KR20120082677A - 거리조정이 가능한 에폭시 디스펜서 - Google Patents

거리조정이 가능한 에폭시 디스펜서 Download PDF

Info

Publication number
KR20120082677A
KR20120082677A KR1020110004099A KR20110004099A KR20120082677A KR 20120082677 A KR20120082677 A KR 20120082677A KR 1020110004099 A KR1020110004099 A KR 1020110004099A KR 20110004099 A KR20110004099 A KR 20110004099A KR 20120082677 A KR20120082677 A KR 20120082677A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
distance
injector
epoxy
substrate
lead screw
Prior art date
Application number
KR1020110004099A
Other languages
English (en)
Inventor
승 황보
김동호
윤영갑
정원석
김종민
곽민우
Original Assignee
호남대학교 산학협력단
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 호남대학교 산학협력단 filed Critical 호남대학교 산학협력단
Priority to KR1020110004099A priority Critical patent/KR20120082677A/ko
Publication of KR20120082677A publication Critical patent/KR20120082677A/ko

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/10Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
    • B05C11/1002Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves
    • B05C11/1015Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves responsive to a conditions of ambient medium or target, e.g. humidity, temperature ; responsive to position or movement of the coating head relative to the target
    • B05C11/1018Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves responsive to a conditions of ambient medium or target, e.g. humidity, temperature ; responsive to position or movement of the coating head relative to the target responsive to distance of target
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0225Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work characterised by flow controlling means, e.g. valves, located proximate the outlet

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)
  • Die Bonding (AREA)

Abstract

본 발명은 거리조정이 가능한 에폭시 디스펜서에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 에폭시를 도포하고자 하는 기재의 표면에 요철이 존재할 경우 기재의 표면과 에폭시가 분출되는 인젝터와의 거리를 요철에 의해 변화된 값만큼 피드백하여 거리를 조정할 수 있는 에폭시 디스펜서에 관한 것이다.
본 발명은 하방에 장착된 기재의 표면에 에폭시를 도포하는 인젝터와, 인젝터를 상하로 이동시키기 위한 승강구동부와, 인젝터와 상기 기재 표면과의 거리를 감지하는 거리감지센서와, 인젝터와 상기 기재 표면과의 거리를 설정된 거리로 유지하기 위해 상기 거리감지센서로부터 입력되는 신호에 의해 상기 승강구동부를 피드백 제어하는 제어부를 구비한다.

Description

거리조정이 가능한 에폭시 디스펜서{Epoxy dispenser capable of adjusting the distance}
본 발명은 거리조정이 가능한 에폭시 디스펜서에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 에폭시를 도포하고자 하는 기재의 표면에 요철이 존재할 경우 기재의 표면과 에폭시가 분출되는 인젝터와의 거리를 요철에 의해 변화된 값만큼 피드백하여 거리를 조정할 수 있는 에폭시 디스펜서에 관한 것이다.
통상 전기, 전자, 자동차, 반도체, 통신기기 등 다양한 산업 분야에서 기재에 에폭시(epoxy)를 도포할 필요성이 있다. 이를 위해 접착성을 가지는 액상의 에폭시가 디스펜싱(dispensing)되는데, 여기서 에폭시를 기재의 표면에 디스펜싱하는 장치를 에폭시 디스펜서(epoxy dispenser)라 한다.
일 예로, 반도체 제조공정 중 웨이퍼에서 낱개로 분리된 반도체칩은 기판의 칩부착 영역에 부착되어 고정된다. 이러한 반도체칩의 부착을 위해서는 먼저 기판의 칩부착 영역에 접착성을 가지는 액상의 에폭시(epoxy)가 디스펜싱(dispensing)되고, 그 다음으로 그 에폭시가 도포된 기판 상으로 반도체칩이 부착된다.
이와 같이 기판 등의 다양한 기재(에폭시를 도포하고자하는 대상물)의 표면에 에폭시를 도포시 종래의 디스펜서는 X-Y축 로봇 등에 의해 X-Y축 방향으로 이동하면서 에폭시를 도포하도록 되어 있다. 이 경우 기재의 표면 전 영역에 걸쳐 에폭시가 정확한 양으로 도포되어야만 기재의 표면에 균일한 에폭시 코팅층이 형성될 수 있다.
하지만, 대부분의 기재의 표면은 정밀하게 편평도가 유지되기보다는 기계적 가공, 화학적 변형, 열변형 등의 여러 가지 요인에 의해 미세한 굴곡 또는 요철이 발생하게 된다.
따라서 Z축 방향(상하방향)으로 이동이 불가능한 종래의 디스펜서에 의하면 에폭시가 분출되는 니들과 기재의 표면과의 거리가 동일한 기재 내에서도 서로 달라져 에폭시의 도포불량이 야기된다. 따라서 기재의 일 부위에는 과소 도포, 다른 부위에는 과다 도포에 의해 두께가 불균일한 에폭시 코팅층이 형성되어 제품의 품위와 신뢰성을 저하시키는 문제점이 발생하였다.
본 발명은 상기의 문제점을 개선하고자 창출된 것으로서, 기재의 표면과 에폭시기 분출되는 인젝터와의 거리를 실시간으로 감지하여 변화된 거리 값만큼 인젝터의 상하 이동을 피드백 제어할 수 있는 에폭시 디스펜서를 제공하는 데 그 목적이 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 거리 조정이 가능한 에폭시 인젝터는 하방에 장착된 기재의 표면에 에폭시를 도포하는 인젝터와; 상기 인젝터를 상하로 이동시키기 위한 승강구동부와; 상기 인젝터와 상기 기재 표면과의 거리를 감지하는 거리감지센서와; 상기 인젝터와 상기 기재 표면과의 거리를 설정된 거리로 유지하기 위해 상기 거리감지센서로부터 입력되는 신호에 의해 상기 승강구동부를 피드백 제어하는 제어부;를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 거리감지센서는 상기 인젝터 또는 승강구동부의 일측에 설치되는 초음파센서인 것을 특징으로 한다.
상기 승강구동부는 X-Y축 방향으로 이동이 가능한 스테이지에 수직하게 설치된 리드스크루와, 상기 리드스크루에 나사결합되며 상기 인젝터가 장착된 고정부재와, 상기 리드스크루와 나란하게 설치되어 상기 고정부재의 상하 이동을 가이드하는 가이드부재와, 상기 고정부재를 상하로 이동시키기 위해 상기 리드스크루를 회전시키며 상기 제어부에 의해 제어되는 모터를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상술한 바와 같이 본 발명에 의하면 거리감지센서로부터 입력되는 신호에 의해 제어부는 인젝터와 기재의 표면간의 거리를 실시간으로 감지하고, 감지된 거리 값과 작업자가 초기에 설정된 거리 값을 비교하여 실시간으로 승강구동부를 피드백 제어함으로써 항상 동일한 거리를 유지할 수 있다.
이에 따라 인젝터는 항상 동일한 거리에서 기재의 표면에 에폭시를 도포함으로써 균일한 두께의 에폭시 코팅층을 형성할 수 있어 제품의 품위와 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 에폭시 디스펜서의 구성을 나타내는 블록도이고,
도 2는 도 1의 에폭시 디스펜서의 정면도이고,
도 3은 도 2의 측면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 에폭시 디스펜서에 대해서 구체적으로 설명한다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 에폭시 디스펜서는 베이스프레임(10)에 설치된다. 베이스프레임(10)에는 표면에 에폭시를 도포하고자 하는 대상물인 기재(1)가 적재될 수 있는 로딩부(11)가 형성된다. 베이스프레임(10)의 하부에는 이동이 가능하도록 베이스프레임(10)의 저면에 피벗 결합된 구동휠(13)이 설치될 수 있다. 베이스프레임(10)의 내부에는 본 발명의 에폭시 디스펜서를 구동하기 위한 제어부나 전기회로, 펌프 등이 내장될 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 에폭시 디스펜서는 크게 인젝터(20)와, 승강구동부(30)와, 거리감지센서(50)와, 제어부(60)를 구비한다.
인젝터(20)는 로딩부(11)에 장착된 기재(1)의 표면에 에폭시를 도포하기 위한 것으로서, 통상적인 디스펜서에 적용되는 인젝터 구조가 적용될 수 있다. 일 예로 에폭시가 내부에 충전된 하우징(21)과, 하우징(21)의 하부에 형성되어 에폭시가 분출되는 노즐(25)을 포함한다. 하우징(21)은 후술한 승강구동부(30)의 고정부재(45)에 의해 지지된다.
하우징(21)의 상단부에는 에어 주입용 호스(27)가 연결된다. 에어주입용 호스(27)는 압축공기를 공급하는 공압발생부(29)와 연결된다. 공압발생부(29)는 베이스프레임(10) 내부에 설치된다. 공압발생부(29)로 통상적인 에어컴프레셔가 적용될 수 있다. 그리고 도시되지 않았지만 하우징(21)의 내부에는 상하 이동이 가능한 피스톤이 설치된다. 에폭시가 담긴 하우징 내로 공압발생부(29)로부터 공급된 공기가 공급되면 피스톤이 하강하고 그에 따라 노즐(25)을 통해 에폭시가 하방으로 분출된다. 하우징(21) 내로 공기의 공급과 차단은 제어부(60)에서 제어한다.
상기 인젝터(21)는 승강구동부(30)에 의해 상하로 이동한다. 도시된 승강구동부(30)는 X-Y축 방향으로 이동이 가능한 스테이지(31)에 수직하게 설치된 리드스크루(33)와, 상기 리드스크루(33)에 나사결합되며 상기 인젝터(20)가 장착된 고정부재(45)와, 상기 리드스크루(33)와 나란하게 설치되어 상기 고정부재(45)의 상하 이동을 가이드하는 가이드부재(47)와, 상기 고정부재(45)를 상하로 이동시키기 위해 상기 리드스크루(33)를 회전시키는 모터(40)를 구비한다.
스테이지(31)는 사각의 블럭 형상으로 형성되며, 베이스프레임(10)에 설치된 X-Y축 이동유닛에 의해 X축 및 Y축 방향으로 이동이 가능하다. X축 및 Y축으로 설정된 좌표만큼 스테이지(31)를 이동시키기 위한 X-Y축 이동유닛은 공지된 기술로서, 도시된 예를 들어 간단하게 설명한다.
상기 X-Y축 이동유닛은 제어부(60)의 제어에 의해 작동한다. 이러한 X-Y축 이동유닛은 베이스프레임(10)의 좌우 측벽(15)에 형성된 좌우 한쌍의 Y축 가이드 레일(70)과, 양단이 Y축 가이드 레일(70)에 슬라이딩 이동가능하도록 지지되며 스테이지(31)를 좌우로 관통하는 X축 가이드 레일(75)을 포함한다. Y축 가이드레일(70)에는 더브테일 형상의 홈이 전후로 길게 형성된다.
그리고 X축 가이드 레일(75)을 Y축 방향으로 이송시키기 위해 Y축 가이드레일(70)과 나란하게 스크류 형상의 제 1리드봉(미도시)이 설치되고, 제 1리드봉은 모터(미도시)에 의해 회전한다. 그리고 스테이지(31)를 X축 방향으로 이송시키기 위해 X축 가이드레일(75)과 나란하게 스크류 형상의 제 2리드봉(77)이 설치되고, 제 2리드봉(77)은 스테이지(31)에 설치된 모터(미도시)에 의해 회전한다. X-Y축 이동유닛은 상술한 구조 외에 통상적인 구성을 가질 수 있음은 물론이다. 또한, 도시된 예에서 X-Y축 이동유닛은 승강구동부(30)의 하부에서 승강구동부(30)를 지지하지만 이와 달리 X-Y축 이동유닛은 승강구동부(30)의 상부에서 승강구동부(30)를 지지하는 구조를 가질 수 있다.
리드스크루(33)는 원형의 형상을 가지며 외주면에는 나사산이 형성된다. 리드스크루(33)는 스테이지(31)에 수직으로 설치된다. 리드스크루(33)의 하부는 스테이지(31)에 설치된 베어링에 의해 회전가능하도록 지지된다. 리드스크루(33)의 상부는 지지체(35)의 하판(36)에 설치된 베어링에 의해 회전가능하도록 지지된다. 지지체(35)는 하판(36) 및 상판(37), 하판과 상판의 전후측에 설치된 측벽(38)으로 이루어진다. 지지체(35)의 상부에는 리드스크루(33)을 회전시키는 모터(40)가 설치되고, 모터(40)의 구동축과 리드스크루(33)는 커플링(35)에 의해 연결된다. 모터(40)는 제어부(60)에 의해 제어되며 리드스크루(33)를 정회전 또는 역회전시킨다.
고정부재(45)는 리드스크루(33)와 직각이 되도록 리드스크루(33)와 결합한다. 고정부재(45)의 후면측에 형성된 나사홀에 리드스크루(33)가 나사결합한다. 그리고 고정부재(45)의 전면측에 형성된 고정홀에 인젝터의 하우징(21)이 결합된다. 그리고 리드스크루(33)의 회전시 고정부재(45)의 회전을 방지하기 위한 가이드부재(47)가 리드스크루(33)와 나란하게 설치된다. 가이드부재(47)는 고정부재(45)를 상하로 관통한다. 가이드부재(47)는 원형의 봉 형상으로 형성되며, 하부는 스테이지(31)에 고정되고 상부는 지지체의 하판(36)에 고정된다.
제어부(60)의 제어에 의해 모터(40)에 전원이 인가되면 리드스크루(33)가 회전하게 되고, 리드스크루(33)의 회전 방향에 따라 고정부재(45)는 상승 또는 하강한다. 이 경우 가이드부재(47)는 고정부재(45)가 리드스크루(33)와 함께 회전하는 것을 방지하고 상하 방향으로 슬라이딩을 가이드한다. 가이드부재(47)가 상승 또는 하강함에 따라 인젝터(20) 역시 상승 또는 하강하여 기재(1)의 표면과의 거리가 변화된다.
인젝터(20)와 기재(1) 표면과의 거리를 감지하는 거리감지센서(50)는 인젝터(20) 또는 승강구동부(30)의 일측에 설치된다. 도시된 예에서 거리감지센서(50)는 승강구동부(30)의 고정부재(45)의 전면측 하부에 설치된다. 이때 거리감지센서(50)는 노즐(25)과 인접하도록 설치된다. 이와 달리 거리감지센서(50)는 인젝터(20)에 직접 설치될 수 있음은 물론이다. 이외에도 인젝터(20)와 기재(1) 표면과의 거리를 감지할 수 있다면 거리감지센서(50)의 위치는 다양하게 변경될 수 있음은 물론이다.
거리감지센서(50)로 초음파센서가 적용될 수 있다. 초음파센서는 압전 세라믹 소자를 매개로 사용하여 초음파의 송?수신에 의하여 대상물의 형상 또는 거리를 측정하기 위한 감지 장치로서, 본 발명에서는 초음파 센서로부터 하방으로 발생된 초음파가 기재(1)에 표면에서 반사되어 되돌아오는 것을 수신하여 인젝터(20)와 기재(1)의 표면 간의 거리를 측정하게 된다.
제어부(60)는 거리감지센서(50)로부터 입력되는 신호에 의해 상기 승강구동부(30)를 피드백 제어한다. 제어부(60)는 거리감지센서(50)로부터 입력되는 신호를 처리하여 인젝터(20)와 기재(1)의 표면 간의 거리를 감지하게 된다. 제어부(60)는 통상적인 마이크로 프로세스로 이루어진다.
이하, 본 발명의 거리 조정이 가능한 에폭시 디스펜서의 주요작동에 대해 간단하게 설명한다.
작업자가 키입력부(80)를 통해 거리 값을 입력하게 되면, 제어부(60)는 모터(40)를 구동시켜 인젝터(20)의 위치를 설정된 거리로 고정시킨다. 이와 함께 작업자는 작업조건에 따라 다양한 변수들을 입력한 후 에폭시 도포 작업을 시작한다. 제어부(60)는 X-Y축 이동유닛을 제어하여 스테이지(31)를 X축 및 Y축 방향으로 이동시키면서 도포 작업을 수행할 수 있도록 한다.
도포 작업 중 기재(1)의 표면에 요철이 존재하게 되면 제어부(60)는 거리감지센서(50)를 통해 입력되는 신호의 변화에 의해 요철부를 감지한다. 이때 변화되는 거리 값만큼 제어부(60)는 승강구동부(30)를 제어하여 인젝터(20)의 높이를 제어한다. 도 3에 도시된 바와 같이 기재(1)의 표면에 하방으로 패인 홈(3)이 형성된 경우 제어부(60)는 홈의 깊이만큼 인젝터(20)가 하강할 수 있도록 모터(40)를 제어하여 리드스크루(33)를 회전시킨다. 그리고 기재(1)의 표면에 상방으로 돌출된 돌출부위(5)가 있는 경우 돌출 높이만큼 인젝터(20)를 상승시킬 수 있도록 모터(40)를 제어한다.
이와 같이 거리감지센서(50)로부터 입력되는 신호에 의해 제어부(60)는 인젝터(20)와 기재(1)의 표면 간의 거리를 실시간으로 감지하고, 감지된 거리 값과 작업자가 초기에 설정된 거리 값을 비교하여 승강구동부(30)를 제어한다. 이와 같이 제어부(60)는 초기에 설정된 거리 값을 유지할 수 있도록 실시간으로 승강구동부(30)를 피드백 제어한다. 이에 따라 인젝터(20)는 항상 동일한 거리에서 기재(1)의 표면에 에폭시를 도포함으로써 균일한 두께의 에폭시 코팅층을 형성할 수 있다.
이상에서 본 발명은 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
따라서 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.
1: 기재 10: 베이스프레임
20: 인젝터 21: 하우징
25: 노즐 30: 승강구동부
33: 리드스크류 40: 모터
45: 고정부재 50: 거리감지센서

Claims (3)

  1. 하방에 장착된 기재의 표면에 에폭시를 도포하는 인젝터와;
    상기 인젝터를 상하로 이동시키기 위한 승강구동부와;
    상기 인젝터와 상기 기재 표면과의 거리를 감지하는 거리감지센서와;
    상기 인젝터와 상기 기재 표면과의 거리를 설정된 거리로 유지하기 위해 상기 거리감지센서로부터 입력되는 신호에 의해 상기 승강구동부를 피드백 제어하는 제어부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 거리 조정이 가능한 에폭시 디스펜서.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 거리감지센서는 상기 인젝터 또는 상기 승강구동부의 일측에 설치되는 초음파센서인 것을 특징으로 하는 거리 조정이 가능한 에폭시 디스펜서.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 승강구동부는 X-Y축 방향으로 이동이 가능한 스테이지에 수직하게 설치된 리드스크루와, 상기 리드스크루에 나사결합되며 상기 인젝터가 장착된 고정부재와, 상기 리드스크루와 나란하게 설치되어 상기 고정부재의 상하 이동을 가이드하는 가이드부재와, 상기 고정부재를 상하로 이동시키기 위해 상기 리드스크루를 회전시키며 상기 제어부에 의해 제어되는 모터를 구비하는 것을 특징으로 하는 거리 조정이 가능한 에폭시 디스펜서.
KR1020110004099A 2011-01-14 2011-01-14 거리조정이 가능한 에폭시 디스펜서 KR20120082677A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110004099A KR20120082677A (ko) 2011-01-14 2011-01-14 거리조정이 가능한 에폭시 디스펜서

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110004099A KR20120082677A (ko) 2011-01-14 2011-01-14 거리조정이 가능한 에폭시 디스펜서

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20120082677A true KR20120082677A (ko) 2012-07-24

Family

ID=46714365

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110004099A KR20120082677A (ko) 2011-01-14 2011-01-14 거리조정이 가능한 에폭시 디스펜서

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20120082677A (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230142976A (ko) * 2022-04-04 2023-10-11 (주)칼라일플루이드테크놀로지스코리아 노즐 높이 조절이 가능한 차체용 실러 도포장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230142976A (ko) * 2022-04-04 2023-10-11 (주)칼라일플루이드테크놀로지스코리아 노즐 높이 조절이 가능한 차체용 실러 도포장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9636699B2 (en) Method and apparatus for dispensing a viscous material on a substrate
JP5608469B2 (ja) 塗布装置
JP2010087343A (ja) 基板処理装置及び基板載置方法
KR20200101277A (ko) 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
JP2007152261A (ja) ペースト塗布装置、ペースト塗布方法及びこれを用いた表示パネルの製造装置
KR101089749B1 (ko) 도포장치 및 이의 제어 방법
KR20070074269A (ko) 페이스트 도포장치의 디스펜스 헤드
JP2012134419A (ja) 塗布装置及び塗布方法
JP2005131638A (ja) 粘性材料を非接触にて吐出する方法
TWM627057U (zh) 水滴角量測機
KR101949159B1 (ko) 스크라이브 장치, 기판 절단 장치 및, 기판 스크라이브 방법
KR20120082677A (ko) 거리조정이 가능한 에폭시 디스펜서
JP5574401B2 (ja) 電子部品の実装装置及び実装方法
KR20090052806A (ko) 도포장치 및 그 기판 지지방법
KR101740383B1 (ko) 도포판에의 피막액 균일 도포장치
JP5984284B2 (ja) 部品実装装置及び基板の製造方法
KR102644510B1 (ko) 기판 처리 설비의 레벨링 장치
KR101465989B1 (ko) 기판 코팅 장치
KR20130060944A (ko) 도포장치
JP2013017985A (ja) 液体塗布装置
KR102121061B1 (ko) 반도체 패키지 그라인더의 연삭 두께 조절장치 및 방법
JP2001267728A (ja) バンプ付電子部品の実装装置および実装方法
KR20140069677A (ko) 기판 프린팅 장치 및 기판 프린팅 방법
KR20150051584A (ko) 수평 유지 장치
KR20130060961A (ko) 노즐

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application