KR20120012900A - Actuating device of handler for semiconductor manufacturing process - Google Patents

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KR20120012900A
KR20120012900A KR1020100075012A KR20100075012A KR20120012900A KR 20120012900 A KR20120012900 A KR 20120012900A KR 1020100075012 A KR1020100075012 A KR 1020100075012A KR 20100075012 A KR20100075012 A KR 20100075012A KR 20120012900 A KR20120012900 A KR 20120012900A
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Abstract

PURPOSE: A handler drive apparatus is provided to minimize minute particle generation due to abrasion, thereby minimizing damage of other adjacent components. CONSTITUTION: A guide rail(100) is arranged on the upper surface of a base table in which a whole side surface or a part of the side surface has an arc shape. The guide rail has the same arc shape as the side surface and is arranged along the edge of the side surface. A transfer table(200) is arranged in order to be transferred along the guide rail. A transfer module(300) transfers the transfer table along the side surface of the base table. The guide rail is comprised of a first guide rail and a second guide rail which are arranged in parallel to each other with a fixed interval. The transport module comprises a guide link, a driving part, and an idler.

Description

핸들러의 구동장치{Actuating device of handler for semiconductor manufacturing process}Actuating device of handler for semiconductor manufacturing process

본 발명은 구동장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 이송시키고자 하는 대상물을 용이하게 이송시키되, 구조가 간단하고, 비용을 절감시키며, 마모에 의해 미세입자 발생을 최소화시켜 인접한 다른 구성부의 파손을 방지 및 최소화시킬 수 있는 핸들러의 구동장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a drive device, and more particularly, to easily transport the object to be transported, the structure is simple, and the cost is reduced, minimizing the generation of fine particles by wear to prevent damage to other adjacent components And it relates to a drive of the handler that can be minimized.

일반적으로, 핸들러는 공정을 위해 대상물을 이송시키고, 가공하기 위한 것으로, 공정상 적정시간에 적정위치로 대상물을 공급하도록 이송시키게 된다.In general, the handler is for transporting and processing the object for the process, and is to be transported to supply the object to the proper position at the appropriate time in the process.

이를 위한 핸들러의 구동장치는 다양하게 개발되어 사용되고 있으며, 그 대표적인 예로, 평면상 X, Y좌표를 따라 이동되어 대상물을 직선 이동시키거나 회전력에 의해 회전되어 대상물을 회전 이동시키는 장치가 있다.The driving device of the handler for this purpose has been developed and used in various ways, the representative example is a device that moves along the X, Y coordinates on the plane to linearly move the object or rotate by the rotational force to rotate the object.

도 1은 종래 핸들러의 구동장치을 도시한 도면이고, 도 2는 종래 핸들러의 구동장치의 다른 실시 예를 도시한 도면이다.1 is a view showing a driving device of a conventional handler, Figure 2 is a view showing another embodiment of a driving device of a conventional handler.

도 1에서 도시한 바와 같이, 대상물을 직선 이동시키는 핸들러의 구동장치는 대상물이 거치되는 테이블이나 대상물을 잡는 그리퍼가 평면상 X, Y좌표를 따라 어느 한 방향 이상으로 이동되어 원하는 위치로 대상물을 이동시키게 된다.As shown in FIG. 1, in the driving device of a handler for linearly moving an object, a table on which the object is mounted or a gripper for holding the object is moved in one or more directions along the X and Y coordinates on a plane to move the object to a desired position. Let's go.

그러나 이러한 직선 이동되는 핸들러의 구동장치는 대상물을 원하는 위치로 이동하기 위해 X, Y방향으로 다수 번 움직여 원하는 위치로 이동됨에 따라 구조가 복잡하고, 경우에 따라 많은 시간이 소요되며, 가격이 비싼 문제점이 있다.However, the driving device of such a linearly moving handler is complicated in structure as it is moved to the desired position by moving it several times in the X and Y directions to move the object to the desired position, and in some cases, it takes a lot of time and is expensive. There is this.

특히, 호를 그리는 이동을 할 경우, X축 Y축으로 이동되는 거리를 최소화시켜 전체적으로 호를 그리며 이동하는 것처럼 이동될 수는 있지만, 이러한 X축 Y축 이동의 반복에 의해 수명이 저하되는 문제점이 있다.In particular, in the case of arc-moving movement, it can be moved as if it is moving by drawing the arc by minimizing the distance moved to the X-axis and Y-axis, but the problem that the life is reduced by the repetition of the X-axis Y-axis movement have.

이를 해소하기 위해, 도 2에서 도시한 바와 같이, 회전되는 핸들러의 구동장치를 개발하여 호나 원을 따라 이동이 필요한 대상물을 이동시키고 있다.In order to solve this problem, as shown in FIG. 2, a driving device for a rotating handler is developed to move an object requiring movement along an arc or a circle.

그러나 이 회전되는 구동장치는 구동모터에 밸트나 체인 또는 기어 등의 연결수단에 의해 원하는 위치로 회전되는 것으로, 이와 같은 연결수단은 사용 시, 마모율이 높아 미세입자가 발생되고, 이 미세입자는 인접한 다른 구성부나 이송 대상물에 닿아 파손시키거나 품질을 저하시키는 문제점이 있다.However, this rotating drive device is rotated to a desired position by a connecting means such as a belt, a chain or a gear to the drive motor. When such a connecting means has high wear rate, fine particles are generated when the connecting means is used. There is a problem in that it is damaged or deteriorated in contact with other components or the transfer object.

또한, 반도체 제조공정에서 사용될 경우, 보통의 기계보다 정밀도를 요하는 것으로, 초정밀도는 아니더라도 이송방향 외의 방향으로 변위되는 것을 방지 및 최소화시켜야 된다.In addition, when used in a semiconductor manufacturing process, it requires more precision than a normal machine, and should be prevented and minimized to be displaced in a direction other than the conveying direction, even if it is not ultra precision.

이를 위해 도 1과 도 2에서 도시한 바와 같은, 직선 이동 구동장치와 회전 이동 구동장치가 적절히 구비되어 사용되고 있지만, 종래 두 가지 형태의 핸들러의 구동장치는 정밀도를 높이기 위한 각종 구성부를 구비함에 따라 그 구조가 복잡하고, 가격이 비싸며, 마모율이 높아 미세입자가 발생되는 문제점이 있다.For this purpose, although the linear movement driving device and the rotary movement driving device as shown in Figs. 1 and 2 are suitably provided and used, the driving device of the conventional two types of handlers has various components to increase the precision. There is a problem that the structure is complex, expensive, high wear rate, fine particles are generated.

이러한 미세입자의 발생이 증가될 경우, 다른 구성부를 파손시키거나 이송되는 대상물, 즉 반도체 부품을 손상시켜 품질을 저하시키는 하나의 원인으로 작용되는 문제점이 있다.
When the generation of such fine particles is increased, there is a problem that serves as one cause of damage to other components or damage to the object to be transported, that is, the semiconductor component to reduce the quality.

이에 본 발명은 상기와 같은 문제점들을 해소하기 위해 안출된 것으로써, 측면 전체 또는 일부가 호를 갖는 베이스프레임의 상면에 동일한 호를 갖는 가이드레일을 형성하고, 이 가이드레일을 따라 이동 가능한 이송테이블 및 이 이송테이블을 이송시키기 위해 베이스프레임의 측면을 따라 이동되는 이송모듈을 구비하여 대상물을 용이하게 이송시킬 수 있다.Accordingly, the present invention has been made in order to solve the above problems, to form a guide rail having the same arc on the upper surface of the base frame having all or part of the side, the transfer table movable along the guide rail and In order to transfer the transfer table, the transfer module may be moved along the side of the base frame to easily transfer the object.

이러한 이송모듈은 구조가 간단하고, 베이스테이블과 직접 닿지않아 마모율을 감소시킬 수 있어 미세입자의 발생을 방지 및 최소화시켜 각 구성의 수명을 연장시킬 수 있다.Such a transfer module has a simple structure and can reduce the wear rate by not directly contacting the base table, thereby preventing and minimizing the generation of fine particles, thereby extending the life of each component.

특히, 이송테이블의 가이드홈에 가이드수단을 더 구비하여 가이드레일과의 마찰력을 감소시키고, 이송방향 외의 방향으로 변위되는 것을 방지 및 최소화시켜 두 개의 포인트 사이를 용이하고 정밀하게 이동되어 대상물을 이송시킬 수 있는 핸들러의 구동장치를 제공하는 것이 목적이다.
In particular, the guide groove of the transfer table is further provided to reduce the frictional force with the guide rail, and to prevent and minimize the displacement in the direction outside the transfer direction to move the object easily and precisely between the two points. It is an object to provide a drive of a handler which can be used.

상기 목적을 이루기 위한 본 발명은, 측면 전체 또는 일부가 호를 갖는 베이스테이블의 상면에 형성되되, 측면과 동일한 호를 갖고 가장자리를 따라 구비된 가이드레일, 상기 가이드레일을 따라 이동 가능하도록 구비되어 이송시키고자 하는 대상물이 거치되는 이송테이블, 및 상기 이송테이블을 베이스테이블의 측면을 따라 이동시키는 이송모듈을 포함하여 이루어진다.The present invention for achieving the above object is formed on the upper surface of the base table having an entire or part of the side arc, the guide rail provided along the edge having the same arc as the side, is provided to be movable along the guide rail It comprises a transfer table on which the object to be mounted is mounted, and a transfer module for moving the transfer table along the side of the base table.

바람직하게, 상기 가이드레일은 제1가이드레일 및 제2가이드레일로 구성되되, 상호 일정 간격을 갖는 평행곡선을 이룬다.Preferably, the guide rail is composed of a first guide rail and a second guide rail, and form a parallel curve with a predetermined distance from each other.

그리고 상기 이송모듈은, 유연성을 갖고, 상기 베이스테이블의 측면을 따라 구비되도록 양단부가 측면에 각각 고정되되, 상기 측면의 길이보다 길게 형성되는 가이드링크, 상기 이송테이블에 구비되고, 구동롤러가 상기 가이드링크의 내면을 따라 이동되도록 회전력을 발생시키는 구동부, 및 상기 구동부의 구동롤러와 이송테이블을 지나는 최단 가상선을 기준으로 양측에 각각 회전 가능하도록 구비되어 구동롤러에 일부 감겨진 가이드링크의 외면을 최단 가상선과 이송테이블의 측면방향으로 가압시키는 아이들러를 포함하여 이루어지며, 상기 구동롤러의 회전 시, 각각의 아이들러와 함께 가이드링크를 따라 이동됨에 따라 상기 이송테이블을 베이스테이블의 측면을 따라 이동시킨다.And the transfer module is flexible, both ends are fixed to the side so as to be provided along the side of the base table, the guide link is formed longer than the length of the side, provided on the transfer table, the driving roller is the guide The driving unit for generating a rotational force to move along the inner surface of the link, and is provided to be rotatable on both sides with respect to the shortest imaginary line passing through the driving roller and the transfer table of the driving unit, the outer surface of the guide link partially wound on the driving roller It comprises an idler for pressing in the lateral direction of the imaginary line and the transfer table, and when the drive roller is rotated, the transfer table is moved along the side of the base table as it moves along the guide link with each idler.

또한, 상기 가이드링크는 0.5 ~ 2mm 두께의 SUS재질이다.In addition, the guide link is made of SUS material of 0.5 ~ 2mm thickness.

그리고 상기 이송테이블의 하면에는, 상기 가이드레일에 대응되도록 가이드홈이 형성되되, 이 가이드홈에는 상기 가이드레일을 따라 이동 시, 뒤틀림을 방지하고, 마찰력을 감소시키기 위한 가이드수단이 더 구비된다.A guide groove is formed on the lower surface of the transfer table so as to correspond to the guide rail, and the guide groove further includes guide means for preventing distortion and reducing friction when moving along the guide rail.

또한, 상기 가이드수단은, 가이드레일의 상면과 닿아 회전되는 하나 이상의 롤러이며, 이 롤러는 일부가 돌출되도록 가이드홈의 저면 내부에 구비된다.In addition, the guide means is at least one roller that is rotated in contact with the upper surface of the guide rail, the roller is provided inside the bottom surface of the guide groove so that a portion protrudes.

그리고 상기 가이드수단은, 가이드홈의 각면 내부에 구비되어 지속적으로 공급되는 공기에 의해 상기 가이드레일의 외면과 일정거리 이격됨에 따라 상기 이송테이블이 가이드레일 외면에서 부상된다.
The guide means is provided inside each surface of the guide groove and is spaced apart from the outer surface of the guide rail by a predetermined distance, so that the transfer table floats on the outer surface of the guide rail.

상기한 바와 같이, 본 발명에 의한 핸들러의 구동장치에 의하면, 종래에 비해 구조가 간단하고, 비용이 저렴하며, 마모율을 감소시켜 미세입자 발생을 최소화시켜 인접한 다른 구성부들의 파손을 방지 및 최소화시킬 수 있으며, 이송 대상물을 용이하게 이송시킬 수 있게 하는 매우 유용하고 효과적인 발명이다.
As described above, according to the driving device of the handler according to the present invention, the structure is simple, low cost, and reduce the wear rate to minimize the generation of fine particles to prevent and minimize the damage of other adjacent components It is a very useful and effective invention that makes it easy to transfer the object to be conveyed.

도 1은 종래 핸들러의 구동장치을 도시한 도면이고,
도 2는 종래 핸들러의 구동장치의 다른 실시 예를 도시한 도면이며,
도 3은 본 발명에 따른 핸들러의 구동장치을 도시한 도면이고,
도 4는 본 발명에 따른 핸들러의 구동장치의 평면도를 도시한 도면이며,
도 5는 본 발명에 따른 핸들러의 구동장치의 작동상태를 도시한 도면이고,
도 6은 본 발명에 따른 핸들러의 구동장치의 이송모듈을 도시한 도면이며,
도 7은 본 발명에 따른 핸들러의 구동장치의 측면도를 도시한 도면이다.1 is a view showing a driving device of a conventional handler,
2 is a view showing another embodiment of a driving apparatus of a conventional handler,
3 is a view showing a driving device of a handler according to the present invention;
4 is a view showing a plan view of a driving device of a handler according to the present invention;
5 is a view showing an operating state of the driving device of the handler according to the present invention;
6 is a view showing a transfer module of the drive device of the handler according to the present invention;
7 is a view showing a side view of the driving device of the handler according to the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

또한, 본 실시 예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것은 아니고 단지 예시로 제시된 것이며, 그 기술적 요지를 이탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변경이 가능하다.In addition, the present embodiment is not intended to limit the scope of the present invention, but is presented by way of example only, and various modifications may be made without departing from the technical gist of the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 핸들러의 구동장치을 도시한 도면이고, 도 4는 본 발명에 따른 핸들러의 구동장치의 평면도를 도시한 도면이며, 도 5는 본 발명에 따른 핸들러의 구동장치의 작동상태를 도시한 도면이고, 도 6은 본 발명에 따른 핸들러의 구동장치의 이송모듈을 도시한 도면이며, 도 7은 본 발명에 따른 핸들러의 구동장치의 측면도를 도시한 도면이다.Figure 3 is a view showing a drive device of the handler according to the invention, Figure 4 is a view showing a plan view of the drive device of the handler according to the present invention, Figure 5 is an operating state of the drive device of the handler according to the present invention. 6 is a view showing a transfer module of the drive device of the handler according to the present invention, Figure 7 is a view showing a side view of the drive device of the handler according to the present invention.

도 3 내지 도 5에서 도시한 바와 같이, 핸들러의 구동장치(10)는 이송하고자 하는 대상물을 필요한 위치로 이송시키기 위한 것으로, 베이스테이블의 형상을 따라 또는 무관하게 이송시키게 된다.As shown in FIGS. 3 to 5, the driving device 10 of the handler is to move the object to be transported to a required position, and may be transported along or unrelated to the shape of the base table.

이러한 핸들러의 구동장치(10)는 가이드레일(100)과 이송테이블(200) 및 이송모듈(300)로 구성되며, 가이드레일(100)은 베이스테이블(20)의 상면에 형성된다.The driving device 10 of the handler is composed of a guide rail 100, a transfer table 200, and a transfer module 300, and the guide rail 100 is formed on an upper surface of the base table 20.

가이드레일(100)은 베이스테이블(20)의 가장자리 또는 측면의 형상과 동일하게 형성되는 것으로, 여기서 베이스테이블(20)은 그 측면 전체 또는 일부가 호를 갖도록 형성된다.Guide rail 100 is formed in the same shape as the edge or side of the base table 20, where the base table 20 is formed so that all or part of the side table has an arc.

이 베이스테이블(20)의 측면 호와 평행곡선을 갖도록 가이드레일(100)이 형성됨이 당연하다.Naturally, the guide rail 100 is formed to have a parallel curve with the side arc of the base table 20.

그리고 이송테이블(200)은 가이드레일(100)을 따라 이동 가능하도록 구비되는 것으로, 이송시키고자 하는 대상물이 거치되어 가이드레일(100)을 따라 이동 가능하도록 설치된다.In addition, the transfer table 200 is provided to be movable along the guide rail 100, and an object to be transferred is mounted and installed to be movable along the guide rail 100.

이송모듈(300)은 이송테이블(200)을 베이스테이블(20)의 측면을 따라 이동시키는 것으로, 이송테이블(200)과 고정되고, 베이스테이블(20)의 측면을 따라 이동함에 따라, 이송테이블(200)을 이송시키게 된다.The transfer module 300 moves the transfer table 200 along the side of the base table 20, is fixed to the transfer table 200, and moves along the side of the base table 20. 200).

물론, 이송모듈(300)에 의해 이동되는 이송테이블(200)은 가이드레일(100)을 따라 이동되는 것으로, 이 가이드레일(100)에 의해 변위를 최소화시키며 이동되어 거치된 대상물을 원하는 위치로 이송시킬 수 있다.Of course, the transfer table 200 which is moved by the transfer module 300 is moved along the guide rail 100, and the displacement is minimized by the guide rail 100 to transfer the mounted object to a desired position. You can.

이때, 가이드레일(100)은 제1가이드레일(110)과 제2가이드레일(120)로 구성되며, 제1가이드레일(110)과 제2가이드레일(120)은 상호 일정 간격을 갖는 평행곡선을 이루도록 형성됨이 당연하고, 필요에 따라 더 많은 가이드레일이 형성될 수도 있다.In this case, the guide rail 100 is composed of a first guide rail 110 and a second guide rail 120, the first guide rail 110 and the second guide rail 120 are parallel curves having a predetermined distance from each other Naturally, the guide rails may be formed, and more guide rails may be formed as necessary.

이는, 이동되는 이송테이블(200)의 이송경로를 기준으로, 일측으로 기울어짐 또는 뒤틀림 등의 변위를 더욱 용이하게 방지 및 최소화시켜 정밀도를 향상시킬 수 있다.
This may improve the precision by more easily preventing and minimizing displacement such as tilting or twisting to one side, based on the transfer path of the transfer table 200 being moved.

그리고 도 6에서 도시한 바와 같이, 이송모듈(300)은 베이스프레임(20)의 측면을 따라 이동되면서 이송테이블(200)을 베이스프레임(20)의 상면을 따라 이동시키게 된다.And, as shown in Figure 6, the transfer module 300 is moved along the side of the base frame 20 to move the transfer table 200 along the upper surface of the base frame 20.

이러한 이송모듈(300)은 가이드링크(310)와 구동부(320) 및 아이들러(330)로 구성되며, 가이드링크(310)는 유연성을 갖고, 베이스테이블(20)의 측면을 따라 구비되도록 양단부가 측면에 각각 고정되되, 측면의 길이보다 길게 형성된다.The transfer module 300 is composed of a guide link 310, the drive unit 320 and the idler 330, the guide link 310 is flexible, both ends are provided along the side of the base table 20 side Fixed to each, but formed longer than the length of the side.

그리고 구동부(320)는 이송테이블(200)에 구비되고, 구동롤러(322)가 가이드링크(310)의 내면을 따라 이동되도록 회전력을 발생시키는 것으로, 발생된 회전력은 구동롤러(322)를 회전시키며, 이 구동롤러(322)가 가이드링크(310)의 내면에 닿아 그 면을 따라 이동된다.In addition, the driving unit 320 is provided in the transfer table 200 and generates a rotational force to move the driving roller 322 along the inner surface of the guide link 310. The generated rotational force rotates the driving roller 322. The driving roller 322 touches the inner surface of the guide link 310 and moves along the surface.

아이들러(330)는 구동부(320)의 구동롤러(322)와 이송테이블(200)을 지나는 최단 가상선을 기준으로 양측에 각각 회전 가능하도록 구비되는 것으로, 구동롤러(322)에 일부 감겨진 가이드링크(310)의 외면을 최단 가상선과 베이스테이블(20)의 측면방향으로 가압시키게 된다.The idler 330 is provided to be rotatable on both sides of the driving roller 322 of the driving unit 320 based on the shortest virtual line passing through the transfer table 200, and a guide link partially wound around the driving roller 322. The outer surface of 310 is pressed in the direction of the shortest virtual line and the base table 20.

이러한 이송모듈(300)은 구동부(320)에 의한 구동롤러(322)의 회전 시, 각각의 아이들러(330)와 함께 가이드링크(310)를 따라 이동되어 이송테이블(200)을 베이스테이블(20)의 상면을 따라 이동시킨다.The transfer module 300 is moved along the guide link 310 with each idler 330 when the drive roller 322 is rotated by the drive unit 320 to move the transfer table 200 to the base table 20. Move along the top of the

다시 말해, 구동롤러(322)에 감겨진 가이드링크(310)를 한 쌍의 아이들러(330)가 가압하여 이송모듈(300)을 가이드링크(310)의 면 길이방향을 따라 이동되고, 이 이송모듈(300)에 의해 이송테이블(200)이 이동되는 것이다.In other words, the pair of idlers 330 pressurizes the guide link 310 wound around the driving roller 322 to move the transfer module 300 along the surface length direction of the guide link 310. The transfer table 200 is moved by the 300.

여기서, 가이드링크(310)는 0.5 ~ 2mm 두께로 형성되며, 유연성을 갖는 SUS재질로 형성됨이 바람직한 것으로, 유연성을 갖는 재질이라면 금속이 아니더라도 사용 가능하다.
Here, the guide link 310 is formed with a thickness of 0.5 ~ 2mm, preferably formed of a SUS material having flexibility, if the material having flexibility can be used even if the metal.

그리고 도 7에서 도시한 바와 같이, 이송테이블(200)의 하면에는 가이드레일(100)에 대응되도록 가이드홈(210)이 형성되되, 이 가이드홈(210)에는 가이드레일(100)을 따라 이동 시, 뒤틀림을 방지하고, 마찰력을 감소시키기 위한 가이드수단(400)이 더 구비된다.And, as shown in Figure 7, the lower surface of the transfer table 200 is formed with a guide groove 210 to correspond to the guide rail 100, the guide groove 210 when moving along the guide rail 100 Further, the guide means 400 for preventing distortion and reducing the friction force is further provided.

물론, 가이드레일(100)이 일 실시 예로 제1가이드레일(110)과 제2가이드레일(120)로 구성됨에 따라, 이송테이블(200)의 가이드홈(210) 역시 각각 대응되도록 형성된다.Of course, as the guide rail 100 is composed of the first guide rail 110 and the second guide rail 120 in one embodiment, the guide groove 210 of the transfer table 200 is also formed to correspond to each other.

그리고 이 각각의 가이드홈(210) 중 어느 하나 이상에 가이드수단(400)이 구비되어 이송테이블(200)과 가이드레일(100) 사이에 발생되는 마찰력을 최소화시키고, 이송케이블(200)이 이송방향 외의 방향으로 변위되는 것을 방지하게 된다.And at least one of each of the guide grooves 210 is provided with a guide means 400 to minimize the friction force generated between the transfer table 200 and the guide rail 100, the transfer cable 200 is the transfer direction This prevents displacement in the outward direction.

이러한 가이드수단(400)의 일 실시 예로, 가이드레일(100)의 상면과 닿아 회전되는 하나 이상의 롤러(410)이며, 이 롤러(410)는 일부가 돌출되도록 가이드홈(210)의 저면 내부에 구비된다.In one embodiment of such a guide means 400, at least one roller 410 is rotated in contact with the upper surface of the guide rail 100, the roller 410 is provided in the bottom surface of the guide groove 210 so that a portion protrudes do.

또한 이 롤러(410)는 가이드레일(100)의 상면은 물론, 세워진 측면과 닿도록 가이드홈(210)에 구비될 수도 있다.
In addition, the roller 410 may be provided in the guide groove 210 to contact the upper surface of the guide rail 100, as well as the erected side.

그리고 가이드수단(400')의 다른 실시 예로, 가이드홈(210)의 각 면 내부에 구비되어 지속적으로 공급되는 공기에 의해 가이드레일(100)의 상면과 일정거리 이격되도록 부상시킨다.In another embodiment of the guide means 400 ′, the air is provided inside each surface of the guide groove 210 to be spaced apart from the upper surface of the guide rail 100 by a constant supply of air.

이러한 가이드수단(400')은 공급되는 공기의 압력을 조절하여 이송테이블(200)과 가이드레일(100)의 간격을 조절할 수 있고, 이송테이블(200)과 가이드레일(100) 사이에 마찰이 발생되는 것을 방지 및 최소화시켜 용이하게 이송될 수 있게 된다.
The guide means 400 ′ may adjust the distance between the transfer table 200 and the guide rail 100 by adjusting the pressure of the supplied air, and friction may occur between the transfer table 200 and the guide rail 100. It can be easily transported by preventing and minimizing.

이와 같은 핸들러의 구동장치(10)는 높은 정밀도를 요구하는 구동수단에 사용되는 것이 아니라 어느 한 점에서 이격된 다른 한 점까지의 이동을 위해 사용됨이 바람직하다.
The drive device 10 of such a handler is preferably used for movement from one point to another spaced apart from the driving means requiring high precision.

10 : 구동장치 20 : 베이스테이블
100 : 가이드레일 110 : 제1가이드레일
120 : 제2가이드레일 200 : 이송테이블
300 : 이송모듈 310 : 가이드링크
320 : 구동부 322 : 구동롤러
330 : 아이들러 400, 400' : 가이드수단10: drive device 20: base table
100: guide rail 110: first guide rail
120: second guide rail 200: transfer table
300: transfer module 310: guide link
320: driving unit 322: driving roller
330: idler 400, 400 ': guide means

Claims (7)

측면 전체 또는 일부가 호를 갖는 베이스테이블의 상면에 형성되되, 측면과 동일한 호를 갖고 가장자리를 따라 구비된 가이드레일;
상기 가이드레일을 따라 이동 가능하도록 구비되어 이송시키고자 하는 대상물이 거치되는 이송테이블; 및
상기 이송테이블을 베이스테이블의 측면을 따라 이동시키는 이송모듈을 포함하여 이루어지는 핸들러의 구동장치.
A guide rail which is formed on an upper surface of the base table having an entirety or a part of the side, the arc having the same arc as the side, and provided along the edge;
A transfer table provided to be movable along the guide rail and having an object to be conveyed thereon; And
And a transfer module for moving the transfer table along the side of the base table.
제1항에 있어서,
상기 가이드레일은 제1가이드레일 및 제2가이드레일로 구성되되, 상호 일정 간격을 갖는 평행곡선을 이루는 것을 특징으로 하는 핸들러의 구동장치.
The method of claim 1,
The guide rail is composed of a first guide rail and a second guide rail, the drive device of the handler, characterized in that to form a parallel curve with a predetermined interval from each other.
제1항에 있어서, 상기 이송모듈은,
유연성을 갖고, 상기 베이스테이블의 측면을 따라 구비되도록 양단부가 측면에 각각 고정되되, 상기 측면의 길이보다 길게 형성되는 가이드링크;
상기 이송테이블에 구비되고, 구동롤러가 상기 가이드링크의 내면을 따라 이동되도록 회전력을 발생시키는 구동부; 및
상기 구동부의 구동롤러와 이송테이블을 지나는 최단 가상선을 기준으로 양측에 각각 회전 가능하도록 구비되어 구동롤러에 일부 감겨진 가이드링크의 외면을 최단 가상선과 이송테이블의 측면방향으로 가압시키는 아이들러를 포함하여 이루어지며,
상기 구동롤러의 회전 시, 각각의 아이들러와 함께 가이드링크를 따라 이동됨에 따라 상기 이송테이블을 베이스테이블의 측면을 따라 이동시키는 것을 특징으로 하는 핸들러의 구동장치.
The method of claim 1, wherein the transfer module,
A guide link having flexibility and fixed to both sides thereof so as to be provided along a side of the base table, the guide link being formed longer than the length of the side;
A driving unit provided in the transfer table and generating a rotational force such that a driving roller moves along an inner surface of the guide link; And
Including an idler for pressing the outer surface of the guide link wound around the driving roller in the side direction of the transfer table is provided to be rotated on both sides with respect to the shortest virtual line passing through the drive roller and the transfer table of the drive unit. Done,
When the drive roller is rotated, the drive device of the handler, characterized in that for moving the transfer table along the side of the base table as it moves along the guide link with each idler.
제3항에 있어서,
상기 가이드링크는 0.5 ~ 2mm 두께의 SUS재질인 것을 특징으로 하는 핸들러의 구동장치.
The method of claim 3,
The guide link is a drive device of the handler, characterized in that the SUS material of 0.5 ~ 2mm thickness.
제1항에 있어서,
상기 이송테이블의 하면에는,
상기 가이드레일에 대응되도록 가이드홈이 형성되되, 이 가이드홈에는 상기 가이드레일을 따라 이동 시, 뒤틀림을 방지하고, 마찰력을 감소시키기 위한 가이드수단이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 핸들러의 구동장치.
The method of claim 1,
On the lower surface of the transfer table,
Guide grooves are formed to correspond to the guide rails, and the guide grooves further include guide means for preventing distortion and reducing friction when moving along the guide rails.
제5항에 있어서, 상기 가이드수단은,
가이드레일의 상면과 닿아 회전되는 하나 이상의 롤러이며, 이 롤러는 일부가 돌출되도록 가이드홈의 저면 내부에 구비되는 것을 특징으로 하는 핸들러 구동장치.
The method of claim 5, wherein the guide means,
At least one roller that is rotated in contact with the upper surface of the guide rail, the roller is a handler driving device, characterized in that provided in the bottom surface of the guide groove so that a portion protrudes.
제5항에 있어서, 상기 가이드수단은,
가이드홈의 각면 내부에 구비되어 지속적으로 공급되는 공기에 의해 상기 가이드레일의 외면과 일정거리 이격됨에 따라 상기 이송테이블이 가이드레일 외면에서 부상되는 것을 특징으로 하는 핸들러 구동장치.The method of claim 5, wherein the guide means,
The handler driving device, characterized in that the transfer table is floated on the outer surface of the guide rail as a predetermined distance from the outer surface of the guide rail by the air continuously provided in each side of the guide groove.
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