KR20120030008A - 복합 산화물 분말의 제조방법 - Google Patents

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Abstract

유전체층의 적층수가 많고, 박층화된 적층 세라믹 콘덴서의 유전체층 등에 적합하게 사용하는 것이 가능한 미세하며, 표면적이 크고, 결정성이 높은 페로브스카이트형 복합 산화물을 효율적으로, 게다가 경제적으로 제조하는 방법을 제공한다.
X선 회절에 의해 측정되는 (101)면의 회절 피크의 적분폭이 2.0°이하인 산화티탄 분말을 물에 분산시킨 산화티탄 슬러리에, 알칼리 토류 원소의 수산화물을 첨가하여 반응시킴으로써 페로브스카이트형 복합 산화물을 생성시킨다.
산화티탄 분말로서 비표면적이 100~450m2/g인 것을 사용한다.
알칼리 토류 원소의 수산화물로서 수화수를 포함하지 않는 수산화물을 사용한다.
또한 알칼리 토류 원소의 수산화물로서 수산화바륨을 사용하여, 페로브스카이트형 복합 산화물이 BaTiO3 분말을 얻는다.

Description

복합 산화물 분말의 제조방법{METHOD FOR MANUFACTURING COMPOSITE OXIDE POWDER}
본 발명은 복합 산화물의 제조방법에 관한 것으로서, 상세하게는 세라믹 전자부품용의 세라믹 원료로서 적합하게 사용하는 것이 가능한 복합 산화물의 제조방법에 관한 것이다.
미립이며 결정성이 뛰어난 티탄산바륨 등의 복합 산화물을 경제적으로 제조하는 것이 가능한 복합 산화물 분말의 제조방법으로서, 이하에 설명하는 바와 같은 방법이 제안되어 있다.
예를 들면, 일반식 ABO3으로 표시되는 페로브스카이트(perovskite) 구조를 가지는 복합 산화물 분말의 제조방법으로서, 결정수(結晶水)를 함유한 A사이트 성분을 구성하는 원소의 수산화물과, 250m2/g이상의 비표면적을 가지는 산화티탄 분말을 혼합하는 혼합 처리 공정을 가지고, 혼합 처리 공정은, 가열 처리를 행함으로써 결정수의 수분만으로 A사이트 성분의 용해한 용해액을 생성하는 용해액 생성 공정과, 산화티탄 분말과 용해액이 반응하여 반응 합성물을 생성하는 반응 공정을 포함하고, 용해액 생성 공정과 반응 공정이 연속적으로 진행되도록 한 복합 산화물 분말의 제조방법이 제안되어 있다(특허문헌 1 참조).
또한 특허문헌 1에는 얻어진 복합 산화물을 하소하는 것이 개시되어 있다.
그리고, 이 특허문헌 1의 발명의 방법에 의하면, 이상(異相)이 적고, 소망하는 초미립이면서, 결정성이 뛰어난 복합 산화물이 얻어지고, 이것을 하소 처리함으로써, 입방정계(立方晶系) 복합 산화물로부터 결정계가 전이하여, 결정성이 뛰어난 정방정계(正方晶系)의 복합 산화물을 제조할 수 있다고 되어 있다.
그런데, 적층 세라믹 콘덴서의 유전체층으로서 사용되고 있는 세라믹 소결체층(예를 들면, BaTiO3계 세라믹층)을 구성하는 세라믹 입자의 입자경이 미세해지면, 유전율이 저하하는 것이 알려져 있는데, 이 유전율의 저하는, 세라믹 소결체의 결정성(결정축의 a축에 대한 c축의 비(c/a축 비))의 저하에 기인하여 생기는 것이다.
이 유전율의 저하의 문제를 해결하기 위해서는, 유전체층으로서의 세라믹 소결체층이 되기 이전의, 소결 전의 원료 분말(예를 들면, 티탄산바륨계 재료의 하소 분말)의 단계에서의 분말의 입경이 미소(微小)하고, 결정성이 높은 원료 분말인 것이 필요하다.
이 관점에서, 특허문헌 1에서는 합성한 미립의 티탄산바륨 분말을 900~1000℃로 하소함으로써, c/a축 비가 1.0075~1.0088, 비표면적이 7.31~3.88m2/g의 미세한 티탄산바륨 분말이 얻어지도록 하고 있다.
그러나 적층 세라믹 콘덴서의 소자 두께(내부전극간에 개재하는 유전체층의 두께)가 1㎛미만의 영역이 되면, 특허문헌 1의 방법으로 얻어지는 티탄산바륨 분말로는 충분하지 않은 것이 실정이다.
또한 다른 복합 산화물의 제조방법으로서, 이산화탄소가 존재하지 않는 분위기하에 있어서, 산화티탄 입자와 수용성 바륨화합물을, 상기 산화티탄 입자의 몰수에 대하여 등몰로 상기 수용성 바륨화합물을 첨가하고, pH가 11.5 이상 13.0 이하의 수용액 중에서, 100℃이하의 온도로 반응시키는 반응 공정을 가지는 티탄산바륨 분말의 제조방법이 제안되어 있다(특허문헌 2의 청구항 2).
이 특허문헌 2의 발명의 방법에 의하면, 염소 불순물의 혼입을 방지하면서, 입도 분포가 좁은 티탄산바륨 분말을 저렴하게 제조할 수 있다고 되어 있다.
그러나 특허문헌 2의 발명의 방법에서는, 비표면적이 40m2/g의 산화티탄으로부터, 입경이 0.085~0.115㎛의 티탄산바륨 분말이 합성되어 있지만, 얻어지는 티탄산바륨의 결정성은 충분히 높다고는 생각하기 어렵고, 또한 하소도 실시하고 있지 않기 때문에 결정성은 낮은 것으로 추측된다(단락 0025).
또한 특허문헌 2의 방법의 경우, CO2가 존재하지 않는 분위기에서 합성하는 것이 필요하여, 제조 공정에 제약이 생긴다는 문제점이 있다.
또한 특허문헌 1 및 2의 어느 것에도, TiO2 소재에 필요한 분체 특성의 범위는 명확하게 되어 있지 않고, 특허문헌 1 및 2의 어느 방법에 의해서도, 특성이 높은 적층 세라믹 콘덴서에 요구되는, 분말의 입경이 미소하며, 결정성이 높은 원료 분말을 얻는 것은 곤란한 것이 실정이다.
일본국 특허 제4200427호 공보 일본국 특허 제4057475호 공보
본 발명은 상기 과제를 해결하는 것으로서, 유전체층의 적층수가 많고, 박층화된 적층 세라믹 콘덴서의 유전체층의 구성 재료 등의 용도에 적합하게 사용하는 것이 가능한, 미세하고, 표면적이 크며, 결정성이 높은 페로브스카이트형 복합 산화물을 효율적으로, 게다가 경제적으로 제조하는 것이 가능한 페로브스카이트형 복합 산화물의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 페로브스카이트형 복합 산화물의 제조방법은,
일반식 ABO3으로 표시되는 페로브스카이트형 복합 산화물의 제조방법으로서,
X선 회절에 의해 측정되는 (101)면의 회절 피크의 적분폭이 2.0°이하인 산화티탄 분말을 물에 분산시킨 산화티탄 슬러리를 조제하는 슬러리 조제 공정과,
상기 산화티탄 슬러리에 알칼리 토류 원소의 수산화물을 첨가하여 반응시킴으로써 페로브스카이트형 복합 산화물을 생성시키는 반응 공정을 포함하는 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명의 페로브스카이트형 복합 산화물의 제조방법에 있어서는, 상기 산화티탄 분말의 비표면적이 100~450m2/g인 것이 바람직하다.
또한 상기 알칼리 토류 원소의 수산화물로서 수화수(水和水)를 포함하지 않는 수산화물을 사용하는 것이 바람직하다.
또한 상기 알칼리 토류 원소의 수산화물이 수산화바륨이며, 상기 페로브스카이트형 복합 산화물이 BaTiO3인 것이 바람직하다.
또한 A사이트가 Ba이면서, 그 일부가 Sr 및/또는 Ca에 의해 치환되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.
또한 상기 반응 공정에서 생성한 페로브스카이트형 복합 산화물을 열처리하는 공정을 더 포함하고 있는 것이 바람직하다.
본 발명의 일반식 ABO3으로 표시되는 페로브스카이트형 복합 산화물의 제조방법은, X선 회절에 의해 측정되는 (101)면의 회절 피크의 적분폭이 2.0°이하인 산화티탄 분말을 물에 분산시킨 산화티탄 슬러리를 조제하는 슬러리 조제 공정과, 산화티탄 슬러리에 알칼리 토류 원소의 수산화물을 첨가하여 반응시킴으로써 페로브스카이트형 복합 산화물을 생성시키는 반응 공정을 포함하고 있으므로, 종래의 고액(固液) 반응에 의해 얻어지는 페로브스카이트형 복합 산화물보다도 비표면적이 큰 페로브스카이트형 복합 산화물을 얻을 수 있다.
즉, X선 회절에 의해 측정되는 (101)면의 회절 피크의 적분폭이 2.0°이하인 산화티탄 분말을 사용한 경우, 적분폭이 2.0°를 넘는 산화티탄을 사용하는 경우에 비해, 보다 큰 비표면적을 가지는 페로브스카이트형 복합 산화물을, 특히 복잡한 제조 공정을 필요로 하지 않고 제조하는 것이 가능해진다.
또한 본 발명의 페로브스카이트형 복합 산화물의 제조방법에 있어서는, 비표면적이 100~450m2/g의 산화티탄 분말을 사용함으로써, 비표면적이 50m2/g이상인 페로브스카이트형 복합 산화물을 효율적으로 제조하는 것이 가능해진다.
또한 알칼리 토류 원소의 수산화물로서, 수화수를 포함하지 않는 수산화물을 사용함으로써, 산화티탄 분말 등이 분산된 슬러리에 고체인 채로 직접 첨가하는 것이 가능해져, 제조 프로세스를 간략화할 수 있다. 또한 수화수를 포함하지 않는 알칼리 토류 원소의 수산화물을 사용함으로써, 슬러리에 첨가한 시점에서, 그 용해열에 의해 온도 상승이 일어나므로 합성 반응이 촉진된다.
또한 알칼리 토류 원소의 수산화물이 수산화바륨인 경우, 페로브스카이트형 복합 산화물인 BaTiO3 분말을 효율적으로 제조할 수 있다. 또한 수화수를 포함하지 않는 수산화바륨을 산화티탄 슬러리에 직접 첨가함으로써, 그 용해열로 슬러리가 100℃ 부근까지 급격히 온도 상승하기 때문에, 합성 반응을 촉진하여, 페로브스카이트형 복합 산화물인 BaTiO3 분말을 더욱 효율적으로 제조할 수 있다.
또한 본 발명에 의하면, A사이트를 구성하는 Ba의 일부를, Sr 및/또는 Ca에 의해 치환한 조성의 페로브스카이트형 복합 산화물을 제조하는 것도 가능하고, 그 경우에는, 특성을 조정하여, 소망하는 특성을 가지는 페로브스카이트형 복합 산화물을 효율적으로 제조할 수 있다.
또한 Ba와 치환하는 Sr 및/또는 Ca의 성분 원료는 산화티탄 슬러리에 포함시켜 두는 것도 가능하고, 또한 반응 공정의 직전에 알칼리 토류 원소의 수산화물보다도 먼저 혹은 동시에 산화티탄 슬러리에 첨가하는 것도 가능하다.
또한 본 발명에 있어서, 반응 공정에서 생성한 페로브스카이트형 복합 산화물을 열처리함으로써, c/a축 비를 높여, 결정성이 높은 페로브스카이트형 복합 산화물을 얻을 수 있다.
예를 들면, 800~1000℃의 온도로 열처리함으로써, c/a축 비가 큰(1을 넘는다) 정방정의 페로브스카이트형 복합 산화물이 얻어진다. 또한 본 발명에 있어서는, 적분폭이 2.0°이하인 산화티탄 분말을 사용하도록 하고 있으므로, 적분폭이 2.0°를 넘는 산화티탄을 사용한 경우보다도, 열처리 공정에서의 입성장(粒成長)을 억제하는 것이 가능해져, 비표면적이 크면서, c/a축 비가 큰 결정성이 높은 페로브스카이트형 복합 산화물을 얻을 수 있다.
도 1은 본 발명의 한 실시예(실시예 1)에 있어서 Ti 원료로서 사용한 TiO2의, X선 회절에 의해 측정되는 (101)면의 회절 피크의 적분폭과, 반응에 의해 얻어진 티탄산바륨 분말의 비표면적의 관계를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예 1에 있어서 얻은 하소 후의 티탄산바륨 분말의 비표면적과, 결정의 c/a축 비의 관계를 나타내는 도면이다.
이하에 본 발명의 실시예를 나타내어, 본 발명의 특징으로 하는 바를 더욱 상세하게 설명한다.
[실시예 1]
표 1에 나타내는 바와 같은 비표면적을 가지는 No.1~No.9의 아나타제형의 산화티탄(TiO2) 분말을 준비하였다.
그리고, X선 회절(CuKα를 선원(線源)으로 한다)에 의해, 각 TiO2 분말의 (101)면의 적분폭을 구하였다. 또한 적분폭은 각 TiO2 분말에 대하여, X선 회절장치를 사용하여 (101)면의 피크를 측정하고, 그 피크의 면적(적분 강도)을 피크 강도로 나눔으로써 구하였다. 표 1에 있어서, *를 붙인 No.8 및 9는 본 발명의 요건을 만족하지 않는 비교용의 TiO2이다.
그리고나서, 표 1의 No.1~No.9의 각 TiO2 분말과, 순수를 혼합하고, 산화티탄(TiO2)의 함유율이 23중량%의 9종류의 산화티탄 슬러리를 제작하였다.
단, 본 발명에 있어서는 통상 산화티탄 슬러리 중의 산화티탄 농도는 10중량%이상이면 된다.
그리고나서 제작한 각 산화티탄 슬러리를 가열하여 70℃까지 승온시킨 후, 산화티탄 슬러리를 교반하면서, 소정의 Ba/Ti 비가 되도록 수산화바륨을 첨가하였다. 이 실시예에서는, 수산화바륨으로서 수화수를 포함하지 않는 수산화바륨(Ba(OH)2)을 고형의 상태로 첨가하였다. 고형의 상태로 첨가함으로써 용해열로 슬러리의 온도가 100℃ 가까이로 상승하여, 신속하게 반응을 개시시킬 수 있다.
또한 수산화바륨을 첨가할 때의 산화티탄 슬러리의 온도는 통상은 40℃이상이면 된다.
또한 수산화바륨은 수용액으로 하여 첨가하는 것도 가능하다. 그 경우, 가열하여 승온시킴으로써 필요한 반응을 행하게 할 수 있다.
단, 상술과 같이, TiO2 슬러리의 승온에 용해열을 유효하게 이용할 수 있기 때문에, 수산화바륨은 수화수를 포함하지 않는 것을 고형의 상태로 첨가하는 것이 바람직하다.
상술과 같이 하여 수산화바륨을 첨가한 후, 교반하면서 80℃이상의 온도로 1h 유지하여 산화티탄과 수산화바륨을 반응시킴으로써, 티탄산바륨(BaTiO3) 슬러리를 얻었다. 그리고나서 얻어진 슬러리를 건조함으로써 티탄산바륨(BaTiO3) 분말을 얻었다.
Ti 원료로서 사용한 TiO2에 대하여 상술과 같이 하여 구한 적분폭의 값과, 얻어진 티탄산바륨 분말의 비표면적의 관계를 표 1 및 도 1에 나타낸다.
Figure pat00001
표 1 및 도 1로부터, 적분폭이 2.0°이하인 TiO2를 사용함으로써 비표면적이 큰 티탄산바륨 분말이 얻어지는 것을 알 수 있다.
예를 들면, No.2의 산화티탄(적분폭 1.58°)과 No.8의 산화티탄(적분폭 2.20°)을 사용한 경우를 비교하면, 양자는 모두 원료 TiO2의 비표면적이 거의 400m2/g과 동등한데, 합성된 BaTiO3 분말의 비표면적은, No.2의 산화티탄(적분폭 1.58°)을 사용한 경우에는 58m2/g인 데 비해, No.8의 산화티탄(적분폭 2.20°)을 사용한 경우 33m2/g과, 적분폭이 2.0°이하인 No.2의 산화티탄을 사용한 경우가, 비표면적이 큰 티탄산바륨 분말이 얻어지는 것을 알 수 있다.
또한 X선 회절에 의해 측정되는 (101)면의 회절 피크의 적분폭이 2.0°를 넘는 TiO2를 사용한 경우, 비표면적이 큰 티탄산바륨 분말이 얻어지지 않는 것은, 적분폭이 2.0°를 넘는 결정성이 낮은 TiO2는 알칼리에 용해하기 쉽고, TiO2의 용해-재석출 반응이 일어나기 쉬워지기 때문에, 입성장 혹은 근린 입자끼리의 결합이 일어나, 수산화바륨과의 반응에 의해 얻어지는 티탄산바륨 분말도 입자가 크고, 비표면적이 저하하는 것에 따른다.
또한 이들 분말을 열처리로를 사용하여, 800~1000℃의 범위에서 온도 조건을 다르게 하여 하소하였다.
하소 후의 티탄산바륨 분말의 비표면적과, 결정의 c/a축 비의 관계를 표 2 및 도 2에 나타낸다.
Figure pat00002
표 2 및 도 2로부터, 고액 반응에 의한 합성 후에, 하소 전의 비표면적이 큰 티탄산바륨 분말일수록, 하소 후에 c/a축 비가 크고, 결정성이 높은 페로브스카이트형 복합 산화물이 얻어지는 것을 알 수 있다.
상기 실시예로부터, 본 발명의 방법에 의하면, 미립이며 비표면적이 크고, 결정성이 높은 페로브스카이트형 복합 산화물이 얻어지는 것이 확인되었다.
이와 같이, 적분폭이 2.0°이하인 TiO2를 사용한 경우, 비표면적이 큰 티탄산바륨 분말이 얻어지는 것은 이하의 이유에 따른다. 즉, X선 회절에 의해 측정되는 (101)면의 회절 피크의 적분폭이 2.0°이하인, 결정성이 높은 TiO2는 알칼리에 용해하기 어렵고, TiO2의 용해-재석출 반응도 일어나기 어렵기 때문에, 입성장이나 근린 입자끼리의 결합을 발생시키기 어렵기 때문에, 수산화바륨과의 반응에 의해 얻어지는 티탄산바륨 분말은 입자가 작고, 비표면적이 증대한다. 그 결과, 하소 후에도 미립이며 비표면적이 크고, 게다가 c/a축 비가 크며, 결정성이 높은 티탄산바륨 분말을 얻을 수 있다.
[실시예 2]
최종 조성이 (Ba0 .95Ca0 .05)TiO3이 되도록, 표 1의 No.5의 산화티탄(TiO2) 분말과, 탄산칼슘(CaCO3) 분말과, 수산화바륨(Ba(OH)2) 분말을 준비하였다.
그리고나서, 산화티탄 분말(표 1의 No.5의 산화티탄 분말)과, 탄산칼슘(CaCO3) 분말과, 순수를 혼합하고, TiO2와 CaCO3의 합계의 함유율이 23중량%인 슬러리를 제작하였다.
이 Ca 성분을 포함하는 산화티탄 슬러리를 가열하여 70℃까지 승온시킨 후, 교반하면서 소정의 Ba/Ti비가 되도록 수산화바륨을 첨가하였다.
여기서도, 수산화바륨으로서는 수화수를 포함하지 않는 수산화바륨(Ba(OH)2)을 고형의 상태로 첨가하였다.
그리고, 교반하면서 80℃이상의 온도로 1h 유지하여 반응을 행하게 함으로써 (Ba,Ca)TiO3 슬러리를 얻었다.
그 후, 얻어진 슬러리를 건조함으로써, Ba의 일부가 Ca에 의해 치환된 티탄산바륨 분말((Ba,Ca)TiO3 분말)을 얻었다.
이 실시예 2의 방법에 의하면, 비표면적이 큰 일반식(Ba0 .95Ca0 .05)TiO3으로 표시되는 페로브스카이트형 복합 산화물 분말이 얻어지는 것이 확인되었다. 또한 상기 반응에 의해 얻어진 페로브스카이트형 복합 산화물 분말((Ba0 .95Ca0 .05)TiO3 분말)의 비표면적은 약 60m2/g이었다.
또한 이 (Ba0 .95Ca0 .05)TiO3 분말을 열처리로를 사용하여 800~1000℃의 범위에서 온도 조건을 다르게 하여 하소하였다.
그 결과, 비표면적이 14m2/g 전후가 되는 조건(예를 들면, 820℃, 2h의 조건)으로 하소한 경우에는, c/a축 비가 1.007 정도의 결정성이 높은 페로브스카이트형 복합 산화물 분말((Ba0 .95Ca0 .05)TiO3 분말)이 얻어지는 것이 확인되었다.
또한 이 실시예 2에서는 Ca 소스로서 탄산칼슘(CaCO3) 분말을 사용하였는데, Ca 소스는 CaCO3 분말에 한정되는 것은 아니며, 예를 들면 아세트산칼슘, 질산칼슘, 수산화칼슘 등의 각종 염을 사용하는 것도 가능하다.
[실시예 3]
최종 조성이 (Ba0 .95Sr0 .05)TiO3이 되도록, 표 1의 No.5의 산화티탄(TiO2) 분말과, 질산스트론튬(Sr(NO3)2) 분말과, Ba(OH)2 분말을 준비하였다.
그리고나서, 산화티탄 분말(표 1의 No.5의 산화티탄 분말)과, 질산스트론튬(Sr(NO3)2) 분말과, 순수를 혼합하여, TiO2와 Sr(NO3)2의 합계량의 함유율이 23중량%인 슬러리를 제작하였다.
이 Sr 성분을 포함하는 산화티탄 슬러리를 가열하여 70℃까지 승온시킨 후, 교반하면서 소정의 Ba/Ti 비가 되도록 수산화바륨을 첨가하였다.
여기서도, 수산화바륨으로서는 수화수를 포함하지 않는 수산화바륨(Ba(OH)2)을 고형의 상태로 첨가하였다.
그리고, 수산화바륨을 첨가한 후, 교반하면서 80℃이상의 온도로 1h 유지하여 반응을 행하게 함으로써 (Ba,Sr)TiO3 슬러리를 얻었다.
그리고나서, 얻어진 슬러리를 건조함으로써, Ba의 일부가 Sr에 의해 치환된 티탄산바륨 분말((Ba,Sr)TiO3 분말)을 얻었다.
이 실시예 3의 방법에 의하면, 비표면적이 큰 일반식(Ba0 .95Sr0 .05)TiO3으로 표시되는 페로브스카이트형 복합 산화물 분말이 얻어지는 것이 확인되었다. 또한 상기 반응에 의해 얻어진 페로브스카이트형 복합 산화물 분말((Ba0 .95Sr0 .05)TiO3 분말)의 비표면적은 약 60m2/g이었다.
또한 이 (Ba0 .95Sr0 .05)TiO3 분말을 열처리로를 사용하여 800~1000℃의 범위에서 온도 조건을 다르게 하여 하소하였다.
그 결과, 비표면적이 14m2/g 전후가 되는 조건(예를 들면, 830℃, 2h의 조건)으로 하소한 경우에는, c/a축 비가 1.007 정도인 결정성이 높은 페로브스카이트형 복합 산화물 분말((Ba0 .95Sr0 .05)TiO3 분말)이 얻어지는 것이 확인되었다.
또한 이 실시예 3에서는 Sr 소스로서 질산스트론튬(Sr(NO3)2) 분말을 사용하였는데, Sr 소스는 (Sr(NO3)2) 분말에 한정되는 것은 아니며, 예를 들면 수산화스트론튬, 탄산스트론튬 등을 사용하는 것도 가능하다.
본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니며, 산화티탄 분말을 물에 분산시킨 산화티탄 슬러리의 고형분 농도, 산화티탄 슬러리에 알칼리 토류 원소의 수산화물을 첨가하여 반응시킬 때의 반응 온도나 반응 시간 등의 조건, 원료인 산화티탄 분말의 비표면적의 범위, 알칼리 토류 원소의 종류, A사이트의 일부를 Sr 및/또는 Ca로 치환할 때의 치환 비율, 반응 공정에서 생성한 페로브스카이트형 복합 산화물을 열처리할 때의 조건 등에 관하여, 발명의 범위 내에 있어서 다양한 응용, 변형을 가하는 것이 가능하다.

Claims (6)

  1. 일반식 ABO3으로 표시되는 페로브스카이트(perovskite)형 복합 산화물의 제조방법으로서,
    X선 회절에 의해 측정되는 (101)면의 회절 피크의 적분폭이 2.0°이하인 산화티탄 분말을 물에 분산시킨 산화티탄 슬러리를 준비하는 슬러리 조제 공정과,
    상기 산화티탄 슬러리에 알칼리 토류 원소의 수산화물을 첨가하여 반응시킴으로써 페로브스카이트형 복합 산화물을 생성시키는 반응 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 페로브스카이트형 복합 산화물의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 산화티탄 분말의 비표면적이 100~450m2/g인 것을 특징으로 하는 페로브스카이트형 복합 산화물의 제조방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 알칼리 토류 원소의 수산화물로서 수화수(水和水)를 포함하지 않는 수산화물을 사용하는 것을 특징으로 하는 페로브스카이트형 복합 산화물의 제조방법.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 알칼리 토류 원소의 수산화물이 수산화바륨이며, 상기 페로브스카이트형 복합 산화물이 BaTiO3인 것을 특징으로 하는 페로브스카이트형 복합 산화물의 제조방법.
  5. 제3항에 있어서,
    A사이트가 Ba이면서, 그 일부가 Sr 및/또는 Ca에 의해 치환되어 있는 것을 특징으로 하는 페로브스카이트형 복합 산화물의 제조방법.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 반응 공정에서 생성한 페로브스카이트형 복합 산화물을 열처리하는 공정을 더 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 페로브스카이트형 복합 산화물의 제조방법.
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