KR20120070212A

KR20120070212A - Dispenser

Info

Publication number: KR20120070212A
Application number: KR1020100131664A
Authority: KR
Inventors: 서대훈
Original assignee: 주식회사 탑 엔지니어링
Priority date: 2010-12-21
Filing date: 2010-12-21
Publication date: 2012-06-29
Also published as: CN102540579A; KR101198308B1; TW201240737A

Abstract

PURPOSE: A dispenser is provided to detect whether bubbles exist during a liquid coating process in real time. CONSTITUTION: A dispensing head unit(100) has a nozzle through which liquid is discharged onto a substrate. A bubble detecting unit(200) irradiates microwaves onto liquid in the dispensing head unit. Bubbles in the liquid are detected according to a changing quantity of the microwaves while the microwaves pass the liquid.

Description

Dispenser {DISPENSER}

본 발명은 평판 디스플레이 제조공정에서 사용되는 디스펜서에 관한 것으로서, 더 상세하게는 디스펜싱하는 유체 내의 기포를 마이크로 웨이브를 이용하여 검출할 수 있는 디스펜서에 관한 것이다.
The present invention relates to a dispenser used in a flat panel display manufacturing process, and more particularly, to a dispenser capable of detecting bubbles in a fluid to be dispensed using microwaves.

디스펜서(dispenser)는 통상 LCD(Liquid Crystal Display)와 같은 평판 디스플레이(display) 제조 공정에서 기판에 실런트(sealant)를 도포하거나 액정을 적하하는데 이용되고 있는 장비로서, 기판을 스테이지(stage) 상에 위치시킨 상태에서 노즐(nozzle)이 구비된 디스펜싱 헤드유닛(dispensing head unit)을 이용하여 기판 상에 실런트를 도포하거나 액정을 적하할 수 있도록 구성된다. Dispensers are equipment used to apply sealants or drop liquid crystals onto substrates in flat panel display manufacturing processes, such as liquid crystal displays (LCDs). Positioning the substrate on a stage In this state, a dispensing head unit equipped with a nozzle may be used to apply a sealant or drop liquid crystal onto a substrate.

이러한 디스펜서는 기판과 노즐 사이의 상대적 위치를 변화시켜 가면서 기판에 실링 패턴(sealing pattern) 또는 액정층을 형성하게 되는데, 기판이 탑재된 스테이지를 X-Y축 방향으로 이동시키거나, 노즐이 장착된 디스펜싱 헤드유닛을 X-Y축 방향으로 이동시키면서 기판에 실링 패턴 또는 액정층을 형성하게 된다.The dispenser forms a sealing pattern or a liquid crystal layer on the substrate while changing the relative position between the substrate and the nozzle. The dispenser moves the stage on which the substrate is mounted in the XY axis direction, or the nozzle is mounted. While moving the head unit in the XY axis direction, a sealing pattern or a liquid crystal layer is formed on the substrate.

이때, 도포되는 실런트 또는 적하되는 액정 내에 기포가 들어갈 수 있는데, 정확하고 정밀한 양의 실런트 또는 액정이 토출되는 것이 요구되는 평판 디스플레이 공정에 있어서, 실런트 또는 액정 내에 포함되어 있는 기포는 제품의 불량을 일으키는 원인이 될 수 있다. 따라서, 평판 디스플레이 공정에 있어서 기포가 실런트나 액정 내에 들어가지 않도록 해야 할 뿐만 아니라, 토출되는 실런트나 액정에 기포가 들어가 있다면 이를 정확하게 검출하여 불량이 발생하지 않도록 해야 한다.In this case, bubbles may enter the coated sealant or the liquid crystal to be dropped. In a flat panel display process in which an accurate and precise amount of the sealant or the liquid crystal is discharged, bubbles contained in the sealant or liquid crystal may cause product defects. It can be cause. Therefore, in the flat panel display process, not only the bubbles do not enter the sealant or the liquid crystal, but also if the bubbles enter the discharged sealant or the liquid crystal, it should be accurately detected so that no defects occur.

종래에는 토출되는 실런트나 액정에 들어가 있는 기포를 검출하기 위하여, 우선 기판에 실런트를 도포하는 공정 또는 액정을 적하하는 공정을 완료한 후에, 다시 도포된 상태를 카메라나 광학 스캐너를 통하여 검사하는 방식을 취했다. 그러나 이러한 방식은 카메라나 광학 스캐너를 이용하기 때문에 기포의 발생만을 시각적으로 검출할 수 있을 뿐이었고, 정확하게 어느 정도 양의 기포가 발생하였는지, 그래서 어느 정도 양의 실런트 또는 액정이 모자라게 도포되었는지를 정밀하게 측정해낼 수 없다는 문제점이 있었다. Conventionally, in order to detect the discharged sealant or air bubbles in the liquid crystal, a method of first applying a sealant to a substrate or a process of dropping liquid crystal is completed, and then the coated state is inspected through a camera or an optical scanner. Drunk. However, this method only uses a camera or an optical scanner to visually detect only the occurrence of bubbles, and precisely how much bubbles are generated, and thus how much of the sealant or liquid crystal is insufficiently applied. There was a problem that it could not be measured.

또한, 기판에 실런트나 액정을 도포하는 공정을 완료한 후, 다시 그 도포된 상태를 카메라나 광학 스캐너를 이용하여 검사하기 때문에, 실런트나 액정의 도포 공정이 진행되는 동안 실시간으로 기포 유무를 체크할 수 없고, 반드시 실런트 또는 액정의 도포 공정 후 기포 발생 유무를 검사하기 위한 검출 공정을 수행해야 한다는 점에서 제조 공정의 시간을 크게 지연시킬 뿐만 아니라, 실제 기포가 발생하지 않았다고 하더라도 반드시 기포 유무를 체크하는 공정을 수행해야 하는 문제점이 있었다.
In addition, after completing the process of applying the sealant or liquid crystal to the substrate, the coated state is again inspected using a camera or an optical scanner. In addition to delaying the time of the manufacturing process in that the detection process must be performed after the coating process of the sealant or the liquid crystal, it is necessary to check the presence of bubbles even if no actual bubbles have occurred. There was a problem to carry out the process.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 실런트 또는 액정과 같은 유체를 도포하는 공정에 있어서 기포의 유무를 실시간으로 검출할 수 있는 디스펜서를 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a dispenser capable of detecting the presence or absence of bubbles in real time in a process of applying a fluid such as a sealant or a liquid crystal.

또한, 본 발명은 실런트 또는 액정과 같은 유체를 도포하는 공정에 있어서 기포의 유무를 실시간으로 검출할 수 있을 뿐만 아니라, 기포의 크기를 정밀하게 측정하여 불량의 발생 뿐만 아니라 불량의 정도까지도 검출할 수 있는 디스펜서를 제공하는 것을 목적으로 한다.In addition, the present invention can not only detect the presence or absence of bubbles in real time in the process of applying a fluid such as a sealant or liquid crystal, but also accurately detect the size of the bubbles to detect not only the occurrence of defects but also the degree of defects. It is an object to provide a dispenser.

더 나아가, 본 발명은 기포의 유무를 실시간으로 검출할 뿐만 아니라, 기포가 기판 상에 도포된 정확한 위치를 알아 낼 수 있는 디스펜서를 제공하는 것을 목적으로 한다.Furthermore, an object of the present invention is to provide a dispenser capable of not only detecting the presence or absence of bubbles in real time, but also determining the exact position where the bubbles are applied onto the substrate.

본 발명의 목적은 이상에서 언급한 것으로 제한되지 않으며, 언급되지 않는 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
The objects of the present invention are not limited to those mentioned above, and other objects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 디스펜서는, 기판 상으로 유체가 토출되는 노즐을 구비하는 디스펜싱 헤드유닛; 및 상기 디스펜싱 헤드유닛 내의 유체에 마이크로 웨이브를 조사하여 상기 마이크로 웨이브가 상기 유체를 통과하면서 변화되는 물리량에 따라 상기 유체 내의 기포를 검출하는 기포 검출 유닛을 포함하여 구성될 수 있다.Dispensing according to an embodiment of the present invention for achieving the above object, the dispensing head unit having a nozzle for discharging the fluid on the substrate; And a bubble detecting unit for irradiating microwaves to the fluid in the dispensing head unit to detect bubbles in the fluid according to a physical quantity changed while the microwaves pass through the fluid.

여기서, 상기 기포 검출 유닛은, 마이크로 웨이브를 발생시켜 상기 유체로 조사하는 발생부; 상기 마이크로 웨이브가 조사된 유체 주변의 제1점 및 제2점의 전압차를 측정하는 전압 측정부; 및 상기 제1점과 상기 제2점의 전압차를 비교하여 상기 유체 내의 기포를 검출하는 처리부를 포함하여 구성될 수 있다.Here, the bubble detection unit, the generator for generating a microwave to irradiate with the fluid; A voltage measuring unit measuring a voltage difference between a first point and a second point around the fluid irradiated with the microwaves; And a processor configured to detect a bubble in the fluid by comparing the voltage difference between the first point and the second point.

한편, 상기 발생부는 상기 노즐을 향해 마이크로 웨이브를 조사할 수 있는 위치에 장착되는 것을 특징으로 할 수 있다.The generator may be mounted at a position capable of irradiating microwaves toward the nozzle.

이 때, 상기 기포 검출 유닛은 상기 노즐 둘레에 위치하는 제1블럭과 제2블럭을 포함하되, 상기 발생부는 상기 제1블럭 및/또는 상기 제2블럭에 구비되며, 상기 제1점은 상기 제1블럭에 위치하고, 상기 제2점은 상기 제2블럭에 위치하는 것을 특징으로 할 수 있다.In this case, the bubble detection unit includes a first block and a second block positioned around the nozzle, wherein the generation unit is provided in the first block and / or the second block, and the first point is the first block. Located in one block, the second point may be located in the second block.

또한, 상기 발생부는 상기 노즐의 외측 둘레면과 밀착되도록 구성되는 것을 특징으로 할 수 있다.In addition, the generating unit may be configured to be in close contact with the outer peripheral surface of the nozzle.

또는, 상기 제1블럭 및/또는 상기 제2블럭은 상기 노즐의 외측 둘레면과 밀착되도록 구성되는 것을 특징으로 할 수 있다. Alternatively, the first block and / or the second block may be configured to be in close contact with the outer circumferential surface of the nozzle.

그리고, 상기 발생부의 최하단부는 상기 노즐의 최하단부와 동일 평면 상에 있는 것을 특징으로 할 수 있다.In addition, the lowest end of the generation unit may be on the same plane as the lowest end of the nozzle.

한편, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 기포 검출 유닛은 상기 노즐을 삽입시킬 수 있는 삽입홀을 구비한 제3블럭을 포함하되, 상기 발생부는 상기 삽입홀 주변 일측에 위치하며, 상기 제1점 및 상기 제2점은 상기 삽입홀 주변에서 서로 대향하여 위치하는 것을 특징으로 할 수도 있다.On the other hand, according to another embodiment of the present invention, the bubble detection unit includes a third block having an insertion hole for inserting the nozzle, the generating unit is located on one side around the insertion hole, the first The point and the second point may be positioned to face each other around the insertion hole.

이 때, 상기 노즐의 외측 둘레면이 상기 삽입홀의 내측 둘레면과 밀착되도록 구성되는 것을 특징으로 할 수 있다.At this time, the outer peripheral surface of the nozzle may be characterized in that it is configured to be in close contact with the inner peripheral surface of the insertion hole.

또는, 상기 발생부가 상기 노즐의 외측 둘레면과 밀착되도록 구성되는 것을 특징으로 할 수 있다.Alternatively, the generator may be configured to be in close contact with the outer peripheral surface of the nozzle.

그리고, 상기 발생부의 최하단부는 상기 노즐의 최하단부와 동일 평면 상에 위치하는 것을 특징으로 할 수 있다.The lowest end of the generation unit may be positioned on the same plane as the lowest end of the nozzle.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 디스펜싱 헤드유닛은 유체를 담는 시린지와 상기 노즐을 연결하는 홀더를 더 포함하며, 상기 발생부는 상기 홀더를 향해 마이크로 웨이브를 조사할 수 있는 위치에 장착될 수도 있다.According to another embodiment of the invention, the dispensing head unit further comprises a holder for connecting the syringe containing the fluid and the nozzle, the generator is mounted in a position capable of irradiating the microwave toward the holder It may be.

이 때, 상기 기포 검출 유닛은 상기 홀더 둘레에 위치하는 제1블럭과 제2블럭을 포함하되, 상기 발생부는 상기 제1블럭 및/또는 상기 제2블럭에 구비되며, 상기 제1점은 상기 제1블럭에 위치하고, 상기 제2점은 상기 제2블럭에 위치하는 것을 특징으로 할 수 있다.In this case, the bubble detection unit includes a first block and a second block positioned around the holder, wherein the generation unit is provided in the first block and / or the second block, and the first point is the first block. Located in one block, the second point may be located in the second block.

또한, 상기 발생부는 상기 홀더의 외측 둘레면과 밀착되도록 구성되는 것을 특징으로 할 수 있다.In addition, the generating unit may be configured to be in close contact with the outer peripheral surface of the holder.

또는, 상기 제1블럭 및/또는 상기 제2블럭은 상기 홀더의 외측 둘레면과 밀착되도록 구성되는 것을 특징으로 할 수 있다.Alternatively, the first block and / or the second block may be configured to be in close contact with the outer circumferential surface of the holder.

그리고, 상기 제1블럭 및/또는 상기 제2블럭은 상기 홀더의 내경이 일정해지는 구간에 장착되는 것을 특징으로 할 수 있다.The first block and / or the second block may be mounted in a section in which the inner diameter of the holder is constant.

한편, 본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 기포 검출 유닛은 상기 홀더를 삽입시킬 수 있는 삽입홀을 구비한 제3블럭을 포함하되, 상기 발생부는 상기 삽입홀 주변 일측에 위치하며, 상기 제1점 및 상기 제2점은 상기 삽입홀 주변에서 서로 대향하여 위치하는 것을 특징으로 할 수도 있다.On the other hand, according to another embodiment of the present invention, the bubble detection unit includes a third block having an insertion hole for inserting the holder, the generation unit is located on one side around the insertion hole, One point and the second point may be positioned to face each other around the insertion hole.

이 때, 상기 홀더의 외측 둘레면이 상기 삽입홀의 내측 둘레면과 밀착되도록 구성되는 것을 특징으로 할 수도 있다.At this time, the outer peripheral surface of the holder may be characterized in that it is configured to be in close contact with the inner peripheral surface of the insertion hole.

또는 상기 발생부가 상기 홀더의 외측 둘레면과 밀착되도록 구성되는 것을 특징으로 할 수도 있다.Alternatively, the generator may be configured to be in close contact with the outer circumferential surface of the holder.

그리고, 상기 제3블럭은 상기 홀더의 내경이 일정해지는 구간에 장착되는 것을 특징으로 할 수 있다.The third block may be mounted in a section in which the inner diameter of the holder is constant.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 디스펜서는, 상기 기판과 상기 디스펜싱 헤드유닛 간의 상대적 위치를 변화시킬 수 있는 구동유닛과; 상기 구동유닛에 의해 변화되는 상기 기판과 상기 디스펜싱 헤드유닛 간의 상대적 위치를 제어하기 위하여 X축 및 Y축으로 규정되는 XY좌표계 상에서의 상기 기판과 상기 디스펜싱 헤드유닛의 상대적 좌표값을 계산하는 위치 계산부를 더 포함하며, 상기 위치 계산부는 상기 기판과 상기 디스펜싱 헤드유닛의 상대적 좌표 값 정보를 이용하여, 상기 기포 검출 유닛이 검출한 기포가 상기 기판 상에 도포된 위치를 계산하도록 구성될 수 있다.On the other hand, the dispenser according to an embodiment of the present invention, the drive unit for changing the relative position between the substrate and the dispensing head unit; A position for calculating a relative coordinate value of the substrate and the dispensing head unit on an XY coordinate system defined by X and Y axes to control the relative position between the substrate and the dispensing head unit changed by the drive unit The apparatus may further include a calculator, and the position calculator may be configured to calculate a position at which the bubble detected by the bubble detection unit is applied onto the substrate by using relative coordinate value information of the substrate and the dispensing head unit. .

이 때, 상기 기포 검출 유닛이 기포를 검출하면, 상기 구동유닛은 상기 위치 계산부가 계산한 상기 기포가 상기 기판 상에 도포된 위치로 상기 디스펜싱 헤드유닛을 이동시키며, 상기 디스펜싱 헤드유닛은 상기 기포가 검출된 시점에서의 좌표값에 해당하는 위치 주변에서 상기 기포의 크기에 해당하는 양의 유체를 보충하여 토출하도록 구성될 수 있다.At this time, when the bubble detection unit detects bubbles, the driving unit moves the dispensing head unit to a position where the bubbles calculated by the position calculating unit are applied onto the substrate, and the dispensing head unit is It may be configured to replenish and discharge the fluid of the amount corresponding to the size of the bubble around the position corresponding to the coordinate value when the bubble is detected.

이 때, 본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 디스펜싱 헤드유닛은 검사부를 더 포함하며, 상기 검사부는 상기 기포가 검출된 시점에서의 좌표값에 해당하는 위치 주변의 도포 상태를 검사하도록 구성될 수도 있다.At this time, according to another embodiment of the present invention, the dispensing head unit further comprises an inspection unit, wherein the inspection unit is configured to inspect the application state around the position corresponding to the coordinate value at the time when the bubble is detected. May be

한편, 본 발명의 실시예들에서 상기 유체는 액정일 수 있다. Meanwhile, in embodiments of the present invention, the fluid may be liquid crystal.

또는 본 발명의 실시예들에서 상기 유체는 기판 접착용 페이스트일 수도 있다.Alternatively, in the embodiments of the present invention, the fluid may be a substrate adhesive paste.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
Specific details of other embodiments are included in the detailed description and the drawings.

본 발명의 실시예에 따른 디스펜서는, 실런트 또는 액정과 같은 유체를 도포하는 공정에 있어서 기포의 유무를 실시간으로 검출할 수 있다. The dispenser according to the embodiment of the present invention can detect the presence or absence of bubbles in real time in the process of applying a fluid such as a sealant or a liquid crystal.

또한 본 발명의 실시예에 따른 디스펜서는, 실런트 또는 액정과 같은 유체를 도포하는 공정에 있어서 기포의 유무를 실시간으로 검출할 수 있을 뿐만 아니라, 기포의 크기를 정밀하게 측정하여 불량의 발생 뿐만 아니라 불량의 정도까지도 검출할 수 있다.In addition, the dispenser according to an embodiment of the present invention can not only detect the presence or absence of bubbles in real time in the process of applying a fluid such as a sealant or liquid crystal, but also accurately measure the size of the bubbles to not only cause defects but also defects. Can be detected up to.

더 나아가 본 발명의 실시예에 따른 디스펜서는, 기포의 유무를 실시간으로 검출할 뿐만 아니라, 기포가 기판 상에 도포된 정확한 위치를 알아 낼 수 있다.Furthermore, the dispenser according to the embodiment of the present invention can not only detect the presence or absence of bubbles in real time, but also find out the exact position where the bubbles are applied onto the substrate.

본 발명의 효과는 이상에서 언급한 것으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
The effects of the present invention are not limited to those mentioned above, and other effects that are not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 디스펜서에 있어서, 기포를 검출하는 원리를 설명한 개념도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스펜서의 개략적인 모습을 나타낸 도면이다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 실시예에 따른 디스펜서의 개략적인 모습을 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스펜서에 있어서, 기포 검출 유닛(200)의 예시적인 구성을 나타낸 구성도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스펜서에 있어서, 기포 검출 유닛(200)의 예시적 구조 중 하나를 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스펜서에 있어서, 기포 검출 유닛(200)과 노즐(110) 간의 위치 관계를 나타낸 도면이다.
도 7 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 디스펜서에 있어서, 기포 검출 유닛(200)의 또 다른 예시적 구조를 나타낸 도면이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 디스펜서에 있어서, 기포 검출 유닛(200)과 노즐(110)의 위치관계를 나타낸 도면이다.
도 9 및 도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 디스펜서에 있어서, 기포 검출 유닛(200)을 홀더(120) 주변에 장착하는 예시적 구성을 나타낸 도면이다.
도 11은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 디스펜서의 구성을 나타낸 구성도이다.
도 12는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 디스펜서의 구성을 나타낸 구성도이다.1 is a conceptual diagram illustrating a principle of detecting bubbles in a dispenser according to an embodiment of the present invention.
2 is a view showing a schematic view of a dispenser according to an embodiment of the present invention.
3A and 3B are schematic views of a dispenser according to an embodiment of the present invention.
4 is a block diagram showing an exemplary configuration of the bubble detection unit 200 in the dispenser according to an embodiment of the present invention.
5 is a view showing one of the exemplary structure of the bubble detection unit 200 in the dispenser according to an embodiment of the present invention.
6 is a view showing the positional relationship between the bubble detection unit 200 and the nozzle 110 in the dispenser according to an embodiment of the present invention.
7 is a view showing another exemplary structure of the bubble detection unit 200 in the dispenser according to another embodiment of the present invention.
8 is a view showing the positional relationship between the bubble detection unit 200 and the nozzle 110 in the dispenser according to another embodiment of the present invention.
9 and 10 are views illustrating an exemplary configuration in which the bubble detection unit 200 is mounted around the holder 120 in the dispenser according to another embodiment of the present invention.
11 is a block diagram showing the configuration of a dispenser according to another embodiment of the present invention.
12 is a block diagram showing the configuration of a dispenser according to another embodiment of the present invention.

본 발명의 목적 및 효과, 그리고 그것들을 달성하기 위한 기술적 구성들은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 본 발명을 설명함에 있어서 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 그리고 후술되는 용어들은 본 발명에서의 구조, 역할 및 기능 등을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. The objects and effects of the present invention and the technical configurations for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear. The terms to be described below are terms defined in consideration of structures, roles, and functions in the present invention, which may vary according to intentions or customs of users and operators.

그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있다. 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 오로지 특허청구범위에 기재된 청구항의 범주에 의하여 정의될 뿐이다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. The present embodiments are merely provided to complete the disclosure of the present invention and to completely inform the scope of the invention to those skilled in the art to which the present invention pertains, and the present invention is described only in the claims. It is only defined by the scope of the claims. Therefore, the definition should be based on the contents throughout this specification.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described embodiments of the present invention; Like reference numerals refer to like elements throughout.

한편, 본 발명의 실시예에 있어서, 각 구성요소들, 기능 블럭들 또는 수단들은 하나 또는 그 이상의 하부 구성요소로 구성될 수 있으며, 각 구성요소들이 수행하는 전기, 전자, 기계적 기능들은 전자 회로, 집적 회로, ASIC (Application Specific Integrated Circuit) 등 공지된 다양한 소자들 또는 기계적 요소들로 구현될 수 있으며, 각각 별개로 구현되거나 2 이상이 하나로 통합되어 구현될 수도 있다.On the other hand, in the embodiment of the present invention, each of the components, functional blocks or means may be composed of one or more sub-components, the electrical, electronic, mechanical functions performed by each component is an electronic circuit, It may be implemented by various known elements or mechanical elements such as an integrated circuit, an application specific integrated circuit (ASIC), each of which may be implemented separately, or two or more may be integrated into one.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 디스펜서(dispenser)는 반도체 제조 장비, 평판 디스플레이(display) 제조 장비 등을 포함한 다양한 정밀 작업용 기계들에 적용될 수 있다.
In addition, the dispenser according to the embodiment of the present invention may be applied to various precision working machines including semiconductor manufacturing equipment, flat panel display manufacturing equipment, and the like.

첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하면 다음과 같다.An embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 디스펜서에 있어서, 기포를 검출하는 원리를 설명한 개념도이다. 1 is a conceptual diagram illustrating a principle of detecting bubbles in a dispenser according to an embodiment of the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 유체가 통과하고 있는 노즐(N) 주변에 마이크로 웨이브 발생장치(M)가 위치하고 있다. 마이크로 웨이브 발생 장치(M)는 노즐(N) 내의 유체에 마이크로 웨이브를 조사하여 유체가 점유하고 있는 공간에 마이크로 웨이브를 채운다. 마이크로 웨이브 발생장치(M)에서 발생되는 마이크로 웨이브의 파장의 범위는 대략 1mm~1m로 할 수 있다. As shown in FIG. 1, the microwave generator M is positioned around the nozzle N through which the fluid passes. The microwave generating device M irradiates microwaves to the fluid in the nozzle N to fill the microwaves in the space occupied by the fluid. The wavelength range of the microwaves generated by the microwave generator M may be approximately 1 mm to 1 m.

일반적으로 마이크로 웨이브는 다음과 같은 성질을 가지고 있다. 첫째, 마이크로 웨이브는 유전체를 통과한다. 둘째, 마이크로 웨이브가 유전체를 통과하게 되면 통과하는 과정에서 유전체에 의해 마이크로 웨이브의 에너지 일부가 흡수된다. 즉, 마이크로 웨이브가 원래 가지고 있던 에너지가 감소되게 된다. 셋째로, 마이크로 웨이브는 유전율이 서로 다른 물질의 경계면에서 반사되는 특징을 가지고 있다. In general, microwaves have the following properties: First, microwaves pass through the dielectric. Second, when the microwave passes through the dielectric, a portion of the energy of the microwave is absorbed by the dielectric during the passage. In other words, the energy originally possessed by the microwaves is reduced. Third, microwaves are characterized by reflection at the interface of materials with different dielectric constants.

이와 같은 마이크로 웨이브의 성질 때문에, 마이크로 웨이브가 어떤 유전체를 통과하게 되면 에너지, 전압, 전력, 전기장 등과 같은 마이크로 웨이브가 가지고 있던 원래의 물리량이 변화되게 되다. Because of the nature of microwaves, when a microwave passes through a dielectric, the original physical quantities of microwaves such as energy, voltage, power, and electric field are changed.

유전율은 물질의 고유한 값으로서 공기와 공기가 아닌 유체의 유전율은 서로 다르다(공기의 유전율=1.0, 유체의 유전율=μ). 따라서, 유체를 통과할 때의 마이크로 웨이브의 물리량의 변화와 공기를 통과할 때의 마이크로 웨이브의 물리량의 변화는 달라지게 된다. 즉, 도 1의 상단 그림과 같이 유체 내에 기포가 존재하지 않고 마이크로 웨이브가 조사되는 공간이 오로지 유체로만 채워져 있는 경우와, 도 1의 하단 그림과 같이 마이크로 웨이브가 조사되는 공간에 기포가 섞여 있는 경우에서의 마이크로 웨이브의 물리량 변화는 달라지게 된다. The permittivity is an intrinsic value of a material, and the permittivity of air and non-air fluid is different (the permittivity of air = 1.0, the permittivity of fluid = μ). Therefore, the change in the physical quantity of the microwave when passing through the fluid and the change in the physical quantity of the microwave when passing through the air are different. That is, when bubbles are not present in the fluid as shown in the upper figure of FIG. 1 and the space where the microwave is irradiated is filled only with the fluid, and when the bubbles are mixed in the space where the microwave is irradiated as shown in the lower figure of FIG. The change in the physical quantity of the microwave at is different.

이와 같은 마이크로 웨이브의 특성을 이용하면, 유체 내에 섞여 있는 기포를 검출할 수 있게 된다. 더 나아가, 기포의 존재 유무를 알 수 있을 뿐만 아니라, 기포의 크기 또한 알 수 있다. 즉, 기포 크기의 크고 작음에 따라 유체를 통과하면서 변화되는 마이크로 웨이브의 물리량도 달라지기 때문에 유체를 통과한 마이크로 웨이브의 물리량의 변화량을 측정하면 기포의 크기도 계산해 낼 수 있다. By using such microwave characteristics, it is possible to detect bubbles mixed in the fluid. Furthermore, not only the presence or absence of bubbles can be known, but also the size of the bubbles can be known. That is, since the physical quantity of the microwaves that change while passing through the fluid also varies according to the size of the bubbles, the size of the bubbles can be calculated by measuring the amount of change of the physical quantity of the microwaves passing through the fluid.

마이크로 웨이브의 물리량의 변화는 여러가지 다양한 방법으로 측정할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 마이크로 웨이브가 채워진 공간의 전압차를 측정하는 방법을 사용할 수 있다. The change in the physical quantity of the microwave can be measured in various ways. According to one embodiment of the present invention, a method of measuring the voltage difference of a space filled with microwaves may be used.

도 1을 참조하면, 마이크로 웨이브가 조사된 유체 주변의 제1점(P1)과 제2점(P2) 간의 전압 차를 측정하여 기포 발생 여부 및 기포의 크기를 측정할 수 있다. 제1점(P1)과 제2점(P2)은 노즐(N)의 외측 표면 상의 점으로 할 수 있다. 유체 내부의 임의의 점의 전압을 측정하는 것은 곤란하기 때문에 유체 외부의 임의의 점을 선택하여 전압 차를 측정하게 되는데, 되도록 유체와 가장 가까운 점으로 선택되어야 제1점(P1)과 제2점(P2) 사이에 다른 물질이 개재될 공간을 최소화하여 측정이 정확하고 정밀하게 이루어질 수 있기 때문이다. Referring to FIG. 1, whether a bubble is generated and the size of a bubble may be measured by measuring a voltage difference between a first point P1 and a second point P2 around a fluid irradiated with microwaves. The first point P1 and the second point P2 can be points on the outer surface of the nozzle N. Since it is difficult to measure the voltage at any point inside the fluid, the voltage difference is measured by selecting any point outside the fluid, but the first point P1 and the second point should be selected as the point closest to the fluid. This is because the measurement can be made accurately and precisely by minimizing the space where other materials will be interposed between (P2).

제1점(P1)과 제2점(P2)의 전압을 각각 V_P1, V_P2 라고 하면, 제1점(P1)과 제2점(P2) 간의 전위차는 아래의 수식과 같이 표현될 수 있다.When the voltages of the first point P1 and the second point P2 are V _P1 and V _P2 , respectively, the potential difference between the first point P1 and the second point P2 may be expressed by the following equation. .

여기서, E는 전기장을 의미하며, ds는 변위를 의미한다.Here, E means electric field, and ds means displacement.

한편, 마이크로 웨이브의 전달 속도는 아래와 같은 수식으로 표현되는데, On the other hand, the transmission speed of the microwave is expressed by the following formula,

여기서, ε은 유체의 유전율 상수이고, C는 유체 내에서의 마이크로 웨이브의 전달 속도이다. 그리고 C₀는 빛의 속도이다. 여기서 마이크로 웨이브의 전달 속도를 알아내면, 일 단면에서의 유체의 두께를 알 수 있고 적분을 통하여 유체의 체적을 구할 수 있게 된다. 이를 통하여 유체의 체적 및 기포의 크기를 구할 수 있게 된다.
Where ε is the permittivity constant of the fluid and C is the rate of delivery of microwaves in the fluid. And C ₀ is the speed of light. In this case, if the transmission speed of the microwave is known, the thickness of the fluid in one cross section can be known and the volume of the fluid can be obtained through integration. Through this, the volume of the fluid and the size of the bubble can be obtained.

도 2와 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스펜서의 개략적인 모습을 나타낸 도면이다. 2 and 3 is a view showing a schematic view of the dispenser according to an embodiment of the present invention.

도 2 및 도 3a와 도3b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 디스펜서는 디스펜싱 헤드유닛(dispensing-head-unit)(100)과 기포 검출 유닛(200)을 포함하여 구성된다. 디스펜싱 헤드유닛(100)은 노즐(nozzle)(110)을 구비할 수 있는데, 노즐(110)을 통하여 유체(L)가 기판(300) 상에 토출된다. 2 and 3A and 3B, a dispenser according to an embodiment of the present invention includes a dispensing head unit 100 and a bubble detection unit 200. The dispensing head unit 100 may include a nozzle 110, and the fluid L is discharged onto the substrate 300 through the nozzle 110.

그리고 프레임(frame)(400)과 디스펜싱 헤드유닛 지지프레임(500)과 스테이지(stage)(600)를 포함할 수 있다. And it may include a frame (400), the dispensing head unit support frame 500 and the stage (stage) 600.

한편, 디스펜싱 헤드유닛(100)은 필요에 따라 유체(L)를 담고 있는 시린지(syringe)(130) 및 상기 시린지(130)와 노즐(110)을 연결하는 홀더(120)을 더 구비할 수 있다. 도 3a에서는 디스펜싱 헤드유닛(100)이 노즐(110), 홀더(120), 시린지(130)를 구비하고 있는 예를 도시하고 있다. 이러한 구성은 일반적으로 기판 접착용 페이스트를 디스펜싱하기 위한 구성에 해당한다. Meanwhile, the dispensing head unit 100 may further include a syringe 130 containing the fluid L and a holder 120 connecting the syringe 130 and the nozzle 110 as necessary. have. 3A illustrates an example in which the dispensing head unit 100 includes a nozzle 110, a holder 120, and a syringe 130. Such a configuration generally corresponds to a configuration for dispensing a paste for bonding a substrate.

하지만, 본 발명은 여기에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 시린지(130)가 아닌 별도의 유체 저장용기로부터 직접 유체(L)를 공급받아 바로 노즐(110)을 통해 기판(300) 상에 유체(L)를 토출하는 구성도 가능함은 물론이다. 또한, 설계의 변경에 따라 홀더(120)에 의한 연결이 아닌 노즐(110)과 시린지(130)의 직접 연결 방식의 구성도 가능하다.However, the present invention is not limited thereto. For example, it is also possible to receive the fluid (L) directly from a separate fluid storage container rather than the syringe 130 to directly discharge the fluid (L) on the substrate 300 through the nozzle 110, of course. . In addition, according to the design change, the configuration of the direct connection method of the nozzle 110 and the syringe 130, instead of the connection by the holder 120 is possible.

또한, 유체가 액정일 경우에는 도 3b와 같은 모습으로 구성될 수도 있다. In addition, when the fluid is a liquid crystal it may be configured as shown in Figure 3b.

도 3b에 의하면 디스펜싱 헤드유닛(110)은 노즐(110), 액정병(140), 및 펌프모듈(150)을 포함하여 구성될 수도 있다. 액정병(140)에 담긴 액정은 펌프모듈(150)에 의하여 노즐(110)을 통해 적하된다.According to FIG. 3B, the dispensing head unit 110 may include a nozzle 110, a liquid crystal bottle 140, and a pump module 150. The liquid crystal contained in the liquid crystal bottle 140 is dropped through the nozzle 110 by the pump module 150.

하지만, 본 발명은 여기에 한정되는 것은 아니며, 이외에도 노즐(110)에 잉크젯 분사헤드를 부착하여 잉크젯 분사방식으로 액정을 분사하도록 디스펜싱 헤드유닛(110)이 구성될 수도 있으며, 액정병(140)을 사용하지 않고 액정 탱크로부터 노즐(110)로 액정이 직접 공급되도록 구성될 수도 있음은 물론이다.
However, the present invention is not limited thereto. In addition, the dispensing head unit 110 may be configured to attach the inkjet jet head to the nozzle 110 to jet the liquid crystal by the ink jet jet method, and the liquid crystal bottle 140. Of course, the liquid crystal may be configured to be directly supplied to the nozzle 110 from the liquid crystal tank without using.

한편, 기포 검출 유닛(200)은 디스펜싱 헤드유닛(100) 내의 유체(L)에 마이크로 웨이브를 조사하여 마이크로 웨이브가 유체(L)를 통과하면서 변화되는 물리량에 따라 유체(L) 내에 있는 기포를 검출할 수 있다. 검출하는 원리 및 그에 따른 예시적인 검출 방식은 이미 앞에서 설명한 바와 같다. On the other hand, the bubble detection unit 200 irradiates the fluid L in the dispensing head unit 100 with a microwave to detect bubbles in the fluid L according to the physical quantity that changes as the microwave passes through the fluid L. Can be detected. The principle of detection and the exemplary detection scheme accordingly have already been described above.

한편, 도 3에서 예시적으로 나타낸 것처럼 기포 검출 유닛(200)은 디스펜싱 헤드유닛(100)의 노즐(110) 부근에 장착될 수 있다. 이 경우, 유체(L)가 기판(300) 상으로 토출되기 직전의 구간에서 기포를 검출하게 되는 것이므로 보다 정확한 검출 결과를 얻을 수 있다. Meanwhile, as illustrated in FIG. 3, the bubble detection unit 200 may be mounted near the nozzle 110 of the dispensing head unit 100. In this case, since the bubble L is detected in a section immediately before the fluid L is discharged onto the substrate 300, a more accurate detection result can be obtained.

이하에서는, 기포 검출 유닛(200)의 좀 더 구체적인 구성을 자세히 설명하도록 한다.Hereinafter, a more specific configuration of the bubble detection unit 200 will be described in detail.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스펜서에 있어서, 기포 검출 유닛(200)의 예시적인 구성을 나타낸 구성도이다. 도 4에서는 마이크로 웨이브를 이용한 기포 검출 방식 중 앞서 예시적으로 설명한 유체 주변의 임의의 두 점에서의 전위차를 이용하여 기포를 검출하는 방식을 적용할 경우의 기포 검출 유닛(200)의 구성을 나타내고 있다.4 is a block diagram showing an exemplary configuration of the bubble detection unit 200 in the dispenser according to an embodiment of the present invention. FIG. 4 shows the structure of the bubble detection unit 200 in the case of applying the bubble detection method using the potential difference at any two points around the fluid as described above by way of the bubble detection method using microwaves. .

도 4를 참조하면, 기포 검출 유닛(200)은 마이크로 웨이브를 발생시켜 유체(L)로 조사하는 발생부(210)와, 마이크로 웨이브가 조사된 유체(L) 주변의 제1점(P1) 및 제2점(P2)의 전압차를 측정하는 전압 측정부(220)와, 제1점(P1) 및 제2점(P2)의 전압차를 비교하여 유체(L) 내의 기포를 검출하는 처리부(230)를 포함하여 구성될 수 있다. Referring to FIG. 4, the bubble detection unit 200 generates a microwave and generates a microwave 210 to irradiate the fluid L, a first point P1 around the fluid L irradiated with microwaves, and A processor measuring the voltage difference between the second point P2 and the voltage measuring unit 220 and a voltage difference between the first point P1 and the second point P2 to detect bubbles in the fluid L ( 230).

이 때 발생부(210)는 노즐(110)을 향해 마이크로 웨이브를 조사할 수 있는 위치에 장착될 수 있다. 노즐(110)을 향해 마이크로 웨이브를 조사하는 것은 앞서 설명한 바와 같이 기판(300)에 토출되기 직전의 유체에서 기포를 검출하기 위함이다. In this case, the generator 210 may be mounted at a position capable of irradiating microwaves toward the nozzle 110. Irradiating the microwave toward the nozzle 110 is to detect the bubble in the fluid immediately before being discharged to the substrate 300 as described above.

또한, 발생부(210)는 노즐(110)의 외측 둘레면과 밀착되도록 구성될 수 있다. 이는 마이크로 웨이브가 발생되는 공간 내에 유체 외의 물질이 개재되는 것을 최소화하여 기포 검출의 정확성과 정밀성을 높이기 위함이다. In addition, the generating unit 210 may be configured to be in close contact with the outer peripheral surface of the nozzle (110). This is to increase the accuracy and precision of bubble detection by minimizing the inclusion of substances other than the fluid in the space where the microwave is generated.

한편, 전압 측정부(220)는 유체 주변의 제1점(P1)과 제2점(P2)의 전압차를 측정하는데, 제1점(P1)과 제2점(P2)은 노즐(110)의 외측 둘레면 상의 서로 대향하는 점일 수 있다. 이는 앞서 설명한 것과 마찬가지로, 전압차를 측정하는 두 지점 사이에 유체 외의 물질이 개재되는 것을 최소화하여 기포 검출의 정확성과 정밀성을 높이기 위함이다.Meanwhile, the voltage measuring unit 220 measures the voltage difference between the first point P1 and the second point P2 around the fluid, and the first point P1 and the second point P2 are the nozzles 110. Points on the outer circumferential surface of the surface opposite each other. As described above, this is to increase the accuracy and precision of bubble detection by minimizing the inclusion of non-fluid material between two points for measuring the voltage difference.

이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 디스펜서에 있어서, 기포 검출 유닛(200)의 구조를 좀 더 상세하게 설명하도록 한다.Hereinafter, in the dispenser according to an embodiment of the present invention, the structure of the bubble detection unit 200 will be described in more detail.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스펜서에 있어서, 기포 검출 유닛(200)의 예시적 구조 중 하나를 도시한 도면이다. 5 is a view showing one of the exemplary structure of the bubble detection unit 200 in the dispenser according to an embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 기포 검출 유닛(200)은 제1블럭(250)과 제2블럭(260)을 포함하며, 제1블럭(250)과 제2블럭(260) 사이로 노즐(110)이 개재되어 설치될 수 있다. 기포 검출 유닛(200)이 이러한 구조로 인하여, 기포 검출 유닛(200)을 구비하지 않는 종래의 디스펜서에 기포 검출 유닛(200)을 추가로 장착하는 것이 용이할 수 있다. 즉, 종래의 디스펜서의 노즐(110)이 기포 검출 유닛(200)의 제1블럭(250)과 제2블럭(260) 사이에 형성되는 공간으로 끼워져 들어갈 수 있도록 장착하면 되기 때문이다. Referring to FIG. 5, the bubble detection unit 200 includes a first block 250 and a second block 260, and a nozzle 110 is interposed between the first block 250 and the second block 260. Can be installed. Due to this structure, the bubble detection unit 200 may be easily attached to the bubble detection unit 200 in a conventional dispenser that does not include the bubble detection unit 200. That is, the nozzle 110 of the conventional dispenser may be mounted so as to fit into a space formed between the first block 250 and the second block 260 of the bubble detection unit 200.

도 5에서는 기포 검출 유닛(200)의 제1블럭(250)과 제2블럭(260)이 형성되어 있는 구조가 “ㄷ”자 형태로 된 것을 예시적으로 나타내었으나, 본 발명은 여기에 한정되는 것은 아니며 기존에 설치되어 있는 디스펜서에 기포 검출 유닛(200)을 용이하게 추가 설치할 수 있는 여러 다른 구조로 다양하게 변형 적용될 수 있음은 물론이다. In FIG. 5, the structure in which the first block 250 and the second block 260 of the bubble detection unit 200 are formed is exemplarily shown as “c”, but the present invention is limited thereto. Of course, it can be variously applied to a variety of other structures that can be easily installed to the bubble detection unit 200 to the existing installed dispenser.

예를 들어, 제1블럭(250)과 제2블럭(260)이 노즐(110) 둘레에 위치하되 “ㄷ”자가 아닌 제1블럭(250)과 제2블럭(260)이 서로 별개의 개체로 분리된 상태로 각각 노즐(110)에 장착될 수도 있다. 또는, 스프링을 이용하여 제1블럭(250)과 제2블럭(260)이 하나의 집게를 형성하도록 하여 노즐(110)에 장착되게 할 수도 있다.For example, the first block 250 and the second block 260 are positioned around the nozzle 110, but the first block 250 and the second block 260, which are not the letter “c”, are separated from each other. The nozzles 110 may be mounted to the nozzles 110 in a separated state. Alternatively, the first block 250 and the second block 260 may be mounted on the nozzle 110 by forming a pair of tongs using a spring.

한편, 앞서 설명한 발생부(210)는 제1블럭(250) 또는 제2블럭(260) 중 어느 한 쪽에 구비되거나 양 쪽 모두에 구비될 수 있으며, 전압 측정부(220)가 전압을 측정하는 제1점(P1) 및 제2점(P2)이 제1블럭(250)과 제2블럭(260)에 각각 위치할 수 있다. On the other hand, the generator 210 described above may be provided on either one of the first block 250 or the second block 260, or both may be provided, the voltage measuring unit 220 measures the voltage One point P1 and a second point P2 may be located in the first block 250 and the second block 260, respectively.

그리고 제1블럭(250) 및/또는 제2블럭(260)은 노즐(110)의 외측 둘레면과 밀착되도록 구성될 수 있으며, 또한, 제1점(P1) 및/또는 제2점(P2)이 노즐(110)의 외측 둘레면에 위치하도록 할 수 있는데, 이는 기포 검출의 정확성과 정밀성을 높이기 위함이라는 것은 앞서 설명한 바와 같다. In addition, the first block 250 and / or the second block 260 may be configured to be in close contact with the outer circumferential surface of the nozzle 110, and also, the first point P1 and / or the second point P2. The nozzle 110 may be located on the outer circumferential surface of the nozzle 110, which is to improve the accuracy and precision of bubble detection, as described above.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스펜서에 있어서, 기포 검출 유닛(200)과 노즐(110) 간의 위치 관계를 나타낸 도면이다. 6 is a view showing the positional relationship between the bubble detection unit 200 and the nozzle 110 in the dispenser according to an embodiment of the present invention.

기포 검출 유닛(200)은 토출 직전의 유체(L) 내의 기포를 검출하기 위하여 노즐(110)에 장착될 수 있는데, 이러한 목적을 최대한으로 달성하기 위하여 기포 검출 유닛(200)의 최하단부는 노즐(110)의 최하단부와 동일 평면 상에 있도록 구성될 수 있다. 도 6을 참조하면, 기포 검출 유닛(200)의 최하단부가 노즐(110)의 최하단부와 동일 평면 상에 있도록 위치되어 있는 것을 알 수 있다. The bubble detection unit 200 may be mounted to the nozzle 110 in order to detect bubbles in the fluid L immediately before the discharge. In order to achieve this object to the maximum, the lowest end of the bubble detection unit 200 may be mounted at the nozzle 110. It may be configured to be on the same plane as the bottom end of the). Referring to FIG. 6, it can be seen that the lowest end of the bubble detection unit 200 is located on the same plane as the lowest end of the nozzle 110.

더 나아가, 더욱 바람직하게는 기포 검출 유닛(200) 내 발생부(210)의 최하단부가 노즐(110)의 최하단부와 동일 평면 상에 있도록 구성할 수도 있다.
Furthermore, more preferably, the lowest end of the generator 210 in the bubble detection unit 200 may be configured to be coplanar with the lowest end of the nozzle 110.

이하에서는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 디스펜서에 있어서, 기포 검출 유닛(200)의 또 다른 예시적 구조를 설명하도록 한다.Hereinafter, another exemplary structure of the bubble detection unit 200 in the dispenser according to another embodiment of the present invention will be described.

도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 디스펜서에 있어서, 기포 검출 유닛(200)의 예시적 구조를 나타낸 도면이며, 도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 디스펜서에 있어서, 기포 검출 유닛(200)과 노즐(110)의 위치관계를 예시적으로 나타낸 도면이다. 7 is a view showing an exemplary structure of the bubble detection unit 200 in the dispenser according to another embodiment of the present invention, Figure 8 is a bubble detection unit in the dispenser according to another embodiment of the present invention A diagram showing a positional relationship between the 200 and the nozzle 110 by way of example.

도 7 및 도 8을 참조하면, 기포 검출 유닛(200)은 노즐(110)을 삽입시킬 수 있는 삽입홀(240)을 구비한 제3블럭(270)을 포함한다. 이 때, 삽입홀(240)의 내측 둘레면은 노즐(110)의 외측 둘레면과 밀착되도록 구성될 수 있다. 이는 앞서 설명한 바와 마찬가지로 마이크로 웨이브가 조사되는 유체(L)와 기포 검출 유닛(200) 간에 다른 물질이 개재되는 것을 최소화하기 위함이다. 7 and 8, the bubble detection unit 200 includes a third block 270 having an insertion hole 240 through which the nozzle 110 can be inserted. In this case, the inner circumferential surface of the insertion hole 240 may be configured to be in close contact with the outer circumferential surface of the nozzle 110. This is to minimize the inclusion of other substances between the fluid L to which the microwave is irradiated and the bubble detection unit 200 as described above.

삽입홀(240) 주변에는 마이크로 웨이브를 발생시키는 발생부(210)가 위치할 수 있다. 발생부(210)는 앞에서와 마찬가지로 노즐(110)의 외측 둘레면과 밀착되도록 구성될 수 있다. 한편, 전압을 측정하기 위한 제1점(P1) 및 제2점(P2)은 삽입홀(240) 주변에서 서로 대향하여 위치할 수 있고, 더욱 바람직하게는 노즐(110)의 외측 둘레면과 밀착되는 면 상에 위치할 수 있다.The generator 210 for generating a microwave may be positioned around the insertion hole 240. The generator 210 may be configured to be in close contact with the outer circumferential surface of the nozzle 110 as before. On the other hand, the first point (P1) and the second point (P2) for measuring the voltage may be located facing each other around the insertion hole 240, more preferably in close contact with the outer peripheral surface of the nozzle 110 It may be located on the surface.

또한, 도 6에서 나타난 것과 마찬가지로 기포 검출 유닛(200)의 최하단부, 즉, 노즐(110)이 삽입되어 있는 삽입홀(240)의 최하단부는 노즐(110)의 최하단부와 동일 평면 상에 위치할 수 있다. 이를 통해 기판(300)에 토출되기 직전의 유체(L) 내의 기포를 검출할 수 있게 된다.
In addition, as shown in FIG. 6, the lowest end of the bubble detection unit 200, that is, the lowest end of the insertion hole 240 into which the nozzle 110 is inserted, may be located on the same plane as the lowest end of the nozzle 110. . Through this, bubbles in the fluid L immediately before being discharged to the substrate 300 can be detected.

지금까지는 기판(300)에 토출되기 직전의 유체(L) 내의 기포를 검출하기 위하여, 기포 검출 유닛(200)이 디스펜싱 헤드유닛(100)의 노즐(110)에 장착되는 구성을 위주로 설명하였다. 하지만, 기포 검출 유닛(200)을 노즐(110)에 장착하는 것이 곤란한 경우가 발생할 수 있다. 일반적으로 마이크로 웨이브를 이용한 기포 검출 유닛(200)은 최소한 10~11mm 정도의 마이크로 웨이브를 조사할 수 있는 구간을 요구하는데, 디스펜서 중 기판 상에 페이스트를 도포하는 페이스트 디스펜서의 경우 노즐(110)의 길이가 10mm가 되지 않는 것들이 존재한다. 따라서, 이러한 경우 노즐(110) 주위에 기포 검출 유닛(200)을 위치시키는 것이 적절하지 않게 된다. In the past, the bubble detection unit 200 is mounted on the nozzle 110 of the dispensing head unit 100 in order to detect bubbles in the fluid L immediately before being discharged to the substrate 300. However, it may be difficult to mount the bubble detection unit 200 to the nozzle 110. In general, the bubble detection unit 200 using a microwave requires a section capable of irradiating microwaves of at least about 10 to 11 mm, the length of the nozzle 110 in the case of the paste dispenser to apply the paste on the substrate of the dispenser There are things that are not less than 10mm. Therefore, in this case, it is not appropriate to position the bubble detection unit 200 around the nozzle 110.

따라서, 이 경우에는 노즐(110)이 아니라 홀더(120) 주변에 기포 검출 유닛(200)을 장착하는 것이 바람직할 수 있다. 이하에서는, 홀더(120) 주변에 기포 검출 유닛(200)을 장착하는 예시적 구성을 자세히 설명하기로 한다.Therefore, in this case, it may be desirable to mount the bubble detection unit 200 around the holder 120 instead of the nozzle 110. Hereinafter, an exemplary configuration for mounting the bubble detection unit 200 around the holder 120 will be described in detail.

도 9 및 도 10은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 디스펜서에 있어서, 기포 검출 유닛(200)을 홀더(120) 주변에 장착하는 구성을 예시적으로 나타낸 도면이다. 9 and 10 are views exemplarily illustrating a configuration in which the bubble detection unit 200 is mounted around the holder 120 in the dispenser according to another embodiment of the present invention.

도 9를 참조하면, 기포 검출 유닛(200)의 제1블럭(250)과 제2블럭(260)이 “ㄷ”자 형태로 구성되며, 제1블럭(250)과 제2블럭(260)이 홀더(120)를 그 사이에 두고 장착될 수 있다. 마이크로 웨이브를 발생하는 기포 검출 유닛(200)의 발생부(210)는 홀더(120)를 향해 마이크로 웨이브를 조사할 수 있는 위치에 장착될 수 있다. Referring to FIG. 9, the first block 250 and the second block 260 of the bubble detection unit 200 are configured in a “c” shape, and the first block 250 and the second block 260 The holder 120 may be mounted therebetween. The generator 210 of the bubble detection unit 200 for generating a microwave may be mounted at a position capable of irradiating the microwave toward the holder 120.

또한, 앞선 실시예에서의 경우와 마찬가지로, 발생부(210)는 제1블럭(250) 또는 제2블럭(260) 중 어느 한 쪽에 구비되거나 양 쪽 모두에 구비될 수 있으며, 전압 측정부(220)가 전압을 측정하는 제1점(P1) 및 제2점(P2)이 제1블럭(250)과 제2블럭(260)에 각각 위치할 수 있다. In addition, as in the case of the previous embodiment, the generator 210 may be provided on either or both of the first block 250 or the second block 260, the voltage measuring unit 220 The first point P1 and the second point P2 for measuring the voltage may be located at the first block 250 and the second block 260, respectively.

그리고 제1블럭(250) 및/또는 제2블럭(260)은 홀더(120)의 외측 둘레면과 밀착되도록 구성할 수 있을 뿐 아니라, 제1점(P1) 및/또는 제2점(P2)이 홀더(120)의 외측 둘레면에 위치하도록 할 수 있는데, 이는 기포 검출의 정확성과 정밀성을 높이기 위함이라는 것은 앞서 설명한 바와 같다. The first block 250 and / or the second block 260 may not only be configured to be in close contact with the outer circumferential surface of the holder 120, but also the first point P1 and / or the second point P2. The holder 120 may be located on the outer circumferential surface thereof, as described above, in order to increase the accuracy and precision of bubble detection.

한편, 제1블럭(250) 및/또는 제2블럭(260)은 홀더(120)의 내경이 일정해지는 구간(d)에 장착될 수 있다. 이는 기포 검출의 정확성과 정밀성을 높이기 위한 것이다. Meanwhile, the first block 250 and / or the second block 260 may be mounted in a section d in which the inner diameter of the holder 120 is constant. This is to increase the accuracy and precision of bubble detection.

본 발명의 또 다른 실시예로서, 도 10에 나타난 바와 같이, 기포 검출 유닛(200)이 홀더(120)를 삽입시킬 수 있는 삽입홀(240)을 구비한 제3블럭(270)을 포함하여 구성될 수도 있다. 이 경우에도 삽입홀(240)은 홀더(120)의 내경이 일정해지는 구간(d)에 위치하도록 구성할 수 있다. As another embodiment of the present invention, as shown in FIG. 10, the bubble detection unit 200 includes a third block 270 having an insertion hole 240 into which the holder 120 can be inserted. May be Even in this case, the insertion hole 240 may be configured to be positioned in a section d in which the inner diameter of the holder 120 is constant.

이 때, 삽입홀(240)의 내측 둘레면은 홀더(120)의 외측 둘레면과 밀착되도록 구성될 수 있다. 이는 앞서 설명한 바와 마찬가지로 마이크로 웨이브가 조사되는 유체(L)와 기포 검출 유닛(200) 간에 다른 물질이 개재되는 것을 최소화하기 위함이다. In this case, the inner circumferential surface of the insertion hole 240 may be configured to be in close contact with the outer circumferential surface of the holder 120. This is to minimize the inclusion of other substances between the fluid L to which the microwave is irradiated and the bubble detection unit 200 as described above.

삽입홀(240) 주변에는 마이크로 웨이브를 발생시키는 발생부(210)가 위치할 수 있다. 발생부(210)는 앞에서와 마찬가지로 홀더(120)의 외측 둘레면과 밀착되도록 구성될 수 있다. 한편, 전압을 측정하기 위한 제1점(P1) 및 제2점(P2)은 삽입홀(240) 주변에서 서로 대향하여 위치할 수 있고, 더욱 바람직하게는 홀더(120)의 외측 둘레면과 밀착되는 면 상에 위치할 수 있다.
The generator 210 for generating a microwave may be positioned around the insertion hole 240. The generator 210 may be configured to be in close contact with the outer circumferential surface of the holder 120 as before. On the other hand, the first point (P1) and the second point (P2) for measuring the voltage may be located facing each other around the insertion hole 240, more preferably in close contact with the outer peripheral surface of the holder 120 It may be located on the surface.

이하에서는, 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 디스펜서에 있어서, 기포 검출 유닛(200)이 기포를 검출할 때 디스펜서의 동작을 제어하는 예시적 구성에 대하여 설명하도록 한다. Hereinafter, in the dispenser according to another embodiment of the present invention, an exemplary configuration for controlling the operation of the dispenser when the bubble detection unit 200 detects bubbles will be described.

도 11은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 디스펜서의 구성을 나타낸 구성도이다. 11 is a block diagram showing the configuration of a dispenser according to another embodiment of the present invention.

도 11을 참조하면, 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 디스펜서는, 디스펜싱 헤드유닛(100) 및 기포 검출 유닛(200)에 추가하여, 구동유닛(700)과 위치계산부(800)를 더 포함할 수 있다. Referring to FIG. 11, in addition to the dispensing head unit 100 and the bubble detection unit 200, the dispenser according to another embodiment of the present invention may include the driving unit 700 and the position calculating unit 800. It may further include.

구동유닛(700)은 스테이지(600)을 움직이거나 디스펜싱 헤드유닛 지지프레임(500)을 움직여서, 기판(300)과 디스펜싱 헤드유닛(100) 간의 상대적 위치를 변화시킬 수 있다. The driving unit 700 may change the relative position between the substrate 300 and the dispensing head unit 100 by moving the stage 600 or by moving the dispensing head unit support frame 500.

그리고 위치 계산부(800)는 구동유닛(700)에 의하여 변화되는 기판(300)과 디스펜싱 헤드유닛(100) 간의 상대적 위치를 제어하기 위하여, X축 및 Y축으로 규정되는 XY좌표계 상에서의 기판(300)과 디스펜싱 헤드유닛(100)의 상대적 좌표값을 계산한다.
In addition, the position calculator 800 controls the relative position between the substrate 300 and the dispensing head unit 100 changed by the driving unit 700, and the substrate on the XY coordinate system defined by the X and Y axes. The relative coordinate values of the 300 and the dispensing head unit 100 are calculated.

위치 계산부(800)는 구동유닛(700)에 의하여 변화되는 기판(300)과 디스펜싱 헤드유닛(100) 간의 상대적 위치를 나타내는 좌표값을 실시간으로 계산하고 저장할 수 있다. 예를 들어, 기포 검출 유닛(200)이 기포를 검출했을 경우, 위치 계산부(800)는 바로 그 검출 시점에서의 기판(300)과 디스펜싱 헤드유닛(100) 간의 상대적 좌표값을 제공할 수 있는데, 이를 이용하여 기포가 섞여 있는 유체(L)가 도포된 기판(300) 상의 지점으로 디스펜싱 헤드유닛(100)을 이동시킬 수 있다. The position calculator 800 may calculate and store a coordinate value indicating a relative position between the substrate 300 and the dispensing head unit 100 changed by the driving unit 700 in real time. For example, when the bubble detection unit 200 detects bubbles, the position calculator 800 may provide a relative coordinate value between the substrate 300 and the dispensing head unit 100 at the time of the detection. In this case, the dispensing head unit 100 may be moved to a point on the substrate 300 on which the bubbles L are mixed.

그런데, 일반적으로는 노즐(110) 밖으로 토출된 유체(L)가 기판(300)에 안착되어 도포되기까지는 일정한 시간이 걸리게 되는데, 이 때문에 실제 기포 검출 유닛(200)이 기포를 검출한 시간에서의 좌표값과 실제 그 기포가 기판(300) 상에 도포된 위치의 좌표값 사이에는 일정한 오차가 생길 수 있다. 하지만, 이러한 오차값은 노즐(110) 밖으로 토출된 유체(L)가 기판(300)에 안착되어 도포되기까지 시간을 측정하는 사전 실험을 통해 얻어낼 수 있다. 이렇게 얻어낸 오차값을 이용하여 좌표값을 보정하게 되면, 실제 기포가 기판(300) 상에 도포된 위치의 좌표값을 얻어 낼 수 있게 된다. However, in general, it takes a certain time for the fluid L discharged outside the nozzle 110 to be seated on the substrate 300 and applied, which is why the actual bubble detection unit 200 detects bubbles. A constant error may occur between the coordinate value and the coordinate value of the position where the bubble is actually applied on the substrate 300. However, this error value can be obtained through a preliminary experiment that measures the time until the fluid (L) discharged out of the nozzle 110 is seated on the substrate 300 and applied. When the coordinate value is corrected using the error value thus obtained, the coordinate value of the position where the actual bubble is applied onto the substrate 300 can be obtained.

한편, 기포 검출 유닛(200)은 앞서 설명한 바와 같이 기포의 존재 유무를 검출할 수 있을 뿐만 아니라, 기포의 크기도 계산해낼 수 있다. 따라서, 기포의 크기에 따라서 유체(L)가 정상적으로 도포되어야 할 양보다 적게 도포된 양을 계산해낼 수 있다. 이를 통해, 정상적으로 도포되어야 할 양보다 부족하게 도포된 양은 디스펜싱 헤드유닛(100)이 기포가 도포된 기판(300) 상의 위치로 이동하여 보충하여 토출될 수 있다. On the other hand, as described above, the bubble detection unit 200 may not only detect the presence or absence of bubbles, but also calculate the size of bubbles. Therefore, it is possible to calculate the amount applied less than the amount that the fluid (L) is normally applied according to the size of the bubble. Through this, the amount applied insufficiently than the amount to be normally applied may be discharged by refilling the dispensing head unit 100 by moving to a position on the substrate 300 on which the bubbles are applied.

즉, 실시간으로 도포 불량을 검출해 낼 수 있을 뿐만 아니라, 즉각적인 보충 도포가 이루어지게 되어 전체적인 공정의 시간을 단축시킬 수 있게 되는 것이다. 또한, 기포를 실시간으로 검출해내기 때문에 기포가 발생하지 않은 경우 별도의 검사공정을 생략할 수도 있게 되어 전체적인 공정의 효율을 꾀할 수 있다. 더 나아가, 기포를 검출해내기는 하였으나 그 기포의 크기가 매우 작아서 제품의 품질에 실질적인 영향을 거의 미치지 못할 정도인 경우 무시하고 지나갈 수 있어서 공정의 속도를 더욱 높일 수 있다. In other words, not only can the coating failure be detected in real time, the instant replenishment can be made to shorten the overall process time. In addition, since bubbles are detected in real time, when no bubbles are generated, a separate inspection process may be omitted, thereby improving overall process efficiency. Furthermore, although bubbles are detected, they can be ignored if the size of the bubbles is so small that they have little effect on the quality of the product, thereby speeding up the process.

한편, 좀 더 정확한 기포 검사를 위하여 별도의 검사 공정을 둘 수도 있는데, 이하에서는 별도의 검사 공정을 둘 경우의 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 디스펜서의 구성에 대하여 설명한다. Meanwhile, a separate inspection process may be provided for a more accurate bubble inspection. Hereinafter, a configuration of a dispenser according to another embodiment of the present invention in the case of providing a separate inspection process will be described.

도 12는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 디스펜서의 구성을 나타낸 구성도이다.12 is a block diagram showing the configuration of a dispenser according to another embodiment of the present invention.

도 12를 참고하면, 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 디스펜서에 있어서, 디스펜싱 헤드유닛(100)은 검사부(290)을 더 포함할 수 있다. 검사부(290)은 노즐(110)의 측면에 위치할 수 있다. Referring to FIG. 12, in the dispenser according to another embodiment of the present invention, the dispensing head unit 100 may further include an inspection unit 290. The inspection unit 290 may be located at the side of the nozzle 110.

검사부(290)는 기포 검출 유닛(200)이 기포를 검출한 시점에서의 좌표값에 해당하는 위치로 이동하여 그 위치 주변에서의 유체(L)의 도포 상태를 검사할 수 있다. 물론, 기판(300)에 대한 유체(L) 도포 공정이 다 끝난 후에 유체(L)가 도포된 면을 따라 도포 상태를 전체적으로 다시 검사할 수도 있음은 물론이다. 이를 통해 기포를 실시간으로 검출하고, 그 검출된 위치에서의 도포 상태를 보다 확실하게 확인하여 보충 도포를 실시할 수 있게 된다.
The inspection unit 290 may move to a position corresponding to the coordinate value at the time when the bubble detection unit 200 detects the bubble and inspect the application state of the fluid L around the position. Of course, after the process of applying the fluid (L) to the substrate 300 is complete, the application state along the surface on which the fluid (L) is applied may be again inspected as a whole. This makes it possible to detect bubbles in real time, more reliably confirm the application state at the detected position, and perform supplementary application.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 예를 들어 당업자는 각 구성요소의 재질, 크기 등을 적용 분야에 따라 변경하거나, 개시된 실시형태들을 조합 또는 치환하여 본 발명의 실시예에 명확하게 개시되지 않은 형태로 실시할 수 있으나, 이 역시 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것으로 한정적인 것으로 이해해서는 안 되며, 이러한 변형된 실시예들은 본 발명의 특허청구범위에 기재된 기술사상에 포함된다고 하여야 할 것이다.
While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, You will understand. For example, those skilled in the art can change the material, size, etc. of each component according to the application field, or combine or replace the disclosed embodiments in a form that is not clearly disclosed in the embodiments of the present invention, but this also It does not depart from the scope of the invention. Therefore, it should be understood that the above-described embodiments are to be considered in all respects as illustrative and not restrictive, and that these modified embodiments are included in the technical idea described in the claims of the present invention.

100 : 디스펜싱 헤드유닛
110 : 노즐
120 : 홀더
130 : 시린지
140 : 액정병
150 : 펌프모듈
200 : 기포 검출 유닛
210 : 발생부
220 : 전압 측정부
230 : 처리부
240 : 삽입홀
250 : 제1블럭
260 : 제2블럭
270 : 제3블럭
290 : 검사부
300 : 기판
400 : 프레임
500 : 디스펜싱 헤드유닛 지지프레임
600 : 스테이지
700 : 구동유닛
800 : 위치 계산부
900 : 타이머
L : 유체
M : 마이크로 웨이브 발생 장치
N : 노즐
P1 : 제1점
P2 : 제2점100: dispensing head unit
110: nozzle
120: holder
130: syringe
140: liquid crystal bottle
150: pump module
200: bubble detection unit
210: generator
220: voltage measuring unit
230: processing unit
240: insertion hole
250: first block
260: second block
270: third block
290: inspection unit
300: substrate
400: frame
500: dispensing head unit support frame
600: stage
700: drive unit
800: position calculation unit
900: timer
L: Fluid
M: Microwave Generator
N: nozzle
P1: first point
P2: 2nd point

Claims

A dispensing head unit having a nozzle through which a fluid is discharged onto the substrate; And
And a bubble detecting unit for irradiating microwaves to the fluid in the dispensing head unit to detect bubbles in the fluid according to a physical quantity that is changed while the microwaves pass through the fluid.
dispenser.

The method of claim 1,
The bubble detection unit,
A generator for generating microwaves to irradiate the fluid;
A voltage measuring unit measuring a voltage difference between a first point and a second point around the fluid irradiated with the microwaves; And
And a processor configured to detect a bubble in the fluid by comparing the voltage difference between the first point and the second point.
dispenser.

The method of claim 2,
The generating unit is mounted at a position capable of irradiating microwaves toward the nozzle
dispenser.

The method of claim 3,
The bubble detection unit includes a first block and a second block located around the nozzle,
The generating unit is provided in the first block and / or the second block,
The first point is located on the first block, and the second point is located on the second block.
dispenser.

The method of claim 4, wherein
The generating unit is configured to be in close contact with the outer peripheral surface of the nozzle
dispenser.

The method of claim 4, wherein
The first block and / or the second block is configured to be in close contact with the outer peripheral surface of the nozzle
dispenser.

The method of claim 4, wherein
The lowest end of the generator is coplanar with the lowest end of the nozzle
dispenser.

The method of claim 3,
The bubble detection unit includes a third block having an insertion hole for inserting the nozzle,
The generation unit is located on one side around the insertion hole,
The first point and the second point is located opposite to each other around the insertion hole, characterized in that
dispenser.

The method of claim 8,
Characterized in that the outer peripheral surface of the nozzle is in close contact with the inner peripheral surface of the insertion hole
dispenser.

The method of claim 8,
The generating unit is configured to be in close contact with the outer peripheral surface of the nozzle
dispenser.

The method of claim 8,
The lowest end of the generating unit is located on the same plane as the lowest end of the nozzle
dispenser.

The method of claim 2,
The dispensing head unit further comprises a holder for connecting the nozzle with the syringe containing the fluid,
The generator is mounted at a position capable of irradiating microwaves toward the holder
dispenser.

The method of claim 12,
The bubble detection unit includes a first block and a second block located around the holder,
The generating unit is provided in the first block and / or the second block,
The first point is located on the first block, and the second point is located on the second block.
dispenser.

The method of claim 13,
The generating unit is configured to be in close contact with the outer peripheral surface of the holder
dispenser.

The method of claim 13,
The first block and / or the second block is configured to be in close contact with the outer peripheral surface of the holder
dispenser.

The method of claim 13,
The first block and / or the second block is mounted in a section in which the inner diameter of the holder is constant
dispenser.

The method of claim 12,
The bubble detection unit includes a third block having an insertion hole for inserting the holder,
The generation unit is located on one side around the insertion hole,
The first point and the second point is located opposite to each other around the insertion hole, characterized in that
dispenser.

The method of claim 17,
Characterized in that the outer peripheral surface of the holder is in close contact with the inner peripheral surface of the insertion hole
dispenser.

The method of claim 17,
The generating unit is configured to be in close contact with the outer peripheral surface of the holder
dispenser.

The method of claim 17,
The third block may be mounted in a section in which the inner diameter of the holder is constant.
dispenser.

The method of claim 1,
A drive unit capable of changing a relative position between the substrate and the dispensing head unit;
In order to control the relative position between the substrate and the dispensing head unit changed by the driving unit, a relative coordinate value of the substrate and the dispensing head unit on an XY coordinate system defined by X and Y axes is calculated. It further comprises a position calculation unit,
The position calculation unit calculates a position at which the bubble detected by the bubble detection unit is applied onto the substrate by using relative coordinate value information of the substrate and the dispensing head unit.
dispenser.

The method of claim 21,
When the bubble detecting unit detects bubbles, the driving unit moves the dispensing head unit to a position where the bubbles calculated by the position calculating unit are applied onto the substrate,
The dispensing head unit replenishes and discharges a fluid corresponding to the size of the bubble around a position corresponding to a coordinate value at the time when the bubble is detected.
dispenser.

The method of claim 21,
The dispensing head unit further includes an inspection unit,
The inspection unit inspects an application state around a position corresponding to a coordinate value at the time when the bubble is detected.
dispenser.

The method of claim 1,
The fluid is characterized in that the liquid crystal
dispenser.

The method of claim 1,
The fluid is a substrate adhesive paste
dispenser.