KR20120055355A - 인라인 스퍼터링 시스템 - Google Patents

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KR20120055355A
KR20120055355A KR1020100117052A KR20100117052A KR20120055355A KR 20120055355 A KR20120055355 A KR 20120055355A KR 1020100117052 A KR1020100117052 A KR 1020100117052A KR 20100117052 A KR20100117052 A KR 20100117052A KR 20120055355 A KR20120055355 A KR 20120055355A
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carrier
unloading
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조철균
김재철
윤혁상
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엘지디스플레이 주식회사
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Abstract

인라인 스퍼터링 시스템이 개시된다.
본 발명의 실시예에 따른 인라인 스퍼터링 시스템은 기판의 로딩과 언로딩을 위하여 대기압과 진공간의 전환을 실행할 수 있는 진입측/배출측 로드락 챔버 및 상기 진입측 로드락 챔버로부터 진입된 기판에 박막을 코팅하기 위한 스퍼터링 소스가 마련되며 상기 박막을 코팅한 기판을 상기 배출측 로드락 챔버로 이동시키는 공정 챔버를 포함하고, 상기 진입측/배출측 로드락 챔버는 상기 기판을 수평으로 적층하는 카세트로부터 한 장의 기판을 이동시키는 로봇과, 상기 로봇으로부터 이동된 기판을 제공받는 로딩 스테이지와, 상기 로딩 스테이지로부터 이송된 수평의 기판을 수직으로 세워 상기 공정 챔버로 이송하는 적어도 둘 이상의 캐리어 스테이션 중 어느 하나의 캐리어 스테이션으로 이송하는 로딩 다관절 로봇과, 상기 어느 하나의 캐리어 스테이션으로부터 수직으로 세워진 기판을 분리하여 수평으로 놓는 언로딩 다관절 로봇 및 상기 언로딩 다관절 로봇으로부터 기판을 받는 언로딩 스테이지를 포함한다.

Description

인라인 스퍼터링 시스템{In-line Sputtering System}
본 발명은 인라인 스퍼터링 시스템에 관한 것으로, 특히 제품의 제조 효율을 향상시킬 수 있는 인라인 스퍼터링 시스템에 관한 것이다.
주지하고 있는 바와 같이, 플라즈마(plasma)를 이용하는 스퍼터링 기술은 반도체, LCD(Liquid Crystal Displa device), PDP(Plasma Display Panel), 프로젝션 티브이(Projection TV) 등의 제조 분야에서 박막의 코팅에 보편적으로 이용되고 있으며, 기판의 로딩과 언로딩 방법에 따라 배치형(Batch Type), 인터백(Inter-Back)과 인라인 방식으로 구분하고 있다.
배치형 스퍼터링은 공정 챔버에 기판을 직접 로딩하여 기판의 표면에 박막을 코팅한다. 인터백 스퍼터링은 공정 챔버에 기판의 로딩 및 언로딩을 수행하는 서브 챔버를 구비시키고, 서브 챔버에 의하여 기판을 로딩 및 언로딩 시키면서 기판의 표면에 박막을 코팅한다. 인라인 스퍼터링은 공정 챔버에 로딩 챔버와 언로딩 챔버를 인라인으로 배치시키고, 로딩 챔버에 의하여 기판을 로딩시킨 후 기판의 표면에 박막의 코팅을 수행한 후 언로딩 챔버에 의하여 기판을 언로딩 시킨다.
특히, LCD와 PDP 등의 제조분야에서는 유리기판의 표면에 금속막 또는 절연막과 도전막으로 ITO(Indium Tin Oxide) 막을 연속적으로 코팅하는 공정이 진행된다. 따라서, 이러한 공정을 진행하기 위하여 인라인 스퍼터링을 이용하고 있다.
이렇게 박막을 연속적으로 코팅하기 위한 인라인 스퍼터링 시스템은 일반적으로, 유리기판의 로딩을 위하여 대기압과 진공 상태를 전환시키는 진입측 로드락 챔버, 유리기판을 가열시키는 버퍼 히팅 챔버, 유리기판을 냉각시키는 쿨링 챔버, 유리기판의 언로딩을 위하여 대기압과 진공 상태를 전환시키는 배출측 로드락 챔버가 일렬로 배열되는 구조를 취한다.
이러한 인라인 스퍼터링 시스템 중에, 전체 시스템의 길이를 줄이고, 기판의 로딩과 언로딩의 효율성을 높이기 위하여 로딩과 언로딩 방향이 동일한 시스템이 개시되고 있다.
한편, 이러한 인라인 스퍼터링 시스템은 하나의 사이즈를 갖는 대형 마더 글라스를 스퍼터링 박막 공정을 위해 로딩하고 박막 공정이 끝난 마더 글라스를 언로딩하는데, 이때, 상기 마더 글라스는 캐리어 스테이션(carrier station)이라는 장비를 이용하여 로딩 및 언로딩 된다.
상기 캐리어 스테이션(carrier station)은 하나의 사이즈로 고정된 마더 글라스에 대응되도록 고정되어 있다. 따라서, 상기 인라인 스퍼터링 시스템의 로딩 및 언로딩 부에 배치된 캐리어 스테이션(carrier station)은 다른 사이즈의 마더 글라스에 적용할 수 없다. 따라서, 효율이 높은 제품(47인치, 52인치 등)을 생산하는 하나의 사이즈의 마더 글라스를 기준으로 캐리어 스테이션(carrier station)이 고정되기 때문에 다른 사이즈의 마더 글라스를 적용할 수 없고 한 종류의 사이즈를 갖는 마더 글라스에 대한 인라인 스퍼터링 시스템의 사양 검토만이 이루어지고 있는 실정이다.
본 발명은 서로 상이한 사이즈를 갖는 다수의 마더 글라스를 로딩 및 언로딩 하여 박막공정을 수행할 수 있는 인라인 스퍼터링 시스템을 제공함에 그 목적이 있다.
본 발명의 제1 실시예에 따른 인라인 스퍼터링 시스템은 기판의 로딩과 언로딩을 위하여 대기압과 진공간의 전환을 실행할 수 있는 진입측/배출측 로드락 챔버 및 상기 진입측 로드락 챔버로부터 진입된 기판에 박막을 코팅하기 위한 스퍼터링 소스가 마련되며 상기 박막을 코팅한 기판을 상기 배출측 로드락 챔버로 이동시키는 공정 챔버를 포함하고, 상기 진입측/배출측 로드락 챔버는 상기 기판을 수평으로 적층하는 카세트로부터 한 장의 기판을 이동시키는 로봇과, 상기 로봇으로부터 이동된 기판을 제공받는 로딩 스테이지와, 상기 로딩 스테이지로부터 이송된 수평의 기판을 수직으로 세워 상기 공정 챔버로 이송하는 적어도 둘 이상의 캐리어 스테이션 중 어느 하나의 캐리어 스테이션으로 이송하는 로딩 다관절 로봇과, 상기 어느 하나의 캐리어 스테이션으로부터 수직으로 세워진 기판을 분리하여 수평으로 놓는 언로딩 다관절 로봇 및 상기 언로딩 다관절 로봇으로부터 기판을 받는 언로딩 스테이지를 포함한다.
본 발명의 제2 실시예에 따른 인라인 스퍼터링 시스템은 기판의 로딩과 언로딩을 위하여 대기압과 진공간의 전환을 실행할 수 있는 진입측/배출측 로드락 챔버 및 상기 진입측 로드락 챔버로부터 진입된 기판에 박막을 코팅하기 위한 스퍼터링 소스가 마련되며 상기 박막을 코팅한 기판을 상기 배출측 로드락 챔버로 이동시키는 공정 챔버를 포함하고, 상기 진입측/배출측 로드락 챔버는 상기 기판을 수평으로 적층하는 카세트로부터 한 장의 기판을 이동시키는 로봇과, 상기 로봇으로부터 이동된 기판을 제공받는 로딩 스테이지와, 상기 로딩 스테이지로부터 이송된 수평의 기판을 수직으로 세워 상기 공정 챔버로 이송하는 하나의 캐리어 스테이션으로 이송하는 로딩 다관절 로봇과, 상기 캐리어 스테이션의 캐리어로부터 수직으로 고정된 기판을 분리하여 수평으로 놓는 언로딩 다관절 로봇 및 상기 언로딩 다관절 로봇으로부터 기판을 받는 언로딩 스테이지를 포함하고, 상기 캐리어는 수직으로 고정된 기판을 지지하는 몸체부와, 상기 몸체부로부터 수직방향으로 연장되어 상기 몸체부를 지지하는 지지대와, 상기 지지대 상에 위치하며 상기 수직으로 세워진 기판의 상/하/좌/우를 고정시키는 고정 수단과, 상기 지지대의 좌/우에 위치하는 고정수단을 좌우 방향으로 이동시키는 제1 이동수단 및 상기 지지대의 상/하에 위치하는 고정수단을 상하 방향으로 이동시키는 제2 이동수단을 포함한다.
본 발명의 실시예에 따른 인라인 스퍼터링 시스템은 로드 및 언로드 챔버 내에 서로 상이한 사이즈를 갖는 적어도 둘 이상의 마더 글라스 각각을 고정시키며 로딩 및 언로딩 하는 적어도 둘 이상의 캐리어 스테이션(carrier station)을 구비하여 사이즈가 상이한 적어도 둘 이상의 마더 글라스를 로딩 및 언로딩 하여 제품의 제조 효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 인라인 스퍼터링 시스템은 사이즈에 따라 이동하는 고정 수단을 포함한 하나의 캐리어 스테이션(carrier station)을 구비함으로써 사이즈가 상이한 적어도 둘 이상의 마더 글라스를 로딩 및 언로딩 하여 제품의 제조 효율을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 인라인 스퍼터링 시스템을 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1의 로드 및 언로드 챔버 내부를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 3은 도 2의 캐리어 스테이션에 구비된 캐리어를 상세히 나타낸 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 인라인 스퍼터링 시스템을 나타낸 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 인라인 스퍼터링 시스템(10)은 시스템(10)의 일측에 로딩과 언로딩을 위한 로드락 챔버(3, 4)들이 배치되고, 시스템(10)의 타측에 기판의 방향 전환을 위한, 방향 전환 챔버(Turning Chamber, 11)가 배치되는 구조를 취한다.
이때, 상기 로드락 챔버(3, 4)의 전방에는 로딩 스테이션(1)과 언로딩 스테이션(2)이 더 마련될 수 있으며, 로딩되는 유리기판이나 언로딩 되는 유리기판의 방향을 전환하기 위하여 대기압 방향 전환 챔버(17)가 더 마련될 수도 있다.
그리고, 각 챔버에는 유리기판을 장착하고 이동시키는 캐리어의 이동을 위한 레일(23)이 마련된다. 따라서 공정이 처리되는 유리기판은 이 레일(23)을 따라서 각 챔버 별로 이동되며 공정이 처리된다. 또한, 각 챔버에는 그 내부를 진공 상태로 유지하기 위한 배기 펌프(도시하지 않음)가 마련되고, 로드락 챔버(3, 4)에는 벤팅 밸브(Venting valve)도 마련된다.
다음으로 버퍼 히팅 챔버(5)에는 유리기판의 가열을 위하여 쉬스히터(sheath heater)가 마련된다.
다음으로 공정 챔버(6, 8)에는 기판에 박막을 형성하기 위한 스퍼터링 소스(21)가 마련된다. 따라서, 상기 스퍼터링 소스(21)에 의하여 기판에 특정한 박막이 코팅되는 것이다. 상기 공정 챔버(6, 8)의 전단과 후단에 각각 버퍼 히팅 챔버(5, 7, 9)를 구비하여 공정 상의 요구 조건인 균일한 박막 형성을 도모하게 된다. 또한, 방향 전화 챔버(11)를 지난 기판은 리턴 챔버(12, 13, 14, 15, 16)로 구성된 다수의 챔버를 지나면서 냉각된다.
또한, 각 챔버 사이에는 게이트 밸브(22)가 마련되어 있어서, 각 챔버 사이의 공간을 열고 닫을 수 있도록 마련된다. 따라서, 어느 챔버에서 다음 챔버로 기판이 이동되고 난 후에는 상기 게이트 밸브(22)가 닫혀서 각 챔버 사이를 차단하여 공정의 원활한 진행을 돕는다.
그런데, 이러한 방향 전환형 인라인 스퍼터링 시스템(10)에서 상기 방향 전환 챔버(11)는 단순히 방향 전환 기능만 수행하면서도 기판 및 캐리어의 회전 반경을 확보하기 위하여 그 단면적 및 재부 체적이 큰 구조로 이루어질 수 있다.
도 2는 도 1의 로드락 챔버를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 로드락 챔버(3, 4)는 글라스를 수평으로 적층하여 보관 및 이동하는 카세트(30)와, 상기 카세트(30) 내의 글라스를 한장씩 장치로 넘겨주는 로봇(60)과, 상기 로봇(60)으로부터의 글라스를 받아주는 장치인 로딩 스테이지(53)와, 상기 로딩 스테이지(53)로부터 이송된 수평의 글라스를 수직으로 세워서 이송 장치인 제1 및 제2 캐리어 스테이션(40a, 40b)으로 넣어주는 로딩 다관절 로봇(50a)과, 상기 제1 및 제2 캐리어 스테이션(40a, 40b)로부터의 수직으로 세워진 글라스를 분리하여 수평으로 만드는 언로딩 다관절 로봇(50b) 및 상기 언로딩 다관절 로봇(50b)으로부터의 글라스를 받는 언로딩 스테이(54)를 포함한다.
이때, 상기 제1 캐리어 스테이션(40a)은 8세대 용 크기를 갖는 글라스를 수직으로 세우는 역할을 하고, 상기 제2 캐리어 스테이션(40b)은 7세대 용 크기를 갖는 글라스를 수직으로 세우는 역할을 한다.
이러한, 제1 및 제2 캐리어 스테이션(40a, 40b)은 도 1의 레일(23)을 따라 이동하게 된다.
상기 카세트(30)에 7세대 용 크기의 글라스와 8세대 용 크기의 글라스가 적층되어 있는 경우, 상기 8세대용 크기의 글라스의 박막 공정을 수행해야 하는 경우, 상기 로봇(60)은 상기 카세트(30)로부터 8세대 용 크기의 글라스를 상기 로딩 스테이지(53)로 넘겨준다.
상기 로딩 스테이지(53)는 상기 8세대 용 크기의 글라스를 상기 로봇(60)으로부터 넘겨받는다. 상기 로딩 스테이지(53)로 8세대 용 크기의 글라스가 이동되면 상기 로딩 다관절 로봇(50a)은 상기 로딩 스테이지(53)에서 수평으로 놓인 글라스를 수직으로 세워 상기 제1 캐리어 스테이션(40a)으로 옮긴다.
상기 제1 캐리어 스테이션(40a)은 수직으로 세워진 글라스를 레일(도 1의 23)을 이동하며 박막 공정을 위한 챔버로 이송한다. 박막 공정을 마치면 언로딩 다관절 로봇(50b)이 상기 제1 캐리어 스테이션(40a)으로부터 박막 공정을 마친 8세대용 글라스를 분리하여 수평으로 놓는다.
상기 언로딩 다관절 로봇(50b)은 상기 수평으로 놓인 박막 공정을 마친 8세대 용 글라스를 언로딩 스테이지(54)로 이동시킨다. 상기 언로딩 스테이지(54)로 이동된 8세대용 글라스는 카세트(30)에 적층된다.
마찬가지로, 7세대용 크기의 글라스의 박막 공정을 수행해야 하는 경우, 상기 로봇(60)은 상기 카세트(30)로부터 7세대용 크기의 글라스를 상기 로딩 스테이지(53)로 넘겨준다.
상기 로딩 스테이지(53)는 상기 7세대용 크기의 글라스를 상기 로봇(60)으로부터 넘겨받는다. 상기 로딩 스테이지(53)로 7세대용 크기의 글라스가 이동되면 상기 로딩 다관절 로봇(50a)은 상기 로딩 스테이지(53)에서 수평으로 놓은 8세대용 글라스를 수직으로 세워 상기 제2 캐리어 스테이션(40b)으로 옮긴다.
상기 제2 캐리어 스테이션(40b)은 레일(도 1의 23)을 따라 상기 제2 캐리어 스테이션(40b)에서 수직으로 고정된 8세대용 글라스를 박막 공정을 위한 챔버로 이송한다. 박막 공정을 마치면 언로딩 다관절 로봇(50b)이 상기 제2 캐리어 스테이션(40b)으로부터 박막 공정을 마친 7세대용 글라스를 분리하여 수평으로 놓는다.
상기 언로딩 다관절 로봇(50b)은 상기 수평으로 놓인 박막 공정을 마친 7세대용 글라스를 언로딩 스테이지(54)로 이동시킨다. 상기 언로딩 스테이지(54)로 이동된 7세대용 글라스는 카세트(30)에 적층된다.
이와 같이, 본원발명의 인라인 스퍼터링 시스템에서는 크기가 서로 상이한 글라스를 수직으로 고정시키며 박막 공정으로 이동하는 제1 및 제2 캐리어 스테이션을 구비함으로써 제품의 제조 효율을 향상시킬 수 있다.
도 3은 도 2의 제1 캐리어 스테이션에 구비된 캐리어를 상세히 나타낸 도면이다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 캐리어 스테이션(도 2의 40a)은 로딩 다관절 로봇(도 2의 50a)에 의해 수직으로 세워진 글라스를 고정시키는 캐리어(100)를 구비한다.
상기 캐리어(100)는 수직으로 세워진 글라스를 지지하는 몸체부 역할을 하는 프레임(110)과, 상기 프레임(110)으로부터 수직방향으로 연장되어 상기 프레임(110)을 지지하는 지지대(120)와, 상기 지지대(120) 상에 위치하며 상기 수직으로 세워진 글라스를 상/하/좌/우로 고정시키기 위한 고정 수단(130)과, 상기 지지대(120)의 좌/우에 위치하는 고정 수단(130)을 좌우 방향으로 이동 시키는 제1 이동 수단(140)과, 상기 지지대(120)의 상/하에 위치하는 고정 수단(130)을 상/하 방향으로 이동시키는 제2 이동 수단(150)을 포함한다.
상기 제1 캐리어 스테이션(40a)으로 7세대용 글라스가 제공되는 경우, 상기 제1 이동 수단(140)은 상기 지지대(120)의 좌측에 위치하는 고정 수단(130)을 화살표와 같이 우측 방향으로 일정 간격 이동시켜 상기 7세대용 글라스의 좌측을 고정시킨다. 동시에, 상기 제1 이동 수단(140)은 상기 지지대(120)의 우측에 위치하는 고정 수단(130)을 화살표와 같이 좌측 방향으로 일정 간격 이동시켜 상기 7세대용 글라스의 우측을 고정시킨다.
이와 더불어, 상기 제2 이동 수단(150)은 상기 지지대(120)의 상측에 위치하는 고정 수단(130)을 화살표와 같이 하부 방향으로 일정 간격 이동시켜 상기 7세대용 글라스의 상측을 고정시킨다. 동시에, 상기 제2 이동 수단(150)은 상기 지지대(120)의 하측에 위치하는 고정 수단(130)을 화살표와 같이 상부 방향으로 일정 간격 이동시켜 상기 7세대용 글라스의 하측을 고정시킨다.
이와 같이, 상기 캐리어(100)는 7세대용 글라스가 제공되면 상기 제1 및 제2 이동 수단(140, 150)을 이용하여 상기 고정부(130)를 상/하/좌/우 방향으로 이동시켜 상기 7세대용 글라스를 고정시킨다.
마찬가지로, 8세대용 글라스가 상기 제1 캐리어 스테이션(도 2의 40a)으로 제공되면, 상기 캐리어(100)는 상기 제1 및 제2 이동 수단(140, 150)을 이용하여 상기 고정부(130)를 상/하/좌/우 방향으로 이동시켜 상기 8세대용 글라스를 고정시킨다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 따른 인라인 스퍼터링 시스템은 글라스의 사이즈에 따라 상기 글라스를 고정하는 고정부의 위치를 제어함으로써 하나의 캐리어 스테이션에서 적어도 2개 이상의 마더 글라스를 처리할 수 있어 제품의 제조 효율을 향상시킬 수 있다.
1:로딩 스테이션 2:언로딩 스테이션
3,4:로드 락 챔버 5, 7, 9:버퍼 히팅 챔버
6. 8:공정 챔버 10: 인라인 스퍼터링 시스템
11, 17:방향 전환 챔버 12 ~ 16:리턴 챔버
22:밸브 23:레일
30:카세트 40a, 40b:제1 및 제2 캐리어 스테이션
50a:로딩 다관절 로봇 50b:언로딩 다관절 로봇
53:로드 스테이지 54:언로드 스테이지
60:로봇 100:캐리어
110:프레임 120:지지대
130:고정수단 140, 150:제1 및 제2 이동수단

Claims (5)

  1. 기판의 로딩과 언로딩을 위하여 대기압과 진공간의 전환을 실행할 수 있는 진입측/배출측 로드락 챔버; 및
    상기 진입측 로드락 챔버로부터 진입된 기판에 박막을 코팅하기 위한 스퍼터링 소스가 마련되며 상기 박막을 코팅한 기판을 상기 배출측 로드락 챔버로 이동시키는 공정 챔버;를 포함하고,
    상기 진입측/배출측 로드락 챔버는,
    상기 기판을 수평으로 적층하는 카세트로부터 한 장의 기판을 이동시키는 로봇과, 상기 로봇으로부터 이동된 기판을 제공받는 로딩 스테이지와, 상기 로딩 스테이지로부터 이송된 수평의 기판을 수직으로 세워 상기 공정 챔버로 이송하는 적어도 둘 이상의 캐리어 스테이션 중 어느 하나의 캐리어 스테이션으로 이송하는 로딩 다관절 로봇과, 상기 어느 하나의 캐리어 스테이션으로부터 수직으로 세워진 기판을 분리하여 수평으로 놓는 언로딩 다관절 로봇 및 상기 언로딩 다관절 로봇으로부터 기판을 받는 언로딩 스테이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 인라인 스퍼터링 시스템.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 적어도 둘 이상의 캐리어 스테이션 중 어느 하나의 캐리어 스테이션은 7세대용 사이즈를 갖는 기판을 수직으로 세워 상기 공정 챔버로 이송하고, 나머지 캐리어 스테이션은 8세대용 사이즈를 갖는 기판을 수직으로 세워 상기 공정 챔버로 이송하는 것을 특징으로 하는 인라인 스퍼터링 시스템.
  3. 기판의 로딩과 언로딩을 위하여 대기압과 진공간의 전환을 실행할 수 있는 진입측/배출측 로드락 챔버; 및
    상기 진입측 로드락 챔버로부터 진입된 기판에 박막을 코팅하기 위한 스퍼터링 소스가 마련되며 상기 박막을 코팅한 기판을 상기 배출측 로드락 챔버로 이동시키는 공정 챔버;를 포함하고,
    상기 진입측/배출측 로드락 챔버는 상기 기판을 수평으로 적층하는 카세트로부터 한 장의 기판을 이동시키는 로봇과, 상기 로봇으로부터 이동된 기판을 제공받는 로딩 스테이지와, 상기 로딩 스테이지로부터 이송된 수평의 기판을 수직으로 세워 상기 공정 챔버로 이송하는 하나의 캐리어 스테이션으로 이송하는 로딩 다관절 로봇과, 상기 캐리어 스테이션의 캐리어로부터 수직으로 고정된 기판을 분리하여 수평으로 놓는 언로딩 다관절 로봇 및 상기 언로딩 다관절 로봇으로부터 기판을 받는 언로딩 스테이지를 포함하고,
    상기 캐리어는 수직으로 고정된 기판을 지지하는 몸체부와, 상기 몸체부로부터 수직방향으로 연장되어 상기 몸체부를 지지하는 지지대와, 상기 지지대 상에 위치하며 상기 수직으로 세워진 기판의 상/하/좌/우를 고정시키는 고정 수단과, 상기 지지대의 좌/우에 위치하는 고정수단을 좌우 방향으로 이동시키는 제1 이동수단 및 상기 지지대의 상/하에 위치하는 고정수단을 상하 방향으로 이동시키는 제2 이동수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 인라인 스퍼터링 시스템.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 캐리어는 상기 로딩 다관절 로봇으로부터 제공되는 기판의 사이즈에 따라 상기 제1 및 제2 이동수단을 제어하여 상기 고정 수단의 위치를 정하는 것을 특징으로 하는 인라인 스퍼터링 시스템.
  5. 제3 항에 있어서,
    상기 기판은 7세대용 사이즈 및 8세대용 사이즈 중 어느 하나의 사이즈를 갖는 마더 기판인 것을 특징으로 하는 인라인 스퍼터링 시스템.

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101479251B1 (ko) * 2014-08-07 2015-01-05 (주) 씨앤아이테크놀로지 반도체 패키지의 전자파 차폐를 위한 스퍼터링 장치 및 이를 포함한 인라인 스퍼터링 증착 시스템
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