KR20120121648A - 거품 처리 장치 - Google Patents

거품 처리 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20120121648A
KR20120121648A KR1020110039576A KR20110039576A KR20120121648A KR 20120121648 A KR20120121648 A KR 20120121648A KR 1020110039576 A KR1020110039576 A KR 1020110039576A KR 20110039576 A KR20110039576 A KR 20110039576A KR 20120121648 A KR20120121648 A KR 20120121648A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
foam
treatment tank
bubbles
collision
liquid
Prior art date
Application number
KR1020110039576A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101273930B1 (ko
Inventor
김상배
박상진
Original Assignee
삼성전기주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전기주식회사 filed Critical 삼성전기주식회사
Priority to KR1020110039576A priority Critical patent/KR101273930B1/ko
Publication of KR20120121648A publication Critical patent/KR20120121648A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101273930B1 publication Critical patent/KR101273930B1/ko

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D19/00Degasification of liquids
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/11Treatments characterised by their effect, e.g. heating, cooling, roughening
    • H05K2203/1178Means for venting or for letting gases escape

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
  • Removal Of Floating Material (AREA)

Abstract

거품 처리 장치가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 거품이 유입되는 유입구가 형성된 처리조, 거품이 유입구를 통해 유입되어 처리조의 내부 공간으로 유동되도록, 액체 중의 거품에 흡입력을 제공하는 흡입펌프, 유입구를 통해 유입된 거품이 충돌에 의해 액화되도록, 처리조의 내부 공간 중 거품의 유동 경로 상류에 배치되는 1차 충돌부, 및 1차 충돌부를 통과하고 잔존하는 거품이 충돌에 의해 액화되도록, 처리조의 내부 공간 중 거품의 유동 경로 하류에 배치되는 2차 충돌부를 포함하는 거품 처리 장치가 제공된다.

Description

거품 처리 장치{APPARATUS FOR TREATING BUBBLES}
본 발명은 거품 처리 장치에 관한 것이다.
인쇄회로기판에 회로를 형성하기 위해서는 습식 공정이 수행될 필요가 있다. 즉 현상액, 박리액 등과 같은 액체가 주입된 습식 설비를 이용하여 드라이필름, 솔더레지스트 등을 현상하거나 박리하는 습식 공정이 수행될 수 있다.
이 경우, 습식 공정에 사용되는 현상액, 박리액 등과 같은 액체는 합성 수지 등으로 이루어진 드라이필름, 솔더레지스트 등과 화학 반응을 일으키게 되므로, 이러한 습식 공정 중에는 다량의 거품이 발생될 수 있다.
그리고 이와 같은 거품으로 인해, 액손실량이 증가하고, 챔버 내 노즐 스프레이의 간섭, 레벨 센서 오작동으로 인한 생산 라인 비가동 등과 같은 습식 설비의 오류가 발생하게 된다.
이러한 거품은 습식 설비의 배스(bath)내에 소포제를 주입함으로써 제거될 수 있으나, 소포제를 이용하는 경우에도 화학 반응에 의한 스케일이 발생되어 부품 수명을 단축시키고, 추가 세정 작업으로 인해 공정 비용이 증가되는 문제점이 있다.
본 발명의 실시예는 소포제 등을 이용하지 않고도 액체 중의 거품을 액화시켜 보다 효과적으로 처리할 수 있는 거품 처리 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 거품이 유입되는 유입구가 형성된 처리조, 거품이 유입구를 통해 유입되어 처리조의 내부 공간으로 유동되도록, 액체 중의 거품에 흡입력을 제공하는 흡입펌프, 유입구를 통해 유입된 거품이 충돌에 의해 액화되도록, 처리조의 내부 공간 중 거품의 유동 경로 상류에 배치되는 1차 충돌부, 및 1차 충돌부를 통과하고 잔존하는 거품이 충돌에 의해 액화되도록, 처리조의 내부 공간 중 거품의 유동 경로 하류에 배치되는 2차 충돌부를 포함하는 거품 처리 장치가 제공된다.
2차 충돌부는 판형상의 부재일 수 있다.
2차 충돌부의 너비는 처리조 내부 공간의 너비보다 작을 수 있다.
2차 충돌부는 복수개이고, 복수의 2차 충돌부 중 일부는 일측부가 처리조 내부 공간의 일측면에 결합되고, 나머지는 일측부가 일측면과 대향하는 타측면에 결합되며, 복수의 2차 충돌부 중 일부와 나머지는 교대로 배치될 수 있다.
2차 충돌부의 가장자리 중 처리조 내부 공간의 일측면에 결합된 일측부 이외의 부분은 처리조와 이격될 수 있다.
2차 충돌부는 오목부와 볼록부가 반복적으로 형성된 요철 구조를 가질 수 있다.
1차 충돌부는 판형상의 부재일 수 있다.
1차 충돌부는 처리조의 내부 공간을 복수로 구획하도록 배치되며, 복수의 관통홀이 형성된 메쉬(mesh) 구조를 가질 수 있다.
거품 처리 장치는, 거품에 함유된 이물질을 걸러내기 위한 필터를 더 포함할 수 있다.
필터에는 거품의 유동을 위한 복수의 유동홀이 형성될 수 있다.
처리조의 하부에는 거품의 액화에 의해 생성되는 액체를 배출하기 위한 배출구가 형성될 수 있다.
거품 처리 장치는, 거품의 액화에 의해 생성되는 액체의 배출을 위한 구동력을 제공하는 배출펌프를 더 포함할 수 있다.
거품 처리 장치는, 처리조에 설치되어 거품의 액화에 의해 생성되는 액체의 수위를 감지하기 위한 수위센서를 더 포함할 수 있다.
거품 처리 장치는, 유입구에 연결되어 처리조의 내부 공간으로 거품을 흡입하는 흡입헤드를 더 포함할 수 있다.
흡입헤드는 액체 상에 부유되도록 부력을 가질 수 있다.
유입구는 처리조의 하부에 위치되며, 흡입펌프는 처리조의 상부에 설치될 수 있다.
처리조의 내부 공간은 하부에서 상부로 갈수록 단면적이 감소될 수 있다.
처리조의 적어도 일부는 투명한 재질로 이루어질 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 소포제 등을 이용하지 않고도 액체 중의 거품을 액화시켜 보다 효과적으로 처리할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 거품 처리 장치를 나타낸 도면.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 거품 처리 장치의 처리조 내부를 나타낸 종단면도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 거품 처리 장치의 1차 충돌부를 나타낸 사시도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 거품 처리 장치의 2차 충돌부를 나타낸 사시도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 거품 처리 장치의 처리조 내부를 나타낸 횡단면도.
본 발명에 따른 거품 처리 장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 거품 처리 장치(100)를 나타낸 도면이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 거품 처리 장치(100)의 처리조(110) 내부를 나타낸 종단면도이다.
인쇄회로기판 제조에 이용되는 습식 설비(10)의 배스(bath) 내에는 현상액, 박리액 등의 액체(1)가 충전되며, 솔더레지스트, 드라이필름 등의 현상, 박리 등을 위한 습식 공정을 수행함에 따라 이러한 액체(1)에는 거품(2)이 발생될 수 있다.
본 실시예에 따르면, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 습식 설비(10) 내에 충전된 현상액, 박리액 등 액체(1)에 발생되는 거품(2)을 처리하기 위한 장치로서, 처리조(110), 흡입펌프(120), 흡입헤드(170), 유입관(180), 필터(150), 1차 충돌부(130), 2차 충돌부(140), 배출펌프(160), 및 배출관(190)을 포함하는 거품 처리 장치(100)가 제시된다.
이와 같은 본 실시예에 따르면, 흡입되는 거품(2)의 유동 경로 상에 1차 충돌부(130) 및 2차 충돌부(140)를 배치하여 거품(2)의 물리적 충돌을 유도함으로써, 소포제 등을 이용하지 않고도, 박리액, 현상액 등과 같은 액체(1) 중에 존재하는 거품(2)을 액화시켜 보다 효과적으로 제거할 수 있다.
이하, 도 1 내지 도 5를 참조하여 본 실시예에 따른 거품 처리 장치(100)의 각 구성에 대하여 보다 구체적으로 설명한다.
처리조(110)는 내부 공간에 거품(2)이 흡입되는 구성으로서, 처리조(110)에는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 습식 설비(10)의 배스로부터 거품(2)이 유입되는 유입구(112)와 거품의 액화에 따라 생성된 액체를 습식 설비(10)의 배스로 배출하는 배출구(114)가 형성될 수 있다.
이러한 처리조(110)의 적어도 일부는 투명한 재질로 이루어질 수 있다. 예를 들어 도 1에 도시된 바와 같이 처리조(110)의 전면에는 투명 수지, 유리 등과 같은 투명한 재질로 이루어진 투명판(116)이 설치될 수 있다.
이와 같이 처리조(110)의 전면에 투명판(116)이 설치됨으로써, 처리조(110) 내부에 설치되는 1차 충돌부(130) 및 2차 충돌부(140)에서의 액화 진행 상태를 가시적으로 확인할 수 있으며, 이와 동시에 필터(150), 1차 충돌부(130) 및 2차 충돌부(140)에 대한 청결 상태를 가시적으로 확인함으로써 이들에 대한 2차 오염을 보다 효과적으로 방지할 수 있다.
그리고 처리조(110) 내부로 유입되어 2차 충돌부로 이동한 거품은 액화되기까지 2차 충돌부(140)와 일정 정도의 접촉 시간이 요구되므로, 처리조(110)의 너비는 1,000 mm 이상으로 설정될 수 있다.
흡입펌프(120)는, 거품(2)이 유입구(112)를 통해 유입되어 처리조(110)의 내부 공간으로 유동되도록, 액체(1) 중의 거품(2)에 흡입력을 제공한다. 흡입펌프(120)는 블로워(blower) 등으로 구성될 수 있으며, 그 작동에 따라 처리조(110) 내부 공간에 음압을 제공하여 처리조(110) 내부 공간을 진공 상태로 유지할 수 있다.
이에 따라 액체(1)에 발생된 거품(2)에 흡입력이 작용될 수 있으므로, 흡입헤드(170)를 통해 흡입된 거품(2)은 유입관(180)을 거쳐 유입구(112)로 유입되어 처리조(110)의 내부 공간으로 유동될 수 있다.
흡입펌프(120)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 처리조(110)의 상부에 설치될 수 있으며, 이에 대응하여 유입구(112)는 처리조(110)의 하부에 위치될 수 있다. 이에 따라 거품의 유동 경로는 처리조(110) 하부로부터 처리조(110)의 상부를 향해 형성될 수 있다.
이 경우, 처리조(110)의 내부 공간은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 하부에서 상부로 갈수록 단면적이 감소된다. 즉, 처리조(110)의 내부 공간은 사각뿔대와 유사한 형상을 가질 수 있다.
이와 같이 처리조(110)의 내부 공간은 거품 유동 경로의 진행 방향을 따라 그 단면적이 감소되도록 형성될 수 있다. 이에 따라 흡입펌프(120)로 흡입되는 공기의 유속은 처리조(110)의 상부로 갈수록 증가되고, 이에 수반되어 거품에 작용되는 흡입력 역시 처리조(110)의 상부로 갈수록 증가될 수 있다.
흡입헤드(170)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 유입관(180)을 통해 유입구(112)에 연결되어 처리조(110)의 내부 공간으로 거품(2)을 흡입할 수 있다. 흡입헤드(170)의 전면에는 흡입구가 다수 형성될 수 있으므로, 흡입펌프(120)의 흡입력에 의해 액체(1) 상의 거품(2)은 흡입구를 통해 흡입헤드(170)로 효과적으로 흡입될 수 있다.
이러한 흡입헤드(170)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 액체(1) 상에 부유되도록 부력을 가질 수 있다. 이와 같이 흡입헤드(170)가 액체(1) 상에 부유됨으로써, 흡입헤드(170)는 액체(1)의 표면을 따라 자유롭게 이동할 수 있으므로, 이에 따라 액체(1) 상에 존재하는 거품(2)은 부유된 흡입헤드(170)를 통해 보다 효과적으로 흡입될 수 있다.
흡입헤드(170)는 내부에 공간부가 형성됨으로써 부력을 가지거나, 별도의 부력체를 구비함으로써 부력을 가질 수 있다. 그리고 흡입헤드(170)가 액체(1)에 비해 비중이 작은 재질로 이루어지는 경우에도 흡입헤드(170)는 액체(1) 상에 부유될 수 있다.
흡입헤드(170)는 이물질이 점착되지 않는 재질로 이루어질 수 있다. 이에 따라 액체(1) 또는 거품(2)에 슬러지 등의 이물질이 포함되어 있는 경우라 하더라도 이러한 이물질이 흡입헤드(170)의 표면에 점착되는 것을 방지할 수 있으므로, 이물질에 의해 흡입헤드(170)의 흡입구가 막히는 등의 문제를 최소화할 수 있다.
흡입헤드(170)를 통해 흡입된 거품(2)은 유입관(180)을 거쳐 처리조(110)의 내부 공간으로 유입된다. 처리조(110) 내부 공간으로 유입된 거품은 슬러지 등의 이물질을 포함하고 있는 경우가 있으므로, 처리조(110) 내부에는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 이를 걸러내기 위한 필터(150)가 설치될 수 있다.
즉, 박리, 현상 등을 위한 습식 공정의 수행에 따라 액체(1) 내에는 제거된 드라이필름, 솔더레지스트 등이 포함된 슬러지가 형성될 수 있으므로, 거품 유동 경로 상에 이러한 슬러지의 제거를 위한 필터(150)가 설치되는 것이다.
필터(150)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 판형상을 가질 수 있으며, 처리조(110) 내부 공간을 구획하도록 배치될 수 있다. 그리고 이러한 필터(150)에는 거품이 상부로 유동 가능하도록 복수의 유동홀(152)이 형성될 수 있다.
1차 충돌부(130)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 유입구(112)를 통해 유입된 거품이 충돌에 의해 액화되도록, 처리조(110)의 내부 공간 중 거품의 유동 경로 상류, 즉, 2차 충돌부(140)의 하측에 배치될 수 있다.
필터(150)를 통과하여 이물질이 제거된 거품은 그 유동 경로를 따라 이동하여 1차 충돌부(130)와 충돌을 일으키게 된다. 거품은 1차 충돌부(130)에 의해 물리적 충격이 가해져 제거될 수 있으며, 이러한 거품의 제거에 수반되어 액체가 생성될 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 거품 처리 장치(100)의 1차 충돌부(130)를 나타낸 사시도이다.
1차 충돌부(130)는 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 판형상의 부재로 이루어질 수 있으며, 상술한 필터(150)의 상측에 처리조(110)의 내부 공간을 복수로 구획하도록 배치될 수 있다. 그리고 이러한 1차 충돌부(130)는 복수의 관통홀(132)이 형성된 메쉬(mesh) 구조를 가질 수 있다.
2차 충돌부(140)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 1차 충돌부(130)를 통과하고 잔존하는 거품이 충돌에 의해 액화되도록, 처리조(110)의 내부 공간 중 거품의 유동 경로 하류, 즉, 1차 충돌부(130)의 상측에 배치될 수 있다.
1차 충돌부(130)에 의해서도 제거되지 않은 거품은 그 유동 경로를 따라 1차 충돌부(130)를 통과한 뒤 그 상측에 배치된 2차 충돌부(140)로 이동하여, 2차 충돌부(140)와 충돌을 일으키게 된다. 1차 충돌부(130)에 의해 제거되지 않은 잔여 거품은 2차 충돌부(140)에 의해 물리적 충격이 가해져 제거될 수 있으며, 이에 따라 거품이 액화된 액체가 생성될 수 있다.
이와 같이 처리조(110) 내부로 흡입된 거품을 1차 충돌부(130) 및 2차 충돌부(140)를 이용하여 2 차례에 걸쳐 액화시킴으로써 보다 효과적인 거품의 제거가 가능하게 된다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 거품 처리 장치(100)의 2차 충돌부(140)를 나타낸 사시도이다.
2차 충돌부(140)는 도 4에 도시된 바와 같이 판형상의 부재로 이루어질 수 있으며, 오목부와 볼록부가 반복적으로 형성된 요철 구조를 가질 수 있다. 이와 같이 2차 충돌부(140)가 요철 구조를 갖도록 반복적으로 만곡된 판형상의 부재로 이루어짐으로써, 그 표면적이 증가될 수 있으므로, 거품이 보다 효율적으로 2차 충돌부(140)와 충돌을 일으킬 수 있게 된다.
그리고 2차 충돌부(140)의 너비는 도 2에 도시된 바와 같이 처리조(110) 내부 공간의 너비보다 작게 설정될 수 있다. 이와 같이 2차 충돌부(140)의 너비를 처리조(110) 내부 공간에 비해 작게 설정함으로써, 2차 충돌부(140)의 측면과 처리조(110)의 내측면 사이에 공기의 유동을 위한 유동 공간이 마련될 수 있으며, 이러한 유동 공간에 의해 흡입펌프(120)의 흡입력은 흡입헤드(170)로 보다 효과적으로 전달될 수 있다.
한편 2차 충돌부(140)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 처리조(110)의 내부 공간에 복수로 설치될 수 있다. 본 실시예의 경우 2차 충돌부(140)가 4개 설치된 경우를 일 예로 제시한다.
그리고 이들 2차 충돌부(140) 중 2개는 그 일측부가 처리조(110) 내부 공간의 일측면, 도 2를 기준으로 좌측에 결합되고, 나머지 2개는 그 일측부가 일측면과 대향하는 타측면, 도 2를 기준으로 우측에 결합될 수 있다. 이들 처리조(110) 내부 공간의 좌측면과 우측면에 결합된 각 2개의 2차 충돌부(140)는 도 2에 도시된 바와 같이 상하 방향을 따라 서로 교대로 배치될 수 있다.
이와 같이 복수의 2차 충돌부(140)가 처리조(110) 내부 공간의 좌측면과 우측면에 번갈아 배치됨으로써, 1차 충돌부(130)를 통과한 거품은 이들 2차 충돌부(140)에 의해 구획된 보다 긴 이동 통로를 따라 유동될 수 있으므로, 거품은 보다 원활히 2차 충돌부(140)에 충돌하여 액화될 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 거품 처리 장치(100)의 처리조(110) 내부를 나타낸 횡단면도이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 2차 충돌부(140)의 가장자리 중 처리조(110) 내부 공간의 일측면에 결합된 일측부 이외의 부분은 처리조(110)와 이격될 수 있다. 상술한 바와 같이 2차 충돌부(140)의 일측부는 처리조(110) 내부 공간의 좌측면 또는 우측면에 결합되며, 2차 충돌부(140)의 가장자리 부분 중, 이러한 일측부를 제외한 나머지 부분은 처리조(110)의 내측면과 이격되어 있다.
이에 따라, 도 5를 기준으로 상측과 하측에 각각 위치하는 2차 충돌부(140)의 측면과 처리조(110)의 내측면 사이에는 이격 공간이 각각 형성될 수 있으므로, 2차 충돌부(140)와의 충돌에 의해 거품이 액화되어 생성된 액체는 이러한 이격 공간을 통해 처리조(110) 하부로 보다 용이하게 유동될 수 있다.
거품이 1차 충돌부(130) 및 2차 충돌부(140)와 충돌되면서 액화되어 생성된 액체는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 처리조(110)의 하부에 포집될 수 있으며, 이러한 액체는 배출구(114) 및 배출관(190)을 통해 습식 설비(10)의 배스로 회수될 수 있다.
즉, 처리조(110)의 하부에는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 거품의 액화에 의해 생성되는 액체를 배출하기 위한 배출구(114)가 형성될 수 있으며, 이러한 배출구(114)는 배출관(190)을 통해 습식 설비(10)의 배스와 연결될 수 있다.
그리고 배출펌프(160)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 배출관(190)에 설치되어 거품의 액화에 의해 생성되는 액체의 배출을 위한 구동력을 제공할 수 있다. 이와 같이 처리조(110) 하부에 포집된 액체를 배출펌프(160)를 이용하여 습식 설비(10)의 배스로 이송함으로써 거품에 의한 액손실이 최소화될 수 있다.
이 경우, 도 1에 도시된 바와 같이 처리조(110)에는 배출구(114)의 높이와 상응하도록 수위센서(165)가 설치될 수 있다. 이러한 수위센서(165)를 이용함으로써, 거품의 액화에 의해 생성되어 처리조의 하부에 포집된 액체의 수위를 감지할 수 있다. 그리고 이렇게 감지된 수위가 배출구(114)의 높이 보다 낮은 경우 배출펌프(160)의 작동을 정지시킴으로써, 배출펌프(160)의 손상을 방지할 수 있으며, 결과적으로 배출펌프(160)의 수명을 증가시킬 수 있다.
한편, 본 실시예에 따른 거품 처리 장치(100)는 흡입펌프(120), 배출펌프(160), 수위센서(165) 등의 자동 제어를 위한 제어부(미도시)를 구비할 수 있다. 이와 같이 제어부(미도시)가 마련됨으로써, 제어부(미도시)에 거품 처리 장치(100)의 작동을 위한 작동 신호만 인가되더라도, 흡입펌프(120) 및 배출펌프(160)의 작동이 가능하게 되며, 이와 동시에 수위센서(165)에 의해 감지되는 액체의 수위 등을 기준으로 배출펌프(120)와 흡입펌프(160)의 작동 여부 및 작동 정도에 대한 자동 제어가 가능하게 된다.
이상, 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.
10: 습식 설비
1: 액체
2: 거품
100: 거품 처리 장치
110: 처리조
112: 유입구
114: 배출구
116: 투명판
120: 흡입펌프
130: 1차 충돌부
132: 관통홀
140: 2차 충돌부
150: 필터
152: 유동홀
160: 배출펌프
165: 수위센서
170: 흡입헤드
180: 유입관
190: 배출관

Claims (18)

  1. 거품이 유입되는 유입구가 형성된 처리조;
    상기 거품이 상기 유입구를 통해 유입되어 상기 처리조의 내부 공간으로 유동되도록, 액체 중의 상기 거품에 흡입력을 제공하는 흡입펌프;
    상기 유입구를 통해 유입된 상기 거품이 충돌에 의해 액화되도록, 상기 처리조의 내부 공간 중 상기 거품의 유동 경로 상류에 배치되는 1차 충돌부; 및
    상기 1차 충돌부를 통과하고 잔존하는 상기 거품이 충돌에 의해 액화되도록, 상기 처리조의 내부 공간 중 상기 거품의 유동 경로 하류에 배치되는 2차 충돌부를 포함하는 거품 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 2차 충돌부는 판형상의 부재인 것을 특징으로 하는 거품 처리 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 2차 충돌부의 너비는 상기 처리조 내부 공간의 너비보다 작은 것을 특징으로 하는 거품 처리 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 2차 충돌부는 복수개이고,
    복수의 상기 2차 충돌부 중 일부는 일측부가 상기 처리조 내부 공간의 일측면에 결합되고, 나머지는 일측부가 상기 일측면과 대향하는 타측면에 결합되며,
    복수의 상기 2차 충돌부 중 일부와 나머지는 교대로 배치되는 것을 특징으로 하는 거품 처리 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 2차 충돌부의 가장자리 중 상기 처리조 내부 공간의 일측면에 결합된 상기 일측부 이외의 부분은 상기 처리조와 이격되는 것을 특징으로 하는 거품 처리 장치.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 2차 충돌부는 오목부와 볼록부가 반복적으로 형성된 요철 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 거품 처리 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 1차 충돌부는 판형상의 부재인 것을 특징으로 하는 거품 처리 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 1차 충돌부는 상기 처리조의 내부 공간을 복수로 구획하도록 배치되며, 복수의 관통홀이 형성된 메쉬(mesh) 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 거품 처리 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 거품에 함유된 이물질을 걸러내기 위한 필터를 더 포함하는 거품 처리 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 필터에는 상기 거품의 유동을 위한 복수의 유동홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 거품 처리 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 처리조의 하부에는 상기 거품의 액화에 의해 생성되는 액체를 배출하기 위한 배출구가 형성되는 것을 특징으로 하는 거품 처리 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 거품의 액화에 의해 생성되는 액체의 배출을 위한 구동력을 제공하는 배출펌프를 더 포함하는 거품 처리 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 처리조에 설치되어 상기 거품의 액화에 의해 생성되는 액체의 수위를 감지하기 위한 수위센서를 더 포함하는 거품 처리 장치.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 유입구에 연결되어 상기 처리조의 내부 공간으로 상기 거품을 흡입하는 흡입헤드를 더 포함하는 거품 처리 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 흡입헤드는 액체 상에 부유되도록 부력을 갖는 것을 특징으로 하는 거품 처리 장치.
  16. 제1항에 있어서,
    상기 유입구는 상기 처리조의 하부에 위치되며,
    상기 흡입펌프는 상기 처리조의 상부에 설치되는 것을 특징으로 하는 거품 처리 장치.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 처리조의 내부 공간은 하부에서 상부로 갈수록 단면적이 감소되는 것을 특징으로 하는 거품 처리 장치.
  18. 제1항에 있어서,
    상기 처리조의 적어도 일부는 투명한 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 거품 처리 장치.
KR1020110039576A 2011-04-27 2011-04-27 거품 처리 장치 KR101273930B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110039576A KR101273930B1 (ko) 2011-04-27 2011-04-27 거품 처리 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110039576A KR101273930B1 (ko) 2011-04-27 2011-04-27 거품 처리 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20120121648A true KR20120121648A (ko) 2012-11-06
KR101273930B1 KR101273930B1 (ko) 2013-06-11

Family

ID=47508070

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110039576A KR101273930B1 (ko) 2011-04-27 2011-04-27 거품 처리 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101273930B1 (ko)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101635076B1 (ko) * 2014-03-14 2016-07-01 삼성중공업 주식회사 탈포 장치 및 이를 포함하는 기액 분리 장치
KR102025001B1 (ko) * 2015-05-18 2019-09-24 순뤼 마린 인바이런먼트 엔지니어링 컴퍼니., 리미티드. 수소 이탈 탱크 및 이를 구비한 평형수 처리 시스템

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR930003952Y1 (ko) * 1991-04-30 1993-06-25 제일합섬 주식회사 연신유제 거품제거장치
JPH10272303A (ja) * 1997-04-01 1998-10-13 Yoshikawa Enbi Kogyosho:Kk 消泡機および消泡機を用いたごみ・泡除去装置
KR100336421B1 (ko) * 2000-04-11 2002-05-10 이종갑 기판 자재 제조공정에서의 현상액 거품 제거방법 및제거장치
KR100922174B1 (ko) * 2009-04-23 2009-10-19 정삼규 수조의 거품 및 부유물질 제거장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR101273930B1 (ko) 2013-06-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102122995B1 (ko) 여과 장치
KR20190067655A (ko) 페인트 부유물 제거 시스템
KR101154548B1 (ko) 거품 처리 장치
KR101273930B1 (ko) 거품 처리 장치
JP4673430B2 (ja) 泡処理装置
JP3303268B2 (ja) スカム除去・処理設備
JP3811887B2 (ja) 洗浄処理装置
KR20060049744A (ko) 기판처리장치
JP2021030142A5 (ko)
JP2007203411A (ja) クーラントの清浄装置
JP3210936U (ja) 排水処理装置
JP2005000767A (ja) フィルター装置および半導体製造装置
US11872529B2 (en) Bubble generation device and liquid filtration device
JP2013136039A (ja) 油分分離システム
KR102432177B1 (ko) 여과재 굴상용 세척장치
JP3164982U (ja) 湿式工程用基板の消泡装置
KR100592039B1 (ko) 평막 및 균일한 산기시설에 의한 수처리 장치
CN112973193A (zh) 消泡装置
TWI706803B (zh) 消泡裝置
JP2006130484A (ja) 基板処理装置
KR101386092B1 (ko) 거품제거장치용 흡입유닛
JPH0457383B2 (ko)
TWI386127B (zh) 電路板濕處理裝置
JP5548412B2 (ja) 油水分離装置
TWI383831B (zh) 除泡裝置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee