KR20120098400A

KR20120098400A - 워크 점착척 장치 및 워크 접착기

Info

Publication number: KR20120098400A
Application number: KR1020110145793A
Authority: KR
Inventors: 요시카즈 오타니
Original assignee: 신에츠 엔지니어링 가부시키가이샤
Priority date: 2011-02-28
Filing date: 2011-12-29
Publication date: 2012-09-05
Also published as: JP4785995B1; CN102649336A; TWI493640B; CN102649336B; KR101867098B1; JP2012182254A; TW201308464A

Abstract

점착 부재와 박리 부재의 유닛화를 구성하기 쉽게 하면서 박리 성능을 향상시킨다.
지지 부재(3)의 측면(3b)과 환형 부재(4)의 계지 오목부(4a) 사이에, 박리 부재(2)의 장착 볼록부(2c)를 변형부(2a)의 변형 방향으로 이동 불가능하게 끼워 넣고, 환형 부재(4)의 장착면(4b)에, 변형부(2a)의 외부 가장자리와 인접시켜 점착 부재(1)를 장착함으로써, 환형 부재(4)를 사이에 두고 박리 부재(2) 및 지지 부재(3)와 점착 부재(1)가 일체적으로 조립된다. 또 변형부(2a)와 점착면(1a)이 서로 인접하여 한정없이 접근하여 배치되기 때문에, 점착면(1a)에 점착 지지된 판형 워크(W)를 변형부(2a)의 변형으로 박리할 때에, 큰 박리력이 얻어져, 박리시에 있어서 판형 워크(W)에 발생하는 휨이 최소한으로 억제된다.

Description

워크 점착척 장치 및 워크 접착기{WORK ADHESIVE CHUCK DEVICE AND WORK ADHESION MACHINE}

본 발명은, 예를 들면 액정 디스플레이(LCD)나 유기 EL디스플레이(OLED)나 플라즈마 디스플레이(PDP)나 플렉시블 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이의 제조 과정에 있어서, CF유리나 TFT유리 등의 유리제 기판이나 또는 PES(Poly-Ether-Sulphone) 등의 플라스틱 필름 등으로 이루어지는 합성 수지제 기판 등의 판형 워크를 점착 지지하여 접착하는 기판 접착기를 포함하는 기판 조립 장치나, 이러한 기판 등의 절연체, 도전체 또는 반도체 웨이퍼 등의 워크(피처리체)를 반송하는 기판 반송 장치 등에 이용되는 워크 점착척 장치와, 이 워크 점착척 장치를 구비한 워크 접착기에 관한 것이다.

종래, 이런한 종류의 워크 점착척 장치 및 워크 접착기로서는, 제1 기판이 안착하는 제1 정반이 구비된 제1 챔버와, 상기 제1 챔버로부터 이격되고, 상기 제1 기판과 합착되는 제2 기판이 안착하는 제2 정반이 구비된 제2 챔버와, 상기 제1 정반에 안착하는 제1 기판을, 점착력을 이용하여 고정시키는 점착 고무와, 상기 제1 기판이 상기 점착 고무로부터 이탈되도록 상기 점착력과 반대되는 방향의 힘을 유도하는 점착 해제 장치를 포함하는 기판 합착 장치가 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).

상기 제1 정반의 부착면에 복수 개의 통공(通孔)을 구비하고, 상기 통공에 상기 점착 고무가 노출되도록 설치된다. 상기 점착 해제 장치는, 상기 제1 정반에 구비된 오목부에 설치되고, 상기 제1 기판의 부착면 방향으로 가열 팽창하여 상기 제1 기판을 이탈시키는 가열 팽창부로 구성된다. 상기 가열 팽창부는, 상기 점착 고무에 부착된 상기 제1 기판의 부착면측으로 팽창되는 팽창 부재와, 상기 팽창 부재가 설치되어 밀폐 공간을 형성하는 하우징과, 상기 팽창 부재가 팽창하도록 상기 하우징 내부의 에어를 가열하기 위한 가열부를 포함한다. 상기 하우징에는, 상기 팽창 부재의 수축시에 지지하여 복귀시의 변형을 방지하기 위한 지지 부재가 구비된다.

또, 상기 제1 정반의 상기 오목부에 상기 하우징이 끼워 넣어지고, 상기 하우징의 중심부에 돌출되어 형성된 상기 지지 부재의 표면을 따라, 상기 팽창 부재가 되는 다이어프램(다이아프램)을 설치하고, 상기 다이어프램의 외주부와 상기 하우징의 외주부를 볼트로 상기 제1 정반에 대해 함께 체결하여 장착하고 있다. 상기 점착 고무는, 상기 볼트의 외측에 상기 다이어프램을 중심으로 하여 방사 형상으로 복수개 설치되어 있다.

특허문헌 1: 일본 특허 공개 공보 2010-126342호(도 1-5, 6-8)

최근에는 액정 디스플레이나 유기 EL디스플레이 등에 이용되는 기판 사이즈가 대형화되는 경향으로, 한 변이 2000mm를 넘는 것까지 제조되기 시작하고 있다. 그 경우, 점착부 및 박리부를 포함하는 유닛을 수 백 개 이상 배치할 필요가 있다. 따라서, 생산성을 향상시키기 위해서는, 다품종의 판형 워크에 대응하기 위한 그들의 배치 변환, 고장 또는 성능 열화에 따르는 교환 작업 등을 용이하게 행하는 것이 불가결하고, 각각의 점착부 및 박리부의 동작을 확실화하고 또한 균일화할 필요가 있다.

그러나, 이러한 종래의 워크 점착척 장치 및 워크 접착기에서는, 정반에 복수의 가열 팽창부가 정해진 간격마다 분산 배치되고, 각 가열 팽창부의 주위에 다수의 점착 고무가 분산 배치되어 있지만, 이들 가열 팽창부와 점착 고무를 정반에 대해 각각 개별적으로 장착하고 있기 때문에, 설치 작업과 부품 교환 작업이 번거롭다는 문제가 있었다.

또, 기판을 점착 지지하는 점착 고무와, 점착 고무로부터 기판을 이탈시키기 위해 정반으로부터 이탈하는 방향으로 가압하는 다이어프램이, 장착용 볼트를 사이에 두고 떨어져서 배치되기 때문에, 다이어프램의 팽창 변형으로 기판을 박리 방향으로 가압하면, 기판에 있어서 다이어프램에 의한 가압 부위와 점착 고무에 의한 점착 부위 사이에 휨 변형이 발생하여, 이 점착 부위를 점착 고무로부터 박리 방향으로 가압하지 못해, 확실히 박리할 수 없는 경우가 있다.

특히, 기판의 두께 치수가 얇아지면, 다이어프램에 의한 가압으로 기판의 휨 변형량이 커져, 기판의 점착 부분을 점착 고무로부터 박리하는 것이 곤란했다.

또, 점착 고무로 점착 지지된 제1 기판과, 별도로 지지된 제2 기판을 서로 접근시킨 후에, 다이어프램의 팽창 변형으로 점착 고무로부터 제1 기판을 박리하여 중첩하는 워크 접착기에서는, 다이어프램에 의해 박리시에 발생한 제1 기판의 휨 변형이 접착 후에도 남아 버려, 제1 기판과 제2 기판끼리의 접착 정밀도가 부분적으로 나빠진다는 문제도 있었다.

또, 다이어프램이 지지 부재의 표면을 따라 설치되고, 점착 고무에 의한 기판의 점착 지지시에는 다이어프램이 기판을 향해 돌출되지 않도록 다이어프램의 이면을 지지 부재의 표면에 밀접시킬 필요가 있기 때문에, 다이어프램과 지지 부재의 재질에 따라서는, 그들 대향면끼리가 부분적 또는 전체적으로 접착될 우려가 있다. 이러한 경우에는, 기판의 박리시에, 지지 부재의 표면으로부터 다이어프램의 이면의 일부만이 부분적으로 이격되어, 다이어프램이 변형된 방향으로 눌러 벗기거나, 불균일한 박리 상태가 되는 경우가 있었다.

특히, 진공 상태에서 기판을 점착 지지할 때는, 다이어프램을 지지 부재측으로부터 진공 흡인하여 양자를 강하게 밀접시킬 필요가 있기 때문에, 다이어프램의 이면에 지지 부재의 표면이 더욱 접착되기 쉬워져, 내압의 상승만으로 전면적으로 떼어 내는 것이 곤란했다.

본 발명은, 이러한 문제에 대처하는 것을 과제로 하는 것으로, 점착 부재와 박리 부재의 유닛화를 구성하기 쉽게 하면서 박리 성능을 향상시키는 것이 가능한 워크 점착척 장치를 제공하는 것, 점착 지지된 제1 판형 워크를 제2 판형 워크와 평행하게 박리하여 접착하는 것이 가능하고 생산성이 높은 워크 접착기를 제공하는 것 등을 목적으로 하는 것이다.

이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명에 의한 워크 점착척 장치는, 판형 워크와 대향하도록 설치되어 그 판형 워크를 착탈 가능하게 점착 지지하는 점착 부재와, 상기 판형 워크와 교차하는 방향으로 변형되어 상기 점착 부재의 점착면으로부터 상기 판형 워크를 강제적으로 박리시키도록 설치되는 박리 부재와, 상기 박리 부재의 배후에 설치되어 상기 박리 부재를 따른 표면 및 측면을 가지는 지지 부재와, 상기 지지 부재의 상기 측면의 외주를 둘러싸도록 설치되는 환형 부재를 구비하고, 상기 박리 부재는, 상기 지지 부재의 상기 표면을 따라 변형 가능하게 형성되는 변형부와, 그 변형부의 외주로부터 상기 지지 부재의 상기 측면을 따라 상기 환형 부재를 향해 돌출되도록 형성되는 장착 볼록부와, 상기 지지 부재의 상기 측면에 형성한 걸어맞춤 볼록부가 끼워맞춰지는 걸어맞춤홈을 가지며, 상기 환형 부재는, 상기 지지 부재의 상기 측면 및 상기 걸어맞춤 볼록부 사이에 상기 박리 부재의 상기 장착 볼록부를 상기 변형부의 변형 방향으로 이동 불가능하게 끼워 넣는 계지(係止) 오목부와, 상기 변형부의 외부 가장자리와 인접하여 상기 점착 부재가 장착되는 장착면을 가지는 것을 특징으로 한다.

또 본 발명에 의한 워크 접착기는, 상기 워크 점착척 장치를, 대향하는 1쌍의 지지판 중 어느 일방이나 또는 양방에 설치하고, 상기 워크 점착척 장치로 상기 판형 워크를 점착 지지하고 박리하여, 다른 하나의 판형 워크에 중첩하는 것을 특징으로 한다.

상기 서술한 특징을 가지는 본 발명에 의한 워크 점착척 장치는, 지지 부재의 측면과 환형 부재의 계지 오목부 사이에, 박리 부재의 장착 볼록부를 변형부의 변형 방향으로 이동 불가능하게 끼워 넣고, 환형 부재의 장착면에, 변형부의 외부 가장자리와 인접시켜 점착 부재를 장착하는 것에 의해, 환형 부재를 사이에 두고 박리 부재 및 지지 부재와 점착 부재가 일체적으로 조립되고, 또 변형부와 점착면이 서로 인접하여 한정없이 접근하여 배치되기 때문에, 떨어져 배치되는 것보다, 점착면에 점착 지지된 판형 워크를 변형부의 변형으로 박리할 때에, 큰 박리력이 얻어져, 그것에 의해 박리시에 있어서 판형 워크에 발생하는 휨이 최소한으로 억제되므로, 점착 부재와 박리 부재의 유닛화를 구성하기 쉽게 하면서 박리 성능을 향상시킬 수 있다.

그 결과, 복수의 가열 팽창부와 다수의 점착 고무를 각각 개별적으로 장착하고 있는 종래의 것에 비해, 정반 등에 대한 설치 작업과 부품 교환 작업을 용이하게 행할 수 있어, 코스트의 저감화가 도모된다.

또, 판형 워크의 기판 사이즈의 대형화에 따라 다수의 워크 점착척 장치를 배치하는 경우에도, 각각의 점착 동작과 박리 동작을 균일화할 수 있어, 한 변이 2000mm 이상으로 대형화되어 확실히 점착 지지와 박리를 행할 수 있다.

또, 점착 고무와 다이어프램이 장착용 볼트를 사이에 두고 떨어져 배치되는 종래의 것에 비해, 판형 워크가 얇아져도, 점착면으로부터 확실히 박리할 수 있다.

또, 상기 서술한 특징을 가지는 본 발명에 의한 워크 접착기는, 일방의 지지판에 설치한 워크 점착척 장치의 점착 부재로 점착 지지되는 제1 판형 워크와, 타방의 지지판에 지지되는 제2 판형 워크를 서로 접근시켜, 워크 점착척 장치의 박리 부재로 점착 부재로부터 제1 판형 워크를 박리하는 경우에, 박리 부재와 점착 부재가 서로 인접하여 한정없이 접근하여 배치되기 때문에, 떨어져 배치되는 것보다, 점착면에 점착 지지된 판형 워크를 변형부의 변형으로 박리할 때에, 큰 박리력이 얻어져, 그것에 의해 박리시에 있어서 판형 워크에 발생하는 휨이 최소한으로 억제되므로, 점착 지지된 제1 판형 워크를 제2 판형 워크와 평행하게 박리하여 접착시킬 수 있다.

그 결과, 다이어프램에 의해 박리시에 발생한 제1 기판의 휨 변형이 접착 후에도 남는 종래의 것에 비해, 판형 워크의 박리시에 있어서의 부분적인 정밀도 불량에 대한 영향을 줄일 수 있어, 판형 워크끼리의 접착 정밀도가 향상되고, 생산성을 높일 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시형태에 관한 워크 점착척 장치를 나타내는 설명도이며, (a)는 종단 정면도, (b)는 저면도이다.
도 2는 본 발명의 실시형태에 관한 워크 접착기를 나타내는 축소 종단 정면도이다.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 근거해 상세하게 설명한다.

본 발명의 실시형태에 관한 워크 점착척 장치(A)는, 도 1의 (a)(b)에 나타낸 바와 같이, 판형 워크(W)와 대향하도록 설치되어 판형 워크(W)를 착탈 가능하게 점착 지지하는 점착 부재(1)와, 판형 워크(W)와 교차(직교)하는 방향으로 변형되어 점착 부재(1)의 점착면(1a)으로부터 판형 워크(W)를 강제적으로 박리시키도록 설치되는 박리 부재(2)와, 박리 부재(2)의 배후에 설치되는 지지 부재(3)와, 박리 부재(2)의 외주를 둘러싸도록 설치되는 환형 부재(4)를, 주요한 구성 요소로서 구비하고 있다.

점착 부재(1)는, 판형 워크(W)와 대향하는 표면에 점착면(1a)을 가지는 점착 시트이며, 적어도 점착면(1a) 또는 전체가, 예를 들면 불소 고무나 엘라스토머, 부틸 고무, 감광성 수지, 아크릴계나 실리콘계 등의 점착 재료로, 점착면(1a)이 탄성이 있는 면 형상으로 형성되어 있다.

또, 점착면(1a)에는, 예를 들면 엠보스 처리나 오목 홈 등을 형성하여 전체적으로 탄성 변형되기 쉽게 하는 것에 의해, 판형 워크(W)에 대해서 용이하게 접착되도록 구성하는 것이 바람직하다.

박리 부재(2)는, 예를 들면 고무나 엘라스토머, 연질 합성 수지 등의 탄성 변형 가능한 재료로, 점착 부재(1)의 점착면(1a)에서 점착 지지되는 판형 워크(W)에 대해서 접근 또는 이격되는 방향으로 변형 가능하게 형성되는 다이어프램이나 탄성막 등을 포함하며, 예를 들면 압축 성형(컴프레션 성형)이나 사출 성형(인젝션 성형) 등에 의해, 후술하는 지지 부재(3)의 표면(3a) 및 측면(3b)에 따른 단면, 대략 U자형으로 형성되어 있다.

더욱 자세하게 설명하면, 박리 부재(2)는, 후술하는 지지 부재(3)의 표면(3a)을 따라 형성되는 변형부(2a)와, 변형부(2a)와 연속하여 두께 방향으로 연장되도록 형성되는 다리부(2b)와, 다리부(2b)로부터 외측을 향해 돌출되도록 형성되는 플랜지 형상의 장착 볼록부(2c)를 가진다.

박리 부재(2)에 의한 점착면(1a)으로부터의 판형 워크(W)의 박리 동작에 대해 그 구체예를 들면, 박리 부재(2)의 변형부(2a)는, 도 1의 (a)의 실선으로 나타낸 바와 같이, 지지 부재(3)의 표면(3a)과 접하도록 평면 형상 또는 오목 형상으로 수축 변형시키는 것에 의해, 점착면(1a)에서 점착 지지된 판형 워크(W)에 박리력을 작용시키지 않고 대기하고 있다. 박리시에는, 도 1의 (a)의 2점 쇄선으로 나타낸 바와 같이, 변형부(2a)의 1차측과 2차측의 압력차로 변형부(2a)를 지지 부재(3)의 표면(3a)으로부터 떨어진 방향으로 팽창 변형시키는 것에 의해, 그 선단이 판형 워크(W)에 접촉하여 가압하여 점착면(1a)으로부터 판형 워크(W)를 강제적으로 박리한다.

다리부(2b)는, 변형부(2a)의 외주단으로부터 박리 부재(2)에 있어서 변형부(2a)와 반대측(이측)을 향하고, 후술하는 지지 부재(3)의 측면(3b)을 따라 원통형 또는 각통(角筒)형으로 일체 형성된다.

장착 볼록부(2c)는, 다리부(2b)의 이측 외면에 후술하는 환형 부재(4)의 내면을 향해 환형으로 돌출되어 설치되어 있다. 장착 볼록부(2c)와 반대측에서 후술하는 지지 부재(3)의 측면(3b)과 대향하는 내면에는, 환형의 걸어맞춤홈(2d)을 형성하는 것이 바람직하다.

지지 부재(3)는, 예를 들면 경질 합성 수지, 금속, 세라믹 등의 박리 부재(2)의 변형부(2a)와 접착되기 어려운 재료로, 후술하는 환형 부재(4)의 내주와 끼워맞추는 예를 들면 원형 또는 직사각형 등의 판형으로 형성되고, 그 중앙에는, 박리 부재(2)의 변형부(2a)를 탄성 변형시키는 유체가 통과하는 통로(3c)를 형성하고 있다.

또, 서로 대향하는 박리 부재(2)의 변형부(2a)의 이면 또는 지지 부재(3)의 표면(3a) 중 어느 일방이나, 혹은 변형부(2a)의 이면 및 지지 부재(3)의 표면(3a)의 양방에는, 통로(3c)를 중심으로 하여 방사 방향으로 연통하는 확산로(5)를 형성하는 것이 바람직하다.

또, 지지 부재(3)의 측면(3b)에는, 박리 부재(2)의 걸어맞춤홈(2d)과 끼워맞추는 환형의 걸어맞춤 볼록부(3d)를 형성하는 것이 바람직하다.

환형 부재(4)는 예를 들면 금속, 경질 합성 수지, 세라믹 등에 의해 지지 부재(3)의 두께와 대략 동일한 두께의 판형으로 형성되고, 그 중앙에는, 지지 부재(3)보다 큰 관통 구멍이 뚫리고, 관통 구멍의 내면(4i)에는, 박리 부재(2)의 장착 볼록부(2c)를 사이에 두고 지지 부재(3)가 끼워 넣어진다.

또, 환형 부재(4)는, 지지 부재(3)의 측면(3b)과의 사이에 박리 부재(2)의 장착 볼록부(2c)를 끼워 넣도록 형성되는 계지 오목부(4a)와, 변형부(2a)의 외부 가장자리와 인접하여 점착 부재(1)가 장착되는 장착면(4b)을 가지고 있다.

계지 오목부(4a)는, 환형 부재(4)의 내면(4i)에서 이측에 박리 부재(2)의 장착 볼록부(2c)와 대향하여 오목하게 형성되고, 계지 오목부(4a)와 장착 볼록부(2c)를 맞닿게 하는 것에 의해, 계지 오목부(4a)에 대해서 장착 볼록부(2c)가 변형부(2a)의 팽창 변형 방향으로 이동 불가능하게 지지된다.

장착면(4b)은, 환형 부재(4)의 표측에 변형부(2a)의 외부 가장자리와 인접하여 오목하게 형성되고, 점착 부재(1)의 이면을 예를 들면 접착제 등으로 고착하는 것에 의해, 점착면(1a)이 변형부(2a)의 표면보다 약간 돌출되도록 배치되어 있다.

그리고, 점착 부재(1), 박리 부재(2), 지지 부재(3) 및 환형 부재(4)는, 그들을 순차 조립함으로써 일체화된다. 그 구체예를 설명한다.

먼저, 환형 부재(4)의 내면(4i) 및 계지 오목부(4a)와, 박리 부재(2)의 다리부(2b) 및 장착 볼록부(2c)를, 접착제 등에 의해 고착하여 일체화하거나, 환형 부재(4)의 내면(4i) 및 계지 오목부(4a)를 따라, 박리 부재(2)를 압축 성형이나 사출 성형 등의 몰드 성형에 의해 일체화한다.

이 때, 환형 부재(4)의 내면(4i) 및 계지 오목부(4a)와 박리 부재(2)의 다리부(2b) 및 장착 볼록부(2c)와의 접착 강도를 높이기 위해, 환형 부재(4) 및 박리 부재(2)의 대향면에 있어서 그 어느 일방 또는 양방을 샌드 블라스트 등에 의해 거친 면으로 형성하는 것이 바람직하다.

그 후 공정에서, 환형 부재(4)와 일체화된 박리 부재(2) 내에, 지지 부재(3)를 끼워 넣어, 그 걸어맞춤 볼록부(3d)가 박리 부재(2)의 걸어맞춤홈(2d)과 끼워맞춰지는 것에 의해, 환형 부재(4) 및 박리 부재(2)에 지지 부재(3)가 일체화된다.

또, 환형 부재(4)의 장착면(4b)에는, 점착 부재(1)의 이면이 접착제 등에 의해 고착되어 일체화되어, 워크 점착척 장치(A)가 된다.

이와 같이 조립된 워크 점착척 장치(A)는, 예를 들면 정반 등을 포함하는 지지판(11)에 대해, 점착면(1a)에서 점착 지지되는 판형 워크(W)와 대향하도록 분산되어 다수 배치된다.

도 1의 (a)(b)에 나타나는 예에서는, 환형 부재(4)의 외주 부분에 뚫리는 장착 구멍(4c)에, 예를 들면 볼트 등의 장착 수단(6)을 삽입 통과시켜 지지판(11)에 고착시킴으로써, 지지판(11)에 대해 환형 부재(4)가 착탈 가능하게 장착되어 있다.

또, 그 외의 예로서 도시하지 않지만, 지지판(11)에 대한 환형 부재(4)의 장착 수단(6)으로서 볼트 대신 다른 고착 수단 등을 이용하는 것도 가능하다.

이러한 본 발명의 실시형태에 관한 워크 점착척 장치(A)에 의하면, 지지 부재(3)의 측면(3b)과 환형 부재(4)의 계지 오목부(4a) 사이에, 박리 부재(2)의 장착 볼록부(2c)가 변형부(2a)의 (팽창) 변형 방향으로 이동 불가능하게 끼워 넣어지고, 환형 부재(4)의 장착면(4b)에, 변형부(2a)의 외부 가장자리와 인접하여 점착 부재(1)가 장착된다.

그것에 의해, 환형 부재(4)를 사이에 두고 박리 부재(2) 및 지지 부재(3)와 점착 부재(1)가 일체적으로 조립된다.

그런데, 변형부(2a)와 점착면(1a)의 거리는, 접근시켜 배치하는 것이 멀리 떨어져 배치되는 것에 비해, 점착면(1a)에 점착 지지된 판형 워크(W)를, 변형부(2a)의 (팽창) 변형으로 박리할 때에, 큰 박리력이 얻어진다. 그것에 의해, 박리시에 있어서 판형 워크(W)에 발생하는 휨(변형)도, 변형부(2a)와 점착면(1a)을 접근시켜 배치한 편이, 멀리 떨어져 배치되는 것에 비해, 작게 할 수 있다.

이 점에 대해, 본 발명의 실시형태에 관한 워크 점착척 장치(A)에 의하면, 변형부(2a)와 점착면(1a)이 서로 인접하여 한정없이 접근하여 배치되기 때문에, 박리시에 있어서 판형 워크(W)에 발생하는 휨을 최소한으로 억제할 수 있다.

따라서, 본 발명의 실시형태에 관한 워크 점착척 장치(A)는, 점착 부재(1)와 박리 부재(2)의 유닛화를 구성하기 쉽게 하면서 박리 성능을 향상시킬 수 있다.

또, 환형 부재(4)의 계지 오목부(4a)와 박리 부재(2)의 장착 볼록부(2c)와의 맞닿음 부분을 접착제로 고착해도, 접착제가 탄성 변형되는 변형부(2a)까지 빠져나와 부착될 우려가 없기 때문에, 변형부(2a)의 변형에 따른 반복 응력에 의해 접착제가 부착된 개소의 단부로부터 균열이 발생하는 일이 없고, 반복 내구성, 신뢰성이 높은 다이어프램 구조를 제공할 수 있다.

특히, 변형부(2a)의 이면 또는 지지 부재(3)의 표면(3a) 중 어느 일방이나, 혹은 변형부(2a)의 이면 및 지지 부재(3)의 표면(3a)의 양방에, 지지 부재(3)의 중앙에 형성되는 통로(3c)를 중심으로 하여 방사 방향으로 연통하는 확산로(5)를 형성한 경우에는, 통로(3c)로부터 유체를 방사 형상의 확산로(5)에 공급함으로써, 지지 부재(3)의 표면(3a)에 대해, 변형부(2a)의 이면이 그 중앙 부위로부터 외주 부위를 향해 순차 (팽창) 변형되어, 지지 부재(3)의 표면으로부터 변형부(2a)의 이면 전체가 이격된다.

이에 의해, 지지 부재(3)로부터 변형부(2a)를 그들의 재질과 관계없이 전면적으로 떼어내 대칭 형상으로 (팽창) 변형시킬 수 있다.

그 결과, 다이어프램과 지지 부재의 재질에 의해 그들 대향면끼리가 부분적 또는 전체적으로 접착될 우려가 있는 종래의 것에 비해, 변형부(2a)의 (팽창) 변형에 의해 점착 부재(1)의 점착면(1a)으로부터 판형 워크(W)를 수직으로 눌러 벗길 수 있다. 그것에 의해, 박리된 판형 워크(W)의 자세를 균일화할 수 있다.

그리고, 본 발명의 실시형태에 관한 워크 접착기는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 복수의 워크 점착척 장치(A)를, 대향하는 1쌍의 지지판(11, 11′)중 어느 일방이나 또는 양방에 분산 배치하고, 워크 점착척 장치(A)로 판형 워크(W)를 점착 지지함과 함께 박리하는 것에 의해, 다른 하나의 판형 워크(W′)에 중첩시키고 있다.

그 구체예로서 일방(상방)의 지지판(11)에는, 워크 점착척 장치(A)가 설치되고, 그 점착 부재(1)로 제1 판형 워크(W)를 점착 지지하고, 타방(하방)의 지지판(11′)에는, 밀봉재(C)를 사이에 두고 제1 판형 워크(W)와 평행하게 대향하도록 제2 판형 워크(W′)가 지지되어 있다.

또한 필요에 따라서, 1쌍의 지지판(11, 11′)중 어느 일방이나 또는 양방에는, 워크 점착척 장치(A)를 둘러싸도록 흡인 흡착 수단(12)이 복수개 설치되어, 이들 흡인 흡착 수단(12)에 의해 판형 워크(W, W′)를 착탈 가능하게 흡인 흡착하는 것도 가능하다.

이러한 본 발명의 실시형태에 관한 워크 접착기에 의하면, 워크 점착척 장치(A)의 박리 부재(2)와 점착 부재(1)가 서로 인접하여 한정없이 접근하여 배치되기 때문에, 떨어져 배치되는 것보다, 점착면(1a)에 점착 지지된 판형 워크(W)를 변형부(2a)의 변형에 의해 박리할 때에, 큰 박리력이 얻어져, 그것에 의해 박리시에 있어서 판형 워크(W)에 발생하는 휨이 최소한으로 억제된다.

그것에 의해, 점착 지지된 제1 판형 워크(W)를 제2 판형 워크(W′)와 평행하게 박리하여 접착할 수 있다. 그 결과, 판형 워크(W, W′)끼리의 접착 정밀도가 향상되고, 생산성을 높일 수 있다.

다음으로, 본 발명의 일 실시예를 도면에 근거해 설명한다.

실시예

이 실시예는, 도 1의 (a)(b) 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 지지판(11)의 표면에 형성되는 오목 형상부(11a)에 대해, 워크 점착척 장치(A)의 환형 부재(4)가 끼워 넣어지고, 볼트 등의 장착 수단(6)으로 지지판(11)에 워크 점착척 장치(A)를 장착하고, 지지판(11)에 뚫리는 통기 구멍(11b)으로부터 압축 공기 등의 유체를 지지 부재(3)의 통로(3c)에 공급함으로써, 박리 부재(2)의 변형부(2a)가 팽창 변형되어, 점착면(1a)에서 점착 지지된 판형 워크(W)를 강제적으로 눌러 벗기는 것이다.

통로(3c)의 외측에는, 통로(3c)로부터 환형 부재(4)에 연결되는 유로를 차단하는 환형 밀봉부(2e)가, 지지 부재(3)의 외주를 둘러싸도록 형성되어 있다.

도시된 예에서는, 박리 부재(2)의 장착 볼록부(2c)에 환형 밀봉부(2e)가, 지지판(11)의 오목 형상부(11a)의 내저면을 향해 돌출되도록 일체 성형되고, 환형 밀봉부(2e)의 선단을 오목 형상부(11a)의 내저면에 닿게 하는 것에 의해, 지지판(11)의 통기 구멍(11b)으로부터 공급되는 유체가 오목 형상부(11a)의 내저면을 따라 환형 부재(4)를 향해 유출되는 것을 방지하고 있다.

또, 그 외의 예로서 도시하지 않지만, 지지 부재(3)의 이면에 통로(3c)를 둘러싸도록 환형의 오목 홈을 형성하고, 이 오목 홈에 환형 밀봉부(2e)로서 O링 등을 지지판(11)의 오목 형상부(11a)의 내저면을 향해 돌출되도록 설치하여, 오목 형상부(11a)의 내저면에 닿게 하는 것도 가능하다.

이러한 본 발명의 실시예에 관한 워크 점착척 장치(A) 및 워크 접착기에 의하면, 진공 또는 진공에 가까운 분위기에 있어서, 점착 부재(1)의 점착면(1a)에 점착 지지된 판형 워크(W)를 박리시키기 위해, 지지 부재(3)의 통로(3c)를 거쳐 유체가 박리 부재(2)의 변형부(2a)를 향하여 공급될 때에, 환형 밀봉부(2e)에서 통로(3c)로부터 환형 부재(4)를 향해 유체가 유출되는 것을 막기 때문에, 진공 또는 진공에 가까운 분위기 내에 유체가 흘러나오는 일 없이, 고진공 상태가 유지된다.

그에 따라, 박리 부재(2)를 변형시키는 구동 유체가 새어 나오는 것을 방지할 수 있다.

그 결과, 진공 내에서 예를 들면 액정 디스플레이 등을 제조할 때에, 액정 디바이스 내에 변형부(2a)를 변형시키기 위한 유체가 혼입되는 일이 없어, 기포 등의 문제가 일어나지 않는다는 이점이 있다.

또한, 도 2에 나타나는 예에서는, 일방(상방)의 지지판(11)에만, 워크 점착척 장치(A)와 흡인 흡착 수단(12)을 설치했지만, 이것으로 한정되지 않고, 타방(하방)의 지지판(11′)에도 워크 점착척 장치(A)나 흡인 흡착 수단(12)을 설치해도 된다.

A : 워크 점착척 장치 1 : 점착 부재
1a : 점착면 2 : 박리 부재
2a : 변형부 2c : 장착 볼록부
3 : 지지 부재 3a : 표면
3b : 측면 3c : 통로
4 : 환형 부재 4a : 계지 오목부
4b : 장착면 5 : 확산로
11, 11′: 지지판 W, W′: 판형 워크

Claims

판형 워크와 대향하도록 설치되어 상기 판형 워크를 착탈 가능하게 점착 지지하는 점착 부재와,
상기 판형 워크와 교차하는 방향으로 변형되어 상기 점착 부재의 점착면으로부터 상기 판형 워크를 강제적으로 박리시키도록 설치되는 박리 부재와,
상기 박리 부재의 배후에 설치되어 상기 박리 부재를 따른 표면 및 측면을 가지는 지지 부재와,
상기 지지 부재의 상기 측면의 외주를 둘러싸도록 설치되는 환형 부재를 구비하고,
상기 박리 부재는, 상기 지지 부재의 상기 표면을 따라 변형 가능하게 형성되는 변형부와, 상기 변형부의 외주로부터 상기 지지 부재의 상기 측면을 따라 상기 환형 부재를 향해 돌출되도록 형성되는 장착 볼록부와, 상기 지지 부재의 상기 측면에 형성한 걸어맞춤 볼록부가 끼워맞춰지는 걸어맞춤홈을 가지며,
상기 환형 부재는, 상기 지지 부재의 상기 측면과 상기 걸어맞춤 볼록부의 사이에 상기 박리 부재의 상기 장착 볼록부를 상기 변형부의 변형 방향으로 이동 불가능하게 끼워 넣는 계지(係止) 오목부와, 상기 변형부의 외부 가장자리와 인접하여 상기 점착 부재가 장착되는 장착면을 가지는 것을 특징으로 하는 워크 점착척 장치.
제1항에 있어서, 상기 박리 부재는, 상기 변형부의 외주로부터 상기 지지 부재의 상기 측면을 따라 두께 방향으로 연장되도록 형성되는 다리부를 가지며, 상기 장착 볼록부는, 상기 다리부로부터 상기 환형 부재를 향해 돌출되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 워크 점착척 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 지지 부재의 중앙에는, 상기 박리 부재의 상기 변형부를 변형시키는 유체의 통로가 형성되고,
상기 변형부의 이면 또는 상기 지지 부재의 표면 중 어느 일방이나, 또는 상기 변형부의 이면 및 상기 지지 부재의 표면의 양방에는, 상기 통로를 중심으로 하여 방사 방향으로 연통하는 확산로를 형성한 것을 특징으로 하는 워크 점착척 장치.
제3항에 있어서, 상기 통로의 외측에는, 상기 통로로부터 상기 환형 부재에 연결되는 유로를 차단하는 환형 시일부가, 상기 지지 부재의 외주를 둘러싸도록 형성되는 것을 특징으로 하는 워크 점착척 장치.
제1항 또는 제2항에 기재된 워크 점착척 장치를, 대향하는 1쌍의 지지판 중 어느 일방이나 또는 양방에 설치하고, 상기 워크 점착척 장치로 상기 판형 워크를 점착 지지하고 박리하여, 다른 하나의 판형 워크에 중첩시키는 것을 특징으로 하는 워크 접착기.