KR20140084983A

KR20140084983A - 게이트 밸브

Info

Publication number: KR20140084983A
Application number: KR1020120155044A
Authority: KR
Inventors: 이은녕; 이진환; 유현석; 권상교
Original assignee: 주식회사 에스에프에이
Priority date: 2012-12-27
Filing date: 2012-12-27
Publication date: 2014-07-07
Also published as: KR101479933B1

Abstract

게이트 밸브가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브는, 진공 챔버에 형성되는 게이트 슬릿에 인접하게 배치되며 기판이 출입할 수 있는 기판 출입구가 형성되는 밸브 챔버와, 밸브 챔버 내부에 업/다운(up/down) 가능하게 마련되며, 기판 출입구를 개폐하는 밸브 도어와, 밸브 도어에 연결되며 밸브 도어의 업/다운(up/down) 시 밸브 도어의 수평을 유지시키는 수평 유지유닛과, 수평 유지유닛에 연결되며 밸브 도어를 업/다운(up/down)시키는 도어 업/다운(up/down) 구동유닛을 포함한다.

Description

게이트 밸브{Gate Valve}

본 발명은, 게이트 밸브에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 평면디스플레이용 화학 기상 증착장치의 진공 챔버 사이에 마련되어 진공 챔버의 게이트 슬릿을 개폐하는 게이트 밸브에 관한 것이다.

평면디스플레이는 개인 휴대단말기를 비롯하여 TV나 컴퓨터의 모니터 등으로 널리 채용된다. 이러한 평면디스플레이는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등으로 그 종류가 다양하다.

이러한 평면디스플레이 중에서 특히 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display)는 유기물의 자체 발광에 의해 컬러 화상을 구현하는 초경박형 표시장치로서, 그 구조가 간단하면서 광효율이 높다는 점에서 차세대의 유망 평면디스플레이로서 주목받고 있다.

이러한 유기전계발광표시장치(OLED)는 애노드와 캐소드 그리고, 애노드와 캐소드 사이에 개재된 유기막들을 포함하고 있다. 여기서 유기막들은 최소한 발광층을 포함하며, 발광층 이외에도 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 수송층, 전자 주입층을 더 포함할 수 있다.

또한, 유기전계발광표시장치(OLED)는 유기물의 자체 발광에 의해 컬러 화상을 구현하는 초경박형 표시장치로서, 그 구조가 간단하면서 광효율이 높다는 점에서 차세대의 유망 평면디스플레이로서 주목받고 있다.

이러한 유기전계발광표시장치(OLED) 기판을 제조하기 위해서는 기판 상에 TFT(Thin Film Transistor)를 형성하기 위한 무기물 증착공정과 패터닝 공정이 반복적으로 이루어지고, 이후 발광 Cell을 구성하기 위한 유기물 증착이 이루어진다.

통상적으로 유기전계발광표시장치(OLED) 기판에 증착되는 무기물은 화학 기상 증착공정(CVD, Chemical Vapor Deposition Process)으로 증착한다. 이러한 화학 기상 증착공정이 다양한 박막을 형성하는데 유리하기 때문이다.

유기전계발광표시장치(OLED) 기판을 제조하기 위한 증착공정 중에 하나인 화학 기상 증착공정(CVD, Chemical Vapor Deposition Process)을 간략히 설명하면, 화학 기상 증착공정은, 외부의 고주파 전원에 의해 플라즈마(Plasma)화 되어 높은 에너지를 갖는 실리콘계 화합물 이온(ion)이 전극을 통해 가스분배판에서 분출되어 기판 상에 증착되는 공정으로서, 이러한 공정은 화학 기상 증착공정을 수행하는 공정 챔버 내에서 이루어진다.

특히 최근에는 단시간에 많은 기판을 처리할 수 있도록, 일정한 간격으로 배치되는 복수개의 공정 챔버를 구비하는 화학 기상 증착 장치가 널리 사용되고 있다.

이러한 화학 기상 증착공정을 위한 종래기술에 따른 평면디스플레이용 화학 기상 증착장치는, 도 1에 도시된 바와 같이, 증착 공정이 수행되며 기판(G)의 출입을 위해 게이트 슬릿이 마련되는 공정 챔버(Processing Chamber,1)와, 공정 챔버(1)에 이웃하게 배치되며 게이트 슬릿(미도시)을 통해 기판(G)을 공정 챔버(1)의 외부 및 내부로 출입시키는 기판 출입유닛(2)을 포함한다.

공정 챔버(1)는, 공정챔버(1) 내에 마련되어 증착 대상인 기판(G)이 로딩(Loading)되는 서셉터(Susceptor, 미도시)와, 공정챔버(1) 내에 마련되어 상부전극의 역할을 하는 배면판(미도시)과, 배면판(미도시)의 하부에 마련되어 기판(G) 상으로 증착물질을 분배하는 가스분배판(미도시)을 포함한다.

기판 출입유닛(2)은, 기판(G)이 공정 챔버(1)로 진입될 수 있는 환경을 조성하는 로드락 챔버(load lock Chamber, 3)에서 기판(G)을 공급받는다. 또한 이러한 기판 출입유닛(2)은, 공정 챔버(1)와 로드락 챔버(3)를 연결하는 트랜스퍼 챔버(transfer chamber, 4)의 내부에 마련된다.

한편, 공정 챔버(1), 로드락 챔버(3) 및 트랜스퍼 챔버(4)는 진공 챔버로 형성되며, 로드락 챔버(3)와 트랜스퍼 챔버(4)에도 공청 챔버(1)와 마찬가지로 기판(G)의 출입을 위해 게이트 슬릿이 마련된다.

또한 공정 챔버(1)와 트랜스퍼 챔버(4) 사이, 로드락 챔버(3) 및 트랜스퍼 챔버(4) 사이에는 게이트 슬릿(미도시)을 개폐하는 게이트 밸브(미도시)가 마련된다.

종래 기술에 따른 게이트 밸브(미도시)는, 밸브 챔버의 내부에서 업/다운(up/down)되어 게이트 슬릿(미도시)을 개폐하는 밸브 도어(미도시)와, 밸브 도어(미도시)에 연결되어 밸브 도어(미도시)를 업/다운(up/down)시키는 도어 업/다운(up/down) 구동부(미도시)를 포함한다.

밸브 도어는 가로 방향으로 긴 막대 형상으로 마련되며, 도어 업/다운(up/down) 구동부는 이러한 막대 형상의 밸브 도어의 크기에 따라 다수개가 설치된다.

그런데 종래 기술에 따른 게이트 밸브는, 도어 업/다운(up/down) 구동부 상호간의 정확한 동기화가 수행되지 않아 밸브 도어의 업/다운(up/down) 시 밸브 도어의 수평을 유지시키기 어려운 문제점이 있다.

즉 도어 밸브가 기울어진 상태(도어 밸브의 말단부의 높이가 서로 다른 상태)로 업/다운(up/down)되는데, 이와 같이 밸브 도어가 기울어진 상태로 업/다운(up/down)되면, 밸브 도어가 손상될 수 있고 밸브 챔버에 리크(leak)가 발생될 수 있다.

따라서 밸브 도어의 업/다운(up/down) 시 밸브 도어의 수평을 유지시킬 수 있는 게이트 밸브의 개발이 필요한 실정이다.

한국특허공개공보 제10-2008-0082922호 (어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드), 2008.09.12

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 밸브 도어의 업/다운(up/down) 시 밸브 도어의 수평을 유지시킬 수 있는 게이트 밸브를 제공하는 것이다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 진공 챔버에 형성되는 게이트 슬릿에 인접하게 배치되며, 기판이 출입할 수 있는 기판 출입구가 형성되는 밸브 챔버; 상기 밸브 챔버 내부에 업/다운(up/down) 가능하게 마련되며, 기판 출입구를 개폐하는 밸브 도어; 상기 밸브 도어에 연결되며, 상기 밸브 도어의 업/다운(up/down) 시 상기 밸브 도어의 수평을 유지시키는 수평 유지유닛; 및 상기 수평 유지유닛에 연결되며, 상기 밸브 도어를 업/다운(up/down)시키는 도어 업/다운(up/down) 구동유닛을 포함하는 게이트 밸브를 제공할 수 있다.

상기 수평 유지유닛은, 상호 이격되어 배치되며, 상기 밸브 도어에 각각 결합되는 제1 및 제2 이동축; 상기 제1 및 제2 이동축에 결합되어 제1 및 제2 이동축을 연결하는 연결축; 및 상기 연결축에 연결되어 상기 연결축의 업/다운(up/down)을 가이드하는 가이드부를 포함할 수 있다.

상기 가이드부는, 상기 연결축의 중앙부에 연결되는 중앙부 연결형 가이드부로 이루어질 수 있다.

상기 중앙부 연결형 가이드부는, 상기 연결축의 중앙부에 결합되는 제1 가이드 블록; 및 상기 제1 가이드 블록이 업/다운(up/down) 가능하게 결합되는 되는 제1 가이드 레일을 포함할 수 있다.

상기 중앙부 연결형 가이드부는, 상기 밸브 챔버에 결합되며, 상기 제1 가이드 레일을 지지하는 제1 가이드 레일 지지대를 더 포함할 수 있다.

상기 중앙부 연결형 가이드부는, 상기 연결축의 중앙부에 결합되는 볼 부쉬; 및 상기 볼 부쉬가 업/다운(up/down) 가능하게 결합되는 되는 가이드 샤프트를 포함할 수 있다.

상기 가이드 샤프트는, 상기 밸브 챔버에 결합될 수 있다.

상기 도어 업/다운(up/down) 구동유닛은, 상호 이격되어 배치되며, 상기 제1 및 제2 이동축에 각각 연결되어 상기 제1 및 제2 이동축을 업/다운(up/down)시키는 제1 및 제2 이동축 구동부를 포함할 수 있다.

상기 가이드부는, 상기 연결축의 말단부에 각각 연결되는 한 쌍의 말단부 연결형 가이드부로 이루어질 수 있다.

상기 말단부 연결형 가이드부는, 상기 연결축의 말단부에 연결되는 제2 가이드 블록; 및 상기 제2 가이드 블록이 업/다운(up/down) 가능하게 결합되는 되는 제2 가이드 레일을 포함할 수 있다.

상기 말단부 연결형 가이드부는, 상기 밸브 챔버에 결합되며, 상기 제2 가이드 레일을 지지하는 제2 가이드 레일 지지대를 더 포함할 수 있다.

상기 수평 유지 유닛은, 상기 한 쌍의 말단부 연결형 가이드부 중 적어도 어느 하나에 연결되며, 상기 연결축의 열팽창 시 상기 연결축의 수평방향에 대한 신장을 가이드하는 열팽창 가이드부를 더 포함할 수 있다.

상기 열팽창 가이드부는, 상기 연결축에 결합되는 제3 가이드 블록; 및 상기 제2 가이드 블록과 결합되며, 상기 제3 가이드 블록이 이동 가능하게 결합되는 제3 가이드 레일을 구비하는 연결축 신장 가이드부재를 포함할 수 있다.

상기 연결축 신장 가이드부재는, 상기 제2 가이드 블록이 결합되는 세로 몸체; 및 상기 세로 몸체에서 연장되며, 상기 제3 가이드 레일이 결합되는 가로 몸체를 포함할 수 있다.

상기 도어 업/다운(up/down) 구동유닛은, 상기 연결축에 결합되며, 상기 연결축를 업/다운(up/down)시키는 연결축 업/다운(up/down) 구동부를 포함할 수 있다.

상기 밸브 챔버는, 상기 제1 및 제2 이동축에 연결되며, 상기 밸브 챔버의 기밀을 유지하는 기밀 유지부를 더 포함할 수 있다.

상기 기밀 유지부는, 상기 제1 및 제2 이동축 각각에 연결되는 오링(O-ring)을 포함할 수 있다.

상기 기밀 유지부는, 상기 제1 및 제2 이동축 각각에 결합되는 벨로우즈(bellows)를 포함할 수 있다.

상기 밸브 도어는, 상기 수평 유지유닛이 연결되는 도어 몸체부; 상기 도어 몸체부에 연결되며, 상기 밸브 챔버의 내벽에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 이동되어 상기 기판 출입구를 개폐하는 도어 블레이드부; 및 상기 도어 몸체부에 마련되며, 상기 도어 블레이드부를 구동하는 블레이드 구동부를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예들은, 수평 유지유닛이 밸브 도어에 연결되어 상기 밸브 도어의 업/다운(up/down) 시 밸브 도어의 수평을 유지함으로써, 밸브 도어의 업/다운(up/down)과정에서 밸브 도어의 손상을 방지하고 밸브 챔버에서의 리크(leak) 발생을 억제할 수 있다.

도 1은 종래기술에 따른 평면디스플레이용 화학 기상 증착장치의 개략적인 구조도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 게이트 밸브의 개략적인 구조가 도시된 단면도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 게이트 밸브가 도시된 사시도이다.
도 4는 도 3의 기판 출입구가 폐쇄된 상태가 도시된 도면이다.
도 5는 도 3의 게이트 밸브를 다른 방향에서 바라본 사시도이다.
도 6은 도 3의 정면도이다.
도 7은 도 3의 측면도이다.
도 8은 도 4의 측면도이다.
도 9는 도 2의 공정 챔버의 구조가 도시된 도면이다.
도 10은 본 발명의 제2 실시예에 따른 게이트 밸브가 도시된 사시도이다.
도 11은 본 발명의 제3 실시예에 따른 게이트 밸브가 도시된 사시도이다.
도 12는 도 11의 정면도이다.
도 13은 도 11의 기판 출입구가 폐쇄된 상태가 도시된 도면이다.
도 14는 본 발명의 제4 실시예에 따른 게이트 밸브가 도시된 도면이다.
도 15는 본 발명의 제5 실시예에 따른 게이트 밸브가 도시된 사시도이다.
도 16은 도 15의 정면도이다.
도 17은 도 15의 'A' 부분의 확대도이다.
도 18 도 15의 기판 출입구가 폐쇄된 상태가 도시된 도면이다.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.

도면 대비 설명에 앞서, 이하에서 설명될 평면디스플레이란 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 중 어떠한 것이 적용되어도 좋다. 다만, 본 실시예에서는 OLED(Organic Light Emitting Diodes)를 채택하여 설명한다.

이하, 편의를 위해, OLED(Organic Light Emitting Diodes)용 유리기판을 단순히 기판이라 하여 설명하기로 한다.

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 게이트 밸브의 개략적인 구조가 도시된 단면도이고, 도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 게이트 밸브가 도시된 사시도이며, 도 4는 도 3의 기판 출입구가 폐쇄된 상태가 도시된 도면이고, 도 5는 도 3의 게이트 밸브를 다른 방향에서 바라본 사시도이며, 도 6은 도 3의 정면도이고, 도 7은 도 3의 측면도이며, 도 8은 도 4의 측면도이고, 도 9는 도 2의 공정 챔버의 구조가 도시된 도면이다.

도 2 내지 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브는, 진공 챔버(100, 210)에 형성되는 게이트 슬릿(121,221)에 인접하게 배치되며, 기판(G)이 출입할 수 있는 기판 출입구(311)가 형성되는 밸브 챔버(310)와, 밸브 챔버(310) 내부에 업/다운(up/down) 가능하게 마련되며, 기판 출입구(311)를 개폐하는 밸브 도어(320)와, 밸브 도어(320)에 연결되며, 밸브 도어(320)의 업/다운(up/down) 시 밸브 도어(320)의 수평을 유지시키는 수평 유지유닛(330)과, 수평 유지유닛(330)에 연결되며, 밸브 도어(320)를 업/다운(up/down)시키는 도어 업/다운(up/down) 구동유닛(340)을 포함한다.

진공 챔버(100, 210)는 챔버 내부를 진공 분위기로 형성한다. 설명의 편의를 위해 본 실시예에 따른 게이트 밸브는 평면디스플레이용 화학 기상 증착장치에 사용되는 경우를 설명한다. 또한, 본 실시예에 따른 게이트 밸브는 평면디스플레이용 화학 기상 증착장치의 진공 챔버(100, 210)에 해당하는 공정 챔버(Processing Chamber, 110) 및 트랜스퍼 챔버(transfer chamber, 210) 사이에 배치되는 경우로 한정하여 설명한다.

평면디스플레이용 화학 기상 증착장치에서, 공정 챔버(100)는 기판(G)에 대한 증착 공정을 수행하며, 트랜스퍼 챔버(210)는 기판(G)을 공정 챔버(100)로 반입 및 반출한다. 이러한 공정 챔버(100)와 트랜스퍼 챔버(210)에 대한 구성은 설명의 편의를 위해 후술한다.

밸브 챔버(310)는, 공정 챔버(100)와 트랜스퍼 챔버(210)에 형성되는 게이트 슬릿(121,221)에 인접하게 배치되며, 게이트 슬릿(121,221)에 연통되어 기판(G)이 출입할 수 있는 기판 출입구(311)가 형성된다.

이러한 밸브 챔버(310)는, 수평 유지유닛(330)에 연결되며, 밸브 챔버(310)의 기밀을 유지하는 기밀 유지부(312)를 더 포함한다. 이러한 기밀 유지부(312)는 설명의 편의를 위해 후술한다.

밸브 도어(320)는, 밸브 챔버(310) 내부에 업/다운(up/down) 가능하게 마련되며, 기판 출입구(311)를 개폐한다.

이러한 밸브 도어(320)는, 수평 유지유닛(330)이 연결되는 도어 몸체부(321)와, 도어 몸체부(321)에 연결되며, 밸브 챔버(310)의 내벽에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 이동되어 기판 출입구(311)를 개폐하는 도어 블레이드부(322)와, 도어 몸체부(321)에 마련되며, 도어 블레이드부(322)를 구동하는 블레이드 구동부(323)를 포함한다.

도어 몸체부(321)는, 수평 유지유닛(330)에 연결되어 도어 업/다운(up/down) 구동유닛(340)의 가압에 의해 업/다운(up/down)된다.

도어 블레이드부(322)는, 도어 몸체부(321)에 연결되며, 밸브 챔버(310)의 내벽에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 이동되어 기판 출입구(311)를 개폐한다.

블레이드 구동부(323)는, 밸브 도어 몸체부(321)에 마련되며, 도어 블레이드부(322)에 연결되어 도어 블레이드부(322)를 밸브 챔버(310)의 내벽에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 이동시킨다. 본 실시예에서 블레이드 구동부(323)는, 도어 블레이드부(322)를 가압하는 공압 실린더로 마련된다.

이러한 밸브 도어(320)는, 도어 몸체부(321)가 기판 출입구(311)의 위치로 이동된 후 도어 블레이드부(322)가 밸브 챔버(310) 내벽에 밀착되어 기판 출입구(311)의 폐쇄한다. 기판 출입구(311)의 개방은 기판 출입구(311)의 폐쇄와 반대로 이루어진다.

한편, 수평 유지유닛(330)은, 밸브 도어(320)에 연결되며, 밸브 도어(320)의 업/다운(up/down) 시 밸브 도어(320)의 수평을 유지시킨다.

이러한 수평 유지유닛(330)은, 상호 이격되어 배치되며, 밸브 도어(320)에 각각 결합되는 제1 및 제2 이동축(331,332)과, 제1 및 제2 이동축(331,332)에 결합되어 제1 및 제2 이동축(331,332)을 연결하는 연결축(333)과, 연결축(333)에 연결되어 연결축(333)의 업/다운(up/down)을 가이드하는 가이드부(334)를 포함한다.

제1 및 제2 이동축(331,332)은, 상호 이격되어 배치되며, 밸브 도어(320)에 각각 결합된다. 이러한 제1 및 제2 이동축(331,332)은 앞서 설명한 이러한 블레이드 구동부(323)와 연결되며, 제1 및 제2 이동축(331,332)의 내부에는 블레이드 구동부(323)에 공압을 전달하는 공압 유로(미도시)가 형성된다.

또한 제1 및 제2 이동축(331,332)에는, 공압 유로(미도시)와 연결되는 에어 포트(air port, 미도시)가 마련된다.

연결축(333)은, 제1 및 제2 이동축(331,332)에 결합되어 제1 및 제2 이동축(331,332)을 연결한다. 이러한 연결축(333)은 막대 형상으로 마련되며, 가로 방향으로 배치되어 제1 및 제2 이동축(331,332)을 연결한다.

가이드부(334)는 연결축(333)에 연결되어 연결축(333)의 업/다운(up/down)을 가이드한다. 본 실시예에서 가이드부(334)는, 연결축(333)의 중앙부에 연결되는 중앙부 연결형 가이드부(334)로 이루어진다.

이러한 중앙부 연결형 가이드부(334)는, 연결축(333)의 중앙부에 결합되는 제1 가이드 블록(335)과, 제1 가이드 블록(335)이 업/다운(up/down) 가능하게 결합되는 되는 제1 가이드 레일(336)을 포함한다.

제1 가이드 블록(335)은, 가로 방향으로 배치된 연결축(333)의 중앙부에 결합된다.

제1 가이드 레일(336)에는, 제1 가이드 블록(335)이 업/다운(up/down) 가능하게 결합되는 된다. 이러한 제1 가이드 레일(336)은 세로 방향으로 배치되어 제1 가이드 블록(335)의 업/다운(up/down)을 안내한다.

또한 중앙부 연결형 가이드부(334)는, 밸브 챔버(310)에 결합되며, 제1 가이드 레일(336)을 지지하는 제1 가이드 레일 지지대(337)를 더 포함한다.

이와 같이 본 실시예에 따른 게이트 밸브는, 밸브 도어(320)를 업/다운(up/down)시키는 제1 및 제2 이동축(331,332)이 연결축(333)에 의해 연결됨으로써, 제1 및 제2 이동축(331,332)의 업/다운(up/down)을 동기화할 수 있다.

또한 연결축(333)에 결합된 제1 가이드 블록(335)이 제1 가이드 레일(336)을 따라 업/다운(up/down)됨으로써, 연결축(333)은 수평상태를 유지하며 업/다운(up/down)될 수 있다.

결국, 본 실시예에 따른 게이트 밸브는, 제1 및 제2 이동축(331,332)의 업/다운(up/down) 높이를 동일하게 동기화할 수 있고, 그에 따라 제1 및 제2 이동축(331,332)에 결합된 밸브 도어(320)의 수평상태를 유지하며 밸브 도어(320)를 업/다운(up/down)시킬 수 있다.

한편, 도어 업/다운(up/down) 구동유닛(340)은, 수평 유지유닛(330)에 연결되며, 밸브 도어(320)를 업/다운(up/down)시킨다.

이러한 도어 업/다운(up/down) 구동유닛(340)은, 상호 이격되어 배치되며, 제1 및 제2 이동축(331,332)에 각각 연결되어 제1 및 제2 이동축(331,332)을 업/다운(up/down)시키는 제1 및 제2 이동축 구동부(341,342)를 포함한다.

본 실시예에서 제1 및 제2 이동축 구동부(341,342)는, 제1 및 제2 이동축(331,332)을 가압하는 공압 실린더로 이루어진다. 이러한 제1 및 제2 이동축 구동부(341,342)는, 제1 및 제2 이동축(331,332)의 가압을 위한 에어 포트(air port)가 마련된다.

한편, 앞서 설명한 바와 같이 밸브 챔버(310)는, 제1 및 제2 이동축(331,332)에 연결되며 밸브 챔버(310)의 기밀을 유지하는 기밀 유지부(312)를 더 포함한다.

이러한 기밀 유지부(312)는, 제1 및 제2 이동축(331,332) 각각에 연결되는 오링(O-ring, 313)을 포함한다. 이러한 오링(313)은 제1 및 제2 이동축(331,332)의 외주면에 밀착됨으로써, 제1 및 제2 이동축(331,332)의 업/다운(up/down)되더라도 밸브 챔버(310)의 기밀을 유지시킨다.

한편, 트랜스퍼 챔버(210)는 기판(G)을 공정 챔버(100)로 반입 및 반출한다.이러한 트랜스퍼 챔버(210)는, 트랜스퍼 챔버(210)의 내부에 마련되어 기판(G)을 공정 챔버(100)로 반입하며 증착 공정이 수행된 기판(G)을 공정 챔버(100)에서 반출하는 기판 출입유닛(미도시)를 포함한다.

한편 공정 챔버(100)는 기판(G)에 대한 증착 공정을 수행한다. 이러한 공정 챔버(100)는, 도 9에 도시된 바와 같이, 상부챔버(110)와 하부챔버(120)를 포함한다. 이러한 공정 챔버(100)는, 상부챔버(110)와 하부챔버(120)가 한 몸체를 이루어 내부에 증착공간(S)을 형성한다.

또한 공정 챔버(100)는, 증착 공정이 진행될 때는 증착공간(S)이 진공 분위기로 유지될 수 있도록, 증착공간(S)을 외부와 격리한다.

상부챔버(110)의 내부에는 횡 방향을 따라 전극(140)이 마련되어 있다. 전극(140)은, 하부챔버(120)를 향한 전면에 배치되는 가스분배판(145)과, 가스분배판(145)과의 버퍼공간(Y)을 사이에 두고 가스분배판(145)의 배후에 배치되는 후방플레이트(141)를 구비한다.

가스분배판(145)에는, 공정 챔버(100) 내에 형성되는 증착공간(S)으로 증착 공정을 위한 플라즈마 상태의 가스(gas)를 분배하는 다수의 오리피스(미도시)가 그 두께방향을 따라 형성되어 있다.

가스분배판(145)과 후방플레이트(141) 사이에는 현가지지부재(143)가 마련되어 있다. 현가지지부재(143)는 버퍼공간(Y) 내의 증착물질이 외부로 누출되지 않도록 버퍼공간(Y)을 차폐할 뿐만 아니라 가스분배판(145)을 후방플레이트(141)에 대해 현가 지지한다. 뿐만 아니라 현가지지부재(143)는 증착 공정 시 대략 200℃ 정도로 가열된 가스분배판(145)이 X축, Y축 및 Z축 방향 중 적어도 어느 한 방향으로 열팽창하는 것을 보상하는 역할도 겸한다.

후방플레이트(141)와 상부챔버(110) 사이에는 후방플레이트(141)가 상부챔버(110)의 외벽에 직접 접촉되어 통전되지 않도록 절연체(117)가 마련되어 있다. 절연체(117)는 테프론 등으로 제작될 수 있다. 후방플레이트(141)의 주변에는 상부챔버(110)에 대해 후방플레이트(141)를 지지하는 플레이트지지부(미도시)가 더 구비되어 있다.

상부챔버(110)의 상단에는 상판부(113)가 마련되어 있는데, 상판부(113)는 상부챔버(110)의 상부를 덮는 역할을 할 뿐만 아니라 지지 플레이트(미도시)가 지지 및 결합되는 부분이 된다.

지지 플레이트(미도시)에는, 그 상부에 공정 가스(gas)를 공급시키기 위한 가스공급부(115)와, 상부챔버(110) 내에 결합되어 있는 후방플레이트(141)와 연결라인(11)에 의해 전기적으로 연결되어 있는 고주파 전원부(12)와, 가스공급부(115)와 가스유입관(미도시)이 연결되도록 가스공급부(115) 및 고주파 전원부(12) 사이에 마련되어 가스공급부(115)로부터 유입되는 공정 가스(gas)의 이동 경로가 되는 가스이동관(미도시)과, 가스이동관(미도시) 및 그 주변 영역을 차폐하는 차폐박스(미도시) 등이 장착되어 있다.

이러한 구성에 의해 가스공급부(115)로부터 공급되는 공정 가스(gas)는 가스유입관(미도시)을 통해 버퍼공간(Y)으로 공급될 수 있고, 후방플레이트(141)가 고주파 전원부(112)에 의해 공급되는 고주파 전력에 의해 전극을 띠게 됨으로써 버퍼공간(Y)으로 유입된 공정 가스(gas)를 플라즈마화 할 수 있다.

하부챔버(120)에 대해서 살펴보면, 하부챔버(120)는, 실질적으로 기판(G)에 대한 증착 공정이 진행되는 부분으로서, 전술한 증착공간(S)이 하부챔버(120) 내에 형성된다.

도시하지는 않았지만, 하부챔버(120) 내의 바닥면 영역에는 증착공간(S)에 존재하는 공정 가스(gas)를 다시 증착공간(S)으로 확산시키는 가스확산판(미도시)이 마련되어 있다.

하부챔버(120) 내부에는 기판(G)이 로딩(Loading)되는 서셉터(130)가 마련된다.

서셉터(130)는 하부챔버(120) 내의 증착공간(S)에서 횡 방향으로 배치되어 로딩(loading)되는 기판(G)을 지지한다. 보통은 증착 대상물인 기판(G)의 면적보다 큰 구조물로 형성되며, 서셉터(130)의 상면은 기판(G)이 정밀하게 수평 상태로 로딩될 수 있도록 거의 정반(Surface plate)으로 제조된다.

서셉터(130)의 상면으로 기판(G)이 얹혀지면서 로딩되거나 취출되기 위해 서셉터(130)에는 로딩되거나 취출되는 기판(G)의 하면을 안정적으로 지지하는 복수의 리프트 핀(131, Lift Pin)이 더 구비되어 있다. 리프트 핀(131)들은 서셉터(130)를 관통하도록 서셉터(130)에 설치되어 있다.

이러한 리프트 핀(131)들은 서셉터(130)가 하강할 때, 그 하단이 하부챔버(120)의 바닥면에 가압되어 상단이 서셉터(130)의 상단으로 돌출된다. 리프트 핀(131)의 돌출된 상단은 기판(G)을 상부로 들어올리게 되고 따라서 기판(G)은 서셉터(130)로부터 이격되게 된다.

반대로, 서셉터(130)가 부상하면, 리프트 핀(131)이 서셉터(130)의 상면에 대해 하방으로 이동하여 기판(G)이 서셉터(130)의 상면에 밀착된다. 즉, 리프트 핀(131)들은 후술할 엔드 이펙터(210)가 서셉터(130)에 로딩된 기판(G)을 지지할 수 있도록 기판(G)과 서셉터(130) 사이의 공간을 형성하는 역할을 겸한다.

이러한 서셉터(130)에는, 그 상단이 서셉터(130)의 배면 중앙 영역에 고정되고 하단이 하부챔버(120)를 통해 하방으로 노출되어 서셉터(130)를 승강 가능하게 지지하는 컬럼(132)이 더 결합되어 있다.

한편, 서셉터(130)는 무겁고 사이즈가 크게 되면 이에 의하여 처짐 등이 발생될 수 있는데, 이는 서셉터(130)의 상면에 로딩되는 기판(G)의 처짐 등으로 연계될 수 있다. 이에 본 실시예에서는, 도 3에 도시된 바와 같이, 컬럼(132)의 상부 영역에는 서셉터 지지부(133)가 마련되어 서셉터(130)를 안정적으로 떠받치고 있다. 그러나 본 발명의 권리범위는 이에 제한되지 않으며 서셉터(130)에 처짐이 없는 경우라면 서셉터 지지부(133)는 생략될 수 있다.

서셉터(130)는 하부챔버(120) 내의 증착공간(S)에서 상하로 승강한다. 즉, 기판(G)이 로딩될 때는 하부챔버(120) 내의 바닥면 영역에 배치되어 있다가 기판(G)이 서셉터(130)의 상면에 밀착되고 증착 공정이 진행될 때에는 기판(G)이 가스분배판(145)에 인접할 수 있도록 부상한다. 이를 위해, 서셉터(130)에 결합된 컬럼(132)에는 서셉터(130)를 승강시키는 승강 모듈(150)이 더 마련되어 있다.

승강 모듈(150)에 의해 서셉터(130)가 승강하는 과정에서 컬럼(132)과 하부챔버(120) 사이에 공간이 발생되면 않아야 한다. 따라서 컬럼(132)이 통과하는 하부챔버(120)의 해당 영역에는, 컬럼(132)의 외부를 감싸도록 벨로우즈관(151)이 마련되어 있다. 벨로우즈관(151)은 서셉터(130)가 하강할 때 팽창되고, 서셉터(130)가 부상할 때 압착된다.

하부챔버(120)의 측벽에 게이트 슬릿(121)이 마련되며, 게이트 밸브(160)에 의해 게이트 슬릿(121)이 개폐된다.

이하에서 본 실시예에 따른 게이트 밸브의 작동을 도 2 내지 도 9에 따라 설명한다.

먼저 기판 출입구(311)의 폐쇄 시 제1 및 제2 이동축 구동부(341,342)가 제1 및 제2 이동축(331,332)을 상승시킨다. 제1 및 제2 이동축(331,332)에 연결된 연결축(333)도 제1 및 제2 이동축(331,332)을 따라 상승한다.

즉, 밸브 도어(320)를 업/다운(up/down)시키는 제1 및 제2 이동축(331,332)이 연결축(333)에 의해 연결됨으로써, 제1 및 제2 이동축(331,332)의 상승은 동기화된다.

또한 연결축(333)의 상승은 중앙부 연결형 가이드부(334)에 의해 안내된다. 즉 연결축(333)에 결합된 제1 가이드 블록(335)이 제1 가이드 레일(336)을 따라 상승됨으로써, 연결축(333)은 수평상태를 이루며 상승될 수 있다.

결국, 제1 및 제2 이동축 구동부(341,342)를 소프트웨어적으로 동기화시키지 않더라도, 제1 및 제2 이동축(331,332)에 연결된 연결축(333)은 수평상태를 유지한다. 이렇게 수평상태를 유지하는 연결축(333)에 의해 제1 및 제2 이동축(331,332)은 동일한 높이로 상승하고, 그에 따라 제1 및 제2 이동축(331,332)에 결합된 밸브 도어(320)도 수평상태를 유지하며 상승한다.

밸브 도어(320)가 기판 출입구(311)의 위치로 상승된 후 도어 블레이드부(322)가 밸브 챔버(310) 내벽을 향하여 전진하고, 도어 블레이드부(322)가 밸브 챔버(310) 내벽에 밀착됨으로써 기판 출입구(311)가 폐쇄된다.

기판 출입구(311)의 개방은, 상술한 기판 출입구(311)의 폐쇄와 반대로 진행되므로 자세한 설명은 생략한다.

이와 같이 본 실시예에 따른 게이트 밸브는, 수평 유지유닛(330)이 밸브 도어(320)에 연결되어 밸브 도어(320)의 업/다운(up/down) 시 밸브 도어(320)의 수평을 유지함으로써, 밸브 도어(320)의 업/다운(up/down)과정에서 밸브 도어(320)의 손상을 방지하고 밸브 챔버(310)에서의 리크(leak) 발생을 억제할 수 있다.

도 10은 본 발명의 제2 실시예에 따른 게이트 밸브가 도시된 사시도이다.

본 실시예는 제1 실시예와 비교할 때에 중앙부 연결형 가이드부(334a)의 구성에 있어서 차이가 있을 뿐, 다른 구성에 있어서는 도 2 내지 도 9의 제1 실시예의 구성과 동일하므로, 이하에서는 본 실시예의 중앙부 연결형 가이드부(334a)의 구성을 위주로 설명하기로 한다.

본 실시예에 따른 중앙부 연결형 가이드부(334a)는, 연결축(333)의 중앙부에 결합되는 볼 부쉬(338)와, 볼 부쉬(338)가 업/다운(up/down) 가능하게 결합되는 되는 가이드 샤프트(339)를 포함한다.

볼 부쉬(338)는 연결축(333)의 중앙부에 결합된다. 이러한 볼 부쉬(338)에는 가이드 샤프트(339)가 관통되는 관통구가 형성되며, 관통구의 내벽에는 복수의 볼(ball) 회전체(미도시)가 회전가능하게 결합된다.

가이드 샤프트(339)는, 볼 부쉬(338)가 업/다운(up/down) 가능하게 결합되는 된다. 이러한 가이드 샤프트(339)는 밸브 챔버(310)에 결합되어 지지된다.

이와 같이 본 실시예에 따른 게이트 밸브는, 연결축(333)에 결합된 볼 부쉬(338)가 가이드 샤프트(339)를 따라 업/다운(up/down)됨으로써, 연결축(333)은 수평상태를 유지하며 업/다운(up/down)될 수 있다.

도 11은 본 발명의 제3 실시예에 따른 게이트 밸브가 도시된 사시도이고, 도 12는 도 11의 정면도이며, 도 13은 도 11의 기판 출입구가 폐쇄된 상태가 도시된 도면이다.

본 실시예는 제1 실시예와 비교할 때에 가이드부(334b)과 도어 업/다운(up/down) 구동유닛(340b)에 있어서 차이가 있을 뿐, 다른 구성에 있어서는 도 2 내지 도 9의 제1 실시예의 구성과 동일하므로, 이하에서는 본 실시예의 가이드부(334b)와, 도어 업/다운(up/down) 구동유닛(340b)의 구성을 위주로 설명하기로 한다.

본 실시예에 따른 가이드부(334b)는, 연결축(333)의 말단부에 각각 연결되는 한 쌍의 말단부 연결형 가이드부(334b)로 이루어진다.

이러한 말단부 연결형 가이드부(334b)는, 연결축(333)의 말단부에 연결되는 제2 가이드 블록(335b)과, 제2 가이드 블록(335b)이 업/다운(up/down) 가능하게 결합되는 되는 제2 가이드 레일(336b)을 포함한다.

제2 가이드 블록(335b)은, 연결축(333)의 말단부에 연결되며, 제2 가이드 레일(336b)에 업/다운(up/down) 가능하게 결합된다.

또한, 말단부 연결형 가이드부(334b)는, 밸브 챔버(310)에 결합되며, 제2 가이드 레일(336b)을 지지하는 제2 가이드 레일 지지대(337b)를 더 포함한다.

또한 연결축(333)의 말단부에 연결된 제2 가이드 블록(335b)이 제2 가이드 레일(336b)을 따라 업/다운(up/down)됨으로써, 연결축(333)은 수평상태를 유지하며 업/다운(up/down)될 수 있다.

한편 본 실시예에 따른 도어 업/다운(up/down) 구동유닛(340b)은, 연결축(333)에 결합되며, 연결축(333)를 업/다운(up/down)시키는 연결축 업/다운(up/down) 구동부(343)를 포함한다. 이러한 연결축 업/다운(up/down) 구동부(343)는, 연결축(333)의 중앙부에 결합된다.

본 실시예에서 연결축 업/다운(up/down) 구동부(343)는, 가압 로드(344)가 연결축(333)에 결합되는 가압 실린더(343)가 사용될 수 있다.

또한 본 실시예에 따른 도어 업/다운(up/down) 구동유닛(340b)은, 밸브 챔버(310)에 결합되며, 연결축 업/다운(up/down) 구동부(343)을 지지하는 구동부지지대(345)를 더 포함한다.

한편, 밸브 챔버(310)는, 제1 및 제2 이동축(331,332)에 연결되며, 밸브 챔버(310)의 기밀을 유지하는 기밀 유지부(312)를 더 포함한다.

이러한 기밀 유지부(312)는, 제1 및 제2 이동축(331,332)각각에 연결되는 오링(O-ring,미도시)을 포함한다. 이러한 오링(미도시)은 제1 및 제2 이동축(331,332)의 외주면에 밀착됨으로써, 제1 및 제2 이동축(331,332)의 업/다운(up/down)되더라도 밸브 챔버(310)의 기밀을 유지시킨다.

이와 같이 본 실시예에 따른 게이트 밸브는, 제1 및 제2 이동축(331,332)에 연결된 연결축(333)을 연결축 업/다운(up/down) 구동부(343)를 통해 업/다운(up/down)시킴으로써 제1 및 제2 이동축(331,332)의 업/다운(up/down)을 동기화할 수 있으며, 연결축(333)의 말단부에 연결되어 제2 가이드 레일(336b)을 따라 업/다운(up/down)되는 제2 가이드 블록(335b)을 통해 연결축(333)의 수평상태를 유지할 수 있다.

결국, 본 실시예에 따른 게이트 밸브는, 수평상태를 유지하는 연결축(333)에 의해 제1 및 제2 이동축(331,332)의 업/다운(up/down) 높이를 동일하게 동기화할 수 있고, 그에 따라 제1 및 제2 이동축(331,332)에 결합된 밸브 도어(320)의 수평상태를 유지하며 밸브 도어(320)를 업/다운(up/down)시킬 수 있다.

도 14는 본 발명의 제4 실시예에 따른 게이트 밸브가 도시된 도면이다.

본 실시예는 제3 실시예와 비교할 때에 기밀 유지부(312c)의 구성에 있어서 차이가 있을 뿐, 다른 구성에 있어서는 도 11 내지 도 13의 제3 실시예의 구성과 동일하므로, 이하에서는 본 실시예의 기밀 유지부(312c)의 구성을 위주로 설명하기로 한다.

본 실시예에 따른 기밀 유지부(312c)는, 제1 및 제2 이동축(331,332) 각각에 결합되는 벨로우즈(bellows, 314)를 포함한다.

이와 같이 본 실시예에 따른 게이트 밸브는, 제1 및 제2 이동축(331,332)각각에 결합되는 벨로우즈(314)를 포함함으로써, 제1 및 제2 이동축(331,332)의 업/다운(up/down)되더라도 밸브 챔버(310)의 기밀을 유지시킨다.

도 15는 본 발명의 제5 실시예에 따른 게이트 밸브가 도시된 사시도이고, 도 16은 도 15의 정면도이며, 도 17은 도 15의 'A' 부분의 확대도이고, 도 18 도 15의 기판 출입구가 폐쇄된 상태가 도시된 도면이다.

본 실시예는 제3 실시예와 비교할 때에 수평 유지 유닛(330d)의 구성에 있어서 차이가 있을 뿐, 다른 구성에 있어서는 도 11 내지 도 13의 제3 실시예의 구성과 동일하므로, 이하에서는 본 실시예의 수평 유지 유닛(330d)의 구성을 위주로 설명하기로 한다.

본 실시예에 따른 수평 유지 유닛(330d)은, 한 쌍의 말단부 연결형 가이드부(334b) 중 적어도 어느 하나에 연결되며, 연결축(333)의 열팽창 시 연결축(333)의 수평방향에 대한 신장을 가이드하는 열팽창 가이드부(350)를 더 포함한다.

이러한 열팽창 가이드부(350)는, 연결축(333)에 결합되는 제3 가이드 블록(351)과, 제2 가이드 블록(335b)과 결합되며, 제3 가이드 블록(351)이 이동 가능하게 결합되는 제3 가이드 레일(352)을 구비하는 연결축 신장 가이드부재(353)를 포함한다.

이러한 연결축 신장 가이드부재(353)는, 제2 가이드 블록(335b)이 결합되는 세로 몸체(354)와, 세로 몸체(354)에서 연장되며, 제3 가이드 레일(352)이 결합되는 가로 몸체(355)를 포함한다.

이러한, 세로 몸체(354)는 연결축(333)의 열팽창 시 연결축(333)의 말단부에 접촉되지 않도록 연결축(333)의 말단부에서 이격되어 배치된다.

이와 같이 본 실시예에 따른 게이트 밸브는, 연결축(333)의 수평방향에 대한 신장을 가이드하는 열팽창 가이드부(350)를 포함함으로써, 연결축(333)이 고온(공정 챔버(100)에서 전달되는 열에 의해)에 의해 열팽창되더라도, 연결축(333)의 수평상태를 유지시킬 수 있다.

이상 도면을 참조하여 본 실시예에 대해 상세히 설명하였지만 본 실시예의 권리범위가 전술한 도면 및 설명에 국한되지는 않는다.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.

100: 공정 챔버 210: 트랜스퍼 챔버
121, 221: 게이트 슬릿 310: 밸브 챔버
311: 기판 출입구 312,312c: 기밀 유지부
313: 오링 314: 벨로우즈
320: 밸브 도어 321: 도어 몸체부
322: 도어 블레이드부 323: 블레이드 구동부
330, 330d: 수평 유지유닛 331: 제1 이동축
332: 제2 이동축 333: 연결축
334, 334a: 중앙부 연결형 가이드부
334b: 말단부 연결형 가이드부
335: 제1 가이드 블록 335b: 제2 가이드 블록
336: 제1 가이드 레일 336b: 제2 가이드 레일
337: 제1 가이드 레일 지지대 337b: 제2 가이드 레일 지지대
338: 볼 부쉬 339: 가이드 샤프트
340,340b: 도어 업/다운(up/down) 구동유닛
341: 제1 이동축 구동부 342: 제2 이동축 구동부
343: 연결축 업/다운(up/down) 구동부
344: 가압 로드 345: 구동부지지대
350: 열팽창 가이드부 351: 제3 가이드 블록
352: 제3 가이드 레일 353: 연결축 신장 가이드부재
354: 세로 몸체 355: 가로 몸체
G: 기판

Claims

진공 챔버에 형성되는 게이트 슬릿에 인접하게 배치되며, 기판이 출입할 수 있는 기판 출입구가 형성되는 밸브 챔버;
상기 밸브 챔버 내부에 업/다운(up/down) 가능하게 마련되며, 기판 출입구를 개폐하는 밸브 도어;
상기 밸브 도어에 연결되며, 상기 밸브 도어의 업/다운(up/down) 시 상기 밸브 도어의 수평을 유지시키는 수평 유지유닛; 및
상기 수평 유지유닛에 연결되며, 상기 밸브 도어를 업/다운(up/down)시키는 도어 업/다운(up/down) 구동유닛을 포함하는 게이트 밸브.
제1항에 있어서,
상기 수평 유지유닛은,
상호 이격되어 배치되며, 상기 밸브 도어에 각각 결합되는 제1 및 제2 이동축;
상기 제1 및 제2 이동축에 결합되어 제1 및 제2 이동축을 연결하는 연결축; 및
상기 연결축에 연결되어 상기 연결축의 업/다운(up/down)을 가이드하는 가이드부를 포함하는 게이트 밸브.
제2항에 있어서,
상기 가이드부는,
상기 연결축의 중앙부에 연결되는 중앙부 연결형 가이드부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
제3항에 있어서,
상기 중앙부 연결형 가이드부는,
상기 연결축의 중앙부에 결합되는 제1 가이드 블록; 및
상기 제1 가이드 블록이 업/다운(up/down) 가능하게 결합되는 되는 제1 가이드 레일을 포함하는 게이트 밸브.
제4항에 있어서,
상기 중앙부 연결형 가이드부는,
상기 밸브 챔버에 결합되며, 상기 제1 가이드 레일을 지지하는 제1 가이드 레일 지지대를 더 포함하는 게이트 밸브.
제4항에 있어서,
상기 중앙부 연결형 가이드부는,
상기 연결축의 중앙부에 결합되는 볼 부쉬; 및
상기 볼 부쉬가 업/다운(up/down) 가능하게 결합되는 되는 가이드 샤프트를 포함하는 게이트 밸브.
제6항에 있어서,
상기 가이드 샤프트는,
상기 밸브 챔버에 결합되는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
제3항에 있어서,
상기 도어 업/다운(up/down) 구동유닛은,
상호 이격되어 배치되며, 상기 제1 및 제2 이동축에 각각 연결되어 상기 제1 및 제2 이동축을 업/다운(up/down)시키는 제1 및 제2 이동축 구동부를 포함하는 게이트 밸브.
제2항에 있어서,
상기 가이드부는,
상기 연결축의 말단부에 각각 연결되는 한 쌍의 말단부 연결형 가이드부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
제9항에 있어서,
상기 말단부 연결형 가이드부는,
상기 연결축의 말단부에 연결되는 제2 가이드 블록; 및
상기 제2 가이드 블록이 업/다운(up/down) 가능하게 결합되는 되는 제2 가이드 레일을 포함하는 게이트 밸브.
제10항에 있어서,
상기 말단부 연결형 가이드부는,
상기 밸브 챔버에 결합되며, 상기 제2 가이드 레일을 지지하는 제2 가이드 레일 지지대를 더 포함하는 게이트 밸브.
제10항에 있어서,
상기 수평 유지 유닛은,
상기 한 쌍의 말단부 연결형 가이드부 중 적어도 어느 하나에 연결되며, 상기 연결축의 열팽창 시 상기 연결축의 수평방향에 대한 신장을 가이드하는 열팽창 가이드부를 더 포함하는 게이트 밸브.
제12항에 있어서,
상기 열팽창 가이드부는,
상기 연결축에 결합되는 제3 가이드 블록; 및
상기 제2 가이드 블록과 결합되며, 상기 제3 가이드 블록이 이동 가능하게 결합되는 제3 가이드 레일을 구비하는 연결축 신장 가이드부재를 포함하는 게이트 밸브.
제13항에 있어서,
상기 연결축 신장 가이드부재는,
상기 제2 가이드 블록이 결합되는 세로 몸체; 및
상기 세로 몸체에서 연장되며, 상기 제3 가이드 레일이 결합되는 가로 몸체를 포함하는 게이트 밸브.
제9항에 있어서,
상기 도어 업/다운(up/down) 구동유닛은,
상기 연결축에 결합되며, 상기 연결축를 업/다운(up/down)시키는 연결축 업/다운(up/down) 구동부를 포함하는 게이트 밸브.
제2항에 있어서,
상기 밸브 챔버는,
상기 제1 및 제2 이동축에 연결되며, 상기 밸브 챔버의 기밀을 유지하는 기밀 유지부를 더 포함하는 게이트 밸브.
제16항에 있어서,
상기 기밀 유지부는,
상기 제1 및 제2 이동축 각각에 연결되는 오링(O-ring)을 포함하는 게이트 밸브.
제16항에 있어서,
상기 기밀 유지부는,
상기 제1 및 제2 이동축 각각에 결합되는 벨로우즈(bellows)를 포함하는 게이트 밸브.
제1항에 있어서,
상기 밸브 도어는,
상기 수평 유지유닛이 연결되는 도어 몸체부;
상기 도어 몸체부에 연결되며, 상기 밸브 챔버의 내벽에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 이동되어 상기 기판 출입구를 개폐하는 도어 블레이드부; 및
상기 도어 몸체부에 마련되며, 상기 도어 블레이드부를 구동하는 블레이드 구동부를 포함하는 게이트 밸브.