KR102185254B1 - Auto clave apparatus with ultra violet ray curing system - Google Patents
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Abstract
챔버, 상기 챔버 내에 배치되며 기판 모듈이 안착되는 플레이트, 상기 플레이트 상에 배치되며 상기 기판 모듈에 광을 조사하기 위한 광 조사 유닛 및 상기 챔버의 일측에 배치되며 상기 챔버 내부 온도를 상승시키기 위한 가열 유닛 및 상기 챔버 내부 압력을 상승시키기 위한 가압 유닛을 포함하는 광 경화 일체형 오토 클레이브 장치를 제공한다.A chamber, a plate disposed in the chamber and on which the substrate module is mounted, a light irradiation unit disposed on the plate and for irradiating light to the substrate module, and a heating unit disposed on one side of the chamber and for increasing the temperature inside the chamber And it provides a light curing integrated autoclave device including a pressure unit for increasing the pressure inside the chamber.
Description
본 발명은 광경화 일체형 오토 클레이브 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 오토 클레이브 장치에 광경화 수단을 결합한 광경화 일체형 오토 클레이브 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a photocurable integrated autoclave device, and more particularly, to a photocurable integrated autoclave device in which a photocuring means is combined with an autoclave device.
표시 장치는 블랙 매트릭스 또는 화소 정의막에 의해 정의되는 영역에 구비되는 복수개의 화소로 이루어진 표시 패널을 포함한다. 표시 장치는 표시 패널의 종류에 따라 액정 표시 장치(liquid crystal display, LCD), 플라즈마 표시 장치(plasma display panel, PDP), 유기 발광 표시 장치(organic light emitting diode display, OLED display) 등으로 나뉠 수 있다.The display device includes a display panel including a plurality of pixels provided in a region defined by a black matrix or a pixel defining layer. Display devices can be divided into liquid crystal displays (LCDs), plasma display panels (PDPs), organic light emitting diode displays (OLED displays), etc. according to the type of display panel. .
표시 패널 상에는 터치 동작을 감지하기 위한 터치 패널 및/또는 상기 표시 패널을 보호하기 위한 커버 글라스 등과 같은 표면 투명 부재가 더 구비될 수 있으며, 상기 표시 패널과 상기 표면 투명 부재를 접합하기 위해서 투명 점착 필름(optically clear adhesive, OCA) 또는 투명 접착제(optically clear resin, OCR) 등과 같은 투명 접착제가 사용된다.A surface transparent member such as a touch panel for sensing a touch operation and/or a cover glass for protecting the display panel may be further provided on the display panel, and a transparent adhesive film for bonding the display panel and the surface transparent member A transparent adhesive such as optically clear adhesive (OCA) or optically clear resin (OCR) is used.
구체적으로 상기 표시 패널과 상기 표면 투명 부재를 접합하는 공정은 상기 표시 패널 상에 투명 점착 필름(OCA)를 개재시킨 상태에서 상기 표면 투명 부재와 진공 합착 후, 일정한 압력과 온도를 가하여 상기 투명 점착 필름(OCA)에서 발생하는 기포를 제거하는 방식으로 진행된다.Specifically, in the process of bonding the display panel and the surface transparent member, the transparent adhesive film is vacuum-bonded with the surface transparent member in a state where a transparent adhesive film (OCA) is interposed on the display panel, and then a constant pressure and temperature is applied. It proceeds by removing air bubbles generated in (OCA).
한편, 최근 디스플레이 모듈의 슬림화에 대한 요구가 증대함에 따라 일반적인 투명 점착 필름(OCA)보다 접착층의 두께를 줄일 수 있는 광(UV) 경화 투명 점착 필름(UV OCA)이 주로 사용된다. 실제로 일반적인 투명 점착 필름(OCA)을 사용하는 경우 접착층의 두께가 200㎛정도인데 반해 광(UV) 경화 투명 점착 필름(UV OCA)을 사용하는 경우 접착층의 두께가 150㎛로, 50㎛정도의 두께 감소 효과가 있다.On the other hand, as the demand for slimming of display modules has recently increased, a light (UV) curable transparent adhesive film (UV OCA), which can reduce the thickness of an adhesive layer than a general transparent adhesive film (OCA), is mainly used. In fact, when using a general transparent adhesive film (OCA), the thickness of the adhesive layer is about 200㎛, whereas when using a light (UV) curable transparent adhesive film (UV OCA), the thickness of the adhesive layer is 150㎛, about 50㎛. There is a reduction effect.
다만, 광(UV) 경화 투명 점착 필름(UV OCA)을 사용하는 경우, 접착층에 존재하는 기포를 제거하기 위한 오토 클레이브(Auto Clave) 공정 이후에, 광(UV) 경화 투명 점착 필름(UV OCA)을 경화시키기 위한 공정이 추가된다.However, in the case of using a light (UV) curing transparent adhesive film (UV OCA), after the auto clave process to remove air bubbles present in the adhesive layer, a light (UV) curing transparent adhesive film (UV OCA) A process is added to cure.
즉, 상기 접착층으로 광(UV) 경화 투명 점착 필름(UV OCA)을 사용하는 경우, 종래 일반적인 투명 점착 필름(OCA)을 사용하는 경우보다 디스플레이 모듈의 두께가 줄어드는 장점이 있지만, 상기 광(UV) 경화 투명 점착 필름(UV OCA)을 경화하기 위한 광 경화 공정이 추가되어 공정 시간이 증가하게 된다.That is, when using a light (UV) curable transparent adhesive film (UV OCA) as the adhesive layer, the thickness of the display module is reduced compared to the case of using a conventional transparent adhesive film (OCA), but the light (UV) A photo-curing process for curing the cured transparent adhesive film (UV OCA) is added to increase the process time.
이에 본 발명에서는 표시 패널과 표면 투명 부재 사이의 접착층에 존재하는 기포를 제거하기 위한 오토 클레이브(Auto Clave) 공정 및 광(UV) 경화 투명 점착 필름(UV OCA)을 경화하기 위한 광 경화 공정을 일체화할 수 있는 광 경화 일체형 오토 클레이브 장치를 제공하고자 한다.Accordingly, in the present invention, an auto clave process for removing air bubbles present in the adhesive layer between the display panel and the transparent surface member and a light curing process for curing a light (UV) curable transparent adhesive film (UV OCA) are integrated. We would like to provide a light curing integrated autoclave device that can do.
챔버, 상기 챔버 내에 배치되며 기판이 안착되는 플레이트, 상기 플레이트 상에 배치되며 상기 기판 모듈에 광을 조사하기 위한 광 조사 유닛 및 상기 챔버의 일 측에 배치되며 상기 챔버 내부 온도를 상승시키기 위한 가열 유닛 및 상기 챔버 내부 압력을 상승시키기 위한 가압 유닛을 포함하는 광 경화 일체형 오토 클레이브 장치를 제공한다.A chamber, a plate disposed in the chamber and on which a substrate is mounted, a light irradiation unit disposed on the plate and for irradiating light to the substrate module, and a heating unit disposed on one side of the chamber and for increasing the internal temperature of the chamber And it provides a light curing integrated autoclave device including a pressure unit for increasing the pressure inside the chamber.
상기 광 조사 유닛은 상기 기판 모듈에 광을 조사하는 복수개의 광원을 포함하는 광원부를 포함할 수 있다.The light irradiation unit may include a light source unit including a plurality of light sources for irradiating light to the substrate module.
상기 광 조사 유닛은 상기 광원부의 적어도 일측에 배치되어 상기 복수개의 광원을 냉각하는 냉각부를 더 포함할 수 있다.The light irradiation unit may further include a cooling unit disposed on at least one side of the light source unit to cool the plurality of light sources.
상기 광 조사 유닛은 상기 광원부를 감싸도록 구비되어 상기 복수개의 광원을 보호하는 보호부를 더 포함할 수 있다.The light irradiation unit may further include a protection unit provided to surround the light source unit to protect the plurality of light sources.
상기 광원부는 면광원일 수 있다.The light source unit may be a surface light source.
상기 광원부는 점광원일 수 있다.The light source unit may be a point light source.
상기 광원부는 LED일 수 있다.The light source unit may be an LED.
상기 냉각부는 공랭식 냉각 방식을 이용할 수 있다.The cooling unit may use an air-cooled cooling method.
상기 냉각부는 수냉식 냉각 방식을 이용할 수 있다.The cooling unit may use a water-cooled cooling method.
상기 보호부는 강화 유리일 수 있다.The protection part may be tempered glass.
본 발명에 따른 광 경화 일체형 오토 클레이브 장치는 오토 클레이브(Auto Clave) 공정 및 광 경화 공정을 하나의 설비 내에서 진행하기 때문에 공정 시간을 단축할 수 있다.The integrated light-curing autoclave device according to the present invention can shorten the process time because the auto-clave process and the photo-curing process are performed in one facility.
도 1은 표시 패널 상에 구비되는 표면 투명 부재를 설명하기 위한 도이다.
도 2는 종래 오토 클레이브 장치를 개략적으로 나타낸 도이다.
도 3은 본 발명에 따른 광 경화 일체형 오토 클레이브 장치를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 광 경화 일체형 오토 클레이브 장치를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 광 경화 일체형 오토 클레이브 장치를 이용한 처리 공정을 나타낸 순서도이다.1 is a diagram illustrating a surface transparent member provided on a display panel.
2 is a diagram schematically showing a conventional autoclave device.
3 is a schematic cross-sectional view of a light curing integrated autoclave device according to the present invention.
4 is a plan view schematically showing a light curing integrated autoclave device according to the present invention.
5 is a flow chart showing a treatment process using the light-curing integrated autoclave device according to the present invention.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명은 다양한 변경이 가능하고, 여러 가지 형태로 실시될 수 있는 바, 특정의 실시예만을 도면에 예시하고 본문에는 이를 중심으로 설명한다. 그렇다고 하여 본 발명의 범위가 상기 특정한 실시예로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 또는 대체물은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 이해되어야 한다.The present invention is capable of various modifications and can be implemented in various forms, and only specific embodiments are illustrated in the drawings and will be described in the text centering on them. However, the scope of the present invention is not limited to the specific embodiments, and all changes, equivalents or substitutes included in the spirit and scope of the present invention should be understood to be included in the scope of the present invention.
본 명세서에서 어떤 부분이 다른 부분과 연결되어 있다고 할 때, 이는 직접적으로 연결되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 장치를 매개로 연결되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 포함한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.In the present specification, when a part is said to be connected to another part, this includes not only a case in which it is directly connected, but also a case in which it is connected through another device in the middle. In addition, when a part includes a certain component, it means that other components may be further included, rather than excluding other components unless specifically stated to the contrary.
본 명세서에서 제 1, 제 2, 제 3 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 이러한 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되는 것은 아니다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소들로부터 구별하는 목적으로 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 벗어나지 않고, 제 1 구성 요소가 제 2 또는 제 3 구성 요소 등으로 명명될 수 있으며, 유사하게 제 2 또는 제 3 구성 요소도 교호적으로 명명될 수 있다.In the present specification, terms such as first, second, and third may be used to describe various elements, but these elements are not limited by the terms. The terms are used for the purpose of distinguishing one component from other components. For example, without departing from the scope of the present invention, a first component may be referred to as a second or third component, and similarly, a second or third component may be alternately named.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙인다.In order to clearly describe the present invention, parts irrelevant to the description are omitted, and the same reference numerals denote the same or similar components throughout the specification.
도 1은 표시 패널 상에 구비되는 표면 투명 부재를 설명하기 위한 도이다.1 is a diagram illustrating a surface transparent member provided on a display panel.
도 1을 참조하면, 표시 패널(1) 상에 터치 동작을 감지하기 위한 터치 패널(2) 및 상기 표시 패널(1)을 보호하기 위한 커버 글라스(3) 등과 같은 표면 투명 부재가 더 구비될 수 있다. 또한, 상기 표시 패널(1)과 표면 투명 부재(2,3)를 접합하기 위해서 투명 점착 필름(optically clear adhesive, OCA) 또는 투명 접착제(optically clear resin, OCR) 등과 같은 투명 접착제층(4)이 사용된다.Referring to FIG. 1, a transparent surface member such as a
구체적으로, 상기 표시 패널(1) 상에 투명 접착제층(4)을 개재하고 그 위에 터치 패널(2)을 진공 합착한 후, 오토 클레이브 공정을 이용하여 상기 투명 접착제층(4)에 존재하는 기포를 제거하여 접착력을 강화시키게 된다.Specifically, after interposing the transparent
본 명세서에서, 기판 모듈이라 함은 기판 모듈을 구성하는 부품, 즉, 표시 패널, 표면 투명 부재 및 상기 표시 패널과 상기 표면 투명 부재 사이에 투명 점착 필름(optically clear adhesive, OCA) 또는 투명 접착제(optically clear resin, OCR)가 개재되어 진공 합착된 상태를 말한다. 즉, 기판 모듈이라 함은 표시 패널, 표면 투명 부재 및 상기 표시 패널과 표면 투명 부재 사이에 개재된 접착제층을 통칭하는 용어로 사용된다. 또한, 상기 표시 패널은 가요성 표시 기판을 포함할 수 있다.In the present specification, a substrate module is a component constituting a substrate module, that is, a display panel, a surface transparent member, and a transparent adhesive film (optically clear adhesive, OCA) or a transparent adhesive between the display panel and the surface transparent member. Clear resin, OCR) is interposed and vacuum bonded. That is, the term "substrate module" is used as a generic term for a display panel, a surface transparent member, and an adhesive layer interposed between the display panel and the surface transparent member. Also, the display panel may include a flexible display substrate.
도 2는 종래 기술에 따른 오토 클레이브 장치를 개략적으로 나타낸 도이다.2 is a diagram schematically showing an autoclave apparatus according to the prior art.
도 2를 참조하면, 종래 기술에 따른 오토 클레이브 장치(10)는 챔버(11), 상기 챔버(11) 내부에 구비되며, 기판 모듈이 안착되는 플레이트(12), 상기 챔버(11) 내부를 소정의 압력 및 소정의 온도로 유지시키기 위한 가압 유닛(13) 및 가열 유닛(14)을 포함한다.Referring to Figure 2, the
즉, 기판 모듈(S)을 상기 플레이트(12)에 안착시킨 후, 상기 플레이트(12)를 챔버(11) 내에 위치시킨다. 이어서, 상기 가열 유닛(13) 및 가압 유닛 (14)을 이용하여 상기 챔버(11) 내부를 가열 및 가압시킨다. 이러한 가열 및 가압 공정이 완료되면, 상기 챔버(11) 내부를 냉각 및 감압시킨 후, 처리된 기판 모듈(S)을 챔버(11)로부터 추출하여 다음 공정이 진행된다.That is, after the substrate module S is mounted on the
예를 들어, 상기 기판 모듈(S)이 표시 패널, 표면 투명 부재 및 상기 표시 패널과 상기 표면 투명 부재 사이에 투명 점착 필름(optically clear adhesive, OCA)이 개재되어 진공 합착된 상태인 경우, 상기 접착층에 존재하는 기포를 제거하기 위한 오토 클레이브(Auto Clave) 공정 이후에, 광(UV) 경화 투명 점착 필름(UV OCA)을 경화시키기 위한 공정이 진행된다.For example, when the substrate module S is in a state in which a display panel, a surface transparent member, and a transparent adhesive film (optically clear adhesive, OCA) interposed between the display panel and the surface transparent member, is vacuum-bonded, the adhesive layer After the auto clave process for removing air bubbles present in the light (UV) curing transparent adhesive film (UV OCA), a process for curing the light (UV) curing transparent adhesive film (UV OCA) proceeds.
따라서, 일련이 공정 사이에서 기판 모듈 부품을 챔버(11) 내부에 안착 및 배치시키고, 공정 이후 다시 기판(S)을 챔버(11) 외부로 추출하여 다음 공정으로 반송시켜야 하기 때문에 공정 효율이 떨어지고, 작업 시간이 증가하게 된다.Therefore, since the substrate module component is seated and placed inside the
이에 본 발명에서는 오토 클레이브(Auto Clave)장치 내에 광경화를 위한 광 조사 유닛을 포함하는 광경화 일체형 오토 클레이브 장치를 제공하고자 한다.Accordingly, in the present invention, it is intended to provide a light-curing integrated autoclave device including a light irradiation unit for light-curing in an auto clave device.
도 3은 본 발명에 따른 광경화 일체형 오토 클레이브 장치를 개략적으로 나타낸 단면도이고, 도 4는 본 발명에 따른 광경화 일체형 오토 클레이브 장치를 개략적으로 나타낸 평면도이다.3 is a cross-sectional view schematically showing a photo-curing integrated autoclave apparatus according to the present invention, and FIG. 4 is a plan view schematically showing a photo-curing integrated autoclave apparatus according to the present invention.
도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 광경화 일체형 오토 클레이브 장치(100)는 챔버(110), 상기 챔버(110) 내에 배치되며, 기판 모듈(S)이 안착되는 플레이트(120), 상기 챔버(110)내 일측에 배치되며 상기 챔버(110) 내부 온도를 상승시키기 위한 가열 유닛(130), 상기 챔버(110)내 일측에 배치되며 상기 챔버(110) 내부 압력을 상승시키기 위한 가압 유닛(140) 및 상기 플레이트(120) 상에 배치되며, 상기 기판 모듈(S)에 광을 조사하기 위한 광 조사 유닛(150) 을 포함한다.3 and 4, the photo-curing integrated
상기 광 경화 일체형 오토 클레이브 장치(100)는 상기 챔버(110) 외부에서 제공되는 기판 모듈(S)을 상기 플레이트(120) 상에 안착시키고, 공정이 완료된 이후에 상기 챔버(110)로부터 추출하기 위한 반송부를 더 포함할 수 있다.The light curing integrated
상기 반송부는 상기 챔버(110) 외부에서 제공되는 기판 모듈(S)이 놓여지는 로딩부(161), 상기 기판 모듈(S)을 상기 챔버(100) 외부로 추출하기 위한 언로딩부(162) 및 상기 로딩부(161)에 놓여진 기판(S)을 상기 플레이트(120) 상의 소정의 위치에 정렬하고, 공정이 완료된 후 상기 플레이트(120) 상의 기판 모듈(S)을 상기 언로딩부(162)로 정렬하기 위한 이송수단인 암로봇(163)을 포함할 수 있다. 이외에도 상기 반송부는 컨베이어 형태로 구비될 수도 있다.The transport unit includes a
상기 로딩부(161)에는 상기 챔버(110)의 일측에 구비된 제 1 개폐부(115)를통해 외부로부터 투입되는 기판 모듈(S)이 놓여질 수 있으며, 상기 언로딩부(162)에 놓여진 기판(S)은 상기 챔버(110)의 다른 일측에 구비된 제 2 개폐부(116)로 추출될 수 있다.A substrate module S input from the outside through a first opening/
상기 제 1 개폐부(115) 및 상기 제 2 개폐부(116)는 기판(S) 로딩 및 언로딩시에만 개방될 수 있으며, 공정 중에는 밀폐되어 상기 챔버(110)를 밀폐 용기로 만들 수 있다.The first opening/
즉, 상기 로딩부(161)에 안착된 상태로 상기 제 1 개폐부(115)를 통하여 상기 챔버(110) 내부로 투입된 기판(S)은, 상기 암로봇(163)에 의하여 상기 플레이트(120) 상의 소정의 위치에 정렬될 수 있다. 또한, 공정이 모두 완료된 이후 상기 플레이트(120) 상의 기판(S)은 상기 암로봇(163)에 의해 상기 언로딩부(162)로 이동하며, 상기 제 2 개폐부(116)를 통하여 상기 챔버(110) 외부로 취출될 수 있다.That is, the substrate S inserted into the
상기 챔버(110)는 오토 클레이브 공정 및 광 경화 공정 시 기판(S)이 외부로부터 오염되지 않도록 기판(S)과 외부를 차단시키는 역할을 한다. 또한, 상기 챔버(110)는 오토 클레이브 공정 시 일정한 압력 및 온도를 유지할 수 있도록 밀폐된 구조를 갖는다. 상기 도 2에서 상기 챔버(110)는 육면체 형태로 도시되어 있으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 챔버(110)는 다양한 형태의 밀폐 용기 형태를 가질 수 있다.The
상기 플레이트(120) 상에는 다수의 기판(S)이 적재될 수 있다. 또한, 상기 플레이트(120)는 기판이 안착되는 복수개의 층을 포함하는 카세트 형태로 구비될 수도 있다.A plurality of substrates S may be mounted on the
상기 플레이트(120) 상에 안착된 기판(S)은 상기 챔버(110) 내에서 소정의 온도와 압력으로 처리될 수 있다. 표시 패널, 표면 투명 부재 및 접착제층을 포함하는 상기 기판(S)을 가열하면 상기 접착제층에 존재하는 미세 기포의 부피가 팽창하게 된다. 그리고 부피가 팽창된 미세 기포에 압력이 가해지면 탈포가 용이하게 이루어지게 되며, 그 결과 상기 표시 패널과 상기 표면 투명 부재는 더욱 강력하게 접착되게 된다.The substrate S mounted on the
상기 가열 유닛(130)은 상기 챔버(110) 내부 온도를 소정의 온도로 가열시켜서, 상기 기판(S)의 접착제층에 존재하는 미세 기포의 부피를 팽창시키는 역할을 한다. 본 발명의 일례에서 상기 가열 유닛(140)은 전기 히터가 사용되며, 이외에도 다양한 종류의 히터가 사용될 수 있다. 본 발명의 일례에서 상기 가열 유닛(130)은 상기 챔버 내 온도를 상온에서 100℃까지 바람직하게 70℃까지 상승시킬 수 있다.The
상기 가압 유닛(140)은 상기 챔버(110) 내부 압력을 소정의 압력으로 가압시켜서, 상기 기판(S)의 접착제층에 존재하는 미세 기포를 제거하는 역할을 한다. 본 발명의 일례에서 상기 가압 유닛(140)은 상기 챔버(110) 내부 압력을 대기압에서 1.2Mpa까지 바람직하게 0.6Mpa까지 가압할 수 있다.The pressurizing
상기 광 조사 유닛(150)은 상기 챔버(110) 내에 모듈화 되어 구비될 수 있으며, 상기 챔버(110) 내의 플레이트(120) 상에 배치되어, 상기 플레이트(120) 상에 정렬되는 기판(S)에 광을 조사하는 역할을 한다. 즉, 상기 광 조사 유닛(150)은 상기 오토 클레이브 공정 이후, 상기 기판(S)에 광을 예를 들어, 자외선을 조사하는 광 경화 공정을 수행한다.The
상기 광 조사 유닛(150) 상부에는 상기 광 조사 유닛(150)을 챔버(110) 내에서 상하로 이동시킬 수 있도록 제어하는 높이 조절 제어 유닛(171) 및 상기 광 조사 유닛(150)을 전후 또는 좌우로 이동시킬 수 있도록 제어하는 위치 조절 제어 유닛(172)가 구비될 수 있다. 즉, 상기 광 조사 유닛(150)은 상기 챔버(110) 내에서 상하, 전후 및 좌우 왕복 이동이 가능하다.Above the
상기 광 조사 유닛(150)은 상기 기판(S)에 광을 조사하는 복수개의 광원을 포함하는 광원부(151), 상기 복수개의 광원 일측에 배치되며, 상기 복수개의 광원을 냉각하는 냉각부(152) 및 상기 광원부(151) 외부를 둘러싸도록 구비되며, 상기 복수개의 광원을 보호하는 보호부(153)을 포함한다.The
상기 광원부(151)는 복수개의 광원을 포함하며, 상기 각각의 광원은 면광원 또는 점광원일 수 있다. 본 발명의 일례에 따른 상기 광원은 광 조사용 LED, 예를 들어 자외선 LED(UV LED)일 수 있다.The
상기 냉각부(152)는 상기 광원부(151)의 일측에 구비될 수 있다. 상기 냉각부(152)는 오토 클레이브 공정으로 인한 상기 챔버(110)의 온도가 상승 또는 상기 광원부(151) 자체의 발열로 인한 온도 상승으로부터 상기 광원이 손상되는 것을 방지하는 역할을 한다.The
상기 냉각부(152)는 상기 챔버(110) 외부에 구비된 냉각 장치(180)와 별도의 연결 수단(181)을 통하여 연결될 수 있다. 상기 냉각 장치(180)는 공랭식 냉각 장치 또는 수냉식 냉각 장치일 수 있다. 상기 냉각 장치(180)가 공랭식 냉각 장치인 경우 상기 연결 수단(181)을 통하여 가열된 공기를 배출하고, 냉각된 공기를 주입할 수 있다. 또한, 상기 냉각장치(180)가 수냉식 냉각 장치인 경우 상기 냉각부(152)에 물자켓 등이 더 구비될 수 있으며, 가열된 냉각수 및 다시 냉각된 냉각수가 상기 물자켓을 통하여 순환될 수 있다.The
상기 보호부(153)는 상기 광원부(151)를 둘러싸도록 형성될 수 있으며, 상기 광원부(151)에서 발생된 광이 기판(S)에 조사될 수 있도록 투명한 재질로 형성되어야 한다. 광을 통과시키는 유리로는 저(低)알칼리붕규산유리 또는 석영유리 등이 사용될 수 있다. The
도 5는 본 발명에 따른 광 경화 일체형 오토 클레이브 장치를 이용한 처리 공정을 나타낸 순서도이다.5 is a flow chart showing a treatment process using the light curing integrated autoclave device according to the present invention.
도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 광 경화 일체형 오토 클레이브 장치는 챔버 내에 구비된 플레이트 상에 기판을 안착시키는 단계, 챔버 내 온도 및 압력을 일정 온도 및 압력으로 상승시키는 오토 클레이브 공정 단계, 기판 상에 광을 조사하는 광 경화 단계 및 챔버에서 기판을 취출하는 단계를 포함한다. 이러한 공정을 통하여 오토 클레이브 공정 및 광 경화 공정이 하나의 설비 내에서 진행되기 때문에 공정 시간을 단축할 수 있다.Referring to FIG. 5, in the light curing integrated autoclave apparatus according to the present invention, the step of mounting a substrate on a plate provided in a chamber, an autoclave process step of raising the temperature and pressure in the chamber to a predetermined temperature and pressure, and on the substrate. It includes a light curing step of irradiating light to and taking out the substrate from the chamber. Through this process, since the autoclave process and the photo-curing process are performed in one facility, the process time can be shortened.
도 3 및 도 5를 참조하면, 상기 플레이트(120) 상에 기판(S)을 안착시키는 단계는, 표시 패널 상에 광 경화 투명 점착 필름(UV OCA)가 개재된 상태에서 표면 투명 부재와 진공 합착된 상태의 기판(S)이 상기 챔버(110)의 로딩부(161)에 안착되는 단계, 상기 챔버(110)의 제 1 개폐부(115)가 개방되면서 상기 기판(S)이 상기 챔버(110) 내부로 투입되는 단계 및 암로봇(163)이 상기 투입된 기판(S)을 상기 플레이트(120)상의 소정의 위치에 정렬하는 단계를 포함한다.3 and 5, the step of mounting the substrate S on the
상기 오토 클레이브 공정 단계는, 가열 유닛(130)에 의해 상기 챔버(110) 내 온도를 상승시키는 단계 및 가압 유닛(140)에 의해 상기 챔버(110) 내 압력을 상승시키는 단계를 포함한다.The autoclave process step includes raising a temperature in the
또한, 상기 오토 클레이브 공정 단계 및 상기 광 경화 공정 단계에서, 상기 광원부(151)는 상기 냉각부(152)에 의해 지속적으로 냉각될 수 있다.In addition, in the autoclave process step and the photocuring process step, the
상기 기판(S) 취출 단계는, 암로봇(163)이 상기 플레이트(120) 상의 기판(S)을 언로딩부(162)로 이동시키는 단계 및 상기 챔버(110)의 제 2 개폐부(116)가 개방되면서 상기 언로딩부(162) 상의 기판(S)이 챔버(110) 외부로 취출되는 단계를 포함할 수 있다.In the step of taking out the substrate S, the
이상, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일례들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 일례들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Above, examples of the present invention have been described with reference to the accompanying drawings, but those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. You can understand. Therefore, the examples described above are illustrative in all respects and should be understood as non-limiting.
110 : 챔버 120 : 플레이트
130 : 가열 유닛 140 : 가압 유닛
150 : 광 조사 유닛 151 : 광원부
152 : 냉각부 153 : 보호부
161 : 로딩부 162 : 언로딩부
163 : 암로봇 171 : 높이 조절 유닛
172 : 위치 조절 유닛 180 : 냉각장치110: chamber 120: plate
130: heating unit 140: pressurizing unit
150: light irradiation unit 151: light source unit
152: cooling unit 153: protection unit
161: loading unit 162: unloading unit
163: arm robot 171: height adjustment unit
172: position control unit 180: cooling device
Claims (10)
상기 챔버 내에 배치되며, 기판 모듈이 안착되는 플레이트;
상기 챔버 내에서 상기 플레이트 상에 배치되며, 상기 기판 모듈에 광을 조사하는 광 조사 유닛;
상기 챔버 내에서 상기 챔버의 일측에 배치되며, 상기 챔버 내부 온도를 상승시키기 위한 가열 유닛; 및
상기 챔버 내에 배치되며, 상기 챔버 내부 압력을 상승시키기 위한 가압 유닛;을 포함하는 광경화 일체형 오토 클레이브 장치.chamber;
A plate disposed in the chamber and on which a substrate module is mounted;
A light irradiation unit disposed on the plate in the chamber and irradiating light to the substrate module;
A heating unit disposed on one side of the chamber within the chamber and configured to increase a temperature inside the chamber; And
A photo-curing integrated autoclave apparatus comprising; a pressurizing unit disposed in the chamber and configured to increase the pressure inside the chamber.
The photo-curing integrated autoclave according to claim 4, wherein the protection unit includes glass that transmits light.
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