KR20120065896A - 코팅 장치의 배관 장치 및 그 세정 방법 - Google Patents

코팅 장치의 배관 장치 및 그 세정 방법 Download PDF

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Abstract

코팅 장치의 배관 장치는, 코팅액을 포함하는 코팅 캐니스터; 상기 코팅 캐니스터을 연결하는 연결부; 상기 코팅 캐니스터의 코팅액을 공급받는 코팅 탱크; 상기 코팅 탱크의 코팅액을 공급받아 노즐로 공급하는 펌프; 코팅 캐니스터, 상기 코팅 탱크, 상기 펌프 및 상기 노즐 사이에 연결된 다수의 배관들; 배관 세정시 상기 코팅 캐니스터 대신에 상기 연결부에 연결되는 세정 병; 및 배관 세정시 질소 가스와 용제가 선택적으로 공급되도록 제어하는 다수의 제어 밸브를 포함한다.

Description

코팅 장치의 배관 장치 및 그 세정 방법{Pipe tube device for coating apparatus and cleaning method thereof}
실시예는 코팅 장치의 배관 장치 및 그 세정 방법에 관한 것이다.
액정 표시 패널과 같은 표시 패널을 구성하는 유리 기판 상에는 라인 패턴이나 전극 패턴 등의 미세한 패턴이 형성되어 있다. 일반적으로 이러한 패턴은 예를 들어 포토리소그래피 등의 방법에 의해 형성된다. 포토리소그래피 방법은 유리 기판 상에 레지스트막을 형성하는 코팅 공정, 레지스트막을 패턴 노광하는 노광 공정 및 레지스터막을 현상하는 현상 공정이 각각 실시된다.
액정 표시 패널이 점차 커지면서 종래의 스핀 코팅 장치에 의한 코팅에는 한계가 있어, 그 대안으로서 노즐을 이용하여 코팅하는 코팅 장치가 개발되었다.
노즐을 이용하는 코팅 장치는 기판이 고정되는데 반해, 노즐이 이동하면서 코팅을 하는 방식(스핀리스 방식)과, 기판이 공기에 의해 부상하여 이동되는 한편 노즐이 고정되어 코팅을 하는 방식(공기 부상 방식)으로 구분된다.
이러한 코팅 장치는 노즐을 통해 코팅액이 분사되고, 코팅액은 여러 단계의 배관들을 경유하여 제공된다.
상기 코팅 장치는 필요에 따라 서로 상이한 코팅액을 사용한다. 예를 들어, 제1 코팅액을 사용하다가, 제2 코팅액을 사용할 수도 있다.
이러한 경우, 여러 단계의 배관들이 세정되어야 한다.
종래에 이러한 배관들을 세정하는 경우, 작업자가 질소를 공급하기 위해 질소 저장고를 배관에 연결한 다음 작업자가 버튼 등을 이용하여 질소 공급을 조작해야 하고, 용제를 공급하기 위해 용제 저장고를 배관에 연결한 다음 작업자가 버튼 등을 이용하여 용제 공급을 조작해야 하며, 이후 사용하고자 하는 코팅액을 포함하는 저장고를 배관에 연결해야 한다.
이와 같이 종래의 배관 세정 방법은 작업자가 저장고의 연결과 질소 또는 용제의 공급을 일일이 조작해야 하므로, 배관 세정 공정에 많은 시간이 소요되었다.
또한 종래의 배관 세정 방법은 작업자마다 조작 방법이 다르고, 배관 세정 상태이 육안 관찰 능력 또한 다르기 때문에, 배관 세정 후에도 전 코팅액이 배관에 잔류함으로 인한 코팅 불량이 발생하였다.
실시예는 배관 세정의 정확도를 향상시킨 코팅 장치의 배관 장치 및 그 세정 방법를 제공한다.
실시예는 배관 세정의 자동화를 증가시킨 코팅 장치의 배관 장치 및 그 세정 방법를 제공한다.
실시예는 배관 세정 공정 시간을 단축시킨 코팅 장치의 배관 장치 및 그 세정 방법를 제공한다.
실시예에 따르면, 코팅 장치의 배관 장치는, 코팅액을 포함하는 코팅 캐니스터; 상기 코팅 캐니스터을 연결하는 연결부; 상기 코팅 캐니스터의 코팅액을 공급받는 코팅 탱크; 상기 코팅 탱크의 코팅액을 공급받아 노즐로 공급하는 펌프; 코팅 캐니스터, 상기 코팅 탱크, 상기 펌프 및 상기 노즐 사이에 연결된 다수의 배관들; 배관 세정시 상기 코팅 캐니스터 대신에 상기 연결부에 연결되는 세정 병; 및 배관 세정시 질소 가스와 용제가 선택적으로 공급되도록 제어하는 다수의 제어 밸브를 포함한다.
실시예에 따르면, 연결부, 코팅 탱크, 펌프, 이들 사이의 배관들 및 질소 가스와 용제를 선택적으로 공급되도록 제어하는 다수의 제어 밸브를 포함하는 코팅 장치의 배관 장치에서의 세정 방법은, 세정 병을 연결부에 연결하는 단계; 질소 가스를 상기 세정병, 상기 코팅 탱크 및 상기 펌프에 주입하여 상기 배관들을 1차적으로 세정하는 단계; 및 용제를 상기 세정병, 상기 코팅 탱크 및 상기 펌프에 주입하여 상기 배관들을 2차적으로 세정하는 단계를 포함한다.
실시예는 배관 세정의 정확도를 향상킬수 있다.
실시예는 배관 세정의 자동화를 증가시킬 수 있다.
실시예는 배관 세정 공정 시간을 단축시킬 수 있다.
도 1은 실시예에 따른 코팅 장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 코팅 장치에서 코팅 중일 때의 제1 실시예에 따른 배관 장치를 도시한 도면이다.
도 3은 도 1의 코팅 장치에서 배관 세정 중일 때의 제1 실시예에 따른 배관 장치를 도시한 도면이다.
도 4는 도 2의 배관 장치에서 코팅 캐니스터를 도시한 도면이다.
도 5는 도 3의 배관 장치에서 세정 병을 도시한 도면이다.
도 6는 도 1의 코팅 장치에서 코팅 중일 때의 제2 실시에에 따른 배관 장치를 도시한 도면이다.
도 7은 도 1의 코팅 장치에서 배관 세정 중일 때의 제2 실시예에 따른 배관 장치를 도시한 도면이다.
이하 첨부된 도면들을 참조하여 실시예들을 상세히 설명한다.
도 1은 실시예에 따른 코팅 장치를 도시한 사시도이다.
실시예에 따른 코팅 장치(10)는 공기에 의해 유리 기판을 부상시키는 공기 부상 코팅 장치이다. 이하의 설명에서는 공기 부상 코팅 장치로 한정하여 설명하지만, 실시예는 이에 한정되지 않고 스핀리스 코팅 장치에도 적용될 수 있다.
도 1을 참조하면, 실시예에 따른 코팅 장치(10)는 예를 들어 액정 패널 등에 사용되는 유리 기판(27) 상에 레지스트를 코팅하는 코팅 장치로서, 반송 유닛과 코팅 유닛으로 구성된다.
상기 반송 유닛은 스테이지(11)와 플랫폼(13)으로 구성된다.
상기 스테이지(11)는 상기 코팅 장치(10)를 전체적으로 지지하고 고정하여 주는 역할을 하는 것으로서, 다수의 지지체들이 서로 연결되어 구성된다.
상기 스테이지(11) 상에는 플랫폼(13)이 배치된다. 상기 플랫폼(13)은 상기 유리 기판(27)을 부상시켜 이동시키는 역할을 한다.즉, 상기 플랫폼(13)은 다수의 공기 배출구들(13a)과 다수의 공기 흡입구들(13b)을 포함한다. 상기 배출구들(13a)과 상기 흡입구들(13b)은 상기 플랫폼(13)을 관통하여 형성될 수 있다.
상기 플랫폼(13)의 하부에 있는 공기는 상기 공기 배출구들(13a)을 통해 상기 플랫폼(13)의 상부로 배출될 수 있다. 상기 플랫폼(13)의 상부에 있는 공기는 상기 공기 흡입구들(13b)에 의해 흡입되어 상기 플랫폼(13)의 하부로 배출될 수 있다.
상기 플랫폼(13)의 하부에 있는 공기는 소정의 공기 탱크(미도시)로부터 공급될 수 있다. 상기 공기 흡입구들(13b)을 통해 흡입된 공기는 상기 공기 탱크로 공급되어 재활용될 수도 있고, 또는 상기 공기 탱크로 공급되지 않고 버려질 수도 있다.
상기 공기 배출구들(13a)과 상기 공기 흡입구들(13b)은 공기의 유속을 제어하기 위해 그 직경이나 관의 모양 등이 여러 가지로 변형 가능하며, 실시예는 이에 한정하지 않는다.
상기 공기 배출구들(13a)로부터 배출된 공기의 양과 상기 공기 흡입구들(13b)에 의해 흡입되는 공기의 양을 조절하여, 상기 유리 기판(27)이 상기 플랫폼(13)으로부터 상부 방향으로 부상될 수 있다.
도시하지 않았지만, 상기 유리 기판(27)의 적어도 일 측을 고정하여 이동시키기 위한 고정 이동부가 구비될 수도 있다. 따라서, 상기 공기에 의해 부상된 유리 기판(27)은 상기 고정 이동부에 의해 측 방향으로 이동될 수 있다.
상기 유리 기판(27)의 진행 방향의 좌우측에는 노즐(21)을 이동시키고 코팅을 수행하는 코팅 유닛이 구비될 수 있다.
상기 코팅 유닛은 제1 및 제2 지지 부재(15, 17), 노즐 지지대(19) 및 노즐(21)을 포함할 수 있다.
상기 제1 및 제2 지지 부재(15, 17)는 상기 노즐(21) 또는 상기 노즐 지지대(19)가 상하 방향으로 이동되도록 한다. 상기 제1 및 제2 지지 부재(15, 17)는 상기 노즐 지지대(19)를 지지하여, 상기 노즐(21)이 안전하게 원하는 위치로 이동되도록 한다.
상기 노즐(21)은 상기 노즐 지지대(19)에 고정되어, 노즐 지지대(19)의 이동으로 상기 노즐(21)도 이동될 수 있다.
상기 제1 및 제2 지지 부재(15, 17) 각각은 도시하지 않은 모터와 샤프트를 포함할 수 있다.
상기 노즐 지지대(21)는 상기 샤프트에 스크류 이동 가능하도록 연결될 수 있다.
모터에 의해 샤프트가 회전하게 되고, 상기 샤프트의 회전에 의해 상기 노즐 지지대(19)가 상부 방향 또는 하부 방향으로 이동될 수 잇다.
상기 제1 및 제2 지지 부재(15, 17) 각각의 외측에는 노즐의 상하 이동 정도를 측정하기 위한 리니어 스케일(Linear scale)(25)이 설치될 수 있다.
이러한 코팅 장치는 코팅액을 공급하여 주고 세정시 세정액, 예컨대 질소나 용제를 공급하여 주기 위한 배관 장치를 포함할 수 있다. 상기 코팅액은 노즐(21)을 통해 기판(27) 상으로 분사될 수 있다.
도 2는 도 1의 코팅 장치에서 코팅 중일 때의 제1 실시예에 따른 배관 장치를 도시한 도면이고, 도 3은 도 1의 코팅 장치에서 배관 세정 중일 때의 제1 실시예에 따른 배관 장치를 도시한 도면이다.
도 2를 참조하면, 제1 실시예에 따른 배관 장치는 코팅 캐니스터(12), 버퍼 탱크(16), 코팅 탱크(18), 필터(20), 탈기 탱크(22) 및 펌프(24)를 포함할 수 있다.
도 2 및 도 3에서는 하나의 펌프만이 도시되고 있지만, 2개 이상의 펌프가 사용될 수도 있다.
상기 버퍼 탱크(16)와 상기 코팅 탱크(18) 사이, 상기 코팅 탱크(18)와 상기 필터(20) 사이, 상기 탈기 탱크(22)와 상기 펌프(24) 사이 그리고 상기 펌프(24)와 상기 노즐(21) 사이에는 코팅액, 질소 가스나 용제의 공급/차단을 제어하는 제1 내지 제4 배관 밸브(31, 33, 36, 38)가 설치될 수 있다.
상기 코팅 캐니스터(12), 상기 코팅 탱크(18) 및 상기 제4 배관 밸브(38)에는 질소 가스 및 용제의 선택적인 공급을 제어하는 제1 내지 제3 제어 밸브(41, 43, 45)가 설치될 수 있다.
도 2와 같이 코팅 중일 때에는 코팅 캐니스터(12)가 연결부(14)에 연결될 수 있다.
또한 배관 세정 중일 때에는 코팅 캐니스터(12) 대신에 도 3과 같이 세정 병(50)이 상기 연결부(14)에 연결될 수 있다.
상기 코팅 캐니스터(12)는 도 4에 도시한 바와 같이, 코팅액이 담겨있는 코팅 저장고(152)와, 상기 코팅 저장고(152)와 상기 코팅 캐니스터(12) 사이의 빈 공간으로 질소 가스를 주입하기 위한 주입구(154)와, 상기 주입구(154)로 주입된 질소 가스에 의한 압력에 의해 상기 코팅 저장고(152)가 수축되어 상기 코팅 저장고(152) 안에 있는 코팅액이 배출되는 배출구(156)를 포함할 수 있다.
상기 코팅 저장고(152)의 벽은 질소 가스의 압력에 의해 용이하게 수축될 수 있는 재질로 이루어지고, 예컨대 비닐(vinyl)계 물질을 포함할 수 있다.
코팅 중일 때, 상기 제1 및 제2 제어 밸브(41, 43)의 제어에 의해 질소 가스가 상기 코팅 캐니스터(12) 및 상기 코팅 탱크(18)에 공급될 수 있다. 이때, 제3 제어 밸브(45)는 동작되지 않게 되어, 질소 가스가 상기 제4 배관 밸브(38)로 공급되지 않게 된다.
코팅 중일 때에는 상기 제4 배관 밸브(38)는 펌프(24)의 코팅액이 상기 노즐(21)로 공급되도록 상기 펌프(24)의 출력 배관(87)과 상기 노즐(21)의 입력 배관(89) 사이를 연결시킬 수 있다.
코팅 공정을 위해 상기 코팅 캐니스터(12)는 상기 연결부(14)에 연결될 수 있다.
상기 질소 가스가 상기 코팅 캐니스터(12)의 주입구(14)를 통해 주입되면, 상기 코팅 캐니스터(12)와 상기 코팅 저장고(152) 사이의 빈 공간이 질소 가스로 채워지게 되고, 이러한 질소 가스로 인한 압력이 상기 코팅 저장고(152)를 가압하여, 상기 코팅 저장고(152)의 코팅액이 상기 배출구(14)를 통해 배출될 수 있다.
상기 코팅 캐니스터(12)의 배출구(14)를 통해 배출된 코팅액은 배관(71)을 통해 상기 버퍼 탱크(16)로 공급될 수 있다.
상기 버퍼 탱크(16)는 코팅액이 코팅 탱크(18)로 공급되기 전에 잠시 코팅액을 저장하는 장소이다. 이는 상기 코팅 탱크(18)가 상기 코팅 캐니스터(12)에 비해 현저히 높은 위치에 설치되어, 이들 간의 높은 압력차로 인해 코팅액을 코팅 캐니스터(12)에서 코팅 탱크(18)로 직접 공급하는데 어려움이 발생되는 것을 방지하기 위함이다.
만일 코팅 탱크(18)와 코팅 캐니스터(12) 간의 압력차이가 크지 않아 코팅 캐니스터(12)의 코팅액이 코팅 탱크(18)로 충분히 공급되는 경우, 상기 버퍼 탱크(16)는 설치되지 않을 수도 있다.
상기 코팅 탱크(18)의 코팅액은 상기 코팅 탱크(18)로 공급되는 질소 가스에 의한 압력으로 필터(20)로 공급될 수 있다.
코팅 중일 때에는 상기 제2 제어 밸브(43)는 질소 가스가 상기 코팅 탱크(18)로 공급되도록 질소 가스의 라인이 상기 코팅 탱크(18)에 연결되도록 제어한다.
상기 필터(20)는 코팅액을 정제하기 위한 장소이다. 상기 필터(20)에 의해 코팅액이 정제되어, 보다 순수한 코팅액이 남게 된다.
상기 필터(20)의 코팅액은 상기 탈기 탱크(22)로 공급되어, 상기 코팅액에 포함된 질소 가스를 포함한 공기 성분이 제거된다.
상기 코팅액에 공기 성분이 포함된 상태로 코팅이 되는 경우, 코팅액 속의 공기 성분이 기포로 작용하여 코팅시 코팅액이 기판에 균일하게 도포되지 않을 뿐만 아니라 코팅액이 부분적으로 도포되지 않을 수도 있다.
상기 탈기 탱크(22)의 코팅액이 펌프(24)로 공급되고, 상기 펌프(24)의 코팅액은 상기 노즐(21)로 공급되어, 상기 노즐(21)을 통해 기판 상에 도포될 수 있다.
다시 말해, 코팅 중일 때, 상기 코팅 캐니스터(12)의 코팅액이 상기 버퍼 탱크(16), 상기 코팅 탱크(18), 상기 필터(20), 상기 탈기 탱크(22) 및 상기 펌프(24)를 경유하여 상기 노즐(21)로 공급될 수 있다.
필요시, 상기 제1 내지 제4 배관 밸브(31, 33, 36, 38)의 제어에 의해 상기 코팅액의 공급을 제어할 수 있다.
한편, 배관 세정을 하는 경우, 도 2의 코팅 캐니스터(12)는 도 3의 세정 병(50)으로 교체될 수 있다.
상기 세정 병(50)은 도 5에 도시한 바와 같이, 그 내부는 비어 있는 공간이고, 질소 가스나 용제가 주입되기 위한 주입구(54)와 상기 공간으로 주입된 공기가 배출되는 배출구(56)로 이루어진다.
상기 세정 병(50)은 상기 연결부(14)와의 체결을 위해 상부가 스크류(52)로 형성될 수 있다. 따라서, 상기 세정 병(50)의 스크류(52)에 의해 상기 연결부(14)와 체결될 수 있다.
예컨대, 질소 가스는 상기 세정 병(50)의 주입구(54)를 통해 주입된 후, 다시 배출구(56)를 통해 배출될 수 있다. 또한, 상기 용제는 상기 세정 병(50)의 주입구(54)를 통해 주입된 후, 다시 배출구(56)를 통해 배출될 수 있다.
이와 같이 세정 병(50)이 상기 연결부(14)에 연결된 다음, 배관 세정은 질소 가스에 의한 1차 배관 세정과 용제에 의한 2차 배관 세정으로 이루어질 수 있다.
먼저, 1차 배관 세정을 위해, 상기 제1 내지 제3 제어 밸브(41, 43, 45)는 질소 가스가 공급되도록 질소 가스 통로를 개방시킨다.
따라서, 질소 가스는 상기 제1 제어 밸브(41)에 의해 상기 세정 병(50)으로 주입되고, 상기 제2 제어 밸브(43)에 의해 상기 코팅 탱크(18)로 주입되며, 상기 제3 제어 밸브(45)에 의해 상기 제4 배관 밸브(38)로 주입될 수 있다. 이때, 상기 제4 배관 밸브(28)는 상기 질소 가스가 상기 노즐(21)로 주입되도록 제어된다. 따라서, 상기 펌프(24)의 출력 배관(87)은 차단되고, 상기 질소 가스는 상기 노즐(21)의 입력 배관(89)을 통해 상기 노즐(21)로 주입될 수 있다.
상기 세정 병(50)으로 주입된 질소 가스는 상기 세정 병(50)의 배출구(56)로 배출되고, 상기 배관(71)을 통해 상기 버퍼 탱크(16)로 주입되고, 상기 버퍼 탱크(16)의 질소 가스는 상기 코팅 탱크(18)로 주입될 수 있다. 상기 코팅 탱크(18)에는 질소 가스, 용제 또는 코팅액 등을 배출시키기 위한 배출관(미도시)이 구비될 수 있다. 따라서, 상기 세정 병(50)으로부터 상기 버퍼 탱크(16)를 경유하여 상기 코팅 탱크(18)로 주입된 질소 가스가 상기 배출관을 통해 외부로 배출될 수 있다. 이러한 질소 가스에 의해 배관들(71, 73, 75)이나 버퍼 탱크(16)나 코팅 탱크(18)에 잔류하는 이물들이 제거될 수 있다.
상기 제2 제어 밸브(43)의 제어에 의해 질소 가스가 상기 코팅 탱크(18)로 주입되고, 상기 주입된 질소 가스는 상기 필터(20) 및 상기 탈기 탱크(22)를 경유하여 상기 펌프(24)로 주입될 수 있다. 상기 펌프(24)에는 질소 가스, 용제 또는 코팅액 등을 배출시키기 위한 배출관(미도시)이 구비될 수 있다. 따라서, 상기 코팅 탱크(18)로부터 상기 필터(20)와 상기 탈기 탱크(22)를 경유하여 상기 펌프(24)로 주입된 질소 가스가 상기 배출관을 통해 외부로 배출될 수 있다. 이러한 질소 가스에 의해 배관들(77, 79, 81, 83, 85)이나 상기 코팅 탱크(18), 상기 필터(20), 상기 탈기 탱크(22) 및 상기 펌프(24)에 잔류하는 이물들이 제거될 수 있다.
상기 제3 제어 밸브(45)와 상기 제4 배관 밸브(38)의 제어에 의해 질소 가스가 상기 노즐(21)로 주입될 수 있다. 상기 노즐(21)로 주입된 질소 가스는 상기 노즐(21)의 분사구를 통해 외부로 배출될 수 있다. 따라서, 배관(89)과 상기 노즐(21)에 잔류하는 이물이 상기 질소 가스에 의해 제거될 수 있다.
다음, 2차 배관 세정을 위해, 상기 제1 내지 제3 제어 밸브(41, 43, 45)는 용제가 공급되도록 용제 통로를 개방시킨다.
따라서, 용제는 상기 제1 제어 밸브(41)에 의해 상기 세정 병(50)으로 주입되고, 상기 제2 제어 밸브(43)에 의해 상기 코팅 탱크(18)로 주입되며, 상기 제3 제어 밸브(45)에 의해 상기 제4 배관 밸브(38)로 주입될 수 있다. 이때, 상기 제4 배관 밸브(38)는 상기 용제가 상기 노즐(21)로 주입되도록 제어된다. 따라서, 상기 펌프(24)의 출력 배관(87)은 차단되고, 상기 용제는 상기 노즐(21)의 입력 배관(89)을 통해 상기 노즐(21)로 주입될 수 있다.
상기 세정 병(50)으로 주입된 용제는 상기 세정 병(50)의 배출구(56)로 배출되고, 상기 배관(71)을 통해 상기 버퍼 탱크(16)로 주입되고, 상기 버퍼 탱크(16)의 용제는 상기 코팅 탱크(18)로 주입될 수 있다. 상기 코팅 탱크(18)에는 질소 가스, 용제 또는 코팅액 등을 배출시키기 위한 배출관(미도시)이 구비될 수 있다. 따라서, 상기 세정 병(50)으로부터 상기 버퍼 탱크(16)를 경유하여 상기 코팅 탱크(18)로 주입된 용제가 상기 배출관을 통해 외부로 배출될 수 있다. 상기 용제는 배관들(71, 73, 75)이나 버퍼 탱크(16)나 코팅 탱크(18)에 잔류하는 이물들을 녹이므로, 상기 배출관으로 배출된 용제 속에 이물들이 녹아있게 된다. 결국 상기 배관들(71, 73, 75)이나 버퍼 탱크(16)나 코팅 탱크(18)에 잔류하는 이물들을 녹이므로, 상기 배출관으로 배출된 용제 속에 이물들이 상기 용제에 의해 제거될 수 있다.
상기 제2 제어 밸브(43)의 제어에 의해 용제가 상기 코팅 탱크(18)로 주입되고, 상기 주입된 용제는 상기 필터(20) 및 상기 탈기 탱크(22)를 경유하여 상기 펌프(24)로 주입될 수 있다. 따라서, 상기 코팅 탱크(18)로부터 상기 필터(20)와 상기 탈기 탱크(22)를 경유하여 상기 펌프(24)로 주입된 용제가 배출관(미도시)을 통해 외부로 배출될 수 있다. 상기 용제는 배관들(77, 79, 81, 83, 85)이나 상기 코팅 탱크(18), 상기 필터(20), 상기 탈기 탱크(22) 및 상기 펌프(24)에 잔류하는 이물들을 녹이므로, 상기 배출관으로 배출된 용제 속에 이물들이 녹아있게 된다. 결국 상기 배관들(77, 79, 81, 83, 85)이나 상기 코팅 탱크(18), 상기 필터(20), 상기 탈기 탱크(22) 및 상기 펌프(24)에 잔류하는 이물들이 상기 용제에 의해 제거될 수 있다.
상기 제3 제어 밸브(45)와 상기 제4 배관 밸브(38)의 제어에 의해 용제가 상기 노즐(21)로 주입될 수 있다. 상기 노즐(21)로 주입된 용제는 상기 노즐(21)의 분사구를 통해 외부로 배출될 수 있다. 따라서, 배관(89)과 상기 노즐(21)에 잔류하는 이물이 상기 용제에 의해 제거될 수 있다.
이와 같이, 실시예는 질소 가스에 의한 1차 배관 세정과 용제의 의한 2차 배관 세정을 통해 배관 세정의 정확도를 향상시킬 수 있다.
또한, 실시예는 질소 가스와 용제 공급을 위해 공용으로 사용할 수 있는 세정 병을 이용하여 배관 세정의 자동화를 증가시킬 수 있다.
또한, 실시예는 질소 가스와 용제를 선택적으로 제어하는 제어 밸브를 이용하여, 배관 세정의 자동화를 증가시킬 수 있다.
따라서, 실시예는 배관 세정의 정확도를 향상시키고 배관 세정의 자동화를 증가시켜, 공정 시간을 단축시킬 수 있다.
도 6는 도 1의 코팅 장치에서 코팅 중일 때의 제2 실시에에 따른 배관 장치를 도시한 도면이고, 도 7은 도 1의 코팅 장치에서 배관 세정 중일 때의 제2 실시예에 따른 배관 장치를 도시한 도면이다.
제2 실시예는 제1 실시예와 비교하여, 코팅 캐니스터와 버퍼 탱크가 각각 두 개씩 구비되는 것을 제외하고는 거의 유사하다.
따라서, 제2 실시예에서는 제1 실시예와 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 도면 번호를 부여하고 상세한 설명을 생략한다.
도 6을 참조하면, 제2 실시예에 따른 배관 장치는 제1 및 제2 코팅 캐니스터(12a, 12b), 제1 및 제2 버퍼 탱크(16a, 16b), 코팅 탱크(18), 필터(20), 탈기 탱크(22) 및 펌프(24)를 포함할 수 있다.
도 6 및 도 7에서는 하나의 펌프만이 도시되고 있지만, 2개 이상의 펌프가 사용될 수도 있다.
상기 제1 및 제2 버퍼 탱크(16a, 16b)와 상기 코팅 탱크(18) 사이, 상기 코팅 탱크(18)와 상기 필터(20) 사이, 상기 탈기 탱크(22)와 상기 펌프(24) 사이 그리고 상기 펌프(24)와 상기 노즐 (21)사이에는 코팅액, 질소 가스나 용제의 공급/차단을 제어하는 제1 내지 제5 배관 밸브(31a, 31b, 33, 36, 38)가 설치될 수 있다.
상기 제1 및 제2 코팅 캐니스터(12a, 12b), 상기 코팅 탱크(18) 및 상기 제5 배관 밸브(38)에는 질소 가스 및 용제의 선택적인 공급을 제어하는 제1 내지 제4 제어 밸브(41a, 41b, 43, 45)가 설치될 수 있다.
도 6과 같이 코팅 중일 때에는 제1 및 제2 코팅 캐니스터(12a, 12b)가 제1 및 제2 연결부(14a, 14b)에 연결될 수 있다.
또한 배관 세정 중일 때에는 제1 및 제2 코팅 캐니스터(12a, 12b) 대신에 제1 및 제2 세정 병(50a, 50b)이 상기 제1 및 제2 연결부(14a, 14b)에 연결될 수 있다.
코팅 중일 때, 상기 제1 내지 제3 제어 밸브(41a, 41b, 43)의 제어에 의해 질소 가스가 상기 제1 및 제2 코팅 캐니스터(12a, 12b) 및 상기 코팅 탱크(18)에 공급될 수 있다. 이때, 제4 제어 밸브(45)는 동작되지 않게 되어, 질소 가스가 상기 제5 배관 밸브(38)로 공급되지 않게 된다.
코팅 중일 때에는 상기 제5 배관 밸브(38)는 펌프(24)의 코팅액이 상기 노즐(21)로 공급되도록 상기 펌프(24)의 출력 배관(87)과 상기 노즐(21)의 입력 배관(89) 사이를 연결시킬 수 있다.
코팅 공정을 위해 상기 제1 및 제2 코팅 캐니스터(12a, 12b)는 상기 제1 및 제2 연결부(14a, 14b)에 연결될 수 있다.
상기 질소 가스가 상기 제1 및 제2 코팅 캐니스터(12a, 12b)의 주입구(154)를 통해 주입되면, 상기 질소 가스의 압력에 의해 상기 제1 및 제2 코팅 캐니스터(12a, 12b) 내의 코팅액이 가입되어 상기 제1 및 제2 버퍼 탱크(16a, 16b)로 공급될 수 있다.
상기 코팅 탱크(18)의 코팅액은 상기 코팅 탱크(18)로 공급되는 질소 가스에 의한 압력에 의해 상기 필터(20)와 상기 탈기 탱크(22)를 경유하여 펌프(24)로 공급되고, 상기 펌프(24)의 코팅액은 상기 노즐(21)로 공급되어, 상기 노즐(21)을 통해 기판 상에 도포될 수 있다.
다시 말해, 코팅 중일 때, 상기 제1 및 제2 코팅 캐니스터(12a, 12b)의 코팅액이 상기 제1 및 제2 버퍼 탱크(16a, 16b), 상기 코팅 탱크(18), 상기 필터(20), 상기 탈기 탱크(22) 및 상기 펌프(24)를 경유하여 상기 노즐(21)로 공급될 수 있다.
한편, 상기 제1 및 제2 코팅 캐니스터(12a, 12b)의 코팅액은 동시에 상기 제1 및 제2 버퍼 탱크(16a1, 16b)로 공급될 수도 있고, 상기 제1 및 제2 코팅 캐니스터(12a, 12b) 중 어느 하나의 코팅액이 해당 버퍼 탱크로 공급되고, 이후 다른 하나의 코팅액이 해당 버퍼 탱크로 공급될 수도 있다.
실시예에서는 제1 및 제2 코팅 캐니스터(12a, 12b)와 제1 및 제2 버퍼 탱크(16a, 16b)로 한정하고 있지만, 필요에 따라 2개 이상의 코팅 캐니스터와 2개 이상의 버퍼 탱크가 사용될 수도 있다.
한편, 배관 세정을 하는 경우, 상기 제1 및 제2 코팅 캐니스터(12a, 12b)는 제1 및 제2 세정 병(50a, 50b)으로 교체될 수 있다.
배관 세정은 질소 가스에 의한 1차 배관 세정과 용제에 의한 2차 배관 세정으로 이루어질 수 있다.
먼저, 1차 배관 세정을 위해, 상기 제1 내지 제4 제어 밸브(41a, 41b, 43, 45)는 질소 가스가 공급되도록 질소 가스 통로를 개방시킨다.
상기 제1 및/또는 제2 제어 밸브(41a, 41b)의 제어에 의해 상기 제1 및/또는 제2 세정 병(50a, 50b)으로 주입된 질소 가스는 상기 제1 및/또는 제2 버퍼 탱크(16a, 16b)를 경유하여 상기 코팅 탱크(18)로 주입될 수 있다. 따라서, 상기 제1 및/또는 제2 세정 병(50a, 50b)으로부터 상기 버퍼 탱크(18)를 경유하여 상기 코팅 탱크(18)로 주입된 질소 가스가 배출관을 통해 외부로 배출될 수 있다. 이러한 질소 가스에 의해 배관들(711, 71b, 73a, 73b, 75)이나 제1 및/또는 제2 버퍼 탱크(16a, 16b)나 코팅 탱크(18)에 잔류하는 이물들이 제거될 수 있다.
상기 제3 제어 밸브(43)의 제어에 의해 상기 코팅 탱크(18)로 주입된 질소 가스는 상기 필터(20) 및 상기 탈기 탱크(22)를 경유하여 상기 펌프(24)로 주입될 수 있다. 따라서, 상기 코팅 탱크(18)로부터 상기 필터(20)와 상기 탈기 탱크(24)를 경유하여 상기 펌프(24)로 주입된 질소 가스가 배출관(미도시)을 통해 외부로 배출될 수 있다. 이러한 질소 가스에 의해 배관들(77, 79, 81, 83, 85)이나 상기 코팅 탱크(18), 상기 필터(20), 상기 탈기 탱크(22) 및 상기 펌프(24)에 잔류하는 이물들이 제거될 수 있다.
상기 제4 제어 밸브(45)와 상기 제5 배관 밸브(38)의 제어에 의해 상기 노즐(21)로 주입된 질소 가스는 상기 노즐(21)의 분사구를 통해 외부로 배출될 수 있다. 따라서, 배관(89)과 상기 노즐(21)에 잔류하는 이물이 상기 질소 가스에 의해 제거될 수 있다.
다음, 2차 배관 세정을 위해, 상기 제1 내지 제4 제어 밸브(41a, 41b, 43, 45)는 용제가 공급되도록 용제 통로를 개방시킨다.
상기 제1 및/또는 제2 제어 밸브(41a, 41b)의 제어에 의해 상기 제1 및/또는 제2 세정 병(50a, 50b)으로 주입된 용제는 상기 제1 및/또는 제2 버퍼 탱크(16a, 16b)를 경유하여 상기 코팅 탱크(18)로 주입될 수 있다. 따라서, 상기 제1 및/또는 제2 세정 병(50a, 50b)으로부터 상기 제1 및/또는 제2 버퍼 탱크(16a, 16b)를 경유하여 상기 코팅 탱크(18)로 주입된 용제가 배출관(미도시)을 통해 외부로 배출될 수 있다. 상기 용제는 배관들(71a, 71b, 73a, 73b, 75)이나 제1 및/또는 제2 버퍼 탱크(16a, 16b)나 코팅 탱크(18)에 잔류하는 이물들을 녹이므로, 상기 배출관으로 배출된 용제 속에 이물들이 녹아있게 된다. 결국 상기 배관들(71a, 71b, 73a, 73b, 75)이나 제1 및/또는 제2 버퍼 탱크(16a, 16b)나 코팅 탱크(18)에 잔류하는 이물들을 녹이므로, 상기 배출관으로 배출된 용제 속에 이물들이 상기 용제에 의해 제거될 수 있다.
상기 제3 제어 밸브(43)의 제어에 의해 용제가 상기 코팅 탱크(18)로 주입되고, 상기 주입된 용제는 상기 필터(20) 및 상기 탈기 탱크(22)를 경유하여 상기 펌프(24)로 주입될 수 있다. 따라서, 상기 코팅 탱크(18)로부터 상기 필터(20)와 상기 탈기 탱크(22)를 경유하여 상기 펌프(24)로 주입된 용제가 배출관(미도시)을 통해 외부로 배출될 수 있다. 상기 용제는 배관들(77, 79, 81, 83, 85)이나 상기 코팅 탱크(18), 상기 필터(20), 상기 탈기 탱크(22) 및 상기 펌프(24)에 잔류하는 이물들을 녹이므로, 상기 배출관으로 배출된 용제 속에 이물들이 녹아있게 된다. 결국 상기 배관들(77, 79, 81, 83, 85)이나 상기 코팅 탱크(18), 상기 필터(20), 상기 탈기 탱크(22) 및 상기 펌프(24)에 잔류하는 이물들이 상기 용제에 의해 제거될 수 있다.
상기 제4 제어 밸브(45)와 상기 제5 배관 밸브(38)의 제어에 의해 용제가 상기 노즐(21)로 주입될 수 있다. 상기 노즐(21)로 주입된 용제는 상기 노즐(21)의 분사구를 통해 외부로 배출될 수 있다. 따라서, 배관(89)과 상기 노즐에 잔류하는 이물이 상기 용제에 의해 제거될 수 있다.
이와 같이, 실시예는 제1 및/또는 제2 세정 병을 구비함으로써, 보다 효율적인 배관 세정을 할 수 있다.
10: 코팅 장치 11: 스테이지
12, 12a, 12b: 코팅 캐니스터 13: 플랫폼
13a: 공기 토출구 13b: 공기 흡입구
14, 14a, 14b: 연결부 15, 17: 지지 부재
16, 16a, 16b: 버퍼 탱크 18: 코팅 탱크
19: 노즐 지지대 20: 필터
21: 노즐 22: 탈기 탱크
23a, 23b: 거리 센서 24: 펌프
25: 리니어 스케일 27: 기판
31, 31a, 31b, 33, 36, 38: 배관 밸브
41, 41a, 41b, 43, 45; 제어 밸브
50: 세정 병
52: 스크류 54: 주입구
56: 배출구

Claims (8)

  1. 코팅액을 포함하는 코팅 캐니스터;
    상기 코팅 캐니스터을 연결하는 연결부;
    상기 코팅 캐니스터의 코팅액을 공급받는 코팅 탱크;
    상기 코팅 탱크의 코팅액을 공급받아 노즐로 공급하는 펌프;
    코팅 캐니스터, 상기 코팅 탱크, 상기 펌프 및 상기 노즐 사이에 연결된 다수의 배관들;
    배관 세정시 상기 코팅 캐니스터 대신에 상기 연결부에 연결되는 세정 병; 및
    배관 세정시 질소 가스와 용제가 선택적으로 공급되도록 제어하는 다수의 제어 밸브를 포함하는 코팅 장치의 배관 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제어 밸브는,
    상기 세정 병이 연결된 상기 연결부에 연결된 제1 제어 밸브;
    상기 코팅 탱크에 연결된 제2 제어 밸브;
    상기 펌프와 상기 노즐 사이의 배관에 연결된 제3 제어 밸브를 포함하는 코팅 장치의 배관 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 세정 병 및 상기 코팅 캐니스터와 상기 코팅 탱크 사이에 배치된 버퍼 탱크; 및
    상기 코팅 탱크와 상기 펌프 사이에 배치된 필터 및 탈기 탱크를 더 포함하는 코팅 장치의 배관 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제어 밸브는
    질소 가스가 공급되도록 1차 제어되고, 용제가 공급되도록 2차 제어되는 코팅 장치의 배관 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 코팅 캐니스터는 적어도 하나 이상인 코팅 장치의 배관 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 펌프는 적어도 하나 이상인 코팅 장치의 배관 장치.
  7. 제2항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 제어 밸브는
    코팅시 질소 가스가 공급되도록 제어되는 코팅 장치의 배관 장치.
  8. 연결부, 코팅 탱크, 펌프, 이들 사이의 배관들 및 질소 가스와 용제를 선택적으로 공급되도록 제어하는 다수의 제어 밸브를 포함하는 코팅 장치의 배관 장치에 있어서,
    세정 병을 연결부에 연결하는 단계;
    질소 가스를 상기 세정병, 상기 코팅 탱크 및 상기 펌프에 주입하여 상기 배관들을 1차적으로 세정하는 단계; 및
    용제를 상기 세정병, 상기 코팅 탱크 및 상기 펌프에 주입하여 상기 배관들을 2차적으로 세정하는 단계를 포함하는 코팅 장치의 배관 장치의 세정 방법.
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