KR20120069853A - System for attaching of touch panel - Google Patents

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KR20120069853A KR1020100131172A KR20100131172A KR20120069853A KR 20120069853 A KR20120069853 A KR 20120069853A KR 1020100131172 A KR1020100131172 A KR 1020100131172A KR 20100131172 A KR20100131172 A KR 20100131172A KR 20120069853 A KR20120069853 A KR 20120069853A
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Abstract

PURPOSE: A vacuum-based touch panel bonding system is provided to prevent the occurrence of a bleed in/out phenomenon by implementing a touch panel cell and window bonding process under a vacuum state. CONSTITUTION: A bonding part bonds a touch panel cell and a window on which ultraviolet resin is applied under a vacuum state. An ultraviolet-based curing part(410) cures the bonded touch panel. The bonding part includes a first load lock chamber(311), a second load lock chamber(312), a transferring chamber(320), and a processing chamber(330). The load lock chambers load respectively the touch panel cell and the window. The transferring chamber transfers the loaded touch panel cell and the loaded window. The processing chamber bonds the touch panel cell and the window.

Description

터치 패널 진공 합착 시스템 {System For Attaching Of Touch Panel}Touch Panel Vacuum Bonding System {System For Attaching Of Touch Panel}

본 발명은 터치 패널 진공 합착 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 터치패널 셀과 상기 터치 패널 셀을 보호하기 위한 윈도우를 진공상태에서 합착함으로써 대기압 상태에서 합착할 경우에 발생할 수 있는 기포 발생을 억제하고 블리드 인/아웃(Bleed in,out)을 제로화 시킬 수 있는 터치 패널 진공 합착 시스템에 관한 것이다.
The present invention relates to a touch panel vacuum bonding system, and more particularly, by combining the touch panel cell and the window for protecting the touch panel cell in a vacuum state to suppress the generation of bubbles that may occur when the bonding in the atmospheric pressure state and The present invention relates to a touch panel vacuum bonding system capable of zeroing bleed in and out.

터치 패널은 패널 상에 디스플레이된 표시를 가압함으로써 상기 표시에 대응되어 미리 정해진 정보를 입력하는 입력수단으로써 편리성으로 인해 모든 디스플레이 장치에 활발히 적용되고 있다.The touch panel is actively applied to all display devices due to its convenience as an input means for inputting predetermined information corresponding to the display by pressing a display displayed on the panel.

일반적으로 터치 패널은 정전용량 방식, 저항막 방식, 표면 초음파 방식, 적외선 방식 등에 의해 터치 패널에 가압된 부분의 좌표를 추출하고 정보를 입력하게 된다.In general, the touch panel extracts coordinates of a portion pressed on the touch panel by capacitive type, resistive film type, surface ultrasonic type, infrared type, and inputs information.

터치 패널은 패널 상에 손이나 전자펜 등이 접촉하여 좌표를 인식하는 방식이므로 패널 손상이 발생하기 쉬우므로 상기 터치 패널을 보호하기 위한 윈도우를 터치 패널 상에 합착하여 제조한다.Since the touch panel is a method of recognizing coordinates by touching a hand or an electronic pen on the panel, panel damage is likely to occur, and thus a window for protecting the touch panel is bonded to the touch panel.

종래의 터치 패널과 윈도우의 합착 방법은 광학적 접착제(OCA 테이프)를 이용하거나 UV 경화성 레진을 이용하는 방식이 이용되고 있다.Conventional touch panel and window bonding method is using an optical adhesive (OCA tape) or UV curable resin.

상기 광학적 접착제를 이용하는 방식은 접착제 자체 두께로 인해 패널의 전체 두께가 증가하고, 접착력이 떨어지는 문제가 있으므로 UV 경화성 레진을 이용한 방식이 많이 사용되고 있다.In the method using the optical adhesive, the overall thickness of the panel is increased due to the thickness of the adhesive itself, and there is a problem in that the adhesive strength is lowered.

그러나, 종래의 UV 경화성 레진을 이용한 합착 방식은 대기압 상태에서 터치패널 셀과 윈도우를 합착함으로써 대기 중의 반응을 통해 기포가 발생하며, 블리드 인/아웃 현상이 발생하여 셀 측면으로 UV 경화성 레진이 흘러내려 추가로 흘러내린 레진을 닦아주는 공정이 필요함으로 불량률이 증가하여 공정 효율이 떨어지는 문제가 있었다.
However, in the conventional bonding method using a UV curable resin, bubbles are generated through a reaction in the air by bonding a touch panel cell and a window at atmospheric pressure, and a bleed in / out phenomenon occurs and UV curable resin flows down the cell side. In addition, there is a problem in that the process efficiency is lowered due to an increase in the defective rate since the process of cleaning the spilled resin is needed.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로써 본 발명의 목적은 터치 패널 셀과 윈도우를 진공 상태에서 합착함으로써 기포 발생을 억제 및 In order to solve the above problems, the object of the present invention is to combine the touch panel cell and the window in a vacuum state to suppress the generation of bubbles and

블리드 인/아웃(Bleed in,Out)을 제로화 하여 수율을 높일 수 있는 터치 패널 합착 시스템을 제공하는 데 있다.
The present invention provides a touch panel bonding system that can increase yield by zeroing bleed in and out.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 터치 패널 합착 시스템은 터치패널 셀과 윈도우를 합착하는 시스템으로서, 이송된 터치패널 셀과 UV 레진이 도포된 윈도우를 진공 상태에서 합착하는 합착부와 상기 합착된 터치패널을 경화하는 UV 경화부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the touch panel bonding system according to the present invention is a system for joining a touch panel cell and a window, and a joining part for bonding the transferred touch panel cell and the UV resin coated window in a vacuum state and the It characterized in that it comprises a UV curing unit for curing the bonded touch panel.

그리고 상기 합착부는 상기 터치패널 셀이 로딩되는 제 1 로드락 챔버와 UV 레진이 도포된 윈도우가 로딩되는 제 2 로드락 챔버와 상기 제 1 및 2 로드락 챔버에 로딩된 터치패널 셀과 윈도우를 공정챔버로 이송하는 반송챔버와 상기 로딩된 터치패널 셀과 윈도우를 얼라인하여 진공상태에서 합착하는 공정챔버를 포함하는 것을 특징으로 한다.The cementation unit processes the first load lock chamber in which the touch panel cell is loaded, the second load lock chamber in which the UV resin-coated window is loaded, and the touch panel cells and windows loaded in the first and second load lock chambers. And a process chamber for aligning the transfer chamber and the loaded touch panel cell and the window to the chamber and bonding the window in a vacuum state.

또한, 상기 제 1 및 2 로드락 챔버의 압력은 대기 ~ 수 torr이고, 상기 반송 챔버 내의 압력은 수 torr ~ 10 -2 torr이고, 상기 공정 챔버내의 압력은 10-4 ~ 10-5 torr 인 것을 특징으로 한다.In addition, the pressure of the first and second load lock chamber is from atmospheric to several torr, the pressure in the conveying chamber is from several torr to 10 -2 torr, the pressure in the process chamber is from 10 -4 to 10 -5 torr It features.

그리고 상기 공정 챔버는 진공 상태를 유지하기 위한 진공 펌프와 하단에 윈도우를 고정하고, 상단에 터치패널 셀을 고정하는 고정수단과 상기 고정된 윈도우와 터치패널 셀의 합착 위치를 정렬하는 얼라인 수단과 상기 얼라인된 윈도우와 터치패널 셀을 가경화하는 가경화 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.The process chamber may include a vacuum pump for maintaining a vacuum state, fixing means for fixing a window at a lower end, fixing means for fixing a touch panel cell at an upper end, and alignment means for aligning a bonding position between the fixed window and the touch panel cell; And provisional curing means for temporarily curing the aligned window and the touch panel cell.

또한, 얼라인 수단은 터치 패널 셀과 윈도우가 합착될 정확한 위치인 얼라인 이미지를 육안으로 확인하기 위한 Vision system과 상기 윈도우가 로딩된 기판척의 좌우를 고정하여 센터링을 수행하는 윈도우 얼라인부와 상기 터치 패널 셀이 로딩된 점착 패드를 X,Y,Z,θ 4축 이동하여 터치 패널 셀과 윈도우의 정확한 위치를 얼라인하도록 이동을 제어하는 터치 패널 셀 얼라인부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the alignment means includes a vision system for visually confirming an alignment image, which is an exact position at which the touch panel cell and the window are to be bonded, and a window alignment unit for performing centering by fixing left and right sides of the substrate chuck loaded with the window. And a touch panel cell alignment unit configured to control movement of the adhesive pad loaded with the panel cells by 4 axes of X, Y, Z, θ to align the correct position of the touch panel cell and the window.

그리고 상기 윈도우 얼라인부는 기판척 상에 로딩된 윈도우의 양 끝단을 고정하여 센터링하는 고정핀과 상기 고정핀의 좌우 이동을 위한 구동력을 제공하는 고정핀 구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다. The window alignment unit may include a fixing pin for fixing and centering both ends of the window loaded on the substrate chuck, and a fixing pin driver for providing a driving force for the left and right movement of the fixing pin.

또한, 상기 터치 패널 얼라인부는 상기 점착 패드에 로딩된 터치 패널 셀을 X축, Y축, Z축,θ각도의 4축 이동시켜 얼라인을 수행하는 상기 점착패드와 연결된 이동 가이드와 상기 이동 가이드의 구동을 제어하는 이동 가이드 구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The touch panel alignment unit may include a movement guide and the movement guide connected to the adhesive pad for performing alignment by moving the touch panel cells loaded on the adhesive pad by four axes of X, Y, Z, and θ angles. Characterized in that it comprises a movement guide drive for controlling the drive of.

그리고 상기 윈도우는 유리 또는 강화유리인 것을 특징으로 한다.
And the window is characterized in that the glass or tempered glass.

상기에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 따른 터치 패널 합착 시스템은 터치 패널 셀과 상기 터치 패널 셀을 보호하기 위한 윈도우의 합착시 진공상태에서 합착 공정을 진행하므로 기포 발생을 억제 및 블리드 인/아웃 현상(Bleed in/out)을 제로화하여 불량률을 최소화하여 수율을 향상시킬 수 있는 탁월한 효과가 발생한다.
As described above, in the touch panel bonding system according to the present invention, the bonding process is performed in a vacuum state when the touch panel cell and the window for protecting the touch panel cell are bonded, thereby suppressing bubble generation and bleeding in / out phenomenon (Bleed). Excellent effect to improve the yield by minimizing the defective rate by zeroing in / out).

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 터치 패널 합착 스테이지를 개략적으로 도시한 배치도이고, 도 2는 도 1의 배치에 따른 합착 방법을 개략적으로 도시한 순서도이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 공정챔버를 도시한 것이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 공정챔버에서 터치패널 셀과 윈도우가 합착되는 과정을 개략적으로 도시한 것으로, 도 5는 터치패널 셀이 공정챔버에 로딩 및 얼라인되는 것을 도시한 것이고, 도 6은 윈도우가 로딩되어 얼라인 후 터치패널 셀과 합착되는 것을 도시한 것이다.
도 7은 터치패널 셀과 윈도우의 얼라인 이미지를 통한 얼라인 과정을 도시한 것이다.FIG. 1 is a layout view schematically illustrating a touch panel bonding stage according to a preferred embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a flowchart schematically illustrating a bonding method according to the arrangement of FIG. 1.
Figure 4 shows a process chamber according to a preferred embodiment of the present invention.
5 and 6 schematically illustrate a process in which a touch panel cell and a window are bonded to each other in a process chamber according to a preferred embodiment of the present invention, and FIG. 5 shows that the touch panel cell is loaded and aligned in the process chamber. 6 shows that the window is loaded and aligned with the touch panel cell after alignment.
7 illustrates an alignment process through an alignment image of a touch panel cell and a window.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 터치 패널 합착 스테이지를 개략적으로 도시한 배치도이고, 도 2는 도 1의 배치에 따른 합착 방법을 개략적으로 도시한 순서도이다.FIG. 1 is a layout view schematically illustrating a touch panel bonding stage according to a preferred embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a flowchart schematically illustrating a bonding method according to the arrangement of FIG. 1.

도 1 및 2를 참조하여 본 발명에 따른 터치 패널 합착 방법에 대해 살펴보기로 한다. 1 and 2 will be described with respect to the touch panel bonding method according to the present invention.

본원 발명에 따른 터치 패널 합착 시스템은 이송된 터치패널 셀과 UV 레진이 도포된 윈도우를 진공 상태에서 합착하는 합착부와 상기 합착된 터치패널을 경화하는 UV 경화부를 포함하여 구성될 수 있다.The touch panel bonding system according to the present invention may be configured to include a bonding portion for bonding the transferred touch panel cell and the UV resin coated window in a vacuum state and a UV curing portion for curing the bonded touch panel.

상기 합착부는 터치 패널 셀과 윈도우가 챔버부에 로딩되어 진공상태에 합착되는 구성으로 협의로는 공정 챔버 만을 의미할 수 있으며, 광의로는 터치 패널 셀과 윈도우의 로딩부터 합착까지의 과정에 포함되는 구성, 즉 보호필름 제거부, 플라즈마 처리부, 로테이션부, 레진 도포부, 챔버부(제1 및 2 로드락 챔버, 반송챔버, 공정챔버)등을 포함하는 의미로 정의될 수 있다.The bonding part is a configuration in which the touch panel cell and the window are loaded in the chamber to be bonded to the vacuum state, and in a narrow sense, it may mean only the process chamber, and broadly included in the process from loading and bonding of the touch panel cell and the window. The configuration may be defined as a meaning including a protective film removing unit, a plasma processing unit, a rotation unit, a resin applying unit, and a chamber unit (first and second load lock chambers, a transfer chamber, and a process chamber).

여기서, 도 1에 표시된 스테이지의 각 부는 컨베이어 벨트를 통해 연결되거나, 반송 로봇을 통해 이송되는 방식 또는 컨베이어 벨드와 로봇 암이 조합되는 방식 등이 적용될 수 있다.Here, each part of the stage shown in Fig. 1 may be connected through a conveyor belt or conveyed through a conveying robot, or a combination of a conveyor belt and a robot arm may be applied.

먼저 , 터치패널 셀이 스테이지에 로딩되면 터치패널 셀 상에 보호필름이 부착된 경우 보호필름 제거부(110)에서 필러를 통해 터치패널 셀로부터 보호 필름을 제거한다. First, when the touch panel cell is loaded on the stage, when the protective film is attached on the touch panel cell, the protective film removing unit 110 removes the protective film from the touch panel cell through the filler.

여기서, 상기 보호필름은 윈도우 표면을 보호하기 위한 수단으로 낮은 점착력에 의해 결합되어 있으므로 상기 점착력보다 큰 힘을 인가하여 상기 보호필름을 제거할 수 있다. 또한, 상기 보호필름은 인력에 의한 수작업에 의해 제거될 수 있다.Here, since the protective film is coupled by a low adhesive force as a means for protecting the window surface, it is possible to remove the protective film by applying a force greater than the adhesive force. In addition, the protective film can be removed by manual labor by the attraction.

이어서 접착 표면적을 증가시켜 접착력을 증대하고, 터치패널 셀 상의 유기물을 제거하기 위해 플라즈마 처리부(120)를 통해 플라즈마 처리를 수행한다.Subsequently, the adhesion is increased by increasing the adhesion surface area, and plasma treatment is performed through the plasma processing unit 120 to remove the organic material on the touch panel cell.

상기 플라즈마 처리는 산소(O2), 질소(N2) 분위기에서 수행될 수 있으며, 구체적인 조건은 사양에 따라 달라질 수 있으며, 일반적으로 널리 공지된 기술이므로 구체적인 설명은 생략하기로 한다.The plasma treatment may be performed in an atmosphere of oxygen (O 2 ), nitrogen (N 2 ), and specific conditions may vary depending on specifications, and thus a detailed description thereof will be omitted.

그리고 상기 플라즈마 처리된 터치패널 셀이 챔버부의 제 1 로드락 챔버(311)로 이송된다.The plasma treated touch panel cell is transferred to the first load lock chamber 311 of the chamber part.

여기서, 상기 플라즈마 처리부(120)와 제 1 로드락 챔버(311) 사이에는 터치패널 셀을 180도 회전하는 로테이션부(130)를 더 포함할 수 있다.The rotation unit 130 may further include a rotation unit 130 that rotates the touch panel cell 180 degrees between the plasma processing unit 120 and the first load lock chamber 311.

상기 터치패널 셀은 합착시 상부에 위치하게 되고 터치패널 상면이 하부를 향하도록 배치되어야 하지만, 보호필름 제거부(120)에 최초 로딩된 터치패널 셀은 패널의 상면이 상부를 향하도록 로딩되므로 상면이 하부를 향하도록 로테이션시켜야 할 필요가 있으며 상기 로테이션부(130)에서는 회전장치 또는 로봇을 이용해 상기 터치패널 셀을 180도 로테이션시켜 제 1 로드락 챔버(311)로 이송시킨다.The touch panel cell should be positioned on the upper side when the touch panel is bonded and the upper surface of the touch panel should be disposed downward. However, the touch panel cell first loaded on the protective film removing unit 120 is loaded so that the upper surface of the panel faces upward. It needs to be rotated so as to face the lower side, and the rotation unit 130 rotates the touch panel cell 180 degrees by using a rotating device or a robot to transfer it to the first load lock chamber 311.

상기 제 1 로드락 챔버(311)는 터치패널 셀이 들어갈 수 있는 한 최대한 작게 형성될 수 있으며, 상기 제 1 로드락 챔버(311)의 게이트가 개방된 상태에서 터치패널 셀이 로딩되고 게이트가 닫히면 펌핑을 통해 대기압 ~ 수 torr 사이의 압력이 작용하도록 제어될 수 있다. The first load lock chamber 311 may be formed as small as possible to enter the touch panel cell, and when the touch panel cell is loaded and the gate is closed while the gate of the first load lock chamber 311 is open Through pumping it can be controlled to actuate pressures between atmospheric pressure and several torr.

한편, 윈도우가 스테이지에 로딩되면 윈도우 상에 보호필름이 부착된 경우 보호필름 제거부(210)에서 필러를 통해 윈도우로부터 보호필름이 제거된다.Meanwhile, when the window is loaded on the stage, the protective film is removed from the window through the filler in the protective film removing unit 210 when the protective film is attached to the window.

이어서 접착 표면적을 증가시켜 접착력을 증대하고, 윈도우 상의 유기물을 제거하기 위해 플라즈마 처리부(220)를 통해 플라즈마 처리를 수행한다.Subsequently, a plasma treatment is performed through the plasma processing unit 220 to increase the adhesive force by increasing the adhesive surface area and to remove the organic material on the window.

상기 플라즈마 처리 후 레진 도포부(230)에 이송되어 윈도우 표면에 UV 레진을 도포한다.After the plasma treatment, the resin is transferred to the resin coating unit 230 to apply UV resin to the window surface.

상기 UV 레진이 경화되지 않은 상태에서 윈도우가 이송될 경우 UV 레진이 주변으로 흘러서 UV 레진의 균일도에 영향을 미칠 수 있으므로 레진 도포부(230) 내에 UV 램프를 구비하여 UV 레진 도포후 전체 접착력의 10 ~ 30% 정도로 가경화하는 것이 바람직하다.If the window is transported in a state where the UV resin is not cured, the UV resin may flow to the surroundings and affect the uniformity of the UV resin. It is preferable to precure to about 30%.

상기 윈도우 상에 UV 레진이 도포되면 챔버부의 제 2 로드락 챔버(312)로 이송한다.When the UV resin is applied on the window is transferred to the second load lock chamber 312 of the chamber portion.

상기 제 2 로드락 챔버(312) 역시 윈도우가 들어갈 수 있는 한 최대한 작게 형성될 수 있으며, 상기 제 2 로드락 챔버(312)의 게이트가 개방된 상태에서 윈도우가 로딩되고 게이트가 닫히면 펌핑을 통해 대기압 ~ 수 torr 사이의 압력이 작용하도록 제어될 수 있다. The second load lock chamber 312 may also be formed as small as possible to enter the window, the atmospheric pressure through the pumping when the window is loaded in the state that the gate of the second load lock chamber 312 is open and the gate is closed Pressures between-several torr can be controlled to act.

상기와 같은 과정을 통해 터치패널 셀과 윈도우가 챔버부로 이송되면 반송챔버(320)의 반송 로봇이 제 1 로드락 챔버(311)의 게이트를 개방하여 터치패널 셀을 꺼내서 공정챔버(330)의 게이트를 개방하여 로딩한다.When the touch panel cell and the window are transferred to the chamber through the above process, the transfer robot of the transfer chamber 320 opens the gate of the first load lock chamber 311 to take out the touch panel cell, thereby removing the gate of the process chamber 330. Open by loading.

그리고 동일하게 반송챔버(320)의 반송 로봇이 제 2 로드락 챔버(312)의 게이트를 개방하여 윈도우를 꺼내서 공정챔버(330)에 로딩한다.Similarly, the transfer robot of the transfer chamber 320 opens the gate of the second load lock chamber 312 to take out the window and load it into the process chamber 330.

상기 반송챔버(320)에 장착되는 반송 로봇은 2단으로 구성될 수 있으며, 관절 로봇으로 구성되어 윈도우와 터치패널 셀을 동시에 공정챔버(330)로 이송시키도록 구성될 수 있다.The transfer robot mounted on the transfer chamber 320 may be configured in two stages, and may be configured as an articulated robot to simultaneously transfer the window and the touch panel cell to the process chamber 330.

여기서, 반송챔버(320)의 압력은 수 torr ~ 10-2 torr범위가 되도록 펌핑을 통해 제어될 수 있으며, 합착이 진행되는 공정챔버(330)의 압력은 고진공 상태인 10-4 ~ 10-5 torr 범위가 되도록 진공펌프에 의해 제어될 수 있다.Here, the pressure of the conveying chamber 320 may be controlled by pumping to be in the range of several torr to 10 -2 torr, and the pressure of the process chamber 330 where the bonding is performed is 10 -4 to 10 -5 in a high vacuum state. It can be controlled by a vacuum pump to be in the torr range.

상기와 같이 로드락 챔버, 반송 챔버, 공정 챔버의 압력을 단계적으로 감소시키도록 설정할 경우 각 챔버로 이송되기 위해 게이트가 개방될 경우 압력을 유지하기 위해 펌핑하는 시간을 감축시킬 수 있으므로 공정시간을 단축시킬 수 있다.As described above, when the pressure in the load lock chamber, the transfer chamber, and the process chamber is set to decrease gradually, the process time can be shortened because the pumping time can be shortened to maintain the pressure when the gate is opened to be transferred to each chamber. You can.

그리고 공정챔버(330)에 터치패널 셀과 윈도우가 장착되면 얼라인 수단에 의해 터치패널 셀과 윈도우를 정확한 위치에 정렬하고, 진공 상태에서 터치패널 셀과 윈도우를 합착한다.When the touch panel cell and the window are mounted in the process chamber 330, the touch panel cell and the window are aligned at the correct position by the alignment means, and the touch panel cell and the window are bonded in a vacuum state.

상기 공정챔버(330)는 도 3과 같이 진공 합착이 가능하도록 구성될 수 있다.The process chamber 330 may be configured to enable vacuum bonding as shown in FIG. 3.

도 3을 참조하면, 상기 공정챔버(330)는 진공펌프, 고정수단, 얼라인 수단 및 가경화 수단을 포함하여 구성될 수 있다.Referring to FIG. 3, the process chamber 330 may include a vacuum pump, a fixing means, an alignment means, and a temporary hardening means.

상기 진공펌프는 공정챔버의 게이트가 개방후 터치패널 셀과 윈도우가 로딩되어 게이트가 폐쇄된 경우 공정챔버의 압력을 10-4 ~ 10-5 torr 고진공 상태를 유지하기 위해 내부를 펌핑하는 역할을 담당한다.The vacuum pump is responsible for pumping the inside of the process chamber to maintain a high vacuum of 10 -4 to 10 -5 torr in a high vacuum state when the touch panel cell and the window are loaded after the process chamber is opened. do.

상기 고정수단은 하단에서 터치패널 셀과 윈도우가 로딩되고, 윈도우가 고정되는 기판척(331)과, 터치패널 셀의 상면이 하부를 향하도록 터치패널 셀의 배면을 고정하는 점착패드(332)를 포함하여 구성될 수 있다.The fixing means includes a substrate chuck 331 to which the touch panel cell and the window are loaded at the bottom, and the window is fixed, and an adhesive pad 332 which fixes the rear surface of the touch panel cell so that the upper surface of the touch panel cell faces downward. It can be configured to include.

그리고 상기 얼라인 수단은 터치 패널 셀과 윈도우가 합착될 정확한 위치를 표시하는 얼라인 이미지를 육안으로 확인하기 위한 Vision system(333)과 상기 기판척에 로딩된 윈도우의 양 끝단을 고정하여 센터링 및 얼라인을 수행하는 윈도우 얼라인부(334)와 상기 터치 패널 셀이 로딩된 점착 패드를 X,Y,Z,θ 4축 이동하여 얼라인을 수행하는 터치 패널 얼라인부(335)를 포함하여 구성될 수 있다.In addition, the aligning means may fix the centering and aligning the vision system 333 for visually confirming an alignment image indicating an exact position at which the touch panel cell and the window are to be bonded together, and both ends of the window loaded on the substrate chuck. It may include a window alignment unit 334 for performing the in-line and a touch panel alignment unit 335 for performing alignment by moving the adhesive pad loaded with the touch panel cell X, Y, Z, θ four axes. have.

여기서, 상기 윈도우 얼라인부(334)는 기판척 상에 로딩된 윈도우의 양 끝단을 고정하여 센터링하는 고정핀과 상기 고정핀의 좌우 이동을 위한 구동력을 제공하는 고정핀 구동부를 포함하여 구성될 수 있다.Here, the window alignment unit 334 may be configured to include a fixing pin for fixing and centering both ends of the window loaded on the substrate chuck and a fixing pin driver for providing a driving force for the left and right movement of the fixing pin. .

그리고, 상기 터치 패널 얼라인부(335)는 상기 점착 패드에 부착된 터치 패널 셀을 X축, Y축, Z축, θ 4축으로 이동시켜 얼라인을 수행하는 이동 가이드와 상기 이동 가이드의 구동을 제어하는 이동 가이드 구동부를 포함하여 구성될 수 있다. The touch panel aligning unit 335 drives the movement guide and the movement guide for performing alignment by moving the touch panel cell attached to the adhesive pad in the X, Y, Z, and θ 4 axes. It may be configured to include a moving guide drive for controlling.

상기 Vision system(333)은 얼라인 이미지의 정확한 파악을 위해 상기 얼라인 부위를 밝게 비추기 위한 조명부를 더 포함할 수 있다.The vision system 333 may further include an illumination unit for brightly illuminating the alignment portion to accurately identify the alignment image.

여기서, 상기 점착패드(332)는 터치패널 셀을 상부에 유지하기 위한 구성으로 터치패널 셀을 지지할 수 있기 위해 점착력을 가진 합성고무로 제조될 수 있으며, 상기 점착력이 지나치게 높을 경우 분리 시 터치패널 셀 표면에 손상을 줄 수 있으며, 점착력이 지나치게 낮을 경우 터치패널 셀이 윈도우와 합착 전에 분리되어 파손될 수 있으므로 터치패널 셀을 유지하면서 지나치게 큰 점착력이 작용하지 않는 범위의 점착력을 가지는 것이 좋다. 바람직하게는 400 ~ 5000 gf/cm2 범위의 점착력을 구비하는 것이 좋다.Here, the adhesive pad 332 may be made of synthetic rubber having adhesive force to support the touch panel cell as a structure for maintaining the touch panel cell on the upper side, and when the adhesive force is too high, the touch panel is separated. When the adhesive force is too low, the surface of the cell may be damaged, and the touch panel cell may be separated and broken before bonding to the window. Therefore, it is preferable to have the adhesive force within a range in which excessively large adhesive force does not work while maintaining the touch panel cell. Preferably it is to have an adhesive force in the range of 400 ~ 5000 g f / cm 2 .

그리고 상기 가경화 수단은 공정 챔버 하부에 배치되어 합지된 터치패널 셀과 윈도우를 UV에 의해 가경화시키는 UV 램프(336)로 구성될 수 있다.The temporary curing means may include a UV lamp 336 disposed under the process chamber to temporarily harden the laminated touch panel cell and the window by UV.

도 4 및 도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 공정챔버에서 터치패널 셀과 윈도우가 합착되는 과정을 개략적으로 도시한 것으로, 도 4는 터치패널 셀이 공정챔버에 로딩 및 얼라인되는 것을 도시한 것이고, 도 5는 윈도우가 로딩되어 얼라인 후 터치패널 셀과 합착되는 것을 도시한 것이다.4 and 5 schematically show a process of bonding the touch panel cell and the window in the process chamber according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 4 shows that the touch panel cell is loaded and aligned in the process chamber 5 shows that the window is loaded and aligned with the touch panel cell after alignment.

도 4 및 5를 참조하면, 상기와 같은 공정 챔버(330)에 터치 패널 셀이 기판척(331)에 로딩(도 4의 (a))되면 터치 패널 얼라인부(335)가 로딩된 터치 패널 셀의 위치와 점착 패드(332)를 얼라인하여 하부로 이동시켜 상기 터치 패널 셀을 점착 패드(332)에 흡착한다.(도4의 (b))4 and 5, when the touch panel cell is loaded on the substrate chuck 331 (FIG. 4A) in the process chamber 330 as described above, the touch panel alignment unit 335 is loaded. The touch panel cell is attracted to the adhesive pad 332 by aligning the position of the adhesive pad 332 with the adhesive pad 332 and moving it downward (Fig. 4 (b)).

이어서, 상기 터치 패널 얼라인부(335)의 Y축 제어를 통해 1 ~ 2mm 점착척을 상부로 이동시킨 후 터치 패널 셀의 얼라인 이미지를 카메라 스테이지(333)를 통해 인식한다.(도 4의 (c), 도 6)Subsequently, after moving the adhesive chuck 1 to 2 mm upward through the Y-axis control of the touch panel alignment unit 335, the alignment image of the touch panel cell is recognized through the camera stage 333. c), FIG. 6)

그리고, 윈도우와의 간섭을 방지하기 위해 상기 터치 패널 셀을 상부로 이동 시킨다.(도 4의 (d))Then, the touch panel cell is moved upward to prevent interference with the window ((d) of FIG. 4).

다음으로 윈도우가 기판척(331)에 로딩(도 5의 (e))되면, 윈도우 얼라인부(334)가 상기 제 1 기판척에 로딩된 윈도우의 양 끝단을 고정하여 센터링 및 얼라인을 수행한 후 얼라인 이미지를 인식한다.(도 5의 (f), 도 6)Next, when the window is loaded on the substrate chuck 331 (FIG. 5E), the window alignment unit 334 fixes both ends of the window loaded on the first substrate chuck to perform centering and alignment. Then, the alignment image is recognized. (FIG. 5F, FIG. 6).

이어서, 터치 패널 얼라인부(335)가 상부에 위치한 터치 패널 셀을 하부로 이동시킨 후 터치 패널 셀과 윈도우의 얼라인 이미지를 정렬하기 위해 X,Y,Z,θ 4축 이동하여 정밀 얼라인을 수행한다.(도 5의 (g), 도 6)Subsequently, the touch panel aligning unit 335 moves the upper touch panel cell downward, and then moves the X, Y, Z, θ 4 axes to align the alignment of the touch panel cell and the window. (Fig. 5 (g), Fig. 6).

보다 구체적으로, 터치 패널 셀과 윈도우는 포인트 얼라인 방식을 이용하여 얼라인할 수 있으며, 터치 패널 셀의 얼라인 이미지인 십자 마크와 글라스의 얼라인 이미지인 에지를 얼라인 하는 방식으로 카메라 스테이지를 통해 터치패널 셀 얼라인부를 제어하여 터치 패널 셀과 윈도우의 정확한 합착 위치를 육안으로 식별하면서 터치 패널 셀을 4축(X축, Y축, Z축, θ각도)조절하터여 치 패널 셀과 윈도우를 정확한 위치에 정렬할 수 있다. More specifically, the touch panel cell and the window may be aligned using a point alignment method, and the camera stage may be aligned by aligning the cross mark, which is the alignment image of the touch panel cell, and the edge, which is the alignment image of the glass. By adjusting the touch panel cell alignment unit, the touch panel cell can be adjusted by 4 axes (X axis, Y axis, Z axis, θ angle) while visually identifying the exact position of the touch panel cell and the window. Can be aligned to the correct position.

상기와 같이 얼라인이 완료되면, 상기와 같이 터치패널 셀과 윈도우가 합지된 상태에서 최소한의 고정력을 부여하기 위해 가경화 공정을 수행한다.(도 5의 (h))When the alignment is completed as described above, a temporary curing process is performed to give a minimum holding force in the state where the touch panel cell and the window are laminated as described above (FIG. 5H).

이를 위해, 공정 챔버 하단에 UV 램프(336)를 구비할 수 있으며, 터치패널 셀과 윈도우가 합지된 상태에서 UV 램프를 조사하여 터치패널 셀과 윈도우가 최소한의 고정력으로 합착될 수 있도록 가경화한다.To this end, a UV lamp 336 may be provided at the bottom of the process chamber and irradiated with a UV lamp in a state where the touch panel cell and the window are laminated to temporarily harden the touch panel cell and the window to be bonded with a minimum fixing force. .

상기와 같이 가경화 과정을 통해 터치패널 셀과 윈도우가 가경화되면, 점착패드를 상부로 이동시켜 분리한다.As described above, when the touch panel cell and the window are temporarily cured through the temporary curing process, the adhesive pad is moved upwards to be separated.

여기서, 윈도우가 윈도우 얼라인부(335)에 고정되어 있으며, 윈도우와 터치패널 셀이 UV 램프의 가경화에 의해 접착력이 형성된 상태이며, 상기 접착력은 점착패드의 점착력보다 크게 설정되어 상기 점착패드(332)를 상부로 이동시키는 것 만으로 점착패드(332)를 터치패널 셀과 분리할 수 있다. Here, the window is fixed to the window alignment unit 335, the adhesive force is formed by the temporary curing of the UV lamp and the window and the touch panel cell, the adhesive force is set greater than the adhesive force of the adhesive pad to the adhesive pad 332 The adhesive pad 332 can be separated from the touch panel cell only by moving the upper part).

상기와 같이 공정 챔버를 통해 터치패널 셀과 윈도우가 진공상태에서 합착되면 반송챔버의 반송 로봇에 의해 제 3 로드락 챔버(313)를 거쳐 UV 경화부(410)로 이송된다.When the touch panel cell and the window are bonded in a vacuum state through the process chamber as described above, the transfer panel is transferred to the UV curing unit 410 via the third load lock chamber 313 by the transfer robot of the transfer chamber.

상기 UV 경화부(410)에서는 UV 램프를 조사하여 UV 레진을 완전 경화시키게 되고, 이를 통해 공정 챔버에서 합착된 터치패널 셀과 윈도우가 일체로 접착된다.The UV curing unit 410 irradiates a UV lamp to completely cure the UV resin, through which the touch panel cell and the window bonded in the process chamber are integrally bonded.

상기 UV 경화부(410)는 스테이지의 길이와 이동 속도 및 UV 램프의 UV 조사강도를 고려하여 크기가 결정될 수 있다.The UV curing unit 410 may be sized in consideration of the length and the moving speed of the stage and the UV irradiation intensity of the UV lamp.

상기와 같이 터치패널 셀과 윈도우가 UV 경화부를 통해 완전 경화되면 검사부(420)로 이송된다.As described above, when the touch panel cell and the window are completely cured through the UV curing unit, the touch panel cell and the window are transferred to the inspection unit 420.

상기 검사부에서는 터치패널 셀과 윈도우의 합착 상태를 검사하여 양품 또는 불량 여부를 검사하게 되고, 검사부를 통해 언로딩부(430)로 이송된다.The inspection unit inspects whether the touch panel cell and the window are bonded to inspect whether the product is good or defective, and is transferred to the unloading unit 430 through the inspection unit.

이상에서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 본 발명의 보호범위는 상기 실시예에 한정되는 것이 아니며, 해당 기술분야의 통상의 지식을 갖는 자라면 본 발명의 사상 및 기술영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention.

110 : 보호필름 제거부 120 : 플라즈마 처리부
130 : 로테이션부 210 : 보호필름 제거부
220 : 플라즈마 처리부 230 : 레진 도포부
30 : 챔버부 311 : 제 1 로드락 챔버
312 : 제 2 로드락 챔버 313 : 제 3 로드락 챔버
320 : 반송 챔버 330 : 공정 챔버
410 : UV 경화부 420 : 검사부
430 : 언로딩부110: protection film removal unit 120: plasma processing unit
130: rotation unit 210: protective film removal unit
220: plasma treatment unit 230: resin coating unit
30: chamber portion 311: first load lock chamber
312: second load lock chamber 313: third load lock chamber
320: transfer chamber 330: process chamber
410: UV curing unit 420: inspection unit
430: unloading unit

Claims (8)

터치패널 셀과 윈도우를 합착하는 시스템으로서,
이송된 터치패널 셀과 UV 레진이 도포된 윈도우를 진공 상태에서 합착하는 합착부와;
상기 합착된 터치패널을 경화하는 UV 경화부를 포함하는 것을 특징으로 하는 터치 패널 합착 시스템.
A system for joining a touch panel cell and a window,
A bonding part for bonding the transferred touch panel cell and the UV resin coated window in a vacuum state;
Touch panel bonding system comprising a UV curing unit for curing the bonded touch panel.
제 1항에 있어서,
상기 합착부는
상기 터치패널 셀이 로딩되는 제 1 로드락 챔버와;
UV 레진이 도포된 윈도우가 로딩되는 제 2 로드락 챔버와;
상기 제 1 및 2 로드락 챔버에 로딩된 터치패널 셀과 윈도우를 공정챔버로 이송하는 반송챔버와;
상기 로딩된 터치패널 셀과 윈도우를 얼라인하여 진공상태에서 합착하는 공정챔버를 포함하는 것을 특징으로 하는 터치 패널 합착 시스템.
The method of claim 1,
The fitting portion
A first load lock chamber into which the touch panel cell is loaded;
A second load lock chamber into which the window coated with the UV resin is loaded;
A transfer chamber for transferring the touch panel cells and the windows loaded in the first and second load lock chambers to a process chamber;
And a process chamber in which the loaded touch panel cells and the window are aligned to be bonded in a vacuum state.
제 2항에 있어서,
상기 제 1 및 2 로드락 챔버의 압력은
대기 ~ 수 torr이고,
상기 반송 챔버 내의 압력은
수 torr ~ 10 -2 torr이고,
상기 공정 챔버내의 압력은
10-4 ~ 10-5 torr 인 것을 특징으로 하는 터치 패널 합착 시스템.
The method of claim 2,
The pressure in the first and second load lock chambers is
Wait to be torr,
The pressure in the conveying chamber
Number torr to 10 -2 torr,
The pressure in the process chamber
Touch panel bonding system, characterized in that 10 -4 ~ 10 -5 torr.
제 1항에 있어서,
상기 공정 챔버는
진공 상태를 유지하기 위한 진공 펌프와;
하단에 윈도우를 고정하고, 상단에 터치패널 셀을 고정하는 고정수단과;
상기 고정된 윈도우와 터치패널 셀의 합착 위치를 정렬하는 얼라인 수단과;
상기 얼라인된 윈도우와 터치패널 셀을 가경화하는 가경화 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 터치 패널 합착 시스템.
The method of claim 1,
The process chamber
A vacuum pump for maintaining a vacuum state;
Fixing means for fixing the window to the bottom and fixing the touch panel cell to the top;
Alignment means for aligning the bonding position between the fixed window and the touch panel cell;
And a temporary hardening means for temporarily curing the aligned window and the touch panel cell.
제 4항에 있어서,
상기 얼라인 수단은
터치 패널 셀과 윈도우가 합착될 정확한 위치인 얼라인 이미지를 육안으로 확인하기 위한 Vision system과;
상기 윈도우가 로딩된 기판척의 좌우를 고정하여 센터링을 수행하는 윈도우 얼라인부와;
상기 터치 패널 셀이 로딩된 점착 패드를 X,Y,Z,θ 4축 이동하여 터치 패널 셀과 윈도우의 정확한 위치를 얼라인하도록 이동을 제어하는 터치 패널 셀 얼라인부를 포함하는 것을 특징으로 하는 터치 패널 합착 시스템.
The method of claim 4, wherein
The alignment means
A vision system for visually confirming an align image which is an accurate position at which the touch panel cell and the window are to be bonded;
A window alignment unit which performs centering by fixing left and right sides of the substrate chuck loaded with the window;
And a touch panel cell alignment unit configured to control movement of the adhesive pad loaded with the touch panel cell by X, Y, Z, θ by 4 axes to align the touch panel cell with the correct position of the window. Panel bonding system.
제 5항에 있어서,
상기 윈도우 얼라인부는
기판척 상에 로딩된 윈도우의 양 끝단을 고정하여 센터링하는 고정핀과;
상기 고정핀의 좌우 이동을 위한 구동력을 제공하는 고정핀 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 터치 패널 합착 시스템.
6. The method of claim 5,
The window alignment unit
Fixing pins for fixing and centering both ends of the window loaded on the substrate chuck;
Touch panel bonding system, characterized in that it comprises a fixing pin drive for providing a driving force for the left and right movement of the fixing pin.
제 5항에 있어서,
상기 터치 패널 얼라인부는
상기 점착 패드에 로딩된 터치 패널 셀을 X축, Y축, Z축,θ각도의 4축 이동시켜 얼라인을 수행하는 상기 점착패드와 연결된 이동 가이드와;
상기 이동 가이드의 구동을 제어하는 이동 가이드 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 터치 패널 합착 시스템.
6. The method of claim 5,
The touch panel alignment unit
A movement guide connected to the adhesive pad to align the touch panel cell loaded on the adhesive pad by four axes of X, Y, Z, and θ angles;
And a movement guide driver for controlling driving of the movement guide.
제 1항에 있어서,
상기 윈도우는
유리 또는 강화유리인 것을 특징으로 하는 터치 패널 합착 시스템.
The method of claim 1,
The window is
Touch panel bonding system, characterized in that the glass or tempered glass.
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