KR20110130058A - 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그 - Google Patents

주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그 Download PDF

Info

Publication number
KR20110130058A
KR20110130058A KR1020100049488A KR20100049488A KR20110130058A KR 20110130058 A KR20110130058 A KR 20110130058A KR 1020100049488 A KR1020100049488 A KR 1020100049488A KR 20100049488 A KR20100049488 A KR 20100049488A KR 20110130058 A KR20110130058 A KR 20110130058A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
scanning electron
electron microscope
test jig
device test
support
Prior art date
Application number
KR1020100049488A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101095208B1 (ko
Inventor
홍병학
김태근
황성우
황종승
Original Assignee
고려대학교 산학협력단
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 고려대학교 산학협력단 filed Critical 고려대학교 산학협력단
Priority to KR20100049488A priority Critical patent/KR101095208B1/ko
Publication of KR20110130058A publication Critical patent/KR20110130058A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101095208B1 publication Critical patent/KR101095208B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/20—Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32431—Constructional details of the reactor
    • H01J37/32715—Workpiece holder
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
    • H01J37/3411—Constructional aspects of the reactor
    • H01J37/3435—Target holders (includes backing plates and endblocks)
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
    • H01J37/3476—Testing and control

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Abstract

본 발명은 주사전자현미경을 이용한 전자소자 관측시 전자소자가 휘어진 상태를 유지한 채로 관측 가능하도록 하는 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그에 관한 것으로서, 시료의 양단을 지지하는 적어도 한 쌍의 지지부와, 상기 지지부를 이동시킴으로써 상기 지지부 사이의 간격을 조절하는 간격조절부와, 상기 지지부의 경로를 안내하는 가이드부와, 주사전자현미경의 시료장착대(sample stage)에 상기 지지부를 고정하는 고정틀을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그{FLEXIBLE DEVICE TEST JIG FOR SCANNING ELECTRON MICROSCOPY}
본 발명은 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 주사전자현미경을 이용한 전자소자 관측시 전자소자가 휘어진 상태를 유지한 채로 관측 가능하도록 하는 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그에 관한 것이다.
최근 기존의 실리콘 기판을 대신하여 플라스틱과 같이 유연한 기판위에 다양한 반도체 및 광소자를 제작하는 소위 플렉서블 일렉트로닉스(flexible electronics) 기술에 관한 연구개발이 활발하게 이루어지고 있다. 플렉서블 전자소자는 충격에 의해 깨지지 않고, 구부리거나 접을 수 있으며, 가볍고, 간단한 공정을 통해 매우 저렴한 가격으로 제작가능한 장점을 지니고 있어 플렉서블 디스플레이, 태양전지, 의료기기 등 다양한 산업분야에서 활용될 것으로 기대되고 있다.
플렉서블 전자소자는 유리와 같이 유연성이 없는 기판 위에서와 플렉서블 기판 위에서의 동작특성이 서로 다르므로 이와 같은 변화를 관찰하고 원인을 분석함으로써 전자소자의 휘어짐에 따른 물리적 특성 변화를 규명하는 연구가 필요하다.
플렉서블 전자소자가 휘어짐에 따라 전류 특성 등이 변화한다는 사실은 잘 알려져 있으나, 현재 이러한 특성 변화의 원인은 측정 결과를 통해 추측되거나, 물리적 성질을 이용하여 간접적으로 설명될 뿐이다.
주사전자현미경을 사용하면 전자소자의 표면 구조를 직접 관측할 수 있다. 그러나 종래 제시된 주사전자현미경의 시료홀더에 의하면 플렉서블 전자소자를 휘어진 상태로 고정시키기 어려우므로 휘어짐에 의해 변화된 표면 구조를 관측하기가 용이하지 않은 단점이 있었다.
또한, 전자소자의 휘어짐의 정도 조절에 따른 표면 구조 변화를 측정하기 어려운 문제점이 있었다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로 전자소자를 휘어진 상태로 유지한 채 주사전자현미경을 이용하여 표면 구조를 관측할 수 있도록 하는 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그를 제공하는 데에 그 목적이 있다.
또한, 전자소자의 휘어짐의 정도를 조절할 수 있도록 함으로써 휘어짐의 정도에 따른 표면 구조 변화를 측정할 수 있는 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그를 제공하는 데에 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명의 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그는 시료의 양단을 지지하는 적어도 한 쌍의 지지부, 상기 지지부를 이동시킴으로써 상기 지지부 사이의 간격을 조절하는 간격조절부, 상기 지지부의 경로를 안내하는 가이드부, 주사전자현미경의 시료장착대(sample stage)에 상기 지지부를 고정하는 고정틀을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 지지부가 이동하는 과정에서 지지부끼리 이루는 각도를 안정적으로 유지함으로써 항상 전자소자에 일정한 방향의 압력을 가할 수 있도록 상기 가이드부는 상기 지지부의 서로 대향하는 가장자리에 설치되어 상기 지지부를 관통하고 상기 지지부 사이를 연결하는 적어도 한 쌍의 가이드봉을 포함하는 것이 바람직하다. 또는, 상기 가이드부는 상기 지지부가 설치되고 상기 지지부의 이동방향을 따라 형성된 제1체결부재를 구비한 플레이트를 포함하고, 상기 지지부는 상기 제1체결부재에 대응되는 형상을 가지며 상기 제1체결부재에 결합하는 제2체결부재를 포함할 수 있다.
아울러, 전자소자가 관측을 원하는 의도한 방향으로 휘어질 수 있도록 상기 지지부는 상기 지지부끼리 서로 마주보는 면에 시료의 양단이 삽입되어 지지되는 끼움홈을 포함하는 것이 바람직하다. 위로 볼록한 형태로 휘어지도록 하기 위해 상기 끼움홈은 단면이 직각삼각형 형상일 수 있고, 아래로 볼록한 형태로 휘어지도록 하기 위해 상기 끼움홈은 단면이 역직각삼각형 형상일 수 있다.
전자소자 양단 사이의 간격을 조절하여 전자소자를 휘어지게 하는 경우 주사전자현미경의 관측면의 높이가 달라져서 초점이 맞지 않게 된다. 이 경우 관측시마다 초점을 새롭게 맞춰야 하는 불편이 있으므로 관측면을 기존의 관측위치로 이동시킬 수 있도록 상기 지지부의 높낮이를 조절할 수 있는 높이조절부를 포함할 수 있다.
또한, 관측면을 여러 각도에서 관측할 수 있도록 상기 지지부의 경사각을 조절할 수 있는 각도조절부를 포함할 수 있다.
지지부 사이의 간격조절, 시료의 높이 조절 및 각도조절을 위해 시료를 꺼내어 조절한 후 다시 주사전자현미경 내부를 진공으로 만드는 데에 소요되는 시간과 노력을 줄이고, 내부 오염을 방지할 수 있도록 사용자의 입력신호를 전달받아 상기 간격조절부, 상기 높이조절부, 상기 각도조절부를 각각 구동시키는 제1제어부, 제2제어부, 제3제어부를 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면 전자소자를 휘어진 상태로 고정한 채 전자소자 표면을 관측할 수 있도록 하는 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그가 제공된다. 전자소자의 양단 사이의 간격을 조절함으로써 휘어짐의 정도를 조절할 수 있고, 간격을 변화시켜가며 전자소자 표면을 관측함으로써 휘어짐의 정도 변화에 따른 표면 구조 변화를 측정할 수 있다.
아울러, 가이드봉 및 플레이트의 제1체결구와 지지부의 제2체결구의 결합에 의해 지지부 사이의 간격을 조절하기 위하여 지지부를 이동시키는 과정에서 지지부끼리 이루는 각도를 안정적으로 유지할 수 있으므로 전자소자에 항상 일정한 방향의 압력이 가해지고, 결국 지지부 사이의 간격 변화가 소자의 일방향 휘어짐 정도를 나타내도록 하여 휘어짐 정도에 따른 특성 변화를 정확하게 측정할 수 있다.
또한, 지지부에 구비된 직각삼각형 또는 역직각삼각형 형태의 끼움홈에 소자를 끼워 압력을 가함으로써 소자가 원하는 방향으로 구부러지도록 조절할 수 있다.
또한, 소자의 휘어짐 정도에 변화를 주더라도 높이조절부에 의해 시료의 높이를 조절함으로써 관측을 위해 새롭게 초점을 맞추어야 하는 불편을 해소할 수 있다.
또한, 검출기에 의한 2차전자의 취합이 용이하도록 각도조절부에 의해 지지부를 기울일 수 있다.
여기서, 사용자의 입력신호에 따라 제어부가 지지부 사이 간격, 지지부의 높이, 각도를 조절할 수 있도록 설계함으로써 조절을 위해 시료장착대를 꺼내고 다시 주사현미경내부를 진공상태로 만들어야 하는 번거로움을 해소할 수 있다.
또한, 상기 사용자의 입력신호는 광신호이고, 상기 광신호의 검출은 포토다이오드에 의해 이루어질 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그의 상면도이다.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그의 정면도이다.
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그에 플렉서블 기판이 끼워진 상태를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그의 사시도이다.
도 6는 본 발명의 제2실시예에 따른 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그의 상면도이다.
도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그의 정면도이다.
도 8은 본 발명의 제2실시예에 따른 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그의 좌측면도이다.
도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그에 플렉서블 기판이 끼워진 상태를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 10은 본 발명의 제3실시예에 따른 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그에 플렉서블 기판이 끼워진 상태를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 11은 본 발명의 제4실시예에 따른 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그의 사시도이다.
이하, 본 발명의 제1실시예에 따른 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그(100)를 첨부한 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그(100)의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그(100)의 상면도이며, 도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그(100)의 정면도이다. 이하 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명한다.
본 실시예에 따른 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그(100)는 관측하고자 하는 시료의 양단을 지지하는 적어도 한 쌍의 지지부(200), 지지부(200) 사이의 간격을 조절하는 간격조절부(300), 관측하고자 하는 전자소자가 지지부(200) 사이에 끼워진 채로 주사전자현미경의 시료장착대(sample stage)에 고정될 수 있도록 하는 고정틀(400)을 포함한다. 또한, 지지부(200)의 이동 경로를 안내하는 가이드부(500)가 마련된다.
본 실시예에서는 전자소자의 양단을 지지할 수 있는 한 쌍의 지지부(200)가 마련된다. 한 쌍의 지지부(200)는 간격조절부(300)에 의해 설정된 거리만큼 서로 이격되어 있다.
지지부(200)는 관측하고자 하는 전자소자의 양단 모양에 대응되는 형상을 취하여 전자소자와 넓은 면적에서 접하도록 하는 것이 바람직하다. 전자소자의 단부와 지지부(200)가 점적촉이 아닌 선접촉 또는 면접촉을 함으로써 전자소자에 가해지는 압력이 한 점에 집중되지 않도록 하여 소자의 파손을 방지하기 위함이다. 본 실시예에서 지지부(200)는 평면 형상으로 마련되어 양단부가 평행한 직선으로 구성되는 사각형 모양의 기판 등이 끼워지기에 적합한 형태를 취한다.
간격조절부(300)로는 설정하고자 하는 지지부(200) 사이의 이격거리만큼 충분히 긴 길이를 갖고 외주면에 수나사선이 형성된 원통봉을 사용하였다. 간격조절부(300)는 전자소자가 결합할 가운데 영역을 지나지 않도록 지지부(200)의 가장자리에 결합한다. 한 쌍의 지지부(200)를 모두 관통한 원통봉의 일단에는 원통봉을 회전시킬 수 있도록 하는 돌림부재(310)가 설치된다.
간격조절부(300)는 상기한 구성 이외에도 지지부(200)를 일정한 간격으로 고정시킬 수 있도록 하는 고정핀, 유압실린더 등 지지부(200) 사이의 간격을 조절가능하고, 조절된 상태로 유지할 수 있는 구성으로 구현 가능하다.
지지부(200) 중 하나는 돌림부재(310)가 설치된 원통봉의 단부쪽에 결합하는데, 원통봉 외주면에 나사선은 지지부(200)의 결합영역을 넘어서부터 형성되어 원통봉의 회전과 무관하게 그 결합위치가 변하지 않는다. 지지부(200) 중 다른 하나에는 암나사선이 형성된 관통홀이 마련되어 원통봉이 관통하며 나사결합한다.
고정틀(400)은 지지부(200)에 결합하여 지지부(200)가 주사전자현미경의 시료장착대에 고정되도록 한다. 고정틀(400)은 사용하고자 하는 주사전자현미경의 종류와 시료장착대의 모양에 맞는 틀로 교체할 수 있도록 마련되는 것이 바람직하다. 고정틀(400)과 지지부(200)의 결속 및 해체가 용이하도록 체결수단으로 나사를 사용하였는데, 나사머리가 전자소자의 휘어짐을 방해하지 않도록 지지부(200)에 형성된 홈에 인입되어 외부영역으로 노출되지 않도록 하였다.
가이드부(500)는 간격조절부(300)에 의한 지지부(200)의 움직임이 설정된 경로를 따라 움직이도록 안내하는 역할을 한다. 본 실시예에서는 한 쌍의 지지부(200) 사이를 연결하는 원통봉을 사용하였으나, 단면의 모양이 일정한 막대라면 그 모양과 무관하게 사용 가능하다.
이하, 본 발명의 제1실시예에 따른 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그(100)의 동작을 설명한다.
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그(100)에 플렉서블 기판(10)이 끼워진 상태를 개략적으로 도시한 도면이다. 이하, 도 4를 참조하여 설명한다.
기판(10)은 지지부(200) 사이에 위치하며 그 양단이 지지부(200)에 의해 지지된다. 간격조절부(300)의 돌림부재(310)를 회전시키면 돌림부재(310) 쪽에 결합한 지지부(200)는 회전과 무관하게 그 결합위치가 유지되지만 다른 지지부(200)는 가이드부(500)에 의해 회전이 제한되므로 나사조임 및 풀림에 의해 결합위치가 이동한다.
기판(10)에 휘어짐이 발생하면 플렉시블 소자의 탄성에 의해 다시 원래 모양으로 변형을 일으키는 복원력이 발생한다. 다만 지지부(200)와 간격조절부(300)의 나사결합이 형성하는 마찰력에 의해 복원력이 상쇄되어 지지부(200) 사이의 간격이 그대로 유지될 수 있다.
기판(10)을 휘어진 상태로 유지한 채 주사전자현미경으로 소자의 표면 구조를 관측함으로써 전자소자의 휘어짐에 따라 변화된 표면 구조를 관측할 수 있다.
이하, 본 발명의 제2실시예에 따른 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그(100)를 첨부한 도면을 참조하여 설명한다. 도 1 내지 도 4에 도시된 부재들과 동일한 부재번호에 의해 지정되는 부재들은 동일한 구성 및 기능을 가지므로 중복되는 부분에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그(100)의 사시도이고, 도 6는 본 발명의 제2실시예에 따른 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그(100)의 상면도이며, 도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그(100)의 정면도이고, 도 8 본 발명의 제2실시예에 따른 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그(100)의 좌측면도이다. 이하, 도 5 내지 도 8을 참조하여 설명한다.
지지부(200)끼리 서로 마주보는 면에는 전자소자의 양단이 삽입되어 지지되는 끼움홈(220)을 형성될 수 있다. 끼움홈(220)은 동일한 높이에 형성되도록 하여 결합한 전자소자의 양단 사이 거리가 지지부(200) 사이의 거리와 일치하도록 한다. 본 실시예에서 끼움홈(220)의 단면은 직각삼각형의 형태를 갖는다.
가이드봉(510)은 지지부(200)의 서로 대향하는 가장자리에 지지부(200) 사이를 서로 연결하도록 적어도 한 쌍이 설치되는데, 본 실시예에서는 양단 가장자리에 각각 한 쌍씩 두 쌍이 설치되었다.
플레이트(520)에는 지지부(200)가 설치된다. 지지부(200)가 플레이트(520)에 의해 그 이동이 안내되도록 하나의 지지부(200)에 플레이트(520)가 고정되어 있고, 다른 지지부(200)는 플레이트(520)에 설치된 상태로 이동할 수 있다.
플레이트(520)에는 지지부(200)의 이동방향을 따라 형성된 제1체결부재(530)가 구비된다. 제1체결부재(530)는 제1체결부재(530)와 대응되는 형상을 갖고 지지부(200)에 마련되는 제2체결부재(210)와 결합하여 플레이트(520)와 지지부(200)가 맞물릴 수 있다. 본 실시예에서 제1체결부재(530)와 제2체결부재(210)가 계단형으로 맞물리도록 구현하였으나, 홈과 홈의 형상에 대응되는 돌기의 형태로 이동경로를 안내하고, 이동방향으로 움직이는 것 외에는 제1체결부재(530)와 제2체결부재(210)의 결합을 이탈시킬 수 없도록 하는 구성이라면 어느 것이든 사용 가능하다.
도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그에 플렉서블 기판이 끼워진 상태를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 9를 참조하면 간격조절부(300)에 의해 지지부(200) 사이의 간격이 변화하면 지지부(200)는 가이드봉(510) 및 플레이트(520)면을 따라 이동하게 된다. 따라서, 이동과정에서 지지부끼리 이루는 각도를 항상 안정적으로 유지할 수 있다. 일반적으로 주사전자현미경으로 관측되는 시료는 크기가 매우 작으므로 시료를 지지하는 지그 또한 매우 작은 크기를 갖는다. 지그의 크기가 작아질수록 결합부위에 존재하는 미세한 유격이 이동과정에서 경로를 따르는 움직임 이외의 흔들림 등을 발생시킬 여지가 커지게 된다. 가이드봉 및 플레이트의 제1체결구와 지지부의 제2체결구의 결합에 의해 이동경로 방향의 지지부(200)의 움직임 이외의 움직임을 줄일 수 있으므로 전자소자에 항상 일정한 방향의 압력이 가해지고, 결국 지지부 사이의 간격 변화가 소자의 일방향 휘어짐 정도를 나타내도록 하여 휘어짐 정도에 따른 특성 변화를 정확하게 측정할 수 있도록 하는 장점이 있다.
기판(10)은 지지부(200)의 끼움홈(220)에 그 양단이 삽입되어 지지된다. 지지부(200) 사이의 거리가 가까워지면 기판(10)은 이동경로의 방향을 따라 횡압력을 받게 되어 휘어짐이 일어난다. 본 실시예에서 끼움홈(220)은 단면이 직각삼각형 형태를 나타내므로 기판(10)이 위로 볼록한 방향으로 휘어지도록 유도할 수 있다.
기판(10)을 휘어진 상태로 유지한 채 주사전자현미경으로 소자의 표면 구조를 관측함으로써 전자소자가 위로 볼록하도록 휘어진 경우의 표면 구조 변화를 관측할 수 있다.
이하, 본 발명의 제3실시예에 따른 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그(100)를 첨부한 도면을 참조하여 설명한다. 도 1 내지 도 9에 도시된 부재들과 동일한 부재번호에 의해 지정되는 부재들은 동일한 구성 및 기능을 가지므로 중복되는 부분에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 10은 본 발명의 제3실시예에 따른 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그에 플렉서블 기판이 끼워진 상태를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 10을 참조하면 본 실시예에서 끼움홈(220)은 단면이 역직각삼각형 형태를 나타낸다. 지지부(200) 사이의 간격을 좁히면서 끼움홈(220)에 삽입된 기판(10)에 횡압력을 가하면 기판(10)은 아래로 볼록한 방향으로 휘어지도록 유도하여 전자소자가 아래로 볼록한 방향으로 휘어지는 경우의 표면 구조 변화를 관측할 수 있다.
이하, 본 발명의 제4실시예에 따른 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그(100)를 첨부한 도면을 참조하여 설명한다. 도 1 내지 도 10에 도시된 부재들과 동일한 부재번호에 의해 지정되는 부재들은 동일한 구성 및 기능을 가지므로 중복되는 부분에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 11은 본 발명의 제4실시예에 따른 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그(100)의 사시도이다.
도 11을 참조하면 본 실시예에 따른 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그(100)는 지지부(200)의 높낮이를 조절하는 높이조절부(미도시), 지지부(200)의 기울임 각도를 조절하는 각도조절부(700)를 포함한다.
높이조절부는 랙기어로 구현하여 기어의 회전수로 높낮이를 조절할 수 있고, 이외에도 유압실린더 등 높낮이를 조절할 수 있고, 조절된 높이를 유지시킬 수 있는 구성이 사용 가능하다. 또한, 주사전자현미경과 일체로 마련될 수도 있다.
주사전자현미경의 경우 주사되는 전자빔이 관측면의 한 점에 집중되도록 초점을 맞추어야 하는데, 기판(10)에 휘어짐이 발생하면 기판의 관측면의 높이가 달라지게 되어 초점이 흐려진다. 이 경우 높이조절부의 조작으로 지지부(200)의 높이를 조절하는 것으로 기판(10)의 휘어짐의 정도를 변화시킬 때마다 새롭게 초점을 맞추어야 하는 불편을 해소할 수 있다.
각도조절부(700)는 지지부(200)에 결합하여 지지부(200)가 평면상에서 전후방향 및 좌우방향으로 회전가능하도록 한다. 주사전자현미경의 내부공간이 협소하므로 회전시 많은 공간을 필요로 하지 않도록 회동축이 지지부(200)가 위치하는 영역을 관통하도록 하는 것이 바람직하다. 본 실시예에서는 주사전자현미경의 시료장착대에 결합하는 지지체와, 고정틀(400)이 결합할 수 있는 홈을 구비한 원판과, 상기 원판의 마주보는 양단에 형성된 돌출부에 결합하고 상기 지지체에 구름베어링으로 결합하여 상기 원판이 한 쌍의 돌출부를 지나는 축을 중심으로 회동할 수 있도록 하는 동시에 스스로 평면상에서 회전가능하도록 마련되는 회전틀을 사용하였다.
지지부(200)의 기울기를 조절함으로써 검출기에 의해 2차 전자들의 취합이 용이하도록 할 수 있다. 전후방향 및 좌우방향 회전의 적절한 조합으로 전자빔의 초점이 전자소자의 관찰하고자 하는 부위에 정확히 위치하도록 할 수 있으므로 지지부(200) 방향을 재조정함으로써 영상의 질을 향상시킬 수 있다.
또한, 간격조절부(300), 높이조절부(600), 각도조절부(700)는 사용자가 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그(100)를 직접 접촉하여 조작할 수도 있으나, 사용자의 입력신호를 전달받아 상기 간격조절부, 상기 높이조절부, 상기 각도조절부를 각각 구동시키는 제1제어부(미도시), 제2제어부(미도시), 제3제어부(미도시)에 의해 제어될 수 있도록 하는 것이 가능하다.
전자현미경은 광선 대신에 전자 빔을 사용하기 때문에 현미경의 내부는 진공상태여야 한다. 전자는 공기와 충돌하면 에너지가 소실되거나 굴절되는 등 원하는 대로 제어하기 어렵기 때문이다. 지지부 사이의 간격조절, 시료의 높이 조절 및 각도조절을 위해 주사전자현미경으로부터 시료를 꺼내어 조절하는 경우에는 다시 관측을 위해 주사전자현미경 내부를 진공으로 만드는 과정을 거쳐야 한다. 따라서 진공상태를 만드는 데에 소요되는 시간과 노력을 줄이고, 내부 오염을 방지할 수 있도록 진공을 유지한 상태에서 사용자의 입력신호를 전달받아 간격조절부, 높이조절부, 각도조절부를 제어하는 것이 바람직하다. 여기서 간격조절부, 높이조절부, 각도조절부는 광신호를 검출하는 포토다이어드를 포함하여 사용자의 광신호를 입력받아 제어가 이루어지도록 할 수 있다.
본 발명에 따른 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그(100)를 사용하면 주사전자현미경 내에서 전자소자에 휘어짐을 일으키고, 전자소자가 휘어진 상태를 그대로 유지한 채 관측할 수 있는 효과가 있다. 또한 간격조절부(300)에 의해 전자소자의 양단 간격을 조절하여 휘어짐의 정도를 변화시키고, 이에 의해 발생하는 전자소자 표면 구조의 변화를 관측할 수 있는 장점이 있다.
10 : 기판
100 : 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그
200 : 지지부 210 : 제2체결부재
220 : 끼움홈 300 : 간격조절부
310 : 돌림부재 400 : 고정틀
500 : 가이드부 510 : 가이드봉
520 : 플레이트 530 : 제1체결부재
600 : 높이조절부 700 : 각도조절부

Claims (11)

  1. 시료의 양단을 지지하는 적어도 한 쌍의 지지부;
    상기 지지부를 이동시킴으로써 상기 지지부 사이의 간격을 조절하는 간격조절부;
    상기 지지부의 경로를 안내하는 가이드부;
    주사전자현미경의 시료장착대(sample stage)에 상기 지지부를 고정하는 고정틀을 포함하는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 가이드부는 상기 지지부의 서로 대향하는 가장자리에 설치되어 상기 지지부를 관통하고 상기 지지부 사이를 연결하는 적어도 한 쌍의 가이드봉을 포함하는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 가이드부는 상기 지지부가 설치되고 상기 지지부의 이동방향을 따라 형성된 제1체결부재를 구비한 플레이트를 포함하고,
    상기 지지부는 상기 제1체결부재에 대응되는 형상을 가지며 상기 제1체결부재에 결합하는 제2체결부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 지지부는 상기 지지부끼리 서로 마주보는 면에 시료의 양단이 삽입되어 지지되는 끼움홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 끼움홈은 단면이 직각삼각형 또는 역직각삼각형 형상인 것을 특징으로 하는 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그.
  6. 제1항에 있어서,
    사용자의 입력신호를 전달받아 상기 간격조절부를 구동시키는 제1제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 지지부의 높낮이를 조절할 수 있는 높이조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그.
  8. 제7항에 있어서,
    사용자의 입력신호를 전달받아 상기 높이조절부를 구동시키는 제2제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 지지부의 경사각을 조절할 수 있는 각도조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그.
  10. 제9항에 있어서,
    사용자의 입력신호를 전달받아 상기 각도조절부를 구동시키는 제3제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 사용자의 입력신호는 광신호이고, 상기 광신호의 검출은 포토다이오드에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그.
KR20100049488A 2010-05-27 2010-05-27 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그 KR101095208B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20100049488A KR101095208B1 (ko) 2010-05-27 2010-05-27 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20100049488A KR101095208B1 (ko) 2010-05-27 2010-05-27 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20110130058A true KR20110130058A (ko) 2011-12-05
KR101095208B1 KR101095208B1 (ko) 2011-12-16

Family

ID=45498952

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR20100049488A KR101095208B1 (ko) 2010-05-27 2010-05-27 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101095208B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160134194A (ko) 2015-05-15 2016-11-23 주식회사 포스코 시료고정장치
KR20190064732A (ko) * 2017-12-01 2019-06-11 (주)동성화인텍 단열 패널 보호용 지그

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10115596A (ja) * 1996-08-21 1998-05-06 Suzuki Motor Corp Ｘ線回折装置用試料ホルダおよび試料固定方法
US6414322B1 (en) * 1999-01-25 2002-07-02 Micron Technology, Inc. Sample mount for a scanning electron microscope
JP2003297274A (ja) * 2002-03-28 2003-10-17 Nippon Light Metal Co Ltd 試料保持装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160134194A (ko) 2015-05-15 2016-11-23 주식회사 포스코 시료고정장치
KR20190064732A (ko) * 2017-12-01 2019-06-11 (주)동성화인텍 단열 패널 보호용 지그

Also Published As

Publication number Publication date
KR101095208B1 (ko) 2011-12-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105683802B (zh) 包括枢转支架的数码显微镜，该数码显微镜的校准方法和自动对焦及图像中心跟踪的方法
JP6251422B2 (ja) フォローアップ型固定焦点システム
KR100841031B1 (ko) 주사형 프로브 현미경의 탐침 교환방법
WO2017175783A1 (ja) 底面位置検出装置、画像取得装置、底面位置検出方法および画像取得方法
KR101095208B1 (ko) 주사전자현미경용 플렉서블 소자테스트 지그
JP5638070B2 (ja) 走査型電子顕微鏡
WO2013157419A1 (ja) 複合型顕微鏡
JP2005530125A5 (ko)
JP2017101923A (ja) 走査プローブ顕微鏡及び、これを用いた試料測定方法
US9012841B2 (en) Specimen holder for observing cross section of specimen and method for controlling the same
JP2013019818A (ja) 硬さ試験機
JP2010271098A (ja) あおり旋回機能付き手動ステージ及びあおり旋回ステージ
JP2549746B2 (ja) 走査型トンネル顕微鏡
KR101468061B1 (ko) 스캐너의 제어방법과 이를 이용한 스캐너 장치
JP2005294181A (ja) バルク試料ホルダ
US10539591B2 (en) Measuring device for a scanning probe microscope, scanning probe microscope and method for operating the scanning probe microscope
JP6316453B2 (ja) 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置による観察方法
US10222603B2 (en) Stage apparatus and microscope
US10649193B2 (en) Detector device with improved signal-to-noise ratio comprising a detector in a housing moveable against a force of a spring device
JP4505116B2 (ja) 二次元走査ｘ線分析装置
WO2011145305A1 (en) Temperature measuring probe, temperature measuring apparatus, and temperature measuring method
CN218824955U (zh) 显微镜自动载物装置及显微镜组件
KR100439353B1 (ko) 패널 두께 측정 장치
JP3131828U (ja) 走査型プローブ顕微鏡
CN116804792A (zh) 观察装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151030

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160928

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181025

Year of fee payment: 8