KR20120055369A - 액정표시패널을 리페어하는 방법 및 장치 - Google Patents

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신규성
지영수
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참엔지니어링(주)
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Abstract

액정표시패널을 리페어하는 방법 및 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 액정표시패널을 리페어하는 방법은, 적어도 하나의 회전축에 따라 회전 가능한 적어도 하나의 미러(mirror)를 이용하여 레이저를 반사시킴으로써 상기 레이저의 진행 방향을 제어하는 단계, 및 적어도 두 개의 굴곡 렌즈를 이용하여 상기 적어도 하나의 미러로부터 반사된 상기 레이저를 굴절시킴으로써 대물 렌즈에 대한 상기 레이저의 입사각을 증가시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

액정표시패널을 리페어하는 방법 및 장치{Method and apparatus for repairing liquid crystal display panel}
본 발명은 액정표시패널을 리페어하는 방법 및 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 신규한 레이저 가공 기술을 이용하여 액정표시패널의 불량 화소를 효과적으로 제거하는 방법 및 장치에 관한 것이다.
액정표시장치는 비디오 신호에 따라 액정의 광 투과율을 조절하여 이미지를 디스플레이한다. 이를 위하여 액정표시장치는 매트릭스 형태로 배열된 셀들을 구비하는 액정표시패널과 비디오 신호에 따라 각 셀의 광 투과율을 제어하는 구동회로를 포함한다.
도 1은 종래의 액정표시패널의 셀 구조를 간단히 보여주는 도면이다. 액정표시패널의 셀은 박막 트랜지스터(thin film transistor; TFT) 유리(110)와 컬러 필터(color filter; CF) 유리(190) 사이에 제어 전압에 따라 편광하는 액정층(150)과 컬러 구현을 위한 R, G, B 컬러 필터(170)와 광 투과율을 조절하기 위하여 액정층의 편광 정도를 제어하는 반도체 회로층(120)을 포함한다. 그 외에 액정표시패널의 셀은 화소 전극(130), 배향막(140), 공통 전극(160) 및 블랙 매트릭스(180) 등을 포함한다.
셀의 밝기가 조절되는 원리는 다음과 같다. 백라이트(미도시)에서 제공된 빛은 액정층(150)을 통과하면서 편광되고 편광된 빛은 TFT 유리(110) 및 CF 유리(190) 외부에 배치되는 편광판(미도시)을 통과하여 인간의 눈에 들어오게 된다. 이때, 편광된 빛의 방향이 편광판의 편광 방향과 수직에 가까울수록 편광된 빛이 편광판을 잘 통과되지 못하게 되고, 수평에 가까울수록 편광된 빛이 편광판을 잘 통과하게 된다. 결국 양 유리 사이에 인가되는 전압 제어를 통하여 액정층의 편광 정도를 조절함으로써 셀의 밝기를 조절할 수 있다.
한편, 특정한 파장의 빛을 잘 투과시키고 그 외의 파장의 빛은 차단하는 특성이 있는 컬러 필터를 이용하여 컬러 액정표시패널을 구현한다. 즉, R 필터는 적색 빛은 잘 투과시키고 다른 파장의 빛은 잘 투과시키지 못하고, G 필터는 녹색 빛은 잘 투과시키고 다른 파장의 빛은 잘 투과시키지 못하며, B 필터는 청색 빛은 잘 투과시키고 다른 파장의 빛은 잘 투과시키지 못한다.
액정표시패널을 생산하는 업체에서 액정표시패널의 불량 여부를 판정하는 기준은 액정표시패널에 포함된 불량 셀의 개수이다. 불량 셀은 휘점 셀과 암점 셀로 나눌 수 있는데, 통상적으로 허용되는 휘점 셀의 개수가 암점 셀의 개수보다 엄격하다. 이러한 이유 때문에 휘점 셀을 암점화 하여 액정표시패널의 수율을 높이는 것이 가능하다. 예를 들어, 휘점 셀은 전혀 허용되지 않고 암점 셀은 1개까지 허용될 경우에 하나의 휘점 셀을 갖는 액정표시패널에서 휘점 셀을 암점 셀로 바꾸면 액정표시패널은 정상 패널이 될 수 있다.
대한민국공개특허 2003-0094560호는 액정표시패널 상에 로딩되어 이동하면서 불량 셀을 리페어하는 리페어 장치를 이용하여 액정표시패널을 리페어하는 기술을 개시하고 있다. 구체적으로, 도 2 내지 도 3을 살펴보면, 리페어 유닛(210)은 액정표시패널(220)의 로딩 방향과 나란하게 배치되어 X축 및 Y축(즉, 액정표시패널(220)의 가로축 및 세로축)에 평행한 방향으로 이동될 수 있는데, 이와 같이 리페어 유닛(210)가 이동하면서 액정표시패널(220) 상의 임의의 위치에 존재하는 불량 셀에 대하여 레이저 빔을 조사함으로써 해당 불량 셀을 리페어할 수 있다. 보다 구체적으로, 종래의 리페어 유닛(210)는 모니터링 수단(미도시됨)과 리페어 수단(미도시됨)을 포함할 수 있는데, 여기서 모니터링 수단(미도시됨)은 대물 렌즈, CCD 카메라 등의 광학 장치를 이용하여 액정표시패널(220) 상의 대상 영역을 실시간으로 모니터링하는 기능을 수행하고, 리페어 수단(미도시됨)은 대상 영역에 존재하는 불량 셀에 대하여 레이저를 조사하여 불량 셀을 리페어하는 기능을 수행한다. 한편, 도 4에는 종래의 무한 광학계를 이용한 리페어 유닛의 구성이 도시되어 있다. 도 4를 참조하면, 직진성을 갖는 레이저는 모니터링 수단의 대물렌즈(212)의 조리개에 의하여 정의되는 시야(FOV: Field Of View) 범위 내를 통과해야만 액정표시패널에 도달할 수 있게 된다.
도 2 내지 도 4에 도시된 종래의 리페어 장치에 의하면, 직진성이 강하고 좁은 영역에 대하여만 작용하는 레이저의 특성 상 레이저에 의하여 동시에 가공될 수 있는 영역이 좁아지게 되며, 이에 따라 리페어의 대상이 되는 영역을 변경하기 위해서는 리페어 유닛(210) 전체를 이동시켜야 하기 때문에 소정의 면적을 갖는 불량 셀을 리페어하는 데에 많은 시간이 소요되는 문제점이 발생하게 된다.
또한, 도 2 내지 도 4에 도시된 종래의 리페어 장치에 의하면, 대물렌즈의 시야 범위 내에서만 레이저가 조사될 수 있기 때문에 레이저가 조사될 수 있는 영역(즉, 레이저 가공 유효 영역)이 좁아지게 되고, 레이저가 통과하는 복수의 렌즈로 인해 발생하는 수차(aberration)에 의하여 액정표시패널에 조사되는 레이저의 초점 거리가 조사 영역에 따라 일정하지 못하게 되는 문제점도 발생하게 된다.
이에 본 발명자는 레이저의 조사 방향을 보다 간편하게 변경할 수 있는 구성 및 레이저가 조사될 수 있는 영역을 넓힐 수 있는 구성을 채용함으로써 액정표시패널의 불량 셀에 대한 리페어 시간을 줄이고 렌즈에 의하여 발생하는 수차를 보정할 수 있는 액정표시패널 리페어 방법 및 장치를 발명하였다.
본 발명은 상술한 문제점을 모두 해결하는 것을 그 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 회전축이 서로 수직하는 두 개의 회전 가능한 미러를 이용하여 레이저의 진행 경로를 수정함으로써, 리페어 장치 전체를 이동시키지 않고도 레이저가 조사되는 영역을 손쉽게 변경할 수 있도록 하는 것을 다른 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 복수의 집광 렌즈(condensing lens)를 이용하여 대물 렌즈의 시야(FOV: Field Of View) 내에서 레이저가 조사될 수 있는 영역(즉, 레이저 가공 유효 영역)을 넓히는 것을 또 다른 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 복수의 집광 렌즈 사이에 배치되는 조리개(iris)를 이용하여 수차를 보정하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 액정표시패널을 리페어하는 방법은, 적어도 하나의 회전축에 따라 회전 가능한 적어도 하나의 미러(mirror)를 이용하여 레이저를 반사시킴으로써 상기 레이저의 진행 방향을 제어하는 단계, 및 적어도 두 개의 굴곡 렌즈를 이용하여 상기 적어도 하나의 미러로부터 반사된 상기 레이저를 굴절시킴으로써 대물 렌즈에 대한 상기 레이저의 입사각을 증가시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 적어도 하나의 미러는 서로 수직한 하나의 회전축에 따라 각각 회전 가능한 제1 및 제2 미러(mirror)를 포함할 수 있다.
상기 제1 미러가 회전함에 따라 상기 레이저가 조사되는 영역이 상기 액정표시패널의 가로 방향을 따라 이동하고, 상기 제2 미러가 회전함에 따라 상기 레이저가 조사되는 영역이 상기 액정표시패널의 세로 방향을 따라 이동할 수 있다.
상기 적어도 하나의 굴곡 렌즈는 텔레센트릭 렌즈(telecentric lens), 집광 렌즈(condensing lens) 및 릴레이 렌즈(relay lens) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
상기 적어도 두 개의 굴곡 렌즈 사이에 적어도 하나의 조리개를 배치함으로써 수차를 보정하는 단계를 더 포함할 수 있다.
그리고, 본 발명에 따른 액정표시패널을 리페어하는 장치는 적어도 하나의 회전축에 따라 회전 가능한 적어도 하나의 미러(mirror)를 이용하여 레이저를 반사시킴으로써 상기 레이저의 진행 방향을 제어하는 레이저 진행 방향 제어부, 및 적어도 두 개의 굴곡 렌즈를 이용하여 상기 적어도 하나의 미러로부터 반사된 상기 레이저를 굴절시킴으로써 대물 렌즈에 대한 상기 레이저의 입사각을 증가시키고, 상기 굴절된 레이저를 상기 대물 렌즈에 대하여 입사시키는 레이저 유효 영역 확장부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 적어도 하나의 미러는 서로 수직한 하나의 회전축에 따라 각각 회전 가능한 제1 및 제2 미러(mirror)를 포함할 수 있다.
상기 제1 미러가 회전함에 따라 상기 레이저가 조사되는 영역이 상기 액정표시패널의 가로 방향을 따라 이동하고, 상기 제2 미러가 회전함에 따라 상기 레이저가 조사되는 영역이 상기 액정표시패널의 세로 방향을 따라 이동할 수 있다.
상기 적어도 하나의 굴곡 렌즈는 텔레센트릭 렌즈(telecentric lens), 집광 렌즈(condensing lens) 및 릴레이 렌즈(relay lens) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
상기 레이저 유효 영역 확장부는 상기 적어도 두 개의 굴곡 렌즈 사이에 배치되어 수차를 보정하는 적어도 하나의 조리개를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 액정표시장치의 리페어 방법 및 장치에 따르면, 리페어 장치 전체를 이동시키지 않고도 레이저가 조사되는 영역을 손쉽게 변경할 수 있고 레이저 가공 유효 영역을 넓힐 수 있으므로 액정표시패널의 불량 셀에 대한 레이저 가공 시간을 단축시킬 수 있게 되는 효과가 달성된다.
또한, 본 발명의 액정표시장치의 리페어 방법 및 장치에 따르면, 리페어 장치에 포함되는 렌즈에 의하여 발생하는 수차를 보정하여 레이저의 초점 거리를 레이저 조사 영역에 관계없이 일정하게 유지할 수 있게 되는 효과가 달성된다.
도 1은 종래의 액정표시패널의 셀 구조를 간단히 보여주는 도면이다.
도 2 내지 도 4는 종래 기술에 따른 액정표시패널 리페어 장치의 구성을 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시패널의 리페어 장치의 전체적인 구성을 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 유효 영역 확장부(530)의 구성을 보다 자세하게 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따라 레이저 유효 영역 확장부(530)를 구체적으로 설계한 결과를 나타내는 도면이다.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예에 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭한다.
이하, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 하기 위하여, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성을 상세하게 설명하도록 한다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시패널의 리페어 장치의 전체적인 구성을 나타내는 도면이다. 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 리페어 장치(500)는 레이저 발생부(510), 레이저 진행 방향 제어부(520), 레이저 유효 영역 확장부(530) 및 모니터링부(540)를 포함할 수 있다.
먼저, 본 발명의 일 실시예에 따른 모니터링부(540)는 대물 렌즈(541), CCD 카메라, AF(Auto Focusing) 센서 등의 광학 장치를 포함하는 구성요소로서, 액정표시패널(220) 상의 대상 영역을 촬영하고 해당 영역에 불량 셀이 있는지 여부를 판별함으로써 액정표시패널(220)의 상태를 모니터링하는 기능을 수행한다.
다음으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 발생부(510)는 액정표시패널에 조사될 레이저를 발생시키는 기능을 수행한다. 레이저 발생부(510)로부터 발생되는 레이저는 추후 설명할 레이저 방향 제어부(520) 및 유효 영역 확장부(530)를 거쳐서 액정표시패널의 임의의 영역에 도달할 수 있다. 레이저에 의하여 불량 셀이 리페어되는 원리는 널리 알려져 있는 공지의 내용이므로 이에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다.
다음으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 진행 방향 제어부(520)는 레이저를 소정의 방향으로 반사시킴으로써 레이저의 진행 방향을 바꿀 수 있는 적어도 하나의 회전 가능한 미러(mirror)를 이용하여 레이저의 진행 방향을 제어하는 기능을 수행한다. 보다 구체적으로, 레이저 진행 방향 제어부(520)는 회전축이 서로 수직한 제1 및 제2 미러(미도시됨)를 이용하여 레이저의 진행 방향을 제어할 수 있는데, 이때, 제1 미러가 회전하면 레이저의 진행 방향이 바뀌면서 액정표시패널 상에서 레이저가 조사되는 영역이 액정표시패널의 가로 방향을 따라 이동하게 되고, 제2 미러가 회전하면 레이저의 진행 방향이 바뀌면서 액정표시패널 상에서 레이저가 조사되는 영역이 액정표시패널의 새로 방향을 따라 이동하게 될 수 있다. 다만, 본 발명에 따른 레이저 진행 방향 제어부(520)의 구성이 상기 언급된 바와 같이 제1 제2 미러를 이용하는 구성에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 목적을 달성할 수 있는 범위 내에서 적어도 하나의 회전축에 따라 회전 가능한 적어도 하나의 미러(mirror)를 이용할 수 있음을 밝혀 둔다.
따라서, 본 발명에 따른 레이저 진행 방향 제어부(520)에 의하면, 리페어 장치(500) 전체를 이동시키지 않고도 액정표시패널 상에서 레이저가 조사되는 영역을 이동시킬 수 있게 되며, 이에 따라 액정표시패널의 불량 셀을 리페어하는 데에 소요되는 시간을 획기적으로 단축시킬 수 있게 되는 효과가 달성된다.
다음으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 유효 영역 확장부(530)는 적어도 두 개의 굴곡 렌즈를 이용하여 레이저를 굴절시킴으로써 대물 렌즈에 대한 레이저의 입사각을 증가시키는 기능을 수행할 수 있으며, 이에 따라 리페어 장치(500) 전체를 이동시키지 않고도 레이저가 조사될 수 있는 영역(레이저 유효 영역)을 확장시키는 기능을 수행하게 된다. 레이저 유효 영역 확장부(530)에 사용될 수 있는 굴곡 렌즈로는 텔레센트릭 렌즈(telecentric lens), 집광 렌즈(condensing lens), 릴레이 렌즈(relay lens) 등을 예로 들 수 있는데, 굴곡 렌즈의 종류가 반드시 상기 열거된 것에 한정되는 것은 아니며 레이저의 진행 경로를 굴절시킬 수 있는 렌즈라면 얼마든지 적용될 수 있음을 밝혀 둔다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 유효 영역 확장부(530)는 복수의 굴곡 렌즈 사이에 배치되는 조리개(iris)를 더 포함할 수 있는데, 조리개는 복수의 굴곡 렌즈에 의하여 발생할 수 있는 수차(abberration)를 보정하는 기능을 수행한다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 유효 영역 확장부(530)의 구성을 보다 자세하게 나타내는 도면이다.
도 6을 참조하면, 레이저 진행 방향 제어부(520)의 미러(521)로부터 반사된 레이저가 레이저 유효 영역 확장부(530)의 제1 굴곡 렌즈(531)로 입사될 수 있으며, 제1 굴곡 렌즈(531)를 거쳐 굴절된 레이저는 수차 보정 기능을 수행하는 조리개(542)를 통과하여 제2 굴곡 렌즈(532)로 입사될 수 있다. 제2 굴곡 렌즈(532)를 거쳐 다시 굴절된 레이저는 대물렌즈(541)의 조리개(542)에 의하여 정의되는 시야(FOV: Field Of View) 범위 내에서 대물렌즈(541)를 통과하여 액정표시패널(550)에 도달하게 된다. 따라서, 본 발명에 따른 리페어 장치(500)의 레이저 유효 영역(560)이 확장되게 되며, 이러한 효과는 도 4에 도시된 종래의 리페어 장치(200)의 레이저 유효 영역(230)과의 비교를 통해 명확하게 확인할 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따라 레이저 유효 영역 확장부(530)를 구체적으로 설계한 결과를 나타내는 도면이다. 참고로, 도 7의 실시예에 있어서, 제1 굴곡 렌즈(531)의 초점 거리 및 직경은 각각 100mm 및 30mm이고, 제2 굴곡 렌즈(532)의 초점 거리 및 직경은 각각 100mm 및 26mm이며, 대물렌즈는 배율이 50배이고 개구율이 0.42이며 시야의 직경은 3.7mm인 것으로 설계되었다. 도 7을 참조하면, 미러(521)로부터 반사된 레이저가 제1 및 제2 굴곡 렌즈(531, 532)와 조리개(533)를 거치면서 원하는 만큼 굴절되어 액정표시패널에 대하여 조사될 수 있음을 확인할 수 있다.
도 6 내지 도 7의 실시예에서 언급된 굴곡 렌즈의 개수, 종류, 직경, 초점 거리 등에 관한 내용은 본 발명에 대한 설명을 돕기 위한 예시적인 내용에 불과한 것으로서, 본 발명의 레이저 유효 영역 확장부(530)의 구성이 도 7의 실시예에 한정되는 것은 아님을 밝혀 둔다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 따른 레이저 유효 영역 확장부(530)에 의하면, 레이저 가공 유효 영역을 넓힐 수 있으므로 액정표시패널의 불량 셀에 대한 레이저 리페어 시간을 단축시킬 수 있게 되는 효과가 달성되며, 리페어 장치에 포함되는 렌즈에 의하여 발생하는 수차를 보정할 수 있으므로 레이저 조사 영역에 관계없이 레이저의 초점 거리를 일정하게 유지할 수 있게 되는 효과도 달성된다.
한편, 본 실시예에서 레이저 유효 영역 확장부(530)는 액정표시패널의 리페어 장치에 채용되는 것으로 설명되어 있으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 예를 들어 레이저 CVD 분야 등 레이저를 이용하는 모든 분야에 채용할 수 있음은 물론이다.
이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.
따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
110: 유리
120: 반도체 회로층
130: 화소 전극
140: 배향막
150: 액정층
160: 공통 전극
180: 블랙 매트릭스
190: CF 유리
200: 종래의 리페어 장치
210: 종래의 리페어 유닛
220: 액정표시패널
230: 종래의 리페어 유닛에 의한 레이저 유효 영역
500: 리페어 장치
510: 레이저 발생부
520: 레이저 진행 방향 제어부
521: 미러
530: 레이저 유효 영역 확장부
531: 제1 굴곡 렌즈
532: 제2 굴곡 렌즈
533: 조리개
540: 모니터링부
541: 대물렌즈
542: 대물렌즈의 조리개
550: 액정표시패널
560: 레이저 유효 영역

Claims (10)

  1. 적어도 하나의 회전축에 따라 회전 가능한 적어도 하나의 미러(mirror)를 이용하여 레이저를 반사시킴으로써 상기 레이저의 진행 방향을 제어하는 단계, 및
    적어도 두 개의 굴곡 렌즈를 이용하여 상기 적어도 하나의 미러로부터 반사된 상기 레이저를 굴절시킴으로써 대물 렌즈에 대한 상기 레이저의 입사각을 증가시키는 단계
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널을 리페어(repair)하는 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 미러는 서로 수직한 하나의 회전축에 따라 각각 회전 가능한 제1 및 제2 미러(mirror)를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널을 리페어하는 방법.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 미러가 회전함에 따라 상기 레이저가 조사되는 영역이 상기 액정표시패널의 가로 방향을 따라 이동하고, 상기 제2 미러가 회전함에 따라 상기 레이저가 조사되는 영역이 상기 액정표시패널의 세로 방향을 따라 이동하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널을 리페어하는 방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 굴곡 렌즈는 텔레센트릭 렌즈(telecentric lens), 집광 렌즈(condensing lens) 및 릴레이 렌즈(relay lens) 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널을 리페어하는 방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 적어도 두 개의 굴곡 렌즈 사이에 적어도 하나의 조리개를 배치함으로써 수차를 보정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널을 리페어하는 방법.
  6. 적어도 하나의 회전축에 따라 회전 가능한 적어도 하나의 미러(mirror)를 이용하여 레이저를 반사시킴으로써 상기 레이저의 진행 방향을 제어하는 레이저 진행 방향 제어부, 및
    적어도 두 개의 굴곡 렌즈를 이용하여 상기 적어도 하나의 미러로부터 반사된 상기 레이저를 굴절시킴으로써 대물 렌즈에 대한 상기 레이저의 입사각을 증가시키고, 상기 굴절된 레이저를 상기 대물 렌즈에 대하여 입사시키는 레이저 유효 영역 확장부
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널을 리페어(repair)하는 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 미러는 서로 수직한 하나의 회전축에 따라 각각 회전 가능한 제1 및 제2 미러(mirror)를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널을 리페어하는 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제1 미러가 회전함에 따라 상기 레이저가 조사되는 영역이 상기 액정표시패널의 가로 방향을 따라 이동하고, 상기 제2 미러가 회전함에 따라 상기 레이저가 조사되는 영역이 상기 액정표시패널의 세로 방향을 따라 이동하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널을 리페어하는 장치.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 굴곡 렌즈는 텔레센트릭 렌즈(telecentric lens), 집광 렌즈(condensing lens) 및 릴레이 렌즈(relay lens) 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널을 리페어하는 장치.
  10. 제6항에 있어서,
    상기 레이저 유효 영역 확장부는 상기 적어도 두 개의 굴곡 렌즈 사이에 배치되어 수차를 보정하는 적어도 하나의 조리개를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널을 리페어하는 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN106782247A (zh) * 2017-01-05 2017-05-31 京东方科技集团股份有限公司 一种显示面板不良的修复装置及进行修复的方法
WO2020036250A1 (ko) * 2018-08-14 2020-02-20 주식회사 코윈디에스티 레이저 가공 장치
KR20210042230A (ko) * 2019-10-09 2021-04-19 주식회사 아이비솔루션 레이저 스캐너의 빔 집속도 조절을 위한 탈부착식 광학장치

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