KR20120096337A - 기판 고정 장치 - Google Patents

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KR20120096337A
KR20120096337A KR1020110015699A KR20110015699A KR20120096337A KR 20120096337 A KR20120096337 A KR 20120096337A KR 1020110015699 A KR1020110015699 A KR 1020110015699A KR 20110015699 A KR20110015699 A KR 20110015699A KR 20120096337 A KR20120096337 A KR 20120096337A
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Abstract

기판을 안정적으로 지지할 수 있으며, 기판의 종류에 따라 기판을 지지하는 백업 핀의 교체가 용이하며 작업 시간이 단축되는 기판 고정 장치를 제공한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 고정 장치는, 베이스 프레임, 상기 베이스 프레임의 상부에 승, 하강 가능하도록 설치된 백업 테이블, 및 상기 백업 테이블의 상부에 승, 하강 가능하도록 설치된 연결 테이블을 포함하고, 상기 백업 테이블은 상기 베이스 프레임에 부착된 제1 승강 부재에 의해 승, 하강 가능하며, 상기 연결 테이블은 상기 백업 테이블에 부착된 제2 승강 부재에 의해 승, 하강 가능하며, 상기 연결 테이블의 상부에 기판을 지지하는 기판 지지부가 설치된다.

Description

기판 고정 장치{SUBSTRATE HOLDING APPARATUS}
본 발명은 인쇄회로기판을 소정의 위치에 지지함으로써 부품의 실장을 가능하게 하는 기판 고정 장치에 관한 것이다.
일반적인 집적회로나 고밀도 집적회로 등의 반도체 칩 또는 다이오드, 콘덴서, 저항 등과 같은 전자부품을 기판, 예를 들어 인쇄회로기판(PCB) 등에 자동적으로 장착하기 위하여 부품 또는 표면실장기(SMD)가 사용되고 있다. 이 때, 기판은 통상적으로 기판이송장치에 의하여 전자부품이 장착될 위치까지 이송된다. 기판의 이송이 완료되면, 인쇄회로기판은 인쇄회로기판의 하부에 배치된 백업 테이블에 의하여 소정의 위치까지 상승된다.
그런데, 인쇄회로기판은 백업 테이블의 상면의 통공에 삽입된 백업 핀에 의해 지지되고, 인쇄회로기판의 크기 및 형태에 따라서 이를 지지하는 백업 핀의 개수 및 배열은 달라지게 된다. 종래에는 백업 핀을 작업자가 직접 높이 및 위치 조절을 하도록 되어 있어 작업 변경 시간이 많이 걸린다는 단점이 있다.
본 발명이 해결하려는 과제는, 기판을 안정적으로 지지할 수 있으며, 기판의 종류에 따라 기판을 지지하는 백업 핀의 교체가 용이하며 작업 시간이 단축되는 기판 고정 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하려는 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 고정 장치는, 베이스 프레임, 상기 베이스 프레임의 상부에 승, 하강 가능하도록 설치된 백업 테이블, 및 상기 백업 테이블의 상부에 승, 하강 가능하도록 설치된 연결 테이블을 포함하고, 상기 백업 테이블은 상기 베이스 프레임에 부착된 제1 승강 부재에 의해 승, 하강 가능하며, 상기 연결 테이블은 상기 백업 테이블에 부착된 제2 승강 부재에 의해 승, 하강 가능하며, 상기 연결 테이블의 상부에 기판을 지지하는 기판 지지부가 설치된다.
본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 고정 장치의 작동 전의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 고정 장치의 작동 전의 정면도이다.
도 3은 도 1의 기판 고정 장치의 백업 테이블이 상승한 상태의 사시도이다.
도 4는 도 1의 기판 고정 장치의 백업 테이블이 상승한 상태의 정면도이다.
도 5는 도 1의 기판 고정 장치의 연결 테이블이 상승한 상태의 사시도이다.
도 6은 도 1의 기판 고정 장치의 연결 테이블이 상승한 상태의 정면도이다.
도 7은 도 1의 기판 고정 장치에서 기판 지지부가 분리되는 상태의 정면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 게시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 게시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
이하, 본 발명을 보다 구체적으로 설명하기 위하여 본 발명에 따른 실시예들을 첨부 도면을 참조하면서 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 1 및 도 2를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 고정 장치에 대해 설명한다. 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 고정 장치의 작동 전의 사시도이며, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 고정 장치의 작동 전의 정면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 고정 장치는 베이스 프레임(150), 백업 테이블(160), 연결 테이블(170), 제1 승강 부재(110), 제2 승강 부재(140), 축(121, 131) 및 기판 지지부(180)를 포함한다.
베이스 프레임(150)에는 제1 승강 부재(110)가 설치되어 있다. 제1 승강 부재(110)에 의해 백업 테이블(160)이 승, 하강할 수 있다.
제1 승강 부재(110)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 외부로부터 공압을 제공받는 실린더 몸체(111) 및 실린더 몸체(111)에 삽입되어 신축 가능한 로드(112)로 구성될 수 있다. 실린더 몸체(111)는 베이스 프레임(150)의 하면에 고정되어 있으며, 로드(112)는 실린더 몸체(111)로부터 베이스 프레임(150)을 관통하면서 베이스 프레임(150)의 상부로 신축될 수 있다.
제1 승강 부재(110)는 베이스 프레임(150)의 가장자리에 형성되며, 적어도 하나 이상 설치될 수 있다. 바람직하게는, 베이스 프레임(150)의 중앙부를 기준으로 양쪽 가장자리에 대칭으로 형성될 수 있다. 도 1 및 도 2는 제1 승강 부재(110)가 베이스 프레임(150)의 가장자리에 대칭적으로 2개 형성된 경우를 예시하나 이에 한정되는 것은 아니다.
베이스 프레임(150)의 하면에는 제1 부쉬(122, 132)가 고정되어 있다. 제1 부쉬(122, 132)를 통해 축(121, 122)이 삽입되며, 축(121, 131)의 승, 하강시 제1 부쉬(122, 132)는 축의 직선 운동을 돕는다.
축(121, 131)은 적어도 하나 이상 설치될 수 있으며, 예를 들어, 제1 승강 부재(110)의 양 측에 대칭으로 설치될 수 있다. 도 1 및 도 2는 제1 승강 부재(110)의 양 측에 대칭으로 2개의 축이 형성된 경우를 예시하나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.
축(121, 131)은 베이스 프레임(150), 백업 테이블(160) 및 연결 테이블(170)을 소정의 간격으로 이격시켜 지지하는 역할을 한다. 또한, 백업 테이블(160) 및 연결 테이블(170)의 승, 하강에 따라 승, 하강하면서 백업 테이블(160) 및 연결 테이블(170)을 소정의 간격으로 유지시키면서 지지하는 역할을 한다.
축(121, 131)은 후술할 연결 테이블(170)의 하면에 고정되고 제1 부쉬(122, 132) 및 제2 부쉬(123, 133)를 통하여 베이스 프레임(150) 및 백업 테이블(160)을 관통하여 베이스 프레임(150)에 대하여 수직 방향으로 설치된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 고정 장치의 작동 전에는 축(121, 131)이 제1 부쉬(122, 132)로부터 H1의 길이만큼 베이스 프레임(150)의 하부로 돌출되어 있다.
백업 테이블(160)은 베이스 프레임(150)의 상부에 소정 간격으로 이격되어 위치한다. 인쇄회로기판에 반도체 칩과 같은 전자부품을 장착하기 위해서는 인쇄회로기판은 견고하게 지지해야 하는데, 백업 테이블(160)은 이러한 역할을 한다.
백업 테이블(160)의 하면에는 제2 승강 부재(140), 가이드 봉(113), 제2 부쉬(123, 133)가 설치되어 있다.
제2 승강 부재(140)는 후술할 연결 테이블(170)을 승, 하강 시키는 역할을 한다. 제2 승강 부재(140)는 도 1에 도시된 바와 같이, 외부로부터 공압을 제공받는 실린더 몸체(141) 및 실린더 몸체(141)에 삽입되어 신축 가능한 로드(142)로 구성될 수 있다. 실린더 몸체(141)는 백업 테이블(160)의 하면에 고정되고 베이스 프레임(150)을 관통하여 베이스 프레임(150)의 하부까지 연장되어 있다. 로드(142)는 실린더 몸체(141)로부터 백업 테이블(160)의 상부로 신축될 수 있다.
가이드 봉(113)은 백업 테이블(160)의 하면에 고정되어 있으며, 제1 승강 부재(110)의 로드(112)와 접촉되어 있다. 따라서, 제1 승강 부재(110)의 로드(112)의 상승에 따라 백업 테이블(160)을 상승시키는 역할을 한다.
제2 부쉬(123, 133)는 백업 테이블(160)의 하면에 고정되어 있다. 제2 부쉬(123, 133)를 통해 축(121, 122)이 삽입되어 있으며, 제2 부쉬(123, 133)는 축(121, 122)의 승, 하강 운동을 돕는다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 고정 장치의 작동 전에는 베이스 프레임(150)과 백업 테이블(160) 사이의 공간에 축(121, 131)이 H2의 길이만큼 노출되어 이들을 이격시켜 지지한다.
연결 테이블(170)은 백업 테이블(160)의 상부에 소정의 간격으로 이격되어 위치할 수 있다. 연결 테이블(170)은 후술할 기판 지지부와 연결되어 기판 지지부를 지지하는 역할을 한다.
연결 테이블(170)의 하면은 제2 승강 부재(140)의 로드(142)와 접하여 있어 제2 승강 부재(140)의 구동 작용에 의해 승, 하강할 수 있다.
연결 테이블(170)의 하면에는 축(121, 131)이 고정되어 있다. 따라서, 연결 테이블(170)의 승, 하강에 따라 축(121, 131)이 승, 하강한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 고정 장치의 작동 전에는 연결 테이블(170)의 하면으로부터 축(121, 131)이 H3의 길이로 노출되어 백업 테이블(160)과 연결 테이블(170)을 소정의 간격으로 이격시켜 지지하고 있다.
연결 테이블(170)의 어느 일 측면에는 기판 지지부가 연결되는 제1 연결부(171)가 설치될 수 있으며, 제1 연결부(171)가 설치되지 않은 다른 측면에는 제2 연결부(172)가 설치될 수 있다.
제1 연결부(171)는 연결 테이블(170)의 측면에 고정되며, 연결 테이블(170)과 기판 지지부가 연결될 때, 기판 지지부의 측면을 지지하면서 기판 지지부가 연결 테이블(170)의 상면에 안정적으로 안착될 수 있도록 한다. 도 1 및 도 2는 제1 연결부(171)가 체결부에 의해 연결 테이블(170)의 측면에 고정되어 있는 형태를 예시한다.
제2 연결부(172)는 기판 지지부가 연결 테이블(170)에 견고하에 연결되도록 하는 역할을 한다. 제2 연결부(172)는 적어도 하나 이상 설치될 수 있으며, 구체적으로 연결 테이블(170)의 서로 대칭되는 양 측면에 부착되어 있을 수 있다.
제2 연결부(172)는 연결 테이블(170)의 측면에 고정된 고정 블록(172a) 및 고정 블록(172a)의 측면으로부터 돌출된 돌출부(172b)를 구비할 수 있다. 구체적으로, 고정 블록(172a)은 연결 테이블(170)의 측면에 소정의 간격으로 이격되면서 서로 대향하도록 부착된 2개의 판 형태일 수 있으며, 돌출부(172b)는 상기 판을 관통하면서 돌출되어 있는 봉 형태일 수 있다.
연결 테이블(170)의 상부에는 기판 지지부가 위치한다. 기판 지지부는 기판의 처짐을 방지하며, 기판을 견고하게 지지하면서 기판을 소정의 위치로 상승시키는 역할을 한다.
기판 지지부는, 도면에는 도시되어 있지 않으나, 백업 핀일 수 있다. 상기 백업 핀은 일 단은 내부에 장착되어 있는 자석에 의해 연결 테이블(170)상에 부착되고, 다른 일 단은 기판의 배면을 견고하게 지지할 수 있다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 기판 지지부는, 다수의 백업 핀을 포함하는 백업 핀 블록(180)일 수 있다. 백업 핀 블록(180)은 연결 테이블(170)로부터 장착 및 탈착이 용이하여 기판의 종류 및 크기에 따라 용이하게 교체가 가능하다. 따라서, 백업 핀을 수동으로 일일이 교체해야 하는 번거로움이 없어진다.
백업 핀 블록(180)은 베이스 플레이트(181), 제1 지지 플레이트(182), 제2 지지 플레이트(183), 백업 핀(184), 지지대(185) 및 클램핑부(186)를 포함한다.
베이스 플레이트(181)는 백업 핀 블록(180)의 최하부에 위치한 플레이트로 백업 핀(184)를 안정적으로 지지하는 한편, 연결 테이블(170)과 직접적으로 연결되어 백업 핀 블록(180)을 기판 고정 장치와 연결시키는 역할을 한다.
베이스 플레이트(181)의 하면 가장자리에는 적어도 하나 이상의 클램핑부(186)가 설치되어 있다. 클램핑부(186)는 연결 테이블(170)의 측면에 설치된 제2 연결부(172)와 연결되어 백업 핀 블록(180)을 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 고정 장치에 연결시키는 역할을 한다.
클램핑부(186)는 베이스 플레이트(181)의 하면 가장 자리에 대칭적으로 설치되는 것이 바람직하다. 클램핑부(186)는 베이스 플레이트(181)의 하면에 부착된 서로 대향하는 두 개의 판이 회전축으로 연결된 고정부(186a)와 상기 고정부(186a)의 회전축과 맞물려 회전 가능한 회전부(186b) 및 스프링(미도시)을 구비할 수 있다. 상기 회전부(186b)는 스프링에 의해 연결 테이블(170)의 측면에 설치된 제2 연결부(172)의 돌출부(172b)와 맞물려 백업 핀 블록(180)을 연결 테이블(170)과 연결시킨다.
연결 테이블(170)의 상면에는 클램핑부(186)의 일부가 삽입될 수 있는 홀(161)이 형성되어 있다. 연결 테이블(170)의 상승 전, 백업 핀 블록(180)이 연결 테이블(170)에 연결되어 있는 경우에 클램핑부(186)의 일부는 홀(161)에 삽입되어 있다.
제1 지지 플레이트(182)는 베이스 플레이트(181)의 상부에 위치한다. 제1 지지 플레이트(182)의 상면 가장자리에는 백업 핀(184)이 끼워지는 복수의 제1 통공(182a)이 형성되어 있다.
제2 지지 플레이트(183)는 제1 지지 플레이트(182)의 상부에 위치한다. 제1 지지 플레이트(182) 및 제2 지지 플레이트(183)는 소정의 간격으로 이격되어 위치하면서 백업 핀(184)를 지지한다.
제2 지지 플레이트(183)의 상면 가장자리에는 복수의 제2 통공(183a)이 구비되어 있어 백업 핀(184)이 삽입될 수 있다. 제2 지지 플레이트(183)의 상면에 구비된 복수의 제2 통공(183a)은 제1 통공(182a)과 대응되는 위치에 형성되어 있다. 따라서, 백업 핀(184)은 제2 지지 플레이트(183)의 제2 통공(183a) 및 제1 지지 플레이트(182)의 제1 통공(182a)을 통과하여 베이스 플레이트(181)의 상면에 접하도록 삽입된다.
백업 핀(184)은 적어도 하나 이상일 수 있다. 백업 핀(184)이 삽입되는 제1 및 제2 통공(182a, 183a)이 여러 위치에 복수개 형성되어 있으므로, 기판의 종류에 따라 백업 핀(184)의 개수를 달리하고 백업 핀(184)이 다른 위치의 제1 및 제2 통공(182a, 183a)에 삽입된 다양한 형태의 백업 핀 블록(180)을 제조할 수 있다. 따라서, 기판의 종류에 따라 백업 핀의 위치를 수동적으로 모두 변화시킬 필요없이 적합한 기판 지지 블록(186)으로 교체하면 되므로 기판 지지부의 교체가 용이하고 작업이 단순화된다.
지지대(185)은 제1 지지 플레이트(182) 및 제2 지지 플레이트(183)의 사이의 공간에 설치되어 제1 지지 플레이트(182) 및 제2 지지 플레이트(183)를 소정의 간격으로 이격시켜 지지하는 역할을 한다.
지지대(185)은 복수 개 설치될 수 있으며, 구체적으로 제1 지지 플레이트(182) 및 제2 지지 플레이트(183)의 가장자리와 중앙부에 설치될 수 있다. 도 1 및 도 2는 지지대(185)이 제1 지지 플레이트(182) 및 제2 지지 플레이트(183)의 가장 자리에 6개, 중앙부에 1개 설치된 경우를 예시하나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.
이하, 도 3 내지 도 7을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 고정 장치의 작동 상태를 설명한다. 도 3 및 도 4는 각각 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 고정 장치의 백업 테이블(160)이 상승된 상태의 사시도 및 정면도이다. 도 5 및 도 6은 각각 본 발명의 일 실시예에 다른 기판 고정 장치의 연결 테이블(170)이 상승된 상태의 사시도 및 정면도이다. 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 고정 장치에서 기판 고정 블록이 탈착되는 상태를 나타낸 정면도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 제1 승강 부재(110)의 구동 작용에 의해 백업 테이블(160)이 H4 만큼 상승되게 된다.
구체적으로, 외부로부터 압력이 가해지면 실린더 몸체(111)에 삽입되어 있던 로드(112)가 신축되면서 베이스 프레임(150)의 상부로 상승된다. 로드(112)가 상승되면서 백업 테이블(160)의 하면에 부착되어 있는 가이드 봉(112)을 밀어 올리고 이에 따라 백업 테이블(160)이 상승된다. 백업 테이블(160)은 H4의 높이만큼 상승하게 된다.
백업 테이블(160)이 상승하면서 백업 테이블(160)의 하면에 고정되어 있는 제2 부쉬(123, 133)에 의해 축(121, 131)도 H4 만큼 상승된다. 따라서 베이스 프레임(150)의 하부로 돌출된 축(121, 131)의 길이는 H4 만큼 짧아진다.
제2 승강 부재(140)의 몸체(141)도 백업 테이블(160)의 하면에 고정되어 있으므로, 백업 테이블(160)의 상승에 따라 베이스 프레임(150)의 하부로 돌출된 제2 승강 부재(140)의 몸체(141)도 백업 테이블(160)이 상승된 H4 만큼 짧아진다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 제2 승강 부재(140)의 구동 작용에 의해 연결 테이블(170)이 상승하고, 연결 테이블(170)과 연결된 기판 지지부, 구체적으로, 백업 핀 블록(180)의 위치도 상승하게 된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 고정 장치는 제1 승강 부재(110) 및 제2 승강 부재(140)의 2단 구동에 의해 연결 테이블(170)을 상승시키며, 이에 따라 연결 테이블(170)에 연결된 기판 지지부를 상승시킬 수 있다. 이에 따라 기판 지지부, 예를 들어, 백업 핀 블록(180)의 교체가 용이하다. 또한, 2단 구동에 의해 하나의 승강 부재의 스트로크를 감소시킬 수 있다. 스크로크가 너무 큰 경우 기판이 흔들릴 수 있으며, 부품이 손상되거나 틀어지는 문제가 발생할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 고정 장치는 2단 구동에 의해 스트로크 속도를 줄일 수 있어 장비의 효율을 상승시킬 수 있다.
구체적으로, 외부로부터 압력이 가해지면 제2 승강 부재(140)의 실린더 몸체(141)에 삽입되어 있던 로드(142)가 신축되면서 백업 테이블(160)의 상부로 상승된다. 로드(142)가 상승하면서 연결 테이블(170)을 밀어올려 연결 테이블(170)은 H5의 높이만큼 상승하게 된다. 이에 따라, 연결 테이블(170)에 안착되어 있는 기판 지지부도 그 위치가 상승되게 된다. 이 때, 연결 테이블(170)의 하면에 축(121, 131)이 고정되어 있으므로, 연결 테이블(170)의 상승에 따라 축(121, 131)도 H5의 높이만큼 상승하게 된다. 따라서, 베이스 프레임(150)의 하부로 돌출된 축(121, 131)의 길이가 다시 H5만큼 짧아진다.
도면에는 도시되지 않았으나, 연결 테이블(170)의 하면에는 연결 테이블(170)에서 기판 지지부의 장착 및 탈착을 감지할 수 있는 센서가 부착되어 있을 수 있다. 상기 센서는 제2 승강 부재(140) 근처에 설치되어 기판 지지부의 탈착 및 장착에 따라 제2 승강 부재(140)의 구동 작용을 조절하는 역할을 할 수 있다.
도 7을 참조하면, 상승된 연결 테이블(170)에서 백업 핀 블록(180)을 탈착할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 고정 장치는 상승된 연결 테이블(170)에서 용이하게 백업 핀 블록(180)을 분리할 수 있다. 또한, 기판의 크기 및 종류에 적합한 백업 핀 블록을 선택하여 용이하게 교체할 수 있다. 기판의 종류에 따라 수동으로 백업 핀 등의 기판 지지부를 교체할 필요가 없어 작업이 용이하고 안전하며 작업 시간도 단축된다.
백업 핀 블록(180)에 설치된 클램핑부(186)의 회전부(186b)는 스프링에 의해 연결 테이블(170)의 측면에 설치된 제2 연결부(172)의 돌출부(172b)와 맞물려 연결 테이블(170)에 장착되어 있다가 회전부(186b)와 돌출부(172b)를 분리시키면 백업 핀 블록(180)은 연결 테이블(170)로부터 분리될 수 있다. 이어서, 기판에 적합한 다른 백업 핀 블록을 장착할 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 고정 장치는 제1 승강 부재(110) 및 제2 승강 부재(140)의 2단 구동에 의해 승강 부재의 스트로크를 줄일 수 있어 기판을 보다 안정적으로 지지할 수 있고, 기판을 클램핑하는 압력을 일정하게 유지할 수 있다. 반면에 2단 구동에 의해 결과적으로 기판을 더 높은 위치까지 상승시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 고정 장치는 백업 핀 블록(180)을 사용하여 기판의 크기 등에 따라 수동으로 백업 핀을 교체할 필요가 없다. 백업 핀 블록(180)은 백업 핀의 개수 및 위치 등을 다양하게 제조할 수 있어 기판에 따라 적합한 백업 핀 블록(180)을 선택하여 사용할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
110: 제1 승강 부재 121, 131: 축
122, 132: 제1 부쉬 132, 133: 제2 부쉬
140: 제2 승강 부재 150: 베이스 프레임
160: 백업 테이블 170: 연결 테이블
180: 기판 지지 블록 186: 클램핑부

Claims (11)

  1. 베이스 프레임;
    상기 베이스 프레임의 상부에 승, 하강 가능하도록 설치된 백업 테이블; 및
    상기 백업 테이블의 상부에 승, 하강 가능하도록 설치된 연결 테이블을 포함하고,
    상기 백업 테이블은 상기 베이스 프레임에 부착된 제1 승강 부재에 의해 승, 하강 가능하며,
    상기 연결 테이블은 상기 백업 테이블에 부착된 제2 승강 부재에 의해 승, 하강 가능하며,
    상기 연결 테이블의 상부에 기판을 지지하는 기판 지지부가 설치되는 기판 고정 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 기판 지지부가 다수의 백업 핀을 포함하는 백업 핀 블록인 기판 고정 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 백업 핀 블록은 복수의 제1 통공을 포함하는 제1 지지 플레이트;
    상기 제1 지지 플레이트와 소정의 간격으로 이격되고 상기 복수의 제1 통공과 대응되는 위치에 복수의 제2 통공이 형성된 제2 지지 플레이트;
    상기 제1 통공과 제2 통공에 삽입된 복수의 백업 핀; 및
    상기 제1 통공과 제2 통공에 삽입된 복수의 백업 핀의 일 단이 지지되는 베이스 플레이트를 포함하는 기판 고정 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 기판 지지부가 상기 연결 테이블의 상면에 안착되는 기판 고정 창치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 연결 테이블의 승, 하강에 따라, 상기 연결 테이블의 상부에 설치된 기판 지지부가 동시에 승, 하강되는 기판 고정 장치.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 베이스 프레임, 백업 테이블 및 상기 연결 테이블이 승, 하강 가능한 적어도 하나 이상의 축에 의해 소정의 간격으로 이격되어 지지되는 기판 고정 장치.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 승강 부재가 제1 승강 실린더이고,
    상기 제2 승강 부재가 제2 승강 실린더이며,
    상기 백업 테이블이 제1 승강 실린더의 로드에 의해 승, 하강되고,
    상기 연결 테이블이 제2 승강 실린더의 로드에 의해 승, 하강되는 기판 고정 장치.
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 승강 부재가 상기 백업 테이블로부터 상기 베이스 프레임을 관통하여 설치되는 기판 고정 장치.
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 승강 부재가 상기 베이스 프레임의 양 측에 설치되고,
    상기 제2 승강 부재가 상기 백업 테이블의 중앙부에 설치되는 기판 고정 장치.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 축이 상기 제1 승강 부재를 기준으로 양 쪽으로 대칭으로 형성되는 기판 고정 장치.
  11. 제1 항에 있어서,
    상기 기판 지지부가 연결 테이블로부터 탈착 및 장착이 가능한 기판 고정 장치
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