to say that the weight member may be used for only a part of the first to fourth guide members.

도 12는, 제1 추 모양 부재(G25)의 구성을 예로 들어 나타내는 도면이다. 도 11 및 도 12에 나타내는 바와 같이, 제1 추 모양 부재(G25) ~ 제4 추 모양 부재(G28)는, 각각 원추형으로 형성되어 있다. 구체적으로는, 제1 추 모양 부재(G25) ~ 제4 추 모양 부재(G28)는, 각각 원형의 저면(일단부, 80) 및 정점(타단부, 81)을 가짐과 아울러, 해당 저면(80)으로부터 정점(81)을 향함에 따라 외경 치수가 서서히 작아지도록 형성된 측면(안내면)을 가진다. 제1 추 모양 부재(G25) ~ 제4 추 모양 부재(G28)는, 각각 저면(80)의 중심점과 정점(81)을 통과하는 중심축(C5 ~ C8)을 가지고 있다.Fig. 12 is a diagram showing the configuration of the first spruce member G25 as an example. As shown in Figs. 11 and 12, the first to third throttling members G25 to G28 are each formed into a cone shape. Specifically, each of the first throttling member G25 to the fourth throttling member G28 has a bottom (one end 80) and a top (other end 81) of a circular shape, (Guide surface) formed so that the outer diameter gradually decreases from the vertex 81 toward the apex 81. [ The first thumper member G25 to the fourth thum member G28 have central axes C5 to C8 passing through the center point of the bottom surface 80 and the vertex 81, respectively.

제1 추 모양 부재(G25)는, 중심축(C5)이 시트 기판(FB)의 제1 부분(F1)의 폭 방향(Y 방향)에 대해서 평행하게 되도록 배치되어 있다. 제1 추 모양 부재(G25)에는, 중심축(C5)을 중심으로 해당 제1 추 모양 부재(G25)를 회전시키는 구동 기구(미도시)가 마련되어 있다. 제1 추 모양 부재(G25)는, 측면(안내면, G25a)에서 시트 기판을 안내한다. 시트 기판(FB)은, 제1 부분(F1)과 제2 부분(F2)에서 피처리면(Fp)이 평행하게 될 때까지, 제1 추 모양 부재(G25)의 측면(G25a)에 지지되어 있다.The first spiral member G25 is disposed so that the central axis C5 is parallel to the width direction (Y direction) of the first portion F1 of the sheet substrate FB. The first throttling member G25 is provided with a driving mechanism (not shown) for rotating the first throttling member G25 around the central axis C5. The first spiral member G25 guides the sheet substrate on the side surface (guide surface, G25a). The sheet substrate FB is supported on the side surface G25a of the first chute member G25 until the surface Fp of the first part F1 and the second part F2 becomes parallel .

제2 추 모양 부재(G26)는, 중심축(C6)이 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)의 폭 방향(X 방향)에 대해서 평행하게 되도록 배치되어 있다. 제2 추 모양 부재(G26)에는, 중심축(C6)을 중심으로 해당 제2 추 모양 부재(G26)를 회전시키는 구동 기구(미도시)가 마련되어 있다. 제2 추 모양 부재(G26)는, 측면(안내면, G26a)에서 시트 기판을 안내한다. 시트 기판(FB)은, 제2 부분(F2)과 제3 부분(F3)에서 피처리면(Fp)이 평행하게 될 때까지, 제2 추 모양 부재(G26)의 측면(G26a)에 지지되어 있다.The second spiral member G26 is disposed so that the central axis C6 is parallel to the width direction (X direction) of the second portion F2 of the sheet substrate FB. The second spiral member G26 is provided with a driving mechanism (not shown) for rotating the second spiral member G26 about the central axis C6. The second spiral member G26 guides the sheet substrate on the side surface (guide surface, G26a). The sheet substrate FB is supported on the side surface G26a of the second spiral member G26 until the surface Fp is parallel to the second portion F2 and the third portion F3 .

제3 추 모양 부재(G27)는, 중심축(C7)이 시트 기판(FB)의 제3 부분(F3)의 폭 방향(Y 방향)에 대해서 평행하게 되도록 배치되어 있다. 제3 추 모양 부재(G27)에는, 중심축(C7)을 중심으로 해당 제3 추 모양 부재(G27)를 회전시키는 구동 기구(미도시)가 마련되어 있다. 제3 추 모양 부재(G27)는, 측면(안내면, G27a)에서 시트 기판을 안내한다. 시트 기판(FB)은, 제3 부분(F3)과 제4 부분(F4)에서 피처리면(Fp)이 평행하게 될 때까지, 제3 추 모양 부재(G27)의 측면(G27a)에 지지되어 있다.The third spiral member G27 is disposed such that the center axis C7 is parallel to the width direction (Y direction) of the third portion F3 of the sheet substrate FB. The third spiral member G27 is provided with a driving mechanism (not shown) for rotating the third spiral member G27 about the central axis C7. The third spiral member G27 guides the sheet substrate on the side surface (guide surface, G27a). The sheet substrate FB is supported on the side surface G27a of the third spiral member G27 until the surface Fp is parallel to the third portion F3 and the fourth portion F4 .

제4 추 모양 부재(G28)는, 중심축(C8)이 시트 기판(FB)의 제4 부분(F4)의 폭 방향(X 방향)에 대해서 평행하게 되도록 배치되어 있다. 제4 추 모양 부재(G28)에는, 중심축(C8)을 중심으로 해당 제4 추 모양 부재(G28)를 회전시키는 구동 기구(미도시)가 마련되어 있다. 제4 추 모양 부재(G28)는, 측면(안내면, G28a)에서 시트 기판을 안내한다. 시트 기판(FB)은, 제4 부분(F4)과 제５ 부분(F5)에서 피처리면(Fp)이 평행하게 될 때까지, 제4 추 모양 부재(G28)의 측면(G28a)에 지지되어 있다.The fourth spiral member G28 is disposed such that the center axis C8 is parallel to the width direction (X direction) of the fourth portion F4 of the sheet substrate FB. The fourth spiral member G28 is provided with a driving mechanism (not shown) for rotating the fourth spiral member G28 around the central axis C8. The fourth spiral member G28 guides the sheet substrate on the side surface (guide surface, G28a). The sheet substrate FB is supported on the side surface G28a of the fourth spiral member G28 until the surface Fp is parallel to the fourth portion F4 and the fifth portion F5 .

이상과 같이, 본 실시 형태에 의하면, 제1 추 모양 부재(G25) ~ 제4 추 모양 부재(G28)에 의해서 시트 기판(FB)을 접는 것으로 했으므로, 이 경우에서도, 시트 기판(FB)의 이면(Fg)을 지지하여 시트 기판(FB)을 반송할 수 있다. 이것에 의해, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)에 대한 외부로부터의 접촉을 막으면서 해당 시트 기판(FB)을 반송할 수 있다.As described above, according to the present embodiment, since the sheet substrate FB is folded by the first to third spiral members G25 to G28, the back surface of the sheet substrate FB The sheet substrate FB can be supported while supporting the sheet substrate FB. Thus, the sheet substrate FB can be conveyed while preventing contact of the sheet substrate FB from the external surface Fp.

또한, 제1 추 모양 부재(G25) ~ 제4 추 모양 부재(G28)를 이용하는 경우, 예를 들면 도 13에 나타내는 바와 같이, 제1 추 모양 부재(G25)의 중심축(C5)이 제4 추 모양 부재(G28)의 중심축(C8)과 평행하게 됨과 아울러, 제2 추 모양 부재(G26)의 중심축(C6)이 제3 추 모양 부재(G27)의 중심축(C7)과 평행하게 되도록, 제1 추 모양 부재(G25) ~ 제4 추 모양 부재(G28)를 배치하는 구성으로 해도 상관없다.13, the center axis C5 of the first thigh-shaped member G25 is located at the center of the fourth thigh-shaped member G25, The center axis C6 of the second spiral member G26 becomes parallel to the center axis C8 of the third spiral member G27 The first throttling member G25 to the fourth throat-like member G28 may be arranged so as to satisfy the following condition.

이 구성에서는, 도 11에 나타내는 구성과 동일한 효과를 나타내게 된다. 게다가, 도 11에 나타내는 구성에 비해, 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)과 제4 부분(F4)과의 거리가 가깝게 되어 있다. 이 때문에, 처리부(10A 및 10B)가 해당 제2 부분(F2)과 제4 부분(F4)과의 사이를 쉽게 이동하게 되어, 바람직한 구성이라고 말할 수 있다.In this configuration, the same effect as the configuration shown in Fig. 11 is obtained. In addition, the distance between the second portion F2 of the sheet substrate FB and the fourth portion F4 is closer to that of the structure shown in Fig. Therefore, the processing sections 10A and 10B can be easily moved between the second part F2 and the fourth part F4, which is a preferable configuration.

또한, 제1 추 모양 부재(G25) ~ 제4 추 모양 부재(G28)의 형상으로서는, 예를 들면 도 11 ~ 도 13에 나타내어진 바와 같이 원추 모양으로 형성된 구성이 바람직하지만, 다른 추 모양(타원추 모양, 다각추 모양)으로 형성된 구성이라도 상관없다. 또, 예를 들면 원기둥 모양 부재의 일부에 테이퍼부를 형성하고, 해당 테이퍼부를 이용하여 시트 기판(FB)을 구부리는 구성이라도 상관없다.As the shapes of the first throat-like member G25 to the fourth throat-like member G28, for example, it is preferable to have a conical shape as shown in Figs. 11 to 13, Cone shape, polygonal shape). Further, for example, the tapered portion may be formed on a part of the cylindrical member, and the sheet substrate FB may be bent using the tapered portion.

또한, 상기 각 실시 형태에서는, 제1 안내 부재 ~ 제4 안내 부재를 회전시키는 구성을 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 기판 처리 장치(FPA) 내에 고정된 원기둥 모양 부재, 원통 모양 부재나 추 모양 부재를 이용해도 상관없다. 이와 같은 원기둥 모양 부재나 원통 모양 부재, 추 모양 부재를 이용하는 경우, 안내 롤러(G)와 같은 회전 동작이 없는 점 이외는, 안내 롤러(G)와 동일한 동작으로 시트 기판(FB)의 위치 조정을 행할 수 있다. In each of the above-described embodiments, the configuration in which the first to fourth guide members are rotated has been described as an example, but the present invention is not limited thereto. For example, a cylindrical member, a cylindrical member, or a chisel member fixed within the substrate processing apparatus (FPA) may be used. The position adjustment of the sheet substrate FB can be performed by the same operation as that of the guide roller G except that there is no rotation operation like the guide roller G in the case of using such a cylindrical member, .

또, 상기 각 실시 형태에서는, 제1 안내 부재 ~ 제4 안내 부재로서, 안내 롤러(G)나 원기둥 모양 부재, 원통 모양 부재, 추 모양 부재를 이용하는 경우, 시트 기판(FB)을 이들의 제1 안내 부재 ~ 제4 안내 부재에 접촉시키는 구성을 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 시트 기판(FB)과 각 안내 부재와의 사이를 비접촉 상태로 하는 구성이라도 상관없다. 이와 같은 구성으로서는, 예를 들면, 제1 안내 부재 ~ 제4 안내 부재의 표면에 기체층을 형성하고, 해당 기체층을 통하여 시트 기판(FB)을 유지하는 구성 등을 들 수 있다.In the above-described embodiments, when the guide roller G, the cylindrical member, the cylindrical member, and the weight member are used as the first to fourth guide members, the sheet substrate FB is divided into the first And the fourth guide member are brought into contact with the guide member to the fourth guide member. However, the present invention is not limited thereto. For example, the structure may be such that the sheet substrate FB and each guide member are brought into a non-contact state. Such a configuration includes, for example, a configuration in which a base layer is formed on the surfaces of the first to fourth guide members and the sheet substrate FB is held through the base layer.

상기 실시 형태에 기재한 제1 안내 부재 ~ 제4 안내 부재는, 예를 들면 시트 기판(FB)의 반송 경로에서 처리 장치(10)의 근방의 위치에 한정되지 않고, 다른 위치에 적절히 배치할 수 있다. 또, 상기 실시 형태의 제1 안내 부재 ~ 제4 안내 부재까지의 구성을, 예를 들면 X 방향으로 반복하여 마련하는 구성으로 해도 상관없다.The first to fourth guide members described in the above embodiment are not limited to the position near the processing apparatus 10 in the conveyance path of the sheet substrate FB, have. The configuration from the first guide member to the fourth guide member of the above embodiment may be repeatedly provided in the X direction, for example.

또, 상기 실시 형태에서는, 처리부(10A)와 처리부(10B)와의 사이에서는 다른 처리가 행해지는 경우를 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 처리부(10A)와 처리부(10B)와의 사이에서 동일한 처리가 행해지는 경우라도, 본 발명의 적용은 가능하다.In the above-described embodiment, the case where the processing section 10A and the processing section 10B perform different processing is described as an example, but the present invention is not limited to this. For example, the present invention can be applied even when the same processing is performed between the processing section 10A and the processing section 10B.

또, 상기 실시 형태(예를 들면, 도 11 참조)에서는, 시트 기판(FB)의 제2 부분(F2)과 제4 부분(F4)이 X 방향으로 인접하여 늘어서도록 제3 안내 부재로 시트 기판(FB)을 ＋Y 방향으로 접는 구성으로 했지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 제3 안내 부재에 의해서 시트 기판(FB)을 제2 부분(F2)과는 반대 방향(예를 들면, 도 10에서는 -Y 방향)으로 접는 구성으로 해도 상관없다.11), the second and third parts F2 and F4 of the sheet substrate FB are arranged adjacently in the X direction so as to lie adjacent to each other in the X direction. In this embodiment (see Fig. 11) The present invention is not limited to this configuration. For example, the third guide member may be arranged to fold the sheet substrate FB in the direction opposite to the second portion F2 (for example, And -Y directions in Fig. 10).

또, 상기 실시 형태에서는, 제1 부분(F1)과 제2 부분(F2)이 서로 평행하게 될 때까지, 제1 안내 부재로 접어서 겹쳤지만, 제1 부분(F1)에 대해서 제2 부분(F2)이 상측 또는 하측으로 어긋나도록 접어서 겹쳐도 괜찮다. 제2 부분(F2)과 제3 부분(F3), 제3 부분(F3)과 제4 부분(F4), 제4 부분(F4)과 제５ 부분(F5)과의 관계도 평행하게 한정되는 것은 아니다.In the above embodiment, the first portion F1 is folded and overlapped with the first guide member until the first portion F1 and the second portion F2 become parallel to each other, but the second portion F2 F2 may be folded so as to be shifted upward or downward. The relationship between the second portion F2 and the third portion F3, the third portion F3 and the fourth portion F4, the fourth portion F4 and the fifth portion F5 is also limited in parallel no.

또, 상기 실시 형태에서는, 제1 방향과 제3 방향, 및 제2 방향과 제4 방향의 관계를 서로 평행한 방향으로 하여 설명했지만, 평행하게 한정되지 않고, 평행 이외의 방향이라도 괜찮다.In the above-described embodiment, the first direction and the third direction, and the relationship between the second direction and the fourth direction are parallel to each other. However, the directions are not limited to parallel but may be directions other than parallel.

또, 제1 안내 롤러(G21)의 상류측 롤러 장치(R)는, 시트 기판(FB)의 피처리면에 처리를 실행하기 전의 반송 롤러로서 기능을 하기 때문에, 이 롤러 장치(R)를 시트 기판(FB)의 표면 및 이면에 접촉함과 아울러, 시트 기판(FB)을 끼워 넣도록 구성해도 괜찮다. 또, 시트 기판(FB)의 피처리면에 모든 처리를 실행한 후에는, 제4 안내 롤러(G24)의 하류측에, 시트 기판(FB)의 이면 및 표면에 접촉함과 아울러, 시트 기판(FB)을 끼워 넣도록 롤러 장치(R)를 배치해도 괜찮다.The upstream roller device R of the first guide roller G21 functions as a transport roller before the process on the surface of the sheet substrate FB to be processed, It may be configured to contact the front and back surfaces of the sheet FB and the sheet substrate FB. After all the processing on the surface to be processed of the sheet substrate FB is performed, on the downstream side of the fourth guide roller G24, the back side and the surface of the sheet substrate FB are brought into contact with each other, It is also possible to arrange the roller unit R so as to sandwich the roller unit R.

본 발명의 기술 범위는 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 적절히 변경을 더할 수 있다. The technical scope of the present invention is not limited to the above-described embodiment, but can be appropriately changed within the scope not deviating from the gist of the present invention.

FPA … 기판 처리 장치 　FB … 시트 기판
CONT … 제어부 　Fp … 처리면
G1, G21 … 제1 안내 롤러　 G2, G22 … 제2 안내 롤러
G23 … 제3 안내 롤러 G24 … 제4 안내 롤러
C1 ~ C8 … 중심축
G1a, G2a, G21a - G24a … 롤러 표면　ST … 스테이지 장치
Sa … 지지면 AM … 얼라이먼트 마크
CA … 검출 영역　 G3, G25 … 제1 추 모양 부재
G4, G26 … 제2 추 모양 부재 G27 … 제3 추 모양 부재
G28 … 제4 추 모양 부재 G3a, G4a　G21a ~ G24a … 롤러 표면
G25a ~ G28a … 측면　 10 … 처리 장치
30 … 반송 장치　 40 … 흡착부
51 … 얼라이먼트 카메라　 52, 53 … 조정 기구
61 … 구동 기구　 63 … 구동 기구
64 … 스테이지 구동 기구FPA ... Substrate processing device FB ... Sheet substrate
CONT ... The controller Fp ... Treated surface
G1, G21 ... The first guide rollers G2, G22 ... The second guide roller
G23 ... The third guide roller G24 ... The fourth guide roller
C1 to C8 ... Center axis
G1a, G2a, G21a - G24a ... Roller surface ST ... Stage device
Sa ... Support surface AM ... Alignment mark
CA ... Detection areas G3, G25 ... The first chord member
G4, G26 ... The second chord member G27 ... The third chord member
G28 ... The fourth spiral members G3a, G4a G21a to G24a ... Roller surface
G25a to G28a ... Side 10 ... Processing device
30 ... The conveying device 40 ... Absorption portion
51 ... Alignment cameras 52, 53 ... Adjustment mechanism
61 ... Drive mechanism 63 ... Drive mechanism
64 ... Stage driving mechanism

Claims

A device manufacturing apparatus for manufacturing an electronic device on a sheet substrate while conveying a flexible elongated sheet substrate in a long direction with respect to a processing apparatus for forming an electronic (electronic) device,
The sheet substrate conveyed along the first direction is bent obliquely in a plane parallel to the surface of the sheet substrate so that the conveying direction of the sheet substrate is a direction different from the first direction and a second direction A first cylindrical member for changing the first cylindrical member,
The sheet substrate conveyed along the second direction and processed in the processing apparatus is bent obliquely in a plane parallel to the surface of the sheet substrate to change the conveying direction of the sheet substrate to a third direction different from the second direction A second cylindrical member,
A mark detecting unit that detects a pair of marks disposed on both end portions in a short direction intersecting the longitudinal direction on the sheet substrate in a conveying path of the sheet substrate in the second direction;
And an adjustment mechanism for adjusting the position or angle of the first cylindrical member or the second cylindrical member in a plane parallel to the surface of the sheet substrate based on the detection result of the mark detection unit .

The method according to claim 1,
Wherein the first cylindrical member or the second cylindrical member has a central axis extending in an oblique direction with respect to a direction of a short side of the sheet substrate and is rotationally driven around the central axis by a driving mechanism.

The method of claim 2,
The central axis of each of the first cylindrical member and the second cylindrical member is arranged in a parallel relationship or in an orthogonal relationship in a plane parallel to the surface of the sheet substrate in the conveying path in the second direction Wherein the first direction and the third direction are parallel to each other.

The method of claim 3,
The adjustment mechanism includes:
A first adjustment unit for adjusting a position or an angle of the first cylindrical member in a plane parallel to the surface of the sheet substrate in the conveying path in the second direction;
And a second adjusting section for adjusting the position or angle of the second cylindrical member in a plane parallel to the surface of the sheet substrate in the conveying path in the second direction.

The method of claim 4,
The adjustment mechanism includes:
And the second adjusting unit and the second adjusting unit are configured to tilt the sheet substrate passing through the conveying path in the second direction within a plane parallel to the surface of the sheet substrate, And a control unit for controlling the adjusting unit.

The method of claim 5,
The processing apparatus includes:
And a support surface which is disposed in the conveying path in the second direction and supports the back surface of the sheet substrate as a flat surface or a surface having a curvature.

The method of claim 6,
Wherein the stage device includes a stage driving mechanism for moving the supporting surface in a direction orthogonal to the surface of the sheet substrate.

The method of claim 7,
Wherein the support surface of the stage device has a suction portion for suctioning the back surface of the sheet substrate.

A device manufacturing apparatus for manufacturing an electronic device on a sheet substrate while conveying a flexible elongated sheet substrate in a longitudinal direction with respect to a processing apparatus for forming an electronic device,
A circular first bottom surface on which a center point is set on a first central axis and a second bottom surface on which a center point is set on a first central axis, A first guide member having a first side face for supporting a portion of the first center axis and rotatable around the first center axis,
A circular second bottom surface on which a center point is set on a second center axis arranged in a perpendicular relationship to the first center axis, A second guide member having a second side face formed to gradually increase the outside diameter dimension toward the first side face and supporting a part of the sheet substrate and rotatable around the second center axis,
The first guide member being supported by the first side surface of the first guide member and changing the conveying direction so that the sheet substrate is supported by the second side surface of the guide member, And a driving mechanism for rotating the second guide member,
And the processing apparatus processes the sheet substrate in a conveying path between the first guide member and the second guide member.

The method of claim 9,
A first adjusting mechanism for adjusting the position or angle of the first central axis of the first guide member and a second adjusting mechanism for adjusting the position or angle of the second central axis of the second guide member Device manufacturing apparatus.

The method of claim 10,
Further comprising a control section for controlling the first adjusting mechanism and the second adjusting mechanism so as to tilt the sheet substrate conveyed from the first guide member to the second guide member in a short direction crossing the longitudinal direction Device manufacturing apparatus.