KR20120027932A - 기판 코터 장치의 약액 공급 기구 및 이를 이용한 약액 공급 방법 - Google Patents

기판 코터 장치의 약액 공급 기구 및 이를 이용한 약액 공급 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 노즐에 의해 기판의 표면에 약액을 도포하는 기판 코터 장치의 약액 공급 기구 및 그 방법에 관한 것으로, 약액이 공급되어 약액이 채워진 상태로 유지되는 버퍼와; 제1버퍼로부터 약액을 입구를 통해 공급받아 수용하는 제1챔버와; 제2버퍼로부터 약액을 입구를 통해 공급받아 수용하는 제2챔버와; 상기 제1챔버와 상기 제2챔버 중 어느 하나의 압력을 크게하면 다른 하나의 압력이 작아지도록 상기 제1챔버와 상기 제2챔버에 각각 연결되어 상기 제1챔버와 상기 제2챔버를 향하는 각 방향으로 왕복 운동하는 플런저와; 상기 플런저의 왕복 이동 방향에 따라 상기 제1챔버와 상기 제2챔버 중 어느 하나로부터 교대로 약액을 공급받아 기판에 약액을 도포하는 노즐을; 포함하여 구성되어,어느 하나의 챔버에 수용되어 있던 약액은 기판의 표면에 도포되고, 동시에 다른 하나의 빈 챔버에는 버퍼로부터 약액을 충전할 수 있으므로, 슬릿 노즐이 도포 후 원래의 위치로 복귀하는 데 소요되는 시간보다 기판을 1회 도포하는 데 필요한 약액을 펌프에 충전하는 시간이 더 길기 때문에 발생되는 기판 코팅 공정의 지연 시간을 근본적으로 제거할 수 있는 기판 코터 장치의 약액 공급 기구를 제공한다.

Description

기판 코터 장치의 약액 공급 기구 및 이를 이용한 약액 공급 방법 {PHOTORESIST SUPPLYING DEVICE IN COATER APPARATUS AND METHOD USING SAME}
본 발명은 기판 코터 장치의 약액 공급 기구 및 이를 이용한 약액 공급 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 피처리 기판의 표면에 약액을 도포하여 코팅하는 공정을 보다 신속하게 할 수 있는 기판 코터 장치의 약액 공급 기구 및 이를 이용한 약액 공급 방법에 관한 것이다.
LCD 등 플랫 패널 디스플레이를 제조하는 공정에서는 유리 등으로 제작된 피처리 기판의 표면에 레지스트액 등의 약액을 도포하는 코팅 공정이 수반된다. LCD의 크기가 작았던 종래에는 피처리 기판의 중앙부에 약액을 도포하면서 피처리 기판을 회전시키는 것에 의하여 피처리 기판의 표면에 약액을 도포하는 스핀 코팅 방법이 사용되었다.
그러나, LCD 화면의 크기가 대형화됨에 따라 스핀 코팅 방식은 거의 사용되지 않으며, 피처리 기판의 폭에 대응하는 길이를 갖는 슬릿 형태의 슬릿 노즐과 피처리 기판을 상대 이동시키면서 슬릿 노즐로부터 약액을 피처리 기판의 표면에 도포하는 방식의 코팅 방법이 사용되고 있다.
즉, 도1에 도시된 바와 같이, 기판 코터 장치(1)는 기판(G)을 지지하는 스테이지(10)와, 기판(G)의 폭만큼 긴 폭으로 형성되어 도면부호 20d로 표시된 방향으로 기판(G)과 상대이동하여 기판(G)의 표면에 약액(PR)을 일정 두께로 도포하는 슬릿 노즐(20)과, 슬릿 노즐(20)에 약액(PR)을 공급하는 약액 공급 기구(30)로 구성된다.
이와 같이 구성된 기판 코터 장치(1)는 기판(G)과 슬릿 노즐(20)의 상대 이동을 하면서 기판(G)의 표면에 약액(PR)을 도포하는 1회의 공정에 사용되는 될 양의 약액(PR)을 펌프(32)에 채워놓은 후 슬릿 노즐(20)을 통해 약액을 도포한다. 보다 구체적으로는, 도2 및 도3에 도시된 바와 같이, 캐니스터(50)로부터 버퍼(31)에 약액(PR)을 충전시키며, 펌프충전밸브(33a)를 개방하여 버퍼(31)로부터 약액 공급관(33)을 통해 펌프(32) 내부의 챔버(미도시)에 1회의 기판 코팅 공정에 사용될 양의 약액(PR)을 채운 후, 노즐개폐밸브(33b)를 개방하여 기판(G)과 슬릿 노즐(20)의 상대 이동(20d)을 하면서 기판(G)의 표면에 약액(PR)을 도포한다(S10).
그리고 나서, 피처리 기판(G)의 표면에 약액(PR)의 도포가 종료되면, 슬릿 노즐(20)이 약액의 도포를 시작하는 위치로 복귀하면서, 펌프충전밸브(33a)가 개방되어 버퍼(31)로부터 펌프(32)의 챔버에 약액(PR)을 충전한다(S20).
그러나, 피처리 기판(G)과 슬릿 노즐(20)의 상대 이동을 행하면서 약액(PR)을 도포하는 공정(S10)은 피처리 기판(G)의 표면에 약액이 균일한 두께로 도포되도록 하기 위하여 비교적 낮은 속도로 이루어지지만, 약액(PR)의 도포가 종료된 후 슬릿 노즐(20)을 원위치로 복귀시키는 공정(S20)은 빠른 속도로 이루어진다. 따라서, 슬릿 노즐(20)이 원위치로 복귀하면서 버퍼(31)로부터 펌프(32)의 챔버에는 1회 코팅 공정에 사용될 양의 약액(PR)이 충전되지 못한다.
이에 따라, 종래에는 슬릿 노즐(20)이 원위치로 복귀된 이후에도, 슬릿 노즐의 도포 개시 위치에서 대기하면서 펌프(33)의 챔버에 충전되지 못한 양의 약액(PR)을 충전하는 공정(S30)이 수반됨에 따라, 피처리 기판(G)의 표면에 약액을 도포하는 공정이 매번 지연되는 문제점이 야기되었다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 피처리 기판에 약액을 도포하기 위하여 노즐에 약액을 공급하는 데 있어서, 슬릿 노즐이 도포 후 원래의 위치로 복귀하는 데 소요되는 시간보다 기판을 1회 도포하는 데 필요한 약액을 펌프에 충전하는 시간이 더 길기 때문에 발생되는 기판 코팅 공정의 지연 시간을 제거하는 기판 코터 장치의 약액 공급 기구 및 이를 이용한 약액 공급 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 상기와 같이 기판 코팅 공정의 지연 시간을 제거하는 약액 공급 기구를 보다 저렴하게 제작하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
본 발명은 상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 노즐에 의해 기판의 표면에 약액을 도포하는 기판 코터 장치의 약액 공급 기구로서, 약액이 공급되어 약액이 채워진 상태로 유지되는 버퍼와; 제1버퍼로부터 약액을 입구를 통해 공급받아 수용하는 제1챔버와; 제2버퍼로부터 약액을 입구를 통해 공급받아 수용하는 제2챔버와; 상기 제1챔버와 상기 제2챔버 중 어느 하나의 압력을 크게하면 다른 하나의 압력이 작아지도록 상기 제1챔버와 상기 제2챔버에 각각 연결되어 상기 제1챔버와 상기 제2챔버를 향하는 각 방향으로 왕복 운동하는 플런저와; 상기 플런저의 왕복 이동 방향에 따라 상기 제1챔버와 상기 제2챔버 중 어느 하나로부터 교대로 약액을 공급받아 기판에 약액을 도포하는 노즐을; 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치의 약액 공급 기구를 제공한다.
이를 통해, 상기 플런저가 상기 제1챔버, 상기 제2챔버 중 어느 하나를 향하여 이동하면, 제1챔버와 제2챔버 중 어느 하나의 압력이 높아지고 동시에 다른 하나의 압력이 낮아지므로, 압력이 높아지는 챔버로부터 노즐로 약액을 공급하고, 압력이 낮아지는 챔버에 버퍼로부터 약액을 충전할 수 있으므로, 어느 하나의 챔버에 수용되어 있던 약액은 기판의 표면에 도포되고, 동시에 다른 하나의 빈 챔버에는 버퍼로부터 약액을 충전할 수 있으므로, 슬릿 노즐이 도포 후 원래의 위치로 복귀하는 데 소요되는 시간보다 기판을 1회 도포하는 데 필요한 약액을 펌프에 충전하는 시간이 더 길기 때문에 발생되는 기판 코팅 공정의 지연 시간을 근본적으로 제거할 수 있다.
따라서, 종래에 비하여 기판의 표면에 약액을 코팅하는 데 소요되는 시간을 단축할 수 있게 되어 생산성이 향상되고 제작 비용을 절감할 수 있는 잇점을 얻을 수 있다.
이 때, 상기 노즐은 슬릿 노즐로 형성될 수 있다.
그리고, 상기 제1챔버와 상기 제2챔버는 체적이 일정하게 유지되는 형태의 챔버로 형성될 수 있다. 이 경우에는, 상기 플런저의 왕복 운동에 의하여 상기 플런저가 상기 제1챔버 및 상기 제2챔버에 침투한 체적에 부합하는 체적 변화로 인하여 상기 제1챔버 및 상기 제2챔버의 압력이 변동하게 된다.
한편, 상기 제1챔버와 상기 제2챔버는 체적이 변동할 수 있도록 가요성 재질을 포함하여 구성되어, 플런저의 왕복 이동에 따라 약액을 충전하는 것을 보다 효과적으로 행할 수도 있다.
상기 제1버퍼와 상기 제2버퍼는 별개로 형성될 수도 있지만, 하나의 버퍼로 이루어지고, 상기 제1챔버의 입구 및 상기 제2챔버의 입구 중 어느 하나와 상기 버퍼를 선택적으로 연결하는 제1밸브가 설치될 수도 있다. 이 때, 상기 제1밸브는 폐쇄 상태, 상기 제1챔버의 입구 및 상기 제2챔버의 입구 중 어느 하나와 버퍼를 선택적으로 연결하는 상태를 구현하는 삼방 밸브(3-way valve)로 형성된다.
그리고, 상기 제1챔버의 출구와 상기 제2챔버의 출구 중 어느 하나와 상기 노즐을 선택적으로 연결하는 제2밸브가 배열된다. 마찬가지로, 상기 제2밸브는 폐쇄 상태, 상기 제1챔버의 출구 및 상기 제2챔버의 출구 중 어느 하나와 노즐을 선택적으로 연결하는 상태를 구현하는 삼방 밸브(3-way valve)로 형성된다.
상기 플런저의 왕복운동에 의하여 제1챔버와 제2챔버의 압력이 교대로 높아지고 낮아지도록 작동하는 데 있어서, 별도의 링크 부재를 구비하지 않고 하나의 플런저로 제1챔버와 제2챔버의 압력을 교대로 높아지거나 낮아지도록 하기 위하여 제1챔버와 제2챔버는 서로 마주보게 배열되는 것이 좋다.
한편, 상기 제1챔버 및 상기 제2챔버는 입구와 출구가 하나로 형성되고; 상기 제1챔버와 상기 제1버퍼를 연결하는 제1-1유로와, 상기 제1-1유로 상에 삼방 밸브(3-way valve)로 설치된 제1밸브를 분기점으로 하여 상기 노즐까지 연장된 제1-2유로를 구비하고; 상기 제2챔버와 상기 제2버퍼를 연결하는 제2-1유로와, 상기 제2-1유로 상에 삼방 밸브(3-way valve)로 설치된 제2밸브를 분기점으로 하여 상기 노즐까지 연장된 제2-2유로를 구비하여; 상기 제1밸브와 상기 제2밸브의 조작으로 상기 제1챔버, 상기 제2챔버 중 어느 하나로부터 노즐에 약액이 공급되고, 상기 제1챔버, 상기 제2챔버 중 다른 하나에 약액이 충전되도록 구성될 수도 있다.
이 때, 상기 제1버퍼와 상기 제2버퍼는 하나의 버퍼로 형성될 수 있다.
그리고, 상기 플런저와 일체로 왕복 운동하고, 상기 플런저의 왕복 운동 방향에 평행하게 관통한 암나사 구멍이 구비된 연결부와; 상기 암나사 구멍에 맞물려 관통하는 수나사봉과; 상기 수나사봉을 회전 구동하는 모터를; 추가적으로 포함하여, 상기 모터의 정, 역방향 회전 구동에 의하여 상기 플런저의 왕복 운동을 구현할 수 있다.
이 때, 플런저가 안정적으로 왕복 직선 운동하는 것을 보조하도록, 상기 플런저를 중심으로 상기 암나사 구멍의 반대측의 상기 연결부에 상기 플런저의 왕복 운동 방향에 평행하게 관통 형성된 관통공을 관통하여 설치된 가이드 봉을; 추가적으로 포함하여 구성된다. 여기서, 상기 가이드 봉의 양단 고정부는 상기 플런저의 왕복 운동의 스트로크를 제한하는 스토퍼로 작동하게 된다.
한편, 상기 플런저는, 상기 제1챔버와 상기 제2챔버에 삽입되는 단면이 큰 한 쌍의 헤드와; 상기 헤드를 연결하고 외주면에 수나사가 형성된 연결봉을; 포함하여 구성되고, 상기 연결봉의 외주면과 맞물리고 회전 가능하되 이동이 제한되게 설치된 제1기어와; 상기 제1기어를 회전 구동하는 모터를; 추가적으로 포함하여, 상기 모터의 정, 역방향 회전 구동에 의하여 상기 플런저의 왕복 운동을 구현할 수도 있다. 예를 들어, 하모니 감속기를 사용하여 모터의 회전 구동력을 플런저의 왕복 운동으로 변환할 수 있다.
발명의 다른 분야에 따르면, 본 발명은, 노즐에 의해 기판의 표면에 약액을 도포하는 기판 코터 장치의 전술한 약액 공급 기구를 이용한 약액 공급 방법으로서, 상기 제1버퍼와 상기 제1챔버 사이의 유로를 개방하고, 상기 제2챔버와 상기 노즐 사이의 유로를 개방시키는 제1단계와; 상기 노즐과 상기 기판의 상대 이동을 시키면서, 상기 플런저가 제2챔버를 향하여 이동함에 따라, 상기 제2챔버의 압력이 높아져 상기 제2챔버로부터 상기 노즐로 약액이 공급되면서 상기 기판의 표면에 약액이 도포되는 제2단계와; 상기 플런저가 제1챔버로부터 멀어지도록 이동함에 따라 상기 제1챔버의 압력이 낮아져 상기 제1버퍼로부터 상기 제1챔버로 약액이 충전되는 제3단계와; 상기 제2버퍼와 상기 제2챔버 사이의 유로를 개방하고, 상기 제1챔버와 상기 노즐 사이의 유로를 개방시키는 제4단계와; 상기 노즐과 상기 기판의 상대 이동을 시키면서, 상기 플런저가 제1챔버를 향하여 이동함에 따라, 상기 제1챔버의 압력이 높아져 상기 제1챔버로부터 상기 노즐로 약액이 공급되면서 상기 기판의 표면에 약액이 도포되는 제5단계와; 상기 플런저가 제2챔버로부터 멀어지도록 이동함에 따라 상기 제2챔버의 압력이 낮아져 상기 제2버퍼로부터 상기 제2챔버로 약액이 충전되는 제6단계를 포함하여 구성되되, 상기 제2단계와 상기 제3단계는 상기 플런저가 일방향으로 운동함에 따라 동시에 이루어지고, 마찬가지로 상기 제5단계와 상기 제6단계는 상기 플런저가 타방향으로 운동함에 따라 동시에 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치의 약액 공급 방법을 제공한다.
이 때, 노즐이 고정된 상태로 기판에 약액을 도포할 수도 있지만, 상기 노즐이 고정된 기판에 대하여 이동하면서 상기 기판에 약액을 도포하도록 구성될 수도 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명은, 노즐에 의해 기판의 표면에 약액을 도포하는 기판 코터 장치의 약액 공급 기구로서, 약액이 공급되어 약액이 채워진 상태로 유지되는 버퍼와; 제1버퍼로부터 약액을 입구를 통해 공급받아 수용하는 제1챔버와; 제2버퍼로부터 약액을 입구를 통해 공급받아 수용하는 제2챔버와; 상기 제1챔버와 상기 제2챔버 중 어느 하나의 압력을 크게하면 다른 하나의 압력이 작아지도록 상기 제1챔버와 상기 제2챔버에 각각 연결되어 상기 제1챔버와 상기 제2챔버를 향하는 각 방향으로 왕복 운동하는 플런저와; 상기 플런저의 왕복 이동 방향에 따라 상기 제1챔버와 상기 제2챔버 중 어느 하나로부터 교대로 약액을 공급받아 기판에 약액을 도포하는 노즐을; 포함하여 구성되어,어느 하나의 챔버에 수용되어 있던 약액은 기판의 표면에 도포되고, 동시에 다른 하나의 빈 챔버에는 버퍼로부터 약액을 충전할 수 있으므로, 슬릿 노즐이 도포 후 원래의 위치로 복귀하는 데 소요되는 시간보다 기판을 1회 도포하는 데 필요한 약액을 펌프에 충전하는 시간이 더 길기 때문에 발생되는 기판 코팅 공정의 지연 시간을 근본적으로 제거할 수 있는 기판 코터 장치의 약액 공급 기구를 제공한다.
즉, 본 발명은, 상기 플런저가 상기 제1챔버, 상기 제2챔버 중 어느 하나를 향하여 이동하면, 제1챔버와 제2챔버 중 어느 하나의 압력이 높아지고 동시에 다른 하나의 압력이 낮아지므로, 압력이 높아지는 챔버로부터 노즐로 약액을 공급하고, 압력이 낮아지는 챔버에 버퍼로부터 약액을 동시에 충전할 수 있으므로, 종래에 비하여 기판의 표면에 약액을 코팅하는 데 소요되는 시간을 단축할 수 있게 되어 생산성이 향상되고 제작 비용을 절감할 수 있는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
그리고, 본 발명은 하나의 플런저에 의하여 2개의 챔버를 동시에 제어할 수 있으므로 상기와 같이 기판 코팅 공정의 지연 시간을 제거하는 약액 공급 기구를 보다 저렴하게 제작할 수 있게 되는 장점도 얻어진다.
도1은 종래의 기판 코터 장치의 구성을 도시한 사시도
도2는 도1의 약액 공급 기구의 구성을 도시한 개략도
도3은 도2의 작동 원리를 순차적으로 도시한 순서도
도4는 본 발명의 제1실시예에 따른 약액 공급 기구를 구비한 기판 코터 장치의 외관을 도시한 측면도
도5는 도4의 약액 공급 기구의 구성을 도시한 개략도
도6a 내지 도6c는 도5의 챔버-플런저 구조의 작동 원리를 도시한 도면
도7a 및 도7b는 본 발명의 약액 공급 기구의 작동 방법을 순차적으로 도시한 순서도
도8은 본 발명의 제2실시예에 따른 약액 공급 기구의 구성을 도시한 개략도
도9는 도8의 챔버-플런저 구조의 작동 원리를 도시한 도면이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 약액 공급 기구(130)를 구비한 기판 코터 장치(100)를 상술한다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성(예를 들어, 약액공급기구에 사용되는 펌프의 구성)에 대한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.
도4는 본 발명의 제1실시예에 따른 약액 공급 기구를 구비한 기판 코터 장치의 외관을 도시한 측면도, 도5는 도4의 약액 공급 기구의 구성을 도시한 개략도, 도6a 내지 도6c는 도5의 챔버-플런저 구조의 작동 원리를 도시한 도면, 도7a 및 도7b는 본 발명의 약액 공급 기구의 작동 방법을 순차적으로 도시한 순서도이다.
도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 코터 장치(100)는 기판(G)을 지지하는 기판 스테이지(110)와, 기판 스테이지(110)의 상측의 기판(G) 표면에 약액(PR)을 일정 두께로 도포하는 슬릿 노즐(120)과, 슬릿 노즐(120)에 약액(PR)을 공급하는 약액 공급 기구(130)를 포함하여 구성된다.
상기 기판 스테이지(110)는 기판(G)을 그 상면에 밀착 고정한 상태로 유지시킨다. 그리고, 기판 스테이지(110)의 하측에는 지면으로부터 기판 스테이지(110)가 정밀한 수평 상태를 유지하도록 고정 조절 다이(110a)가 위치한다.
상기 슬릿 노즐(120)은 약액 공급 기구(130)를 통해 약액(PR)이 공급되어 스테이지(110)의 상면에 고정된 기판(G)을 훑으면서 이동하면서 그 표면에 일정한 두께로 약액(PR)을 도포한다. 여기서, 슬릿 노즐(120)의 이동은 갠츄리(gantry, 122)에 의해 이루어진다.
한편, 본 발명의 다른 실시 형태에 따르면, 기판(G)이 고정된 상태로 슬릿 노즐(120)이 이동할 수도 있지만, 기판(G)이 스테이지(110)에 고정된 상태로 스테이지(110)의 이동에 의해 슬릿 노즐(120)의 하부를 통과하는 상대 이동이 이루어질 수 도 있고, 대한민국 공개특허공보 제2006-42871호에 개시된 구성과 유사하게 기판(G)이 부상한 상태로 슬릿 노즐(120)의 하부를 통과하는 상대 이동이 이루어질 수도 있다.
상기 약액 공급 기구(130)는 도5에 도시된 바와 같이 캐니스터(50)로부터 약액이 충전된 상태로 유지되는 버퍼(131)가 구비되며, 버퍼(131)로부터 2개의 유로(132a, 133a)가 분기된다.
버퍼(131)로부터 분기된 유로들(132a, 133a) 중 제1유로(132a, 132b)에 분기된 위치에 제1챔버(132)가 설치되어, 버퍼(131)로부터 공급받은 약액을 제1챔버(132) 내에 보관하였다가 기판(G)의 코팅 공정 중에 1회 코팅 분량의 약액을 노즐(120)로 공급한다. 마찬가지로, 버퍼(131)로부터 분기된 유로들 중 제2유로(133a, 133b)에 분기된 위치에 제2챔버(133)가 설치되어, 버퍼(131)로부터 공급받은 약액을 제2챔버(133) 내에 보관하였다가 기판(G)의 코팅 공정 중에 1회 코팅 분량의 약액을 노즐(120)로 공급한다.
이 때, 버퍼(131)로부터 제1챔버(132) 및 제2챔버(133)로 약액을 선택적으로 공급하기 위하여, 제1챔버(132)와 버퍼(131) 사이의 제1-1유로(132a)상에는 제1유로개폐밸브(132c)가 삼방 밸브(3-way valve)로 설치되며, 제2챔버(133)와 버퍼(131) 사이의 제2-1유로(134a)상에는 제2유로개폐밸브(134c)가 삼방 밸브(3-way valve)로 설치된다.
이에 따라, 제1유로개폐밸브(132c)는 어떠한 유로도 연통시키지 않는 폐쇄 상태로 위치할 수도 있고, 버퍼(131)와 제1챔버(132)를 연통시키는 제1-1개방상태로 위치할 수도 있으며, 제1챔버(132)와 노즐(120)을 연통시키는 제1-2개방상태로 위치할 수 있다. 마찬가지로, 제2유로개폐밸브(133c)는 어떠한 유로도 연통시키지 않는 폐쇄 상태로 위치할 수도 있고, 버퍼(131)와 제2챔버(133)를 연통시키는 제2-1개방상태로 위치할 수도 있으며, 제2챔버(133)와 노즐(120)을 연통시키는 제2-2개방상태로 위치할 수 있다.
한편, 도5에는 하나의 버퍼(131)로부터 제1챔버(132) 및 제2챔버(133)에 각각 약액이 충전되는 구성을 예로 들었지만, 본 발명의 다른 실시 형태에 따르면, 제1챔버(132)는 제1버퍼로부터 약액이 충전되고, 제2챔버(133)는 제1버퍼와 별개의 제2버퍼로부터 약액이 충전되도록 구성될 수 있다.
제1챔버(132)와 제2챔버(133)에 각각 약액(PR)이 충전되거나 충전된 약액을 노즐(120)에 공급하는 펌프는 도6a에 도시된 바와 같이 구성된다.
즉, 서로 마주보도록 배치되어 있는 제1챔버(132)와 제2챔버(133)에 양단이 연결되어 왕복 운동하는 플런저(134)에 의하여, 제1챔버(132) 내의 압력과 제2챔버(133)의 압력이 조절된다. 보다 구체적으로는, 플런저(134)가 제1챔버(132)를 향하여 이동하면, 둘레가 강체로 형성된 제1챔버(132) 내의 체적은 플런저(134)의 침투 체적에 해당하는 만큼 작아지므로, 압력이 상승하여 제1챔버(132)내에 수용되어 있던 약액이 노즐로 공급된다. 이와 동시에, 플런저(134)가 제2챔버(133)로부터 멀어지도록 이동하므로, 제2챔버(133)내의 체적은 플런저(134)의 이탈 체적에 해당하는 만큼 커지므로, 압력이 낮아져 제2챔버(133) 내로 버퍼(131)로부터 약액이 유입된다. 플런저(134)와 각 챔버(132, 133)의 접촉면에는 약액이 새어나오지 않도록 밀봉링이 형성된다.
즉, 도6b에 도시된 바와 같이 플런저(134)가 제1챔버(132)를 향하여 상방(134d)으로 이동하면, 제1챔버(132)에 유체가 차지할 수 있는 체적은 플런저(134)의 침투 체적만큼 작아지므로 압력이 상승하여, 제1유로개폐밸브(132c)가 노즐(120)로 연통되도록 제1-2개방상태로 되어 있으면 제1챔버(132)내에 충전되어 있던 약액(PR)은 도면부호 132d로 표시된 방향으로 노즐(120)로 공급되어, 기판(G)의 표면에 약액(PR)을 도포하게 된다. 이와 동시에, 플런저(134)가 제2챔버(133)로부터 멀어지는 방향으로 이동하므로, 제2챔버(133)에 유체가 차지할 수 있는 체적은 플런저(134)의 이탈 체적만큼 커지므로 압력이 낮아져, 제2유로개폐밸브(133c)가 버퍼(131)로 연통되도록 제2-1개방상태로 되어 있으면 도면부호 133d'로 표시된 방향으로 버퍼(131)로부터 제2챔버(133)로 약액이 공급되어 제2챔버(133)에는 약액(PR)이 충전된다.
마찬가지로, 도6c에 도시된 바와 같이, 플런저(134)가 제2챔버(133)를 향하여 하방(134d')으로 이동하면, 제2챔버(133)에 유체가 차지할 수 있는 체적은 플런저(134)의 침투 체적만큼 작아지므로 압력이 상승하여, 제2유로개폐밸브(133c)가 노즐(120)로 연통되도록 제2-2개방상태로 되어 있으면 제2챔버(133)내에 충전되어 있던 약액(PR)은 도면부호 133d로 표시된 방향으로 노즐(120)로 공급되어, 기판(G)의 표면에 약액(PR)을 도포하게 된다. 이와 동시에, 플런저(134)가 제1챔버(132)로부터 멀어지는 방향으로 이동하므로, 제1챔버(132)에 유체가 차지할 수 있는 체적은 플런저(134)의 이탈 체적만큼 커지므로 압력이 낮아져, 제1유로개폐밸브(132c)가 버퍼(131)로 연통되도록 제1-1개방상태로 되어 있으면 도면부호 133d로 표시된 방향으로 버퍼(131)로부터 제1챔버(133)로 약액이 공급되어 제1챔버(133)에는 약액(PR)이 충전된다.
여기서, 플런저(134)의 왕복 운동을 위하여 플런저(134)에는 플런저(134)와 일체로 왕복 운동을 하는 연결부(134a)가 구비된다. 연결부(134a)에는 플런저(134)의 왕복 운동 방향에 평행하게 관통한 암나사 구멍이 형성되고, 플런저(134)와 평행하게 설치되어 암나사 구멍을 관통하는 수나사봉(136a)은 구동 모터(136)에 의하여 회전 구동된다. 이에 따라, 구동 모터(136)의 회전 방향에 따라 플런저(134)는 제1챔버(132)를 향해 이동하거나 제2챔버(133)를 향해 이동한다.
한편, 플런저(134)를 중심으로 암나사 구멍의 반대측의 연결부(134a)에는 플런저(134)의 왕복 운동 방향에 평행하게 관통 형성된 관통공을 관통하여 설치된 가이드 봉(137)이 설치된다. 가이드 봉(137)은 플런저(134)가 요동하지 않고 왕복 운동하는 것을 보조한다. 그리고, 가이드 봉(137)의 양단부를 고정하는 고정부(137x)에 의하여 플런저(134)의 왕복 운동의 한계가 정해진다. 즉, 가이드 봉(137)의 양단부 고정부(137x)는 플런저(134)의 왕복 운동의 스트로크(S)를 정하는 스토퍼로 작동한다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 코터 장치(100)의 약액 공급 기구(130)의 작동 방법(S100)을 도7a 및 도7b를 참조하여 상술한다.
단계 1: 먼저 표면에 약액(PR)을 도포하고자 하는 기판(G)이 기판 코터 장치(100)에 공급되기 이전에, 제1-1유로(132a)의 제1유로개폐밸브(132c)를 제1-1개방상태가 되도록 개방하여 제1챔버(132)와 버퍼(131) 사이의 유로를 개방시킨다. 이와 동시에, 제2유로개폐밸브(133c)를 제2-2개방상태가 되도록 개방하여 제2챔버(133)와 노즐(120) 사이의 유로를 개방시킨다(S110).
단계 2: 그리고 나서, 기판(G)에 대하여 슬릿 노즐(120)이 상대이동하기 시작하면, 모터(136)가 정방향(136d)으로 회전함으로써 플런저(134)를 제2챔버(133)를 향하여 하방(134d')으로 이동시켜 제2챔버(133) 내의 압력을 상승시키는 것에 의하여, 제2챔버(133) 내에 수용되어 있던 약액(PR)이 제2유로개폐밸브(133c)와 제2-2유로(133b)를 통해 슬릿 노즐(120)로 공급되어, 기판(G)의 표면에 약액(PR)이 도포되도록 한다(S120).
단계 3: 단계 2와 동시에 이루어지는 것으로서, 플런저(134)를 제2챔버(133)를 향하여 하방(134d')으로 이동시키면, 제1챔버(132) 내의 압력이 하강하게 되어, 버퍼(131)로부터 제1챔버(132)로 제1-1유로(132a)를 통해 약액(PR)이 유입된다(S130). 따라서, 제2챔버(133) 내의 약액이 소진되는 만큼 제1챔버(132)내에는 약액이 동시에 충전된다.
단계 4: 하나의 기판(G)에 대하여 약액(PR)이 도포되면, 슬릿 노즐(120)을 약액을 도포하는 초기 위치로 복귀시킨다(S140). 슬릿 노즐(120)이 약액을 도포하는 동안에 상대이동하는 속도에 비하여, 슬릿 노즐(120)이 약액을 도포하는 초기 위치로 복귀하는 속도가 훨씬 빠르더라도, 단계 2와 동시에 이루어지는 단계 3에서 이미 제1챔버(132)에 약액이 충전되었으므로, 슬릿 노즐(120)이 약액을 도포하는 초기 위치로 복귀한 이후에 지체없이 곧바로 그 다음에 공급되는 기판(G)에 약액을 도포하는 공정을 진행시킬 수 있다.
단계 5: 이번에는, 제2-1유로(133a)의 제2유로개폐밸브(133c)를 제2-1개방상태가 되도록 개방하여 제2챔버(133)와 버퍼(131) 사이의 유로를 개방시킨다. 이와 동시에, 제1유로개폐밸브(132c)를 제1-2개방상태가 되도록 개방하여 제1챔버(132)와 노즐(120) 사이의 유로를 개방시킨다(S150).
단계 6: 그리고 나서, 기판(G)에 대하여 슬릿 노즐(120)이 상대이동하기 시작하면, 플런저(134)를 제1챔버(132)를 향하여 상방(134d)으로 이동시켜, 제1챔버(132) 내의 압력을 상승시킴으로써, 바로 이전에 채워졌던 제1챔버(132) 내의 약액(PR)이 제1유로개폐밸브(132c)와 제1-2유로(132b)를 통해 슬릿 노즐(120)로 공급되어, 기판(G)의 표면에 약액(PR)을 도포한다(S160).
단계 7: 단계 2와 동시에 이루어지는 것으로서, 모터(136)가 역방향(136d')으로 회전함으로써 플런저(134)를 제1챔버(132)를 향하여 상방(134d)으로 이동시킴에 따라, 제2챔버(133) 내의 압력이 하강하게 되어, 버퍼(131)로부터 제2챔버(133)로 제2-1유로(133a)를 통해 약액(PR)이 유입된다(S170). 따라서, 제1챔버(132) 내의 약액이 소진되는 만큼 제2챔버(133)내에는 약액이 동시에 충전된다.
단계 8: 또 하나의 기판(G)에 대하여 약액(PR)이 도포되면, 슬릿 노즐(120)을 약액을 도포하는 초기 위치로 복귀시킨다(S180). 그리고 나서, 약액을 도포하고자 하는 기판이 모두 코팅되지 않았다면, 단계 1 내지 단게 8을 반복하면서 다수의 기판(G)의 표면에 약액을 도포하는 공정을 지속한다.
상기와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 코터 장치의 약액 공급 방법(S100)은 기판(G)의 크기가 대형화되어 1회에 코팅해야 하는 약액의 양이 많아지더라도, 슬릿 노즐(120)이 기판(G)에 약액을 도포하는 공정 중에 또 다른 챔버에 그 다음에 도포할 양의 약액을 미리 충전하도록 구성됨에 따라, 공급되는 기판(G)을 중단없이 연속적으로 코팅할 수 있는 유리한 효과가 얻어진다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 제2실시예에 따른 약액 공급 기구(230)를 상술한다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 앞서 설명한 제1실시예의 구성 및 기능과 동일 또는 유사한 구성 및 기능에 대한 구체적인 설명은 본 실시예의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.
도8은 본 발명의 제2실시예에 따른 약액 공급 기구(200)의 구성을 도시한 개략도, 도9는 도8의 챔버-플런저 구조의 작동 원리를 도시한 도면이다.
도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 코터 장치의 약액 공급 기구(230)는 제1챔버(231) 및 제2챔버(232)에 약액(PR)이 유입되는 입구(231i, 232i)와 출구(232i, 232o)가 구분되어 있고, 버퍼(231)로부터 제1챔버(231) 또는 제2챔버(232) 중 어느 하나와 연통시키는 제1밸브(236)가 위치하고, 제1챔버(231) 또는 제2챔버(232) 중 어느 하나와 슬릿 노즐(120)를 연통시키는 제2밸브(237)가 위치하고 있다는 점에서 전술한 제1실시예의 구성과 차이가 있다.
다만, 본 발명의 제2실시예에 다른 약액 공급 기구(230)의 제1챔버(231), 제2챔버(232) 및 플런저(233) 등의 구성은 도9에 도시된 구성으로 적용할 수 있을 뿐만 아니라, 도6a 내지 도6c에 도시된 구성으로도 적용할 수 있다. 마찬가지로, 도9에 도시된 구성도 도5의 약액 공급 기구(130)에 적용할 수 있다.
상기 약액 공급 기구(230)는 도8에 도시된 바와 같이 캐니스터(50)로부터 약액이 충전된 상태로 유지되는 버퍼(231)가 구비되며, 버퍼(231)로부터 2개의 유로(232a, 233a)가 분기된다.
버퍼(131)로부터 분기된 유로들(232a, 233a)의 분기점에는 제1밸브(236)이 삼방 밸브(3-way valve)형태로 설치되고, 이들 유로(232a, 233a)의 끝단에는 제1챔버(232)의 입구(232i)와 제2챔버(233)의 입구(233i)가 연결된다. 그리고, 제1챔버(232)의 출구(232o)는 슬릿 노즐(120)의 상류측에 위치한 제2밸브(237)까지 연결되며, 마찬가지로 제2챔버(233)의 출구(233o)도 슬릿 노즐(120)의 상류측에 위치한 제2밸브(237)까지 연결된다. 이와 같이 구성된 제1챔버(232)와 제2챔버(233)는 버퍼(231)로부터 공급받은 약액을 보관하였다가 기판(G)의 코팅 공정 중에 1회 코팅 분량의 약액을 노즐(120)로 교대로 공급한다.
상기 제1밸브(236)는 어떠한 유로도 연통시키지 않는 폐쇄 상태로 위치할 수도 있고, 버퍼(231)와 제1챔버(232)를 연통시키는 제1-1개방상태로 위치할 수도 있으며, 제1챔버(232)와 노즐(120)을 연통시키는 제1-2개방상태로 위치할 수 있다. 마찬가지로, 제2밸브(237)는 어떠한 유로도 연통시키지 않는 폐쇄 상태로 위치할 수도 있고, 버퍼(231)와 제2챔버(233)를 연통시키는 제2-1개방상태로 위치할 수도 있으며, 제2챔버(232)와 노즐(120)을 연통시키는 제2-2개방상태로 위치할 수 있다.
한편, 도8에는 하나의 버퍼(231)로부터 제1챔버(232) 및 제2챔버(233)에 각각 약액이 충전되는 구성을 예로 들었지만, 본 발명의 다른 실시 형태에 따르면, 제1챔버(232)는 제1버퍼로부터 약액이 충전되고, 제2챔버(233)는 제1버퍼와 별개인 제2버퍼로부터 약액이 충전되도록 구성될 수 있다.
제1챔버(132)와 제2챔버(133)에 각각 약액(PR)이 충전되거나 충전된 약액을 노즐(120)에 공급하는 펌프는 도9에 도시된 바와 같이 구성된다.
즉, 서로 마주보도록 배치되어 있는 제1챔버(232)와 제2챔버(233)에 양단이 연결되어 왕복 운동하는 플런저(234)에 의하여, 제1챔버(232) 내의 압력과 제2챔버(233)의 압력이 조절된다. 보다 구체적으로는, 플런저(234)가 제1챔버(132)를 향하여 이동(234x)하면, 다이어프램과 같이 둘레가 가요성 재질을 포함하여 형성된 제1챔버(232) 내의 체적은 플런저(234)의 침투 체적에 해당하는 만큼 작아지므로, 압력이 상승하여 제1챔버(232)내에 수용되어 있던 약액을 유로(232b)를 통해 밀어내어 슬릿 노즐(120)로 공급한다. 이와 동시에, 플런저(234)가 제2챔버(233)로부터 멀어지도록 이동(233x')하므로, 제2챔버(233)내의 체적은 플런저(234)의 이탈 체적에 해당하는 만큼 커지므로, 압력이 낮아져 제2챔버(233)가 오무라들면서 버퍼(231)로부터 유로(233a)를 통해 약액을 흡입하게 된다. 플런저(234)와 각 챔버(232, 233)의 접촉면에는 약액이 새어나오지 않도록 밀봉링(232s)이 형성된다.
반대로 플런저(234)가 하방으로 이동하면, 제2챔버(233) 내의 체적은 플런저(234)의 침투 체적에 해당하는 만큼 작아지므로, 압력이 상승하여 제2챔버(233)내에 수용되어 있던 약액을 유로(233b)를 통해 밀어내어 슬릿 노즐(120)로 공급한다. 그리고, 이와 동시에, 플런저(234)가 제1챔버(232)로부터 멀어지도록 이동하므로, 제1챔버(232)내의 체적은 플런저(234)의 이탈 체적에 해당하는 만큼 커지므로, 압력이 낮아져 제1챔버(232)가 오무라들면서 버퍼(231)로부터 유로(232a)를 통해 약액을 흡입하게 된다.
도면 중 미설명 부호인 '232SH'는 제1챔버(232)가 수축한 상태의 경계 가상선이고, 미설명 부호인 '233EX'는 제2챔버(233)가 팽창한 상태의 경계 가상선이다.
여기서, 플런저(234)는, 제1챔버(232)와 제2챔버(233)에 삽입되어 왕복운동을 하는 큰 단면을 갖는 한 쌍의 헤드(234h)와, 한 쌍의 헤드(234h)를 상호 연결하고 외주면에 수나사가 형성된 연결봉(234r)으로 구성된다. 그리고, 연결봉(234r)의 외주면의 수나사와 맞물리는 암나사부가 중앙에 형성되고, 회전 가능하게 설치되되 상,하 방향의 이동이 구속되게 설치된 제1기어(239)와, 제1기어(239)를 피니언(238a)을 통해 회전 구동하는 모터(238)가 추가적으로 구비된다. 이에 따라, 모터(238)의 정, 역방향으로의 회전에 따라, 피니언(238a)과 제1기어(239)를 통해 감속된 속도로 연결봉(234r)를 회전시키면서 상하로 이동시키게 되므로, 제1챔버(232)와 제2챔버(233)에 선택적으로 약액(PR)을 충전하면서 노즐(120)로 약액(PR)을 공급할 수 있게 된다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 제2실시예에 따른 약액 공급 기구(230)의 작동 방법은 전술한 제1실시예의 도7a 및 도7b를 통해 당해 기술 분야의 당업자에게 자명하므로 이에 대한 설명은 생략하기로 한다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 특허청구 범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경 가능한 것이다.
** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **
100: 기판 코터 장치 110: 기판 스테이지
120: 슬릿 코터 130, 230: 약액 공급 기구
131, 231: 버퍼 132, 232: 제1챔버
133, 233: 제2챔버 134, 234: 플런저

Claims (18)

  1. 노즐에 의해 기판의 표면에 약액을 도포하는 기판 코터 장치의 약액 공급 기구로서,
    약액이 공급되어 약액이 채워진 상태로 유지되는 버퍼와;
    제1버퍼로부터 약액을 입구를 통해 공급받아 수용하는 제1챔버와;
    제2버퍼로부터 약액을 입구를 통해 공급받아 수용하는 제2챔버와;
    상기 제1챔버와 상기 제2챔버 중 어느 하나의 압력을 크게하면 다른 하나의 압력이 작아지도록 상기 제1챔버와 상기 제2챔버에 각각 연결되어 상기 제1챔버와 상기 제2챔버를 향하는 각 방향으로 왕복 운동하는 플런저와;
    상기 플런저의 왕복 이동 방향에 따라 상기 제1챔버와 상기 제2챔버 중 어느 하나로부터 교대로 약액을 공급받아 기판에 약액을 도포하는 노즐을;
    포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치의 약액 공급 기구.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 노즐은 슬릿 노즐인 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치의 약액 공급 기구.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 제1챔버와 상기 제2챔버는 체적이 일정하게 유지되고, 상기 플런저의 왕복 운동에 의하여 상기 플런저가 상기 제1챔버 및 상기 제2챔버에 침투한 체적에 부합하는 체적 변화로 인하여 상기 제1챔버 및 상기 제2챔버의 압력이 변동하는 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치의 약액 공급 기구.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 제1챔버와 상기 제2챔버는 체적이 변동할 수 있도록 가요성 재질을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치의 약액 공급 기구.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 제1버퍼와 상기 제2버퍼는 하나의 버퍼로 이루어지고;
    상기 제1챔버의 입구 및 상기 제2챔버의 입구 중 어느 하나와 상기 버퍼를 선택적으로 연결하는 제1밸브가 배열된 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치의 약액 공급 기구.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 제1밸브는 삼방 밸브(3-way valve)인 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치의 약액 공급 기구.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 제1챔버의 출구와 상기 제2챔버의 출구 중 어느 하나와 상기 노즐을 선택적으로 연결하는 제2밸브가 배열된 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치의 약액 공급 기구.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 제2밸브는 삼방 밸브(3-way valve)인 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치의 약액 공급 기구.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 제1챔버와 상기 제2챔버는 서로 마주보게 배열된 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치의 약액 공급 기구.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 제1챔버 및 상기 제2챔버는 입구와 출구가 하나로 형성되고;
    상기 제1챔버와 상기 제1버퍼를 연결하는 제1-1유로와, 상기 제1-1유로 상에 삼방 밸브(3-way valve)로 설치된 제1밸브를 분기점으로 하여 상기 노즐까지 연장된 제1-2유로를 구비하고;
    상기 제2챔버와 상기 제2버퍼를 연결하는 제2-1유로와, 상기 제2-1유로 상에 삼방 밸브(3-way valve)로 설치된 제2밸브를 분기점으로 하여 상기 노즐까지 연장된 제2-2유로를 구비하여;
    상기 제1밸브와 상기 제2밸브의 조작으로 상기 제1챔버, 상기 제2챔버 중 어느 하나로부터 노즐에 약액이 공급되고, 상기 제1챔버, 상기 제2챔버 중 다른 하나에 약액이 충전되는 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치의 약액 공급 기구.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 제1버퍼와 상기 제2버퍼는 하나의 버퍼로 형성된 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치의 약액 공급 기구.
  12. 제 1항에 있어서,
    상기 플런저와 일체로 왕복 운동하고, 상기 플런저의 왕복 운동 방향에 평행하게 관통한 암나사 구멍이 구비된 연결부와;
    상기 암나사 구멍에 맞물려 관통하는 수나사봉과;
    상기 수나사봉을 회전 구동하는 모터를;
    추가적으로 포함하여, 상기 모터의 정, 역방향 회전 구동에 의하여 상기 플런저가 왕복 운동을 하는 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치의 약액 공급 기구.
  13. 제 12항에 있어서,
    상기 플런저를 중심으로 상기 암나사 구멍의 반대측의 상기 연결부에 상기 플런저의 왕복 운동 방향에 평행하게 관통 형성된 관통공을 관통하여 설치된 가이드 봉을;
    추가적으로 포함하여, 상기 플런저의 왕복 운동을 보조하는 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치의 약액 공급 기구.
  14. 제 12항에 있어서,
    상기 가이드 봉의 양단부는 상기 플런저의 왕복 운동의 스트로크를 제한하는 스토퍼로 작동하는 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치의 약액 공급 기구.
  15. 제 1항에 있어서, 상기 플런저는,
    상기 제1챔버와 상기 제2챔버에 삽입되는 단면이 큰 한 쌍의 헤드와;
    상기 헤드를 연결하고 외주면에 수나사부가 형성된 연결봉을;
    포함하여 구성되고,
    상기 연결봉의 외주면의 수나사부와 맞물리는 암나사부가 중앙에 형성되고, 회전 가능하게 설치되되 상,하 방향의 이동이 구속되게 설치된 제1기어와;
    상기 제1기어를 회전 구동하는 모터를;
    추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치의 약액 공급 기구.
  16. 노즐에 의해 기판의 표면에 약액을 도포하는 기판 코터 장치의 제1항 내지 제15항 중 어느 한 항에 따른 약액 공급 기구를 이용한 약액 공급 방법으로서,
    상기 제1버퍼와 상기 제1챔버 사이의 유로를 개방하고, 상기 제2챔버와 상기 노즐 사이의 유로를 개방시키는 제1단계와;
    상기 노즐과 상기 기판의 상대 이동을 시키면서, 상기 플런저가 제2챔버를 향하여 이동함에 따라, 상기 제2챔버의 압력이 높아져 상기 제2챔버로부터 상기 노즐로 약액이 공급되면서 상기 기판의 표면에 약액이 도포되는 제2단계와;
    상기 플런저가 제1챔버로부터 멀어지도록 이동함에 따라 상기 제1챔버의 압력이 낮아져 상기 제1버퍼로부터 상기 제1챔버로 약액이 충전되는 제3단계를;
    포함하여 구성되되, 상기 제2단계와 상기 제3단계는 상기 플런저가 일방향으로 운동함에 따라 동시에 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치의 약액 공급 방법.
  17. 제 16항에 있어서,
    상기 노즐이 이동하면서 상기 기판에 약액을 도포하는 것을 특징으로 하는 기판 코터의 약액 공급 방법.
  18. 제16항에 있어서,
    상기 제2버퍼와 상기 제2챔버 사이의 유로를 개방하고, 상기 제1챔버와 상기 노즐 사이의 유로를 개방시키는 제4단계와;
    상기 노즐과 상기 기판의 상대 이동을 시키면서, 상기 플런저가 제1챔버를 향하여 이동함에 따라, 상기 제1챔버의 압력이 높아져 상기 제1챔버로부터 상기 노즐로 약액이 공급되면서 상기 기판의 표면에 약액이 도포되는 제5단계와;
    상기 플런저가 제2챔버로부터 멀어지도록 이동함에 따라 상기 제2챔버의 압력이 낮아져 상기 제2버퍼로부터 상기 제2챔버로 약액이 충전되는 제6단계를;
    추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치의 약액 공급 방법.

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