KR20120121612A - 이송장치를 구비한 챔버 - Google Patents

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Abstract

이송장치를 구비한 챔버가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 이송장치를 구비한 챔버는 유입구와 유출구를 구비한 챔버; 및 챔버의 내부에 설치한 이송장치를 포함하며, 이송장치는, 챔버의 내부에 유입구로부터 유출구의 방향을 따라 이격되게 배치한 복수의 회전체; 및 챔버의 내부에 설치하여 복수의 회전체 중 적어도 어느 하나에 회전력을 제공하는 구동장치를 포함한다.

Description

이송장치를 구비한 챔버{CHAMBER WITH TRANSFERING APPARATUS}
본 발명은, 이송장치를 구비한 챔버에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 챔버의 내부에 이송장치를 설치한 이송장치를 구비한 챔버에 관한 것이다.
이송장치란 피이송물을 이송하는 장치이다. 여기서, 피이송물이란, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(PlasmaDisplay Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등을 포함하는 기판, 반도체용 웨이퍼(wafer), 기판이나 웨이퍼를 수용하여 지지하는 트레이나 카세트가 될 수 있다.
한편, 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평면디스플레이(Flat Panel Display,FPD)가 등장하기 시작하였다. 평면디스플레이(FPD)는, TV나 컴퓨터 모니터 등에 디스플레이(Display)로 주로 사용된 음극선관(CRT, CathodeRay Tube)보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치로서, 이러한 평면디스플레이는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등으로 그 종류가 다양하다.
이 가운데 OLED는, 형광성 유기화합물을 전기적으로 여기시켜 발광시키는 자발광형 디스플레이 소자이다. 유기EL 패널에 전원이 공급되면, 전자가 이동하면서 전류가 흐르게 되는데 음극에서는 전자(-)가 전자수송층의 도움으로 발광층으로 이동하고, 상대적으로 양극에서는 홀(Hole, +개념, 전자가 빠져나간 상태)이 홀 수송층의 도움으로 발광층으로 이동하게 된다.
이때, 유기물질인 발광층에서 만난 전자(-)와 Hole(+)은 높은 에너지를 갖는 여기자를 생성하게 되는데 이때, 여기자가 낮은 에너지로 떨어지면서 빛을 발생하게 된다.
이와 같은 원리로 구성되는 OLED는, 발광층을 구성하고 있는 유기물질이 어떤 것이냐에 따라 빛의 색깔이 달라지게 되며 R,G,B(Red, Green, Blue)를 내는 각각의 유기물질을 이용하여 풀 칼라(Full Color)를 구현할 수 있다.
이러한 OLED는 LCD와 비교하여 빠른 응답속도와 시인성이 우수하며, 소비전력이 낮을 뿐만 아니라 백라이트가 없어 슬림화가 가능한 장점을 가지고 있으며 타 디스플레이에 비해서도 두께, 무게, 가격등에서 우월한 특성을 보이는 차세대 디스플레이로 주목받고 있다.
따라서, 현재 OLED는 휴대폰, 네비게이션, 디지털 카메라와 같은 소형기기의 디스플레이에 주로 사용되고 있으며, 기술이 점차 발전함에 따라 LCD를 대체할 정도로 급성장하고 있는 추세이다.
이처럼, OLED를 포함한 평면디스플레이용 기판(이하, 기판이라 함)에 대한 수요가 증가함에 따라, 기판 수요를 충족하기 위하여 기판의 크기가 점차 증가하고 있으며, 이와 함께 기판을 이송하는 장비도 대형화되고 있다. 그러나, 기판의 크기가 증가함에 따라 기판을 수평으로 이송하는 경우에 기판의 처짐이 발생하는 문제점이 있으며, 이와 같은 기판의 처짐을 방지하기 위하여 트레이에 기판을 얹고 상기 트레이를 수평으로 이송하거나 기판을 수직으로 세운 다음 이송하였다.
한편 상기한 기판은 일반적으로 유리(Glass) 재질로 이루어지기 때문에 외부로부터 가해지는 충격에 매우 취약한 취성을 갖는다. 따라서 기판을 제조하는 공정에서 기판이 훼손되지 않고 효율적으로 보관 및 이송될 수 있다면, 생산성을 향상시킬 수 있음은 물론 평면디스플레이의 품질도 유지할 수 있다.
이와 같이, 근자에 기판의 크기가 커지고 두께가 얇아짐에 따라 기판의 보관 및 이송, 특히 이송에 있어 각별한 주의가 요구되고 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치를 개략적으로 나타낸 평면도이고, 도 2는 종래 기술에 따른 챔버에 구동부가 결합된 상태를 나타내는 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 종래 기술에 따른 기판 이송장치는 챔버(10)와, 챔버(10)의 내부에 회전가능하게 설치하여 기판 또는 트레이를 이송하는 복수의 이송축(20)과, 복수의 이송축(20)을 구동하기 위하여 챔버(10)의 외부에 설치한 구동장치(30)를 포함한다.
챔버(10)는 유입구(11)에서 유출구(13)방향으로 길게 형성되며, 기판이 유입구(11)에서 유출구(13)로 진행하는 동안 내부에서 필요한 공정을 수행할 수 있다. 이송축(20)은 챔버(10)의 내부에 배치되고 기판 또는 기판을 얹은 트레이를 유입구(11)에서 유출구(13) 방향으로 이송하는 역할을 한다. 그리고, 구동장치(30)는 이송축(20)에 회전력을 전달하여 이송축(20)을 회전시키는 역할을 하며, 챔버의 외측벽을 따라 형성된다.
이러한 구동장치(30)는 챔버(10)의 유입구(11)에 인접하고 챔버(10)의 외측벽에 설치한 구동모터(32)를 구비한 구동부(31)와, 챔버(10)의 외측벽에 구동부(31)와 나란히 배치되고 구동모터(32)에서 제공되는 회전력을 전달받아 복수의 이송축(20)을 회전케 하는 종동부(35)를 포함한다. 종동부(35)는 구동부(31)와 벨트결합 또는 기어결합 등을 통하여 구동부(31)의 회전력을 전달받게 된다.
그리고, 구동부(31)는 챔버(10)의 외측벽에 설치되는데 도 2에서 도시한 바와 같이 구동모터(32)의 몸체부(33)는 지지부재(37)에 의해 챔버(10)의 외측벽에 설치되고, 구동모터(32)의 이송축(34)은 챔버(10)의 외측벽을 관통하고 챔버(10)의 내부에서 연결부재(38)에 의해 이송축(20)과 연결된다.
상기한 바와 같은 종래 기술에 따른 기판 이송장치는 챔버(10)의 외측벽에 구동모터(32)를 구비한 구동부(31)와 구동부(31)에 결합하는 복수의 종동부(35)를 설치하기 때문에, 챔버(10)의 외관 자체가 복잡한 기계장치로 인하여 미관이 좋지 않고, 챔버(10)의 외측에 챔버(10)를 사용함에 필요한 진공펌프, 챔버(10)를 개폐시키는 도어, 그리고 이송장치에 사용되는 필요장치 등을 설치함에 있어 설치공간이 부족하여 챔버의 활용율이 저하되는 문제점이 있었다.
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 챔버의 내부에 피이송물을 이송하는 이송장치를 설치함으로써 챔버의 활용율을 향상시킴과 동시에 챔버 외관을 미려하게 할 수 있는 이송장치를 구비한 챔버를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 유입구와 유출구를 구비한 챔버; 및 상기 챔버의 내부에 설치한 이송장치를 포함하며, 상기 이송장치는, 상기 챔버의 내부에 상기 유입구로부터 상기 유출구의 방향을 따라 이격되게 배치한 복수의 회전체; 및 상기 챔버의 내부에 설치하여 상기 복수의 회전체 중 적어도 어느 하나에 회전력을 제공하는 구동장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송장치를 구비한 챔버가 제공될 수 있다.
상기 회전체는, 상기 구동장치에 의해 회전하는 이송축; 상기 이송축의 양단에 각각 설치되어 상기 이송축과 함께 회전하는 제1 및 제2플랜지; 및 상기 이송축, 제1플랜지 및 제2플랜지를 관통하여, 상기 챔버의 내부에 양단부가 고정되는 고정축을 포함할 수 있다.
상기 제1 및 제2플랜지의 외주면은 상기 이송축을 중심으로 동일한 반경을 갖도록 형성될 수 있다.
상기 제1 및 제2플랜지에는 상기 챔버의 내측면 방향으로 각각 제1 및 제2피드스루가 결합되고, 상기 고정축의 양단부는 상기 제1 및 제2피드스루를 관통하며,상기 제1 및 제2피드스루는 상기 제1 및 제2플랜지와 함께 회전할 수 있다.
상기 제1플랜지와 제1피드스루 사이 및 상기 제2플랜지와 제2피드스루 사이에는 각각 제1 및 제2실링부재가 설치될 수 있다.
상기 제1 및 제2피드스루의 외주면은 상기 이송축을 중심으로 동일한 반경을 갖도록 형성될 수 있다.
상기 이송축에서 제1플랜지 및 제1피드스루로 갈수록 높이가 증가하도록 단차지게 형성하고, 상기 제2플랜지 및 제2피드스루는 상기 이송축을 중심으로 상기 제1플랜지 및 제1피드스루와 대칭되게 형성될 수 있다.
상기 이송축에는 복수의 이송롤러가 더 설치될 수 있다.
상기 챔버의 내부에는 상기 고정축의 양단부를 각각 고정하도록 상기 챔버의 내측벽에서 각각 이격되고 나란히 배치한 제1 및 제2고정브라켓이 설치될 수 있다.
상기 구동장치는, 상기 이송축의 내부에 설치한 구동모터를 포함하며, 상기 구동모터는 몸체부가 상기 이송축의 내부에 결합되어 회전하는 파워몰러일 수 있다.
본 발명의 실시예들은 챔버의 내부에 이송장치를 설치함으로써 챔버의 외측에 도어, 진공펌프 배치 등을 배치할 수 있어 챔버의 활용율을 향상시킬 수 있고 챔버 외관을 미려하게 할 수 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 2는 종래 기술에 따른 챔버에 구동부가 결합된 상태를 나타내는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송장치를 구비한 챔버를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 이송장치를 구비한 챔버를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 이송장치 및 피드스루의 결합상태를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 챔버의 내부에 이송장치가 설치된 상태를 나타내는 단면도이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
이하에서 설명될 피이송물은 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등을 포함하는 기판, 반도체용 웨이퍼(wafer), 기판이나 웨이퍼를 수용하여 지지하는 트레이나 카세트가 될 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송장치를 구비한 챔버를 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 이송장치를 구비한 챔버를 개략적으로 나타낸 평면도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 회전체 및 피드스루의 결합상태를 개략적으로 나타내는 단면도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 챔버의 내부에 이송장치가 설치된 상태를 나타내는 단면도이다.
도 3 내지 도 6을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송장치를 구비한 챔버는 피이송물이 반입 및 반출되는 챔버(100)와, 챔버(100)의 내부에 설치하여 복수의 회전(210)체 중 적어도 어느 하나에 회전력을 제공하는 구동장치(260)를 구비한 이송장치(200)와, 회전체(210)의 양단을 고정하기 위하여 챔버(100)의 내부에 설치한 제1 및 제2고정브라켓(500,550)과, 회전체(210)에 결합하는 제1 및 제2피드스루(300,350)를 포함한다.
챔버(100)는 내부에 피이송물을 수용하는 챔버본체(110)와, 챔버본체(110)의 상부를 덮는 상부커버(130)를 구비한다. 본 실시예에서의 챔버(100)는 피이송물, 특히 OLED 기판에 대한 증착, 식각 등의 공정을 수행하는 공정챔버 또는 공정챔버의 전단 또는 후단에 배치되고 각 공정간에 피이송물의 이송을 위해 이용되는 이송용 챔버 등 피이송물에 대한 일정한 처리가 진행되는 모든 종류의 챔버가 그 대상이 될 수 있다.
또한, 본 실시예에서의 챔버(100)는 피이송물에 대한 일정한 공정을 수행할 수 있도록 내부가 진공 분위기로 형성된 진공챔버일 수 있다. 상기한 본 실시예에서의 챔버(100)가 진공챔버인 경우에 내부를 진공상태로 유지케 하는 진공모듈을 챔버(100)의 일측에 설치할 수 있다. 진공모듈은 도시되지는 않았으나, 진공배관들을 통해 챔버(100)와 연결될 수 있으며, 진공펌프, 압력센서, 압력 조절밸브 등을 포함할 수 있다.
챔버본체(110)는 전방에 피이송물을 챔버(100)의 내부로 반입하는 유입구(111)와, 후방에 챔버(100) 내부에 반입된 피이송물을 외부로 반출하는 유출구(113)를 구비한다. 유입구(111) 및 유출구(113)에는 게이트(115)가 각각 설치되어 유입구(111) 및 유출구(113)를 개폐한다.
챔버본체(110)의 내측에는 피이송물에 대한 공정을 수행할 수 있도록 공간부(117)를 형성할 수 있다. 본 실시예에서의 챔버(100)가 진공챔버인 경우에 공간부(117)가 진공분위기로 형성될 수 있도록 진공배관 및 진공펌프 등의 진공모듈이 연결될 수 있다.
그리고, 챔버(100)의 상부커버(130)는 챔버본체(110)의 상측에 형성된 상측 개구부(미도시)를 개폐하는 역할을 한다. 따라서, 상부커버(130)는 상측 개구부를 모두 덮을 수 있는 면적을 가져야 하며, 개폐될 수 있는 구조로 설치될 수 있다. 본 실시예에서는 상부커버(130)가 챔버본체(110)의 상측에서 힌지결합(131)하여 상기 상측 개구부를 개폐하도록 한다.
도 5 및 도 6을 참고하면, 이송장치(200)는 챔버(100)의 내부에서 피이송물을 수평으로 이송시키는 역할을 하며, 챔버(100)의 내부에 설치한 복수의 회전체(210)와 복수의 회전체(210) 중 적어도 어느 하나에 회전력을 제공하는 구동장치(260)를 포함한다.
회전체(210)는 챔버(100)의 내부에 배치되고, 피이송물과 직접적으로 접촉하여 피이송물을 지지하되 그 자체가 회전함에 따라 피이송물을 챔버(100)의 내부로 반입하거나 챔버(100)의 외부로 반출하는 역할을 한다.
본 발명에서의 회전체(210)는 롤러 타입(roller type)으로 적용될 수 있다. 회전체(210)는 피이송물이 진행하는 방향인 유입구(111)로부터 유출구(113)의 이송방향과 수직한 방향으로 챔버(100)의 공간부(117)에 복수개 배치된다. 즉, 복수의 회전체(210)가 피이송물이 이송되는 방향과 수직한 방향을 따라서 소정 간격 이격되어 상호 평행하게 배치된다.
그리고, 회전체(210)는 구동장치(260)에 의해 회전하는 이송축(211)과, 이송축(211)의 양단에 각각 설치된 제1플랜지(flange)(230) 및 제2플랜지(235)와, 이송축(211), 제1플랜지(230) 및 제2플랜지(235)를 관통하여, 챔버(100)의 내부에 양단부가 고정되는 고정축(250)을 포함한다.
이송축(211)은 후술할 구동장치(260)로부터 회전력을 제공받아 회전한다. 이송축(211)은 챔버(100)의 내부에 배치되며 피이송물을 지지함과 동시에 피이송물을 이송하는 역할을 한다.
또한, 이송축(211)은 긴 봉형상을 가질 수 있으며, 이송축(211)에는 이송축(211)이 회전함에 따라 함께 회전하여 피이송물을 이송시키는 이송롤러(240)가 설치될 수 있다. 이송롤러(240)는 적어도 두 개가 피이송물의 양측부에 대응되게 위치될 수 있으며, 피이송물의 크기에 따라 두 개 이상의 이송롤러(240)가 구비될 수 있다.
제1플랜지(230) 및 제2플랜지(235)는 이송축(211)과 함께 회전할 수 있도록 이송축(211)의 양단에 설치한다. 이때 제1플랜지(230) 및 제2플랜지(235)는 이송축(211)과 일체로 형성할 수 있으나, 이에 한정하지 않고 이송축(211)의 양끝단면에 접합되게 설치할 수 있다.
제1플랜지(230) 및 제2플랜지(235)는 후술할 제1피드스루(300) 및 제2피드스루(350)를 이송축(211)에 연결함과 동시에 챔버(100)의 내부로 반입된 피이송물을 지지하고 피이송물을 이송하는 역할을 할 수 있다.
제1플랜지(230) 및 제2플랜지(235)는 디스크 형상을 가질 수 있으며, 피이송물을 이송하기 위하여 이송축(211)을 중심으로 동일한 반경을 갖도록 형성한다. 따라서, 챔버(100)의 내부에 반입되는 피이송물의 너비가 이송축(211)의 너비를 초과하는 경우에 피이송물을 제1플랜지(230) 및 제2플랜지(235)의 상면에 얹어 이송할 수 있다.
고정축(250)은 이송축(211)을 챔버(100)의 내부에 고정시키는 역할을 한다. 고정축(250)은 이송축(211), 제1 및 제2플랜지(23,2350) 및 후술할 제1 및 제2피드스루(300,350)를 관통하여 챔버(100)의 내부에 고정된다.
이때, 도 3 및 도 4를 참고하면, 챔버(100)의 하부에는 고정축(250)의 양단부를 고정하도록 제1고정브라켓(500) 및 제2고정브라켓(550)이 설치될 수 있다. 제1고정브라켓(500) 및 제2고정브라켓(550)은 각각 챔버(100)의 내측벽에서 소정간격 이격되어 일렬로 나란하게 배치된다.
그리고, 제1고정브라켓(500) 및 제2고정브라켓(550)에는 고정축(250)의 양단부와 결합하는 결합부재 또는 결합홈부(510)가 설치될 수 있다.
그리고, 도 5 및 도 6을 참고하면, 제1 및 제2플랜지(230,235)의 외측에는 각각 제1피드스루(feed through)(300) 및 제2피드스루(350)가 결합될 수 있다. 즉, 제1피드스루(300) 및 제2피드스루(350)는 챔버(100)의 내측면 방향으로 각각 제1 및 제2플랜지(230,235)에 적층되어 결합된다. 그리고, 제1 및 제2피드스루(300,350)는 제1 및 제2플랜지(230,235)와 함께 회전한다. 이때, 고정축(250)의 일단부는 제1피드스루(300)를 관통하여 제1고정브라켓(500)에 고정되고, 고정축(250)의 타단부는 제2피드스루(350)를 관통하여 제2고정브라켓(550)에 고정된다.
한편, 제1플랜지(230)와 제1피드스루(300)사이에 제1실링부재(400)를 설치하고, 제2플랜지(235)와 제2피드스루(350) 사이에 제2실링부재(450)를 설치한다. 제1실링부재(400) 및 제2실링부재(450)는 후술할 구동장치(260)의 구동모터 몸체부(261)를 이송축(211)의 내부에 설치하는 경우에 구동모터 몸체부(261)를 챔버(100)의 공간부와 격리하기 위함이다.
여기서, 제1 및 제2피드스루(300,350)는 디스크 형상을 가질 수 있으며, 이송축(211)을 중심으로 동일한 반경을 갖도록 형성한다. 따라서, 제1 및 제2피드스루(300,350)는 챔버(100)의 내부에 반입되는 피이송물의 너비가 이송축(211)의 너비 및 제1플랜지(230)와 제2플랜지(235)간의 간격을 초과하는 경우에 피이송물을 상면에 얹어 이송하는 역할을 할 수 있다.
예를들어, 챔버(100)의 내부에 반입되는 피이송물의 너비가 이송축(211)의 너비보다 작을 경우에는 이송축(211)에 의해 피이송물이 이송되고, 피이송물의 너비가 이송축(211)의 너비를 초과하는 경우에는 제1플랜지(230) 및 제2플랜지(235)에 의해 피이송물이 이송되고, 피이송물의 너비가 제1플랜지(230)와 제2플랜지(235) 사이의 간격을 초과하는 경우에는 제1피드스루(300) 및 제2피드스루(350)에 의해 피이송물이 이송된다.
따라서, 챔버(100)에 반입되는 피이송물의 너비에 따라 피이송물을 이송하는 수단을 달리하기 위하여 이송축(211)에서 제1플랜지(230) 및 제1피드스루(300)로 갈수록 높이가 증가하도록 단차지게 형성하고, 이송축(211)에서 제2플랜지(235) 및 제2피드스루(350)로 갈수록 높이가 증가하도록 단차지게 형성한다.
한편, 이송축(211), 이송롤러(240), 제1 및 제2플랜지(230,235) 및 제1 및 제2피드스루(300,350)의 둘레에는 이송되는 피이송물의 미끄러짐을 개선하기 위하여 고무와 같은 마찰계수가 높은 재질의 띠(미도시)를 설치할 수 있다. 이러한 띠는 피이송물과의 마찰력을 증대시켜 피이송물의 미끄러짐을 개선할 수 있으며, 이때 띠는 피이송물과의 마찰력을 증대시킬 수 있게 평평하게 형성된다.
구동장치(260)는 회전체(210), 특히 이송축(210)에 회전력을 전달하는 역할을 한다. 구동장치(260)는 회전력을 발생시키는 동력원으로서 구동모터를 포함할 수 있다.
회전체(210)와 구동장치(260)의 결합은 회전체(210)를 구성하는 이송축(210)의 내부에 구동모터를 삽입설치할 수 있다. 본 실시예에서의 구동모터는 몸체부(261)가 이송축(211)의 내부에 삽입되어 결합되고, 몸체부(261)가 회전하는 파워몰러(power moller) 형태로 구성될 수 있다. 이때, 구동모터의 중심축은 구동모터 몸체부(261), 이송축(211), 제1 및 제2플랜지(230.235), 제1 및 제2피드스루(300,350)를 관통하는 고정축(250)일 수 있다. 그리고, 구동모터는 몸체부(261)가 고정축(250)에 대하여 상대적으로 회전되도록 구성되는데, 몸체부(261)의 내부에는 양측에 고정축(250)과 결합되는 베어링부재(263)와, 몸체부(261) 내부에서 오일 등이 유출되는 것을 방지하도록 오일씰(oil seal,265) 등이 설치된다.
또한, 구동모터는 정밀 제어가 가능한 서보 모터(servo motor)를 포함할 수 있고, 단계적 회전이 가능한 기어드 모터(geared motor(AC,DC))를 포함할 수 있다.
이와 같이, 본 실시예에서는 구동모터의 중심축인 고정축(250)의 양단부를 챔버(100)의 내부에 고정하고, 구동모터의 몸체부((261)를 회전시켜, 구동모터의 몸체부(261)와 결합된 이송축(211) 및 이송축(211)과 순차로 결합된 제1 및 제2플랜지(230,235)와 제1 및 제2 피드스루(300,350)를 회전시킨다.
또한, 본 실시예에서 구동장치(260)는 복수의 회전체(210) 전부 또는 복수의 회전체(210) 중 적어도 어느 하나에 설치할 수 있다. 구동장치(260)를 챔버(100)의 유입구(111)에 인접하게 설치한 회전체(210)에 설치하는게 바람직하나, 이에 한정하지 않고 챔버(100)내에 설치한 복수의 회전체에 다수개 설치할 수 있다.
한편, 구동장치(260)를 회전체(210) 중 어느 하나에 설치하는 경우에 챔버(100)의 내부에 설치한 나머지 복수의 회전체(210)는 구동장치(260)가 설치된 회전체(210)와 벨트결합 또는 기어결합 등을 통하여 회전력을 전달받을 수도 있다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 일 실시예에 따른 이송장치의 동작을 설명하면 다음과 같다.
챔버(100)의 내부에서 피이송물에 대하여 일정한 공정을 수행하고자 하는 경우 또는 각 공정간에 피이송물의 이송을 위하여 챔버(100)를 이용하고자 하는 경우에 챔버(100)의 유입구(111)를 통하여 피이송물을 반입한다.
챔버(100)의 유입구(111)를 통하여 피이송물이 반입된 경우 챔버(100)에 설치된 센서(미도시) 등을 통해 이를 감지하고, 챔버(100)에 설치한 제어부(미도시)를 통하여 챔버(100)의 유입구(111)에 인접하고 챔버(100)의 내부에 설치한 회전체(210)가 회전하게 된다.
이때, 제어부는 회전체(210)를 구성하는 이송축(211)의 일단 또는 양단에 삽입하여 설치한 구동모터를 작동시키고, 구동모터의 몸체부((261)의 회전에 의해 몸체부((261)에 고정된 이송축(211)이 회전하고, 이와 동시에 이송축(211)과 결합된 제1 및 2플랜지(230,235)와 제1 및 제2피드스루(300,350)가 함께 회전하게 된다. 이처럼, 회전체(210)의 동작에 의해 피이송물은 챔버(100)내의 원하는 위치로 이송되고 이로써 원하는 공정을 수행할 수 있다.
따라서, 본 발명의 이송장치(200)는 피이송물을 챔버(100)의 내부에 설치한 회전체(210) 및 구동장치(260)를 통하여 이송할 수 있어 종래와 같이 챔버(100)의 외측에 구동장치(260)를 설치하지 않아도 된다. 따라서, 챔버(100)의 외측에 진공모듈을 구성하는 진공펌프, 유입구(111) 및 유출구(113)를 제외한 별도의 도어 설치, 기타 필요한 장치를 설치할 수 있는 공간을 확보할 수 있어 챔버(100)의 활용율을 향상시킬 수 있으며, 챔버(100)의 외관을 미려하게 할 수 있다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정 예 또는 변형 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100: 챔버 110: 챔버본체
111: 유입구 113: 유출구
115: 게이트 117: 공간부
130: 상부커버 131: 힌지결합
200: 이송장치 210: 회전체
211: 이송축 230: 제1플랜지
235: 제2플랜지 240: 이송롤러
250: 고정축 260: 구동장치
261: 구동모터 몸체부 300: 제1피드스루
350: 제2피드스루 400: 제1실링부재
450: 제2실링부재 500: 제1고정브라켓
550: 제2고정브라켓 510: 결합홈부

Claims (10)

  1. 유입구와 유출구를 구비한 챔버; 및
    상기 챔버의 내부에 설치한 이송장치를 포함하며,
    상기 이송장치는,
    상기 챔버의 내부에 상기 유입구로부터 상기 유출구의 방향을 따라 이격되게 배치한 복수의 회전체; 및
    상기 챔버의 내부에 설치하여 상기 복수의 회전체 중 적어도 어느 하나에 회전력을 제공하는 구동장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송장치를 구비한 챔버.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 회전체는,
    상기 구동장치에 의해 회전하는 이송축;
    상기 이송축의 양단에 각각 설치되어 상기 이송축과 함께 회전하는 제1 및 제2플랜지; 및
    상기 이송축, 제1플랜지 및 제2플랜지를 관통하여, 상기 챔버의 내부에 양단부가 고정되는 고정축을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송장치를 구비한 챔버.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 및 제2플랜지의 외주면은 상기 이송축을 중심으로 동일한 반경을 갖도록 형성된 것을 특징으로 하는 이송장치를 구비한 챔버.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 제1 및 제2플랜지에는 상기 챔버의 내측면 방향으로 각각 제1 및 제2피드스루가 결합되고, 상기 고정축의 양단부는 상기 제1 및 제2피드스루를 관통하며, 상기 제1 및 제2피드스루는 상기 제1 및 제2플랜지와 함께 회전하는 것을 특징으로 하는 이송장치를 구비한 챔버.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1플랜지와 제1피드스루 사이 및 상기 제2플랜지와 제2피드스루 사이에는 각각 제1 및 제2실링부재가 설치된 것을 특징으로 하는 이송장치를 구비한 챔버.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 제1 및 제2피드스루의 외주면은 상기 이송축을 중심으로 동일한 반경을 갖도록 형성된 것을 특징으로 하는 이송장치를 구비한 챔버.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 이송축에서 제1플랜지 및 제1피드스루로 갈수록 높이가 증가하도록 단차지게 형성하고, 상기 제2플랜지 및 제2피드스루는 상기 이송축을 중심으로 상기 제1플랜지 및 제1피드스루와 대칭되게 형성된 것을 특징으로 하는 이송장치를 구비한 챔버.
  8. 제2항에 있어서,
    상기 이송축에는 복수의 이송롤러가 더 설치된 것을 특징으로 하는 이송장치를 구비한 챔버.
  9. 제2항에 있어서,
    상기 챔버의 내부에는 상기 고정축의 양단부를 각각 고정하도록 상기 챔버의 내측벽에서 이격되고 나란히 배치한 제1 및 제2고정브라켓이 설치된 것을 특징으로 하는 이송장치를 구비한 챔버.
  10. 제2항에 있어서,
    상기 구동장치는, 상기 이송축의 내부에 설치한 구동모터를 포함하며,
    상기 구동모터는 몸체부가 상기 이송축의 내부에 결합되어 회전하는 파워몰러인 것을 특징으로 하는 이송장치를 구비한 챔버.
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